AT515950A2

AT515950A2 - Schleifverfahren für plattenartiges Werkstück

Info

Publication number: AT515950A2
Application number: ATA50580/2015A
Authority: AT
Original assignee: Disco Corp
Priority date: 2014-07-04
Filing date: 2015-07-03
Publication date: 2016-01-15
Also published as: DE102015212289A1; AT515950A3; JP2016016457A; AT515950B1; JP6389660B2

Abstract

In einem einleitenden Schleifschritt wird ein plattenartiges Werkstück, das auf einem Einspanntisch gehalten ist, unter Benutzung einer Schleifeinheit geschliffen, bis die Stärke des plattenartigen Werkstücks auf eine Stärke verringert ist, die größer als eine Endstärke ist. In einem Stärkemessschritt im Anschluss an den einleitenden Schleifschritt wird die Stärke des plattenartigen Werkstücks, das auf dem Einspanntisch gehalten ist, unter Benutzung einer Stärkemesseinheit an mehreren Messpositionen mit unterschiedlichem Abstand zur Drehachse des Einspanntischs gemessen. In einem Bestimmungsschritt im Anschluss an den Stärkemessschritt wird die Differenz zwischen einem Maximalwert und einem Minimalwert von mehreren Stärken, die im Stärkemessschritt gemessen wurden, berechnet, und es wird bestimmt, ob die oben berechnete Differenz zwischen dem Maximalwert und dem Minimalwert geringer als die oder gleich der Differenz zwischen einer zulässigen Maximalstärke und einer zulässigen Minimalstärke für die Endstärke ist oder nicht.

Description

STAND DER TECHNIK

Gebiet der Erfindung

Die vorliegende Erfindung betrifft ein Schleifverfahren zumSchleifen eines plattenartigen oder plattenförmigen Werkstücks zumVerringern der Stärke des plattenartigen Werkstücks.

Beschreibung des Stands der Technik

Beim Schleifen eines plattenartigen Werkstücks zum

Verringern der Stärke des plattenartigen Werkstücks wird dieStärke des plattenartigen Werkstücks während des Schleifensgemessen. Zu dem Zeitpunkt, an dem die Stärke des plattenartigenWerkstücks auf eine Zielstärke verringert ist, wird das Schleifenbeendet. Ein Verfahren zum Messen der Stärke des plattenartigenWerkstücks enthält ein Verfahren, das Kontaktstärkemessmittelnutzt, wie in der japanischen Patentschrift Nr. 5025200beschrieben, und ein Verfahren, das kontaktlose Stärkemessmittelnutzt, wie in der japanischen Patent-Auslegeschrift Nr. 2009-50944beschrieben.

Es gibt jedoch einen Fall, in dem die Stärke desgeschliffenen plattenartigen Werkstücks gemäß der radialenPosition auf dem plattenartigen Werkstück variiert, d.h. gemäß demAbstand zur Drehachse eines Einspanndrehtischs, der dasplattenartige Werkstück hält. Zum Bewältigen derartigerStärkevariationen des plattenartigen Werkstücks offenbart die japanische Patent-Auslegeschrift Nr. 2011-235388 eine Technik desMessens der Stärke eines plattenartigen Werkstücks, das auf einemEinspanndrehtisch gehalten ist, an mehreren Positionen mit unterschiedlichem Abstand zur Drehachse des Einspanntischs,Speichern der Messdaten zur Stärke des plattenartigen Werkstücksund Verwenden der Messdaten als Verwaltungsdaten zum Bestimmen, objedes Bauelement (Chip), das durch Aufteilen des plattenartigenWerkstücks erhalten wird, gut ist oder nicht. Ferner offenbart diejapanische Patent-Auslegeschrift Nr. 2008-264913 eine Technik desMessens der Stärke eines plattenartigen Werkstücks, das auf einemEinspanndrehtisch gehalten ist, an mehreren Positionen mit unterschiedlichem Abstand zur Drehachse des Einspanntischs undAnpassens der Neigung des Einspanntischs gemäß den Messdaten zurStärke des plattenartigen Werkstücks, um dadurch Stärkevariationen des plattenartigen Werkstücks zu vermindern.

KURZDARSTELLUNG DER ERFINDUNG

Bei dem Verfahren, das in der japanischen Patent-Auslegeschrift Nr. 2011-235388 beschrieben ist, können dieMessdaten zur Stärke des plattenartigen Werkstücks zum Bestimmenverwendet werden, ob jedes Bauelement (Chip) gut ist oder nicht.Es gibt jedoch keine Garantie dafür, dass die Stärke jedes Chipsinnerhalb einer Zieltoleranz liegt, sodass der Ertrag nichtverbessert werden kann.

Ferner können bei dem Verfahren, das in der japanischenPatent-Auslegeschrift Nr. 2008-264913 beschrieben ist,

Stärkevariationen des plattenartigen Werkstücks gemäß dem Abstandzur Drehachse des Einspanntischs durch Anpassen der Neigung desEinspanntischs verringert werden. Es gibt jedoch keine Garantiedafür, dass die Stärke jedes Chips innerhalb einer Zieltoleranzliegt.

Es ist daher eine Aufgabe der vorliegenden Erfindung, einSchleifverfahren für ein plattenartiges Werkstück vorzusehen, dasdie Anzahl der Chips, deren Stärke innerhalb der Toleranz liegt,maximiert, wobei die Chips durch Aufteilen eines plattenartigenWerkstücks erhalten werden, wodurch der Ertrag verbessert ist.

Gemäß einem Aspekt der vorliegenden Erfindung ist einSchleifverfahren für ein plattenartiges Werkstück vorgesehen, daseine Schleifvorrichtung nutzt, die einen Einspanntisch zum Halteneines plattenartigen Werkstücks, Drehmittel zum Drehen desEinspanntischs, Schleifmittel mit einem Abriebglied zum Schleifender oberen Oberfläche des plattenartigen Werkstücks, das auf demEinspanntisch gehalten ist, wodurch die Stärke des plattenartigenWerkstücks verringert wird, Stärkemessmittel zum kontaktlosenMessen der Stärke des plattenartigen Werkstücks, das durch dasSchleifmittel geschliffen wird, und Messpositionsbewegungsmittelzum Bewegen der Stärkemessmittel in der radialen Richtung desEinspanntischs enthält, wobei das Schleifverfahren für ein plattenartiges Werkstück einen einleitenden Schleifschritt desSchleifens des plattenartigen Werkstücks, das auf dem

Einspanntisch gehalten ist, unter Benutzung des Schleifmittels,bis die Stärke des plattenartigen Werkstücks auf eine Stärke verringert ist, die größer als eine vorgegebene Endstärke ist,einen Stärkemessschritt des Messens der Stärke des plattenartigenWerkstücks, das auf dem Einspanntisch gehalten ist, unterBenutzung des Stärkemessmittels an mehreren Messpositionen mitunterschiedlichem Abstand zur Drehachse des Einspanntischs beimBewegen des Stärkemessmittels in der radialen Richtung desEinspanntischs nach dem Durchführen des einleitendenSchleifschritts, einen Bestimmungsschritt des Berechnens derDifferenz zwischen einem Maximalwert und einem Minimalwert vonmehreren Stärken, die im Stärkemessschritt gemessen wurden, unddes Bestimmens, ob die oben berechnete Differenz zwischen demMaximalwert und dem Minimalwert geringer als die oder gleich derDifferenz zwischen einer zulässigen Maximalstärke und einerzulässigen Minimalstärke für die vorgegebene Endstärke ist odernicht; und einen Fertigschleifschritt des Anpassens einesSchleifbetrags für das plattenartige Werkstück gemäß demBestimmungsergebnis im Bestimmungsschritt und dann des Schleifensdes plattenartigen Werkstücks gemäß dem Schleifbetrag unterBenutzung des Schleifmittels, um dadurch die Stärke desplattenartigen Werkstücks auf die vorgegebene Endstärke zuverringern, enthält.

