WO2022157879A1 - 発光素子、表示装置及び表示装置の製造方法 - Google Patents

発光素子、表示装置及び表示装置の製造方法 Download PDF

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Definitions

  • the present disclosure relates to a light-emitting element, a display device, and a method for manufacturing a display device.
  • the organic hole-transporting layer is formed of a polymer material that has hole-transporting properties but does not have a three-dimensional network structure as described above, or is formed of a low-molecular-weight material that has hole-transporting properties, Although the solvent resistance can be improved, the solvent resistance is still not satisfactory. There is a problem that the organic hole transport layer is peeled off.
  • One aspect of the present disclosure has been made in view of the above problems, and includes a light-emitting device including a hole-transporting layer having satisfactory solvent resistance and hole-transporting properties; It is an object of the present invention to provide a display device having a light-emitting element and a method for manufacturing the display device including the light-emitting element.
  • the light-emitting device of the present disclosure has a first electrode; a hole transport layer formed on the first electrode; a light emitting layer formed on the hole transport layer; a second electrode formed on the light-emitting layer;
  • the hole-transporting layer comprises a first hole-transporting material having a three-dimensional network structure in which molecules containing a skeleton having a hole-transporting property and at least two thermosetting functional groups are polymerized together; and a second hole-transporting material comprising a plurality of molecules having hole-transporting properties.
  • the display device of the present disclosure includes: A plurality of the light emitting elements are provided on the substrate, The plurality of light emitting elements includes a first light emitting element, a second light emitting element and a third light emitting element,
  • the first light-emitting element includes a first light-emitting layer as the light-emitting layer
  • the second light-emitting element includes, as the light-emitting layer, a second light-emitting layer having an emission peak wavelength different from that of the first light-emitting layer
  • the third light-emitting element includes, as the light-emitting layer, a third light-emitting layer having an emission peak wavelength different from that of the first light-emitting layer and the second light-emitting layer.
  • the display device manufacturing method of the present disclosure includes: forming a first electrode; a hole-transporting material mixture solution containing a plurality of molecules each having a skeleton having a hole-transporting property and at least two thermosetting functional groups, a plurality of molecules having a hole-transporting property, and a solvent; forming the positive electrode on the first electrode and then heat-treating the plurality of molecules including the skeleton having the hole-transporting property and the thermosetting functional group to form a polymer material having a three-dimensional network structure; forming a pore transport layer; forming a light emitting layer on the hole transport layer; and forming a second electrode on the light emitting layer.
  • One aspect of the present disclosure is a light-emitting device comprising a hole-transporting layer having satisfactory solvent resistance and hole-transporting properties, a display device comprising the light-emitting device, and a display device comprising the light-emitting device can provide a manufacturing method of
  • FIG. 1 is a plan view showing a schematic configuration of a display device according to Embodiment 1;
  • FIG. 2 is a cross-sectional view showing a schematic configuration of a display area of the display device of Embodiment 1;
  • FIG. 4A to 4C are diagrams showing the manufacturing process of the display device of Embodiment 1.
  • FIG. 1 is a plan view showing a schematic configuration of a display device according to Embodiment 1
  • FIG. 2 is a cross-sectional view showing a schematic configuration of a display area of the display device of Embodiment 1
  • FIG. 4A to 4C are diagrams showing the manufacturing process of the display device of Embodiment 1.
  • FIG. 1 is a plan view showing a schematic configuration of a display device according to Embodiment 1
  • FIG. 2 is a cross-sectional view showing a schematic configuration of a display area of the display device of Embodiment 1
  • FIG. 4A to 4C are diagrams showing the manufacturing process of the display device of Em
  • FIG. 4 is a diagram for explaining a step of forming each functional layer in the manufacturing process of the display device of Embodiment 1 shown in FIG. 3;
  • FIG. 4 is a diagram for explaining a step of forming each functional layer in the manufacturing process of the display device of Embodiment 1 shown in FIG. 3;
  • FIG. 10 is a diagram showing a polymer material with a three-dimensional network structure obtained by heat-treating CBP-V contained in a hole-transporting layer provided in a display device which is another modified example of FIG.
  • FIG. 3B is a diagram showing the solvent resistance of a hole transport layer having a ratio of 1:2
  • FIG. 4C is a diagram showing the solvent resistance of a hole-transporting layer in which the weight ratio of the transporting material and the second hole-transporting material containing PVK (polyvinylcarbazole) is 1:1;
  • FIG. 3 is a diagram showing the solvent resistance of a hole transport layer containing only a second hole transport material containing PVK (polyvinylcarbazole) after heat treatment.
  • (a), (b), (c), (d), (e), (f), and (g) are red light emitting elements included in red subpixels provided in the display device of Embodiment 1. It is a figure for demonstrating the process of forming a light emitting layer.
  • (a), (b), (c), (d), (e), (f) and (g) are green light emitting elements included in green sub-pixels provided in the display device of Embodiment 1. It is a figure for demonstrating the process of forming a light emitting layer.
  • (a), (b), (c), (d), (e) and (f) form a blue light-emitting layer of a blue light-emitting element included in a blue sub-pixel provided in the display device of Embodiment 1.
  • (a) is a diagram showing a polymer material with a three-dimensional network structure obtained by heat-treating VNPB contained in a hole transport layer provided in a display device of Embodiment 2
  • (b) is an embodiment.
  • 2 is a diagram showing a polymer material with a three-dimensional network structure obtained by heat-treating DV-CBP contained in a hole-transporting layer provided in a display device which is a modification of Embodiment 2;
  • FIG. 10 is a diagram showing a polymer material with a three-dimensional network structure obtained by heat-treating CBP-V contained in a hole-transporting layer provided in a display device which is another modified example of FIG.
  • the weight ratio between the first hole-transporting material having a three-dimensional network structure in which VNPBs are polymerized by a heat treatment process at 150° C. and the second hole-transporting material containing PVK (polyvinylcarbazole) is 1:2. It is a figure which shows the solvent-resistant property of the hole transport layer which is.
  • (a) is a diagram showing an example of a molecule containing a skeleton having a hole-transporting property and thermosetting functional groups such as a phosphonic acid group (—PO 3 H 2 ) and a hydroxy group (—OH);
  • 14(b) is a diagram showing a polymer material with a three-dimensional network structure contained in a hole-transporting layer provided in the display device of Embodiment 3 obtained by heat-treating molecules shown in FIG. 13(a);
  • FIG. . (a) and (b) show thermosetting functional groups, phosphonic acid group ( -PO3H2 ) and hydroxy group (-OH), and a hole-transporting structure different from the molecule shown in Fig. 13(a).
  • FIG. 10 is a diagram showing a polymer material with a three-dimensional network structure contained in a hole-transporting layer provided in a display device according to another modification of Embodiment 3, which is obtained by heat-treating molecules containing a skeleton having a specific property
  • FIG. (a) is a diagram showing an example of a molecule containing a skeleton having a hole-transporting property and thermosetting functional groups such as a carboxyl group (-COOH) and a hydroxy group (-OH);
  • 15 shows a polymer material with a three-dimensional network structure contained in a hole transport layer provided in a display device which is still another modification of Embodiment 3 obtained by heat treatment of molecules shown in FIG. 15(a). It is a diagram.
  • FIG. 10 is a diagram showing a polymer material with a three-dimensional network structure contained in a hole-transporting layer provided in a display device that is still another modification of Embodiment 3, obtained by heat-treating molecules containing and.
  • FIG. (a), (b), and (c) are diagrams for explaining a case where a red light-emitting layer of a red light-emitting element included in a red sub-pixel provided in the display device of Embodiment 4 is formed by an inkjet method. be.
  • FIG. 1 is a plan view showing a schematic configuration of a display device 1 of Embodiment 1.
  • FIG. 1 is a plan view showing a schematic configuration of a display device 1 of Embodiment 1.
  • the display device 1 includes a frame area NDA and a display area DA.
  • a plurality of pixels PIX are provided in the display area DA of the display device 1, and each pixel PIX includes a red sub-pixel RSP, a green sub-pixel GSP, and a blue sub-pixel BSP.
  • a case where one pixel PIX is composed of a red sub-pixel RSP, a green sub-pixel GSP, and a blue sub-pixel BSP will be described as an example, but the present invention is not limited to this.
  • one pixel PIX may include red sub-pixels RSP, green sub-pixels GSP, and blue sub-pixels BSP, as well as sub-pixels of other colors.
  • FIG. 2 is a cross-sectional view showing a schematic configuration of the display area DA of the display device 1 of Embodiment 1.
  • FIG. 2 is a cross-sectional view showing a schematic configuration of the display area DA of the display device 1 of Embodiment 1.
  • a barrier layer 3 As shown in FIG. 2, in the display area DA of the display device 1, a barrier layer 3, a thin film transistor layer 4 including a transistor TR, a red light emitting element 5R, a green light emitting element 5G, and a blue light emitting element 5B are formed on a substrate 12. Also, a bank 23 (transparent resin layer), a sealing layer 6, and a functional film 39 are provided in this order from the substrate 12 side.
  • the red sub-pixels RSP provided in the display area DA of the display device 1 include red light-emitting elements 5R (first light-emitting elements), and the green sub-pixels GSP provided in the display area DA of the display device 1 include green light-emitting elements 5G (
  • the blue sub-pixel BSP provided in the display area DA of the display device 1 includes the blue light emitting element 5B (third light emitting element).
  • a red light emitting element 5R included in the red subpixel RSP includes a first electrode 22 (anode), a functional layer 24R including a red light emitting layer, and a second electrode 25 (cathode), and is included in the green subpixel GSP.
