CH711296B1 - Continuous furnace and die bonder with a continuous furnace. - Google Patents

Abstract

Die Erfindung betrifft einen Durchlaufofen, der einen Ofenkörper (2) und eine Abdeckung (6) umfasst, die einen Kanal umschliessen, durch den Substrate transportierbar sind und dem ein Arbeitsgas zuführbar ist. Die Abdeckung (6) weist mindestens eine Prozessöffnung auf. Verbindungsstellen zwischen einzelnen Teilen des Durchlaufofens, die lösbar miteinander verbunden sind, sind mit einander gegenüberliegenden Fügeflächen (11, 12) ausgebildet. Wenigstens einige der Verbindungsstellen weisen eine im Betrieb mit Unterdruck beaufschlagbare Nut (15) auf. Durch die unvermeidlichen Spalte zwischen den Fügeflächen (11, 12) eindringende Luft wird über die Nut (15) abgesaugt und gelangt nicht in den Ofeninnenraum. Die Erfindung betrifft weiter einen Die-Bonder mit einem solchen Durchlaufofen.The invention relates to a continuous furnace comprising a furnace body (2) and a cover (6), which enclose a channel through which substrates can be transported and to which a working gas can be supplied. The cover (6) has at least one process opening. Connecting points between individual parts of the continuous furnace, which are detachably connected to each other, are formed with opposite joining surfaces (11, 12). At least some of the connection points have a groove (15) which can be acted upon with negative pressure during operation. By the unavoidable gap between the joining surfaces (11, 12) penetrating air is sucked through the groove (15) and does not get into the furnace interior. The invention further relates to a die bonder with such a continuous furnace.

Description

Beschreibungdescription

Technisches Gebiet [0001] Die Erfindung betrifft einen Durchlaufofen mit einer lösbaren Abdeckung, damit das Ofeninnere für Wartungsarbeiten zugänglich ist. Dem Ofeninneren wird ein Arbeitsgas zugeführt. Die Erfindung betrifft weiter eine als Die-Bonder bekannte Montageeinrichtung mit einem solchen Durchlaufofen, bei dem das Arbeitsgas ein Schutzgas ist. Beispiele für «Die-Bonder» sind insbesondere Halbleiterchips, jedoch auch Kondensatoren, Metallplättchen, etc.Technical field The invention relates to a continuous furnace with a detachable cover, so that the interior of the furnace is accessible for maintenance. The furnace interior is supplied with a working gas. The invention further relates to a mounting device known as die bonder with such a continuous furnace, in which the working gas is a protective gas. Examples of "die bonders" are in particular semiconductor chips, but also capacitors, metal plates, etc.

Hintergrund der Erfindung [0002] Bei der Montage von Halbleiterchips ist es gebräuchlich, die Halbleiterchips, hauptsächlich Leistungshalbleiter, mit dem Substrat mittels Lot zu verbinden, um über die Lötverbindung eine wirksame Ableitung der beim Betrieb entstehenden Verlustwärme aus dem Halbleiterchip zu gewährleisten. Aber auch andere «Die-Bonder» werden auf das Substrat gelötet. Als Substrate werden vorwiegend metallische Substrate, sogenannte Leadframes, verwendet.Background of the Invention In the assembly of semiconductor chips, it is customary to connect the semiconductor chips, mainly power semiconductors, to the substrate by means of solder in order to ensure an effective dissipation of the heat loss during operation from the semiconductor chip via the solder connection. But other "die bonders" are also soldered to the substrate. The substrates used are predominantly metallic substrates, so-called leadframes.

