JP4998236B2 - 基材の被吐出領域配置方法、及びマザーパネルのパネル領域配置方法 - Google Patents
基材の被吐出領域配置方法、及びマザーパネルのパネル領域配置方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP4998236B2 JP4998236B2 JP2007315485A JP2007315485A JP4998236B2 JP 4998236 B2 JP4998236 B2 JP 4998236B2 JP 2007315485 A JP2007315485 A JP 2007315485A JP 2007315485 A JP2007315485 A JP 2007315485A JP 4998236 B2 JP4998236 B2 JP 4998236B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- discharge
- region
- layer
- scanning direction
- panel
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
- 239000000758 substrate Substances 0.000 title claims description 260
- 238000000034 method Methods 0.000 title claims description 85
- 239000000463 material Substances 0.000 claims description 72
- 239000011344 liquid material Substances 0.000 claims description 53
- 238000007599 discharging Methods 0.000 claims description 24
- 239000010410 layer Substances 0.000 description 270
- 239000007788 liquid Substances 0.000 description 198
- 239000010408 film Substances 0.000 description 186
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 45
- 239000004973 liquid crystal related substance Substances 0.000 description 45
- 230000008569 process Effects 0.000 description 33
- 230000005525 hole transport Effects 0.000 description 27
- 238000007689 inspection Methods 0.000 description 22
- 238000001035 drying Methods 0.000 description 19
- 230000007246 mechanism Effects 0.000 description 17
- 238000005192 partition Methods 0.000 description 16
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 14
- 239000011295 pitch Substances 0.000 description 13
- 239000003086 colorant Substances 0.000 description 11
- 238000012423 maintenance Methods 0.000 description 11
- 238000007789 sealing Methods 0.000 description 10
- 239000011159 matrix material Substances 0.000 description 9
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 9
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 9
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 8
- 238000011010 flushing procedure Methods 0.000 description 8
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 7
- 238000001514 detection method Methods 0.000 description 6
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 5
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 description 4
- 238000013461 design Methods 0.000 description 4
- 239000007772 electrode material Substances 0.000 description 4
- 238000012545 processing Methods 0.000 description 4
- 239000002904 solvent Substances 0.000 description 4
- 238000004381 surface treatment Methods 0.000 description 4
- 239000010409 thin film Substances 0.000 description 4
- SWGJCIMEBVHMTA-UHFFFAOYSA-K trisodium;6-oxido-4-sulfo-5-[(4-sulfonatonaphthalen-1-yl)diazenyl]naphthalene-2-sulfonate Chemical compound [Na+].[Na+].[Na+].C1=CC=C2C(N=NC3=C4C(=CC(=CC4=CC=C3O)S([O-])(=O)=O)S([O-])(=O)=O)=CC=C(S([O-])(=O)=O)C2=C1 SWGJCIMEBVHMTA-UHFFFAOYSA-K 0.000 description 4
