CN101324753A - 用于形成着色层的放射线敏感性组合物、滤色器和彩色液晶显示元件 - Google Patents
用于形成着色层的放射线敏感性组合物、滤色器和彩色液晶显示元件 Download PDFInfo
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Abstract
本发明涉及用于形成着色层的放射线敏感性组合物,其含有着色剂、碱溶性树脂、多官能性单体以及光聚合引发剂,碱溶性树脂含有如下共聚物,所述共聚物是将含有选自不饱和羧酸或其酸酐和不饱和酚化合物的至少一种、和N-位取代马来酰亚胺而成的聚合性混合物在1分子中具有2个以上硫醇基的化合物的存在下聚合得到的。该组合物即使曝光量低,也可以得到不产生残膜率降低、图案缺损或侧壁腐蚀,而且耐溶剂性、与基板的密合性等优异的像素和黑底,另外在高浓度地含有颜料的条件下,作为液态组合物的保存稳定性也优异。
Description
技术领域
本发明涉及用于形成着色层的放射线敏感性组合物、滤色器和彩色液晶显示元件,更详细地说,涉及用于形成着色层的放射线敏感性组合物,该着色层用于在透射型或者反射型的彩色液晶显示装置、彩色摄像管元件等中使用的滤色器;具有使用该放射线敏感性组合物形成的着色层的滤色器;以及具备该滤色器的彩色液晶显示元件。
背景技术
以往,已知使用着色放射线敏感性组合物制造滤色器时,在基板上或者在预先形成所期望的图案的遮光层的基板上涂布着色放射线敏感性组合物并干燥,然后对干燥涂膜按所期望的图案形状照射放射线(以下称为“曝光”),进行显影,从而得到各种颜色的像素的方法(参见日本特开平2-144502号公报和日本特开平3-53201号公报)。
此外,近年来,在滤色器的技术领域中,主流是降低曝光量、缩短生产节拍时间,要求以低曝光量形成的像素和黑底在图案形状、耐溶剂性、与基板的密合性等方面优异。在日本特开平10-31308号公报、日本特开平10-300922号公报等中,提出了应提高显影性或耐热性,在着色放射线敏感性组合物中可以含有N位-取代马来酰亚胺单体的共聚物的方案。但是对于该着色放射线敏感性组合物,如果曝光量减少,则显影后残膜率降低、易于产生图案缺损或侧壁腐蚀(アンダ一カツト)、由于与基板的密合性不足图案易于从基板剥离等,因此,难以在缩短生产节拍时间的同时,获得良好图案形状的像素和黑底。
发明内容
本发明的目的在于提供新型的用于形成着色层的放射线敏感性组合物,其即使曝光量低,也可以得到不产生残膜率降低、图案缺损或侧壁腐蚀,而且耐溶剂性、与基板的密合性等优异的像素和黑底,另外在高浓度地含有颜料的条件下,作为液态组合物的保存稳定性也优异。
本发明的其他目的在于提供具有由本发明的放射线敏感性组合物形成的着色层的滤色器和具备该滤色器的彩色液晶显示元件。
本发明的进一步的目的和优点将在下面说明。
根据本发明,本发明的上述目的和优点是通过如下第1方面实现的,
放射线敏感性组合物,其含有(A)着色剂、(B)碱溶性树脂、(C)多官能性单体、以及(D)光聚合引发剂,其用于形成着色层,其特征在于:(B)碱溶性树脂含有如下聚合物,所述聚合物具有:选自酸性官能团和酸酐基团的至少一种、下述式(1)表示的重复单元、以及下述式(2)表示的基团。
(式(1)中,R7表示碳原子数1~12的烷基或碳原子数6~12的芳基),
(式(2)中,X表示n价的有机基团,R8表示亚甲基或碳原子数2~6的亚烷基,n表示2~10的整数,“*”表示连接键)。
本发明中,所谓着色层是指“含有像素和/或黑底的层”。
根据本发明,本发明的上述目的和优点是通过如下第2方面实现的,
滤色器,其具备使用本发明的用于形成着色层的放射线敏感性组合物形成的着色层。
根据本发明,本发明的上述目的和优点是通过如下第3方面实现的,
彩色液晶显示元件,其具备上述滤色器。
具体实施方式
以下对本发明进行详细说明。
用于形成着色层的放射线敏感性组合物
-(A)着色剂-
本发明的着色剂对色调没有特别的限定,可以根据所得滤色器的用途适当选定。颜料、染料或者天然色素均可。
滤色器要求高精细的显色和耐热性,因此作为本发明的着色剂,优选显色性高且耐热性高的着色剂,特别优选耐热分解性高的着色剂,优选使用有机颜料或无机颜料,特别优选使用有机颜料、炭黑。
作为上述有机颜料,可以举出例如在颜色索引中分类为颜料的化合物,具体可以举出下述带有颜色索引(C.I.)编号的化合物。
C.I.颜料黄12、C.I.颜料黄13、C.I.颜料黄14、C.I.颜料黄17、C.I.颜料黄20、C.I.颜料黄24、C.I.颜料黄31、C.I.颜料黄55、C.I.颜料黄83、C.I.颜料黄93、C.I.颜料黄109、C.I.颜料黄110、C.I.颜料黄138、C.I.颜料黄139、C.I.颜料黄150、C.I.颜料黄153、C.I.颜料黄154、C.I.颜料黄155、C.I.颜料黄166、C.I.颜料黄168、C.I.颜料黄180、C.I.颜料黄211;
C.I.颜料橙5、C.I.颜料橙13、C.I.颜料橙14、C.I.颜料橙24、C.I.颜料橙34、C.I.颜料橙36、C.I.颜料橙38、C.I.颜料橙40、C.I.颜料橙43、C.I.颜料橙46、C.I.颜料橙49、C.I.颜料橙61、C.I.颜料橙64、C.I.颜料橙68、C.I.颜料橙70、C.I.颜料橙71、C.I.颜料橙72、C.I.颜料橙73、C.I.颜料橙74;
C.I.颜料红1、C.I.颜料红2、C.I.颜料红5、C.I.颜料红17、C.I.颜料红31、C.I.颜料红32、C.I.颜料红41、C.I.颜料红122、C.I.颜料红123、C.I.颜料红144、C.I.颜料红149、C.I.颜料红166、C.I.颜料红168、C.I.颜料红170、C.I.颜料红171、C.I.颜料红175、C.I.颜料红176、C.I.颜料红177、C.I.颜料红178、C.I.颜料红179、C.I.颜料红180、C.I.颜料红185、C.I.颜料红187、C.I.颜料红202、C.I.颜料红206、C.I.颜料红207、C.I.颜料红209、C.I.颜料红214、C.I.颜料红220、C.I.颜料红221、C.I.颜料红224、C.I.颜料红242、C.I.颜料红243、C.I.颜料红254、C.I.颜料红255、C.I.颜料红262、C.I.颜料红264、C.I.颜料红272;
C.I.颜料紫1、C.I.颜料紫19、C.I.颜料紫23、C.I.颜料紫29、C.I.颜料紫32、C.I.颜料紫36、C.I.颜料紫38;C.I.颜料蓝15、C.I.颜料蓝15:3、C.I.颜料蓝15:4、C.I.颜料蓝15:6、C.I.颜料蓝60、C.I.颜料蓝80;C.I.颜料绿7、C.I.颜料绿36、C.I.颜料绿58;C.I.颜料棕23、C.I.颜料棕25;C.I.颜料黑1、C.I.颜料黑7。
这些有机颜料例如可以通过硫酸重结晶法、溶剂洗涤法、盐磨法或它们的组合等精制而使用。
这些有机颜料之中,优选选自C.I.颜料黄83、C.I.颜料黄139、C.I.颜料黄138、C.I.颜料黄150、C.I.颜料黄180、C.I.颜料红166、C.I.颜料红177、C.I.颜料红242、C.I.颜料红254、C.I.颜料蓝15:3、C.I.颜料蓝15:4、C.I.颜料蓝15:6、C.I.颜料绿7、C.I.颜料绿36、C.I.颜料绿58;C.I.颜料紫23、C.I.颜料蓝60和C.I.颜料蓝80的至少1种。
作为上述无机颜料可列举例如氧化钛、硫酸钡、碳酸钙、锌白、硫酸铅、铅黄、锌黄、氧化铁红(红色氧化铁(III))、镉红、群青、普鲁士蓝、氧化铬绿、钴绿、棕土、钛黑、氧化铁黑(合成铁黑)、炭黑等。
在本发明中,上述有机颜料和无机颜料可以分别单独使用,或者2种以上混合使用,也可以一起使用有机颜料和无机颜料。在形成像素时,优选使用1种以上的有机颜料,在形成黑底时,优选使用2种以上的有机颜料和/或炭黑。
在本发明中,根据需要,可以用聚合物对上述各颜料的粒子表面进行改性来使用。作为对颜料的粒子表面进行改性的聚合物,可以举出例如特开平8-259876号公报等中记载的聚合物、市售的各种分散颜料用的聚合物或低聚物等。
在本发明中,根据需要,着色剂可以和分散剂一起使用。
作为上述分散剂,例如,可以使用阳离子型、阴离子型、非离子型或两性等适当的分散剂,优选聚合物分散剂。具体地,可以举出改性丙烯酸系共聚物、丙烯酸系共聚物、聚氨酯、聚酯、高分子共聚物的烷基铵盐或磷酸酯盐、阳离子型梳型接枝聚合物等。在此,阳离子型梳型接枝聚合物是指在具有多个碱性基团(阳离子型官能团)的主干聚合物1分子中,接枝键合2分子以上的分支聚合物得到的结构的聚合物,例如可以举出,由主干聚合物部分为聚乙烯胺、分支聚合物部分为ε-己内酯的开环聚合物构成的聚合物。在这些分散剂中,优选改性丙烯酸系共聚物、聚氨酯、阳离子型梳型接枝聚合物。
这样的分散剂可以通过商业途径得到,例如可以举出作为改性丙烯酸系共聚物有,Disperbyk-2000、Disperbyk-2001(以上、ビツクケミ一(BYK)社制);作为聚氨酯有,Disperbyk-161、Disperbyk-162、Disperbyk-165、Disperbyk-167、Disperbyk-170、Disperbyk-182、(以上、ビツクケミ一(BYK)社制);ソルスパ一ス76500(ル一ブリゾル(株)制);作为阳离子型梳型接枝聚合物有,ソルスパ一ス24000、ソルスパ一ス37500(ル一ブリゾル(株)制)、アジスパ一PB821、アジスパ一PB822、アジスパ一PB880(味之素フアインテクノ(株)制)等。
这些分散剂可以单独使用也可以混合2种以上使用。相对于(A)着色剂100重量份,分散剂的含量通常为100重量份以下,优选0.5~100重量份,更优选1~70重量份,特别优选10~50重量份。此时,如果分散剂的含量超过100重量份,则会有损害显影性等的可能。
-(B)碱溶性树脂-
本发明中的碱溶性树脂含有如下聚合物(以下称为“聚合物(B)”),所述聚合物具有:选自酸性官能团和酸酐基团的至少一种、上述式(1)表示的重复单元、以及上述式(2)表示的基团。碱溶性树脂相对于(A)着色剂作为粘合剂而起作用,且相对于在形成着色层时的显影处理工序中使用的碱显影液具有可溶性。
上述式(1)中,R7的碳原子数1~12的烷基例如可以举出甲基、乙基、正丙基、异丙基、正丁基、异丁基、仲丁基、叔丁基、正戊基、正己基、正庚基、正辛基、正壬基、正癸基、正十一烷基、正十二烷基、环戊基、环己基等。R7的碳原子数6~12的芳基例如可以举出苯基、邻甲苯基、间甲苯基、对甲苯基、1-萘基、2-萘基等。上述式(1)中的R7优选环己基、苯基等,特别优选苯基。
上述式(2)表示的基团例如可以举出下述式(3)表示的基团。
