WO2024116604A1

WO2024116604A1 - Processing machine and control method

Info

Publication number: WO2024116604A1
Application number: PCT/JP2023/036678
Authority: WO
Inventors: 正人松本; 聡澤野
Original assignee: パナソニックＩｐマネジメント株式会社
Priority date: 2022-12-01
Filing date: 2023-10-10
Publication date: 2024-06-06

Abstract

A processing machine (10) comprises: a spindle (14) that rotatably supports a cutting tool (15); a stage (16) on which a workpiece (W) is placed; a measurement unit (17) that measures a physical quantity caused by contact between the cutting tool (15) and the workpiece (W); a comparator (111) that calculates the cutting depth of the workpiece (W) by the cutting tool (15) on the basis of the physical quantity and compares the calculated cutting depth with a reference cutting depth; and an adjustment unit (112) that adjusts the position of at least one of the cutting tool (15), the spindle (14), and the stage (16) on the basis of the comparison result by the comparator (111).

Description

加工機、および、制御方法Processing machine and control method

　本発明は、加工機、および、制御方法に関する。 The present invention relates to a processing machine and a control method.

　切削工具を用いてワークを加工する加工機において、加工により生ずる熱により、主軸または切削工具が熱変形し、加工品質の低下を招くことがある。このような熱変形がある場合に、主軸、および、ワークが載置されるステージの相対位置を制御する技術がある（特許文献１参照）。 In processing machines that use cutting tools to process workpieces, the heat generated by the process can cause thermal deformation of the spindle or cutting tool, resulting in a decrease in processing quality. When such thermal deformation occurs, there is a technique for controlling the relative positions of the spindle and the stage on which the workpiece is placed (see Patent Document 1).

特許第７１０３１３６号公報Patent No. 7103136

　しかしながら、主軸およびステージの相対位置の制御によっても、加工品質の低下を十分に抑制できないことがある。 However, even controlling the relative positions of the spindle and stage may not be enough to prevent a decrease in machining quality.

　そこで、本発明は、加工の品質の低下を抑制する加工機等を提供する。 The present invention provides a processing machine etc. that prevents deterioration of processing quality.

　本発明の一態様に係る加工機は、切削工具を回転可能に支持する主軸と、ワークが載置されるステージと、前記切削工具と前記ワークとの接触により生ずる物理量を測定する測定部と、前記物理量に基づいて前記切削工具による前記ワークの切削深さを算出し、算出した前記切削深さと、基準切削深さとの比較を行う比較部と、前記比較部による前記比較の結果に基づいて、前記切削工具、前記主軸および前記ステージの少なくとも１つの位置を調整する調整部とを備える加工機である。 The processing machine according to one embodiment of the present invention is a processing machine that includes a spindle that rotatably supports a cutting tool, a stage on which a workpiece is placed, a measurement unit that measures a physical quantity resulting from contact between the cutting tool and the workpiece, a comparison unit that calculates the cutting depth of the workpiece by the cutting tool based on the physical quantity and compares the calculated cutting depth with a reference cutting depth, and an adjustment unit that adjusts the position of at least one of the cutting tool, the spindle, and the stage based on the result of the comparison by the comparison unit.

　なお、これらの包括的または具体的な態様は、システム、方法、集積回路、コンピュータプログラムまたはコンピュータ読み取り可能なＣＤ－ＲＯＭなどの記録媒体で実現されてもよく、システム、方法、集積回路、コンピュータプログラムおよび記録媒体の任意な組み合わせで実現されてもよい。 These comprehensive or specific aspects may be realized as a system, method, integrated circuit, computer program, or computer-readable recording medium such as a CD-ROM, or may be realized as any combination of a system, method, integrated circuit, computer program, and recording medium.

　本発明の加工機は、加工の品質の低下を抑制することができる。 The processing machine of the present invention can suppress deterioration of processing quality.

実施の形態における加工機の構成を示す模式図である。FIG. 2 is a schematic diagram showing a configuration of a processing machine according to an embodiment. 実施の形態における加工機の制御方法を示すフロー図である。FIG. 4 is a flow chart showing a control method for a processing machine in an embodiment. 実施の形態における切削抵抗と切削深さとの対応関係の例を示す説明図である。5 is an explanatory diagram showing an example of a correspondence relationship between cutting resistance and cutting depth in the embodiment. FIG. 比較例における加工機による切削の切削深さの例を示す模式図である。FIG. 13 is a schematic diagram showing an example of cutting depth by a processing machine in a comparative example. 実施の形態における加工機による切削の切削深さの第一例を示す模式図である。FIG. 4 is a schematic diagram showing a first example of cutting depth by a processing machine in an embodiment. 実施の形態における加工機による切削の切削深さの第二例を示す模式図である。FIG. 11 is a schematic diagram showing a second example of the cutting depth of the processing machine in the embodiment. 実施の形態の変形例における加工機の構成を示す模式図である。FIG. 13 is a schematic diagram showing a configuration of a processing machine in a modified example of the embodiment. 実施の形態の変形例における加工機の制御方法を示すフロー図である。FIG. 11 is a flowchart showing a control method for a processing machine in a modified example of the embodiment. 実施の形態の変形例における切削力と切削深さとの対応関係の例を示す説明図である。13 is an explanatory diagram showing an example of a correspondence relationship between cutting force and cutting depth in a modified example of the embodiment. FIG.

　（本発明の基礎となった知見）
　本発明者は、「背景技術」の欄において記載した、加工機に関する技術に関し、以下の問題が生じることを見出した。 (Findings on which the present invention is based)
The present inventors have found that the following problems arise with the technology relating to processing machines described in the "Background Art" section.

　切削工具を用いてワークを加工する加工機において、主軸または切削工具に熱変形が生ずることがある。主軸または切削工具に熱変形が生ずると、加工品質の低下を招くことがある。加工品質の低下は、例えば、ワークの切削深さが基準値に一致しないこと、または、ワークの加工された面（加工面ともいう）に模様（縞模様または斑模様など）が生ずることを含む。 In a processing machine that uses a cutting tool to machine a workpiece, thermal deformation may occur in the spindle or cutting tool. Thermal deformation of the spindle or cutting tool may result in a decrease in machining quality. Degradation in machining quality may include, for example, the cutting depth of the workpiece not matching a reference value, or the appearance of a pattern (such as a striped or spotted pattern) on the machined surface of the workpiece (also called the machined surface).

　特許文献１に記載された技術は、センサにより主軸およびステージの位置を計測することで、主軸とステージとの相対的な変位を算出し、主軸とステージとの相対的な変位を小さくするように主軸またはステージの位置を制御することで、加工品質の低下を抑制する。 The technology described in Patent Document 1 uses sensors to measure the positions of the spindle and stage, calculates the relative displacement between the spindle and stage, and controls the position of the spindle or stage to reduce the relative displacement between the spindle and stage, thereby preventing degradation of processing quality.

　しかしながら、主軸とステージとの位置の計測に基づく主軸およびステージの相対位置の制御によっても、加工品質の低下を十分に抑制できないことがある。例えば、主軸または切削工具の熱変形により切削工具の刃先の位置が適正な位置から変位している場合には、主軸の変位量を測定しても、切削工具の刃先の位置の変位量を正確に知ることができない。この場合、主軸およびステージの相対位置を適切にするように制御しても、加工品質の低下を抑制することができないことがある。 However, even controlling the relative positions of the spindle and stage based on measuring the positions of the spindle and stage may not be able to sufficiently prevent deterioration in machining quality. For example, if the position of the cutting tool tip has been displaced from the correct position due to thermal deformation of the spindle or cutting tool, measuring the amount of displacement of the spindle cannot accurately determine the amount of displacement of the cutting tool tip position. In this case, controlling the relative positions of the spindle and stage to be appropriate may not be able to prevent deterioration in machining quality.

　以下、本明細書の開示内容から得られる発明を例示し、その発明から得られる効果等を説明する。 Below, we will present examples of inventions that can be obtained from the disclosures in this specification, and explain the effects and other aspects that can be obtained from these inventions.

　（１）切削工具を回転可能に支持する主軸と、ワークが載置されるステージと、前記切削工具と前記ワークとの接触により生ずる物理量を測定する測定部と、前記物理量に基づいて前記切削工具による前記ワークの切削深さを算出し、算出した前記切削深さと、基準切削深さとの比較を行う比較部と、前記比較部による前記比較の結果に基づいて、前記切削工具、前記主軸および前記ステージの少なくとも１つの位置を調整する調整部とを備える、加工機。 (1) A processing machine comprising: a spindle that rotatably supports a cutting tool; a stage on which a workpiece is placed; a measuring unit that measures a physical quantity resulting from contact between the cutting tool and the workpiece; a comparing unit that calculates a cutting depth of the workpiece by the cutting tool based on the physical quantity and compares the calculated cutting depth with a reference cutting depth; and an adjusting unit that adjusts the position of at least one of the cutting tool, the spindle, and the stage based on the result of the comparison by the comparing unit.

　上記態様によれば、加工機は、測定した物理量から算出した切削深さを用いて、切削工具、主軸およびステージの少なくとも１つの位置を調整する。測定される物理量は、加工機による切削深さに関係して変化している。そのため、加工機は、物理量から推定される切削深さを算出し、算出した切削深さに基づいて、その後の切削深さを制御することができる。これにより、実際の切削深さを測定することなく、比較的容易に測定され得る物理量を用いて切削深さを制御することで、加工品質の低下を抑制する。また、切削深さを計測する必要がないので、切削深さを計測することが難しい場合にも適用できる効果がある。このように、本開示に係る加工機は、加工の品質の低下を抑制することができる。 According to the above aspect, the processing machine adjusts the position of at least one of the cutting tool, the spindle, and the stage using the cutting depth calculated from the measured physical quantity. The measured physical quantity changes in relation to the cutting depth by the processing machine. Therefore, the processing machine can calculate the cutting depth estimated from the physical quantity, and control the subsequent cutting depth based on the calculated cutting depth. This suppresses deterioration of processing quality by controlling the cutting depth using a physical quantity that can be measured relatively easily, without measuring the actual cutting depth. In addition, since there is no need to measure the cutting depth, there is an effect that it can be applied even in cases where it is difficult to measure the cutting depth. In this way, the processing machine according to the present disclosure can suppress deterioration of processing quality.

