CN100494011C - 搬运基板用托盘 - Google Patents

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Abstract

一种搬运基板用托盘，其把基板水平放置并且能多个叠置，所述搬运基板用托盘(1)包括：上方接触部，其在叠置多个时与配置在所述搬运基板用托盘(1)上方的搬运基板用托盘(1)接触；下方接触部，其与配置在下方的搬运基板用托盘(1)接触，所述上方接触部和所述下方接触部的形状形成为：在把其他搬运基板用托盘放置在所述搬运基板用托盘的上方时，使所述其他搬运基板用托盘(1)向所述其他搬运基板用托盘的重心配置在所述搬运基板用托盘重心的垂直上方的方向移动。能实现在不必担心由弯曲而使被装载物之间接触而破损的同时能稳定地进行叠置的搬运基板用托盘。

Description

搬运基板用托盘
技术领域
本发明涉及装载被装载物并且能把多个进行叠置的搬运基板用托盘。
背景技术
在要把显示屏等上使用的基板同时搬运多个时，一般是使用图27所示的搬运装置来进行搬运。图27所示的搬运装置是在由泡沫聚丙烯等材料构成长方体的包装材料201上设置竖孔203而成为有底方筒状，在竖孔203的内壁上设置有比收容基板数目少一个的凸棱205，并且把竖孔203间隔开而按照基板的个数形成槽204，在该槽204内各嵌入一个基板202来进行收容，通过使用它进行搬运就能把多个基板同时搬运。
在日本国公开专利公报“特开平10-287382号公报”(1998年10月27日公开)中公开了通过把基板放置在搬运基板用托盘上并把该搬运基板用托盘之间彼此叠置而能把多个基板叠置的结构。该特开平10-287382号公报是在具有形成于搬运基板用托盘四边的垂直侧面的框的四角上方，设置有一部分与框的侧面平行偏置的凹部，同时在设置有该凹部部位的垂直下方设置有能嵌入该凹部的突起部，在把多个搬运基板用托盘叠置时，通过把配置在上侧的搬运基板用托盘的突起部嵌入在配置在下侧的搬运基板用托盘的凹部内，而能把多个搬运基板用托盘叠置。
但在竖孔的槽内各嵌入一个基板的搬运装置中，基板仅是端部被凸棱205保持，而中央部任何部位都没被保持。其结果是在大面积显示屏基板的情况下基板弯曲，有基板中央部与其他基板中央部接触而有可能破损的课题。
在上述特开平10-287382号公报的搬运基板用托盘中，在凹部外侧面与突起部内侧面之间需要有考虑制造误差和相互嵌入的余量。这是由于若没有这种余量，则在叠置时在配置在上侧的搬运基板用托盘被制造得大而配置在下侧的搬运基板用托盘被制造得小的情况下，上侧的搬运基板用托盘不能很好地嵌入在下侧在搬运基板用托盘内，而是骑在下侧搬运基板用托盘的上面。
但若有这种余量，则如例如30层那样多层叠置的情况下就出现新的课题。即把多个搬运基板用托盘进行叠置时，由于从侧面看可能有若干靠左叠置的和若干靠右叠置的等，所以在多层叠置的状态下有靠左、右叠置的混合在一起而作为整体成为起伏形状的情况或大部分以靠左(或右)的状态叠置而作为整体成为向左(或右)倾斜形状的情况，不是稳定的装载状态。
发明内容
本发明是鉴于上述课题而开发的，其目的在于实现一种不用担心由基板弯曲而使基板之间接触而破损的同时能稳定地进行叠置的搬运基板用托盘。
为了达到所述目的，本发明搬运基板用托盘是把基板水平放置的同时能叠置多个，所述搬运基板用托盘包括：上方接触部，其在叠置多个时与配置所述搬运基板用托盘上方的搬运基板用托盘接触；下方接触部，其与配置在下方的搬运基板用托盘接触，所述上方接触部和所述下方接触部的形状形成为：在把其他搬运基板用托盘放置在所述搬运基板用托盘的上方时，使所述其他搬运基板用托盘向所述其他搬运基板用托盘的重心配置在所述搬运基板用托盘重心的垂直上方的方向移动，所述上方接触部和所述下方接触部的形状分别在抵接部分完全叠合，当所述搬运基板用托盘叠置多个时，上下的所述搬运基板用托盘的所述下方接触部与所述上方接触部彼此全面地紧密接触。
根据该结构，在把其他搬运基板用托盘放置在搬运基板用托盘的上方时，由于使上侧的搬运基板用托盘向上侧搬运基板用托盘的重心配置在下侧的搬运基板用托盘重心的垂直上方的方向移动，所以在叠置搬运基板用托盘时能使搬运基板用托盘在垂直方向上大致对齐为直线。
