WO2023053727A1

WO2023053727A1 - 画像処理装置、処理システム、画像表示方法及びプログラム

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Publication number: WO2023053727A1
Application number: PCT/JP2022/030413
Authority: WO
Inventors: 瑛一田中
Original assignee: 富士フイルム株式会社
Priority date: 2021-09-30
Filing date: 2022-08-09
Publication date: 2023-04-06
Also published as: CN118043651A; JPWO2023053727A1

Abstract

処理対象物における欠陥の良好な視認性が確保され得る、画像処理装置、処理システム、画像表示方法及びプログラムを提供する。処理対象物を撮影して生成される処理対象画像（ＩＭＧ）を取得し、処理対象画像を第１表示装置（３４）の第１領域（７０）へ表示させ、処理対象画像における注目領域（ＤＡ）が再現された注目領域画像（ＩＭＧＤ）を取得し、第１表示装置の第１領域と異なる第２領域（７２）へ注目領域画像を表示させるか、又は第１表示装置と異なる第２表示装置へ注目領域画像を表示させ、処理対象画像又は注目領域画像の一方への操作に連動して他方を操作する。

Description

画像処理装置、処理システム、画像表示方法及びプログラム

　本発明は画像処理装置、処理システム、画像表示方法及びプログラムに関する。

　工業製品の非破壊検査において、画像を利用した欠陥判定を支援する技術が知られている。例えば、Ｘ線透過画像等を利用した工業製品の非破壊検査では、検査対象の工業製品を透過撮影した透過画像を目視して、検査対象の工業製品に発生した、気泡、異物及びひび割れ等の欠陥を検出し、検査対象の工業製品が良品であるか不良品であるかを判定している。

　特許文献１は、走査型電子顕微鏡を用いてウェハのＳＥＭ画像を取得し、ＳＥＭ画像から欠陥を検出し、欠陥ごとに複数枚の画像を表示する欠陥レビュー装置が記載される。なお、ＳＥＭはScanning Electron Microscopeの省略語である。

　特許文献２は、検査対象の工業製品を撮影して得られる画像から、欠陥の候補を検出し、欠陥の候補を表示する欠陥検査装置が記載される。同文献に記載の装置は、撮影画像に対して欠陥の候補を表す欠陥候補画像が表示される。また、同文献に記載の装置は、スライダー及びチェックボックス等を用いて、表示対象の欠陥の種類を選択可能に構成される。

特開２００７－２２５３５１号公報国際公開第２０１７／１３０５５０号

　しかしながら、透過画像における欠陥は信号強度が微弱であって視認性が悪く、目視して欠陥の有無を評価する場合は、欠陥の見逃し及び欠陥の過剰検出等の誤検出が発生し得る。欠陥の視認性の悪さは、自動検出された欠陥の効果的な活用を阻害するおそれがあり、不要な混乱の要因になり、検査業務の効率を低下させるおそれがある。

　特許文献１に記載の装置において採用される欠陥ごとに複数の画像を表示させる表示態様は、例えば、低倍率の撮影画像と高倍率の撮影画像との対応関係の把握が困難であり、特許文献１に記載の装置は、目視確認を行う検査作業において好適な環境の提供は困難である。

　特許文献２に記載の装置における欠陥の候補の撮影画像への重畳表示は、欠陥の候補の視認性が悪く、目視確認を行う検査作業において好適な環境の提供は困難である。また、表示対象の欠陥の種類の切り替えは、作業者にとって煩雑であり、好適な解決策ではない。ここでは欠陥検査における課題を示すが、上記した課題は、工業製品の評価及び分析、解析及び測定においても存在し得る。

　本発明はこのような事情に鑑みてなされたもので、処理対象物における良好な視認性が確保され得る、画像処理装置、処理システム、画像表示方法及びプログラムの提供を目的とする。

　本開示に係る画像処理装置は、１つ以上のプロセッサを備え、１つ以上のプロセッサは、処理対象物を撮影して生成される処理対象画像を取得し、処理対象画像を第１表示装置の第１領域へ表示させ、処理対象物における注目領域が再現された注目領域画像を取得し、第１表示装置の第１領域と異なる第２領域へ注目領域画像を表示させるか、又は第１表示装置と異なる第２表示装置へ注目領域画像を表示させ、処理対象画像又は注目領域画像の一方への操作に連動して他方を操作する画像処理装置である。

　本開示に係る画像処理装置によれば、第１表示装置の第１領域へ表示させた対象物画像と、第１表示装置の第２領域又は第２表示装置へ表示させた注目領域画像との一方の操作に連動させて他方が操作される。これにより、処理対象物における注目領域の良好な視認性が確保される。また、処理対象画像又は注目領域画像の変動の一方の操作に対する他方の対応を容易に把握し得る。

　処理対象画像の取得とは、処理対象画像自体を取得する態様及び処理対象画像の基となる画像を取得し、取得した画像に対して規定の画像処理を施して処理対象画像を生成する態様を含み得る。同様に、注目領域画像の取得とは、注目領域画像自体を取得する態様及び注目領域画像の基となる画像を取得し、取得した画像に対して規定の処理を施して注目領域画像を生成する態様を含み得る。

　注目領域画像は、単一色の背景を含み得る。注目領域画像は、処理対象画像と同一のサイズを適用し得る。また、注目領域画像は、表示の際に処理対象画像と同一の縮尺を適用し得る。すなわち、注目領域画像は、処理対象画像における注目領域が含まれる画像であり、注目領域の位置及び形態が再現される画像とし得る。

　処理対象物への処理の例として、欠陥検査、分析、分類及び評価等が挙げられる。注目領域の例として、処理対象物の欠陥領域、検査対象領域、分析対象領域、分類に寄与する領域及び評価に寄与する領域等が挙げられる。

　本開示に係る画像処理装置において、１つ以上のプロセッサに実行させるプログラムが記憶される１つ以上のメモリを備え、１つ以上のプロセッサは、プログラムの命令を実行し得る。

　他の態様に係る画像処理装置において、１つ以上のプロセッサは、処理対象画像として、処理対象物を透過した光線又は放射線に基づいて生成される透過画像を取得し、処理対象画像として透過画像を表示させてもよい。

　かかる態様によれば、処理対象物の透過画像又は注目領域画像の変動の一方の操作に対する他方の対応を容易に把握し得る。

　他の態様に係る画像処理装置において１つ以上のプロセッサは、処理対象画像として処理対象物を透過した光線又は放射線に基づいて生成される透過画像を取得し、透過画像に対して周波数選択処理を施して周波数選択画像を生成し、処理対象画像として周波数選択画像を表示させてもよい。

　かかる態様によれば、処理対象物における注目領域の良好な視認性を確保し得る。

　他の態様に係る画像処理装置において、１つ以上のプロセッサは、処理対象画像に対する操作を表す処理対象画像操作指令を取得し、処理対象画像操作指令に応じて処理対象画像を操作し、処理対象画像の操作に連動して注目領域画像を操作してもよい。

　かかる態様によれば、処理対象画像に対する操作に連動して、注目領域画像が操作される。

　他の態様に係る画像処理装置において、１つ以上のプロセッサは、処理対象画像操作指令として、処理対象画像に対する位置を変更する処理対象画像変更指令を取得し、処理対象画像変更指令に応じて、処理対象画像の位置変更を実施してもよい。

　かかる態様によれば、処理対象画像の位置変更に応じて、注目領域画像の位置を変更し得る。

　他の態様に係る画像処理装置において、１つ以上のプロセッサは、処理対象画像操作指令として、処理対象画像に対する変倍率を変更する処理対象画像変更指令を取得し、処理対象画像変更指令に応じて、処理対象画像の変倍を実施してもよい。

　かかる態様によれば、処理対象画像の変倍に応じて、注目領域画像の変倍を変更し得る。

　他の態様に係る画像処理装置において、１つ以上のプロセッサは、注目領域画像に対する操作を表す注目領域画像操作指令を取得し、注目領域画像操作指令に応じて注目領域画像を操作し、注目領域画像の操作に連動して処理対象画像を操作してもよい。

　かかる態様によれば、注目領域画像に対する操作に連動して、処理対象画像が操作される。

　他の態様に係る画像処理装置において、１つ以上のプロセッサは、注目領域画像操作指令として、注目領域画像に対する位置を変更する注目領域画像変更指令を取得し、注目領域画像変更指令に応じて、注目領域画像の位置変更を実施してもよい。

　かかる態様によれば、注目領域画像の位置変更に応じて、処理対象画像の位置を変更し得る。

　他の態様に係る画像処理装置において、１つ以上のプロセッサは、注目領域画像操作指令として、注目領域画像に対する変倍率を変更する注目領域画像変更指令を取得し、注目領域画像変更指令に応じて、注目領域画像の変倍を実施してもよい。

　かかる態様によれば、注目領域画像の変倍に応じて、処理対象画像の変倍を変更し得る。

　他の態様に係る画像処理装置において、１つ以上のプロセッサは、処理対象画像から注目領域を自動検出し、自動検出された処理対象画像における注目領域に基づいて注目領域画像を生成し、生成された注目領域画像を取得してもよい。

　かかる態様によれば、自動検出された注目領域に基づく注目領域画像を取得し得る。

　他の態様に係る画像処理装置において１つ以上のプロセッサは、処理対象画像と注目領域の自動検出結果とを対応付けして記憶し、処理対象画像と注目領域の自動検出結果との組を学習データとして学習した第１学習モデルを生成し、第１学習モデルを注目領域の自動検出に適用してもよい。

　かかる態様によれば、注目領域の自動検出における一定の精度を確保し得る。

　他の態様に係る画像処理装置において１つ以上のプロセッサは、処理対象画像から予め検出された注目領域に基づいて、予め生成された注目領域画像を取得してもよい。

　かかる態様によれば、予め生成された注目領域画像を第２領域へ表示させ得る。

　他の態様に係る画像処理装置において、１つ以上のプロセッサは、注目領域に対する修正を受け付け、修正に基づいて注目領域画像を修正してもよい。

　かかる態様によれば、注目領域が修正された注目領域画像を適用し得る。

　他の態様に係る画像処理装置において、１つ以上のプロセッサは、注目領域画像と注目領域画像の修正結果とを対応付けして記憶し、注目領域画像と注目領域画像の修正結果との組を学習データとして学習した第２学習モデルを生成し、第２学習モデルを注目領域の自動検出に適用してもよい。

　かかる態様によれば、注目領域の修正が反映された注目領域の自動検出を実施し得る。

　他の態様に係る画像処理装置において、１つ以上のプロセッサは、処理対象画像及び注目領域画像に対して、互いに連動するグリッドを重畳表示させてもよい。

　かかる態様によれば、第１領域表示される処理対象画像と、第２領域へ表示される注目領域画像との対応関係を、効率よく確認し得る。

　グリッドは、互いに直交する２方向のそれぞれについて単位長さを有する態様を適用し得る。

　他の態様に係る画像処理装置において、１つ以上のプロセッサは、処理対象画像又は注目領域画像の一方に対する位置を指定する位置指定操作を受け付け、一方に対する位置指定操作に応じて、一方において指定された位置に対応する他方における位置を強調する強調処理を施してもよい。

　かかる態様によれば、第１領域表示される処理対象画像と、第２領域へ表示される注目領域画像との対応関係の視認性が向上し得る。

　強調処理の例として、指定された位置の画素以外の画素の輝度値を下げ、相対的に指定位置の輝度を上げる例が挙げられる。

　他の態様に係る画像処理装置において、１つ以上のプロセッサは、処理対象画像又は注目領域画像の一方に対する位置を指定する位置指定操作を受け付け、一方に対する位置指定操作に応じて、一方において指定された位置に対応する他方における位置へポインタを表示させてもよい。