(式(3)中,Y表示n价的有机基团,R8和n与式(2)中的R8和n意义相同,“*”表示连接键)。
上述式(2)和(3)中,R8的碳原子数2~6的亚烷基优选碳原子数2~6的直链状亚烷基、下述式(R8)表示的基团等。
(式(R8)中,R10表示单键、亚甲基或碳原子数2~4的直链状亚烷基,“*”表示与S键合的连接键)。
上述式(2)和(3)中,n优选为2~8,更优选2~6。上述式(3)中,Y优选为碳原子数2~20的亚烷基、下述式(Y-1)~(Y-6)表示的基团等。
(在式(Y-1)中,R11表示亚乙基或亚丙基,m表示1~20的整数。在式(Y-6)中,R12相互独立地表示亚甲基或碳原子数2~6的亚烷基。在全部式中,“*”表示连接键)。
作为聚合物(B),例如可以举出以下共聚物(以下称为“共聚物(B1)”),所述共聚物是将含有(b1)选自不饱和羧酸、不饱和羧酸酐和不饱和酚化合物(以下将这些混合物总称为“不饱和化合物(b1)”)的至少一种、和(b2)下述式(4)表示的化合物(以下称为“不饱和化合物(b2)”)而成的聚合性混合物在下述式(5)表示的化合物的存在下聚合得到的
(式(4)中,R7与式(1)中的R7意义相同),
(式(5)中,X、R8和n与式(2)中的X、R8和n意义相同)。在不饱和化合物(b1)中,不饱和羧酸和不饱和羧酸酐可以例举:(甲基)丙烯酸、巴豆酸、α-氯丙烯酸、肉桂酸等不饱和单羧酸;
马来酸、马来酸酐、富马酸、衣康酸、衣康酸酐、柠康酸、柠康酸酐、中康酸等不饱和二羧酸或其酸酐;
3元以上的不饱和多元羧酸或其酸酐;
琥珀酸单[2-(甲基)丙烯酰氧基乙基]酯、邻苯二甲酸单[2-(甲基)丙烯酰氧基乙基]酯等2元以上的多元羧酸的单[(甲基)丙烯酰氧基烷基]酯;
ω-羧基聚己内酯单(甲基)丙烯酸酯等两末端具有羧基和羟基的聚合物的单(甲基)丙烯酸酯等。
在这些不饱和羧酸、不饱和羧酸酐中,琥珀酸单(2-丙烯酰氧基乙基)酯和邻苯二甲酸单(2-丙烯酰氧基乙基)酯分别以ライトステルHOA-MS和ライトステルHOA-MPE(共荣社化学(株)制)的商品名市售。
上述不饱和酚化合物可以例举:例如
邻乙烯基苯酚、间乙烯基苯酚、对乙烯基苯酚、2-甲基-4-乙烯基苯酚、3-甲基-4-乙烯基苯酚、邻异丙烯基苯酚、间异丙烯基苯酚、对异丙烯基苯酚等不饱和酚类;2-乙烯基-1-萘酚、3-乙烯基-1-萘酚、1-乙烯基-2-萘酚、3-乙烯基-2-萘酚、2-异丙烯基-1-萘酚、3-异丙烯基-1-萘酚等不饱和萘酚类等。
本发明中,不饱和化合物(b1)优选(甲基)丙烯酸、对乙烯基苯酚等,特别优选(甲基)丙烯酸。
作为不饱和化合物(b2),例如,可以举出
N-苯基马来酰亚胺、N-邻羟基苯基马来酰亚胺、N-间羟基苯基马来酰亚胺、N-对羟基苯基马来酰亚胺、N-苄基马来酰亚胺、N-环己基马来酰亚胺、N-琥珀酰亚胺基-3-马来酰亚胺苯甲酸盐、N-琥珀酰亚胺基-4-马来酰亚胺丁酸盐、N-琥珀酰亚胺基-6-马来酰亚胺己酸盐、N-琥珀酰亚胺基-3-马来酰亚胺丙酸盐、N-(吖啶基)马来酰亚胺等。
这些N-位取代马来酰亚胺之中,优选N-苯基马来酰亚胺、N-环己基马来酰亚胺等,特别优选N-苯基马来酰亚胺。
在共聚物(B1)中、不饱和化合物(b2)可以单独使用,也可以混合2种以上使用。
本发明中,除了不饱和化合物(b1)和不饱和化合物(b2)以外,共聚物(B1)的合成中使用的聚合性混合物还可以含有能够与它们共聚的其他不饱和化合物。
作为上述其他不饱和化合物,优选选自(b3)具有氧杂环丁烷骨架的不饱和化合物(以下称为“不饱和化合物(b3-1)”)和具有四氢呋喃骨架的不饱和化合物(以下称为“不饱和化合物(b3-2)”)(以下将这些化合物总称为“不饱和化合物(b3)”)的至少一种。
作为不饱和化合物(b3-1),优选可以举出例如下述式(I)表示的化合物(以下称为“不饱和化合物(b3-1a)”)、下述式(II)表示的化合物(以下称为“不饱和化合物(b3-1b)”)等。
[式(I)中、R1表示氢原子或碳原子数1~4的烷基,R2表示氢原子或碳原子数1~4的烷基,R3、R4、R5和R6相互独立地表示氢原子、氟原子、碳原子数1~4的烷基、碳原子数1~4的氟代烷基或碳原子数6~20的芳基,n为0~6的整数。]
[式(II)中,R1、R2、R3、R4、R5、R6和n分别与式(I)中的R1、R2、R3、R4、R5、R6和n意义相同]。
式(I)和式(II)中,作为R1、R2、R3、R4、R5和R6的碳原子数1~4的烷基,例如可以举出甲基、乙基、正丙基、异丙基、正丁基、异丁基、仲丁基、叔丁基等。
另外,作为R3、R4、R5和R6的碳原子数1~4的氟代烷基,例如可以举出,氟代甲基、二氟代甲基、三氟代甲基、1-氟代乙基、2-氟代乙基、1,1-二氟代乙基、2,2,2-三氟代乙基、五氟代乙基、七氟代正丙基、七氟代异丙基、九氟代正丁基、九氟代异丁基、九氟代仲丁基、九氟代叔丁基等。
另外,作为R3、R4、R5和R6的碳原子数6~20的芳基,例如可以举出,苯基、邻甲苯基、间甲苯基、对甲苯基等。
作为不饱和化合物(b3-1a)的具体例,可以举出,
3-[(甲基)丙烯酰氧基甲基]氧杂环丁烷、3-[(甲基)丙烯酰氧基甲基]-2-甲基氧杂环丁烷、3-[(甲基)丙烯酰氧基甲基]-3-甲基氧杂环丁烷、3-[(甲基)丙烯酰氧基甲基]-2-乙基氧杂环丁烷、3-[(甲基)丙烯酰氧基甲基]-3-乙基氧杂环丁烷、3-[(甲基)丙烯酰氧基甲基]-2-三氟代甲基氧杂环丁烷、3-[(甲基)丙烯酰氧基甲基]-2-五氟代乙基氧杂环丁烷、3-[(甲基)丙烯酰氧基甲基]-2-苯基氧杂环丁烷、3-[(甲基)丙烯酰氧基甲基]-2,2-二氟代氧杂环丁烷、3-[(甲基)丙烯酰氧基甲基]-2,2,4-三氟代氧杂环丁烷、3-[(甲基)丙烯酰氧基甲基]-2,2,4,4-四氟代氧杂环丁烷、
3-[2-(甲基)丙烯酰氧基乙基]氧杂环丁烷、3-[2-(甲基)丙烯酰氧基乙基]-2-甲基氧杂环丁烷、3-[2-(甲基)丙烯酰氧基乙基]-3-甲基氧杂环丁烷、3-[2-(甲基)丙烯酰氧基乙基]-2-乙基氧杂环丁烷、3-[2-(甲基)丙烯酰氧基乙基]-3-乙基氧杂环丁烷、3-[2-(甲基)丙烯酰氧基乙基]-2-三氟代甲基氧杂环丁烷、3-[2-(甲基)丙烯酰氧基乙基]-2-五氟代乙基氧杂环丁烷、3-[2-(甲基)丙烯酰氧基乙基]-2-苯基氧杂环丁烷、3-[2-(甲基)丙烯酰氧基乙基]-2,2-二氟代氧杂环丁烷、3-[2-(甲基)丙烯酰氧基乙基]-2,2,4-三氟代氧杂环丁烷、3-[2-(甲基)丙烯酰氧基乙基]-2,2,4,4-四氟代氧杂环丁烷等的(甲基)丙烯酸酯等。
另外,作为不饱和化合物(b3-1b)的具体例,可以举出,
2-[(甲基)丙烯酰氧基甲基]氧杂环丁烷、2-[(甲基)丙烯酰氧基甲基]-2-甲基氧杂环丁烷、2-[(甲基)丙烯酰氧基甲基]-3-甲基氧杂环丁烷、2-[(甲基)丙烯酰氧基甲基]-4-甲基氧杂环丁烷、2-[(甲基)丙烯酰氧基甲基]-2-乙基氧杂环丁烷、2-[(甲基)丙烯酰氧基甲基]-3-乙基氧杂环丁烷、2-[(甲基)丙烯酰氧基甲基]-4-乙基氧杂环丁烷、2-[(甲基)丙烯酰氧基甲基]-2-三氟代甲基氧杂环丁烷、2-[(甲基)丙烯酰氧基甲基]-3-三氟代甲基氧杂环丁烷、2-[(甲基)丙烯酰氧基甲基]-4-三氟代甲基氧杂环丁烷、2-[(甲基)丙烯酰氧基甲基]-2-五氟代乙基氧杂环丁烷、2-[(甲基)丙烯酰氧基甲基]-3-五氟代乙基氧杂环丁烷、2-[(甲基)丙烯酰氧基甲基]-4-五氟代乙基氧杂环丁烷、
2-[(甲基)丙烯酰氧基甲基]-2-苯基氧杂环丁烷、2-[(甲基)丙烯酰氧基甲基]-3-苯基氧杂环丁烷、2-[(甲基)丙烯酰氧基甲基]-4-苯基氧杂环丁烷、2-[(甲基)丙烯酰氧基甲基]-2,3-二氟代氧杂环丁烷、2-[(甲基)丙烯酰氧基甲基]-2,4-二氟代氧杂环丁烷、2-[(甲基)丙烯酰氧基甲基]-3,3-二氟代氧杂环丁烷、2-[(甲基)丙烯酰氧基甲基]-3,4-二氟代氧杂环丁烷、2-[(甲基)丙烯酰氧基甲基]-4,4-二氟代氧杂环丁烷、2-[(甲基)丙烯酰氧基甲基]-3,3,4-三氟代氧杂环丁烷、2-[(甲基)丙烯酰氧基甲基]-3,4,4-三氟代氧杂环丁烷、2-[(甲基)丙烯酰氧基甲基]-3,3,4,4-四氟代氧杂环丁烷、
2-[2-(甲基)丙烯酰氧基乙基]氧杂环丁烷、2-[2-(甲基)丙烯酰氧基乙基]-2-甲基氧杂环丁烷、2-[2-(甲基)丙烯酰氧基乙基]-3-甲基氧杂环丁烷、2-[2-(甲基)丙烯酰氧基乙基]-4-甲基氧杂环丁烷、2-[2-(甲基)丙烯酰氧基乙基]-2-乙基氧杂环丁烷、2-[2-(甲基)丙烯酰氧基乙基]-3-乙基氧杂环丁烷、2-[2-(甲基)丙烯酰氧基乙基]-4-乙基氧杂环丁烷、2-[2-(甲基)丙烯酰氧基乙基]-2-三氟代甲基氧杂环丁烷、2-[2-(甲基)丙烯酰氧基乙基]-3-三氟代甲基氧杂环丁烷、2-[2-(甲基)丙烯酰氧基乙基]-4-三氟代甲基氧杂环丁烷、2-[2-(甲基)丙烯酰氧基乙基]-2-五氟代乙基氧杂环丁烷、2-[2-(甲基)丙烯酰氧基乙基]-3-五氟代乙基氧杂环丁烷、2-[2-(甲基)丙烯酰氧基乙基]-4-五氟代乙基氧杂环丁烷、
2-[2-(甲基)丙烯酰氧基乙基]-2-苯基氧杂环丁烷、2-[2-(甲基)丙烯酰氧基乙基]-3-苯基氧杂环丁烷、2-[2-(甲基)丙烯酰氧基乙基]-4-苯基氧杂环丁烷、2-[2-(甲基)丙烯酰氧基乙基]-2,3-二氟代氧杂环丁烷、2-[2-(甲基)丙烯酰氧基乙基]-2,4-二氟代氧杂环丁烷、2-[2-(甲基)丙烯酰氧基乙基]-3,3-二氟代氧杂环丁烷、2-[2-(甲基)丙烯酰氧基乙基]-3,4-二氟代氧杂环丁烷、2-[2-(甲基)丙烯酰氧基乙基]-4,4-二氟代氧杂环丁烷、2-[2-(甲基)丙烯酰氧基乙基]-3,3,4-三氟代氧杂环丁烷、2-[2-(甲基)丙烯酰氧基乙基]-3,4,4-三氟代氧杂环丁烷、2-[2-(甲基)丙烯酰氧基乙基]-3,3,4,4-四氟代氧杂环丁烷等(甲基)丙烯酸酯等。
从得到的放射线敏感性组合物的显影余量(マ一ジン)宽,并且提高得到的着色层的耐化学药品性的角度,这些不饱和化合物(b3-1a)和不饱和化合物(b3-1b)之中,优选3-[(甲基)丙烯酰氧基甲基]氧杂环丁烷、3-[(甲基)丙烯酰氧基甲基]-3-乙基氧杂环丁烷、3-[(甲基)丙烯酰氧基甲基]-2-三氟代甲基氧杂环丁烷、3-[(甲基)丙烯酰氧基甲基]-2-苯基氧杂环丁烷、2-[(甲基)丙烯酰氧基甲基]氧杂环丁烷、2-[(甲基)丙烯酰氧基甲基]-4-三氟代甲基氧杂环丁烷等,特别优选3-(甲基丙烯酰氧基甲基)氧杂环丁烷、3-(甲基丙烯酰氧基甲基)-3-乙基氧杂环丁烷、3-(甲基丙烯酰氧基甲基)-2-三氟代甲基氧杂环丁烷、3-(甲基丙烯酰氧基甲基)-2-苯基氧杂环丁烷、2-(甲基丙烯酰氧基甲基)氧杂环丁烷、2-(甲基丙烯酰氧基甲基)-4-三氟代甲基氧杂环丁烷等。