因此在不必担心由基板弯曲而使基板之间接触而破损的同时能稳定地进行叠置。
本发明搬运基板用托盘是在装载基板的同时能叠置多个，所述搬运基板用托盘包括：上方接触部，其在叠置多个时与配置所述搬运基板用托盘上方的搬运基板用托盘接触；下方接触部，其与配置在下方的搬运基板用托盘接触，所述上方接触部具备向搬运基板用托盘内侧方向或向搬运基板用托盘外侧方向变低倾斜的上方倾斜部，所述下方接触部具备向与所述上方倾斜部倾斜方向同方向倾斜的下方倾斜部，所述上方接触部和所述下方接触部的形状分别在抵接部分完全叠合，当所述搬运基板用托盘叠置多个时，上下的所述搬运基板用托盘的所述下方接触部与所述上方接触部彼此全面地紧密接触。
在此所说的倾斜并不限定于直线状，也包含曲线状。
根据该结构，优选的是，只要是叠置同形状的托盘就能在叠置搬运基板用托盘时使搬运基板用托盘在垂直方向上大致对齐为直线。
抵接区域即上方接触部、下方接触部，只要是叠置搬运基板用托盘时相互接触的部位便可，也可以根据被装载物的形状来决定。例如在被装载物是显示屏基板这样大面积的被装载物，而使用搬运基板用托盘整个底面来放置一个被装载物的情况下，抵接区域能作为搬运基板用托盘的周边缘部。
抵接区域上下侧的整个面可以是斜面形状，也可以是仅是包含抵接区域上下侧中外侧方向或中央方向一侧端部的部位是斜面形状，而包含另一侧端部的部位是水平面。
根据该结构，也是使上侧的搬运基板用托盘沿下侧搬运基板用托盘的斜面形状滑落在下侧搬运基板用托盘之上，使搬运基板用托盘水平方向上的中心位置停止在两搬运基板用托盘之间一致的位置上。因此，能防止搬运基板用托盘左右起伏或向一侧弯曲，能把搬运基板用托盘笔直地叠置。因此能把搬运基板用托盘之间彼此稳定叠置。
本发明搬运基板用托盘是在装载被装载物的同时能叠置多个，在搬运基板用托盘的各部分中，在把搬运基板用托盘水平放置时把朝向搬运基板用托盘中央的方向叫做中央方向，把朝向搬运基板用托盘外侧方向的方向叫做外侧方向，在把中央方向或外侧方向的任一个设定为是B方向时也能是下面的结构，即，在搬运基板用托盘的没装载所述被装载物的区域，且是叠置搬运基板用托盘时搬运基板用托盘之间相互接触的抵接区域的上侧面至少一部分上形成B方向侧低的斜面，而在所述抵接区域下侧的面上形成嵌入在叠置中位于下面的其他搬运基板用托盘抵接区域上侧的面内的斜面。
本发明的搬运基板用托盘在所述结构的基础上，能把所述上方接触部和所述下方接触部配置在搬运基板用托盘的周边缘。
在被装载物是显示屏基板这样大面积的被装载物，而使用搬运基板用托盘整个底面来放置一个被装载物的情况下，通过把所述上方接触部和所述下方接触部作为搬运基板用托盘的周边缘部而能把基板的放置部位加宽。且在放置多层时容易稳定。
由于通过把这种周边缘部作为抵接区域即上方接触部和所述下方接触部进行利用，就不需要另外新设置抵接区域那样的形状部，所以结构更简单。
本发明的搬运基板用托盘在所述结构的基础上，能把所述上方倾斜部形成在所述上方接触部的整个上面，把所述下方倾斜部形成在下方接触部的整个下面。
根据该结构，即使在放置于上方的搬运基板用托盘的放置偏差大的情况下，也能校正该偏差。即利用全部斜面，即使叠置搬运基板用托盘时的偏差比较大，也通过搬运基板用托盘的重量自然而然并且向本来的叠置位置容易移动。
且也可以所述抵接区域上侧面的整个面是斜面形状，所述抵接区域下侧面的整个面是嵌入在叠置中位于下面的其他搬运基板用托盘抵接区域上侧的所述斜面形状内的斜面的结构。
本发明的搬运基板用托盘在所述结构的基础上，能把所述上方倾斜部配置在包含所述上方接触部上面的外侧或内侧任一侧端的部位上，把所述下方倾斜部形成在所述下方接触部中的包含与配置了所述上方倾斜部的端对应的端的部位上。
根据所述结构，能把叠置的搬运基板用托盘的重量通过水平面部更强地支承。
且也可以是仅是包含所述抵接区域上下侧中外侧方向和中央方向中一侧端部的部位是斜面形状，而包含另一侧端部的部位是水平面的结构。