[0003] Ein für diesen Prozess geeigneter Die-Bonder wird von der Anmelderin unter der Bezeichnung DB 2009 SSI vertrieben. Dieser Die-Bonder umfasst einen Durchlaufofen, durch den die Substrate nacheinander zu einer Lotstation, wo das Lot aufgetragen wird und schmilzt, zu einer Verteilstation, wo das Lot auf dem Substratplatz verteilt wird, und dann zu einer Bondstation, wo ein Halbleiterchip von einem Pick-and-Place-System auf dem flüssigen Lot platziert wird, transportiert werden. Das Lot kann auch in einer einzigen Prozessstation auf den jeweiligen Substratplatz aufgetragen und über den Substratplatz verteilt werden. Der Durchlaufofen ist als Kanal bzw. Tunnel mit den notwendigen Prozessöffnungen ausgebildet. Im Kanal herrscht eine Schutzgasatmosphäre, um die unerwünschte Oxidation der Substrate zu verhindern. Normalerweise wird dem Schutzgas Wasserstoff zugesetzt, um eine Reduktion bereits bestehender Oxide zu erreichen. Je tiefer die Sauerstoffkonzentration im Ofeninnenraum ist, umso effektiver lässt sich das Substrat vor Oxidation schützen.A die bonder suitable for this process is marketed by the Applicant under the name DB 2009 SSI. This die bonder comprises a continuous furnace through which the substrates are successively conveyed to a solder station where the solder is applied and melts, to a distribution station where the solder is distributed on the substrate site, and then to a bonding station where a semiconductor chip is picked up -and-place system is placed on the liquid solder, transported. The solder can also be applied in a single process station on the respective substrate space and distributed over the substrate space. The continuous furnace is designed as a channel or tunnel with the necessary process openings. In the channel there is a protective gas atmosphere to prevent the unwanted oxidation of the substrates. Normally, hydrogen is added to the shielding gas to achieve reduction of already existing oxides. The lower the oxygen concentration in the furnace interior, the more effectively the substrate can be protected from oxidation.

[0004] Der Durchlaufofen ist durch einen Ofenkörper und eine Abdeckung gebildet, die den Kanal begrenzen. Da der Ofen für Wartungsarbeiten geöffnet werden muss, ist die Abdeckung lösbar mit dem Ofenkörper verbunden. Die Abdeckung ist relativ schwer und deshalb oftmals nur auf den Ofenkörper aufgelegt, wo sie mit ihrem Eigengewicht auf den Ofenkörper drückt. Die Abdeckung kann aber auch mit dem Ofenkörper verschraubt sein. Die Verbindungsstellen zwischen den einzelnen Teilen der Abdeckung wie auch zwischen der Abdeckung und dem Ofenkörper sind als einander gegenüberliegende Flächen ausgebildet, die im Rahmen dieser Offenbarung als Fügeflächen bezeichnet werden. Die Fügeflächen berühren sich im Idealfall grossflächig und sorgen so dafür, dass der Ofeninnenraum an allen Verbindungsstellen gegen die Umgebung abgedichtet ist. Da jedoch selbst bei sorgfältigster Fertigung unvermeidliche Spalte zwischen den Fügeflächen verbleiben, durch die Aussenluft in den Ofeninnenraum eindringen kann, werden Fügeflächen grundsätzlich so weit als möglich vermieden und viele andere Massnahmen getroffen, um das Eindringen von Aussenluft in den mit Schutzgas gefluteten Kanal zu verhindern.The continuous furnace is formed by a furnace body and a cover which define the channel. Since the oven must be opened for maintenance, the cover is detachably connected to the furnace body. The cover is relatively heavy and therefore often placed only on the furnace body where it presses with its own weight on the furnace body. The cover can also be bolted to the furnace body. The joints between the individual parts of the cover as well as between the cover and the furnace body are formed as opposed surfaces, which are referred to as joining surfaces in the context of this disclosure. Ideally, the joining surfaces touch each other over a large area, thus ensuring that the interior of the furnace is sealed against the environment at all joints. However, since even with the most careful manufacturing unavoidable gaps between the joining surfaces remain, can penetrate through the outside air into the furnace interior, joining surfaces are basically avoided as far as possible and many other measures taken to prevent the ingress of outside air into the tunnel with flue gas channel.

[0005] In der schweizerischen Patentanmeldung Nr. 01 938/13 ist ein Durchlaufofen beschrieben, bei dem die vordere Seitenwand des Kanals mit einem Längsschlitz ausgebildet ist, damit die Substrate mit Klammern transportiert werden können. Der Ofeninnenraum solcher Durchlauföfen steht trotz der Zufuhr von Schutzgas kaum unter nennenswertem Überdruck, da es sich um halboffene Durchlauföfen handelt.In the Swiss patent application no. 01 938/13 a continuous furnace is described in which the front side wall of the channel is formed with a longitudinal slot, so that the substrates can be transported with brackets. Despite the supply of protective gas, the furnace interior of such continuous furnaces is barely under significant overpressure, since these are semi-open continuous furnaces.

[0006] Es gibt auch Durchlauföfen, bei denen anstelle eines Schutzgases ein anderes Arbeitsgas eingesetzt wird.There are also continuous furnaces, in which instead of a protective gas another working gas is used.