　（２）前記調整部は、前記比較部による前記比較の結果に基づいて、前記切削工具による前記ワークの切削深さを前記基準切削深さに近づけるように、前記切削工具、前記主軸および前記ステージの前記少なくとも１つの位置を調整する、（１）に記載の加工機。 (2) The machining device described in (1), wherein the adjustment unit adjusts the position of at least one of the cutting tool, the spindle, and the stage based on the result of the comparison by the comparison unit so as to bring the cutting depth of the workpiece by the cutting tool closer to the reference cutting depth.

　上記態様によれば、加工機は、測定した物理量から算出した切削深さを用いて、切削工具、主軸およびステージの少なくとも１つの位置を調整することで、加工機による切削深さを基準切削深さに近づけることができ、加工品品質の低下の抑制に寄与する。よって、本開示に係る加工機は、加工の品質の低下をより一層抑制することができる。 According to the above aspect, the processing machine uses the cutting depth calculated from the measured physical quantity to adjust the position of at least one of the cutting tool, the spindle, and the stage, thereby making it possible to bring the cutting depth of the processing machine closer to the reference cutting depth, which contributes to preventing deterioration in the quality of the processed product. Therefore, the processing machine according to the present disclosure can further prevent deterioration in the quality of the processing.

　（３）前記測定部は、前記物理量として、前記切削工具により切削されている前記ワークが前記切削工具に及ぼす切削抵抗を測定し、前記比較部は、前記測定部が測定した前記切削抵抗を前記物理量として用いて前記比較を行う、（１）または（２）に記載の加工機。 (3) The machining device according to (1) or (2), wherein the measurement unit measures, as the physical quantity, the cutting resistance exerted on the cutting tool by the workpiece being cut by the cutting tool, and the comparison unit performs the comparison using the cutting resistance measured by the measurement unit as the physical quantity.

　上記態様によれば、加工機は、測定が比較的容易である切削抵抗を物理量として用いて、ワークの切削を行う。よって、本開示に係る加工機は、より容易に、加工の品質の低下を抑制することができる。 According to the above aspect, the processing machine cuts the workpiece using the cutting resistance, which is relatively easy to measure, as a physical quantity. Therefore, the processing machine according to the present disclosure can more easily suppress deterioration in processing quality.

　（４）前記基準切削深さは、（ａ）前記加工機による前記ワークの切削深さの予め定められた目標値である目標深さ、または、（ｂ）前記加工機が前記ワークを切削している一の時点において前記測定部が測定した前記物理量に基づいて算出される前記ワークの切削深さである、（１）～（３）のいずれかに記載の加工機。 (4) A processing machine according to any one of (1) to (3), wherein the reference cutting depth is (a) a target depth that is a predetermined target value for the cutting depth of the workpiece by the processing machine, or (b) a cutting depth of the workpiece calculated based on the physical quantity measured by the measuring unit at a point in time when the processing machine is cutting the workpiece.

　上記態様によれば、加工機は、予め定められた目標深さ、または、切削中の一の時点の推定される切削深さを基準切削深さとして用いることで、ワークの切削深さをより適切に制御することができる。例えば、基準切削深さとして予め定められた目標深さを用いることで、予め定められた加工品質を達成することに寄与する。また、基準切削深さとして、切削中の一の時点の推定される切削深さを用いることで、上記一の時点を加工品質の基準として、その基準の加工品質を達成することに寄与する。よって、本開示に係る加工機は、加工の品質の低下を抑制しながら、所定の加工品質を達成することができる。 According to the above aspect, the processing machine can more appropriately control the cutting depth of the workpiece by using a predetermined target depth or an estimated cutting depth at a certain point in time during cutting as the reference cutting depth. For example, using a predetermined target depth as the reference cutting depth contributes to achieving a predetermined processing quality. Furthermore, using an estimated cutting depth at a certain point in time during cutting as the reference cutting depth contributes to achieving processing quality of the standard by using the above-mentioned point in time as the standard for processing quality. Thus, the processing machine according to the present disclosure can achieve a predetermined processing quality while suppressing deterioration of processing quality.

　（５）前記測定部は、前記物理量として、前記ステージの位置、速度または加速度を測定し、前記比較部は、前記測定部が測定した前記位置、前記速度または前記加速度を用いて前記切削工具が前記ワークに及ぼす切削力を推定し、推定した前記切削力を用いて前記切削工具による前記ワークの切削深さを算出し、算出した前記切削深さと前記基準切削深さとの比較を行う、（１）または（２）に記載の加工機。 (5) The machining device according to (1) or (2), wherein the measurement unit measures the position, speed or acceleration of the stage as the physical quantity, and the comparison unit estimates the cutting force exerted by the cutting tool on the workpiece using the position, speed or acceleration measured by the measurement unit, calculates the cutting depth of the workpiece by the cutting tool using the estimated cutting force, and compares the calculated cutting depth with the reference cutting depth.

　上記態様によれば、加工機は、測定が比較的容易であるステージの位置、速度または加速度を物理量として用いて、ワークの切削を行う。よって、本開示に係る加工機は、より容易に、加工の品質の低下を抑制することができる。 According to the above aspect, the processing machine cuts the workpiece using the position, speed, or acceleration of the stage, which are relatively easy to measure, as physical quantities. Therefore, the processing machine according to the present disclosure can more easily suppress deterioration in processing quality.

　（６）前記加工機は、前記ステージを移動させるモータを駆動するサーボアンプを備え、前記サーボアンプは、前記比較部を有する、（５）に記載の加工機。 (6) The processing machine according to (5), further comprising a servo amplifier that drives a motor that moves the stage, and the servo amplifier has the comparison unit.

　上記態様によれば、加工機は、測定部が測定した物理量に基づく切削工具、主軸およびステージの少なくとも１つの位置の調整に関わる構成要素を少なくすることができ、処理負荷の低減、処理時間の削減、または、低コスト化の効果がある。よって、本開示に係る加工機は、処理負荷の低減、処理時間の削減、または、低コスト化をしながら、加工の品質の低下を抑制することができる。 According to the above aspect, the processing machine can reduce the number of components involved in adjusting the position of at least one of the cutting tool, spindle, and stage based on the physical quantity measured by the measurement unit, which has the effect of reducing the processing load, reducing the processing time, or reducing costs. Therefore, the processing machine according to the present disclosure can suppress deterioration in processing quality while reducing the processing load, reducing the processing time, or reducing costs.

　（７）前記測定部は、前記切削工具が１回転するのに要する時間、または、前記時間の整数倍の時間に亘る、前記物理量の平均値または実効値を、前記物理量として測定する、（１）～（６）のいずれかに記載の加工機。 (7) A processing machine according to any one of (1) to (6), in which the measuring unit measures the physical quantity as the average or effective value of the physical quantity over the time required for the cutting tool to rotate once or over an integer multiple of that time.

　上記態様によれば、切削工具の切削動作の最小単位である１回転に要する時間を、単位時間として用い、その単位時間内での物理量の平均値を、物理量の計測値とする。これにより、切削工具の１回転に要する時間より短い時間間隔での物理量の変動にとらわれることなく、それより長い時間に亘る物理量の振る舞いに基づいて、切削深さを適切に制御することができる。よって、本開示に係る加工機は、より適切に、加工の品質の低下を抑制することができる。 According to the above aspect, the time required for one rotation, which is the smallest unit of the cutting operation of the cutting tool, is used as the unit time, and the average value of the physical quantity within that unit time is taken as the measured value of the physical quantity. This makes it possible to appropriately control the cutting depth based on the behavior of the physical quantity over a longer period of time, without being affected by fluctuations in the physical quantity over time intervals shorter than the time required for one rotation of the cutting tool. Therefore, the processing machine according to the present disclosure can more appropriately suppress deterioration in processing quality.

　（８）加工機の制御方法であって、前記加工機は、切削工具を回転可能に支持する主軸と、ワークが載置されるステージと、を備え、前記制御方法は、前記切削工具と前記ワークとの接触により生ずる物理量を測定し、前記物理量に基づいて前記切削工具による前記ワークの切削深さを算出し、算出した前記切削深さと、基準切削深さとの比較を行い、前記比較の結果に基づいて、前記切削工具、前記主軸および前記ステージの少なくとも１つの位置を調整する、制御方法。 (8) A method for controlling a processing machine, the processing machine comprising a spindle that rotatably supports a cutting tool and a stage on which a workpiece is placed, the control method measuring a physical quantity resulting from contact between the cutting tool and the workpiece, calculating a cutting depth of the workpiece by the cutting tool based on the physical quantity, comparing the calculated cutting depth with a reference cutting depth, and adjusting the position of at least one of the cutting tool, the spindle, and the stage based on the result of the comparison.

　上記態様によれば、制御方法は、上記加工機と同様の効果を奏する。　According to the above aspect, the control method achieves the same effects as the above processing machine.

　なお、これらの包括的または具体的な態様は、システム、方法、集積回路、コンピュータプログラムまたはコンピュータ読み取り可能なＣＤ－ＲＯＭなどの記録媒体で実現されてもよく、システム、方法、集積回路、コンピュータプログラムまたは記録媒体の任意な組み合わせで実現されてもよい。 These comprehensive or specific aspects may be realized as a system, method, integrated circuit, computer program, or computer-readable recording medium such as a CD-ROM, or may be realized as any combination of a system, method, integrated circuit, computer program, or recording medium.