本发明的搬运基板用托盘在所述结构的基础上，能是所述上方倾斜部和所述下方倾斜部的一方或双方是平面状倾斜的结构。
根据所述结构，上侧的搬运基板用托盘是顺利地向下侧的搬运基板用托盘上落下去。
本发明的搬运基板用托盘在所述结构的基础上，能是所述上方倾斜部和所述下方倾斜部的一方或双方是越向下方其坡度越平缓的曲面状倾斜的结构。
根据所述结构，在上侧的搬运基板用托盘向下侧的搬运基板用托盘上落下去时，当接近应停止的位置处时能减速，能更平静地向规定位置落下。
本发明的搬运基板用托盘在所述结构的基础上，能是所述上方倾斜部和所述下方倾斜部的形状分别在接触部分完全叠合的结构。
根据所述结构，在把搬运基板用托盘进行叠置时，在水平面内即使不考虑搬运基板用托盘的方向，也能在上下搬运基板用托盘之间使倾斜的线之间一致而恰当地进行叠置，所以在这点上能简单地进行处理。
本发明的搬运基板用托盘在所述结构的基础上，结构能是：所述搬运基板用托盘把为了抓住该搬运基板用托盘的用于与卡合部卡合的突起从周边缘的外周面向外侧突出地形成，同时所述外周面在把所述搬运基板用托盘水平配置时成为垂直的方向上形成平面状，所述上方接触部和所述下方接触部形成得比所述外周面更靠近中央侧。
这样例如在铝框等抵接区域的外侧就没有作为搬运基板用托盘保持部的突起以外多余的“鼓出部”。因此，例如在要从叠置状态的搬运基板用托盘横向把搬运基板用托盘搬运装置的卡合部挂在作为各搬运基板用托盘保持部的突起上而搬运搬运基板用托盘时，不必担心卡合部误挂在上述那样的鼓出部位上。因此能更顺利地把搬运基板用托盘进行搬运。
所述抵接区域外侧方向的侧面，也可以是在叠置搬运基板用托盘时与叠置的搬运基板用托盘抵接区域外侧方向侧面的边界处没有突起的平面形状。
根据本发明，在把其他搬运基板用托盘放置在搬运基板用托盘的上方时，由于使上侧的搬运基板用托盘向上侧搬运基板用托盘的重心配置在下侧的搬运基板用托盘重心的垂直上方的方向移动，所以在叠置搬运基板用托盘时能使搬运基板用托盘在垂直方向上大致对齐为直线。因此在不必担心由基板弯曲而使基板之间接触而破损的同时能稳定地进行叠置。
本发明其他的目的、特点和优点，通过以下所示的记载就更能充分了解。且本发明的好处通过参照附图的下面的说明就能明白。
附图说明
图1(a)表示了本发明的实施例，是概略表示搬运基板用托盘结构的立体剖面图；
图1(b)表示了本发明的实施例，是概略表示在把搬运基板用托盘水平放置的状态下从垂直上方看其结构的平面图；
图2是概略表示叠置搬运基板用托盘结构的剖面图；
图3是概略表示叠置搬运基板用托盘结构的剖面图；
图4是概略表示叠置搬运基板用托盘并使用搬运基板用托盘搬运装置进行搬运的情况的剖面图；
图5是概略表示叠置搬运基板用托盘并使用搬运基板用托盘搬运装置进行搬运的情况的剖面图；
图6是概略表示搬运基板用托盘主要部分结构的剖面图；
图7是概略表示搬运基板用托盘主要部分结构的剖面图；
图8是概略表示搬运基板用托盘主要部分结构的剖面图；
图9是概略表示搬运基板用托盘主要部分结构的剖面图；
图10是概略表示搬运基板用托盘主要部分结构的剖面图；
图11是概略表示搬运基板用托盘主要部分结构的剖面图；
图12是概略表示搬运基板用托盘主要部分结构的剖面图；
图13是概略表示搬运基板用托盘主要部分结构的剖面图；
图14是概略表示搬运基板用托盘主要部分结构的剖面图；
图15是概略表示搬运基板用托盘主要部分结构的剖面图；
图16是概略表示搬运基板用托盘主要部分结构的剖面图；
图17是概略表示搬运基板用托盘主要部分结构的剖面图；
图18是概略表示搬运基板用托盘主要部分结构的剖面图；
图19是概略表示搬运基板用托盘主要部分结构的剖面图；
图20是概略表示搬运基板用托盘主要部分结构的剖面图；
图21是概略表示搬运基板用托盘主要部分结构的剖面图；
图22是概略表示作为比较的搬运基板用托盘主要部分结构的剖面图；
图23是概略表示作为比较的搬运基板用托盘主要部分结构的剖面图；
图24是概略表示叠置作为比较的搬运基板用托盘主要部分结构的剖面图；
图25是概略表示叠置作为比较的搬运基板用托盘主要部分结构的剖面图；
