WO2022195939A1

WO2022195939A1 - 電子部品及び電子装置

Info

Publication number: WO2022195939A1
Application number: PCT/JP2021/038251
Authority: WO
Inventors: 敬之樋口; 政和福光
Original assignee: 株式会社村田製作所
Priority date: 2021-03-18
Filing date: 2021-10-15
Publication date: 2022-09-22

Abstract

第１端子電極と、主面の平面視において第１端子電極とは異なる位置に設けられた第２端子電極と、主面の平面視において第１端子電極を基準として第２端子電極とは反対側となる位置に設けられた第３端子電極とを有し、主面の平面視において第２端子電極の中心位置と第３端子電極の中心位置とを結ぶ直線から外れた位置に第１端子電極の中心位置が配置され、第１端子電極は、第１端子電極の中心位置と第２端子電極の中心位置とを結ぶ直線に対して交差する方向に切り欠いた第１切り欠き部と、第１端子電極の中心位置と第３端子電極の中心位置とを結ぶ直線に対して交差する方向に切り欠いた第２切り欠き部と、を有し、第２端子電極は、第１端子電極の中心位置と第２端子電極の中心位置とを結ぶ直線に対して交差する方向に切り欠いた第３切り欠き部を有し、第３端子電極は、第１端子電極の中心位置と第３端子電極の中心位置とを結ぶ直線に対して交差する方向に切り欠いた第４切り欠き部を有し、第１端子電極の中心位置と第１切り欠き部との距離は、第１端子電極の中心位置と第２切り欠き部との距離と等しい。

Description

電子部品及び電子装置

　本発明は、電子部品及び電子装置に関する。

　従来、基板に対してはんだ付けにより実装される電子部品の一例として、３端子型の電子部品が広く知られている。例えば、特許文献１には、３つの端子電極が非直線上に配置された電子部品が開示されている。

特開２０００－２４３８８７号公報

　しかしながら、従来の技術においては、電子部品の製造過程で端子電極のプロービングを行うためには端子電極の面積を大きくするのが好ましい一方で、端子電極間のショート不良の発生を抑制するためには端子電極の面積を小さくする方が好ましく、これらの課題はトレードオフの関係にあることから、その両立を図ることは困難となっていた。

　本発明はこのような事情に鑑みてなされたものであり、製造過程での端子電極のプロービングを容易としつつ、端子電極間においてショート不良が発生することを抑制できる電子部品及び電子装置を提供することを目的とする。

　本発明の一側面に係る電子部品は、３つの端子電極が主面に設けられた電子部品であって、３つの端子電極は、第１端子電極と、主面の平面視において第１端子電極とは異なる位置に設けられた第２端子電極と、主面の平面視において第１端子電極を基準として第２端子電極とは反対側となる位置に設けられた第３端子電極とにより構成され、主面の平面視において第２端子電極の中心位置と第３端子電極の中心位置とを結ぶ直線から外れた位置に第１端子電極の中心位置が配置され、第１端子電極は、第１端子電極の中心位置と第２端子電極の中心位置とを結ぶ直線に対して交差する方向に切り欠いた第１切り欠き部と、第１端子電極の中心位置と第３端子電極の中心位置とを結ぶ直線に対して交差する方向に切り欠いた第２切り欠き部と、を有し、第２端子電極は、第１端子電極の中心位置と第２端子電極の中心位置とを結ぶ直線に対して交差する方向に切り欠いた第３切り欠き部を有し、第３端子電極は、第１端子電極の中心位置と第３端子電極の中心位置とを結ぶ直線に対して交差する方向に切り欠いた第４切り欠き部を有し、第１端子電極の中心位置と第１切り欠き部との距離は、第１端子電極の中心位置と第２切り欠き部との距離と等しい。

　本発明によれば、製造過程での端子電極のプロービングを容易としつつ、端子電極間においてショート不良が発生することを抑制することが可能となる。

第１実施形態に係る共振装置の外観を示す斜視図である。第１実施形態に係る共振装置の構造を示す分解斜視図である。第１実施形態に係る共振子の構造を示す平面図である。第１実施形態に係る共振装置における電源端子及び接地端子の配置を示す平面図である。第２実施形態に係る共振装置における電源端子及び接地端子の配置を示す平面図である。第３実施形態に係る共振装置における電源端子及び接地端子の配置を示す平面図である。第４実施形態に係る共振装置における電源端子及び接地端子の配置を示す平面図である。第５実施形態に係る共振装置における電源端子及び接地端子の配置を示す平面図である。第５実施形態に係る共振装置と基板との接合構造を示す模式図である。第６実施形態に係る共振装置における電源端子及び接地端子の配置を示す面図である。第６実施形態に係る共振装置と基板との接合構造を示す模式図である。

　　＜第１実施形態＞
　以下、図面を参照して、本発明の第１実施形態について説明する。図１は、本発明の第１実施形態に係る共振装置１の外観を概略的に示す斜視図である。図２は、本発明の第１実施形態に係る共振装置１の構造を概略的に示す分解斜視図である。共振装置１は、電子部品の一例である。

　共振装置１は、共振子１０と、上蓋３０と、下蓋２０とを備えている。上蓋３０は、共振子１０を挟んで下蓋２０に対向するように設けられている。すなわち、共振装置１は、下蓋２０と、共振子１０と、上蓋３０とがこの順で積層されて構成されている。また、共振装置１は、共振子１０と上蓋３０及び下蓋２０とが接合されることで、共振子１０の振動空間が形成されている。共振子１０、上蓋３０及び下蓋２０は、Ｓｉ基板同士が互いに接合されている。共振子１０及び下蓋２０は、ＳＯＩ基板を用いてもよい。

　共振子１０は、ＭＥＭＳ技術を用いて製造されるＭＥＭＳ共振子である。なお、本実施形態においては、共振子１０はシリコン基板を用いて形成されるものを例として説明する。以下、共振装置１の各構成について詳細に説明する。

（１．上蓋３０）
　上蓋３０はＸＹ平面に沿って平板状に広がっており、その裏面に例えば平たい直方体状の凹部３１が形成されている。凹部３１は、側壁３２に囲まれており、共振子１０が振動する空間である振動空間の一部を形成している。上蓋３０の表面には、２つの電源端子４０，５０と、接地端子６０とが設けられている。

