CN101389787A - 多前体分配装置 - Google Patents

Abstract

本发明涉及一种向制造工具分配多种前体的装置，该装置包括具有多个互连子歧管的流体歧管，以及多个储罐，每个储罐容纳有不同的前体，其中，每个所述子歧管连接到其中一个所述储罐上。一种向制造工具分配多种前体的***包括具有流体歧管和多个储罐的多前体分配器，每个储罐容纳不同的前体并且连接到流体歧管的不同子歧管，所述子歧管互连，该***还包括具有多个罐筒的制造工具流体处理器，每个罐筒容纳不同的前体，其中，第一分配器储罐与具有相同前体的第一工具罐筒连通，第二分配器储罐与具有相同前体的第二工具罐筒连通。在此还描述了相关的方法。

Description

多前体分配装置

背景技术

在化学输送工业的过程中，复杂的化学分配***和方法用于向例如薄膜沉积工具的制造工具(反应器)传输超纯、易反应的且通常有毒的液体化学产品或前体(母体，precursor)。例如，将薄膜传输到固体衬底的工具用于半导体、光学设备和产品、以及耐化学药品涂层的制造中。特别地，各种液体前体通过化学气相沉积(CVD)工艺施加到高级半导体电子器件上。化学分配***将包括液体前体的混合物输送到沉积工具中的反应器以便施加到半导体装置上。示例性前体沉积方法包括金属有机物CVD、原子层CVD、以及那些用于使用金属栅极和各种阻挡层的高介电常数栅极电介质的方法。

制造工具所需要的液体化学产品或前体保存在罐筒中。这种罐筒还可以由更大型的、分离的储罐供给，使得便于罐筒的连续再装填并使制造过程中的中断最少化。每个罐筒都需要控制器和气体/液体歧管以控制前体的流动，整个装置容纳在一个机壳内。这种用于前体罐筒的特殊机壳位于反应器附近的洁净室中，该洁净室的空间非常狭小且有限。对于单一前体沉积工艺，这种布置是完全可以接受的。

但是，工业的需求处于不断变化之中。逐渐地，随着制造商对这种产品的需求增加，更多的液体化学产品由化学输送***来处理和输送。另外更重要地，工业中开发了用于沉积工艺的多元化合物层压材料。为了沉积多元化合物层压材料，可能需要将两种、三种、四种或更多的前体同时供应到单个工具。多种前体中的每一种都需要单独的输送装置，包括用于处理各种前体的流体歧管或处理器，可能还有容纳各种前体及其流体处理器的特殊的机壳。所述额外的输送装置增加了***的占地面积和成本。将多个前体流体处理器或机壳设置在反应器附近的洁净室内是不切实际和不合乎需要的—洁净室中可用的狭小空间不能容纳多个前体处理器增加的占地面积。同样，将前体处理器与洁净室分开布置也是不切实际和不合乎需要的，因为这样做极大降低了来自罐筒的流速。罐筒的容积相对较小(例如，1升)，如果在罐筒和工具之间距离较大的话，罐筒将不能提供工具所需的合适流速。因此，工业上的需要，尤其是向单个工具供应多种前体的需要推动了现有化学输送***的发展。

发明内容

在本发明的一个实施例中，一种用于将多种前体分配到制造工具的装置包括具有多个互连子歧管的流体歧管，以及多个储罐，每个储罐容纳不同的前体，其中，每个所述子歧管连接于所述储罐中的一个。在本发明的另一实施例中，描述了一种将多种前体分配到制造工具中的方法。

在本发明的另一实施例中，一种将多种前体分配到制造工具的***包括：具有流体歧管和多个储罐的多前体分配器(multiple precursordispenser)，每个储罐容纳不同的前体并且连接到流体歧管的不同子歧管上，所述子歧管之间是互连的；具有多个罐筒的制造工具流体处理器，每个罐筒容纳不同的前体；其中，第一分配器储罐与具有相同前体的第一工具罐筒连通；且其中第二分配器储罐与具有相同前体的第二工具罐筒连通。在另一实施例中，描述了一种相关的***方法。