  • the green light emitting element 5G includes a first electrode 22 (anode), a functional layer 24G including a green light emitting layer, and a second electrode 25 (cathode). It includes one electrode 22 (anode), a functional layer 24B including a blue light-emitting layer, and a second electrode 25 (cathode).
  • the substrate 12 may be, for example, a resin substrate made of a resin material such as polyimide, or may be a glass substrate.
  • a resin substrate made of a resin material such as polyimide is used as the substrate 12 will be described as an example, but the present invention is limited to this. never.
  • a glass substrate can be used as the substrate 12 when the display device 1 is a non-flexible display device.
  • the barrier layer 3 is a layer that prevents foreign substances such as water and oxygen from entering the transistor TR, the red light emitting element 5R, the green light emitting element 5G, and the blue light emitting element 5B.
  • a film, a silicon nitride film, a silicon oxynitride film, or a laminated film of these can be used.
  • the transistor TR portion of the thin film transistor layer 4 including the transistor TR includes the semiconductor film SEM and the doped semiconductor films SEM' and SEM'', the inorganic insulating film 16, the gate electrode G, the inorganic insulating film 18, and the inorganic insulating film. 20 , a source electrode S and a drain electrode D, and a planarizing film 21 , and the portion other than the transistor TR portion of the thin film transistor layer 4 including the transistor TR is composed of an inorganic insulating film 16 , an inorganic insulating film 18 , an inorganic insulating film 18 , and an inorganic insulating film 18 . It includes a film 20 and a planarizing film 21 .
  • the semiconductor films SEM, SEM', and SEM'' may be composed of, for example, low-temperature polysilicon (LTPS) or an oxide semiconductor (for example, an In--Ga--Zn--O based semiconductor).
  • LTPS low-temperature polysilicon
  • oxide semiconductor for example, an In--Ga--Zn--O based semiconductor.
  • the transistor TR may have a bottom-gate structure.
  • the gate electrode G, the source electrode S, and the drain electrode D can be composed of, for example, a single-layer or laminated film of metal containing at least one of aluminum, tungsten, molybdenum, tantalum, chromium, titanium, and copper.
  • the inorganic insulating film 16, the inorganic insulating film 18, and the inorganic insulating film 20 can be composed of, for example, a silicon oxide film, a silicon nitride film, a silicon oxynitride film, or a laminated film thereof formed by the CVD method.
  • the planarizing film 21 can be made of a coatable organic material such as polyimide or acryl.
  • the red light emitting element 5R includes a first electrode 22 (anode) above the planarizing film 21, a functional layer 24R including a red light emitting layer, and a second electrode 25 (cathode).
  • the blue light emitting element 5B includes a first electrode 22 (anode) above the planarizing film 21, a functional layer 24G including a green light emitting layer, and a second electrode 25 (cathode). It includes an upper first electrode 22 (anode), a functional layer 24B including a blue light-emitting layer, and a second electrode 25 (cathode).
  • the insulating bank 23 (transparent resin layer) covering the edge of the first electrode 22 (anode) can be formed, for example, by applying an organic material such as polyimide or acrylic and then patterning it by photolithography.
  • the functional layer 24R including a red light-emitting layer is configured, for example, by laminating a hole injection layer, a hole transport layer, a red light-emitting layer, an electron transport layer, and an electron injection layer in this order from the first electrode 22 (anode) side. can do.
  • the functional layer 24R including the red light emitting layer one or more of the hole injection layer other than the hole transport layer, the electron transport layer, and the electron injection layer may be omitted as appropriate.
  • the functional layer 24R including the red light emitting layer is configured by laminating a hole injection layer, a hole transport layer, a red light emitting layer and an electron transport layer in order from the first electrode 22 (anode) side. A case will be described as an example, but the present invention is not limited to this.
  • the functional layer 24G including a green light-emitting layer is configured by stacking, for example, a hole injection layer, a hole transport layer, a green light-emitting layer, an electron transport layer, and an electron injection layer in this order from the first electrode 22 (anode) side. can do.
  • the functional layer 24G including the green light emitting layer one or more of the hole injection layer other than the hole transport layer, the electron transport layer and the electron injection layer may be omitted as appropriate.
  • the functional layer 24G including the green light emitting layer is configured by laminating a hole injection layer, a hole transport layer, a green light emitting layer and an electron transport layer in order from the first electrode 22 (anode) side. A case will be described as an example, but the present invention is not limited to this.
  • the functional layer 24B including a blue light-emitting layer is configured, for example, by laminating a hole injection layer, a hole transport layer, a blue light-emitting layer, an electron transport layer, and an electron injection layer in this order from the first electrode 22 (anode) side. can do.
  • the functional layer 24B including the blue light-emitting layer one or more of the hole injection layer other than the hole transport layer, the electron transport layer, and the electron injection layer may be omitted as appropriate.
  • the functional layer 24B including the blue light-emitting layer is configured by laminating a hole injection layer, a hole transport layer, a blue light-emitting layer, and an electron transport layer in order from the first electrode 22 (anode) side. A case will be described as an example, but the present invention is not limited to this.
  • each of the functional layer 24R including the red light-emitting layer, the functional layer 24G including the green light-emitting layer, and the functional layer 24B including the blue light-emitting layer is formed by the same process using the same material.
  • a case in which a hole injection layer, a hole transport layer formed in the same process using the same material, and an electron transport layer formed in the same process using the same material will be described as an example. It is not limited to this.
  • the hole injection layers included in the functional layers 24R, 24G, and 24B may be made of different materials. The included hole injection layers may be formed in the same process using the same material, and only the hole injection layer included in the remaining one functional layer may be formed in a separate process using a different material.
  • the hole transport layers included in the functional layers 24R, 24G, and 24B may be formed of different materials.
  • the hole transport layers included in each may be formed in the same process using the same material, and only the hole transport layer included in the remaining one functional layer may be formed in a separate process using a different material.
  • each electron transport layer included in each of the functional layers 24R, 24G, and 24B may be formed of different materials. may be formed in the same process using the same material, and only the electron transport layer contained in the remaining one functional layer may be formed in a separate process using a different material.
  • the red light emitting element 5R, the green light emitting element 5G, and the blue light emitting element 5B will be described as an example in which they are QLEDs (quantum dot light emitting diodes).
  • the red light emitting element 5R, the green light emitting element 5G and the blue light emitting element 5B may be OLEDs (organic light emitting diodes).
  • the rest of the red light emitting element 5R, the green light emitting element 5G and the blue light emitting element 5B may be OLEDs.
  • the red light-emitting element 5R, the green light-emitting element 5G, and the blue light-emitting element 5B are QLEDs
  • the light-emitting layers included in the light-emitting elements of each color are, for example, quantum dots formed by a coating method or an inkjet method.
  • the red light-emitting element 5R, the green light-emitting element 5G, and the blue light-emitting element 5B are OLEDs
  • the light-emitting layers provided in the light-emitting elements of each color are formed, for example, by vapor deposition. It is an organic light-emitting layer.
  • a control circuit including a transistor TR for controlling each of the red light emitting element 5R, the green light emitting element 5G and the blue light emitting element 5B includes a thin film transistor layer 4 including a transistor TR for each of the red sub-pixel RSP, the green sub-pixel GSP and the blue sub-pixel BSP. is provided in A control circuit including a transistor TR provided for each of the red sub-pixel RSP, the green sub-pixel GSP, and the blue sub-pixel BSP and the light emitting element are also collectively referred to as a sub-pixel circuit.
  • the red light emitting element 5R, the green light emitting element 5G and the blue light emitting element 5B shown in FIG. 2 may be of top emission type or bottom emission type.
  • the red light emitting element 5R, the green light emitting element 5G, and the blue light emitting element 5B are composed of, from the substrate 12 side, a first electrode 22 (anode), functional layers 24R, 24G, and 24B, and a second electrode 25 (cathode). Since it has a direct stack structure formed in order, the second electrode 25 (cathode) is arranged as an upper layer than the first electrode 22 (anode). ) is made of an electrode material that reflects visible light, and the second electrode 25 (cathode) is made of an electrode material that transmits visible light. is made of an electrode material that transmits visible light, and the second electrode 25 (cathode) is made of an electrode material that reflects visible light.
  • the electrode material that reflects visible light is not particularly limited as long as it can reflect visible light and has electrical conductivity. , a laminate of the metal material and a transparent metal oxide (e.g., indium tin oxide, indium zinc oxide, indium gallium zinc oxide, etc.), or a laminate of the alloy and the transparent metal oxide. .
  • a transparent metal oxide e.g., indium tin oxide, indium zinc oxide, indium gallium zinc oxide, etc.
  • the electrode material that transmits visible light is not particularly limited as long as it can transmit visible light and has electrical conductivity. zinc oxide, etc.) or thin films made of metal materials such as Al, Mg, Li and Ag.
  • a film formation method for the first electrode 22 (anode) and the second electrode 25 (cathode) a general electrode formation method can be used.
  • a physical vapor deposition (PVD) method such as a coating method, or a chemical vapor deposition (CVD) method can be mentioned.
  • the patterning method for the first electrode 22 (anode) and the second electrode 25 (cathode) is not particularly limited as long as it is a method capable of forming a desired pattern with high accuracy. can include a photolithography method, an inkjet method, and the like.
  • the sealing layer 6 is a translucent film, and includes, for example, an inorganic sealing film 26 covering the second electrode 25 (cathode), an organic film 27 above the inorganic sealing film 26, and a layer above the organic film 27. , and the inorganic sealing film 28.
  • the sealing layer 6 prevents foreign substances such as water and oxygen from penetrating into the red light emitting element 5R, the green light emitting element 5G and the blue light emitting element 5B.