Kurze Beschreibung der Erfindung [0007] Die Erfindung betrifft einen Durchlaufofen der oben beschriebenen Art und weiter einen Die-Bonder mit einem solchen Durchlaufofen. Bei einem Die-Bonder weist die Abdeckung des Durchlaufofens beispielsweise eine Prozessöffnung zum Aufträgen von Lot auf die durch den Ofen transportierten Substrate, eine Prozessöffnung zum Verteilen des Lots auf den Substratplätzen und mindestens eine Prozessöffnung zum Aufbringen der Halbleiterchips auf die Substrate auf. Die Abdeckung umfasst mindestens einen Deckel und fakultativ zusätzlich wenigstens eine Platte, die eine der Prozessöffnungen abdeckt, sowie allenfalls weitere Elemente. Die Prozessöffnungen zum Aufträgen und Verteilen des Lots sind beispielsweise mit einer Platte abgedeckt, die im Betrieb aus hier nicht weiter erläuterten Gründen hin und her bewegt wird. Die Platte dient zum Abdichten der entsprechenden Prozessöffnung, um das Eindringen von Sauerstoff so weit als möglich zu verhindern. Um das Eindringen von Umgebungsluft in den Kanal durch die zwischen den einzelnen Teilen der Abdeckung und dem Ofenkörper bestehenden Spalte zu vermeiden, sind die Verbindungsstellen zwischen den einzelnen Teilen der Abdeckung als auch zwischen den Teilen der Abdeckung und dem Ofenkörper grundsätzlich als einander gegenüberliegende Fügeflächen ausgebildet. Die Fügeflächen können, müssen aber nicht, planare Flächen sein.Brief Description of the Invention The invention relates to a continuous furnace of the type described above and further to a die bonder having such a continuous furnace. In a die bonder, for example, the cover of the continuous furnace has a process opening for applying solder to the substrates transported through the furnace, a process opening for distributing the solder on the substrate sites, and at least one process opening for applying the semiconductor chips to the substrates. The cover comprises at least one lid and optionally additionally at least one plate which covers one of the process openings, as well as possibly further elements. The process openings for applying and distributing the solder are covered, for example, with a plate, which is moved back and forth during operation for reasons not explained here. The plate is used to seal the corresponding process opening to prevent the ingress of oxygen as much as possible. In order to prevent the ingress of ambient air into the channel by the existing between the individual parts of the cover and the furnace body column, the connection points between the individual parts of the cover and between the parts of the cover and the furnace body are basically formed as opposed joining surfaces. The joining surfaces may or may not be planar surfaces.

[0008] Untersuchungen der Erfinder haben gezeigt, dass Sauerstoff nicht nur beim Eingang, beim Ausgang und bei den Prozessöffnungen und gegebenenfalls durch den Längsschlitz in der vorderen Seitenwand in den Kanal gelangt, sondern auch durch die zwar sehr dünnen, jedoch unvermeidlichen Spalte zwischen den Fügeflächen. Um dies zu verhindern, schlägt die Erfindung vor, möglichst alle Verbindungsstellen mit einer Nut zu versehen, d.h. jeweils zumindest eine der einander gegenüberliegenden Fügeflächen mit einer Nut auszubilden und die Nut über einen oder mehrere geschlossene Kanäle und/oder Leitungen mit einer Unterdruckquelle zu verbinden, sodass sie im Betrieb mit Unterdrück beaufschlagt werden kann. Die Nut wirkt vom Prinzip her wie eine Unterdruckkammer und trennt den Ofeninnenraum an der entspre- chenden Verbindungsstelle druckmässig von der Umgebung. Der in der Nut herrschende Unterdrück bewirkt nämlich einerseits, dass von der Umgebung durch Diffusion und/oder aufgrund einer Druckdifferenz in die Spalte zwischen den Fügeflächen gelangende Gase wie z.B. Sauerstoff nur bis zur Nut gelangen und infolge des dort herrschenden Unterdrucks abgesaugt und wieder ins Freie geführt werden. Der in der Nut herrschende Unterdrück bewirkt andererseits aber auch, dass bei einem Druckgradient zwischen dem Ofeninnenraum und der Nut Arbeitsgas vom Ofeninnenraum zur Nut strömt und dort ebenfalls abgesaugt und ins Freie geführt wird. Dieser Verlust an Arbeitsgas ist allerdings gering und vertretbar.Investigations by the inventors have shown that oxygen enters the channel not only at the entrance, at the exit and at the process openings and optionally through the longitudinal slot in the front side wall, but also through the very thin but unavoidable gap between the joining surfaces , To prevent this, the invention proposes to provide as many joints as possible with a groove, i. in each case form at least one of the opposing joining surfaces with a groove and to connect the groove via one or more closed channels and / or lines with a vacuum source, so that it can be acted upon in operation with negative pressure. Basically, the groove acts as a vacuum chamber and separates the interior of the furnace from the environment at the corresponding connection point. On the one hand, the negative pressure prevailing in the groove causes gases passing from the environment by diffusion and / or due to a pressure difference into the gaps between the joining surfaces, such as e.g. Oxygen only reach the groove and sucked as a result of the prevailing negative pressure and are led back to the outside. On the other hand, however, the negative pressure prevailing in the groove also causes working gas to flow from the furnace interior to the groove in the event of a pressure gradient between the interior of the furnace and the groove, where it is likewise sucked off and led out into the open. However, this loss of working gas is small and justifiable.