另外,本发明中,作为氧杂环丁烷系不饱和化合物,除了不饱和化合物(b3-1a)和不饱和化合物(b3-1b)以外,例如也可以使用
(3-氧杂环丁烷基甲氧基)-对乙烯基苯、[2-(3-氧杂环丁烷基)乙氧基]-对乙烯基苯、(2-氧杂环丁烷基甲氧基)-对乙烯基苯、[2-(2-氧杂环丁烷基)乙氧基]-对乙烯基苯等乙烯基苯酚的(氧杂环丁烷基烷基)醚;
(3-氧杂环丁烷基甲基)乙烯基醚、[2-(3-氧杂环丁烷基)乙基]乙烯基醚、(2-氧杂环丁烷基甲基)乙烯基醚、[2-(2-氧杂环丁烷基)乙基]乙烯基醚等的(氧杂环丁烷基烷基)乙烯基醚等。
共聚物(B1)中,不饱和化合物(b3-1)可以单独使用或混合2种以上使用。
另外,作为不饱和化合物(b3-2),例如可以举出,
(甲基)丙烯酸四氢呋喃-2-基酯、(甲基)丙烯酸四氢呋喃-3-基酯等(甲基)丙烯酸的四氢呋喃酯;
(甲基)丙烯酸四氢糠基酯、(甲基)丙烯酸3-四氢糠基酯、2-(四氢糠基氧基)乙基(甲基)丙烯酸酯、2-(3-四氢糠基氧基)乙基(甲基)丙烯酸酯等(甲基)丙烯酸的含有四氢糠基的酯;
2-(甲基)丙烯酰氧基丙酸四氢糠基酯、2-(甲基)丙烯酰氧基丙酸3-四氢糠基酯、2-(甲基)丙烯酰氧基丙酸2-(四氢糠基氧基)乙基酯、2-(甲基)丙烯酰氧基丙酸2-(3-四氢糠基氧基)乙基酯等2-(甲基)丙烯酰氧基丙酸的含有四氢糠基的酯;
(四氢呋喃-2-基)氧基对乙烯基苯、(四氢糠基)氧基对乙烯基苯、2-(四氢糠基氧基)乙氧基对乙烯基苯等乙烯基苯衍生物;
(四氢呋喃-2-基)乙烯基醚、(四氢糠基)乙烯基醚、[2-(四氢糠基氧基)乙基]乙烯基醚等乙烯基醚类、琥珀酸[2-(甲基)丙烯酰氧基乙基](四氢糠基)酯等。
这些不饱和化合物(b3-2)之中,优选(甲基)丙烯酸的含有四氢糠基的酯、琥珀酸[2-(甲基)丙烯酰氧基乙基](四氢糠基)酯等,特别优选四氢糠基(甲基)丙烯酸酯、琥珀酸[2-(甲基)丙烯酰氧基乙基](四氢糠基)酯。
共聚物(B1)中,不饱和化合物(b3-2)可以单独使用或混合2种以上使用。
另外,本发明中,作为其他不饱和化合物,也可以使用不饱和化合物(b3)以外的其他不饱和化合物(以下称为“不饱和化合物(b3-3)”)。
作为不饱和化合物(b3-3),例如可以举出,
苯乙烯、α-甲基苯乙烯、邻乙烯基甲苯、间乙烯基甲苯、对乙烯基甲苯、对氯苯乙烯、邻甲氧基苯乙烯、间甲氧基苯乙烯、对甲氧基苯乙烯、邻乙烯基苄基甲基醚、间乙烯基苄基甲基醚、对乙烯基苄基甲基醚、邻乙烯基苄基缩水甘油基醚、间乙烯基苄基缩水甘油基醚、对乙烯基苄基缩水甘油基醚等芳香族乙烯基化合物;
茚、1-甲基茚等茚类;
聚苯乙烯、聚(甲基)丙烯酸甲酯、聚(甲基)丙烯酸正丁酯、聚硅氧烷等聚合物分子链的单末端具有(甲基)丙烯酰基的大分子单体(以下,仅称为“大分子单体”);
(甲基)丙烯酸甲酯、(甲基)丙烯酸乙酯、(甲基)丙烯酸正丙酯、(甲基)丙烯酸异丙酯、(甲基)丙烯酸正丁酯、(甲基)丙烯酸异丁酯、(甲基)丙烯酸仲丁酯、(甲基)丙烯酸叔丁酯、(甲基)丙烯酸2-羟基乙酯、(甲基)丙烯酸2-羟基丙酯、(甲基)丙烯酸3-羟基丙酯、(甲基)丙烯酸2-羟基丁酯、(甲基)丙烯酸3-羟基丁酯、(甲基)丙烯酸4-羟基丁酯、甲基丙烯酸烯丙酯、(甲基)丙烯酸苄酯、(甲基)丙烯酸环己酯、(甲基)丙烯酸2-乙基己基酯、(甲基)丙烯酸苯酯、(甲基)丙烯酸2-甲氧基乙酯、(甲基)丙烯酸2-苯氧基乙酯、(甲基)丙烯酸甲氧基二甘醇酯、(甲基)丙烯酸甲氧基三甘醇酯、(甲基)丙烯酸甲氧基丙二醇酯、(甲基)丙烯酸甲氧基双丙甘醇酯、(甲基)丙烯酸异冰片酯、(甲基)丙烯酸三环[5.2.1.02,6]癸烷-8-基酯、(甲基)丙烯酸2-羟基-3-苯氧基丙酯、单(甲基)丙烯酸甘油酯等不饱和羧酸酯;
(甲基)丙烯酸2-氨基乙酯、(甲基)丙烯酸2-二甲基氨基乙酯、(甲基)丙烯酸2-氨基丙酯、(甲基)丙烯酸2-二甲基氨基丙酯、(甲基)丙烯酸3-氨基丙酯、(甲基)丙烯酸3-二甲基氨基丙酯等不饱和羧酸氨基烷基酯;
(甲基)丙烯酸缩水甘油基酯等不饱和羧酸缩水甘油酯;
乙酸乙烯酯、丙酸乙烯酯、丁酸乙烯酯、苯甲酸乙烯酯等羧酸乙烯基酯;乙烯基甲基醚、乙烯基乙基醚、烯丙基缩水甘油基醚等不饱和醚;
(甲基)丙烯腈、α-氯丙烯腈、亚乙烯基二腈等乙烯基腈化合物;
(甲基)丙烯酰胺、α-氯丙烯酰胺、N-2-羟基乙基(甲基)丙烯酰胺等不饱和酰胺;
1,3-丁二烯、异戊二烯、氯丁烯、异戊二烯磺酸等脂肪族共轭二烯等。
这些不饱和化合物(b3-3)之中,优选苯乙烯、大分子单体、(甲基)丙烯酸甲酯、(甲基)丙烯酸2-羟基乙酯、(甲基)丙烯酸烯丙酯、(甲基)丙烯酸苄酯、(甲基)丙烯酸环己酯、(甲基)丙烯酸2-乙基己基酯、(甲基)丙烯酸苯酯、(甲基)丙烯酸异冰片酯、三环[5.2.1.02,6]癸烷-8-基(甲基)丙烯酸酯、单(甲基)丙烯酸甘油酯等,在大分子单体中,特别优选聚苯乙烯大分子单体、聚(甲基)丙烯酸甲酯大分子单体。
共聚物(B1)中,不饱和化合物(b3-3)可以单独使用或混合2种以上使用。
本发明中,共聚物(B1)为将含有不饱和化合物(b3)的聚合性混合物聚合而得到的共聚物(以下称为“共聚物(B1-1)”)时,共聚物(B1-1)的使用方式可以为如下的方式。
[I]含有不饱和化合物(b1)、不饱和化合物(b2)和不饱和化合物(b3-1)、或进而将共聚物(B1-1)作为碱溶性树脂的构成成分的方式,所述共聚物(B1-1)是将含有不饱和化合物(b3-3)的聚合性混合物聚合而得到的;
[II]含有不饱和化合物(b1)、不饱和化合物(b2)和不饱和化合物(b3-2)、或进而将共聚物(B1-1)作为碱溶性树脂的构成成分的方式,所述共聚物(B1-1)是将含有不饱和化合物(b3-3)的聚合性混合物聚合而得到的;
[III]含有不饱和化合物(b1)、不饱和化合物(b2)、不饱和化合物(b3-1)和不饱和化合物(b3-2)、或进而将共聚物(B1-1)作为碱溶性树脂的构成成分的方式,所述共聚物(B1-1)是将含有不饱和化合物(b3-3)的聚合性混合物聚合而得到的;
[IV]将上述[I]~[III]的任意2个以上的共聚物(B1-1)的混合物作为碱溶性树脂的构成成分的方式。
共聚物(B1)中,不饱和化合物(b1)的共聚比例优选1~40重量%、特别优选5~35重量%,不饱和化合物(b2)的共聚比例优选1~40重量%、特别优选5~30重量%。
另外,将不饱和化合物(b3)与不饱和化合物(b1)和不饱和化合物(b2)共聚时,不饱和化合物(b3)的共聚比例优选1~70重量%,特别优选1~40重量%,不饱和化合物(b3-3)的共聚比例,优选0~70重量%,更优选1~60重量%。
另外,将不饱和化合物(b3-1)和不饱和化合物(b3-2)两者与不饱和化合物(b1)和不饱和化合物(b2)共聚时,不饱和化合物(b3-1)的共聚比例优选1~70重量%,特别优选1~40重量%,不饱和化合物(b3-2)的共聚比例优选1~60重量%,特别优选1~40重量%,不饱和化合物(b3-3)的共聚比例优选0~70重量%,更优选1~60重量%。
另外,将不饱和化合物(b3-1)和不饱和化合物(b3-2)分别与不饱和化合物(b1)和不饱和化合物(b2)共聚时,不饱和化合物(b3-1)的共聚比例优选1~70重量%,特别优选1~40重量%,不饱和化合物(b3-3)的共聚比例优选0~70重量%,更优选1~60重量%,不饱和化合物(b3-2)的共聚比例优选1~60重量%,特别优选1~40重量%,不饱和化合物(b3-3)的共聚比例优选0~70重量%,更优选1~60重量%。
本发明中,通过使共聚物(B1)中的各不饱和化合物的共聚比例在上述范围,可以得到敏感度、对基板的密着性、耐溶剂性等优异的用于形成着色层的放射线敏感性组合物。
共聚物(B1)可以如下合成,在上述式(5)表示的化合物(以下称为“多元硫醇化合物”)的存在下、在适当的溶剂中使用2,2’-偶氮二异丁腈、2,2’-偶氮二(2,4-二甲基戊腈)、2,2’-偶氮二(4-甲氧基-2,4-二甲基戊腈)等自由基聚合引发剂,将各不饱和化合物聚合而合成。
作为上述多元硫醇化合物,优选下述式(6)表示的化合物。
(式(6)中,Y、R8和n与式(3)中的Y、R8和n意义相同。)
作为上述多元硫醇化合物,例如可以举出巯基乙酸、3-巯基丙酸、3-巯基丁酸、3-巯基戊酸等巯基羧酸类、和乙二醇、四甘醇、丁二醇、三羟甲基丙烷、季戊四醇、二季戊四醇、三季戊四醇、1,3,5-三(2-羟基乙基)氰脲酸酯、山梨糖醇等多元醇的酯化物等。
本发明中,作为优选的多元硫醇化合物的具体例可以举出,
三羟甲基丙烷三(3-巯基丙酸酯)、季戊四醇四(3-巯基丙酸酯)、四甘醇二(3-巯基丙酸酯)、二季戊四醇六(3-巯基丙酸酯)、季戊四醇四(巯基乙酸酯)、1,4-二(3-巯基丁酰基氧基)丁烷、季戊四醇四(3-巯基丁酸酯)、1,3,5,-三(3-巯基丁基氧基乙基)-1,3,5-三嗪-2,4,6(1H,3H,5H)-三酮等。
上述多元硫醇化合物可以单独使用或混合2种以上使用。
多元硫醇化合物是合成共聚物(B1)的聚合时作为链转移剂起作用的成分。本发明人发现通过将多元硫醇化合物用作链转移剂进行聚合,可以减少未反应的不饱和化合物,提高向供于自由基聚合物的不饱和化合物的聚合物的转化率,而且可以在短时间合成所期望的共聚物(B1)。通过减少未反应的不饱和化合物,认为可以防止喷淋显影或后烘烤时的挥发所伴随的图案残膜率的降低、未反应的不饱和化合物溶出而导致的像素的耐溶剂性的降低。
合成共聚物(B1)的聚合时的多元硫醇化合物的用量,相对于全部不饱和化合物100重量份,优选0.5~20重量份、更优选1~10重量份,自由基聚合引发剂的用量,全部不饱和化合物100重量份,优选0.1~50重量份、更优选0.1~20重量份。另外,聚合温度优选0~150℃、更优选50~120℃,聚合时间优选10分钟~20小时,更优选30分钟~6小时。
本发明中,合成共聚物(B1)的聚合时,多元硫醇化合物以外的链转移剂,例如,可以将叔十二烷基硫醇、α-甲基苯乙烯二聚体等1种以上以全部链转移剂的优选90重量%以下、更优选60重量%以下的量并用。
本发明中,共聚物(B1)的用凝胶渗透色谱法(GPC,洗脱溶剂:四氢呋喃)测定的聚苯乙烯换算的重均分子量(以下称为“Mw”)优选3,000~300,000,更优选3,000~100,000。
另外,共聚物(B1)的用凝胶渗透色谱法(GPC,洗脱溶剂:四氢呋喃)测定的聚苯乙烯换算的数均分子量(以下称为“Mn”)优选3,000~60,000,更优选3,000~25,000。
另外,共聚物(B 1)的Mw与Mn之比(Mw/Mn)优选1~5,更优选1~4。通过使用具有这样特定的Mw或者Mn的共聚物(B1),可以得到显影性优异的放射线敏感性组合物,而且由此可以形成具有清晰图案边缘的着色层,同时显影时在未曝光部分的基板上和遮光层上很难产生残渣、浮垢(地汚れ)、残膜等。