Vorzugsweise wird das plattenartige Werkstück, wenn imBestimmungsschritt bestimmt wird, dass die Differenz zwischen demMaximalwert und dem Minimalwert geringer als die oder gleich derDifferenz zwischen der zulässigen Maximalstärke und der zulässigenMinimalstärke ist, im Fertigschleifschritt geschliffen, bis derMinimalwert größer als die oder gleich der Minimalstärke wird undder Maximalwert geringer als die oder gleich der Maximalstärkewird.

Vorzugsweise wird das plattenartige Werkstück, wenn imBestimmungsschritt bestimmt wird, dass die Differenz zwischen demMaximalwert und dem Minimalwert größer als die Differenz zwischender zulässigen Maximalstärke und der zulässigen Minimalstärke ist,im Fertigschleifschritt geschliffen, bis der Bereich vonAbschnitten, in dem die Stärke des plattenartigen Werkstücksinnerhalb des Bereichs von der zulässigen Maximalstärke zurzulässigen Minimalstärke liegt, maximal wird.

Gemäß dem Schleifverfahren der vorliegenden Erfindung wird die Endstärke im Fertigschleifschritt demgemäß gesteuert, ob derStärkevariationsbereich des plattenartigen Werkstücks, das imeinleitenden Schleifschritt geschliffen wurde, geringer als dieoder gleich der Toleranz für die Endstärke ist oder nicht.Dementsprechend kann der Bereich von Abschnitten, wo die Stärkedes plattenartigen Werkstücks innerhalb der Toleranz für dieEndstärke liegt, maximiert werden. Infolgedessen kann von derAnzahl der Chips, die durch Aufteilen des plattenartigenWerkstücks erhalten sind, die Anzahl von Chips, deren Stärkeinnerhalb der Toleranz für die Endstärke liegt, maximiert werden,wodurch der Ertrag verbessert ist.

In dem Falle, in dem der Bereich von Stärkevariationen desplattenartigen Werkstücks, das im einleitenden Schleifschrittgeschliffen wurde, geringer als die oder gleich der Toleranz fürdie Endstärke ist, wird das plattenartige Werkstück geschliffen,bis der Minimalwert größer als die oder gleich der Minimalstärkewird und der Maximalwert geringer als die oder gleich derMaximalstärke wird. Dementsprechend kann die Stärke desplattenartigen Werkstücks derart hergestellt werden, dass sieinnerhalb der Toleranz an allen Positionen liegt. Infolgedessenkönnen die Stärken von allen der Chips, die durch Aufteilen desplattenartigen Werkstücks erhalten sind, derart hergestellt sein,dass sie innerhalb der Toleranz liegen, wodurch der Ertragverbessert ist.

In dem Falle, in dem der Bereich von Stärkevariationen desplattenartigen Werkstücks, der im einleitenden Schleifschrittgeschliffen wurde, größer als die Toleranz für die Endstärke ist,wird das plattenartige Werkstück geschliffen, bis der Bereich vonAbschnitten, wo die Stärke des plattenartigen Werkstücks innerhalbder Toleranz liegt, maximal wird. Dementsprechend kann von derAnzahl der Chips, die durch Aufteilen des plattenartigenWerkstücks erhalten sind, die Anzahl von Chips, deren Stärkeninnerhalb der Toleranz für die Endstärke liegen, maximiert sein,wodurch der Ertrag verbessert ist.

Die obigen und andere Aufgaben, Merkmale und Vorteile dervorliegenden Erfindung und die Art und Weise ihrer Ausführunggehen aus einer Prüfung der folgenden Beschreibung undbeiliegenden Ansprüche unter Bezugnahme auf die beiliegenden

Zeichnungen, die einige bevorzugte Ausführungsformen der Erfindungzeigen, deutlicher hervor und verdeutlichen die Erfindung selbstam besten.

KURZE BESCHREIBUNG DER ZEICHNUNGEN FIG. 1 ist eine Perspektivansicht einer Schleifvorrichtung; FIG. 2 ist eine Perspektivansicht, die einen Einspanntisch,Schleifmittel und Stärkemessmittel zeigt; FIG. 3 ist eine Teilschnittseitenansicht, die denEinspanntisch, Schleifmittel, Stärkemessmittel und

Messpositionsbewegungsmittel zeigt; FIG. 4 ist eine Obenansicht, die Messpositionen zeigt, andenen die Stärke des plattenartigen Werkstücks gemessen wird; FIG. 5 ist ein Schaubild, das die Verteilung der

Messpositionen in Bezug zum Abstand von der Mitte des plattenartigen Werkstücks und zum Drehwinkel des plattenartigenWerkstücks zeigt; FIG. 6 ist ein Schaubild, das die Verteilung der

Messpositionen in Bezug zum Abstand von der Mitte des plattenartigen Werkstücks und zum Abstand eines Messwegs zeigt; FIG. 7 ist ein Schaubild, das die Stärke des plattenartigenWerkstücks zeigt, die in einem Messschritt gemessen wird; FIG. 8 ist ein Schaubild, das ein erstes Beispiel der Stärkedes plattenartigen Werkstücks zeigt, das in einemFertigschleifschritt geschliffen wurde; FIG. 9 ist ein Schaubild, das ein zweites Beispiel der Stärkedes plattenartigen Werkstücks zeigt, das im Fertigschleifschrittgeschliffen wurde; und FIG. 10 ist ein Schaubild, das ein drittes Beispiel derStärke des plattenartigen Werkstücks zeigt, das imFertigschleifschritt geschliffen wurde.

DETAILLIERTE BESCHREIBUNG DER BEVORZUGTEN AUSFÜHRUNGSFORMEN

Unter Bezugnahme auf FIG. 1 ist eine Schleifvorrichtung 10gezeigt. Die Schleifvorrichtung 10 ist eine Vorrichtung zumSchleifen eines plattenartigen Werkstücks, wie etwa eines Wafers,an dem mehrere Bauelemente ausgebildet sind, wodurch die Stärkedes plattenartigen Werkstücks auf eine vorgegebene Stärke verringert wird. Die Schleifvorrichtung 10 enthält einen Roboter 111 zum Laden/Abladen des plattenartigen Werkstücks,Positionierungsmittel 12 zum Positionieren des plattenartigenWerkstücks vor dem Schleifen, Zufuhrmittel 112 zum Überführen desplattenartigen Werkstücks, das durch das Positionierungsmittel 12positioniert wurde, drei Einspanntische 14a, 14b und 14c zumHalten des plattenartigen Werkstücks, das durch das Zufuhrmittel 112 überführt wurde, einen Drehtisch 13 zum Bewegen derEinspanntische 14a bis 14c, zwei Stücke von Schleifmitteln 15a und15b zum Schleifen des plattenartigen Werkstücks, das auf denEinspanntischen 14a bis 14c gehalten ist, zwei Stücke vonAufgabemitteln 16a und 16b zum jeweiligen Bewegen derSchleifmittel 15a und 15b, zwei Stücke von Stärkemessmitteln 171und 172 zum Messen der Stärke des plattenartigen Werkstücks, dasauf den Einspanntischen 14a bis 14c gehalten ist, Rückholmittel 113 zum Überführen des plattenartigen Werkstücks nach demSchleifen und Reinigungsmittel 18 zum Reinigen des plattenartigenWerkstücks, das durch das Rückholmittel 113 überführt wurde.

