CN101426654B - 用于喷墨打印头的流体喷射器件 - Google Patents

Abstract

本发明描述了一种可用于喷墨打印头的流体喷射器件。结合通过基本上相对不可压缩的流体的液压传递使用具有小摆动的大致动器，以生成小隔膜的大摆动。还在致动器的启动阶段期间喷射墨，从而能够对液滴的动力学进行更好的控制。

Description

用于喷墨打印头的流体喷射器件

技术领域

本发明涉及用于喷墨打印头的流体喷射器件。

背景技术

EP 1208982中公开了用于喷墨打印头的流体喷射器件。流体喷射器包括密封的双隔膜布置、与该密封的隔膜平行并相对的电极布置和结构，这种结构含有进行喷射的流体。含有相对不可压缩的流体的隔膜室位于隔膜之后并由隔膜密封。在这些隔膜中的一个上方的喷射器的面板内形成至少一个喷嘴孔。将驱动信号加到电极布置的至少一个电极以在该电极与这些隔膜中的第一个之间生成静电场。出于这种静电场的原因，该第一隔膜由静电力朝向该电极吸引并形成变形的形状。在变形时，将压力传递到这些密封的隔膜中的第二个。所传递的压力和含在密封的隔膜室内的流体的相对不可压缩特性导致第二个隔膜以相反的方向偏转以迫使流体穿过至少一个喷嘴孔中的至少一个。在将液滴喷射之后，通过已变形的隔膜的正常的弹性复位作用和/或通过由另一个电极所生成的作用力将这种运动逆转。将这种隔膜布置置于含有进行喷射的流体的结构内。由于通过密封的隔膜室内的相对不可压缩的流体的压力传递的原因，所以一个隔膜向上偏转，且另一个隔膜向下偏转。这两个隔膜的以相反方向的工作导致负干扰并因此而在液滴动力学的控制中产生限制。

发明内容

本发明的目的在于提供一种流体喷射器件，这种流体喷射器件具有改进的液滴动力学控制。

这种目的通过一种流体喷射器件实现，这种流体喷射器件包括：喷射室，这种喷射室带有在喷射室的至少一个侧面上的至少一个开口和覆盖喷射室的另一个侧面的第一隔膜；去耦室，这种去耦室与喷射室分离并在一个侧面上由第二隔膜覆盖；传输室，这种传输室与喷射室分离并与去耦室分离且部分地由第一隔膜和第二隔膜定界，该传输室充有相对不可压缩的流体；以及用于向第一隔膜和/或第二隔膜施加力的多个电极。若将力施加到如第二隔膜，则第二隔膜偏转并将压力加到这种不可压缩的流体上。这种不可压缩的流体将这种压力传递到第一隔膜；第一隔膜以与第二隔膜相反的方向偏转，这就意味着若第二隔膜偏转到传输室的体积内，则第一隔膜相对于传输室的体积向外偏转。若喷射室充有流体，则第一隔膜将压力施加到喷射室内的流体，从而导致经由该至少一个开口的流体的喷射。第二隔膜的偏转仅经由传输室内的流体和第一隔膜影响喷射室内的流体，因为第二隔膜无与喷射室的共用边界。如现有技术中那样干扰进行喷射的流体的动力学的第二隔膜与流体的直接相互作用是不可能的。可通过施加到第二隔膜的力的特征(脉冲的形状)对喷射的动力学进行良好的控制。若并不将力施加到第二隔膜，则构成第一隔膜和第二隔膜的一种或多种材料的弹性特性产生拉回力，从而导致经由传输室内的不可压缩的流体和第一隔膜的喷射室内的充气不足。这种充气不足可用于通过经由第二开口连接到喷射室的供应管用进行喷射的流体再次填充喷射室，且该供应管还与充有进行喷射的流体的储液罐连接。若加到第二隔膜的力与第二隔膜的面积大小成比例，则可实现第一隔膜的大的摆动。这样，大的第二隔膜的小摆动导致第一隔膜的大摆动。还可设有装置来向第一隔膜提供力。向第一隔膜和第二隔膜施加力的装置可以按照一种方式，即可刺激第一隔膜和第二隔膜的相对于传输室的内部的向内运动以及向外运动，从而在流体的喷射期间进一步改进对流体动力学的控制。这些装置可以是电极，这些电极接触电压源以使用附到该隔膜的电磁力薄压电层或热双压电晶片。去耦室的填充应可高度与压缩或应将去耦室连接到大气压力以虑及第二隔膜的大偏转。若在去耦室内有流体，则必须将去耦室连接到具有可压缩体积的压力平衡室。