图26是概略表示叠置作为比较的搬运基板用托盘并使用搬运基板用托盘搬运装置进行搬运的情况的剖面图；
图27表示的是现有技术，是概略表示用于放入基板并且搬运的包装材料主要部分结构的剖面图。
具体实施方式
根据图1(a)到图26说明本发明的一实施例。
如图1(a)和图1(b)所示，搬运基板用托盘1作为被装载物例如是装载液晶显示屏等用的玻璃基板2(以下仅记载为基板2)。图1(a)是在搬运基板用托盘1上放置有基板2的状态下恰好在中央沿垂直方向剖切的剖面，即其是图1(b)中A-A视剖面的剖面图，图1(b)表示的是把基板2放置在搬运基板用托盘1上状态的平面图。
在此的说明中，以把基板2水平放置的状态作为基准，是把基板2放置在搬运基板用托盘1的上方来进行说明。因此，在图1(a)中朝向纸面而成为上方的方向是上，成为下方的方向是下。由于图1(b)是平面图，所以朝向纸面的上下方向是深度方向，左右方向是宽度方向。
搬运基板用托盘1具有被保持在框4和框4的中央且具有作为放置基板2的台的功能的放置台6。
放置台6具有在放置基板的平板上具有比基板的外周稍微大的内周的剖面是长方形的框部6b。若把平板配置有框部6b侧的面叫做上面、把与上面相反侧的面叫做下面，把平板上面中成为框部6b外侧的部位叫做外侧部6a、把成为内侧的部位叫做内侧部6c时，则是把基板2放置在内侧部6c的上面。该框部6b被设置成即使搬运基板用托盘1摇晃，基板2也是接触在该框部6b上，这样来使基板2不致偏离滑落或直接碰撞在框4上而由其冲击损坏。因此，放置台6是由能吸收冲击的材料，例如泡沫聚丙烯等形成的。且外侧部6a是被固定在框4上的部分。
框4被形成为是围绕放置台6外周的形状，包括有：框本体11；上侧固定部12、下侧固定部13，其是从框本体11的内周面11c向内侧突出设置的一对平板上的凸棱；凸缘部14，其从框本体11的外侧面11d向外侧突出设置。
如图2所示，框本体11具有在把搬运基板用托盘之间彼此进行叠置时与放置在上方的搬运基板用托盘相互接触的抵接区域即上方接触部11a、11i，和与配置在下方的搬运基板用托盘相互接触的抵接区域即下方接触部11b、11j。上方接触部11a、11i的形状被设置成垂直方向的高度从外周向内周变低那样地倾斜，下方接触部11b、11j的形状被设置成垂直方向的高度从外周向内周变低那样地倾斜。本实施例中，由于该倾斜形成为相同的斜度，上方接触部和下方接触部的宽度也形成得相同，所以上方接触部与下方接触部的倾斜形状是完全叠合的。
在此，若把设置在上方接触部11a、11i上的倾斜部分叫做上方倾斜部，把设置在下方接触部11b、11j上的倾斜部分叫做下方倾斜部时，则上方倾斜部和下方倾斜部是作为具有相同方向坡度的倾斜而形成的。
且本实施例是在上方接触部11a、11i和下方接触部11b、11j的整个面上设置了倾斜，所以上方接触部11a、11i和上方倾斜部表示的是相同的部位，下方接触部11b、11j和下方倾斜部表示的是相同的部位，但在倾斜不是设置在整个面上的情况下，则表示的不同的部位。
上侧固定部12、下侧固定部13以能把放置台6夹入的程度而分开，通过把放置台6夹持在其间而支承放置台6的周围。
凸缘部14是把整个搬运基板用托盘1提起来时，通过后述的搬运基板用托盘搬运装置88的卡合部89(参照图4)进行卡合的部分，本实施例是以从框本体11的外侧面11d整个区域在水平方向上延伸成具有相同厚度的平板状为例来表示的。但其形状并不限定于此，而是根据卡合部89的形状而适当选择其形状。例如在卡合部被预先决定是与相对边卡合的情况下，也可以在框本体11的外侧面11d中仅对其相对边(例如边11g、11h)进行设置，只要能稳定地支承在卡合部89上，也可以是其他形状。
框本体11的外侧面11d在设置有凸缘部14之外，最好是设置成在垂直方向上延伸的平面状而没有鼓出或凹部。通过这样地设置成没有鼓出或凹部而能在把搬运基板用托盘1卡合在卡合部89上提起来时，卡合部89不会抓住鼓出和凹部，能使搬运基板用托盘搬运装置88稳定地动作。