Der Roboter 111 fungiert zum Herausnehmen des plattenartigenWerkstücks, das in einer Kassette 21a gelagert ist, vor demSchleifen und Überführen desselben zum Positionierungsmittel 12,und fungiert außerdem zum Überführen des plattenartigenWerkstücks, das durch das Reinigungsmittel 18 gereinigt wurde,nach dem Schleifen zu einer Kassette 21b und Lagern desselben inder Kassette 21b. Jeder der Einspanntische 14a bis 14c weist eineHaltefläche parallel zu einer XY-Ebene auf, die durch die ±X-Richtung und die ±Y-Richtung definiert ist. Die Haltefläche istzum Halten des plattenartigen Werkstücks unter Saugwirkunggeeignet. Jeder der Einspanntische 14a bis 14c ist durchDrehmittel 19 (siehe FIG. 3) zum Drehen um eine Achse parallel zur±Z-Richtung senkrecht zur XY-Ebene drehbar.

Der Drehtisch 13 ist um eine Achse parallel zur ±Z-Richtungdrehbar. Die Einspanntische 14a bis 14c befinden sich auf eineroberen Oberfläche des Drehtischs 13 parallel zur XY-Ebene an dreiPositionen gleich beabstandet zur Mitte (Achse) des Drehtischs 13in der radialen Richtung und gleich beabstandet zueinander in derUmfangsrichtung. Durch die Drehung des Drehtischs 13 wird jederder Einspanntische 14a bis 14c zum selektiven Einnehmen einer

Lade-/Abladeposition, in der das plattenartige Werkstück vor demSchleifen durch das Zufuhrmittel 12 geladen wird oder nach demSchleifen durch das Rückholmittel 113 abgeladen wird, einer erstenSchleifposition, in der das plattenartige Werkstück durch dasSchleifmittel 15a geschliffen wird, und einer zweitenSchleifposition bewegt, in der das plattenartige Werkstück durchdas Schleifmittel 15b geschliffen wird.

Das Zufuhrmittel 112 fungiert zum Überführen desplattenartigen Werkstücks, das durch das Positionierungsmittel 12positioniert wurde, zu einem der Einspanntische 14a bis 14c, deran der Lade-/Abladeposition eingerichtet ist. Dementsprechend istdas plattenartige Werkstück auf einem der Einspanntische 14a bis14c in dem Zustand gehalten, in dem die Mitte des plattenartigenWerkstücks mit der Mitte (Achse) des Einspanntischs zusammenfällt,welcher an der Lade-/Abladeposition eingerichtet ist.

Jedes der Schleifmittel 15a und 15b enthält eine Drehwelle,die in der ±Z-Richtung verläuft, eine Anbringung 150, die amunteren Ende der Drehwelle Befestigt ist, und eine Schleifscheibe151, die an der unteren Oberfläche der Anbringung 150 angebrachtist. Mehrere Abriebglieder 22 sind an der unteren Oberfläche derSchleifscheibe 151 befestigt. Die Abriebglieder 22 imSchleifmittel 15a sind zum Grobschleifen bestimmt, während dieAbriebglieder 22 im Schleifmittel 15b zum Fertigschleifen bestimmtsind. Obgleich die Schleifvorrichtung 10, die in FIG. 1 gezeigtist, die zwei Stücke von Schleifmitteln 15a und 15b enthält, kanndie in der vorliegenden Erfindung nutzbare Schleifvorrichtung eineinzelnes Schleifmittel enthalten. In diesem Falle kann derDrehtisch 13 weggelassen sein.

Jedes der Aufgabemittel 16a und 16b enthält eineKugelumlaufspindel 160, die in der ±Z-Richtung verläuft, eineFührungsschiene 161, die parallel zur KugelumlaufSpindel 160verläuft, einen Motor 162 zum Drehen der Kugelumlaufspindel 160und ein bewegliches Glied 163, das durch die Drehung derKugelumlaufspindel 160 wie durch die Führungsschiene 161 geführtin der ±Z-Richtung beweglich ist. Das bewegliche Glied 163 desAufgabemittels 16a ist am Schleifmittel 15a befestigt, und dasbewegliche Glied 163 des Aufgabemittels 16b ist am Schleifmittel15b befestigt. Dementsprechend wird, wenn der Motor 162 zum Drehen der Kugelumlaufspindel 160 betrieben wird, das bewegliche Glied163 in der ±Z-Richtung bewegt, um dadurch jedes der Schleifmittel15a und 15b vertikal zu bewegen. Genauer gesagt werden, wenn dasAufgabemittel 16a zum Bewegen des Schleifmittels 15a in der -Z-Richtung betrieben wird, die Abriebglieder 22 im Schleifmittel 15ain Angrenzung an die obere Oberfläche des plattenartigenWerkstücks gebracht, das auf einem der Einspanntische 14a bis 14cgehalten ist, der an der ersten Schleifposition eingerichtet ist,wobei die Schleifscheibe 151 im Schleifmittel 15a gedreht wird undder Einspanntisch 14 (der einen der Einspanntische 14a bis 14cdarstellt), der an der ersten Schleifposition eingerichtet ist,ebenfalls gedreht wird, wodurch Grobschleifen am plattenartigenWerkstück ausgeführt wird. Gleicherweise werden, wenn dasAufgabemittel 16b zum Bewegen des Schleifmittels 15b in der -Z-Richtung betrieben wird, die Abriebglieder 22 im Schleifmittel 15bin Angrenzung an die obere Oberfläche des plattenartigenWerkstücks gebracht, das auf einem der Einspanntische 14a bis 14cgehalten ist, der an der zweiten Schleifposition eingerichtet ist,wobei die Schleifscheibe 151 im Schleifmittel 15b gedreht wird undder Einspanntisch 14, der an der zweiten Schleifpositioneingerichtet ist, ebenfalls gedreht wird, wodurch Fertigschleifenam plattenartigen Werkstück ausgeführt wird.

Das Stärkemessmittel 171 ist ein Kontaktstärkemessmittel, wiebeispielsweise in der japanischen Patentschrift Nr. 5025200beschrieben. Das Stärkemessmittel 171 weist zwei Kontaktgliederauf, wobei eines der zwei Kontaktglieder mit der oberen Oberflächedes plattenartigen Werkstücks tritt und das andere Kontaktgliedmit der oberen Oberfläche des Einspanntischs 14 tritt, der an derersten Schleifposition eingerichtet ist. Die Höhendifferenzzwischen den zwei Kontaktgliedern wird als die Stärke desplattenartigen Werkstücks bestimmt, das auf dem Einspanntisch 14gehalten ist, der an der ersten Schleifposition eingerichtet ist.Das Stärkemessmittel 171 kann die Stärke des plattenartigenWerkstücks während des Schleifens des plattenartigen Werkstücksdurch das Schleifmittel 15a messen.

