CN100343055C - 液滴喷射装置、电光学装置、电光学装置的制造方法 - Google Patents

液滴喷射装置、电光学装置、电光学装置的制造方法 Download PDF

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Abstract

本发明涉及一种能够简单地调整喷嘴间距，高精度地进行绘图的液滴喷射装置、电光学装置以及电子机器。在从喷头的喷嘴向基体喷射液滴的液滴喷射装置中，包括保持上述基体的平台，以及分别保持包含有1个或多个具有喷嘴列的喷头的喷头组，且在1个轴上或平行设置的多个轴上在副扫描方向上移动的多个移动机构，以及独立驱动上述多个移动机构，同时调整在上述副扫描方向或主扫描方向上相邻的上述移动机构的喷头组间的相对位置关系，并调整喷嘴间距的位置控制装置；让上述承载器相对上述平台在上述主扫描方向上相对移动，通过上述喷头组向上述基体的被喷射部喷射液滴。

Description

液滴喷射装置、电光学装置、电光学装置的制造方法
技术领域
本发明涉及一种液滴喷射装置、电光学装置以及电子机器，详细地说，涉及一种适合于在彩色滤光片基板、彩色矩阵式显示装置等中周期地配置的区域中，涂敷液状体材料的液滴喷射装置、电光学装置以及电子机器。
背景技术
薄膜的形成中，一般使用例如作为薄膜涂敷方法之一的旋涂法。该旋涂法中，将液状体滴落在基板上之后，让基板旋转，通过离心力在基板全表面进行涂敷，从而形成薄膜，通过旋转数、旋转持续的时间以及液状体的粘度等来控制膜厚。
但是，旋涂法中，所供给的液状体大部分都飞散了，因此存在必须向其供应大量液状体，同时浪费很大，生产成本增加这一问题。另外，由于让基板旋转，通过离心力让液状体从内侧向外侧流动，具有***区域的膜厚要比内侧的膜厚更加厚的倾向，因此存在膜厚变得不均匀这一问题。
从相关背景出发，最近有人提案了喷墨法等液滴喷射法，并且提案了喷墨装置，作为用来实施该涂敷法的设备。该喷墨装置，能够将给定量的液状体配置到期望位置上，因此，非常适用于薄膜形成。例如，使用喷墨装置形成彩色滤光片基板的滤光片元素，以及形成在矩阵式显示装置中矩阵状配置的发光部，这都是公知的(参照例如专利文献1)。
伴随着彩色显示装置等的高象素化，彩色滤光片基板的滤光片元素等中，必须高密度地形成能涂敷材料的多个被喷射部。这里，被喷射部是指例如应当设置在滤光片元素中的部位。因此，对喷墨装置的喷墨头也提出了高密度化要求。如果能够高精度地制造基体宽度相同的喷墨头，则能够通过一次扫描在基体的全涂敷面高精度地进行绘图，但喷墨头的喷嘴很难高精度地制造，1个喷墨头中所能够高精度地制造的喷嘴数最多也不过200～400左右。因此，现在采用在承载器中将多个喷墨头安装在水平方向上，扩展绘图宽度的方法。这种情况下，在承载器内确定多个喷墨头的位置实施装配。在装配精度较差，无法得到所期望的喷嘴间距的情况下，必须进行分解再装配，存在该喷嘴间距的调整很难这一问题。
专利文献1：特开2003-127343号公报。
发明内容
本发明为了解决上述问题而提出的，其目的在于提供一种能够简单地调整喷嘴间距，高精度地进行绘图的液滴喷射装置、电光学装置、电光学装置的制造方法以及电子机器。
为解决上述问题实现发明目的，本发明的特征在于，在从喷头的喷嘴向基体喷射液滴的液滴喷射装置中，包括：保持上述基体的平台；多个移动机构，其分别保持包含有1个或多个具有喷嘴列的喷头的喷头组，且在1个轴上或平行设置的多个轴上在副扫描方向上移动；以及位置控制机构，其独立驱动上述多个移动机构，并且调整在上述副扫描方向或主扫描方向上相邻的上述移动机构的喷头组间的相对位置关系，并调整喷嘴间距，其中，让上述移动机构相对于上述平台在上述主扫描方向上相对移动，通过上述喷头组向上述基体的被喷射部喷射液滴。
通过这样，在1个轴上或平行设置的多个轴上在副扫描方向上移动的多个移动机构中分别安装喷头组，通过位置控制装置，独立驱动多个移动机构，同时调整在副扫描方向或主扫描方向上相邻的移动机构的喷头组间的相对位置关系，并调整喷嘴间距，因此，液滴喷射装置中，能够进行安装在多个移动机构上的喷头组之间的喷嘴间距，从而能够通过简单的方法来进行喷嘴间距的调整，高精度地进行绘图。其结果是，能够提供一种能够通过简单的方法来进行喷嘴间距的调整，高精度地进行绘图的液滴喷射装置。
另外，作为优选方式，上述位置控制机构，在维持所调整的相对位置关系的状态下，让上述多个移动机构同步在上述副扫描方向上移动。通过这样，能够由调整之后的喷嘴间距，对基体的全表面进行绘图。
另外，作为优选方式，上述位置控制机构，调整在上述副扫描方向或主扫描方向上相邻的上述移动机构的喷头组间的相对位置关系，使得上述副扫描方向的喷嘴间距为等间隔。通过这样，能够以较宽的绘图宽度来在基体中绘图，从而能够降低成膜基体的情况下的扫描次数。
另外，作为优选方式，上述位置控制机构，调整在上述副扫描方向或主扫描方向上相邻的上述移动机构的喷头组间的相对位置关系，使得上述副扫描方向的喷嘴间距的线密度提高。通过这样，能够由所期望的喷嘴间距来进行高密度的绘图。
另外，作为优选方式，上述被喷射部的俯视图，呈由长边与短边所决定的略矩形形状，上述平台保持上述基体，使得上述长边方向平行于上述副扫描方向，上述边方向平行于上述主扫描方向。通过这样，能够向矩形形状的被喷射部喷射液滴。
另外，作为优选方式，构成上述喷头组的喷头的喷嘴列，被设置为平行于上述副扫描方向。通过这样，能够以较宽的绘图宽度高精度地喷射液滴。
另外，作为优选方式，构成上述喷头组的喷头的喷嘴列，被设置在倾斜于上述副扫描方向的方向上。通过这样，能够高精度地喷射液滴。
另外，作为优选方式，在电光学装置的制造方法中使用本发明的液滴喷射装置。通过这样，能够高精度地绘图电光学装置。
另外，作为优选方式，电光学装置使用本发明的液滴喷射装置来进行制造。通过这样，能够提供一种能够进行高品质的显示等的电光学装置。
另外，作为优选方式，电子机器中安装有本发明的电光学装置。通过这样，能够提供一种安装有能够进行高品质的显示等的电光学装置的电子机器。
附图说明
图1为表示实施例的相关液滴喷射装置的模式图。
图2为表示实施例的相关承载器的模式图。
图3为表示实施例的相关喷头的模式图。
图4-1为表示实施例的相关喷头的喷射部的模式图。
图4-2为表示实施例的相关喷头的喷射部的模式图。
图5为表示实施例的相关喷头组中的喷头的相对位置关系的模式图。
图6为表示实施例的相关控制部的模式图。
图7-1为表示实施例的相关喷头驱动部的模式图。
图7-2为表示实施例的相关喷头驱动部中的驱动信号、选择信号以及喷射信号的时序图。
图8为用来表示实施例的相关液滴喷射装置的涂敷方法的一例的模式图。
图9-1为表示第1承载器与第2承载器的相对位置关系的变形例的模式图。
图9-2为表示喷头的排列的变形例的模式图。
图10-1为表示承载器的变形例1的模式图。
图10-2为表示承载器的变形例1的模式图。
图11为表示承载器的变形例2的模式图。
图12为表示彩色滤光片制造工序的流程图。
图13-1为顺次表示制造工序的彩色滤光片的模式剖视图。
图13-2为顺次表示制造工序的彩色滤光片的模式剖视图。
图13-3为顺次表示制造工序的彩色滤光片的模式剖视图。
图13-4为顺次表示制造工序的彩色滤光片的模式剖视图。
图13-5为顺次表示制造工序的彩色滤光片的模式剖视图。
图14为表示使用实施例的相关彩色滤光片的液晶装置的概要构成的要部剖视图。
图15为表示使用实施例的相关彩色滤光片的第2例液晶装置的概要构成的要部剖视图。
图16为表示使用实施例的相关彩色滤光片的第3例液晶装置的概要构成的要部剖视图。
图17为表示作为有机EL装置的显示装置的要部剖视图。
图18为表示作为有机EL装置的显示装置的制造工序的流程图。
图19为表示有机物围堰的形成的工序图。
图20为表示无机物围堰的形成的工序图。
图21为表示形成空穴注入/输送层的过程的工序图。
图22为表示所形成的空穴注入/输送层的状态的工序图。
图23为表示形成蓝色发光层的过程的工序图。
图24为表示所形成蓝色发光层的状态的工序图。
图25为表示所形成各色发光层的状态的工序图。
图26为表示阴极的形成工序图。
图27为表示作为等离子显示装置(PDP装置)的显示装置的要部分解立体图。
图28为表示作为电子发射装置(FED装置)的显示装置的要部剖视图。
图29-1为表示具有实施例的相关电光学装置的个人计算机的立体图。
图29-2为表示具有实施例的相关电光学装置的移动电话的立体图。
图中：100-液滴喷射装置，102-喷射扫描部，103-承载器，103A-第1承载器，103B-第2承载器，104-第1位置控制装置，106-平台，107A-第1传动轴，107B-第2传动轴，108-第2位置控制装置，111-液状体材料，112-控制部，114-喷头，114G-喷头组，116A、116B-喷嘴列，118-喷嘴，118R-基准喷嘴，124-振子，124A、124B-电极，124C-压电元件，127-喷射部，203-驱动信号生成部，208-喷头驱动部，300-基体，301-围堰，302-被喷射部，401-承载器，401A-第1承载器，401B-第2承载器，401C-第3承载器，402-传动轴，403G-喷头组，410-承载器，411A-第1承载器，411B-第2承载器，411C-第3承载器，412-传动轴，431-承载器，431A-第1承载器，431B-第2承载器，432-第1传动轴，441A-第3承载器，441B-第4承载器，442-第2传动轴。