- 238000009835 boiling Methods 0.000 description 3
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 3
- 238000003384 imaging method Methods 0.000 description 3
- 238000002347 injection Methods 0.000 description 3
- 239000007924 injection Substances 0.000 description 3
- 239000012528 membrane Substances 0.000 description 3
- 238000001259 photo etching Methods 0.000 description 3
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 3
- 230000008901 benefit Effects 0.000 description 2
- 230000008859 change Effects 0.000 description 2
- 230000000295 complement effect Effects 0.000 description 2
- 239000004020 conductor Substances 0.000 description 2
- 238000012937 correction Methods 0.000 description 2
- 239000000203 mixture Substances 0.000 description 2
- 239000011347 resin Substances 0.000 description 2
- 229920005989 resin Polymers 0.000 description 2
- 238000001771 vacuum deposition Methods 0.000 description 2
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N Silicium dioxide Chemical compound O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000004140 cleaning Methods 0.000 description 1
- 238000004040 coloring Methods 0.000 description 1
- 230000005684 electric field Effects 0.000 description 1
- 238000005401 electroluminescence Methods 0.000 description 1
- 238000001704 evaporation Methods 0.000 description 1
- 239000012530 fluid Substances 0.000 description 1
- 230000006870 function Effects 0.000 description 1
- 239000011261 inert gas Substances 0.000 description 1
- 230000005499 meniscus Effects 0.000 description 1
- 229920002120 photoresistant polymer Polymers 0.000 description 1
- 229910021420 polycrystalline silicon Inorganic materials 0.000 description 1
- 229920005591 polysilicon Polymers 0.000 description 1
- 239000002994 raw material Substances 0.000 description 1
- 238000009877 rendering Methods 0.000 description 1
- 230000002940 repellent Effects 0.000 description 1
- 239000005871 repellent Substances 0.000 description 1
- 239000000565 sealant Substances 0.000 description 1
- 239000003566 sealing material Substances 0.000 description 1
- 239000002356 single layer Substances 0.000 description 1
- 238000000638 solvent extraction Methods 0.000 description 1
- 239000004575 stone Substances 0.000 description 1
- 238000003860 storage Methods 0.000 description 1
- 239000000126 substance Substances 0.000 description 1
- 239000000725 suspension Substances 0.000 description 1
- 239000012780 transparent material Substances 0.000 description 1
- 239000002699 waste material Substances 0.000 description 1
Images
Landscapes
- Optical Filters (AREA)
- Liquid Crystal (AREA)
- Electroluminescent Light Sources (AREA)
Description
特許文献1に記載されているインクジェットラインヘッドは、吐出ヘッドを主走査方向に並べて配置することで、副走査方向の吐出ノズルの密度を高くしている。即ち、副走査方向の吐出ノズルの間隔を小さくして、吐出される液状体の間隔を小さくすることによって、副走査方向の描画分解能が高いラインヘッドを実現している。