在本发明的一个实施例中，喷射室具有至少两个开口，第一开口用于将流体从喷射室喷出或抽运出，第二开口连接到供应管以用这种流体再次填充喷射室。可通过这种供应管将该至少一个第二开口连接到流体储液罐。若将喷射室内的流体喷射，则优选至少一个第一开口是一种喷嘴。若将喷射室内的流体抽运，则优选该至少一个第一开口连接到一种管。可将阀门附接到这些开口以控制穿过这些开口的流动。

在本发明的另一个实施例中，将至少一个第一电极附接到第二隔膜，并将至少一个第二电极附接到传输室的边界，从而通过连接到这些电极的电源向附接到第二隔膜的第一电极施加静电力。这些电极和电源形成向第二隔膜施加力的装置。第一电极与第二电极之间的静电力启动第二隔膜并导致如前所述那样的经由不可压缩的流体和第一隔膜喷射的流体的喷射。附接到第二隔膜的第一电极可以是第二隔膜的表面中的一个上的一种导电结构，或者附接到第二隔膜的第一电极可形成第一隔膜本身。在此情形中，第一隔膜由导电材料层构成。附接到第二隔膜的第一电极和/或第二电极可由隔离材料覆盖以避免短路并将可加到这些电极的最大电压增大。优选第二电极朝向第一电极，以在给定的加到这两个电极的电压时生成最大静电启动。

在本发明的再一个实施例中，将第三电极附接到朝向第一隔膜的传输室的边界，第二电极朝向第二隔膜，第一电极延伸过第一隔膜、朝向第二电极的第二隔膜和第三电极，且可将静电力施加到第一隔膜。若在第一电极与第二电极之间施加电压，则第三电极基本上处于与第一电极相同的电位，否则，这两个隔膜的同时启动往往会相互作用。吸引第二隔膜从而导致如前所述那样的经由传输室内的不可压缩的流体和第一隔膜喷射的流体的喷射。在随后的步骤中，将电压加在第一电极与第三电极之间，这样，第二电极的电位基本上与第一电极的电位相同。第一隔膜受到吸引并主动支持第二隔膜的拉回以使流体喷射器件能够具有更短的启动周期。

在本发明的再一个实施例中，将第三电极附接到第一隔膜且第二电极朝向第一隔膜和第二隔膜。同样，可通过如前所述的连接到这些电极的电源单独启动这两个隔膜。

在本发明的再一个实施例中，将第三电极附接到朝向第一隔膜的传输室的边界，将第四电极附接到第一隔膜，且第二电极朝向第二隔膜。同样，可通过如前所述的连接到这些电极的电源单独启动这两个隔膜。

前面在隔膜的特性、电极的隔离和传输室内的不可压缩的流体的性能方面所给出的说明均适用于这些实施例。

在再一个实施例中，在附接到第二隔膜的第一电极旁设有至少一个拉回电极。该拉回电极附接到去耦室的边界的侧面，且设有电源以在附接到第二隔膜的第一电极与拉回电极之间施加电压，以使拉回静电力能够加到第二隔膜。在通过附接到第二隔膜的第一电极与附接到朝向第一电极的传输室的边界的第二电极之间的电压的第二隔膜的吸引所导致的进行喷射的流体的喷射之后，拉回电极与附接到第二隔膜的第一电极之间的静电力将第二隔膜拉回，从而能够使对流体喷射器件更好地进行控制并允许更快的工作循环。在第二隔膜的拉回期间，优选将第一电极与第二电极之间的电压设置到零，并且在第一电极与拉回电极之间施加电压，以生成最大拉回力。