　かかる態様によれば、処理対象画像及び注目領域画像への煩雑な情報の付加が回避され、処理対象画像と注目領域画像との対応関係を、効率よく確認し得る。

　他の態様に係る画像処理装置において、１つ以上のプロセッサは、処理対象画像又は注目領域画像の一方に対するルーラ操作を受け付け、一方に対するルーラ操作に応じて、一方に対するルーラ操作に対応する他方へのルーラ操作を表示させてもよい。

　かかる態様によれば、良好な視認性が確保された状態において、注目領域の測定及び注目領域の評価等の処理を実施し得る。

　ルーラ操作の例として、欠陥領域の測定及び評価等に使用される線等の指標を欠陥領域へ付与する操作が挙げられる。

　他の態様に係る画像処理装置において、１つ以上のプロセッサは、注目領域の種類を取得し、注目領域の種類を第１領域へ表示させ、第１領域へ表示させる注目領域の種類に対応付けして、第２領域又は第２表示装置へ注目領域の種類を表示させてもよい。

　かかる態様によれば、欠陥領域の種類を確認し得る。

　他の態様に係る画像処理装置において、１つ以上のプロセッサは、処理対象画像をグレースケール表示させ、注目領域画像をカラー表示させてもよい。

　かかる態様によれば、欠陥領域画像の情報がカラー化される。これにより、検査業務の効率を向上し得る。

　かかる態様において、白黒のディスプレイ装置を適用して処理対象画像を表示させ、カラーのディスプレイ装置を適用して注目領域画像を表示させてもよい。

　他の態様に係る医用画像処理装置において、１つ以上のプロセッサは、処理対象画像のみを表記させる第１表示モードと、処理対象画像及び注目領域画像を表示させる第２表示モードとを切り替えてもよい。

　かかる態様によれば、必要に応じて注目領域画像を表示させ得る。

　本開示に係る処理システムは、処理対象物を撮影する撮影装置と、１つ以上のプロセッサと、を備え、１つ以上のプロセッサは、処理対象物を撮影して生成される処理対象画像を取得し、処理対象画像を第１表示装置の第１領域へ表示させ、処理対象物における注目領域が再現された注目領域画像を取得し、第１表示装置の第１領域と異なる第２領域へ注目領域画像を表示させるか、又は第１表示装置と異なる第２表示装置へ注目領域画像を表示させ、処理対象画像又は注目領域画像の一方への操作に連動して他方を操作する処理システムである。

　本開示に係る処理システムによれば、本開示に係る画像処理装置と同様の作用効果を得ることが可能である。他の態様に係る画像処理装置の構成要件は、他の態様に係る処理システムの構成要件へ適用し得る。

　本開示に係る画像処理方法はコンピュータが、処理対象物を撮影して生成される処理対象画像を取得し、処理対象画像を第１表示装置の第１領域へ表示させ、処理対象物における注目領域が再現された注目領域画像を取得し、第１表示装置の第１領域と異なる第２領域へ注目領域画像を表示させるか、又は第１表示装置と異なる第２表示装置へ注目領域画像を表示させ、処理対象画像又は注目領域画像の一方への操作に連動して他方を操作する画像表示方法である。

　本開示に係る画像表示方法によれば、本開示に係る画像処理装置と同様の作用効果を得ることが可能である。他の態様に係る画像処理装置の構成要件は、他の態様に係る画像表示方法の構成要件へ適用し得る。

　本開示に係るプログラムは、コンピュータに、処理対象物を撮影して生成される処理対象画像を取得する機能、処理対象画像を第１表示装置の第１領域へ表示させる機能、処理対象物における注目領域が再現された注目領域画像を取得する機能、第１表示装置の第１領域と異なる第２領域へ注目領域画像を表示させるか、又は第１表示装置と異なる第２表示装置へ注目領域画像を表示させる機能、及び処理対象画像又は注目領域画像の一方への操作に連動して他方を操作する機能を実現させるプログラムである。

　本開示に係るプログラムによれば、本開示に係る画像処理装置と同様の作用効果を得ることが可能である。他の態様に係る画像処理装置の構成要件は、他の態様に係るプログラムの構成要件へ適用し得る。

　本発明によれば、第１表示装置の第１領域へ表示させた対象物画像と、第１表示装置の第２領域又は第２表示装置へ表示させた注目領域画像との一方の操作に連動させて他方が操作される。これにより、処理対象物における注目領域の良好な視認性が確保される。また、処理対象画像又は注目領域画像の変動の一方の操作に対する他方の対応を容易に把握し得る。

図１は実施形態に係る欠陥検査システムの構成図である。図２は図１に示す撮影システムの構成例を示すブロック図である。図３は撮影データの構成図である。図４は製品データの構成図である。図５は検査データの構成図である。図６は透過画像の一例を示す模式図である。図７は透過画像の他の例を示す模式図である。図８は透過画像における欠陥を示す模式図である。図９は透過画像における欠陥領域の第１表示例を示す模式図である。図１０は透過画像における欠陥領域の第２表示例を示す模式図である。図１１は透過画像における欠陥領域の第３表示例を示す模式図である。図１２は第１実施形態に係る画像表示方法が適用される画面の模式図である。図１３は第１実施形態に係る検査装置に適用される画像処理部の電気的構成を示す機能ブロック図である。図１４は第２実施形態に係る画像表示方法が適用される画面の模式図である。図１５は第２実施形態に係る検査装置に適用される画像処理部の電気的構成を示す機能ブロック図である。図１６は第３実施形態に係る検査装置に適用される画像処理部の電気的構成を示す機能ブロック図である。図１７は第４実施形態に係る検査装置に適用される画像処理部の電気的構成を示す機能ブロック図である。図１８は第５実施形態に係る検査装置に適用される画像処理部の電気的構成を示す機能ブロック図である。図１９は第６実施形態に係る画像表示方法が適用される画面の模式図である。図２０は第７実施形態に係る画像表示方法が適用される画面の模式図である。図２１は第７実施形態の変形例に係る画像表示方法が適用される画面の模式図である。図２２は第８実施形態に係る画像表示方法が適用される画面の模式図である。図２３は第８実施形態の変形例に係る画像表示方法が適用される画面の模式図である。図２４は第９実施形態に係る検査装置に適用される画像処理部の電気的構成を示す機能ブロック図である。図２５は第１０実施形態に係る画像表示方法が適用される画面の模式図である。図２６は実施形態に係る検査装置のハードウェアの構成例を示すブロック図である。

　以下、添付図面に従って本発明の好ましい実施形態について詳説する。本明細書では、同一の構成要素には同一の参照符号を付して、重複する説明は適宜省略する。

　［欠陥検査システムの構成例］
　図１は実施形態に係る欠陥検査システムの構成図である。欠陥検査システム１０は、検査対象物である工業製品を撮影して得られる撮影画像データに基づいて、検査対象物の欠陥を検出し、検査対象物の欠陥の有無を報知する。すなわち、欠陥検査システム１０は、検査対象物の欠陥検査を支援する。

　欠陥検査システム１０は、検査装置２０、撮影システム１００及び製品データベース１２０を備える。検査装置２０は、入出力インターフェースを介して入力装置３２及びディスプレイ装置３４が接続される。なお、図１では入出力インターフェースの図示を省略する。

　検査装置２０、撮影システム１００及び製品データベース１２０は、ネットワークＮＷを介して相互にデータ通信を実施する。検査装置２０は、ネットワークＮＷを介して撮影システム１００から撮影データＤ１００を取得する。検査装置２０は、ネットワークＮＷを介して製品データベース１２０から製品データＤ１２０を取得する。

　ネットワークＮＷの通信形態は、有線通信でもよいし無線通信でもよい。ネットワークＮＷは、ＬＡＮ（Local Area Network）、ＷＡＮ（Wide Area Network）及びインターネット等を適用し得る。

　検査装置２０は、コンピュータを適用し得る。コンピュータの形態は、サーバであってもよいし、パーソナルコンピュータであってもよく、ワークステーションであってもよく、また、タブレット端末などであってもよい。

　検査装置２０は、入力装置３２を用いて読影者である検査作業者が入力した情報を取得する。入力装置３２は、キーボード及びポインティングデバイス等を適用し得る。ポインティングデバイスの例として、マウス、トラックボール及びジョイスティックが挙げられる。

　検査装置２０は、検査対象物の撮影画像及び検査結果等の各種情報をディスプレイ装置３４へ表示させる。検査装置２０は、１台のディスプレイ装置３４が接続されてもよいし、複数台のディスプレイ装置３４が接続されてもよい。

　検査装置２０は、画像処理部２２及び検査処理部２４を備える。画像処理部２２は、撮影画像データを含む撮影データＤ１００を取得し、撮影画像データに対して規定の画像処理を施す。画像処理部２２は、画像処理を施して生成した画像をディスプレイ装置３４へ表示させる。例えば、画像処理部２２は、撮影画像データから検出された欠陥を表示させる。

　検査処理部２４は、検査対象物の撮影データに基づいて、検査対象物の欠陥検査を実施し、検査データを生成する。例えば、検査処理部２４は、撮影画像データから検査対象物の欠陥を検出し、欠陥の検出結果を用いて検査対象物の欠陥の有無を表す検査データを生成する。

　［撮影システムの構成例］
　図２は図１に示す撮影システムの構成例を示すブロック図である。撮影システム１００は、撮影室１１４に置かれた検査対象物ＯＢＪを撮影し、検査対象物ＯＢＪの撮影画像データを生成する。撮影システム１００は、撮影制御部１０２、撮影操作部１０４、画像記録部１０６、カメラ１０８、第１放射線源１１０及び第２放射線源１１２を備える。以下、第１放射線源１１０と第２放射線源１１２とを区別する必要がない場合は、両者を総称して放射線源１１３と記載する。

　撮影制御部１０２は、撮影システム１００の各部の動作を制御する。撮影制御部１０２は、ＣＰＵ（Central Processing Unit）を備える。撮影制御部１０２は、撮影操作部１０４を介してオペレータからの操作入力を受け付け、操作入力に応じた制御信号を撮影システム１００の各部に送信して各部の動作を制御する。

　撮影操作部１０４は、オペレータが操作する入力装置である。撮影操作部１０４は、図１に示す入力装置３２と同様の構成を適用し得る。オペレータは、撮影操作部１０４を用いて、カメラ１０８に対する撮影実行の指示の入力を実施し得る。撮影実行の指示の入力は、露出時間、焦点距離、絞り等の撮影条件、撮影角度及び撮影箇所等の設定を含み得る。

　オペレータは、撮影操作部１０４を用いて、検査対象物ＯＢＪに関する情報の入力、放射線源１１３に対する放射線の照射の指示の入力及び取得した画像データを画像記録部１０６に記録する指示の入力を実施し得る。放射線源１１３に対する放射線の照射の指示の入力は、照射開始時間、照射継続時間、照射角度及び照射強度等の設定を含み得る。

　画像記録部１０６は、カメラ１０８を用いて撮影され、生成された検査対象物ＯＢＪの撮影画像データを記録する。画像記録部１０６には、検査対象物ＯＢＪを特定するための情報が撮影画像データと関連付けて記録される。なお、本明細書における記録という用語は、記憶という用語と同義とする。

　カメラ１０８、第１放射線源１１０及び第２放射線源１１２は、撮影室１１４の内部に配置されている。第１放射線源１１０及び第２放射線源１１２は、放射線としてＸ線を放射する。