附图说明

为了更详细地描述本发明的优选实施例，下面将参考附图进行说明，其中：

图1A和1B是根据本发明的一个实施例的多前体分配器的示意图，其中，图1A描述了分配器的流体歧管部分，图1B描述了分配器的化学储罐部分；

图2是根据本发明的一个实施例的辅助单元的示意图；

图3是根据本发明的一个实施例的制造工具流体处理器的示意图；

图4A-4D是根据本发明的一个实施例的整个***的可选实施例的示意图，包括图1A和1B的多前体分配器、图2的辅助单元、以及图3的制造工具流体处理器。

具体实施方式

某些术语在整个说明书和权利要求中用于指代特定的***部件。本文不区分名字不同而功能相同的部件。

在以下的讨论和权利要求中，术语“包括”和“包含”以开放式限定方式使用，因此应该解释成“包括，但不限于...”。此外，术语“前体”在这里用于指代反应物质，其通过沉积工艺变成施加在半导体或其他制品上的层的部分。前体是具有中度或低度挥发性的活性且有毒的化合物，且对氧和水分的微量浓度具有高度敏感性。术语“前体”在这里更通常用于指代在此描述的沉积工艺中储存、输送和使用的化学产品。这里描述的各种部件通过管路或管线连接或连通，应当理解，术语“管路”或“管线”可包括管道、管子或其他用于输送气体及其液相等同物的装置。

参考图1A和1B，示意性显示了整体(bulk)多前体处理器或多分配器10。多分配器10被分成流体歧管部分(图1A)和化学储罐部分(图1B)，以增强示意性附图的可视性。多分配器10能同时处理一定数量的各种前体。例如，一种示例性分配器可处理两种到五种前体。在某些实施例中，分配器还处理溶剂、更多种前体、或其他化学产品。由于其反应特性，前体要求可靠且无污染的输送方式运送到使用地点。该多分配器10可用在高纯度液体输送***中，这种***的示例性实施例在这里参考图4A-4D进行描述。

如图1B所示，多分配器10包括外壳12，该外壳12容纳有第一供给源罐筒或母储罐14和第二供给源罐筒或母储罐16。第一母储罐14容纳第一前体，第二母储罐16容纳第二前体。根据制造工艺所需要的不同前体的数量，分配器10可包括附加储罐。根据在此给出的教导及本领域的普通技术人员的知识，母储罐14、16构造成容纳前体材料。母储罐还具有用于在此描述的工艺的合适的尺寸，例如，范围为15～20加仑。

图1A中清楚地示出，第一母储罐14连接到第一化学区块或前体子歧管18，第二母储罐16连接到第二化学区块或前体子歧管22。化学区块18用于母储罐14，将来自母储罐14的液体产品输送入处理管线或管路54。与此类似，化学区块22用于母储罐16，将来自母储罐16的液体产品输送入处理管线56。化学区块18、22在不同的维护过程，例如气体增压/降压、气体和真空清洗、溶剂冲洗、以及与在此的教导一致的其他过程中还用于进行必要的流体切换。

参见图1A，第一母储罐14还连接到第一气体区块或子歧管24，第二母储罐16连接到第二气体区块或子歧管26。气体区块24、26在需要时以间歇的方式向母储罐供应一种或多种加压气体，并在从母储罐输送化学产品过程中维持气体压力的精确设定。每个化学区块18、22和气体区块24、26都包括一系列压力调节器、压力传感器、止回阀、切断阀、孔口和图1所示的其他此类装置，并可共同称作分配器流体歧管。这些装置中的一部分将在下面更加充分地进行描述。但是，还有一部分这些装置不会详细描述，因为这些装置对于本领域技术人员是公知的，对它们进行描述不会有助于对在此描述的本发明的实施例有更清楚地理解。此外，压力调节器、阀和孔口的各种组合可以用于在此描述的本发明的实施例。本发明不应局限于在此描述的这类装置的组合，本领域技术人员将意识到本发明包括与这里的教导一致的其他组合方式。

