BR9912359A - Processo para manufaturar uma estrutura de guia de onda óptica indifusa em um substrato, guia de onda óptica indifusa, dispositivo óptico integrado, conversor do modo e comutador e filtro acústico-óptico, e, divisor de potência acústico e de polarização - Google Patents

Processo para manufaturar uma estrutura de guia de onda óptica indifusa em um substrato, guia de onda óptica indifusa, dispositivo óptico integrado, conversor do modo e comutador e filtro acústico-óptico, e, divisor de potência acústico e de polarização

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Abstract

"PROCESSO PARA MANUFATURAR UMA ESTRUTURA DE GUIA DE ONDA óPTICA INDIFUSA EM UM SUBSTRATO, GUIA DE ONDA óPTICA INDIFUSA, DISPOSITIVO óPTICO INTEGRADO, CONVERSOR DO MODO E COMUTADOR E FILTRO ACúSTICO-óPTICO, E, DIVISOR DE POTêNCIA ACúSTICO E DE POLARIZAçãO". A invenção refere-se a um processo de manufaturar uma guia de onda óptica indifusa ( 6 ) em um substrato ( 1 ). Uma camada metálica ( 7 ) e um fotorresistor ( 8 ) são depositados sobre um substrato ( 1 ) nesta ordem. Partes do fotorresistor ( 8 ) são removidas de modo que uma estrutura do fotorresistor ( 8 ), correspondendo à estrutura da guia de onda desejada, seja deixada. As partes expostas da camada metálica ( 7 ) são removidas por uma técnica de cauterização químico/física, após o que o fotorresistor remanescente ( 8 ) é removido e a camada metálica remanescente ( 7 ) é difundida dentro do substrato ( 1 ) por um tratamento térmico. O uso de um processo de cauterização químico/física, para remover partes da camada metálica ( 7 ), resulta em menores variações da largura da guia de onda após indifusão. Tais guias de onda são particularmente vantajosas quando sendo usadas em conexão com dispositivos acústico-ópticos. As guias de onda ópticas, de acordo com a invenção, são também utilizáveis com outros dispositivos ópticos integrados.
BR9912359-2A 1998-06-04 1999-06-04 Processo para manufaturar uma estrutura de guia de onda óptica indifusa em um substrato, guia de onda óptica indifusa, dispositivo óptico integrado, conversor do modo e comutador e filtro acústico-óptico, e, divisor de potência acústico e de polarização BR9912359A (pt)

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BR9912359-2A BR9912359A (pt) 1998-06-04 1999-06-04 Processo para manufaturar uma estrutura de guia de onda óptica indifusa em um substrato, guia de onda óptica indifusa, dispositivo óptico integrado, conversor do modo e comutador e filtro acústico-óptico, e, divisor de potência acústico e de polarização

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