（２．下蓋２０）
　下蓋２０は、底板２２と、側壁２３とを備えている。底板２２は、矩形板状をなしており、ＸＹ平面に沿って設けられている。側壁２３は、底板２２の周縁部からＺ軸方向（すなわち、下蓋２０と共振子１０との積層方向）に延びている。下蓋２０には、底板２２の表面と側壁２３の内面とによって形成される凹部２１が設けられている。凹部２１は、下蓋２０における共振子１０と対向する面に設けられている。凹部２１は、共振子１０の振動空間の一部を形成している。共振子１０の振動空間は、上述した上蓋３０と下蓋２０とによって気密状に封止されることで、真空状態が維持されている。共振子１０の振動空間には、例えば不活性ガス等の気体が充填されてもよい。

（３．共振子１０）
　図３は、第１実施形態に係る共振子１０の構造を概略的に示す平面図である。

　図３に示すように、共振子１０は、振動部１２０と、保持部１４０と、保持腕１１０とを備えている。

　（ａ）振動部１２０
　振動部１２０は、図３に示す直交座標系におけるＸＹ平面に沿って広がる矩形の輪郭を有している。振動部１２０は、保持部１４０の内側に設けられ、振動部１２０と保持部１４０との間には空間が形成されている。図３に示す例では、振動部１２０は、音叉型振動子であり、基部１３０と４本の振動腕１３５Ａ，１３５Ｂ，１３５Ｃ，１３５Ｄ（まとめて「振動腕１３５」とも呼ぶ）とを有している。４本の振動腕１３５Ａ，１３５Ｂ，１３５Ｃ，１３５Ｄの各々の上面には、上部電極１２５Ａ～１２５Ｄ（まとめて「上部電極１２５」とも呼ぶ）が一つずつ設けられている。上部電極１２５Ａ，１２５Ｄは、電源端子４０に電気的に接続されている。上部電極１２５Ｂ，１２５Ｃは、電源端子５０に電気的に接続されている。４本の振動腕１３５Ａ～１３５Ｄの各々の下面には、下部電極（図示略）が一つずつ設けられている。４つの下部電極の各々は、接地端子６０に電気的に接続されている。なお、振動腕１３５、上部電極１２５及び下部電極の数は、４つに限定されるものではなく、例えば３つ以上の任意の数に設定されている。本実施形態において、各振動腕１３５と基部１３０とは一体に形成されている。

　基部１３０は、平面視において、Ｘ軸方向に長辺１３１ａ，１３１ｂを有し、Ｙ軸方向に短辺１３１ｃ，１３１ｄを有する。長辺１３１ａは、基部１３０の前端の面１３１Ａ（以下、「前端１３１Ａ」とも呼ぶ）の一つの辺であり、長辺１３１ｂは基部１３０の後端の面１３１Ｂ（以下、「後端１３１Ｂ」とも呼ぶ）の一つの辺である。基部１３０において、前端１３１Ａと後端１３１Ｂとは互いに対向している。基部１３０の前端１３１Ａは振動腕１３５に接続され、基部１３０の後端１３１Ｂは保持腕１１０に接続されている。

　振動腕１３５は、Ｙ軸方向に延びており、同一のサイズを有している。振動腕１３５は、基部１３０と保持部１４０との間にＹ軸方向に平行に設けられている。振動腕１３５は、一端が基部１３０の前端１３１Ａと接続されて固定端となっており、他端が開放端となっている。また、振動腕１３５は、Ｘ軸方向に所定の間隔で並列して設けられている。なお、振動腕１３５は、例えばＸ軸方向の幅が５０μｍ程度であり、Ｙ軸方向の長さが４６５μｍ程度である。

　振動腕１３５の開放端には錘部Ｇが設けられている。錘部Ｇは、例えば、振動腕１３５の他の部位よりもＸ軸方向の幅が広くてもよいし、振動腕１３５の他の部位とＸ軸方向の幅が同一であってもよい。錘部Ｇは、例えば、金属層を積層させることで形成されている。振動腕１３５は、開放端に錘部Ｇを有する。これにより、単位長さ当たりの重さが固定端側よりも開放端側の方が重くなることで、振動腕１３５における上下方向の振幅の大きさが増大している。

　振動部１２０の表面（上蓋３０に対向する面）には保護膜２３５が形成されている。振動腕１３５における保護膜２３５の表面の一部には、周波数調整膜２３６が形成されている。保護膜２３５及び周波数調整膜２３６は、振動部１２０の共振周波数の調整に用いられている。なお、保護膜２３５は、必ずしも振動部１２０の全面を覆う必要はないが、周波数調整における下地の電極膜及び圧電膜へのダメージを保護するために振動部１２０の全面を覆うことが好ましい。

　周波数調整膜２３６は、保護膜２３５の上面に設けられている。周波数調整膜２３６の表面は、振動部１２０における振動による変位が比較的大きい領域において露出している。例えば、周波数調整膜２３６の表面は、振動腕１３５の先端に形成された錘部Ｇにおいて露出している。

　（ｂ）保持部１４０
　保持部１４０は、ＸＹ平面に沿って矩形の枠状に形成されている。保持部１４０は、平面視において、ＸＹ平面に沿って振動部１２０の外側を囲むように設けられている。保持部１４０は、振動部１２０の周囲の少なくとも一部に設けられていればよく、枠状の形状に限定されない。例えば、保持部１４０は、振動部１２０を保持し、上蓋３０及び下蓋２０と接合できる程度に振動部１２０の周囲に設けられていればよい。

　保持部１４０は、角柱形状の枠体１４０ａ～１４０ｄが一体形成されている。枠体１４０ａは、振動腕１３５の開放端に対向しており、枠体１４０ａの長手方向はＸ軸方向と一致している。枠体１４０ｂは、基部１３０の後端１３１Ｂに対向しており、枠体１４０ｂの長手方向はＸ軸方向と一致している。枠体１４０ｃは、基部１３０の側端（短辺１３１ｃ）及び振動腕１３５Ａに対向しており、枠体１４０ｃの長手方向はＹ軸方向と一致している。枠体１４０ｃは、一端が枠体１４０ａに接続されており、他端が枠体１４０ｂに接続されている。枠体１４０ｄは、基部１３０の側端（短辺１３１ｄ）及び振動腕１３５Ｄに対向しており、枠体１４０ｄの長手方向はＹ軸方向と一致している。枠体１４０ｄは、一端が枠体１４０ａに接続されており、他端が枠体１４０ｂに接続されている。

