WO2023080142A1

WO2023080142A1 - フィルタデバイス

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Publication number: WO2023080142A1
Application number: PCT/JP2022/040938
Authority: WO
Inventors: 博也鈴木
Original assignee: 株式会社村田製作所
Priority date: 2021-11-08
Filing date: 2022-11-02
Publication date: 2023-05-11

Abstract

並列腕共振子（３０１）は、並列腕共振子（３０１１）と並列腕共振子（３０１２）とを備える。並列腕共振子（３０１）は、直列腕共振子（２０１）の第１端側に接続される。並列腕共振子（３０２）は、直列腕共振子（２０２）の第２端側に接続される。並列腕共振子（３０１）は、それぞれが第１端に接続する並列腕共振子（３０１１）と並列腕共振子（３０１２）とを有する。並列腕共振子（３０１１）は、グランドに直接接続される。並列腕共振子（３０１２）は、キャパシタ（４０）を通じてグランドに接続される。並列腕共振子（３０２）は、それぞれが第２端に接続する並列腕共振子（３０２１）と並列腕共振子（３０２２）とを有する。並列腕共振子（３０２１）は、グランドに直接接続される。並列腕共振子（３０２２）は、キャパシタ（４０）を通じてグランドに接続される。

Description

フィルタデバイス

　本発明は、直列腕共振子と並列腕共振子とを用いたフィルタデバイスに関する。

　特許文献１には、フィルタが記載されている。特許文献１に記載のフィルタは、複数の直列腕共振子と複数の並列腕共振子を備える。複数の直列腕共振子と複数の並列腕共振子は、ラダー型に接続されている。

　複数の並列腕共振子は、それぞれが個別に、信号線路とグランドとの間に接続されている。この際、複数の並列腕共振子には、それぞれ個別にインダクタが直列接続されている。

特開２０１３－１２３２７０号公報

　しかしながら、特許文献１のフィルタのような構成では、インダクタの品質係数によってフィルタ特性が影響を受け、フィルタ特性が劣化してしまうことがあった。より具体的には、通過帯域の低域側の特性が劣化してしまう。

　したがって、本発明の目的は、通過帯域の低域側の特性を向上可能なフィルタデバイスを提供することにある。

　この発明のフィルタデバイスは、少なくとも１つの直列腕共振子、複数の並列腕共振子、および、キャパシタを備える。少なくとも１つの直列腕共振子は、信号線路に直列に接続され、第１端および第２端を備える。複数の並列腕共振子は、信号線路とグランドとの間に接続される。

　複数の並列腕共振子は、第１並列腕共振子と第２並列腕共振子とを備える。第１並列腕共振子は、直列腕共振子の第１端側に接続される。第２並列腕共振子は、直列腕共振子の第２端側に接続される。第１並列腕共振子は、それぞれが第１端に接続する第３並列腕共振子と第４並列腕共振子とを有する。第３並列腕共振子は、グランドに直接接続される。第４並列腕共振子は、キャパシタを通じてグランドに接続される。

　この構成では、第４並列腕共振子およびキャパシタからなる直列回路と第３並列腕共振子との並列回路が信号線路とグランドとの間に接続される。これにより、この並列回路によって形成される並列腕共振回路の共振周波数と***振周波数の周波数差を、単独の並列腕共振子を用いた場合の共振周波数と***振周波数との周波数差よりも小さくできる。また、共振周波数と***振周波数とを調整できることで、フィルタデバイスの通過帯域に近づけることができる。

　この発明によれば、通過帯域の低域側の特性を向上できる。

図１は、第１の実施形態に係るフィルタデバイスの等価回路図である。図２は、第１の実施形態に係るフィルタデバイスおよび比較例の通過特性（Ｓ１２）を示すグラフである。図３は、図２に示す通過特性における通過帯域を含む周波数帯域を拡大したグラフである。図４は、第１の実施形態に係るフィルタデバイスの通過帯域の低域側の減衰特性を拡大したグラフである。図５は、第２の実施形態に係るフィルタデバイスの等価回路図である。図６は、第２の実施形態に係るフィルタデバイスおよび比較例の通過特性（Ｓ１２）を示すグラフである。