如上所述，凸缘部14是用于与卡合部进行卡合的突起(盒体抓握部)，所述卡合部用于抓住搬运基板用托盘1。上方接触部11a、11i和下方接触部11b、11j是具有通过上侧固定部12、下侧固定部13把放置台6进行定位功能的定位部。本实施例中盒体抓握部即凸缘部14与定位部即上方接触部11a、11i和下方接触部11b、11j是相互不同的部分。其结果是与盒体抓握部和定位部是相同部分结构的情况不同，而是在卡合部抓住托盘时，即使搬运基板用托盘1的载重是由盒体抓握部受力，定位部也不受该力便可。因此由于这点，而能抑制搬运基板用托盘1的变形或放置台6的定位精度恶化等。
如图2所示那样把以上所示的搬运基板用托盘1叠置多层时，位于上面的搬运基板用托盘1a的下方接触部11b、11j则嵌入在搬运基板用托盘1b的上方接触部11a的斜面形状内。搬运基板用托盘1b与其下面的搬运基板用托盘1c也是同样。这样，在把搬运基板用托盘1a放置在搬运基板用托盘1b上时，即使稍微有些位置偏离，也会由于斜面上的重力作用而使搬运基板用托盘1a向搬运基板用托盘1a与搬运基板用托盘1b的重心在垂直线上对齐的方向移动。因此，即使把搬运基板用托盘1重叠多层，各层的水平方向位置也能自动地对齐。这样，即使把搬运基板用托盘1例如叠置50层这样多层，也不会在垂直方向上不对齐。
图3表示了把搬运基板用托盘1叠置了若干层的状态。图3中放置台6部分的结构被简化画出。最下层的搬运基板用托盘1通过被放置在上面具备有与上方接触部同样形状接触部的基座上21上而稳定。且为了最好液晶显示装置用等的玻璃基板避免有灰尘混入，在最上层的搬运基板用托盘之上放置具有与下方接触部同样形状接触部的盖22。通过该盖22的作用就能防止灰尘混入。
如图4所示，这种搬运基板用托盘1能通过搬运基板用托盘搬运装置88而向其他的装置搬运。搬运基板用托盘搬运装置88具备：一对臂部87、87，其配置成以分开的宽度比搬运基板用托盘1的宽度宽的状态；卡合部89，其设置在该一对臂部87、87的内侧面上，且具有在把搬运基板用托盘1叠置多层时与相邻搬运基板用托盘凸缘部14的间隔相同的间隔。
一对臂部87、87设置在搬运基板用托盘1的宽度方向上，且能自由驱动把其间隔进行适当的变更。其动作是：首先扩展一对臂部87、87的间隔以成为卡合部89的内侧端与凸缘部14不接触的间隔，并从多层叠置的搬运基板用托盘上方朝向下方下降以配置在搬运基板用托盘的外侧。然后缩小一对臂部87、87间隔地进行移动以使卡合部89的内侧端配置在凸缘部14的下方，使卡合部89能卡合在凸缘部14上。然后使一对臂部87、87上升，在卡合部89卡合在凸缘部14上的状态下把搬运基板用托盘1提起来。搬运基板用托盘搬运装置这样地来把搬运基板用托盘进行搬运。
使用图22到图26叙述成为所述搬运基板用托盘1比较对象的例(以下叫做比较例)。比较例与搬运基板用托盘1同样地是装载作为被装载物例如液晶显示屏等用的基板2。
如图22所示，比较例的搬运基板用托盘100水平地形成有框本体101的上方接触部和下方接触部。在叠置多个搬运基板用托盘时，用于使放置在上方的搬运基板用托盘不滑落而在上方接触部的外侧上端设置了框状突起102，且从框本体101的外侧面向外侧设置了凸缘部101d。
框状突起102包括：突起101b，其是从搬运基板用托盘的框本体101上端部向框本体101外侧面的外侧水平延伸的上端外侧延伸部；突起101c，其从突起101b的外侧端向上方垂直延伸设置。
突起101b和突起101c都是延伸设置在框本体101上端外侧的全周上，突起101c的内侧面形成为位于框本体101下端部外侧面的外侧。因此在把搬运基板用托盘100叠置多个时，能把配置在上方的搬运基板用托盘100的框本体101下端部嵌入在框本体101上端侧的内侧。若该嵌入过紧则难于卸下来，且在制造误差大的情况下，把上侧的搬运基板用托盘放置在下侧的搬运基板用托盘上时，有可能上侧的搬运基板用托盘是骑在端面101c的面上，所以在上端侧的内侧面与放置在上方的搬运基板用托盘下端侧的外侧面之间要形成得有大于或等于一定程度的余量。该情况被表示在图23。图23中d表示配置在上方的搬运基板用托盘100的框本体101下端侧与框本体101上端侧的内侧之间的距离(相当于是上述所说的余量。