　撮影室１１４の外部との間の隔壁及び撮影室１１４の出入口は、鉛及びコンクリート等のＸ線防護材料を用いてＸ線防護が施される。なお、検査対象物ＯＢＪに対して可視光を照射して撮影を行う場合には、Ｘ線防護を施した撮影室１１４を用いる必要はない。

　第１放射線源１１０及び第２放射線源１１２は、撮影制御部１０２から送信される指示に応じて、撮影室１１４の内部に載置された検査対象物ＯＢＪへ放射線を照射する。第１放射線源１１０及び第２放射線源１１２は、検査対象物ＯＢＪに対する距離及び角度が調整自在に支持される。

　カメラ１０８は、第１放射線源１１０から検査対象物ＯＢＪへ照射され、検査対象物ＯＢＪにおいて反射された放射線、又は第２放射線源１１２から検査対象物ＯＢＪへ照射され、検査対象物ＯＢＪを透過した放射線を受光して、検査対象物ＯＢＪの反射画像又は検査対象物ＯＢＪの透過画像を生成する。カメラ１０８は、検査対象物ＯＢＪに対する距離及び角度が調整自在に支持される。第１放射線源１１０、第２放射線源１１２及びカメラ１０８を支持する支持部材は、マニピュレーター、載置台及び可動式の載置台等を適用し得る。

　オペレータは、検査対象物ＯＢＪに対する第１放射線源１１０、第２放射線源１１２及びカメラ１０８の距離等を調整し、カメラ１０８を用いて検査対象物ＯＢＪの任意の位置を撮影し得る。

　撮影制御部１０２は、カメラ１０８の撮影終了に応じて、第１放射線源１１０及び第２放射線源１１２からの検査対象物ＯＢＪへの放射線の照射を終了させる。

　図２には、撮影室１１４の内部にカメラ１０８が配置される例を示したが、カメラ１０８は、撮影室１１４の内部の検査対象物ＯＢＪを撮影可能であればよく、撮影室１１４の外部に配置されていてもよい。

　図２には、１台のカメラ１０８を備え、１台ずつの第１放射線源１１０及び第２放射線源１１２を備える撮影システム１００を例示したが、カメラ１０８、第１放射線源１１０及び第２放射線源１１２の数は図２に示す例に限定されない。複数のカメラを備えてもよいし、複数の第１放射線源１１０及び複数の第２放射線源１１２を備えてもよい。

　なお、実施形態に記載の欠陥検査システム１０は処理システムの一例である。実施形態に記載の撮影システム１００は撮影装置の一例である。

　［検査対象物の撮影データの構成例］
　図３は撮影データの構成図である。図２に示す撮影システム１００から図１に示す検査装置２０へ送信される撮影データＤ１００は、検査対象物特定情報Ｄ１０２、撮影画像データＤ１０４、撮影条件データＤ１０６及び照明条件データＤ１０８が含まれる。

　検査対象物特定情報Ｄ１０２は、検査対象物ＯＢＪの特定に用いられる情報であり、例えば、検査対象物ＯＢＪの製品名、製品番号、製造者名及び技術分類等を示す情報を含み得る。

　撮影画像データＤ１０４は、検査対象物ＯＢＪを撮影し、生成された、検査対象物ＯＢＪを表す画像データである。放射線源１１３からＸ線が照射される場合、撮影画像データＤ１０４としてＸ線透過画像データが生成される。

　撮影条件データＤ１０６は、撮影画像データＤ１０４と対応付けされ、撮影画像データＤ１０４ごとに記憶される。撮影条件データＤ１０６は、撮影画像データごとの撮影日時、撮影対象箇所、撮影の際における検査対象物ＯＢＪとカメラ１０８との間の距離及び撮影の際における検査対象物ＯＢＪに対するカメラ１０８の角度等を示す情報を含み得る。

　照明条件データＤ１０８は、検査対象物ＯＢＪの撮影に用いた放射線の種類、照射強度及び照射角度等を示す情報を含み得る。検査対象物ＯＢＪに対して、可視光線等の光線を照射する照明装置を備える場合、照明条件データＤ１０８は、光線の種類を示す情報を含み得る。

　［製品データの構成例］
　図４は製品データの構成図である。図１に示す製品データベース１２０から検査装置２０へ送信される製品データＤ１２０は、製品特定情報Ｄ１２２、製品属性情報Ｄ１２４及び検査領域指定情報Ｄ１２６が含まれる。

　製品データＤ１２０は、検査対象物ＯＢＪの検査対象物特定情報Ｄ１０２に応じて、製品データベース１２０から検査装置２０へ送信される。検査装置２０は、撮影データＤ１００と製品データＤ１２０とを関連付けして記憶する。

　製品特定情報Ｄ１２２は、検査対象物ＯＢＪを特定するための情報であり、例えば、製品名、製品番号、製造者名及び技術分類を示す情報を含み得る。製品特定情報Ｄ１２２は、検査対象物特定情報Ｄ１０２と照合し得る情報が含まれる。

　製品属性情報Ｄ１２４は、例えば、製品の各部の材質、製品の各部の寸法及び製品の用途等を示す情報を含み得る。製品の用途を示す情報は、例えば、製品が取り付けられる装置等の名称、種類、加工状態及び取付方法に関する情報を含み得る。取付方法の例として、接合、溶接、ねじ止め、はめ込み及びハンダ付け等が挙げられる。

　また、製品属性情報Ｄ１２４は、欠陥発生情報が含まれる。欠陥発生情報は、過去の検査日時、検査対象物ＯＢＪの材質、過去に発生した、位置情報、形状、大きさ、深さ、発生部位、欠陥発生頻度に関する頻度情報、欠陥のキャプチャー画像のうち少なくとも１つの情報を含み得る。

　欠陥の種類の例として、異物、気泡及び亀裂等が挙げられる。発生部位の例として、部位座標、材質の肉厚及び加工状態等が挙げられる。加工状態の例として、接合部の加工状態及び溶接部の加工状態等が挙げられる。

　検査領域指定情報Ｄ１２６は、製造者等が指定する製品ごとに指定された検査領域を示す情報が含まれる。検査領域を示す情報は、検査領域の位置を含む情報であり、過去の欠陥発生の有無、欠陥発生頻度に関する頻度情報等の欠陥発生情報に基づいて作成され得る。検査領域指定情報Ｄ１２６は、製造者等が過去に製品を修理した際に得られた情報に基づいて、統計的に又は構造的に欠陥が生じやすい箇所の特定に基づいて作成される。

　欠陥発生情報は、過去の検査日時、検査対象物ＯＢＪの材質、過去に発生した欠陥の種類、形状、大きさ、深さ、発生部位及び欠陥のキャプチャー画像のうち少なくとも１つの情報を含み得る。

　［検査データの構成例］
　図５は検査データの構成図である。図５に示す検査データＤ１０は、図１に示す検査装置２０を用いて生成され、出力される。検査データＤ１０の出力は、ディスプレイ装置３４への表示を適用し得る。検査データＤ１０の出力は、電気信号の出力及びプリンタを用いる印刷等を適用してもよい。

　検査データＤ１０は、検査対象物特定情報Ｄ１２、検査対象物測定データＤ１４、欠陥候補データＤ１６及び診断結果データＤ１８が含まれる。検査対象物特定情報Ｄ１２は、検査データＤ１０における検査対象物ＯＢＪを特定するための情報であり、撮影データＤ１００における検査対象物特定情報Ｄ１０２と同様に、製品名、製品番号、製造者名及び技術分類を示す情報を含み得る。検査データＤ１０は、検査対象物特定情報Ｄ１２を用いて撮影データＤ１００と関連付けされ、記憶される。

　検査対象物測定データＤ１４は、検査対象物ＯＢＪの各部を測定して取得される。検査対象物測定データＤ１４は、検査対象物ＯＢＪの全体のサイズ、検査対象物ＯＢＪの測定位置ごとの測定値等の情報が含まれる。

　欠陥候補データＤ１６は、欠陥検出の結果として得られる欠陥候補に関する情報が含まれる。欠陥候補データＤ１６は、欠陥候補の位置、欠陥候補のサイズ、欠陥候補における肉厚の変化量及び欠陥候補の種類等の欠陥候補の特徴を示す情報が含まれる。

　欠陥候補の位置を示す情報は、検査対象物ＯＢＪの測定に適用される座標系における座標値を適用し得る。座標系の例として、３次元直交座標系、極座標系及び円柱座標系等が挙げられる。

　欠陥候補の種類を示す情報は、検査対象物ＯＢＪの撮影画像データから検出された欠陥候補の形状に基づいて作成される。欠陥候補の種類を示す情報の例として、粒状欠陥、シミ状欠陥、ヒビ状欠陥等が挙げられる。なお、実施形態に記載の欠陥候補の種類は、欠陥領域の種類の一例である。

　診断結果データＤ１８は、検査日時及び欠陥候補に対して検査作業者が追加入力した情報が含まれる。診断結果データの例として、検査対象物ＯＢＪの交換を示す情報、検査対象物ＯＢＪの経過観察を示す情報及び欠陥ではない旨を表す情報等が挙げられる。検査対象物ＯＢＪの経過観察を示す情報は、再検査に関する情報が含まれ得る。

　なお、検査データＤ１０は、撮影データＤ１００の少なくとも一部が含まれてもよい。また、検査データＤ１０は、製品データＤ１２０の少なくとも一部が含まれてもよい。

　検査データＤ１０を用いて、製品データベース１２０に記憶される製品データＤ１２０を更新してもよい。例えば、検査データＤ１０に含まれる欠陥候補データＤ１６及び診断結果データＤ１８を用いて、製品データＤ１２０に含まれる検査領域指定情報Ｄ１２６を更新し得る。

　検査データＤ１０は、検査対象物ＯＢＪから検出された欠陥候補の成長予測のシミュレーションの結果を表すシミュレーション結果データを含み得る。シミュレーション結果データは、欠陥候補を特定する欠陥候補特定情報、検査対象物ＯＢＪを規定の使用条件を適用して使用した場合の欠陥候補の成長度合いを表す情報を含み得る。

　欠陥候補特定情報の例として、欠陥候補の位置及び欠陥候補の識別情報等が挙げられる。欠陥候補の成長度合いを表す情報の例として、粒状欠陥の広がり具合、シミ状欠陥の広がり具合、肉厚の減少具合、ひび割れの伸び具合及びひび割れの深さ等が挙げられる。

　シミュレーション結果データは、将来の複数の時点における欠陥候補の成長予測のシミュレーション結果を含み得る。将来の複数の時点は、検査対象物ＯＢＪの工業製品としての種類及び用途ごとに予め定め得る。

　［Ｘ線透過画像等を利用した工業製品の非破壊検査における課題］
　Ｘ線透過画像等を利用した工業製品の非破壊検査では、検査対象物である工業製品を透過撮影して生成された透過画像を目視して、工業製品に発生した気泡、異物及びひび割れ等の欠陥を検出し、欠陥検出の結果に基づき工業製品が良品であるか不良品であるかを判定している。

　図６は透過画像の一例を示す模式図である。図６には、鋳造又は鍛造を適用して成型された金属部品５０が映された透過画像ＩＭＧ１を示す。金属部品５０は、肉厚が相対的に薄い第１部品部分５１及び第１部品部分５１よりも肉厚が厚い第２部品部分５２を有する。透過画像ＩＭＧ１において金属部品５０以外の外側領域は背景５４の領域である。