主走査方向の描画分解能は、主走査方向の吐出ノズルと描画対象物との相対移動速度と、液状体を吐出する吐出周波数と、で定まる吐出間隔(以降、「吐出分解能」と表記する。)によって定まる。特許文献2には、吐出分解能を調節することによって、描画対象物の被描画領域に対して適切な描画分解能を実現できる液滴吐出方法が開示されている。特許文献2に開示された液滴吐出方法では、吐出ヘッドが有する吐出ノズルの吐出分解能を一括して調整することによって、各吐出ノズルごとに個別に調整する方法に比べて、吐出ヘッドの吐出分解能を制御する制御装置の負荷が軽減されている。
副走査方向においては、吐出ヘッドごとに、主走査方向の吐出分解能を個別に設定することが可能である。しかし、副走査方向における、吐出ヘッドの境界と、適切な描画分解能が互いに異なる被描画領域の境界とは、必ずしも合致しないため、同一の吐出分解能で吐出する吐出ノズルを有する一つの吐出ヘッドが、適切な描画分解能が互いに異なる被描画領域の境界を跨いで、両方の被描画領域の部分に対向する場合がある。このような場合、吐出ヘッドが有する吐出ノズルの吐出分解能は同一であるため、両方の被吐出領域に並行して、それぞれの被吐出領域に描画するために適切な描画分解能を実現できる吐出分解能で液状体を吐出することはできないという課題があった。境界を挟んだ被吐出領域の部分のそれぞれに向けて、それぞれの被吐出領域に対応した吐出分解能で、個別に吐出を実施すると、吐出作業に要する時間が増大するという課題があった。
本実施形態は、液滴吐出装置を用いて、電気光学装置の一例である液晶装置の、機能膜の一例であるカラーフィルタを製造する工程を例に説明する。本実施形態に係る液滴吐出装置は、液晶装置の製造ラインに組み込まれており、液状体を液滴として吐出する液滴吐出ヘッドを備えている。液滴吐出装置は、当該液滴吐出ヘッドに樹脂材料を含む機能液を導入して、描画対象物上に当該機能液を配置することで、液晶装置のカラーフィルタのフィルタ膜などを形成するものである。
最初に、フィルタ膜などの機能膜の形成に用いられる液滴吐出法について説明する。液滴吐出法の吐出技術としては、帯電制御方式、加圧振動方式、電気機械変換方式、電気熱変換方式、静電吸引方式などが挙げられる。帯電制御方式は、材料に帯電電極で電荷を付与し、偏向電極で材料の飛翔方向を制御して吐出ノズルから吐出させるものである。また、加圧振動方式は、材料に30kg/cm2程度の超高圧を印加して吐出ノズル先端側に材料を吐出させるものであり、制御電圧をかけない場合には材料が直進して吐出ノズルから吐出され、制御電圧をかけると材料間に静電的な反発が起こり、材料が飛散して吐出ノズルから吐出されない。また、電気機械変換方式は、ピエゾ素子(圧電素子)がパルス的な電気信号を受けて変形する性質を利用したもので、ピエゾ素子が変形することによって材料を貯留した空間に可撓物質を介して圧力を与え、この空間から材料を押し出して吐出ノズルから吐出させるものである。
次に、液滴吐出装置1の全体構成について、図1及び図2を参照して説明する。図1は、液滴吐出装置の概略構成を示す平面図である。図2は、液滴吐出装置の概略構成を示す側面図である。
X軸テーブル11及びY軸テーブル12の駆動と同期して、吐出ユニット2の液滴吐出ヘッド17を吐出駆動させることにより、機能液滴を吐出させ、ワーク載置台21の上に載置されたワークWに対して、任意の描画パターンを描画する。
次に、液滴吐出ヘッド17について、図3を参照して説明する。図3は、液滴吐出ヘッドの概要を示す外観斜視図である。
吐出ノズル78から液滴を吐出するタイミングは、ラッチ信号で規定される。1列のノズル列78bを構成する吐出ノズル78には同じラッチ信号が印加され、同じタイミングで液滴を吐出する。1台の液滴吐出ヘッド17が有する2列のノズル列78bのそれぞれには、2列のノズル列78b間のX軸方向の距離と、液滴吐出ヘッド17と描画対象物とのX軸方向の相対移動速度とから算出できる時間差をつけてラッチ信号を印加する。これにより、2列のノズル列78bの液滴吐出ヘッド17から吐出された液滴を、Y軸方向に延在する一直線状に着弾させることができる。1台の液滴吐出ヘッド17が有する吐出ノズル78がノズル群に相当する。
図3にLで示した、1台の液滴吐出ヘッド17が有する吐出ノズル78において、Y軸方向において両端に位置する吐出ノズル78のY軸方向の中心間距離をノズル群長Lと表記する。液滴吐出ヘッド17が、180個の吐出ノズル78が141μmのノズルピッチで並ぶノズル列78bを2列備え、2列のノズル列78bをそれぞれ構成する吐出ノズル78同士は、Y軸方向において、相互に半ノズルピッチずつ位置ずれしている場合、ノズル群長Lは、25309.5μmになる。
次に、吐出ユニット2のヘッドユニット54の概略構成について、図4を参照して説明する。図4は、ヘッドユニットの概略構成を示す平面図である。図4に示したX軸及びY軸は、ヘッドユニット54が液滴吐出装置1に取り付けられた状態において、図1に示したX軸及びY軸と一致している。
三色カラーフィルタのフィルタ膜205(図7又は図9参照)の赤色フィルタ膜205R、緑色フィルタ膜205G、青色フィルタ膜205B、を形成するための機能液252を赤色機能液252R、緑色機能液252G、青色機能液252Bと表記する(図12参照)。赤色機能液252R、緑色機能液252G、又は青色機能液252Bが供給される液滴吐出ヘッド17を、それぞれ赤色吐出ヘッド17R、緑色吐出ヘッド17G、青色吐出ヘッド17Bと表記する。
本実施形態のヘッドユニット54においては、液滴吐出ヘッド17a,17d,17g,17kが、赤色吐出ヘッド17Rであり、液滴吐出ヘッド17b,17e,17h,17mが、緑色吐出ヘッド17Gであり、液滴吐出ヘッド17c,17f,17j,17nが、青色吐出ヘッド17Bである。
次に、上述したような構成を有する液滴吐出装置1を駆動するための電気的構成について、図6を参照して説明する。図6は、液滴吐出装置の電気的構成を示す電気構成ブロック図である。液滴吐出装置1は、図6に示した制御装置65を介してデータの入力や、稼働開始や停止などの制御指令の入力を行うことで、制御される。制御装置65は、演算処理を行うホストコンピュータ66と、液滴吐出装置1に入出力する情報を入出力するための入出力装置68とを有し、インタフェイス(I/F)67を介して吐出装置制御部6と接続されている。入出力装置68は、情報を入力可能なキーボード、記録媒体を介して情報を入出力する外部入出力装置、外部入出力装置を介して入力された情報を保存しておく記録部、モニタ装置などである。
次に、電気光学装置の一例である液晶装置としての液晶表示パネルについて説明する。
最初に、液晶表示パネル200の構成について、図7を参照して説明する。図7は、液晶表示パネルの概略構成を示す分解斜視図である。液晶表示パネル200は、駆動素子として薄膜トランジスタ(TFT(Thin Film Transistor)素子)を用いるアクティブマトリックス方式の液晶装置であり、図示省略したバックライトを用いる透過型の液晶装置である。
