ATE423382T1 - Vorrichtung und verfahren zum positionieren einer röntgenlinse und röntgengerät mit einer solchen vorrichtung - Google Patents
Vorrichtung und verfahren zum positionieren einer röntgenlinse und röntgengerät mit einer solchen vorrichtungInfo
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Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
EP05018216A EP1758132B1 (de) | 2005-08-22 | 2005-08-22 | Vorrichtung und Verfahren zum Positionieren einer Röntgenlinse und Röntgengerät mit einer solchen Vorrichtung |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
ATE423382T1 true ATE423382T1 (de) | 2009-03-15 |
Family
ID=35645322
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
AT05018216T ATE423382T1 (de) | 2005-08-22 | 2005-08-22 | Vorrichtung und verfahren zum positionieren einer röntgenlinse und röntgengerät mit einer solchen vorrichtung |
Country Status (7)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US7769136B2 (de) |
EP (1) | EP1758132B1 (de) |
JP (1) | JP2009505111A (de) |
CN (1) | CN101243522B (de) |
AT (1) | ATE423382T1 (de) |
DE (1) | DE602005012824D1 (de) |
WO (1) | WO2007022917A1 (de) |
Families Citing this family (9)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP5783785B2 (ja) | 2010-06-02 | 2015-09-24 | キヤノン株式会社 | X線導波路 |
EP2458328B1 (de) * | 2010-11-24 | 2016-01-27 | Leica Geosystems AG | Konstruktionsvermessungsgerät mit einer automatischen Lotpunktfindungs-Funktionalität |
EP2474810A1 (de) * | 2011-01-11 | 2012-07-11 | Leica Geosystems AG | Vermessungsgerät mit einer dynamischen Anzielfunktionalität |
EP2541194A1 (de) * | 2011-07-01 | 2013-01-02 | Hexagon Technology Center GmbH | Konstruktionsvermessungsgerät zum Verfolgen, Vermessen und Markieren von Kanten und Eckpunkten aneinandergrenzender Oberflächen |
DE102013202487A1 (de) | 2013-02-15 | 2014-08-21 | Bruker Nano Gmbh | Vorrichtung zur räumlichen Ausrichtung einer Röntgenoptik und Apparatur mit einer solchen |
KR101519475B1 (ko) * | 2014-07-17 | 2015-05-13 | 주식회사 벡트론 | X-선 집속을 위한 복합굴절렌즈의 홀더 조작장치 |
DE102014219601B4 (de) * | 2014-08-13 | 2023-06-29 | Bruker Nano Gmbh | Verfahren zum Scannen einer Probe mittels einer Röntgenoptik und eine Apparatur zum Scannen einer Probe |
CN109524284A (zh) * | 2018-11-28 | 2019-03-26 | 深圳先进技术研究院 | 一种放射治疗x射线源及x射线源装置 |
DE102022105838B3 (de) * | 2022-03-14 | 2023-08-17 | Helmut Fischer GmbH Institut für Elektronik und Messtechnik | Justiereinheit für eine Röntgenoptik in einem Röntgenfluoreszenzgerät sowie Röntgenfluoreszenzgerät |
Family Cites Families (17)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS62106352A (ja) * | 1985-11-01 | 1987-05-16 | Natl Inst For Res In Inorg Mater | 走査型x線顕微鏡 |
JPH0631887B2 (ja) * | 1988-04-28 | 1994-04-27 | 株式会社東芝 | X線ミラー及びその製造方法 |
US5192869A (en) * | 1990-10-31 | 1993-03-09 | X-Ray Optical Systems, Inc. | Device for controlling beams of particles, X-ray and gamma quanta |
JP3016439B2 (ja) * | 1991-02-18 | 2000-03-06 | 理学電機株式会社 | コリメータを備えたx線発生装置 |
JP3190989B2 (ja) * | 1991-04-02 | 2001-07-23 | 理学電機株式会社 | X線装置のコリメータ |
JP3197104B2 (ja) * | 1993-04-19 | 2001-08-13 | セイコーインスツルメンツ株式会社 | X線解析装置 |
JPH07260714A (ja) * | 1994-03-25 | 1995-10-13 | Hitachi Ltd | X線分析装置 |
JP4065563B2 (ja) * | 1995-10-05 | 2008-03-26 | 株式会社 東芝 | X線像撮像装置 |
GB9815968D0 (en) * | 1998-07-23 | 1998-09-23 | Bede Scient Instr Ltd | X-ray focusing apparatus |
JP3330563B2 (ja) * | 1999-04-12 | 2002-09-30 | セイコーインスツルメンツ株式会社 | 微量試料分析装置 |
JP2001074892A (ja) * | 1999-09-03 | 2001-03-23 | Rigaku Corp | コリメータ及びx線装置 |
EP1193492B1 (de) * | 2000-09-27 | 2007-08-08 | Euratom | Mikrostrahl-Kollimator für Hochauflösungs-Röntgenstrahl-Beugungsanalyse mittels konventionellen Diffraktometern |
JP2002131488A (ja) * | 2000-10-18 | 2002-05-09 | Vision Arts Kk | X線レンズおよびそのx線レンズの製造方法 |
WO2003049510A2 (en) | 2001-12-04 | 2003-06-12 | X-Ray Optical Systems, Inc. | X-ray source assembly having enhanced output stability, and fluid stream analysis applications thereof |
US6888920B2 (en) * | 2002-09-03 | 2005-05-03 | Basil Eric Blank | Low-cost, high precision goniometric stage for x-ray diffractography |
DE602005017035D1 (de) * | 2005-08-22 | 2009-11-19 | Unisantis Fze | Vorrichtung zur Abschirmung von Röntgenstrahlen und Röntgengerät mit dieser |
ATE445222T1 (de) * | 2005-08-22 | 2009-10-15 | Unisantis Fze | Röntgenlinsenanordnung und röntgenvorrichtung die diese einschliesst |
-
2005
- 2005-08-22 AT AT05018216T patent/ATE423382T1/de not_active IP Right Cessation
- 2005-08-22 EP EP05018216A patent/EP1758132B1/de not_active Not-in-force
- 2005-08-22 DE DE602005012824T patent/DE602005012824D1/de active Active
-
2006
- 2006-08-17 US US12/064,387 patent/US7769136B2/en not_active Expired - Fee Related
- 2006-08-17 CN CN2006800303099A patent/CN101243522B/zh not_active Expired - Fee Related
- 2006-08-17 WO PCT/EP2006/008142 patent/WO2007022917A1/en active Application Filing
- 2006-08-17 JP JP2008527359A patent/JP2009505111A/ja active Pending
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
EP1758132A1 (de) | 2007-02-28 |
EP1758132B1 (de) | 2009-02-18 |
US7769136B2 (en) | 2010-08-03 |
CN101243522B (zh) | 2011-01-12 |
US20090220054A1 (en) | 2009-09-03 |
WO2007022917A1 (en) | 2007-03-01 |
DE602005012824D1 (de) | 2009-04-02 |
JP2009505111A (ja) | 2009-02-05 |
CN101243522A (zh) | 2008-08-13 |
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Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
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