本发明中,共聚物(B1)可以单独使用或混合2种以上使用。
另外,本发明中,可以将共聚物(B1)和其他的碱溶性树脂并用。
作为上述其他的碱溶性树脂,没有特别限定,可以是任意的加成聚合系树脂、加聚系树脂、缩聚系树脂等,优选加成聚合系树脂。
作为上述加成聚合系的其他碱溶性树脂,例如可以举出将选自上述不饱和化合物(b1)至少1种、和选自上述不饱和化合物(b2)和不饱和化合物(b3-3)至少1种的混合物在多元硫醇化合物的不存在下聚合得到的共聚物等。
本发明中,碱溶性树脂的用量,相对于(A)着色剂100重量份,优选10~1,000重量份、更优选20~500重量份。碱溶性树脂的用量过少,则例如碱显影性降低、未曝光部的基板上或者遮光层上有产生浮垢或残膜的可能,另一方面如果过多,则由于相对地着色剂浓度降低,有难以实现薄膜的目标色浓度的可能。
另外,其他碱溶性树脂的使用比例,相对于全部碱溶性树脂,优选80重量%以下、更优选60重量%以下。其他碱溶性树脂的使用比例超过80重量%,则本发明所期望的效果可能降低。
-(C)多官能性单体-
本发明的多官能性单体含有具有2个以上聚合性不饱和键的单体。
作为多官能性单体,可以列举例如:
乙二醇、丙二醇等亚烷基二醇的二(甲基)丙烯酸酯;聚乙二醇、聚丙二醇等聚亚烷基二醇的二(甲基)丙烯酸酯;
甘油、三羟甲基丙烷、季戊四醇、二季戊四醇等3元以上的多元醇的聚(甲基)丙烯酸酯、或它们的二羧酸改性物;聚酯、环氧树脂、聚氨酯树脂、醇酸树脂、有机硅树脂、螺烷树脂等低聚(甲基)丙烯酸酯;
两末端羟基聚-1,3-丁二烯、两末端羟基聚异戊二烯、两末端羟基聚己内酯等两末端羟基化聚合物的二(甲基)丙烯酸酯、三[2-(甲基)丙烯酰氧基乙基]磷酸酯等。
在这些多官能性单体中,优选3元以上的多元醇的聚(甲基)丙烯酸酯、它们的二羧酸改性物,具体来说,优选三羟甲基丙烷三丙烯酸酯、三羟甲基丙烷三甲基丙烯酸酯、季戊四醇三丙烯酸酯、季戊四醇三甲基丙烯酸酯、季戊四醇四丙烯酸酯、季戊四醇四甲基丙烯酸酯、二季戊四醇五丙烯酸酯、二季戊四醇五甲基丙烯酸酯、二季戊四醇六丙烯酸酯、二季戊四醇六甲基丙烯酸酯、
下述式(III)所示的化合物、
下述式(IV)所示的化合物等。
其中,出于着色层强度高、着色层表面的平滑性优良、且在未曝光部分的基板上和遮光层上难以产生浮垢、残膜等考虑,特别优选三羟甲基丙烷三丙烯酸酯、季戊四醇三丙烯酸酯和二季戊四醇六丙烯酸酯。
上述多官能性单体可以单独使用或将2种以上混合使用。
相对于100重量份(B)碱溶性树脂,本发明中多官能性单体的用量优选为5~500重量份,更优选为20~300重量份。此时,多官能性单体用量过少的话,着色层的强度、表面平滑性有降低的可能,而如果过多的话,会有例如碱显影性降低,或者容易在未曝光部分的基板上或遮光层上产生浮垢、残膜等的可能。
本发明中,可以将多官能性单体与具有一个聚合性不饱和键的单官能性单体并用。
作为上述单官能性单体,可以举出与(B)碱溶性树脂中的不饱和化合物(b1)、不饱和化合物(b2)或不饱和化合物(b3-3)中所例举的一样的化合物,或N-(甲基)丙烯酰基吗啉,N-乙烯基吡咯烷酮,N-乙烯基-ε-己内酰胺,除此之外,还有作为市售品的M-5600(商品名,东亚合成(株)制)等。
这些单官能性单体可以单独使用或者2种以上混合使用。
单官能性单体的使用比例相对于多官能性单体和单官能性单体的总量,优选为90重量%以下,更优选50重量%以下。单官能性单体的使用比例如果过多的话,所得着色层的强度或表面平滑性可能不足。
相对于100重量份(B)碱溶性树脂,本发明的多官能性单体和单官能性单体的总用量优选为5~500重量份,更优选为20~300重量份。如果上述总用量过少,则着色层的强度和表面平滑性存在降低的可能,而如果过多,则存在例如碱显影性降低,或者在未曝光部的基板上或者遮光层上易于产生浮垢、残膜等的可能。
-(D)光聚合引发剂-
本发明的光聚合引发剂是通过可见光、紫外线、远紫外线、电子射线、X射线等放射线曝光,产生可引发上述(C)多官能性单体和根据情况使用的单官能性单体聚合的活性种的成分。
作为这样的光聚合引发剂,例如可列举苯乙酮系化合物、联咪唑系化合物、三嗪系化合物、O-酰基肟系化合物、鎓盐系化合物、苯偶姻系化合物、二苯甲酮系化合物、α-二酮系化合物、多核醌(多核キノン)系化合物、呫吨酮系化合物、重氮系化合物、酰亚胺磺酸盐(イミドスルホナ一ト)系化合物等。这些化合物是通过曝光而产生活性自由基或活性酸、或者活性自由基和活性酸两者的成分。
作为本发明的光聚合引发剂,优选选自苯乙酮系化合物、联咪唑系化合物、三嗪系化合物和O-酰基肟系化合物中的至少1种。
本发明中,光聚合引发剂可以单独使用或将2种以上混合使用。
相对于100重量份(C)多官能性单体和单官能性单体的总量,本发明的光聚合引发剂的用量通常为0.01~120重量份,优选为1~100重量份。这时,光聚合引发剂的用量如果过少,则利用曝光的固化变得不充分,有获得着色层图案按规定排列配置的滤色器变得困难的可能,另一方面,而如果过多,会有形成的着色层在显影时容易从基板脱落的可能。
作为在本发明的优选光聚合引发剂的苯乙酮系化合物的具体例子可列举2-羟基-2-甲基-1-苯基丙烷-1-酮、2-甲基-1-[4-(甲硫基)苯基]-2-吗啉代丙烷-1-酮、2-苄基-2-二甲基氨基-1-(4-吗啉代苯基)丁烷-1-酮、1-羟基环己基·苯基酮、2,2-二甲氧基-1,2-二苯基乙烷-1-酮、1,2-辛二酮等。
在这些苯乙酮系化合物中,特别优选2-甲基-1-[4-(甲硫基)苯基]-2-吗啉代丙烷-1-酮、2-苄基-2-二甲基氨基-1-(4-吗啉代苯基)丁烷-1-酮、1,2-辛二酮等。
上述苯乙酮系化合物可以单独使用或将2种以上混合使用。
本发明中,相对于100重量份(C)多官能性单体和单官能性单体的总量,使用苯乙酮系化合物作为光聚合引发剂时的用量优选为0.01~80重量份,更优选为1~70重量份,进一步优选为1~60重量份。苯乙酮系化合物的用量如果过少,则利用曝光的固化变得不充分,有获得着色层图案按规定排列配置的滤色器变得困难的可能,另一方面,而如果过多,会有形成的着色层在显影时容易从基板脱落的可能。
作为上述联咪唑系化合物的具体例子,可列举有2,2’-双(2-氯苯基)-4,4’,5,5’-四(4-乙氧基羰基苯基)-1,2’-联咪唑、2,2’-双(2-溴苯基)-4,4’,5,5’-四(4-乙氧基羰基苯基)-1,2’-联咪唑、2,2’-双(2-氯苯基)-4,4’,5,5’-四苯基-1,2’-联咪唑、2,2’-双(2,4-二氯苯基)-4,4’,5,5’-四苯基-1,2’-联咪唑、2,2’-双(2,4,6-三氯苯基)-4,4’,5,5’-四苯基-1,2’-联咪唑、2,2’-双(2-溴苯基)-4,4’,5,5’-四苯基-1,2’-联咪唑、2,2’-双(2,4-二溴苯基)-4,4’,5,5’-四苯基-1,2’-联咪唑、2,2’-双(2,4,6-三溴苯基)-4,4’,5,5’-四苯基-1,2’-联咪唑等。
在这些联咪唑系化合物中,优选2,2’-双(2-氯苯基)-4,4’,5,5’-四苯基-1,2’-联咪唑、2,2’-双(2,4-二氯苯基)-4,4’,5,5’-四苯基-1,2’-联咪唑、2,2’-双(2,4,6-三氯苯基)-4,4’,5,5’-四苯基-1,2’-联咪唑等,特别优选2,2’-双(2-氯苯基)-4,4’,5,5’-四苯基-1,2’-联咪唑。
这些联咪唑系化合物对溶剂的溶解性优良,不会产生未溶解物、析出物等杂质,且敏感度高,在少量能量的曝光下就可以充分进行固化反应,同时未曝光部分不会发生固化反应,因此曝光后的涂膜可以明确区分对显影液不溶的固化部分和对显影液具有高溶解性的未固化部分,因此可以形成没有侧壁腐蚀的着色层图案按照规定排列配置的高精细滤色器。
上述联咪唑系化合物可以单独使用或将2种以上混合使用。
本发明中,相对于100重量份(C)多官能性单体和单官能性单体的总量,使用联咪唑系化合物作为光聚合引发剂时的用量优选为0.01~40重量份,更优选为1~30重量份,进一步优选为1~20重量份。如联咪唑系化合物的用量过少,则由于曝光引起的固化变得不充分,有获得着色层图案按规定排列配置的滤色器变得困难的可能性,另一方面,如果过多,则会有在显影时形成的着色层从基板脱落、容易引起着色层表面的膜粗糙的可能。
本发明中,使用联咪唑系化合物作为光聚合引发剂时,从进一步改善敏感度来考虑,优选与下述的氢供体并用。
这里所称的“氢供体”是指可向由曝光从联咪唑系化合物产生的自由基提供氢原子的化合物。
作为本发明中的氢供体,优选下述定义的硫醇系化合物、胺系化合物。
上述硫醇系化合物包括以苯环或杂环作为母核,具有1个以上、优选1~3个,更优选1~2个直接键合到该母核上的巯基的化合物(以下称为“硫醇系氢供体”)。
上述胺系化合物包括以苯环或杂环作为母核,具有1个以上、优选1~3个,更优选1~2个直接键合到该母核上的氨基的化合物(以下称为“胺系氢供体”)。
另外,这些氢供体可以同时具有巯基和氨基。
以下更具体地说明氢供体。
硫醇系氢供体可以分别具有1个以上苯环或杂环,还可以同时具有苯环和杂环二者,具有2个以上这些环时,可以形成稠合环。
硫醇系氢供体在具有2个以上巯基时,只要残留有至少1个游离的巯基,残留巯基的1个以上即可以被烷基、芳烷基或芳基取代,进而只要残留有至少1个游离巯基,可以具有通过亚烷基等2价有机基团键合2个硫原子的结构单元、或者2个硫原子以二硫化物的形态键合的结构单元。
进而,硫醇系氢供体在巯基以外的位置可以被羧基、烷氧基羰基、取代烷氧基羰基、苯氧基羰基、取代苯氧基羰基、腈基等取代。
作为这样的硫醇系氢供体的具体例子,可列举2-巯基苯并噻唑、2-巯基苯并噁唑、2-巯基苯并咪唑、2,5-二巯基-1,3,4-噻二唑、2-巯基-2,5-二甲基氨基吡啶等。
这些硫醇系氢供体中,优选2-巯基苯并噻唑、2-巯基苯并噁唑,特别优选2-巯基苯并噻唑。
胺系氢供体可以分别具有1个以上苯环或杂环,还可以同时具有苯环和杂环二者,具有2个以上这些环时,可以形成稠合环。
胺系氢供体可以用烷基或取代烷基取代1个以上的氨基,并且氨基以外的位置也可以被羧基、烷氧基羰基、取代烷氧基羰基、苯氧基羰基、取代苯氧基羰基、腈基等取代。
作为这样的胺系氢供体的具体例子,可列举有4,4’-双(二甲基氨基)二苯甲酮、4,4’-双(二乙基氨基)二苯甲酮、4-二乙基氨基苯乙酮、4-二甲基氨基苯丙酮、乙基-4-二甲基氨基苯甲酸酯、4-二甲基氨基苯甲酸、4-二甲基氨基苯基氰等。
在这些胺系氢供体中,优选4,4’-双(二甲基氨基)二苯甲酮、4,4’-双(二乙基氨基)二苯甲酮,特别优选4,4’-双(二乙基氨基)二苯甲酮。