同样，前面在隔膜的特性、电极的隔离和传输室内的不可压缩的流体的性能方面所给出的说明均适用于该实施例。

在再一个实施例中，将至少一个电极附接到喷射室和/或去耦室的边界的侧面，该去耦室在位于传输室的边界的至少三个电极旁。附接到喷射室和/或去耦室的边界的侧面的至少一个电极朝向附接到第一隔膜和/或第二隔膜的一个或多个电极。若该至少一个电极仅附接到朝向附接到第二隔膜的电极的去耦室的边界，则该至少一个电极能够在如前所述那样的喷射之后将第二隔膜拉回，但借助于第一隔膜的启动的支持，以改进对喷射过程的控制。若该至少一个电极附接到朝向附接到第一隔膜的电极的喷射室的边界，则附接到喷射室的边界的电极可用于将喷射放大。通过提供电压源以在附接到喷射室的边界的电极与附接到第一隔膜的电极之间施加电压的第一隔膜的另外的拉动加到由第二隔膜的启动所引起的第一隔膜的推动和经由这种不可压缩的流体的向第一隔膜的压力传递，通过在附接到第二隔膜的电极与附接到朝向附接到第二隔膜的电极的传输室的边界的电极之间施加电压来启动第二隔膜。在进行喷射的流体的喷射期间，附接到朝向在第一隔膜上的电极的传输室的边界的电极处于与在第一隔膜上的电极相同的电位。另一种选择是至少一个另外的第四电极延伸过喷射室和朝向两个分离的电极的去耦室，这两个分离的电极中的第三电极附接到第一隔膜，第一电极附接到第二隔膜，且第三电极和第一电极在另一方面还朝向附接到传输室的边界的一个第二电极。若附接到喷射室与去耦室的边界的第四电极和附接到传输室的边界的第二电极处于不同的电位、附接到第一隔膜的第三电极处于与附接到传输室的边界的第二电极相同的电位且附接到第二隔膜的第一电极处于与附接到第一和去耦室的边界的第四电极相同的电位，则可将进行喷射的流体的喷射放大。通过附接到第一隔膜的第三电极和附接到第二隔膜的第一电极的电位变动或者附接到第一和去耦室的边界的第四电极和附接到传输室的边界的第二电极的电位变动对喷射与拉回之间的切换进行控制。产生可比喷射过程的带有适应性电压驱动的其它电极构造有：

a)第二电极和第三电极附接到朝向第一电极的传输室的边界，第一电极附接到第二隔膜并附接到第一隔膜，且附接到第二隔膜并附接到第一隔膜的第一电极朝向第四电极，第四电极附接到喷射室的边界和分离的拉回电极，拉回电极附接到去耦室的边界。

b)第二电极和第三电极附接到传输室的边界，第二电极朝向仅附接到第二隔膜的第一电极，附接到朝向第四电极的传输室的边界的第三电极仅附接到第一隔膜，且仅附接到同样朝向第五电极的第一隔膜的第四电极仅附接到喷射室的边界，仅附接到同样朝向分离的拉回电极的第二隔膜的第一电极仅附接到去耦室的边界。

同样，前面在隔膜的特性、电极的隔离和传输室内的不可压缩的流体的性能方面所给出的说明均适用于该实施例。

传输室内的不可压缩的流体可具有高介电常数以增大可通过第二隔膜的静电启动加到传输室内的不可压缩的流体的压力。这种不可压缩的流体还应具有低导电率，尤其是在这些电极与这种不可压缩的流体之间无其它的隔离时。可用于这种目的的材料是具有约78的介电常数和10^-6S/m的低导电率的蒸馏水。对短路的其它防护是在每对电极之间的至少一个隔离层。