Das Stärkemessmittel 172 ist ein kontaktlosesStärkemessmittel, wie beispielsweise in der japanischen Patent-Auslegeschrift Nr. 2009-50944 beschrieben. Das Stärkemessmittel 172 fungiert zum Messen der Stärke des plattenartigen Werkstücks,das auf dem Einspanntisch 14 gehalten ist, der an der zweitenSchleifposition eingerichtet ist. Das Stärkemessmittel 172 kanndie Stärke des plattenartigen Werkstücks während des Schleifensdes plattenartigen Werkstücks durch das Schleifmittel 15b messen.Da das Stärkemessmittel 172 kontaktlos ist, kann Verkratzen deroberen Oberfläche des plattenartigen Werkstücks vermieden werden.

Wie in FIG. 2 gezeigt, enthält das Stärkemessmittel 172 einenMessabschnitt 721 zum Messen der Stärke eines plattenartigenWerkstücks 30, das auf dem Einspanntisch 14 gehalten ist, einenArmabschnitt 722 zum Stützen des Messabschnitts 721 und einenWellenabschnitt 723 zum Stützen des Armabschnitts 722. DerEinspanntisch 14 stellt einen der Einspanntische 14a bis 14c dar,die in FIG. 1 gezeigt sind.

Der Wellenabschnitt 723 ist um eine Achse 729 (siehe FIG. 3)parallel zur ±Z-Richtung drehbar. Der Wellenabschnitt 723 wirddurch Messpositionsbewegungsmittel 173 (siehe FIG. 3) bewegt,wodurch er den Armabschnitt 722 schwenkt. Infolgedessen kommt eszu einer Änderung der Messposition, an der der Messabschnitt 721,der sich am Vorderende des Armabschnitts 722 befindet, die Stärkedes plattenartigen Werkstücks 30 misst. Dementsprechend wird durchBetreiben des Messpositionsbewegungsmittels 173 der Abstandzwischen der Messposition und der Drehachse des Einspanntischs 14geändert.

Der Messabschnitt 721 ist zum Messen der Stärke desplattenartigen Werkstücks 30 beispielsweise gemäß der Interferenzvon Licht konfiguriert. Genauer gesagt erzeugt der Messabschnitt721 Licht mit einer Transmissionswellenlänge zum plattenartigenWerkstück 30 und führt dieses Licht dem plattenartigen Werkstück30 zu. Dieses Licht wird auf dem plattenartigen Werkstück 30reflektiert, und resultierendes reflektiertes Licht vomplattenartigen Werkstück 30 wird durch den Messabschnitt 721erkannt. Das Licht, das vom Messabschnitt 721 zugeführt werdensoll, weist ein verhältnismäßig breites Spektrum auf, und dasLicht wird sowohl auf der oberen Oberfläche des plattenartigenWerkstücks 30 als auch auf der unteren Oberfläche desplattenartigen Werkstücks 30 reflektiert, sodass Interferenzzwischen dem reflektierten Licht von der oberen Oberfläche des plattenartigen Werkstücks 30 und dem reflektierten Licht von derunteren Oberfläche des plattenartigen Werkstücks 30 auftritt.Durch Analysieren der spektralen Verteilung des Interferenzlichtsaufgrund dieser Interferenz wird die Stärke des plattenartigenWerkstücks 30 gemessen. Dieses Messverfahren erfordert das Messender Höhe der Haltefläche des Einspanntischs 14 nicht.Dementsprechend kann die Stärke des plattenartigen Werkstücks 30an jeglicher Messposition akkurat gemessen werden, selbst wenn dieHaltefläche des Einspanntischs 14 Unebenheiten aufweist.

Die Abriebglieder 22, die im Schleifmittel 15b enthaltensind, sind ringförmig entlang des Außenumfangs der Schleifscheibe151 angeordnet. Wenn die Schleifscheibe 151 gedreht wird, werdendie Abriebglieder 22 ebenfalls gedreht, sodass sie die Drehachsedes Einspanntischs 14 durchlaufen. Der Messabschnitt 721 in demBereich, in dem die Abriebglieder 22 nicht an die obere Oberflächedes plattenartigen Werkstücks 30 angrenzen. Dementsprechend kanndie Stärke des plattenartigen Werkstücks 30 während des Schleifensdes plattenartigen Werkstücks 30 durch das Schleifmittel 15bgemessen werden.

Wie in FIG. 3 gezeigt, enthält dasMesspositionsbewegungsmittel 173 einen Motor 731, der zum Betriebin Vorwärts- und Rückwärtsdrehrichtung geeignet ist, und einenRiemen 732 zum Übertragen des Drehmoments auf den Wellenabschnitt723, sodass der Wellenabschnitt 723 durch den Betrieb des Motors731 gedreht werden kann. Wenn das Messpositionsbewegungsmittel 173zum Drehen des Wellenabschnitts 723 betrieben wird, wird dieMessposition des Messabschnitts 721 in der radialen Richtung desEinspanntischs 14 bewegt. Demgegenüber wird, wenn das Drehmittel19 zum Drehen des Einspanntischs 14 betrieben wird, dasplattenartige Werkstück 30 gedreht, das auf dem Einspanntisch 14gehalten ist. Dementsprechend kann der Messabschnitt 721 dieStärke des plattenartigen Werkstücks 30 an nahezu allen Positionenaußer der zentralen Position des plattenartigen Werkstücks 30messen.

Es wird nun ein Schleifverf ahren zum Schleifen desplattenartigen Werkstücks 30 unter Benutzung derSchleifvorrichtung 10 beschrieben. (1) Halteschritt

Das plattenartige Werkstück 30 wird vom Roboter 111 aus derKassette 21a genommen und dann zum Positionierungsmittel 12überführt. Danach wird das plattenartige Werkstück 30 durch dasPositionierungsmittel 12 an einer vorgegebenen Positioneingerichtet und als Nächstes durch das Zufuhrmittel 112 zumEinspanntisch 14 an der Lade-/Abladeposition überführt. Dasplattenartige Werkstück 30, das auf dem Einspanntisch 14angeordnet ist, wird unter Saugwirkung darauf gehalten. (2) Erster Schleifschritt

Danach wird der Drehtisch 13 zum Bewegen des Einspanntischs14, der das plattenartige Werkstück 30 hält, zur erstenSchleifposition gedreht. Danach wird das plattenartige Werkstück30, das auf dem Einspanntisch 14 gehalten ist, durch dasSchleifmittel 15a grobgeschliffen. Während dieses Grobschleifenswird die Stärke des plattenartigen Werkstücks 30 durch dasStärkemessmittel 171 gemessen. Wenn die Stärke des plattenartigenWerkstücks 30 eine vorgegebene Stärke wird, die größer als einevorgegebene Endstärke ist, ist der erste Schleifschritt abgeschlossen. (3) Zweiter Schleifschritt

