CH710826A1 - Apparatus and method for depositing thin films on a continuous film web, as well as a film web or blanks thereof. - Google Patents

Abstract

Gegenstand der Erfindung sind Vorrichtungen und Verfahren zur Abscheidung dünner Schichten durch wenigstens zwei selbstbegrenzende Oberflächenreaktionen (ALD/MLD) auf einer laufenden Folienbahn (FB), wobei die Vorrichtung mindestens einen Beschichtungszylinder (10) sowie Bahnlenkungsmittel (21, 22) aufweist. Der Beschichtungszylinder (10) ist stillstehend montiert, wird von der Folienbahn (FB) in mehreren schraubenförmigen Windungen umwunden und weist mehrere Zuführungs- und Ableitungsbereiche für Reaktions- und Spülgas auf. In zumindest einigen Zuführungsbereichen ist die Oberfläche des Beschichtungszylinders (10) porös für einen flächig über diese Bereiche verteilten Gasaustritt ausgebildet. Gegenstand der Erfindung ist auch eine Folienbahn (FB) oder sind Zuschnitte daraus, welche mit einer inline aus einem flüssigen Material erzeugten Abdeckung versehen und/oder mit einem inline gemessenen OTR-, NTR- oder WVTR-Wert beschriftet beziehungsweise codiert ist/sind.The invention relates to devices and methods for depositing thin layers by at least two self-limiting surface reactions (ALD / MLD) on a moving film web (FB), wherein the device has at least one coating cylinder (10) and web deflection means (21, 22). The coating cylinder (10) is mounted stationary, is wound by the film web (FB) in several helical turns and has several supply and discharge areas for reaction and purge gas. In at least some feed regions, the surface of the coating cylinder (10) is formed porous for a gas outlet which is distributed over these regions in a planar manner. The invention also relates to a film web (FB) or blanks thereof, which provided with a cover produced inline from a liquid material and / or labeled with an inline measured OTR, NTR or WVTR value is / are encoded.

Description

TECHNISCHES GEBIETTECHNICAL AREA

[0001] Die Erfindung betrifft Vorrichtungen und Verfahren zur Abscheidung dünner Schichten durch wenigstens zwei selbstbegrenzende Oberflächenreaktionen unter erhöhter Temperatur auf einer unter Zugspannung stehenden, laufenden Folienbahn, wobei die Vorrichtung mindestens einen Beschichtungszylinder aufweist. Die Erfindung betrifft auch solche Beschichtungsverfahren sowie eine Folienbahn oder Zuschnitte daraus. The invention relates to devices and methods for depositing thin layers by at least two self-limiting surface reactions at elevated temperature on a running under tension, running film web, wherein the device has at least one coating cylinder. The invention also relates to such coating methods and to a film web or blanks thereof.

STAND DER TECHNIKSTATE OF THE ART

[0002] Selbstbegrenzende Oberflächenreaktionen der betrachteten Art sind insbesondere die sogenannte «Atomic Layer Depositon» (ALD) oder auch die sogenannte «Molecular Layer Deposition» (MLD). Zur Abscheidung wird die zu beschichtende Oberfläche hierbei nacheinander mit verschiedenen, miteinander aber nicht mit sich selbst reagierenden Reaktionsgasen (Prekursoren) in Kontakt gebracht. Dazwischen wird jeweils mit einem Inertgas gespült. Indem jedes einzelne Reaktionsgas nicht mit sich selbst reagiert sind die Teilreaktionen selbstbegrenzend. Das Schichtwachstum ist dadurch bei jeder Teilreaktion auch bei beliebig langer Zeit auf nur eine Monolage begrenzt. Self-limiting surface reactions of the type under consideration are in particular the so-called "Atomic Layer Depositon" (ALD) or the so-called "Molecular Layer Deposition" (MLD). For deposition, the surface to be coated is brought into contact successively with different reaction gases (precursors) which react with each other but not with themselves. In between is rinsed with an inert gas in each case. Since each individual reaction gas does not react with itself, the partial reactions are self-limiting. The layer growth is thereby limited to only one monolayer at any partial reaction, even at arbitrarily long time.

[0003] Bei den Reaktionsgasen kann es sich im Fall von ALD um Trimethylaluminium (TMA) einerseits sowie um Wasserdampf (H2O) andererseits handeln. Als Spülgas kommt Stickstoff (N2) in Frage. Die hiermit erzielbare AIOx-Schicht ist bei ausreichender Dicke unter anderem als transparente Barriereschicht für sogenannte Organic Light Emitting Diodes (OLEDs) geeignet. Dazu sollte ihre Dicke etwa 25 nm betragen, wobei sie vorzugsweise mit anderen anorganischen und/oder organischen Schichten kombiniert wird. Um eine Dicke von 25 nm AIOxzu erreichen, sind ca. 150–400 Beschichtungszyklen erforderlich. Für diese Verwendung sollte die Folienbahn ebenfalls transparent sein. In the case of ALD, the reaction gases may be trimethylaluminum (TMA) on the one hand and water vapor (H2O) on the other hand. The purge gas is nitrogen (N2). The AIOx layer that can be achieved with this is suitable, among other things, as a transparent barrier layer for so-called Organic Light Emitting Diodes (OLEDs), if the thickness is sufficient. To this end, its thickness should be about 25 nm, preferably combined with other inorganic and / or organic layers. To achieve a thickness of 25 nm AIOx, approximately 150-400 coating cycles are required. For this use, the film web should also be transparent.

[0004] Aus WO 2014/123 415 A1 ist eine Vorrichtung bekannt mit einer Beschichtungstrommel sowie Bahnlenkungsmitteln die dazu ausgebildet sind, die Folienbahn der Beschichtungstrommel zuzuführen und nach mehreren, schraubenförmigen Windungen von dieser wieder abzunehmen. Die Beschichtungstrommel weist dabei entlang der schraubenförmigen Windungen mehrere Zuführungs- und Ableitungsbereiche für Reaktions- und Spüigas auf. In den Zuführungsbereichen wird die Folienbahn auf einem Gaskissen auf Abstand von der Oberfläche der Beschichtungstrommel gehalten. Die Zuführungs- und Ableitungsbereiche sind in mehreren Gruppen entsprechend den vorgenannten Reaktionszyklen angeordnet. Während der Beschichtung rotiert die Beschichtungstrommel, wodurch pro Umlauf der Foiienbahn um die Beschichtungstrommel die einzelnen Zuführungs- und Ableitungsbereiche bzw. die aus mit diesen gebildeten Gruppen jeweils mehrfach zum Einsatz kommen. Mit einer ähnlichen, auch aus WO 2014/123 415 A1 bekannten Vorrichtung mit einer ebenfalls rotierenden Beschichtungstrommel, um einen Teilumfang von welcher die Folienbahn jedoch parallel geführt ist, werden bei einer Bahngeschwindigkeit von circa 1 m/min und einer Drehzahl der Beschichtungstrommel von 60 U/min pro Umlauf circa 360 Zyklen erreicht. Zur Zu- und Abführung der Reaktions- und Spülgase in bzw. aus der rotierenden Trommel sind aufwendige Anschlüsse zwischen gegeneinander bewegten Teilen erforderlich. Zur Abdeckung des Spaltes zwischen benachbarten, sich nicht überdeckenden Windungen der Folienbahn erwähnt WO 2014/123 415 A1 eine dem Spalt folgende Abschirmstruktur in Form einer reinigbaren Linerstruktur oder einer verlorenen Struktur, sowie gegebenenfalls zusätzlich eine Absaugung in der Abschirmstruktur zur Entfernung entweichender Prozessgase. From WO 2014/123 415 A1 discloses a device is known with a coating drum and web steering means which are adapted to supply the film web of the coating drum and after several, helical turns of this decrease again. The coating drum in this case has along the helical turns on several supply and discharge areas for reaction and Spüigas. In the feed regions, the film web is held on a gas cushion at a distance from the surface of the coating drum. The supply and discharge areas are arranged in several groups according to the aforementioned reaction cycles. During the coating, the coating drum rotates, whereby, per circulation of the film web around the coating drum, the individual feed and discharge areas or the groups formed therefrom are respectively used several times. With a similar, also known from WO 2014/123 415 A1 device with a likewise rotating coating drum to a partial extent of which the film web is guided in parallel, are at a web speed of about 1 m / min and a speed of the coating drum of 60 U / per revolution reaches about 360 cycles. To supply and discharge of the reaction and purge gases in or out of the rotating drum complex connections between mutually moving parts are required. To cover the gap between adjacent non-overlapping turns of the film web, WO 2014/123 415 A1 mentions a shielding structure following the gap in the form of a cleanable liner structure or a lost structure and optionally also an extraction in the shielding structure for removing escaping process gases.

[0005] Aus DE 10 2008 005 659 B4 ist ein Umlenkelement für flexibles Flachmaterial bekannt mit einer Leitwand, die eine konvex gekrümmte Leitfläche definiert. Die Leitwand ist von Luftausblaskanälen durchsetzt, die über Luftausblasöffnungen zu der Leitfläche ausmünden und die zum Ausblasen von Druckluft vorgesehen sind, die über der Leitfläche ein tragendes Luftpolster für das Flachmaterial bilden. Dabei ist die Leitfläche von einem mikroporösen Wandabschnitt gebildet. From DE 10 2008 005 659 B4 a deflecting element for flexible sheet material is known with a guide wall which defines a convexly curved guide surface. The baffle is traversed by Luftausblaskanälen, which open via Luftausblasöffnungen to the guide surface and which are provided for blowing compressed air, which form a supporting air cushion for the sheet over the guide surface. In this case, the guide surface is formed by a microporous wall section.

[0006] Wie vorstehend ausgeführt, kann mit TMA und H2O als Prekursoren sowie mit N2als Spülgas in einem ALD-Prozess eine AIOx-Barriereschicht für OLEDs auf der Folienbahn hergestellt werden. Die entsprechende Barriereschicht soll die OLEDs vor allem gegen Wasserdampf und Luftsauerstoff schützen. Dabei wird hinsichtlich Wasserdampf (H2O) eine sogenannte Water-Vapor-Transmission-Rate (WVTR) kleiner als 10<–><6>g m<–><2>Tag<–><1>und hinsichtlich Sauerstoff (O2) eine sogenannte Oxygen-Transmission-Rate (OTR) kleiner als 10<–><5>cm<3>m<–><2>Tag<–><1>bar<–><1>bei zumindest 25 °C und 60% rel. Feuchte verlangt. Zur Messung dieser Transmissions- bzw. Gasbarrierenwerte müssen sogenannte steady-state-Bedingungen vorherrschen, unter denen die Barriere mit dem zu messenden Gas gesättigt ist. Nach dem Beschichtungsprozess kann allein das Erreichen der steady-state-Bedingung für Wasserdampf einige Zeit in der Grössenordnung von bis zu mehreren Wochen in Anspruch nehmen. Die Messung der Transmissionsbzw. Gasbarrieren-Werte wurde bisher stets an Mustern getrennt (offline) vom Beschichtungsprozess durchgeführt. As stated above, with TMA and H2O as precursors and with N2 as purge gas in an ALD process, an AIOx barrier layer for OLEDs can be produced on the film web. The corresponding barrier layer is intended to protect the OLEDs, above all, against water vapor and atmospheric oxygen. With regard to water vapor (H2O), a so-called Water Vapor Transmission Rate (WVTR) is less than 10 <-> <6> gm <-> <2> day <-> <1> and with respect to oxygen (O2) a so-called Oxygen transmission rate (OTR) less than 10 <-> <5> cm <3> m <-> <2> day <-> <1> bar <-> <1> at least 25 ° C and 60% rel. Humidity requires. To measure these transmission or gas barrier values, so-called steady-state conditions prevail, under which the barrier is saturated with the gas to be measured. After the coating process, achieving the steady-state condition for water vapor alone can take some time, on the order of up to several weeks. The measurement of Transmissionsbzw. Gas barrier values have always been separated from samples (offline) by the coating process.

DARSTELLUNG DER ERFINDUNGPRESENTATION OF THE INVENTION

[0007] Die Erfindung stellt sich unter anderem die Aufgabe, eine Vorrichtung der aus WO 2014/123 415 A1 bekannten Art zu verbessern. Die erfindungsgemässe Vorrichtung soll bei konstruktiv einfacherem Aufbau höhere Produktionsraten ermöglichen und dadurch wirtschaftlicher in der Anschaffung sowie im Betrieb sein. Diese Aufgabe wird gelöst durch eine Vorrichtung mit den Merkmalen des Anspruchs 1, welche demnach mindestens einen Beschichtungszylinder sowie Bahnlenkungsmittel aufweist, welche dazu ausgebildet sind, die Folienbahn dem Beschichtungszylinder zuzuführen und nach mehreren, schraubenförmigen Windungen von diesem wieder abzunehmen, wobei der Beschichtungszylinder entlang der schraubenförmigen Windungen mehrere Zuführungs- und Ableitungsbereiche für Reaktions- und Spülgas aufweist, und wobei die Folienbahn in den Zuführungsbereichen auf einem Gaskissen auf Abstand von der Oberfläche des Beschichtungszylinders gehalten wird. Diese Vorrichtung ist erfindungsgemäss dadurch gekennzeichnet, dass der Beschichtungszylinder stillstehend montiert ist, dass die Länge des Beschichtungszylinders grösser als sein Durchmesser ist, und dass die Oberfläche des Beschichtungszylinders in den Zuführungsbereichen porös für einen flächig über die Zuführungsbereiche verteilten Gasaustritt ausgebildet ist. One of the objects of the invention is to improve a device of the type known from WO 2014/123 415 A1. The device according to the invention is intended to enable higher production rates with structurally simpler construction and thereby be more economical to purchase and in operation. This object is achieved by a device having the features of claim 1, which therefore has at least one coating cylinder and web deflection means which are adapted to supply the film web to the coating cylinder and after a plurality of helical turns of this again decrease, the coating cylinder along the helical Windungen has multiple supply and discharge areas for reaction and purge gas, and wherein the film web is kept in the feed regions on a gas cushion at a distance from the surface of the coating cylinder. This device according to the invention is characterized in that the coating cylinder is mounted stationary, that the length of the coating cylinder is greater than its diameter, and that the surface of the coating cylinder is formed in the supply regions porous to a distributed over the supply areas gas outlet.

[0008] Indem der Beschichtungszylinder stillstehend montiert ist, entfällt der erhebliche konstruktive Aufwand, der für die Rotation der bekannten Beschichtungstrommel erforderlich ist wie beispielsweise eine Lagerung. Vor allem aber sind die für die Zufuhr- und die Ableitung der Reaktions- und Spülgase keine aufwendigen Anschlüsse am Beschichtungszylinder zwischen gegeneinander bewegten Teilen erforderlich. By the coating cylinder is mounted stationary, eliminates the considerable design effort required for the rotation of the known coating drum such as storage. Above all, however, the consuming and the discharge of the reaction and purge gases no consuming connections to the coating cylinder between mutually moving parts are required.

[0009] Indem der Beschichtungszylinder stillstehend montiert ist, kommen pro Umlauf der Folienbahn um den Beschichtungszylinder die einzelnen Zuführungs- und Ableitungsbereiche bzw. die aus mit diesen gebildeten Gruppen jeweils nur einmal zum Einsatz. Die dadurch gegenüber der bekannten, rotierenden Beschichtungstrommel reduzierte Anzahl an Zyklen kann jedoch einerseits durch eine mehrere schraubenförmige Umschlingungen ermöglichende Länge des Beschichtungszylinders sowie andererseits durch eine Erhöhung der Anzahl von Zuführungs- und Ableitungsbereiche und damit von Gruppen pro Umfang durch Verringerung der Ausdehnung der Zuführungs- und Ableitungsbereiche erreicht werden. Eine grosse Länge des Beschichtungszylinders ist auf Grund von dessen stillstehender Montage konstruktiv ohne besonderen Aufwand möglich. Dasselbe gilt für einen grossen Durchmesser. By the coating cylinder is mounted stationary, come per circulation of the film web to the coating cylinder, the individual supply and discharge areas or from groups formed with these only once. However, the reduced number of cycles compared to the known, rotating coating drum, on the one hand by a more helical wraps enabling length of the coating cylinder and on the other hand by increasing the number of supply and discharge areas and thus groups per perimeter by reducing the expansion of the supply and Derivative areas can be achieved. A large length of the coating cylinder is structurally possible without special effort due to its stationary installation. The same applies to a large diameter.

[0010] Wie bei der bekannten Vorrichtung wird die Folienbahn bei der Erfindung entgegen ihrer Zugspannung in den Zuführungsbereichen auf einem Gaskissen auf Abstand von der Oberfläche des Beschichtungszylinders gehalten. Dort wo die Oberfläche des Beschichtungszylinders in den Zuführungsbereichen porös ausgebildet ist, ergibt sich ein robustes Gaskissen mit einem gleichmässig über diese Zuführungsbereiche verteilten Gasaustritt durch einen sich in der porösen Schicht ausbildenden isotropen Staudruck. Durch diskrete Zuführungen in sonst undurchlässigen Oberflächen wie bei der Beschichtungstrommel gemäss WO 2014/123 415 A1 ist dies nicht erreichbar. Das sich ausbildende robuste Gaskissen erlaubt es auch, den Abstand zwischen Zylinderoberfläche und Folienbahn sehr klein zu wählen. Dadurch können die Zuführungsbereiche in Laufrichtung der Folienbahn kürzer ausgebildet werden und die Anzahl von Gruppen pro Umfang auf dem Beschichtungszylinder erhöht werden. Da hierdurch die unerwünschte Vermischung unterschiedlicher Prekursorgase erschwert wird, muss zwischen benachbarten Zuführungsbereichen für unterschiedliche Prekursorgase auch weniger intensiv mit Spülgas gespült werden. Ein weiterer Vorteil der porösen Oberfläche besteht darin, dass auch bei in Axialrichtung des Beschichtungszylinders langen Zuführungsbereichen ein gleichmässiger Gasaustritt realisierbar ist. As in the known device, the film web is held in the invention against its tensile stress in the feed areas on a gas cushion at a distance from the surface of the coating cylinder. Where the surface of the coating cylinder is formed porous in the feed areas, a robust gas cushion results with a gas outlet uniformly distributed over these feed areas through an isotropic back pressure forming in the porous layer. By discrete feeds in otherwise impermeable surfaces as in the coating drum according to WO 2014/123 415 A1 this is not achievable. The forming robust gas cushion also makes it possible to choose the distance between the cylinder surface and the film web very small. Thereby, the feeding areas in the running direction of the film web can be made shorter and the number of groups per circumference on the coating cylinder can be increased. Since this makes the undesired mixing of different precursor gases more difficult, it is also necessary to flush less intensively with purge gas between adjacent feed regions for different precursor gases. Another advantage of the porous surface is that even with long in the axial direction of the coating cylinder feed areas a uniform gas outlet can be realized.

[0011] Bevorzugt ist die Oberfläche des Beschichtungszylinders in allen Zuführungsbereichen porös ausgebildet. Nicht erforderlich ist, dass der gesamte Bereich zwischen zwei Ableitungsbereichen porös ausgebildet ist. Wenn nur ein Teil dieses Bereichs für einen Gasaustritt porös und der restliche Teil mit kompakter Oberfläche dicht ausgebildet ist, kann dies die Ausnutzung insbesondere von zugeführten Prekursorgasen erhöhen. Einzelne Zuführungsbereiche könnten sogar nur mit Schlitzen ausgeführt sein. Das kann insbesondere für die Zuführung von Prekursoren mit geringem Dampfdruck wie solchen für MLD-Beschichtungen vorteilhaft sein. Preferably, the surface of the coating cylinder is formed porous in all feed areas. It is not necessary for the entire area between two discharge areas to be porous. If only a portion of this area for a gas outlet porous and the remaining part with a compact surface is dense, this can increase the utilization of particular supplied Prekursorgasen. Individual feed areas could even be designed with slots only. This may be advantageous in particular for the supply of precursors with low vapor pressure, such as those for MLD coatings.

[0012] Weiter bevorzugt wird die Folienbahn auch in den Ableitungsbereichen auf einem Gaskissen auf Abstand von der Oberfläche des Beschichtungszylinders gehalten, indem in der Gasableitung ein kleiner, definierter Staudruck erzeugt wird. More preferably, the film web is kept in the discharge areas on a gas cushion at a distance from the surface of the coating cylinder by a small, defined back pressure is generated in the gas discharge.

[0013] In WO 2014/123 415 A1 umfassen die Bahnlenkungsmittel Umlenkwalzen, die einen wesentlich kleineren Durchmesser aufweisen als die rotierende Beschichtungstrommel und in geringem Abstand zu dieser angeordnet sind. Dadurch wird die Folienbahn im Ein- und Auslaufbereich stark gekrümmt und wegen ihrer Steifheit verstärkt gegen den Beschichtungszylinder gedrückt. Um dies auszugleichen und eine Berührung der Folie mit dem Beschichtungszylinder zu verhindern, sind in Fig. 19 der WO 2014/123 415 A1 im Ein- und Auslaufbereich Bemoulli-Sauger eingesetzt. Dieser zusätzliche Aufwand kann bei der vorliegenden Erfindung trotz Verwendung von ebenfalls umlenkenden Bahnlenkungsmitteln durch das robuste Gaskissen und/oder durch nachteilsfrei grössere Beabstandung der Bahnlenkungsmittel vom Beschichtungszylinder vermieden werden. In WO 2014/123 415 A1, the web guide means comprise guide rollers, which have a substantially smaller diameter than the rotating coating drum and are arranged at a small distance therefrom. As a result, the film web is strongly curved in the inlet and outlet area and pressed reinforced against the coating cylinder because of their stiffness. To compensate for this and to prevent contact of the film with the coating cylinder, Bemoulli-sucker are used in WO 19/191415 A1 in the inlet and outlet area in FIG. This additional effort can be avoided in the present invention, despite the use of also deflecting path guidance means by the robust gas cushion and / or by nachzügfrei greater spacing of the web steering means from the coating cylinder.

