CH621366A5 - - Google Patents

Download PDF

Info

Publication number
CH621366A5
CH621366A5 CH574177A CH574177A CH621366A5 CH 621366 A5 CH621366 A5 CH 621366A5 CH 574177 A CH574177 A CH 574177A CH 574177 A CH574177 A CH 574177A CH 621366 A5 CH621366 A5 CH 621366A5
Authority
CH
Switzerland
Prior art keywords
recipient
wall
casing
heating
protective gas
Prior art date
Application number
CH574177A
Other languages
German (de)
English (en)
Inventor
Thaddaeus Dr Kraus
Original Assignee
Balzers Hochvakuum
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Balzers Hochvakuum filed Critical Balzers Hochvakuum
Priority to CH574177A priority Critical patent/CH621366A5/de
Priority to NLAANVRAGE7708290,A priority patent/NL169903C/xx
Priority to DE19782816612 priority patent/DE2816612A1/de
Priority to GB15801/78A priority patent/GB1568797A/en
Priority to US05/903,173 priority patent/US4183982A/en
Priority to FR7813302A priority patent/FR2400949A1/fr
Publication of CH621366A5 publication Critical patent/CH621366A5/de

Links

Classifications

    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
    • F04B—POSITIVE-DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS
    • F04B37/00—Pumps having pertinent characteristics not provided for in, or of interest apart from, groups F04B25/00 - F04B35/00
    • F04B37/10—Pumps having pertinent characteristics not provided for in, or of interest apart from, groups F04B25/00 - F04B35/00 for special use
    • F04B37/14—Pumps having pertinent characteristics not provided for in, or of interest apart from, groups F04B25/00 - F04B35/00 for special use to obtain high vacuum

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • General Engineering & Computer Science (AREA)
  • Physical Vapour Deposition (AREA)
  • Details Of Rigid Or Semi-Rigid Containers (AREA)
  • Application Of Or Painting With Fluid Materials (AREA)
  • Compressors, Vaccum Pumps And Other Relevant Systems (AREA)
CH574177A 1977-05-09 1977-05-09 CH621366A5 (xx)

Priority Applications (6)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CH574177A CH621366A5 (xx) 1977-05-09 1977-05-09
NLAANVRAGE7708290,A NL169903C (nl) 1977-05-09 1977-07-26 Werkwijze voor het opwekken van hoogvacuuem in een recipient.
DE19782816612 DE2816612A1 (de) 1977-05-09 1978-04-17 Verfahren zur erzeugung von hochvakuum
GB15801/78A GB1568797A (en) 1977-05-09 1978-04-21 Production of a high vacuum
US05/903,173 US4183982A (en) 1977-05-09 1978-05-05 Fluid protective wall cover in a vapor deposition chamber
FR7813302A FR2400949A1 (fr) 1977-05-09 1978-05-05 Procede pour creer un vide pousse

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CH574177A CH621366A5 (xx) 1977-05-09 1977-05-09

Publications (1)

Publication Number Publication Date
CH621366A5 true CH621366A5 (xx) 1981-01-30

Family

ID=4298581

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
CH574177A CH621366A5 (xx) 1977-05-09 1977-05-09

Country Status (6)

Country Link
US (1) US4183982A (xx)
CH (1) CH621366A5 (xx)
DE (1) DE2816612A1 (xx)
FR (1) FR2400949A1 (xx)
GB (1) GB1568797A (xx)
NL (1) NL169903C (xx)

Families Citing this family (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
EP0382984A1 (en) * 1989-02-13 1990-08-22 L'air Liquide, Societe Anonyme Pour L'etude Et L'exploitation Des Procedes Georges Claude Thermal decomposition trap
DE4336035A1 (de) * 1993-10-22 1995-04-27 Leybold Ag Verfahren zum Betrieb einer Kryopumpe sowie Vakuumpumpensystem mit Kryopumpe und Vorpumpe
DE10341425A1 (de) * 2003-09-09 2005-03-31 Bosch Rexroth Ag Hydraulikaggregat mit einem Vorratsbehälter für Hydraulik-Flüssigkeit und mit einer Motor-Pumpe-Einheit
JP4430506B2 (ja) * 2004-10-14 2010-03-10 三菱電機株式会社 蒸着装置
CN106949372B (zh) * 2017-03-20 2019-04-30 成都科瑞尔低温设备有限公司 一种抽高真空的方法
CN111622924A (zh) * 2020-05-14 2020-09-04 李宁军 一种正压排气***