　図７は透過画像の他の例を示す模式図である。図７には溶接を適用して製造された金属部品６０が映された透過画像ＩＭＧ２を示す。金属部品６０は、肉厚が相対的に薄い第１部品部分６１及び第１部品部分６１よりも肉厚が厚い第２部品部分６２を有する。透過画像ＩＭＧ２において金属部品６０以外の外側領域は背景６４の領域である。

　図８は透過画像における欠陥を示す模式図である。図８には、図６に示す透過画像ＩＭＧ１を拡大した透過画像ＩＭＧ３が表示されたディスプレイ装置３４の表示画面を図示する。図８に示す透過画像ＩＭＧ３は、第２部品部分５２に欠陥ＤＥが存在している。

　鋳造又は鍛造された金属部品、若しくは溶接された金属部品における欠陥ＤＥの例として、気泡、ポロシティ（Porosity）、ＦＭＬＤ（Foreign material less dense）及びＦＭＬＤ（Foreign material more dense）のうち少なくとも１つが含まれる。ＦＭＬＤは、Ｘ線透過画像において黒く映る異物（低密度）の欠陥の混入である。ＦＭＭＤは、Ｘ線透過画像において白く映る異物（高密度）の欠陥の混入である。

　透過画像ＩＭＧに映る欠陥ＤＥは、信号強度が微弱であること、境界が曖昧であること及び大きさが微小であること等に起因して、目視した際に背景との区別が困難である場合が多い。これにより、検査業務が非効率になっている。

　かかる状況を考慮して、検査業務を支援する装置が提案されている。検査業務を支援する装置は、以下に示す機能を用いて検査業務の効率化を図る。

　透過画像ＩＭＧ１等に対して周波数選択処理を施して周波数選択画像を生成し、表示する機能を具備し、微弱な信号強度を有し、かつ、曖昧な境界を有する欠陥を目視しやすくする。周波数選択処理は、入力画像に対して、階調処理、周波数処理及びダイナミックレンジの圧縮処理等を施して、入力画像の良好な視認性を得る一連の画像処理を示す。

　階調処理は、適切な輝度又は適切な濃度と、適切なコントラストとを得る画像処理であり、輝度値の入出力対応表等を適用して実現される。周波数処理は、フーリエ変換、粒度の異なるボケ画像の差分等を適用して実現される。ダイナミックレンジの圧縮処理は、白飛び及び黒潰れなどに起因して視認が困難な領域を、輝度及びコントラストを損なわずに、視認が容易に変換する画像処理であり、暗い領域等の特定の領域に対する規定の輝度の加算等を適用して実現される。

　透過画像ＩＭＧ１等又は周波数選択画像を拡大して表示する機能、透過画像ＩＭＧ１等又は周波数選択画像の変倍率を受け付ける機能及び位置の変更を受け付ける機能を具備し、微小な欠陥を目視しやすくする。

　透過画像ＩＭＧ１等又は周波数選択画像に対して線分等のマーカーを付加する操作を提供し、マーカーのサイズに基づき実際のサイズを算出し、実際のサイズを表示する機能を具備し、マーカーを用いて欠陥の実際のサイズを測定する。

　また、予め欠陥の候補となる欠陥候補領域を自動検出する機能を具備して、検査業務の更なる効率化が図られている。検査作業者は自動検出された欠陥候補領域を参照し、更に効率的に欠陥の有無を判定すべき領域へのアクセスが可能となり、検査業務が効率化される。

　〔透過画像における欠陥の表示例〕
　図９は透過画像における欠陥領域の第１表示例を示す模式図である。図９には、欠陥ＤＥを囲む枠５６を透過画像ＩＭＧ３に重畳表示させて、矩形の欠陥領域ＤＡ１を表示する例を示す。

　図１０は透過画像における欠陥領域の第２表示例を示す模式図である。図１０には、欠陥ＤＥの適応形状を塗りつぶして、欠陥ＤＥと同一形状及び同一サイズを有する欠陥領域ＤＡ２を、透過画像ＩＭＧ３に重畳表示する例を示す。

　図１１は透過画像における欠陥領域の第３表示例を示す模式図である。図１１には、欠陥ＤＥの適応形状の輪郭線５８を透過画像ＩＭＧ３に重畳表示させて、欠陥ＤＥとの輪郭と同一形状の欠陥領域ＤＡ３を表示する例を示す。

　金属部品５０が良品であるか又は不良品であるかを判定するには、欠陥ＤＥの重篤度を評価する必要がある。欠陥ＤＥの重篤度は、欠陥ＤＥの形状に依存する。欠陥領域として欠陥ＤＥの形状を表示する場合は、欠陥領域として欠陥ＤＥを囲む矩形を表示する場合と比較して、欠陥ＤＥの重篤度を評価する際の効果が高い。

　〔課題の明確化〕
　図８等に示す信号強度が微弱な欠陥ＤＥを目視して評価する際に使用されるディスプレイ装置３４は、１６ビット深度等の高階調表示が可能である場合が多い。また、輝度のみを用いてグレースケールの階調表現がされる透過画像ＩＭＧの表示は、モノクロのディスプレイ装置が使用される場合が多い。なお、透過画像ＩＭＧは、図６に示す透過画像ＩＭＧ１、図７に示す透過画像ＩＭＧ２及び図８から図１１に示す透過画像ＩＭＧ３の総称である。

　コンピュータグラフィックを用いて描画される正確な矩形パターンが透過画像等に出現する可能性は相対的に低く、図９に示す矩形の枠５６を適用する欠陥領域ＤＡ１は、モノクロのディスプレイ装置が用いられる場合であっても、容易に視認することが可能である。

　一方、図１０及び図１１に示す欠陥ＤＥの適応形状が適用される欠陥領域ＤＡ２及び欠陥領域ＤＡ３は、モノクロのディスプレイ装置が用いられる場合では視認性が悪いという課題が存在する。

　具体的には、図１０に示す欠陥ＤＥの塗りつぶしは、塗りつぶしを半透明にしたとしても、透過画像ＩＭＧと欠陥領域ＤＡ１との輝度がカラーのディスプレイ装置と同様に分離できず、両者が混合してしまう。結果として、透過画像ＩＭＧの欠陥領域ＤＡ１を正確に視認し、評価することが困難である。

　また、図１１に示す欠陥ＤＥの輪郭線５８の表示は、輪郭線５８が欠陥ＤＥと混合してしまう。更に、輪郭線５８は必ずしも直線ではなく、透過画像ＩＭＧの構成要素であるか、又は欠陥ＤＥの構成要素であるかの判別が困難である。そうすると、欠陥領域ＤＡ３の視認性が悪く、検査作業者の欠陥ＤＥの見逃し及び欠陥ＤＥの過剰検出の原因となり得る。

　視認性の悪さは、自動検出された欠陥領域ＤＡ２等の効果的な利用を妨げ、かつ、不要な検査作業者の混乱の原因となり、検査業務の効率の低下を招くおそれがある深刻な課題である。

　［第１実施形態］
　〔画像表示方法の構成例〕
　図１２は第１実施形態に係る画像表示方法が適用される画面の模式図である。上記の課題に対して、第１実施形態に係る画像表示方法は、透過画像ＩＭＧと、欠陥領域ＤＡ２のみを表す欠陥領域画像ＩＭＧＤとのそれぞれを、個別の第１表示窓７０及び第２表示窓７２へ表示し、第１表示窓７０及び第２表示窓７２の表示と、透過画像ＩＭＧ及び欠陥領域画像ＩＭＧＤの一方の操作とを表示窓同士で連動させる。これにより、透過画像ＩＭＧと欠陥領域画像ＩＭＧＤとの良好な視認性が確保される。

　すなわち、図１２に示すディスプレイ装置３４は、透過画像ＩＭＧが表示される第１表示窓７０及び欠陥領域画像ＩＭＧＤが表示される第２表示窓７２が表示される。第１表示窓７０及び第２表示窓７２は、位置の変更操作及び変倍率の変更操作等の変更操作の受け付けに応じて、常に変更が連動する。位置の変更操作及び変倍率の変更操作は、検査作業者が実施する操作でもよいし、予め規定される規定値を適用する操作でもよい。

　第１表示窓７０及び第２表示窓７２は、１つのアプリケーションにおいて設定される表示領域を適用してもよいし、１つのオペレーティングシステムにおいて設定される表示領域を適用してもよい。第１表示窓７０及び第２表示窓７２は、それぞれ個別のディスプレイ装置に表示されてもよい。

　図１２に示す欠陥領域画像ＩＭＧＤは、透過画像ＩＭＧと同一形状及び同一サイズを有する。欠陥領域画像ＩＭＧＤは、透過画像ＩＭＧにおける欠陥領域ＤＡ１の位置と同一位置に欠陥領域ＤＡ２が配置される。欠陥領域画像ＩＭＧＤに配置される欠陥領域ＤＡ２は、透過画像ＩＭＧにおける欠陥領域ＤＡ１と同一形状及び同一サイズを有する。

　欠陥領域画像ＩＭＧＤは、単一色の背景を適用し得る。図１２には、単一色の背景が適用され、かつ、透過画像ＩＭＧと同一のグリッドが重畳される欠陥領域画像ＩＭＧＤを示す。

　〔画像処理部の構成例〕
　図１３は第１実施形態に係る検査装置に適用される画像処理部の電気的構成を示す機能ブロック図である。同図に示す画像処理部２２は、図１に示す検査装置２０に具備される。画像処理部２２は、透過画像受付部４００及び第１表示窓生成部４０２を備える。

　透過画像受付部４００は、図１に示す撮影システム１００から送信される透過画像ＩＭＧを受け付ける。透過画像ＩＭＧは、図３に示す撮影データＤ１００の撮影画像データＤ１０４に対応する。なお、透過画像ＩＭＧの受付は、透過画像ＩＭＧの取得と同義である。以下に示す画像、データ及び信号等の受付は、画像、データ及び信号等の取得と同義である。透過画像受付部４００は、透過画像ＩＭＧを第１表示窓生成部４０２へ送信する。

　第１表示窓生成部４０２は、透過画像受付部４００を介して取得した透過画像ＩＭＧを、図１２に示す第１表示窓７０へ表示させる形式へ変更し、第１表示窓画像ＩＭＧＷ１として出力する。

　画像処理部２２は、欠陥領域受付部４１０、欠陥領域画像生成部４１２及び第２表示窓生成部４１４を備える。欠陥領域受付部４１０は、透過画像ＩＭＧから予め検出された欠陥領域ＤＡの情報を受け付ける。欠陥領域ＤＡの情報は、図５に示す検査データＤ１０に含まれる欠陥候補データＤ１６に含まれ得る。

　欠陥領域画像生成部４１２は、欠陥領域受付部４１０から送信される欠陥領域ＤＡの情報を用いて、欠陥領域画像ＩＭＧＤを生成する。欠陥領域画像生成部４１２は、欠陥領域画像ＩＭＧＤを出力する。

　欠陥領域受付部４１０は、予め検出された欠陥領域ＤＡに基づき、予め生成された欠陥領域画像ＩＭＧＤを取得してもよい。すなわち、欠陥領域受付部４１０は、予め生成された欠陥領域画像ＩＭＧＤを受け付ける欠陥領域画像受付部として機能してもよい。

　第２表示窓生成部４１４は、欠陥領域画像生成部４１２において生成された欠陥領域画像ＩＭＧＤを、図１２に示す第２表示窓７２へ表示させる形式へ変更し、第２表示窓画像ＩＭＧＷ２として出力する。