  • Each of the inorganic sealing film 26 and the inorganic sealing film 28 is an inorganic film, and may be composed of, for example, a silicon oxide film, a silicon nitride film, a silicon oxynitride film, or a laminated film thereof formed by a CVD method. can be done.
  • the organic film 27 is a light-transmitting organic film having a flattening effect, and can be made of a coatable organic material such as acryl.
  • the organic film 27 may be formed by an inkjet method, for example.
  • the sealing layer 6 is formed of two layers of inorganic films and one layer of organic film provided between the two layers of inorganic films has been described as an example.
  • the sealing layer 6 may be composed of only an inorganic film, may be composed of only an organic film, may be composed of one layer of inorganic film and two layers of organic film, or may be composed of two or more layers. may be composed of an inorganic film and two or more layers of organic films.
  • the functional film 39 is, for example, a film having at least one of optical compensation function, touch sensor function, and protection function.
  • FIG. 3 is a diagram showing the manufacturing process of the display device 1 of Embodiment 1.
  • FIG. 3 is a diagram showing the manufacturing process of the display device 1 of Embodiment 1.
  • the manufacturing process of the display device 1 shown in FIG. 2 includes, as shown in FIG. A step (S2), a step (S3) of forming a bank 23 (transparent resin layer), a functional layer 24R including a red light emitting layer included in the red light emitting element 5R, and a green light emitting layer included in the green light emitting element 5G.
  • FIG. 4A is a cross-sectional view showing a schematic configuration of a red light emitting element 5R provided in the display device 1 of Embodiment 1
  • FIG. 4C is a cross-sectional view showing a schematic configuration of a green light emitting element 5G provided in the display device 1 of Embodiment 1, and FIG. It is a sectional view.
  • FIG. 5 is a diagram for explaining the process of forming the functional layer 24R, the functional layer 24G, and the functional layer 24B in the manufacturing process of the display device 1 of Embodiment 1 shown in FIG.
  • the step of forming the functional layer 24R, the functional layer 24G, and the functional layer 24B provided in the display device 1 is the step of forming the hole injection layer 24HI on the first electrode 22 (anode). (S11), the step of forming the hole transport layer 24HT (S12), the step of forming the light emitting layer 24REM (red light emitting layer) (S13), and the step of forming the light emitting layer 24GEM (green light emitting layer) (S14). ), the step of forming the light emitting layer 24BEM (blue light emitting layer) (S15), and the step of forming the electron transport layer 24ET (S16).
  • the light-emitting layer 24REM red light-emitting layer
  • the light-emitting layer 24GEM green light-emitting layer
  • the light-emitting layer 24BEM blue light-emitting layer
  • the functional layer 24R, the functional layer 24G, and the functional layer 24B each use the same material as the hole injection layer 24HI formed in the same process using the same material.
  • the hole transport layer 24HT is formed on the hole injection layer 24HI provided in each of the red light emitting element 5R, the green light emitting element 5G and the blue light emitting element 5B. is formed. Furthermore, in the step of forming the electron transport layer 24ET (S16), the light emitting layer 24REM (red light emitting layer) provided in the red light emitting element 5R, the light emitting layer 24GEM (green light emitting layer) provided in the green light emitting element 5G, and An electron transport layer 24ET is formed on the light emitting layer 24BEM (blue light emitting layer) provided in the blue light emitting element 5B.
  • the first electrode 22 (anode) can be formed with a film thickness of, for example, 100 nm or more and 300 nm or less, but is not limited to this.
  • the second electrode 25 (cathode) can be formed with a film thickness of, for example, 10 nm or more and 100 nm or less, but is not limited to this.
  • the hole injection layer 24HI can be formed with a thickness of, for example, 20 nm or more and 90 nm or less, but is not limited to this.
  • the hole transport layer 24HT can be formed with a film thickness of, for example, 20 nm or more and 70 nm or less, but is not limited to this.
  • the light-emitting layer 24REM red light-emitting layer
  • the light-emitting layer 24GEM green light-emitting layer
  • the light-emitting layer 24BEM blue light-emitting layer
  • the electron transport layer 24ET can be formed with a film thickness of, for example, 30 nm or more and 90 nm or less, but is not limited to this.
  • the hole transport layer 24HT is a first hole transport layer having a three-dimensional network structure in which molecules each containing a skeleton having a hole transport property and at least two thermosetting functional groups are polymerized. and a second hole-transporting material comprising a plurality of molecules having hole-transporting properties.
  • Each of the red light-emitting element 5R, the green light-emitting element 5G, and the blue light-emitting element 5B provided in the display device 1 of the present embodiment includes a first hole-transporting material and a second hole-transporting material. It has a layer 24HT. Since the second hole-transporting material containing a plurality of molecules having a hole-transporting property contained in the hole-transporting layer 24HT contains a plurality of molecules having a hole-transporting property that do not contain a thermosetting functional group, The hole-transporting property is higher than that of the first hole-transporting material.
  • Examples of the second hole-transporting material containing a plurality of molecules having a hole-transporting property include polymer materials having a hole-transporting property, such as PVK (polyvinylcarbazole) and TFB (poly[ Polymeric materials such as (9,9-dioctylfluorenyl-2,7-diyl)-co-(4,4′-(N-(4-sec-butylphenyl))diphenylamine)]) are preferably used. can be, but is not limited to.
  • a low-molecular-weight material having a hole-transporting property may be used as the second hole-transporting material containing a plurality of molecules having a hole-transporting property.
  • Both low-molecular-weight materials with transport properties may be used.
  • the first hole-transporting material contained in the hole-transporting layer 24HT has a three-dimensional network structure, it has higher solvent resistance than the second hole-transporting material.
  • the hole-transporting layer 24HT is a mixture of the first hole-transporting material having high solvent resistance and the second hole-transporting material having high hole-transporting properties. It is possible to realize a light-emitting device and a display device having a hole-transporting layer having solvent resistance and hole-transporting properties of .
  • the red light emitting element 5R, the green light emitting element 5G, and the blue light emitting element 5B provided in the display device 1 all contain the first hole-transporting material and the second hole-transporting material.
  • the transport layer 24HT is provided has been described as an example, it is not limited to this, and one of the red light emitting element 5R, the green light emitting element 5G, and the blue light emitting element 5B provided in the display device 1
  • the light-emitting device described above may include a hole-transporting layer 24HT containing a first hole-transporting material and a second hole-transporting material.
  • FIG. 6 shows VNPB (N4,N4'-Di(naphthalen-1-yl)-N4,N4'-bis( 4 is a diagram showing a polymer material with a three-dimensional network structure obtained by heat-treating 4-vinylphenyl)biphenyl-4,4′-diamine).
  • VNPB represented by the following (chemical formula 1) has a skeleton (X-X) having a hole-transporting property and a vinyl group as a thermosetting functional group.
  • XX skeleton having a hole-transporting property of VNPB is indicated by XX.
  • FIG. 6B shows DV-CBP(4,4'-Bis(3-((4-vinylphenoxy)methyl) contained in a hole transport layer provided in a display device that is a modification of Embodiment 1
  • Fig. 2 shows a polymer material with a three-dimensional network structure obtained by heat-treating -9H-carbazol-9-yl)biphenyl).
  • DV-CBP represented by the following (Chemical Formula 2) has a skeleton (YY) having a hole-transporting property and a vinyl group as a thermosetting functional group.
  • YY skeleton having the hole-transporting property of DV-CBP is indicated by YY.
  • FIG. 6 shows CBP-V(4,4'-bis(N-carbazolyl)-1,1 1 is a diagram showing a polymer material with a three-dimensional network structure obtained by heat-treating '-biphenyl-vinyl).
  • CBP-V represented by (Chemical Formula 3) below has a skeleton (Z-Z) having a hole-transporting property and a vinyl group as a thermosetting functional group.
  • ZZ skeleton having the hole-transporting property of CBP-V is indicated by ZZ.
  • VNPB shown in (a) of FIG. 6, DV-CBP shown in (b) of FIG. 6, and CBP-V shown in (c) of FIG. 1 is an example of a precursor (precursor molecule) of a hole-transporting material, and each of these precursors (precursor molecules) has a vinyl group as a thermosetting functional group. , nitrogen gas or argon gas) atmosphere, the first hole-transporting material having a three-dimensional network structure in which the precursors (precursor molecules) are polymerized can be obtained. .
  • the step (S12) of forming the hole transport layer 24HT shown in FIG. A hole-transporting material mixed solution containing molecules and a solvent is formed on the first electrode 22 (anode), specifically, on the hole injection layer 24HI on the first electrode 22 (anode), and then heat-treated. This includes a step of converting the precursor (precursor molecule) into a polymer material with a three-dimensional network structure.
  • the type of the solvent contained in the hole-transporting material mixed solution is particularly limited as long as it can dissolve or disperse the precursor (precursor molecule) and the plurality of molecules having hole-transporting properties.
  • chlorobenzene was used in this embodiment.
  • the heat treatment process for polymerizing the precursors (precursor molecules) described above is performed at 230°C
  • the present invention is not limited to this.
  • the heat treatment process for polymerizing the precursors (precursor molecules) is performed at 120° C. or more and 230° C. or less.
  • the weight of the second hole-transporting material with high hole-transporting properties contained in the hole-transporting layer 24HT increases.
  • the weight of the first hole-transporting material with high solvent resistance contained in 24HT is reduced, and the solvent resistance of the hole-transporting layer 24HT is lowered. Therefore, in order to optimize the hole-transporting properties and solvent resistance of the hole-transporting layer 24HT, the weight of the second hole-transporting material with high hole-transporting properties contained in the hole-transporting layer 24HT should be It is preferably 1 to 4 times the weight of the first hole-transporting material with high solvent resistance contained in the hole-transporting layer 24HT.