即使图22到图26所述比较例的搬运基板用托盘100，也存在有相当于本实施例说明的上侧固定部12、下侧固定部13(参照图1(a)和图1(b))的部件，但在图示中省略了。且基板2或放置台6的形状与图1(a)和图1(b)的相同。在图24、图25、图26中放置台6部分的结构是简化画出的，与图22所述的没有特别的变化。
如上所述，在上端侧的内侧面与放置在上方的搬运基板用托盘下端侧的外侧面之间需要有大于或等于一定程度的余量，但在把搬运基板用托盘叠置了有若干层时，则该余量就产生了问题。即，由于有余量而放置在上方的搬运基板用托盘100就能自由移动该余量部分，所以在每层就产生了偏离。
在叠置多层时，就如图24所示该偏离被累积，使最上层附近的搬运基板用托盘与最下层附近的搬运基板用托盘在横方向的位置上产生大的偏离，或如图25所示，在最下层与最上层之间搬运基板用托盘被叠置成在横方向上起伏那样的弯弯曲曲，或搬运基板用托盘不能被笔直叠置。因此，在把搬运基板用托盘叠置若干层时的整体稳定性差。
如图26所示，上述结构在利用搬运基板用托盘搬运装置88的卡合部89使搬运基板用托盘100上升时，有卡合部89没充分卡合在凸缘部101d上而搬运基板用托盘不能上升的情况或卡合部89的一侧抓住了从框本体101外侧面向外侧突出的突起101d的下端面而以倾斜状态使搬运基板用托盘100上升的情况等，搬运不良。
对此，本实施例的结构在把搬运基板用托盘1放置在上方时，即使放置得稍微有些位置偏离，被放置的搬运基板用托盘的重心是向配置成在下方邻接搬运基板用托盘重心的垂直上方的方向移动，叠置的搬运基板用托盘形成在垂直方向上对齐成直线，因此不会发生上述那样的搬运不良。
把搬运基板用托盘1放置在上方时的位置只要不偏离得超过设置有倾斜的范围，则能自动地使叠置的搬运基板用托盘在垂直方向上对齐成直线，所以能容许稍微有些偏离，这是适当的。
对上面所述的实施例可以加上各种变形。首先对于搬运基板用托盘搬运装置88，除了图4那样的搬运基板用托盘搬运装置88之外还能使用图5所示那样的搬运基板用托盘搬运装置90。搬运基板用托盘搬运装置90具有挂住各搬运基板用托盘1的突起即凸缘部14的爪状卡合部91，这样把搬运基板用托盘1一个一个地搬运。对于这种卡合部91，由于根据本发明而搬运基板用托盘是被在垂直方向上对齐成一列的，所以也能不调整位置地都在一定位置上可靠地把搬运基板用托盘抓住。
搬运基板用托盘1的框本体11的上方接触部和下方接触部的形状也并不限定于上述例。下面使用图6到图19来叙述该变化。且放置台6部分的结构是简略画出的。在与图1(a)和图1(b)结构相同的结构上付与相同的符号而省略重复的说明。以下所有的变化与图1(a)和图1(b)同样地是对包围放置台6的全周具有倾斜的结构进行的说明，但也包括图1(a)和图1(b)那样的情况，形成这种倾斜也可以仅是在周位置中的一部分上。
图6的例是与图1(a)和图1(b)同样地，搬运基板用托盘1框本体11的上方接触部11a、11i和下方接触部11b、11j具有内侧比外侧低的倾斜。但上方接触部不是整体倾斜，而是仅包含外周端部的一部分成为倾斜的上方倾斜部，包含内端部的其余部分则成为水平面。且下方接触部不是整体倾斜，而是仅包含外周端部的一部分成为倾斜的下方倾斜部。根据该结构，在与上下方邻接的搬运基板用托盘上方倾斜部抵接的位置进行配置时，放置在上方的搬运基板用托盘的重心是向配置成在下方邻接搬运基板用托盘重心的垂直上方的方向移动，叠置的搬运基板用托盘在垂直方向上对齐成直线，因此产生同样的作用效果。
图7的例是与图1(a)和图1(b)同样地，搬运基板用托盘1框本体11的上方接触部11a、11i和下方接触部11b、11j具有内侧比外侧低倾斜。但上方接触部不是整体倾斜，而是仅包含内周端部的一部分成为倾斜的上方倾斜部，包含内端部的其余部分则成为水平面。且下方接触部不是整体倾斜，而是仅包含内周端部的一部分成为倾斜的下方倾斜部。根据该结构，在与上下方邻接的搬运基板用托盘上方倾斜部抵接的位置进行配置时，放置在上方的搬运基板用托盘的重心是向配置成在下方邻接搬运基板用托盘重心的垂直上方的方向移动，叠置的搬运基板用托盘在垂直方向上对齐成直线，因此产生同样的作用效果。