　以下、実施の形態について、図面を参照しながら具体的に説明する。 The following describes the embodiment in detail with reference to the drawings.

　なお、以下で説明する実施の形態は、いずれも包括的または具体的な例を示すものである。以下の実施の形態で示される数値、形状、材料、構成要素、構成要素の配置位置及び接続形態、ステップ、ステップの順序などは、一例であり、本発明を限定する主旨ではない。また、以下の実施の形態における構成要素のうち、最上位概念を示す独立請求項に記載されていない構成要素については、任意の構成要素として説明される。 The embodiments described below are all comprehensive or specific examples. The numerical values, shapes, materials, components, component placement and connection forms, steps, and order of steps shown in the following embodiments are merely examples and are not intended to limit the present invention. Furthermore, among the components in the following embodiments, components that are not described in an independent claim that indicates the highest concept are described as optional components.

　（実施の形態）
　本実施の形態において、加工の品質の低下を抑制する加工機などについて説明する。 (Embodiment)
In this embodiment, a processing machine that suppresses deterioration of processing quality will be described.

　図１は、本実施の形態における加工機１０の構成を示す模式図である。加工機１０は、ワークＷに対して切削加工（単に切削ともいう）を施す加工機である。 FIG. 1 is a schematic diagram showing the configuration of a processing machine 10 in this embodiment. The processing machine 10 is a processing machine that performs cutting processing (also simply called cutting) on a workpiece W.

　なお、下記説明において、各図面中に示すＸＹＺ座標軸を用いた説明を行う場合もある。Ｚ軸は、鉛直方向である。Ｚ軸方向のプラス側およびマイナス側を、それぞれ、上（上方向）及び下（下方向）ということもある。 In the following explanation, the XYZ coordinate axes shown in each drawing may be used. The Z axis is the vertical direction. The positive and negative sides of the Z axis direction are sometimes referred to as up (upward direction) and down (downward direction), respectively.

　図１に示されるように、加工機１０は、制御部１１と、サーボアンプ１２Ａ、１２Ｂおよび１２Ｃと、モータ１３Ａ、１３Ｂおよび１３Ｃと、主軸１４と、切削工具１５と、ステージ１６と、測定部１７とを備える。ステージ１６上には、加工機１０による切削の対象であるワークＷが載置されている。また、加工機１０には、ワークＷの切削深さの予め定められた目標値（目標深さともいう）が設定されているとする。 As shown in FIG. 1, the processing machine 10 includes a control unit 11,

servo amplifiers

12A, 12B, and 12C,

motors

13A, 13B, and 13C, a spindle 14, a cutting tool 15, a stage 16, and a measuring unit 17. A workpiece W to be cut by the processing machine 10 is placed on the stage 16. In addition, the processing machine 10 is set with a predetermined target value (also called a target depth) for the cutting depth of the workpiece W.

　制御部１１は、加工機１０が備える構成要素を制御する。制御部１１は、プロセッサ（例えばＣＰＵ（Ｃｅｎｔｒａｌ　Ｐｒｏｃｅｓｓｉｎｇ　Ｕｎｉｔ））（不図示）を備え、プロセッサがメモリ（不図示）を用いて所定のプログラムを実行することで、上記制御を行う。 The control unit 11 controls the components of the processing machine 10. The control unit 11 includes a processor (e.g., a CPU (Central Processing Unit)) (not shown), and performs the above control by the processor executing a predetermined program using a memory (not shown).

　制御部１１は、切削工具１５がワークＷを切削する位置に位置するように、切削工具１５、主軸１４およびステージ１６の少なくとも１つの位置を制御する。 The control unit 11 controls the position of at least one of the cutting tool 15, the spindle 14, and the stage 16 so that the cutting tool 15 is positioned to cut the workpiece W.

　ここでは、制御部１１が主軸１４のＺ軸方向の位置を制御可能であり、また、制御部１１がステージ１６のＸ軸方向およびＹ軸方向の位置を制御可能である場合を例として説明する。この場合、加工機１０は、切削工具１５がＺ軸方向の適切な位置（基準位置ともいう）に位置するように主軸１４の位置を制御し、また、ワークＷがＸ軸方向マイナス側へ適切な速度（基準速度ともいう）で移動するようにステージ１６の位置を制御する（つまり、ステージ１６をＸ軸方向マイナス側へ基準速度で移動させる）。基準位置は、切削工具１５が目標深さでワークＷを切削する位置である。 Here, an example will be described in which the control unit 11 can control the position of the spindle 14 in the Z-axis direction, and the control unit 11 can also control the positions of the stage 16 in the X-axis direction and the Y-axis direction. In this case, the processing machine 10 controls the position of the spindle 14 so that the cutting tool 15 is located at an appropriate position in the Z-axis direction (also called the reference position), and also controls the position of the stage 16 so that the workpiece W moves at an appropriate speed (also called the reference speed) in the negative X-axis direction (i.e., the stage 16 moves at the reference speed in the negative X-axis direction). The reference position is the position where the cutting tool 15 cuts the workpiece W at the target depth.

　制御部１１は、主軸１４または切削工具１５のＺ軸方向の位置を制御する場合には、サーボアンプ１２Ａに対して主軸１４のＺ軸方向の制御後の位置（制御位置ともいう、以下同様）を示す信号を送信する。また、調整部１１２は、ステージ１６の位置を制御する場合には、サーボアンプ１２Ｃに対してステージ１６のＸ軸方向およびＹ軸方向の少なくとも一方の制御位置を示す信号を送信する。 When the control unit 11 controls the position of the spindle 14 or cutting tool 15 in the Z-axis direction, it sends a signal to the servo amplifier 12A indicating the position of the spindle 14 after control in the Z-axis direction (also called the control position, the same applies below). When the adjustment unit 112 controls the position of the stage 16, it sends a signal to the servo amplifier 12C indicating at least one of the control positions of the stage 16 in the X-axis direction and the Y-axis direction.

　また、制御部１１は、切削工具１５がワークＷを切削するように、主軸１４および切削工具１５の回転速度を制御する。 The control unit 11 also controls the rotational speed of the spindle 14 and the cutting tool 15 so that the cutting tool 15 cuts the workpiece W.

　また、制御部１１は、切削工具１５とワークＷとの接触により生ずる物理量を用いて、切削工具１５、主軸１４およびステージ１６の少なくとも１つの位置を調整する。制御部１１は、上記調整を行う機能部として、比較部１１１と調整部１１２とを有する。 The control unit 11 also adjusts the position of at least one of the cutting tool 15, the spindle 14, and the stage 16 using a physical quantity generated by contact between the cutting tool 15 and the workpiece W. The control unit 11 has a comparison unit 111 and an adjustment unit 112 as functional units that perform the above adjustments.

　比較部１１１は、測定部１７が測定した物理量（後述）の一例である切削抵抗を測定部１７から取得し、取得した切削抵抗に基づいて切削工具１５によるワークＷの切削深さを算出し、算出した切削深さと、基準切削深さとの比較を行う。 The comparison unit 111 acquires the cutting resistance, which is an example of a physical quantity (described later) measured by the measurement unit 17, from the measurement unit 17, calculates the cutting depth of the workpiece W by the cutting tool 15 based on the acquired cutting resistance, and compares the calculated cutting depth with a reference cutting depth.

　比較部１１１は、加工機１０による切削を行う前に、切削時にワークＷが切削工具１５に及ぼす切削抵抗と、切削工具１５によるワークＷの切削深さとの対応関係を予め保有している。切削抵抗と切削深さとの対応関係は、例えば、複数の切削抵抗と、複数の切削抵抗それぞれに対応する切削深さとが対応付けられたテーブルとして表現され、この場合を例として説明する。この場合、テーブルに記載されていない切削抵抗に対応する切削深さは、内挿（より具体的には、線形内挿等）により算出され得る。なお、切削抵抗と切削深さとの対応関係は、上記のほか、切削抵抗と切削深さとの関係を表す数式として表現されてもよい。 Before cutting is performed by the processing machine 10, the comparison unit 111 already stores a correspondence relationship between the cutting resistance that the workpiece W exerts on the cutting tool 15 during cutting and the cutting depth of the workpiece W by the cutting tool 15. The correspondence relationship between the cutting resistance and the cutting depth is expressed, for example, as a table in which multiple cutting resistances are associated with the cutting depths corresponding to each of the multiple cutting resistances, and this case will be described as an example. In this case, the cutting depth corresponding to a cutting resistance not listed in the table can be calculated by interpolation (more specifically, linear interpolation, etc.). Note that the correspondence relationship between the cutting resistance and the cutting depth may be expressed as a mathematical formula that represents the relationship between the cutting resistance and the cutting depth, in addition to the above.

　基準切削深さは、予め定められた目標深さ、または、加工機１０がワークＷを切削している一の時点において測定部１７が測定した切削抵抗に基づいて算出されるワークＷの切削深さである。 The reference cutting depth is a predetermined target depth, or the cutting depth of the workpiece W calculated based on the cutting resistance measured by the measuring unit 17 at a point in time when the processing machine 10 is cutting the workpiece W.

　調整部１１２は、切削工具１５、主軸１４およびステージ１６の少なくとも１つの位置を調整する。調整部１１２は、主軸１４または切削工具１５の位置を調整する場合には、サーボアンプ１２Ａに対して主軸１４のＺ軸方向の調整後の位置（調整位置ともいう、以下同様）を示す信号を送信する。また、調整部１１２は、ステージ１６の位置を調整する場合には、サーボアンプ１２Ｃに対してステージ１６のＸ軸方向およびＹ軸方向の少なくとも一方の調整後の位置を示す信号を送信する。 The adjustment unit 112 adjusts the position of at least one of the cutting tool 15, the spindle 14, and the stage 16. When adjusting the position of the spindle 14 or the cutting tool 15, the adjustment unit 112 sends a signal to the servo amplifier 12A indicating the adjusted position of the spindle 14 in the Z-axis direction (also referred to as the adjusted position, the same applies below). When adjusting the position of the stage 16, the adjustment unit 112 sends a signal to the servo amplifier 12C indicating the adjusted position of at least one of the X-axis direction and the Y-axis direction of the stage 16.