具体实施方式
下面对照附图对本发明进行详细说明。另外，本实施例并不对本发明进行限定。另外，下述实施例中的构成要素中，包括本领域技术人员所能够容易地进行设想或实质上相同的装置。
(实施例)
下面对本发明的相关液滴喷射装置、电光学装置、电光学装置的制造方法以及电子机器的最佳实施方式，以[液滴喷射装置]、[电光学装置的制造]、[在电子机器中的应用]为顺序进行详细说明。
[液滴喷射装置]
下面按照(液滴喷射装置的整体构成)、(承载器)、(喷头)、(喷头组)、(控制部)、(涂敷方法)、(相对位置关系调整的变形例)、(喷头排列的变形例)、(承载器的变形例1)、(承载器的变形例2)的顺序，对本发明的实施例的相关液滴喷射装置进行详细说明。
(液滴喷射装置的整体构成)
图1为表示液滴喷射装置100的整体构成的模式图。液滴喷射装置100，如图1所示，具有保持液状体材料111的储液槽101、软管110、经软管110被供给来自储液槽101的液状体材料111的喷射扫描部102。喷射扫描部102具有保持多个喷头114(图2)的承载器(移动机构)103、控制承载器103的位置的第1位置控制装置104、保持后述的基体的平台106、控制平台106的位置的第2位置控制装置108以及控制部112。储液槽101与承载器103中的多个喷头114，通过软管110连接起来，从储液槽101分别向多个喷头113提供液状体材料111。
第1位置控制装置104，根据来自控制部112的信号，将承载器103沿着X轴方向(副扫描方向)，以及垂直于X轴方向的Z轴方向移动。另外，第1位置控制装置104，还具有让承载器103围绕平行于Z轴的轴进行旋转的功能。本实施例中，Z轴方向是平行于铅直方向(也即重力加速度的方向)的方向。第2位置控制装置108，根据来自控制部112的信号，将平台106沿着垂直于X轴方向以及Z轴方向双方的Y轴方向(主扫描方向)移动。另外，第1位置控制装置104，还具有让平台106围绕平行于Z轴的轴进行旋转的功能。另外，本说明书中，将第1位置控制装置104与第2位置控制装置108称作“扫描部”。
平台106具有平行于X轴方向与Y轴方向这两个方向的平面。另外，平台106能够将具有应当涂敷给定材料的被喷射部的基体，固定并保持在该平面上。另外，本说明书中有时将具有被喷射部的基体称作“受容基体”。
本说明书中的X轴方向、Y轴方向以及Z轴方向，与承载器103以及平台106中的任一方向另一方相对移动的方向一致。另外，将规定X轴方向、Y轴方向以及Z轴方向的XYZ坐标系的假想原点，固定在液滴喷射装置100的基准部分。本说明书中，X坐标、Y坐标以及Z坐标是该XYZ坐标系中的坐标。另外，上述的假想原点，既可以固定在平台106中，又可以固定在承载器103中。
如上所述，通过第1位置控制器104将承载器103在X轴方向上移动。另外，通过第2位置控制器108将平台106在Y轴方向上移动。也即，通过第1位置控制装置104以及第2位置控制装置108，变更喷头114相对平台106的位置。具体地说，通过上述动作，将承载器103、喷头组114G(图2)，喷头114或喷嘴118(图3)，相对以平台106定位的被喷射部，在Z轴方向上保持给定的距离，同时在X轴方向以及Y轴方向上相对移动，也即相对扫描。这里，也可以让承载器103相对静止的被喷射部在Y轴方向上移动。这样，可以在承载器103沿着Y轴方向在给定的2点之间移动时，从喷嘴118中向静止的被喷射部喷射材料111。“相对移动”或“相对扫描”，包括让喷射液状体材料111的一侧，与该喷射物所着落的一侧(被喷射部侧)中的至少一方，相对另一方移动。
另外，承载器103、喷头组114G(图2)，喷头114或喷嘴118(图3)相对移动是指，变更它们相对平台、基体或被喷射部的位置。因此，本说明书中，在承载器103、喷头组114G，喷头114或喷嘴118相对液滴喷射装置100静止，而只让平台106移动的情况下，也表述为承载器103、喷头组114G，喷头114或喷嘴118相对平台106、基体或被喷射部移动。另外，有时候将相对扫描或相对移动，与材料的喷射组合起来表述为“涂敷扫描”。
承载器103以及平台106还具有上述以外的平行移动以及旋转的自由度。但本发明中，为了让说明增加容易理解，而省略了上述自由度以外的自由度。
控制部112，从外部信息处理装置接收表示应当喷射液状体材料111的相对位置的喷射数据。关于控制部112的详细构成以及功能，将在后面说明。
(承载器)
图2为从平台106侧观察承载器103的图，垂直于图2的纸面的方向为Z轴方向。另外，图2的纸面的左右方向为X轴方向(副扫描方向)，纸面的上下方向为Y轴方向(主扫描方向)。
如图2所示，承载器(移动机构)103，由设置在同一个XY平面上的第1承载器103A(移动机构)，与第2承载器103B(移动机构)构成。第1承载器103A，按照第1位置控制装置104的控制，在延伸在X轴方向上的第1传动轴107A上在X轴方向上移动。第2承载器103B，按照第1位置控制装置104的控制，在与第1传动轴107A平行且设置在同一个XY平面上的第2传动轴107B上在X轴方向上移动。通过这样，第1承载器103A与第2承载器103B能够在X轴方向上独立移动。
第1、第2承载器103A、103B分别保持有喷头组114G。喷头组114G分别由4个喷头114构成，各个喷头114的排列相同。喷头114具有设置了多个后述的喷嘴118的底面。喷头114的底面形状是具有两个长边与两个短边的多边形。如图2所示，第1、第2承载器103A、103B所保持的喷头114的底面朝向平台106侧，另外，喷头114的长边方向与短边方向分别平行于X轴方向与Y轴方向。另外，关于喷头114互相之间的相对位置关系，将在后面进行说明。
第1位置控制装置104，为了对第1承载器103A的喷头组114G与第2承载器103B的喷头组114G之间的喷嘴间距进行调整，让第1承载器103A与第2承载器103B相对移动，进行相对位置的调整，使得第1承载器103A的喷头组114G与第2承载器103B的喷头组114G之间的喷嘴间距为给定的距离。图2中显示了将第1承载器103A的喷头组114G与第2承载器103B的喷头组114G在X轴方向上并列，绘图宽度变为2倍的情况。可以考虑各种方法，作为进行第1承载器103A与第2承载器103B的相对位置关系的调整的方法，例如以下所示的第1以及第2方法。
(1)第1方法
在第1承载器103A与第2承载器103B设置在给定位置的情况下，对应于测试图案，在基体11上绘图液状体材料111。测量出绘图在基体上的第1承载器103A的喷头组114G与第2承载器103B的喷头组114G之间接缝部位的图案偏移量，将第1承载器103A与第2承载器103B相对移动该偏移量，通过这样来调整喷嘴间距。
(2)第2方法
在第1承载器103A与第2承载器103B的喷头组114G的喷嘴中插别针，用照相机拍摄两个别针并测量出两个别针之间的距离，计算出测定具有与目标距离之间的偏移量，将第1承载器103A与第2承载器103B相对移动该偏移量，通过这样来调整喷嘴间距。
调整了相对位置关系之后，第1位置控制装置104，在保持所调整的第1承载器103A与第2承载器103B相对位置关系的状态下，将第1承载器103A与第2承载器103B同步在X轴方向上移动。这里，虽然让相对位置关系调整之后的第1承载器103A与第2承载器103B同步移动，但不一定需要同步，只要在移动后能够维持相对位置关系就可以。以下的说明中也一样。
另外，这里喷头组114G分别具有4个喷头，但喷头组114G所具有的喷头数并没有限制，另外，喷头也可以是1个。本说明书中，喷头组是指1个或多个喷头的集合。
(喷头)
图3中显示了喷头114的底面。喷头114具有排列在X轴方向上的多个喷嘴118。这些多个喷嘴118被设置为喷头114的X轴方向的喷嘴间距HXP约为70μm。这里，“喷头114的X轴方向的喷嘴间距HXP”，相当于将喷头114中的所有喷嘴118沿着Y轴方向投影到X轴上所得到的多个喷嘴像之间的间距。
本实施例中，喷头114中的多个喷嘴118，均由在X轴方向上延伸的喷嘴列116A与喷嘴列116B构成。嘴列116A与喷嘴列116B排列在Y轴方向上。嘴列116A与喷嘴列116B中，分别有180个喷嘴118以一定的间隔在X轴方向排列成一列。本实施例中，该一定的间隔大约为140μm。也即，喷嘴列116A的喷嘴间距LNP，与喷嘴列116B的喷嘴间距LNP都大约为140μm。
喷嘴列116B的位置相对喷嘴列116A的位置，向X轴方向的正方向(图3的右方)偏移了喷嘴间距LNP的一半(大约70μm)。因此，喷头114的X方向的喷嘴间距HXP，为喷嘴列116A(或喷嘴列116B)的喷嘴间距LNP的一半长度(约70μm)。
因此，喷头114的X轴方向的喷嘴线密度，为喷嘴列116A(或喷嘴列116B)的喷嘴线密度的2倍。另外，本说明书中，“X轴方向的喷嘴线密度”是相当于将多个喷嘴沿着Y轴方向投影到X轴上所得到的多个喷嘴像的单位长度的数字。