Danach wird der Drehtisch 13 zum Bewegen des Einspanntischs14, der das plattenartige Werkstück 30 hält, welches durch dasSchleifmittel 15a geschliffen wurde, zur zweiten Schleifpositiongedreht. Danach wird das plattenartige Werkstück 30, das auf demEinspanntisch 14 gehalten ist, an der zweiten Schleifpositiondurch das Schleifmittel 15b geschliffen. Während dieses Schleifenswird die Stärke des plattenartigen Werkstücks 30 durch dasStärkemessmittel 172 gemessen. Wenn die Stärke des plattenartigenWerkstücks 30 zur vorgegebenen Endstärke wird, ist der zweiteSchleifschritt abgeschlossen. Der zweite Schleifschritt wird nundetaillierter beschrieben. Der zweite Schleifschritt setzt sichaus einem einleitenden Schleifschritt des Schleifens des plattenartigen Werkstücks 30, bis die Stärke des plattenartigenWerkstücks 30 eine vorgegebene Stärke wird, die größer als dieEndstärke ist, einen Stärkemessschritt des Messens der Stärke desplattenartigen Werkstücks 30 an mehreren Positionen mit unterschiedlichem Abstand zur Drehachse des Einspanntischs 14,einem Bestimmungsschritt des Bestimmens, wie das Fertigschleifen gemäß der Stärke, die im Stärkemessschritt gemessen wurde,auszuführen ist, und einem Fertigschleifschritt des Ausführens desFertigschleifens gemäß dem Bestimmungsergebnis im

Bestimmungsschritt zusammen. (3-1) Einleitender Schleifschritt

Das plattenartige Werkstück 30, das auf dem Einspanntisch 14gehalten ist, wird durch das Schleifmittel 15b zum Verringern derStärke des plattenartigen Werkstücks 30 geschliffen. Währenddieses einleitenden Schleifens wird die Stärke des plattenartigenWerkstücks 30 durch das Stärkemessmittel 172 gemessen. Wenn dieStärke, die durch das Stärkemessmittel 172 gemessen wird, eine vorgegebene Stärke wird, die größer als die Endstärke ist, ist dereinleitende Schleifschritt abgeschlossen. (3-2) Stärkemessschritt

Die Stärke des plattenartigen Werkstücks 30, das im einleitenden Schleifschritt geschliffen wurde, wird an mehrerenPositionen durch das Stärkemessmittel 172 gemessen. Beispielsweisewerden, wie in FIG. 4 gezeigt, mehrere Messpositionen 41a, 41b, 41c und 41d auf mehreren konzentrischen Kreisen mit unterschiedlichem Durchmesser jeweils um die Mitte desplattenartigen Werkstücks 30 eingerichtet, wobei die Stärke desplattenartigen Werkstücks 30 an diesen Messpositionen 41a bis 41ddurch das Stärkemessmittel 172 gemessen wird. Genauer gesagt wirdder Messabschnitt 721 des Stärkemessmittels 172 durch dasMesspositionsbewegungsmittel 173 in einem vorgegebenen Abstand zurMitte des Einspanntischs 14 positioniert. In diesem Zustand wirdder Einspanntisch 14 durch das Drehmittel 19 gedreht, und dieStärke des plattenartigen Werkstücks 30 wird in vorgegebenen

Zeitintervallen durch das Stärkemessmittel 172 gemessen. Da dieMitte des plattenartigen Werkstücks 30 mit der Mitte des

Einspanntischs 14 zusammenfällt, kann die Stärke desplattenartigen Werkstücks 30 an mehreren Positionen gemessenwerden, die auf einem ersten Kreis um die Mitte des plattenartigenWerkstücks 30 eingerichtet sind.

Danach wird der Messabschnitt 721 des Stärkemessmittels 172durch das Messpositionsbewegungsmittel 173 in der radialenRichtung des Einspanntischs 14 bewegt, wodurch der Abstandzwischen der Mitte des Messtischs 14 und der Messposition des

Messabschnitts 172 geändert wird. In diesem Zustand wird derDrehtisch 14 durch das Drehmittel 19 gedreht, und die Stärke desplattenartigen Werkstücks 30 wird in vorgegebenen Zeitintervallendurch das Stärkemessmittel 172 gemessen. Dementsprechend kann dieStärke des plattenartigen Werkstücks 30 an mehreren Positionengemessen werden, die auf einem zweiten Kreis mit abweichendemDurchmesser vom ersten Kreis um die Mitte des plattenartigenWerkstücks 30 eingerichtet sind. Dieser Vorgang wird vorgegebeneMale wiederholt. Infolgedessen kann die Stärke des plattenartigenWerkstücks 30 an mehreren Positionen gemessen werden, die aufjedem von mehreren konzentrischen Kreisen mit unterschiedlichemDurchmesser um die Mitte des plattenartigen Werkstücks 30eingerichtet sind. In FIG. 4 sind die mehreren konzentrischenKreise durch die verschiedenen radialen Positionen 41a bis 41dbezeichnet.

Wenn die Zeitintervalle des Messens der Stärke desplattenartigen Werkstücks 30 durch das Messmittel 172 festgelegtsind und die Drehgeschwindigkeit des Einspanntischs 14, der durchdas Drehmittel 19 gedreht werden soll, ebenfalls festgelegt ist,sind die Messpositionen 41a bis 41d, an denen das Stärkemessmittel172 die Stärke des plattenartigen Werkstücks 30 misst, wie in FIG.5 gezeigt dargestellt, wobei alle der Messpositionen 41a bis 41ddieselben Winkelintervalle (horizontale Achse) von umfänglichenMesspositionen unabhängig vom Abstand (vertikale Achse) zur Mittedes plattenartigen Werkstücks 30 aufweisen.

Jedoch ist, wie in FIG. 6 gezeigt, der Abstand (horizontaleAchse) eines Messwegs auf jedem der konzentrischen Kreiseunterschiedlich. Das heißt, je länger der Abstand (vertikaleAchse) zur Mitte des plattenartigen Werkstücks 30 ist, destogrößer ist die Länge jeden Kreises, d.h. des Messwegs, und daherist die Beabstandung zwischen jeglichen benachbarten derumfänglichen Messpositionen desto größer. Anders gesagt, je längerder Abstand zur Mitte des plattenartigen Werkstücks 30 ist, destogrößer der Bereich von Abschnitten des plattenartigen Werkstücks30, an denen die Stärke an den umfänglichen Messpositionengemessen und durch Messwerte dargestellt wird. Umgekehrt ist, jekürzer der Abstand zur Mitte des plattenartigen Werkstücks 30 ist,desto kleiner der Bereich von derartigen Abschnitten des plattenartigen Werkstücks 30. Unter Berücksichtigung dieserTatsache wird der folgende Bestimmungsschritt gemäß dem Bereichvon derartigen Abschnitten des plattenartigen Werkstücks 30ausgeführt, der durch die Messwerte statt durch die Anzahl derMesswerte dargestellt ist. Alternativ kann derart Steuerungdurchgeführt werden, dass die Beabstandung zwischen denumfänglichen Messpositionen auf dem Messweg unter denkonzentrischen Kreisen gleich wird. Genauer gesagt kann dieseSteuerung durch Ändern der Drehgeschwindigkeit des Einspanntischs14 für die Messpositionen 41a bis 41d oder durch Ändern derAbtastzeit für die Messpositionen 41a bis 41d durchgeführt werden.Beispielsweise ist die Drehgeschwindigkeit des Einspanntischs 14bei einer Zunahme des Abstands zur Mitte des Einspanntischs 14erhöht. Alternativ nimmt die Abtastzeit bei einer Zunahme desAbstands zur Mitte des Einspanntischs 14 ab. Infolgedessen wirddie Messdichte auf dem Messweg unter den konzentrischen Kreisengleich. In diesem Fall ist es nicht notwendig, den Abstand von derMitte des Einspanntischs 14 zu jeder Messposition beim Berechnendes Medianwerts oder Durchschnitts von Messwerten der Stärke imfolgenden Bestimmungsschritt zu multiplizieren. Der Medianwert istein Wert, der sich in der Mitte von mehreren Messwerten befindet.Beispielsweise wird in dem Fall, in dem fünf Messpositionenvorliegen, der dritte Wert bei Zählung ab dem größten Wert und abdem kleinsten Wert als der Medianwert definiert. In dem Fall, indem die Zahl von Messpositionen gerade ist, wird der Durchschnittder zwei mittleren Werte als der Medianwert definiert.Beispielsweise wird in dem Fall, in dem sechs Messpositionenvorliegen, der Durchschnitt des dritten Werts bei Zählung ab demgrößten Wert und des dritten Werts bei Zählung ab dem kleinstenWert als der Medianwert definiert. (3-3) Bestimmungsschritt