不同实施例中的电极的电位仅用于示范目的。可将更复杂的电压脉冲加到这些电极以优化喷射的动态。

本发明的另一个目的在于提供一种包括流体喷射器件的打印***，这种流体喷射器件具有改进的喷射墨的液滴动力学控制。

这种打印***包括根据本发明的流体喷射器件。在这种打印***的打印头中实现这种流体喷射器件以喷射墨。

本发明的另一个目的在于提供一种用于驱动流体喷射器件的方法，这种流体喷射器件具有改进的液滴动力学控制。

这种流体喷射器件包括喷射室、去耦室和传输室、将传输室和喷射室部分地定界的第一隔膜、将去耦室和传输室部分地定界的第二隔膜以及填充传输室的基本上不可压缩的流体，且用于驱动流体喷射器件的方法包括以下步骤：

通过多个电极向该第二隔膜施加力；

经由传输室内的基本上不可压缩的流体将施加到该第二隔膜的力传递到该第一隔膜；

通过该第一隔膜将力加到填充在喷射室内的进行喷射的流体；

穿过开口将填充在喷射室内的进行喷射的流体喷射。

可通过位于第一隔膜的启动装置将力直接加到第一隔膜或通过加到第二隔膜的力和这种力经由基本上不可压缩的流体的传递将力间接加到第一隔膜。通过喷射室内的充气不足用进行喷射的流体再次填充喷射室，若不将力加到第一隔膜和第二隔膜，则这种充气不足由第一隔膜和第二隔膜的弹性特性产生，且这种充气不足由进行喷射的流体的喷射期间以相反方向加到第一隔膜和/或第二隔膜的力产生。

本发明的再一个目的在于提供一种静电、电磁或热启动的喷射器件，这种喷射器件具有改进的液滴动力学控制。

这种喷射器件可用于穿过喷射室的至少一个开口喷射流体。可通过供应管用流体填充这种喷射室，这种供应管来自充有这种流体的储液罐，这种储液罐连接到并不用于喷射的喷射室的第二开口。在用这种流体填充喷射室之后，将电压加到启动电极和移动电极，并将力施加到该弹性隔膜，从而增强喷射室内的流体的压力，并最终导致进行喷射的流体穿过喷射室的该至少一个开口的喷射，因此，优选该开口是一种喷嘴。然后，可穿过供应管和第二开口通过利用该柔性隔膜的拉回并选择性地结合加到流体储液罐的压力将喷射室再次填充。此外，可搁置诸如阀门这样的装置以关闭开口，在喷射室的再次填充期间，在该开口喷射流体。这种喷射器件可用于皮肤给药、印刷电路或印刷多LED。这样，喷射室的至少一个开口就以是一种喷嘴且流体是一种液体药物或带有药物的液体溶液、液体导管或聚合物为特征。这种喷射器件还可用于在打印***中喷射墨。喷射室的至少一个开口同样具有是一种喷嘴且流体是一种墨的特征。这种喷射器件还可用作一种泵。在此情形中，至少有两个开口，流体在一个开口流入并在另一个开口流出。诸如阀门这样的其它装置可关闭流体流出的开口，只要流体流入的开口打开，反之亦然。可将其它的管连接到这些开口以抽运流体。