　調整部１１２は、具体的には、比較部１１１による比較の結果に基づいて、切削工具１５、主軸１４およびステージ１６の少なくとも１つの位置を調整する。このとき、調整部１１２は、比較部１１１による比較の結果に基づいて、切削工具１５によるワークＷの切削深さを基準切削深さに近づけるように、切削工具１５、主軸１４およびステージ１６の少なくとも１つの位置を調整する制御をする。 Specifically, the adjustment unit 112 adjusts the position of at least one of the cutting tool 15, the spindle 14, and the stage 16 based on the result of the comparison by the comparison unit 111. At this time, the adjustment unit 112 performs control to adjust the position of at least one of the cutting tool 15, the spindle 14, and the stage 16 based on the result of the comparison by the comparison unit 111 so as to bring the cutting depth of the workpiece W by the cutting tool 15 closer to the reference cutting depth.

　また、調整部１１２は、主軸１４の回転速度を調整する場合には、サーボアンプ１２Ｂに対して主軸１４の調整後の回転速度（調整回転速度ともいう、以下同様）を示す信号を送信することができる。 In addition, when adjusting the rotation speed of the spindle 14, the adjustment unit 112 can send a signal indicating the adjusted rotation speed of the spindle 14 (also called the adjusted rotation speed, the same applies below) to the servo amplifier 12B.

　サーボアンプ１２Ａは、モータ１３Ａに電力を供給することでモータ１３Ａを駆動するサーボアンプである。サーボアンプ１２Ａは、主軸１４のＺ軸方向の調整位置を示す信号を制御部１１から受信した場合に、その位置に主軸１４を位置させるためのモータ１３Ａの駆動量を算出し、算出した駆動量でモータ１３Ａを駆動させる電力をモータ１３Ａに供給する。また、サーボアンプ１２Ａは、主軸１４のＺ軸方向の位置を示す情報を、モータ１３Ａからのフィードバックとして受けることができ、フィードバックを用いて主軸１４のＺ軸方向の位置の調整をすることができる。 The servo amplifier 12A is a servo amplifier that drives the motor 13A by supplying power to the motor 13A. When the servo amplifier 12A receives a signal from the control unit 11 indicating the adjustment position of the spindle 14 in the Z-axis direction, it calculates the drive amount of the motor 13A to position the spindle 14 at that position, and supplies power to the motor 13A to drive the motor 13A with the calculated drive amount. In addition, the servo amplifier 12A can receive information indicating the position of the spindle 14 in the Z-axis direction as feedback from the motor 13A, and can adjust the position of the spindle 14 in the Z-axis direction using the feedback.

　モータ１３Ａは、主軸１４のＺ軸方向の位置を制御するモータである。モータ１３Ａは、サーボアンプ１２Ａから供給される電力によって駆動することで、主軸１４のＺ軸方向の位置を制御する。また、モータ１３Ａは、主軸１４のＺ軸方向の位置を示す情報をサーボアンプ１２Ａにフィードバックすることができる。 Motor 13A is a motor that controls the position of spindle 14 in the Z-axis direction. Motor 13A controls the position of spindle 14 in the Z-axis direction by being driven by power supplied from servo amplifier 12A. Motor 13A can also feed back information indicating the position of spindle 14 in the Z-axis direction to servo amplifier 12A.

　サーボアンプ１２Ｂは、モータ１３Ｂに電力を供給することでモータ１３Ｂを駆動するサーボアンプである。サーボアンプ１２Ｂは、主軸１４の調整回転速度を示す信号を制御部１１から受信した場合に、その調整回転速度で主軸１４を回転させるためのモータ１３Ｂの駆動量を算出し、算出した駆動量でモータ１３Ｂを駆動させる電力を、モータ１３Ｂに供給する。また、サーボアンプ１２Ｂは、主軸１４の回転速度を、モータ１３Ｂからのフィードバックとして受けることができ、フィードバックを用いて主軸１４の回転速度の調整をすることができる。 Servo amplifier 12B is a servo amplifier that drives motor 13B by supplying power to motor 13B. When servo amplifier 12B receives a signal indicating the adjusted rotation speed of spindle 14 from control unit 11, it calculates the drive amount of motor 13B for rotating spindle 14 at the adjusted rotation speed, and supplies power to motor 13B for driving motor 13B at the calculated drive amount. In addition, servo amplifier 12B can receive the rotation speed of spindle 14 as feedback from motor 13B, and can adjust the rotation speed of spindle 14 using the feedback.

　モータ１３Ｂは、主軸１４の回転速度を制御するモータである。モータ１３Ｂは、サーボアンプ１２Ｂから供給される電力によって駆動することで、主軸１４の回転速度を制御する。また、モータ１３Ｂは、主軸１４の回転速度を示す情報をサーボアンプ１２Ｂにフィードバックすることができる。 Motor 13B is a motor that controls the rotation speed of spindle 14. Motor 13B controls the rotation speed of spindle 14 by being driven by power supplied from servo amplifier 12B. Motor 13B can also feed back information indicating the rotation speed of spindle 14 to servo amplifier 12B.

　サーボアンプ１２Ｃは、モータ１３Ｃに電力を供給することでモータ１３Ｃを駆動するサーボアンプである。サーボアンプ１２Ｃは、ステージ１６のＸ軸方向およびＹ軸方向の少なくとも一方の調整位置を示す信号を制御部１１から受信した場合に、その調整位置にステージ１６を位置させるためのモータ１３Ｃの駆動量を算出し、算出した駆動量でモータ１３Ｃを駆動させる電力を、モータ１３Ｃに供給する。また、サーボアンプ１２Ｃは、ステージ１６のＸ軸方向およびＹ軸方向の位置を、モータ１３Ｃからのフィードバックとして受けることができ、フィードバックを用いてステージ１６のＸ軸方向およびＹ軸方向の少なくとも一方の位置の調整をすることができる。 The servo amplifier 12C is a servo amplifier that drives the motor 13C by supplying power to the motor 13C. When the servo amplifier 12C receives a signal from the control unit 11 indicating an adjustment position of at least one of the X-axis and Y-axis directions of the stage 16, it calculates the drive amount of the motor 13C to position the stage 16 at that adjustment position, and supplies power to the motor 13C to drive the motor 13C with the calculated drive amount. The servo amplifier 12C can also receive the positions of the stage 16 in the X-axis and Y-axis directions as feedback from the motor 13C, and can adjust the positions of the stage 16 in at least one of the X-axis and Y-axis directions using the feedback.

　モータ１３Ｃは、主軸１４のＸ軸方向およびＹ軸方向の位置を制御するモータである。モータ１３Ｃは、サーボアンプ１２Ｃから供給される電力によって駆動することで、主軸１４のＸ軸方向およびＹ軸方向の少なくとも一方の位置を制御する。また、モータ１３Ｃは、主軸１４のＸ軸方向およびＹ軸方向の位置を示す情報をサーボアンプ１２Ｃにフィードバックすることができる。 Motor 13C is a motor that controls the position of spindle 14 in the X-axis direction and the Y-axis direction. Motor 13C is driven by power supplied from servo amplifier 12C to control at least one of the positions of spindle 14 in the X-axis direction and the Y-axis direction. Motor 13C can also feed back information indicating the positions of spindle 14 in the X-axis direction and the Y-axis direction to servo amplifier 12C.

　主軸１４は、切削工具１５を回転可能に支持する。具体的には、主軸１４は、切削工具１５を把持するチャック等の治具を有し、治具を用いて切削工具１５を把持する。また、主軸１４は、Ｚ軸に平行な旋回軸まわりに切削工具１５を回転（言い換えれば自転）させる。回転速度は、例えば１０００ｒｐｍ～４００００ｒｐｍ程度であるが、これに限定されない。 The spindle 14 rotatably supports the cutting tool 15. Specifically, the spindle 14 has a jig such as a chuck that holds the cutting tool 15, and holds the cutting tool 15 using the jig. The spindle 14 also rotates the cutting tool 15 around a pivot axis parallel to the Z-axis (in other words, spins on its own axis). The rotation speed is, for example, about 1000 rpm to 40000 rpm, but is not limited to this.

　切削工具１５は、ワークＷを切削する工具である。切削工具１５は、主軸１４によってＺ軸に平行な旋回軸まわりに回転可能に支持される。回転している切削工具１５がワークＷに接触することでワークＷが切削される。また、切削工具１５のＺ軸方向の位置が一定である状態でステージ１６がＸ軸方向およびＹ軸方向に移動することで、ワークＷの上面が切削される。 The cutting tool 15 is a tool that cuts the workpiece W. The cutting tool 15 is supported by the spindle 14 so that it can rotate around a rotation axis parallel to the Z axis. The rotating cutting tool 15 comes into contact with the workpiece W to cut the workpiece W. In addition, the stage 16 moves in the X-axis and Y-axis directions while the position of the cutting tool 15 in the Z-axis direction is kept constant, thereby cutting the top surface of the workpiece W.