当然，喷头114中所包含的喷嘴列的数目并不一定是2个。喷头114可以包含有M个喷嘴列。这里，M为1以上的自然数。这种情况下，M个喷嘴列各自中的多个喷嘴118，以喷嘴间距HXP的M倍长度的间距进行排列。另外，在M为2以上的自然数的情况下，相对M个喷嘴列中的一个，另一个(M-1)喷嘴列在X轴方向上无重复地偏移喷嘴间距HXP的i倍长度。这里，i为从1到(M-1)的自然数。
由于喷嘴列116A与喷嘴列116B分别由180个喷嘴构成，因此，1个喷头114具有360个喷嘴。但将喷嘴列116A的两端的各10个喷嘴设为“休眠喷嘴”。同样，将喷嘴列116B的两端的各10个喷嘴设为“休眠喷嘴”。这样，不从这40个“休眠喷嘴”中喷射液状体材料111。因此，喷头114的360个喷嘴118中，有320个喷嘴118具有喷射液状体材料111的功能。本说明书中，将这320个喷嘴118表述为“喷射喷嘴”。
本说明书中，为了对喷头114之间的相对位置关系进行说明，而将喷嘴列116A中所包括的180个喷嘴118中，将左起第11个喷嘴118标记为喷头114的“基准喷嘴118R”。也即，喷嘴列116A中的160个喷射喷嘴中，最左侧的喷射喷嘴为喷头114的“基准喷嘴118R”。另外，“基准喷嘴118R”的位置也可以不是上述位置，只要对所有的喷头114指定“基准喷嘴118R”的方法相同就可以。
如图4-1以及图4-2所示，各个喷头114是喷墨头。更具体地说，各个喷头114具有振动板126与喷嘴板128。通常充满从储液槽101经孔131所提供液状的材料111的储液室129，位于振动板126与喷嘴板128之间。
另外，多个分隔壁位于振动板126与喷嘴板128之间。这样，通过振动板126、喷嘴板128以及一对分隔壁122所包围的部分是空腔120。由于空腔120与喷嘴118对应设置，因此，空腔120的数目与喷嘴118的数目相同。空腔120中，经位于1对分隔壁122之间的供给口130，被储液室129提供液状体材料111。
振子124分别与各个空腔相对应，位于振动板126上。振子124包括压电元件124C以及夹持压电元件124C的1对电极124A、124B。通过给这一对电极124A、124B之间加载驱动电压，从对应的喷嘴118中喷射液状体材料111。另外，调整喷嘴118的形状，从而让喷嘴118向Z轴方向喷射液状体材料。
这里，本说明书中的“液状体材料”是指，具有能够从喷嘴喷射的粘度的材料。这种情况下，不管材料是水性的还是油性的。只要具有能够从喷嘴喷射的流动性(粘度)就可以了，即使混有固体物质但只要整体上是流体就可以。
控制部112(图1)可以向多个振子124分别提供互相独立的信号。也即，从喷嘴118中所喷射的材料111的体积，可以根据来自控制部112的信号，在每个喷嘴118中进行控制。这种情况下，从喷嘴118所分别喷射的材料111的体积在0pl～42pl(微微升)之间可变。另外，控制部112如后所述，在涂敷扫描时，还能够设定进行喷射动作的喷嘴118，与不进行喷射动作的喷嘴118。
本说明书中，有时将包括1个喷嘴18、对应于喷嘴118的空腔120以及对应于空腔120的振子124的部分，表述为“喷射部127”。根据该表述，1个喷头114具有与喷嘴118的数目相同数目的喷射部127。喷射部127也可以具有电气热变换元件，来代替压电元件。也即，喷射部127也可以利用电气热变换元件对材料的热膨胀，来喷射材料。
(喷头组)
接下来，对喷头组114G中的4个喷头114的相对位置关系进行说明。图5中显示了在图2的承载器103(第1、第2承载器103A、103B)中，在Y轴方向上相邻的2个喷头组114G。
如图5所示，各个喷头组114G由4个喷头114构成。配置喷头组114G中的4个喷头114，使得喷头组114G的X轴方向的喷嘴间距GXP，为喷头114的X轴方向的喷嘴间距HXP的1/4倍长。更具体地说，让1个喷头114的基准喷嘴118R的X坐标，位于相对另一个喷头114的基准喷嘴118R的X坐标，在X方向上无重复地偏移喷嘴间距HXP的j/4倍的长度处。这里，j为1到3之间的自然数。因此，喷头组114G的X方向的喷嘴间距GXP，为喷嘴间距HXP的1/4倍。
本实施例中，由于喷头114的X轴方向喷嘴间距HXP约为70μm，因此，喷头组114G的X方向的喷嘴间距GXP为其1/4倍，也即17.5μm。这里，“喷头组114G的X方向的喷嘴间距GXP”，相当于将喷头组114G中的所有喷嘴118，沿着Y轴方向投影到X轴上所得到的多个喷嘴像之间的间距。
当然，喷头组114G中所包括的喷头114的个数，并不仅限于4个。喷头组114G可以由N个喷头114构成。这里，N为2以上的自然数。这种情况下，配置喷头组114G中的N个喷头114，使得喷嘴间距GXP为喷嘴间距HXP的1/N倍长。或者，让一个(N-1)喷头114的基准喷嘴118R的X坐标，位于相对第N个喷头114的基准喷嘴118R的X坐标，无重复地偏移喷嘴间距HXP的j/N倍的长度。这里，j为1到(N-1)之间的自然数。
下面对本实施例的喷头114的相对位置关系进行更加具体地说明。
首先，为了让说明较容易，将图5的左上方的喷头组114G中所包括的4个喷头114，从上向下分别标记为喷头1141、喷头1142、喷头1143、喷头1144。同样，将图5的右下方的喷头组114G中所包括的4个喷头114，从上向下分别标记为喷头1145、喷头1146、喷头1147、喷头1148。
接下来，将喷头1141中的喷嘴列116A、116B标记为喷嘴列1A、1B，将喷头1142中的喷嘴列116A、116B标记为喷嘴列2A、2B，将喷头1143中的喷嘴列116A、116B标记为喷嘴列3A、3B，将喷头1144中的喷嘴列116A、116B标记为喷嘴列4A、4B，将喷头1145中的喷嘴列116A、116B标记为喷嘴列5A、5B，将喷头1146中的喷嘴列116A、116B标记为喷嘴列6A、6B，将喷头1147中的喷嘴列116A、116B标记为喷嘴列7A、7B，将喷头1148中的喷嘴列116A、116B标记为喷嘴列8A、8B。
这些喷嘴列1A～8B实际上分别由180个喷嘴118构成。如上所述，各个喷嘴列1A～8B中，该180个喷嘴排列在X轴方向上。但图5中为了便于说明，将各个喷嘴列1A～8B分别绘图成由4个喷射喷嘴(喷嘴118)构成。另外，图5中，喷嘴列1A的最左侧的喷嘴118为喷头1141的基准喷嘴118R，喷嘴列2A的最左侧的喷嘴118为喷头1142的基准喷嘴118R，喷嘴列3A的最左侧的喷嘴118为喷头1143的基准喷嘴118R，喷嘴列4A的最左侧的喷嘴118为喷头1144的基准喷嘴118R，喷嘴列5A的最左侧的喷嘴118为喷头1145的基准喷嘴118R。
喷头1141的基准喷嘴118R的X坐标，与喷头1142的基准喷嘴118R的X坐标之间的差的绝对值，是喷嘴间距LNP的1/4倍的长度，也即喷嘴间距HX的1/2倍。图5的例子中，喷头1141的基准喷嘴118R的位置，相对喷头1142的基准喷嘴118R的位置，向喷头X轴方向的负方向(图5的左方)偏移了喷嘴间距LNP的1/4倍的长度。但喷头1141相对喷头1142偏移的方向，也可以是X轴方向的正方向(图5的右方)。
喷头1143的基准喷嘴118R的X坐标，与喷头1144的基准喷嘴118R的X坐标之间的差的绝对值，是喷嘴间距LNP的1/4倍，也即喷嘴间距HXP的1/2倍的长度。图5的例子中，喷头1143的基准喷嘴118R的位置，相对喷头1144的基准喷嘴118R的位置，向喷头X轴方向的负方向(图5的左方)偏移了喷嘴间距LNP的1/4倍的长度。但喷头1143相对喷头1144偏移的方向，也可以是X轴方向的正方向(图5的右方)。
喷头1142的基准喷嘴118R的X坐标，与喷头1143的基准喷嘴118R的X坐标之间的差的绝对值，是喷嘴间距LNP的1/8或3/8，也即喷嘴间距HXP的1/4倍或3/4倍的长度。图5的例子中，喷头1142的基准喷嘴118R的位置，相对喷头1143的基准喷嘴118R的位置，向喷头X轴方向的正方向(图5的右方)偏移了喷嘴间距LNP的1/8，也即17.5μm。但喷头1142相对喷头1143偏移的方向，也可以是X轴方向的负方向(图5的左方)。
本实施例中，喷头1141、喷头1142、喷头1143、喷头1144顺次向Y轴方向的负方向(图面的下方)排列。但排列在Y轴方向上的这4个喷头114的顺序，可以不是本实施例的顺序。具体地说，只要让喷头1141与喷头1142在Y轴方向上相邻，同时，让喷头1143与喷头1144在Y轴方向上相邻就可以了。
通过上述配置，在喷嘴列1A的最左侧的喷嘴118的X坐标与喷嘴列1B的最左侧的喷嘴118的X坐标之间，包括进喷嘴列2A的最左侧的喷嘴118的X坐标、喷嘴列3A的最左侧的喷嘴118的X坐标以及喷嘴列4A的最左侧的喷嘴118的X坐标。同样，在喷嘴列1B的最左侧的喷嘴118的X坐标与喷嘴列1A的左起第2个的喷嘴118的X坐标之间，包括进喷嘴列2B的最左侧的喷嘴118的X坐标、喷嘴列3B的最左侧的喷嘴118的X坐标以及喷嘴列4B的最左侧的喷嘴118的X坐标。在喷嘴列1A的另一个喷嘴118的X坐标与喷嘴列1B的另一个喷嘴118的X坐标之间，同样包括进喷嘴列2A(或2B)的喷嘴118的X坐标、喷嘴列3A(或3B)的喷嘴118的X坐标以及喷嘴列4A(或4B)的喷嘴118的X坐标。