　（ｃ）保持腕１１０
　保持腕１１０は、保持部１４０の内側に設けられ、基部１３０の後端１３１Ｂと枠体１４０ｂとを接続している。保持腕１１０の一端は基部１３０の後端１３１Ｂに接続されており、保持腕１１０の他端は枠体１４０ｂに接続されている。保持腕１１０の長手方向はＹ軸方向と一致している。

（４．電源端子４０，５０及び接地端子６０）
　図４は、第１実施形態に係る共振装置１における電源端子４０，５０及び接地端子６０の配置を示す平面図である。

　図４に示すように、共振装置１の上蓋３０の主面Ｓは、矩形状をなしており、２つの電源端子４０，５０と１つの接地端子６０が設けられている。電源端子４０は第１端子電極の一例であり、電源端子５０は第２端子電極の一例であり、接地端子６０は第３端子電極の一例である。電源端子５０の中心位置Ｇ２は、上蓋３０の主面Ｓの平面視において電源端子４０の中心位置Ｇ１と接地端子６０の中心位置Ｇ３とを結ぶ直線から外れた位置に配置されている。すなわち、上蓋３０の主面Ｓの平面視において、電源端子４０の中心位置Ｇ１、電源端子５０の中心位置Ｇ２、および、接地端子６０の中心位置Ｇ３は、同一直線上には配置されていない。

　電源端子４０は、上蓋３０の主面Ｓの長手方向の中央であり、かつ、上蓋３０の主面の短手方向の端部（図４に示す例では上端部）に設けられている。電源端子４０は、長方形状の端子における４つの角部のうち、隣り合う２つの角部の各々を斜めに直線状に切り欠いた切り欠き部４１，４２を有している。切り欠き部４１は第１切り欠き部の一例であり、切り欠き部４２は第２切り欠き部の一例である。切り欠き部４１は、電源端子４０の中心位置Ｇ１と電源端子５０の中心位置Ｇ２とを結ぶ直線Ｌ１に対して直交する方向に直線状に切り欠かれている。切り欠き部４２は、電源端子５０の中心位置Ｇ２と接地端子６０の中心位置Ｇ３とを結ぶ直線Ｌ２に対して直交する方向に直線状に切り欠かれている。電源端子４０の中心位置Ｇ１と切り欠き部４１との距離は、電源端子４０の中心位置Ｇ１と切り欠き部４２との距離と等しい。切り欠き部４１は、切り欠き部４１に隣り合う電源端子４０の長辺４０ａ及び短辺４０ｂの各々との間で鈍角をなすように交差している。すなわち、切り欠き部４１は、切り欠き部４１に隣り合う電源端子４０の長辺４０ａ及び短辺４０ｂの各々との間でなす角度が９０度以上である。切り欠き部４２は、切り欠き部４２に隣り合う電源端子４０の長辺４０ｃ及び短辺４０ｂの各々との間で鈍角をなすように交差している。すなわち、切り欠き部４２は、切り欠き部４２に隣り合う電源端子４０の長辺４０ｃ及び短辺４０ｂの各々との間でなす角度が９０度以上である。

　電源端子５０は、上蓋３０の主面Ｓの平面視において電源端子４０とは異なる位置に設けられている。電源端子５０は、例えば、電源端子４０を基準として、上蓋３０の主面Ｓの長手方向における第１方向側（図４に示す例では左側）であって、かつ、上蓋３０の主面Ｓの短手方向における第１方向側（図４に示す例では下側）に設けられている。

　電源端子５０は、長方形状の端子における４つの角部のうち、１つの角部を斜めに直線状に切り欠いた切り欠き部５１を有している。切り欠き部５１は第３切り欠き部の一例である。切り欠き部５１は、電源端子４０の中心位置Ｇ１と電源端子５０の中心位置Ｇ２とを結ぶ直線に対して直交する方向に直線状に切り欠かれている。切り欠き部５１は、上蓋３０の主面Ｓの平面視において、電源端子４０の切り欠き部４１と平行に延びている。切り欠き部４１と切り欠き部５１との間隔Ｓ２は、上蓋３０の主面Ｓの長手方向における電源端子４０の長辺４０ａと電源端子５０の長辺５０ａとの間隔Ｓ１よりも大きい。電源端子５０の中心位置Ｇ２と切り欠き部５１との距離は、電源端子４０の中心位置Ｇ１と切り欠き部４１との距離と等しい。切り欠き部５１は、切り欠き部５１に隣り合う電源端子５０の長辺５０ａ及び短辺５０ｂの各々との間で鈍角をなすように交差している。すなわち、切り欠き部５１は、切り欠き部５１に隣り合う電源端子５０の長辺５０ａ及び短辺５０ｂの各々との間でなす角度が９０度以上である。

　接地端子６０は、上蓋３０の主面Ｓの平面視において電源端子４０を基準として電源端子５０とは反対側となる位置に設けられている。接地端子６０は、例えば、電源端子４０を基準として、上蓋３０の主面Ｓの長手方向における第２方向側（図４に示す例では右側）であって、かつ、上蓋３０の主面Ｓの短手方向における第１方向側（図４に示す例では下側）に設けられている。接地端子６０は、例えば、上蓋３０の主面Ｓの短手方向において電源端子５０と同一の位置に設けられている。