仍参见图1A，已调节的和已过滤的气体管线28、30连接到气体区块24。所述气体区块24还包括压力调节器36、38，释放孔口40，切断阀42、44、46，以及止回阀48、50、52。母储罐14中的工艺压力通过压力调节器36、38和释放孔口40单独且独立地进行设定，并由切断阀48、50、52自动平衡。或者，根据母储罐所需要的设定压力范围和精度，孔口40可由计量阀或质量流量控制器代替。如果在气体区块24中的下游发生严重的部件失效，则止回阀48、50分别使供应气体管线28、30与带有微量液体产品的任何潜在污染相隔离。止回阀52避免了由来自下游化学区块18的排出流体导致的可能的污染。

类似地，气体管线32、34连接到气体区块26上，该气体区块包括与针对气体区块24所描述的装置一样的装置。具体地，气体区块26还包括压力调节器66、68，释放孔口70，切断阀72、74、76，以及止回阀78、80、82。这些装置系列的操作与气体区块24的那些相应装置相同。歧管12中可包括与这里的描述一致的其他气体区块，这根据多分配器10中包含的母储罐的数目而定。

仍参见图1A，气体区块24通过具有阀23的管路20连接到化学区块18上。化学区块18还包括一组阀84、86、88、90、92、94、96和孔口98。如图1B所示，在化学区块18和母储罐14之间设置有一组阀99、100、102。母储罐14中的液体产品由气体区块24通过具有常开阀86、99的管线104单独增压，而阀84、88是常闭的。通过将管线104连接到管线106，然后再连接到通风管线108，阀84允许管线104的压力释放。母储罐14中的液体产品在阀100打开，阀102闭合的情况下通过排出管线110抽取，并且进一步通过打开的阀90流入处理管线54中。在抽取过程中，阀88、92闭合。

有时，母储罐14几乎排空液体产品。这种几乎排空的状态由液位传感器检测，该液位传感器由传感器指示器51示意性表示。使用的实际传感器包括外部或内部传感器，以及连续或离散传感器。其他液位传感器对本领域技术人员为公知的并且与在此的教导一致。储罐14还可包括传感器53、55。在传感器51、53、55的布置中，传感器53作为“低位”传感器，用于指示储罐14可以更换或者再装填，但是不需要立即处理。如果需要的话，工具的工艺可以通过储罐14中剩余的少量前体供应来完成。传感器51用作“超低位”传感器，用于指示工具的工艺必须停止，因为储罐14没有包含足够的前体供应。传感器55用作“高位”传感器，用于指示储罐14是满的。母储罐16包括类似的传感器布置，包括超低位传感器57、低位传感器59以及高位传感器61。

当需要再装填和/或更换母储罐14时会发生转换过程/程序，其中从化学区块18中移走所述储罐。将***打开至环境条件会使***中的活性前体残留物暴露于大气成分，特别是氧和水分。因此，必须在打开***之前从管线中清洗残留物。大多数清洗可以使用气体和/或真空完成。对于通过这些方法没有去除的前体残留物，使用溶剂充分冲洗管线。暴露在活性前体中的化学区块18的某些部分采用合适的溶剂冲洗，溶剂在阀98、100闭合的情况下穿过阀92，并且进一步穿过打开的阀102进入排出管线112，该排出管线112通向废物管线114。溶剂冲洗由溶剂储罐和歧管实现，在本文的其他地方有详细描述和显示。废物管线114还能与通风管线108连通。废物管线114还包括阀116、118，通风管线108包括阀120。当阀116打开，而阀118、120闭合时，废物运送到废物储罐(在图2和图4A中显示，并且在本文的其他地方进一步详细描述)。或者，清洗气体穿过阀88进入化学区块18并进入阀102，且废物输送到废物储罐或通风管线108。如果废物通过打开的阀120进入通风管线108，那么，通过闭合阀122将废物引导入真空管线124。这些排空过程期间的残留压力由压力传感器126监控。