　［第１の実施形態］
　本発明の第１の実施形態に係るフィルタデバイスについて、図を参照して説明する。

　（フィルタデバイス１０の構成）
　図１は、第１の実施形態に係るフィルタデバイスの等価回路図である。図１に示すように、フィルタデバイス１０は、直列腕共振子２０１、直列腕共振子２０２、並列腕共振子３０１、並列腕共振子３０２、および、キャパシタ４０を備える。並列腕共振子３０１は、並列腕共振子３０１１および並列腕共振子３０１２によって構成される。並列腕共振子３０２は、並列腕共振子３０２１および並列腕共振子３０２２によって構成される。フィルタデバイス１０は、入出力端子Ｐ１、入出力端子Ｐ２、信号線路１１１、信号線路１１２、および、グランドを備える。

　フィルタデバイス１０は、例えば、圧電基板と回路基板とによって形成される。直列腕共振子２０１、直列腕共振子２０２、並列腕共振子３０１（並列腕共振子３０１１、並列腕共振子３０１２）、並列腕共振子３０２（並列腕共振子３０２１、並列腕共振子３０２２）、および、キャパシタ４０は、圧電基板に形成されたＩＤＴ電極によって形成される。入出力端子Ｐ１、入出力端子Ｐ２、信号線路１１１、信号線路１１２、および、グランドは、圧電基板または回路基板に形成された電極パターンによって形成される。

　直列腕共振子２０１および直列腕共振子２０２は、入出力端子Ｐ１と入出力端子Ｐ２との間に直列接続される。言い換えれば、直列腕共振子２０１および直列腕共振子２０２は、入出力端子Ｐ１と入出力端子Ｐ２とを接続する信号線路に対して、直列に接続される。

　信号線路における入出力端子Ｐ１と直列腕共振子２０１とを接続する部分が、信号線路１１１である。信号線路における入出力端子Ｐ２と直列腕共振子２０２とを接続する部分が、信号線路１１２である。直列腕共振子２０１における信号線路１１１に接続する端と、直列腕共振子２０２における信号線路１１２に接続する端とが、それぞれに本発明の「直列腕共振子の第１端」と「直列腕共振子の第２端」とに対応する。

　並列腕共振子３０１は、並列腕共振子３０１１と並列腕共振子３０１２とによって所望の共振特性が得られるように設定されている。言い換えれば、並列腕共振子３０１は、並列腕共振子３０１１と並列腕共振子３０１２とに分割されている。並列腕共振子３０１１の共振周波数と並列腕共振子３０１２の共振周波数は同じである。なお、ここでの周波数が同じとは製造誤差による周波数差の範囲内を含む。

　並列腕共振子３０１は、信号線路１１１とグランドとの間に接続される。より具体的には、並列腕共振子３０１１の一方端は、信号線路１１１に接続され、並列腕共振子３０１１の他方端は、グランドに直接接続される。並列腕共振子３０１２の一方端は、信号線路１１１に接続され、並列腕共振子３０１２の他方端は、キャパシタ４０を通じてグランドに直接接続される。なお、グランドに直接接続されるとは、キャパシタを通じることなくグランドに接続されることを意味し、以下の説明においても、この定義は同じである。

　並列腕共振子３０２は、並列腕共振子３０２１と並列腕共振子３０２２とによって所望の共振特性が得られるように設定されている。言い換えれば、並列腕共振子３０２は、並列腕共振子３０２１と並列腕共振子３０２２とに分割されている。並列腕共振子３０２１の共振周波数と並列腕共振子３０２２の共振周波数は同じである。なお、ここでの周波数が同じとは製造誤差による周波数差の範囲内を含む。