附图说明

将参考附图对本发明进行更详细的说明，在这些图中，类似的部分用相同的附图标记表示，其中：

图1a和1b示出了根据本发明的喷射器件的一个实施例；

图2示出了本发明的第二实施例；

图3示出了本发明的第三实施例；

图4示出了本发明的第四实施例；

图5示出了本发明的第五实施例；

图6示出了本发明的第六实施例；

图7a至7d示出了本发明的一个实施例的处理。

具体实施方式

图1a和1b示出了本发明的第一实施例的截面和液压传递的概念。在图1a中，经由供应管110将进行喷射的流体填充在喷射室100中，供应管110连接到喷射室，且供应管和喷射室均通过第二衬底20中的凹槽并通过第一衬底10构成。供应管110与流体储液罐(未示出)连接。喷射室100具有在第一衬底10中蚀刻或钻孔的开口或喷嘴120且在一个侧面上由朝向开口120的第一隔膜310定界。还有去耦室200，耦室200液通过第二衬底20中的凹槽构成并充有可压缩气体(也可以是真空)，这种可压缩气体如空气。耦室200通过隔离物25与喷射室分离并在一个侧面上由第二隔膜420定界、在另一个朝向第二隔膜的侧面上由第一衬底10定界。第二隔膜420包括导电材料或一种或多种电气隔离材料层与构成第一电极的至少一种导电层的组合。传输室300通过第三衬底30中的凹槽构成，且第一隔膜310和第二隔膜420是传输室300的边界的一部分。传输室300充有相对不可压缩的流体，优选这种流体具有高介电常数，如蒸馏水。第二电极410附接到朝向第二隔膜的传输室的边界。在图1b中，将电压加在构成第一电极的第二隔膜420的部分与朝向第二隔膜420的第二电极410之间。第二隔膜420由第一电极和第二电极之间的静电力朝向电极410吸引，并将压力施加到传输室300内的不可压缩的流体。这种压力由这种不可压缩的流体衬底岛第一隔膜310。第一隔膜310在喷射室的体积内偏转，从而将压力施加到喷射室100内的进行喷射的流体并导致进行喷射的流体的液滴500从开口120喷射。在液滴500的喷射之后，将第二隔膜420与电极410之间的电压切断，且由于第二隔膜420的机械性能和/或与传输室300相比的去耦室200中的充气不足的原因，第二隔膜420基本上偏转回到示于图1a中的位置。将第二隔膜420的移动经由传输室300内的不可压缩的流体再次衬底岛第一隔膜310，且经由供应管110用进行喷射的流体再次填充喷射室100。可通过将供应管110打开或关闭的阀门(未示出)和/或流体储液罐中的确定正工作压力来支持这种喷射和再次填充程序。

图2示出了本发明的第二实施例的截面。有附接到去耦室200的另一种拉回电极430。在将液滴喷射之后将电压加在拉回电极430与构成第一电极的第二隔膜420的导电部分之间，且切断或降低第二电极410与构成第一电极的第二隔膜420的导电部分之间的电压(在喷射期间，在拉回电极430与构成第一电极的第二隔膜420的导电部分之间有极少的电压或无电压)。在拉回电极430与构成第一电极的第二隔膜420的导电部分之间的静电场支持第二隔膜420的后向偏转并能够使对喷射器件的流体动力学更好地进行控制并允许更快的工作循环。

图3示出了本发明的第三实施例的截面，图中所示出的构成第四电极的第一隔膜310的导电部分朝向第三电极440。同样可在已喷射流体之后通过加在构成第四电极的第一隔膜310的导电部分与第三电极440之间的电压支持第二隔膜420的后向偏转，且切断第二电极410与构成第一电极的第二隔膜420的导电部分之间的电压(在喷射期间，在第三电极440与构成第四电极的第一隔膜310的导电部分之间有极少或降低的电压)。将构成第四电极的第一隔膜310的导电部分朝向第三电极440吸引，从而在传输室300内的不可压缩的流体上施加压力。将这种压力衬底岛第二隔膜420，从而将第二隔膜420的后向偏转加速并能够使对喷射器件的流体动力学更好地进行控制并允许更快的工作循环。

图4示出了示于图3中的实施例的特殊实现的截面。构成第一电极的导电层460位于第二衬底20与第三衬底30之间。导电层460的一部分构成第一隔膜310和第二隔膜420。工作原理与图3相同，但可将构成第一电极的导电层460固定在一个电位，例如接地电位，且在构成第一电极的导电层460的电位与不同的电位之间切换朝向构成第一电极的导电层460的第二电极410和第三电极440，从而导致进行喷射的流体的喷射或喷射室100的再次填充。

图5示出了示于本发明的图4中的第四实施例和示于图2中的第二实施例的组合的截面。若构成第一电极的导电层460的电位(以及第二电极410的电位)不同于第三电极440和另外的拉回电极430的电位，则另外的拉回电极430同样支持第二隔膜420的后向偏转，第二隔膜420是构成第一电极的导电层460的一部分。