Family Cites Families (15)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US3002735A (en) * 1957-07-01 1961-10-03 Sunbeam Equip Vacuum furnace
NL126085C (xx) * 1960-06-17
US3183888A (en) * 1961-11-29 1965-05-18 Wilson Eng Co Inc Lee Apparatus for surface coating of strip metal or the like
DE1171877B (de) * 1963-03-26 1964-06-11 Degussa Vakuumofen
DE1285091B (de) * 1964-01-02 1968-12-12 Norton Co Vakuumapparat zum Erzeugen eines Ultrahochvakuums
US3446659A (en) * 1966-09-16 1969-05-27 Texas Instruments Inc Apparatus and process for growing noncontaminated thermal oxide on silicon
CH445008A (de) * 1966-10-18 1967-10-15 Balzers Patent Beteilig Ag Verfahren zur Desorption von Fremdmolekülen von der Innenwand eines Rezipienten
US3466191A (en) * 1966-11-07 1969-09-09 Us Army Method of vacuum deposition of piezoelectric films of cadmium sulfide
US3573888A (en) * 1968-02-06 1971-04-06 Anchor Hocking Glass Corp Vapor overheating method and apparatus for strengthening glass
FR1587077A (xx) * 1968-08-01 1970-03-13
US3649339A (en) * 1969-09-05 1972-03-14 Eugene C Smith Apparatus and method for securing a high vacuum for particle coating process
US3876410A (en) * 1969-12-24 1975-04-08 Ball Brothers Co Inc Method of applying durable lubricous coatings on glass containers
CH522570A (it) * 1970-05-06 1972-06-30 Metal Lux Spa Apparecchiatura per la colorazione sotto vuoto di lenti per occhiali
US3974003A (en) * 1975-08-25 1976-08-10 Ibm Chemical vapor deposition of dielectric films containing Al, N, and Si
NL7512177A (nl) * 1975-09-23 1977-03-25 Balzers Patent Beteilig Ag Vacuuminstallatie voor het behandelen van een produkt in het bijzonder een vacuumopdampin- stallatie.

Also Published As

Publication number Publication date
DE2816612A1 (de) 1978-11-16
US4183982A (en) 1980-01-15
NL169903B (nl) 1982-04-01
NL169903C (nl) 1982-09-01
GB1568797A (en) 1980-06-04
NL7708290A (nl) 1978-11-13
FR2400949B1 (xx) 1982-11-19
FR2400949A1 (fr) 1979-03-23

Similar Documents

Publication Publication Date Title
DE3248730A1 (de) Verfahren und vorrichtung zum kontinuierlichen behandeln einer stoffbahn mit hilfe eines niedertemperaturplasmas
DE2222050B2 (de) Verfahren und Vorrichtung zum Vakuumsintern von Kohlenwasserstoffe enthaltenden Preßkorpern aus pulverformigen Ausgangsstoffen
DE3220683A1 (de) Verfahren und vorrichtung zur herstellung einer amorphen siliciumschicht
DE1446199A1 (de) Verfahren zum UEberziehen von Scheiben in einer evakuierten Vakuumkammer
DE69726101T2 (de) Falle zur Trennung von Abgasen
DE19721515A1 (de) Gerät zum Erzeugen chemisch reiner trockener Luft
DE112019007555T5 (de) HFCVD-Vorrichtung für die kontinuierliche Herstellung von Diamantfolien und deren Beschichtungsverfahren
EP2791508B1 (de) Vorrichtung und verfahren zum evakuieren eines raums und zum reinigen des aus dem raum abgesaugten gases
CH621366A5 (xx)
DE2133250A1 (de) Abgasaufbereitungssystem zur behandlung radioaktiver spalt- und aktivierungsgase
DE69817775T2 (de) Verfahren zur verbesserung eines vakuums in einem hochvakuumsystem
WO2005061132A1 (de) Verfahren und vorrichtung zum reinigen wenigstens einer prozesskammer zum beschichten wenigstens eines substrats
DE4130640C2 (de) Vorrichtung und Verfahren zum Reinigen eines Filters
DE3423597A1 (de) Anlage zur metallpulver-herstellung durch edelgas- oder stickstoffverduesung
EP0012448B1 (de) Verfahren und Vorrichtung zur selektiven Abtrennung von Wasserstoff aus einer Gasmischung durch Diffusion
CH621714A5 (xx)
DE3915573A1 (de) Verfahren und vorrichtung zum filtern von kontaminierten, mit fluessigen blaeschen durchsetzten gasen
DE2519170C2 (de) Verfahren zur Erzeugung von Vakuum in einem Rezipienten und Vakuumpumpe zur Durchführung dieses Verfahrens
DE2635007A1 (de) Vakuumanlage zum behandeln eines gutes, insbesondere vakuumaufdampfanlage
DE2214578C3 (de) Vorrichtung und Verfahren zum Entfernen von Feuchtigkeit aus einem Kühlsystem
DE102011007619A1 (de) Substratbehandlungsanlage
DE3806933A1 (de) Verfahren zur herstellung von oxidschichten auf staehlen
DE455798C (de) Verfahren und Vorrichtung zur Gewinnung der von Adsorptionsmitteln aufgenommenen Stoffe
DE102008030677B4 (de) Verfahen und Vorrichtung zur Diffusionsbehandlung von Werkstücken
DE3312432C2 (xx)

Legal Events

Date Code Title Description
PL Patent ceased