　並列腕共振子３０２は、信号線路１１２とグランドとの間に接続される。より具体的には、並列腕共振子３０２１の一方端は、信号線路１１２に接続され、並列腕共振子３０２１の他方端は、グランドに直接接続される。並列腕共振子３０２２の一方端は、信号線路１１２に接続され、並列腕共振子３０２２の他方端は、キャパシタ４０を通じてグランドに直接接続される。

　この構成では、並列腕共振子３０１２の他方端と並列腕共振子３０２２の他方端とは、接続され、このノードがキャパシタ４０を通じてグランドに接続される。

　そして、直列腕共振子２０１における信号線路１１１側は、並列腕共振子３０１２およびキャパシタ４０の直列回路と、並列腕共振子３０１１との並列回路（第１並列腕共振回路）によって、グランドに接続される。また、直列腕共振子２０２における信号線路１１２側は、並列腕共振子３０２２およびキャパシタ４０の直列回路と、並列腕共振子３０２１との並列回路（第２並列腕共振回路）によって、グランドに接続される。

　この構成によって、フィルタデバイス１０は、入出力端子Ｐ１と入出力端子Ｐ２とを接続する信号線路に対して、直列腕共振子２０１および直列腕共振子２０２が直列接続された構成を備える。さらに、フィルタデバイス１０は、直列腕共振子２０１の入出力端子Ｐ１側（信号線路１１１）側が第１並列腕共振回路（並列腕共振子３０１１、並列腕共振子３０１２、および、キャパシタ４０）によってグランドに接続された構成を備える。また、さらに、フィルタデバイス１０は、直列腕共振子２０２の入出力端子Ｐ２側（信号線路１１２）側が第２並列腕共振回路（並列腕共振子３０２１、並列腕共振子３０２２、および、キャパシタ４０）によってグランドに接続された構成を備える。

　なお、この構成では、例えば、並列腕共振子３０１が本発明の「第１並列腕共振子」に対応し、並列腕共振子３０２が本発明の「第２並列腕共振子」に対応すれば、並列腕共振子３０１１が本発明の「第３並列腕共振子」に対応し、並列腕共振子３０１２が本発明の「第４並列腕共振子」に対応し、並列腕共振子３０２１が本発明の「第５並列腕共振子」に対応し、並列腕共振子３０２２が本発明の「第６並列腕共振子」に対応する。

　一方、並列腕共振子３０１が本発明の「第２並列腕共振子」に対応し、並列腕共振子３０２が本発明の「第１並列腕共振子」に対応すれば、並列腕共振子３０１１が本発明の「第５並列腕共振子」に対応し、並列腕共振子３０１２が本発明の「第６並列腕共振子」に対応し、並列腕共振子３０２１が本発明の「第３並列腕共振子」に対応し、並列腕共振子３０２２が本発明の「第４並列腕共振子」に対応する。

　（フィルタデバイス１０の特性）
　図２は、第１の実施形態に係るフィルタデバイスおよび比較例の通過特性（Ｓ１２）を示すグラフである。図２において、実線は本願発明（フィルタデバイス１０）の特性を示し、破線は比較例の特性を示す。図３は、図２に示す通過特性における通過帯域を含む周波数帯域を拡大したグラフである。なお、比較例は、本願発明のような並列共振素子を分割した構成を備えず、キャパシタ４０を備えない構成である。すなわち、比較例は、直列腕共振子の両側の信号線路とグランドとの間に、それぞれ単独の並列腕共振子を接続した構成である。