更具体地说，通过上述喷头配置，喷嘴列1B的最左侧的喷嘴118的X坐标，几乎位于喷嘴列1A的最左侧的喷嘴118的X坐标与喷嘴列1A的左起第2个的喷嘴118的X坐标的正中间。喷嘴列2A的最左侧的喷嘴118的X坐标，几乎位于喷嘴列1A的最左侧的喷嘴118的X坐标与喷嘴列1B的最左侧的喷嘴118的X坐标的正中间。喷嘴列2B的最左侧的喷嘴118的X坐标，几乎位于喷嘴列1A的左起第2个喷嘴118的X坐标与喷嘴列1B的最左侧的喷嘴118的X坐标的正中间。喷嘴列3A的最左侧的喷嘴118的X坐标，几乎位于喷嘴列1A的最左侧的喷嘴118的X坐标与喷嘴列2A的最左侧的喷嘴118的X坐标的正中间。喷嘴列3B的最左侧的喷嘴118的X坐标，几乎位于喷嘴列1B的最左侧的喷嘴118的X坐标与喷嘴列2B的最左侧的喷嘴118的X坐标的正中间。喷嘴列4A的最左侧的喷嘴118的X坐标，几乎位于喷嘴列1B的最左侧的喷嘴118的X坐标与喷嘴列2A的最左侧的喷嘴118的X坐标的正中间。喷嘴列4B的最左侧的喷嘴118的X坐标，几乎位于喷嘴列1A的左起第2个喷嘴118的X坐标与喷嘴列2B的最左侧的喷嘴118的X坐标的正中间。
图5的右下方的喷头组114G中的喷头1145、1146、1147、1148的配置，也即构造，与喷头1141、1142、1143、1144的配置相同。
接下来，在X轴方向相邻的2个喷头组114G之间的相对位置关系，像下述的关系那样，对第1承载器103A与第2承载器103B之间的相对位置关系进行调整。下面根据喷头1145与喷头1141之间的关系，对在X轴方向上相邻的2个喷头组114G之间的相对位置关系进行说明。
喷头1145的基准喷嘴118R的位置，从喷头1141的基准喷嘴118R的位置出发，向X轴方向的正方向，偏移喷头114的X轴方向的喷嘴间距HXP与喷头114中的喷射喷嘴数目的乘积的长度。本实施例中，喷嘴间距HXP约为70μm，同时，1个喷头114中的喷射喷嘴的个数为320个，因此，喷头1145的基准喷嘴118R的位置，从喷头1141的基准喷嘴118R的位置出发，向X轴方向的正方向偏移22.4mm(70μm×320)。但是，图5中为了便于说明，由于喷嘴1141中的喷射喷嘴的个数为8个，因此图中绘图成喷头1145的基准喷嘴118R的位置，偏离喷头1141的基准喷嘴118R的位置560μm(70μm×8)。
由于喷头1141与喷头1145如上进行配置，因此，喷嘴列1A的最右侧喷嘴的X坐标，与喷嘴列5A的最左侧喷嘴的X坐标之间，仅偏离了喷嘴间距LNP。因此，两个喷头组114G整体的X轴方向的喷嘴间距，为喷头114的X轴方向的喷嘴间距HXP的1/4倍。
另外，同样配置6个喷头组114G，使得作为承载器103全体的X轴方向的喷嘴间距也为17.5μm，也即喷头114的X轴方向的喷嘴间距HXP的1/4倍的长度。
(控制部)
接下来，对控制部112的构成进行说明。如图6所示，控制部112具有输入缓存器200、存储机构202、处理部204、扫描驱动部206、喷头驱动部208。输入缓存器200与处理部204相连接且能够互相通信。处理部204与存储机构202相连接且能够互相通信。处理部204与扫描驱动部206相连接且能够互相通信。处理部204与喷头驱动部208相连接且能够互相通信。另外，扫描驱动部206与第1位置控制装置104以及第2位置控制装置108相连接且能够互相通信。同样，喷头驱动部208与多个喷头114相连接且能够互相通信。
输入缓存器200，从外部信息处理装置接收用来进行液状材料111的液滴喷射的喷射数据。喷射数据包括表示基体上的所有被喷射部的相对位置的数据、表示在所有的被喷射部中将液状体材料111涂敷到给定厚度所需要的相对扫描的次数的数据、指定具有作为打开喷嘴118A的功能的喷嘴118的数据，以及指定具有作为关闭喷嘴118B的功能的喷嘴118的数据。关于打开喷嘴118A与关闭喷嘴118B将在后面进行说明。输入缓存器200将喷射数据提供给处理部204，处理部204将喷射数据保存在存储机构202中。图6中，存储机构202为RAM。
处理部204根据存储机构202内的喷射数据，将表示喷嘴118相对被喷射部的位置的数据发送给扫描驱动部206。扫描驱动部206将对应于该数据与后述的喷射周期EP(图7)的驱动信号，发送给第1位置控制装置104与第2位置控制装置108。其结果是，喷头114对被喷射部进行相对扫描。另外，处理部204根据存储在存储机构202中的喷射数据，与喷射周期EP，将指定喷射时序中的每个喷嘴118的打开·关闭的选择信号SC发送给喷头驱动部208。喷头驱动部208根据选择信号SC，将喷射液状体材料111所必须的喷射信号ES发送给喷头114。其结果是，从喷头114中的对应喷嘴118中，将液状体材料111作为液滴喷射。
控制部112可以是包含有CPU、ROM、RAM的计算机。这种情况下，控制部112的上述功能，可以通过由计算机所执行的软件来实现。当然，控制部112也可以提供专用的电路(硬件)来实现。
接下来，对控制部112中的喷头驱动部208的构成与功能进行说明。
如图7-1所示，喷头驱动部208具有1个驱动信号生成部203，与多个模拟开关AS。如图7-2所示，驱动信号生成部203生成驱动信号DS。驱动信号DS的电位，相对基准电位L在时间上进行变化。具体地说，驱动信号DS包含有在喷射周期EP反复的多个喷射波形P。这里，喷射波形P为了从喷嘴118喷射1个液滴，与对应的振子124的一对电极之间所应当加载的驱动电压波形相对应。
驱动信号DS被提供给模拟开关AS的各个输入端。模拟开关AS被设置为与喷射部127分别相对应。也即，模拟开关AS的数目与喷射部127的数目(也即喷嘴118的数目)相同。
处理部204，将表示喷嘴118的打开·关闭的选择信号SC，分别发送给模拟开关AS。这里，选择信号SC，让每个模拟开关AS分别独立取得高电平与低电平中的任一个状态。另外，模拟开关AS，对应于驱动信号DS与选择信号SC，给振子124的电极124A提供喷射信号ES。具体地说，在选择信号SC为高电平的情况下，模拟开关AS将驱动信号DS作为喷射信号ES，传送给电极124A。另外，在选择信号SC为低电平的情况下，模拟开关AS所输出的喷射信号ES的电位变为基准电位L。将驱动信号DS发送给振子124的电极124A之后，便从该振子124相对应的喷嘴118中喷射液状体材料111。另外，将基准电位L发送给各个振子124的电极124B。
图7-2所示的例子中，2个喷射信号ES各自中，在两个选择信号SC中分别设置高电平期间与低电平期间，以使周期为喷射周期EP的两倍的2EP的喷射波形P出现。通过这样，从相对应的两个喷嘴118中，分别以周期2EP喷射液状体材料111。另外，将来自共同驱动信号生成部203的共同驱动信号DS，分别发送给对应于这两个喷嘴118的振子124。因此，两个喷嘴118以几乎相同的时序喷射液状体材料111。
通过上述构成，液滴喷射装置100，根据发送给控制部112的喷射数据，进行液状体材料111的涂敷扫描。
(涂敷方法)
对照图8对液滴喷射装置100的涂敷方法的一例进行说明。图8为说明液滴喷射装置100的涂敷方法的一例的说明图。图8中，平台106中保持基体300。基体300中，被围堰301所区分的被喷射部302形成矩阵状。该被喷射部302，是由象素等所形成的区域。被喷射部302的平面像，呈通过长边与短边所决定的略矩形状。平台106保持基体300，使得基体300的被喷射部302的长边方向平行于X轴方向，且短边方向平行于Y轴方向。
图8中，首先，第1位置控制装置104将第1承载器103A的位置与平台106上的位置相一致。通过上述方法在X轴方向上移动第2承载器103B，以使得第1承载器103A的喷头组114G与第2承载器103B的喷头组114G之间的接缝部的喷嘴间距为给定的喷嘴间距(图5所示的例子中，X轴方向的喷嘴间距GSP＝17.5μm)。通过这样，来调整第1承载器103A与第2承载器103B之间的相对位置关系。
之后，一边让第1、第2承载器103A、B在Y轴方向上相对平台106移动，一边沿着Y轴方向，通过第1、第2承载器103A、B的喷头组114G，向基体300的被喷射部302喷射液状体材料111的液滴。
接下来，维持第1承载器103A与第2承载器103B的相对位置关系不变，让第1承载器103A与第2承载器103B在X轴方向上同步移动绘图宽度(有效扫描宽度)的距离。之后，一边让第1、第2承载器103A、B在Y轴方向上相对平台106移动，一边沿着Y轴方向，通过第1、第2承载器103A、B的喷头组114G，向基体300的被喷射部302喷射液状体材料111的液滴。执行相同的动作，一直到基体300的全涂敷面完成。
(相对位置关系调整的变形例)