另外,即使是在联咪唑系化合物以外的自由基发生剂的情况下,胺系氢供体也具有敏化剂的作用。
在本发明中,氢供体可以单独使用或将2种以上混合使用,由于形成的着色层在显影时难以从基板上脱落或着色层强度和敏感度也高,优选将1种以上的硫醇系氢供体与1种以上的胺系氢供体组合使用。
作为硫醇系氢供体与胺系氢供体组合的具体例子,可列举2-巯基苯并噻唑/4,4’-双(二甲基氨基)二苯甲酮、2-巯基苯并噻唑/4,4’-双(二乙基氨基)二苯甲酮、2-巯基苯并噁唑/4,4’-双(二甲基氨基)二苯甲酮、2-巯基苯并噁唑/4,4’-双(二乙基氨基)二苯甲酮等,更优选的组合有2-巯基苯并噻唑/4,4’-双(二乙基氨基)二苯甲酮、2-巯基苯并噁唑/4,4’-双(二乙基氨基)二苯甲酮,特别优选的组合为2-巯基苯并噻唑/4,4’-双(二乙基氨基)二苯甲酮。
在硫醇系氢供体与胺系氢供体的组合中,硫醇系氢供体与胺系氢供体的重量比优选为1∶1~1∶4,更优选为1∶1~1∶3。
在本发明中,相对于100重量份的(C)多官能性单体和单官能性单体的总量,氢供体与联咪唑系化合物并用时的用量优选为0.01~40重量份,更优选为1~30重量份,特别优选1~20重量份。如氢供体的用量过少,则会有敏感度改良效果降低的倾向,另一方面,如果过多,则会有形成的着色层在显影时容易从基板脱落的可能。
作为上述三嗪系化合物的具体例子,可列举2,4,6-三(三氯甲基)-s-三嗪、2-甲基-4,6-双(三氯甲基)-s-三嗪、2-[2-(5-甲基呋喃-2-基)乙烯基]-4,6-双(三氯甲基)-s-三嗪、2-[2-(呋喃-2-基)乙烯基]-4,6-双(三氯甲基)-s-三嗪、2-[2-(4-二乙基氨基-2-甲基苯基)乙烯基]-4,6-双(三氯甲基)-s-三嗪、2-[2-(3,4-二甲氧基苯基)乙烯基]-4,6-双(三氯甲基)-s-三嗪、2-(4-甲氧基苯基)-4,6-双(三氯甲基)-s-三嗪、2-(4-乙氧基苯乙烯基)-4,6-双(三氯甲基)-s-三嗪、2-(4-正丁氧基苯基)-4,6-双(三氯甲基)-s-三嗪等具有卤代甲基的三嗪系化合物。
在这些三嗪系化合物中,特别优选2-[2-(3,4-二甲氧基苯基)乙烯基]-4,6-双(三氯甲基)-s-三嗪。
上述三嗪系化合物可以单独使用或将2种以上混合使用。
在本发明中,相对于100重量份的(C)多官能性单体和单官能性单体的总量,使用三嗪系化合物作为光聚合引发剂时的用量优选为0.01~40重量份,更优选为1~30重量份,特别优选为1~20重量份。如三嗪系化合物的用量过少,则由于曝光引起的固化变得不充分,有可能难以获得着色层图案按规定排列配置的滤色器,另一方面,如果过多,则会有在显影时形成的着色层容易从基板脱落的可能。
作为上述O-酰基肟系化合物的具体例子,可以举出:1-[4-(苯硫基)苯基]-庚烷-1,2-二酮2-(O-苯甲酰基肟)、1-[4-(苯硫基)苯基]-辛烷-1,2-二酮2-(O-苯甲酰基肟)、1-[4-(苯甲酰基)苯基]-辛烷-1,2-二酮2-(O-苯甲酰基肟)、1-[9-乙基-6-(2-甲基苯甲酰基)-9H-咔唑-3-基]-乙酮(エタノン)1-(O-乙酰基肟)、1-[9-乙基-6-(3-甲基苯甲酰基)-9H-咔唑-3-基]-乙酮1-(O-乙酰基肟)、1-(9-乙基-6-苯甲酰基-9H-咔唑-3-基)-乙酮1-(O-乙酰基肟)、乙酮-1-[9-乙基-6-(2-甲基-4-四氢呋喃基苯甲酰基)-9.H.-咔唑-3-基]-1-(O-乙酰基肟)、乙酮-1-[9-乙基-6-(2-甲基-4-四氢吡喃基苯甲酰基)-9.H.-咔唑-3-基]-1-(O-乙酰基肟)、乙酮-1-[9-乙基-6-(2-甲基-5-四氢呋喃基苯甲酰基)-9.H.-咔唑-3-基]-1-(O-乙酰基肟)、乙酮-1-[9-乙基-6-(2-甲基-5-四氢吡喃基苯甲酰基)-9.H.-咔唑-3-基]-1-(O-乙酰基肟)、乙酮-1-[9-乙基-6-{2-甲基-4-(2,2-二甲基-1,3-二氧戊环基(ジオキソラニル))苯甲酰基}-9.H.-咔唑-3-基]-1-(O-乙酰基肟)、乙酮-1-[9-乙基-6-(2-甲基-4-四氢呋喃基甲氧基苯甲酰基)-9.H.-咔唑-3-基]-1-(O-乙酰基肟)、乙酮-1-[9-乙基-6-(2-甲基-4-四氢吡喃基甲氧基苯甲酰基)-9.H.-咔唑-3-基]-1-(O-乙酰基肟)、乙酮-1-[9-乙基-6-(2-甲基-5-四氢呋喃基甲氧基苯甲酰基)-9.H.-咔唑-3-基]-1-(O-乙酰基肟)、乙酮-1-[9-乙基-6-(2-甲基-5-四氢吡喃基甲氧基苯甲酰基)-9.H.-咔唑-3-基]-1-(O-乙酰基肟)、乙酮-1-[9-乙基-6-{2-甲基-4-(2,2-二甲基-1,3-二氧戊环基)甲氧基苯甲酰基}-9.H.-咔唑-3-基]-1-(O-乙酰基肟)等。
这些O-酰基肟系化合物之中,特别优选1-[4-(苯硫基)苯基]-辛烷-1,2-二酮2-(O-苯甲酰基肟)、1-[9-乙基-6-(2-甲基苯甲酰基)-9H-咔唑-3-基]-乙酮1-(O-乙酰基肟)、乙酮-1-[9-乙基-6-(2-甲基-4-四氢呋喃基甲氧基苯甲酰基)-9.H.-咔唑-3-基]-1-(O-乙酰基肟)、乙酮-1-[9-乙基-6-{2-甲基-4-(2,2-二甲基-1,3-二氧戊环基)甲氧基苯甲酰基}-9.H.-咔唑-3-基]-1-(O-乙酰基肟)等。
上述O-酰基肟系化合物可以单独使用或将2种以上混合使用。
在本发明中,相对于100重量份的(C)多官能性单体和单官能性单体的总量,使用O-酰基肟系化合物作为光聚合引发剂时的用量优选为0.01~80重量份,更优选为1~70重量份,特别优选为1~60重量份。如O-酰基肟系化合物的用量过少,则由于曝光引起的固化变得不充分,有可能难以获得着色层图案按规定排列配置的滤色器,另一方面,如果过多,则会有在显影时形成的着色层容易从基板脱落的可能。
-添加剂-
本发明的用于形成着色层的放射线敏感性组合物也可以根据需要含有各种添加剂。
作为上述添加剂,可以举出例如有机酸或有机氨基化合物(但是,上述氢供给体除外)、固化剂、固化助剂等。
上述有机酸或有机氨基化合物是显示进一步改善放射线敏感性组合物对碱显影液的溶解性且在显影后进一步抑制未溶解物的残存的作用等的成分。
作为上述有机酸,优选在分子中具有1个以上羧基的脂肪族羧酸或含有苯基的羧酸。
作为上述脂肪族羧酸,可以举出例如:
甲酸、乙酸、丙酸、丁酸、戊酸、新戊酸、己酸、二乙基乙酸、庚酸、辛酸等单羧酸;
草酸、丙二酸、琥珀酸、戊二酸、己二酸、庚二酸、辛二酸、壬二酸、癸二酸、巴西二酸、甲基丙二酸、乙基丙二酸、二甲基丙二酸、甲基琥珀酸、四甲基琥珀酸、环己烷二羧酸、衣康酸、柠康酸、马来酸、富马酸、中康酸等二羧酸;丙三羧酸、乌头酸、分解樟脑酸等三羧酸等。
另外,作为上述含有苯基的羧酸,可以举出例如羧基直接与苯基键合的化合物、羧基通过碳链与苯基键合的羧酸等。
作为含有苯基的羧酸,可以举出例如:
苯甲酸、甲苯酸、枯酸、2,3-二甲基苯甲酸、3,5-二甲基苯甲酸等芳香族单羧酸;邻苯二甲酸、间苯二甲酸、对苯二甲酸等芳香族二羧酸;偏苯三酸、均苯三酸、偏苯四酸、均苯四酸等3元以上的芳香族多羧酸,或苯基乙酸、氢化阿托酸、氢化肉桂酸、扁桃酸、苯基琥珀酸、阿托酸、肉桂酸、亚肉桂基酸、香豆酸、伞形酸。
在这些有机酸中,从碱溶解性、对后述溶剂的溶解性、防止在未曝光部的基板上或者遮光层上的浮垢和膜残留等观点出发,作为脂肪族羧酸,优选脂肪族二羧酸,特别优选丙二酸、己二酸、衣康酸、柠康酸、富马酸、中康酸等。作为含苯基的羧酸,优选芳香族二酸酸,特别优选邻苯二甲酸。
上述有机酸可以单独使用或者2种以上混合使用。
有机酸的使用量相对于全部放射线敏感性组合物的固体成分,优选为15重量%以下,更优选10重量%以下。此时,有机酸的使用量如果过多,存在形成的着色层对基板的密合性降低的倾向。
另外,作为上述有机氨基化合物,优选在分子中具有1个以上的氨基的脂肪族胺或含苯基的胺。
作为上述脂肪族胺,可以举出例如:
正丙胺、异丙胺、正丁胺、异丁胺、仲丁胺、叔丁胺、正戊胺、正己胺、正庚胺、正辛胺、正壬胺、正癸胺、正十一烷胺、正十二烷胺、环己胺、2-甲基环己胺、3-甲基环己胺、4-甲基环己胺、2-乙基环己胺、3-乙基环己胺、4-乙基环己胺等单(环)烷基胺;
甲基乙基胺、二乙基胺、甲基正丙基胺、乙基正丙基胺、二正丙基胺、二异丙基胺、二正丁基胺、二异丁基胺、二仲丁基胺、二叔丁基胺、二正戊基胺、二正己基胺、甲基环己胺、乙基环己胺、二环己基胺等二(环)烷基胺;
二甲基乙基胺、甲基二乙基胺、三乙基胺、二甲基正丙基胺、二乙基正丙基胺、甲基二正丙基胺、乙基二正丙基胺、三正丙基胺、三异丙基胺、三正丁基胺、三异丁基胺、三仲丁基胺、三叔丁基胺、三正戊基胺、三正己基胺、二甲基环己胺、二乙基环己胺、甲基二环己胺、乙基二环己胺、三环己胺等三(环)烷基胺;
2-氨基乙醇、3-氨基-1-丙醇、1-氨基-2-丙醇、4-氨基-1-丁醇、5-氨基-1-戊醇、6-氨基-1-己醇、4-氨基-1-环己醇等单(环)烷醇胺;
二乙醇胺、二正丙醇胺、二异丙醇胺、二正丁醇胺、二异丁醇胺、二正戊醇胺、二正己醇胺、二(4-环己醇)胺等二(环)烷醇胺;
三乙醇胺、三正丙醇胺、三异丙醇胺、三正丁醇胺、三异丁醇胺、三正戊醇胺、三正己醇胺、三(4-环己醇)胺等三(环)烷醇胺;
3-氨基-1,2-丙二醇、2-氨基-1,3-丙二醇、4-氨基-1,2-丁二醇、4-氨基-1,3-丁二醇、4-氨基-1,2-环己二醇、4-氨基-1,3-环己二醇、3-二甲基氨基-1,2-丙二醇、3-二乙基氨基-1,2-丙二醇、2-二甲基氨基-1,3-丙二醇、2-二乙基氨基-1,3-丙二醇等氨基(环)烷二醇;
1-氨基环戊烷甲醇、4-氨基环戊烷甲醇、1-氨基环己烷甲醇、4-氨基环己烷甲醇、4-二甲基氨基环戊烷甲醇、4-二乙基氨基环戊烷甲醇、4-二甲基氨基环己烷甲醇、4-二乙基氨基环己烷甲醇等含氨基的环烷甲醇;
β-丙氨酸、2-氨基丁酸、3-氨基丁酸、4-氨基丁酸、2-氨基异丁酸、3-氨基异丁酸、2-氨基戊酸、5-氨基戊酸、6-氨基己酸、1-氨基环丙烷羧酸、1-氨基环己烷羧酸、4-氨基环己烷羧酸等氨基羧酸。
另外,作为上述含苯基的胺,可以举出例如氨基直接与苯基键合的化合物、氨基通过碳链与苯基键合的化合物等。
作为含苯基的胺,可以举出例如:
苯胺、2-甲基苯胺、3-甲基苯胺、4-甲基苯胺、4-乙基苯胺、4-正丙基苯胺、4-异丙基苯胺、4-正丁基苯胺、4-叔丁基苯胺、1-萘胺、2-萘胺、N,N-二甲基苯胺、N,N-二乙基苯胺、4-甲基-N,N-二甲基苯胺等芳香族胺;
2-氨基苄醇、3-氨基苄醇、4-氨基苄醇、4-二甲基氨基苄醇、4-二乙基氨基苄醇等氨基苄醇;
2-氨基苯酚、3-氨基苯酚、4-氨基苯酚、4-二甲基氨基苯酚、4-二乙基氨基苯酚等氨基酚。