　接地端子６０は、長方形状の端子における４つの角部のうち、１つの角部を斜めに直線状に切り欠いた切り欠き部６１を有している。切り欠き部６１は第４切り欠き部の一例である。切り欠き部６１は、電源端子４０の中心位置Ｇ１と接地端子６０の中心位置Ｇ３とを結ぶ直線に対して直交する方向に直線状に切り欠かれている。切り欠き部６１は、上蓋３０の主面Ｓの平面視において、電源端子４０の切り欠き部４２と平行に延びている。切り欠き部４２と切り欠き部６１との間隔Ｓ２は、上蓋３０の主面Ｓの長手方向における電源端子４０の長辺４０ｃと接地端子６０の長辺６０ａとの間隔Ｓ１よりも大きい。電源端子４０の中心位置Ｇ１と切り欠き部４２との距離は、接地端子６０の中心位置Ｇ３と切り欠き部６１との距離と等しい。切り欠き部６１は、切り欠き部６１に隣り合う接地端子６０の長辺６０ａ及び短辺６０ｂの各々との間で鈍角をなすように交差している。すなわち、切り欠き部６１は、切り欠き部６１に隣り合う接地端子６０の長辺６０ａ及び短辺６０ｂの各々との間でなす角度が９０度以上である。

　本実施形態に係る共振装置１においては、電源端子４０、電源端子５０、及び、接地端子６０が上蓋３０の主面Ｓに設けられ、上蓋３０の主面Ｓの平面視において、電源端子４０の中心位置Ｇ１、電源端子５０の中心位置Ｇ２、および、接地端子６０の中心位置Ｇ３は、同一直線上には配置されていない。そのため、端子数が３つであっても、共振装置１を基板にはんだ実装した際に、共振装置１が傾いてショート不良が発生することを抑制できる。また、端子数が４つである場合と比較して、端子電極間の距離を確保することができるため、はんだブリッジによるショート不良が発生することを抑制できる。また、端子数が４つである場合と比較して、各々の端子の面積を確保しやすいため、製造過程での端子電極のプロービングを容易とすることができる。

　また、本実施形態に係る共振装置１においては、電源端子４０は、電源端子４０の中心位置Ｇ１と電源端子５０の中心位置Ｇ２とを結ぶ直線Ｌ１に対して直交する方向に切り欠いた切り欠き部４１と、電源端子４０の中心位置Ｇ１と接地端子６０の中心位置Ｇ３とを結ぶ直線Ｌ２に対して直交する方向に切り欠いた切り欠き部４２と、を有し、電源端子５０は、電源端子４０の中心位置Ｇ１と電源端子５０の中心位置Ｇ２とを結ぶ直線に対して交差する方向に切り欠いた切り欠き部５１を有し、接地端子６０は、電源端子４０の中心位置Ｇ１と接地端子６０の中心位置Ｇ３とを結ぶ直線に対して直交する方向に切り欠いた切り欠き部６１を有している。そのため、端子電極間の距離をより一層確保しやすくなり、はんだブリッジによるショート不良が発生することをより一層抑制できる。

　また、本実施形態に係る共振装置１においては、電源端子４０の中心位置Ｇ１と切り欠き部４１との距離は、電源端子４０の中心位置Ｇ１と切り欠き部４２との距離と等しい。そのため、電源端子４０に切り欠き部４１，４２を設けたとしても、電源端子４０の中心位置Ｇ１を基準とした電源端子４０のプロービング領域が確保しやすく、製造過程での電源端子４０のプロ―ピングを容易とすることができる。

　また、本実施形態に係る共振装置１においては、電源端子４０、電源端子５０、および、接地端子６０の各々の中心位置Ｇ１，Ｇ２，Ｇ３と各対応する切り欠き部４１，４２，５１，６１との距離は互いに等しい。そのため、上蓋３０の主面Ｓにおける電源端子４０、電源端子５０、及び、接地端子６０の各々の面積が同程度となることで、各々の中心位置Ｇ１，Ｇ２，Ｇ３を基準としたプロービング領域が確保しやすく、製造過程での電源端子４０、電源端子５０、接地端子６０の各々のプロービングを容易とすることができる。

　また、本実施形態に係る共振装置１においては、切り欠き部４１は、切り欠き部４１に隣り合う電源端子４０の長辺４０ａ及び短辺４０ｂとの間でなす角度が９０度以上である。また、切り欠き部４２は、切り欠き部４２に隣り合う電源端子４０の長辺４０ｃ及び短辺４０ｂとの間でなす角度が９０度以上である。また、切り欠き部５１は、切り欠き部５１に隣り合う電源端子５０の長辺５０ａ及び短辺５０ｂとの間でなす角度が９０度以上である。また、切り欠き部６１は、切り欠き部６１に隣り合う接地端子６０の長辺６０ａ及び短辺６０ｂとの間でなす角度が９０度以上である。そのため、電源端子４０、電源端子５０、接地端子６０の各々に対するはんだ印刷時にはんだ抜け不良が発生しにくく、共振装置１を基板にはんだ実装した際に、共振装置１の傾きに起因したショート不良が発生したり、配線のオープン不良が発生したりすることを抑制できる。

　　＜第２実施形態＞
　第２実施形態以降では第１実施形態と共通の事柄についての記述を省略し、異なる点についてのみ説明する。特に、同様の構成による同様の作用効果については実施形態毎には逐次言及しない。

　図５は、第２実施形態に係る共振装置１における電源端子４０Ａ，５０Ａ及び接地端子６０Ａの配置を示す平面図である。

　第２実施形態に係る電源端子５０Ａは、長方形状の端子における４つの角部のうち、隣り合う２つの角部の各々を斜めに直線状に切り欠いた切り欠き部５１Ａ，５２Ａを有している。切り欠き部５１Ａは第３切り欠き部の一例であり、切り欠き部５２Ａは第５切り欠き部の一例である。切り欠き部５２Ａは、上蓋３０の主面Ｓの長手方向において、電源端子５０Ａの中心位置Ｇ２を基準として切り欠き部５１Ａとは反対側となる位置に設けられている。切り欠き部５２Ａは、例えば、電源端子５０Ａの中心位置Ｇ２を通るように上蓋３０の主面Ｓの短手方向に延びる軸線を基準として、切り欠き部５１Ａに対して線対称となるように構成されている。電源端子５０Ａの中心位置Ｇ２と切り欠き部５１Ａとの距離は、電源端子５０Ａの中心位置Ｇ２と切り欠き部５２Ａとの距離と等しい。切り欠き部５１Ａは、切り欠き部５１Ａに隣り合う電源端子５０Ａの長辺５０ａ及び短辺５０ｂの各々との間で鈍角をなすように交差している。すなわち、切り欠き部５１Ａは、切り欠き部５１Ａに隣り合う電源端子５０Ａの長辺５０ａ及び短辺５０ｂの各々との間でなす角度が９０度以上である。切り欠き部５２Ａは、切り欠き部５２Ａに隣り合う電源端子５０Ａの長辺５０ｃ及び短辺５０ｂの各々との間で鈍角をなすように交差している。すなわち、切り欠き部５２Ａは、切り欠き部５２Ａに隣り合う電源端子５０Ａの長辺５０ｃ及び短辺５０ｂの各々との間でなす角度が９０度以上である。