在母储罐14的转换过程中，当储罐未连接到化学区块18上时，通过打开的阀86、88维持惰性气体的引入(bleeding)。孔口98将引入气体的流动限制为希望的安全流速。

参考图1A和1B，第二气体区块26、第二化学区块22、以及第二母储罐16的布置基本上与前述第一气体区块24、第一化学区块18、以及第一母储罐14的布置相似。更具体地，气体区块26通过具有阀25的管路21连接到化学区块22。化学区块22还包括一组阀134、136、138、140、142和孔口144。在化学区块22和母储罐16之间设置有一组阀148、150、152。如前所述，母储罐16中的液体产品由气体区块26单独增压。母储罐16中的液体产品通过排出管线154抽取并进入处理管线56。管线158连接到共享管线106，然后再连接到共享的通风管线108。共享管线106允许流体处理器10的各个子歧管互相连接，并且与单个公共通风管线108连通。与附加的母储罐相关联的附加子歧管可以用相同的方式连接到共享管线106，因此也共享使用公共通风管线108。

如同前面关于母储罐14描述的那样，可以对母储罐16以及分配器10中包括的任意附加母储罐重复执行转换和管线排空过程。排出管线156将来自母储罐16的废物携带至前述共享废物管线114中。如前所述，所述共享废物管线114与分配器10的其他部分连通，并且提供了一公共管线，用于排出这里所涉及的各种互连化学子歧管的任意子歧管中的废物。

在流体处理器10的某些实施例中，气体区块24、26可以合并成一个单独的共享气体区块，其支持多个化学区块。参见图1A，这样一种公共气体区块看上去与气体区块24类似，不同之处在于气体区块26的大部分被去除，并且管线21从阀25的上方连接到阀23上方的管线20。如果流体处理器10用于供应另外的前体，那么，用于化学区块的气体供应管线将以这种方式连接到公共气体区块的主气体供应管线。所述公共气体区块为处理器10提供了共享气体增压子***。

现在参照图2，示意性显示了辅助模块或单元200。辅助模块200容纳于设置在与分配器10间隔一段距离的机壳202中，或者，辅助单元200与分配器10容纳在相同的外壳或机壳内。辅助单元200通过溶剂排出管线204与分配器10连通。通常，辅助单元200包括气体区块206、具有相关联的废物储罐子歧管210的废物储罐208、以及具有相关联的溶剂储罐子歧管214的溶剂储罐212。气体区块206与前述气体区块24、26具有相同的整体设计和功能。因此，除了需要完整描述辅助单元200的独立特征的地方之外，不需要详细描述气体区块206。辅助单元200的其中一项功能是实现分配器10的前述溶剂冲洗和废物特征。

在需要时，溶剂储罐212中的溶剂由始自气体区块206的气体迫使通过阀216、218进入溶剂供应管线204中。溶剂穿过供应管线204进入分配器10的公共溶剂供应管线204中(图1A和4B)，然后，溶剂穿过阀94进入共享的分配器溶剂管线160，或者穿过阀96进入工具溶剂供应管线204。因此，公共溶剂供应管线204允许辅助单元200支持分配器10以及工具的流体处理器300。在分配器10中，共享的管线160供应分配器的所有化学区块。

液体溶剂压力由压力传感器220监控。当溶剂储罐212接近排空时，如通过与本文教导一致的低液位传感器215和超低液位传感器213检测的那样，则类似于前述转换过程更换该溶剂储罐。在溶剂储罐212断开前，溶剂储罐子歧管214的液体支线(通常显示为液体管线222)用清洁气体清洗并排空。当溶剂储罐212断开时，该液体支线和气体支线(通常显示为气体管线224)均被引入惰性气体。在新的溶剂储罐连接之后以及任意储罐阀打开之前，两个支线都在管线228处进行真空清洗以便去除管线中的微量大气污染物。