  • FIG. 7(a) shows a first hole-transporting material having a three-dimensional network structure in which VNPB is polymerized by a heat treatment process at 230° C. and a second hole-transporting material containing PVK (polyvinylcarbazole).
  • 2 is a diagram showing the solvent resistance of a hole transport layer having a weight ratio of 1:2.
  • FIG. 7(b) shows a first hole-transporting material having a three-dimensional network structure in which VNPB is polymerized by a heat treatment process at 230° C. and a second hole-transporting material containing PVK (polyvinylcarbazole).
  • 1 is a diagram showing the solvent resistance of a hole transport layer having a weight ratio of 1:1.
  • FIG. 7 is a diagram showing solvent resistance of a hole-transporting layer containing only the second hole-transporting material containing PVK (polyvinylcarbazole) after heat treatment at 230°C.
  • PVK polyvinylcarbazole
  • the hole-transporting layer shown in FIG. 7(c) immediately after the hole-transporting layer is formed, it has a high hole-transporting property, but is made of a polymeric material that does not have a three-dimensional network structure. Even if it is heat-treated at a temperature exceeding the transition temperature and recrystallized, the solvent resistance is poor, and the hole transport layer is peeled off by the solvent used in the post-process, and as a result, it cannot be used as a hole transport layer. is difficult.
  • the hole transport layers shown in FIGS. 7(a) and 7(b) have satisfactory solvent resistance and hole transport properties.
  • the hole transport layer shown in (b) of FIG. 7 is higher than the hole transport layer shown in (a) of FIG. is higher than the hole transport layer shown in FIG. 7(b).
  • the case of using PVK (polyvinylcarbazole) as the second hole-transporting material containing a plurality of molecules having a hole-transporting property is described as an example.
  • the second hole-transporting material include, but are not limited to, TFB (poly[(9,9-dioctylfluorenyl-2,7-diyl)-co-(4,4′-(N -(4-sec-butylphenyl))diphenylamine)]) may also be used.
  • FIG. 10 is a diagram for explaining a step of forming a red light emitting layer 24REM of a red light emitting element 5R included in a red subpixel RSP provided in the display device 1 of Embodiment 1;
  • the red light emitting element 5R included in the red subpixel RSP the green light emitting element 5G included in the green subpixel GSP, and the blue light emitting element BSP included in the blue subpixel BSP.
  • a first resist layer 30 is formed on the hole transport layer 24HT of the blue light emitting element 5B.
  • the green light emitting element 5G included in the green subpixel GSP and the blue light emitting element 5B included in the blue subpixel BSP are not shown, and the first resist layer 30 is a layer formed of a positive resist material. For example, it can be formed with a film thickness of 500 nm or more and 2500 nm or less.
  • the first region of the first resist layer 30 overlapping the hole transport layer 24HT of the red light emitting element 5R included in the red sub-pixel RSP in plan view is covered with the mask M1.
  • the first opening can be formed in the first region of the first resist layer 30 as shown in FIG. 8D by exposing with the light L for exposure through the opening K1 and developing. can.
  • development can be performed using a TMAH (tetramethylammonium hydroxide) aqueous solution.
  • the red light emitting layer 24REM is formed on the first resist layer 30 included in the red sub-pixel RSP, green sub-pixel GSP and blue sub-pixel BSP.
  • the red light-emitting layer 24REM is a light-emitting layer containing quantum dots.
  • the method of forming the red light emitting layer 24REM is not limited to this.
  • the red light emitting layer 24REM of the red light emitting element 5R included in the red sub-pixel RSP can be formed in a predetermined shape, as shown in FIG. 8(g).
  • the stripping of the first resist layer 30 can be performed using a polar solvent, and as the polar solvent, for example, PGMEA (propylene glycol monomethyl ether acetate) can be used.
  • the TMAH aqueous solution is used in the developing step, the TMAH aqueous solution is in direct contact with the hole transport layer 24HT, and the peeling step uses PGMEA, which is a polar solvent. is in direct contact with the hole transport layer 24HT. Therefore, in the case of a hole-transporting layer made of only a polymer material such as PVK (polyvinylcarbazole) that has a hole-transporting property but does not have a three-dimensional network structure, a red light-emitting layer is formed in a post-process.
  • PVK polyvinylcarbazole
  • each step the step of forming a green light-emitting layer and the step of forming a blue light-emitting layer, there is a risk of peeling due to the PGMEA and TMAH aqueous solutions used as solvents, and as a result, it is used as a hole transport layer. It is difficult to
  • each of the red light emitting element 5R, the green light emitting element 5G, and the blue light emitting element 5B provided in the display device 1 of Embodiment 1 includes a hole transport layer 24HT.
  • the first hole-transporting material having a three-dimensional network structure and the second hole-transporting material containing a plurality of molecules having hole-transporting properties are included, high solvent resistance and high hole-transporting have characteristics.
  • the hole transport layer 24HT has high solvent resistance to TMAH aqueous solution and PGMEA.
  • FIG. 10 is a diagram for explaining a step of forming a green light-emitting layer 24GEM of a green light-emitting element 5G included in a green sub-pixel GSP provided in the display device 1 of Embodiment 1;
  • a second resist layer 30 is formed on the hole transport layer 24HT of the green light emitting element 5G included in the BSP and the blue light emitting element 5B included in the blue subpixel BSP.
  • the blue light-emitting element 5B included in the blue sub-pixel BSP is not shown, and the second resist layer 30 is a layer formed of a positive resist material. can be formed.
  • the second region of the second resist layer 30 overlapping the hole transport layer 24HT of the green light emitting element 5G included in the green subpixel GSP in plan view is covered with the mask M2.
  • a second opening can be formed in the second region of the second resist layer 30 as shown in FIG. 9(d).
  • development can be performed using a TMAH (tetramethylammonium hydroxide) aqueous solution.
  • the green light emitting layer 24GEM is formed on the second resist layer 30 included in the red sub-pixel RSP, the green sub-pixel GSP and the blue sub-pixel BSP.
  • the green light emitting layer 24 GEM is a light emitting layer containing quantum dots, and for example, a case where the green light emitting layer 24 GEM is formed by applying a coating method using a spin coater or a slit coater will be described as an example.
  • the method of forming the green light emitting layer 24GEM is not limited to this.
  • the green light emitting layer 24GEM of the green light emitting element 5G included in the green sub-pixel GSP can be formed in a predetermined shape, as shown in (g) of FIG.
  • the stripping of the second resist layer 30 can be performed using a polar solvent, and for example, PGMEA (propylene glycol monomethyl ether acetate) can be used as the polar solvent.
  • the TMAH aqueous solution is used in the developing step, the TMAH aqueous solution is in direct contact with the hole transport layer 24HT, and the peeling step uses PGMEA, which is a polar solvent. is in direct contact with the hole transport layer 24HT.
  • Each of the red light-emitting element 5R, the green light-emitting element 5G, and the blue light-emitting element 5B provided in the display device 1 of Embodiment 1 includes a hole transport layer 24HT, and the hole transport layer 24HT is formed as described above.
  • a first hole-transporting material having a three-dimensional network structure and a second hole-transporting material containing a plurality of molecules having hole-transporting properties, so that high solvent resistance and high hole-transporting properties are achieved. have.
  • the hole transport layer 24HT has high solvent resistance to TMAH aqueous solution and PGMEA.
  • 10(a), 10(b), 10(c), 10(d), 10(e) and 10(f) show the display device 1 of Embodiment 1.
  • 11 is a diagram for explaining a step of forming a blue light-emitting layer 24BEM of a blue light-emitting element 5B included in a blue sub-pixel BSP provided in .
  • a third resist layer 30 is formed above, on the green light emitting layer 24GEM of the green light emitting element 5G included in the green subpixel GSP, and on the hole transport layer 24HT of the blue light emitting element 5B included in the blue subpixel BSP. do.
  • the third resist layer 30 is a layer made of a positive resist material, and can be formed with a film thickness of, for example, 500 nm or more and 2500 nm or less.
  • the third region of the third resist layer 30 overlapping the hole transport layer 24HT of the blue light emitting element 5B included in the blue subpixel BSP in plan view is covered with the mask M3.
  • the third opening can be formed in the third region of the third resist layer 30 as shown in FIG. 10D by exposing with the light L for exposure through the opening K3 and developing. can.
  • development can be performed using a TMAH (tetramethylammonium hydroxide) aqueous solution.
  • the blue light-emitting layer 24BEM is a light-emitting layer containing quantum dots.
  • the method of forming the blue light emitting layer 24BEM is not limited to this.
  • the blue light emitting layer 24BEM of the blue light emitting element 5B included in the blue sub-pixel BSP can be formed in a predetermined shape, as shown in FIG. 10(f).
  • the stripping of the third resist layer 30 can be performed using a polar solvent, and for example, PGMEA (propylene glycol monomethyl ether acetate) can be used as the polar solvent.
  • the aqueous TMAH solution is used in the developing step, the aqueous TMAH solution is in direct contact with the hole transport layer 24HT, and the peeling step uses PGMEA, which is a polar solvent. is in direct contact with the hole transport layer 24HT.
  • Each of the red light-emitting element 5R, the green light-emitting element 5G, and the blue light-emitting element 5B provided in the display device 1 of Embodiment 1 includes a hole transport layer 24HT, and the hole transport layer 24HT is formed as described above.
  • a first hole-transporting material having a three-dimensional network structure and a second hole-transporting material containing a plurality of molecules having hole-transporting properties, so that high solvent resistance and high hole-transporting properties are achieved. have.
  • the hole transport layer 24HT has high solvent resistance to TMAH aqueous solution and PGMEA.