Gemäß den mehreren Messwerten der Stärke, die im obengenannten Stärkemessschritt gemessen wurden, bestimmt eineSteuersektion (nicht gezeigt) , wie etwa ein Rechner, der in derSchleifvorrichtung 10 eingegliedert ist, einen Schleifbetrag, umden das Fertigschleifen im nächsten Schritt durchgeführt werdensoll. Beispielsweise bezeichnet Bezugszeichen 431 in FIG. 7 diemehreren Messwerte der Stärke, die im Stärkemessschritt gemessen wurden. Ein Minimalwert 432 und ein Maximalwert 433 werden zumBerechnen einer Differenz 434 zwischen dem Maximalwert 433 und demMinimalwert 432 aus den mehreren Messwerten 431 extrahiert.

Bezugszeichen 421 in FIG. 7 bezeichnet eine Zielendstärke desplattenartigen Werkstücks 30. Die Zielendstärke 421 darf einevorgegebene Toleranz aufweisen. Bezugszeichen 422 und 423bezeichnen einen zulässigen Minimalwert (zulässige Minimalstärke)bzw. einen zulässigen Maximalwert (zulässige Maximalstärke). EineDifferenz (Toleranz) 424 zwischen dem zulässigen Maximalwert 423und dem zulässigen Minimalwert 422 wird im Voraus gespeichert undmit der oben berechneten Differenz 434 verglichen.

Unter der Voraussetzung, dass der Fertigschleifschritt unterdenselben Bedingungen wie jenen des vorhergehenden Schrittsdurchgeführt wird, kann die Stärke des plattenartigen Werkstücks30 insgesamt um denselben Betrag verringert werden.Dementsprechend wird unter dieser Voraussetzung die Differenzzwischen einem Maximalwert und einem Minimalwert für die Stärkedes plattenartigen Werkstücks 30 am Ende des Fertigschleifensgleich der Differenz 434.

Unter Bezugnahme auf FIG. 8 ist die Stärke des plattenartigenWerkstücks 30 am Ende des Fertigschleifens durch Bezugszeichen 441angezeigt. Die Stärke 441 weist einen Maximalwert 443 und einenMinimalwert 442 auf, und die Differenz dazwischen ist durchBezugszeichen 444 angezeigt. In dem Fall, in dem die Differenz434, die FIG. 7 gezeigt ist, geringer als die oder gleich derToleranz 424 ist, wird die Differenz 444, die in FIG. 8 gezeigtist, geringer als die oder gleich der Toleranz 444, wie in FIG. 8gezeigt. Dementsprechend wird der folgende Fertigschleifschrittderart ausgeführt, dass der Minimalwert 442 größer als die odergleich der zulässigen Minimalstärke 422 wird und der Maximalwert443 geringer als die oder gleich der zulässigen Maximalstärke 423wird. Infolgedessen kann die Stärke 441 des plattenartigenWerkstücks 30 derart hergestellt werden, dass sie innerhalb derToleranz 424 an allen Positionen auf dem plattenartigen Werkstück30 liegt. Die Differenz, die durch Subtrahieren der zulässigenMinimalstärke 422 vom Minimalwert 432, der in FIG. 7 gezeigt ist,erhalten wird, wird als ein maximaler Schleifbetrag definiert, unddie Differenz, die durch Subtrahieren der zulässigen Maximalstärke 423 vom Maximalwert 433, der in FIG. 7 gezeigt ist, erhalten wird, wird als ein minimaler Schleifbetrag definiert. Dann wird der

Schleifbetrag beim fertigschleifen im Bereich vom minimalenSchleifbetrag zum maximalen Schleifbetrag ausgewählt.Beispielsweise wird der Durchschnitt des minimalen Schleifbetragsund des maximalen Schleifbetrags als der Schleifbetrag beim

Fertigschleifen benutzt. Dementsprechend ist es, selbst wenn dieStärke des plattenartigen Werkstücks 30 an jeglicher Position, ander die Messung nicht vorgenommen wurde, kleiner als der

Minimalwert 432 oder größer als der Maximalwert 433 wird, möglich,die Möglichkeit zu minimieren, dass die Stärke 441 des plattenartigen Werkstücks 30 am Ende des Fertigschleifens anjeglicher Position außerhalb der Toleranz 424 liegen könnte.

In dem Fall, in dem die Differenz 434 zwischen demMaximalwert 433 und dem Minimalwert 432 größer als die Toleranz 424 ist, wird die Differenz 444 zwischen dem Maximalwert 443 unddem Minimalwert 442 der Stärke 441 des plattenartigen Werkstücks30 am Ende des Fertigschleifens ebenfalls größer als die Toleranz424. Dementsprechend kann in diesem Fall die Stärke 441 desplattenartigen Werkstücks 30 an einigen Positionen außerhalb derToleranz 424 liegen. In diesem Fall wird der Schleifbetrag imFertigschleifschritt, der später ausgeführt werden soll, derartbestimmt, dass der Bereich von Abschnitten des plattenartigenWerkstücks 30, in dem die Stärke 441 innerhalb der Toleranz 424liegt, maximal wird.

Beispielsweise liegen in dem Fall, in dem das plattenartigeWerkstück 30 geschliffen wird, bis der Minimalwert 442 der Stärke441 des plattenartigen Werkstücks 30 am Ende des Fertigschleifensdie zulässige Minimalstärke 422 erreicht, wie in FIG. 9 gezeigt,Abschnitte vor, an denen die Stärke 441 des plattenartigenWerkstücks 30 größer als die zulässige Maximalstärke 423 wird.Ferner liegen in dem Fall, in dem das plattenartige Werkstück 30geschliffen wird, bis der Maximalwert 443 der Stärke 441 desplattenartigen Werkstücks 30 am Ende des Fertigschleifens denzulässigen Maximalwert 423 erreicht, wie in Figur 10 gezeigt,Abschnitte vor, an denen die Stärke 441 des plattenartigenWerkstücks 30 geringer als die zulässige Minimalstärke 422 wird.

Auf diese Art und Weise wird die Stärke des plattenartigen

Werkstücks 30, das im einleitenden Schleifschritt geschliffenwurde, durch das Stärkemessmittel 172 zum Erhalten der Messdaten431 gemessen. In dem Fall, in dem die Differenz 434 zwischen demMinimalwert 432 und dem Maximalwert 433 der Messdaten 431 größerals die Toleranz 424 ist, wird der Schleifbetrag beim

Fertigschleifen unter Bezugnahme auf die Messdaten 431 derartgesteuert, dass der Bereich von Abschnitten, an denen die Stärkedes plattenartigen Werkstücks 30 am Ende des Fertigschleifensinnerhalb der Toleranz liegt, maximal wird.