　フィルタデバイス１０が上述の構成を備えることによって、図２、図３に示すような通過特性を実現できる。

　まず、基本的な特性として、フィルタデバイス１０の通過特性における通過帯域は、複数の直列腕共振子２０１、２０２の共振周波数および複数の並列腕共振子３０１１、３０１２、３０２１、３０２２の***振周波数によって設定される。フィルタデバイス１０の通過帯域の高域側の減衰特性は、複数の直列腕共振子２０１、２０２の***振周波数によって設定される。フィルタデバイス１０の通過帯域の低域側の減衰特性は、複数の並列腕共振子３０１１、３０１２、３０２１、３０２２の共振周波数およびキャパシタ４０のキャパシタンスによって設定される。

　ここで、フィルタデバイス１０が上述の回路構成を備えることによって、図２、図３の太矢印に示すように、比較例と比べて、通過帯域の低域側の減衰が急峻になる。すなわち、周波数の変化量に対する減衰量の変化量が大きくなる。

　これは、次に示す理由による。図４は、第１の実施形態に係るフィルタデバイスの通過帯域の低域側の減衰特性を拡大したグラフである。

　上述のように、フィルタデバイス１０は、並列腕共振子３０１２およびキャパシタ４０の直列回路と並列腕共振子３０１１との並列回路である第１並列腕共振回路を、直列腕共振子２０１、２０２の一方端側に備える。また、フィルタデバイス１０は、並列腕共振子３０２２およびキャパシタ４０の直列回路と並列腕共振子３０２１との並列回路である第２並列腕共振回路を、直列腕共振子２０１、２０２の他方端側に備える。

　このような構成によって、並列腕共振子３０１１、３０２１に並列接続されるキャパシタンスを大きくすることができる。これにより、第１並列腕共振回路および第２並列腕共振回路のＱ値を大きくできる。したがって、第１並列腕共振回路および第２並列腕共振回路によって形成される減衰極の急峻性を向上できる。また、図４の矢印に示すように、第１並列腕共振回路および第２並列腕共振回路による減衰極の周波数を通過帯域に近づけることができる。この結果、フィルタデバイス１０は、通過帯域の低域側の減衰特性を急峻にできる。したがって、フィルタデバイス１０は、通過帯域の低域側の減衰特性を向上できる。

　さらに、フィルタデバイス１０は、並列腕共振子３０１２にキャパシタ４０が直列接続され、並列腕共振子３０２２にキャパシタ４０が直列接続されている。これにより、図４に示すように、並列腕共振子３０１２の共振周波数と***振周波数との周波数差を小さくできる。この結果、第１並列腕共振回路と第２並列腕共振回路による減衰極が急峻になり、フィルタデバイス１０は、通過帯域の低域側の減衰特性を向上できる。

　なお、キャパシタ４０は、複数の直列腕共振子、および、複数の並列腕共振子と同様に、ＩＤＴ電極を用いて形成される。すなわち、互いに対向するＩＤＴ電極に発生する容量によって形成される。このため、キャパシタ４０は、圧電基板に対するＩＤＴ電極の形成方向によって、共振を生じさせることができる。この場合、キャパシタ４０の共振周波数は、並列腕共振子３０１１、３０１２、３０２１、３０２２の共振周波数よりも低くするとよい。これにより、フィルタデバイス１０は、上述の所望の減衰特性を、より確実に実現できる。

　［第２の実施形態］
　本発明の第２の実施形態に係るフィルタデバイスについて、図を参照して説明する。図５は、第２の実施形態に係るフィルタデバイスの等価回路図である。図６は、第２の実施形態に係るフィルタデバイスおよび比較例の通過特性（Ｓ１２）を示すグラフである。図６において、実線は本願発明（フィルタデバイス１０Ａ）の特性を示し、破線は比較例の特性を示す。

　図５に示すように、第２の実施形態に係るフィルタデバイス１０Ａは、第１の実施形態に係るフィルタデバイス１０に対して、より多くの直列腕共振子および並列腕共振子を備える点で異なる。

