CA2428218A1 - Appareil de detection en parallele du comportement de microoscillateurs mecaniques - Google Patents
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Abstract
L'invention concerne un appareil de détection en parallèle du comportement de microoscillateurs mécaniques interagissant avec l'échantillon (21). Par des moyens optiques, on mesure l'amplitude et la phase de résonance des microoscillateurs (12). Selon l'invention, une source (1) est active pendant une fraction 1/n de la période (n entier) et de phase variable p/n de la période (p entier). On réalise des interférences entre des faisceaux lumineux produits par réflexion de faisceaux lumineux incidents (7) et (8), sur les microoscillateurs (12). Des moyens déplacent périodiquement les microoscillateurs (12). On fait varier la valeur du paramètre p (p entier) et on intègre N mesures élémentaires pour obtenir une mesure représentative pour chacune des valeurs de p. On calcule la phase et l'amplitude de chaque microoscillateur (12) à partir des données représentatives obtenues pour chaque valeur de p et ceci pour un grand nombre d'accumulations. Cette invention est appliquée dans le domaine des nanotechnologies.
Claims (9)
1. Appareil de détection en parallèle du comportement de microoscillateurs mécaniques:
- des microoscillateurs mécaniques (12) montés sur un support (13) interagissant avec l'échantillon (21), des moyens optiques pour la mesure de l'amplitude et de la phase des oscillations des microoscillateurs (12), caractérisé en ce que lesdits moyens optiques comportent - une source lumineuse (1) périodique, active pendant une fraction 1/n de la période (n entier) et de phase variable p/n de la période (p entier), des moyens de production de faisceaux lumineux incidents (7) et (8), dirigés respectivement sur chacune des extrémités (10) et (11) des microoscillateurs (12), - des moyens de séparation desdits faisceaux lumineux incidents (7) et (8), - des moyens d'interférence des faisceaux lumineux réfléchis et modulés, produits par réflexion des faisceaux lumineux incidents sur . les microoscillateurs (12), produisant ,une image d'interférence, - un détecteur multicanal (14) comprenant au moins autant de canaux qu'il existe de microoscillateurs (12), et en ce qu'il comporte:
des moyens de déplacement périodique des microosciliateurs (12), dans leur ensemble (21), - des moyens permettant de faire varier la valeur du paramètre p (p entier) et d'intégrer N mesures élémentaires pour obtenir une mesure représentative pour chacune des valeurs de p, - un ordinateur (20) permet d'enregistrer, dans une mémoire tampon, les données représentatives obtenues pour chaque valeur de p et ceci pour un grand nombre d'accumulations et permet ensuite le calcul de la phase et de l'amplitude de chaque microoscillateur (12).
- des microoscillateurs mécaniques (12) montés sur un support (13) interagissant avec l'échantillon (21), des moyens optiques pour la mesure de l'amplitude et de la phase des oscillations des microoscillateurs (12), caractérisé en ce que lesdits moyens optiques comportent - une source lumineuse (1) périodique, active pendant une fraction 1/n de la période (n entier) et de phase variable p/n de la période (p entier), des moyens de production de faisceaux lumineux incidents (7) et (8), dirigés respectivement sur chacune des extrémités (10) et (11) des microoscillateurs (12), - des moyens de séparation desdits faisceaux lumineux incidents (7) et (8), - des moyens d'interférence des faisceaux lumineux réfléchis et modulés, produits par réflexion des faisceaux lumineux incidents sur . les microoscillateurs (12), produisant ,une image d'interférence, - un détecteur multicanal (14) comprenant au moins autant de canaux qu'il existe de microoscillateurs (12), et en ce qu'il comporte:
des moyens de déplacement périodique des microosciliateurs (12), dans leur ensemble (21), - des moyens permettant de faire varier la valeur du paramètre p (p entier) et d'intégrer N mesures élémentaires pour obtenir une mesure représentative pour chacune des valeurs de p, - un ordinateur (20) permet d'enregistrer, dans une mémoire tampon, les données représentatives obtenues pour chaque valeur de p et ceci pour un grand nombre d'accumulations et permet ensuite le calcul de la phase et de l'amplitude de chaque microoscillateur (12).
2. Appareil selon la revendication 1, caractérisé en ce que les moyens de déplacement périodique dés microoscillateurs (12) comportent une céramique piézoélectrique (16) dont la fréquence d'excitation électrique (18), synchronisée avec la source lumineuse (1), est f.
3. Appareil selon la revendication 2, caractérisé en ce que le support (15) est une lame de silicium, positionnée directement sur la céramique piézoélectrique (16).
4, Appareil selon la revendication 2, caractérisé en ce que l'extrémité
fibre (11) des microoscillateurs (12) est fonctionnalisée pour la détection sélective et différenciée de l'échantillon (21).
fibre (11) des microoscillateurs (12) est fonctionnalisée pour la détection sélective et différenciée de l'échantillon (21).
5. Appareil selon la revendication 1, caractérisé en ce que les moyens de séparation et de polarisation des faisceaux lumineux incidents comportent:
un cube séparateur de polarisation (5) qui polarise linéairement le faisceau lumineux incident, un prisme de Wollaston (6) qui sépare le faisceau lumineux incident en deux faisceaux de polarisations orthogonales (7) et (8).
un cube séparateur de polarisation (5) qui polarise linéairement le faisceau lumineux incident, un prisme de Wollaston (6) qui sépare le faisceau lumineux incident en deux faisceaux de polarisations orthogonales (7) et (8).
6. Appareil selon l'une quelconque des revendications 1 à 5, caractérisé
en ce que l'ensemble composé des microoscillateurs (12), du support (15) et de la céramique piézoélectrique (16) est placé sur un banc, l'ensemble étant à
la pression atmosphérique.
en ce que l'ensemble composé des microoscillateurs (12), du support (15) et de la céramique piézoélectrique (16) est placé sur un banc, l'ensemble étant à
la pression atmosphérique.
7. Appareil selon la revendication 1, caractérisé en ce pue les moyens permettant de faire varier la valeur du paramètre p, de synchroniser la détection (17), la source lumineuse (1) et la céramique piézoélectrique. (16) comportent un séquenceur (2).
8. Appareil selon la revendication 1, caractérisé en ce que l'ensemble de détection comporte un zoom (13) et une caméra CCD numérique (14).
9. Appareil selon la revendication 1, caractérisé en ce que l'ensemble de détection comporte un microscope et une caméra analogique.
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