次に、マザー対向基板201Aについて、図8を参照して説明する。対向基板220は、分割されてガラス基板201となるマザー対向基板201A上に上述したCF層208などを形成した後、マザー対向基板201Aを個別の対向基板220(ガラス基板201)に分割して形成される。図8(a)は対向基板の平面構造を模式的に示す図であり、図8(b)は、マザー対向基板の平面構造を模式的に示す図である。
次に、対向基板220に形成されているCF層208及びCF層208におけるフィルタ膜205(赤色フィルタ膜205R、緑色フィルタ膜205G、及び青色フィルタ膜205B)の配列について、図9を参照して説明する。図9は、3色カラーフィルタのフィルタ膜の配列例を示す模式平面図である。
次に、吐出分解能と、描画対象の形状との関係について、図10を参照して説明する。吐出ノズル78からは、当該吐出ノズル78にラッチ信号によりラッチされた駆動信号(駆動波形)が印加されることによって機能液が吐出される。ラッチ信号の周波数と、吐出ノズル78と描画対象との主走査方向の相対移動速度と、から定まる描画対象に対する吐出ノズル78からの吐出位置間の最小距離が、吐出分解能である。吐出された機能液が描画対象に着弾した位置間の最小距離が、描画分解能である。描画対象の適切な描画分解能は、それぞれの描画対象における描画形状によって定まる。吐出ノズル78が実現するべき吐出分解能は、液滴吐出装置1が描画吐出を実施する描画対象の適切な描画分解能によって定まる。
1個のフィルタ膜205を形成するために、複数の吐出ノズル78を一斉に駆動して、当該フィルタ膜205を形成するべきフィルタ膜領域225に機能液252を着弾させる。1個の吐出ノズル78からは、例えば図10(a)に示した4ヶ所の着弾点263の位置に、機能液252の液滴を着弾させることによって、適正なフィルタ膜205が形成される。
フィルタ膜領域225の主走査方向の配置に対して、ラッチ信号262によってラッチされる駆動信号を適切に印加することによって、適切な吐出位置で機能液252を吐出させることを可能ならしめて、それぞれのフィルタ膜領域225において、略同じ位置に機能液252を着弾させることができる。主走査方向に複数の機能液252を連続して吐出する場合、その最小の吐出間隔が吐出分解能となる。すなわち、吐出分解能の単位で機能液252を配置可能である。主走査方向における機能液252の配置は、隔壁204で区画された領域のサイズやフィルタ膜205の膜厚設定により適宜決定される。
1個の吐出ノズル78からは、例えば図10(b)に示した2ヶ所の着弾点273の位置に、機能液252の液滴を着弾させることによって、適正なフィルタ膜405が形成される。
図10(b)におけるラッチ信号272とフィルタ膜領域425との関係は、図10(a)におけるラッチ信号262とフィルタ膜領域225との関係と同様である。
フィルタ膜領域425の主走査方向の配置に対して、ラッチ信号272によってラッチされる駆動信号を適切に印加することによって、適切な吐出位置で機能液252を吐出させることを可能ならしめて、それぞれのフィルタ膜領域425において、略同じ位置に機能液252を着弾させることができる。
次に、液晶表示パネル200を形成する工程について、図11、図12、及び図13を参照して説明する。図11は、液晶表示パネルを形成する過程を示すフローチャートである。図12は、液晶表示パネルを形成する過程におけるフィルタ膜を形成する工程などを示す断面図であり、図13は、液晶表示パネルを形成する過程における配向膜を形成する工程などを示す断面図である。液晶表示パネル200は、それぞれ別々に形成した素子基板210と対向基板220とを、貼り合わせて形成する。
図11のステップS1では、ガラス基板201の上に、フィルタ膜領域225を区画形成するための隔壁部を形成する。隔壁部は、ブラックマトリックス202を格子状に形成し、その上にバンク203を形成して、ブラックマトリックス202とバンク203とで構成された隔壁204を格子状に配置することによって形成する。これにより、図12(a)に示すように、ガラス基板201の表面に、隔壁204によって区画された方形のフィルタ膜領域225が形成される。
次に、図11のステップS4では、対向電極207を形成する。図12(f)に示すように、平坦化膜206の上の、少なくともCF層208のフィルタ膜205が形成された領域の全面を覆う領域に、透明な導電材料を用いて、薄膜を形成する。この薄膜が、上述した対向電極207である。
図13(g)に示すように、対向電極207が形成されたガラス基板201の表面に液滴吐出ヘッド17を対向させて、液滴吐出ヘッド17からガラス基板201の表面に向けて配向膜液242を吐出する。同時に、ガラス基板201に対して液滴吐出ヘッド17を矢印aで示したように相対移動させることによって、ガラス基板201の配向膜228を形成する領域の全面に配向膜液242を配置する。配置された配向膜液242を乾燥させることで、図13(h)に示すように、配向膜228を形成する。ステップS5を実施して、対向基板220が形成される。
図11のステップS6では、ガラス基板211の上に導電層や絶縁層や半導体層を形成することで、TFT素子215などの素子や、走査線212や、信号線214や、絶縁層216などを形成する。走査線212及び信号線214は、素子基板210と対向基板220とが、貼り合わされた状態で、隔壁204に対向する位置に、即ち画素の周辺の位置に形成する。TFT素子215は、画素の端に位置するように形成し、1画素に少なくとも1個のTFT素子215を形成する。
図13(i)に示すように、画素電極217が形成されたガラス基板211の表面に液滴吐出ヘッド17を対向させて、液滴吐出ヘッド17からガラス基板211の表面に向けて配向膜液242を吐出する。同時に、ガラス基板211に対して液滴吐出ヘッド17を矢印aで示したように相対移動させることによって、ガラス基板211の配向膜218を形成する領域の全面に配向膜液242を配置する。配置された配向膜液242を乾燥させることで、図13(j)に示すように、配向膜218を形成する。ステップS8を実施して、素子基板210が形成される。
次に、上述したマザー対向基板201AにおけるCF層208及びCF層408の配置について、図14を参照して説明する。図14は、吐出ユニットの液滴吐出ヘッドと、マザー対向基板におけるCF層を形成する領域の位置関係と、を示す模式図である。
図14(a)は、ワーク載置台にセットされたマザー対向基板におけるCF層を形成する領域と吐出ユニットとの位置関係を示しており、図14(b)は、フィルタエレメントの配置ピッチが互いに異なるCF層が隣り合っている部分の周辺の部分拡大図であり、マザー対向基板上のCF層を形成する位置と液滴吐出ヘッドのノズル群長との関係を示している。図14に示したX軸方向及びY軸方向は、図1又は図5に示したX軸方向及びY軸方向と一致している。