　フィルタデバイス１０Ａは、複数の直列腕共振子２０１Ａ－２１０Ａ、複数の並列腕共振子３０１Ａ－３０６Ａ、および、キャパシタ４０Ａを備える。

　複数の直列腕共振子２０１Ａ－２１０Ａは、入出力端子Ｐ１と入出力端子Ｐ２との間に直列接続される。複数の直列腕共振子２０１Ａ－２１０Ａは、入出力端子Ｐ１側から入出力端子Ｐ２側に向けて、直列腕共振子２０１Ａ、直列腕共振子２０２Ａ、直列腕共振子２０３Ａ、直列腕共振子２０４Ａ、直列腕共振子２０５Ａ、直列腕共振子２０６Ａ、直列腕共振子２０７Ａ、直列腕共振子２０８Ａ、直列腕共振子２０９Ａ、直列腕共振子２１０Ａの順に接続される。

　並列腕共振子３０１Ａは、入出力端子Ｐ１と直列腕共振子２０１Ａとを接続する信号線路とグランドとの間に接続される。並列腕共振子３０１Ａは、グランドに直接接続される。

　並列腕共振子３０２Ａは、並列腕共振子３０２１Ａと並列腕共振子３０２２Ａとを備える。並列腕共振子３０２１Ａの共振周波数と並列腕共振子３０２２Ａの共振周波数とは同じである。すなわち、並列腕共振子３０２Ａは、並列腕共振子３０２１Ａと並列腕共振子３０２２Ａとに分割されている。

　並列腕共振子３０２１Ａは、直列腕共振子２０１Ａと直列腕共振子２０２Ａとを接続する信号線路とグランドとの間に接続される。並列腕共振子３０２１Ａは、グランドに直接接続される。

　並列腕共振子３０２２Ａは、直列腕共振子２０１Ａと直列腕共振子２０２Ａとを接続する信号線路とグランドとの間に接続される。並列腕共振子３０２２Ａは、キャパシタ４０Ａを通じてグランドに接続される。

　並列腕共振子３０３Ａは、並列腕共振子３０３１Ａと並列腕共振子３０３２Ａとを備える。並列腕共振子３０３１Ａの共振周波数と並列腕共振子３０３２Ａの共振周波数とは同じである。すなわち、並列腕共振子３０３Ａは、並列腕共振子３０３１Ａと並列腕共振子３０３２Ａとに分割されている。

　並列腕共振子３０３１Ａは、直列腕共振子２０２Ａと直列腕共振子２０３Ａとを接続する信号線路とグランドとの間に接続される。並列腕共振子３０３１Ａは、グランドに直接接続される。

　並列腕共振子３０３２Ａは、直列腕共振子２０２Ａと直列腕共振子２０３Ａとを接続する信号線路とグランドとの間に接続される。並列腕共振子３０３２Ａは、キャパシタ４０Ａを通じてグランドに接続される。

　並列腕共振子３０４Ａは、直列腕共振子２０４Ａと直列腕共振子２０５Ａとを接続する信号線路とグランドとの間に接続される。並列腕共振子３０４Ａは、グランドに直接接続される。

　並列腕共振子３０５Ａと並列腕共振子３０６Ａとは、直列腕共振子２０６Ａと直列腕共振子２０７Ａとを接続する信号線路とグランドとの間に接続される。並列腕共振子３０５Ａと並列腕共振子３０６Ａとは、直列に接続され、並列腕共振子３０５Ａは、信号ラインに直接接続され、並列腕共振子３０６Ａは、グランドに直接接続される。

　このような構成によって、複数の直列腕共振子２０１Ａ－２１０Ａおよび複数の並列腕共振子３０１Ａ－３０６Ａの共振周波数を、フィルタデバイス１０Ａとして所望する特性が得られるように、それぞれ適宜設定する。また、キャパシタ４０Ａの共振周波数を、フィルタデバイス１０Ａとして所望する特性が得られるように適宜設定する。