Beispielsweise wird die Steuerung des Schleifbetrags folgendermaßen durchgeführt: 1. Von den Messdaten 431, die im einleitenden Schleifschritterhalten werden, werden der Medianwert der Messdaten an derMessposition 41a, der Medianwert der Messdaten an der Messposition41b, der Medianwert der Messdaten an der Messposition 41c und derMedianwert der Messdaten an der Messposition 41d bestimmt. 2. Der Medianwert an jeder Messposition wird mit dem Abstandvon der Mitte des plattenartigen Werkstücks 30 zur Messpositionzum Erhalten eines Produkts multipliziert. Dann werden dieProdukte für alle die Messpositionen zum Erhalten einer Summeaddiert. Dann wird diese Summe durch die Summe der Abstände vonder Mitte des plattenartigen Werkstücks 30 zu allen denMesspositionen dividiert, wodurch der Medianwert der Stärkeerhalten wird. Genauer gesagt wird unter der Voraussetzung, dassdie Messpositionen die mehreren Messpositionen 41a bis 41d auf denkonzentrischen Kreisen um die Mitte des plattenartigen Werkstücks30 sind, und dass die Abstände von der Mitte des plattenartigenWerkstücks 30 zu diesen Messpositionen 41a, 41b, 41c und 41d durchdie Bezugszeichen ra, rb, rc bzw. rd bezeichnet sind, derMedianwert der Stärke durch den folgenden Ausdruck dargestellt.

Medianwert der Stärke des plattenartigen Werkstücks 30, dasim einleitenden Schleifschritt geschliffen wurde = (Medianwert derStärke an der Messposition 41a χ ra + Medianwert der Stärke an derMessposition 41b χ rb + Medianwert der Stärke an der Messposition41c χ rc + Medianwert der Stärke an der Messposition 41d χ rd)/(ra+ rb + rc + rd). 3. Im Fertigschleifschritt des Schleifens des plattenartigenWerkstücks 30 nach dem Durchführen des einleitenden

SchleifSchritts wird das plattenartige Werkstück 30 geschliffen,bis der oben erhaltene Medianwert ein Zielwert 425 für dieEndstärke wird. Der Zielwert 425 ist auf einen Zwischenwert in derToleranz 424 eingestellt.

Tatsächlich wird die Differenz zwischen dem oben erhaltenenMedianwert und einem durch das Stärkemessmittel 172 gemessenenMesswert am Beginn des Fertigschleifens berechnet. Zu diesemZeitpunkt wird der Messwert auf einem der konzentrischen Kreisedurch das Stärkemessmittel 172 erhalten. Beispielsweise wird indem Fall, in dem die Messung an der Messposition 41c durchgeführtwird, die Differenz zwischen dem oben erhaltenen Medianwert unddem Medianwert der Messwerte, die an der Messposition 41c erhaltenwerden, berechnet.

Danach werden die Abriebglieder 22 mit der oberen Oberflächedes plattenartigen Werkstücks 30 zum Schleifen der oberenOberfläche plattenartigen Werkstücks 30 in Kontakt gebracht,während die Stärke des plattenartigen Werkstücks 30 unterBenutzung des Stärkemessmittels 172 gemessen wird. Wenn die Summedes Messwerts durch das Stärkemessmittel 172 und der obenerhaltenen Differenz gleich dem Zielwert 425 werden, ist dasSchleifen abgeschlossen. Infolgedessen wird der Bereich vonAbschnitten des plattenartigen Werkstücks 30, an dem die Stärkeinnerhalb der Toleranz 424 liegt, maximal. Während der Medianwert der Messwerte, die durch dasStärkemessmittel 172 an den Messpositionen 41a bis 41d erhaltenwerden, benutzt wird, kann der Durchschnitt der Messwerte an jederMessposition benutzt werden.

Im Falle des Benutzens des Medianwerts kann ein Messwert, deraufgrund von Staub, der zwischen der oberen Oberfläche desEinspanntischs und der unteren Oberfläche des plattenartigenWerkstücks 30 aufgefangen ist, örtlich groß ist, als ein anormalerWert betrachtet werden, und dieser Messwert kann aus derBerechnung ausgeschlossen werden. (3-4) Fertigschleifschritt

Das plattenartige Werkstück 30, das auf dem Einspanntisch 14gehalten ist, wird durch das Schleifmittel 15b unter denselbenBedingungen erneut geschliffen. Wenn das plattenartige Werkstück30 um den Schleifbetrag geschliffen ist, der im Bestimmungsschritt bestimmt wurde, ist das Fertigschleifen abgeschlossen. Wennbeispielsweise die Stärke des plattenartigen Werkstücks 30, diedurch das Stärkemessmittel 172 im Fertigschleifschritt gemessenwird, ein Wert wird, der durch Subtrahieren des Schleifbetrags,der im Bestimmungsschritt bestimmt wurde, von der Stärke, die imStärkemessschritt an derselben Messposition gemessen wurde, dassist das Fertigschleifen beendet.

Auf diese Art und Weise wird die Stärke des plattenartigenWerkstücks, das im einleitenden Schleifschritt geschliffen wird,an mehreren Positionen gemessen, und der Schleifbetrag beimFertigschleifen wird demgemäß bestimmt, ob die Differenz zwischendem Maximalwert und dem Minimalwert der gemessenen Stärke geringerals die oder gleich der Toleranz für die Endstärke ist oder nicht.Dementsprechend kann der Bereich von Abschnitten, in dem dieStärke des plattenartigen Werkstücks am Ende des Fertigschleifensinnerhalb der Toleranz liegt, maximiert sein. Infolgedessen kannvon allen den Chips, die durch das Aufteilen des plattenartigenWerkstücks erhalten werden, die Anzahl von Chips, deren Stärkeninnerhalb der Toleranz liegen, maximiert werden. In dem Fall, indem die Differenz zwischen dem Maximalwert und dem Minimalwert dergemessenen Stärke geringer als die oder gleich der Toleranz fürdie Endstärke ist, wird der Schleifbetrag beim Fertigschleifenderart bestimmt, dass der Minimalwert größer als die oder gleichder zulässigen Minimalstärke wird und der Maximalwert geringer alsdie oder gleich der zulässigen Maximalstärke wird. Dementsprechendkann die Stärke des plattenartigen Werkstücks an all denPositionen derart hergestellt werden, dass sie innerhalb derToleranz liegt, sodass die Anzahl von Chips, deren Stärkeninnerhalb der Toleranz liegen, maximiert werden kann.

Demgegenüber wird in dem Fall, in dem die Differenz zwischendem Maximalwert und dem Minimalwert der gemessenen Stärke größerals die Toleranz für die Endstärke ist, der Schleifbetrag beimFertigschleifen derart bestimmt, dass der Bereich von Abschnitten,in dem die Stärke außerhalb der Toleranz liegt, minimal wird.Dementsprechend kann die Anzahl von Chips, die innerhalb derToleranz liegen, maximiert werden.