  • the red light emitting layer 24REM, the green light emitting layer 24GEM and the In the step of forming the blue light emitting layer 24BEM the TMAH aqueous solution and PGMEA are used three times each, so the effect of providing the hole transport layer 24HT having high solvent resistance against the TMAH aqueous solution and PGMEA is high.
  • the red light emitting layer 24REM, the green light emitting layer 24GEM, and the blue light emitting layer 24BEM are formed in this order will be described as an example. can be formed in any order.
  • the red light emitting layer 24REM, the green light emitting layer 24GEM, and the blue light emitting layer 24BEM are light emitting layers containing quantum dots, and are coated by a coating method using, for example, a spin coater or a slit coater.
  • the red light emitting layer 24REM, the green light emitting layer 24GEM, and the blue light emitting layer 24BEM may be organic light emitting layers formed by vapor deposition.
  • the red light emitting layer 24REM is vapor-deposited on the entire surface of the hole transport layer 24HT in the first opening of the first resist layer 30 and on the first resist layer 30, and the first resist layer 30 is formed.
  • the red light emitting layer 24REM can be formed in a predetermined shape, and the green light emitting layer is formed on the hole transport layer 24HT in the second opening of the second resist layer 30 and on the entire surface of the second resist layer 30.
  • 24GEM is vapor-deposited and the second resist layer 30 is peeled off to form the green light-emitting layer 24GEM in a predetermined shape.
  • the blue light emitting layer 24BEM can be formed in a predetermined shape.
  • the red light emitting layer 24REM, the green light emitting layer 24GEM, and the blue light emitting layer 24BEM are light emitting layers containing quantum dots, and are coated by a coating method using, for example, a spin coater or a slit coater.
  • the red light emitting layer 24REM, the green light emitting layer 24GEM, and the blue light emitting layer 24BEM may contain a positive photosensitive resist or a negative photosensitive resist.
  • the red light emitting layer 24REM, the green light emitting layer 24GEM, and the blue light emitting layer 24BEM contain a photosensitive resist, it is not necessary to use the first resist layer 30, the second resist layer 30, and the third resist layer 30. .
  • a red light emitting material solution (first light emitting material solution) containing red light emitting quantum dots (first light emitting material), a photosensitive resist, and a solvent is formed on the hole transport layer 24HT. Then, it can be patterned into a predetermined shape by exposing and developing.
  • the green light emitting layer 24 GEM uses a green light emitting material solution (second light emitting material solution) containing quantum dots (second light emitting material) that emits green light, a photosensitive resist, and a solvent as the red light emitting layer 24 REM and the hole-transporting layer 24 REM.
  • the blue light emitting layer 24BEM is formed by adding a blue light emitting material solution (third light emitting material solution) containing blue light emitting quantum dots (third light emitting material), a photosensitive resist, and a solvent to the red light emitting layer 24REM and the green light emitting layer.
  • a blue light emitting material solution third light emitting material solution
  • blue light emitting quantum dots third light emitting material
  • the red light emitting material solution containing the solvent first light emitting material solution
  • a polar solvent or developer is used in the step of forming a green luminescent material solution (second luminescent material solution) containing a solvent and a blue luminescent material solution (third luminescent material solution) containing a solvent and in each developing step. Therefore, the provision of the hole transport layer 24HT having high solvent resistance is highly effective.
  • FIG. 11 a second embodiment of the present invention will be described with reference to FIGS. 11 and 12.
  • precursors (precursor molecules) of the first hole-transporting material having a three-dimensional network structure contained in the hole-transporting layer 24HT such as VNPB, DV-CBP and CBP-V are polymerized. It is different from Embodiment 1 described above in that the heat treatment step for curing is performed at 150°C. Others are as described in the first embodiment. For convenience of explanation, members having the same functions as the members shown in the drawings of the first embodiment are denoted by the same reference numerals, and the explanation thereof is omitted.
  • FIG. 11(a) is a diagram showing a polymer material with a three-dimensional network structure obtained by heat-treating VNPB contained in a hole-transporting layer provided in a display device of Embodiment 2
  • FIG. 11 b) is a diagram showing a polymer material with a three-dimensional network structure obtained by heat-treating DV-CBP contained in a hole-transporting layer provided in a display device that is a modification of Embodiment 2
  • FIG. 3(c) is a diagram showing a polymer material with a three-dimensional network structure obtained by heat-treating CBP-V contained in a hole-transporting layer provided in a display device that is another modification of Embodiment 2; FIG. be.
  • VNPB shown in (a) of FIG. 11, DV-CBP shown in (b) of FIG. 11, and CBP-V shown in (c) of FIG. 1 is an example of a precursor (precursor molecule) of a hole-transporting material, and each of these precursors (precursor molecules) has a vinyl group as a thermosetting functional group. , nitrogen gas or argon gas) atmosphere, the first hole-transporting material having a three-dimensional network structure in which the precursors (precursor molecules) are polymerized can be obtained. .
  • the heat treatment step for polymerizing the precursors (precursor molecules) described above is not limited to being performed at 150°C, and is preferably performed at 120°C or higher and 230°C or lower.
  • FIG. 12 shows the weight ratio between the first hole-transporting material having a three-dimensional network structure in which VNPBs are polymerized by a heat treatment process at 150° C. and the second hole-transporting material containing PVK (polyvinylcarbazole).
  • 2 is a diagram showing the solvent resistance of a hole transport layer having a ratio of 1:2.
  • the hole-transporting layer 24HT containing like a hole-transporting layer made of a polymer material that exhibits good solvent resistance and hole-transporting properties but does not have a three-dimensional network structure, the post-process The hole-transporting layer is not peeled off by the solvent used in .
  • the precursor (precursor molecule) of the first hole-transporting material having a three-dimensional network structure contained in the hole-transporting layer 24HT contains a thermosetting functional group other than a vinyl group.
  • the precursor (precursor molecule) of the first hole-transporting material having a three-dimensional network structure contained in the hole-transporting layer 24HT contains a thermosetting functional group other than a vinyl group.
  • Others are as described in the first and second embodiments.
  • members having the same functions as those shown in the drawings of Embodiments 1 and 2 are denoted by the same reference numerals, and their explanations are omitted.
  • FIG. 13 shows a molecule containing a skeleton (XX) having a hole-transporting property and thermosetting functional groups such as a phosphonic acid group (—PO 3 H 2 ) and a hydroxy group (—OH).
  • 14(b) is a diagram showing an example of the three-dimensional network structure included in the hole transport layer provided in the display device of Embodiment 3 obtained by heat treatment of the molecules shown in FIG. 13(a).
  • FIG. 2 shows a polymeric material
  • FIG. 14(a) and FIG. 14(b) show a phosphonic acid group (—PO 3 H 2 ) and a hydroxy group (—OH), which are thermosetting functional groups, and the molecule shown in FIG. 13(a). contained in the hole-transporting layer provided in the display device of another modification of Embodiment 3 obtained by heat treatment of a molecule containing a skeleton (YY or ZZ) having a hole-transporting property different from that of 1 is a diagram showing a polymer material with a three-dimensional network structure.
  • FIG. 15(a) shows an example of a molecule containing a skeleton (XX) having a hole-transporting property and thermosetting functional groups such as a carboxyl group (--COOH) and a hydroxy group (--OH).
  • 15(b) is a hole-transporting layer included in a display device that is still another modification of Embodiment 3 obtained by heat-treating molecules shown in FIG. 15(a).
  • 1 is a diagram showing a polymer material with a three-dimensional network structure.
  • 16(a) and 16(b) show a carboxyl group (-COOH) and a hydroxy group (-OH) which are thermosetting functional groups, and a positive electrode different from the molecule shown in FIG. 15(a).
  • 3 contained in a hole-transporting layer provided in a display device, which is still another modification of Embodiment 3 obtained by heat-treating a molecule containing a skeleton (YY or ZZ) having a hole-transporting property 1 is a diagram showing a polymeric material with a dimensional network structure; FIG.
  • the first hole-transporting material having a three-dimensional network structure in which precursors (precursor molecules) are polymerized can be obtained by heat-treating at 150° C. in an atmosphere.
  • the heat treatment step for polymerizing the precursors (precursor molecules) described above is not limited to being performed at 150°C, and is preferably performed at 120°C or higher and 230°C or lower.
  • precursors comprising a first hole-transporting material having a three-dimensional network structure in which body molecules are polymerized together, and a second hole-transporting material containing a plurality of molecules having hole-transporting properties.
  • 24HT has high solvent resistance and high hole transport properties, it can be used in post-processes such as a hole transport layer made of a polymer material that has hole transport properties but does not have a three-dimensional network structure. The hole-transporting layer is not peeled off by the solvent used.
  • the skeleton (ZZ), which is the same as the skeleton (YY) having a hole-transporting property shown in Chemical Formula 2) and has a hole-transporting property shown in (b) of FIG. 14 and (b) of FIG. is the same as the skeleton (ZZ) having a hole-transporting property shown in the above (Chemical Formula 3).
  • Embodiment 4 of the present invention will be described based on FIG.
  • This embodiment differs from Embodiments 1 to 3 described above in that, for example, the red light emitting layer 24REM' is a light emitting layer containing quantum dots and is formed by an inkjet method.
  • Others are as described in the first to third embodiments.
  • members having the same functions as the members shown in the drawings of Embodiments 1 to 3 are denoted by the same reference numerals, and their explanations are omitted.
  • 17(a), 17(b) and 17(c) show the red light emitting layer 24REM' of the red light emitting element 5R included in the red sub-pixel RSP provided in the display device of Embodiment 4. It is a figure for demonstrating the case where it forms with an inkjet method.
  • the green light-emitting layer and the blue light-emitting layer are also light-emitting layers containing quantum dots, and are formed by an inkjet method.