　第２実施形態に係る接地端子６０Ａは、長方形状の端子における４つの角部のうち、隣り合う２つの角部の各々を斜めに直線状に切り欠いた切り欠き部６１Ａ，６２Ａを有している。切り欠き部６１Ａは第４切り欠き部の一例であり、切り欠き部６２Ａは第６切り欠き部の一例である。切り欠き部６２Ａは、上蓋３０の主面Ｓの長手方向において、接地端子６０Ａの中心位置Ｇ３を基準として切り欠き部６１Ａとは反対側となる位置に設けられている。切り欠き部６２Ａは、例えば、接地端子６０Ａの中心位置Ｇ３を通るように上蓋３０の主面Ｓの短手方向に延びる軸線を基準として、切り欠き部６１Ａに対して線対称となるように構成されている。接地端子６０Ａの中心位置Ｇ３と切り欠き部６１Ａとの距離は、接地端子６０Ａの中心位置Ｇ３と切り欠き部６２Ａとの距離と等しい。切り欠き部６１Ａは、切り欠き部６１Ａに隣り合う接地端子６０Ａの長辺６０ａ及び短辺６０ｂの各々との間で鈍角をなすように交差している。切り欠き部６１Ａは、切り欠き部６１Ａに隣り合う接地端子６０Ａの長辺６０ａ及び短辺６０ｂの各々との間でなす角度が９０度以上である。切り欠き部６２Ａは、切り欠き部６１Ｂに隣り合う接地端子６０Ａの長辺６０ｃ及び短辺６０ｂの各々との間で鈍角をなすように交差している。すなわち、切り欠き部６２Ａは、切り欠き部６２Ａに隣り合う接地端子６０Ａの長辺６０ｃ及び短辺６０ｂの各々との間でなす角度が９０度以上である。

　第２実施形態に係る共振装置１においては、電源端子５０Ａは、電源端子５０Ａの中心位置Ｇ２を基準として切り欠き部５１Ａとは反対側となる位置に設けられた切り欠き部５２Ａをさらに有し、接地端子６０Ａは、接地端子６０Ａの中心位置Ｇ３を基準として切り欠き部６１Ａとは反対側となる位置に設けられた切り欠き部６２Ａをさらに有する。そのため、電源端子４０Ａ、電源端子５０Ａ、接地端子６０Ａの各々の形状が均等となり、端子電極間におけるはんだの濡れ広がり方が均一となるため、共振装置１を基板にはんだ実装した際に、共振装置１が傾くことをより一層抑制することができる。また、電源端子４０Ａ，５０Ａ及び接地端子６０Ａの各々について、端子の外縁形状のうち鈍角をなす箇所が増えるため、はんだ印刷性をより一層向上することができる。

　　＜第３実施形態＞
　図６は、第３実施形態に係る共振装置１における電源端子４０Ｂ，５０Ｂ及び接地端子６０Ｂの配置を示す平面図である。

　第３実施形態に係る電源端子４０Ｂは、電源端子４０Ｂの中心位置Ｇ１と切り欠き部４１Ｂ及び切り欠き部４２Ｂの各々との距離が電源端子４０Ｂの短辺４０ｂの長さの半分である。そのため、電源端子４０Ｂの中心位置Ｇ１を中心として電源端子４０Ｂの長辺４０ａに内接する内接円は、切り欠き部４１Ｂ及び切り欠き部４２Ｂにも内接する。

　第３実施形態に係る電源端子５０Ｂは、電源端子５０Ｂの中心位置Ｇ２と切り欠き部５１Ｂ及び切り欠き部５２Ｂの各々との距離が電源端子５０Ｂの短辺５０ｂの長さの半分である。そのため、電源端子５０Ｂの中心位置Ｇ２を中心として電源端子５０Ｂの長辺５０ａに内接する内接円は、切り欠き部５１Ｂ及び切り欠き部５２Ｂにも内接する。

　第３実施形態に係る接地端子６０Ｂは、接地端子６０Ｂの中心位置Ｇ３と切り欠き６１Ｂ及び切り欠き部６２Ｂの各々との距離が接地端子６０Ｂの短辺６０ｂの長さの半分である。そのため、接地端子６０Ｂの中心位置Ｇ３を中心として接地端子６０Ｂの長辺６０ａに内接する内接円は、切り欠き部６１Ｂ及び切り欠き部６２Ｂにも内接する。

　第３実施形態に係る共振装置１においては、電源端子４０Ｂ、電源端子５０Ｂ、および、接地端子６０Ｂの各々の中心位置Ｇ１，Ｇ２，Ｇ２と各対応する切り欠き部４１Ｂ，４２Ｂ，５１Ｂ，５２Ｂ，６１Ｂ，６２Ｂとの距離は、電源端子４０Ｂ、電源端子５０Ｂ、および、接地端子６０Ｂの各々の短辺４０ｂ，５０ｂ，６０ｂの長さの半分である。そのため、電源端子４０Ｂ、電源端子５０Ｂ、および、接地端子６０Ｂの各々に切り欠き部４１Ｂ，４２Ｂ，５１Ｂ，５２Ｂ，６１Ｂ，６２Ｂを設けたとしても、各々の中心位置Ｇ１，Ｇ２，Ｇ３を基準としたプロービング領域がより一層確保しやすく、製造過程での電源端子４０Ｂ、電源端子５０Ｂ、接地端子６０Ｂの各々のプロービングを容易とすることができる。