图8的例是与图1(a)和图1(b)同样地，搬运基板用托盘1框本体11的上方接触部11a、11i和下方接触部11b、11j整体是斜面形状，但整体是外侧比内侧低。该形状的情况产生与图1(a)和图1(b)所示例同样的效果。
图9的例是与图8同样地，搬运基板用托盘1框本体11的上方接触部11a、11i和下方接触部11b、11j具有内侧比外侧低的倾斜。但上方接触部不是整体倾斜，而是仅包含外周端部的一部分成为倾斜的上方倾斜部，包含内端部的其余部分则成为水平面。且下方接触部不是整体倾斜，而是仅包含外周端部的一部分成为倾斜的下方倾斜部。该例具有与图6例同样的效果。
图10的例是与图8同样地，搬运基板用托盘1框本体11的上方接触部11a、11i和下方接触部11b、11j具有内侧比外侧低的倾斜。但上方接触部不是整体倾斜，而是仅包含内周端部的一部分成为倾斜的上方倾斜部，包含内端部的其余部分则成为水平面。且下方接触部不是整体倾斜，而是仅包含内周端部的一部分成为倾斜的下方倾斜部。该例具有与图7例同样的效果。
图11的例是与图1(a)和图1(b)同样地，搬运基板用托盘1框本体11的上方接触部11a、11i和下侧的底面11b是内侧比外侧低。但上方倾斜部和下方倾斜部是：包含内周端部的区域和包含外周端部的区域是水平的，仅被两区域夹着的一部分(中间区域)是斜面。在该情况下，在与上下方邻接的搬运基板用托盘上方倾斜部抵接的位置进行配置时，放置在上方的搬运基板用托盘的重心是向配置成在下方邻接搬运基板用托盘重心的垂直上方的方向移动，叠置的搬运基板用托盘在垂直方向上对齐成直线，因此产生同样的作用效果。
图12的例是与图8同样地，搬运基板用托盘1框本体11的上方接触部11a、11i和下方接触部11b、11j具有内侧比外侧低的倾斜。但上方倾斜部和下方倾斜部是：包含内周端部的区域和包含外周端部的区域是水平的，仅被两区域夹着的一部分(中间区域)是斜面。在该情况下，把放置在上方的搬运基板用托盘的下方倾斜部向与下方邻接的搬运基板用托盘上方倾斜部抵接的位置进行配置时，放置在上方的搬运基板用托盘的重心是向配置成在下方邻接搬运基板用托盘重心的垂直上方的方向移动，叠置的搬运基板用托盘在垂直方向上对齐成直线，因此产生同样的作用效果。
上述所示的例中斜面都是平面，但也可以设定成是曲面。图13到图19表示的是把该斜面形成曲面的例的图。
图13把图1(a)和图1(b)所示的例进行了变形，把倾斜不形成平面状而是形成越在下方倾斜坡度越变缓和的曲面状。即使这样也能得到与图1(a)和图1(b)所示例同样的效果。
图14把图1(a)和图1(b)所示的例进行了变形，把倾斜不形成平面状而是形成越在上方倾斜坡度越变缓和的曲面状。即使这样也能得到与图1(a)和图1(b)所示例同样的效果。
图15把图6所示的例进行了变形，把倾斜形成越在下方倾斜坡度越变缓和的曲面。即使这样也能得到与图6所示例同样的效果。
图16把图7所示的例进行了变形，把倾斜形成越在上方倾斜坡度越变缓和的曲面。即使这样也能得到与图7所示例同样的效果。
图17把图8所示的例进行了变形，把倾斜不形成平面状而是形成越在下方倾斜坡度越变缓和的曲面状。即使这样也能得到与图8所示例同样的效果。
图18把图8所示的例进行了变形，把倾斜不形成平面状而是形成越在上方倾斜坡度越变缓和的曲面状。即使这样也能得到与图8所示例同样的效果。
图19把图9所示的例进行了变形，把倾斜形成越在下方倾斜坡度越变缓和的曲面。即使这样也能得到与图9所示例同样的效果。
图20把图10所示的例进行了变形，把倾斜形成越在上方倾斜坡度越变缓和的曲面。即使这样也能得到与图10所示例同样的效果。