[0009] Bei dem erfindungsgemässen Durchlaufofen sind also Verbindungsstellen zwischen einzelnen Teilen des Durchlaufofens, die lösbar miteinander verbunden sind, mit einander gegenüberliegenden Fügeflächen ausgebildet. Wenigstens einige, bevorzugt alle, der Verbindungsstellen weisen eine im Betrieb mit Unterdrück beaufschlagbare Nut auf. Durch die unvermeidlichen Spalte zwischen den Fügeflächen eindringende Luft wird über die Nut abgesaugt und gelangt nicht in den Ofeninnenraum.In the continuous furnace according to the invention thus connecting points between individual parts of the continuous furnace, which are releasably connected to each other, formed with opposite joining surfaces. At least some, preferably all, of the junctions have an oppressive groove in operation. Air which penetrates through the unavoidable gap between the joint surfaces is sucked out via the groove and does not reach the interior of the furnace.

[0010] Die Erfindung wird nachfolgend anhand eines Ausführungsbeispiels und anhand der Zeichnung näher erläutert. Die Figuren sind schematisch und aus Gründen der zeichnerischen Klarheit nicht massstäblich dargestellt.The invention will be explained in more detail with reference to an embodiment and with reference to the drawing. The figures are shown schematically and not to scale for the sake of clarity of drawing.

Beschreibung der Figuren [0011]Description of the Figures [0011]

Fig. 1 zeigt in Aufsicht Teile eines erfindungsgemässen Durchlaufofens,1 shows in plan view parts of a continuous furnace according to the invention,

Fig. 2 zeigt im Querschnitt zwei aneinander angrenzende Deckel des Durchlaufofens,2 shows in cross section two adjacent lids of the continuous furnace,

Fig. 3 zeigt eine Verbindungsstelle des Durchlaufofens,3 shows a connection point of the continuous furnace,

Fig. 4 zeigt eine mit einer Platte abgedeckte Prozessöffnung des Durchlaufofens, und Fig. 5 zeigt ein Druckschema.4 shows a process opening of the continuous furnace covered with a plate, and FIG. 5 shows a printing scheme.

Detaillierte Beschreibung der Erfindung [0012] Die Fig. 1 zeigt schematisch in Aufsicht Teile eines erfindungsgemässen Durchlaufofens 1, der insbesondere für den Einsatz bei einem Die-Bonder konzipiert ist. Der Durchlaufofen 1 umfasst einen Ofenkörper 2, der einen Boden 3 und zwei Seitenwände 4, 5 aufweist, die aus einem Stück bestehen oder gasdicht miteinander verbunden sind, und eine Abdeckung 6. Der Ofenkörper 2 und die Abdeckung 6 bilden einen Kanal, durch den Substrate in einer durch einen Pfeil 7 dargestellten Richtung transportiert werden. Dieser Kanal bildet den Ofeninnenraum. Die vordere Seitenwand 5 kann einen Längsschlitz enthalten, damit die Substrate mit einem Klammersystem durch den Kanal transportiert werden können.DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION FIG. 1 shows schematically in plan view parts of a continuous furnace 1 according to the invention, which is designed in particular for use in a die bonder. The continuous furnace 1 comprises a furnace body 2, which has a bottom 3 and two side walls 4, 5, which are made in one piece or gas-tightly interconnected, and a cover 6. The furnace body 2 and the cover 6 form a channel through which substrates be transported in a direction shown by an arrow 7. This channel forms the oven interior. The front side wall 5 may include a longitudinal slot to allow the substrates to be transported through the channel with a stapling system.