图9-1为表示第1承载器103A与第2承载器103B的相对位置关系的变形例的模式图。上述实施例中，将第1承载器103A的喷头组114G与第2承载器103B的喷头组114G排列在X轴方向上，调整第1承载器103A与第2承载器103B的相对位置关系，使得绘图宽度变为两倍，但本发明并不仅限于此。例如，如图9-1所示，将第1承载器103A的喷头组114G与第2承载器103B的喷头组114G排列在Y轴方向上，调整第1承载器103A与第2承载器103B的相对位置关系，使得喷嘴的线密度变大。通过这样，作为第1、第2承载器103A、103B的相对位置关系的形态，具有排列在X轴方向上使得绘图宽度加倍的形态，以及排列在Y轴方向上让喷嘴的线密度成为高密度的形态这两种。
(喷头排列的变形例)
图9-2为说明喷头114的排列的变形例的模式图。上述实施例中，将喷头114安装在承载器103中，使得喷嘴列平行于X轴方向。与此相对，变形例中，如图9-2所示，将喷头114安装在承载器103中，使使得喷头114的喷嘴列相对X轴方向倾斜。如该图所示，各个喷头组114G具有两个喷头114。通过将喷嘴列排列在倾斜于X轴方向的方向上，通过通过较少的喷头数来进行高密度的绘图。
如上所述，本实施例的相关液滴喷射装置100，具有分别保持包含有1个或多个具有喷嘴列的喷头114的喷头组114G，且在平行设置的多个传动轴107A、B上在副扫描方向(X轴方向)上分别移动的第1、第2承载器103A、103B，以及独立驱动第1、第2承载器103A、103B，在主扫描方向(Y轴方向)上调整与相邻的喷头组114G之间的相对位置关系，并调整喷嘴间距的第1位置控制装置104，让第1、第2承载器103A、103B相对平台106在主扫描方向(X轴方向)上相对移动，由喷头组114G向基体300的被喷射部302喷射液滴，因此，能够在液滴喷射装置100中，移动第1、第2承载器103A、103B，进行喷头组114G之间的喷嘴间距的调整，从而能够通过简单的方法来进行喷嘴间距的调整，高精度地进行绘图。
(承载器的变形例1)
图10为用于说明承载器的变形例1的模式图。上述实施例中，第1承载器103A与第2承载器103B设置在不同的传动轴上。与此相对，变形例1中，在同一个传动轴上设置多个承载器。如图10-1所示，承载器401具有第1承载器401A、第1承载器401B、第1承载器401C。第1、第2、第3承载器401A、B、C配置在同一个传动轴402上。第1、第2、第3承载器401A、B、C具有相同的构造，俯视呈现平行四边形形状，具有平行于X轴方向的两边，与以给定的角度倾斜于Y轴方向的平行的两边。
第1、第2、第3承载器401A、B、C，分别保持有喷头组403G。喷头组403G分别由3个喷头114构成，各个喷头114的排列相同。构成喷头组403G的3个喷头，排列在X轴方向上，分别配置在右上、中央、左下这3处，从而使各个喷头114的绘图宽度为3倍绘图宽度。喷头114具有设置了多个后述的喷嘴118的底面。第1、第2、第3承载器401A、B、C所保持的喷头114的底面朝向平台106侧，另外，喷头114的长边方向与短边方向分别平行于X轴方向与Y轴方向。
在X轴方向上相邻的承载器互相接近的情况下，一方的承载器的喷头组403G的右上方喷头114，与另一方的承载器的喷头组403G的左下方的喷头114，其喷嘴列的至少一部分在Y轴方向上重叠。图中所示的例子中，第1承载器401A的喷头组403G的右上方的喷头114与第2承载器401B的喷头组403G的左下方的喷头114之间，以及第2承载器401B的喷头组403G的右上方的喷头114与第3承载器401C的喷头组403G的左下方的喷头114之间，喷嘴列的至少一部分在Y轴方向上重叠。
第1位置控制装置104，为了调整第1承载器401A的喷头组403G与第2承载器401B的喷头组403G之间的喷嘴间距，让第1承载器401A与第2承载器401B相对移动，进行相对位置关系调整(这种情况下，还进行θ的调整)，使得第1承载器401A的喷头组403G与第2承载器401B的喷头组403G之间的喷嘴间距变为给定的距离。相对位置关系的调整方法，可以通过与上述实施例相同的方法来进行。
接下来，第1位置控制装置104，为了调整第2承载器401B的喷头组403G与第3承载器401C的喷头组403G之间的喷嘴间距，让第3承载器401C相对移动，进行相对位置关系调整(这种情况下，还进行θ的调整)，使得第2承载器401A的喷头组403G与第3承载器401C的喷头组403G之间的喷嘴间距变为给定的距离。进行了相对位置关系的调整之后，第1位置控制装置104，在维持相对位置关系的状态下，让第1、第2、第3承载器401A、B、C同步在X轴方向上移动。像这样，通过调整承载器之间的相对位置关系，能够以1个喷头组114G的3倍绘图宽度，且通过高精度调整了的喷嘴间距进行绘图。
通过该变形例1的相关液滴喷射装置100，具有分别保持包含有1个或多个具有喷嘴列的喷头114的喷头组403G，且在同一个传动轴402上在副扫描方向(X轴方向)上分别移动的第1、第2、第3承载器401A、B、C，以及独立驱动第1、第2、第3承载器401A、B、C，在副扫描方向(X轴方向)上调整与相邻的喷头组403G之间的相对位置关系，并调整喷嘴间距的第1位置控制装置104。让第1、第2、第3承载器401A、B、C相对平台106在主扫描方向(Y轴方向)上相对移动，由喷头组403G向基体300的被喷射部302喷射液滴，因此，能够在液滴喷射装置100中，移动第1、第2、第3承载器401A、B、C，进行喷头组403G之间的喷嘴间距的调整，从而能够通过简单的方法来进行喷嘴间距的调整，高精度地进行绘图。
上述图10-1所示的例子中，在X轴方向上相邻的承载器互相接近的情况下，由于一方的承载器的喷头组403G的右上方喷头114，与另一方的承载器的喷头组403G的左下方的喷头114，其喷嘴列的至少一部分在Y轴方向上重叠，因此，承载器的构成并不仅限于平行四边形形状。例如，还可以如图10-2所示，在设置在传动轴412上的第1、第2、第3承载器410A、B、C中形成凸部与凹部，让在X轴方向上相连接的承载器之间的喷头114的喷嘴列中，至少一部分在Y轴方向上重叠。
另外，变形例1中，也可以让喷头114的喷嘴列相对X轴方向倾斜。
(承载器的变形例2)
图11为说明承载器的变形例2的模式图。变形例2中，在两个传动轴上分别设有多个承载器。在图11中，第1传动轴432与第2传动轴442在同一个XY平面上平行设置。承载器431，具有设置在第1传动轴432上的第1、2承载器431A、431B，设置在第2传动轴442上的第3、4承载器441A、B。
该图中对以1个喷头组403G的4倍绘图宽度进行绘图的情况进行说明。第1位置控制装置104，为了调整第1承载器431A的喷头组403G与第3承载器441A的喷头组403G之间的喷嘴间距，让第1承载器431A与第3承载器441A相对移动，进行相对位置关系调整，使得第1承载器431A的喷头组403G与第3承载器441A的喷头组403G之间的喷嘴间距变为给定的距离。
接下来，第1位置控制装置104，为了调整第3承载器441A的喷头组403G与第2承载器431B的喷头组403G之间的喷嘴间距，让第2承载器431B相对移动，进行相对位置关系调整(这种情况下，还进行θ的调整)，使得第3承载器441A的喷头组403G与第2承载器431B的喷头组403G之间的喷嘴间距变为给定的距离。
最后，第1位置控制装置104，为了调整第2承载器431B的喷头组403G与第4承载器441B的喷头组403G之间的喷嘴间距，让第4承载器441B相对移动，进行相对位置关系调整，使得第2承载器431B的喷头组403G与第4承载器441B的喷头组403G之间的喷嘴间距变为给定的距离。进行了相对位置关系的调整之后，第1位置控制装置104，在维持相对位置关系的状态下，让第1、第2、第3、第4承载器431A、B、441A、B同步在X轴方向上移动。像这样，通过调整承载器之间的相对位置关系，能够以1个喷头组114G的4倍绘图宽度，且通过高精度调整了的喷嘴间距进行绘图。
这里对扩展绘图宽度的情况进行了说明，但也可以让第1承载器431A与第3承载器441A在Y轴方向上重叠，且让第2承载器431B与第4承载器441B在Y轴方向上重叠，调整相对位置关系，增加喷嘴的线密度。
通过该变形例2的相关液滴喷射装置100，具有第1位置控制装置104，该第1位置控制装置104分别保持包含有1个或多个具有喷嘴列的喷头114的喷头组403G，且在平行设置的两个传动轴432、442上在副扫描方向(X轴方向)上分别移动的第1、第2承载器431A、B、第3、第4承载器441A、B，以及独立驱动第1、第2承载器431A、B、第3、第4承载器441A、B，在主扫描方向(Y轴方向)上调整与相邻的喷头组403G之间的相对位置关系，并调整喷嘴间距。使第1、第2承载器431A、431B、第3、第4承载器441A、441B相对平台106在主扫描方向(Y轴方向)上相对移动，由喷头组403G向基体300的被喷射部302喷射液滴，因此，能够在液滴喷射装置100中，让第1、第2承载器431A、B、第3、第4承载器441A、B相对平台106在副扫描方向(X轴方向)上相对移动，进行喷头组403G之间的喷嘴间距的调整，从而能够通过简单的方法来进行喷嘴间距的调整，高精度地进行绘图。