図14(b)に示した例では、液滴吐出ヘッド17fがCF層208を形成する領域の境界を含む領域に臨む位置にあり、液滴吐出ヘッド17eがCF層408を形成する領域の境界を含む領域に臨む位置にある。CF層208の境界とCF層408の境界とは、ノズル群長Lより大きい距離Dを隔てているため、液滴吐出ヘッド17fがCF層408を形成する領域に、又は液滴吐出ヘッド17eがCF層208を形成する領域に対向することはない。言い換えれば、マザー対向基板201Aに対して、複数の液滴吐出ヘッド17(吐出ユニット2)を副走査方向においてどのように配置しても、同一の液滴吐出ヘッド17が異なる吐出タイミングが要求されるCF層208とCF層408と跨って配置されない。液滴吐出ヘッド17f又は液滴吐出ヘッド17eの吐出ノズル78が描画吐出を実施する際の適切な吐出タイミングは、液滴吐出ヘッド17f又は液滴吐出ヘッド17eのそれぞれにおいて一律である。従って、液滴吐出ヘッド17fには図10を参照して説明したラッチ信号262を印加して機能液252の吐出を実施させ、液滴吐出ヘッド17eには図10を参照して説明したラッチ信号272を印加して機能液252の吐出を実施させることで、それぞれ適切な吐出タイミングの吐出を実施させることができる。
次に、マザー対向基板におけるCF層の他の配置例として、マザー対向基板401AにおけるCF層208及びCF層408の配置について、図15を参照して説明する。マザー対向基板401Aには、マザー対向基板201Aと同様にCF層208及びCF層408が、マザー対向基板201Aとは異なる配置で形成される。図15は、吐出ユニットの液滴吐出ヘッドと、マザー対向基板におけるCF層を形成する領域の位置関係と、を示す模式図である。
図15(a)は、ワーク載置台にセットされたマザー対向基板におけるCF層を形成する領域と吐出ユニットとの位置関係を示しており、図15(b)は、フィルタエレメントの配置ピッチが互いに異なるCF層が隣り合っている部分の周辺の部分拡大図であり、マザー対向基板上のCF層を形成する位置と液滴吐出ヘッドのノズル群長との関係を示している。図15に示したX軸方向及びY軸方向は、図1又は図5に示したX軸方向及びY軸方向と一致している。
図15(b)に示した例では、液滴吐出ヘッド17bがCF層408を形成する領域の境界を含む領域に臨む位置にある。当該液滴吐出ヘッド17bは、CF層408を形成する領域の、基準位置とした境界側の端に機能液252を配置する液滴吐出ヘッド17(図15(b)に示した例では、液滴吐出ヘッド17g)から数えてn番目の液滴吐出ヘッド17である。距離D1は長さnLより大きいため、液滴吐出ヘッド17bがCF層208を形成する領域に対向することはない。
また、液滴吐出ヘッド17cが、CF層208を形成する領域の境界を含む領域に臨む位置にある。当該液滴吐出ヘッド17cは、CF層408を形成する領域の、基準位置とした境界側の端に機能液252を配置する液滴吐出ヘッド17gから数えてn+1番目の液滴吐出ヘッド17である。従って、液滴吐出ヘッド17cは、CF層408を形成する領域の、基準位置とした境界側の端からの距離がnLから(n+1)Lの間の領域に対向する。CF層408の副走査方向の幅は長さnLより小さいため、液滴吐出ヘッド17cがCF層408を形成する領域に対向することはない。
従って、液滴吐出ヘッド17b又は液滴吐出ヘッド17cの吐出ノズル78が描画吐出を実施する際の適切な吐出タイミングは、液滴吐出ヘッド17b又は液滴吐出ヘッド17cのそれぞれにおいて一律である。液滴吐出ヘッド17cには図10を参照して説明したラッチ信号262を印加して機能液252の吐出を実施させ、液滴吐出ヘッド17bには図10を参照して説明したラッチ信号272を印加して機能液252の吐出を実施させることで、それぞれ適切な吐出タイミングの吐出を実施させることができる。
次に、マザー対向基板におけるCF層のさらに異なる配置例として、マザー対向基板301AにおけるCF層308及びCF層328の配置について、図16を参照して説明する。図16は、吐出ユニットの液滴吐出ヘッドと、マザー対向基板におけるCF層を形成する領域の位置関係と、を示す模式図である。図16に示したX軸方向及びY軸方向は、図1又は図5に示したX軸方向及びY軸方向と一致している。
吐出ユニット2の液滴吐出ヘッド17に印加するラッチ信号は、主走査中に切り換え可能であって、CF層308を形成する領域とCF層328を形成する領域との間で切り換えられる。そして、液滴吐出ヘッド17がCF層308を形成する領域に向けて機能液252を吐出する際は、当該領域において適切な吐出タイミングで吐出を実施し、CF層328を形成する領域に向けて機能液252を吐出する際は、当該領域において適切な吐出タイミングで吐出を実施する。
(1)マザー対向基板201Aにおいて、CF層208の境界とCF層408の境界とは、ノズル群長Lより大きい距離Dを隔てている。このため、単一の液滴吐出ヘッド17がCF層208及びCF層408の両方に同時に対向する位置に位置することがない。マザー対向基板201Aに向けて機能液を吐出する吐出ユニット2の液滴吐出ヘッド17が描画吐出を実施する際の適切な吐出分解能は、液滴吐出ヘッド17それぞれにおいて一律である。液滴吐出ヘッド17にはラッチ信号262又はラッチ信号272を印加して機能液252の吐出を実施させることで、それぞれ適切な吐出タイミングの吐出を実施させることができる。
これにより、CF層208への吐出とCF層408への吐出とを別々の主走査において実施する場合に比べて、液晶表示パネル200の対向基板220及び液晶表示パネルの対向基板420を形成するために要する時間を抑制することができる。
これにより、CF層208への吐出とCF層408への吐出とを別々の主走査において実施する場合に比べて、液晶表示パネル200の対向基板220及び液晶表示パネルの対向基板420を形成するために要する時間を抑制することができる。
これにより、描画吐出を実施する際の適切な吐出タイミングが単一でない液滴吐出ヘッド17が存在して、当該液滴吐出ヘッド17がそれぞれの吐出タイミングでの吐出を別々の主走査において実施する場合に比べて、液晶表示パネルの対向基板301及び対向基板321を形成するために要する時間を抑制することができる。
