WO2024106184A1 - ロードポート、及び蓋の傾き検知方法 - Google Patents

ロードポート、及び蓋の傾き検知方法 Download PDF

Info

Publication number
WO2024106184A1
WO2024106184A1 PCT/JP2023/038985 JP2023038985W WO2024106184A1 WO 2024106184 A1 WO2024106184 A1 WO 2024106184A1 JP 2023038985 W JP2023038985 W JP 2023038985W WO 2024106184 A1 WO2024106184 A1 WO 2024106184A1
Authority
WO
WIPO (PCT)
Prior art keywords
lid
door body
load port
container
door
Prior art date
Application number
PCT/JP2023/038985
Other languages
English (en)
French (fr)
Inventor
省吾 白川
Original Assignee
シンフォニアテクノロジー株式会社
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by シンフォニアテクノロジー株式会社 filed Critical シンフォニアテクノロジー株式会社
Publication of WO2024106184A1 publication Critical patent/WO2024106184A1/ja

Links

Images

Classifications

    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/673—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere using specially adapted carriers or holders; Fixing the workpieces on such carriers or holders
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/677—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations

Definitions

  • the present invention relates to a load port that opens and closes the lid of a container, and a method for detecting the inclination of the lid on the load port.
  • Patent documents 1, 2 and 3 disclose a load port device (hereinafter, load port) for opening and closing the lid of a pod (hereinafter, container) containing wafers.
  • the container has a container body with an opening formed on the side and a lid provided so as to be able to open and close the opening.
  • the lid has an engagement claw that engages with an engagement hole formed near the opening of the container body and a latch mechanism for expanding and contracting the engagement claw.
  • the load port has a frame (hereinafter, partition wall) with an opening formed so that the lid can pass through, and a door mechanism for attaching and detaching the container lid arranged near the opening of the partition wall to the container body.
  • the door mechanism has an adsorption holding part, a key and a moving part.
  • the door mechanism When opening the lid, the door mechanism adsorbs and holds the lid with the adsorption holding part, operates the latch mechanism with the key to retract the engagement claw (i.e., after unlocking the lid), and then separates the held lid from the container body with the moving part.
  • the door mechanism closes the opening of the container body with the lid it is holding, operates the latch mechanism to extend the engagement claw (i.e., locks the lid), and then releases the suction of the lid.
  • the load ports described in Patent Documents 1, 2, and 3 each have a configuration (hereinafter, a detection unit) for detecting information regarding whether the lid is properly closed or not.
  • the detection unit disclosed in Patent Document 1 is attached to the partition wall.
  • the detection unit is configured to detect deflection of the components of the door mechanism caused by the lid not being properly attached to the container body.
  • the detection unit disclosed in Patent Document 2 is attached to the partition wall and configured to optically detect a lid that is in an abnormal position.
  • the detection unit disclosed in Patent Document 3 is attached to the partition wall or the door mechanism and configured to detect a step between the container body and the lid (step sensor).
  • the detection unit In a configuration in which the detection unit is provided on the partition wall, the following problem can occur. That is, if the partition wall is made of sheet metal, it is relatively easy for distortion to occur when the load port is installed. For this reason, depending on the magnitude of the distortion, the relative position between the detection unit and the lid may shift from the intended relative position, which may result in erroneous detection.
  • the detection unit is attached to the door mechanism, the following problem may occur with the step detection unit disclosed in Patent Document 3. That is, although not described in Patent Documents 1 to 3, depending on the type of load port, it is possible to replace the gas inside the container with clean gas. In such a case, when gas is injected into the container, the internal pressure of the container increases and the lid is pushed outward, which may cause a slight step between the container body and the lid. If such a step is detected by the step detection unit, there is a risk that it will be determined that an abnormality has occurred, even though in fact the lid is normally closed.
  • the object of the present invention is to reduce the occurrence of false positives regarding whether a lid on a container is properly closed.
  • the load port of the first invention is a load port for attaching and detaching the lid to and from a container having a container body configured to accommodate an object to be transported and having a container opening formed on a side surface and a lid configured to be able to open and close the container opening, and is provided with a base opening configured to connect the internal space of the container body to a transport space through which the object to be transported and configured to allow the lid to pass through, a partition wall configured to separate the internal space and the transport space from an external space, a placement section configured to place the container body, and a door mechanism configured to be able to attach and detach the lid to and from the container body, and the door mechanism is capable of opening and closing the base opening.
  • the device is configured as follows: a door body arranged to face the lid attached to the container body placed on the placement section; a holding section configured to hold the lid on the door body; and a plurality of distance information detection sections each configured to detect information related to the distance between the lid and the door body, and a tilt detection section configured to detect information related to the tilt between the lid held by the holding section and the door body, and the plurality of distance information detection sections are characterized by having at least a first detection section attached to a first position facing the lid of the door body, and a second detection section attached to a second position facing the lid of the door body.
  • the detection result by the first detection unit and the detection result by the second detection unit are the same, it can be determined that the lid and the door body are not tilted relative to each other. This allows it to be determined that the lid is properly fixed to the container body.
  • the detection result by the first detection unit and the detection result by the second detection unit are different from each other, it can be determined that the lid and the door body are tilted relative to each other. This allows it to be determined that the lid is not properly fixed to the container body. Since the tilt detection unit is attached to the door body, the detection result is not affected by distortion of the partition wall.
  • the tilt detection unit detects the tilt between the lid and the door body, even if the internal pressure of the container changes and the relative position between the lid and the container body is slightly shifted, the detection result is not affected by the position shift. Therefore, it is possible to suppress the occurrence of erroneous detection regarding whether the lid is properly closed on the container.
  • the load port of the second invention is the load port of the first invention, characterized in that the multiple distance information detection units are provided corresponding to multiple engagement claws configured to be movable between an engagement position in which the multiple engagement holes provided in the container body are engaged, and a release position in which the engagement with the multiple engagement holes is released.
  • the position of the lid in a specified direction may be significantly deviated from the normal position, particularly in the vicinity of that engagement claw. Therefore, the distance information detection unit corresponding to that engagement claw can reliably detect that the lid is not closed properly.
  • the load port of the third invention is the load port of the first or second invention, characterized in that each of the distance information detection units has a contact sensor that detects whether each of the distance information detection units is in contact with the lid, the door mechanism has a stepping motor configured to be able to control the position of the door body, and is equipped with an air cylinder configured to be able to bias the placement unit toward the door body.
  • the distance information detection unit since the distance information detection unit has a contact sensor, the door body and the lid are pressed against each other via the contact sensor. Therefore, if the door body is pressed strongly against the container side, and the door body or its surrounding members are distorted, the inclination angle between the door body and the lid may change, causing a false detection.
  • the piston rod provided in the air cylinder moves, allowing the container body to move together with the placement unit.
  • the moving unit is configured to be able to control the position of the door body, the length of movement of the container body is within a limited range. Therefore, the force applied to the door body can be absorbed by the air cylinder. Therefore, distortion of the door body or its surrounding members can be suppressed. Therefore, false detection can be effectively suppressed.
  • the load port of the fourth invention is characterized in that, in the first or second invention, it is provided with a replacement section configured to be able to replace the first gas filling the internal space of the container with a second gas different from the first gas.
  • the replacement unit replaces the first gas in the container with the second gas
  • typically the first gas is discharged from the container while the second gas is injected into the container.
  • This can cause the pressure inside the container to become higher than the pressure in the external space, and the lid can be pushed outward.
  • the relative position between the lid and the container body can shift slightly.
  • the tilt detection unit detects the tilt between the lid and the door body, even if the relative position between the lid and the container body shifts slightly, the detection result by the tilt detection unit is not affected by this position shift. Therefore, erroneous detection can be effectively suppressed.
  • the lid tilt detection method of the fifth invention is a lid tilt detection method for determining whether the lid is tilted with respect to the door body in the load port of the first or second invention, characterized in that it determines that the lid is not tilted with respect to the door body when information indicating that the distance between the lid and the door body is normal is detected by all of the multiple distance information detection units, and determines that the lid is tilted with respect to the door body when information indicating that the distance between the lid and the door body is abnormal is detected by any one or more of the multiple distance information detection units.
  • FIG. 1 is a schematic plan view of an EFEM equipped with a load port according to an embodiment of the present invention and its surroundings.
  • FIG. 2 is a perspective view of a FOUP.
  • 4A and 4B are views of the FOUP as viewed from the lid side in the front-to-rear direction.
  • 4A is a perspective view of the load port
  • FIG. 4B is a right side view of the load port.
  • FIG. 4A is a front view of the load port
  • FIG. 5A and 5B are explanatory diagrams showing a lid opening and closing mechanism.
  • 5A and 5B are explanatory views showing the operation of a load port.
  • 5A and 5B are explanatory views showing the operation of a load port.
  • FIG. 4A and 4B are explanatory diagrams showing a contact sensor.
  • 5A to 5D are explanatory diagrams showing the operation of the load port.
  • FIG. 13A is an explanatory diagram showing a state in which the lid is normally closed
  • FIG. 13B is an explanatory diagram showing a state in which the lid is not normally closed.
  • the directions shown in FIG. 1 are defined as the front-rear and left-right directions. That is, the direction in which the EFEM (Equipment Front End Module) 1 and the processing device 6 are arranged is defined as the front-rear direction (the specified direction of the present invention). In the front-rear direction, the EFEM 1 side is defined as the front side (one side in the specified direction of the present invention). In the front-rear direction, the processing device 6 side is defined as the rear side (the other side in the specified direction of the present invention).
  • the direction perpendicular to the front-rear direction, in which multiple load ports 4 are arranged is defined as the left-right direction. In addition, the direction perpendicular to both the front-rear direction and the left-right direction is defined as the up-down direction (the vertical direction in which gravity acts).
  • FIG. 1 is a schematic diagram of an EFEM (Equipment Front End Module) 1 equipped with a load port 4 and its periphery.
  • the EFEM 1 includes a housing 2, a transfer robot 3, a plurality of load ports 4, and a control device 5.
  • a processing device 6 is disposed behind the EFEM 1.
  • the processing device 6 is a device that performs a predetermined process on a wafer W (a transport object of the present invention) that is a semiconductor substrate.
  • the predetermined process may be, for example, a process (sputtering, dry etching, etc.) performed in a vacuum chamber, or may be another process.
  • a transfer robot 3 disposed in a transport space 9 in the housing 2 transfers the wafer W between a FOUP (Front-Opening Unified Pod) 100 placed on the load port 4 and the processing device 6.
  • the FOUP 100 is a container that can accommodate a plurality of wafers W arranged vertically.
  • the FOUP 100 is transported by a FOUP transport device (not shown).
  • the FOUP 100 is transferred between the transport device and the load port 4 .
  • the housing 2 is a member that forms a transfer space 9 in which the wafer W is transferred.
  • the transfer space 9 is separated from an external space 10 mainly by the housing 2.
  • the housing 2 is configured to be connected to a plurality of load ports 4 and a load lock chamber 7 of the processing device 6.
  • the transfer robot 3 is a robot configured to be able to transfer the wafer W between the FOUP 100 and the load lock chamber 7.
  • the multiple load ports 4 are arranged, for example, in a line in the left-right direction and attached to the front surface of the housing 2.
  • Each of the multiple load ports 4 is configured to receive a FOUP 100, and is configured to attach and detach a lid 102 (described below) to a FOUP body 101 (described below; the container body of the present invention) of the received FOUP 100.
  • a lid 102 described below
  • FOUP body 101 described below; the container body of the present invention
  • the control device 5 is electrically connected to the control unit (not shown) of the transport robot 3, the control unit 47 of the load port 4, and the control unit (not shown) of the processing device 6, and communicates with these control units.
  • the processing device 6 has, for example, a load lock chamber 7 and a processing chamber 8.
  • the load lock chamber 7 is a room in which the wafer W is temporarily placed on standby.
  • the load lock chamber 7 is connected to a transfer space 9 formed inside the housing 2.
  • the processing chamber 8 is a room in which a predetermined process is performed on the wafer W.
  • FIG. 2 is a perspective view of the FOUP 100.
  • the front-rear, left-right, top-bottom directions shown in Fig. 2 are directions for convenience of explanation when it is assumed that the FOUP 100 is placed on the load port 4 and the lid 102 is normally closed.
  • Figs. 3(a) and 3(b) are views of the FOUP 100 as viewed from the lid 102 side (i.e., the rear side) in the front-rear direction.
  • Fig. 3(a) is a view showing a state in which the lid 102 is locked.
  • Fig. 2 is a perspective view of the FOUP 100.
  • the front-rear, left-right, top-bottom directions shown in Fig. 2 are directions for convenience of explanation when it is assumed that the FOUP 100 is placed on the load port 4 and the lid 102 is normally closed.
  • Figs. 3(a) and 3(b) are views of the FOUP 100 as viewed from the lid 102 side (i.e., the rear side) in
  • a part of the lid 102 (the right part in the figure) is shown in cross section.
  • Fig. 3(b) is a view showing a state in which the lid 102 is unlocked.
  • a part of the lid 102 (the right part in the figure) is also shown in cross section.
  • FOUP 100 is a container having a generally rectangular parallelepiped shape. As shown in FIG. 2, FOUP 100 has a FOUP body 101 and a lid 102. FOUP body 101 has a generally rectangular parallelepiped shape. FOUP body 101 has an outer wall 111 that surrounds the internal space Sf (see FIG. 4(b)) of FOUP 100, and an opening 112 provided on one side of FOUP body 101. Opening 112 has an opening 113 (container opening of the present invention) that is generally rectangular when viewed from the front-to-rear direction. As shown in FIG. 3(a) and FIG. 3(b), an engagement hole 114 extending upward is formed in the left portion of the upper surface of the inner circumferential surface of opening 112.
  • an engagement hole 115 extending downward is formed in the left portion of the lower surface of the inner circumferential surface of opening 112.
  • An engagement hole 116 extending upward is formed in the right part of the upper surface of the inner circumferential surface of the opening 112.
  • An engagement hole 117 extending downward is formed in the right part of the lower surface of the inner circumferential surface of the opening 112.
  • a gas supply valve 118 and a gas exhaust valve 119 are formed at the bottom of the FOUP body 101 (see FIG. 4(b)).
  • the gas supply valve 118 is a valve for supplying an inert gas, such as nitrogen, into the internal space Sf of the FOUP 100 (see FIG. 4(b)).
  • the gas exhaust valve 119 is a valve for exhausting gas from the internal space Sf.
  • the lid 102 is configured to open and close the opening 112.
  • the lid 102 has a lid body 121, a latch mechanism 122, and a latch mechanism 123.
  • the lid body 121 is a generally plate-shaped hollow member.
  • the lid body 121 has an end face 121a (the lid facing surface of the present invention) that can face the door body 50 described below in the front-rear direction.
  • An opening 124 is formed in the left part of the end face 121a at approximately the center in the vertical direction, corresponding to the latch mechanism 122.
  • An opening 125 is formed in the right part of the end face 121a at approximately the center in the vertical direction, corresponding to the latch mechanism 123.