另外，变形例1中，也可以让喷头114的喷嘴列相对X轴方向倾斜。
[电光学装置的制造]
接下来，对使用本实施例的液滴喷射装置100所制造的电光学装置(平板显示器)，以彩色滤光片、液晶显示装置、有机EL装置、PDP装置、电子发射装置(FED装置、SED装置)等为例，对其构造以及制造方法进行说明。
首先，对组装在液晶显示装置或有机EL装置等中的彩色滤光片的制造方法进行说明。图12为表示彩色滤光片的制造工序的流程图，图13为顺次表示制造工序的本实施例的彩色滤光片500(滤光片基体500A)的模式剖视图。
首先，在黑矩阵形成工序(S11)中，如图13-1所示，在基板(W)501上形成黑矩阵502。黑矩阵502通过金属铬、金属铬与氧化铬的层积体或树脂黑等形成。形成由金属薄膜所构成的黑矩阵502时，可以使用喷溅法或蒸镀法。另外，形成由树脂薄膜所构成的黑矩阵502时，可以使用凹板印刷法、光刻胶法、热转印法等。
接下来，在围堰形成工序(S12)中，形成重叠在黑矩阵502上的围堰503。也即，首先如图13-2所示，以覆盖基板501以及黑矩阵502的方式，形成底片式的由透明感光性树脂所构成的抗蚀层504。之后，在通过形成为矩阵图案状的掩膜505覆盖其上表面的状态下，进行曝光处理。之后，如图13-3所示，通过给抗蚀层504的未曝光部分实施蚀刻处理，让抗蚀层504形成图案，形成围堰503。另外，在通过树脂黑来形成黑矩阵的情况下，可以兼用黑矩阵与围堰。该围堰503与其下方的黑矩阵502，形成区分各个象素区域507a的隔离壁部507b，在后继的着色层形成工序中通过喷头114形成着色层(成膜部)508R、508G、508B时，规定液滴的着落区域。
通过以上的黑矩阵形成工序以及围堰形成工序，得到了上述薄膜基体500A。另外，本实施例中，使用涂膜表面为疏液(疏水)性的树脂材料，作为围堰503的材料。因此，由于基板(玻璃基板)501的表面为疏液(疏水)性，因此，提高了在后述的着色层形成工序中液滴对被围堰503(隔离壁部507b)所包围的各个象素区域507a内的着落位置的精度。
接下来，在着色层形成工序(S13)中，如图13-4所示，通过喷头114喷射功能液滴，着落到由隔离壁部507b所包围的各个象素区域507a内。这种情况下，使用喷头114导入R·G·B三色的功能液(滤光片材料)，进行功能液滴的喷射。另外，R·G·B三色的的排列图案，有条纹排列、马赛克排列以及三角排列等。
之后，经干燥处理(加热等处理)固定功能液，形成3色的着色层508R、508G、508B。形成了着色层508R、508G、508B之后，进入保护膜形成工序(S14)，如图13-5所示，以覆盖基板501、隔离壁部507b以及着色层508R、508G、508B的上表面的方式形成保护膜509。也即，对形成有基板501的着色层508R、508G、508B的面全体喷射保护膜用涂敷液之后，经干燥处理得到保护膜509。在保护膜形成之后，通过将基板501在每个有效象素区域中切断，得到彩色滤光片500。
图14为表示作为使用上述彩色滤光片500的液晶显示装置的一例的无源矩阵式液晶装置(液晶装置)的概要构成的要部剖视图。通过在该液晶显示装置520中，通过安装液晶驱动用IC、背光、支持体等附带要素，得到作为最终产品的透过型液晶显示装置。另外，彩色滤光片500与图13所示的相同，因此给相对应的部分标上相同的符号，并省略其说明。
该液晶装置520，大体上由彩色滤光片500与玻璃基板等所构成的对向基板521，以及由夹在它们之间的STN(Super Twisted Nematic)液晶组成物所构成的液晶层522所构成，彩色滤光片500设置在图中上侧(观测者侧)。另外，虽然图中未显示，但对向基板521与彩色滤光片500的外表面(与液晶层522侧相反侧的面)中分别设置偏振板，另外，在位于对向基板521侧的偏振板的外侧，设置背光。
彩色滤光片500的保护膜509上(液晶层侧)，以给定的间隔形成多个第1电极523，该第1电极523在图14中的左右方向上成较长的长方形，并形成覆盖该第1电极523的与彩色滤光片500侧相反的一侧的表面的第1取向膜524。另外，对向基板521中的与彩色滤光片500相对的面中，在垂直于彩色滤光片500的第1电极523的方向上以给定的间隔形成有多个较长的长方形的第2电极526，并形成覆盖该第2电极526的液晶层侧的表面的第2取向膜527。这些第1电极523与第2电极526，由ITO(Indium Tin Oxide)等透明导电材料所形成。
设置在液晶层522内的分隔器528，是用来保持液晶层522的厚度(单元间距)为一定而设置的部件。另外，密封材料529是用来防止液晶层522内的液晶组成物向外泄露的部件。另外，第1电极523的一端作为引绕布线523a，延伸的密封材料529的外侧。第1电极523与第2电极526相交叉的部分为象素，彩色滤光片500的着色层508R、508G、508B，位于该成为象素的部位中。
通常的制造工序中，在彩色滤光片500中，进行第1电极523的图案形成以及第1取向膜524的涂敷，生成彩色滤光片500侧的部分，同时，在与其分开的对向基板521中，进行第2电极526的图案形成以及第2取向膜527的涂敷，生成对向基板521侧的部分。之后，在对向基板521侧部分中制造分隔器528以及密封材料529，在该状态下，与彩色滤光片500侧部分粘合。接下来，从密封材料529的注入口中注入构成液晶层522的液晶，密封注入口。之后，将两个偏振板以及背光层积起来。
本实施例的液滴喷射装置100，涂敷例如构成上述单元间距的分隔材料(功能液)，同时，在将对向基板521侧部分粘合到彩色滤光片500侧部分上之前，能够在密封材料529所包围的区域中均匀地涂敷液晶(功能液)。另外，上述密封材料529的印刷，还能够通过喷头114进行。另外，第1、第2两取向膜524、527的涂敷也能够通过喷头114进行。
图15为表示作为使用本实施例中所制造的彩色滤光片500的液晶显示装置的第2例的概要构成的要部剖视图。该液晶显示装置530与上述液晶显示装置520的最大不同点在于，彩色滤光片500设置在图中下侧(与观测者相反的一侧)。该液晶装置530，大体上由彩色滤光片500与玻璃基板等所构成的对向基板531之间夹持由STN液晶构成的液晶层532所构成。另外，虽然图中未显示，但对向基板531与彩色滤光片500的外表面中分别设置有偏振板。
彩色滤光片500的保护膜509上(液晶层532侧)，以给定的间隔形成多个第1电极533，该第1电极在图中的进深方向上成较长的长方形，并形成覆盖该第1电极533的液晶层532侧的表面的第1取向膜534。另外，对向基板531中的与彩色滤光片500相对的面中，以给定的间隔形成有多个在垂直于彩色滤光片500侧的第1电极533的方向上延伸的长方形的第2电极536，并以覆盖该第2电极536的液晶层532侧的表面的方式形成第2取向膜537。
液晶层532中，设有用来保持该液晶层532的厚度(单元间距)为一定的分隔器588，以及用来防止液晶层532内的液晶组成物向外泄露的密封材料539。与上述液晶装置520相同，第1电极533与第2电极536相交叉的部分为象素，彩色滤光片500的着色层508R、508G、508B，位于该成为象素的部位中。
图16为表示作为采用适用于本发明彩色滤光片500的液晶显示装置的第3例的透过式TFT(Thin Film Transistor)型液晶装置(液晶装置)的概要构成的分解立体图。该液晶装置550中，色滤光片500设置在图中上侧(观测者侧)。
该液晶装置550，大体上由彩色滤光片500、与其向面对配置的对向基板551，以及由夹在它们之间的图中未显示的液晶层、设置在彩色滤光片500的上表面侧(观测者侧)的偏振板555以及设置在对向基板551的下表面侧的偏振板(图中未显示)所构成。彩色滤光片500的保护膜509的表面上(对向基板551侧的面)，形成有液晶驱动用电极556。该电极556由ITO等透明导电材料所形成，是覆盖后述的象素电极560所形成的区域全体的全表面电极。另外，设有覆盖该电极556的与象素电极560相反的一侧表面的取向膜557。
在与对向基板551的彩色滤光片500相对的面中，形成有绝缘层558，该绝缘层558上，形成有互相垂直的扫描线561与信号线562。这样，该扫描线561与信号线562所包围的区域中形成象素电极560。另外，实际的液晶装置中，象素电极560上设有取向膜，但省略了图示。
另外，将具有源电极、漏电极、半导体以及栅电极的薄膜三极管563，组装到由象素电极560的缺口部与扫描线561以及信号线562所包围的部分中。这样，通过给扫描线561与信号线562加载信号，就能够让薄膜三极管563导通/截止，进行象素电极560的通电控制。
另外，上述各个例子的液晶装置520、530、550是透过型的，但也可以设置反射层或半透过反射层，作为反射型的液晶装置或半透过反射型的液晶装置。
接下来，图17为有机EL装置的显示区域(以下简称作显示装置600)的要部剖视图。
该显示装置600，大体上通过在基板(W)601上层积电路元件部602、发光元件部603以及阴极604而构成。该显示装置600中，从发光元件部603向基板601侧所发的光，透过电路元件部602以及基板601，出射到观测者侧，同时，从发光元件部603向基板601的相反侧所发的光，被阴极604反射之后，透过电路元件部602以及基板601，出射到观测者侧。