次に、基材、基材の被吐出領域配置方法、マザーパネル、及びマザーパネルのパネル領域配置方法の第二の実施形態について図面を参照して、説明する。本実施形態は、インクジェット方式の液滴吐出装置を用いて、電気光学装置の一例である有機EL表示装置を製造する工程において、機能膜の一例である発光層、正孔輸送層などを形成する工程を例に説明する。本実施形態の液滴吐出装置は、第一の実施形態で説明した液滴吐出装置と実質的に同一のものであるため、液滴吐出装置に関する説明は省略する。
最初に、有機EL表示装置の構成について、図17及び図18を参照して説明する。図17は、有機EL表示装置を示す概略正面図である。図17(a)は、有機EL表示装置の全体を示す概略正面図であり、図17(b)は、カラー発光素子の配列例を示す部分拡大図である。図17(a)に示すように、本実施形態の有機EL表示装置500は、発光素子である複数の有機EL素子507を有する素子基板501と、封止基板509とを備えている。有機EL素子507はいわゆるカラー発光素子であり、有機EL表示装置500は、赤色素子507R(赤色系)、緑色素子507G(緑色系)、青色素子507B(青色系)の3色の有機EL素子507を有している。有機EL素子507は表示領域506に配置されており、当該表示領域506に画像が表示される。
なお、図17においては、走査線駆動回路部503などをわかりやすく示すために、表示領域506に対して周囲の領域を大きく示している。
次に、有機EL表示装置500の素子基板501における有機EL素子507を構成する正孔輸送層516、発光層517、及び対向電極518を形成する工程について、図19及び図20を参照して説明する。図19は素子基板の正孔輸送層、発光層、及び対向電極の形成工程を示すフローチャートであり、図20(a)〜(e)は素子基板の正孔輸送層、発光層、及び対向電極の形成工程を示す模式断面図である。
この工程は、乾燥状態を制御して、より均一な正孔輸送層516を形成するために、減圧環境下で実施してもよい。画素領域521に機能液560を充填したガラス基板510を減圧環境に投入し、機能液560を乾燥させて、正孔輸送層516を形成する。なお、機能液560は、厳密には、液滴吐出ヘッド17から液滴560aとして吐出された瞬間から乾燥を開始するが、機能液560の溶媒の沸点などを調節することで、常圧ではほとんど乾燥せず、減圧された状態で乾燥するようにすることができる。減圧環境での乾燥工程で殆ど全ての乾燥が行われるようにするためには、機能液560は乾燥進行が遅い高沸点溶媒の比率を高くすることが好ましい。
上述したように、有機EL表示装置500は、赤色発光層517R(赤色系)、緑色発光層517G(緑色系)、及び青色発光層517B(青色系)の3色の発光層517を備え、当該3色の発光層によるカラー表示を行う。
赤色発光層517R、緑色発光層517G、又は青色発光層517Bの材料を含む機能液570を、それぞれ赤色機能液570R、緑色機能液570G、又は青色機能液570Bと表記する。赤色機能液570R、緑色機能液570G、又は青色機能液570Bが充填された液滴吐出ヘッド17を、それぞれ赤色吐出ヘッド17R、緑色吐出ヘッド17G、又は青色吐出ヘッド17Bと表記する。
この工程も、上述した機能液560の乾燥工程と同様に、乾燥状態を制御して、より均一な赤色発光層517R、緑色発光層517G、及び青色発光層517Bを形成するために、減圧環境下で実施してもよい。減圧環境下での乾燥を実施する場合、減圧環境での乾燥工程で殆ど全ての乾燥が行われるようにするためには、赤色機能液570R、緑色機能液570G、及び青色機能液570Bは、乾燥進行が遅い高沸点溶媒の比率を高くすることが好ましい。
図20(e)に示すように、対向電極518を形成して、正孔輸送層516、発光層517、及び対向電極518を形成する工程を終了する。
さらに、正孔輸送層516、発光層517、及び対向電極518の形成工程を実行して形成した素子基板501に、封止基板509を取り付け、上述した中継基板508などを実装して、有機EL表示装置500を形成する。
次に、複数の素子基板501を区画形成するマザー素子基板501Aにおける表示領域506の配置について、図21を参照して説明する。図21は、吐出ユニットの液滴吐出ヘッドと、マザー素子基板における表示領域を形成する領域の位置関係と、を示す模式図である。
図21(a)は、ワーク載置台にセットされたマザー素子基板と吐出ユニットとの位置関係を示しており、図21(b)は、適切な吐出条件が互いに異なる表示領域が隣り合っている部分の周辺の部分拡大図であり、マザー対向基板上の表示領域を形成する位置と液滴吐出ヘッドのノズル群長との関係を示している。図21に示したX軸方向及びY軸方向は、第一の実施形態の図1又は図5に示したX軸方向及びY軸方向と一致している。
以降、横配置の表示領域506を、表示領域506Hと表記し、縦配置の表示領域506を、表示領域506Vと表記する。マザー素子基板501Aが、基材又はマザーパネルに相当する。表示領域506H又は表示領域506Vを形成する領域が、第一の被吐出領域又は第二の被吐出領域に相当し、第一のパネル領域又は第二のパネル領域に相当する。なお、図21においては図をわかりやすくするために表示領域506Hや表示領域506Vを形成する領域の相互間の間隔を大きくしてあるが、マザー素子基板501Aを形成するための板状材料を効率良く使用するためには、当該間隔は素子基板501を形成可能な範囲で小さくすることが好ましい。
図21(b)に示した例では、液滴吐出ヘッド17fが表示領域506Hを形成する領域の境界を含む領域に臨む位置にあり、液滴吐出ヘッド17eが表示領域506Vを形成する領域の境界を含む領域に臨む位置にある。表示領域506Hの境界と表示領域506Vの境界とは、ノズル群長Lより大きい距離D2を隔てているため、液滴吐出ヘッド17fが表示領域506Vを形成する領域に、又は液滴吐出ヘッド17eが表示領域506Hを形成する領域に対向することはない。液滴吐出ヘッド17f又は液滴吐出ヘッド17eの吐出ノズル78が描画吐出を実施する際の適切な吐出分解能は、液滴吐出ヘッド17f又は液滴吐出ヘッド17eのそれぞれにおいて一律である。液滴吐出ヘッド17fには、表示領域506Hにおいて適切な吐出タイミングで吐出を実施させ、液滴吐出ヘッド17eには、表示領域506Vにおいて適切な吐出タイミングで吐出を実施させることができる。
(1)マザー素子基板501Aにおいて、表示領域506Hの境界と表示領域506Vの境界とは、ノズル群長Lより大きい距離D2を隔てている。このため、単一の液滴吐出ヘッド17が表示領域506H及び表示領域506Vの両方に同時に対向する位置に位置することがない。マザー素子基板501Aに向けて機能液を吐出する吐出ユニット2の液滴吐出ヘッド17が描画吐出を実施する際の適切な吐出分解能は、液滴吐出ヘッド17それぞれにおいて一律である。液滴吐出ヘッド17には、表示領域506H又は表示領域506Vに液滴を配置するための適切なラッチ信号をそれぞれ印加して機能液252の吐出を実施させることで、それぞれ適切な吐出タイミングの吐出を実施させることができる。