  • the red light-emitting layer 24REM', the green light-emitting layer, and the blue light-emitting layer are formed by an inkjet method using an inkjet device IJM, the first resist layer 30, the second resist layer 30, and the third resist layer described in Embodiment 1 are used. 30 need not be used.
  • red light is emitted on the hole transport layer 24HT of the red light emitting element 5R included in the red subpixel RSP and inside the bank 23.
  • a red light-emitting material solution (first light-emitting material solution) containing quantum dots (first light-emitting material) and a solvent is added dropwise, and the solvent is removed by, for example, heat treatment, so that as shown in FIG. , the red light emitting layer 24REM' can be formed in a predetermined shape.
  • a quantum dot (second light-emitting material) emitting green light and a solvent are placed on the hole transport layer 24HT of the green light-emitting element 5G included in the green sub-pixel GSP and inside the bank 23.
  • the green light-emitting material solution (second light-emitting material solution) containing the green light-emitting material solution (second light-emitting material solution) is dropped, and the solvent is removed by heat treatment, for example, so that the green light-emitting layer can be formed in a predetermined shape.
  • a blue light-emitting material solution (third light-emitting material solution) containing quantum dots that emit blue light (third light-emitting material) and a solvent is dropped on the hole transport layer 24HT of the element 5B and inside the bank 23.
  • the blue light-emitting layer can be formed in a predetermined shape by removing the solvent by heat treatment or the like.
  • the red light-emitting material solution containing the solvent first light-emitting material solution
  • the solvent-containing green light-emitting material solution (second light-emitting material solution) and the solvent-containing blue light-emitting material solution (third light-emitting material solution) the solvent is in contact with the hole transport layer 24HT, resulting in high solvent resistance.
  • a first electrode a hole transport layer formed on the first electrode; a light emitting layer formed on the hole transport layer; a second electrode formed on the light-emitting layer;
  • the hole-transporting layer comprises a first hole-transporting material having a three-dimensional network structure in which molecules containing a skeleton having a hole-transporting property and at least two thermosetting functional groups are polymerized together; and a second hole-transporting material comprising a plurality of molecules having hole-transporting properties.
  • the molecule containing the hole-transporting skeleton and the thermosetting functional group is VNPB(N4,N4'-Di(naphthalen-1-yl)-N4,N4'-bis(4-vinylphenyl)biphenyl -4,4'-diamine),
  • the second hole-transporting material is PVK (polyvinylcarbazole) or TFB (poly[(9,9-dioctylfluorenyl-2,7-diyl)-co-(4,4'-(N-( 4-sec-butylphenyl))diphenylamine)]).
  • the molecule containing the hole-transporting skeleton and the thermosetting functional group is DV-CBP(4,4′-Bis(3-((4-vinylphenoxy)methyl)-9H-carbazol-9- yl) biphenyl);
  • the second hole-transporting material is PVK (polyvinylcarbazole) or TFB (poly[(9,9-dioctylfluorenyl-2,7-diyl)-co-(4,4′-(N-( 4-sec-butylphenyl))diphenylamine)]).
  • the molecule containing the hole-transporting skeleton and the thermosetting functional group is CBP-V (4,4′-bis(N-carbazolyl)-1,1′-biphenyl-vinyl),
  • the second hole-transporting material is PVK (polyvinylcarbazole) or TFB (poly[(9,9-dioctylfluorenyl-2,7-diyl)-co-(4,4′-(N-( 4-sec-butylphenyl))diphenylamine)]).
  • thermosetting functional groups are phosphonic acid groups ( -PO3H2 ) and hydroxy groups (-OH).
  • thermosetting functional groups are a carboxyl group (-COOH) and a hydroxy group (-OH).
  • a plurality of light emitting elements are provided on a substrate,
  • the plurality of light emitting elements includes a first light emitting element, a second light emitting element and a third light emitting element
  • the first light-emitting element includes a first light-emitting layer as the light-emitting layer
  • the second light-emitting element includes, as the light-emitting layer, a second light-emitting layer having an emission peak wavelength different from that of the first light-emitting layer
  • a display device, wherein the third light-emitting element includes, as the light-emitting layer, a third light-emitting layer having an emission peak wavelength different from that of the first light-emitting layer and the second light-emitting layer.
  • [Aspect 13] forming a first electrode; a hole-transporting material mixture solution containing a plurality of molecules each having a skeleton having a hole-transporting property and at least two thermosetting functional groups, a plurality of molecules having a hole-transporting property, and a solvent; forming the positive electrode on the first electrode and then heat-treating the plurality of molecules including the skeleton having the hole-transporting property and the thermosetting functional group to form a polymer material having a three-dimensional network structure; forming a pore transport layer; forming a light emitting layer on the hole transport layer; and forming a second electrode on the light emitting layer.
  • a plurality of light-emitting elements including the first electrode, the hole transport layer, the light-emitting layer, and the second electrode are provided on the substrate;
  • the plurality of light emitting elements includes a first light emitting element, a second light emitting element and a third light emitting element,
  • the first light-emitting element includes a first light-emitting layer as the light-emitting layer
  • the second light-emitting element includes, as the light-emitting layer, a second light-emitting layer having an emission peak wavelength different from that of the first light-emitting layer
  • the third light-emitting element includes, as the light-emitting layer, a third light-emitting layer having an emission peak wavelength different from that of the first light-emitting layer and the second light-emitting layer
  • the step of forming the light-emitting layer includes After forming a first resist layer on at least the hole transport layer of the first light emitting element, the second light emitting element and the third light emit
  • the forming a first light-emitting layer After forming a second resist layer on at least the first light emitting layer of the first light emitting element and the hole transport layers of the second light emitting element and the third light emitting element, the forming a second opening in the second region of the second resist layer by exposing and developing the second region of the second resist layer overlapping the hole transport layer of the second light emitting element; After forming the second light-emitting layer on the hole transport layer in the second opening and on the second resist layer, the second light-emitting element is removed by removing the second light-emitting layer.
  • a third resist layer is formed on at least the first light emitting layer of the first light emitting element, the second light emitting layer of the second light emitting element, and the hole transport layer of the third light emitting element. After the formation, the third region of the third resist layer overlapping the hole transport layer of the third light emitting element in plan view is exposed and developed to form a third region of the third resist layer. 3 forming an opening; After forming the third light emitting layer on the hole transport layer in the third opening and on the third resist layer, the third light emitting element is formed by removing the third resist layer. and forming a third light emitting layer.
  • the first light-emitting layer, the second light-emitting layer and the third light-emitting layer are light-emitting layers containing quantum dots; 19. The method of manufacturing a display device according to any one of Modes 15 to 18, wherein the first light-emitting layer, the second light-emitting layer, and the third light-emitting layer are formed by coating.
  • a plurality of light-emitting elements including the first electrode, the hole transport layer, the light-emitting layer, and the second electrode are provided on the substrate;
  • the plurality of light emitting elements includes a first light emitting element, a second light emitting element and a third light emitting element,
  • the first light-emitting element includes a first light-emitting layer as the light-emitting layer
  • the second light-emitting element includes, as the light-emitting layer, a second light-emitting layer having an emission peak wavelength different from that of the first light-emitting layer
  • the third light-emitting element includes, as the light-emitting layer, a third light-emitting layer having an emission peak wavelength different from that of the first light-emitting layer and the second light-emitting layer
  • the step of forming the light-emitting layer includes forming a first light-emitting material solution containing a first light-emitting material, a photosensitive resist, and a solvent
  • a second light-emitting material solution to form the second light-emitting layer forming a second light-emitting material solution to form the second light-emitting layer; a second light emitting layer patterning step of forming the second light emitting layer of the second light emitting element by exposing and developing the second light emitting layer; a third light-emitting material on at least the first light-emitting layer of the first light-emitting element, the second light-emitting layer of the second light-emitting element, and the hole transport layer of the third light-emitting element; forming a third light-emitting material solution containing a photosensitive resist and a solvent to form the third light-emitting layer;
  • the display device according to mode 13 or 14 comprising a patterning step of the third light-emitting layer, which forms the third light-emitting layer of the third light-emitting element by exposing and developing the third light-emitting layer. manufacturing method.
  • a plurality of light-emitting elements including the first electrode, the hole transport layer, the light-emitting layer, and the second electrode are provided on the substrate;
  • the plurality of light emitting elements includes a first light emitting element, a second light emitting element and a third light emitting element,
  • the first light-emitting element includes a first light-emitting layer as the light-emitting layer
  • the second light-emitting element includes, as the light-emitting layer, a second light-emitting layer having an emission peak wavelength different from that of the first light-emitting layer
  • the third light-emitting element includes, as the light-emitting layer, a third light-emitting layer having an emission peak wavelength different from that of the first light-emitting layer and the second light-emitting layer
  • the step of forming the light-emitting layer includes dropping a first light-emitting material solution containing a first light-emitting material and a solvent onto the hole transport layer of the first
  • the present invention can be used for a display device driving method and a display device.