[0013] Die Abdeckung 6 umfasst wenigstens einen Deckel, bei diesem Ausführungsbeispiel jedoch mehrere Deckel 8 und 9. Jeder der Deckel 8, 9 kann eine oder mehrere Prozessöffnungen 10 haben. Die ersten Deckel 8 sind dafür konzipiert, eher selten abgenommen zu werden, d.h. insbesondere für Wartungsarbeiten. Die zweiten Deckel 9 sind als schnell auswechselbare Teile ausgebildet, damit Anpassungen, z.B. Anpassungen der Prozessöffnungen, an verschiedene Prozesse in kurzer Zeit möglich sind. Der Boden 3 und/oder einer oder mehrere der Deckel 8, 9 enthalten eine Vielzahl von nicht gezeigten Löchern, die mit einer Schutzgasquelle verbindbar sind, damit dem Ofeninnenraum während des Betriebs ein Schutzgas zuführbar ist.The cover 6 comprises at least one cover, in this embodiment, however, a plurality of covers 8 and 9. Each of the lid 8, 9 may have one or more process openings 10. The first covers 8 are designed to be less likely to be removed, i. especially for maintenance. The second covers 9 are designed as quick-change parts, so that adjustments, e.g. Adjustments of the process openings to different processes in a short time are possible. The bottom 3 and / or one or more of the covers 8, 9 contain a plurality of holes, not shown, which are connectable to a protective gas source, so that the furnace interior during operation, a protective gas can be supplied.

[0014] Die ersten Deckel 8 wie auch die zweiten Deckel 9 sind lösbar mit dem Ofenkörper 2 verbunden. Bei einer ersten Ausführungsform liegen die ersten Deckel 8 nur mit ihrem Eigengewicht auf dem Ofenkörper 2 auf und werden für Wartungsarbeiten manuell entfernt. Bei einer zweiten Ausführungsform liegen die ersten Deckel 8 ebenfalls mit ihrem Eigengewicht auf dem Ofenkörper 2 auf, können jedoch zusätzlich pneumatisch oder hydraulisch gegen den Ofenkörper 2 gedrückt werden und können auch, beispielsweise für Wartungsarbeiten, pneumatisch oder hydraulisch vom Ofenkörper 2 abgehoben werden. Sowohl die ersten Deckel 8 als auch die zweiten Deckel 9 können mit dem Ofenkörper 2 verschraubt sein. Die Deckel 8, 9 liegen aneinander an und/oder überlappen einander.The first lid 8 as well as the second lid 9 are detachably connected to the furnace body 2. In a first embodiment, the first cover 8 are only on its own weight on the furnace body 2 and are removed manually for maintenance. In a second embodiment, the first lid 8 are also with their own weight on the furnace body 2, but can also be pneumatically or hydraulically pressed against the furnace body 2 and can also, for example, for maintenance, pneumatically or hydraulically lifted from the furnace body 2. Both the first cover 8 and the second cover 9 may be bolted to the furnace body 2. The covers 8, 9 abut each other and / or overlap each other.

[0015] Die Prozessöffnungen 10, die dazu da sind, dass die Halbleiterchips auf den durch den Kanal transportierten Substraten platziert werden können, sind in der Regel permanent offen. Andere Prozessöffnungen 10, beispielsweise eine Prozessöffnung, durch die ein Lotdraht von aussen in den Kanal hineingeführt wird, damit Lot auf dem Substrat abgeschmolzen werden kann, können mit einer festen oder auch einer im Betrieb beweglichen Platte abgedeckt werden.The process openings 10, which are there that the semiconductor chips can be placed on the transported through the channel substrates are usually permanently open. Other process openings 10, for example a process opening, through which a solder wire is guided from the outside into the channel so that solder can be melted down on the substrate, can be covered with a fixed or even an operating plate.

[0016] Die Verbindungsstellen zwischen den Deckeln 8, 9 und dem Ofenkörper 2 wie auch die Verbindungsstellen zwischen benachbarten Deckeln wie auch die Verbindungsstellen zwischen den Platten und dem zugehörigen Deckel sind als einander gegenüberliegende Fügeflächen ausgebildet.The joints between the covers 8, 9 and the furnace body 2 as well as the joints between adjacent lids as well as the joints between the plates and the associated lid are formed as mutually opposite joining surfaces.