图6示出了本发明的第六实施例的截面。第四电极470延伸过喷射室100与去耦室200的边界、朝向构成第三电极的导电第一隔膜310并朝向构成第一电极的导电第二隔膜420。构成第三电极的导电第一隔膜310和构成第一电极的导电第二隔膜420朝向附接到传输室300的边界的第二电极490。若构成第三电极的导电第一隔膜310具有与第二电极490相同但与第四电极470和构成第一电极的导电第二隔膜420的电位不同的电位，则通过由构成第一电极的导电第二隔膜420的静电吸引所导致的压力将第一隔膜推到喷射室100的体积内，这种压力由传输室300内的不可压缩的流体传递并且还朝向第四电极470将这种压力静电吸引，从而增加施加到第一隔膜310的力并因此而增加施加到喷射室100内的进行喷射的流体的力，这样就产生更高的喷射速度。构成第三电极的导电第一隔膜310和构成第一电极的导电第二隔膜420的电位的切换导致朝向第二电极490的构成第三电极的导电第一隔膜310的吸引和朝向第四电极470的构成第一电极的导电第二隔膜420的吸引，从而导致如在由图5示出的第五实施例中所描述的喷射室100的再次填充。或者，可切换第二电极490和第四电极470的电位。

图7a至7d示出了流体喷射器件的一种处理方式。在图7a中，将用如Si、派热克斯玻璃(Pyrex glass)或石英制成的第三衬底30蚀刻以获得凹槽305和管111，淀积并构造Cr，从而产生具有导电连接445和415的第三电极440和第二电极410。通过电介质SiO₂层600的淀积将导电结构410、415、440和445隔离。用数字3标记经过处理的第三衬底30。将包括Si、Si₃N₄、SiO₂、聚酰亚胺或硅橡胶的隔膜层700和用如Cr制成的导电层465淀积在第二衬底20上。将导电层465、隔膜层700和第二衬底20蚀刻，以形成管112、第一电极460以及凹槽105和205，从而在一个侧面由隔膜层700如图7b所示的那样将凹槽105和205定界。用数字2标记经过处理的第二衬底20。在图7c中，将第一衬底10蚀刻以形成开口120和连接到开口120的凹槽113。用数字1标记经过处理的第一衬底10。图7d示出了三个经过处理的衬底1、2和3的组件。最终的器件相当于具有另外的隔离电介质SiO₂层600、另外的隔膜层700的示于图4中的第四实施例。由经过处理的衬底3定界的凹槽105和205构成喷射室100和去耦室200。由经过处理的衬底2定界的凹槽305在用不可压缩的流体填充并密封之后构成传输室300。供应管110由管111、112和凹槽113的一部分构成。

下面将就特定实施例并参考某些附图对本发明进行描述，但本发明并不限制在这些实施例和附图，而是由权利要求书限制。权利要求书中的任何附图标记不应解释为对范围进行限制。所描述的附图仅是示意性的且是非限制性的。在附图中，出于示范目的，可将一些要素的大小扩大且并不按比例绘制。用在本说明书和权利要求书中的示于“包括”并不排除其它要素或步骤。在指单数名词而使用不定冠词或定冠词如“一”、“一个”、“该”时，包括该名词的复数形式，除非另有特别说明。

此外，本说明书和权利要求书中的术语第一、第二、第三等用于在类似的要素之间进行区别，而不一定用于描述序列次序或序时次序。应理解，如此使用的这些术语在适当的情况下可以互换，且本说明书中所描述的本发明的实施例能够以不同于本说明书中所描述或示出的次序运行。

另外，本说明书和权利要求书中的术语顶部、底部、第一、第二等用于说明目的，而不一定用于描述相关的位置。应理解，如此使用的这些术语在适当的情况下可以互换，且本说明书中所描述的本发明的实施例能够以不同于本说明书中所描述或示出的取向运行。

Claims (13)

1.一种流体喷射器件，所述流体喷射器件包括：

喷射室(100)，所述喷射室(100)带有在所述喷射室的至少一个侧面上的至少一个开口(120)和覆盖所述喷射室的另一个侧面的第一隔膜(310)；

去耦室(200)，所述去耦室(200)与所述喷射室(100)分离并在一个侧面上由第二隔膜(420)覆盖；

传输室(300)，所述传输室(300)与所述喷射室(100)分离并与所述去耦室(200)分离且部分地由所述第一隔膜(310)和所述第二隔膜(420)定界，所述传输室(300)充有相对不可压缩的流体；以及