  • an insertion hole 126 is formed in the left part of the upper surface of the outer circumferential surface of the lid body 121, which penetrates in the vertical direction and through which the upper end of the lock plate 132 described below is inserted.
  • An insertion hole 127 is formed in the left portion of the lower outer peripheral surface of the lid body 121, penetrating in the vertical direction and through which the lower end of a lock plate 133 (described later) is inserted.
  • An insertion hole 128 is formed in the right portion of the upper outer peripheral surface of the lid body 121, penetrating in the vertical direction and through which the upper end of a lock plate 142 (described later) is inserted.
  • An insertion hole 129 is formed in the right portion of the lower outer peripheral surface of the lid body 121, penetrating in the vertical direction and through which the lower end of a lock plate 143 (described later) is inserted.
  • the latch mechanism 122 and the latch mechanism 123 are mechanisms configured to unlock and lock the lid 102.
  • the latch mechanism 122 is provided on the left side of the lid body 121.
  • the latch mechanism 122 has a rotating plate 131, a locking plate 132, and a locking plate 133.
  • the rotating plate 131, the locking plate 132, and the locking plate 133 are generally housed in the space inside the lid body 121.
  • the rotating plate 131 is a substantially disk-shaped member.
  • the rotating plate 131 is provided on the left side of the lid body 121, approximately in the center in the vertical direction, corresponding to the opening 124.
  • the rotating plate 131 is attached to the lid body 121 so as to be rotatable about its axis, with the front-rear direction being the rotation axis direction.
  • a keyhole 134 (see FIG. 2), which is, for example, approximately rectangular when viewed from the front-rear direction, is formed in the approximate center of the rear end surface of the rotating plate 131.
  • the rotating plate 131 can be rotated between a locked position (see FIG. 3A) and an unlocked position (see FIG. 3B) by being rotated by a latch key 65 (described later) inserted into a keyhole 134.
  • a front cam 135 and a front cam 136 are formed on the rear end surface of the rotating plate 131.
  • the front cam 135 is, for example, a groove-shaped cam formed on the upper part of the rear end surface of the rotating plate 131.
  • the front cam 135 is formed so as to extend clockwise in the circumferential direction of the rotating plate 131 and to extend inward in the radial direction of the rotating plate 131.
  • the front cam 136 is, for example, a groove-shaped cam formed on the lower part of the rear end surface of the rotating plate 131.
  • the front cam 136 is formed so as to extend clockwise in the circumferential direction of the rotating plate 131 and to extend inward in the radial direction of the rotating plate 131.
  • the lock plate 132 is a member for fixing the lid 102 to the FOUP body 101 by engaging with the upper end of the opening 112.
  • the lock plate 132 is, for example, a plate-shaped member extending in the vertical direction.
  • the lower end of the lock plate 132 is connected to the rotating plate 131 via a cam follower 137 extending in the front-rear direction.
  • the cam follower 137 is inserted into the front cam 135.
  • the upper end of the lock plate 132 is formed with an engagement claw 132a that is inserted into the engagement hole 114.
  • the engagement claw 132a is located inside the engagement hole 114 when the rotating plate 131 is in the locked position (see FIG. 3(a)) (engaged position).
  • the engagement claw 132a is located outside the engagement hole 114 when the rotating plate 131 is in the unlocked position (see FIG. 3(b)) (released position).
  • the lock plate 133 is a member for engaging the lid 102 with the opening 112 by engaging with the lower end of the opening 112.
  • the lock plate 133 is, for example, a plate-shaped member extending in the vertical direction.
  • the upper end of the lock plate 133 is connected to the rotating plate 131 via a cam follower 138 extending in the front-rear direction.
  • the cam follower 138 is inserted into the front cam 136.
  • the lower end of the lock plate 133 is formed with an engagement claw 133a that is inserted into the engagement hole 115.
  • the engagement claw 133a is located inside the engagement hole 115 when the rotating plate 131 is in the locked position (see FIG. 3(a)) (engaged position).
  • the engagement claw 133a is located outside the engagement hole 115 when the rotating plate 131 is in the unlocked position (see FIG. 3(b)) (released position).
  • the latch mechanism 122 having the above configuration is capable of fixing the left portion of the lid 102 to the FOUP body 101 when the rotating plate 131 is in the locked position (see FIG. 3(a)).
  • the latch mechanism 122 is capable of releasing the left portion of the lid 102 from the FOUP body 101 when the rotating plate 131 is in the unlocked position (see FIG. 3(b)).
  • the latch mechanism 123 is provided on the right side of the cover body 121.
  • the latch mechanism 123 has the same configuration as the latch mechanism 122 except for its position in the left-right direction, so the following description will be relatively simple.
  • the latch mechanism 123 has a rotating plate 141, a locking plate 142, and a locking plate 143.
  • the rotating plate 141 is provided corresponding to the opening 125.
  • the rotating plate 141 has a keyhole 144 into which the latch key 66 described below is inserted.
  • the rotating plate 141 has a front cam 145 formed on the upper part and a front cam 146 formed on the lower part. The rotating plate 141 can rotate between a locked position (see FIG. 3(a)) and an unlocked position (see FIG. 3(b)).
  • the locking plate 142 is connected to the rotating plate 141 via a cam follower 147.
  • the upper end of the locking plate 142 is formed with an engagement claw 142a that is inserted into the engagement hole 116.
  • the lock plate 143 is connected to the rotating plate 141 via a cam follower 148.
  • the lower end of the lock plate 143 is formed with an engagement claw 143a that is inserted into the engagement hole 117.
  • the latch mechanism 123 having the above configuration is capable of fixing the right side of the lid 102 to the FOUP body 101 when the rotating plate 141 is in the locked position (see FIG. 3(a)).
  • the latch mechanism 123 is capable of releasing the right side of the lid 102 from the FOUP body 101 when the rotating plate 141 is in the unlocked position (see FIG. 3(b)).
  • Figure 4(a) is a perspective view of the load port 4.
  • Figure 4(b) is a right side view of the load port 4.
  • Figure 5(a) is a front view of the load port 4.
  • Figure 5(b) is a rear view of the load port 4.
  • the load port 4 is configured to receive the FOUP 100 and to allow the lid 102 to be attached and detached to the FOUP body 101 of the received FOUP 100.
  • the load port 4 has a base 41 (the partition wall of the present invention), a door mechanism 42, a support frame 43, a placement section 44, an air cylinder 45, multiple clamp mechanisms 46, and a control section 47.
  • the base 41 is a flat member that is approximately rectangular when viewed from the front-rear direction.
  • the base 41 is arranged to extend in the up-down direction.
  • the base 41 constitutes at least a part of the partition wall that separates the transport space 9 from the external space 10.
  • An opening 41a (base opening of the present invention) that is approximately rectangular when viewed from the front-rear direction is formed in the upper part of the base 41.
  • the opening 41a is large enough to allow the lid 102 of the FOUP 100 to pass through in the front-rear direction.
  • the opening 41a is also large enough to be opened and closed by the door body 50 described below.
  • the base 41 is formed, for example, from sheet metal. Note that the base 41 may be slightly distorted within a predetermined tolerance range when installed on the EFEM 1.
  • the door mechanism 42 is configured to be able to suck and hold the lid 102, unlock and lock the lid 102, and move the lid 102. A more specific configuration of the door mechanism 42 will be described later.
  • the support frame 43 is a member for supporting the mounting portion 44.
  • the support frame 43 has a substantially rectangular shape when viewed from the top-bottom direction.
  • the support frame 43 is fixed to the base 41.
  • the support frame 43 is positioned so as to protrude forward from the middle of the base 41 in the top-bottom direction.
  • the placement section 44 is a platform-like member on which the FOUP 100 is placed.
  • the placement section 44 is supported by the support frame 43.
  • the placement section 44 is configured to be movable in the forward and backward directions relative to the support frame 43.
  • the placement section 44 is configured to be movable between a transfer position where the FOUP 100 can be transferred between a FOUP transport device (not shown) and a lid opening and closing position rearward of the transfer position.
  • the placement section 44 is provided with a positioning pin 44a, a locking claw 44b, a gas injection nozzle 44c, and a gas exhaust nozzle 44d.
  • the positioning pin 44a is a member for positioning the FOUP 100.
  • the locking claw 44b is a member for fixing (locking) and releasing (unlocking) the FOUP 100 to the placement section 44.
  • the gas injection nozzle 44c is a nozzle for supplying an inert gas to the internal space Sf of the FOUP 100.
  • the gas injection nozzle 44c is connected to an inert gas supply port (not shown) via a valve 44e.
  • the gas injection nozzle 44c is configured to be able to be connected to a gas supply valve 118.
  • the gas exhaust nozzle 44d is a nozzle for exhausting gas from the internal space Sf of the FOUP 100.
  • the gas exhaust nozzle 44d is connected to a gas exhaust port (not shown) via a valve 44f.
  • the gas exhaust nozzle 44d is configured to be able to be connected to a gas exhaust valve 119.
  • the gas injection nozzle 44c and the gas exhaust nozzle 44d correspond to the replacement unit of the present invention.
  • the air cylinder 45 is configured to move the mounting portion 44 in the front-rear direction.
  • the air cylinder 45 has a cylinder body (not shown) and a piston rod (not shown). Compressed air is supplied to and discharged from the cylinder body.
  • the piston rod is arranged to expand and contract in the front-rear direction, and expands and contracts under the action of compressed air.
  • the air cylinder 45 functions as a biasing portion that biases the mounting portion 44 rearward when the mounting portion 44 is positioned in the lid opening/closing position.
  • the multiple clamping mechanisms 46 are configured to grip the FOUP 100 and press it tightly against the base 41.
  • the control unit 47 includes a CPU (Central Processing Unit), a ROM (Read Only Memory), a RAM (Random Access Memory), etc. (not shown).
  • the control unit 47 controls each mechanism of the load port 4 using the CPU in accordance with a program stored in the ROM.
  • the control unit 47 also communicates with the control device 5 of the EFEM 3.
  • Fig. 6(a) and Fig. 6(b) are rear views of the lock/unlock mechanism 52 described below.
  • Fig. 6(a) is an explanatory diagram showing the state of the lock/unlock mechanism 52 when the rotating plates 131, 141 are located in the locked position (see Fig. 3(a)).
  • Fig. 6(b) is an explanatory diagram showing the state of the lock/unlock mechanism 52 when the rotating plates 131, 141 are located in the unlocked position (see Fig. 3(b)).
  • the door mechanism 42 has a door body 50, a plurality of suction holding parts 51 (holding parts of the present invention), a locking mechanism 52, a door support part 53, a guide rail 54, a lifting block 55, a guide rail 56, a motor 57 (moving part of the present invention), and a motor 58.
  • the door body 50 is a plate-like member that is substantially rectangular when viewed from the front-rear direction.
  • the door body 50 has a front end surface 50a that can face the end surface 121a of the lid body 121 in the front-rear direction.
  • An imaginary imaginary plane P including the front end surface 50a corresponds to the imaginary plane of the present invention.
  • the door body 50 is supported by the door support part 53.
  • the multiple suction holding portions 51 are for adsorbing and holding the lid 102 to the door body 50.
  • Each of the multiple suction holding portions 51 is formed on the front end surface 50a of the door body 50.
  • the multiple suction holding portions 51 are connected to a vacuum pump (not shown) via piping (not shown). When the vacuum pump operates, negative pressure is generated inside the piping, and the lid 102 is adsorbed and held by the door body 50.
  • the key opening/closing mechanism 52 is configured to lock and unlock the lid 102.
  • the key opening/closing mechanism 52 has, for example, an air cylinder 61, a moving member 62, arms 63, 64, and latch keys 65, 66.
  • the air cylinder 61 has, for example, a piston rod 61a that can expand and contract in the left-right direction.
  • the piston rod 61a is switched between a standby state (see FIG. 6(a)) and a protruding state (see FIG. 6(b)) depending on the supply of compressed air to the air cylinder 61 or the discharge of compressed air from the air cylinder 61.
  • the moving member 62 is fixed to the tip of the piston rod 61a and moves in the left-right direction together with the piston rod 61a.
  • the moving member 62 has a first member 62a that protrudes above the air cylinder 61 and a second member 62b that is fixed to the upper end of the first member 62a.
  • the second member 62b is a rod-shaped member that extends along the left-right direction.
  • the arm 63 is attached to the left end of the second member 62b so as to be able to swing.
  • the arm 64 is attached to the right end of the second member 62b so as to be able to swing.
  • the latch key 65 is fixed to the tip of the arm 63 and is rotatably supported by the door body 50.
  • the latch key 66 is fixed to the tip of the arm 64 and is rotatably supported by the door body 50.
  • the latch keys 65 and 66 can be inserted into the keyholes 134 and 144 (see FIG. 2), respectively.
  • the latch keys 65 and 66 can rotate the rotating plates 131 and 141 between the locked position (see FIG. 3(a)) and the unlocked position (see FIG. 3(b)).
  • the door support portion 53 is a member that supports the door body 50.
  • the door support portion 53 is disposed outside the movable range of the transport robot 3 in the transport space 9.
  • the door body 50 is fixed to the door support portion 53 by a fixing device (not shown).
  • the door support portion 53 extends in the vertical direction.
  • the door support portion 53 is supported by a guide rail 54 so as to be movable in the front-rear direction.
  • the door support portion 53 is driven to move in the front-rear direction by a motor 57.
  • the door support portion 53 is moved in the front-rear direction to move the door body 50 between a closed position (see FIG. 7(b)) and an open position (see FIG. 8(a)).
  • the closed position is the position of the door body 50 when the door body 50 blocks the opening 41a of the base 41.
  • the open position is the position of the door body 50 when the door body 50 opens the opening 41a.
  • the guide rail 54 is a member that guides the door support portion 53 in the front-rear direction.
  • the guide rail 54 is provided on the lifting block 55.
  • the guide rail 54 extends in the front-rear direction.
  • the lifting block 55 is a member for moving the door body 50 in the vertical direction.
  • the lifting block 55 is arranged outside the movable range of the transport robot 3 in the transport space 9.
  • the lifting block 55 movably supports the door support part 53 by a guide rail 54.
  • the lifting block 55 is guided in the vertical direction along a guide rail 56.
  • the lifting block 55 is driven to move in the vertical direction by a motor 58.
  • the door body 50 moves between the above-mentioned open position and a retracted position (see FIG. 7(b)) that is lower than the open position.
  • the guide rail 56 is a member that guides the lift block 55 in the up and down direction.
  • the guide rail 56 is provided on the base 41.
  • the guide rail 56 extends in the up and down direction.
  • the motor 57 is configured to drive the door support portion 53 to move in the front-rear direction.
  • the motor 57 is, for example, a known stepping motor.
  • the motor 57 is configured to be able to control the position of the door support portion 53 in the front-rear direction.
  • the motor 58 is configured to drive the lift block 55 to move in the vertical direction.
  • the motor 58 is, for example, a known stepping motor.
  • the motor 58 is configured to be able to control the position of the door support portion 53 in the vertical direction.
  • Figures 7(a) to 8(b) are right side views of the load port 4 in operation.
  • the operation of the load port 4 from when the FOUP 100 is placed on the placement section 44 until the lid 102 is removed from the FOUP body 101 by the door mechanism 42 will be described.
  • the FOUP 100 is placed on the placement section 44 (see FIG. 7(a)). At this time, the FOUP 100 is positioned by the positioning pins 44a and fixed to the placement section 44 by the locking claws 44b.
  • the gas injection nozzle 44c is connected to the gas supply valve 118, and the gas exhaust nozzle 44d is connected to the gas exhaust valve 119.
  • the control unit 47 controls the operation of the air cylinder 45 to move the placement unit 44 from the transfer position (see FIG. 7(a)) to the lid opening/closing position (FIG. 7(b)).
  • the end face 121a of the lid 102 faces the front end face 50a of the door body 50 at a position close to the front-rear direction.
  • the latch keys 65, 66 are inserted into the keyholes 134, 144 (see FIG. 2), respectively.
  • the control unit 47 controls the valves 44e and 44f to supply an inert gas (the second gas of the present invention) to the internal space Sf of the FOUP 100 while discharging the gas (the first gas of the present invention) that filled the internal space Sf from the internal space Sf.
  • an inert gas such a process is also generally called a purging process.
  • the purging process is being performed, the pressure inside the FOUP 100 becomes higher than the pressure in the external space 10, and the lid 102 may be pushed slightly outward (more specifically, rearward). The purging process may be performed before the placement unit 44 moves to the lid opening/closing position.
  • control unit 47 controls the clamp mechanism 46 to press the FOUP 100 against the base 41.
  • control unit 47 controls the vacuum pump (not shown) to adsorb and hold the lid 102 to the suction holding portion 51 of the door body 50.
  • control unit 47 controls the operation of the lock/unlock mechanism 52 to unlock the lid 102.
  • the control unit 47 controls the motor 57 to move the door body 50 from the closed position (see FIG. 7B) to the open position (see FIG. 8A). This causes the cover 102 to be removed from the FOUP body 101.