公共废物管线114用于将废液，例如冲洗的溶剂、化学产品或二者的组合物从多分配器10以及沉积工具输送到废液储罐208。通过打开分配器10的阀118、116(图1B和图4D)和辅助单元200的阀230、232(图2和图4A)，同时闭合辅助单元的阀234、236、238，通风管线226用于将分配器和工具中的废物和清洗气体排出。因此，公共真空子***在互连的分配器模块、工具模块以及辅助模块之间共享。当需要时，废物管线114通过打开的阀230、234和真空管线228排空，同时阀232、236、238闭合。

分配器10和辅助单元200的不同部件和操作均由控制器控制。该控制器在这里没有具体显示或描述，因为这种能适用于在此描述的各种实施例的控制器在工业中广泛可见。该控制器构造成独立于其他储罐-歧管组合地控制每个储罐-歧管组合(例如，母储罐14和化学区块18/气体区块24，或溶剂储罐212和歧管214/气体区块206)。因此，每种前体独立于其他前体进行处理和分配，并且向制造工具提供各种前体的整个过程很灵活。例如，可以在某时提供一种前体，或者同时提供多种前体。此外，当其他母储罐正在供应前体材料时可以更换一个或多个母储罐。

现在参见图3，示意性显示了一种用于沉积或制造工具的化学供应***或流体处理器300。流体处理器300包括工具外壳302，例如，其可以是一个或多个制造或生产车间。流体处理器300还包括具有相关联的化学歧管308的第一日用储罐306、具有相关联的化学歧管312的第二日用储罐310、以及具有相关联的化学歧管316的溶剂日用储罐314。处理器300可以根据需要包括更多组日用储罐和化学歧管，以满足制造工艺及其所需的前体数目。储罐306、310、314构造成与在此的教导一致，包括在此描述的其他储罐。储罐306、310、314可以具有不同的尺寸，包括例如比母储罐14、16小20或30倍，例如小于2升。母储罐远大于日用储罐，因此，母储罐还可以称作源容器，而日用储罐还可以称作定量罐筒。

前述多前体分配单元10和辅助单元200用于支持工具的流体处理器300。日用储罐306和歧管308的组合与前体化学产品管线54连通。日用储罐310和歧管312的组合与前体化学产品管线56连通。溶剂日用储罐314和歧管316的组合与共享的溶剂供应管线204连通，在互连的分配器、辅助单元和工具单元之间提供公共的溶剂子***。公共的废物管线114在所有这三个单元之间支持公共的废物子***。如前所述，公共的废物管线114还与辅助单元200的通风管线226和真空管线228连通以提供共享的真空子***。因此，需要多种前体的工具的流体处理器由单个的、模块化的、优化的多前体分配器供应。在刚才描述的布置中，工具的流体处理器和分配器还由单个模块化的溶剂和废物单元支持，该单元单独设置或与分配器一起设置。

通常，金属有机物CVD或原子层沉积工具包括紧靠处理室的定量罐筒，由此允许更好地控制前体的传输。本发明的前述实施例很适合于这些工具，并且还避免多余且昂贵的定量罐筒。但是，在某些实施例中，分配器10适于包括工具流体处理器300的定量罐筒306、310、314。分配器外壳12构造成容纳图3所示的储罐-歧管组合以便连续地供应外部目标工艺工具或工具，同时仍然提供模块化的和集成的流体处理器，该流体处理器通过在此描述的共享管线共享溶剂、废物、真空、以及——对于某些实施例而言——气体增压子***。

分配器10、辅助单元200以及流体处理器300的区块或子歧管和各种其他部件中以及它们之间的连接管线设计成保持在此描述的化学物。例如，管线可以由高纯度不锈钢钢管制成。例如，在此描述的切断阀可以是高纯度无弹簧隔膜阀。