在这些有机胺化合物中,从对后述溶剂的溶解性、防止在未曝光部的基板上或者遮光层上的浮垢和膜残留等观点出发,作为脂肪族胺,脂肪族胺,优选单(环)烷醇胺、氨基(环)烷二醇,特别优选2-氨基乙醇、3-氨基-1-丙醇、5-氨基-1-戊醇、3-氨基-1,2-丙二醇、2-氨基-1,3-丙二醇、4-氨基-1,2-丁二醇等。作为含苯基的胺,优选氨基苯酚,特别优选2-氨基苯酚、3-氨基苯酚、4-氨基苯酚等。
有机氨基化合物的使用量相对于全部放射线敏感性组合物的固体成分,优选为15重量%以下,更优选10重量%以下。此时,有机胺化合物的使用量如果过多,存在形成的着色层对基板的密合性降低的倾向。
上述固化剂是与(B)碱溶性树脂中的羧基和/或氧杂环丁烷环反应,使该(B)碱溶性树脂固化的成分。
作为这样的固化剂,例如可以举出环氧化合物、氧杂环丁烷化合物等。
作为上述环氧化合物,优选多官能环氧化合物,其具体例子可以举出双酚A环氧树脂、氢化双酚A环氧树脂、双酚F环氧树脂、氢化双酚F环氧树脂、酚醛清漆型环氧树脂等芳香族系环氧树脂;脂环族系环氧树脂、杂环环氧树脂、缩水甘油酯系树脂、缩水甘油胺系树脂、环氧化油等其它环氧树脂;这些环氧树脂的溴代衍生物,除此之外,还可以举出丁二烯的(共)聚合物的环氧化物、异戊二烯的(共)聚合物的环氧化物、含有缩水甘油基的不饱和化合物的(共)聚合物、异氰酸三缩水甘油基酯等。
作为上述环氧化合物,也优选含有环氧基的不饱和化合物。其具体例子可以举出(甲基)丙烯酸缩水甘油基酯、(甲基)丙烯酸3,4-环氧基丁基酯、(甲基)丙烯酸6,7-环氧基庚基酯、邻乙烯基苄基缩水甘油基醚、间乙烯基苄基缩水甘油基醚、对乙烯基苄基缩水甘油基醚等。
作为上述氧杂环丁烷化合物,优选多官能氧杂环丁烷化合物,其具体例子可以举出碳酸二氧杂环丁烷酯、己二酸二氧杂环丁烷酯、对苯二甲酸二氧杂环丁烷酯、对亚二甲苯二羧酸二氧杂环丁烷酯、1,4-环己烷二羧酸二氧杂环丁烷酯等低分子化合物、苯酚线型酚醛清漆树脂的氧杂环丁烷醚化物、具有氧杂环丁烷环结构的不饱和化合物的(共)聚合物(但是,除了共聚物(B1))等高分子化合物。具有氧杂环丁烷环结构的共聚物(B1)是作为固化剂起作用的成分。
作为氧杂环丁烷化合物,优选具有氧杂环丁烷环结构和不饱和双键这两者的化合物,其具体例子可以举出与上述不饱和化合物(b3-1)所例示的化合物相同的。
这些固化剂可以单独使用或将2种以上混合使用。
固化剂的使用量相对于全部放射线敏感性组合物的固体成分,优选为30重量%以下,更优选20重量%以下。固化剂的使用量如果过多,则存在得到的放射线敏感性组合物的保存稳定性降低的可能。
上述固化助剂是通过使上述固化剂所具有的环氧基和/或氧杂环丁烷环闭环而促进利用该固化剂进行的固化反应的成分。
作为这样的固化助剂,例如可以举出多元羧酸、多元羧酸酐、氨基化合物等。
作为羧酸多元羧酸的具体例子,可以举出与上述有机酸中具有2个以上羧基的化合物同样的,作为上述氨基化合物的具体例子,可以举出与上述有机氨基化合物同样的。
作为上述多元羧酸酐的具体例子,可以举出苯二甲酸酐、均苯四酸二酐、偏苯三酸酐、3,3’,4,4’-二苯甲酮四羧酸二酐等芳香族多元羧酸酐;衣康酸酐、琥珀酸酐、柠康酸酐、十二碳烯琥珀酸酐、丙三羧酸酐、马来酸酐、1,2,3,4-丁烷四羧酸二酐等脂肪族多元羧酸酐;六氢苯二甲酸酐、3,4-二甲基四氢苯二甲酸酐、1,2,4-环戊烷三羧酸酐、1,2,4-环己烷三羧酸酐、环戊烷四羧酸二酐、1,2,4,5-环己烷四羧酸二酐、降冰片烯二酸酐(無水ハイミツク酸)、四氢苯二甲酸酐(無水ナジン酸)等脂环族多元羧酸酐;乙二醇二偏苯三酸酯酐(エチレングリコ一ルビストリメリテイト無水物)、甘油三偏苯三酸酯酐(グリセリントリストリメリテイト無水物)等含有酯基羧酸酐,除此之外,还可以举出以アデカハ一ドナ一EH-700(旭电化工业(株)制)、リカシツドHH(新日本理化(株)制)、MH-700(新日本理化(株)制)等商品名市售的环氧树脂固化剂等。
上述固化助剂可以单独使用或混合2种以上使用。
固化助剂的使用量相对于全部放射线敏感性组合物的固体成分,优选为15重量%以下,更优选10重量%以下。固化助剂的使用量如果过多,则存在得到的放射线敏感性组合物的保存稳定性降低、或形成的着色层在显影时易于从基板脱落的可能。
作为上述以外的添加剂,可以举出例如:
铜酞菁衍生物等蓝色颜料衍生物、黄色颜料衍生物等分散助剂;
玻璃、氧化铝等填充剂;
聚乙烯醇、聚乙二醇单烷基醚类、聚(氟烷基丙烯酸酯)类等高分子化合物;
非离子型、阳离子型、阴离子型等表面活性剂;
乙烯基三甲氧基硅烷、乙烯基三乙氧基硅烷、乙烯基三(2-甲氧基乙氧基)硅烷、N-(2-氨基乙基)-3-氨基丙基甲基二甲氧基硅烷、N-(2-氨基乙基)-3-氨基丙基三甲氧基硅烷、3-氨基丙基三乙氧基硅烷、3-环氧丙氧基丙基三甲氧基硅烷、3-环氧丙氧基丙基甲基二甲氧基硅烷、2-(3,4-环氧环己基)乙基三甲氧基硅烷、3-氯丙基甲基二甲氧基硅烷、3-氯丙基三甲氧基硅烷、3-甲基丙烯酰氧基丙基三甲氧基硅烷、3-巯基丙基三甲氧基硅烷等密合促进剂;
2,2’-硫代双(4-甲基-6-叔丁基苯酚)、2,6-二-叔丁基苯酚等抗氧化剂;
2-(3-叔丁基-5-甲基-2-羟基苯基)-5-氯苯并***、烷氧基二苯酮类等紫外线吸收剂;
聚丙烯酸钠等抗凝集剂;
1,1’-偶氮双(环己烷-1-腈)、2-苯基偶氮-4-甲氧基-2,4-二甲基戊腈等热自由基引发剂等。
溶剂
本发明的用于形成着色层的放射线敏感性组合物以上述(A)~(D)成分作为必须成分,可以根据需要含有上述添加剂成分,通常可以配合溶剂制成液态组合物。
上述溶剂只要可分散或溶解构成放射线敏感性组合物(A)~(D)成分或添加剂成分,且不与这些成分反应,具有适度的挥发性即可,可以适当选择使用。
作为上述溶剂,可以举出例如:
乙二醇单甲基醚、乙二醇单乙基醚、乙二醇单正丙基醚、乙二醇单正丁基醚、二甘醇单甲基醚、二甘醇单乙基醚、二甘醇单正丙基醚、二甘醇单正丁基醚、三甘醇单甲基醚、三甘醇单乙基醚、丙二醇单甲基醚、丙二醇单乙基醚、丙二醇单正丙基醚、丙二醇单正丁基醚、双丙甘醇单甲基醚、双丙甘醇单乙基醚、双丙甘醇单正丙基醚、双丙甘醇单正丁基醚、三丙二醇单甲基醚、三丙二醇单乙基醚等(多)亚烷基二醇单烷基醚;
乙二醇单甲基醚乙酸酯、乙二醇单乙基醚乙酸酯、二甘醇单甲基醚乙酸酯、二甘醇单乙基醚乙酸酯、丙二醇单甲基醚乙酸酯、丙二醇单乙基醚乙酸酯等(多)亚烷基二醇单烷基醚乙酸酯;
二甘醇二甲基醚、二甘醇甲基乙基醚、二甘醇二乙基醚、四氢呋喃等其它醚;甲乙酮、环己酮、2-庚酮、3-庚酮等酮;
乳酸甲酯、乳酸乙酯等乳酸烷基酯;
2-羟基-2-甲基丙酸乙酯、3-甲氧基丙酸甲酯、3-甲氧基丙酸乙酯、3-乙氧基丙酸甲酯、3-乙氧基丙酸乙酯、乙氧基乙酸乙酯、羟基乙酸乙酯、2-羟基-3-甲基丁酸甲酯、乙酸3-甲氧基丁酯、乙酸3-甲基-3-甲氧基丁酯、丙酸3-甲基-3-甲氧基丁酯、乙酸乙酯、乙酸正丙酯、乙酸异丙酯、乙酸正丁酯、乙酸异丁酯、甲酸正戊酯、乙酸异戊酯、丙酸正丁酯、丁酸乙酯、丁酸正丙酯、丁酸异丙酯、丁酸正丁酯、丙酮酸甲酯、丙酮酸乙酯、丙酮酸正丙酯、乙酰乙酸甲酯、乙酰乙酸乙酯、2-氧代丁酸乙酯等其它酯;
甲苯、二甲苯等芳族烃;
N,N-二甲基甲酰胺、N,N-二甲基乙酰胺、N-甲基吡咯烷酮等酰胺或内酰胺。
这些溶剂中,从溶解性、颜料分散性、涂布性等角度考虑,优选丙二醇单甲基醚、丙二醇单乙基醚、乙二醇单甲基醚乙酸酯、丙二醇单甲基醚乙酸酯、丙二醇单乙基醚乙酸酯、二甘醇二甲基醚、二甘醇甲基乙基醚、环己酮、2-庚酮、3-庚酮、乳酸乙酯、3-甲氧基丙酸乙酯、3-乙氧基丙酸甲酯、3-乙氧基丙酸乙酯、乙酸3-甲氧基丁酯、丙酸3-甲基-3-甲氧基丁酯、乙酸正丁酯、乙酸异丁酯、甲酸正戊酯、乙酸异戊酯、丙酸正丁酯、丁酸乙酯、丁酸异丙酯、丁酸正丁酯、丙酮酸乙酯。上述溶剂可以单独使用或将2种以上混合使用。
还可以与上述溶剂一起,结合使用苄基乙基醚、二正己醚、丙酮基丙酮、异佛尔酮、己酸、辛酸、1-辛醇、1-壬醇、苄醇、乙酸苄基酯、苯甲酸乙酯、草酸二乙酯、马来酸二乙酯、γ-丁内酯、碳酸亚乙酯、碳酸亚丙酯、乙二醇单苯基醚乙酸酯等高沸点溶剂。
这些高沸点溶剂可以单独使用或将2种以上混合使用。
溶剂的使用量没有特别限定,从得到的放射线敏感性组合物的涂布性、稳定性等观点考虑,通常使除去该组合物溶剂的各成分总浓度通常达到5~50重量%,优选达到10~40重量%的量。
滤色器
本发明的滤色器具有由本发明的用于形成着色层的放射线敏感性组合物形成的着色层。
以下对于形成本发明的滤色器中着色层的方法进行说明。
首先,根据需要,在基板的表面上形成遮光层,将形成像素的部分进行区分,在该基板上涂布例如分散有红色颜料的放射线敏感性组合物的液态组合物,然后进行预烘烤,使溶剂蒸发,形成涂膜。
接着,经由光掩膜对该涂膜曝光,然后使用碱性显影液进行显影,溶解除去涂膜未曝光部分,然后通过后烘烤,形成像素矩阵,该像素矩阵是红色的像素图案按照规定的排列配置得到的。
然后使用分散有绿色或蓝色颜料的各放射线敏感性组合物的液态组合物,与上述同样地进行各液态组合物的涂布、预烘烤、曝光、显影和后烘烤,在同一基板上依次形成绿色像素矩阵和蓝色像素矩阵,红色、绿色和蓝色三原色的像素矩阵配置于基板上,得到滤色器。本发明中,形成各色像素的顺序并不限于上述。
另外,黑底例如使用本发明的用于形成着色层的放射线敏感性组合物,与上述像素的形成的情形同样地形成。
作为形成像素和/或黑底时使用的基板,例如有玻璃、硅、聚碳酸酯、聚酯、芳族聚酰胺、聚酰胺酰亚胺、聚酰亚胺等。
并且,根据期望,还可以对这些基板实施利用硅烷偶联剂等进行的化学试剂处理、等离子体处理、离子镀敷、溅射、气相反应法、真空蒸镀等适宜的前处理。
将放射线敏感性组合物的液态组合物涂布于基板上时,可采用喷雾法、辊涂法、旋转涂布法(旋涂法)、狭缝喷嘴涂布法、棒涂法、喷墨法等适当的涂布方法。特别优选旋涂法、狭缝喷嘴涂布法。
涂布的厚度按照除去溶剂后的膜厚计算,优选为0.1~10μm,更优选0.2~8.0μm,特别优选0.2~6.0μm。
作为形成着色层时使用的放射线,可使用例如可见光、紫外线、远紫外线、电子射线、X射线等,优选波长在190~450nm范围的放射线。
放射线的曝光量优选为10~10,000J/m2。
作为上述碱性显影液,优选例如碳酸钠、氢氧化钠、氢氧化钾、氢氧化四甲基铵、胆碱、1,8-二氮杂双环-[5.4.0]-7-十一碳烯、1,5-二氮杂双环-[4.3.0]-5-壬烯等的水溶液。
在上述碱性显影液中还可以适量添加例如甲醇、乙醇等水溶性有机溶剂或表面活性剂等。另外,通常在碱性显影后进行水洗。
作为显影处理方法,可以采用喷淋显影法、喷雾显影法、浸渍显影法、浸置(液洼)显影法等。显影条件优选在常温下进行5~300秒左右。
这样得到的本发明的滤色器例如对于透射型或反射型彩色液晶显示元件、彩色摄像管元件、颜色传感器等极为有用。
