ATE551882T1 - Drehradelektrodenvorrichtung für gasentladungsquellen mit radabdeckung für hochleistungsbetrieb - Google Patents

Drehradelektrodenvorrichtung für gasentladungsquellen mit radabdeckung für hochleistungsbetrieb

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ATE551882T1
ATE551882T1 AT08789607T AT08789607T ATE551882T1 AT E551882 T1 ATE551882 T1 AT E551882T1 AT 08789607 T AT08789607 T AT 08789607T AT 08789607 T AT08789607 T AT 08789607T AT E551882 T1 ATE551882 T1 AT E551882T1
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AT
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gas discharge
electrode device
discharge sources
high power
power operation
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AT08789607T
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Uladzimir Zhokhavets
Thomas Kruecken
Guenther Derra
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Koninkl Philips Electronics Nv
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    • H01J1/88—Mounting, supporting, spacing, or insulating of electrodes or of electrode assemblies
    • H—ELECTRICITY
    • H05—ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H05G—X-RAY TECHNIQUE
    • H05G2/00—Apparatus or processes specially adapted for producing X-rays, not involving X-ray tubes, e.g. involving generation of a plasma
    • H05G2/001—X-ray radiation generated from plasma
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