  • the internal space Sf and the transfer space 9 are connected via the opening 113 and the opening 41a.
  • the internal space Sf and the transfer space 9 are separated from the external space 10 by the base 41 or the like.
  • the control unit 47 controls the motor 58 to move the door body 50 from the open position to the retracted position (see FIG. 8B). This allows the wafer W to be transferred between the internal space Sf and the transfer space 9. In other words, the wafer W can be transferred between the internal space Sf and the processing device 6.
  • the processing device 6 sequentially performs a predetermined process on all (or a part of) the wafers W.
  • the processed wafers W are returned to the internal space Sf.
  • the control unit 47 causes the door mechanism 42 and the like to perform the reverse operation of opening the lid 102. That is, the control unit 47 moves the door body 50 from the retracted position to the open position, and then from the open position to the closed position. Next, the control unit 47 controls the operation of the lock/unlock mechanism 52 to lock the lid 102. The control unit 47 also performs the above-mentioned purging process again. The control unit 47 releases the suction of the lid 102 to the door body 50 (suction release). Thereafter, the control unit 47 moves the placement unit 44 from the lid opening/closing position to the transfer position.
  • the load port 4 has the following configuration.
  • Figure 9(a) is a front view of the door body 50.
  • Figure 9(b) is a side cross-sectional view of one of a plurality of contact sensors 80 (described below) and its surroundings. More specifically, Figure 9(b) is a diagram showing the configuration of a representative contact sensor 80RD and its surroundings.
  • the load port 4 has a tilt detection unit 70.
  • the tilt detection unit 70 is for detecting information regarding the tilt of the lid 102 relative to the door body 50.
  • the tilt detection unit 70 has a plurality of contact sensors 80 (distance information detection units of the present invention).
  • the plurality of contact sensors 80 are attached to the door body 50. As an example in this embodiment, four contact sensors 80 are provided.
  • the four contact sensors 80 are provided corresponding to the four engagement claws 132a, 133a, 142a, 143a (see FIG. 3(a) and the like).
  • a contact sensor 80LU is arranged in the vicinity of the position where the engagement claw 132a is arranged when viewed from the front-rear direction, corresponding to the engagement claw 132a.
  • a contact sensor 80LD is arranged in the vicinity of the position where the engagement claw 133a is arranged when viewed from the front-rear direction, corresponding to the engagement claw 133a.
  • a contact sensor 80RU is arranged in the vicinity of the position where the engagement claw 142a is arranged when viewed from the front-rear direction, corresponding to the engagement claw 142a.
  • a contact sensor 80RD is arranged in the vicinity of the position where the engagement claw 143a is arranged when viewed from the front-rear direction, corresponding to the engagement claw 143a.
  • the contact sensors 80LU, 80RU, 80LD, and 80RD are disposed at different positions on the imaginary plane P.
  • the contact sensors 80LU and 80RU and the contact sensors 80LD and 80RD are disposed at different positions in the vertical direction. More specifically, the contact sensors 80LU and 80RU and the contact sensors 80LD and 80RD are disposed on opposite sides of the imaginary straight line VL1 that passes through the center of the door body 50 in the vertical direction.
  • the contact sensors 80LU and 80RU together correspond to the first detection unit of the present invention.
  • the contact sensors 80LD and 80RD together correspond to the second detection unit of the present invention.
  • the position of the first detection unit corresponds to the first position of the present invention.
  • the position of the second detection unit corresponds to the second position of the present invention.
  • the first position and the second position are different from each other on the imaginary plane P.
  • contact sensors 80LU, 80LD and contact sensors 80RU, 80RD are disposed at different positions in the left-right direction. More specifically, contact sensors 80LU, 80LD and contact sensors 80RU, 80RD are disposed on opposite sides of a virtual straight line VL2 that passes through the center of the door body 50 in the left-right direction.
  • the contact sensor 80 has, for example, a sensor body 81, a pipe 82, a contactor 83, a spring 84, and a fixing device 85.
  • the sensor body 81 is configured to transmit a signal (hereinafter, contact signal) regarding the presence or absence of contact between the lid 102 and the contactor 83 to the control unit 47.
  • the sensor body 81 is disposed, for example, on the rear side of the door body 50.
  • the sensor body 81 has, for example, a switch (not shown).
  • the sensor body 81 is configured, for example, such that the switch is switched on and off depending on the position of the contactor 83 in the front-to-rear direction.
  • a signal indicating an on state indicates non-contact
  • a signal indicating an off state indicates contact
  • a signal indicating an off state indicates no contact
  • a signal indicating an on state indicates contact
  • the pipe 82 is a member extending along the front-rear direction.
  • the pipe 82 is attached to, for example, the tip of the sensor body 81.
  • the pipe 82 is configured to guide the contact 83 in the front-rear direction.
  • the pipe 82 is disposed in front of the tip of the sensor body 81.
  • the contact 83 is supported by the pipe 82 so as to be movable along the front-rear direction.
  • the front end of the contact 83 protrudes forward from the door body 50.
  • the contact 83 may penetrate the door body 50. That is, a through hole 50b may be formed that penetrates the door body 50 in the front-rear direction.
  • the contact 83 may be inserted into the through hole 50b.
  • the contact 83 is movable between a predetermined initial position (non-contact position) and a contact position behind the initial position (see the arrow in FIG. 9B).
  • the spring 84 is configured to bias the contact 83 forward (i.e., toward the initial position).
  • the spring 84 is, for example, a known compression coil spring.
  • the spring 84 is disposed radially outward of the pipe 82.
  • the fixing device 85 is configured to fix the sensor body 81, the pipe 82, etc. to the door body 50.
  • Figs. 10(a) to 10(d), 11(a) and 11(b) are explanatory diagrams showing the operation of the load port 4.
  • Fig. 11(a) is an explanatory diagram showing a state in which the lid 102 is normally closed.
  • Fig. 11(b) is an explanatory diagram showing a state in which the lid 102 is not normally closed.
  • the "state in which the lid 102 is normally closed” refers to a state in which the end surface 121a of the lid 102 is approximately parallel to the front end surface 50a of the door body 50. In this state, it can be assumed that all of the engagement claws 132a, 133a, 142a, and 143a are normally engaged with the corresponding engagement holes 114, 115, 116, and 117 (see Fig. 11(a)).
  • “a state in which the lid 102 is not normally closed” refers to a state in which the end surface 121a of the lid 102 is inclined with respect to the front end surface 50a of the door body 50. This state means that one or more of the engagement claws 132a, 133a, 142a, 143a are not engaged with the corresponding engagement holes 114, 115, 116, 117 (see FIG. 11(b)).
  • the control unit 47 judges whether the lid 102 is closed normally during the process of attaching the lid 102 held by suction to the door body 50 to the FOUP 101 (hereinafter, "correct/incorrect judgment"). As described above, the control unit 47 moves the door body 50 from the retracted position (see FIG. 10(a)) to the open position (see FIG. 10(b)), and further moves it from the open position to the closed position (see FIG. 10(c)). The control unit 47 does not judge whether the door body 50 is closed until it has been moved to the closed position. The control unit 47 starts judging whether the door body 50 is closed when it has been moved to the closed position. More specifically, the control unit 47 judges whether the door body 50 is closed while the lid 102 is being locked, purged, and released from suction after it has been moved to the closed position.
  • the control unit 47 performs a determination at a predetermined cycle based on signals received from the contact sensors 80 until the locking of the lid 102, the purging process, and the release of suction are completed.
  • the control unit 47 determines that the lid 102 is normally closed when all of the signals received from the contact sensors 80 indicate contact. This means that while the determination is being performed, the end surface 121a of the lid 102 is approximately parallel to the front end surface 50a of the door body 50, and all of the contact sensors 80 are being pressed by the lid 102 (see FIG. 11(a)). In other words, in this case, all of the contact sensors 80 detect information indicating that the distance between the lid 102 and the door body 50 in the front-to-rear direction is normal.
  • the control unit 47 when the control unit 47 receives a signal indicating no contact from any one or more of the contact sensors 80 before the locking, purging, and suction release of the lid 102 are completed, it determines that the lid 102 is not closed properly. This means that the end face 121a of the lid 102 is tilted with respect to the front end face 50a of the door body 50 while the success/failure determination is being made. In other words, in this case, information indicating that the distance between the lid 102 and the door body 50 in the front-to-rear direction is abnormal is detected by any one or more of the contact sensors 80.
  • the control unit 47 does not judge whether the detection results of each contact sensor 80 are correct or not, but rather judges whether the entire lid 102 is correct or not by taking into consideration the signals received from all the contact sensors 80 in a comprehensive manner. This is because there is a possibility that a part of the lid 102 that is not normally closed is in contact with the contact sensor 80, and a part of the lid 102 that is normally closed is not in contact with the contact sensor 80. For example, as shown in FIG. 11(b), assume that the engagement claw 132a or engagement claw 142a of the lid 102 is not normally engaged with the FOUP body 101, and the upper part of the lid 102 is located further forward than the lower part.
  • the upper part of the lid 102 is in contact with the contact sensor 80LU and the contact sensor 80RU.
  • the lower part of the lid 102 is not in contact with the contact sensor 80LD and the contact sensor 80RD. In this way, although it is not possible to determine which part of the lid 102 is not properly locked on the load port 4, it is possible to determine whether the entire lid 102 is properly closed.
  • the position of the door body 50 in the front-rear direction is determined by the motor 57. Meanwhile, the lid 102 is urged rearward via the mounting portion 44 by the air cylinder 45. When the lid 102 is pushed forward by the door body 50 (and the contact sensor 80), it can move forward together with the mounting portion 44.
  • control unit 47 moves the placement unit 44 from the lid opening/closing position to the transfer position.
  • the control unit 47 releases the locking claws 44b from fixing the FOUP 100 to the placement unit 44. This makes it possible to transfer the FOUP 100 from the load port 4 to the FOUP transport device.
  • the detection result by the first detection unit and the detection result by the second detection unit are the same, it can be determined that the lid 102 and the door body 50 are not tilted relative to each other. This allows it to be determined that the lid 102 is properly fixed to the FOUP body 101.
  • the detection result by the first detection unit and the detection result by the second detection unit are different from each other, it can be determined that the lid 102 and the door body 50 are tilted relative to each other. This allows it to be determined that the lid 102 is not properly fixed to the FOUP body 101. Since the tilt detection unit 70 is attached to the door body 50, the detection result is not affected by distortion of the base 41.
  • the tilt detection unit 70 detects the tilt between the lid 102 and the door body 50, even if the internal pressure of the FOUP 100 changes and the relative position between the lid 102 and the FOUP body 101 shifts slightly, the detection result is not affected by the position shift. This can reduce the occurrence of false positives regarding whether the lid 102 of the FOUP 100 is properly closed.
  • the multiple contact sensors 80 are provided corresponding to the multiple engagement claws 132a, 133a, 142a, 143a, respectively. If any of the engagement claws is not properly engaged with the corresponding engagement hole, the position of the lid 102 in a predetermined direction may be significantly deviated from the normal position, particularly in the vicinity of that engagement claw. Therefore, the contact sensor 80 corresponding to that engagement claw can reliably detect that the lid 102 is not closed properly.
  • Motor 57 which moves door body 50 in the front-rear direction, is a stepping motor configured to be able to control the position of door body 50 in the front-rear direction.
  • Lid 102 is biased rearward via placement portion 44 by air cylinder 45. Lid 102 can move forward together with placement portion 44 when pushed forward by door body 50 (and contact sensor 80). Even if door body 50 and lid 102 are pressed toward FOUP body 101 (i.e., forward) by motor 57, FOUP body 101 can move forward. Since motor 57 is configured to be able to control the position of door body 50, even if FOUP body 101 is pushed by lid 102, the length of movement of FOUP body 101 in the front-rear direction is within a limited range. Therefore, the force applied to door body 50 can be absorbed by air cylinder 45. Therefore, distortion of door body 50 or its surrounding members can be suppressed. This effectively reduces false positives.
  • the tilt detection unit 70 detects the tilt between the lid 102 and the door body 50, even if the relative positions of the lid 102 and the FOUP body 101 shift slightly while the purging process is being performed, the detection results by the tilt detection unit 70 are not affected by the position shift. Therefore, false detections can be effectively suppressed.
  • the combination of contact sensor 80LU and contact sensor 80RU corresponds to the first detection unit of the present invention
  • the combination of contact sensor 80LD and contact sensor 80RD corresponds to the second detection unit of the present invention.
  • this is not limited to this.
  • the combination of contact sensor LU and contact sensor LD may correspond to the first detection unit of the present invention
  • the combination of contact sensor RU and contact sensor RD may correspond to the second detection unit of the present invention.
  • any one of the four contact sensors 80 described above may correspond to the first detection unit of the present invention, and any other one may correspond to the second detection unit of the present invention.
  • the tilt detection unit 70 has four contact sensors 80.
  • the number of contact sensors 80 is not limited to this.
  • the number of contact sensors 80 may be, for example, two.
  • a contact sensor 80RU arranged at the upper end of the door body 50 and a contact sensor 80RD arranged at the lower end of the door body 50 may be provided.
  • the position where the contact sensor 80RU is provided in the virtual plane P corresponds to the first position of the present invention.
  • the contact sensor 80RU corresponds to the first detection unit of the present invention.
  • the position where the contact sensor 80RD is provided in the virtual plane P corresponds to the second position of the present invention.
  • the contact sensor 80RD corresponds to the second detection unit of the present invention.
  • the tilt detection unit 70 may have only the contact sensor 80LU and the contact sensor 80LD as the contact sensors 80.
  • the tilt detection unit 70 may have only the contact sensor 80LU and the contact sensor 80RU as the contact sensors 80.
  • the tilt detection unit 70 may have only the contact sensor 80LD and the contact sensor 80RD as the contact sensors 80. It is preferable that the two contact sensors 80 are arranged on opposite sides of the virtual line VL1 or the virtual line VL2 on the virtual plane P. However, this is not limited to this.
  • the multiple contact sensors 80 do not necessarily have to be provided in correspondence with any of the engaging claws.
  • the multiple contact sensors 80 may be arranged, for example, in the center in the left-right direction of the door body 50. In this way, the multiple contact sensors 80 may be arranged in a position away from the multiple engaging claws in the imaginary plane P.
  • one of the multiple contact sensors 80 may be arranged at the upper end of the door body 50, and another of the multiple contact sensors 80 may be arranged at the lower end of the door body 50.
  • the multiple contact sensors 80 may be arranged, for example, in the center in the up-down direction of the door body 50. In this case, one of the multiple contact sensors 80 may be arranged at the left end of the door body 50, and another of the multiple contact sensors 80 may be arranged at the right end of the door body 50.
  • the tilt detection unit 70 has multiple contact sensors 80. However, this is not limited to this.
  • the tilt detection unit 70 may have multiple optical sensors (not shown) instead of the contact sensors 80.
  • Each optical sensor may have a light-emitting unit and a light-receiving unit (not shown) and may be configured to detect information related to the distance between the lid 102 and the door body 50.
  • the tilt detection unit 70 may have a camera (not shown).
  • the door body 50 is driven to move in the front-rear direction by the motor 57, and the mounting portion 44 is driven to move in the front-rear direction by the air cylinder 45.
  • the means for moving the door body 50 and the mounting portion 44 is not limited to this.
  • the load port 4 is configured to be able to perform a purging process. However, this is not limited to this.
  • the load port 4 does not have to be equipped with a configuration for performing a purging process.
  • the load port 4 has a control unit 47.
  • this is not limited to this.
  • the control device 5 of the EFEM 3 may control the load port 4.
  • a gas other than nitrogen may be injected into the FOUP 100 as an inert gas.
  • the container placed on the load port 4 is not limited to the FOUP 100.
  • a FOSB Front Opening Shipping Box
  • the load port 4 may be installed on equipment other than the EFEM 3.