　画像処理部２２は、表示制御部４３０を備える。表示制御部４３０は、第１表示窓画像ＩＭＧＷ１及び第２表示窓画像ＩＭＧＷ２を取得し、ディスプレイ装置３４の表示制御部４３０は、第１表示窓画像ＩＭＧＷ１及び第２表示窓画像ＩＭＧＷ２を含む表示画像ＩＭＧＤＩＳをディスプレイ装置３４へ送信する。ディスプレイ装置３４は、第１表示窓７０へ第１表示窓画像ＩＭＧＷ１を表示し、かつ、第２表示窓７２へ第２表示窓画像ＩＭＧＷ２を表示する。

　画像処理部２２は、表示変更操作受付部４２０及び画像変更パラメータ生成部４２２を備える。表示変更操作受付部４２０は、図１に示す入力装置３２等を用いて入力される表示変更操作を受け付ける。表示変更操作受付部４２０は、表示変更の内容を表す変更パラメータＰＡＲを出力する。

　画像変更パラメータ生成部４２２は、表示変更操作受付部４２０から出力された変更パラメータＰＡＲを取得し、変更パラメータＰＡＲから第１表示窓画像ＩＭＧＷ１の変更に適用される第１画像変更パラメータＰＡＲ１を生成する。また、画像変更パラメータ生成部４２２は、変更パラメータＰＡＲから第２表示窓画像ＩＭＧＷ２の変更に適用される第２画像変更パラメータＰＡＲ２を生成する。

　第１画像変更パラメータＰＡＲ１は、第１表示窓画像ＩＭＧＷ１を変倍させる際の変倍率を適用し得る。変倍率は、拡大の際の拡大率であってもよいし、縮小の際の縮小率であってもよい。

　第１画像変更パラメータＰＡＲ１は、第１表示窓画像ＩＭＧＷ１の位置を移動させる位置変更の際の移動距離であってもよいし、移動後の第１表示窓画像ＩＭＧＷ１の位置を表す座標値であってもよい。

　同様に、第２画像変更パラメータＰＡＲ２は、第２表示窓画像ＩＭＧＷ２を変倍させる際の変倍率を適用し得る。第２画像変更パラメータＰＡＲ２は、第２表示窓画像ＩＭＧＷ２の位置を移動させる位置変更の際の移動距離であってもよいし、移動後の第２表示窓画像ＩＭＧＷ２の位置を表す座標値であってもよい。

　第１画像変更パラメータＰＡＲ１として、第１表示窓画像ＩＭＧＷ１を変倍させる際の変倍率が適用される場合、第２画像変更パラメータＰＡＲ２は、第２表示窓画像ＩＭＧＷ２を変倍させる際の変倍率であり、第１画像変更パラメータＰＡＲ１と同じ変倍率が適用される。位置の変更についても同様である。

　すなわち、画像変更パラメータ生成部４２２は、第１表示窓画像ＩＭＧＷ１への操作に連動して第２表示窓画像ＩＭＧＷ２が操作される第１画像変更パラメータＰＡＲ１及び第２画像変更パラメータＰＡＲ２を生成する。

　また、画像変更パラメータ生成部４２２は、第２表示窓画像ＩＭＧＷ２への操作に連動して第１表示窓画像ＩＭＧＷ１が操作される第１画像変更パラメータＰＡＲ１及び第２画像変更パラメータＰＡＲ２を生成する。

　［第１実施形態の作用効果］
　第１実施形態に係る検査装置及び画像表示方法によれば、透過画像ＩＭＧと欠陥領域ＤＡの情報とが混合することがなく、かつ、両者の対応が容易に確認できる。これにより、両者の良好な視認性に基づき、モノクロのディスプレイ装置３４において、欠陥領域ＤＡの適応形状を活用することができ、検査業務が効率化される。

　図１３に示す画像処理部２２は、各部の機能に対応する工程が含まれる画像表示方法を実行し得る。例えば、画像処理部２２は、透過画像ＩＭＧを受け付ける工程、欠陥領域ＤＡを受け付ける工程、欠陥領域ＤＡに基づき欠陥領域画像ＩＭＧＤを生成する工程、透過画像ＩＭＧに基づく第１表示窓画像ＩＭＧＷ１を第１表示窓７０へ表示させる工程、欠陥領域画像ＩＭＧＤに基づく第２表示窓画像ＩＭＧＷ２を第２表示窓７２へ表示させる工程及び第１表示窓画像ＩＭＧＷ１と第２表示窓画像ＩＭＧＷ２とを連動させる工程を含む画像表示方法を実行し得る。以下に示す第２実施形態から第１０実施形態における各部の機能に対応する各工程は、上記した画像表示方法に含み得る。

　なお、実施形態に記載の検査対象物ＯＢＪは処理対象物の一例である。実施形態に記載の透過画像ＩＭＧは処理対象画像の一例である。実施形態に記載のディスプレイ装置３４は第１表示装置の一例である。実施形態に記載の第１表示窓７０は第１領域の一例である。第２表示窓７２は第２領域の一例である。

　実施形態に記載の欠陥領域ＤＡは注目領域の一例である。実施形態に記載の欠陥領域画像ＩＭＧＤは、処理対象画像における注目領域の位置及び注目領域の形態が再現された注目領域画像の一例である。

　実施形態に記載の入力装置３２等を用いて入力される表示変更操作は、処理対象画像操作指令の一例であり、注目領域画像操作指令の一例である。実施形態に記載の第１画像変更パラメータＰＡＲ１は処理対象画像変更指令の一例である。実施形態に記載の第２画像変更パラメータＰＡＲ２は注目領域画像変更指令の一例である。

　［第２実施形態］
　第２実施形態では、主として、第１実施形態との相違点について説明し、第１実施形態との共通点の説明は適宜省略する。図１４は第２実施形態に係る画像表示方法が適用される画面の模式図である。第２実施形態に係る画像表示方法では、透過画像ＩＭＧに代わり周波数選択画像ＩＭＧＦを第１表示窓７０へ表示させる。

　図１５は第２実施形態に係る検査装置に適用される画像処理部の電気的構成を示す機能ブロック図である。同図に示す画像処理部２２Ａは、周波数選択処理部４４０を備える。周波数選択処理部４４０は、透過画像受付部４００を介して取得した透過画像ＩＭＧに周波数選択処理を施して、周波数選択画像ＩＭＧＦを生成する。

　第１表示窓生成部４０２は、周波数選択画像ＩＭＧＦを図１２に示す第１表示窓７０へ表示させる形式へ変更し、第１表示窓画像ＩＭＧＷ１として出力する。ディスプレイ装置３４は、第１表示窓７０へ第１表示窓画像ＩＭＧＷ１として周波数選択画像ＩＭＧＦを表示する。

　図１５に示す透過画像受付部４００及び周波数選択処理部４４０に代わり、周波数選択画像ＩＭＧＦを受け付ける周波数選択画像受付部を備え、検査装置２０の外部において生成された周波数選択画像ＩＭＧＦを取得してもよい。

　［第２実施形態の作用効果］
　第２実施形態に係る検査装置及び画像表示方法によれば、透過画像ＩＭＧに代わり、透過画像ＩＭＧと比較して良好な視認性が得られる周波数選択画像を、第１表示窓７０へ表示する。これにより、第１表示窓７０へ表示される欠陥領域ＤＡ１の視認性が向上し得る。

　［第３実施形態］
　第３実施形態では、主として、第２実施形態との相違点について説明し、第２実施形態との共通点の説明は適宜省略する。図１６は第３実施形態に係る検査装置に適用される画像処理部の電気的構成を示す機能ブロック図である。同図に示す画像処理部２２Ｂは、図１５に示す欠陥領域受付部４１０に代わり、欠陥領域検出部４５０を備える。

　欠陥領域検出部４５０は、透過画像受付部４００を介して取得した透過画像ＩＭＧに対して欠陥検出処理を施し、欠陥領域ＤＡを自動検出する。欠陥領域検出部４５０は、セグメンテーション等の領域検出処理を適用して欠陥検出処理を実施し得る。

　また、欠陥領域検出部４５０は、学習済み学習モデルを適用し得る。欠陥領域検出部４５０に適用される学習モデルは、欠陥領域検出部４５０の入力画像と欠陥領域ＤＡの検出結果との組を学習データとして学習を実施する。学習モデルの例として、ＣＮＮ（Convolutional Neural Network）と称される畳み込みニューラルネットワーク等の深層学習モデルが挙げられる。

　なお、実施形態に記載の欠陥領域検出部４５０に適用される学習モデルは、第１学習モデルの一例である。実施形態に記載の欠陥領域ＤＡの自動検出の結果は、注目領域の自動検出結果の一例である。

　［第３実施形態の作用効果］
　第３実施形態に係る検査装置及び画像表示方法によれば、透過画像ＩＭＧの欠陥領域ＤＡの情報を予め取得する必要がなく、透過画像ＩＭＧのみを入力とし得る。なお、欠陥領域検出部４５０は、周波数選択画像ＩＭＧＦから欠陥領域ＤＡを自動検出してもよい。

　［第４実施形態］
　第４実施形態では、主として、第３実施形態との相違点について説明し、第２実施形態との共通点の説明は適宜省略する。図１７は第４実施形態に係る検査装置に適用される画像処理部の電気的構成を示す機能ブロック図である。同図に示す画像処理部２２Ｃは、図１６に示す画像処理部２２Ｂに対して、欠陥領域修正受付部４６０が追加される。

　欠陥領域修正受付部４６０は、図１に示す入力装置３２を用いて検査作業者が入力した欠陥領域画像ＩＭＧＤに対する修正を受け付ける。すなわち、欠陥領域修正受付部４６０は、欠陥領域修正情報ＩＮＦＲを欠陥領域画像生成部４１２へ送信する。

　欠陥領域画像生成部４１２は、欠陥領域修正情報ＩＮＦＲに基づいて、欠陥領域画像ＩＭＧＤを修正する。ディスプレイ装置３４の第２表示窓７２には、手動修正された欠陥領域画像ＩＭＧＤに対応する第２表示窓画像ＩＭＧＷ２が表示される。

　［第４実施形態の作用効果］
　第４実施形態に係る検査装置及び画像表示方法によれば、透過画像ＩＭＧから自動検出された欠陥領域ＤＡの誤りを検査作業者が修正し得る。

　［第５実施形態］
　図１８は第５実施形態に係る検査装置に適用される画像処理部の電気的構成を示す機能ブロック図である。同図に示す画像処理部２２Ｄは、図１７に示す画像処理部２２Ｃに対して、欠陥領域検出学習部４７０が追加される。

　第５実施形態に係る検査装置に適用される画像処理部は、検査作業者が実施した欠陥領域ＤＡの修正結果を、教師データとして機械学習に利用する。欠陥領域検出学習部４７０は、検査作業者が実施した欠陥領域ＤＡの修正を表す欠陥領域修正情報ＩＮＦＲと、修正の結果として得られた欠陥領域画像ＩＭＧＤとの組を学習データとして利用する。

　欠陥領域検出部４５０に適用される欠陥領域ＤＡの自動検出は、“Long, Jonathan, Evan Shelhamer, and Trevor Darrell. "Fully convolutional networks for semantic segmentation." Proceedings of the IEEE conference on computer vision and pattern recognition. 2015”に示される、深層学習を適用したセグメンテーションモデルなどの機械学習型の方式などが想定される。

　欠陥領域検出学習部４７０に適用される深層学習の例として、畳み込みニューラルネットワークが挙げられる。なお、実施形態に記載の欠陥領域検出学習部４７０に適用される学習モデルは第２学習モデルの一例である。