参考图4A-4D，示意性显示了用于多种化学产品的集成液体输送***400。图4A-4D显示了完整的集成***，不过，为了清楚起见而分页显示。***400包括前述模块化多分配器10(参见图4B和4D)，该模块化多分配器10通过公共溶剂供应管线204和公共废物管线114连接到模块化辅助单元200上。该***还包括工具的流体处理器300(参见图4C)，该流体处理器300通过公共溶剂供应管线204、第一前体管线54、第二前体管线56、以及公共废物管线114连接到分配器10上。所述分配器10可以靠近处理器300设置，例如在邻近工具的洁净室中，或位于与该处理器间隔相当一段距离处。相对于日用储罐，大容量化学储罐允许在很远的距离内维持液体产品的流速。处理器300还通过公共溶剂供应管线204和公共废物管线114连接到辅助单元200(参见图4A)。处理器300仅代表整个制造工具(未示出)的一部分，工具的其他部分对于本领域技术人员是显而易见的，因此对于这里实施例的完整描述不是必需的。

在操作中，集成***400由具有算法的控制器(未示出)控制，该控制器控制多个单元之间的连通并且使集成***完整。如前所述，该***的多个单元通过各种共享的部件连通。任何组合方式的控制器和不同单元具有它们共享的部件，使集成***能作为模块化工具执行操作。该控制器可以是与在此的教导一致的各种控制器中的任何一种，并且可以设置在各种位置，例如，包括分配器10或流体处理器300中。如果该控制器设置在工具的流体处理器300中或者附近，那么，分配器10中会设置界面供用户更换分配器10中的储罐，或者与分配器10或辅助单元200交互。该控制器适于与***400的各种子***通信，其通信方式使得储罐能互相独立地操作，如前所述。或者，如果在工具和分配器中使用分开的控制器，则所述控制器相互通信，使得工具知道/了解何时更换化学储罐，以及分配器知道何时工具需要前体。

控制算法的一部分是再装填算法，其中，给出指示以单独再装填设置在工具处理器中的前体日用储罐306、310和溶剂日用储罐314。分配器10的母储罐14、16供应前体，辅助单元200的溶剂供应储罐212供应工艺溶剂。对于每个日用储罐而言，再装填由安装在每个日用储罐上或内部的合适的液位控制传感器启动。例如，控制传感器可以是与在此描述的其他传感器一致的低液位指示器。再装填流动由母储罐的设定压力与每个相应日用储罐的设定压力之间的压力差维持，所述设定压力都是自动控制的。自动选择所需要的压力差，以便提供快速再装填，同时，日用储罐中的压力不会被扰乱，特别是当化学产品被同时从日用储罐抽取到工具的处理管线(以及进入工具的注入***)时。

当日用储罐液位指示器例如高化学液位指示器指示日用储罐充满时，再装填过程停止。例如，日用储罐传感器包括内部传感器，例如浮力、超声波、电容和差压传感器，以及包括外部传感器，例如超声波和光学传感器。日用储罐传感器也可以是连续的或离散的。

母储罐中的前体或溶剂的残余量也由控制器算法监控。母储罐可以连续地或离散地监控。例如，母储罐包括外部传感器，例如称重和超声波传感器。母储罐还可以包括内部传感器，例如前面提及的那些传感器。当母储罐传感器指示“低液位”信号时，启动储罐更换过程。该过程包括本领域技术人员公知的并且与在此的教导一致的那些过程。

废物储罐208中的废物液位由控制器和废物储罐液位控制传感器209、211监控。废物储罐传感器与此处给出的教导一致。当废物储罐传感器指示“高位”水平时，根据本领域技术人员公知的并且与在此的教导一致的原理执行废物储罐更换过程。

在此描述的多分配器10的实施例提供了一种用于向目标处理工具连续供应多种前体的模块化的、集成的多化学物流体处理器。如同这里所示的，分配器10还可以与其他模块结合以提供用于储存和向工具的流体处理器输送前体的***，从而制造工具能成功地和连续地接收用于多化合物层压件的沉积的多种前体。

上面的讨论用于例示本发明的原理和各种实施例。尽管已经显示和描述了本发明的优选实施例及其使用方法，本领域技术人员在不脱离本发明的教导的情况下可以对其进行修改。在此描述的实施例仅仅是示例性的，而不是用于限制。在此公开的本发明以及装置和方法的很多变型和修改都是可能的，并且都在本发明的范围之内。相应地，保护范围不限于上面的描述，而是仅仅由后面所附的权利要求加以限定，所述范围包括权利要求的主题的所有等同物。