　　＜第４実施形態＞
　図７は、第４実施形態に係る共振装置１における電源端子４０Ｃ，５０Ｃ及び接地端子６０Ｃの配置を示す平面図である。

　第４実施形態に係る電源端子４０Ｃは、電源端子４０Ｃの中心位置Ｇ１と電源端子５０Ｃの中心位置Ｇ２とを結ぶ直線Ｌ１と切り欠き部４１Ｃとの間でなす角度、および、電源端子４０Ｃの中心位置Ｇ１と接地端子６０Ｃの中心位置Ｇ３とを結ぶ直線Ｌ２と切り欠き部４２Ｃとの間でなす角度の各々が、７５度以上１０５度以下の範囲にある。

　第４実施形態に係る電源端子５０Ｃは、電源端子４０Ｃの中心位置Ｇ１と電源端子５０Ｃの中心位置Ｇ２とを結ぶ直線Ｌ１と切り欠き部５１Ｃとの間でなす角度が７５度以上１０５度以下の範囲にある。

　第４実施形態に係る接地端子６０Ｃは、電源端子４０Ｃの中心位置Ｇ１と接地端子６０Ｃの中心位置Ｇ３とを結ぶ直線Ｌ２と切り欠き部６１Ｃとの間でなす角度が７５度以上１０５度以下の範囲にある。

　第４実施形態に係る共振装置１においては、電源端子４０Ｃ、電源端子５０Ｃ、接地端子６０Ｃにおける切り欠き部４１Ｃ，４２Ｃ，５１Ｃ，６１Ｃの設計の自由度を高めることができる。

　　＜第５実施形態＞
　図８Ａは、第５実施形態に係る共振装置１における電源端子４０Ｄ，５０Ｄ及び接地端子６０Ｄの配置を示す平面図である。図８Ｂは、第５実施形態に係る共振装置１と基板２００との接合構造を示す模式図である。

　第５実施形態における共振装置１と基板２００との接合構造においては、共振装置１の上蓋３０を基板２００に対向させた状態で、上蓋３０に設けられた電源端子４０Ｄ、電源端子５０Ｄ、及び、接地端子６０Ｄの各々が基板２００に対してはんだ接合されている。共振装置１と基板２００との接合構造は、電子装置の一例である。電源端子４０Ｄ、電源端子５０Ｄ、及び、接地端子６０Ｄの各々は、上蓋３０の表面全体に積層された絶縁層７０に設けられている。

　第５実施形態に係る電源端子４０Ｄは、電源端子４０Ｄの長辺４０ａと垂直な方向における電源端子４０Ｄの長辺４０ａと電源端子５０Ｄの長辺５０ａとの間隔をＳ１とし、電源端子４０Ｄの中心位置Ｇ１と電源端子５０Ｄの中心位置Ｇ２とを結ぶ直線Ｌ１上における切り欠き部４１Ｄと切り欠き部５１Ｄとの間隔をＳ２とし、共振装置１と基板２００との接合構造における共振装置１の電源端子４０Ｄと基板２００との間のはんだ層Ｈの厚みをＴとしたとき、Ｓ１＜Ｓ２、かつ、Ｓ２≧３×Ｔの関係式を満たす。

　第５実施形態に係る電源端子５０Ｄは、電源端子５０Ｄの長辺５０ａと垂直な方向における電源端子５０Ｄの長辺５０ａと電源端子４０Ｄの長辺４０ａとの間隔をＳ１とし、電源端子４０Ｄの中心位置Ｇ１と電源端子５０Ｄの中心位置Ｇ２とを結ぶ直線Ｌ１上における切り欠き部４１Ｄと切り欠き部５１Ｄとの間隔をＳ２とし、共振装置１と基板２００との接合構造における共振装置１の電源端子５０Ｄと基板２００との間のはんだ層Ｈの厚みをＴとしたとき、Ｓ１＜Ｓ２、かつ、Ｓ２≧３×Ｔの関係式を満たす。

　第５実施形態に係る接地端子６０Ｄは、接地端子６０Ｄの長辺６０ａと垂直な方向における接地端子６０Ｄの長辺６０ａと電源端子４０Ｄの長辺４０ｃとの間隔をＳ１とし、電源端子４０Ｄの中心位置Ｇ１と接地端子６０Ｄの中心位置Ｇ３とを結ぶ直線Ｌ２上における切り欠き部４２Ｄと切り欠き部６１Ｄとの間隔をＳ２とし、共振装置１と基板２００との接合構造における共振装置１の接地端子６０Ｄと基板２００との間のはんだ層Ｈの厚みをＴとしたとき、Ｓ１＜Ｓ２、かつ、Ｓ２≧３×Ｔの関係式を満たす。

　第５実施形態に係る共振装置１と基板２００との接合構造においては、共振装置１と基板２００との間のはんだ層Ｈの厚みに基づいて端子電極間の間隔が設定されているため、はんだブリッジによるショート不良が発生することをより一層抑制できる。

　　＜第６実施形態＞
　図９Ａは、第６実施形態に係る共振装置１における電源端子４０Ｅ，５０Ｅ及び接地端子６０Ｅの配置を示す平面図である。図９Ｂは、第６実施形態に係る共振装置１と基板２００との接合構造を示す模式図である。

　第６実施形態に係る共振装置１と基板２００との接合構造においては、上蓋３０の主面Ｓの平面視において、共振装置１の絶縁層７０Ａの外縁の少なくとも一部が共振装置１の外縁の内側に配置されている。本実施形態においては、上蓋３０の主面Ｓの平面視において、共振装置１の絶縁層７０Ａの外縁の全体が共振装置１の外縁の内側に配置されている。

　第６実施形態に係る共振装置１と基板２００との接合構造においては、上蓋３０の主面Ｓの平面視において、共振装置１のダイシングラインとなる上蓋３０の外縁３０Ｇが絶縁層７０Ｇと重なっていないため、共振装置１と基板２００とを接合した状態における共振装置１のダイシングを円滑に行うことができる。