上述所有的例表示的是抵接区域的倾斜方向是相同的，但如图21所示也可以是上方倾斜部与下方倾斜部的倾斜是相反的结构。即，制作两种搬运基板用托盘：搬运基板用托盘1f，其具有使内侧处于外侧下方这样倾斜的上方倾斜部和使外侧处于内侧下方这样倾斜的下方倾斜部；搬运基板用托盘1g，其具有使外侧处于内侧下方这样倾斜的上方倾斜部和使内侧处于外侧下方这样倾斜的下方倾斜部，把这两种搬运基板用托盘交替叠置便可。在这种情况下需要把两种搬运基板用托盘1f’、1g交替叠置。该例也与所述其他所有的例同样地，在把搬运基板用托盘放置在上方时，即使放置得稍微有些位置偏离，被放置的搬运基板用托盘的重心是向配置成在下方邻接搬运基板用托盘重心的垂直上方的方向移动，叠置的搬运基板用托盘形成在垂直方向上对齐成直线。
上述所有的例中，上方接触部与下方接触部的形状是全等(把搬运基板用托盘重叠时，上方接触部是与下方接触部的整个面相对的相同形状)的，由于这样是以整个面来支承上方的搬运基板用托盘，所以能稳定地支承。
为了实施发明的方式的项目中具体的实施方式或实施例，最终是说明本发明技术内容的，不应狭义地解释为仅限定在这种具体例中，在本发明精神和下面所述专利要求的范围内可以进行各种变更来实施。
本发明在防止由被装载物的基板之间彼此弯曲接触而破损的同时能稳定地把搬运基板用托盘之间彼此进行叠置，所以能在把基板叠置的状态下进行叠置多个来搬运等的用途中使用。

Claims (10)

1、一种搬运基板用托盘，其把基板水平放置并且能多个叠置，其特征在于，
所述搬运基板用托盘包括：上方接触部，其在叠置多个时与配置所述搬运基板用托盘上方的搬运基板用托盘接触；下方接触部，其与配置在下方的搬运基板用托盘接触，
所述上方接触部和所述下方接触部的形状形成为：在把其他搬运基板用托盘放置在所述搬运基板用托盘的上方时，使所述其他搬运基板用托盘向所述其他搬运基板用托盘的重心配置在所述搬运基板用托盘的重心的垂直上方的方向移动，
所述上方接触部和所述下方接触部的形状分别在抵接部分完全叠合，
当所述搬运基板用托盘叠置多个时，上下的所述搬运基板用托盘的所述下方接触部与所述上方接触部彼此全面地紧密接触。
2、一种搬运基板用托盘，其在装载基板的同时能叠置多个，其特征在于，
所述搬运基板用托盘包括：上方接触部，其在叠置多个时与配置所述搬运基板用托盘上方的搬运基板用托盘接触；下方接触部，其与配置在下方的搬运基板用托盘接触，
所述上方接触部具备向搬运基板用托盘内侧方向或向搬运基板用托盘外侧方向变低倾斜的上方倾斜部，
所述下方接触部具备向与所述上方倾斜部的倾斜方向同方向倾斜的下方倾斜部，
所述上方接触部和所述下方接触部的形状分别在抵接部分完全叠合，
当所述搬运基板用托盘叠置多个时，上下的所述搬运基板用托盘的所述下方接触部与所述上方接触部彼此全面地紧密接触。
3、如权利要求1或权利要求2所述的搬运基板用托盘，其特征在于，包括放置所述基板的放置台，在所述放置台的放置所述基板的平板上具有内周比基板外周大的剖面是长方形的框部。
4、如权利要求2所述的搬运基板用托盘，其特征在于，所述上方接触部和所述下方接触部配置在搬运基板用托盘的周边缘。
5、如权利要求2或权利要求4所述的搬运基板用托盘，其特征在于，所述上方倾斜部形成在所述上方接触部的整个上面，
所述下方倾斜部形成在下方接触部的整个下面。
6、如权利要求2或权利要求4所述的搬运基板用托盘，其特征在于，所述上方倾斜部配置在包含所述上方接触部上面的外侧或内侧的任一侧端的部位上，
所述下方倾斜部形成在所述下方接触部中的包含与配置了所述上方倾斜部的端对应的端的部位上。
7、如权利要求2或权利要求4所述的搬运基板用托盘，其特征在于，所述上方倾斜部和所述下方倾斜部的一方或双方是平面状倾斜。
8、如权利要求2或权利要求4所述的搬运基板用托盘，其特征在于，所述上方倾斜部和所述下方倾斜部的一方或双方是越向下方则坡度越平缓的曲面状倾斜。
9、如权利要求4所述的搬运基板用托盘，其特征在于，所述上方接触部和所述下方接触部是与用于与抓住托盘的卡合部卡合的突起不同的部分。
10、如权利要求4所述的搬运基板用托盘，其特征在于，所述托盘把用于与抓住托盘的卡合部卡合的突起从周边缘的外周面向外侧突出地形成，并且，所述外周面在把所述托盘水平配置时在成为垂直的方向上形成平面状，
所述上方接触部和所述下方接触部形成得比所述外周面更靠近内侧。
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