[0017] Bei dem Durchlaufofen gibt es also folgende Verbindungsstellen, an denen ein unvermeidlicher Spalt besteht, durch den Sauerstoff in den Ofeninnenraum gelangen kann: - Fügeflächen zwischen den ersten Deckeln 8 und dem Ofenkörper 2, - Fügeflächen zwischen den zweiten Deckeln 9 und dem Ofenkörper 2, - Fügeflächen zwischen aneinander angrenzenden Deckeln 8, 9 und - Fügeflächen zwischen einem Deckel mit einer Prozessöffnung und der die Prozessöffnung abdeckenden Platte.In the continuous furnace so there are the following joints where there is an unavoidable gap through which oxygen can get into the furnace interior: - joining surfaces between the first lids 8 and the furnace body 2, - joining surfaces between the second lids 9 and the furnace body 2, - joining surfaces between adjacent lids 8, 9 and - joining surfaces between a lid with a process opening and the process opening covering plate.

[0018] Um das Eindringen von Umgebungsluft durch diese Spalte auszuschliessen oder zumindest weiter zu reduzieren, sind bevorzugt alle diese, zumindest aber die wichtigsten dieser Verbindungsstellen, mit einer Nut ausgebildet und die Nut über entsprechende Kanäle und/oder Gasleitungen mit einer Unterdruckquelle verbunden, die im Normalbetrieb des Durchlaufofens dafür sorgt, dass in der Nut ein Unterdrück herrscht. Die Nut ist jeweils in einer der einander gegenüberliegenden Fügeflächen der jeweiligen Verbindungsstelle angeordnet. Eine solche Nut bildet eine Unterdruckkammer, die gasmässig durch den unvermeidlichen Spalt zwischen den Fügeflächen einerseits mit der Umgebung und andererseits mit dem Ofeninnenraum verbunden ist.In order to exclude or at least further reduce the penetration of ambient air through this column, preferably all of these, but at least the most important of these joints, formed with a groove and the groove via corresponding channels and / or gas lines connected to a vacuum source, the In normal operation of the continuous furnace ensures that there is a suppression in the groove. The groove is arranged in each case in one of the opposite joining surfaces of the respective connection point. Such a groove forms a vacuum chamber, which is connected in terms of gas through the inevitable gap between the joining surfaces on the one hand with the environment and on the other hand with the furnace interior.

[0019] Im Folgenden werden einige Aspekte der Erfindung im Detail näher erläutert.In the following, some aspects of the invention will be explained in detail.

[0020] Um die Verbindungsstellen zwischen den beiden Seitenwänden 4 und 5 mittels Unterdrück abzudichten, sind die auf den Stirnseiten der Seitenwände 4 und 5 gebildeten Fügeflächen 12 des Ofenkörpers 2 mit je einer Nut 13 versehen. Die Nuten 13 enden mit Vorteil in einem gewissen Abstand vom Eingang und Ausgang des Kanals, um zu vermeiden, dass durch den Eingang bzw. Ausgang des Kanals einströmende Umgebungsluft direkt in die Nuten 13 gesaugt wird. Die Nuten 13 können durch Trennwände 14 in einzelne Abschnitte unterteilt sein. In diesem Fall sind die einzelnen Abschnitte mit der Unterdruckquelle verbunden. Da die Fügeflächen 11 und 12 aufeinander aufliegen, können die Nuten 13 alternativ in den Fügeflächen 11 der Deckel statt in den Fügeflächen 12 des Ofenkörpers 2 angeordnet sein.In order to seal the joints between the two side walls 4 and 5 by means of negative pressure, the joining surfaces 12 formed on the end faces of the side walls 4 and 5 of the furnace body 2, each with a groove 13 are provided. The grooves 13 terminate advantageously at a certain distance from the entrance and exit of the channel in order to avoid that ambient air flowing in through the inlet or outlet of the channel is sucked directly into the grooves 13. The grooves 13 may be divided by partitions 14 into individual sections. In this case, the individual sections are connected to the vacuum source. Since the joining surfaces 11 and 12 rest on one another, the grooves 13 may alternatively be arranged in the joining surfaces 11 of the cover instead of in the joining surfaces 12 of the furnace body 2.

[0021] Um die Verbindungsstellen zwischen aneinander angrenzenden Deckeln 8, 9 mittels Unterdrück abzudichten, ist eine Nut 15 in einer der einander gegenüberliegenden Fügeflächen der beiden Deckel 8, 9 angebracht. Bei einem ersten Ausführungsbeispiel liegen die Seitenflächen von zwei aneinander angrenzenden Deckeln 8 und 9 möglichst passgenau aneinander an und die Nut 15 ist in einer der aneinander angrenzenden Seitenflächen des ersten Deckels 8 oder des zweiten Deckels 9 ausgebildet. Bei einem zweiten Ausführungsbeispiel ist der erste Deckel 8 mit einem den zweiten Deckel 9 überlappenden Vorsprung 18 (Fig. 2) ausgebildet.To seal the joints between adjacent lids 8, 9 by means of negative pressure, a groove 15 in one of the opposite joining surfaces of the two covers 8, 9 is attached. In a first embodiment, the side surfaces of two adjacent lids 8 and 9 are as accurate as possible to each other and the groove 15 is formed in one of the adjacent side surfaces of the first lid 8 or the second lid 9. In a second embodiment, the first lid 8 is formed with a projection 18 overlapping the second lid 9 (FIG. 2).

[0022] Die Nut 15 mündet entweder - wie in der Fig. 1 dargestellt - in die Nut 13 oder ist alternativ über eine separate Gasleitung an die Unterdruckquelle angeschlossen.The groove 15 opens either - as shown in FIG. 1 - in the groove 13 or alternatively connected via a separate gas line to the vacuum source.

[0023] Die Fig. 2 zeigt im Querschnitt einen ersten Deckel 8 und einen zweiten Deckel 9, die benachbart sind und aneinander angrenzen, gemäss dem zweiten Ausführungsbeispiel. Aus Gründen der zeichnerischen Klarheit ist der Deckel 8 schräg nach links oben versetzt dargestellt, sodass die Spalte, in die einerseits Aussenluft und andererseits Schutzgas bis zur Nut 15 gelangt, deutlich sichtbar sind. Der Vorsprung 18 liegt möglichst flächig auf dem zweiten Deckel 9 auf. Die Nut 15 ist entweder in einer der aneinander angrenzenden Seitenflächen der benachbarten Deckel 8, 9 (wie dargestellt) oder in der dem zweiten Deckel 9 gegenüberliegenden Unterseite des Vorsprungs 18 des ersten Deckels 8 ausgebildet. Der Pfeil 16 deutet an, dass Aussenluft in den Spalt zwischen dem Vorsprung 18 und dem Deckel 9 hineinströmt; der Pfeil 17 deutet an, dass Schutzgas vom Ofeninnenraum in den Spalt, der zwischen den beiden aneinander angrenzenden Seitenwänden der beiden Deckel 8 und 9 besteht, hineinströmt.Fig. 2 shows in cross section a first lid 8 and a second lid 9, which are adjacent and adjacent to each other, according to the second embodiment. For reasons of clarity of the drawing, the lid 8 is shown offset obliquely to the left above, so that the column, in the one hand outside air and on the other hand shielding gas reaches the groove 15, are clearly visible. The projection 18 is as flat as possible on the second cover 9. The groove 15 is formed either in one of the adjoining side surfaces of the adjacent covers 8, 9 (as shown) or in the underside opposite to the second cover 9 of the projection 18 of the first cover 8. The arrow 16 indicates that outside air flows into the gap between the projection 18 and the lid 9; The arrow 17 indicates that protective gas flows from the furnace interior into the gap which exists between the two adjoining side walls of the two covers 8 and 9.

[0024] Die Fig. 3 zeigt im Querschnitt eine weitere Möglichkeit, die in den Spalt zwischen zwei Fügeflächen 11 und 12 eindringende Luft über eine Nut abzusaugen. Dies wird ermöglicht mittels eines Elements 19, das auf der Aussenseite des Durchlaufofens über dem Spalt angebracht wird, sodass es den Spalt abdeckt, und das auf der dem Spalt zugewandten Seite eine Nut 20 aufweist, die mit der Unterdruckquelle verbunden ist.Fig. 3 shows in cross-section another way to suck in the gap between two joining surfaces 11 and 12 penetrating air via a groove. This is made possible by means of a member 19 which is mounted on the outside of the continuous furnace over the gap, so that it covers the gap, and on the side facing the gap has a groove 20 which is connected to the vacuum source.

[0025] Die Fig. 4 zeigt in Aufsicht einen Deckel 9, der eine Prozessöffnung 10 aufweist, die mit einer Platte 21 abgedeckt ist. Die Platte 21 kann fix montiert sein oder sie kann von einem (nicht gezeigten) Schreibkopf mitgeführt werden. Der Schreibkopf dient beispielsweise dazu, einen Lotdraht in beliebiger Richtung über das Substrat zu führen, um eine Lotbahn auf das Substrat zu schreiben, oder dazu, mittels eines mit Ultraschall beaufschlagbaren Stifts das abgeschiedene Lot auf dem Substrat zu verteilen. Die Platte 21 liegt immer auf dem Deckel 9 auf und gleitet hin und her. Die Unterseite der Platte 21 und die Oberseite des Deckels 9 sind als Fügeflächen ausgebildet. Eine Nut 22 umrandet die Prozessöffnung 10 vollständig und ist über einen Kanal 23 mit der Unterdruckquelle verbunden. Der Kanal 23 ist beispielsweise so ausgebildet, dass er an der Unterseite des Deckels 9 in die Nut 22 mündet.Fig. 4 shows in plan view a lid 9 having a process opening 10 which is covered with a plate 21. The plate 21 may be fixedly mounted or it may be carried by a write head (not shown). The write head is used, for example, to guide a solder wire in any direction over the substrate to write a Lotbahn on the substrate, or to distribute the deposited solder on the substrate by means of a pen acted upon by ultrasound. The plate 21 always rests on the lid 9 and slides back and forth. The underside of the plate 21 and the top of the lid 9 are formed as joining surfaces. A groove 22 surrounds the process opening 10 completely and is connected via a channel 23 to the vacuum source. The channel 23 is for example designed so that it opens at the bottom of the lid 9 in the groove 22.

[0026] Die Abdeckung 6 kann also, zusätzlich zu den Deckeln 8, 9 eines oder mehrere Elemente 19 und eine oder mehrere Platten 21 aufweisen.The cover 6 may thus, in addition to the covers 8, 9 one or more elements 19 and one or more plates 21 have.

[0027] Da dem Ofeninnenraum im Betrieb des Durchlaufofens ständig ein Schutzgas zugeführt wird, ist der Druck im Ofeninnenraum gleich dem Atmosphärendruck oder höher als der Atmosphärendruck, während der in den Nuten 13, 15, 20 und 22 herrschende Unterdrück tiefer als der Atmosphärendruck ist. Das Niveau des Unterdrucks in den jeweiligen Nuten 13, 15, 20 und 22 ist so gewählt, dass eine leichte Gasströmung vom Ofeninnenraum zu den Nuten 13, 15, 20 und 22 besteht. Um den gewünschten Unterdrück zu erreichen und einzustellen, wird als Unterdruckquelle beispielsweise eine Vakuumquelle 24 und ein gemeinsames oder getrennte, einstellbare Druckregelventil/e 25 verwendet, mit der die Nuten 13, 15, 20 und 22 über die Gasleitung(en) 26 verbunden sind. Die Fig. 5 zeigt ein Druckschema für einen Durchlaufofen, der Nuten 13 und 15 umfasst.Since the furnace interior during operation of the continuous furnace is constantly supplied with a protective gas, the pressure in the furnace interior is equal to the atmospheric pressure or higher than the atmospheric pressure, while in the grooves 13, 15, 20 and 22 prevailing negative pressure is lower than the atmospheric pressure. The level of negative pressure in the respective grooves 13, 15, 20 and 22 is selected so that there is a slight gas flow from the furnace interior to the grooves 13, 15, 20 and 22. In order to achieve and adjust the desired negative pressure, a vacuum source 24 and a common or separate, adjustable pressure regulating valve / e 25, for example, are used as the vacuum source, to which the grooves 13, 15, 20 and 22 are connected via the gas line (s) 26. FIG. 5 shows a printing scheme for a continuous furnace comprising grooves 13 and 15.

Claims (2)

Patentansprücheclaims 1. Durchlaufofen, umfassend einen Ofenkörper (2) und eine Abdeckung (6), die einen Kanal umschliessen, durch den Substrate transportierbar sind und dem ein Arbeitsgas zuführbar ist, wobei die Abdeckung (6) mindestens eine Prozessöffnung (10) aufweist, und Verbindungsstellen zwischen einzelnen Teilen des Durchlaufofens, die lösbar miteinander verbunden sind, als flächige Verbindungen mit einander gegenüberliegenden Fügeflächen (11, 12) ausgebildet sind, dadurch gekennzeichnet, dass wenigstens einige der Verbindungsstellen eine im Betrieb mit Unterdrück beaufschlagbare Nut (13, 15, 20, 22) aufweisen.1. continuous furnace, comprising a furnace body (2) and a cover (6), which surround a channel, are transportable through the substrates and a working gas can be supplied, wherein the cover (6) has at least one process opening (10), and connection points between individual parts of the continuous furnace which are detachably connected to one another, in the form of laminar connections with opposing joining surfaces (11, 12), characterized in that at least some of the connecting points have a groove (13, 15, 20, 22 ) exhibit. 2. Die-Bonder mit einem Durchlaufofen nach Anspruch 1.2. The bonder with a continuous furnace according to claim 1.