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Manufacturing & Machinery (AREA)
  • Computer Hardware Design (AREA)
  • Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
  • Power Engineering (AREA)
  • Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)

Abstract

容器において蓋が正常に閉められたかどうかに関する誤検知の発生を抑制する。　ロードポート４は、ベース４１と、ＦＯＵＰ１００が載置される載置部４４と、ＦＯＵＰ１００のＦＯＵＰ本体１０１に蓋１０２を脱着するドア機構４２とを備える。ドア機構４２は、ドア本体５０と、吸着保持部５１と、傾き検知部７０とを有する。傾き検知部７０は、蓋１０２とドア本体５０との間の距離に関する情報をそれぞれ検知するように構成された複数の接触センサ８０を含む。複数の接触センサ８０は、第１位置に配置され、ドア本体５０に取り付けられ、蓋１０２と対向する接触センサ８０ＬＵ、８０ＲＵを有する。また、複数の接触センサ８０は、第２位置に配置され、ドア本体５０に取り付けられ、蓋１０２と対向する接触センサ８０ＬＤ、８０ＲＤを有する。

Description

ロードポート、及び蓋の傾き検知方法
　本発明は、容器の蓋を開閉するロードポート、及び当該ロードポートにおける蓋の傾き検知方法に関する。
　特許文献１、２及び３には、ウェハが収容されたポッド（以下、容器）の蓋を開閉するためのロードポート装置（以下、ロードポート）が開示されている。容器は、側面に開口が形成された容器本体と、開口を開閉可能に設けられた蓋とを有する。蓋は、容器本体の開口の近傍に形成された係合孔に係合する係合爪と、係合爪を伸縮させるためのラッチ機構とを有する。ロードポートは、蓋が通過可能な開口が形成されたフレーム（以下、仕切壁）と、仕切壁の開口近傍に配置された容器の蓋を容器本体に脱着するドア機構と、を有する。ドア機構は、吸着保持部と、キーと、移動部とを有する。ドア機構は、蓋を開ける際には、吸着保持部によって蓋を吸着保持し、キーによってラッチ機構を動作させて係合爪を縮めた後（すなわち、蓋を解錠した後）、保持した蓋を移動部によって容器本体から離隔させる。また、ドア機構は、蓋を閉める際には、保持した蓋で容器本体の開口を塞ぎ、ラッチ機構を動作させて係合爪を伸ばした後（すなわち、蓋を施錠した後）、蓋の吸着を解除する。
　蓋が正常に閉められていない状態で容器が別の場所へ搬送されると、例えば容器の搬送中に、蓋が容器本体から脱落するおそれがある。さらに、容器内に収容されたウェハが容器から落ちてしまうおそれもある。そこで、特許文献１、２及び３に記載のロードポートは、蓋が正常に閉められたかどうかに関する情報を検知するための構成（以下、検知部）をそれぞれ有する。特許文献１において開示された検知部は、仕切壁に取り付けられている。当該検知部は、蓋が容器本体に正常に取り付けられていないことに起因する、ドア機構の構成部材の撓みを検知するように構成されている。特許文献２において開示された検知部は、仕切壁に取り付けられており、異常な位置に存在している蓋を光学的に検知するよう構成されている。特許文献３において開示された検知部は、仕切壁又はドア機構に取り付けられており、容器本体と蓋との段差を検知するように構成されている（段差センサ）。
特開２０１０－１５８３４３号公報 特開２０１１－１６５７１９号公報 特許第４３０３７７３号公報
　検知部が仕切壁に設けられた構成では、以下の問題が発生しうる。すなわち、仕切壁が板金で形成されている場合、ロードポートの設置時に歪みが比較的生じやすい。このため、当該歪みの大きさによっては、検知部と蓋との相対位置が意図した相対位置からずれてしまい、誤検知が生じるおそれがある。
　また、検知部がドア機構に取り付けられている場合でも、特許文献３に開示された段差検知部においては以下の問題が生じうる。すなわち、特許文献１～３には記載されていないが、ロードポートの種類によっては、容器内の気体を清浄なガスに置換することが可能である。このような場合、容器内にガスが注入された際に、容器の内部圧力が上昇して蓋が外側に押され、容器本体と蓋との間にわずかな段差が生じうる。段差検知部によってこのような段差が検知されると、実際には蓋が正常に閉まっているにもかかわらず、異常が生じたと判断されるおそれがある。
　本発明の目的は、容器において蓋が正常に閉められたかどうかに関する誤検知の発生を抑制することである。
　第１の発明のロードポートは、搬送対象物を収容するように構成され、側面に容器開口が形成された容器本体と、前記容器開口を開閉可能に構成された蓋と、を有する容器に対する前記蓋の脱着を行うロードポートであって、前記容器本体の内部空間と前記搬送対象物が搬送される搬送空間とを接続するように構成され且つ前記蓋が通過可能に構成されたベース開口が形成され、前記内部空間及び前記搬送空間を外部空間と隔てるように構成された仕切壁と、前記容器本体が載置されるように構成された載置部と、前記容器本体に対する前記蓋の脱着を実行可能に構成されたドア機構と、を備え、前記ドア機構は、前記ベース開口を開閉可能に構成され、前記載置部に載置された前記容器本体に取り付けられている前記蓋と対向するように配置されたドア本体と、前記蓋を前記ドア本体に保持させるように構成された保持部と、前記蓋と前記ドア本体との距離に関する情報をそれぞれ検知するように構成された複数の距離情報検知部を含み、前記保持部に保持された前記蓋と前記ドア本体との傾きに関する情報を検知するように構成された傾き検知部と、を有し、前記複数の距離情報検知部は、前記ドア本体の前記蓋と対向する第１位置に取り付けられた第１検知部と、前記ドア本体の前記蓋と対向する第２位置に取り付けられた第２検知部と、を少なくとも有することを特徴とする。
　本発明では、第１検知部による検知結果と第２検知部による検知結果が同じである場合、蓋とドア本体とが互いに傾いていないと判断できる。これにより、蓋が容器本体に正常に固定されていると判断できる。一方、第１検知部による検知結果と第２検知部による検知結果が互いに異なっている場合、蓋とドア本体とが互いに傾いていると判断できる。これにより、蓋が容器本体に正常に固定されていないと判断できる。傾き検知部はドア本体に取り付けられているので、当該検知結果は、仕切壁の歪みによる影響を受けない。また、傾き検知部は蓋とドア本体との傾きを検知するものであるため、仮に容器の内部圧力が変化して、蓋と容器本体との相対位置が多少ずれても、当該検知結果は、当該位置ずれによる影響を受けない。したがって、容器において蓋が正常に閉められたかどうかに関する誤検知の発生を抑制できる。
　第２の発明のロードポートは、前記第１の発明において、前記複数の距離情報検知部は、前記容器本体に設けられた前記複数の係合孔にそれぞれ係合している係合位置と、前記複数の係合孔との係合が解除された解除位置との間で移動可能に構成された複数の係合爪に対応してそれぞれ設けられていることを特徴とする。
　複数の係合爪のいずれかが、対応する係合孔に正常に係合していない場合、特に当該係合爪の近傍において、蓋の所定方向における位置が正常な位置から大きくずれうる。したがって、当該係合爪に対応する距離情報検知部によって、蓋が正常に閉まっていないことを確実に検知できる。
　第３の発明のロードポートは、前記第１又は第２の発明において、前記複数の距離情報検知部の各々は、前記複数の距離情報検知部の各々と前記蓋との接触の有無を検知する接触センサを有し、前記ドア機構は、前記ドア本体の位置を制御可能に構成されたステッピングモータを有し、前記載置部を前記ドア本体側へ付勢可能に構成されたエアシリンダ、を備えることを特徴とする。
　本発明では、距離情報検知部が接触センサを有するため、接触センサを介してドア本体と蓋が互いに押され合う。このため、ドア本体が容器側に強く押しつけられた場合、ドア本体又はその周辺の部材が歪んでしまうと、ドア本体と蓋との傾き角度が変わって誤検知を起こすおそれがある。この点、本発明では、ドア本体及び蓋が移動部によって容器本体側に押し付けられたとき、エアシリンダに設けられたピストンロッドが動くことによって、容器本体が載置部とともに移動できる。また、移動部はドア本体の位置を制御可能に構成されているので、容器本体の移動の長さは限られた範囲内に収まる。このため、ドア本体に加えられる力をエアシリンダによって吸収できる。したがって、ドア本体又はその周辺の部材が歪むことを抑制できる。したがって、誤検知を効果的に抑制できる。
　第４の発明のロードポートは、前記第１又は第２の発明において、前記容器の内部空間を満たしている第１気体を、前記第１気体とは別の第２気体に置換可能に構成された置換部、を備えることを特徴とする。
　置換部によって容器内の第１気体を第２気体に置き換える際、一般的には、第２気体が容器内に注入されつつ第１気体が容器から排出される。このため、容器内の圧力が外部空間の圧力よりも高くなり、蓋が外側へ押されうる。蓋が外側へ押されると、蓋と容器本体との相対位置が多少ずれうる。この点、本発明において、傾き検知部は蓋とドア本体との傾きを検知するものであるため、仮に蓋と容器本体との相対位置が多少ずれても、傾き検知部による検知結果は、当該位置ずれによる影響を受けない。したがって、誤検知を効果的に抑制できる。
　第５の発明の蓋の傾き検知方法は、前記第１又は第２の発明のロードポートにおいて、前記蓋が前記ドア本体に対して傾いているか否か判断する、蓋の傾き検知方法であって、前記複数の距離情報検知部の全てによって、前記蓋と前記ドア本体との距離が正常であることを示す情報が検知された場合に、前記蓋が前記ドア本体に対して傾いていないと判断し、前記複数の距離情報検知部のうちいずれか１つ以上によって、前記蓋と前記ドア本体との距離が異常であることを示す情報が検知された場合に、前記蓋が前記ドア本体に対して傾いていると判断することを特徴とする。
　本発明のように、蓋のドア本体に対する傾きを検知することによって、容器において蓋が正常に閉められたかどうか判断できる。
本実施形態に係るロードポートを備えるＥＦＥＭ及びその周辺の概略的な平面図である。 ＦＯＵＰの斜視図である。 （ａ）及び（ｂ）は、ＦＯＵＰを前後方向において蓋側から見た図である。 （ａ）は、ロードポートの斜視図であり、（ｂ）は、ロードポートの右側面図である。 （ａ）は、ロードポートの正面図であり、（ｂ）は、ロードポートの背面図である。 （ａ）及び（ｂ）は、蓋の開閉機構を示す説明図である。 （ａ）及び（ｂ）は、ロードポートの動作を示す説明図である。 （ａ）及び（ｂ）は、ロードポートの動作を示す説明図である。 （ａ）及び（ｂ）は、接触センサを示す説明図である。 （ａ）～（ｄ）は、ロードポートの動作を示す説明図である。 （ａ）は、蓋が正常に閉められた状態を示す説明図であり、（ｂ）は、蓋が正常に閉められていない状態を示す説明図である。
　次に、本発明の実施の形態について説明する。説明の便宜上、図１に示す方向を前後左右方向と定義する。すなわち、ＥＦＥＭ（Equipment Front End Module）１と処理装置６とが並べられている方向を前後方向（本発明の所定方向）と定義する。前後方向において、ＥＦＥＭ１側を前側（本発明の所定方向における一方側）と定義する。前後方向において、処理装置６側を後側（本発明の所定方向における他方側）と定義する。前後方向と直交する、複数のロードポート４が並べられる方向を左右方向と定義する。また、前後方向及び左右方向の両方と直交する方向を上下方向（重力が作用する鉛直方向）と定義する。
（ロードポート及び周辺の概略構成）
　本実施形態に係るロードポート４及び周辺の概略構成について、図１を参照しつつ説明する。図１は、ロードポート４を備えるＥＦＥＭ（Equipment Front End Module）１及びその周辺の概略図である。図１に示すように、ＥＦＥＭ１は、筐体２と、搬送ロボット３と、複数のロードポート４と、制御装置５とを備える。ＥＦＥＭ１の後側には、処理装置６が配置されている。処理装置６は、半導体基板であるウェハＷ（本発明の搬送対象物）に所定の処理を施す装置である。所定の処理とは、例えば真空チャンバー内で行われる処理（スパッタリング、ドライエッチングなど）であっても良く、或いは他の処理であっても良い。ＥＦＥＭ１は、筐体２内の搬送空間９に配置された搬送ロボット３によって、ロードポート４に載置されているＦＯＵＰ（Front-Opening Unified Pod）１００と処理装置６との間でウェハＷの受渡しを行う。ＦＯＵＰ１００は、複数のウェハＷを上下方向に並べて収容可能な容器である。ＦＯＵＰ１００は、不図示のＦＯＵＰ搬送装置によって搬送される。搬送装置とロードポート４との間で、ＦＯＵＰ１００の受渡しが行われる。
　筐体２は、ウェハＷが搬送される搬送空間９を形成する部材である。搬送空間９は、主に筐体２によって外部空間１０と隔てられている。筐体２は、複数のロードポート４及び処理装置６のロードロック室７と接続されるように構成されている。搬送ロボット３は、ＦＯＵＰ１００とロードロック室７との間でウェハＷを搬送可能に構成されたロボットである。
　複数のロードポート４は、例えば左右方向に並べて配置され、筐体２の前面に取り付けられている。複数のロードポート４の各々は、ＦＯＵＰ１００が載置されるように構成され、且つ、載置されたＦＯＵＰ１００のＦＯＵＰ本体１０１（後述。本発明の容器本体）に対して蓋１０２（後述）を脱着するように構成されている。ロードポート４の構成のより詳細、及びＦＯＵＰ１００の構成のより詳細については後述する。