　この構成において、直列腕共振子２０２Ａ、並列腕共振子３０２Ａ（並列腕共振子３０２１Ａおよび並列腕共振子３０２２Ａ）、並列腕共振子３０３Ａ（並列腕共振子３０３１Ａおよび並列腕共振子３０３２Ａ）、および、キャパシタ４０Ａからなる部分が、第１の実施形態に係るフィルタデバイス１０と同様の作用効果を奏する。

　そして、フィルタデバイス１０Ａは、この構成を備えることによって、図６に示すような通過特性を実現でき、通過帯域の低域側の減衰特性を向上できる。

　この際、並列腕共振子３０２Ａ（並列腕共振子３０２１Ａ、３０２２Ａ）、並列腕共振子３０３Ａ（並列腕共振子３０３１Ａ、３０３２Ａ）の共振周波数は、並列腕共振子３０１Ａ、３０４Ａ、３０５Ａ、３０６Ａの共振周波数よりも高い。すなわち、並列腕共振子３０２Ａ（並列腕共振子３０２１Ａ、３０２２Ａ）、並列腕共振子３０３Ａ（並列腕共振子３０３１Ａ、３０３２Ａ）の共振周波数は、並列腕共振子３０１Ａ、３０４Ａ、３０５Ａ、３０６Ａの共振周波数よりも、フィルタデバイス１０Ａの通過帯域に近い。これにより、フィルタデバイス１０Ａは、通過帯域の低域側の減衰特性を、より確実に向上できる。

　なお、フィルタデバイス１０Ａにおいては、並列腕共振子３０２Ａ、３０３Ａが、それぞれ本発明の「第１並列腕共振子」および「第２並列腕共振子」に対応し、並列腕共振子３０２１Ａ、並列腕共振子３０３１Ａが、それぞれ本発明の「第３並列腕共振子」および「第５並列腕共振子」に対応し、並列腕共振子３０２２Ａ、並列腕共振子３０３２Ａが、それぞれ本発明の「第４並列腕共振子」および「第６並列腕共振子」に対応する。そして、並列腕共振子３０１Ａ、３０４Ａ、３０５Ａ、３０６Ａが、本発明の「第７並列腕共振子」に対応する。

　なお、上述の図５に示す回路構成は一例であり、フィルタデバイス１０に対応する回路構成（例えば、フィルタデバイス１０Ａであれば、直列腕共振子２０２Ａ、並列腕共振子３０２Ａ（並列腕共振子３０２１Ａおよび並列腕共振子３０２２Ａ）、並列腕共振子３０３Ａ（並列腕共振子３０３１Ａおよび並列腕共振子３０３２Ａ）、および、キャパシタ４０Ａからなる部分）を少なくとも有していれば、他の直列腕共振子および並列腕共振子の構成は、フィルタデバイスとして所望する特性を実現できるように、適宜設定できる。

　また、上述の各実施形態の構成では、直列腕共振子の両側の並列腕共振子を分割する態様を示した。しかしながら、直列腕共振子の第１端側の並列腕共振子を分割し、第２端側の並列腕共振子を分割しない、または、直列腕共振子の第２端側の並列腕共振子を分割し、第１端側の並列腕共振子を分割しない構成としても、同様の作用効果を奏することが可能である。

　また、上述の説明では、キャパシタ４０、４０Ａが圧電体にＩＤＴ電極を形成した構造からなる場合を説明した。しかしながら、キャパシタ４０、４０Ａは、回路基板に実装されたチップ型の電子部品や、回路基板に形成された平板状の電極パターン等によって形成することも可能である。このように、キャパシタ４０、４０Ａを各種の形状で形成することによって、キャパシタ４０、４０Ａのキャパシタンスの範囲を広くできる。したがって、より多様なフィルタ特性を実現でき、フィルタデバイス１０、１０Ａは、通過帯域の低域側の減衰特性を、より確実に向上できる。