　切削工具１５がワークＷを切削しているときに、切削工具１５のＺ軸方向の位置が変化すると、ワークＷの切削深さ（言い換えれば、ワークＷの表面から、ワークＷを切削している切削工具１５の先端までの距離）が変化する。ワークＷの切削深さは、切削工具１５のＺ座標が小さいほど、より大きい。 When the cutting tool 15 is cutting the workpiece W, if the position of the cutting tool 15 in the Z-axis direction changes, the cutting depth of the workpiece W (in other words, the distance from the surface of the workpiece W to the tip of the cutting tool 15 that is cutting the workpiece W) changes. The smaller the Z coordinate of the cutting tool 15, the greater the cutting depth of the workpiece W.

　ステージ１６は、ワークＷが載置されるステージである。ステージ１６は、水平方向、つまり、Ｘ軸方向およびＹ軸方向に移動可能であり、モータ１３Ｃが駆動することでＸ軸方向およびＹ軸方向の少なくとも一方の位置が変更される。ステージ１６上には、ワークＷが固定されており、ステージ１６が移動するのに伴ってワークＷも移動する。 The stage 16 is a stage on which the workpiece W is placed. The stage 16 can move horizontally, that is, in the X-axis direction and the Y-axis direction, and the position of at least one of the X-axis direction and the Y-axis direction is changed by driving the motor 13C. The workpiece W is fixed on the stage 16, and the workpiece W also moves as the stage 16 moves.

　測定部１７は、切削工具１５とワークＷとの接触により生ずる物理量を測定する。上記物理量は、例えば、切削工具１５により切削されているワークＷが切削工具１５に及ぼす切削抵抗であり、この場合を例として説明する。なお、他の物理量を用いる場合については、後述する変形例で説明する。 The measuring unit 17 measures a physical quantity that occurs due to contact between the cutting tool 15 and the workpiece W. The physical quantity is, for example, the cutting resistance that the workpiece W being cut by the cutting tool 15 exerts on the cutting tool 15, and this case will be described as an example. Note that cases in which other physical quantities are used will be described in modified examples described later.

　切削抵抗は、ワークＷを切削している切削工具１５が、ワークＷに及ぼしている力である切削力と同じ大きさであり、上記切削力の向きとは反対向きの力である。測定部１７は、例えば、切削動力計を用いて切削抵抗を計測することができる。 The cutting resistance is the same magnitude as the cutting force, which is the force that the cutting tool 15 that is cutting the workpiece W exerts on the workpiece W, and is a force in the opposite direction to the cutting force. The measuring unit 17 can measure the cutting resistance using, for example, a cutting dynamometer.

　測定部１７は、計測した切削抵抗を制御部１１（より具体的には比較部１１１）に提供する。 The measurement unit 17 provides the measured cutting resistance to the control unit 11 (more specifically, the comparison unit 111).

　なお、測定部１７は、切削工具１５が１回転するのに要する時間（例えば０．００１５秒～０．０６秒程度）または、上記時間の整数倍の時間に亘る、切削抵抗の平均値または実効値を、切削抵抗の測定値としてもよい。 The measuring unit 17 may take the average or effective value of the cutting resistance over the time required for the cutting tool 15 to rotate once (for example, about 0.0015 seconds to 0.06 seconds) or an integer multiple of the above time as the measured value of the cutting resistance.

　図２は、本実施の形態における加工機１０の制御方法を示すフロー図である。図３は、本実施の形態における切削抵抗と切削深さとの対応関係の例を示す説明図である。図２および図３を参照しながら、加工機１０の制御方法を説明する。 FIG. 2 is a flow diagram showing a method for controlling the processing machine 10 in this embodiment. FIG. 3 is an explanatory diagram showing an example of the correspondence between cutting resistance and cutting depth in this embodiment. The method for controlling the processing machine 10 will be explained with reference to FIGS. 2 and 3.

　ステップＳ１０１の実行前に、比較部１１１は、切削抵抗と切削深さとの対応関係を示すテーブル（図３参照）を予め保有している。 Before executing step S101, the comparison unit 111 already has a table (see Figure 3) that shows the correspondence between cutting resistance and cutting depth.

　図３において、複数の切削抵抗と、複数の切削抵抗それぞれに対応する切削深さとが対応付けられている。例えば、図３において、切削抵抗Ｒ１に対して切削深さＤ１が対応付けられており、切削抵抗Ｒ２に対して切削深さＤ２が対応付けられている。 In FIG. 3, multiple cutting resistances are associated with cutting depths corresponding to each of the multiple cutting resistances. For example, in FIG. 3, cutting depth D1 is associated with cutting resistance R1, and cutting depth D2 is associated with cutting resistance R2.

　加工機１０は、切削を行っている状態において、ステップＳ１０１の処理を開始する。 The processing machine 10 starts processing in step S101 while cutting is in progress.

　ステップＳ１０１において、測定部１７は、切削抵抗を測定する。測定部１７は、測定した切削抵抗を制御部１１（より具体的には比較部１１１）に提供する。 In step S101, the measurement unit 17 measures the cutting resistance. The measurement unit 17 provides the measured cutting resistance to the control unit 11 (more specifically, the comparison unit 111).

　ステップＳ１０２において、比較部１１１は、ステップＳ１０１で測定され提供された切削抵抗に基づいて、切削深さを算出する。切削抵抗から切削深さを算出する際には、比較部１１１は、切削抵抗と切削深さとの対応関係を示すテーブル（図３参照）を用いる。すなわち、比較部１１１は、上記テーブルにおいて、ステップＳ１０１で測定された切削抵抗に一致する切削抵抗を発見した場合には、その切削抵抗に対応付けられている切削深さを取得し、ステップＳ１０１で測定された切削抵抗に一致する切削抵抗を発見しない場合には、上記テーブルを用いて内挿することで、その切削抵抗に対応付けられている切削深さを取得することで、切削深さを算出する。 In step S102, the comparison unit 111 calculates the cutting depth based on the cutting resistance measured and provided in step S101. When calculating the cutting depth from the cutting resistance, the comparison unit 111 uses a table (see FIG. 3) that indicates the correspondence between the cutting resistance and the cutting depth. That is, if the comparison unit 111 finds a cutting resistance in the table that matches the cutting resistance measured in step S101, it obtains the cutting depth that corresponds to that cutting resistance, and if it does not find a cutting resistance that matches the cutting resistance measured in step S101, it calculates the cutting depth by interpolating using the table and obtaining the cutting depth that corresponds to that cutting resistance.

　ステップＳ１０３において、比較部１１１は、ステップＳ１０２で算出した切削深さと、基準切削深さとを比較する。 In step S103, the comparison unit 111 compares the cutting depth calculated in step S102 with the reference cutting depth.

　ステップＳ１０４において、調整部１１２は、ステップＳ１０３での比較の結果に基づいて、切削工具１５、主軸１４およびステージ１６の少なくとも１つの位置を調整する制御をする。具体的には、調整部１１２は、切削工具１５、主軸１４およびステージ１６の少なくとも１つの調整位置を算出し、サーボアンプ１２Ａ等を介してモータ１３Ａ等を駆動させることで、切削工具１５、主軸１４およびステージ１６の少なくとも１つの位置を調整する制御をする。 In step S104, the adjustment unit 112 performs control to adjust the position of at least one of the cutting tool 15, the spindle 14, and the stage 16 based on the result of the comparison in step S103. Specifically, the adjustment unit 112 calculates an adjustment position of at least one of the cutting tool 15, the spindle 14, and the stage 16, and performs control to adjust the position of at least one of the cutting tool 15, the spindle 14, and the stage 16 by driving the motor 13A, etc. via the servo amplifier 12A, etc.

　このようにすることで、加工機１０は、加工の品質の低下を抑制することができる。 By doing this, the processing machine 10 can prevent deterioration in processing quality.

　以降において、ワークＷの切削深さについて、比較例における加工機による切削の場合と、本実施の形態における加工機１０による切削の場合とを比較しながら説明する。 The cutting depth of the workpiece W will be explained below, comparing cutting by the processing machine in the comparative example with cutting by the processing machine 10 in this embodiment.

　図４は、比較例における加工機による切削の切削深さの例を示す模式図である。比較例における加工機は、本実施の形態における加工機１０と同様の切削加工をする加工機である。 FIG. 4 is a schematic diagram showing an example of cutting depth by a processing machine in a comparative example. The processing machine in the comparative example is a processing machine that performs cutting processing similar to that of processing machine 10 in the present embodiment.

　比較例における加工機は、主軸９４のＺ軸方向の位置を計測するセンサＳ１を備え、センサＳ１による計測値に基づいて主軸９４のＺ軸方向の位置を調整可能である。また、比較例における加工機は、ステージ９６のＸ軸方向およびＹ軸方向の位置を計測するセンサＳ２を備え、センサＳ２による計測値に基づいてステージ９６のＸ軸方向およびＹ軸方向の位置を調整可能である。比較例における加工機は、加工機１０が備える比較部１１１および調整部１１２を備えない。 The processing machine in the comparative example is equipped with a sensor S1 that measures the position of the spindle 94 in the Z-axis direction, and is capable of adjusting the position of the spindle 94 in the Z-axis direction based on the measurement value from the sensor S1. The processing machine in the comparative example is also equipped with a sensor S2 that measures the positions of the stage 96 in the X-axis direction and the Y-axis direction, and is capable of adjusting the positions of the stage 96 in the X-axis direction and the Y-axis direction based on the measurement value from the sensor S2. The processing machine in the comparative example does not have the comparison unit 111 and adjustment unit 112 that are equipped in the processing machine 10.

　図４の（ａ）には、切削の開始時におけるワークＷの周辺の構成要素（主軸９４、切削工具９５およびステージ９６等）が示されている。 (a) in FIG. 4 shows the components around the workpiece W (spindle 94, cutting tool 95, stage 96, etc.) at the start of cutting.