　制御装置５は、搬送ロボット３の制御部（不図示）、ロードポート４の制御部４７及び処理装置６の制御部（不図示）と電気的に接続されており、これらの制御部との通信を行う。
　処理装置６は、例えば、ロードロック室７と、処理室８とを有する。ロードロック室７は、ウェハＷを一時的に待機させるための部屋である。ロードロック室７は、筐体２の内部に形成された搬送空間９と接続されている。処理室８は、ウェハＷに所定の処理を行うための部屋である。
　（ＦＯＵＰ）
　ロードポート４の構成について説明する前に、ＦＯＵＰ１００の構成について図２、図３（ａ）及び図３（ｂ）を参照しつつ説明する。図２は、ＦＯＵＰ１００の斜視図である。図２に示された前後左右上下方向は、ＦＯＵＰ１００がロードポート４に載置されており、且つ蓋１０２が正常に閉まっていると仮定したときの、説明の便宜上の方向である。図３（ａ）及び図３（ｂ）は、ＦＯＵＰ１００を前後方向において蓋１０２側（すなわち、後側）から見た図である。図３（ａ）は、蓋１０２が施錠された状態を示す図である。図３（ａ）においては、蓋１０２の一部（図中の右側部分）が断面で示されている。図３（ｂ）は、蓋１０２が解錠された状態を示す図である。図３（ｂ）においても、蓋１０２の一部（図中の右側部分）が断面で示されている。
　ＦＯＵＰ１００は、概ね直方体形状の容器である。図２に示すように、ＦＯＵＰ１００は、ＦＯＵＰ本体１０１と、蓋１０２とを有する。ＦＯＵＰ本体１０１は、概ね直方体形状を有する。ＦＯＵＰ本体１０１は、ＦＯＵＰ１００の内部空間Ｓｆ（図４（ｂ）参照）を囲う外壁部１１１と、ＦＯＵＰ本体１０１の１つの側面に設けられた開口部１１２とを有する。開口部１１２には、前後方向から見たときに概ね長方形状の開口１１３（本発明の容器開口）が形成されている。図３（ａ）及び図３（ｂ）に示すように、開口部１１２の内周面のうち上側の面の左側部分には、上側へ延びた係合孔１１４が形成されている。同様に、開口部１１２の内周面のうち下側の面の左側部分には、下側へ延びた係合孔１１５が形成されている。開口部１１２の内周面のうち上側の面の右側部分には、上側へ延びた係合孔１１６が形成されている。開口部１１２の内周面のうち下側の面の右側部分には、下側へ延びた係合孔１１７が形成されている。
　ＦＯＵＰ本体１０１の底部には、ガス供給弁１１８と、ガス排出弁１１９とが形成されている（図４（ｂ）参照）。ガス供給弁１１８は、例えば窒素などの不活性ガスをＦＯＵＰ１００の内部空間Ｓｆ（図４（ｂ）参照）内に供給するための弁である。ガス排出弁１１９は、気体を内部空間Ｓｆから排出するための弁である。
　蓋１０２は、開口部１１２を開閉するように構成されている。蓋１０２は、蓋本体１２１と、ラッチ機構１２２と、ラッチ機構１２３とを有する。蓋本体１２１は、概ね板状の中空の部材である。蓋本体１２１は、後述のドア本体５０と前後方向において対向可能な端面１２１ａ（本発明の蓋対向面）を有する。端面１２１ａの上下方向における略中央の左側部分には、ラッチ機構１２２に対応して開口１２４が形成されている。端面１２１ａの上下方向における略中央の右側部分には、ラッチ機構１２３に対応して開口１２５が形成されている。図３（ａ）及び図３（ｂ）に示すように、蓋本体１２１の外周面のうち上側の面の左側部分には、上下方向に貫通し、後述するロックプレート１３２の上端部が挿通された挿通孔１２６が形成されている。蓋本体１２１の外周面のうち下側の面の左側部分には、上下方向に貫通し、後述するロックプレート１３３の下端部が挿通された挿通孔１２７が形成されている。蓋本体１２１の外周面のうち上側の面の右側部分には、上下方向に貫通し、後述するロックプレート１４２の上端部が挿通された挿通孔１２８が形成されている。蓋本体１２１の外周面のうち下側の面の右側部分には、上下方向に貫通し、後述するロックプレート１４３の下端部が挿通された挿通孔１２９が形成されている。
　ラッチ機構１２２及びラッチ機構１２３は、蓋１０２の解錠及び施錠を行うように構成された機構である。ラッチ機構１２２は、蓋本体１２１の左側部分に設けられている。ラッチ機構１２２は、回転板１３１と、ロックプレート１３２と、ロックプレート１３３とを有する。回転板１３１、ロックプレート１３２及びロックプレート１３３の概ね全体は、蓋本体１２１の内側の空間に収容されている。回転板１３１は、略円板状の部材である。回転板１３１は、開口１２４に対応して、蓋本体１２１の上下方向における略中央の左側部分に設けられている。回転板１３１は、前後方向を回転軸方向として、蓋本体１２１に自転可能に取り付けられている。回転板１３１の後端面の略中心部には、前後方向から見たときに例えば略長方形状の鍵穴１３４（図２参照）が形成されている。回転板１３１は、鍵穴１３４に差し込まれる後述のラッチキー６５によって回転させられることで、施錠位置（図３（ａ）参照）と解錠位置（図３（ｂ）参照）との間で回転可能である。回転板１３１の後端面には、正面カム１３５及び正面カム１３６が形成されている。正面カム１３５は、例えば、回転板１３１の後端面の上側部分に形成された溝状のカムである。正面カム１３５は、回転板１３１の周方向において時計回りに延び、且つ回転板１３１の径方向において内側に延びるように形成されている。正面カム１３６は、例えば、回転板１３１の後端面の下側部分に形成された溝状のカムである。正面カム１３６は、回転板１３１の周方向において時計回りに延び、且つ回転板１３１の径方向において内側に延びるように形成されている。
　ロックプレート１３２は、開口部１１２の上端部に係合することによって、蓋１０２をＦＯＵＰ本体１０１に固定するための部材である。ロックプレート１３２は、例えば上下方向に延びた板状の部材である。ロックプレート１３２の下端部は、前後方向に延びたカムフォロア１３７を介して回転板１３１と接続されている。カムフォロア１３７は、正面カム１３５に挿通されている。ロックプレート１３２の上端部には、係合孔１１４に挿入される係合爪１３２ａが形成されている。係合爪１３２ａは、回転板１３１が施錠位置（図３（ａ）参照）に位置しているときに係合孔１１４の中に位置している（係合位置）。係合爪１３２ａは、回転板１３１が解錠位置（図３（ｂ）参照）に位置しているときに係合孔１１４の外側に位置している（解除位置）。
　ロックプレート１３３は、開口部１１２の下端部に係合することによって、蓋１０２を開口部１１２に係合させるための部材である。ロックプレート１３３は、例えば上下方向に延びた板状の部材である。ロックプレート１３３の上端部は、前後方向に延びたカムフォロア１３８を介して回転板１３１と接続されている。カムフォロア１３８は、正面カム１３６に挿通されている。ロックプレート１３３の下端部には、係合孔１１５に挿入される係合爪１３３ａが形成されている。係合爪１３３ａは、回転板１３１が施錠位置（図３（ａ）参照）に位置しているときに係合孔１１５の中に位置している（係合位置）。係合爪１３３ａは、回転板１３１が解錠位置（図３（ｂ）参照）に位置しているときに係合孔１１５の外側に位置している（解除位置）。
　以上の構成を有するラッチ機構１２２は、回転板１３１が施錠位置（図３（ａ）参照）に位置しているときに、蓋１０２の左側部分をＦＯＵＰ本体１０１に固定することが可能である。ラッチ機構１２２は、回転板１３１が解錠位置（図３（ｂ）参照）に位置しているときに、蓋１０２の左側部分をＦＯＵＰ本体１０１から解放することが可能である。
　ラッチ機構１２３は、蓋本体１２１の右側部分に設けられている。ラッチ機構１２３は、左右方向における配置位置を除いてラッチ機構１２２と同じ構成を有するため、以下の説明は比較的簡単なものにとどめる。ラッチ機構１２３は、回転板１４１と、ロックプレート１４２と、ロックプレート１４３とを有する。回転板１４１は、開口１２５に対応して設けられている。回転板１４１は、後述のラッチキー６６が差し込まれる鍵穴１４４を有する。回転板１４１は、上側部分に形成された正面カム１４５と、下側部分に形成された正面カム１４６とを有する。回転板１４１は、施錠位置（図３（ａ）参照）と解錠位置（図３（ｂ）参照）との間で回転可能である。ロックプレート１４２は、カムフォロア１４７を介して回転板１４１と接続されている。ロックプレート１４２の上端部には、係合孔１１６に挿入される係合爪１４２ａが形成されている。ロックプレート１４３は、カムフォロア１４８を介して回転板１４１と接続されている。ロックプレート１４３の下端部には、係合孔１１７に挿入される係合爪１４３ａが形成されている。
　以上の構成を有するラッチ機構１２３は、回転板１４１が施錠位置（図３（ａ）参照）に位置しているときに、蓋１０２の右側部分をＦＯＵＰ本体１０１に固定することが可能である。ラッチ機構１２３は、回転板１４１が解錠位置（図３（ｂ）参照）に位置しているときに、蓋１０２の右側部分をＦＯＵＰ本体１０１から解放することが可能である。
　（ロードポート）
　次に、ロードポート４の構成について図４（ａ）～図５（ｂ）を参照しつつ説明する。図４（ａ）は、ロードポート４の斜視図である。図４（ｂ）は、ロードポート４の右側面図である。図５（ａ）は、ロードポート４の正面図である。図５（ｂ）は、ロードポート４の背面図である。
　上述したように、ロードポート４は、ＦＯＵＰ１００が載置されるように構成され、且つ、載置されたＦＯＵＰ１００のＦＯＵＰ本体１０１に対して蓋１０２を脱着するように構成されている。ロードポート４は、ベース４１（本発明の仕切壁）と、ドア機構４２と、支持フレーム４３と、載置部４４と、エアシリンダ４５と、複数のクランプ機構４６と、制御部４７とを有する。
　ベース４１は、前後方向から見たときに略長方形状の平板状の部材である。ベース４１は、上下方向に延びるように配置されている。ベース４１は、少なくとも搬送空間９を外部空間１０と隔てる隔壁の一部を構成している。ベース４１の上側部分には、前後方向から見たときに略長方形状の開口４１ａ（本発明のベース開口）が形成されている。開口４１ａは、ＦＯＵＰ１００の蓋１０２が前後方向に通過できる大きさを有する。また、開口４１ａは、後述のドア本体５０によって開閉される大きさを有する。ベース４１は、例えば板金によって形成されている。なお、ベース４１は、ＥＦＥＭ１に据え付けられる際に、所定の公差の範囲内で若干歪む可能性がある。
　ドア機構４２は、蓋１０２の吸着保持、蓋１０２の解錠及び施錠、並びに蓋１０２の移動を実行可能に構成されている。ドア機構４２のより具体的な構成については後述する。
　支持フレーム４３は、載置部４４を支持するための部材である。支持フレーム４３は、上下方向から見たときに略長方形状である。支持フレーム４３は、ベース４１に固定されている。支持フレーム４３は、ベース４１の上下方向における途中部から前側に突出するように配置されている。
　載置部４４は、ＦＯＵＰ１００が載置される台状の部材である。載置部４４は、支持フレーム４３に支持されている。載置部４４は、支持フレーム４３に対して前後方向に移動可能に構成されている。載置部４４は、ＦＯＵＰ１００がＦＯＵＰ搬送装置（不図示）との間で受渡しされることが可能な受渡位置と、受渡位置よりも後側の蓋開閉位置との間で移動可能に構成されている。載置部４４には、位置決めピン４４ａと、ロック爪４４ｂと、ガス注入ノズル４４ｃと、ガス排出ノズル４４ｄとが設けられている。位置決めピン４４ａは、ＦＯＵＰ１００の位置決めを行うための部材である。ロック爪４４ｂは、ＦＯＵＰ１００の載置部４４への固定（ロック）及び固定の解除（アンロック）を行うための部材である。ガス注入ノズル４４ｃは、ＦＯＵＰ１００の内部空間Ｓｆに不活性ガスを供給するためのノズルである。ガス注入ノズル４４ｃは、バルブ４４ｅを介して不活性ガスの供給ポート（不図示）に接続されている。ガス注入ノズル４４ｃは、ガス供給弁１１８に連結されることが可能に構成されている。ガス排出ノズル４４ｄは、ＦＯＵＰ１００の内部空間Ｓｆからガスを排出するためのノズルである。ガス排出ノズル４４ｄは、バルブ４４ｆを介してガスの排出ポート（不図示）に接続されている。ガス排出ノズル４４ｄは、ガス排出弁１１９に連結されることが可能に構成されている。ガス注入ノズル４４ｃ及びガス排出ノズル４４ｄは、本発明の置換部に相当する。
　エアシリンダ４５は、載置部４４を前後方向に移動させるように構成されている。エアシリンダ４５は、シリンダ本体（不図示）とピストンロッド（不図示）とを有する。シリンダ本体には圧縮空気が供給及び排出される。ピストンロッドは、前後方向に伸縮するように配置され、圧縮空気の作用によって伸縮する。エアシリンダ４５は、載置部４４が蓋開閉位置に位置しているとき、載置部４４を後側へ付勢する付勢部として機能する。
　複数のクランプ機構４６は、ＦＯＵＰ１００を把持してベース４１に密着させるように構成されている。
　制御部４７は、不図示のＣＰＵ（Central Processing Unit）、ＲＯＭ（Read Only Memory）、ＲＡＭ（Random Access Memory）等を備える。制御部４７は、ＲＯＭに格納されたプログラムに従い、ＣＰＵによってロードポート４の各機構を制御する。また、制御部４７は、ＥＦＥＭ３の制御装置５との間で通信を行う。
　（ドア機構の構成）
　ドア機構４２の構成について、図４（ａ）～図６（ｂ）を参照しつつ説明する。図６（ａ）及び図６（ｂ）は、後述の鍵開閉機構５２の背面図である。図６（ａ）は、回転板１３１、１４１を施錠位置（図３（ａ）参照）に位置させているときの鍵開閉機構５２の状態を示す説明図である。図６（ｂ）は、回転板１３１、１４１を解錠位置（図３（ｂ）参照）に位置させているときの鍵開閉機構５２の状態を示す説明図である。
　図４（ｂ）に示すように、ドア機構４２は、ドア本体５０と、複数の吸着保持部５１（本発明の保持部）と、鍵開閉機構５２と、ドア支持部５３と、ガイドレール５４と、昇降ブロック５５と、ガイドレール５６と、モータ５７（本発明の移動部）と、モータ５８とを有する。ドア本体５０は、前後方向から見たときに略長方形状の板状の部材である。ドア本体５０は、蓋本体１２１の端面１２１ａと前後方向において対向可能な前端面５０ａを有する。前端面５０ａを含む仮想的な仮想平面Ｐが、本発明の仮想平面に相当する。ドア本体５０は、ドア支持部５３に支持されている。
　複数の吸着保持部５１は、蓋１０２をドア本体５０に吸着させて保持するためのものである。複数の吸着保持部５１の各々は、ドア本体５０の前端面５０ａに形成されている。複数の吸着保持部５１は、不図示の配管を介して不図示の真空ポンプに接続されている。真空ポンプが動作すると、配管の内部に負圧が生じ、蓋１０２がドア本体５０に吸着されて保持される。
　鍵開閉機構５２は、蓋１０２の解錠及び施錠を行うように構成されている。図６（ａ）及び図６（ｂ）に示すように、鍵開閉機構５２は、例えば、エアシリンダ６１と、移動部材６２と、アーム６３、６４と、ラッチキー６５、６６とを有する。エアシリンダ６１は、例えば左右方向に伸縮可能なピストンロッド６１ａを有する。ピストンロッド６１ａは、エアシリンダ６１への圧縮空気の供給又はエアシリンダ６１からの圧縮空気の排出に応じて、待機状態（図６（ａ）参照）と突出状態（図６（ｂ）参照）との間で状態が切り換えられる。移動部材６２は、ピストンロッド６１ａの先端部に固定され、ピストンロッド６１ａと一体的に左右方向に移動する。移動部材６２は、エアシリンダ６１よりも上側へ突出した第１部材６２ａと、第１部材６２ａの上端部に固定された第２部材６２ｂとを有する。第２部材６２ｂは、左右方向に沿って延びた棒状の部材である。アーム６３は、第２部材６２ｂの左端部に揺動可能に取り付けられている。アーム６４は、第２部材６２ｂの右端部に揺動可能に取り付けられている。ラッチキー６５は、アーム６３の先端部に固定され、ドア本体５０に回転可能に支持されている。ラッチキー６６は、アーム６４の先端部に固定され、ドア本体５０に回転可能に支持されている。ピストンロッド６１ａの状態が待機状態であるとき、ラッチキー６５、６６は鍵穴１３４、１４４（図２参照）にそれぞれ差し込まれることが可能である。ピストンロッド６１ａの状態が待機状態と突出状態との間で切り換えられることにより、ラッチキー６５、６６は、回転板１３１、１４１をそれぞれ施錠位置（図３（ａ）参照）と解錠位置（図３（ｂ）参照）との間で回転させることができる。
　ドア支持部５３は、ドア本体５０を支持する部材である。ドア支持部５３は、搬送空間９において、搬送ロボット３の可動範囲の外側に配置されている。ドア支持部５３には、ドア本体５０が不図示の固定具によって固定されている。ドア支持部５３は、上下方向に延びている。ドア支持部５３は、ガイドレール５４によって前後方向に移動可能に支持されている。ドア支持部５３は、モータ５７によって前後方向に移動駆動される。ドア支持部５３は、前後方向に移動させられることによって、ドア本体５０を閉止位置（図７（ｂ）参照））と開放位置（図８（ａ）参照）との間で移動させる。閉止位置は、ドア本体５０がベース４１の開口４１ａを塞いでいるときのドア本体５０の位置である。開放位置は、ドア本体５０が開口４１ａを開放しているときのドア本体５０の位置である。
　ガイドレール５４は、ドア支持部５３を前後方向に案内する部材である。ガイドレール５４は、昇降ブロック５５の上に設けられている。ガイドレール５４は、前後方向に延びている。
　昇降ブロック５５は、ドア本体５０を上下方向に移動させるための部材である。昇降ブロック５５は、搬送空間９において、搬送ロボット３の可動範囲の外側に配置されている。昇降ブロック５５は、ガイドレール５４によってドア支持部５３を移動可能に支持している。昇降ブロック５５は、ガイドレール５６に沿って上下方向に案内される。昇降ブロック５５は、モータ５８によって上下方向に移動駆動される。昇降ブロック５５は、上下方向に移動させられることによって、ドア本体５０を、上述の開放位置と、開放位置よりも下側の退避位置（図７（ｂ）参照）との間で移動させる。
　ガイドレール５６は、昇降ブロック５５を上下方向に案内する部材である。ガイドレール５６は、ベース４１に設けられている。ガイドレール５６は、上下方向に延びている。
　モータ５７は、ドア支持部５３を前後方向に移動駆動するように構成されている。モータ５７は、例えば公知のステッピングモータである。モータ５７は、ドア支持部５３の前後方向における位置を制御可能に構成されている。
　モータ５８は、昇降ブロック５５を上下方向に移動駆動するように構成されている。モータ５８は、例えば公知のステッピングモータである。モータ５８は、ドア支持部５３の上下方向における位置を制御可能に構成されている。
　以上の構成を有するロードポート４の動作について、図７（ａ）～図８（ｂ）を参照しつつ説明する。図７（ａ）～図８（ｂ）は、動作中のロードポート４の右側面図である。ここでは、ＦＯＵＰ１００が載置部４４に載置されてから、蓋１０２がドア機構４２によってＦＯＵＰ本体１０１から取り外されるまでのロードポート４の動作を説明する。
　まず、ＦＯＵＰ１００が載置部４４に載置される（図７（ａ）参照）。このとき、ＦＯＵＰ１００は、位置決めピン４４ａによって位置決めされ、ロック爪４４ｂによって載置部４４に固定される。また、ガス注入ノズル４４ｃがガス供給弁１１８に連結され、ガス排出ノズル４４ｄがガス排出弁１１９に連結される。
　制御部４７は、エアシリンダ４５の動作を制御して、載置部４４を受渡位置（図７（ａ）参照）から蓋開閉位置（図７（ｂ））に移動させる。これにより、蓋１０２の端面１２１ａが、ドア本体５０の前端面５０ａと前後方向において近接した位置で対向する。このとき、ラッチキー６５、６６（図４（ａ）参照）が鍵穴１３４、１４４（図２参照）にそれぞれ差し込まれる。次に、制御部４７は、バルブ４４ｅ及びバルブ４４ｆを制御して、ＦＯＵＰ１００の内部空間Ｓｆに不活性ガス（本発明の第２気体）を供給しつつ、内部空間Ｓｆを満たしていたガス（本発明の第１気体）を内部空間Ｓｆから排出する。これにより、内部空間Ｓｆ内のガスが不活性ガスに置き換えられる（このような処理は、一般的にパージ処理とも呼ばれる）。パージ処理が行われているとき、ＦＯＵＰ１００内の圧力が外部空間１０の圧力よりも高くなり、蓋１０２が外側（より具体的には後側）へ多少押されうる。なお、パージ処理は、載置部４４の蓋開閉位置への移動前に行われても良い。
　次に、制御部４７は、クランプ機構４６を制御して、ＦＯＵＰ１００をベース４１に押し付ける。次に、制御部４７は、真空ポンプ（不図示）を制御して、蓋１０２をドア本体５０の吸着保持部５１に吸着保持させる。さらに、制御部４７は、鍵開閉機構５２の動作を制御して、蓋１０２の解錠を行う。
　次に、制御部４７は、モータ５７を制御して、ドア本体５０を閉止位置（図７（ｂ）参照））から開放位置（図８（ａ）参照）に移動させる。これにより、蓋１０２がＦＯＵＰ本体１０１から取り外される。このとき、内部空間Ｓｆと搬送空間９が、開口１１３及び開口４１ａを介して接続される。内部空間Ｓｆ及び搬送空間９は、ベース４１等によって外部空間１０と隔てられている。さらに、制御部４７は、モータ５８を制御して、ドア本体５０を開放位置から退避位置（図８（ｂ）参照）に移動させる。これにより、内部空間Ｓｆと搬送空間９との間でウェハＷの受渡しが可能になる。言い換えれば、ウェハＷが内部空間Ｓｆと処理装置６との間で受け渡されることが可能になる。処理装置６によって、全ての（又は一部の）ウェハＷに対して所定の処理が順次施される。処理が施されたウェハＷは、内部空間Ｓｆに戻される。
　ウェハＷの処理が完了した後、制御部４７は、蓋１０２を開けるときとは逆の動作をドア機構４２等に行わせる。すなわち、制御部４７は、ドア本体５０を退避位置から開放位置へ移動させ、さらに開放位置から閉止位置へ移動させる。次に、制御部４７は、鍵開閉機構５２の動作を制御して、蓋１０２の施錠を行う。また、制御部４７は、上述したパージ処理を再び行う。制御部４７は、蓋１０２のドア本体５０への吸着を解除する（吸着解除）。その後、制御部４７は、載置部４４を蓋開閉位置から受渡位置に移動させる。
　ここで、蓋１０２が正常に閉められていない状態でＦＯＵＰ１００が別の場所へ搬送されると、ＦＯＵＰ１００の搬送中に蓋１０２がＦＯＵＰ本体１０１から脱落するおそれがある。さらに、ＦＯＵＰ１００内に収容されたウェハがＦＯＵＰ１００から落ちてしまうおそれもある。そこで、蓋１０２が正常に閉められたかどうかに関する情報を検知するための種々の構成が検討されているものの、従来の構成では誤検知が発生する懸念がある。本実施形態では、誤検知の発生を抑制するため、ロードポート４は以下の構成を備える。
　（検知センサ）
　まず、蓋１０２が正常に閉められたかどうかに関する情報を検知するための構成について、図９（ａ）及び図９（ｂ）を参照しつつ説明する。図９（ａ）は、ドア本体５０の正面図である。図９（ｂ）は、後述する複数の接触センサ８０の１つ及びその周辺の側断面図である。より具体的には、図９（ｂ）は、代表として接触センサ８０ＲＤ及びその周辺の構成を示した図である。
　図９（ａ）に示すように、ロードポート４は、傾き検知部７０を有する。傾き検知部７０は、蓋１０２のドア本体５０に対する傾きに関する情報を検知するためのものである。傾き検知部７０は、複数の接触センサ８０（本発明の距離情報検知部）を有する。複数の接触センサ８０は、ドア本体５０に取り付けられている。本実施形態における例として、４つの接触センサ８０が設けられている。
　４つの接触センサ８０は、４つの係合爪１３２ａ、１３３ａ、１４２ａ、１４３ａ（図３（ａ）等参照）に対応してそれぞれ設けられている。ドア本体５０の上端部の左側部分には、係合爪１３２ａに対応して、前後方向から見たときに係合爪１３２ａが配置される位置の近傍に接触センサ８０ＬＵが配置されている。ドア本体５０の下端部の左側部分には、係合爪１３３ａに対応して、前後方向から見たときに係合爪１３３ａが配置される位置の近傍に接触センサ８０ＬＤが配置されている。ドア本体５０の上端部の右側部分には、係合爪１４２ａに対応して、前後方向から見たときに係合爪１４２ａが配置される位置の近傍に接触センサ８０ＲＵが配置されている。ドア本体５０の下端部の右側部分には、係合爪１４３ａに対応して、前後方向から見たときに係合爪１４３ａが配置される位置の近傍に接触センサ８０ＲＤが配置されている。
　接触センサ８０ＬＵ、８０ＲＵ、８０ＬＤ、８０ＲＤは、仮想平面Ｐ上で互いに異なる位置に配置されている。具体例として、接触センサ８０ＬＵ、８０ＲＵと、接触センサ８０ＬＤ、８０ＲＤとは、上下方向において互いに異なる位置に配置されている。より具体的には、接触センサ８０ＬＵ、８０ＲＵと、接触センサ８０ＬＤ、８０ＲＤとは、ドア本体５０の上下方向における中心を通る仮想直線ＶＬ１を挟んで互いに反対側に配置されている。説明の便宜上、本実施形態では、接触センサ８０ＬＵと接触センサ８０ＲＵとをまとめたものが、本発明の第１検知部に相当する。接触センサ８０ＬＤと接触センサ８０ＲＤとをまとめたものが、本発明の第２検知部に相当する。第１検知部の位置が、本発明の第１位置に相当する。第２検知部の位置が、本発明の第２位置に相当する。第１位置と第２位置とは、仮想平面Ｐ上で互いに異なっている。
　また、接触センサ８０ＬＵ、８０ＬＤと、接触センサ８０ＲＵ、８０ＲＤとは、左右方向において互いに異なる位置に配置されている。より具体的には、接触センサ８０ＬＵ、８０ＬＤと、接触センサ８０ＲＵ、８０ＲＤとは、ドア本体５０の左右方向における中心を通る仮想直線ＶＬ２を挟んで互いに反対側に配置されている。
　図９（ｂ）に示すように、接触センサ８０は、例えば、センサ本体８１と、パイプ８２と、接触子８３と、ばね８４と、固定具８５とを有する。センサ本体８１は、蓋１０２と接触子８３との接触の有無に関する信号（以下、接触信号）を制御部４７に送信するように構成されている。センサ本体８１は、例えばドア本体５０の後側に配置されている。センサ本体８１は、例えば不図示のスイッチを有する。センサ本体８１は、例えば、接触子８３の前後方向における位置に応じて、スイッチのオン、オフが切り換わるように構成されている。例えば、接触子８３が前側に位置しているときにスイッチがオン状態であり、接触子８３が後側に位置しているときにスイッチがオフ状態である構成では、オン状態を示す信号は非接触を示し、オフ状態を示す信号は接触を示す。別の構成として、接触子８３が前側に位置しているときにスイッチがオフ状態であり、接触子８３が後側に位置しているときにスイッチがオン状態である構成では、オフ状態を示す信号は非接触を示し、オン状態を示す信号は接触を示す。
　パイプ８２は、前後方向に沿って延びた部材である。パイプ８２は、例えばセンサ本体８１の先端部に取り付けられている。パイプ８２は、接触子８３を前後方向に案内するように構成されている。パイプ８２は、センサ本体８１の先端部の前側に配置されている。接触子８３は、パイプ８２によって前後方向に沿って移動可能に支持されている。接触子８３の前端部は、ドア本体５０よりも前側に突出している。接触子８３は、ドア本体５０を貫通していても良い。すなわち、ドア本体５０を前後方向に貫通する貫通孔５０ｂが形成されていても良い。接触子８３は、貫通孔５０ｂに挿通されていても良い。接触子８３は、所定の初期位置（非接触位置）と、初期位置よりも後側の接触位置との間で移動可能である（図９（ｂ）の矢印参照）。ばね８４は、接触子８３を前側へ（すなわち、初期位置側へ）付勢するように構成されている。ばね８４は、例えば公知の圧縮コイルばねである。ばね８４は、パイプ８２の径方向における外側に配置されている。固定具８５は、センサ本体８１及びパイプ８２等をドア本体５０に固定するように構成されている。
　（蓋が正常に閉まっているか否かの判定）
　次に、制御部４７が行う、蓋１０２が正常に閉まっているか否かの判定の方法（すなわち、蓋１０２の傾き検知方法）について、図１０（ａ）～図１０（ｄ）、図１１（ａ）及び図１１（ｂ）を参照しつつ説明する。図１０（ａ）～図１０（ｄ）は、ロードポート４の動作を示す説明図である。図１１（ａ）は、蓋１０２が正常に閉められた状態を示す説明図である。図１１（ｂ）は、蓋１０２が正常に閉められていない状態を示す説明図である。本実施形態において「蓋１０２が正常に閉められた状態」とは、蓋１０２の端面１２１ａがドア本体５０の前端面５０ａと略平行である状態をいう。この状態では、全ての係合爪１３２ａ、１３３ａ、１４２ａ、１４３ａが、それぞれ対応する係合孔１１４、１１５、１１６、１１７に正常に係合している（図１１（ａ）参照）と推定することができる。一方、「蓋１０２が正常に閉められていない状態」とは、蓋１０２の端面１２１ａがドア本体５０の前端面５０ａに対して傾いている状態をいう。この状態は、いずれか１以上の係合爪１３２ａ、１３３ａ、１４２ａ、１４３ａが、対応する係合孔１１４、１１５、１１６、１１７に係合していないこと（図１１（ｂ）参照）を意味する。
　制御部４７は、ドア本体５０に吸着保持された蓋１０２をＦＯＵＰ１０１に取り付ける過程において、蓋１０２が正常に閉まっているか否かの判定（以下、正否判定）を行う。上述したように、制御部４７は、ドア本体５０を退避位置（図１０（ａ）参照）から開放位置（図１０（ｂ）参照）へ移動させ、さらに開放位置から閉止位置（図１０（ｃ）参照）へ移動させる。制御部４７は、ドア本体５０を閉止位置へ移動させ終わるまでは正否判定を行わない。制御部４７は、ドア本体５０を閉止位置へ移動させ終わった段階で正否判定を開始する。より具体的には、制御部４７は、ドア本体５０を閉止位置へ移動させ終わった後、上述した蓋１０２の施錠、パージ処理及び吸着解除を行っている間、正否判定を行う。
　正否判定の具体的な方法について説明する。制御部４７は、蓋１０２の施錠、パージ処理及び吸着解除が完了するまで、複数の接触センサ８０から受信した信号に基づき、所定の周期で判定を行う。制御部４７は、複数の接触センサ８０から受信した信号の全てが接触を示す信号であるとき、蓋１０２が正常に閉まっていると判定する。これは、正否判定が行われている間、蓋１０２の端面１２１ａがドア本体５０の前端面５０ａと略平行であり、全ての接触センサ８０が蓋１０２によって押されていることを意味する（図１１（ａ）参照）。言い換えれば、この場合、複数の接触センサ８０の全てによって、蓋１０２とドア本体５０との前後方向における距離が正常であることを示す情報が検知されている。
　一方、制御部４７は、蓋１０２の施錠、パージ処理及び吸着解除が完了するまでの間に、複数の接触センサ８０のうちいずれか１以上から受信した信号が非接触を示す信号であったとき、蓋１０２が正常に閉まっていないと判定する。これは、正否判定が行われている間、蓋１０２の端面１２１ａがドア本体５０の前端面５０ａに対して傾いていることを意味する。言い換えれば、この場合、複数の接触センサ８０のいずれか１つ以上によって、蓋１０２とドア本体５０との前後方向における距離が異常であることを示す情報が検知されている。
　なお、制御部４７は、個々の接触センサ８０による検知結果について正否判定を行うのではなく、全ての接触センサ８０から受信する信号を総合的に考慮して、蓋１０２全体に関する正否判定を行う。これは、蓋１０２のうち正常に閉まっていない部分が接触センサ８０に接触し、蓋１０２のうち正常に閉まっている部分が接触センサ８０に接触していない可能性もあるためである。例えば図１１（ｂ）に示すように、蓋１０２の係合爪１３２ａ又は係合爪１４２ａがＦＯＵＰ本体１０１と正常に係合しておらず、蓋１０２の上側部分が下側部分よりも前側に位置している場合を想定する。このとき、蓋１０２の上側部分が接触センサ８０ＬＵ及び接触センサ８０ＲＵに接触している。一方、この場合、係合爪１３３ａ及び係合爪１４３ａがＦＯＵＰ本体１０１と正常に係合していても、蓋１０２の下側部分は、接触センサ８０ＬＤ及び接触センサ８０ＲＤに接触していない。このように、ロードポート４においては、蓋１０２のどの部分が正常に施錠されていないのかまでは判定できないが、蓋１０２全体が正常に閉まっているかどうか判定できる。
　なお、正否判定が行われている間、ドア本体５０の前後方向における位置は、モータ５７によって決まっている。一方、蓋１０２は、エアシリンダ４５によって、載置部４４を介して後側へ付勢されている。蓋１０２は、ドア本体５０（及び接触センサ８０）によって前側へ押されたとき、載置部４４と共に前側へ移動可能である。
　その後、制御部４７は、載置部４４を蓋開閉位置から受渡位置に移動させる。制御部４７は、ロック爪４４ｂによる載置部４４へのＦＯＵＰ１００の固定を解除する。これにより、ＦＯＵＰ１００をロードポート４からＦＯＵＰ搬送装置に引き渡すことが可能になる。
　以上のように、第１検知部による検知結果と第２検知部による検知結果が同じである場合、蓋１０２とドア本体５０とが互いに傾いていないと判断できる。これにより、蓋１０２がＦＯＵＰ本体１０１に正常に固定されていると判断できる。一方、第１検知部による検知結果と第２検知部による検知結果が互いに異なっている場合、蓋１０２とドア本体５０とが互いに傾いていると判断できる。これにより、蓋１０２がＦＯＵＰ本体１０１に正常に固定されていないと判断できる。傾き検知部７０はドア本体５０に取り付けられているので、当該検知結果は、ベース４１の歪みによる影響を受けない。また、傾き検知部７０は蓋１０２とドア本体５０との傾きを検知するものであるため、仮にＦＯＵＰ１００の内部圧力が変化して、蓋１０２とＦＯＵＰ本体１０１との相対位置が多少ずれても、当該検知結果は、当該位置ずれによる影響を受けない。したがって、ＦＯＵＰ１００において蓋１０２が正常に閉められたかどうかに関する誤検知の発生を抑制できる。
　また、複数の接触センサ８０は、複数の係合爪１３２ａ、１３３ａ、１４２ａ、１４３ａに対応してそれぞれ設けられている。いずれかの係合爪が、対応する係合孔に正常に係合していない場合、特に当該係合爪の近傍において、蓋１０２の所定方向における位置が正常な位置から大きくずれうる。したがって、当該係合爪に対応する接触センサ８０によって、蓋１０２が正常に閉まっていないことを確実に検知できる。
　また、ドア本体５０を前後方向に移動させるモータ５７は、ドア本体５０の前後方向における位置を制御可能に構成されたステッピングモータである。また、蓋１０２は、エアシリンダ４５によって、載置部４４を介して後側へ付勢されている。蓋１０２は、ドア本体５０（及び接触センサ８０）によって前側へ押されたとき、載置部４４と共に前側へ移動可能である。ドア本体５０及び蓋１０２がモータ５７によってＦＯＵＰ本体１０１側（すなわち、前側）に押し付けられても、ＦＯＵＰ本体１０１が前側に移動できる。また、モータ５７はドア本体５０の位置を制御可能に構成されているので、仮に蓋１０２によってＦＯＵＰ本体１０１が押されても、ＦＯＵＰ本体１０１の前後方向における移動の長さは限られた範囲内に収まる。このため、ドア本体５０に加えられる力をエアシリンダ４５によって吸収できる。したがって、ドア本体５０又はその周辺の部材が歪むことを抑制できる。したがって、誤検知を効果的に抑制できる。
　また、傾き検知部７０は蓋１０２とドア本体５０との傾きを検知するものであるため、仮にパージ処理が行われている際に蓋１０２とＦＯＵＰ本体１０１との相対位置が多少ずれても、傾き検知部７０による検知結果は、当該位置ずれによる影響を受けない。したがって、誤検知を効果的に抑制できる。
　次に、前記実施形態に変更を加えた変形例について説明する。但し、前記実施形態と同様の構成を有するものについては、同じ符号を付して適宜その説明を省略する。
　（１）前記実施形態において、説明の便宜上、接触センサ８０ＬＵと接触センサ８０ＲＵとをまとめたものが本発明の第１検知部に相当し、接触センサ８０ＬＤと接触センサ８０ＲＤとをまとめたものが本発明の第２検知部に相当するものとした。しかしながら、これには限られない。例えば、接触センサＬＵと接触センサＬＤとをまとめたものが本発明の第１検知部に相当し、接触センサＲＵと接触センサＲＤとをまとめたものが本発明の第２検知部に相当するものとしても良い。或いは、上述した４つの接触センサ８０のうち任意の１つが本発明の第１検知部に相当し、別の任意の１つが本発明の第２検知部に相当するものとしても良い。
　（２）前記までの実施形態において、傾き検知部７０は４つの接触センサ８０を有するものとした。しかしながら、接触センサ８０の数は、これには限られない。接触センサ８０の数は、例えば２つであっても良い。一例として、ドア本体５０の上端部に配置された接触センサ８０ＲＵと、ドア本体５０の下端部に配置された接触センサ８０ＲＤとが設けられていても良い。この場合、仮想平面Ｐ内において、接触センサ８０ＲＵが設けられた位置が本発明の第１位置に相当する。接触センサ８０ＲＵが、本発明の第１検知部に相当する。仮想平面Ｐ内において、接触センサ８０ＲＤが設けられた位置が本発明の第２位置に相当する。接触センサ８０ＲＤが、本発明の第２検知部に相当する。別の例として、傾き検知部７０は、接触センサ８０ＬＵと接触センサ８０ＬＤのみを接触センサ８０として有していても良い。傾き検知部７０は、接触センサ８０ＬＵと接触センサ８０ＲＵのみを接触センサ８０として有していても良い。傾き検知部７０は、接触センサ８０ＬＤと接触センサ８０ＲＤのみを接触センサ８０として有していても良い。２つの接触センサ８０は、仮想平面Ｐ上で仮想直線ＶＬ１又は仮想直線ＶＬ２を挟んで互いに反対側に配置されていると好ましい。但し、これには限られない。
　或いは、複数の接触センサ８０は、必ずしもいずれかの係合爪に対応して設けられていなくても良い。複数の接触センサ８０は、例えば、ドア本体５０の左右方向における中央部に配置されていても良い。このように、複数の接触センサ８０は、仮想平面Ｐ内において複数の係合爪から離れた位置に配置されていても良い。この場合、複数の接触センサ８０の１つはドア本体５０の上端部に配置され、複数の接触センサ８０の別の１つはドア本体５０の下端部に配置されていても良い。或いは、複数の接触センサ８０は、例えば、ドア本体５０の上下方向における中央部に配置されていても良い。この場合、複数の接触センサ８０の１つはドア本体５０の左端部に配置され、複数の接触センサ８０の別の１つはドア本体５０の右端部に配置されていても良い。
　（３）前記までの実施形態において、傾き検知部７０は複数の接触センサ８０を有するものとした。しかしながら、これには限られない。傾き検知部７０は、接触センサ８０の代わりに複数の光学センサ（不図示）を有していても良い。各光学センサは、不図示の発光部及び受光部を有し、蓋１０２とドア本体５０との距離に関する情報を検知可能に構成されていても良い。或いは、傾き検知部７０は、不図示のカメラを有していても良い。
　（４）前記までの実施形態において、ドア本体５０がモータ５７によって前後方向に移動駆動され、載置部４４がエアシリンダ４５によって前後方向に移動駆動されるものとした。しかしながら、ドア本体５０及び載置部４４を移動させる移動手段は、これには限られない。
　（５）前記までの実施形態において、ロードポート４はパージ処理が行われることが可能に構成されているものとした。しかしながら、これには限られない。ロードポート４は、パージ処理を行うための構成を備えていなくても良い。
　（６）前記までの実施形態において、ロードポート４は制御部４７を有するものとした。しかしながら、これには限られない。例えば、ＥＦＥＭ３の制御装置５がロードポート４を制御しても良い。
　（７）不活性ガスとして、窒素以外のガスがＦＯＵＰ１００に注入されても良い。ロードポート４に載置される容器は、ＦＯＵＰ１００に限られない。例えば、工場間で基板を輸送するためのＦＯＳＢ（Front Opening Shipping Box）がロードポート４に載置されても良い。ロードポート４は、ＥＦＥＭ３以外の設備に搭載されていても良い。
　　４　　　　　ロードポート
　　９　　　　　搬送空間
　　１０　　　　外部空間
　　４１　　　　ベース（仕切壁）
　　４１ａ　　　開口（ベース開口）
　　４２　　　　ドア機構
　　４４　　　　載置部
　　４４ｃ　　　ガス注入ノズル（置換部）
　　４４ｄ　　　ガス排出ノズル（置換部）
　　４５　　　　エアシリンダ
　　５０　　　　ドア本体
　　５１　　　　吸着保持部（保持部）
　　５７　　　　モータ（移動部）
　　７０　　　　傾き検知部
　　８０　　　　接触センサ（距離情報検知部）
　　８０ＲＤ　　接触センサ（第２検知部）
　　８０ＲＵ　　接触センサ（第１検知部）
　　１００　　　ＦＯＵＰ（容器）
　　１０１　　　ＦＯＵＰ本体（容器本体）
　　１０２　　　蓋
　　１１３　　　開口（容器開口）
　　１１４　　　係合孔
　　１１５　　　係合孔
　　１１６　　　係合孔
　　１１７　　　係合孔
　　１３２ａ　　係合爪
　　１３３ａ　　係合爪
　　１４２ａ　　係合爪
　　１４３ａ　　係合爪
　　Ｓｆ　　　　内部空間
　　Ｗ　　　　　ウェハ（搬送対象物）

Claims (5)

  1. 　搬送対象物を収容するように構成され、側面に容器開口が形成された容器本体と、前記容器開口を開閉可能に構成された蓋と、を有する容器に対する前記蓋の脱着を行うロードポートであって、
    　前記容器本体の内部空間と前記搬送対象物が搬送される搬送空間とを接続するように構成され且つ前記蓋が通過可能に構成されたベース開口が形成され、前記内部空間及び前記搬送空間を外部空間と隔てるように構成された仕切壁と、
    　前記容器本体が載置されるように構成された載置部と、
    　前記容器本体に対する前記蓋の脱着を実行可能に構成されたドア機構と、を備え、
    　前記ドア機構は、
    　前記ベース開口を開閉可能に構成され、前記載置部に載置された前記容器本体に取り付けられている前記蓋と対向するように配置されたドア本体と、
    　前記蓋を前記ドア本体に保持させるように構成された保持部と、
    　前記蓋と前記ドア本体との距離に関する情報をそれぞれ検知するように構成された複数の距離情報検知部を含み、前記保持部に保持された前記蓋と前記ドア本体との傾きに関する情報を検知するように構成された傾き検知部と、を有し、
    　前記複数の距離情報検知部は、
    　前記ドア本体の前記蓋と対向する第１位置に取り付けられた第１検知部と、
    　前記ドア本体の前記蓋と対向する第２位置に取り付けられた第２検知部と、を少なくとも有することを特徴とするロードポート。
  2. 　前記複数の距離情報検知部は、
    　前記容器本体に設けられた前記複数の係合孔にそれぞれ係合している係合位置と、前記複数の係合孔との係合が解除された解除位置との間で移動可能に構成された複数の係合爪に対応してそれぞれ設けられていることを特徴とする請求項１に記載のロードポート。
  3. 　前記複数の距離情報検知部の各々は、前記複数の距離情報検知部の各々と前記蓋との接触の有無を検知する接触センサを有し、
    　前記ドア機構は、前記ドア本体の位置を制御可能に構成されたステッピングモータを有し、
    　前記載置部を前記ドア本体側へ付勢可能に構成されたエアシリンダ、を備えることを特徴とする請求項１又は２に記載のロードポート。
  4. 　前記容器の内部空間を満たしている第１気体を、前記第１気体とは別の第２気体に置換可能に構成された置換部、を備えることを特徴とする請求項１又は２に記載のロードポート。
  5. 　請求項１又は２に記載のロードポートにおいて、前記蓋が前記ドア本体に対して傾いているか否か判断する、蓋の傾き検知方法であって、
    　前記複数の距離情報検知部の全てによって、前記蓋と前記ドア本体との距離が正常であることを示す情報が検知された場合に、前記蓋が前記ドア本体に対して傾いていないと判断し、
    　前記複数の距離情報検知部のうちいずれか１つ以上によって、前記蓋と前記ドア本体との距離が異常であることを示す情報が検知された場合に、前記蓋が前記ドア本体に対して傾いていると判断することを特徴とする蓋の傾き検知方法。
PCT/JP2023/038985 2022-11-16 2023-10-27 ロードポート、及び蓋の傾き検知方法 WO2024106184A1 (ja)

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2022183090A JP2024072356A (ja) 2022-11-16 2022-11-16 ロードポート、及び蓋の傾き検知方法
JP2022-183090 2022-11-16

Publications (1)

Publication Number Publication Date
WO2024106184A1 true WO2024106184A1 (ja) 2024-05-23

Family

ID=91084365

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
PCT/JP2023/038985 WO2024106184A1 (ja) 2022-11-16 2023-10-27 ロードポート、及び蓋の傾き検知方法

Country Status (2)

Country Link
JP (1) JP2024072356A (ja)
WO (1) WO2024106184A1 (ja)

Citations (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2004537850A (ja) * 2001-07-13 2004-12-16 アシスト テクノロジーズ インコーポレイテッド スマート・ポートドアを有するｓｍｉｆロードポートインターフェース
JP4303773B1 (ja) * 2008-06-27 2009-07-29 Ｔｄｋ株式会社 密閉容器の蓋開閉システム及び蓋開閉方法
JP2010129855A (ja) * 2008-11-28 2010-06-10 Tdk Corp 密閉容器の蓋開閉システム
JP2010153843A (ja) * 2008-11-28 2010-07-08 Tdk Corp 密閉容器の蓋閉鎖方法及び密閉容器の蓋開閉システム
WO2018155312A1 (ja) * 2017-02-22 2018-08-30 東京エレクトロン株式会社 基板収納処理装置、基板収納処理方法、及び記録媒体
JP2020096118A (ja) * 2018-12-14 2020-06-18 シンフォニアテクノロジー株式会社 搬送異常検知システム、搬送異常検知方法

Patent Citations (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2004537850A (ja) * 2001-07-13 2004-12-16 アシスト テクノロジーズ インコーポレイテッド スマート・ポートドアを有するｓｍｉｆロードポートインターフェース
JP4303773B1 (ja) * 2008-06-27 2009-07-29 Ｔｄｋ株式会社 密閉容器の蓋開閉システム及び蓋開閉方法
JP2010129855A (ja) * 2008-11-28 2010-06-10 Tdk Corp 密閉容器の蓋開閉システム
JP2010153843A (ja) * 2008-11-28 2010-07-08 Tdk Corp 密閉容器の蓋閉鎖方法及び密閉容器の蓋開閉システム
WO2018155312A1 (ja) * 2017-02-22 2018-08-30 東京エレクトロン株式会社 基板収納処理装置、基板収納処理方法、及び記録媒体
JP2020096118A (ja) * 2018-12-14 2020-06-18 シンフォニアテクノロジー株式会社 搬送異常検知システム、搬送異常検知方法

Also Published As

Publication number Publication date
JP2024072356A (ja) 2024-05-28

Similar Documents

Publication Publication Date Title
KR101704341B1 (ko) 가스 주입 장치, 가스 배출 장치, 가스 주입 방법 및 가스 배출 방법
EP1793420B1 (en) Attaching and removing unit of lid for wafer carrier
US8657346B2 (en) Lid opening/closing system for closed container
US20110188977A1 (en) Foup opener and operating method thereof
US8322759B2 (en) Closed container and lid opening/closing system therefor
JP6554872B2 (ja) ガスパージ装置、ロードポート装置、パージ対象容器の設置台およびガスパージ方法
US20010038783A1 (en) Dual loading port semiconductor processing equipment
US8528947B2 (en) Closed container and lid opening/closing system therefor
KR100729699B1 (ko) 클린 박스 개폐 장치를 구비하는 클린 장치
JP2016192496A (ja) ガスパージ装置、ロードポート装置、パージ対象容器の設置台およびガスパージ方法
EP0980585A1 (en) Multiple single-wafer loadlock wafer processing apparatus and loading and unloading method therefor
WO2024106184A1 (ja) ロードポート、及び蓋の傾き検知方法
KR100896843B1 (ko) 포드 크램핑 유닛, 포드 크램핑 유닛을 장비한 로드 포트,및 포드 및 로드 포트를 포함하는 소규모 환경 시스템
US20100280653A1 (en) Substrate processing apparatus and semiconductor device manufacturing method
WO2024106183A1 (ja) ロードポート、及び蓋の閉止状態判定方法
US20020124960A1 (en) Substrate processing apparatus
KR100594371B1 (ko) 카세트 반출 기능을 갖는 로더장치
TW202421559A (zh) 裝載埠及蓋的關閉狀態判定方法
KR20210093831A (ko) 도어 이송 장치
US20040126207A1 (en) Method and apparatus for undocking substrate pod with door status check
KR100774982B1 (ko) 기판을 이송하는 시스템 및 방법
TWI788711B (zh) 裝載埠裝置以及裝載埠裝置的驅動方法
KR102344253B1 (ko) 사이드 스토리지 유닛 및 이를 구비하는 기판 처리 시스템
KR200388237Y1 (ko) 카세트 반출 기능을 갖는 로더장치
KR100829921B1 (ko) 기판을 이송하는 방법 및 시스템

Legal Events

Date Code Title Description
121 Ep: the epo has been informed by wipo that ep was designated in this application

Ref document number: 23891337

Country of ref document: EP

Kind code of ref document: A1