これにより、描画吐出を実施する際の適切な吐出分解能が単一でない液滴吐出ヘッド17が存在して、当該液滴吐出ヘッド17がそれぞれの吐出分解能での吐出を別々の主走査において実施する場合に比べて、有機EL表示装置500の素子基板501を形成するために要する時間を抑制することができる。
形成する膜を有する装置、又は形成過程において膜を形成する必要がある装置も、液晶表示装置や有機EL表示装置に限らない。上記したような膜を有する装置、又は形成過程において上記したような膜を形成する必要がある装置であれば、どのような装置であってもよい。
Claims (6)
- 液状体を吐出するタイミングを規定するタイミング信号に基づいて駆動される複数の吐出ノズルが副走査方向に配列するノズル群に対して、前記副走査方向と交差する主走査方向に相対移動させられると共に、前記吐出ノズルから前記液状体を吐出する前記タイミング信号の周期が第一の周期である第一の被吐出領域と、前記吐出ノズルから前記液状体を吐出する前記タイミング信号の周期が前記第一の周期とは異なる第二の周期である第二の被吐出領域と、を備える基材の被吐出領域配置方法であって、
前記ノズル群に、前記第一の被吐出領域と前記第二の被吐出領域の両方が同時に対向することがない位置に、前記第一の被吐出領域及び前記第二の被吐出領域を配置することを特徴とする基材の被吐出領域配置方法。 - 前記副走査方向において隣り合う前記第一の被吐出領域と、前記第二の被吐出領域とを、前記ノズル群が有する複数の前記吐出ノズルの中で前記副走査方向における両端に位置する前記吐出ノズルの中心間距離より大きい間隔を隔てて配置することを特徴とする請求項1に記載の基材の被吐出領域配置方法。
- 前記副走査方向において隣り合う前記第一の被吐出領域と、前記第二の被吐出領域とを、前記ノズル群が有する複数の前記吐出ノズルであって、前記基材に向けて前記液状体を吐出するために使用される複数の有効ノズルの中で前記副走査方向における両端に位置する前記吐出ノズルの中心間距離より大きい間隔を隔てて配置することを特徴とする請求項1に記載の基材の被吐出領域配置方法。
- 前記第一の被吐出領域と、前記第二の被吐出領域とを、前記副走査方向において、互いに隣り合わない位置に配置することを特徴とする請求項1に記載の基材の被吐出領域配置方法。
- 液状体を吐出するタイミングを規定するタイミング信号に基づいて駆動される複数の吐出ノズルが副走査方向に配列するノズル群に対して、前記副走査方向と交差する主走査方向に相対移動させると共に、前記吐出ノズルから前記液状体を吐出する前記タイミング信号の周期が第一の周期である第一のパネル領域と、前記吐出ノズルから前記液状体を吐出する前記タイミング信号の周期が前記第一の周期とは異なる第二の周期である第二のパネル領域と、を備えるマザーパネルのパネル領域配置方法であって、
前記ノズル群に、前記第一のパネル領域と前記第二のパネル領域の両方が同時に対向することがない位置に、前記第一のパネル領域及び前記第二のパネル領域を配置することを特徴とするマザーパネルのパネル領域配置方法。 - 前記副走査方向において隣り合う前記第一のパネル領域と、前記第二のパネル領域とを、前記ノズル群が有する複数の前記吐出ノズルの中で前記副走査方向における両端に位置する前記吐出ノズルの中心間距離より大きい間隔を隔てて配置することを特徴とする請求項5に記載のマザーパネルのパネル領域配置方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2007315485A JP4998236B2 (ja) | 2007-12-06 | 2007-12-06 | 基材の被吐出領域配置方法、及びマザーパネルのパネル領域配置方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2007315485A JP4998236B2 (ja) | 2007-12-06 | 2007-12-06 | 基材の被吐出領域配置方法、及びマザーパネルのパネル領域配置方法 |
Publications (3)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2009139614A JP2009139614A (ja) | 2009-06-25 |
JP2009139614A5 JP2009139614A5 (ja) | 2011-01-27 |
JP4998236B2 true JP4998236B2 (ja) | 2012-08-15 |
Family
ID=40870283
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2007315485A Expired - Fee Related JP4998236B2 (ja) | 2007-12-06 | 2007-12-06 | 基材の被吐出領域配置方法、及びマザーパネルのパネル領域配置方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP4998236B2 (ja) |
Family Cites Families (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP4683664B2 (ja) * | 2002-07-08 | 2011-05-18 | キヤノン株式会社 | カラーフィルタの製造方法、パネルの製造装置及び製造方法、液晶表示パネルの製造方法、液晶表示パネルを備えた装置の製造方法 |
JP2005324130A (ja) * | 2004-05-14 | 2005-11-24 | Seiko Epson Corp | 液滴吐出装置、電気光学装置、電気光学装置の製造方法、および電子機器 |
JP4797930B2 (ja) * | 2006-10-30 | 2011-10-19 | セイコーエプソン株式会社 | 表示装置の製造方法 |
JP2009139613A (ja) * | 2007-12-06 | 2009-06-25 | Seiko Epson Corp | 液滴吐出装置、液滴吐出装置の制御方法、電気光学装置の製造装置、及び電気光学装置の製造方法 |
-
2007
- 2007-12-06 JP JP2007315485A patent/JP4998236B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2009139614A (ja) | 2009-06-25 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP4345716B2 (ja) | 液滴吐出方法 | |