　欠陥領域検出部４５０は、欠陥領域検出学習部４７０において学習が実施された学習済みの欠陥領域検出モデルＬＭを適用して、欠陥領域ＤＡの自動検出を実施し得る。本実施形態では、欠陥領域検出学習部４７０が具備される画像処理部２２Ｄを例示したが、欠陥領域検出学習部４７０は、画像処理部２２Ｄとは独立の構成要素としてもよい。

　［第５実施形態の作用効果］
　第５実施形態に係る検査装置及び画像表示方法によれば、通常の検査業務を通じて、欠陥領域の自動検出の精度を改善し得る。

　［第６実施形態］
　図１９は第６実施形態に係る画像表示方法が適用される画面の模式図である。同図に示す第１表示窓７０に位置を示すグリッド７４が表示され、第１表示窓７０のグリッド７４の表示に連動して、第２表示窓７２に位置を示すグリッド７６が表示される。

　すなわち、第１表示窓７０において周波数選択画像ＩＭＧＦに重畳表示されるグリッド７４と、第２表示窓７２において欠陥領域画像ＩＭＧＤに重畳表示されるグリッド７６とは、同一のピッチ及び同一の線の種類が適用される。線の種類には、線種及び線幅が含まれ得る。

　［第６実施形態の作用効果］
　第６実施形態に係る検査装置及び画像表示方法によれば、周波数選択画像ＩＭＧＦに重畳表示されるグリッド７４及び欠陥領域画像ＩＭＧＤに重畳表示されるグリッド７６を利用して、検査作業者は効率的に周波数選択画像ＩＭＧＦと欠陥領域画像ＩＭＧＤとの対応位置を確認し得る。

　［第７実施形態］
　図２０は第７実施形態に係る画像表示方法が適用される画面の模式図である。第７実施形態に係る画像表示方法では、第１表示窓７０又は第２表示窓７２のいずれか一方の表示窓に対するマウスホバーを受け付け、マウスホバーの位置を検出し、他方の表示窓に対する対応位置へマーカーを表示させる。マウスホバーの受付は、第１表示窓でもよし、第２表示窓７２でもよい。

　図２０には、第２表示窓７２の欠陥領域ＤＡ２へマウスカーソル８０を重ねるマウスホバーが受け付けられ、第２表示窓７２におけるマウスホバーの位置に対する第１表示窓７０における対応位置へマーカー８２が表示されるディスプレイ装置３４を図示する。

　すなわち、図１５に示す表示変更操作受付部４２０はマウスホバーを受け付け、画像変更パラメータ生成部４２２は、第２表示窓７２に対するマウスホバーの位置を検出してマウスホバーの位置情報を取得する。

　第２表示窓生成部４１４は、マウスホバーの位置情報に基づき欠陥領域画像ＩＭＧＤへマウスカーソル８０を重畳表示させた第２表示窓画像ＩＭＧＷ２を生成する。また、第１表示窓生成部４０２は、第２表示窓７２に対するマウスホバーの位置を複製し、周波数選択画像ＩＭＧＦへマーカー８２を重畳表示させた第１表示窓画像ＩＭＧＷ１を生成する。マウスホバーの位置は、画素単位の位置を適用し得る。

　図２０には、互いに直交する線分８４と線分８６との交点をマーカー８２とする態様を例示したが、マーカー８２は図２０に示す形態に限定されず、様々な形態を適用してもよい。

　なお、マウスホバーは、マウスカーソルを対象物へ重ねる操作であり、マウスオン及びロールオーバと称される場合がある。また、マウスカーソルはマウスポインタ等と称される場合がある。

　［第７実施形態の変形例］
　図２１は第７実施形態の変形例に係る画像表示方法が適用される画面の模式図である。図２１には図２０に示すマーカー８２の表示に代わり、第２表示窓７２におけるマウスカーソル８０の画素位置に対応する第１表示窓７０における画素８８をハイライトさせる。

　具体的には、画素８８以外の画素の画素値を下げて暗くし、画素８８をハイライトさせる。画素８８以外の全画素の画素値を下げてもよいし、画素８８の周囲の画素の輝度を下げてもよい。一般に、周波数選択画像ＩＭＧＦの表示はモノクロのディスプレイ装置３４が使用される。そうすると、対応位置の画素８８における画素値を変更すると、画素８８の元の情報が失われるおそれがある。そこで、画素８８以外の画素の画素値を下げ、画素８８の元の情報を失うことがなく、検査作業者が対応位置である画素８８を確認し得る。

　［第７実施形態の作用効果］
　第７実施形態に係る検査装置及び画像表示方法によれば、グリッド表示等の情報の煩雑さが回避され、検査作業が効率的に第１表示窓７０と第２表示窓７２との相互の対応位置を確認し得る。

　なお、実施形態に記載の第２表示窓７２におけるマウスカーソル８０の画素位置に対応する第１表示窓７０における画素８８をハイライトさせる処理は、一方において指定された位置に対応する他方における位置を強調する強調処理の一例である。

　実施形態に記載の第２表示窓７２の欠陥領域ＤＡ２へマウスカーソル８０を重ねるマウスホバーは、処理対象画像又は注目領域画像の一方に対する位置を指定する位置指定操作の一例である。

　［第８実施形態］
　図２２は第８実施形態に係る画像表示方法が適用される画面の模式図である。第８実施形態に係る画像表示方法では、第１表示窓７０又は第２表示窓７２の一方の表示窓に対するルーラ操作を検出し、一方の表示窓に対するルーラ操作を他方の表示窓へ複製する。ルーラ操作の検出は、第１表示窓７０でもよいし、第２表示窓７２でもよい。

　図２２には、第２表示窓７２の欠陥領域ＤＡ２の最大長さを測定するルーラ操作が検出され、第２表示窓７２に対するルーラ操作が第１表示窓７０へ複製されるディスプレイ装置３４を図示する。

　すなわち、図１５に示す表示変更操作受付部４２０は、第２表示窓７２の欠陥領域ＤＡ２に対するルーラ操作を受け付け、画像変更パラメータ生成部４２２は、第２表示窓７２に対するルーラ操作の結果として得られた線分９０の位置情報を取得する。

　第２表示窓生成部４１４は、線分９０の位置情報に基づき欠陥領域画像ＩＭＧＤへ線分９０を重畳表示させた第２表示窓画像ＩＭＧＷ２を生成する。また、第１表示窓生成部４０２は、第２表示窓７２に対する線分９０を複製し、周波数選択画像ＩＭＧＦへ線分９２を重畳表示させた第１表示窓画像ＩＭＧＷ１を生成する。

　図２２には、欠陥領域ＤＡ２の最大長さを測定するルーラ操作の例として、欠陥領域ＤＡ２に対して線分９０を引く操作を例示する。破線を用いて図示されるマウスカーソル８０は、線分９０の起点に置かれた状態を示す。実線を用いて図示されるマウスカーソル８０は、線分９０の終点に置かれた状態を示す。

　［第８実施形態の変形例］
　図２３は第８実施形態の変形例に係る画像表示方法が適用される画面の模式図である。第１表示窓７０又は第２表示窓７２の一方の表示窓に対するルーラ操作が中断された場合に、一方の表示窓においてルーラ操作を引き継いでもよい。

　図２４に示す符号３４Ａは、第２表示窓７２に対するルーラ操作が中断された状態を示す。符号３４Ｂは、第２表示窓７２に対するルーラ操作が第１表示窓７０に対するルーラ操作へ引き継がれた状態を示す。

　第２表示窓７２に対するルーラ操作が第１表示窓７０に対するルーラ操作へ引き継がれた際に、第１表示窓７０にはマウスカーソル８１が表示され、第２表示窓７２のマウスカーソル８０は非表示とされる。なお、破線を用いて図示されるマウスカーソル８１は、ルーラ操作が引き継がれた時点のマウスカーソル８１を示す。

　すなわち、図１５に示す表示変更操作受付部４２０は、第２表示窓７２に対するルーラ操作の中断を受け付ける。画像変更パラメータ生成部４２２は、第２表示窓７２において途中まで引かれた線分９０の位置情報を取得する。

　第２表示窓生成部４１４は、線分９０の位置情報に基づき欠陥領域画像ＩＭＧＤへ線分９０を重畳表示させた第２表示窓画像ＩＭＧＷ２を生成する。また、第１表示窓生成部４０２は、第２表示窓７２における線分９０を複製し、周波数選択画像ＩＭＧＦへ線分９２を重畳表示させた第１表示窓画像ＩＭＧＷ１を生成する。

　また、表示変更操作受付部４２０は、引き継がれた第１表示窓７０に対するルーラ操作を受け付ける。画像変更パラメータ生成部４２２は、線分９２の位置情報を取得する。第１表示窓生成部４０２は、線分９２の位置情報に基づき周波数選択画像ＩＭＧＦへ線分９２を重畳表示させた第１表示窓画像ＩＭＧＷ１を生成する。また、第２表示窓生成部４１４は、第１表示窓７０における線分９２を複製し、欠陥領域画像ＩＭＧＤへ線分９０を重畳表示させた第２表示窓画像ＩＭＧＷ２を生成する。

　［第８実施形態の作用効果］
　第８実施形態に係る検査装置及び画像表示方法によれば、良好な視認性に基づき、欠陥ＤＥの実際のサイズ及び形状特性等の、更に正確な評価を実施し得る。

　［第９実施形態］
　図２４は第９実施形態に係る検査装置に適用される画像処理部の電気的構成を示す機能ブロック図である。第９実施形態に係る検査装置は、欠陥領域画像ＩＭＧＤをカラー表示させる。欠陥領域ＤＡに基づき、カラー情報を活用したカラーの欠陥領域画像ＩＭＧＤＣを生成する。カラーの欠陥領域画像ＩＭＧＤＣとして、欠陥の種類及び欠陥の重篤度等が色分けされる態様を採用し得る。

　図２４に示す画像処理部２２Ｅは、図１３に示す画像処理部２２に対して、欠陥領域画像生成部４１２に代わりカラー欠陥領域画像生成部４１２Ａを備え、第２表示窓生成部４１４に代わりカラー第２表示窓生成部４１４Ａを備え、カラー表示制御部４３１が追加される。

　カラー欠陥領域画像生成部４１２Ａは、カラーの欠陥領域画像ＩＭＧＤＣを生成する。カラーの色表現はＲＧＢを適用し得る。なお、ＲＧＢのＲはレッドを表し、Ｇはグリーンを表し、Ｂはブルーを表す。

　カラー第２表示窓生成部４１４Ａは、カラーの第２表示窓画像ＩＭＧＷＣを生成する。カラー表示制御部４３１は、カラーの第２表示窓画像ＩＭＧＷＣに基づき、カラー表示画像ＩＭＧＣを表す表示信号を生成し、カラー表示画像ＩＭＧＣを表す表示信号をカラーディスプレイ装置３５へ送信する。カラーディスプレイ装置３５はカラー表示画像ＩＭＧＣを表示する。

　透過画像ＩＭＧ又は周波数選択画像ＩＭＧＦは、モノクロのグレースケール画像として生成され、モノクロのディスプレイ装置３４へ表示され、カラーの欠陥領域画像ＩＭＧＤＣのみがカラーディスプレイ装置３５へ表示される。

　換言すると、第１表示窓７０はモノクロのグレースケールが適用され、ディスプレイ装置３４へ表示される。第２表示窓７２はカラーが適用され、カラーディスプレイ装置３５へ表示される。上記した第１実施形態から第８実施形態と同様に、第１表示窓７０と第２表示窓７２とは連動する。