[0014] Bei erforderlichen Änderungen des Ein- oder Auslaufwinkels der Folienbahn wird diese mit Vorteil durch ein Bahnlenkungsmittel mit konvexem Gasleitkissen berührungsfrei abgelenkt. Wird nur eine Umlenkung senkrecht nach oben oder unten zur Folienbahn erforderlich, genügt eine günstigere drehende Walze sofern nicht die beschichtete Seite berührt wird. For required changes in the inlet or outlet angle of the film web, this is deflected without contact by a web guiding means with convex gas guide pad. If only a deflection vertically up or down to the film web required, a more favorable rotating roller is sufficient if the coated side is not touched.

[0015] Auf dem Beschichtungszylinder kann die Folienbahn mit oder ohne gegenseitige Überlappung der einzelnen Windungen geführt sein. On the coating cylinder, the film web can be performed with or without mutual overlap of the individual turns.

[0016] Bei Führung der Folienbahn mit gegenseitiger Überlappung der Windungen kommt eine der beiden äusseren Windungen zwangsläufig unterhalb der angrenzenden Windung zu liegen. Es liegt hier eigentlich eine «Unterlappung» vor. Um die Folienbahn dort auf den Beschichtungszylinder zuzuführen oder von diesem wegzuführen bedarf es eines speziell ausgebildeten Zylinderendstücks zur doppelten Ablenkung mit seitlicher Verwinkelung der Folienbahn innerhalb des übrigen Beschichtungszylinderdurchmessers. When guiding the film web with mutual overlap of the turns one of the two outer turns inevitably comes to lie below the adjacent turn. There is actually an "underlap" here. In order to supply the film web there to the coating cylinder or to lead away from this there is a specially trained Zylinderendstücks for double deflection with lateral angulation of the film web within the remaining coating cylinder diameter.

[0017] Durch die gegenseitige Überlappung der Windungen ergibt sich zudem ein stufiger Versatz der Windungen im Überlappungsbereich, der mehrfach grösser als der vorstehend angesprochene, bevorzugt geringe Abstand zwischen der Folienbahn und der Oberfläche des Beschichtungszylinders sein kann. Zur Verhinderung einer Berührung zwischen der Folienbahn und dem Beschichtungszylinder im Überlappungsbereich braucht es ein ausreichend tragfähiges Gaskissen, wie es durch die Porosität der Oberfläche des Beschichtungszylinders in den Zuführungsbereichen gefördert wird. Due to the mutual overlap of the turns also results in a gradual offset of the turns in the overlap region, which may be several times greater than the above-mentioned, preferably small distance between the film web and the surface of the coating cylinder. In order to prevent contact between the film web and the coating cylinder in the overlap region, a sufficiently strong gas cushion is required, as promoted by the porosity of the surface of the coating cylinder in the feed regions.

[0018] Bei Führung der Folienbahn ohne gegenseitige Überlappung der Windungen verbleibt zwischen diesen ein umlaufender Spalt. Dabei kann es erforderlich sein, Mittel vorzusehen, um ein Entweichen von Prekursor- und/oder Spülgas aus dem Spalt in die Umgebung zu vermeiden oder zumindest zu vermindern. Insbesondere ist das Entweichen von Prekursorgas meist kritisch. So ist beispielsweise TMA pyrophor, ätzend und reagiert heftig mit Wasser. When guiding the film web without mutual overlap of the turns remains between these a circumferential gap. It may be necessary to provide means to prevent or at least reduce the escape of precursor and / or purge gas from the gap into the environment. In particular, the escape of precursor orgases is usually critical. For example, TMA is pyrophoric, corrosive and reacts violently with water.

[0019] Zur Abdichtung des Spaltes kann auf dem Beschichtungszylinder wie bei WO 2014/123 415 A1 eine mit der Folienbahn mitlaufende Abdeckung vorgesehen sein, die entlang einer Längskante der Folienbahn den abzudeckenden Spalt überragt. Dabei kann die Abdeckung auf ihrer dem Beschichtungszylinder zugewandten Seite mit einer Klebschicht oder einer klebenden Oberfläche zur nicht-permanenten Verbindung mit der Folienbahn versehen sein. To seal the gap can be provided on the coating cylinder as in WO 2014/123 415 A1 a running along with the film web cover, which projects beyond a longitudinal edge of the film web to be covered gap. The cover may be provided on its side facing the coating cylinder with an adhesive layer or an adhesive surface for non-permanent connection with the film web.

[0020] Die Abdeckung kann in Form einer Bahn von einer Rolle abgerollt, vor dem Beschichtungszylinder mit der Folienbahn zusammengeführt, nach dem Beschichtungszylinder von der Folienbahn getrennt und auf einer weiteren Rolle wieder aufgerollt werden. The cover can be rolled in the form of a web from a roll, brought together before the coating cylinder with the film web, separated after the coating cylinder of the film web and rolled up on another role again.

[0021] Vor dem Beschichtungszylinder ab und nach diesem wieder aufgerollt wird bevorzugt jedoch auch die Folienbahn, in welchem Fall die erfindungsgemässe Vorrichtung mit einer entsprechenden Ab- und Aufrollung versehen sein muss. Im Hinblick auf die auf dem Beschichtungszylinder abgeschiedenen dünnen und dadurch empfindlichen Schichten kann es dabei zudem erforderlich sein, die Folienbahn mit einer die Beschichtung schonenden, sie quasi polsternden Bahn als Zwischenlage aufzurollen. Diese kann für diesen Zweck extra zugeführt werden. Wesentlich rationeller ist es jedoch, dafür die Abdeckung zu verwenden, zumal oder sofern diese bereits mit der Folienbahn verbunden ist. Dass die Abdeckung gegenüber der Folienbahn seitlich versetzt ist, stört nicht, solange der Versatz nicht allzu gross ist. Der Versatz kann zudem für Markierungen auf der dadurch freien Gegenkante der Folienbahn oder als Grifflasche genutzt oder später abgetrennt werden. Grundsätzlich könnte die Abdeckung auch schon von vornherein zusammen mit der Folienbahn versetzt oder bündig aufgerollt sein, wodurch auch die Zuführung der Abdeckung vor der Beschichtungszylinder entfallen würde. However, before the coating cylinder is rolled up again after and after this, the film web, in which case the device according to the invention must be provided with a corresponding unwinding and unrolling, is preferred. With regard to the thin and therefore sensitive layers deposited on the coating cylinder, it may also be necessary to roll up the film web with a web which protects the coating and quasi upholstering it as an intermediate layer. This can be extra for this purpose. Much more rational, however, it is to use the cover, especially or if this is already connected to the film web. The fact that the cover is offset laterally relative to the film web, does not bother, as long as the offset is not too large. The offset can also be used for markings on the thus free opposite edge of the film web or as a grip tab or separated later. Basically, the cover could be offset from the outset along with the film web or rolled up flush, which would also eliminate the supply of the cover before the coating cylinder.

[0022] Damit die auf dem Beschichtungszylinder abgeschiedenen dünnen und dadurch empfindlichen Schichten beim Aufrollen der Folienbahn zusammen mit der Abdeckung nicht beschädigt werden, muss die Abdeckung auf ihrer der Beschichtung zugewandten Seite ausreichend weich oder mit einer ausreichend weichen Oberfläche oder Oberflächenschicht versehen sein. Hierzu geeignet ist wiederum eine nicht-permanent haftende Klebschicht oder klebrige Oberfläche. Thus, the deposited on the coating cylinder thin and thus sensitive layers are not damaged when rolling up the film web together with the cover, the cover must be provided on its side facing the coating sufficiently soft or with a sufficiently soft surface or surface layer. Again suitable for this purpose is a non-permanently adherent adhesive layer or sticky surface.

[0023] Die Abdeckung kann eine Kernschicht umfassen, welche vor allem zu ihrer Reissfestigkeit beiträgt und die beidseitig mit Klebschichten versehen ist. Sie kann jedoch auch eine im Wesentlichen homogene Schicht mit klebrigen Oberflächen sein. The cover may comprise a core layer, which mainly contributes to their tensile strength and which is provided on both sides with adhesive layers. However, it may also be a substantially homogeneous layer with sticky surfaces.

[0024] Bei der Abdeckung kann es sich auch um eine sogenannte Clingfolie handeln, welche keinen Klebstoff enthält, aber aufgrund einer geeigneten Oberflächenstrukturierung dennoch eine gewisse Klebrigkeit gegenüber glatten Oberflächen aufweist. Die Klebrigkeit kommt dabei aufgrund von Van-der-Waals-Wechselwirkungen zwischen beiden Oberflächen zustande. Im Tierreich ermöglicht es derselbe Typ von Klebrigkeit Geckos senkrechte Flächen zu erklimmen. The cover may also be a so-called Clingfolie, which contains no adhesive, but still has a certain tackiness against smooth surfaces due to a suitable surface structuring. Stickiness is due to van der Waals interactions between both surfaces. In the animal kingdom, the same type of stickiness allows geckos to climb vertical surfaces.

[0025] In besonders rationeller Weise kann die Abdeckung AD inline während des Durchlaufs der Folienbahn durch die erfindungsgemässe Vorrichtung aus einer flüssigen Masse erzeugt werden, wobei die erfindungsgemässe Vorrichtung in diesem Fall mit den dazu geeigneten Mitteln zu versehen wäre. Auch dabei ist es möglich, die Abdeckung als mehrschichtige Bahn mit einer tragenden, ausreichend reissfesten Kernschicht zu erzeugen. Bevorzugt wird die Abdeckung dabei jedoch in Form einer einzigen homogenen Schicht, die insgesamt sowohl die nötige Reissfestigkeit als auch die beidseitig nicht-permanente Haftung aufweist, hergestellt. In a particularly rational manner, the cover AD can be generated inline during the passage of the film web by the inventive device from a liquid mass, wherein the inventive device would be provided in this case with the appropriate means. Here, too, it is possible to produce the cover as a multilayer web with a load-bearing, sufficiently tear-resistant core layer. However, the cover is preferably produced in the form of a single homogeneous layer which has both the required tear resistance and the non-permanent adhesion on both sides.

[0026] Gegenstand der Erfindung ist insofern gemäss Anspruch 14 auch eine mit durch wenigstens zwei selbstbegrenzende Oberflächenreaktionen (ALD/MLD) abgeschiedenen dünnen Schichten sowie mit einer solchen inline hergestellten Abdeckung versehene Folienbahn oder Zuschnitte daraus. The invention is insofar according to claim 14, a deposited by at least two self-limiting surface reactions (ALD / MLD) thin layers and provided with such an inline produced cover sheet or blanks thereof.

[0027] Zur Abdichtung des Spaltes kann auch vorgesehen sein, den Spalt durch Aufbringen einer Raupe aus einer wachsartigen Masse oder einem Hotmelt-Material bei laufender Bahn auf dem Zylinder zu schliessen. To seal the gap can also be provided to close the gap by applying a bead of a waxy mass or a hotmelt material while the web is running on the cylinder.

[0028] Zur Abdichtung des Spaltes kann auch ein rohrförmiger Mantel vorgesehen sein, welcher den Beschichtungszylinder sowie die Folienbahn umschliesst. Dieser Mantel kann anstelle einer mitlaufenden Abdichtung oder mit einer mitlaufenden Abdichtung zusammen eingesetzt werden. Um das «Einfädeln» der Folienbahn zu erleichtem, kann vorgesehen sein, dass sich der Mantel auf- und zuklappen lässt. Der Mantel kann auf der inneren, dem Beschichtungszylinder zugewandten Seite, über wenigstens einen Zuführungsbereich für Spülgas verfügen. Dieser kann schraubenförmig entlang des Spaltes verlaufen. Falls über den Mantel kein Spülgas zugeführt wird, kann es dazu kommen, dass die vom Beschichtungszylinder abgewandte Rückseite der Folienbahn im Randbereich ebenfalls in geringem Mass beschichtet wird, was aber meist tolerierbar ist. Wenn der Beschichtungszylinder von der Folienbahn mit nur zwei Windungen umschlungen würde, könnten die aus dem Spalt austretenden Gase in Axialrichtung wegströmen. Wenn mehr als zwei Windungen vorhanden sind, wird eine Strömung in Axialrichtung durch die verschiedenen Austrittsstellen gegenseitig blockiert und es bleibt eine Strömung entlang des Spaltes. Sofern Abieitungsbereiche den Spalt kreuzen und bei einem ausreichend grossen Überschuss an Spülgas werden die Prekursoren ohne Vermischung untereinander in die Ableitungsbereiche gespült. Wenn der Abgasmantel die Windungen der Folienbahn FB am Anfang und am Ende des Beschichtungszylinders überragt und zudem auf einem überragenden, schraubenförmigen Streifen entlang der Kante der Folienbahn FB bei der ersten und letzten Windung vom Beschichtungszylinder her Spülgas zugeführt wird, kann auch ein stirnseitiger Austritt von Prekursoren verhindert werden. Der Mantel kann auch zur thermischen Isolation des Zylinders von seiner Umgebung dienen. To seal the gap may also be provided a tubular jacket which encloses the coating cylinder and the film web. This jacket can be used in place of a follower seal or with a follower seal together. In order to facilitate the "threading" of the film web, it can be provided that the jacket can open and close. The jacket can have at least one feed region for purge gas on the inner side facing the coating cylinder. This can run helically along the gap. If no purge gas is supplied via the jacket, it may happen that the side facing away from the coating cylinder back of the film web is coated in the edge region also to a small extent, but this is usually tolerable. If the coating cylinder were wrapped by the film web with only two turns, the gases exiting the gap could flow away in the axial direction. If there are more than two turns, an axial flow through the various exit points will be blocked and flow will remain along the gap. If Abieitungsbereiche cross the gap and with a sufficiently large excess of purge gas, the precursors are rinsed without mixing with each other in the discharge areas. If the exhaust jacket projects beyond the turns of the film web FB at the beginning and at the end of the coating cylinder and is also supplied on a protruding, helical strip along the edge of the film web FB in the first and last turn from the coating cylinder ago purge gas, can also be a front-side outlet of Prekursoren be prevented. The jacket can also serve for thermal insulation of the cylinder from its environment.

[0029] Der Beschichtungszylinder kann so ausgebildet sein, dass in Laufrichtung der Folienbahn auf ihm benachbarte Zuführungsbereiche wahlweise mit demselben oder mit verschiedenen Reaktions- oder Spülgas/en beschickbar sind. So kann alternativ zu einer AIOx-Schicht beispielsweise auch ein AIOx-TiO2-Nanolaminat erzeugt werden, wobei TiCI4als TiO2-Prekursor eingesetzt werden kann. The coating cylinder can be designed so that in the running direction of the film web on him adjacent feed areas optionally with the same or with different reaction or Spülgas / s are chargeable. Thus, as an alternative to an AIOx layer, it is also possible, for example, to produce an AIOx-TiO2-nanolaminate, where TiCl4 can be used as a TiO2 precursor.

[0030] Die Ausdehnung der Zuführungsbereiche in Laufrichtung der Folienbahn kann unterschiedlich sein. Insbesondere kann die Ausdehnung von Zuführungsbereichen für Spülgas grösser als die Ausdehnung von Zuführungsbereichen für Reaktiongas sein. The extent of the feed regions in the direction of travel of the film web can be different. In particular, the extent of purge gas supply regions may be greater than the extension of reaction gas supply regions.

[0031] Es kann vorgesehen sein, für die Zuführungsbereiche für Spülgas einen grösseren Gasdruck bzw. einen grösseren Volumenstrom pro Fläche der porösen Oberflächenschicht einzustellen. It may be provided to set a larger gas pressure or a larger volume flow per area of the porous surface layer for the feed areas for purge gas.

[0032] Eine besonders einfache Ausbildung des Beschichtungszylinders ergibt sich, wenn sich Zuführungs- und Ableitungsbereiche in Axialrichtung des Beschichtungszylinders mit konstanter Ausdehnung in dessen Umfangsrichtung vorzugsweise über den grössten Teil von dessen Länge erstrecken. A particularly simple design of the coating cylinder is obtained when extending supply and discharge areas in the axial direction of the coating cylinder with constant expansion in the circumferential direction preferably over the greater part of its length.

[0033] Zuführungsbereiche für Reaktionsgase und/oder für Spülgas könnten sich in Axialrichtung des Beschichtungszylinders auch abwechseln. Ein sehr langer Beschichtungszylinder kann aus mehreren Abschnitten zusammengesetzt sein. Dabei kann beispielsweise ein mittlerer Zylinderabschnitt zur Erzeugung einer flexiblen MLD-Zwischenschicht genutzt werden. Feed regions for reaction gases and / or purge gas could also alternate in the axial direction of the coating cylinder. A very long coating cylinder may be composed of several sections. In this case, for example, a central cylinder section can be used to produce a flexible MLD intermediate layer.

[0034] So wie die Folienbahn sich schraubenförmig um den Beschichtungszylinder windet, können zumindest abschnittsweise sich schraubenförmig entlang des Beschichtungszylinders erstreckende Ableitungsbereiche für Reaktions- und Spülgas und/oder Zuführungsbereiche für Spülgas vorhanden sein. Dadurch ist es gegebenenfalls möglich, auf eine Abdeckung des Spaltes zwischen benachbarten, sich nicht überdeckenden Windungen der Folienbahn zu verzichten. Die Voraussetzung dafür ist eine stillstehende Montage des Beschichtungszylinders. Bei einer rotierenden Trommel gemäss WO 2014/123 415 A1 würden Zuführungsbereiche für Spülgas entlang des Spaltes zwischen benachbarten, sich nicht überdeckenden schraubenförmigen Windungen der Folienbahn relativ zu diesem Spalt bewegt, was deren Funktion verunmöglichen würde. As the film web winds helically around the coating cylinder, discharge regions for reaction and purge gas and / or feed regions for purge gas may be present at least in sections extending helically along the coating cylinder. This makes it possible, if necessary, to dispense with a cover of the gap between adjacent, non-overlapping turns of the film web. The prerequisite for this is a stationary assembly of the coating cylinder. In a rotating drum according to WO 2014/123 415 A1, feed regions for purge gas would be moved along the gap between adjacent, non-overlapping helical turns of the film web relative to this gap, which would make their function impossible.

[0035] Die Vorrichtung kann mehrere Beschichtungszylinder umfassen. Dabei kann vorgesehen sein, dass die Folienbahn nacheinander über alle Beschichtungszylinder geführt wird, um so im gleichen Durchlauf der Folienbahn eine grosse Schichtdicke zu erhalten. Es könnte aber auch vorgesehen sein, dass die Folienbahn nur einem oder mehreren ausgewählten von ihnen zuführbar ist. Letzteres macht insbesondere Sinn, wenn wenigstens zwei der Beschichtungszylinder hinsichtlich zumindest einiger Zuführungs- oder Ableitungsbereiche unterschiedlich ausgebildet sind. Es könnte auch vorgesehen sein, einen der Beschichtungszylinder, über den die Folienbahn geführt ist, zumindest zeitweise quasi auszuschalten, indem auf ihm keine Reaktionsgase zugeführt werden, die Folienbahn auf Spülgas-Gaskissen aber dennoch auf Abstand von der Zylinderoberfläche gehalten wird. The device may comprise a plurality of coating cylinders. In this case, it can be provided that the film web is guided successively over all the coating cylinders so as to obtain a large layer thickness in the same pass of the film web. However, it could also be provided that the film web can only be fed to one or more selected ones of them. The latter makes sense, in particular, if at least two of the coating cylinders are designed differently with regard to at least some feed or discharge regions. It could also be provided to at least temporarily eliminate one of the coating cylinders, over which the film web is guided, by no reaction gases being supplied to it, but the film web is still kept at a distance from the cylinder surface on the purge gas gas cushion.

[0036] Der Beschichtungszylinder kann, indem er stillstehend montiert ist, eine grosse Länge aufweisen, die eine Vielzahl von Umschlingungen erlaubt. Insbesondere kann die Länge des Beschichtungszylinders 4-fach bis 20-fach, insbesondere 6-fach bis 14-fach, grösser sein als sein Durchmesser und/oder 2 m bis 20 m, insbesondere 3 m bis 8 m, betragen. By being stably mounted, the coating cylinder may have a large length which allows a plurality of wraps. In particular, the length of the coating cylinder can be 4-fold to 20-fold, in particular 6-fold to 14-fold, greater than its diameter and / or 2 m to 20 m, in particular 3 m to 8 m.

[0037] Die erfindungsgemässe Vorrichtung ist vorzugsweise zur Beschichtung von Folienbahnen bis zu einer Breite von 150 cm, insbesondere für Folienbahnen mit Standardbreiten von 30 bis 50 cm geeignet und/oder für eine Bahngeschwindigkeit der Folienbahn bis zu 120 m/min ausgebildet. The inventive device is preferably suitable for coating film webs up to a width of 150 cm, in particular for film webs with standard widths of 30 to 50 cm and / or formed for a web speed of the film web up to 120 m / min.

[0038] Bei diesen Dimensionierungen lässt sich der Beschichtungszylinder 3-fach bis 20-fach mit der Folienbahn umschlingen. Bevorzugt sind 5 bis 12 Umschlingungen. In these dimensions, the coating cylinder can be looped 3-fold to 20-fold with the film web. Preference is given to 5 to 12 wraps.

[0039] Wegen der zumindest bei ALD-Beschichtungen kurzen Reaktionszeit der Reaktionsgase braucht die Ausdehnung der Zuführungsbereiche in Laufrichtung der Folienbahn oder in Umfangsrichtung des Beschichtungszylinders nur 5 mm bis 30 mm, insbesondere 8 mm bis 12 mm, zu betragen. Die Ausdehnung der Ableitungsbereiche in Laufrichtung der Folienbahn oder in Umfangsrichtung des Beschichtungszylinders braucht sogar nur 0.5 mm bis 2 mm, insbesondere 0.8 mm bis 1.1 mm, zu betragen. Dies gilt insbesondere, wenn der Abstand zwischen der Folienbahn und der Zylinderoberfläche kleiner als 100 µm gehalten wird. Because of the at least in ALD coatings short reaction time of the reaction gases, the expansion of the feed areas in the direction of the film web or in the circumferential direction of the coating cylinder only 5 mm to 30 mm, in particular 8 mm to 12 mm, to be. The extent of the discharge areas in the direction of the film web or in the circumferential direction of the coating cylinder even needs to be only 0.5 mm to 2 mm, in particular 0.8 mm to 1.1 mm. This is especially true if the distance between the film web and the cylinder surface is kept smaller than 100 microns.

[0040] Vorzugsweise sind die Zuführungs- und Ableitungsbereiche entlang der schraubenförmigen Windungen oder in Umfangsrichtung des Beschichtungszylinders in mehreren, ebenfalls vorzugsweise gleichmässig verteilten Gruppen angeordnet. Für eine als Barriereschicht geeignete ALD-Beschichtung können die Gruppen in Laufrichtung der Folienbahn oder in Umfangsrichtung des Beschichtungszylinders einen ersten Zuführungsbereich für einen ersten Prekursor wie beispielsweise TMA, einen zweiten Zuführungsbereich für ein Spülgas wie beispielsweise N2, einen dritten Zuführungsbereich für einen zweiten Prekursor wie beispielsweise H2O sowie einen vierten Zuführungsbereich wieder für ein Spülgas wie für N2aufweisen. Zumindest zwischen den Zuführungsbereichen sind dann jeweils Ableitungsbereiche für die genannten Gase vorzusehen. Mit den vorgenannten bevorzugten Bemessungen können auf einem Beschichtungszylinder bis zu 70 Gruppen für entsprechend viele Beschichtungszyklen ausgebildet sein. Preferably, the supply and discharge areas along the helical turns or in the circumferential direction of the coating cylinder in a plurality, also preferably uniformly distributed groups are arranged. For an ALD coating suitable as a barrier layer, the groups in the direction of travel of the film web or in the circumferential direction of the coating cylinder may have a first feed zone for a first precursor such as TMA, a second feed zone for a purge gas such as N2, a third feed section for a second precursor such as H2O and a fourth feed area again for a purge gas as N2. At least between the feed areas, discharge areas for the gases in question should then be provided. With the abovementioned preferred dimensions, up to 70 groups for a corresponding number of coating cycles can be formed on a coating cylinder.

[0041] Um die für die Abscheidung unter erhöhter Temperatur gegenüber Umgebungstemperatur erforderliche Temperatur zu erreichen, kann vorgesehen sein, dass der Beschichtungszylinder und/oder das Reaktions- und/oder das Spülgas vorzugsweise auf eine Temperatur von 60 °C bis 150 °C heizbar ist/sind, wobei die Temperaturbeständigkeit des für die Folienbahn verwendeten Kunststoffmaterials hier limitierend wirkt. In order to achieve the temperature required for the deposition under elevated temperature relative to ambient temperature, it can be provided that the coating cylinder and / or the reaction and / or the purge gas is preferably heated to a temperature of 60 ° C to 150 ° C. / are, wherein the temperature resistance of the plastic material used for the film web has a limiting effect here.

[0042] Wie dies bei Vorrichtungen der betrachteten Art meist der Fall ist, kann die erfindungsgemässe Vorrichtung mit einer Abrollung und einer Aufrollung für die Folienbahn zur Ausführung der Beschichtung in einem Rolle-zu-Rolle-Verfahren ausgebildet sein. Insbesondere hierbei kann dann auch vorgesehen sein, dass die Laufrichtung der Folienbahn auf dem Beschichtungszylinder und über die Bahnlenkungsmittel umkehrbar ist, so dass dieselbe Folienbahn ohne Rollenwechsel in mehreren Durchläufen beschichtbar ist. As is usually the case with devices of the type considered, the device according to the invention can be designed with a unwinding and a reel for the film web for the execution of the coating in a roll-to-roll process. In this case, in particular, it can then also be provided that the running direction of the film web on the coating cylinder and over the web steering means is reversible, so that the same film web can be coated in several passes without roll change.

[0043] Die Erfindung stellt sich weiter die Aufgabe, hinsichtlich der Überprüfung der Barriereeigenschaften wesentliche Verbesserungen zu erreichen. Sie erreicht dies gemäss Anspruch 15 mit einer Vorrichtung zur Abscheidung dünner Schichten durch wenigstens zwei selbstbegrenzende Oberflächenreaktionen (ALD/MLD) unter erhöhter Temperatur auf einer laufenden Folienbahn, wobei die Vorrichtung mindestens einen Beschichtungszylinder aufweist, insbesondere einer Vorrichtung nach einem der Ansprüche 1–13, und welche demnach dadurch gekennzeichnet ist, dass sie eine von der durch die Beschichtung noch erhitzten Folienbahn durchlaufende Messvorrichtung zur Ermittlung der Sauerstoff- oder Stickstoffdurchlässigkeit der Folienbahn und vor allem der auf ihr abgeschiedenen dünnen Schichten umfasst. Die Stickstoffdurchlässigkeit, d.h. Transmissionswert für Stickstoff wird im Folgenden als NTR-Wert bezeichnet. The invention further has the task to achieve significant improvements in terms of checking the barrier properties. It achieves this according to claim 15 with a device for depositing thin layers through at least two self-limiting surface reactions (ALD / MLD) at elevated temperature on a moving film web, wherein the device has at least one coating cylinder, in particular a device according to one of claims 1-13, and which is accordingly characterized in that it comprises a measuring device which passes through the film web still heated by the coating and determines the oxygen or nitrogen permeability of the film web and, above all, the thin layers deposited on it. The nitrogen permeability, i. Transmission value for nitrogen is hereinafter referred to as NTR value.

[0044] Zwischen den Barrierewerten für verschiedene Gase gibt es zwar keine allgemeingültige Korrelation; zwei verschiedene Barrieren können beispielsweise identische OTR-Werte aber verschiedene WTVR-Werte aufweisen oder umgekehrt. Für eine bestimmte Barriere aus bestimmten Materialien mit einer bestimmten Schichtabfolge korrelieren diese Werte aber zumindest soweit miteinander, dass die Messung nur eines dieser Werte zur Qualitätskontrolle oder für Optimierungszwecke ausreichend sein kann. Die jeweilige Korrelation ist dann durch Vergleichsmessungen zu ermitteln. Aus einem mit der erfindungsgemässen Vorrichtung ermittelten OTR-Wert lässt sich somit meist ein zugehöriger WTVR-Wert ermitteln. Entsprechendes gilt für den NTR-Wert. Although there is no general correlation between the barrier values for different gases; For example, two different barriers may have identical OTR values but different WTVR values, or vice versa. For a certain barrier of certain materials with a certain sequence of layers, however, these values at least correlate to one another so far that the measurement of only one of these values can be sufficient for quality control or for optimization purposes. The respective correlation is then to be determined by comparative measurements. From an OTR value determined using the device according to the invention, it is therefore usually possible to determine an associated WTVR value. The same applies to the NTR value.

[0045] Für die Ermittlung des OTR-Wertes oder des NTR-Wertes macht sich die Erfindung den Umstand zu Nutze, dass die Folienbahn und ihre Beschichtung unmittelbar nach dem Abscheiden der Schichten bereits zu einem gewissen Grad vorkonditioniert sind. So ist die Folienbahn vor der Beschichtung durch ihre Lagerung in der Regel mit Stickstoff und Sauerstoff aus der Luft gesättigt. Während des ALD-Prozesses auf dem Beschichtungszylinder ist die Folienbahn mit ihrer Aussenseite weiterhin mit Luft in Kontakt, während auf ihrer dem Beschichtungszylinder zugewandten Innenseite Spül- oder Prekursorgase jeweils ohne Sauerstoffanteil vorhanden sind. For determining the OTR value or the NTR value, the invention makes use of the circumstance that the film web and its coating are already preconditioned to a certain degree immediately after the layers have been deposited. Thus, the film web is usually saturated with nitrogen and oxygen from the air before coating by their storage. During the ALD process on the coating cylinder, the film web with its outer surface is still in contact with air, while on its side facing the coating cylinder rinsing or Prekursorgase each without oxygen content are available.

[0046] Obwohl die Folienbahn vor der Messung bereits zu einem gewissen Grad vorkonditioniert ist, wird der ermittelte OTR-Wert beziehungsweise NTR-Wert zumindest bei höherer Bahngeschwindigkeit vom an sich gewünschten steady-state-Wert um einen bestimmten, konstanten Faktor abweichen. Durch eine Vergleichsmessung bei stehender Folienbahn kann dieser Faktor jedoch ermittelt werden. Although the film web is already preconditioned to a certain degree before the measurement, the determined OTR value or NTR value will deviate from the per se desired steady-state value by a specific, constant factor, at least at higher web speed. However, this factor can be determined by a comparative measurement when the film web is stationary.

[0047] Die gegenüber Umgebungstemperatur erhöhte Temperatur, unter der die Beschichtung im ALD/MLD-Prozess aufgebracht wird und die die Folienbahn und die Beschichtung während der Messung noch aufweist, ist schliesslich günstig für die Messung, da hierbei die zu messende Transmission ebenfalls erhöht ist, was die Anforderungen an die Messzeit und die Messgenauigkeit reduziert. The elevated temperature relative to ambient temperature, under which the coating is applied in the ALD / MLD process and which still has the film web and the coating during the measurement, is finally favorable for the measurement, since in this case the transmission to be measured is also increased , which reduces the demands on the measuring time and the measuring accuracy.

[0048] Die Beschichtung braucht für die Messung die für eine voll ausgebildete Barriereschicht geforderte Dicke und/oder Anzahl unterschiedlicher Schichten noch nicht erreicht zu haben. Eine geringere, insbesondere nur halb so grosse Dicke – die erst auf einem weiteren Beschichtungszylinder oder auf demselben Beschichtungszylinder in einem weiteren Abschnitt oder Durchlauf vervollständigt wird – ist hierbei sogar von Vorteil, weil dadurch die Barriere weniger dicht und die Anforderungen an die Messzeit und die Messgenauigkeit hierdurch ebenfalls geringer sind. Günstig für die Messung des OTR-Wertes ist es beispielsweise, wenn dieser Wert in der Grössenordnung zwischen 10<–><1>und 10<–4>cm<–><2>Tag<–><1>bar<–><1>bei 100 °C und circa 1% rel. Feuchte liegt. The coating does not need to have reached the required for a fully formed barrier layer thickness and / or number of different layers for the measurement. A smaller, in particular only half the thickness - which is only completed on a further coating cylinder or on the same coating cylinder in a further section or run - is even advantageous in this case because it makes the barrier less dense and the demands on the measuring time and measurement accuracy this is also lower. It is favorable for the measurement of the OTR value, for example, if this value is of the order of 10 <-> <1> and 10 <-4> cm <-> <2> day <-> <1> bar <-> <1> at 100 ° C and about 1% rel. Humidity is.

[0049] Unter diesen Umständen kann die Messvorrichtung zudem grossflächig, beispielsweise den grössten Teil der Breite der Folienbahn erfassend, ausgebildet sein. Der erhaltene Messwert beinhaltet in diesem Fall nicht lediglich eine Aussage über die Qualität der Beschichtung auf einer kleinen, willkürlich ausgewählten Fläche, wie dies bei der erwähnten offline Messung von Mustern der Fall ist, sondern stellt eine Mittelung über einen Grossteil der Nutzfläche dar. Die Länge der Messvorrichtung in Laufrichtung der Folienbahn hängt in erster Linie von der zu erreichenden Messempfindlichkeit ab. In these circumstances, the measuring device can also be designed over a large area, for example covering the greatest part of the width of the film web. The measured value obtained in this case does not merely contain information about the quality of the coating on a small, arbitrarily selected surface, as is the case in the offline measurement of patterns mentioned, but represents an averaging over a large part of the useful surface. The length the measuring device in the direction of the film web depends primarily on the measuring sensitivity to be achieved.

[0050] Da die Messzeit wesentlich kürzer sein kann als die für einen Durchlauf einer Folienbahn üblicher Länge, d.h. von 500 m–2000 m, benötigte Zeit, ist es möglich, die laufende Folienbahn noch vor ihrer üblichen Wiederaufrollung mit dem ermittelten Wert zu beschriften und/oder zu codieren. Entsprechend sieht die Erfindung zusätzlich zur Messvorrichtung noch Mittel zur Beschriftung und/oder Codierung der laufenden Folienbahn mit wenigstens einem der ermittelten oder daraus abgeleiteten Sauerstoff, Stickstoff- und/oder Wasserdampfdurchlässigkeitswerte vor. Die Beschriftung und/oder Codierung kann zum Beispiel drucktechnisch, prägetechnisch, stanztechnisch, per Laser oder durch eine andere Veränderung von Materialeigenschaften erfolgen. Sie kann von Auge direkt und/oder nur mit einem geeigneten Hilfsmittel auslesbar sein. Von Auge auslesbar kann sie insbesondere in einem Randbereich sein, der in einem späteren Verarbeitungsschritt abgetrennt wird. Nur mit Hilfsmitteln erkennbare Markierungen oder Codierungen können dagegen auch in Nutzbereichen auf der gesamten Fläche der Folienbahn verteilt angeordnet sein. Since the measuring time can be substantially shorter than that for a passage of a film web of conventional length, i. from 500 m to 2000 m, time required, it is possible to label the current film web before its usual rewinding with the value determined and / or encode. Accordingly, the invention additionally provides, in addition to the measuring device, means for inscribing and / or coding the running film web with at least one of the determined or derived oxygen, nitrogen and / or water vapor permeability values. The labeling and / or coding can be done, for example, by printing technology, embossing technology, punching technology, by laser or by another change of material properties. It can be read by eye directly and / or only with a suitable tool. It can be read by the eye, in particular in an edge region which is separated in a later processing step. On the other hand, markings or codes which can only be identified by means of aids can also be distributed in useful areas over the entire surface of the film web.

[0051] Gegenstand der Erfindung ist in diesem Fall gemäss Anspruch 17 auch die entsprechend beschriftete und/oder codierte Folienbahn. The invention in this case according to claim 17, the corresponding labeled and / or encoded film web.

[0052] Gegenstand der Erfindung ist schliesslich auch noch ein Verfahren gemäss Anspruch 18 zur Abscheidung dünner Schichten durch wenigstens zwei selbstbegrenzende Oberflächenreaktionen (ALD/MLD) unter erhöhter Temperatur auf einer unter Zugspannung stehenden, laufenden Folienbahn, insbesondere unter Verwendung einer Vorrichtung nach einem der vorangehenden Vorrichtungsansprüche. Dabei wird die Folienbahn einem mit Zuführungs- und Ableitungsbereichen für Reaktions- und Spülgas versehenen Beschichtungszylinder zugeführt und nach mindestens fünf schraubenförmigen Windungen von diesem wieder abgenommen. In den Zuführungsbereichen wird die Folienbahn entgegen ihrer Zugspannung auf einem Gaskissen auf Abstand von der Oberfläche des Beschichtungszylinders gehalten. Während der Be-schichtung steht der Beschichtungszylinder still. Zumindest in einigen der Zuführungsbereiche wird das Gas für die Gaskissen durch eine porös ausgebildete Oberfläche des Beschichtungszylinders flächig verteilt zugeführt. Finally, the invention also relates to a method according to claim 18 for depositing thin layers through at least two self-limiting surface reactions (ALD / MLD) at elevated temperature on a running, tensioned film web, in particular using a device according to one of the preceding apparatus claims. In this case, the film web is supplied to a supply and discharge areas for reaction and purge gas coating cylinder and removed after at least five helical turns of this again. In the feed regions, the film web is held against its tensile stress on a gas cushion at a distance from the surface of the coating cylinder. During coating, the coating cylinder stands still. At least in some of the feed regions, the gas for the gas cushion is supplied in a surface-spread manner through a porous surface of the coating cylinder.

[0053] Nachfolgend wird die Erfindung anhand von Ausführungsbeispielen unter Bezugnahme auf die Zeichnungen weiter erläutert. The invention will be further explained by means of embodiments with reference to the drawings.

KURZE BESCHREIBUNG DER ZEICHNUNGENBRIEF DESCRIPTION OF THE DRAWINGS

[0054] Es zeigen jeweils nur schematisch: <tb>Fig. 1<SEP>eine erfindungsgemässe Vorrichtung mit einem stillstehenden, von einer zu beschichtenden Folienbahn mehrfach schraubenförmig umwundenen Beschichtungszylinder; <tb>Fig. 2<SEP>a)–e) zeigen verschiedene, mögliche Strukturen der Oberfläche von Beschichtungszylindern für eine Vorrichtung nach der Erfindung; <tb>Fig. 3<SEP>in einem Querschnitt (l–l) den Aufbau eines Beschichtungszylinders gemäss Fig. 2a ; <tb>Fig. 4<SEP>eine Rolle, auf welcher die Folienbahn FB zusammen mit einer Abdeckung aufgerollt ist; <tb>Fig. 5<SEP>die Abdichtung des Spaltes zwischen zwei benachbarten, sich nicht überdeckenden Windungen einer Folienbahn auf einem Beschichtungszylinder mittels einer über dem Spalt aufgebrachten Raupe; <tb>Fig. 6<SEP>einen Beschichtungszlinder, auf dem die Windungen der Folienbahn mit gegenseitiger Überlappung verlaufen sowie einen Zusatzzylinder am Unter-lappungsende, <tb>Fig. 7<SEP>einen Beschichtungszylinder mit nachgeordneter Messvorrichtung zur Messung eines OTR-Wertes oder eines NTR-Wertes an der vom Beschichtungszylinder ablaufenden Folienbahn; <tb>Fig. 8<SEP>eine Ausführungsform einer OTR- oder NTR-Messvorrichtung; <tb>Fig. 9<SEP>den Beschichtungszylinder und die Messvorrichtung von Fig. 8 in einer Aufsicht; <tb>Fig. 10<SEP>eine andere Ausführungsform nur einer OTR-Messvorrichtung; <tb>Fig. 11<SEP>einen Beschichtungszylinder mit nachgeordneter OTR- oder NTR-Messvorrichtung gemäss einer weiteren Ausführungsform; und <tb>Fig. 12<SEP>einen in einen Zylinder integrierte OTR- oder NTR-Messvorrichtung.In each case only schematically show: <Tb> FIG. 1 <SEP> an apparatus according to the invention with a stationary coating cylinder wound several times helically by a film web to be coated; <Tb> FIG. 2 <SEP> a) -e) show various possible structures of the surface of coating cylinders for a device according to the invention; <Tb> FIG. 3 <SEP> in a cross section (l-l) the structure of a coating cylinder according to Fig. 2a; <Tb> FIG. 4 <SEP> a roll on which the film web FB is rolled up together with a cover; <Tb> FIG. 5 <SEP> the sealing of the gap between two adjacent non-overlapping turns of a film web on a coating cylinder by means of a bead applied over the nip; <Tb> FIG. 6 <SEP> a coating cylinder on which the turns of the film web run with mutual overlap and an additional cylinder at the lower end of the lapping, <Tb> FIG. 7 <SEP> a coating cylinder with a downstream measuring device for measuring an OTR value or an NTR value at the film web running off the coating cylinder; <Tb> FIG. 8 <SEP> an embodiment of an OTR or NTR measuring device; <Tb> FIG. 9 shows the coating cylinder and the measuring device of FIG. 8 in a plan view; <Tb> FIG. 10 <SEP> another embodiment of only one OTR measuring device; <Tb> FIG. 11 shows a coating cylinder with a downstream OTR or NTR measuring device according to a further embodiment; and <Tb> FIG. 12 <SEP> an OTR or NTR measuring device integrated into a cylinder.

WEGE ZUR AUSFÜHRUNG DER ERFINDUNGWAYS FOR CARRYING OUT THE INVENTION

[0055] Die Vorrichtung von Fig. 1 weist eine Rolle R1 für eine Abrollung und eine Rolle R2 für eine Aufrollung einer Folienbahn FB in einem Rolle-zu-Rolle-Verfahren auf. Kernstück der Vorrichtung ist ein stillstehend montierter Beschichtungszylinder 10 für eine ALD und/oder MLD-Beschichtung der Folienbahn FB, welcher von dieser in mehreren schraubenförmigen Windungen umschlungen wird. Lage und Verlauf der Windungen der Folienbahn FB auf dem Beschichtungszylinder 10 wird bestimmt durch Bahnlenkungsmittel, von denen Umlenkzylinder 21 und 22 dargestellt sind. Die Bahnlenkungsmittel sorgen für eine winkelgenaue Folienbahnzu- und -wegführung. Auf dem Beschichtungszylinder 10 wird die Folienbahn FB entgegen ihrer Bahnspannung resultierend aus der von Abrollung und Aufrollung resp. zusätzlich vorhandenen Bahnzugsmitteln auf Gaskissen auf Abstand von dessen Oberfläche gehalten. In Laufrichtung der Folienbahn FB vor dem Beschichtungszylinder 10 sind verschiedene Aggregate 30 zur Vorbereitung der Folienbahn FB vorhanden. Diese umfassen ein Aggregat 31 zur Partikelreinigung zum Beispiel in Form einer weichen, adhäsiven Gummiwalze oder eines Airblades, ein Aggregat 32 zur Oberflächenbehandlung zwecks Haftungsverbesserung wie Coronaentladung, Plasmabehandlung oder Ultraviolettbestrahlung sowie ein Aggregat 33 zum Aufbringen einer Flüssigbeschichtung. Dem Aggregat 33 zur Flüssigbeschichtung schliesst sich eine Trocknungsstrecke 34 zu deren Abtrocknung und/oder thermischen oder strahlungstechnischen Vernetzung an. Bei der Flüssigbeschichtung kann es sich um einen sogenannten Vorplanarisierer und Primer für die nachfolgend auf dem Beschichtungszylinder 10 abzuscheidenden Schichten handeln. Dem Beschichtungszylinder 10 unmittelbar nachgeordnet, d.h. noch vor der dem Umlenkzylinder 22, ist eine Messvorrichtung 40. Vor der Rolle R2 ist noch eine mit der Messvorrichtung 40 datentechnisch verbundene Vorrichtung 50 zur Beschriftung und/oder Codierung der Folienbahn FB vorhanden. Die in Fig. 1 mit 35–39 bezeichneten Teile betreffen die optionale in-line Herstellung einer Abdeckung AD und werden im Zusammenhang damit erst weiter unten behandelt. The apparatus of Figure 1 comprises a roll R1 for unwinding and a roll R2 for unwinding a film web FB in a roll-to-roll process. The core of the device is a resting mounted coating cylinder 10 for ALD and / or MLD coating of the film web FB, which is wrapped by this in several helical turns. The position and course of the turns of the film web FB on the coating cylinder 10 is determined by web guiding means, of which deflection cylinders 21 and 22 are shown. The web steering means ensure an accurate-to-accurate Folienbahnzu- and -wegführung. On the coating cylinder 10, the film web FB is contrary to their web tension resulting from the unwinding and reeling, respectively. additionally existing Bahnzugsmitteln held on gas cushion at a distance from the surface. In the direction of the film web FB before the coating cylinder 10 different units 30 are present for the preparation of the film web FB. These include a particulate cleaning aggregate 31, for example in the form of a soft adhesive rubber roller or an air blade, a surface treatment aggregate 32 for adhesion enhancement such as corona discharge, plasma treatment or ultraviolet irradiation, and an aggregate 33 for applying a liquid coating. The aggregate 33 for liquid coating is followed by a drying section 34 for drying thereof and / or thermal or radiation-related crosslinking. The liquid coating can be a so-called pre-planarizer and primer for the layers to be deposited subsequently on the coating cylinder 10. Immediately downstream of the coating cylinder 10, i. even before the deflection cylinder 22, is a measuring device 40. Before the role R2 is still a data-technically connected to the measuring device 40 device 50 for labeling and / or coding of the film web FB available. The parts indicated at 35-39 in FIG. 1 relate to the optional in-line production of a cover AD and will not be discussed further below.

[0056] Der Beschichtungszylinder 10 ist deutlich länger als sein Durchmesser, beispielsweise 3-fach bis 20-fach, insbesondere 5-fach bis 14-fach. Absolut kann sein Durchmesser 20 cm bis 200 cm, insbesondere 40 cm bis 100 cm, und seine Länge insbesondere 3 m bis 6 m betragen. Um diese Länge zu erreichen, kann der Beschichtungszylinder 10 aus mehreren Längsabschnitten zusammengesetzt sein. Vorzugsweise wird die Länge der einzelnen Längsabschnitte so gewählt, dass auf jedem Längsabschnitt eine ganzzahlige Anzahl Umschlingungen für eine bestimmte Folienbahnbreite Platz findet. Auch die beidseitigen Endabschnitte 11 und 12 können zwecks geeigneter Gestaltung der Ein- und Auslaufzonen der Folienbahn FB als lösbare Abschnitte ausgebildet sein. Bei diesen Bemessungen des Beschichtungszylinders 10 kann die Folienbahn FB eine Breite bis 150 cm aufweisen. Meist liegen die Breiten der Folienbahn FB jedoch im Bereich zwischen 30 cm und 50 cm. Konkret könnte ein Beschichtungszylinder von 480 cm Länge und mit einem Durchmesser von 50 cm mit einer 45 cm breiten Folienbahn 9 mal komplett umschlungen sein, d.h. mit einem Gesamtumschlingungswinkel von 3240°. Die gesamte Vorrichtung kann für eine Bahngeschwindigkeit der Folienbahn FB bis zu 120 m/min ausgebildet sein. Für einen ALD-Prozess der erwähnten Art sind Bahngeschwindigkeiten im Bereich 20 m/min bis 80 m/min geeignet. The coating cylinder 10 is significantly longer than its diameter, for example 3 times to 20 times, in particular 5 times to 14 times. In absolute terms, its diameter may be 20 cm to 200 cm, in particular 40 cm to 100 cm, and its length in particular 3 m to 6 m. To achieve this length, the coating cylinder 10 may be composed of a plurality of longitudinal sections. Preferably, the length of the individual longitudinal sections is selected such that on each longitudinal section an integer number of wraps for a certain film web width finds room. The two-sided end portions 11 and 12 may be formed as detachable sections for the purpose of suitable design of the inlet and outlet zones of the film web FB. In these dimensions of the coating cylinder 10, the film web FB may have a width up to 150 cm. However, most of the widths of the film web FB are in the range between 30 cm and 50 cm. Concretely, a coating cylinder of 480 cm length and 50 cm diameter could be completely wrapped 9 times with a 45 cm wide film web, i. with a total wrap angle of 3240 °. The entire device can be designed for a web speed of the film web FB up to 120 m / min. For an ALD process of the type mentioned, web speeds in the range of 20 m / min to 80 m / min are suitable.

[0057] Wie in Fig. 1 dargestellt, weisen die Umlenkzylinder 21 und 22 einen gegenüber dem Beschichtungszylinder 10 vergleichsweise kleinen Durchmesser auf, wodurch die Folienbahn FB je nach ihrer Eigensteifigkeit zwischen dem Beschichtungszylinder 10 und den Umlenkwalzen 21 oder 22 etwas gekrümmt verlaufen kann. Ein dadurch verursachter, unerwünschter Kontakt der Folienbahn mit dem Beschichtungszylinder 10 kann jedoch durch das robuste Gaskissen auf dem Beschichtungszylinder 10 und/oder durch eine geeignet grosse Bemessung des Abstands zwischen dem Beschichtungszylinder 10 und den Umlenkwalzen 21 oder 22 vermieden werden. Im Gegensatz zu der in WO 2014/123 415 A1 vorgestellten Anordnung der Umlenkwalzen führt hier eine Vergrösserung des Abstands zwischen dem Beschichtungszylinder 10 und den Umlenkwalzen 21 und 22 nicht zu einer kleineren Umschlingung. As shown in Fig. 1, the deflection cylinders 21 and 22 have a comparison with the coating cylinder 10 comparatively small diameter, whereby the film web FB depending on their inherent stiffness between the coating cylinder 10 and the guide rollers 21 or 22 may be slightly curved. However, an undesirable contact of the film web with the coating cylinder 10 caused thereby can be avoided by the robust gas cushion on the coating cylinder 10 and / or by a suitably large dimensioning of the distance between the coating cylinder 10 and the deflection rollers 21 or 22. In contrast to the arrangement of the deflection rollers presented in WO 2014/123 415 A1, here an enlargement of the distance between the coating cylinder 10 and the deflection rollers 21 and 22 does not lead to a smaller looping.

[0058] Bei der Vorrichtung von Fig. 1 könnten auch mehrere Beschichtungszylinder vorgesehen sein, denen die Folienbahn FB nacheinander oder zumindest teilweise alternativ zuführbar ist. Durch das Hintereinanderschalten von zwei Beschichtungszylindern könnte insbesondere die für eine voll ausgebildete Barriereschicht für OLEDs erforderliche Dicke in nur einem Durchlauf der Folienbahn FB erreicht werden. Da hierbei üblicherweise zwischen den auf den beiden Beschichtungszylindern abgeschiedenen Teilbarrieren eine sogenannte Planarisierungsschicht als Flüssigbeschichtung aufgebracht wird, müssten zwischen den beiden Beschichtungszylindern zusätzliche Aggregate zum Aufbringen dieser Planarisierungsschicht beispielsweise entsprechend den Aggregaten 33 und 34 vorgesehen sein. In the apparatus of Fig. 1, a plurality of coating cylinder could be provided, which the film web FB successively or at least partially can be fed alternatively. By connecting two coating cylinders in series, in particular, the thickness required for a fully formed barrier layer for OLEDs could be achieved in only one pass of the film web FB. Since a so-called planarization layer is usually applied as a liquid coating between the partial barriers deposited on the two coating cylinders, additional units for applying this planarization layer would have to be provided between the two coating cylinders, for example according to the units 33 and 34.

[0059] Die Vorrichtung von Fig. 1 wird vorzugsweise in einem Reinraum aufgestellt und betrieben. The device of Fig. 1 is preferably set up and operated in a clean room.

[0060] Die Fig. 2a – 2e zeigen Strukturen der Oberfläche von Beschichtungszylindern wie des Beschichtungszylinders 10 von Fig. 1 mit verschiedenen Geometrien von Zuführungs- und Ableitungsbereichen für Reaktions- und Spülgas. Die an sich gekrümmte Oberfläche ist in die Zeichenebene abgewickelt. Die Länge der Beschichtungszylinder ist verkürzt. Auch ist die Breite der Zuführungs- und Ableitungsbereiche in Umfangsrichtung gedehnt. Dadurch sind von den tatsächlich vorhandenen jeweils nur wenige Zuführungs- und Ableitungsbereiche dargestellt. Lage und Verlauf der Windungen der Folienbahn FB sind durch darüber gelegte Trapeze angedeutet, wobei von den beispielsweise neun tatsächlich vorhandenen Windungen jeweils nur drei dargestellt sind. Die in den Fig. 2a – 2e dargestellten Strukturen sind insbesondere für den erwähnten ALD-Prozess zur Barrierenherstellung mit TMA als erstem Prekursorgas, Wasserdampf als zweitem Prekursorgas und Stickstoff als Spülgas geeignet. Die Zuführungsbereiche für TMA sind nach rechts und diejenigen für Wasserdampf nach links schraffiert. Die Zuführungsbereiche für Stickstoff sind mit einem zweidimensionalen Punktmuster versehen. Die Ableitungsbereiche sind durch Punktreihen markiert entsprechend darin vorhandener Abflussöffnungen. Die Zuführungsbereiche für Prekursorgas wechseln sich jeweils mit Zuführungsbereichen für Spülgas ab. Die in Folienlaufrichtung dargestellten Bereiche TMA, N2, H2O, N2bilden bei dem betrachteten ALD-Prozess eine Gruppe zur Abscheidung einer Atomlage. Figures 2a-2e show surface structures of coating cylinders such as the coating cylinder 10 of Figure 1 having different geometries of feed and discharge regions for reaction and purge gas. The intrinsically curved surface is unwound in the plane of the drawing. The length of the coating cylinder is shortened. Also, the width of the supply and discharge areas is stretched in the circumferential direction. As a result, only a few supply and discharge areas are represented by the actually existing ones. The position and course of the turns of the film web FB are indicated by overlying trapezoids, of which, for example, nine actually existing turns only three are shown. The structures shown in FIGS. 2a-2e are particularly suitable for the aforementioned ALD process for barrier production with TMA as the first precursor gas, water vapor as the second precursor gas and nitrogen as purge gas. The feed areas for TMA are hatched to the right and those for water vapor to the left. The nitrogen supply regions are provided with a two-dimensional dot pattern. The drainage areas are marked by rows of dots corresponding to existing drainage holes. The supply areas for precursor gas alternate with supply areas for purge gas. The regions TMA, N2, H2O, N2 shown in the film running direction form a group for depositing an atomic layer in the considered ALD process.

[0061] Fig. 3 zeigt einen möglichen Aufbau eines Beschichtungszylinders 10 mit einer Oberflächenstruktur gemäss Fig. 2a im Querschnitt (l–l). Auch hier ist die Breite der Zuführungs- und Ableitungsbereiche in Umfangsrichtung wieder gedehnt, so dass deutlich weniger als bevorzugt vorhandene Zuführungs- und Ableitungsbereiche über den Umfang verteilt dargestellt sind. Wie in Fig. 2 sind die Zuführungsbereiche für TMA nach rechts und diejenigen für Wasserdampf nach links schraffiert. Die Zuführungsbereiche für Stickstoff sind mit einem zweidimensionalen Punktmuster versehen. Der Beschichtungszylinder weist ein Rohr 10.1 als tragende Grundstruktur auf. In dem mit 13 bezeichneten Zuführungsbereich ist eine von dem Rohr 10.1 getragene Oberflächenschicht 13.1 des Beschichtungszylinders 10 offenporig porös ausgeführt und erstreckt sich in Umfangsrichtung zwischen zwei Ableitungsbereichen 15. Gespeist wird der Zuführungsbereich 13 von einem sich entlang der Innenwand des Rohres 10.1 in Axialrichtung ersteckenden Zuführungskanal 14.1. Dieser steht in Radialrichtung durch die Rohrwandung hindurch über vorzugsweise mehrere, in Axialrichtung verteilt angeordnete Verbindungen 14.2 mit einer sich ebenfalls in Axialrichtung erstreckenden Verteilungsnut 14.3 auf der Rohraussenseite unterhalb der porösen Oberflächenschicht 13.1 in Verbindung. Die Nut 14.3 gewährleistet die Verteilung des zugeführten Gases in Axialrichtung unterhalb und in der porösen Oberflächenschicht allenfalls auch ohne die Verbindungen 14.1 und 14.2. Die Dicke der Oberflächenschicht 13.1 kann 0.5 mm–5 mm betragen und die Gas-Durchlässigkeit je cm<2>Mantelfläche beispielsweise bei 0,2 bar–2 bar im Bereich von 1 mL min<–><1>–100 mL min<–><1>liegen. Ein geeignet poröses Material lässt sich durch Sintern erzeugen. Die Ableitungsbereiche 15 sind gegenüber den Zuführungsbereichen 13 etwas vertieft in Form von Gräben ausgebildet und stehen über eine Sammelnut 16.3 sowie vorzugsweise ebenfalls mehreren, in Axialrichtung verteilt angeordneten Verbindungen 16.2 mit Ableitungskanälen 16.1 in Verbindung, welche die kompatiblen Abgase gebündelt aus dem Zylinder der Entsorgung zuleiten. H2O und TMA beispielsweise sind zusammen hochreaktiv und müssen trotz Verdünnung in N2getrennt abgeführt werden. Entsprechend sind in Fig. 3 mehrere Ableitungskanäle 16.1 vorhanden. Fig. 3 shows a possible structure of a coating cylinder 10 having a surface structure according to Fig. 2a in cross section (l-l). Again, the width of the supply and discharge areas in the circumferential direction is stretched again, so that significantly less than preferred existing supply and discharge areas are shown distributed over the circumference. As in Figure 2, the feed areas for TMA are hatched to the right and those for water vapor to the left. The nitrogen supply regions are provided with a two-dimensional dot pattern. The coating cylinder has a tube 10.1 as a supporting basic structure. In the feed region denoted by 13, a surface layer 13.1 of the coating cylinder 10 carried by the tube 10.1 is open porous and extends in the circumferential direction between two discharge regions 15. The feed region 13 is fed by a feed channel 14.1 extending axially along the inner wall of the tube 10.1 , This is in the radial direction through the tube wall through preferably a plurality of distributed axially distributed connections 14.2 with a likewise extending in the axial direction distribution groove 14.3 on the outside of the tube below the porous surface layer 13.1 in conjunction. The groove 14.3 ensures the distribution of the gas supplied in the axial direction below and in the porous surface layer possibly even without the compounds 14.1 and 14.2. The thickness of the surface layer 13.1 may be 0.5 mm-5 mm, and the gas permeability per cm 2 of the lateral surface may be, for example, 0.2 bar-2 bar in the range of 1 mL min <-> <1> -100 mL min <- > <1> are. A suitably porous material can be produced by sintering. The discharge regions 15 are formed somewhat deeper in the form of trenches relative to the feed regions 13 and are connected via a collection groove 16.3 and preferably likewise a plurality of connections 16.2 distributed in the axial direction to discharge channels 16.1 which bundle the compatible exhaust gases out of the cylinder for disposal. For example, H2O and TMA are highly reactive together and must be removed separately in dilution in N2. Accordingly, a plurality of discharge channels 16.1 are present in FIG.

[0062] Bevorzugt sind alle Zuführungs- und Ableitungsbereiche wie die vorstehend beschrie-benen-13 und 15 ausgebildet. Zumindest hinsichtlich eines der Zuführungsbereiche kann es jedoch günstiger sein, nicht den gesamten Bereich zwischen zwei Ableitungsbereichen 15 porös auszubilden, so wie dies bei dem Zuführungsbereich 17 dargestellt ist. Hier ist die poröse Oberflächenschicht 17.1 schmaler ausgebildet. Zumindest ein Zuführungsbereich könnte auch nur mit einem Schlitz 18.1 ausgeführt sein, zum Beispiel für MLD-Prekursoren mit niederem Dampfdruck, so wie dies bei dem Zuführungsbereich 18 dargestellt ist. Preferably, all of the supply and discharge regions are formed as described above-13 and 15. However, at least with respect to one of the feed areas, it may be more convenient not to make the entire area between two drainage areas 15 porous, as shown in the feed area 17. Here, the porous surface layer 17.1 is narrower. At least one feed area could also be implemented with only one slot 18.1, for example, for low vapor pressure MLD precursors, as shown in the feed area 18.

[0063] Die im Innern des Beschichtungszylinders 10 verlaufenden Kanäle 14.1 und 16.1 können über wenigstens eine seiner Stirnseiten nach aussen geführt sein. Durch geeignetes zusammenfassen lässt sich ihre Anzahl im Beschichtungszylinder 10 und damit die Anzahl von Anschlüssen am Beschichtungszylinder gegebenenfalls reduzieren. Je differenzierter diese Kanäle jedoch ausgeführt sind, umso individueller lässt sich der Beschichtungszylinder 10 mit gegebenenfalls unterschiedliche Gasen und für unterschiedliche Beschichtungsaufgaben einsetzen. Eine besonders einfache Ausführung ergibt sich, wenn die Gase an einer oder beiden Stirnseiten des Beschichtungszylinders direkt in die Verteilungsnuten 14.3 eingespeist und/oder über die Sammelnuten 16.3 abgeführt werden können. In diesem Fall kann auf Kanäle und Verbindungen nach der Art 14.1, 14.2 beziehungsweise 16.116.2 gegebenenfalls überhaupt verzichtet werden. The running in the interior of the coating cylinder 10 channels 14.1 and 16.1 may be performed over at least one of its end faces to the outside. By appropriately summarizing their number in the coating cylinder 10 and thus the number of terminals on the coating cylinder can optionally reduce. The more differentiated these channels are, however, the more individually the coating cylinder 10 can be used with optionally different gases and for different coating tasks. A particularly simple embodiment results if the gases can be fed directly into the distribution grooves 14.3 on one or both end faces of the coating cylinder and / or can be removed via the collection grooves 16.3. In this case, channels and connections according to the type 14.1, 14.2 or 16.116.2 may possibly be dispensed with altogether.

[0064] In den Zuführungsbereichen 13, 17 wird das Gas unter Überdruck gegenüber Umgebungsdruck zugeführt zur Überwindung des durch die porösen Oberflächenschichten verursachten Staudruckes, wodurch sich unter der Folienbahn FB ein Gaskissen ausbildet, das sie auf Abstand von der Oberfläche des Beschichtungszylinders 10 hält. Für den betrachteten ALD-Prozess ist es günstig, wenn dieser Abstand möglichst gering, insbesondere kleiner als 100 µm ist. Wegen der porösen Ausbildung der Oberflächenschicht 13.1, 17.1 tritt das Gas gleichmässig verteilt in den Zuführungsbereichen 13, 17 aus, was die Ausbildung eines stabilen und gut tragfähigen Gaskissens mit der gewünscht geringen Dicke wesentlich begünstigt. Der erforderliche Überdruck ist abhängig von der offenen, das heisst der durchflusswirksamen oder sogenannten effektiven Porosität der Gaszuführungsbereiche, der Bahnspannung der Folienbahn FB und von allfälligen Erschwernissen wie beispielsweise einer sich überlappenden Folienbahn FB. Damit das zugeführte Gas zu den Ableitungsbereichen 15 fliesst, braucht es in Richtung auf diese hin einen Druckabfall. Um die Folienbahn FB jedoch auch dort auf Abstand von der Oberfläche des Beschichtungszylinders 10 zu halten, kann ein leichter Überdruck gegenüber Umgebungsdruck eingestellt werden. In the supply regions 13, 17, the gas is supplied under pressure to ambient pressure to overcome the dynamic pressure caused by the porous surface layers, which forms a gas cushion under the film web FB, which keeps them at a distance from the surface of the coating cylinder 10. For the considered ALD process, it is favorable if this distance is as small as possible, in particular smaller than 100 μm. Because of the porous formation of the surface layer 13.1, 17.1, the gas exits evenly distributed in the feed areas 13, 17, which favors the formation of a stable and well-sustainable gas cushion with the desired small thickness substantially. The required overpressure is dependent on the open, that is, the flow-effective or so-called effective porosity of the gas supply regions, the web tension of the film web FB and any difficulties such as an overlapping film web FB. In order for the supplied gas to flow to the discharge areas 15, a pressure drop is required in the direction of this. However, in order to keep the film web FB there at a distance from the surface of the coating cylinder 10, a slight overpressure relative to ambient pressure can be set.

[0065] Die Ausdehnung der Zuführungsbereiche 13 in Laufrichtung der Folienbahn oder in Umfangsrichtung des Beschichtungszylinders kann beispielsweise 5 mm bis 30 mm, insbesondere 8 mm bis 12 mm, betragen. Demgegenüber kann die Ausdehnung der Ableitungsbereiche 15 in diesen Richtungen wesentlich geringer sein und beispielsweise lediglich 0.5 mm bis 2 mm, insbesondere 0.8 mm bis 1.1 mm, betragen. The extent of the feed regions 13 in the direction of travel of the film web or in the circumferential direction of the coating cylinder may be, for example, 5 mm to 30 mm, in particular 8 mm to 12 mm. In contrast, the extent of the discharge regions 15 in these directions can be substantially lower and, for example, only 0.5 mm to 2 mm, in particular 0.8 mm to 1.1 mm, amount.