US20100099322A1 (en) | Method for manufacturing electro-optical device and apparatus for manufacturing electro-optical device | |
JP2005324130A (ja) | 液滴吐出装置、電気光学装置、電気光学装置の製造方法、および電子機器 | |
JP2006159116A (ja) | ワークギャップ調整方法、ワークギャップ調整装置、液滴吐出装置、電気光学装置の製造方法、電気光学装置および電子機器 | |
JP2007029946A (ja) | 液滴吐出方法、電気光学装置及び電子機器 | |
KR101021550B1 (ko) | 머더 기재, 막 형성 영역의 배설 방법, 및 컬러 필터의 제조 방법 | |
KR20080068567A (ko) | 패턴 형성 방법 | |
JP2009006212A (ja) | 液滴吐出装置、電気光学装置の製造方法および電気光学装置 | |
US8349405B2 (en) | Liquid discharge method and liquid discharge device | |
JP4935153B2 (ja) | 液滴吐出方法 | |
JP4998236B2 (ja) | 基材の被吐出領域配置方法、及びマザーパネルのパネル領域配置方法 | |
JP2006159703A (ja) | 液滴吐出装置を用いた描画方法、液滴吐出装置、並びに電気光学装置の製造方法、電気光学装置、および電子機器 | |
JP4983081B2 (ja) | 膜形成方法、電気光学基板の製造方法、及び電気光学装置の製造方法、並びに機能膜、電気光学基板、及び電気光学装置 | |
JP2006341215A (ja) | 液滴吐出方法、電気光学装置及び電子機器 | |
JP2006326541A (ja) | 液滴吐出方法、ヘッドユニット、液滴吐出装置、電気光学装置及び電子機器 | |
JP2009139613A (ja) | 液滴吐出装置、液滴吐出装置の制御方法、電気光学装置の製造装置、及び電気光学装置の製造方法 | |
JP2006159114A (ja) | 液滴吐出装置を用いた描画方法、液滴吐出装置、並びに電気光学装置の製造方法、電気光学装置、および電子機器 | |
JP2009172524A (ja) | 液滴吐出装置、及び液状体の配置方法、並びにカラーフィルタの製造装置、カラーフィルタの製造方法、電気光学装置の製造装置、及び電気光学装置の製造方法 | |
JP2007007544A (ja) | 液滴吐出方法、液滴吐出装置、電気光学装置及び電子機器 | |
JP2009233573A (ja) | ヘッドユニット、吐出装置、及び吐出方法 | |
JP4192895B2 (ja) | パターン形成方法、液滴吐出ヘッド、パターン形成装置、カラーフィルタ基板の製造方法、カラーフィルタ基板、電気光学装置の製造方法及び電気光学装置 | |
JP5266908B2 (ja) | 液状体吐出方法、及び液状体吐出装置 | |
JP5927997B2 (ja) | 描画方法 | |
JP2009112972A (ja) | 膜形成方法、膜形成装置、液晶装置の製造方法、及び液晶装置の製造装置 | |
JP2010279874A (ja) | 液状体吐出ヘッド、液状体吐出装置、液状体吐出方法、電気光学装置の製造方法、及び電子機器 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20101203 |
|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20101203 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20120405 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20120417 |
|
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20120430 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 4998236 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20150525 Year of fee payment: 3 |
|
S531 | Written request for registration of change of domicile |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313531 |
|
R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
S111 | Request for change of ownership or part of ownership |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313113 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R360 | Written notification for declining of transfer of rights |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R360 |
|
R360 | Written notification for declining of transfer of rights |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R360 |
|
R371 | Transfer withdrawn |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R371 |
|
S111 | Request for change of ownership or part of ownership |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313113 |
|
R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |