CH557199A - Vorrichtung zum tiegelfreien zonenschmelzen eines halbleiterstabes. - Google Patents

Vorrichtung zum tiegelfreien zonenschmelzen eines halbleiterstabes.

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CH557199A
CH557199A CH393570A CH393570A CH557199A CH 557199 A CH557199 A CH 557199A CH 393570 A CH393570 A CH 393570A CH 393570 A CH393570 A CH 393570A CH 557199 A CH557199 A CH 557199A
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CH393570A 1969-03-19 1970-03-17 Vorrichtung zum tiegelfreien zonenschmelzen eines halbleiterstabes. CH557199A (de)

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* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE2220519C3 (de) * 1972-04-26 1982-03-11 Siemens AG, 1000 Berlin und 8000 München Verfahren zum tiegelfreien Zonenschmelzen von Halbleiterstäben
JPS5382603A (en) * 1976-12-27 1978-07-21 Monsanto Co Zone refining apparatus for semiconductive material rod
US4220626A (en) * 1978-04-13 1980-09-02 Monsanto Company RF Induction heating circuits for float zone refining of semiconductor rods
DE3143146A1 (de) * 1981-10-30 1983-05-11 Siemens AG, 1000 Berlin und 8000 München Als flachspule ausgebildete induktionsheizspule zum tiegelfreien zonenschmelzen
DE3226713A1 (de) * 1982-07-16 1984-01-19 Siemens AG, 1000 Berlin und 8000 München Als flachspule ausgebildete induktionsheizspule zum tiegelfreien zonenschmelzen
DE3229461A1 (de) * 1982-08-06 1984-02-09 Siemens AG, 1000 Berlin und 8000 München Vorrichtung zum tiegelfreien zonenschmelzen eines, insbesondere aus silicium bestehenden halbleiterstabes
DE3836239A1 (de) * 1988-10-25 1990-04-26 Deutsche Forsch Luft Raumfahrt Vorrichtung zum behaelterlosen positionieren und schmelzen von elektrisch leitenden materialien
JP2016157567A (ja) * 2015-02-24 2016-09-01 高周波熱錬株式会社 加熱装置及び加熱コイル

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