[0066] Mit diesen und den bereits erwähnten Bemessungen des Beschichtungszylinders 10 können beispielsweise 30 Gruppen der vorgenannten Art auf dem Umfang des Beschichtungszylinders 10 angeordnet sein. Bei 9 vollen Windungen passiert die Folienbahn FB bei ihrem Umlauf um Beschichtungszylinder 10 in diesem Fall 270 Gruppen, was entsprechend vielen Beschichtungszyklen beziehungsweise abgeschiedenen Atomlagen entspricht. Wie eingangs erwähnt, können für OLEDs zwei anorganische Barriereschichten von je bis zu 400 Beschichtungszyklen vorgesehen sein. Mit einer erfindungsgemässen Vorrichtung gemäss Fig. 1 lässt sich diese Anzahl in zwei Durchläufen der Folienbahn FB oder, mit Umkehr ihrer Laufrichtung, sogar ohne Rollenwechsel in einem Vor- und einem Rücklauf erreichen. Wie erwähnt könnte die Vorrichtung auch mit mehreren Beschichtungszylindern 10 in Serie zur Erzielung der erforderlichen Anzahl Beschichtungszyklen in nur einem Durchlauf der Folienbahn FB ausgerüstet sein. With these and the already mentioned dimensions of the coating cylinder 10, for example, 30 groups of the aforementioned type can be arranged on the circumference of the coating cylinder 10. In 9 full turns, the film web FB passes in this case 270 groups as it revolves around coating cylinder 10, corresponding to many coating cycles or deposited atomic layers. As mentioned above, two inorganic barrier layers of up to 400 coating cycles each can be provided for OLEDs. With a device according to the invention according to FIG. 1, this number can be achieved in two passes of the film web FB or, with reversal of its running direction, even without roll change in a forward and a return. As mentioned, the apparatus could also be equipped with several coating cylinders 10 in series to achieve the required number of coating cycles in a single pass of the film web FB.

[0067] Die Zuführungs- 13, 17, 18 und Ableitungsbereiche 15 brauchen in Folienlaufrichtung oder in Umfangsrichtung des Beschichtungszylinders 10 nicht einheitlich gleich breit und auch nicht gleichmässig verteilt angeordnet zu sein. Insbesondere könnten die Zuführungsbereiche 13 für Spülgas in Umfangsrichtung breiter als diejenigen für Pre-kursorgase sein. Es könnte auch vorgesehen sein, die einzelnen Zuführungsbereiche 13, 17, 18 wahlweise an unterschiedliche Gasquellen anschliessbar auszubilden. Dabei könnten beispielsweise zwei benachbarte Zuführungsbereiche jeweils mit Spülgas beschickt und dadurch die wirksame Ausdehnung der Zuführungsbereiche für Spülgas in Folienlaufrichtung bei Bedarf verdoppelt werden. Oder es könnte die Anzahl Gruppen auf dem Beschichtungszylinder 10 variiert werden. Der Beschichtungszylinder 10 könnte dabei auch im Rahmen anderer ALD- oder MLD-Prozesse verwendet werden, für die eine andere Abfolge von Prekursor- und Spülgas erforderlich ist. The supply 13, 17, 18 and discharge areas 15 need not be uniformly wide and not uniformly distributed in the film running direction or in the circumferential direction of the coating cylinder 10. In particular, the purge gas supply regions 13 could be wider in the circumferential direction than those for precursor gases. It could also be provided that the individual feed regions 13, 17, 18 can optionally be connected to different gas sources. In this case, for example, two adjacent feed regions could each be charged with purge gas, thereby doubling the effective extent of the feed regions for purge gas in the direction of film travel, if required. Or the number of groups on the coating cylinder 10 could be varied. The coating cylinder 10 could also be used in the context of other ALD or MLD processes, for which a different sequence of precursor and purge gas is required.

[0068] In allen Fig. 2a ) bis 2e ) verlaufen die Windungen der Folienbahn FB auf dem Beschichtungszylinder 10 ohne gegenseitige Überlappung, so dass zwischen benachbarten Windungen ein Spalt verbleibt. Bei der Ausführungsform von Fig. 2a erstrecken sich die Zuführungs- und Ableitungsbereiche jeweils durchgängig in Axialrichtung über die Länge des Beschichtungszylinders 10, jedenfalls etwa soweit wie dieser von der Folienbahn FB bedeckt wird. Sie kreuzen somit auch den Spalt zwischen benachbarten Windungen. Als Mittel zur Verhinderung oder zumindest Verminderung eines Gasaustritts aus dem Spalt ist in Fig. 2b ) eine mit der Folienbahn FB auf dem Beschichtungszylinder 10 mitlaufende Abdeckung AD vorhanden. Dabei ist die Abdeckung AD mittig zum Spalt angeordnet und überdeckt benachbarte Windungen der Folienbahn FB jeweils gleich breit. Meist wird es jedoch genügen und vorteilhafter sein, wenn die Abdeckung AD unsymmetrisch zum Spalt angeordnet, mit der Folienbahn FB klebend verbunden und gegenüber dieser seitlich nur leicht um wenige Zentimeter versetzt angeordnet ist. In all of FIGS. 2a) to 2e), the turns of the film web FB run on the coating cylinder 10 without mutual overlap, so that a gap remains between adjacent turns. In the embodiment of Fig. 2a, the supply and discharge areas each extend continuously in the axial direction over the length of the coating cylinder 10, at least as far as it is covered by the film web FB. They also cross the gap between adjacent turns. As a means for preventing or at least reducing a gas outlet from the gap in Fig. 2b) with the film web FB on the coating cylinder 10 follower cover AD is present. In this case, the cover AD is arranged centrally to the gap and covers adjacent turns of the film web FB in each case the same width. In most cases, however, it will suffice and be more advantageous if the cover AD is arranged asymmetrically with respect to the gap, adhesively bonded to the film web FB, and offset laterally only slightly by a few centimeters.

[0069] Möglich wäre es, die Abdeckung AD von einer separaten Rolle abzurollen, vor dem Beschichtungszylinder 10 mit der Folienbahn FB zusammenzuführen und nach dem Umlauf um den Beschichtungszylinder 10 unter Lösen der Klebeverbindung von der Folienbahn FB wegzuführen und wieder aufzurollen. Im Hinblick auf die auf dem Beschichtungszylinder 10 aufgebrachte Beschichtung, die wie bereits erwähnt sehr empfindlich sein kann, ist es jedoch bevorzugt, die Abdeckung AD zumindest auf der Folienbahn FB zu belassen und zusammen mit dieser auf der Rolle R2 aufzurollen. Die Abdeckung AD könnte aber auch schon auf der Rolle R1 vorhanden sein und während des gesamten Prozesses eine Einheit in Form eines Laminats mit der Folienbahn bilden. It would be possible to unroll the cover AD from a separate roll, merge before the coating cylinder 10 with the film web FB and lead away after the circulation of the coating cylinder 10 under release of the adhesive bond of the film web FB and rewind. However, in view of the coating applied to the coating cylinder 10 which, as already mentioned, may be very sensitive, it is preferable to leave the cover AD at least on the film web FB and to roll it up on the roll R2 together with it. The cover AD could also already be present on the roll R1 and form a unit in the form of a laminate with the film web during the entire process.

[0070] Fig. 4 zeigt eine Rolle R2 entsprechend der Rolle R2 von Fig. 1 auf welcher die Folienbahn FB zusammen mit der Abdeckung AD aufgerollt ist. Die Abdeckung AD weist auf einer Hilfsträgerbahn HB vorderseitig eine erste Klebschicht K1 und rückseitig eine zweite Klebschicht K2 auf. Die erste Klebschicht K1 ist mit der auf dem Beschichtungszylinder 10 äusseren Seite der Folienbahn FB ablösbar in Kontakt. Die zweite Klebschicht K2 ist mit der auf dem Beschichtungszylinder 10 inneren Seite der Folienbahn FB beziehungsweise mit einer auf dieser vorhandenen Beschichtung B ebenfalls ablösbar in Kontakt. Zur Polsterung der Beschichtung B weist die zweite Klebschicht K2 eine vorzugsweise mindestens 1.5-fach geringere Härte als die Folienbahn FB auf. Bei der Folienbahn FB kann es sich, insbesondere wenn sie als OLED-Träger dienen soll, um eine Polyesterfolie, eine Polyethylennaphthalatfolie oder eine Polycarbonatfolie mit einer Dicke von 50 µm–200 µm handeln. Fig. 4 shows a roller R2 corresponding to the roller R2 of Fig. 1 on which the film web FB is rolled up together with the cover AD. The cover AD has a first adhesive layer K1 on an auxiliary carrier web HB on the front side and a second adhesive layer K2 on the back side. The first adhesive layer K1 is removably in contact with the outside of the film web FB on the coating cylinder 10. The second adhesive layer K2 is likewise releasably in contact with the inner side of the film web FB on the coating cylinder 10 or with a coating B present thereon. To cushion the coating B, the second adhesive layer K2 has a preferably at least 1.5 times lower hardness than the film web FB. The film web FB can, in particular if it is to serve as an OLED support, be a polyester film, a polyethylene naphthalate film or a polycarbonate film with a thickness of 50 μm-200 μm.

[0071] Auf dem Beschichtungszylinder 10 muss die Abdeckung AD zur Überdeckung des Spaltes gegenüber der Folienbahn seitlich versetzt sein. Auf den Rollen R1 oder R2 kann das ebenfalls so der Fall sein. Möglich wäre aber auch eine Randbündigkeit der beiden Lagen auf einer oder beiden Rollen R1, R2, in welchem Fall es erforderlich wäre, die Folienbahn FB und die Abdeckung AD vor und/oder hinter dem Beschichtungszylinder 10 seitlich gegeneinander zu versetzen. Da hierbei allfällig Klebeverbindungen zwischen den beiden Lagen gelöst und wieder hergestellt werden müssen, wären die entsprechenden Klebeschichten als repositionierbare Haftkleber auszuführen. On the coating cylinder 10, the cover AD must be laterally offset from the film web to cover the gap. This may also be the case on reels R1 or R2. However, it would also be possible for the two layers to be flush on one or both rollers R1, R2, in which case it would be necessary to laterally offset the film web FB and the cover AD from one another and / or behind the coating cylinder 10. Since in this case any adhesive bonds between the two layers must be loosened and restored, the corresponding adhesive layers should be designed as repositionable pressure-sensitive adhesive.

[0072] Für eine spätere Weiterverarbeitung der beschichteten Folienbahn beispielweise zu OLEDs sind die beiden nicht-permanent haftenden Klebschichten K1, K2 ebenfalls von Vorteil. Bei dieser Anwendung werden Zuschnitte der Folienbahn FB auf einer Glasplatte als temporärem Träger mittels der beidseitig klebenden Abdeckung AD aufgeklebt. Nach dem Aufbau der OLED-Schichten werden die Zuschnitte der Folienbahn von der Glasplatte abgelöst, wobei die Abdeckung AB jeweils auf der Glasplatte zurückbleibt, weil übliche Haftkleber wie die bevorzugt für die Klebschichten K1, K2 verwendeten an Glas stärker haften als an Folienmaterial, insbesondere wenn es sich dabei um Polyester handelt. Schliesslich wird auch die Abdeckung von der Glasplatte abgelöst, so dass die Glasplatte erneut verwendet werden kann. Damit sich die Abdeckung als Ganzes in einem Stück ablösen lässt, braucht es eine gewisse Reisfestigkeit. Diese sollte bei circa 35 µm Dicke, bezogen auf eine Streifenbreite von 50 mm, mindestens 20 N betragen. Falls es sich bei der Abdeckung AB um eine Hotmelt-Mischung handelt, welche bei Raumtemperatur nicht ausreichend klebrig ist, kann diese unter Wärmezufuhr auf die Glasplatte laminiert werden. For a subsequent further processing of the coated film web, for example to OLEDs, the two non-permanently adhering adhesive layers K1, K2 are also advantageous. In this application, blanks of the film web FB are glued on a glass plate as a temporary carrier by means of the cover AD adhering to both sides. After the structure of the OLED layers, the blanks of the film web are detached from the glass plate, wherein the cover AB remains on the glass plate, because conventional pressure-sensitive adhesives such as those preferably used for the adhesive layers K1, K2 adhere more strongly to glass than to film material, especially if it is polyester. Finally, the cover is removed from the glass plate, so that the glass plate can be used again. So that the cover as a whole can be detached in one piece, it needs a certain amount of rice. This should amount to at least 20 N at a thickness of approximately 35 μm, based on a strip width of 50 mm. If the cover AB is a mixture of hotmelt which is not sufficiently tacky at room temperature, it can be laminated to the glass plate while applying heat.

[0073] Bevorzugt erfolgt die Verhinderung oder zumindest Verminderung eines Gasaustritts aus dem Spalt zwischen den Windungen in die Umgebung mittels einer Abdeckung AD, die mit vergleichbar grosser Fläche wie die Folienbahn FB inline während des Durchlaufs der Folienbahn FB durch die erfindungsgemässe Vorrichtung aus einer flüssigen, vernetzbaren Harzmasse erzeugt wird. Wie bereits erwähnt, zeigt Fig. 1 hierzu geeignete Mittel 35-39 angeordnet zwischen den Einheiten 32 und 33. Diese Mittel umfassen eine rotierende Beschichtungswalze 35, auf welche das Material für die Abdeckung AD aus einer Düse 36 gegossen/extrudiert wird. Sofern sich die Walze 35 gut benetzen lässt, kann das flüssige Material auch beispielsweise mit einer Rakel auf sie aufgebracht werden. Noch auf der Beschichtungswalze 35 wird die Masse mit UV-Licht aus UV-Strahlern 37 vernetzt, so dass eine selbsttragende Bahn entsteht. Diese wird mit einer weiteren Walze 38 mit der Folienbahn FB zusammengeführt. Zuvor kann sie mit Schneidmitteln 39 randseitig noch geeignet beschnitten und begradigt werden. Da Sauerstoff für die Vernetzung nachteilig ist, kann die Bestrahlung in einer Kammer unter einem Inertgas wie beispielsweise Stickstoff ausgeführt werden. Bei dem Material für die Abdeckung AD kann es sich auch um eine thermoplastisch verformbare sogenannte Hotmelt-Mischung handeln, welche nach dem Auftragen keiner Vernetzung bedarf. In diesem Fall können die UV-Strahler 37 wegfallen, dafür würde die Walze 35 als Kühlwalze ausgeführt Preference is given to preventing or at least reducing a gas outlet from the gap between the turns in the environment by means of a cover AD, which with a comparatively large area as the film web FB inline during the passage of the film web FB by the inventive device from a liquid, crosslinkable resin composition is produced. As already mentioned, FIG. 1 shows suitable means 35-39 arranged between the units 32 and 33 for this purpose. These means comprise a rotating coating roller 35 on which the material for the cover AD is poured / extruded from a nozzle 36. If the roller 35 can be wetted well, the liquid material can also be applied to it, for example with a doctor blade. Still on the coating roller 35, the mass is crosslinked with UV light from UV lamps 37, so that a self-supporting web is formed. This is combined with a further roller 38 with the film web FB. Previously, it can still be trimmed and straightened with cutting means 39 at the edge. Since oxygen is detrimental to crosslinking, irradiation in a chamber may be carried out under an inert gas such as nitrogen. The material for the cover AD may also be a thermoplastically deformable so-called hot melt mixture, which does not require any crosslinking after application. In this case, the UV lamps 37 may be omitted, but the roller 35 would be designed as a cooling roller

[0074] Sofern die Folienbahn FB zusammen mit der Abdeckung AD wie vorbeschrieben zur Weiterverarbeitung zu OLEDs unter Hochvakuum vorgesehen ist, sollte die inline hergestellte Abdeckung AD möglichst wenig ausgasen. Diese Anforderung ist durch den Einsatz einer vernetzbaren Harzmasse anstatt eines lösemittelbasierten Systems weitgehend erfüllbar. Zudem sollte die Harzmasse zur UV-Licht Vernetzung möglichst wenig sogenannte Fotoinitiatoren enthalten, da auch diese zur Ausgasung beitragen. Durch Ausführen der Vernetzung unter Inertgas kann die Konzentration an Fotoinitiatoren erheblich reduziert werden, da die Behinderung der Vernetzung durch die sogenannte Sauerstoff-Inhibierung entfällt. Zudem kann durch Verwendung spezieller UV-C-Strahler weitgehend oder gar ganz auf Fotoinitiatoren verzichtet werden. Dabei wird kurzwellige UV-Strahlung unterhalb von circa 230 nm Wellenlänge zur direkten Bildung von Radikalen an den Kohlenstoff-Kohlenstoff-Doppelbindungen der vernetzbaren Acrylat-Gruppen genutzt. Als UV-C-Strahler können entsprechend optimierte Mitteldruck-Quecksilberdampflampen und/oder Excimer-Laser eingesetzt werden. Zur fotoinitiator-freien Vernetzung könnten auch Elektronenstrahler (electron beam, EB) eingesetzt werden. Ferner kann die Anordnung der Mittel zur Erzeugung der Abdeckung AD inline in der Vorrichtung von Fig. 1 in Laufrichtung der Folienbahn FB vor der Trocknungsstrecke 34 zusätzlich dazu beitragen, allfällige Ausgasungen aus der Abdeckung in der Trocknungsstrecke 34 noch zu entfernen. If the film web FB is provided together with the cover AD as described above for further processing to OLEDs under high vacuum, the in-line cover AD should outgas as little as possible. This requirement is largely met by the use of a crosslinkable resin composition rather than a solvent-based system. In addition, the resin composition for UV light crosslinking should contain as few as possible photoinitiators, since these also contribute to outgassing. By carrying out the crosslinking under inert gas, the concentration of photoinitiators can be considerably reduced, since the obstruction of the crosslinking by the so-called oxygen inhibition is eliminated. In addition, by using special UV-C emitters, photoinitiators can be dispensed with to a large extent or even completely. In this case, short-wave UV radiation is used below about 230 nm wavelength for the direct formation of radicals on the carbon-carbon double bonds of the crosslinkable acrylate groups. As a UV-C emitter appropriately optimized medium-pressure mercury vapor lamps and / or excimer laser can be used. For photoinitiator-free crosslinking electron beam (electron beam, EB) could be used. Furthermore, the arrangement of the means for producing the cover AD inline in the device of FIG. 1 in the direction of the film web FB before the drying section 34 can additionally contribute to removing any outgassing from the cover in the drying section 34.

[0075] Eine Differenzierung hinsichtlich der Eigenschaften «reissfest» in einer Schicht und «klebrig» an den Oberflächen wie bei der Abdeckung von Fig. 4 lässt sich auch bei der inline-Herstellung der Abdeckung AD durch Aufbringen zweier oder mehrerer unterschiedliche Harzmassen mittels einer Mehrfachdüse wie z.B. einer sogenannten Kaskadendüse auf die Beschichtungswalze 35 erzielen. Bei der Verwendung mehrerer unterschiedlicher Harzmassen kann eine Schicht auch gezielt für die gewünschte stärkere Haftung zur Glasplatte als zur Folienbahn FB, wie oben beschrieben, vorgesehen sein. Zusätzlich können dabei unterschiedliche UV-Strahler eingesetzt werden, wobei durch eine erste Bestrahlung die Oberfläche relativ weich und klebrig belassen wird, während mit einem anderen Strahlertyp spezifisch eine Fotoinitiator enthaltende Schicht weiter vernetzt und gehärtet wird. So kann beispielsweise eine auf eine hohe UV-C-Intensität hin optimierte Mitteldruck-Quecksilberdampflampe zur Vernetzung der Oberfläche, und ein UV-LED-Strahler zur Vernetzung der Kernschicht eingesetzt werden. A differentiation in terms of the properties "tear-resistant" in one layer and "sticky" on the surfaces as in the cover of Fig. 4 can also be in the in-line production of the cover AD by applying two or more different resin compositions by means of a multi-nozzle such as achieve a so-called cascade nozzle on the coating roller 35. When using a plurality of different resin compositions, a layer can also be provided specifically for the desired greater adhesion to the glass plate than to the film web FB, as described above. In addition, it is possible to use different UV radiators, wherein the surface is left relatively soft and sticky by a first irradiation, while with another radiator type, a layer containing a photoinitiator is further crosslinked and hardened. Thus, for example, an optimized for a high UV-C intensity medium-pressure mercury vapor lamp for crosslinking of the surface, and a UV LED spotlight for crosslinking of the core layer can be used.

[0076] Für die vorliegende betrachtete Anwendung ist es jedoch nicht erforderlich, die Eigenschaften «reissfest» und «klebrig» unterschiedlichen, diskreten Schichten zuzuordnen. Sofern das die Klebrigkeit vermittelnde Material selbst «filmartig» und ausreichend selbsttragend ist, kann es gegebenenfalls die Funktion «reissfest» mit übernehmen. In diesem Fall braucht die Abdeckung aus nur einer einzigen, homogenen Schicht zu bestehen, die sowohl die nötige Reissfestigkeit als auch die erwünschte Klebrigkeit im Sinne einer nicht-permanenten Haftung aufweist. Für die inline erzeugte Abdeckung ist dies die bevorzugte Ausführungsform. For the present considered application, however, it is not necessary to assign the properties of "tear-resistant" and "sticky" to different, discrete layers. If the tackifying material itself is "film-like" and sufficiently self-supporting, it may possibly take over the "tear-resistant" function. In this case, the cover need only consist of a single, homogeneous layer, which has both the necessary tear resistance and the desired tack in the sense of a non-permanent adhesion. This is the preferred embodiment for inline generated coverage.

[0077] Es kann auch vorgesehen sein, die der Walze 35 zugewandte Seite der Kleberschicht nach ihrer Trennung von der Walze 35 mittels zusätzlicher UV-Strahler 37 stärker zu vernetzen. Auch möglich wäre eine Bestrahlung der Kleberschicht aus der Walze heraus hindurch. Dazu müsste der Walzenmantel aus einem transparenten Material wie beispielsweise Quarzglas gefertigt sein. It can also be provided that the roller 35 facing side of the adhesive layer after their separation from the roller 35 by means of additional UV lamps 37 stronger network. It would also be possible to irradiate the adhesive layer out of the roller. For this purpose, the roll shell would have to be made of a transparent material such as quartz glass.

[0078] Zur Verhinderung oder zumindest Verminderung eines Gasaustritts (TMA/H2O/N2) aus dem Spalt zwischen den Windungen in die Umgebung (L) kann auch vorgesehen sein, den Spalt durch Aufbringen einer Raupe RP aus einer wachsartigen Masse oder einem Hotmelt-Material bei laufender Bahn auf dem Beschichtungszylinder 10 zu schliessen, wie dies Fig. 5 für den Stossbereich zweier Windungen zeigt. Die Raupe RP muss sich nicht unbedingt rückstandsfrei von der Folienbahn FB wieder lösen lassen. Ihre Entfernung ist auch durch nachfolgendes, randseitiges Beschneiden der Folienbahn FB möglich. Durch reversierendes seitliches Versetzen der Folienbahn FB um die Breite der Raupe RP könnte diese sogar vor dem Beschneiden aufgerollt werden. Es gibt auch für die Raupenbildung geeignete, zumeist mit einer Heisskanaldüse aufgetragene Materialien, die zwar in heissem Zustand eine gute Verbindung mit dem Untergrund eingehen, nach Abkalten aber keine oder eine nur gering klebende Oberfläche haben und beim wieder Abrollen nach einem Aufrollen ein rückstandsfreies Ablösen erlauben. Es könnte auch eine Folienkante trennender behandelt sein als die andere, so dass die Raupe RP beim Verlassen des Beschichtungszylinders 10 auf der anderen Folienkante verbleibt. In einem zweiten Durchlauf bzw. auf einem zweiten Beschichtungszylinder 10 könnte die die Raupe RP in diesem Fall nochmals die Abdichtfunktion übernehmen. To prevent or at least reduce a gas outlet (TMA / H2O / N2) from the gap between the turns in the environment (L) can also be provided, the gap by applying a bead RP of a waxy mass or a hotmelt material to close when the web is running on the coating cylinder 10, as shown in FIG. 5 for the impact region of two turns. The bead RP does not necessarily have to be detached from the film web FB without residue. Their removal is also possible by subsequent edge trimming of the film web FB. By reversing the lateral offset of the film web FB by the width of the bead RP, this could even be rolled up before trimming. There are also suitable for caterpillars, usually applied with a hot runner nozzle materials, although enter into a good state with the substrate in a hot state, after cooling but have no or only slightly adhesive surface and allow re-rolling after rolling a residue-free detachment , It could also be treated a foil edge separating than the other, so that the bead RP leaves on leaving the coating cylinder 10 on the other edge of the film. In a second pass or on a second coating cylinder 10, the bead RP could again assume the sealing function in this case.

[0079] Zur Verhinderung oder zumindest Verminderung eines Gasaustritts aus dem Spalt zwischen den Windungen kann alternativ auch vorgesehen sein, auf den Spalt kreuzende Zuführungsbereiche zu verzichten, wie dies Fig. 2c ) zeigt. Die Zuführungsbereiche erstrecken sich in Fig. 2c ) nach wie vor in Axialrichtung, sind jedoch etwa auf die Breite der Windungen der Folienbahn FB begrenzt und entsprechend im Spaltbereich unterbrochen. Die Unterbrechungen folgen dem Spalt schraubenförmig um den Beschichtungszylinder 10. Da das Austreten von Spülgas wie Stickstoff in die Umgebung in der Regel unkritisch ist, sind die Zuführungsbereiche für Spülgas in Fig. 2c ) nicht unterbrochen sondern durchgehend, den Spalt kreuzend ausgebildet. Das könnte sogar auch für die Zuführbereiche eines der Prekursorgase so vorgesehen sein, insbesondere wenn es sich bei diesem um Wasserdampf handelt. To prevent or at least reduce a gas outlet from the gap between the turns may alternatively be provided to dispense with the gap crossing feed areas, as shown in FIG. 2c). The feed regions continue to extend in the axial direction in FIG. 2c), but are limited to approximately the width of the turns of the film web FB and correspondingly interrupted in the gap region. The interruptions follow the gap helically around the coating cylinder 10. Since the escape of purge gas such as nitrogen in the environment is usually not critical, the supply areas for purge gas in Fig. 2c) are not interrupted but continuous, the gap formed crossing. This could even be provided for the supply areas of one of the precursor gases, in particular if this is water vapor.

[0080] Bei der Ausführungsform von Fig. 2d ) sind die Zuführungsbereiche für Spülgas zusätzlich in den Spaltbereich zwischen den unterbrochenen Zuführungsbereichen für Prekursorgase hinein ausgedehnt, so dass sich ein entlang des Spaltes durchgehender, schraubenfömiger Zuführungsbereich für Spülgas ergibt. Das austretende Spülgas behindert zusätzlich das Eindringen von Prekursorgas in den Spaltbereich, indem es den verfügbaren Raum dort primär ausfüllt. In the embodiment of Fig. 2d), the purge gas supply regions are additionally expanded into the nip region between the discontinuous supply regions for precursor gases so as to provide a sweeping, sweeping gas supply region along the nip. The exiting purge gas also impedes the entry of precursor orgas into the gap area by primarily filling the available space there.

[0081] Als noch weiteres oder anderes Mittel zur Verhinderung oder zumindest Verminderung eines Gasaustritts aus dem Spalt können seitlich entlang der Kanten der Folienbahn, jedoch noch unter dieser liegend zumindest abschnittsweise Ableitungsbereiche vorgesehen sein, wie dies Fig. 2e ) zeigt. Die entsprechenden Ableitungsbereiche sind in Fig. 2e ) nur abschnittsweise bei den Zuführungsbereichen für die Prekursorgase TMA und Wasserdampf vorhanden, könnten sich aber auch durchgängig über die gesamte Spaltlänge erstrecken oder auch nur bei den Zuführungsbereichen für eines der Prekursorgase vorgesehen sein, im betrachteten Beispiel insbesondere wieder bei den Zuführungsbereichen für TMA. Günstigerweise stehen die seitlichen Ableitungsbereiche mit angrenzenden, axialen verlaufenden Ableitungsbereichen in Verbindung, so dass die jeweiligen Zuführungsbereiche allseitig von Ableitungsbereichen umschlossen sind und in diesen quasi Inseln bilden. As yet another or other means for preventing or at least reducing a gas outlet from the gap can be provided laterally along the edges of the film web, but still lying below this at least partially derivative areas, as shown in Fig. 2e). The corresponding discharge regions are only partially present in FIG. 2e) at the supply regions for the precursor gases TMA and water vapor, but could also extend continuously over the entire gap length or even be provided only at the supply regions for one of the precursor gases, in particular again in the considered example at the feeder areas for TMA. Conveniently, the lateral discharge regions communicate with adjacent, axially extending discharge regions, so that the respective supply regions are enclosed on all sides by discharge regions and form quasi islands in them.

[0082] Zur Abdichtung des Spaltes kann schliesslich auch, alternativ oder zusätzlich zu den vorbeschriebenen Mitteln und Massnahmen, ein rohrförmiger Mantel 19 vorgesehen sein, welcher den Beschichtungszylinder 10 sowie die Folienbahn FB umschliesst. Im unteren Teil von Fig. 3 ist ein solcher Mantel teilweise dargestellt und mit 19 bezeichnet. Der Mantel 19 ist auf seiner inneren, dem Beschichtungszylinder 10 zugewandten Finally, in order to seal the gap, alternatively or in addition to the above-described means and measures, a tubular jacket 19 may be provided which encloses the coating cylinder 10 and the film web FB. In the lower part of Fig. 3, such a jacket is partially shown and designated 19. The jacket 19 is on its inner, the coating cylinder 10 facing

[0083] Seite zwecks flächig verteilter Zuführung für Spülgas mit einer offenporig porös ausgebildeten Schicht 19.1 versehen. Zugeführt wird das Spülgas über Nuten 19.2, wobei diese ein Verteilungsnetz bilden können. Ein Abschnitt der Folienbahn FB ist zwischen dem Beschichtungszylinder 10 und dem Mantel 19 in Fig. 3 ebenfalls dargestellt. Site for the purpose of distributed surface supply for purge gas with a porous porous layer 19.1 provided. The purge gas is supplied via grooves 19.2, which can form a distribution network. A portion of the film web FB is also shown between the coating cylinder 10 and the shell 19 in Fig. 3.

[0084] In den Fig. 2a – 2e verläuft die Folienbahn FB wegen ihres schraubenförmigen Verlaufs jeweils unter einem schrägen Winkel von beispielsweise etwa 70° gegenüber den sich in Axialrichtung erstreckenden Zuführungs- und Ableitungsbereichen. Grundsätzlich wäre es möglich, diese ebenfalls schraubenförmig auszubilden, was aber herstellungstechnisch aufwändig wäre. Eine Anordnung mit sich in Umfangsrichtung unter einem Winkel von 90° gegenüber der Axialrichtung erstreckenden, ringförmigen Zuführungs- und Ableitungsbereichen wäre jedoch ebenfalls einfach realisierbar. In FIGS. 2a-2e, the foil web FB, because of its helical course, runs in each case at an oblique angle of, for example, approximately 70 ° with respect to the feed and discharge regions extending in the axial direction. In principle, it would be possible to make these also helical, but this would be expensive to manufacture. However, an arrangement with circumferentially at an angle of 90 ° relative to the axial direction extending annular feed and discharge areas would also be easily feasible.

[0085] Fig. 6 zeigt einen Beschichtungszylinder 10, auf dem die Windungen der Folienbahn FB mit gegenseitiger Überlappung verlaufen, so dass zwischen benachbarten Windungen kein Spalt verbleibt. Dabei gibt es an einem Ende, in Fig. 6 dem linken, eine Überlappung der Windungen und am anderen Ende, in Fig. 6 dem rechten, zwingend eine Unterlapδpung der Windungen. Um die Folienbahn FB an diesem Ende zu- oder wegzuführen wird ein speziell ausgeformtes Endstück benötigt. In Fig. 6 ist dieses Endstück ein Zusatzzylinder 20 mit reduziertem Durchmesser gegenüber dem Beschichtungszylinder 10. Wie dieser ist er mit einer porösen Oberflächenschicht zur Ausbildung eines tragenden Gaskissens beispielsweise wieder aus Stickstoff versehen. Er wird am unterlappenden Ende des Beschichtungszylinders 10 befestigt und zwar so, dass der Mantel des Beschichtungszylinders 10 in einem Umfangspunkt bündig mit einem Um-fangspunkt des Mantels des Zusatzzylinders 20 ist. Der Zusatzzylinder 20 ist in diesem gemeinsamen Mantelumfangspunkt gegenüber der Achsrichtung des Beschichtungszylinders 10 nach aussen unter Ausbildung einer Kniekehle abgeknickt. Die Stirnseite des Beschichtungszylinders 10 ist unterlappungsseitig entsprechend dem Verlauf der äusseren Kante der Folienbahn FB schräg ausgebildet. Der Übergang der Folie vom Beschichtungs-10 zum Zusatzzylinder 20 ist im Wesentlichen unterbrechungsfrei fliessend ausgebildet. Gewisse Toleranzen in Form kleinerer Lücken im Übergangsbereich verkraften übliche Folien bei ausreichender Dimensionsstabilität. Bei der beschriebenen Ausbildung endet die diagonale Wicklung um den Beschichtungszylinder 10 im gemeinsamen Umfangspunkt der beiden Zylindermäntel in der erwähnten Kniekehle. Der kleinere Durchmesser des Zusatzzylinders 20 lenkt die Folienbahn FB weg von der Mantelfläche in den inneren Durchmesserbereich des Beschichtungszylinders 10 und die Verwinkelung distanziert die auf dem Beschichtungszylinder 10 überlappenden Folienkanten, so dass sich diese beim Kreuzen nicht mehr berühren. Fig. 6 shows a coating cylinder 10, on which the turns of the film web FB run with mutual overlap, so that no gap remains between adjacent turns. There is at one end, in Fig. 6 the left, an overlap of the windings and at the other end, in Fig. 6 the right, mandatory a Unterlapδpung the turns. In order to supply or remove the film web FB at this end, a specially shaped end piece is required. In Fig. 6, this tail is an auxiliary cylinder 20 of reduced diameter relative to the coating cylinder 10. Like this, it is provided with a porous surface layer for forming a supporting gas cushion, for example, back from nitrogen. It is fastened to the underlapping end of the coating cylinder 10 in such a way that the jacket of the coating cylinder 10 is flush with a peripheral point of the jacket of the auxiliary cylinder 20 at a circumferential point. The additional cylinder 20 is bent in this common shell circumferential point with respect to the axial direction of the coating cylinder 10 to the outside to form a popliteal fossa. The front side of the coating cylinder 10 is formed obliquely underlapping side corresponding to the course of the outer edge of the film web FB. The transition of the film from the coating 10 to the auxiliary cylinder 20 is formed substantially continuously without interruption. Certain tolerances in the form of smaller gaps in the transition region can cope with conventional films with sufficient dimensional stability. In the described embodiment, the diagonal winding ends around the coating cylinder 10 in the common circumferential point of the two cylinder shells in the aforementioned hollow of the knee. The smaller diameter of the additional cylinder 20 deflects the film web FB away from the lateral surface in the inner diameter region of the coating cylinder 10 and the Verwinkelung dissociated on the coating cylinder 10 overlapping film edges, so that they no longer touch when crossing.

[0086] Fig. 7 . zeigt den Beschichtungszylinder 10 mit der ihm nachgeordneten Messvorrichtung 40 zur Messung eines OTR-Wertes oder NTR-Wertes an der vom Beschichtungszylinder 10 ablaufenden Folienbahn FB, wobei diese die Messvorrichtung 40 in Fig. 7 in gerader Ausrichtung durchläuft. Der Verlauf der Folienbahn FB entspricht hierbei etwa dem griechischen Buchstaben σ (klein-Sigma). FIG. 7. shows the coating cylinder 10 with its downstream measuring device 40 for measuring an OTR value or NTR value on the running of the coating cylinder 10 film web FB, which passes through the measuring device 40 in Fig. 7 in a straight alignment. The course of the film web FB here corresponds approximately to the Greek letter σ (small sigma).

[0087] Bei einer ersten Ausführungsform der Messvorrichtung 40 gemäss Fig. 8 läuft die Folienbahn FB zwischen einer flachen Deckplatte 41 und einer flachen Messkammer 42 durch, wobei ihre auf dem Beschichtungszylinder 10 innere, beschichtete Seite gegen die Messkammer 42 gerichtet ist. Die Deckplatte 41 weist eine poröse Oberflächenschicht auf, aus welcher Umgebungsluft L unter erhöhter Temperatur von beispielsweise 30 °C–150 °C flächig verteilt gegen die Folienbahn FB ausströmt. Die Luft verlässt den Spalt zwischen der Deckplatte 41 und der Folienbahn FB nach allen Seiten. Wie dies in Fig. 9 , in der die Deckplatte 41 weggelassen ist, zu sehen ist, weist die Messvorrichtung 40 rings um die Messkammer 42 einen Zuführungsbereich 43 auf mit einer ebenfalls porös ausgebildeten Oberflächenschicht für einen über diesen Bereich flächig verteilten Spülgasaustritt. Bei dem Spülgas kann es sich zur Messung des OTR-Wertes wieder um Stickstoff N2handeln, der jedoch hochrein sein sollte. Zur Messung des NTR-Wertes ist hochreines Argongas verwendbar. Die in Fig. 9 nicht dargestellte Deckplatte 41 schliesst vorzugweise randseitig mit dem Zuführungsbereich 43 ab und steht dadurch wie dieser auf beiden Seiten über die seitlichen Kanten der Folienbahn FB etwas über. Der grösste Teil des Spülgases N2verlässt den Spalt zwischen dem Zuführungsbereich 43 und der Folienbahn FB nach aussen. Nur ein geringer Teil des Spülgases N2strömt in die Messkammer 42, da in dieser ein gewisser Druck herrscht, welcher sich durch Wechselwirkung mit dem umgebenden Gaskissen automatisch einstellt. Aus der Messkammer 42 wird pro Zeiteinheit eine geringe Menge Messgas entnommen, welche nur einen Bruchteil des Gasflusses zugunsten des Gaskissens darstellt. Damit ist der Einfluss des exakten Messgas-Stroms auf den Druck in der Messkammer 42 vernachlässigbar. Sowohl die Luft L auf der einen als auch das Spülgas N2auf der anderen Seite der Folienbahn FB werden unter Überdruck zugeführt und bilden Gaskissen. Gestützt durch diese Gaskissen und den Staudruck in der Messkammer 42 passiert die Folienbahn FB die Messvorrichtung 40 berührungslos zwischen der Deckplatte 41 und der Messkammer 42. In Laufrichtung der Folienbahn FB vor der Messkammer 42 ist der Zuführungsbereich 43 für Spülgas N2vorzugsweise breiter als in Laufrichtung der Folienbahn FB hinter der Messkammer 42 ausgebildet und weiter vorzugsweise zusätzlich mit einem schlitzförmigen Ableitungsbereich 44 versehen. Dadurch sollen allfällig auf der Beschichtung der Folienbahn FB in der stationären Gas-Grenzschicht vorhandene Spuren von Sauerstoff beziehungsweise Stickstoff vor der Messkammer 42 noch weggespült werden. Das aus der Messkammer 42 entnommene Gas enthält somit praktisch nur Sauerstoff oder Stickstoff durch die Diffusion aus der über die Deckplatte 41 zugeführten, erhitzten Luft durch die Folienbahn FB und ihre Beschichtung. Mit einem Sauerstoff- oder Stickstoffsensor 45 wird der jeweilige Sauerstoff- oder Stickstoffgehalt in dem aus der Messkammer 42 entnommenen Gas ermittelt. Zur Regelung dieses Gasstroms kann dem Sensor 45 ein Gasflussregler nachgeschaltet sein. Der mit dem Sensor 45 gemessene Sauerstoff- oder Stickstoffgehalt entspricht dem gewünschten OTR-Wert beziehungsweise NTR-Wert oder bildet zumindest die Berechnungsbasis dafür. In a first embodiment of the measuring device 40 according to FIG. 8, the film web FB passes between a flat cover plate 41 and a flat measuring chamber 42, with its coated side on the coating cylinder 10 being directed against the measuring chamber 42. The cover plate 41 has a porous surface layer from which ambient air L flows out at an elevated temperature of, for example, 30 ° C.-150 ° C., distributed in a planar manner against the film web FB. The air leaves the gap between the cover plate 41 and the film web FB in all directions. As can be seen in FIG. 9, in which the cover plate 41 is omitted, the measuring device 40 has a feed region 43 around the measuring chamber 42, with a likewise porous surface layer for a flushing gas outlet distributed over this region in a planar manner. The purge gas may again be nitrogen N2 to measure the OTR, but should be highly pure. High-purity argon gas can be used to measure the NTR value. The cover plate 41, not shown in FIG. 9, preferably ends at the edge with the feed region 43 and, as a result, is somewhat overhanged on both sides by the lateral edges of the film web FB. Most of the purge gas N2 exits the gap between the feed region 43 and the film web FB to the outside. Only a small part of the purge gas N2 flows into the measuring chamber 42, since in this a certain pressure prevails, which automatically adjusts by interaction with the surrounding gas cushion. From the measuring chamber 42, a small amount of measuring gas is taken per unit time, which represents only a fraction of the gas flow in favor of the gas cushion. Thus, the influence of the exact measuring gas flow on the pressure in the measuring chamber 42 is negligible. Both the air L on the one hand and the purge gas N2 on the other side of the film web FB are supplied under overpressure and form gas bags. Supported by these gas cushion and the back pressure in the measuring chamber 42, the film web FB passes the measuring device 40 without contact between the cover plate 41 and the measuring chamber 42. In the running direction of the film web FB in front of the measuring chamber 42, the feed region 43 for purge gas N2 is preferably wider than in the direction of the film web FB formed behind the measuring chamber 42 and further preferably additionally provided with a slot-shaped discharge region 44. As a result, any traces of oxygen or nitrogen present in front of the measuring chamber 42 should be washed away on the coating of the film web FB in the stationary gas boundary layer. The gas withdrawn from the measuring chamber 42 thus contains practically only oxygen or nitrogen by the diffusion from the heated air supplied via the cover plate 41 through the film web FB and its coating. With an oxygen or nitrogen sensor 45, the respective oxygen or nitrogen content in the gas withdrawn from the measuring chamber 42 is determined. To regulate this gas flow, the sensor 45 may be followed by a gas flow regulator. The oxygen or nitrogen content measured with the sensor 45 corresponds to the desired OTR value or NTR value or forms at least the calculation basis therefor.

[0088] In Fig. 9 ist die Messkammer 42 in Aufsicht etwa quadratisch und so bemessen, dass sie die Breite der Folienbahn FB weitgehend überdeckt. Bei einer quadratischen Messvorrichtung 40 ergibt sich ein günstiges Verhältnis zwischen der Fläche der Messkammer 42 und der Länge des sie umgebenden, quasi abdichtenden Zuführungsbereichs 43. In Fig. 9, the measuring chamber 42 is approximately square in plan view and dimensioned so that it largely covers the width of the film web FB. In the case of a square measuring device 40, a favorable ratio results between the surface of the measuring chamber 42 and the length of the surrounding, virtually sealing, feed region 43.

[0089] Wie in Fig. 8 dargestellt, kann die Messkammer 42 mit einem flachen Boden versehen sein, der einen gleichmässigen Abstand von Folienbahn FB aufweist. Dieser Abstand kann sehr gering im Bereich von nur 10 um bis 100 um bemessen sein. Das Spaltmass zwischen der porös ausgebildeten Oberflächenschicht im Zuführungsbereich 43 und der Folienbahn FB kann in diesem Fall etwa die Hälfte dieses Wertes betragen. Der Spalt zwischen der Deckplatte 41 und der Folienbahn FB kann demgegenüber etwas grösser sein wegen des hier grösseren Gasflusses. As shown in Fig. 8, the measuring chamber 42 may be provided with a flat bottom, which has a uniform spacing of film web FB. This distance can be very small in the range of only 10 .mu.m to 100 .mu.m. The gap between the porous surface layer formed in the feed region 43 and the film web FB can be about half of this value in this case. In contrast, the gap between the cover plate 41 and the film web FB may be slightly larger because of the larger gas flow here.