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Abstract

発光素子(5R・5G・5B)は、第1電極(22)と、第1電極(22)上に形成された正孔輸送層(24HT)と、正孔輸送層(24HT)上に形成された発光層(24REM・24GEM・24BEM)と、発光層(24REM・24GEM・24BEM)上に形成された第2電極(25)と、を含み、正孔輸送層(24HT)は、正孔輸送性を有する骨格と少なくとも2つの熱硬化性官能基とを含む分子同士が高分子化された3次元網目構造を有する第1正孔輸送性材料と、正孔輸送性を有する複数の分子を含む第2正孔輸送性材料とを含む。

Description

発光素子、表示装置及び表示装置の製造方法
 本開示は、発光素子、表示装置及び表示装置の製造方法に関する。
 近年、発光素子を備えた様々な表示装置が開発されており、特に、OLED(Organic Light Emitting Diode:有機発光ダイオード)または、QLED(Quantum dot Light Emitting Diode:量子ドット発光ダイオード)を備えた表示装置は、低消費電力化、薄型化及び高画質化などを実現できる点から、高い注目を浴びている。
 例えば、特許文献1には、有機正孔輸送層を、例えば、PPV(ポリ(フェニレンビニレン))、MEH‐PPV(ポリ[2‐メトキシ‐5‐(2‐エチル‐ヘキシルオキシ)‐1,4‐フェニレンビニレン])、PVK(ポリ(9‐ビニルカルバゾール))及びTFB(ポリ[(9,9‐ジオクチルフルオレニル‐2,7‐ジイル)‐co‐(4,4‐(N‐(4‐sec‐ブチルフェニル))ジフェニルアミン)])などの正孔輸送性を有するが、3次元網目構造を有さない高分子材料で形成したQLEDについて記載されている。
日本国特開2010-114079公報
 しかしながら、有機正孔輸送層を、上述したような正孔輸送性を有するが、3次元網目構造を有さない高分子材料で形成した場合、正孔輸送性を有する低分子材料で形成した場合よりは、耐溶媒特性を向上させることができるが、依然として、満足できる程の耐溶媒特性は得られず、有機正孔輸送層の形成工程の後の工程で用いられる溶媒によって先に形成された有機正孔輸送層が剥離してしまうという問題がある。
 一方、無機材料からなる無機正孔輸送層の場合は、満足できる程の耐溶媒特性は得られるが、満足できる程の正孔輸送特性を得られないという問題がある。
 本開示の一態様は、前記の問題点に鑑みてなされたものであり、満足できる程の耐溶媒特性及び正孔輸送特性を有する正孔輸送層を備えた発光素子と、前記発光素子を備えた表示装置と、前記発光素子を備えた表示装置の製造方法とを提供することを目的とする。
 本開示の発光素子は、前記の課題を解決するために、
 第1電極と、
 前記第1電極上に形成された正孔輸送層と、
 前記正孔輸送層上に形成された発光層と、
 前記発光層上に形成された第2電極と、を含み、
 前記正孔輸送層は、正孔輸送性を有する骨格と少なくとも2つの熱硬化性官能基とを含む分子同士が高分子化された3次元網目構造を有する第1正孔輸送性材料と、正孔輸送性を有する複数の分子を含む第2正孔輸送性材料とを含む。
 本開示の表示装置は、前記の課題を解決するために、
 基板上に、前記発光素子が複数設けられ、
 前記複数の発光素子は、第1発光素子と第2発光素子と第3発光素子とを含み、
 前記第1発光素子は、前記発光層として、第1発光層を備え、
 前記第2発光素子は、前記発光層として、前記第1発光層とは発光ピーク波長が異なる第2発光層を備え、
 前記第3発光素子は、前記発光層として、前記第1発光層及び前記第2発光層とは発光ピーク波長が異なる第3発光層を備えている。
 本開示の表示装置の製造方法は、前記の課題を解決するために、
 第1電極を形成する工程と、
 それぞれが正孔輸送性を有する骨格と少なくとも2つの熱硬化性官能基とを含む複数の分子と、正孔輸送性を有する複数の分子と、溶媒とを含む正孔輸送性材料混合溶液を前記第1電極上に形成した後、熱処理することで前記正孔輸送性を有する骨格と前記熱硬化性官能基とを含む前記複数の分子を3次元網目構造の高分子材料にする工程を含む正孔輸送層を形成する工程と、
 前記正孔輸送層上に発光層を形成する工程と、
 前記発光層上に第2電極を形成する工程と、を含む。
 本開示の一態様は、満足できる程の耐溶媒特性及び正孔輸送特性を有する正孔輸送層を備えた発光素子と、前記発光素子を備えた表示装置と、前記発光素子を備えた表示装置の製造方法とを提供できる。
実施形態1の表示装置の概略的な構成を示す平面図である。 実施形態1の表示装置の表示領域の概略的な構成を示す断面図である。 実施形態1の表示装置の製造工程を示す図である。 (a)は、実施形態1の表示装置に備えられた赤色発光素子の概略的な構成を示す断面図であり、(b)は、実施形態1の表示装置に備えられた緑色発光素子の概略的な構成を示す断面図であり、(c)は、実施形態1の表示装置に備えられた青色発光素子の概略的な構成を示す断面図である。 図3に示す実施形態1の表示装置の製造工程における各機能層を形成する工程を説明するための図である。 (a)は、実施形態1の表示装置に備えられた正孔輸送層に含まれるVNPBの熱処理によって得られた3次元網目構造の高分子材料を示す図であり、(b)は、実施形態1の変形例である表示装置に備えられた正孔輸送層に含まれるDV‐CBPの熱処理によって得られた3次元網目構造の高分子材料を示す図であり、(c)は、実施形態1の他の変形例である表示装置に備えられた正孔輸送層に含まれるCBP‐Vの熱処理によって得られた3次元網目構造の高分子材料を示す図である。 (a)は、230℃の熱処理工程によってVNPB同士が高分子化された3次元網目構造を有する第1正孔輸送性材料とPVK(ポリビニルカルバゾール)を含む第2正孔輸送性材料との重量比が1:2である正孔輸送層の耐溶媒特性を示す図であり、(b)は、230℃の熱処理工程によってVNPB同士が高分子化された3次元網目構造を有する第1正孔輸送性材料とPVK(ポリビニルカルバゾール)を含む第2正孔輸送性材料との重量比が1:1である正孔輸送層の耐溶媒特性を示す図であり、(c)は、230℃の熱処理後のPVK(ポリビニルカルバゾール)を含む第2正孔輸送性材料のみを含む正孔輸送層の耐溶媒特性を示す図である。 (a)、(b)、(c)、(d)、(e)、(f)及び(g)は、実施形態1の表示装置に備えられた赤色サブ画素に含まれる赤色発光素子の赤色発光層を形成する工程を説明するための図である。 (a)、(b)、(c)、(d)、(e)、(f)及び(g)は、実施形態1の表示装置に備えられた緑色サブ画素に含まれる緑色発光素子の緑色発光層を形成する工程を説明するための図である。 (a)、(b)、(c)、(d)、(e)及び(f)は、実施形態1の表示装置に備えられた青色サブ画素に含まれる青色発光素子の青色発光層を形成する工程を説明するための図である。 (a)は、実施形態2の表示装置に備えられた正孔輸送層に含まれるVNPBの熱処理によって得られた3次元網目構造の高分子材料を示す図であり、(b)は、実施形態2の変形例である表示装置に備えられた正孔輸送層に含まれるDV‐CBPの熱処理によって得られた3次元網目構造の高分子材料を示す図であり、(c)は、実施形態2の他の変形例である表示装置に備えられた正孔輸送層に含まれるCBP‐Vの熱処理によって得られた3次元網目構造の高分子材料を示す図である。 150℃の熱処理工程によってVNPB同士が高分子化された3次元網目構造を有する第1正孔輸送性材料とPVK(ポリビニルカルバゾール)を含む第2正孔輸送性材料との重量比が1:2である正孔輸送層の耐溶媒特性を示す図である。 (a)は、正孔輸送性を有する骨格と、熱硬化性官能基であるホスホン酸基(-PO)及びヒドロキシ基(-OH)とを含む分子の一例を示す図であり、(b)は、図13の(a)に示す分子の熱処理によって得られた実施形態3の表示装置に備えられた正孔輸送層に含まれる3次元網目構造の高分子材料を示す図である。 (a)及び(b)は、熱硬化性官能基であるホスホン酸基(-PO)及びヒドロキシ基(-OH)と、図13の(a)に示す分子とは異なる正孔輸送性を有する骨格とを含む分子の熱処理によって得られた実施形態3の他の変形例の表示装置に備えられた正孔輸送層に含まれる3次元網目構造の高分子材料を示す図である。 (a)は、正孔輸送性を有する骨格と、熱硬化性官能基であるカルボキシル基(-COOH)及びヒドロキシ基(-OH)とを含む分子の一例を示す図であり、(b)は、図15の(a)に示す分子の熱処理によって得られた実施形態3のさらに他の変形例である表示装置に備えられた正孔輸送層に含まれる3次元網目構造の高分子材料を示す図である。 (a)及び(b)は、熱硬化性官能基であるカルボキシル基(-COOH)及びヒドロキシ基(-OH)と、図15の(a)に示す分子とは異なる正孔輸送性を有する骨格とを含む分子の熱処理によって得られた実施形態3のさらに他の変形例である表示装置に備えられた正孔輸送層に含まれる3次元網目構造の高分子材料を示す図である。 (a)、(b)及び(c)は、実施形態4の表示装置に備えられた赤色サブ画素に含まれる赤色発光素子の赤色発光層をインクジェット法で形成する場合を説明するための図である。
 本発明の実施の形態について、図1から図17に基づいて説明すれば、次の通りである。以下、説明の便宜上、特定の実施形態にて説明した構成と同一の機能を有する構成については、同一の符号を付記し、その説明を省略する場合がある。
 〔実施形態1〕
 図1は、実施形態1の表示装置1の概略的な構成を示す平面図である。