Claims (38)

1.一种向制造工具分配多种前体的装置，包括：

具有多个互连子歧管的流体歧管；

多个储罐，每个储罐容纳不同的前体；并且

其中，每个所述子歧管连接到其中一个所述储罐。

2.根据权利要求1所述的装置，其特征在于，所述流体歧管还包括连接到所述多个储罐中的每一个上的前体子歧管，所述前体子歧管互连。

3.根据权利要求2所述的装置，其特征在于，所述前体子歧管通过共享溶剂供应管线和共享废物管线中的至少任何一个互连。

4.根据权利要求2所述的装置，其特征在于，所述流体歧管还包括连接到所述前体子歧管中的每一个上的增压气体子歧管，所述增压气体子歧管互连。

5.根据权利要求4所述的装置，其特征在于，所述增压气体子歧管通过至少公共通风管线互连。

6.根据权利要求2所述的装置，其特征在于，所述流体歧管还包括连接到所述前体子歧管中的每一个上的单个增压气体子歧管。

7.根据权利要求1所述的装置，其特征在于，所述多个储罐包括显著大于制造工具的流体处理器的定量罐筒的源容器。

8.根据权利要求1所述的装置，其特征在于，所述装置还包括辅助单元，该辅助单元包括：

从所述互连子歧管接收废物的废物储罐；以及

向所述互连子歧管供应溶剂的溶剂储罐。

9.根据权利要求8所述的装置，其特征在于，所述废物储罐还通过与所述互连子歧管共享的废物管线从制造工具的流体处理器接收废物，所述溶剂储罐还通过与所述互连子歧管共享的溶剂供应管线向所述流体处理器供应溶剂。