[0090] Fig. 10 zeigt eine weitere Ausführungsform einer Messvorrichtung 40, wobei diese jedoch nur zur Ermittlung des OTR-Wertes geeignet ist. Die Messvorrichtung von Fig. 10 unterscheidet sich von der Vorbeschriebenen gemäss Fig. 8 darin, dass bei ihr aus der Messkammer 42 zur Messung kein Gas entnommen wird. In Aufsicht kann die Messvorrichtung 40 von Fig. 11 Fig. 10 entsprechen. Der Boden der Messkammer 42 besteht hier aus oder ist versehen mit mindestens einer flächigen Membran 46 beispielsweise aus Zirkoniumoxid (ZrO2). Unterhalb dieser Membran 46 ist ein Bereich 47 vorhanden, der von einem sauerstofffreien Referenzgas wie vorzugsweise wieder hochreinem Stickstoff durchströmt wird. In die Messkammer 42 durch die Folienbahn FB und ihre Beschichtung gelangter Sauerstoff diffundiert in anionischer Form durch die Membran 46 in den Referenzgasstrom, wobei in der Membran 46 zum Ladungsausgleich ein elektrischer Strom fliesst, der gemessen wird (amperometrische Messung). Er entspricht dem gewünschten OTR-Wert oder bildet zumindest die Berechnungsbasis dafür. Das den Bereich 47 durchströmende Referenzgas weist eine Temperatur im Bereich von 300 °C bis 800 °C auf, um die Membran 46 entsprechend aufzuheizen. Die Membran 46 kann auch durch eine elektrische Widerstandsheizung erhitzt sein. Eine hohe Membrantemperatur ist erforderlich, um eine ausreichende Mobilität der Sauerstoffionen in ihr zu gewährleisten. Eine grössere Aufheizung der Folienbahn FB und ihrer Beschichtung oder auch der Deckplatte 41 ist damit andererseits nicht verbunden. Von der Folienbahn FB und ihrer Beschichtung wird, zumindest wenn diese transparent sind, aus der von der Membran 46 abgestrahlten Wärme nur ein geringer Anteil absorbiert. Die poröse Oberfläche der Deckplatte 41 kann als Sintermetallschicht ausgebildet sein, so dass sie die von der Membran 46 ausgehende Wärmestrahlung zu einem grossen Teil reflektiert. Durch die aus der Deckplatte 41 austretende Luft wird die Folienbahn FB zudem mit starker Konvektion gekühlt. Die Temperatur der Deckplatte 41 kann dafür beispielsweise von 100 °C auf 50 °C reduziert werden, sodass die der Membran 46 zugewandte Seiten der Folienbahn FB auf circa 100 °C gekühlt wird. Messkammerseitig ist die Konvektion gering. Die Folienbahn FB hält sich bei den erwähnten Bahngeschwindigkeiten auch nur kurzzeitig im Bereich der Messkammer 42 auf. Falls sich die Folie aufgrund ihrer geringen Wärmeleitfähigkeit auf ihrer Unterseite dennoch zu stark erhitzen sollte, kann zwischen der Foliebahn FB und der Membran 46 eine Wärmeabschirmung angeordnet werden, welche die Konvektion bremst und die von der Membran 46 ausgehende Wärmestrahlung reflektiert, jedoch die Sauerstoffdiffusion nur unwesentlich behindert. Als Wärmeabschirmung kann beispielsweise ein sehr dünnes und feinmaschiges Edelstahlsieb 48 eingesetzt werden. 10 shows a further embodiment of a measuring device 40, but this is only suitable for determining the OTR value. The measuring device of FIG. 10 differs from the above described according to FIG. 8 in that it does not remove any gas from the measuring chamber 42 for the purpose of measurement. In plan view, the measuring device 40 of FIG. 11 may correspond to FIG. 10. The bottom of the measuring chamber 42 consists of or is provided with at least one planar membrane 46, for example zirconium oxide (ZrO 2). Below this membrane 46 there is a region 47, through which an oxygen-free reference gas, such as preferably high-purity nitrogen, flows through again. In the measuring chamber 42 passed through the film web FB and its coating oxygen diffuses in anionic form through the membrane 46 in the reference gas flow, wherein flows in the membrane 46 for charge equalization, an electric current that is measured (amperometric measurement). It corresponds to the desired OTR value or at least forms the basis for calculation. The reference gas flowing through the region 47 has a temperature in the range from 300 ° C. to 800 ° C., in order to heat the membrane 46 accordingly. The membrane 46 may also be heated by an electrical resistance heater. A high membrane temperature is required to ensure sufficient mobility of the oxygen ions in it. A greater heating of the film web FB and its coating or the cover plate 41 is thus not connected on the other hand. Of the film web FB and its coating is, at least when they are transparent, absorbed only a small proportion of the radiated from the membrane 46 heat. The porous surface of the cover plate 41 may be formed as a sintered metal layer, so that it reflects the emanating from the membrane 46 thermal radiation to a large extent. By exiting the cover plate 41 air, the film web FB is also cooled with strong convection. The temperature of the cover plate 41 can for example be reduced from 100 ° C to 50 ° C, so that the membrane 46 facing sides of the film web FB is cooled to about 100 ° C. On the measuring chamber side, the convection is low. The film web FB also stops only briefly in the area of the measuring chamber 42 at the mentioned web speeds. If, due to its low thermal conductivity, the film should nevertheless heat too much on its underside, a heat shield can be arranged between the film web FB and the membrane 46, which brakes the convection and reflects the thermal radiation emanating from the membrane 46, but the oxygen diffusion only insignificantly with special needs. As a heat shield, for example, a very thin and fine-meshed stainless steel sieve 48 can be used.

[0091] Alternativ zur oben erwähnten amperometrischen Messung kann die Membran 46 in Fig. 10 auch stromlos zur potentiometrischen Messung eingesetzt werden. Hierbei wird die sich über der Membran 46 einstellende elektrische Spannung gemessen, die durch den Konzentrationsgradienten in der Membran verursacht wird. In diesem Fall muss eine Akkumulation von Sauerstoff in der Messkammer 42 verhindert werden. Dies lässt sich erreichen, indem ein konstant kleiner, kontrollierter Gasfluss aus der Messkammer 42 entnommen wird. Ebenfalls möglich wäre der Einsatz von mindestens zwei separaten Membranen in derselben Ebene, wobei mindestens eine zur potentiometrischen Messung, und mindestens eine andere zur Sauerstoffentfernung eingesetzt wird. As an alternative to the abovementioned amperometric measurement, the membrane 46 in FIG. 10 can also be used without current for potentiometric measurement. In this case, the voltage across the membrane 46 is determined which is caused by the concentration gradient in the membrane. In this case, an accumulation of oxygen in the measuring chamber 42 must be prevented. This can be achieved by taking a constantly small, controlled gas flow out of the measuring chamber 42. It would also be possible to use at least two separate membranes in the same plane, at least one being used for potentiometric measurement, and at least one other for oxygen removal.

[0092] Fig. 11 zeigt den Beschichtungszylinder 10 mit noch einer anderen, ihm nachgeordneten Messvorrichtung 40 zur Messung eines OTR- oder NTR-Wertes, wobei die Folienbahn FB in dieser Messvorrichtung 40 teilweise um einen Zylinder 49 läuft. Dieser entspricht funktional der Deckplatte 41 von Fig. 8 oder 10 und ist wie sie mit einer porösen Oberflächenschicht versehen, aus welcher Umgebungsluft unter erhöhter Temperatur flächig verteilt gegen die Folienbahn FB ausströmt. Durch die ausströmende Luft wird die Folienbahn FB auf einem Gaskissen entgegen ihrer Bahnspannung auf Abstand von der porösen Oberflächenschicht gehalten, was eine sehr genaue Positionierung der Folienbahn FB ermöglicht. Die Messkammer 42 ist entsprechend dem Zylinder 49 gekrümmt ausgebildet, könnte ansonsten aber wie die vorbeschriebenen Messkammern 42 ausgebildet sein einschliesslich der sie umgebenden Vorrichtungsteile, wobei dies in Fig. 11 nicht dargestellt ist. Indem die Position der Folienbahn FB durch das Gaskissen und ihre Bahnspannung festgelegt ist, braucht es hier keinen Überdruck in der Messkammer 42. FIG. 11 shows the coating cylinder 10 with yet another measuring device 40 downstream of it for measuring an OTR or NTR value, the film web FB running partially around a cylinder 49 in this measuring device 40. This corresponds functionally to the cover plate 41 of FIG. 8 or 10 and, as it is provided with a porous surface layer, from which ambient air flows at an increased temperature distributed over the sheet of film FB. By the outflowing air, the film web FB is held on a gas cushion against its web tension at a distance from the porous surface layer, which allows a very accurate positioning of the film web FB. The measuring chamber 42 is curved according to the cylinder 49, but otherwise could be formed like the above-described measuring chambers 42 including the surrounding device parts, which is not shown in Fig. 11. By the position of the film web FB is determined by the gas cushion and its web tension, it needs no overpressure in the measuring chamber 42 here.

[0093] In Umkehrung der Verhältnisse von Fig. 11 könnte die Messkammer 42, so wie dies Fig. 12 zeigt, auch in einen Zylinder und damit vorzugsweise direkt in den Beschichtungszylinder 10 integriert sein. Erhitzte Umgebungsluft wird dabei über eine ausserhalb des Zylinders angeordnete gekrümmte Deckplatte 41 zugeführt. Damit die Folienbahn FB im Bereich der Messkammer 42 nicht «durchhängt» muss in dieser ein Überdruck gegenüber Umgebungsdruck vorhanden sein. Ausserdem könnte die Messkammer 42 dazu in Laufrichtung der Folienbahn kürzer als bei den vorbeschriebenen Messkammern ausgebildet werden. Aus der Deckplatte 41 wird die erhitze Luft drucklos zugeführt. In a reversal of the relationships of FIG. 11, the measuring chamber 42, as shown in FIG. 12, could also be integrated into a cylinder and thus preferably directly into the coating cylinder 10. Heated ambient air is supplied via a curved cover plate 41 arranged outside the cylinder. So that the film web FB does not "sag" in the area of the measuring chamber 42, an overpressure relative to ambient pressure must be present in it. In addition, the measuring chamber 42 could be designed to be shorter in the direction of the film web than in the previously described measuring chambers. From the cover plate 41, the heated air is fed without pressure.

[0094] Sofern die Messkammer 42 in einem mittleren Abschnitt des Beschichtungszylinders integriert ist, kann diese eingesetzt werden, um den OTR- oder NTR-Wert einer dünnen ALD/MLD-Schicht zu messen, deren Schichtdicke beispielsweise nur die Hälfte der auf dem Beschichtungszylinder insgesamt aufgebrachten Schichtdicke aufweist. Der Beschichtungsprozess würde also nach der halben Zylinderlänge zugunsten der Messkammer 42 unterbrochen und nach der Messkammer fortgesetzt. If the measuring chamber 42 is integrated in a central portion of the coating cylinder, this can be used to measure the OTR or NTR value of a thin ALD / MLD layer whose layer thickness, for example, only half of the total on the coating cylinder having applied layer thickness. The coating process would thus be interrupted after half the cylinder length in favor of the measuring chamber 42 and continued after the measuring chamber.

[0095] Sofern die Messkammer 42 gemäss den Fig. 9 – 11 die Masse von 400 mm x 400 mm x 20 µm (10 µm Vertiefung gegenüber der porösen Oberfläche plus 10 µm Gaskissen) aufweist, verfügt sie über ein Volumen von 3.2 mL. Bei einer Gasentnahme von 1 LN/h bei 100 °C aus einer solchen Messkammer 42 dauert der Gasaustausch 8.4 sec. Bei einer Bahngeschwindigkeit von 32 m/min beträgt die örtliche Auflösung in Folienlaufrichtung 4.5 m, wobei die Trägheit des Sensors 45 in dieser Rechnung noch nicht berücksichtigt ist. Aus dem angenommenen Gasfluss von 1 LN/h folgt andererseits für Sauerstoff eine erforderliche Nachweisgrenze von 7 ppb, um einen OTR-Wert von 10<–><3>g m<–><2>Tag<–><1>bar<–><1>bei 100 °C messen zu können. Der hochreine Stickstoff muss dabei einen O2-Gehalt kleiner als 7 ppb aufweisen. Die vorstehenden Zahlen sind nur beispielhaft und sollen nur ungefähr aufzeigen, in welchen Bereichen sich die Messung bewegt. Sauerstoff-Sensoren mit Nachweisgrenzen von 0.5 ppb sind auf dem Markt erhältlich. Stickstoff-Sensoren sind mit 10 ppb weniger empfindlich. Gegenüber Sauerstoff gewinnt man aber circa einen Faktor 10 wegen der höheren Stickstoffkonzentrati-on in Luft, dem kleineren Molekulargewicht und der kleineren Molekülmasse. Zudem wird der gemessene NTR-Wert, im Gegensatz zum OTR-Wert, grösser sein als der steady-state Wert, weil Stickstoff im Beschichtungsprozess auf beiden Seiten der Folienbahn FB vorhanden ist. If the measuring chamber 42 according to FIGS. 9-11 has the mass of 400 mm × 400 mm × 20 μm (10 μm depression in relation to the porous surface plus 10 μm gas cushion), it has a volume of 3.2 ml. With a gas removal of 1 LN / h at 100 ° C from such a measuring chamber 42, the gas exchange lasts 8.4 sec. At a web speed of 32 m / min, the local resolution in the film direction is 4.5 m, the inertia of the sensor 45 in this calculation is not considered. On the other hand, from the assumed gas flow of 1 LN / h, a required detection limit of 7 ppb follows for oxygen in order to obtain an OTR value of 10 <-> <3> gm <-> <2> day <-> <1> bar <- > <1> at 100 ° C. The high-purity nitrogen must have an O2 content of less than 7 ppb. The above figures are only examples and are only intended to show approximately in which areas the measurement moves. Oxygen sensors with detection limits of 0.5 ppb are available on the market. Nitrogen sensors are less sensitive at 10 ppb. Compared with oxygen, however, one gains about a factor of 10 because of the higher nitrogen concentration in air, the smaller molecular weight and the smaller molecular weight. In addition, the measured NTR value, in contrast to the OTR value, will be greater than the steady-state value, because nitrogen is present in the coating process on both sides of the film web FB.

[0096] Bei der Messkammer von Fig. 10 erfolgt die Diffusion entlang des Konzentrationsgradienten direkt durch die Membran 46 senkrecht zu deren Fläche, was die Wege zusätzlich verkürzt und sich günstig auf die Messzeit auswirkt. Bei der Ausführungsform von Fig. 11 können durch die Möglichkeit der sehr genauen Positionierung der Folienbahn FB die Abstände und mit ihnen das Volumen der Messkammer 42 noch kleiner als bei den Ausführungsformen von Fig. 8 und 10 ausgebildet werden, was ebenfalls den Zeitbedarf zur Messwertgewinnung verringert. In the measuring chamber of FIG. 10, the diffusion along the concentration gradient takes place directly through the membrane 46 perpendicular to its surface, which additionally shortens the paths and has a favorable effect on the measurement time. In the embodiment of Fig. 11 can be formed by the possibility of very accurate positioning of the film web FB, the distances and with them the volume of the measuring chamber 42 even smaller than in the embodiments of FIGS. 8 and 10, which also reduces the time required for the acquisition of measured value ,

[0097] Falls ein Mantel zur Abdichtung des Spaltes zwischen den Windungen der Folienbahn FB auf dem Beschichtungszylinder 10 eingesetzt wird, entfällt die für die OTR-Messung erwünsche Vorbehandlung mit Luftsauerstoff, da die Folienbahn FB beidseitig im Wesentlichen einer Stickstoffatmosphäre ausgesetzt ist. In diesem Fall wäre eine NTR-Messung vorzuziehen, oder die Messkammer 42 sollte im Anschluss an einen Trockner 34 angeordnet werden. If a jacket is used for sealing the gap between the turns of the film web FB on the coating cylinder 10, the desired for the OTR measurement pretreatment with atmospheric oxygen is eliminated, since the film web FB is exposed on both sides substantially a nitrogen atmosphere. In this case, an NTR measurement would be preferable, or the measurement chamber 42 should be placed adjacent to a dryer 34.

[0098] Der beim Passieren der Messvorrichtung 40 an der laufenden Folienbahn FB während der begrenzten Messzeit ermittelte OTR-Wert beziehungsweise NTR-Wert wird zumindest bei höherer Bahngeschwindigkeit vom an sich gewünschten steady-state Wert, dem er sich mit zunehmender Messzeit asymptotisch annähern würde, um einen bestimmten, konstanten Faktor abweichen. Durch eine Vergleichsmessung bei stehender Folienbahn kann dieser Faktor jedoch ermittelt werden. The OTR value or NTR value determined during passage of the measuring device 40 on the running film web FB during the limited measuring time is at least at higher web speed of the desired steady-state value, which he would approach asymptotically with increasing measuring time, to deviate by a certain, constant factor. However, this factor can be determined by a comparative measurement when the film web is stationary.

[0099] Sofern durch Vergleichsmessungen an der jeweils beschichten Folienbahn die Korrelation des OTR-Wertes oder des NTR-Wertes mit dem WVTR-Wert ermittelt wird, kann auch der WVTR-Wert berechnet werden. If the correlation of the OTR value or of the NTR value with the WVTR value is determined by comparative measurements on the respectively coated film web, the WVTR value can also be calculated.

[0100] Auf entsprechende Weise lassen sich durch Extrapolation sogar Angaben für «vollständige» Barriereschichten mit beispielsweise OTR-Werten kleiner als 10<–><5>cm<3>m<–><2>Tag<–><1>bar<–><1>oder WVTR-Werten kleiner als 10<–><6>m<–><2>Tag<–><1>gewinnen, indem die «vollständige» Barriereschicht durch Überlagerung von beispielsweise zwei nur «halben» Barriereschichten erzeugt wird, deren weit höhere Transmissionswerte jeweils separat gemessen und danach geeignet kombiniert werden. Die Werte für die «vollständige» Barriere können viel tiefer sein als die Werte für «halbe» Barrieren wenn zwischen den einzelnen Schichten Synergieeffekte bestehen. Möglich wäre die Messung zweier «halber» Barrieren dadurch, dass die zweite «halbe» Barriereschicht über die erste «halbe» Barriereschicht auf einer Seite randseitig überstehend aufgebracht wird. In diesem Fall müsste zumindest die Grösse der Messvorrichtung für die zweite «halbe» Barriereschicht auf das Mass des randseitigen Überstandes dieser «halben» Barriereschicht über die erste «halbe» Barriereschicht angepasst werden. Andererseits könnte bei zwei in Serie angeordneten Beschichtungszylindern der in Laufrichtung der Folienbahn erste Beschichtungszylinder für die Messung der auf dem zweiten Beschichtungszylinder aufgebrachten «halben» Barriereschicht eine gewisse Zeit durch Zufuhr nur von Spülgas aus allen Zuführungsbereichen «ausgeschaltet» werden. Nach Zuschalten des ersten Beschichtungszylinders kann die auf diesem aufgebrachte erste «halbe» Barriere gemessen werden, bevor die Folienbahn auf den zweiten Beschichtungszylinder aufläuft und mit der zweiten «halben» Barriere die «vollständige» Barriere entsteht. Hierbei könnten beide «halben» Barrieren über praktisch die gesamte Folienbahnbreite gemessen werden, wie dies Fig. 10 zeigt. By extrapolation, even information for «complete» barrier layers with, for example, OTR values of less than 10 <-> <5> cm <3> m <-> <2> day <-> <1> bar can be obtained <-> <1> or WVTR values smaller than 10 <-> <6> m <-> <2> days <-> <1>, by overlaying the "complete" barrier layer with, for example, two only "half" Barrier layers is generated, the far higher transmission values are measured separately and then appropriately combined. The values for the «complete» barrier can be much lower than the values for «half» barriers if synergy effects exist between the individual layers. It would be possible to measure two "half" barriers by applying the second "half" barrier layer over the first "half" barrier layer on one side on the edge. In this case, at least the size of the measuring device for the second "half" barrier layer would have to be adapted to the extent of the edge overhang of this "half" barrier layer over the first "half" barrier layer. On the other hand, in the case of two coating cylinders arranged in series, the first coating cylinder for measuring the "half" barrier layer applied to the second coating cylinder could be "switched off" for a certain time by supplying only purge gas from all supply regions. After connecting the first coating cylinder, the first "half" barrier applied to it can be measured before the film web runs onto the second coating cylinder and the second «half» barrier forms the «complete» barrier. In this case, both "half" barriers could be measured over virtually the entire film web width, as shown in FIG. 10.