　なお、上記各実施形態は、以下のような形態にて実施することもできる。

　上記各実施形態においては、上蓋３０の主面Ｓの一方側から他方側にかけて、電源端子５０，５０Ａ，５０Ｂ，５０Ｃ，５０Ｄ，５０Ｅ、電源端子４０，４０Ａ，４０Ｂ，４０Ｃ，４０Ｄ，４０Ｅ、接地端子６０，６０Ａ，６０Ｂ，６０Ｃ，６０Ｄ，６０Ｅの順番に配置した場合を例に挙げて説明したが、接地端子６０，６０Ａ，６０Ｂ，６０Ｃ，６０Ｄ，６０Ｅを上蓋３０の主面Ｓの中央付近に配置して接地端子６０，６０Ａ，６０Ｂ，６０Ｃ，６０Ｄ，６０Ｅの両側に電源端子４０，４０Ａ，４０Ｂ，４０Ｃ，４０Ｄ，４０Ｅ及び電源端子５０，５０Ａ，５０Ｂ，５０Ｃ，５０Ｄ，５０Ｅを配置してもよい。

　上記各実施形態において、電源端子４０，４０Ａ，４０Ｂ，４０Ｃ，４０Ｄ，４０Ｅ、電源端子５０，５０Ａ，５０Ｂ，５０Ｃ，５０Ｄ，５０Ｅ、および、接地端子６０，６０Ａ，６０Ｂ，６０Ｃ，６０Ｄ，６０Ｅの各々の形状は、必ずしも長方形状に限らず、正方形状、多角形状等、他の形状であってもよい。

　上記各実施形態において、上蓋３０の主面Ｓにおける電源端子４０，４０Ａ，４０Ｂ，４０Ｃ，４０Ｄ，４０Ｅ、電源端子５０，５０Ａ，５０Ｂ，５０Ｃ，５０Ｄ，５０Ｅ、接地端子６０，６０Ａ，６０Ｂ，６０Ｃ，６０Ｄ，６０Ｅの配置構成は、必ずしも対称な配置である必要はなく、非対称な配置であってもよい。

　上記各実施形態において、切り欠き部４１，４１Ａ，４１Ｂ，４１Ｃ，４１Ｄ，４１Ｅ、切り欠き部４２，４２Ａ，４２Ｂ，４２Ｃ，４２Ｄ，４２Ｅ、切り欠き部５１，５１Ａ，５１Ｂ，５１Ｃ，５１Ｄ，５１Ｅ、切り欠き部５２Ａ，５２Ｂ，５２Ｃ，５２Ｄ，５２Ｅ、切り欠き部６１，６１Ａ，６１Ｂ，６１Ｃ，６１Ｄ，６１Ｅ、切り欠き部６２Ａ，６２Ｂ，６２Ｃ，６２Ｄ，６２Ｅの各々は、必ずしも、各対応する端子の角部を斜めに切り欠いた形状とする必要はなく、例えば、各対応する端子の角部を矩形状に切り欠いた形状であってもよい。

　上記各実施形態においては、共振装置として、三端子が、接地端子と、互いに異なる電圧を供給する２つの電源端子との例を挙げて説明したが、各端子の機能はこれらに限定されるものではく、例えば互いに異なる電圧を供給する３つの電源端子で構成されていてもよい。また、三端子は、電源端子又は接地端子に限らず、いずれか少なくとも一つの端子がダミー端子であってもよい。

　上記各実施形態において、本発明の電子部品としては、三端子の電子部品であれば、共振装置１の他、例えば、トランジスタ、キャパシタ、インダクタ、集積回路（ＩＣ）、撮像素子、表示素子、センサ等に適用することも可能である。

　以下に、本発明の実施形態の一部又は全部を付記し、その効果について説明する。なお、本発明は以下の付記に限定されるものではない。

　本発明の一態様によれば、３つの端子電極が主面に設けられた電子部品であって、３つの端子電極は、第１端子電極と、主面の平面視において第１端子電極とは異なる位置に設けられた第２端子電極と、主面の平面視において第１端子電極を基準として第２端子電極とは反対側となる位置に設けられた第３端子電極とにより構成され、主面の平面視において第２端子電極の中心位置と第３端子電極の中心位置とを結ぶ直線から外れた位置に第１端子電極の中心位置が配置され、第１端子電極は、第１端子電極の中心位置と第２端子電極の中心位置とを結ぶ直線に対して交差する方向に切り欠いた第１切り欠き部と、第１端子電極の中心位置と第３端子電極の中心位置とを結ぶ直線に対して交差する方向に切り欠いた第２切り欠き部と、を有し、第２端子電極は、第１端子電極の中心位置と第２端子電極の中心位置とを結ぶ直線に対して交差する方向に切り欠いた第３切り欠き部を有し、第３端子電極は、第１端子電極の中心位置と第３端子電極の中心位置とを結ぶ直線に対して交差する方向に切り欠いた第４切り欠き部を有し、第１端子電極の中心位置と第１切り欠き部との距離は、第１端子電極の中心位置と第２切り欠き部との距離と等しい、電子部品が提供される。

　一態様として、第１端子電極、第２端子電極、および、第３端子電極の各々の中心位置と各対応する切り欠き部との距離は互いに等しい、電子部品が提供される。

　一態様として、第１切り欠き部及び第２切り欠き部の各々は、各対応する切り欠き部に隣り合う第１端子電極の外辺との間でなす角度が９０度以上である、電子部品が提供される。

　一態様として、第２端子電極は、第２端子電極の中心位置を基準として第３切り欠き部とは反対側となる位置に設けられた第５切り欠き部をさらに有し、第３端子電極は、第３端子電極の中心位置を基準として第４切り欠き部とは反対側となる位置に設けられた第６切り欠き部をさらに有する、電子部品が提供される。

　一態様として、第１端子電極、第２端子電極、および、第３端子電極の各々は、長方形状をなしており、第１端子電極、第２端子電極、および、第３端子電極の各々の中心位置と各対応する切り欠き部との距離は、第１端子電極、第２端子電極、および、第３端子電極の各々の短辺の長さの半分である、電子部品が提供される。

　一態様として、第１端子電極の中心位置と第２端子電極の中心位置とを結ぶ直線と第１切り欠き部との間でなす角度、および、第１端子電極の中心位置と第３端子電極の中心位置とを結ぶ直線と第２切り欠き部との間でなす角度の各々が、７５度以上１０５度以下の範囲にある、電子部品が提供される。