　［第９実施形態の作用効果］
　第９実施形態に係る検査装置及び画像表示方法によれば、欠陥領域画像において、色情報を用いて欠陥種類及び欠陥重篤等を確認でき、検査業務が効率化される。また、カラーディスプレイ装置が報告書作成などの通常業務に利用されている場合、報告書作成などの通常業務と検査業務との円滑な業務連携が実現される。

　なお、実施形態に記載のカラーディスプレイ装置３５は第２表示装置の一例である。実施形態に記載のモノクロのディスプレイ装置３４へ表示されるモノクロのグレースケール画像は、グレースケール表示の一例である。

　［第１０実施形態］
　図２５は第１０実施形態に係る画像表示方法が適用される画面の模式図である。第１０実施形態に係る画像表示方法では、欠陥ＤＥの種類ごとに欠陥領域画像ＩＭＧＤが生成され、欠陥領域画像ＩＭＧＤが表示される第２表示窓７２は、欠陥ＤＥの種類を表す情報が表示される。

　図２５に示す第２表示窓７２は、欠陥ＤＥの種類を表す情報を表示する欠陥種類情報表示領域９６が設定される。欠陥ＤＥの種類を表す情報の表示形態は、文字、記号及び画像等を適用し得る。欠陥ＤＥの種類を表す文字の例として、欠陥ＤＥの種類の名称を表す文字情報及び欠陥ＤＥの種類の略称を表す文字情報等が挙げられる。

　カラーの欠陥領域画像ＩＭＧＤＣがカラーディスプレイ装置３５へ表示される場合、欠陥ＤＥの種類を表す情報として色情報を適用し得る。

　図２５には、第２表示窓７２の欠陥種類情報表示領域９６に対応して、第１表示窓７０にも欠陥種類情報表示領域９４が設定される態様を例示する。欠陥種類情報表示領域９４は、欠陥種類情報表示領域９６と同一の欠陥ＤＥの種類を表す情報を表示し得る。

　第１表示窓７０及び第２表示窓７２の少なくともいずれかに欠陥の種類を選択するボタン等を表示させ、ボタン等の操作に応じて選択された種類の欠陥をディスプレイ装置３４へ表示させてもよい。

　［第１０実施形態の作用効果］
　第１０実施形態に係る検査装置及び画像表示方法によれば、検査作業者は、欠陥種類情報表示領域９６を一見して欠陥ＤＥの種類を把握し得る。

　［検査装置のハードウェア構成］
　図２６は実施形態に係る検査装置のハードウェアの構成例を示すブロック図である。検査装置２０は、プロセッサ２０２、非一時的な有体物であるコンピュータ可読媒体２０４、通信インターフェース２０６及び入出力インターフェース２０８を備える。

　プロセッサ２０２は、汎用的な処理デバイスであるＣＰＵを備える。プロセッサ２０２は、画像処理に特化した処理デバイスであるＧＰＵ（Graphics Processing Unit）を備えてもよい。

　プロセッサ２０２は、バス２１０を介してコンピュータ可読媒体２０４、通信インターフェース２０６及び入出力インターフェース２０８と接続される。入力装置３２及びディスプレイ装置３４は入出力インターフェース２０８を介してバス２１０に接続される。

　コンピュータ可読媒体２０４は、主記憶装置であるメモリ及び補助記憶装置であるストレージを備える。コンピュータ可読媒体２０４は、半導体メモリ、ハードディスク装置及びソリッドステートドライブ装置等を使用し得る。コンピュータ可読媒体２０４は、複数のデバイスの任意の組み合わせを使用し得る。

　なお、ハードディスク装置は、英語表記のHard Disk Driveの省略語であるＨＤＤと称され得る。ソリッドステートドライブ装置は、英語表記のSolid State Driveの省略語であるＳＳＤと称され得る。

　検査装置２０は、通信インターフェース２０６を介してネットワークへ接続され、外部装置と通信可能に接続される。ネットワークは、ＬＡＮ（Local Area Network）等を使用し得る。なお、図２６ではネットワークの図示を省略する。

　コンピュータ可読媒体２０４は、画像処理プログラム２２０、表示プログラム２２２及び検査プログラム２２４が記憶される。コンピュータ可読媒体２０４は、各種のデータの記憶に関する記憶処理プログラム等が記憶されてもよい。

　画像処理プログラム２２０は、図１３に示す画像処理部２２等における各種の画像処理に適用され、画像処理部２２等の各種の機能を実現させるプログラムである。画像処理プログラム２２０は、透過画像処理プログラム２３０、連動処理プログラム２３２、欠陥領域画像処理プログラム２３４が含まれる。

　透過画像処理プログラム２３０は、透過画像ＩＭＧ又は周波数選択画像ＩＭＧＦから第１表示窓画像ＩＭＧＷ１を生成する処理に適用され、主として、第１表示窓生成部４０２の機能を実現させる。透過画像処理プログラム２３０は、周波数選択画像ＩＭＧＦを生成する処理に適用され、周波数選択処理部４４０の機能を実現させてもよい。

　連動処理プログラム２３２は、第１表示窓画像ＩＭＧＷ１と第２表示窓画像ＩＭＧＷ２とを連動させる処理に適用され、主として、画像変更パラメータ生成部４２２の機能を実現させる。

　欠陥領域画像処理プログラム２３４は、欠陥領域画像ＩＭＧＤから第２表示窓画像ＩＭＧＷ２を生成する処理に適用され、主として、第２表示窓生成部４１４の機能を実現させる。

　表示プログラム２２２は、ディスプレイ装置３４への表示に関する処理に適用され、表示制御部４３０の機能を実現させる。また、表示プログラム２２２は、図２４に示すカラーディスプレイ装置３５の表示に関する処理に適用され、カラー表示制御部４３１の機能を実現させる。

　検査プログラム２２４は、図１に示す検査処理部２４に関する処理に適用され、検査処理部２４の機能を実現させる。

　コンピュータ可読媒体２０４へ記憶される各種のプログラムは、１つ以上の命令が含まれる。コンピュータ可読媒体２０４は、各種のデータ及び各種のパラメータ等が記憶される。

　検査装置２０は、プロセッサ２０２がコンピュータ可読媒体２０４へ記憶される各種のプログラムを実行し、検査装置２０における各種の機能を実現する。なお、プログラムという用語はソフトウェアという用語と同義である。

　検査装置２０は、通信インターフェース２０６を介して外部装置とのデータ通信を実施する。通信インターフェース２０６は、ＵＳＢ（Universal Serial Bus）などの各種の規格を適用し得る。通信インターフェース２０６の通信形態は、有線通信及び無線通信のいずれを適用してもよい。

　検査装置２０は、入出力インターフェース２０８を介して、入力装置３２及びディスプレイ装置３４が接続される。入力装置３２はキーボード及びマウス等の入力デバイスが適用される。ディスプレイ装置３４は、検査装置２０に適用される各種の情報が表示される。

　ディスプレイ装置３４は、液晶ディスプレイ、有機ＥＬディスプレイ及びプロジェクタ等を適用し得る。ディスプレイ装置３４は、複数のデバイスの任意の組み合わせを適用し得る。なお、有機ＥＬディスプレイのＥＬは、Electro-Luminescenceの省略語である。

　ここで、プロセッサ２０２のハードウェア的な構造例として、ＣＰＵ、ＧＰＵ、ＰＬＤ（Programmable Logic Device）及びＡＳＩＣ（Application Specific Integrated Circuit）が挙げられる。ＣＰＵは、プログラムを実行して各種の機能部として作用する汎用的なプロセッサである。ＧＰＵは、画像処理に特化したプロセッサである。

　ＰＬＤは、デバイスを製造した後に電気回路の構成を変更可能なプロセッサである。ＰＬＤの例として、ＦＰＧＡ（Field Programmable Gate Array）が挙げられる。ＡＳＩＣは、特定の処理を実行させるために専用に設計された専用電気回路を備えるプロセッサである。

　１つの処理部は、これら各種のプロセッサのうちの１つで構成されていてもよいし、同種又は異種の２つ以上のプロセッサで構成されてもよい。各種のプロセッサの組み合わせの例として、１つ以上のＦＰＧＡと１つ以上のＣＰＵとの組み合わせ、１つ以上のＦＰＧＡと１つ以上のＧＰＵとの組み合わせが挙げられる。各種のプロセッサの組み合わせの他の例として、１つ以上のＣＰＵと１つ以上のＧＰＵとの組み合わせが挙げられる。

　１つのプロセッサを用いて、複数の機能部を構成してもよい。１つのプロセッサを用いて、複数の機能部を構成する例として、クライアント又はサーバ等のコンピュータに代表される、ＳｏＣ（System On a Chip）などの１つ以上のＣＰＵとソフトウェアの組合せを適用して１つのプロセッサを構成し、このプロセッサを複数の機能部として作用させる態様が挙げられる。

　１つのプロセッサを用いて、複数の機能部を構成する他の例として、１つのＩＣチップを用いて、複数の機能部を含むシステム全体の機能を実現するプロセッサを使用する態様が挙げられる。

　このように、各種の機能部は、ハードウェア的な構造として、上記した各種のプロセッサを１つ以上用いて構成される。更に、上記した各種のプロセッサのハードウェア的な構造は、より具体的には、半導体素子等の回路素子を組み合わせた電気回路（circuitry）である。

　コンピュータ可読媒体２０４は、ＲＯＭ（Read Only Memory）及びＲＡＭ（Random Access Memory）等の半導体素子を含み得る。コンピュータ可読媒体２０４は、ハードディスク等の磁気記憶媒体を含み得る。コンピュータ可読媒体２０４は、複数の種類の記憶媒体を具備し得る。

　第１実施形態から第１０実施形態に示す検査装置は、通常表示モードとマルチ表示モードとを切り替える態様を適用し得る。例えば、図１に示す入力装置３２を用いて入力された表示モード切替信号に応じて、表示モードを切り替えてもよい。

　例えば、通常表示モードは透過画像ＩＭＧ又は周波数選択画像ＩＭＧＦのみを表示させ、マルチ表示モードは第１表示窓７０へ透過画像ＩＭＧ又は周波数選択画像ＩＭＧＦを表示させ、かつ、第２表示窓７２へ欠陥領域画像ＩＭＧＤを表示させる。

　なお、実施形態に記載の通常表示モードは第１表示モードの一例であり、マルチ表示モードは第２表示モードの一例である。

　第１実施形態から第１０実施形態では、工業製品の欠陥検査を実施する欠陥検査装置を例示したが、工業製品の分析、分類及び評価等を実施する分析装置等の処理装置に対して、第１実施形態から第１０実施形態までの任意の実施形態を適用し得る。

　また、第１実施形態から第１０実施形態に示す画像処理部２２等は、図２６に示すハードウェア構成を有し、画像処理に関するプログラム及び表示に関するプログラムを実行する画像処理装置として構成し得る。

　本発明の技術的範囲は、上記の実施形態に記載の範囲には限定されない。各実施形態における構成等は、本発明の趣旨を逸脱しない範囲で、各実施形態の間で適宜組み合わせることができる。