[0101] Mit der Vorrichtung 50, die mit der Messvorrichtung 40 datentechnisch verbunden ist, kann die Folienbahn FB mit dem von der Messvorrichtung 40 ermittelten Messwert oder einer daraus abgeleiteten Angabe im gleichen Durchlauf beschriftet und/oder codiert werden. Dies kann drucktechnisch, prägetechnisch, stanztechnisch, oder durch eine Veränderung von Materialeigenschaften beispielsweise mit einem Laser erfolgen. Mit Inkjet-Drucktechnik lässt sich die erforderliche Information zum Beispiel in Form eines 2D-Matrixcodes auf wenigen Quadratmillimetem unterbringen. Damit der Aufdruck nicht stört oder nicht einfach erkennbar ist, kann er mit transparenter oder fluoreszierender Tinte ausgeführt sein. Da bei der Weiterverarbeitung der beschichten Folienbahn beispielsweise zu OLED-Strukturen nur jeweils relativ kurze Abschnitte von 40–50 cm der Folienbahn benötigt werden und diese nachfolgend sogar noch weiter unterteilt werden, ist es bevorzugt, jeden solchen Abschnitt oder sogar Teil mit mindestens einem Messwert zu versehen, selbst wenn ein verlässlicher Messwert nur an einem längeren Teilstück der Folienbahn ermittelt werden kann. Die Messwerte können einerseits in einer für eine spätere Weiterverarbeitung unkritischen Randzone, aber auch auf der nicht beschichteten Rückseite der Folienbahn FB über deren beschichtete Fläche verteilt beispielsweise in einem Raster von 100 mm x 100 mm oder entsprechend der anschliessenden Weiterverarbeitung angebracht werden. With the device 50, which is data-technically connected to the measuring device 40, the film web FB can be labeled and / or coded in the same pass with the measured value determined by the measuring device 40 or a data derived therefrom. This can be done by printing, embossing technology, punching technology, or by a change of material properties, for example with a laser. With inkjet printing technology, the required information can be accommodated in a few square millimeters, for example in the form of a 2D matrix code. So that the imprint does not bother or is not easily recognizable, it can be made with transparent or fluorescent ink. Since in the further processing of the coated film web, for example for OLED structures, only relatively short sections of 40-50 cm of the film web are required and these are subdivided even further, it is preferable to include each such section or even part with at least one measured value provided even if a reliable measurement can be determined only on a longer portion of the film web. The measured values can be applied, for example, in a raster of 100 mm × 100 mm, or in accordance with the subsequent further processing, in a peripheral zone which is not critical for subsequent further processing, but also on the non-coated rear side of the film web FB over its coated surface.

LISTE DER BEZUGSZEICHENLIST OF REFERENCE SIGNS

[0102] <tb>R1<SEP>Rolle für Abrollung <tb>R2<SEP>Rolle für Aufrollung <tb>FB<SEP>Folienbahn <tb>AD<SEP>Abdeckung <tb>RP<SEP>Raupe <tb>HB<SEP>Hilfsträgerbahn <tb>L<SEP>Luft <tb>N2<SEP>Stickstoff/Spülgas <tb>K1<SEP>erste Klebschicht <tb>K2<SEP>zweite Klebschicht <tb>B<SEP>Beschichtung <tb>10<SEP>Beschichtungszylinder <tb>10.1<SEP>Rohr <tb>11, 12<SEP>Endabschnitte <tb>13<SEP>Zuführungsbereich <tb>13.1<SEP>poröse Oberflächenschicht <tb>14.1<SEP>Zuführungskanal <tb>14.2<SEP>Verbindung <tb>14.3<SEP>Verteilungsnut <tb>15<SEP>Ableitungsbereiche <tb>16.1<SEP>Ableitungskanal <tb>16.2<SEP>Verbindung <tb>16.3<SEP>Sammelnut <tb>17<SEP>Zuführungsbereich <tb>17.1<SEP>poröse Oberflächenschicht <tb>18<SEP>Zuführungsbereich <tb>18.1<SEP>Schlitz <tb>19<SEP>rohrförmiger Mantel <tb>20<SEP>Zusatzzylinder <tb>21<SEP>Umlenkzylinder <tb>22<SEP>Umlenkzylinder <tb>30<SEP>Aggregate <tb>31<SEP>Partikelreinigung <tb>32<SEP>Coronaentladung <tb>33<SEP>Flüssigbeschichtung <tb>34<SEP>Trocknungsstrecke <tb>35<SEP>Beschichtungswalze <tb>36<SEP>Breitschlitzdüse 36 <tb>37<SEP>UV-Strahler <tb>38<SEP>Andruckwalze <tb>39<SEP>Schneidmittel <tb>40<SEP>OTR/NTR-Messvorrichtung <tb>41<SEP>Deckplatte <tb>42<SEP>Messkammer <tb>43<SEP>Zuführungsbereich <tb>44<SEP>Ableitungsbereich <tb>45<SEP>Sauerstoff-/Stickstoffsensor <tb>46<SEP>Membran <tb>47<SEP>Referenzgasbereich <tb>48<SEP>Edelstahlsieb <tb>49<SEP>Zylinder <tb>50<SEP>Beschriftung und/oder Codierung der Folienbahn[0102] <tb> R1 <SEP> Role for unwinding <tb> R2 <SEP> Roll for curl <Tb> FB <September> sheet <Tb> AD <September> cover <Tb> RP <September> Caterpillar <Tb> HB <September> auxiliary carrier web <Tb> L <September> Air <Tb> N2 <September> nitrogen / purge <tb> K1 <SEP> first adhesive layer <tb> K2 <SEP> second adhesive layer <Tb> B <September> Coating <Tb> 10 <September> coating cylinder <Tb> 10.1 <September> Pipe <tb> 11, 12 <SEP> End sections <Tb> 13 <September> feed area <tb> 13.1 <SEP> porous surface layer <Tb> 14.1 <September> supply channel <Tb> 14.2 <September> Connection <Tb> 14.3 <September> distribution groove <Tb> 15 <September> drainage areas <Tb> 16.1 <September> Waterway <Tb> 16.2 <September> Connection <Tb> 16.3 <September> collecting groove <Tb> 17 <September> feed area <tb> 17.1 <SEP> porous surface layer <Tb> 18 <September> feed area <Tb> 18.1 <September> slot <tb> 19 <SEP> tubular jacket <Tb> 20 <September> Auxiliary cylinder <Tb> 21 <September> deflecting cylinder <Tb> 22 <September> deflecting cylinder <Tb> 30 <September> Aggregates <Tb> 31 <September> particle cleaning <Tb> 32 <September> corona discharge <Tb> 33 <September> liquid coating <Tb> 34 <September> drying section <Tb> 35 <September> coating roll <tb> 36 <SEP> Slit Nozzle 36 <Tb> 37 <September> UV lamps <Tb> 38 <September> pressure roller <Tb> 39 <September> cutting means <Tb> 40 <September> OTR / NTR-measuring device <Tb> 41 <September> cover plate <Tb> 42 <September> measuring chamber <Tb> 43 <September> feed area <Tb> 44 <September> dissipation area <Tb> 45 <September> oxygen / nitrogen sensor <Tb> 46 <September> Membrane <Tb> 47 <September> Reference gas sector <Tb> 48 <September> stainless steel screen <Tb> 49 <September> Cylinder <tb> 50 <SEP> Labeling and / or coding of the film web

Claims (18)

1. Vorrichtung zur Abscheidung dünner Schichten durch wenigstens zwei selbstbegrenzende Oberflächenreaktionen (ALD/MLD) unter erhöhter Temperatur auf einer unter Zugspannung stehenden, laufenden Folienbahn (FB), wobei die Vorrichtung mindestens einen Beschichtungszylinder (10) sowie Bahnlenkungsmittel (21, 22) aufweist, wobei die Bahnlenkungsmittel (21, 22) dazu ausgebildet sind, die Folienbahn (FB) dem Beschichtungszylinder (10) zuzuführen und nach mehreren, schraubenförmigen Windungen von diesem wieder abzunehmen, wobei der Beschichtungszylinder (10) entlang der schraubenförmigen Windungen mehrere Zuführungs- und Ableitungsbereiche (13, 15, 17; 18) für Reaktions- und Spülgas aufweist, und wobei die Folienbahn (FB) in den Zuführungsbereichen (13, 17, 18) entgegen ihrer Zugspannung auf einem Gaskissen auf Abstand von der Oberfläche des Beschichtungszylinders (10) gehalten wird, dadurch gekennzeichnet, dass der Beschichtungszylinder (10) stillstehend montiert ist, dass die Länge des Beschichtungszylinders (10) grösser als sein Durchmesser ist, und dass die Oberfläche des Beschichtungszylinders (10) in zumindest einigen Zuführungsbereichen porös für einen flächig über diese Bereiche verteilten Gasaustritt ausgebildet ist.1. Apparatus for depositing thin layers by at least two self-limiting surface reactions (ALD / MLD) under elevated temperature on a running, running film web (FB), the device having at least one coating cylinder (10) and web deflection means (21, 22), wherein the web guiding means (21, 22) are adapted to feed the film web (FB) to the coating cylinder (10) and to remove it again after a plurality of helical windings, wherein the coating cylinder (10) has a plurality of reaction and purge gas supply and discharge regions (13, 15, 17; 18) along the helical turns, and wherein the film web (FB) is held in the feed regions (13, 17, 18) against its tension on a gas cushion at a distance from the surface of the coating cylinder (10), characterized, that the coating cylinder (10) is mounted stationary, that the length of the coating cylinder (10) is greater than its diameter, and the surface of the coating cylinder (10) is designed to be porous in at least some feed regions for a gas outlet which is distributed over these regions in a planar manner. 2. Vorrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass die Folienbahn (FB) auch in den Ableitungsbereichen (15) auf einem Gaskissen auf Abstand von der Oberfläche des Beschichtungszylinders (10) gehalten wird.2. Apparatus according to claim 1, characterized in that the film web (FB) in the discharge areas (15) on a gas cushion at a distance from the surface of the coating cylinder (10) is held. 3. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, dass in Laufrichtung der Folienbahn (FB) benachbarte Zuführungsbereiche (13, 17, 18) wahlweise mit demselben oder mit verschiedenen Reaktions- oder Spülgas/en beschickbar sind.3. Device according to one of claims 1 or 2, characterized in that in the running direction of the film web (FB) adjacent feed regions (13, 17, 18) optionally with the same or with different reaction or Spülgas / s are chargeable. 4. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 1–3, dadurch gekennzeichnet, dass zumindest zwei Zuführungsbereiche (13, 17, 18) in Laufrichtung der Folienbahn (FB) eine unterschiedliche Ausdehnung aufweisen.4. Device according to one of claims 1-3, characterized in that at least two feed regions (13, 17, 18) in the direction of the film web (FB) have a different extent. 5. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 1–4, dadurch gekennzeichnet, dass sich Zuführungs- und Ableitungsbereiche (13, 15, 17, 18) in Axialrichtung des Beschichtungszylinders (10) mit konstanter Ausdehnung in dessen Umfangsrichtung vorzugsweise über den grössten Teil von dessen Länge erstrecken.5. Device according to one of claims 1-4, characterized in that supply and discharge areas (13, 15, 17, 18) in the axial direction of the coating cylinder (10) with constant expansion in the circumferential direction, preferably over most of its length extend. 6. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 1–5, dadurch gekennzeichnet, dass sich Zuführungsbereiche (13, 17, 18) für Reaktionsgas und für Spülgas in Axialrichtung des Beschichtungszylinders (10) abwechseln.6. Device according to one of claims 1-5, characterized in that alternate supply areas (13, 17, 18) for reaction gas and for purge gas in the axial direction of the coating cylinder (10). 7. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 1–6, dadurch gekennzeichnet, dass sich zumindest abschnittsweise schraubenförmig entlang des Beschichtungszylinders (10) erstreckende Ableitungsbereiche (15) für Reaktions- und Spülgas und/oder Zuführungsbereiche (13, 17,18) für Spülgas vorhanden sind.7. Device according to one of claims 1-6, characterized in that extending at least partially helically along the coating cylinder (10) extending discharge areas (15) for reaction and purge gas and / or feed regions (13, 17, 18) are present for purge gas , 8. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 1–7, dadurch gekennzeichnet, dass mehrere Beschichtungszylinder (10) vorhanden sind, denen die Folienbahn (FB) nacheinander oder zumindest teilweise alternativ zuführbar ist und wobei vorzugsweise wenigstens zwei der Beschichtungszylinder (10) hinsichtlich zumindest einiger Zuführungs- und Ableitungsbereiche (13, 15, 17, 18) unterschiedlich ausgebildet sind.8. Device according to one of claims 1-7, characterized in that a plurality of coating cylinder (10) are present, to which the film web (FB) successively or at least partially fed alternatively, and preferably at least two of the coating cylinder (10) with respect to at least some feed - And derivation regions (13, 15, 17, 18) are formed differently. 9. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 1–8, dadurch gekennzeichnet: dass die Länge des Beschichtungszylinders (10) 4-fach bis 20-fach, insbesondere 5-fach bis 14-fach, grösser als sein Durchmesser ist, und/oder dass die Länge des Beschichtungszylinders (10) 2 m bis 20 m, insbesondere 3 m bis 10 m, beträgt, und/oder dass die Ausdehnung der Zuführungsbereiche (13, 17, 18) in Laufrichtung der Folienbahn (FB) oder in Umfangsrichtung des Beschichtungszylinders (10) 5 mm bis 30 mm, insbesondere 8mm bis 12mm, beträgt, und/oder dass die Ausdehnung der Ableitungsbereiche (15) in Laufrichtung der Folienbahn oder in Umfangsrichtung des Beschichtungszylinders 0.5 mm bis 2 mm, insbesondere 0.8 mm bis 1.1 mm, beträgt, und/oder dass zumindest Gruppen von Zuführungs- und Ableitungsbereichen (13, 15, 17, 18) entlang der schraubenförmigen Windungen oder in Umfangsrichtung des Beschichtungszylinders (10) gleichmässig verteilt angeordnet sind, und/oder dass der Beschichtungszylinder (10) und/oder das Reaktions- und/oder das Spülgas vorzugsweise auf eine Temperatur von 60 °C bis 150 °C heizbar ist, und/oder dass sie zur Beschichtung von Folienbahnen (FB) mit einer Breite bis 150 cm, insbesondere mit einer Breite von 30 bis 50 cm geeignet ist, und/oder dass sie für eine Bahngeschwindigkeit der Folienbahn (10) bis zu 120 m/min, insbesondere von 20 m/min bis 40 m/min, ausgebildet ist.9. Device according to one of claims 1-8, characterized in that: that the length of the coating cylinder (10) is 4-fold to 20-fold, in particular 5-fold to 14-fold, greater than its diameter, and / or the length of the coating cylinder (10) is 2 m to 20 m, in particular 3 m to 10 m, and / or the extent of the feed regions (13, 17, 18) in the direction of travel of the film web (FB) or in the circumferential direction of the coating cylinder (10) is 5 mm to 30 mm, in particular 8 mm to 12 mm, and / or the extent of the discharge regions (15) in the direction of travel of the film web or in the circumferential direction of the coating cylinder is 0.5 mm to 2 mm, in particular 0.8 mm to 1.1 mm, and / or at least groups of supply and discharge regions (13, 15, 17, 18) are distributed uniformly along the helical turns or in the circumferential direction of the coating cylinder (10), and / or that the coating cylinder (10) and / or the reaction and / or the purge gas is preferably heated to a temperature of 60 ° C to 150 ° C, and / or that it is suitable for coating film webs (FB) with a width up to 150 cm, in particular with a width of 30 to 50 cm, and / or that it is designed for a web speed of the film web (10) up to 120 m / min, in particular from 20 m / min to 40 m / min. 10. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 1-9, dadurch gekennzeichnet, dass zur Abdichtung des Spaltes zwischen benachbarten, sich nicht überdeckenden Windungen der Folienbahn auf dem Beschichtungszylinder (10) eine den Spalt überdeckende Abdeckung (AD) mit der Folienbahn (FB) zumindest auf dem Beschichtungszylinder (10) mitläuft.10. Device according to one of claims 1-9, characterized in that for sealing the gap between adjacent, non-overlapping turns of the film web on the coating cylinder (10) a gap covering the cover (AD) with the film web (FB) at least the coating cylinder (10) runs along. 11. Vorrichtung nach Anspruch 10, dadurch gekennzeichnet, dass die Abdeckung (AD) einen Träger (HB) umfasst, welcher zumindest auf seiner der Folienbahn (FB) auf dem Beschichtungszylinder (10) zugewandten Seite, vorzugsweise jedoch beidseitig, klebrig oder mit einer Klebschicht (K1, K2) zur nicht-permanenten Verbindung mit der Folienbahn (FB) versehen ist.11. The device according to claim 10, characterized in that the cover (AD) comprises a carrier (HB) which at least on its the film web (FB) on the coating cylinder (10) facing side, but preferably on both sides, sticky or with an adhesive layer (K1, K2) for non-permanent connection with the film web (FB) is provided. 12. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 10 oder 11, dadurch gekennzeichnet, dass sie Aufrollmittel (R2) umfasst, um die Folienbahn (FB) zusammen mit der Abdeckung (AD) auf sich selbst aufzurollen.12. Device according to one of claims 10 or 11, characterized in that it comprises rolling-up means (R2) to roll up the film web (FB) together with the cover (AD) on itself. 13. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 10 - 13, dadurch gekennzeichnet, dass sie Mittel (35-38) umfasst, um die Abdeckung (AD) während des Durchlaufs der Folienbahn (FB) aus einer flüssigen Masse zu erzeugen und mit ihr zu verbinden.13. Device according to one of claims 10-13, characterized in that it comprises means (35-38) for producing the cover (AD) during the passage of the film web (FB) of a liquid mass and to connect with it. 14. Mit durch wenigstens zwei selbstbegrenzende Oberflächenreaktionen (ALD/MLD) abgeschiedenen dünnen Schichten (B) sowie mit einer mit den Mitteln gemäss Anspruch 13 erzeugten Abdeckung (AD) versehene Folienbahn (FB) oder Zuschnitte daraus.14. With separated by at least two self-limiting surface reactions (ALD / MLD) thin layers (B) as well as with a cover (AD) produced by the means according to claim 13 provided film web (FB) or blanks thereof. 15. Vorrichtung zur Abscheidung dünner Schichten durch wenigstens zwei selbstbegrenzende Oberflächenreaktionen (ALD/MLD) unter erhöhter Temperatur auf einer unter Zugspannung stehenden, laufenden Folienbahn (FB), wobei die Vorrichtung mindestens einen Beschichtungszylinder (10) aufweist, insbesondere Vorrichtung nach einem der Ansprüche 1–13, dadurch gekennzeichnet, dass sie eine von der durch den Beschichtungsvorgang noch erhitzten Folienbahn (FB) durchlaufende Messvorrichtung (40) zur Ermittlung der Sauerstoff- oder Stickstoffdurchlässigkeit der Folienbahn (FB) und der auf ihr abgeschiedenen dünnen Schichten (B) umfasst.15. Device for depositing thin layers by at least two self-limiting surface reactions (ALD / MLD) at elevated temperature on a running, tensioned, running film web (FB), wherein the device has at least one coating cylinder (10), in particular device according to one of claims 1 13, characterized in that it comprises a measuring device (40) passing through the film web (FB) still heated by the coating process for determining the oxygen or nitrogen permeability of the film web (FB) and the thin layers (B) deposited on it. 16. Vorrichtung nach Anspruch 15, dadurch gekennzeichnet, dass sie Mittel (50) zur Beschriftung und/oder Codierung der laufenden Folienbahn (FB) mit wenigstens einem der ermittelten oder daraus abgeleiteten Sauerstoff-, Stickstoff- und/oder Wasserdampfdurchlässigkeitswerte umfasst.16. The device according to claim 15, characterized in that it comprises means (50) for labeling and / or coding of the running film web (FB) with at least one of the determined or derived therefrom oxygen, nitrogen and / or Wasserdampfdurchlässigkeitswerte. 17. Mit durch wenigstens zwei selbstbegrenzende Oberflächenreaktionen (ALD/MLD) abgeschiedenen dünnen Schichten (B) versehene sowie mit den Mitteln (40) gemäss Anspruch 16 ermittelten oder daraus abgeleiteten Sauerstoff-, Stickstoff-und/oder Wasserdampfdurchlässigkeitswerten beschriftete und/oder codierte Folienbahn (FB) oder Zuschnitte daraus.17. Film sheet provided with thin layers (B) deposited by at least two self-limiting surface reactions (ALD / MLD) and with the means (40) according to Claim 16 or derived from oxygen, nitrogen and / or water vapor permeability values ( FB) or blanks from it. 18. Verfahren zur Abscheidung dünner Schichten durch wenigstens zwei selbstbegrenzende Oberflächenreaktionen (ALD/MLD) unter erhöhter Temperatur auf einer unter Zugspannung stehenden, laufenden Folienbahn (FB), insbesondere unter Verwendung einer Vorrichtung nach einem der vorangehenden Vorrichtungsansprüche, wobei die Folienbahn (FB) einem mit Zuführungs- und Ableitungsbereichen (13, 15, 17, 18) für Reaktions- und Spülgas versehenen Beschichtungszylinder (10) zugeführt und nach mehreren schraubenförmigen Windungen von diesem wieder abgenommen wird, und wobei die Folienbahn (FB) in den Zuführungsbereichen (13, 17, 18) entgegen ihrer Zugspannung auf einem Gaskissen auf Abstand von der Oberfläche des Beschichtungszylinders (10) gehalten wird, dadurch gekennzeichnet, dass der Beschichtungszylinder (10) stillsteht, dass die Folienbahn (FB) mit mindestens fünf Windungen um den Beschichtungszylinder (10) herumgeführt wird, und dass das Gas für die Gaskissen in zumindest einigen Zuführungsbereichen (13, 17) durch eine porös ausgebildete Oberflächenschicht (13.1, 17.1) des Beschichtungszylinders (10) flächig verteilt zugeführt wird.18. A method for depositing thin layers by at least two self-limiting surface reactions (ALD / MLD) under elevated temperature on a tensioned, running film web (FB), in particular using a device according to one of the preceding device claims, wherein the film web (FB) is supplied to a coating cylinder (10) provided with supply and discharge areas (13, 15, 17, 18) for reaction and purge gas and removed again after a plurality of helical windings, and wherein the film web (FB) is held in the feed regions (13, 17, 18) against its tension on a gas cushion at a distance from the surface of the coating cylinder (10), characterized, that the coating cylinder (10) is stationary, that the film web (FB) with at least five turns is guided around the coating cylinder (10), and that the gas for the gas cushion in at least some feed areas (13, 17) by a porous surface layer (13.1, 17.1) of the coating cylinder (10) is distributed over a flat area.