彩色液晶显示元件
本发明的彩色液晶显示元件具备本发明的滤色器。
本发明的彩色液晶显示元件的一个方案是使用本发明的用于形成着色层的放射线敏感性组合物,如上所述,在薄膜晶体管基板矩阵上形成像素和/或黑底,从而可以制备具有特别优异的特性的彩色液晶显示元件。
实施例
下面,列举实施例,进一步具体地说明本发明的实施方式。但是,本发明不受下述实施例的限定。
固化物(B1)的合成
合成例1
具备冷凝管和搅拌机的烧瓶中加入3重量份作为聚合引发剂的2,2’-偶氮二异丁腈和200重量份作为溶剂的丙二醇单甲基醚乙酸酯,接着作为聚合性不饱和化合物加入25重量份N-苯基马来酰亚胺、15重量份苯乙烯、30重量份甲基丙烯酸、10重量份甲基丙烯酸正丁酯和20重量份甲基丙烯酸苄酯以及作为多元硫醇化合物的7重量份季戊四醇四(3-巯基丙酸酯)(堺化学工业(株)制),氮取代。之后缓慢搅拌,使反应溶液的温度上升至80℃,在该温度保持5小时进行聚合,由此得到共聚物(B1)的溶液(固体成分浓度=35.5重量%,聚合转化率=100重量%)。将该共聚物(B1)作为“碱溶性树脂(B-1)”。
在此,聚合转化率是由供于自由基聚合的各成分的实际加入量和聚合后的共聚物溶液的固体成分浓度(重量%)通过下述式算出的。在铝皿中称量得到的共聚物溶液在180℃的热板上加热2小时时,测定加热前后的的重量,通过(加热后的重量×100/加热前的重量)而算出固体成分浓度。
聚合转化率(重量%)=聚合后的共聚物溶液的固体成分浓度(重量%)×全部成分的实际加入总量/溶剂以外的成分的实际加入总量
合成例2
除了将聚合性不饱和化合物变为25重量份N-苯基马来酰亚胺、15重量份苯乙烯、15重量份甲基丙烯酸、20重量份甲基丙烯酸正丁酯和25重量份3-(甲基丙烯酰氧基甲基)-3-乙基氧杂环丁烷以外,与合成例1相同地得到共聚物(B1)的溶液(固体成分浓度=35.5重量%,聚合转化率=100重量%)。将该共聚物(B1)作为“碱溶性树脂(B-2)”。
合成例3
除了将聚合性不饱和化合物变为25重量份N-苯基马来酰亚胺、15重量份苯乙烯、15重量份甲基丙烯酸、20重量份甲基丙烯酸正丁酯和25重量份甲基丙烯酸四氢糠基酯以外,与合成例1相同地得到共聚物(B1)的溶液(固体成分浓度=35.5重量%,聚合转化率=100重量%)。将该共聚物(B1)作为“碱溶性树脂(B-3)”。
合成例4
除了将聚合性不饱和化合物变为25重量份N-苯基马来酰亚胺、15重量份苯乙烯、15重量份甲基丙烯酸、20重量份甲基丙烯酸正丁酯、15重量份3-(甲基丙烯酰氧基甲基)-3-乙基氧杂环丁烷和10重量份甲基丙烯酸四氢糠基酯以外,与合成例1相同地得到共聚物(B1)的溶液(固体成分浓度=35.5重量%,聚合转化率=100重量%)。将该共聚物(B1)作为“碱溶性树脂(B-4)”。
合成例5
除了将多元硫醇化合物变为7重量份四甘醇二(3-巯基丙酸酯)(堺化学工业(株)制)以外,与合成例1相同地得到共聚物(B1)的溶液(固体成分浓度=35.5重量%,聚合转化率=100重量%)。将该共聚物(B1)作为“碱溶性树脂(B-5)”。
合成例6
除了将多元硫醇化合物变为7重量份二季戊四醇六(3-巯基丙酸酯)(堺化学工业(株)制)以外,与合成例1相同地得到共聚物(B1)的溶液(固体成分浓度=35.5重量%,聚合转化率=100重量%)。将该共聚物(B1)作为“碱溶性树脂(B-6)”。
合成例7
除了将多元硫醇化合物变为7重量份1,4-二(3-巯基丁酰氧基)丁烷(昭和电工(株)制)以外,与合成例1相同地得到共聚物(B1)的溶液(固体成分浓度=35.4重量%,聚合转化率=99.8重量%)。将该共聚物(B1)作为“碱溶性树脂(B-7)”。
合成例8
除了将多元硫醇化合物变为7重量份季戊四醇四(3-巯基丁酸酯)(昭和电工(株)制)以外,与合成例1相同地得到共聚物(B1)的溶液(固体成分浓度=35.3重量%,聚合转化率=99.5重量%)。将该共聚物(B1)作为“碱溶性树脂(B-8)”。
合成例9
除了将多元硫醇化合物变为7重量份1,3,5,-三(3-巯基丁基氧基乙基)-1,3,5,-三嗪-2,4,6(1H,3H,5H)-三酮(昭和电工(株)制)以外,与合成例2相同地得到共聚物(B1)的溶液(固体成分浓度=35.4重量%,聚合转化率=99.8重量%)。
将该共聚物(B1)作为“碱溶性树脂(B-9)”。
比较用共聚物的合成
合成例10
除了将聚合性不饱和化合物变为15重量份甲基丙烯酸、15重量份苯乙烯和70重量份甲基丙烯酸苄酯以外,与合成例1相同地得到共聚物的溶液(固体成分浓度=34.9重量%,聚合转化率=98.4重量%)。将该共聚物作为“碱溶性树脂(B-10)”
合成例11
除了代替季戊四醇四(3-巯基丙酸酯),使用7重量份叔十二烷基硫醇以外,与合成例1相同地得到共聚物的溶液(固体成分浓度=34.0重量%,聚合转化率=95.8重量%)。将该共聚物作为“碱溶性树脂(B-11)”。
合成例12
除了代替季戊四醇四(3-巯基丙酸酯),使用7重量份2,4-二苯基-4-甲基-1-戊烯(日本油脂(株)制)以外,与合成例1相同地得到共聚物的溶液(固体成分浓度=31.0重量%,聚合转化率=87.4重量%)。将该共聚物作为“碱溶性树脂(B-12)”。
聚合速度的比较
合成例13
除了将聚合性不饱和化合物变为15重量份N-苯基马来酰亚胺、8重量份苯乙烯、15重量份甲基丙烯酸、15重量份甲基丙烯酸2-羟基乙酯、28重量份甲基丙烯酸2-乙基己酯和19重量份甲基丙烯酸苄酯以外,与合成例1相同地得到共聚物(B1)的溶液。此时,使反应溶液的温度上升到80℃后,每1小时对反应溶液取样,测定各样品的固体成分浓度,追踪聚合转化率。结果示于表1。使反应溶液的温度上升到80℃后聚合2小时而得到的共聚物为“碱溶性树脂(B-13)”、聚合5小时而得到的共聚物为“碱溶性树脂(B-14)”。碱溶性树脂(B-14)的Mw=7000,Mn=4400。
合成例14
除了使用2,4-二苯基-4-甲基-1-戊烯代替季戊四醇四(3-巯基丙酸酯)以外,与合成例13同样追踪聚合转化率,得到共聚物溶液。使反应溶液的温度上升到80℃后聚合2小时而得到的共聚物为“碱溶性树脂(B-15)”、聚合5小时而得到的共聚物为“碱溶性树脂(B-16)”。碱溶性树脂(B-16)的Mw=9000,Mn=4300。
表1
颜料分散液制备
制备例1
将作为(A)着色剂的C.I.颜料红254/C.I.颜料红177=80/20(重量比)混合物20重量份、6重量份(以固体成分换算)作为分散剂的PB-821和作为溶剂丙二醇单甲基醚乙酸酯75重量份通过珠磨机进行处理,制备颜料分散液(R)。
制备例2
将作为(A)着色剂的C.I.颜料绿36/C.I.颜料黄150/C.I.颜料黄138=50/30/20(重量比)混合物20重量份、5重量份(以固体成分换算)作为分散剂的BYK-2001和作为溶剂的丙二醇单甲基醚乙酸酯75重量份通过珠磨机进行处理,制备颜料分散液(G)。
制备例3
将作为(A)着色剂的炭黑20重量份、3重量份(以固体成分换算)作为分散剂的BYK-2001和作为溶剂的丙二醇单甲基醚乙酸酯75重量份通过珠磨机进行处理,制备颜料分散液(BK)。
实施例1
将作为(A)着色剂的颜料分散液(R)100重量份、(B)作为碱溶性树脂的碱溶性树脂(B-1)15重量份(以固体成分换算)、(C)作为多官能性单体的二季戊四醇六丙烯酸酯15重量份、(D)作为光聚合引发剂的2-甲基-1-〔4-(甲硫基)苯基〕-2-吗啉基丙烷-1-酮5重量份和作为溶剂丙二醇单甲基醚乙酸酯混合,以使固体成分浓度为20重量%,制备液态组合物(R1)。
对于液态组合物(R1),根据下述的顺序形成图案进行评价。评价结果如表6所示。
图案形成
将液态组合物(R1)用旋涂机涂布在玻璃基板的表面上后,在90℃下进行4分钟预烘烤,形成膜厚1.3μm的涂膜。之后,将6枚该基板冷却至室温,使用高压水银灯,通过光掩模对各基板上的涂膜以100J/m2、200J/m2、300J/m2、400J/m、500J/m2、750J/m或1,000J/m2的各曝光量进行曝光。之后,对各基板上的涂膜,通过23℃的0.04重量%氢氧化钾水溶液以1kgf/cm2的显影压力(喷嘴直径1mm)排出而进行喷淋显影后,在220℃进行30分钟后烘烤,形成200×200μm的点图案。
敏感度的评价
对以各曝光量形成图案的各基板上的点图案用扫描型电子显微镜进行观察,图案良好地形成,以显影前后的膜厚比算出残膜率(显影后的膜厚×100/显影前的膜厚)为90%以上的情况为○,图案良好地形成,但残膜率小于90%、或确认图案的一部分有缺陷的情况为△,没有形成图案的情况为×,进行评价。
耐溶剂性的评价
将3枚以1,000J/m2的曝光量进行曝光得到的基板,在25℃的N-甲基吡咯烷酮(表6~表9中记为“NMP ”)、5重量%氢氧化钠水溶液(表6~表9中记为“NaOH”)或18重量%盐酸(表6~表9中记为“HCl”)中分别浸渍30分钟,将浸渍前后的点图案用扫描型电子显微镜进行观察,图案良好地形成,以浸渍前后的膜厚比算出残膜率(浸渍后的膜厚×100/浸渍前的膜厚)为95%以上的情况为○,浸渍前后的膜厚比小于95%、或确认图案的一部分有缺陷的情况为△、浸渍后的图案全部从基板剥离的情况为×,进行评价。
密合性的评价
将液态组合物(R1)用旋涂机涂布在玻璃基板的表面上后,在90℃下进行4分钟预烘烤,形成膜厚1.3μm的涂膜。之后,将该基板冷却至室温后,使用高压水银灯,对涂膜以2,000J/m2的曝光量进行曝光。之后,通过23℃的0.04重量%氢氧化钾水溶液以1kgf/cm2的显影压力(喷嘴直径1mm)排出而进行喷淋显影后,在220℃进行30分钟后烘烤。之后,根据JIS K 5400标准,将涂膜划格为100个棋盘格,进行密合性的评价,棋盘格没有发生剥离的情况为○,棋盘格中1~10个剥离的情况为△,棋盘格中超过10个发生剥离的情况为×,进行评价。
实施例2~41和比较例1~20
除了各成分的种类和量示于表2~表5(但是,份是重量基准)以外,与实施例1同样地制备各液态组合物,进行评价。评价结果示于表6~表9。
表2~表5中,多官能性单量和光聚合引发剂的内容如下述。
多官能性单量体
C-1:二季戊四醇六丙烯酸酯
C-2:三羟甲基丙烷三丙烯酸酯
光聚合引发剂
D-1:2-甲基-1-〔4-(甲硫基)苯基〕-2-吗啉基丙烷-1-酮
D-2:2-苄基-2-二甲基氨基-1-(4-吗啉基苯基)丁烷-1-酮
D-3:1-〔9-乙基-6-(2-甲基苯甲酰基)-9H-咔唑-3-基〕-乙酮1-(O-乙酰基肟)
D-4:4,4’-双(二乙基氨基)二苯甲酮
D-5:2,4-二乙基噻吨酮
D-6:2,2’-双(2-氯苯基)-4,4’,5,5’-四苯基-1,2’-联咪唑