　比較例における加工機が備える主軸９４は、基準位置に位置している。また、ステージ９６は、Ｘ軸方向マイナス側へ基準速度で移動する。ワークＷが切削工具９５に近づき、接触すると、切削工具９５は、切削深さＤ１でワークＷを切削する。切削深さＤ１は、基準切削深さに相当する。 The spindle 94 of the processing machine in the comparative example is located at a reference position. The stage 96 moves in the negative X-axis direction at a reference speed. When the workpiece W approaches and comes into contact with the cutting tool 95, the cutting tool 95 cuts the workpiece W at a cutting depth D1. The cutting depth D1 corresponds to the reference cutting depth.

　図４の（ｂ）には、図４の（ａ）に示される状態のあとで、比較例における加工機が切削をしている一の時点におけるワークＷの周辺の構成要素（主軸９４、切削工具９５およびステージ９６等）が示されている。 Figure 4(b) shows the components around the workpiece W (spindle 94, cutting tool 95, stage 96, etc.) at a point in time when the processing machine in the comparative example is performing cutting after the state shown in Figure 4(a).

　図４の（ｂ）に示されるように、ワークＷの切削が進むと、熱による変形Ｖ１またはＶ２が生じ得る。変形Ｖ１およびＶ２により、切削工具９５のＺ軸方向の位置は、図４の（ａ）における場合よりも下方向（Ｚ軸方向マイナス側）に移動している。変形Ｖ１は、例えば、モータ１３Ａおよび１３Ｂが駆動することで生じた熱に起因する変形であり得る。変形Ｖ２は、ワークＷの切削により生じた熱に起因する変形であり得る。 As shown in FIG. 4B, as cutting of the workpiece W progresses, thermal deformation V1 or V2 may occur. Deformations V1 and V2 cause the Z-axis position of the cutting tool 95 to move downward (toward the negative Z-axis direction) compared to the case in FIG. 4A. Deformation V1 may be, for example, deformation caused by heat generated by the driving of

motors

13A and 13B. Deformation V2 may be deformation caused by heat generated by cutting the workpiece W.

　比較例における加工機は、センサＳ１およびＳ２の計測値に基づいて主軸９４、切削工具９５およびステージ９６の位置の調整が可能である。しかしながら、センサＳ１およびＳ２により計測できない位置の変化（例えば、切削工具９５の変形Ｖ２による位置の変化）に基づく、主軸９４、切削工具９５およびステージ９６の位置の調整は不可能である。 The processing machine in the comparative example is capable of adjusting the positions of the spindle 94, cutting tool 95, and stage 96 based on the measurement values of sensors S1 and S2. However, it is not possible to adjust the positions of the spindle 94, cutting tool 95, and stage 96 based on changes in position that cannot be measured by sensors S1 and S2 (for example, changes in position due to deformation V2 of the cutting tool 95).

　その結果、切削工具１５は、切削深さＤ１より大きな切削深さＤ２で、ワークＷを切削することになる。 As a result, the cutting tool 15 cuts the workpiece W at a cutting depth D2 that is greater than the cutting depth D1.

　このように、比較例における加工機は、基準切削深さである切削深さＤ１よりも大きな切削深さＤ２での切削を行うことになり、加工品質が比較的低い。 In this way, the processing machine in the comparative example cuts at a cutting depth D2 that is greater than the reference cutting depth D1, resulting in relatively low processing quality.

　図５および図６は、本実施の形態における加工機１０による切削の切削深さの例を示す模式図である。 FIGS. 5 and 6 are schematic diagrams showing examples of cutting depths by the processing machine 10 in this embodiment.

　図５には、切削の開始時におけるワークＷの周辺の構成要素（主軸１４、切削工具１５およびステージ１６等）が示されている。 Figure 5 shows the components around the workpiece W (spindle 14, cutting tool 15, stage 16, etc.) at the start of cutting.

　加工機１０が備える主軸１４は、基準位置に位置している。また、ステージ１６は、Ｘ軸方向マイナス側へ基準速度で移動する。ワークＷが切削工具１５に近づき、接触すると、切削工具１５は、切削深さＤ１でワークＷを切削する。切削深さＤ１は、基準切削深さに相当する。このとき、ワークＷは、切削工具１５に対して切削抵抗Ｒ１を及ぼしている。 The spindle 14 of the processing machine 10 is located at a reference position. The stage 16 moves in the negative X-axis direction at a reference speed. When the workpiece W approaches and comes into contact with the cutting tool 15, the cutting tool 15 cuts the workpiece W at a cutting depth D1. The cutting depth D1 corresponds to the reference cutting depth. At this time, the workpiece W exerts a cutting resistance R1 on the cutting tool 15.

　図６の（ａ）には、図５に示される状態のあとで、加工機１０が切削をしている一の時点におけるワークＷの周辺の構成要素（主軸１４、切削工具１５およびステージ１６等）が示されている。 (a) of FIG. 6 shows the components around the workpiece W (spindle 14, cutting tool 15, stage 16, etc.) at a point in time when the processing machine 10 is cutting after the state shown in FIG. 5.

　図６の（ａ）に示されるように、ワークＷの切削が進むと、図４の（ｂ）の場合と同様に、熱による変形Ｖ１またはＶ２が生じ得る。変形Ｖ１およびＶ２により、切削工具１５のＺ軸方向の位置は、図５における場合よりも下方向（Ｚ軸方向マイナス側）に移動している。 As shown in FIG. 6(a), as cutting of the workpiece W progresses, thermal deformation V1 or V2 may occur, as in FIG. 4(b). Deformations V1 and V2 cause the position of the cutting tool 15 in the Z-axis direction to move downward (toward the negative Z-axis direction) compared to the case in FIG. 5.

　加工機１０は、熱による変形Ｖ１またはＶ２が生じた場合、切削工具１５は、切削深さＤ２でワークＷを切削する。このとき、ワークＷは、切削工具１５に対して切削抵抗ＲＡを及ぼす。切削抵抗ＲＡは、切削抵抗Ｒ１より大きい。 When thermal deformation V1 or V2 occurs in the processing machine 10, the cutting tool 15 cuts the workpiece W at a cutting depth D2. At this time, the workpiece W exerts a cutting resistance RA on the cutting tool 15. The cutting resistance RA is greater than the cutting resistance R1.

　測定部１７は、切削抵抗ＲＡを計測し、制御部１１に提供する。比較部１１１は、提供された切削抵抗ＲＡから切削深さＤＡを算出し、基準切削深さである切削深さＤ１と切削深さＤＡとの比較を行う。調整部１１２は、切削深さをＤ１に近づけるように主軸１４の位置を距離Ｄ３だけ、上方向（Ｚ軸方向プラス側）に調整する。 The measuring unit 17 measures the cutting resistance RA and provides it to the control unit 11. The comparing unit 111 calculates the cutting depth DA from the provided cutting resistance RA and compares the cutting depth DA with the cutting depth D1, which is the reference cutting depth. The adjusting unit 112 adjusts the position of the spindle 14 upward (towards the positive Z-axis direction) by a distance D3 so that the cutting depth approaches D1.

　図６の（ｂ）には、主軸１４の位置の調整後の一の時点におけるワークＷの周辺の構成（主軸１４、切削工具１５およびステージ１６等）が示されている。図６の（ｂ）では、図６の（ａ）における場合と比較して、主軸１４の位置が距離Ｄ３だけ上方向（Ｚ軸方向プラス側）に調整された結果、切削工具１５が切削深さＤ１でワークＷを切削している。 Figure 6(b) shows the configuration around the workpiece W (spindle 14, cutting tool 15, stage 16, etc.) at a certain point in time after the position of the spindle 14 has been adjusted. In Figure 6(b), compared to the case in Figure 6(a), the position of the spindle 14 has been adjusted upward (toward the positive Z-axis direction) by a distance D3, resulting in the cutting tool 15 cutting the workpiece W at a cutting depth D1.

　なお、実際には、切削抵抗Ｒ１の大きさと切削抵抗ＲＡの大きさとの差異は、切削抵抗Ｒ１の大きさに対して極めて小さく、これにより、切削深さＤ１と切削深さＤＡとの差異も、切削深さＤ１に対して極めて小さい。そのため、切削深さＤ１と切削深さＤＡとの差異は、加工品質の低下を引き起こさない。 In reality, the difference between the magnitude of cutting resistance R1 and the magnitude of cutting resistance RA is extremely small compared to the magnitude of cutting resistance R1, and as a result, the difference between cutting depth D1 and cutting depth DA is also extremely small compared to cutting depth D1. Therefore, the difference between cutting depth D1 and cutting depth DA does not cause a decrease in processing quality.

　このように、加工機１０は、基準切削深さである切削深さＤ１を維持しながらワークＷを切削することができ、加工品質が比較的高い。 In this way, the machining device 10 can cut the workpiece W while maintaining the standard cutting depth D1, and the machining quality is relatively high.

　なお、本実施の形態において、比較部１１１および調整部１１２は、制御部１１に備えられるとして説明したが、サーボアンプ１２Ａ、１２Ｂまたは１２Ｃが比較部１１１および調整部１１２を備えてもよい。 In this embodiment, the comparison unit 111 and the adjustment unit 112 are described as being provided in the control unit 11, but the

servo amplifier

12A, 12B, or 12C may also be provided with the comparison unit 111 and the adjustment unit 112.

　より具体的には、ステージ１６のＸ軸方向またはＹ軸方向の位置を制御するモータ１３Ｃを駆動するサーボアンプ１２Ｃが、比較部１１１を備えてもよい。このようにすることで、測定部１７の測定値に基づくステージ１６のＸ軸方向またはＹ軸方向の位置の制御に関わる構成要素を少なくすることができ、処理負荷の低減、処理時間の削減、または、低コスト化の効果がある。 More specifically, the servo amplifier 12C that drives the motor 13C that controls the position of the stage 16 in the X-axis or Y-axis direction may be provided with a comparison unit 111. In this way, it is possible to reduce the number of components involved in controlling the position of the stage 16 in the X-axis or Y-axis direction based on the measurement value of the measurement unit 17, which has the effect of reducing the processing load, shortening the processing time, and reducing costs.

　（実施の形態の変形例）
　本変形例において、加工の品質の低下を抑制する加工機などについて説明する。本変形例における加工機は、上記実施の形態の加工機１０が切削深さを調整するために切削抵抗を用いたのに対して、ステージの位置に及ぼされる熱変形の影響を用いる。 (Modification of the embodiment)
In this modified example, a processing machine that suppresses deterioration of processing quality will be described. The processing machine in this modified example uses the effect of thermal deformation on the position of the stage, whereas the processing machine 10 in the above embodiment uses the cutting resistance to adjust the cutting depth.

　図７は、本変形例における加工機１０Ａの構成を示す模式図である。なお、上記実施の形態における加工機１０と同じ構成要素については、同じ符号を付し、詳細な説明を省略することがある。 FIG. 7 is a schematic diagram showing the configuration of a processing machine 10A in this modified example. Note that the same components as those in the processing machine 10 in the above embodiment are given the same reference numerals, and detailed descriptions may be omitted.

　図７に示されるように、加工機１０Ａは、制御部１１Ａと、サーボアンプ１２Ａ、１２Ｂおよび１２Ｃと、モータ１３Ａ、１３Ｂおよび１３Ｃと、主軸１４と、切削工具１５と、ステージ１６と、測定部１７Ａとを備える。ステージ１６上には、加工機１０Ｗによる切削の対象であるワークＷが載置されている。 As shown in FIG. 7, the processing machine 10A includes a control unit 11A,

servo amplifiers

12A, 12B, and 12C,

motors

13A, 13B, and 13C, a spindle 14, a cutting tool 15, a stage 16, and a measurement unit 17A. A workpiece W to be cut by the processing machine 10W is placed on the stage 16.

　加工機１０Ａは、制御部１１Ａと、測定部１７Ａとを備える点で、上記実施の形態の加工機１０と異なる。これらの構成要素について詳しく説明する。 The processing machine 10A differs from the processing machine 10 of the above embodiment in that it includes a control unit 11A and a measurement unit 17A. These components will be described in detail.

　制御部１１Ａは、上記実施の形態における制御部１１と同様に、加工機１０が備える構成要素を制御する。また、制御部１１Ａは、切削工具１５がワークＷを切削する位置に位置するように、切削工具１５、主軸１４およびステージ１６の少なくとも１つの位置を制御する。 Similar to the control unit 11 in the above embodiment, the control unit 11A controls the components of the processing machine 10. The control unit 11A also controls the position of at least one of the cutting tool 15, the spindle 14, and the stage 16 so that the cutting tool 15 is positioned to cut the workpiece W.

　制御部１１Ａは、具体的には、比較部１１４と調整部１１２とを有する。 Specifically, the control unit 11A has a comparison unit 114 and an adjustment unit 112.

　比較部１１４は、測定部１７Ａが測定した物理量の一例である、ステージ１６の速度を測定部１７Ａから取得し、取得した速度に基づいて切削工具１５がワークＷに及ぼす切削力を推定する。また、比較部１１４は、推定した切削力を用いて切削工具１５によるワークＷの切削深さを算出する。そして、比較部１１４は、算出した切削深さと、基準切削深さとの比較を行う。 The comparison unit 114 acquires the speed of the stage 16, which is an example of a physical quantity measured by the measurement unit 17A, from the measurement unit 17A, and estimates the cutting force that the cutting tool 15 exerts on the workpiece W based on the acquired speed. The comparison unit 114 also calculates the cutting depth of the workpiece W by the cutting tool 15 using the estimated cutting force. The comparison unit 114 then compares the calculated cutting depth with a reference cutting depth.

　制御部１１Ａが有する調整部１１２は、上記実施の形態における調整部１１２と同じであるので詳細な説明を省略する。 The adjustment unit 112 of the control unit 11A is the same as the adjustment unit 112 in the above embodiment, so a detailed description will be omitted.

　測定部１７Ａは、ステージ１６の位置に及ぼされる熱変形の影響を測定する。具体的には、測定部１７Ａは、ステージ１６の位置、速度または加速度を測定する。熱変形である変形Ｖ１またはＶ２が生じた場合に、その変形Ｖ１またはＶ２の影響がステージ１６の位置、速度または加速度に及ぶので、測定部１７Ａが測定する位置、速度または加速度は、熱変形の影響を受けている。測定部１７Ａは、位置、速度または加速度の測定には、それぞれ、位置センサ、速度センサ、または、加速度センサを用いることができる。 The measurement unit 17A measures the effect of thermal deformation on the position of the stage 16. Specifically, the measurement unit 17A measures the position, speed or acceleration of the stage 16. When deformation V1 or V2, which is thermal deformation, occurs, the effect of the deformation V1 or V2 extends to the position, speed or acceleration of the stage 16, so the position, speed or acceleration measured by the measurement unit 17A is affected by the thermal deformation. The measurement unit 17A can use a position sensor, a speed sensor or an acceleration sensor to measure the position, speed or acceleration, respectively.

　ここでは、測定部１７Ａがステージ１６の速度を測定する場合を例として説明する。 Here, we will explain an example in which the measurement unit 17A measures the speed of the stage 16.

　なお、測定部１７Ａがステージ１６の位置を測定する場合には、測定した位置を時間で微分することでステージ１６の速度を算出することができ、算出した速度を用いて、測定部１７Ａがステージ１６の速度を測定する場合と同様の処理が可能である。 When the measurement unit 17A measures the position of the stage 16, the speed of the stage 16 can be calculated by differentiating the measured position with respect to time, and the calculated speed can be used to perform the same processing as when the measurement unit 17A measures the speed of the stage 16.

　また、測定部１７Ａがステージ１６の加速度を測定する場合には、測定した加速度を積分することでステージ１６の速度を算出することができ、算出した速度を用いて、測定部１７Ａがステージ１６の速度を測定する場合と同様の処理が可能である。 In addition, when the measurement unit 17A measures the acceleration of the stage 16, the speed of the stage 16 can be calculated by integrating the measured acceleration, and the calculated speed can be used to perform the same processing as when the measurement unit 17A measures the speed of the stage 16.

　図８は、本変形例における加工機１０Ａの制御方法を示すフロー図である。図９は、本変形例における切削力と切削深さとの対応関係の例を示す説明図である。図８および図９を参照しながら、加工機１０Ａの制御方法を説明する。 FIG. 8 is a flow diagram showing a method for controlling the processing machine 10A in this modified example. FIG. 9 is an explanatory diagram showing an example of the correspondence between cutting force and cutting depth in this modified example. The control method for the processing machine 10A will be explained with reference to FIGS. 8 and 9.

　比較部１１４は、切削力と切削深さとの対応関係を示すテーブル（図９参照）を予め保有している。 The comparison unit 114 already has a table (see Figure 9) that shows the correspondence between cutting force and cutting depth.

　図９において、複数の切削力と、複数の切削力それぞれに対応する切削深さとが対応付けられている。例えば、図９において、切削力Ｐ１に対して切削深さＤ１が対応付けられており、切削力Ｐ２に対して切削深さＤ２が対応付けられている。 In FIG. 9, multiple cutting forces are associated with cutting depths corresponding to each of the multiple cutting forces. For example, in FIG. 9, cutting force P1 is associated with cutting depth D1, and cutting force P2 is associated with cutting depth D2.

　加工機１０Ａは、切削を行っている状態において、ステップＳ１０１Ａの処理を開始する。 The processing machine 10A starts processing in step S101A while cutting is in progress.

　ステップＳ１０１Ａにおいて、測定部１７Ａは、ステージ１６の速度を測定する。測定部１７Ａは、測定したステージ１６の速度を制御部１１Ａ（より具体的には比較部１１４）に提供する。 In step S101A, the measurement unit 17A measures the speed of the stage 16. The measurement unit 17A provides the measured speed of the stage 16 to the control unit 11A (more specifically, the comparison unit 114).

　ステップＳ１０１Ｂにおいて、比較部１１４は、ステップＳ１０１Ａで測定され提供された速度に基づいて、切削力を推定する。ステージ１６の速度から切削力を推定する際には、外乱オブザーバによる推定を用いることができる（非特許文献１）。 In step S101B, the comparison unit 114 estimates the cutting force based on the speed measured and provided in step S101A. When estimating the cutting force from the speed of the stage 16, estimation by a disturbance observer can be used (Non-Patent Document 1).

　ステップＳ１０２Ａにおいて、比較部１１４は、ステップＳ１０１Ｂで推定した切削力に基づいて、切削深さを算出する。切削力から切削深さを算出する際には、比較部１１４は、切削力と切削深さとの対応関係を示すテーブル（図９参照）を用いる。 In step S102A, the comparison unit 114 calculates the cutting depth based on the cutting force estimated in step S101B. When calculating the cutting depth from the cutting force, the comparison unit 114 uses a table (see FIG. 9) showing the correspondence between the cutting force and the cutting depth.

　ステップＳ１０３において、比較部１１４は、ステップＳ１０２Ａで算出した切削深さと、基準切削深さとを比較する。 In step S103, the comparison unit 114 compares the cutting depth calculated in step S102A with the reference cutting depth.

　ステップＳ１０４において、調整部１１２は、ステップＳ１０３での比較の結果に基づいて、切削工具１５、主軸１４およびステージ１６の少なくとも１つの位置を調整する。具体的には、調整部１１２は、調整後の切削工具１５、主軸１４およびステージ１６の少なくとも１つの位置を算出し、サーボアンプ１２Ａ等を介してモータ１３Ａ等の駆動させることで、切削工具１５、主軸１４およびステージ１６の少なくとも１つの位置を調整する。 In step S104, the adjustment unit 112 adjusts the position of at least one of the cutting tool 15, the spindle 14, and the stage 16 based on the result of the comparison in step S103. Specifically, the adjustment unit 112 calculates the position of at least one of the cutting tool 15, the spindle 14, and the stage 16 after adjustment, and adjusts the position of at least one of the cutting tool 15, the spindle 14, and the stage 16 by driving the motor 13A, etc. via the servo amplifier 12A, etc.

　このようにすることで、加工機１０Ａは、加工の品質の低下を抑制することができる。 By doing this, the processing machine 10A can prevent deterioration in processing quality.

　なお、上記実施の形態および変形例において、各構成要素は、専用のハードウェアで構成されるか、各構成要素に適したソフトウェアプログラムを実行することによって実現されてもよい。各構成要素は、ＣＰＵまたはプロセッサなどのプログラム実行部が、ハードディスクまたは半導体メモリなどの記録媒体に記録されたソフトウェアプログラムを読み出して実行することによって実現されてもよい。ここで、上記実施の形態および変形例の加工機の制御方法などを実現するソフトウェアは、次のようなプログラムである。 In the above embodiments and variations, each component may be configured with dedicated hardware, or may be realized by executing a software program suitable for each component. Each component may be realized by a program execution unit such as a CPU or processor reading and executing a software program recorded on a recording medium such as a hard disk or semiconductor memory. Here, the software that realizes the machine control method of the above embodiments and variations is a program such as the following.

　すなわち、このプログラムは、コンピュータに、加工機の制御方法であって、前記加工機は、切削工具を回転可能に支持する主軸と、ワークが載置されるステージと、を備え、前記制御方法は、前記切削工具と前記ワークとの接触により生ずる物理量を測定し、前記物理量に基づいて前記切削工具による前記ワークの切削深さを算出し、算出した前記切削深さと、基準切削深さとの比較を行い、前記比較の結果に基づいて、前記切削工具、前記主軸および前記ステージの少なくとも１つの位置を調整する制御方法を実行させるプログラムである。 In other words, this program causes a computer to execute a control method for a processing machine, the processing machine having a spindle that rotatably supports a cutting tool and a stage on which a workpiece is placed, the control method measuring a physical quantity resulting from contact between the cutting tool and the workpiece, calculating the cutting depth of the workpiece by the cutting tool based on the physical quantity, comparing the calculated cutting depth with a reference cutting depth, and adjusting the position of at least one of the cutting tool, the spindle, and the stage based on the result of the comparison.

　以上、一つまたは複数の態様に係る加工機などについて、実施の形態に基づいて説明したが、本発明は、この実施の形態に限定されるものではない。本発明の趣旨を逸脱しない限り、当業者が思いつく各種変形を本実施の形態に施したものや、異なる実施の形態における構成要素を組み合わせて構築される形態も、一つまたは複数の態様の範囲内に含まれてもよい。　The processing machines and the like according to one or more aspects have been described above based on the embodiments, but the present invention is not limited to these embodiments. As long as they do not deviate from the spirit of the present invention, various modifications conceivable by those skilled in the art to the present embodiments, and forms constructed by combining components in different embodiments, may also be included within the scope of one or more aspects.

　本発明は、ワークを切削加工する加工機に利用可能である。 The present invention can be used in machines that cut workpieces.

　１０、１０Ａ　　加工機
　１１、１１Ａ　　制御部
　１２Ａ、１２Ｂ、１２Ｃ　　サーボアンプ
　１３Ａ、１３Ｂ、１３Ｃ　　モータ
　１４、９４　　主軸
　１５、９５　　切削工具
　１６、９６　　ステージ
　１７、１７Ａ　　測定部
　１１１、１１４　　比較部
　１１２　　調整部
　Ｒ１、ＲＡ　　切削抵抗
　Ｓ１、Ｓ２　　センサ
　Ｖ１、Ｖ２　　変形
　Ｗ　　ワーク 10,

10A Processing machine

11,

11A Control unit

12A, 12B,

12C Servo amplifier

13A, 13B,

13C Motor

14, 94

Spindle

15, 95

Cutting tool

16, 96

Stage

17,

17A Measurement unit

111, 114 Comparison unit 112 Adjustment unit R1, RA Cutting resistance S1, S2 Sensor V1, V2 Deformation W Workpiece

Claims

　切削工具を回転可能に支持する主軸と、
　ワークが載置されるステージと、
　前記切削工具と前記ワークとの接触により生ずる物理量を測定する測定部と、
　前記物理量に基づいて前記切削工具による前記ワークの切削深さを算出し、算出した前記切削深さと、基準切削深さとの比較を行う比較部と、
　前記比較部による前記比較の結果に基づいて、前記切削工具、前記主軸および前記ステージの少なくとも１つの位置を調整する調整部とを備える
　加工機。 A spindle that rotatably supports the cutting tool;
A stage on which a workpiece is placed;
a measurement unit that measures a physical quantity generated by contact between the cutting tool and the workpiece;
a comparison unit that calculates a cutting depth of the workpiece by the cutting tool based on the physical quantity and compares the calculated cutting depth with a reference cutting depth;
an adjustment unit that adjusts a position of at least one of the cutting tool, the spindle, and the stage based on a result of the comparison by the comparison unit.
　前記調整部は、
　前記比較部による前記比較の結果に基づいて、前記切削工具による前記ワークの切削深さを前記基準切削深さに近づけるように、前記切削工具、前記主軸および前記ステージの前記少なくとも１つの位置を調整する
　請求項１に記載の加工機。 The adjustment unit is
The machining apparatus according to claim 1 , further comprising: a cutting section for adjusting a cutting depth of the workpiece by the cutting tool based on a result of the comparison by the comparison section, the cutting section adjusting a position of the cutting tool, the spindle, and the stage so as to bring the cutting depth of the workpiece by the cutting tool closer to the reference cutting depth.
　前記測定部は、
　前記物理量として、前記切削工具により切削されている前記ワークが前記切削工具に及ぼす切削抵抗を測定し、
　前記比較部は、
　前記測定部が測定した前記切削抵抗を前記物理量として用いて前記比較を行う
　請求項１に記載の加工機。 The measurement unit includes:
As the physical quantity, a cutting resistance exerted on the cutting tool by the workpiece being cut by the cutting tool is measured;
The comparison unit is
The processing machine according to claim 1 , wherein the comparison is performed using the cutting resistance measured by the measurement unit as the physical quantity.
　前記基準切削深さは、
　（ａ）前記加工機による前記ワークの切削深さの予め定められた目標値である目標深さ、または、
　（ｂ）前記加工機が前記ワークを切削している一の時点において前記測定部が測定した前記物理量に基づいて算出される前記ワークの切削深さである
　請求項１に記載の加工機。 The reference cutting depth is
(a) a target depth, which is a predetermined target value of the cutting depth of the workpiece by the processing machine; or
The processing machine according to claim 1 , wherein (b) the cutting depth of the workpiece is calculated based on the physical quantity measured by the measuring unit at a point in time when the processing machine is cutting the workpiece.
　前記測定部は、
　前記物理量として、前記ステージの位置、速度または加速度を測定し、
　前記比較部は、
　前記測定部が測定した前記位置、前記速度または前記加速度を用いて前記切削工具が前記ワークに及ぼす切削力を推定し、推定した前記切削力を用いて前記切削工具による前記ワークの切削深さを算出し、算出した前記切削深さと前記基準切削深さとの比較を行う
　請求項１に記載の加工機。 The measurement unit includes:
As the physical quantity, a position, a velocity, or an acceleration of the stage is measured;
The comparison unit is
The machining center according to claim 1, further comprising: a cutting unit that estimates a cutting force applied to the workpiece by the cutting tool using the position, the speed or the acceleration measured by the measurement unit; a cutting depth of the workpiece by the cutting tool is calculated using the estimated cutting force; and a comparison is made between the calculated cutting depth and the reference cutting depth.
　前記加工機は、前記ステージを移動させるモータを駆動するサーボアンプを備え、
　前記サーボアンプは、前記比較部を有する
　請求項５に記載の加工機。 the processing machine includes a servo amplifier that drives a motor that moves the stage,
The processing machine according to claim 5 , wherein the servo amplifier includes the comparison unit.
　前記測定部は、前記切削工具が１回転するのに要する時間、または、前記時間の整数倍の時間に亘る、前記物理量の平均値または実効値を、前記物理量として測定する
　請求項１～６のいずれか１項に記載の加工機。 The machining tool according to any one of claims 1 to 6, wherein the measurement unit measures, as the physical quantity, an average value or an effective value of the physical quantity over a time required for the cutting tool to rotate once or over a time that is an integer multiple of the time.
　加工機の制御方法であって、
　前記加工機は、
　切削工具を回転可能に支持する主軸と、
　ワークが載置されるステージと、
　を備え、
　前記制御方法は、
　前記切削工具と前記ワークとの接触により生ずる物理量を測定し、
　前記物理量に基づいて前記切削工具による前記ワークの切削深さを算出し、算出した前記切削深さと、基準切削深さとの比較を行い、
　前記比較の結果に基づいて、前記切削工具、前記主軸および前記ステージの少なくとも１つの位置を調整する
　制御方法。 A method for controlling a processing machine, comprising the steps of:
The processing machine is
A spindle that rotatably supports the cutting tool;
A stage on which a workpiece is placed;
Equipped with
The control method includes:
measuring a physical quantity generated by contact between the cutting tool and the workpiece;
Calculating a cutting depth of the workpiece by the cutting tool based on the physical quantity, and comparing the calculated cutting depth with a reference cutting depth;
and adjusting a position of at least one of the cutting tool, the spindle, and the stage based on a result of the comparison.