　一態様として、上記構成の電子部品と、電子部品がはんだ付けにより実装される基板と、を備える、電子装置が提供される。

　一態様として、第１端子電極の外辺と垂直な方向における第１端子電極の外辺と第２端子電極または第３端子電極の外辺との距離をＳ１とし、第１端子電極の中心位置と第２端子電極または第３端子電極の中心位置との距離をＳ２とし、電子部品と基板との間のはんだ付けの層の厚みをＴとしたとき、Ｓ１＜Ｓ２、かつ、Ｓ２≧３×Ｔの関係式を満たす、電子装置が提供される。

　一態様として、主面の平面視において、主面に積層された絶縁層の外縁の少なくとも一部が、電子部品の外縁の内側に配置されている、電子装置が提供される。

　以上説明したように、本発明の一態様によれば、製造過程での端子電極のプロービングを容易としつつ、端子電極間においてショート不良が発生することを抑制することができる。

　なお、以上説明した実施形態は、本発明の理解を容易にするためのものであり、本発明を限定して解釈するためのものではない。本発明は、その趣旨を逸脱することなく、変更／改良され得るとともに、本発明にはその等価物も含まれる。即ち、各実施形態に当業者が適宜設計変更を加えたものも、本発明の特徴を備えている限り、本発明の範囲に包含される。例えば、各実施形態が備える各要素及びその配置、材料、条件、形状、サイズなどは、例示したものに限定されるわけではなく適宜変更することができる。また、各実施形態が備える各要素は、技術的に可能な限りにおいて組み合わせることができ、これらを組み合わせたものも本発明の特徴を含む限り本発明の範囲に包含される。

　１　　　　　　　　　　　　共振装置
　１０　　　　　　　　　　　共振子
　２０　　　　　　　　　　　下蓋
　３０　　　　　　　　　　　上蓋
　４０　　　　　　　　　　　電源端子
　４１　　　　　　　　　　　切り欠き部
　４２　　　　　　　　　　　切り欠き部
　５０　　　　　　　　　　　電源端子
　５１　　　　　　　　　　　切り欠き部
　５２　　　　　　　　　　　切り欠き部
　６０　　　　　　　　　　　接地端子
　７０　　　　　　　　　　　絶縁層
　１１０　　　　　　　　　　保持腕
　１２０　　　　　　　　　　振動部
　１３０　　　　　　　　　　基部
　１４０　　　　　　　　　　保持部
　２００　　　　　　　　　　基板

Claims

　３つの端子電極が主面に設けられた電子部品であって、
　前記３つの端子電極は、
　第１端子電極と、
　前記主面の平面視において前記第１端子電極とは異なる位置に設けられた第２端子電極と、
　前記主面の平面視において前記第１端子電極を基準として前記第２端子電極とは反対側となる位置に設けられた第３端子電極とにより構成され、
　前記主面の平面視において前記第２端子電極の中心位置と前記第３端子電極の中心位置とを結ぶ直線から外れた位置に前記第１端子電極の中心位置が配置され、
　前記第１端子電極は、前記第１端子電極の中心位置と前記第２端子電極の中心位置とを結ぶ直線に対して交差する方向に切り欠いた第１切り欠き部と、前記第１端子電極の中心位置と前記第３端子電極の中心位置とを結ぶ直線に対して交差する方向に切り欠いた第２切り欠き部と、を有し、
　前記第２端子電極は、前記第１端子電極の中心位置と前記第２端子電極の中心位置とを結ぶ直線に対して交差する方向に切り欠いた第３切り欠き部を有し、
　前記第３端子電極は、前記第１端子電極の中心位置と前記第３端子電極の中心位置とを結ぶ直線に対して交差する方向に切り欠いた第４切り欠き部を有し、
　前記第１端子電極の中心位置と前記第１切り欠き部との距離は、前記第１端子電極の中心位置と前記第２切り欠き部との距離と等しい、
電子部品。
　前記第１端子電極、前記第２端子電極、および、前記第３端子電極の各々の中心位置と各対応する切り欠き部との距離は互いに等しい、
請求項１に記載の電子部品。
　前記第１切り欠き部及び前記第２切り欠き部の各々は、各対応する切り欠き部に隣り合う前記第１端子電極の外辺との間でなす角度が９０度以上である、
請求項１または２に記載の電子部品。
　前記第２端子電極は、前記第２端子電極の中心位置を基準として前記第３切り欠き部とは反対側となる位置に設けられた第５切り欠き部をさらに有し、
　前記第３端子電極は、前記第３端子電極の中心位置を基準として前記第４切り欠き部とは反対側となる位置に設けられた第６切り欠き部をさらに有する、
請求項１から３のいずれか一項に記載の電子部品。
　前記第１端子電極、前記第２端子電極、および、前記第３端子電極の各々は、長方形状をなしており、
　前記第１端子電極、前記第２端子電極、および、前記第３端子電極の各々の中心位置と各対応する切り欠き部との距離は、前記第１端子電極、前記第２端子電極、および、前記第３端子電極の各々の短辺の長さの半分である、
請求項１から４のいずれか一項に記載の電子部品。
　前記第１端子電極の中心位置と前記第２端子電極の中心位置とを結ぶ直線と第１切り欠き部との間でなす角度、および、前記第１端子電極の中心位置と前記第３端子電極の中心位置とを結ぶ直線と前記第２切り欠き部との間でなす角度の各々が、７５度以上１０５度以下の範囲にある、
請求項１から５のいずれか一項に記載の電子部品。
　請求項１から６のいずれか一項に記載の電子部品と、
　前記電子部品がはんだ付けにより実装される基板と、
　を備える、
　電子装置。
　前記第１端子電極の外辺と垂直な方向における前記第１端子電極の外辺と前記第２端子電極または前記第３端子電極の外辺との距離をＳ１とし、前記第１端子電極の中心位置と前記第２端子電極または前記第３端子電極の中心位置との距離をＳ２とし、前記電子部品と前記基板との間のはんだ付けの層の厚みをＴとしたとき、
　Ｓ１＜Ｓ２、かつ、Ｓ２≧３×Ｔの関係式を満たす、
請求項７に記載の電子装置。
　前記主面の平面視において、前記主面に積層された絶縁層の外縁の少なくとも一部が、前記電子部品の外縁の内側に配置されている、
請求項７または８に記載の電子装置。