１０　欠陥検査システム
２０　検査装置
２２　画像処理部
２２Ａ　画像処理部
２２Ｂ　画像処理部
２２Ｃ　画像処理部
２２Ｄ　画像処理部
２２Ｅ　画像処理部
３２　入力装置
３４　ディスプレイ装置
３４Ａ　ルーラ操作が中断された状態
３４Ｂ　ルーラ操作が引き継がれた状態
３５　カラーディスプレイ装置
５０　金属部品
５１　第１部品部分
５２　第２部品部分
５４　背景
５６　枠
５８　輪郭線
６０　金属部品
６１　第１部品部分
６２　第２部品部分
６４　背景
７０　第１表示窓
７２　第２表示窓
７４　グリッド
７６　グリッド
８０　マウスカーソル
８２　マーカー
８４　線分
８６　線分
８８　画素
９０　線分
９２　線分
９４　欠陥種類情報表示領域
９６　欠陥種類情報表示領域
１００　撮影システム
１０２　撮影制御部
１０４　撮影操作部
１０６　画像記録部
１０８　カメラ
１１０　第１放射線源
１１２　第２放射線源
１１３　放射線源
１１４　撮影室
１２０　製品データベース
２０２　プロセッサ
２０４　コンピュータ可読媒体
２０６　通信インターフェース
２０８　入出力インターフェース
２１０　バス
２２０　画像処理プログラム
２２２　表示プログラム
２２４　検査プログラム
２３０　透過画像処理プログラム
２３２　連動処理プログラム
２３４　欠陥領域画像処理プログラム
４００　透過画像受付部
４０２　第１表示窓生成部
４１０　欠陥領域受付部
４１２　欠陥領域画像生成部
４１２Ａ　カラー欠陥領域画像生成部
４１４　第２表示窓生成部
４１４Ａ　カラー第２表示窓生成部
４２０　表示変更操作受付部
４２２　画像変更パラメータ生成部
４３０　表示制御部
４３１　カラー表示制御部
４４０　周波数選択処理部
４５０　欠陥領域検出部
４６０　欠陥領域修正受付部
４７０　欠陥領域検出学習部
Ｄ１０　検査データ
Ｄ１２　検査対象物特定情報
Ｄ１４　検査対象物測定データ
Ｄ１６　欠陥候補データ
Ｄ１８　診断結果データ
Ｄ１００　撮影データ
Ｄ１０２　検査対象物特定情報
Ｄ１０４　撮影画像データ
Ｄ１０６　撮影条件データ
Ｄ１０８　照明条件データ
Ｄ１２０　製品データ
Ｄ１２２　製品特定情報
Ｄ１２４　製品属性情報
Ｄ１２６　検査領域指定情報
ＤＡ　欠陥領域
ＤＡ１　欠陥領域
ＤＡ２　欠陥領域
ＤＡ３　欠陥領域
ＤＥ　欠陥
ＩＭＧ　透過画像
ＩＭＧ１　透過画像
ＩＭＧ２　透過画像
ＩＭＧ３　透過画像
ＩＭＧＣ　カラー表示画像
ＩＭＧＤ　欠陥領域画像
ＩＭＧＤＣ　欠陥領域画像
ＩＭＧＤＩＳ　表示画像
ＩＭＧＦ　周波数選択画像
ＩＭＧＷ１　第１表示窓画像
ＩＭＧＷ２　第２表示窓画像
ＩＭＧＷＣ　第２表示窓画像
ＩＮＦＲ　欠陥領域修正情報
ＬＭ　欠陥領域検出モデル
ＮＷ　ネットワーク
ＯＢＪ　検査対象物
ＰＡＲ　変更パラメータ
ＰＡＲ１　第１画像変更パラメータ
ＰＡＲ２　第２画像変更パラメータ

Claims

　１つ以上のプロセッサを備え、
　前記１つ以上のプロセッサは、
　処理対象物を撮影して生成される処理対象画像を取得し、
　前記処理対象画像を第１表示装置の第１領域へ表示させ、
　前記処理対象物における注目領域が再現された注目領域画像を取得し、
　前記第１表示装置の前記第１領域と異なる第２領域へ前記注目領域画像を表示させるか、又は前記第１表示装置と異なる第２表示装置へ前記注目領域画像を表示させ、
　前記処理対象画像又は前記注目領域画像の一方への操作に連動して他方を操作する画像処理装置。
　前記１つ以上のプロセッサは、
　前記処理対象画像として、前記処理対象物を透過した光線又は放射線に基づいて生成される透過画像を取得し、
　前記処理対象画像として前記透過画像を表示させる請求項１に記載の画像処理装置。
　前記１つ以上のプロセッサは、
　前記処理対象画像として前記処理対象物を透過した光線又は放射線に基づいて生成される透過画像を取得し、
　前記透過画像に対して周波数選択処理を施して周波数選択画像を生成し、
　前記処理対象画像として前記周波数選択画像を表示させる請求項１に記載の画像処理装置。
　前記１つ以上のプロセッサは、
　前記処理対象画像に対する操作を表す処理対象画像操作指令を取得し、
　前記処理対象画像操作指令に応じて前記処理対象画像を操作し、前記処理対象画像の操作に連動して前記注目領域画像を操作する請求項１から３のいずれか一項に記載の画像処理装置。
　前記１つ以上のプロセッサは、
　前記処理対象画像操作指令として、前記処理対象画像に対する位置を変更する処理対象画像変更指令を取得し、
　前記処理対象画像変更指令に応じて、前記処理対象画像の位置変更を実施する請求項４に記載の画像処理装置。
　前記１つ以上のプロセッサは、
　前記処理対象画像操作指令として、前記処理対象画像に対する変倍率を変更する処理対象画像変更指令を取得し、
　前記処理対象画像変更指令に応じて、前記処理対象画像の変倍を実施する請求項４又は５に記載の画像処理装置。
　前記１つ以上のプロセッサは、
　前記注目領域画像に対する操作を表す注目領域画像操作指令を取得し、
　前記注目領域画像操作指令に応じて前記注目領域画像を操作し、前記注目領域画像の操作に連動して前記処理対象画像を操作する請求項１から３のいずれか一項に記載の画像処理装置。
　前記１つ以上のプロセッサは、
　前記注目領域画像操作指令として、前記注目領域画像に対する位置を変更する注目領域画像変更指令を取得し、
　前記注目領域画像変更指令に応じて、前記注目領域画像の位置変更を実施する請求項７に記載の画像処理装置。
　前記１つ以上のプロセッサは、
　前記注目領域画像操作指令として、前記注目領域画像に対する変倍率を変更する注目領域画像変更指令を取得し、
　前記注目領域画像変更指令に応じて、前記注目領域画像の変倍を実施する請求項７又は８に記載の画像処理装置。
　前記１つ以上のプロセッサは、
　前記処理対象画像から注目領域を自動検出し、
　前記自動検出された処理対象画像における注目領域に基づいて前記注目領域画像を生成し、
　前記生成された前記注目領域画像を取得する請求項１から９のいずれか一項に記載の画像処理装置。
　前記１つ以上のプロセッサは、
　前記処理対象画像と前記注目領域の自動検出結果とを対応付けして記憶し、
　前記処理対象画像と前記注目領域の自動検出結果との組を学習データとして学習した第１学習モデルを生成し、
　前記第１学習モデルを前記注目領域の自動検出に適用する請求項１０に記載の画像処理装置。
　前記１つ以上のプロセッサは、
　前記処理対象画像から予め検出された前記注目領域に基づいて、予め生成された前記注目領域画像を取得する請求項１から９のいずれか一項に記載の画像処理装置。
　前記１つ以上のプロセッサは、
　前記注目領域に対する修正を受け付け、
　前記修正に基づいて前記注目領域画像を修正する請求項１から１２のいずれか一項に記載の画像処理装置。
　前記１つ以上のプロセッサは、
　前記注目領域画像と前記注目領域画像の修正結果とを対応付けして記憶し、
　前記注目領域画像と前記注目領域画像の修正結果との組を学習データとして学習した第２学習モデルを生成し、
　前記第２学習モデルを前記注目領域の自動検出に適用する請求項１３に記載の画像処理装置。
　前記１つ以上のプロセッサは、
　前記処理対象画像及び前記注目領域画像に対して、互いに連動するグリッドを重畳表示させる請求項１から１４のいずれか一項に記載の画像処理装置。
　前記１つ以上のプロセッサは、
　前記処理対象画像又は前記注目領域画像の一方に対する位置を指定する位置指定操作を受け付け、
　前記一方に対する前記位置指定操作に応じて、前記一方において指定された位置に対応する他方における位置を強調する強調処理を施す請求項１から１５のいずれか一項に記載の画像処理装置。
　前記１つ以上のプロセッサは、
　前記処理対象画像又は前記注目領域画像の一方に対する位置を指定する位置指定操作を受け付け、
　前記一方に対する前記位置指定操作に応じて、前記一方において指定された位置に対応する他方における位置へポインタを表示させる請求項１から１６のいずれか一項に記載の画像処理装置。
　前記１つ以上のプロセッサは、
　前記処理対象画像又は前記注目領域画像の一方に対するルーラ操作を受け付け、
　前記一方に対するルーラ操作に応じて、前記一方に対するルーラ操作に対応する他方へのルーラ操作を表示させる請求項１から１７のいずれか一項に記載の画像処理装置。
　前記１つ以上のプロセッサは、
　前記注目領域の種類を取得し、
　前記注目領域の種類を前記第１領域へ表示させ、
　前記第１領域へ表示させる前記注目領域の種類に対応付けして、前記第２領域又は前記第２表示装置へ前記注目領域の種類を表示させる請求項１から１８のいずれか一項に記載の画像処理装置。
　前記１つ以上の前記プロセッサは、
　前記処理対象画像をグレースケール表示させ、
　前記注目領域画像をカラー表示させる請求項１から１９のいずれか一項に記載の画像処理装置。
　前記１つ以上の前記プロセッサは、
　前記処理対象画像のみを表記させる第１表示モードと、前記処理対象画像及び前記注目領域画像を表示させる第２表示モードとを切り替える請求項１から２０のいずれか一項に記載の画像処理装置。
　前記処理対象物を撮影する撮影装置と、
　１つ以上のプロセッサと、
　を備え、
　前記１つ以上のプロセッサは、
　前記処理対象物を撮影して生成される処理対象画像を取得し、
　前記処理対象画像を第１表示装置の第１領域へ表示させ、
　前記処理対象物における注目領域が再現された注目領域画像を取得し、
　前記第１表示装置の前記第１領域と異なる第２領域へ前記注目領域画像を表示させるか、又は前記第１表示装置と異なる第２表示装置へ前記注目領域画像を表示させ、
　前記処理対象画像又は前記注目領域画像の一方への操作に連動して他方を操作する処理システム。
　コンピュータが、
　処理対象物を撮影して生成される処理対象画像を取得し、
　前記処理対象画像を第１表示装置の第１領域へ表示させ、
　前記処理対象物における注目領域が再現された注目領域画像を取得し、
　前記第１表示装置の前記第１領域と異なる第２領域へ前記注目領域画像を表示させるか、又は前記第１表示装置と異なる第２表示装置へ前記注目領域画像を表示させ、
　前記処理対象画像又は前記注目領域画像の一方への操作に連動して他方を操作する画像表示方法。
　コンピュータに、
　処理対象物を撮影して生成される処理対象画像を取得する機能、
　前記処理対象画像を第１表示装置の第１領域へ表示させる機能、
　前記処理対象物における注目領域が再現された注目領域画像を取得する機能、
　前記第１表示装置の前記第１領域と異なる第２領域へ前記注目領域画像を表示させるか、又は前記第１表示装置と異なる第２表示装置へ前記注目領域画像を表示させる機能、及び
　前記処理対象画像又は前記注目領域画像の一方への操作に連動して他方を操作する機能を実現させるプログラム。
　非一時的かつコンピュータ読取可能な記録媒体であって、請求項２４に記載のプログラムが記録された記録媒体。