用于向所述第一隔膜(310)和/或所述第二隔膜(420)施加力的多个电极。

2.如权利要求1所述的流体喷射器件，其特征在于：所述喷射室(100)具有至少两个开口，第一开口(120)用于将流体从所述喷射室(100)喷出或抽运出，第二开口连接到供应管以用所述流体再次填充所述喷射室。

3.如权利要求1或2所述的流体喷射器件，其特征在于：将至少一个第一电极附接到所述第二隔膜(420)，且将至少一个第二电极(410)附接到所述传输室(300)的边界。

4.如权利要求3所述的流体喷射器件，其特征在于：将第三电极附接到所述第一隔膜(310)，且所述第二电极朝向所述第一隔膜(310)和所述第二隔膜(420)。

5.如权利要求3所述的流体喷射器件，其特征在于：将第三电极附接到朝向所述第一隔膜(310)的所述传输室(300)的边界，所述第二电极朝向所述第二隔膜(420)，所述第一电极(460)延伸过所述第一隔膜(310)和朝向所述第二电极和所述第三电极的所述第二隔膜(420)。

6.如权利要求3所述的流体喷射器件，其特征在于：将第三电极附接到朝向所述第一隔膜(310)的所述传输室(300)的边界，将第四电极附接到所述第一隔膜(310)，所述第二电极朝向述第二隔膜(420)。

7.如权利要求3所述的流体喷射器件，其特征在于：将至少一个拉回电极(430)附接到所述去耦室(200)的边界的侧面，且设有电压源以在附接到所述第二隔膜(420)的所述第一电极与所述拉回电极(430)之间施加电压，以能够将拉回静电力加到所述第二隔膜(420)。

8.如权利要求4、5或6所述的流体喷射器件，其特征在于：将至少一个电极(430、470)附接到所述喷射室(100)和/或所述去耦室(200)的边界的侧面并朝向附接到所述第一隔膜(310)和/或所述第二隔膜(420)的一个或多个电极，且设有电压源以在附接到所述第一隔膜(310)的所述电极与附接到所述喷射室(100)和/或所述去耦室(200)的边界的侧面的所述至少一个电极(430、470)之间，和/或在附接到所述第二隔膜(420)的电极与附接到所述喷射室(100)和/或所述去耦室(200)的边界的侧面的所述至少一个电极(430、470)之间施加电压，以能够将至少一种另外的静电力施加到所述第一隔膜(310)和/或所述第二隔膜(420)。

9.如权利要求1所述的流体喷射器件，其特征在于：填充在所述传输室(300)内的所述相对不可压缩的流体具有高介电常数。

10.一种打印***，所述打印***包括如前面的权利要求中的任一项所述的流体喷射器件。

11.一种用于驱动流体喷射器件的方法，所述流体喷射器件包括喷射室(100)、去耦室(200)和传输室(300)、将所述传输室(300)和所述喷射室(100)部分地定界的第一隔膜(310)、将所述去耦室(200)和所述传输室(300)部分地定界的第二隔膜(420)以及填充所述传输室的基本上不可压缩的流体，所述方法包括以下步骤：

通过多个电极向所述第二隔膜(420)施加力；

经由所述传输室(300)内的基本上不可压缩的所述流体将施加到所述第二隔膜(420)的力传递到所述第一隔膜(310)；

通过所述第一隔膜(310)将力加到填充在所述喷射室(100)内的进行喷射的流体；

穿过开口(120)将填充在所述喷射室(100)内的进行喷射的所述流体喷射。

12.将如权利要求1至9所述的流体喷射器件用于穿过所述喷射室(100)的至少一个开口(120)来喷射流体的用途，其特征在于：所述流体是用在喷射***中的液体药物。

13.将如权利要求1至9所述的流体喷射器件用于穿过所述喷射室(100)的至少一个开口(120)来喷射流体的用途，其特征在于：所述流体是用在打印***中的墨。

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