10.根据权利要求1所述的装置，其特征在于，所述储罐中的每一个均包括至少一个液位传感器。

11.根据权利要求10所述的装置，其特征在于，所述储罐中的每一个均包括多个液位传感器，该液位传感器包括低位传感器、超低位传感器以及高位传感器。

12.根据权利要求1所述的装置，其特征在于，所述装置还包括与所述流体歧管以及所述多个储罐中的每一个通信的控制器。

13.根据权利要求12所述的装置，其特征在于，所述控制器与子歧管和储罐组合中的每一个通信，使得每一个所述储罐均可以独立于任何其他所述储罐操作。

14.一种向制造工具分配多种前体的方法，包括：

提供流体歧管和多个储罐，每个储罐容纳不同的前体，其中，所述流体歧管还包括多个互连的子歧管，每个所述子歧管连接到其中一个所述储罐；

检测制造工具的流体处理器中的低前体液位；以及

独立于任何其他所述储罐从其中一个所述储罐中分配前体。

15.根据权利要求14所述的方法，其特征在于，所述方法还包括通过共享管线从所述互连子歧管排出流体。

16.根据权利要求14所述的方法，其特征在于，所述方法还包括通过共享供应管线向所述互连子歧管供应流体。

17.根据权利要求15所述的方法，其特征在于，所述方法还包括：

将废气从多个互连增压气体子歧管传送到共享通风管线；以及

通过共享废物管线将废液从多个互连前体子歧管传送到辅助单元。

18.根据权利要求16所述的方法，其特征在于，所述方法还包括通过共享溶剂管线将溶剂从辅助单元供应到多个互连前体子歧管。

19.根据权利要求14所述的方法，其特征在于，所述方法还包括通过共享废物管线将废物从所述制造工具的流体处理器至所述流体歧管传送至辅助单元。

20.根据权利要求19所述的方法，其特征在于，所述方法还包括检测所述废物的高液位并且更换废物储罐。

21.根据权利要求14所述的方法，其特征在于，所述方法还包括通过共享溶剂管线将溶剂从辅助单元供应到所述流体歧管和所述制造工具的流体处理器中的任一个。

22.根据权利要求14所述的方法，其特征在于，所述方法还包括检测所述储罐中的至少一个的低液位并且更换所述低液位储罐。

23.根据权利要求22所述的方法，其特征在于，所述方法还包括在更换所述低液位储罐之前，用来自辅助单元的溶剂冲洗所述低液位储罐的子歧管。

24.根据权利要求14所述的方法，其特征在于，所述方法还包括连续控制所述流体歧管和所述储罐，以便向所述制造工具的流体处理器供应所述多种不同的前体。

25.一种向制造工具分配多种前体的***，包括：

具有流体歧管和多个储罐的多前体分配器，每个储罐容纳不同的前体并连接到所述流体歧管的不同子歧管，所述子歧管互连；

具有多个罐筒的制造工具流体处理器，每个罐筒容纳不同的前体；

其中，第一分配器储罐与具有相同前体的第一工具罐筒连通；以及

其中，第二分配器储罐与具有相同前体的第二工具罐筒连通。

26.根据权利要求25所述的***，其特征在于，所述子歧管通过共享通风管线、共享废物管线以及共享溶剂管线中的任一个互连。

27.根据权利要求25所述的***，其特征在于，所述***还包括：

连接到所述第一分配器储罐和共享废物管线的第一子歧管；

连接到所述第二分配器储罐和所述共享废物管线的第二子歧管；以及

其中，所述第一和第二子歧管将增压气体传送到所述分配器储罐，接收来自所述分配器储罐的前体，并且将废物传送到所述共享废物管线。

28.根据权利要求27所述的***，其特征在于，所述***还包括连接到所述第一和第二子歧管上的共享溶剂管线。

29.根据权利要求27所述的***，其特征在于，所述***还包括连接到所述第一和第二子歧管中的每一个的增压气体子歧管，所述增压气体子歧管通过共享通风管线互连。

30.根据权利要求25所述的***，其特征在于，所述***还包括辅助单元，该辅助单元包括以下装置中的任意一个：

废物储罐，该废物储罐通过与所述互连子歧管共享的废物管线从所述分配器和所述制造工具流体处理器接收废物；以及

溶剂储罐，该溶剂储罐通过与所述互连子歧管共享的溶剂管线向所述分配器和所述制造工具流体处理器供应溶剂。

31.根据权利要求25所述的***，其特征在于，所述***还包括：

在所有所述储罐上的至少一个液位传感器；以及

与所有所述传感器通信、以便独立于任意其他所述储罐操纵各个所述储罐的控制器。

32.一种向制造工具分配多种前体的方法，包括：

提供制造工具，该制造工具包括具有多个前体罐筒的流体处理器；

提供连接到所述制造工具的多前体分配器，所述分配器包括具有互连子歧管的流体歧管和多个储罐；

检测制造工具中的低前体液位；

从所述分配器向所述制造工具分配第一前体；以及

从所述分配器向所述制造工具分配第二前体。

33.根据权利要求32所述的方法，其特征在于，所述方法还包括：

从所述分配器向所述制造工具连续分配多种前体，以及独立于任何其他前体地分配每一种前体。

34.根据权利要求33所述的方法，其特征在于，所述方法还包括：

在从所述分配器向所述制造工具分配第一前体的同时，将容纳所述第二前体的储罐从所述分配器上断开；并且

更换所述储罐。

35.根据权利要求32所述的方法，其特征在于，所述方法还包括通过共享管线从所述互连子歧管排出流体。

36.根据权利要求35所述的方法，其特征在于，所述方法还包括：

通过共享通风管线从多个互连增压气体子歧管传送废气；以及

通过共享废物管线将废液从多个互连前体子歧管和所述制造工具传送到辅助单元。

37.根据权利要求32所述的方法，其特征在于，所述方法还包括通过共享管线向所述互连子歧管供应流体。

38.根据权利要求37所述的方法，其特征在于，所述方法还包括通过共享溶剂供应管线从辅助单元向多个互连前体子歧管和所述制造工具传送溶剂。

Images