Daher kann die Anzahl von Chips, deren Stärken innerhalb derToleranz liegen, einfach durch Ändern des Schleifbetrags beim

Fertigschleifen maximiert werden. Dementsprechend kann imVergleich mit dem Verfahren, das in der japanischen Patent-Auslegeschrift Nr. 2008-264913 beschrieben ist und bei dem dieNeigung des Einspanntischs angepasst wird, eine Rechenmenge zumErleichtern der Anpassung verringert werden, sodass die Zeit, diezum Schleifen erforderlich ist, verkürzt werden kann. Insbesonderein dem Fall, in dem die Chips, die durch Aufteilen desplattenartigen Werkstücks erhalten werden,Leistungsbauelementchips sind, beträgt die Toleranz für dieEndstärke beispielsweise Mikrometer im Zehnerbereich, die größerals die Toleranz (beispielsweise mehrere Mikrometer) im Fallegewöhnlicher Bauelementchips ist. In einem derartigen Fall, in demdie Toleranz für die Endstärke groß ist, kann die Stärke desplattenartigen Werkstücks einfach durch Ändern des Schleifbetragsbeim Fertigschleifen leicht derart hergestellt werden, dass sieinnerhalb der Toleranz an allen Positionen liegt.

Ferner kann das vergangene Verfahren, das den Schritt desAnpassens des Einspanntischs enthält, Stärkevariationen aufgrundjeglicher anderer Faktoren als dem Abstand zur Mitte desplattenartigen Werkstücks, wie etwa Unebenheiten auf derHaltefläche des Einspanntischs, nicht unterstützen. Im Gegensatzdazu kann das Verfahren der vorliegenden ErfindungStärkevariationen aufgrund jeglicher anderen Faktoren als demAbstand zur Mitte des plattenartigen Werkstücks unterstützen,nicht nur durch Messen der Stärke des plattenartigen Werkstücks anmehreren radialen Positionen mit unterschiedlichem Abstand zurMitte des plattenartigen Werkstücks, sondern außerdem durch Messender Stärke des plattenartigen Werkstücks an mehrerenUmfangspositionen mit gleichem Abstand zur Mitte desplattenartigen Werkstücks.

Im einleitenden Schleifschritt können die Messpositionen, andenen das Stärkemessmittel die Stärke des plattenartigenWerkstücks misst, jegliche Positionen sein, da die akkurateMessung der Stärke im nachfolgenden Stärkemessschritt durchgeführtwird.

Im Stärkemessschritt sind die Messpositionen, an denen dasStärkemessmittel die Stärke des plattenartigen Werkstücks misst,nicht notwendigerweise konzentrisch angeordnet, sondern es genügt, dass die Abstände zur Mitte des plattenartigen Werkstücksvoneinander abweichen. Beispielsweise kann die Messposition desStärkemessmittels durch das Messpositionsbewegungsmittel langsamin der radialen Richtung des plattenartigen Werkstücks bewegtwerden und der Einspanntisch durch das Drehmittel gedreht werden.In diesem Zustand wird die Stärke des plattenartigen Werkstücksdurch das Stärkemessmittel in vorgegebenen Zeitintervallengemessen, sodass die Messpositionen in diesem Falle spiraligangeordnet sind.

Im Bestimmungsschritt werden in der obigen Beschreibung diezwei Werte oder der minimale Schleifbetrag und der maximaleSchleifbetrag zum Berechnen des Bereichs von Abschnitten benutzt,an dem die Stärke außerhalb der Toleranz liegt. Als Modifikationkönnen zwei oder mehr Werte, die im Bereich vom minimalenSchleifbetrag zum maximalen Schleifbetrag ausgewählt sind, zumBerechnen des Bereichs von Abschnitten benutzt werden, in dem dieStärke außerhalb der Toleranz liegt. Dann kann der Schleifbetrag,der dem berechneten minimalen Bereich entspricht, als derSchleifbetrag für das Fertigschleifen eingestellt werden.

Die vorliegende Erfindung ist nicht auf die Details der obenbeschriebenen bevorzugten Ausführungsformen beschränkt. DerSchutzumfang der Erfindung ist durch die beiliegenden Ansprüchedefiniert, und alle Änderungen und Modifikationen, die innerhalbder Äquivalenz des Schutzumfangs der Ansprüche liegen, sind daherdurch die Erfindung umfasst.

Claims

ANSPRÜCHE 1. Schleifverfahren für ein plattenartiges Werkstück, das eineSchleifvorrichtung nutzt, die einen Einspanntisch zum Halten einesplattenartigen Werkstücks, Drehmittel zum Drehen desEinspanntischs, Schleifmittel mit einem Abriebglied zum Schleifender oberen Oberfläche des plattenartigen Werkstücks, das auf demEinspanntisch gehalten ist, wodurch die Stärke des plattenartigenWerkstücks verringert wird, Stärkemessmittel zum kontaktlosenMessen der Stärke des plattenartigen Werkstücks, das durch dasSchleifmittel geschliffen wird, und Messpositionsbewegungsmittelzum Bewegen der Stärkemessmittel in der radialen Richtung desEinspanntischs enthält, wobei das Schleifverfahren für einplattenartiges Werkstück Folgendes beinhaltet: einen einleitenden Schleifschritt des Schleifens desplattenartigen Werkstücks, das auf dem Einspanntisch gehalten ist,unter Benutzung des Schleifmittels, bis die Stärke desplattenartigen Werkstücks auf eine Stärke verringert ist, diegrößer als eine vorgegebene Endstärke ist; einen Stärkemessschritt des Messens der Stärke desplattenartigen Werkstücks, das auf dem Einspanntisch gehalten ist,unter Benutzung des Stärkemessmittels an mehreren Messpositionenmit unterschiedlichem Abstand zur Drehachse des Einspanntischsbeim Bewegen des Stärkemessmittels in der radialen Richtung desEinspanntischs nach dem Durchführen des einleitendenSchleifschritts; einen Bestimmungsschritt des Berechnens der Differenzzwischen einem Maximalwert und einem Minimalwert von mehrerenStärken, die im Stärkemessschritt gemessen wurden, und desBestimmens, ob die oben berechnete Differenz zwischen demMaximalwert und dem Minimalwert geringer als die oder gleich derDifferenz zwischen einer zulässigen Maximalstärke und einerzulässigen Minimalstärke für die vorgegebene Endstärke ist odernicht; und einen Fertigschleifschritt des Anpassens eines Schleifbetragsfür das plattenartige Werkstück gemäß dem Bestimmungsergebnis imBestimmungsschritt und dann des Schleifens des plattenartigenWerkstücks gemäß dem Schleifbetrag unter Benutzung desSchleifmittels, um dadurch die Stärke des plattenartigen Werkstücks auf die vorgegebene Endstärke zu verringern.
2. Verfahren zum Schleifen eines plattenartigen Werkstücks nachAnspruch 1, wobei das plattenartige Werkstück, wenn imBestimmungsschritt bestimmt wird, dass die Differenz zwischen demMaximalwert und dem Minimalwert geringer als die oder gleich derDifferenz zwischen der zulässigen Maximalstärke und der zulässigenMinimalstärke ist, im Fertigschleifschritt geschliffen wird, bisder Minimalwert größer als die oder gleich der Minimalstärke wirdund der Maximalwert geringer als die oder gleich der Maximalstärkewird.
3. Verfahren zum Schleifen eines plattenartigen Werkstücks nacheinem der Ansprüche 1 oder 2, wobei das plattenartige Werkstück,wenn im Bestimmungsschritt bestimmt wird, dass die Differenzzwischen dem Maximalwert und dem Minimalwert größer als dieDifferenz zwischen der zulässigen Maximalstärke und der zulässigenMinimalstärke ist, im Fertigschleifschritt geschliffen wird, bisder Bereich von Abschnitten, in dem die Stärke des plattenartigenWerkstücks innerhalb des Bereichs von der zulässigen Maximalstärkezur zulässigen Minimalstärke liegt, maximal wird.