１０、１０Ａ：フィルタデバイス
４０、４０Ａ：キャパシタ
１１１、１１２：信号線路
２０１、２０１Ａ、２０２、２０２Ａ、２０３Ａ、２０４Ａ、２０５Ａ、２０６Ａ、２０７Ａ、２０８Ａ、２０９Ａ、２１０Ａ：直列腕共振子
３０１、３０１Ａ、３０２、３０２Ａ、３０３Ａ、３０４Ａ、３０５Ａ、３０６Ａ、３０１１、３０１２、３０１２、３０２１、３０２１Ａ、３０２２、３０２２Ａ、３０３１Ａ、３０３２Ａ：並列腕共振子
Ｐ１、Ｐ２：入出力端子

Claims

　信号線路に直列に接続され、第１端および第２端を備える少なくとも１つの直列腕共振子と、
　前記信号線路とグランドとの間に接続された複数の並列腕共振子と、
　キャパシタと、
　を備え、
　前記複数の並列腕共振子は、
　　前記直列腕共振子の前記第１端側に接続される第１並列腕共振子と、
　　前記直列腕共振子の前記第２端側に接続される第２並列腕共振子と、
　を備え、
　前記第１並列腕共振子は、
　　それぞれが前記第１端に接続する第３並列腕共振子と第４並列腕共振子とを有し、
　前記第３並列腕共振子は、前記グランドに直接接続され、
　前記第４並列腕共振子は、前記キャパシタを通じて前記グランドに接続される、
　フィルタデバイス。
　前記第２並列腕共振子は、
　　それぞれが前記第２端に接続する第５並列腕共振子と第６並列腕共振子とを有し、
　前記第５並列腕共振子は、前記グランドに直接接続され、
　前記第６並列腕共振子は、前記キャパシタを通じて前記グランドに接続される、
　請求項１に記載のフィルタデバイス。
　前記第１並列腕共振子および前記第２並列腕共振子とは異なる第７並列腕共振子を備え、
　前記第３並列腕共振子および前記第４並列腕共振子の共振周波数は、フィルタデバイスの通過帯域よりも低く、前記第７並列腕共振子の共振周波数よりも高い、
　請求項１または請求項２に記載のフィルタデバイス。
　前記第１並列腕共振子および前記第２並列腕共振子とは異なる第７並列腕共振子を備え、
　前記第３並列腕共振子、前記第４並列腕共振子、前記第５並列腕共振子、および、前記第６並列腕共振子の共振周波数は、フィルタデバイスの通過帯域よりも低く、前記第７並列腕共振子の共振周波数よりも高い、
　請求項２に記載のフィルタデバイス。
　前記第３並列腕共振子の共振周波数と前記第４並列腕共振子の共振周波数とは同じである、
　請求項１乃至請求項４のいずれかに記載のフィルタデバイス。
　前記キャパシタは共振周波数を有する構造からなり、
　前記キャパシタの共振周波数は、前記第３並列腕共振子および前記第４並列腕共振子の共振周波数よりも低い、
　請求項１乃至請求項５のいずれかに記載のフィルタデバイス。
　前記第３並列腕共振子の共振周波数と前記第４並列腕共振子の共振周波数とは同じであり、
　前記第５並列腕共振子の共振周波数と前記第６並列腕共振子の共振周波数とは同じである、
　請求項２または請求項４に記載のフィルタデバイス。
　前記キャパシタは共振周波数を有する構造からなり、
　前記キャパシタの共振周波数は、前記第３並列腕共振子、前記第４並列腕共振子、前記第５並列腕共振子、および、前記第６並列腕共振子の共振周波数よりも低い、
　請求項２、請求項４、および、請求項７のいずれかに記載のフィルタデバイス。
　前記直列腕共振子、前記複数の並列腕共振子、および、前記キャパシタは、ＩＤＴ電極を用いて形成される、
　請求項１乃至請求項８のいずれかに記載のフィルタデバイス。