D-7:2-巯基苯并噻唑
表2
液态组合物 | 颜料分散液(份) | 碱溶性树脂(份) | 多官能性单体(份) | 光聚合引发剂(份) | |
实施例1 | R1 | R(100) | B-1(15) | C-1(12)C-2(3) | D-1(4)D-5(1) |
实施例2 | R2 | R(100) | B-2(15) | C-1(12)C-2(3) | D-1(4)D-5(1) |
实施例3 | R3 | R(100) | B-3(15) | C-1(12)C-2(3) | D-1(4)D-5(1) |
实施例4 | R4 | R(100) | B-2(7.5)B-3(7.5) | C-1(12)C-2(3) | D-1(4)D-5(1) |
实施例5 | R5 | R(100) | B-4(15) | C-1(12)C-2(3) | D-1(4)D-5(1) |
实施例6 | R6 | R(100) | B-5(15) | C-1(12)C-2(3) | D-1(4)D-5(1) |
实施例7 | R7 | R(100) | B-6(15) | C-1(12)C-2(3) | D-1(4)D-5(1) |
实施例8 | R8 | R(100) | B-7(15) | C-1(12)C-2(3) | D-1(4)D-5(1) |
实施例9 | R9 | R(100) | B-8(15) | C-1(12)C-2(3) | D-1(4)D-5(1) |
实施例10 | R10 | R(100) | B-9(15) | C-1(12)C-2(3) | D-1(4)D-5(1) |
实施例11 | R11 | R(100) | B-2(15) | C-1(12)C-2(3) | D-3(3)D-4(1) |
实施例12 | R12 | R(100) | B-2(15) | C-1(12)C-2(3) | D-1(4)D-4(1)D-6(0.4)D-7(0.2) |
表3
液态组合物 | 颜料分散液(份) | 碱溶性树脂(份) | 多官能性单体(份) | 光聚合引发剂(份) | |
实施例13 | G1 | G(100) | B-1(10) | C-1(10) | D-2(4)D-4(1) |
实施例14 | G2 | G(100) | B-2(10) | C-1(10) | D-2(4)D-4(1) |
实施例15 | G3 | G(100) | B-3(10) | C-1(10) | D-2(4)D-4(1) |
实施例16 | G4 | G(100) | B-2(5)B-3(5) | C-1(10) | D-2(4)D-4(1) |
实施例17 | G5 | G(100) | B-4(10) | C-1(10) | D-2(4)D-4(1) |
实施例18 | G6 | G(100) | B-5(10) | C-1(10) | D-2(4)D-4(1) |
实施例19 | G7 | G(100) | B-6(10) | C-1(10) | D-2(4)D-4(1) |
实施例20 | G8 | G(100) | B-7(10) | C-1(10) | D-2(4)D-4(1) |
实施例21 | G9 | G(100) | B-8(10) | C-1(10) | D-2(4)D-4(1) |
实施例22 | G10 | G(100) | B-9(10) | C-1(10) | D-2(4)D-4(1) |
实施例23 | G11 | G(100) | B-2(10) | C-1(10) | D-3(3)D-4(1) |
实施例24 | G12 | G(100) | B-2(10) | C-1(10) | D-2(4)D-4(1)D-6(0.4)D-7(0.2) |
表4
液态组合物 | 颜料分散液(份) | 碱溶性树脂(份) | 多官能性单体(份) | 光聚合引发剂(份) | |
实施例25 | BK1 | BK(100) | B-1(9) | C-1(8) | D-3(4)D-5(1) |
实施例26 | BK2 | BK(100) | B-2(9) | C-1(8) | D-3(4)D-5(1) |
实施例27 | BK3 | BK(100) | B-3(9) | C-1(8) | D-3(4)D-5(1) |
实施例28 | BK4 | BK(100) | B-2(4.5)B-3(4.5) | C-1(8) | D-3(4)D-5(1) |
实施例29 | BK5 | BK(100) | B-4(9) | C-1(8) | D-3(4)D-5(1) |
实施例30 | BK6 | BK(100) | B-5(9) | C-1(8) | D-3(4)D-5(1) |
实施例31 | BK7 | BK(100) | B-6(9) | C-1(8) | D-3(4)D-5(1) |
实施例32 | BK8 | BK(100) | B-7(9) | C-1(8) | D-3(4)D-5(1) |
实施例33 | BK9 | BK(100) | B-8(9) | C-1(8) | D-3(4)D-5(1) |
实施例34 | BK10 | BK(100) | B-9(9) | C-1(8) | D-3(4)D-5(1) |
实施例35 | BK11 | BK(100) | B-2(9) | C-1(8) | D-3(4)D-5(1)D-6(0.4)D-7(0.2) |
实施例36 | R18 | R(100) | B-13(15) | C-1(12)C-2(3) | D-1(4)D-5(1) |
实施例37 | R19 | R(100) | B-14(15) | C-1(12)C-2(3) | D-1(4)D-5(1) |
实施例38 | G18 | G(100) | B-13(10) | C-1(10) | D-2(4)D-4(1) |
实施例39 | G19 | G(100) | B-14(10) | C-1(10) | D-2(4)D-4(1) |
实施例40 | BK16 | BK(100) | B-13(9) | C-1(8) | D-3(4)D-5(1) |
实施例41 | BK17 | BK(100) | B-14(9) | C-1(8) | D-3(4)D-5(1) |
表5
液态组合物 | 颜料分散液(份) | 碱溶性树脂(份) | 多官能性单体(份) | 光聚合引发剂(份) | |
比较例1 | R13 | R(100) | B-10(15) | C-1(12)C-2(3) | D-1(4)D-5(1) |
比较例2 | R14 | R(100) | B-11(15) | C-1(12)C-2(3) | D-1(4)D-5(1) |
比较例3 | R15 | R(100) | B-12(15) | C-1(12)C-2(3) | D-1(4)D-5(1) |
比较例4 | R16 | R(100) | B-10(15) | C-1(12)C-2(3) | D-3(3)D-4(1) |
比较例5 | R17 | R(100) | B-10(15) | C-1(12)C-2(3) | D-1(4)D-4(1)D-6(0.4)D-7(0.2) |
比较例6 | G13 | G(100) | B-10(10) | C-1(10) | D-2(4)D-4(1) |
比较例7 | G14 | G(100) | B-11(10) | C-1(10) | D-2(4)D-4(1) |
比较例8 | G15 | G(100) | B-12(10) | C-1(10) | D-2(4)D-4(1) |
比较例9 | G16 | G(100) | B-10(10) | C-1(10) | D-3(3)D-4(1) |
比较例10 | G17 | G(100) | B-10(10) | C-1(10) | D-2(4)D-4(1)D-6(0.4)D-7(0.2) |
比较例11 | BK12 | BK(100) | B-10(9) | C-1(8) | D-3(4)D-5(1) |
比较例12 | BK13 | BK(100) | B-11(9) | C-1(8) | D-3(4)D-5(1) |
比较例13 | BK14 | BK(100) | B-12(9) | C-1(8) | D-3(4)D-5(1) |
比较例14 | BK15 | BK(100) | B-10(9) | C-1(8) | D-3(4)D-5(1)D-6(0.4)D-7(0.2) |
比较例15 | R20 | R(100) | B-15(15) | C-1(12)C-2(3) | D-1(4)D-5(1) |
比较例16 | R21 | R(100) | B-16(15) | C-1(12)C-2(3) | D-1(4)D-5(1) |
比较例17 | G20 | G(100) | B-15(10) | C-1(10) | D-2(4)D-4(1) |
比较例18 | G21 | G(100) | B-16(10) | C-1(10) | D-2(4)D-4(1) |
比较例19 | BK18 | BK(100) | B-15(9) | C-1(8) | D-3(4)D-5(1) |
比较例20 | BK19 | BK(100) | B-16(9) | C-1(8) | D-3(4)D-5(1) |
表6
表7
表8
表9
如上所述,本发明的用于形成着色层的放射线敏感性组合物即使曝光量低,也可以得到不产生残膜率降低、图案缺损或侧壁腐蚀,而且耐溶剂性、与基板的密合性等优异的像素和黑底,另外构成作为粘合剂成分的(B)碱溶性树脂的主要成分的共聚物(B1)自身的保存稳定性良好,即使在高浓度地含有颜料的条件下,作为液态组合物的保存稳定性也优异。
而且,本发明的用于形成着色层的放射线敏感性组合物可以极为合适地用于以电子工业领域中的彩色液晶显示元件用的滤色器为代表的各种滤色器的制造中。
Claims (7)
4.权利要求1~3任意一项所述的放射线敏感性组合物,其中,上述聚合性混合物还含有(b3)具有氧杂环丁烷骨架的不饱和化合物和/或具有四氢呋喃骨架的不饱和化合物。
5.滤色器,其具有使用权利要求1~4任意一项所述的放射线敏感性组合物形成的着色层而成。
6.彩色液晶显示元件,其具备权利要求5所述的滤色器。
7.碱溶性树脂的制造方法,其特征在于,将含有(b1)选自不饱和羧酸、不饱和羧酸酐和不饱和酚化合物的至少一种、和(b2)上述式(4)表示的化合物而成的聚合性混合物在上述式(5)表示的化合物的存在下聚合。
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