电路元件部602与基板601之间，形成有由硅氧化膜所构成的基底保护膜606，该基底保护膜606上(发光元件部603侧)形成有由多晶体硅所构成的岛状的半导体膜607。该半导体膜607的左右区域中，通过注入高浓度的阳离子而分别形成源区以及漏区。没有注入阳离子的中央部形成沟道区域607c。
另外，电路元件部602中，形成有覆盖基底保护膜606以及半导体膜607的透明栅绝缘膜608，在该栅绝缘膜608上的对应于半导体膜607的沟道区域607c的位置上，形成有由例如Al、Mo、Ta、Ti、W等所构成的栅电极609。该栅电极609与绝缘膜608上，形成有透明的第1层间绝缘膜611a与第2层积绝缘膜611b。另外，形成有分别贯通第1、第2层间绝缘膜611a、611b，连通半导体膜607的源区域607a、漏区域607b的连接孔612a、612b。
之后，在第2层间绝缘膜611b上，以将ITO等所制成的透明象素电极613成形为给定的形状，该象素电极613通过连接孔612a与源区域607a相连接。另外，第1层间绝缘膜611a上设有电源线614，该电源线614通过连接孔612b与漏区域607b相连接。
通过这样，在电路元件部602中，分别形成连接各个象素电极613的驱动用薄膜三极管615。
上述发光元件部603，大体上由分别层积在多个象素电极613上的功能层617，与各个象素电极613以及设置在功能层617之间用来区分各个功能层617的围堰部618所构成。通过上述象素电极613、功能层617以及设置在功能层617上的阴极604构成发光元件。另外，象素电极613图案成形为俯视大致为矩形的形状，各个象素电极613之间形成有围堰部618。
围堰部618由例如通过SiO、SiO2、TiO2等无机材料所形成的无机物围堰618a(第1围堰)，以及层积在该无机物围堰618a上，通过丙稀树脂、聚酰亚胺树脂等耐热性、耐溶剂性较佳的抗蚀材料所形成的断面台形状的有机物围堰618b(第2围堰)所构成。该围堰部618的一部分位于象素电极613的边缘部的上方。这样，在各个围堰部618之间，形成有相对象素电极613向上逐渐扩展的开口部619。
上述功能层617，由在开口部619内层积在象素电极613上所形成的空穴注入/输送层617a，以及形成在该空穴注入/输送层617a上的发光层617b所构成。另外，还能够与该发光层617b相邻形成具有其他功能的其他功能层。例如，有可能会形成电子输送层。
空穴注入/输送层617a，具有从象素电极613侧输送空穴并注入给发光层617b的功能。该空穴注入/输送层617a，通过喷射包含有空穴注入/输送层形成材料的第1组成物(功能液)所形成。作为空穴注入/输送层的形成材料，使用例如聚乙烯二羟基噻吩等聚噻酚衍生物与聚苯乙烯磺酸等混合物。
发光层617b能够发出红色(R)、绿色(G)、蓝色(B)中的任一种光，通过喷射包含有发光层形成材料的第2组成物(功能液)所形成。另外，第2组成物的溶剂(非极化溶剂)，最好不溶于空穴注入/输送层617a，可以使用例如环乙基苯、二氢苯并呋喃、三甲基苯、四甲基苯等。通过将该非极性溶剂用在发光层的第2组成物中，不会溶解空穴注入/输送层617a而能够形成发光层617b。
发光层617b中，将空穴注入/输送层617a所注入的空穴，与阴极604所注入的电子在发光层中再结合而进行发光。
阴极604形成为覆盖发光元件部603的全表面，具有与象素电极613形成一对，从而让电流在功能层617中流动的作用。另外，该阴极604的上部设有图中未显示的密封材料。
接下来，对照图18～图26，对上述显示装置600的制造工序进行说明。
该显示装置600，如图18所示，通过围堰部形成工序(S21)、表面处理工序(S22)、空穴注入/输送层形成工序(S23)、发光层形成工序(S24)以及对向电极形成工序(S25)制造出来。另外，制造工序并不仅限于上述例示，还可以根据需要增加或去除其他工序。
首先，在围堰部形成工序(S21)中，如图19所示，在第2层间绝缘膜611b上形成无机物围堰618a。该无机物围堰618a，在形成位置中形成无机物膜之后，通过光刻技术等将该无机物膜形成图案，通过这样而形成。此时，无机物围堰618a的一部分与象素电极613的周边部重合。形成了无机物围堰618a之后，如图20所示，在无机物围堰618a上形成有机物围堰618b。该有机物围堰618b与无机物围堰618a一样，也通过光刻技术等而形成图案。通过这样形成围堰部618。另外，与此相同，在各个围堰部618中，形成相对象素电极613向上方开口的开口部619。该开口部619规定象素区域。
表面处理工序(S22)中，进行亲液化处理以及疏液化处理。实施亲液化处理的区域是无机物围堰618a的第1层积部618aa以及象素电极613的电极面613a，这些区域中，通过例如以氧气作为处理气体的等离子处理来进行亲液性表面处理。该等离子处理，还兼具作为象素电极613的ITO的清洗等功能。另外，疏液化处理实施于有机物围堰618b的壁面618s以及有机物围堰618b的上表面618t，通过例如以四氟化甲烷作为处理气体的等离子处理来进行(氟化)亲液性表面处理。通过进行该表面处理工序，在使用喷头114形成功能层617时，能够让功能液滴更可靠地着落在象素区域中，另外，还能够防止着落在象素区域中的功能液滴从开口部619中溢出。
通过以上的工序，得到显示装置基体600A。将该显示装置基体600A安装在图1中所示液滴喷射装置100的平台106中，进行以下的空穴注入/输送层形成工序(S23)以及发光层形成工序(S24)。
如图21所示，空穴注入/输送层形成工序(S23)中，从喷头114将包含有空穴注入/输送层形成材料的第1组成物喷射到作为象素区域的各个开口部619中。之后，如图22所示，进行干燥处理以及热处理，将第1组成物中所包含的极化溶剂蒸发，在象素电极(电极面613a)613上形成空穴注入/输送层617a。
接下来，对发光层形成工序(S24)进行说明。该发光层形成工序中，如上所述，为了防止空穴注入/输送层的再溶解，使用对空穴注入/输送层617a不溶解的非极化溶剂，作为形成发光层时所使用的第2组成物的溶剂。但是，另一方面，由于空穴注入/输送层617a对非极化溶剂的亲和性较低，因此，即使将包含有非极化溶剂的第2组成物喷射到空穴注入/输送层617a上，有可能空穴注入/输送层于发光层617b也无法粘着，或者无法均匀地涂敷发光层617b。因此，为了提高空穴注入/输送层617a对非极化溶剂以及发光层形成材料的亲和性，最好在发光层形成之前，先进行表面处理(表面改质处理)。该表面处理，通过将与发光层形成时所使用的第2组成物的非极化溶剂相同的溶剂或类似的溶剂的表面改质材料，涂敷在空穴注入/输送层617a上，并让其干燥而进行。通过实施这样的处理，使得空穴注入/输送层617a的表面很容易被非极化溶剂所浸润，因此，在后继的工序中，能够将包含有发光层形成材料的第2组成物均匀地涂敷在空穴注入/输送层617a上。
接下来，如图23所示，将包含有各色中的某一个(图23的例子中为蓝色(B))所对应的发光层形成材料的第2组成物作为功能液滴，向象素区域(开口部619)内注入给定量。注入到象素区域内的第2组成物在空穴注入/输送层617a上扩展，在开口部619内充满。另外，即使万一第2组成物从象素区域偏离着落到围堰部618的上表面618t上，由于该上表面618t实施了如上所述的疏液处理，因此，第2组成物能够容易地滚落到开口部619内。
之后，通过进行干燥工序等，给喷射后的第2组成物实施干燥处理，让第2组成物中所含有的非极化溶剂蒸发，如图24所示，在空穴注入/输送层617a上形成发光层617b。这种情况下，形成对应于蓝色(B)的发光层617b。
同样，使用喷头114，顺次进行与上述蓝色(B)所对应的发光层617b的情况下相同的工序，形成对应于其他颜色(红色(R)以及绿色(G))的发光层617b。另外，发光层617b的形成顺序，并不仅限于例示的顺序，通过哪一个顺序形成都可以。例如，还能够根据发光层形成材料来决定形成顺序。另外，R·G·B三色的排列图案，有条纹排列、马赛克排列以及三角排列等。
如上所述，在象素电极613上形成功能层617，也即空穴注入/输送层617a以及发光层617b。接下来，进入对向电极形成工序(S25)。
对向电极形成工序(S25)中，如图26所示，在发光层617b与有机物围堰618b的全表面上，例如通过蒸镀法、喷溅法、CVD法等形成阴极604(对向电极)。该阴极604，在本实施例中，例如通过层积钙层与铝层来构成。在该阴极604的上部，适当设置作为电极的Al膜、Ag膜以及用来防止其氧化的SiO2、SiN等保护层。
如上形成阴极604之后，通过实施由密封材料密封该阴极604的上部的密封处理以及布线处理等其他处理，得到显示装置600。
接下来，图27为等离子型显示装置(PDP装置，以下简称作显示装置700)的要部分解立体图。另外，图中以部分欠缺的状态来显示显示载置。该显示装置700，大体由互相对设置的第1基板701、第2基板702以及形成在它们之间的放电显示部703所构成。放电显示部703由多个放电室705构成。这多个放电室705中，红色放电室705R、绿色放电室705G以及蓝色放电室705B这3个放电室705为一组，构成1个象素。
在第1基板701的上表面以给定的间隔形成条纹状的地址电极706，并以覆盖该地址电极706与第1基板701的上表面的方式形成电介质层707。在电介质层707上，以位于各个地址电极706之间且沿着各个地址电极706的方式，设有分隔壁708。该分隔壁708，包括如图所示的在地址电极706的宽度方向的两侧延伸的分隔壁，以及图中未显示的在垂直于地址电极706的方向上延伸的分隔壁。这样，由该分隔壁所区分的区域成为放电室705。
放电室705内设有荧光体709。荧光体709发出红(R)、绿(G)、蓝(B)中任一个颜色的荧光，红色放电室705的底部设有红色荧光体709R，绿色放电室705的底部设有绿色荧光体709G，蓝色放电室705的底部设有蓝色荧光体709B。
第2基板702的图中下侧的面中，在垂直于实施地址电极706的方向上，以给定的间隔形成条纹状的多个显示电极711。并形成将其覆盖的电介质层712，以及由MgO等所形成的保护膜713。第1基板701与第2基板702，在地址电极706与显示电极711相垂直的状态下面对粘合。另外，实施的地址电极706与显示电极711与图中未显示的交流电源相连接。通过给各个电极706、711通电，放电显示部703中荧光体709激励发光，从而能够进行彩色显示。
本实施例中，可以通过图1中所示的液滴喷射装置100来形成上述地址电极706、显示电极711以及荧光体709。以下对第1基板701中的地址电极706的形成工序进行例示。该情况下，在将第1基板701安装在液滴喷射装置100的平台106中的状态下进行以下工序。首先，通过喷头114，让包含有导电膜形成用材料的液状体材料(功能液)作为功能液滴，着落到地址电极形成区域中。该液状体材料，是在分散媒中分散有金属等导电性微粒的液状体，作为导电膜布线形成用材料。该导电性微粒，使用包含有金、银、铜、钯或镍等的金属微粒，以及导电性聚合物材料等。
对作为填充对象的所有地址电极形成区域，实施完毕液状体材料的填充之后，对喷射后的液状体材料进行干燥处理，让液状体材料中所包含的分散媒蒸发，通过这样来形成地址电极706。
以上例示了地址电极706的形成，但上述显示电极711以及荧光体709也能够通过上述各个工序来形成。
在形成显示电极711的情况下，与形成地址电极706的情况相同，将包含有导电膜布线用材料的液状体材料(功能液)作为功能液滴，着落到显示电极形成区域中。
另外，荧光体709的形成区域中，包含有对应于各色(R、G、B)的荧光材料的液状体材料(功能液)，从喷头114中作为液滴喷射，着落到相应颜色的放电室705内。
接下来，图28为表示电子发射装置(FED装置，以下简称作显示装置800)的要部剖视立体图。另外，图中显示了显示装置800的一部分的剖面。该显示装置800，大体由互相对设置的第1基板801、第2基板802以及形成在它们之间的电场发射显示部803所构成。电场发射显示部803由矩阵状设置的多个电子发射部805构成。
在第1基板801的上表面，构成负极电极806的第1元件电极806a以及第2元件电极806b，以互相垂直的方式形成。另外，被第1元件电极806a与第2元件电极806b所分隔的部分中，形成有具有缝隙808的元件膜807。也即，通过第1元件电极806a、第2元件电极806b以及元件膜807构成多个电子发射部805。元件膜807例如由氧化钯(PdO)等构成，另外，缝隙808在元件膜807成膜之后，通过成形加工而形成。
第2基板802的下表面，形成有与负极电极806相对的正极电极809。正极电极809的下面，形成有格子状的围堰部811，在该围堰部811所包围的向下的各个开口部812中，与电子发射部805相对应的方式设置有荧光体813。荧光体813发出红(R)、绿(G)、蓝(B)中的任一个颜色的荧光，各个开口部812中，红色荧光体813R、绿色荧光体813G、蓝色荧光体813B以给定的图案配置。
之后，将如上所构成的第1基板801与第2基板802保持微小的间隙粘合在一起。该显示装置800中，经元件膜(缝隙808)807，将从作为阴极的第1元件电极806a或第2元件电极806b所飞出的电子，碰撞到形成在作为阳极的正极电极809中的荧光体813上激励发光，从而能够进行彩色显示。
这种情况下也与其他实施例相同，能够使用液滴喷射装置100形成第1元件电极806a、第2元件电极806b以及正极电极809，同时，还能够使用液滴喷射装置100形成各色荧光体813R、813G、813B。
另外，作为其他的电光学装置，考虑有除了金属布线形成、透镜形成、抗蚀形成以及光扩散体形成之外，还包括显微镜标本形成的装置。通过将上述液滴喷射装置100用在各种电光学装置(设备)的制造中，能够有效地进行各种电光学装置的制造。
[对电子机器的应用]
接下来，对照图29，对能够使用本发明的相关电光学装置的电子机器的具体例子进行说明。图29-1为表示将本发明的相关电光学装置使用在移动式个人计算机(所谓的笔记本型计算机)900的显示部中的例子的立体图。如图所示，个人计算机900具有：具有键盘901的主体部902，以及应用了本发明的电光学装置的显示部903。图29-2为表示将本发明的相关电光学装置使用在移动电话机950的显示部中的例子的立体图。如图所示，移动电话机950除了多个操作按钮951之外，还具有扬声器952、话筒953以及应用了本发明的相关电光学装置的显示部954。
本发明的相关电光学装置，处理上述移动电话机或个人计算机之外，还能够广泛应用于称作PDA(Personal Digital Assistants)的便携式信息机器、个人计算机、工作站、数码相机、车载监视器、数码摄像机、液晶电视机、取景器式或监视器直视式录像机、汽车导航***、寻呼机、电子记事本、电子计算器、文字处理器、工作站、电视电话以及POS终端等电子机器中。
(产业应用)
本发明的液滴喷射装置，能够应用与工业上的各种领域的成膜。另外，本发明的相关电光学载置，能够广泛地应用于有机EL场致发光、液晶显示装置。有机TFT装置、等离子显示装置、电泳显示装置、电子发射显示装置(Field Emission Display以及Surface-Conduction Electoron-EmitterDisplay)、LED(发光显示器)显示装置、电子调光玻璃装置以及电子纸装置等电光学装置中。另外，本发明的电子机器，能够广泛地应用于移动电话机。称作PDA(Personal Digital Assistants)的便携式信息机器、便携式个人计算机、个人计算机、工作站、数码相机、车载监视器、数码摄像机、液晶电视机、取景器式或监视器直视式录像机、汽车导航***、寻呼机、电子记事本、电子计算器、文字处理器、工作站、电视电话以及POS终端等电子机器中。

Claims (10)

1.一种液滴喷射装置，是从喷头的喷嘴向基体喷射液滴的液滴喷射装置，其特征在于，包括：
保持上述基体的平台；
多个移动机构，其分别保持包含有1个或多个具有喷嘴列的喷头的喷头组，且在1个轴上或平行设置的多个轴上在副扫描方向上移动；以及
位置控制机构，其独立驱动上述多个移动机构，并且调整在上述副扫描方向或主扫描方向上相邻的上述移动机构的喷头组间的相对位置关系，并调整喷嘴间距，
其中，让上述移动机构相对于上述平台在上述主扫描方向上相对移动，通过上述喷头组向上述基体的被喷射部喷射液滴。
2.如权利要求1所述的液滴喷射装置，其特征在于：
上述位置控制机构，在维持所调整的相对位置关系的状态下，使上述多个移动机构同步地在上述副扫描方向上移动。
3.如权利要求1或2所述的液滴喷射装置，其特征在于：
上述位置控制机构，调整在上述副扫描方向或上述主扫描方向上相邻的上述移动机构的喷头组间的相对位置关系，以使得上述副扫描方向的喷嘴间距为等间隔。
4.如权利要求1或2所述的液滴喷射装置，其特征在于：
上述位置控制机构，调整在上述副扫描方向或上述主扫描方向上相邻的上述移动机构的喷头组间的相对位置关系，以使得上述副扫描方向的喷嘴间距的线密度提高。
5.如权利要求1或2所述的液滴喷射装置，其特征在于：
上述被喷射部的俯视图，呈由长边与短边所决定的矩形形状，
上述平台保持上述基体，以使得上述长边方向平行于上述副扫描方向，且上述短边方向平行于上述主扫描方向。
6.如权利要求1或2所述的液滴喷射装置，其特征在于：
构成上述喷头组的喷头的喷嘴列，被设置为平行于上述副扫描方向。
7.如权利要求1或2所述的液滴喷射装置，其特征在于：
构成上述喷头组的喷头的喷嘴列，被设置在倾斜于上述副扫描方向的方向上。
8.一种电光学装置，其特征在于：
使用如权利要求1至权利要求7中的任一项所述的液滴喷射装置制造出来。
9.一种电光学装置的制造方法，其特征在于：
使用如权利要求1至权利要求7中的任一项所述的液滴喷射装置制造电光学装置。
10.一种电子机器，其特征在于：
安装有如权利要求8所述的电光学装置。
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