 図1に示すように、表示装置1は、額縁領域NDAと、表示領域DAとを備えている。表示装置1の表示領域DAには、複数の画素PIXが備えられており、各画素PIXは、それぞれ、赤色サブ画素RSPと、緑色サブ画素GSPと、青色サブ画素BSPとを含む。本実施形態においては、1画素PIXが、赤色サブ画素RSPと、緑色サブ画素GSPと、青色サブ画素BSPとで構成される場合を一例に挙げて説明するが、これに限定されることはない。例えば、1画素PIXは、赤色サブ画素RSP、緑色サブ画素GSP及び青色サブ画素BSPの他に、さらに他の色のサブ画素を含んでいてもよい。
 図2は、実施形態1の表示装置1の表示領域DAの概略的な構成を示す断面図である。
 図2に示すように、表示装置1の表示領域DAにおいては、基板12上に、バリア層3と、トランジスタTRを含む薄膜トランジスタ層4と、赤色発光素子5R、緑色発光素子5G、青色発光素子5B及びバンク23(透明樹脂層)と、封止層6と、機能フィルム39とが、基板12側からこの順に備えられている。
 表示装置1の表示領域DAに備えられた赤色サブ画素RSPは赤色発光素子5R(第1発光素子)を含み、表示装置1の表示領域DAに備えられた緑色サブ画素GSPは緑色発光素子5G(第2発光素子)を含み、表示装置1の表示領域DAに備えられた青色サブ画素BSPは青色発光素子5B(第3発光素子)を含む。赤色サブ画素RSPに含まれる赤色発光素子5Rは、第1電極22(アノード)と、赤色発光層を含む機能層24Rと、第2電極25(カソード)とを含み、緑色サブ画素GSPに含まれる緑色発光素子5Gは、第1電極22(アノード)と、緑色発光層を含む機能層24Gと、第2電極25(カソード)とを含み、青色サブ画素BSPに含まれる青色発光素子5Bは、第1電極22(アノード)と、青色発光層を含む機能層24Bと、第2電極25(カソード)とを含む。
 基板12は、例えば、ポリイミドなどの樹脂材料からなる樹脂基板であってもよく、ガラス基板であってもよい。本実施形態においては、表示装置1を可撓性表示装置とするため、基板12として、ポリイミドなどの樹脂材料からなる樹脂基板を用いた場合を一例に挙げて説明するが、これに限定されることはない。表示装置1を非可撓性表示装置とする場合には、基板12として、ガラス基板を用いることができる。
 バリア層3は、水、酸素などの異物がトランジスタTR、赤色発光素子5R、緑色発光素子5G及び青色発光素子5Bに侵入することを防ぐ層であり、例えば、CVD法により形成される、酸化シリコン膜、窒化シリコン膜、あるいは酸窒化シリコン膜、またはこれらの積層膜で構成することができる。
 トランジスタTRを含む薄膜トランジスタ層4のトランジスタTR部分は、半導体膜SEM及びドープされた半導体膜SEM’・SEM’’と、無機絶縁膜16と、ゲート電極Gと、無機絶縁膜18と、無機絶縁膜20と、ソース電極S及びドレイン電極Dと、平坦化膜21とを含み、トランジスタTRを含む薄膜トランジスタ層4のトランジスタTR部分以外の部分は、無機絶縁膜16と、無機絶縁膜18と、無機絶縁膜20と、平坦化膜21とを含む。
 半導体膜SEM・SEM’・SEM’’は、例えば、低温ポリシリコン(LTPS)あるいは酸化物半導体(例えば、In-Ga-Zn-O系の半導体)で構成してもよい。本実施形態においては、トランジスタTRがトップゲート構造である場合を一例に挙げて説明するが、これに限定されることはなく、トランジスタTRは、ボトムゲート構造であってもよい。
 ゲート電極Gと、ソース電極S及びドレイン電極Dとは、例えば、アルミニウム、タングステン、モリブデン、タンタル、クロム、チタン、銅の少なくとも1つを含む金属の単層膜あるいは積層膜によって構成できる。
 無機絶縁膜16、無機絶縁膜18及び無機絶縁膜20は、例えば、CVD法によって形成された、酸化シリコン膜、窒化シリコン膜、酸化窒化シリコン膜または、これらの積層膜によって構成することができる。
 平坦化膜21は、例えば、ポリイミド、アクリルなどの塗布可能な有機材料によって構成することができる。
 赤色発光素子5Rは、平坦化膜21よりも上層の第1電極22(アノード)と、赤色発光層を含む機能層24Rと、第2電極25(カソード)とを含み、緑色発光素子5Gは、平坦化膜21よりも上層の第1電極22(アノード)と、緑色発光層を含む機能層24Gと、第2電極25(カソード)とを含み、青色発光素子5Bは、平坦化膜21よりも上層の第1電極22(アノード)と、青色発光層を含む機能層24Bと、第2電極25(カソード)とを含む。なお、第1電極22(アノード)のエッジを覆う絶縁性のバンク23(透明樹脂層)は、例えば、ポリイミドまたはアクリルなどの有機材料を塗布した後にフォトリソグラフィー法によってパターニングすることで形成できる。
 赤色発光層を含む機能層24Rは、例えば、第1電極22(アノード)側から順に、正孔注入層、正孔輸送層、赤色発光層、電子輸送層及び電子注入層を積層することで構成することができる。赤色発光層を含む機能層24Rのうち、正孔輸送層以外の正孔注入層、電子輸送層及び電子注入層の1層以上を適宜省いてもよい。本実施形態においては、赤色発光層を含む機能層24Rを、第1電極22(アノード)側から順に、正孔注入層、正孔輸送層、赤色発光層及び電子輸送層を積層することで構成した場合を一例に挙げて説明するが、これに限定されることはない。
 緑色発光層を含む機能層24Gは、例えば、第1電極22(アノード)側から順に、正孔注入層、正孔輸送層、緑色発光層、電子輸送層及び電子注入層を積層することで構成することができる。緑色発光層を含む機能層24Gのうち、正孔輸送層以外の正孔注入層、電子輸送層及び電子注入層の1層以上を適宜省いてもよい。本実施形態においては、緑色発光層を含む機能層24Gを、第1電極22(アノード)側から順に、正孔注入層、正孔輸送層、緑色発光層及び電子輸送層を積層することで構成した場合を一例に挙げて説明するが、これに限定されることはない。
 青色発光層を含む機能層24Bは、例えば、第1電極22(アノード)側から順に、正孔注入層、正孔輸送層、青色発光層、電子輸送層及び電子注入層を積層することで構成することができる。青色発光層を含む機能層24Bのうち、正孔輸送層以外の正孔注入層、電子輸送層及び電子注入層の1層以上を適宜省いてもよい。本実施形態においては、青色発光層を含む機能層24Bを、第1電極22(アノード)側から順に、正孔注入層、正孔輸送層、青色発光層及び電子輸送層を積層することで構成した場合を一例に挙げて説明するが、これに限定されることはない。
 また、本実施形態においては、赤色発光層を含む機能層24R、緑色発光層を含む機能層24G及び青色発光層を含む機能層24Bのそれぞれが、同一材料を用いて同一工程で形成された正孔注入層と、同一材料を用いて同一工程で形成された正孔輸送層と、同一材料を用いて同一工程で形成された電子輸送層とを備えている場合を一例に挙げて説明するがこれに限定されることはない。例えば、各機能層24R・24G・24Bに含まれるそれぞれの正孔注入層を、互いに異なる材料で形成してもよく、例えば、機能層24R・24G・24Bのうちの2つの機能層のそれぞれに含まれる正孔注入層は同一材料を用いて同一工程で形成し、残りの1つの機能層に含まれる正孔注入層のみを異なる材料を用いて別工程で形成してもよい。また、例えば、各機能層24R・24G・24Bに含まれるそれぞれの正孔輸送層を、互いに異なる材料で形成してもよく、例えば、機能層24R・24G・24Bのうちの2つの機能層のそれぞれに含まれる正孔輸送層は同一材料を用いて同一工程で形成し、残りの1つの機能層に含まれる正孔輸送層のみを異なる材料を用いて別工程で形成してもよい。さらに、例えば、各機能層24R・24G・24Bに含まれるそれぞれの電子輸送層を、互いに異なる材料で形成してもよく、例えば、機能層24R・24G・24Bのうちの2つの機能層のそれぞれに含まれる電子輸送層は同一材料を用いて同一工程で形成し、残りの1つの機能層に含まれる電子輸送層のみを異なる材料を用いて別工程で形成してもよい。
 本実施形態においては、赤色発光素子5R、緑色発光素子5G及び青色発光素子5Bは、QLED(量子ドット発光ダイオード)である場合を一例に挙げて説明するが、これに限定されることはなく、赤色発光素子5R、緑色発光素子5G及び青色発光素子5Bは、OLED(有機発光ダイオード)であってもよく、さらには、赤色発光素子5R、緑色発光素子5G及び青色発光素子5Bの一部がQLEDで、赤色発光素子5R、緑色発光素子5G及び青色発光素子5Bの残りの一部がOLEDであってもよい。なお、赤色発光素子5R、緑色発光素子5G及び青色発光素子5Bが、QLEDである場合には、各色の発光素子が備えている発光層は、例えば、塗布法またはインクジェット法で形成された量子ドットを含む発光層であり、赤色発光素子5R、緑色発光素子5G及び青色発光素子5Bが、OLEDである場合には、各色の発光素子が備えている発光層は、例えば、蒸着法によって形成された有機発光層である。
 赤色発光素子5R、緑色発光素子5G及び青色発光素子5Bのそれぞれを制御するトランジスタTRを含む制御回路が、赤色サブ画素RSP、緑色サブ画素GSP及び青色サブ画素BSPごとにトランジスタTRを含む薄膜トランジスタ層4に設けられている。なお、赤色サブ画素RSP、緑色サブ画素GSP及び青色サブ画素BSPごとに設けられているトランジスタTRを含む制御回路と発光素子とを合わせてサブ画素回路ともいう。
 図2に示す赤色発光素子5R、緑色発光素子5G及び青色発光素子5Bは、トップエミッション型であっても、ボトムエミッション型であってもよい。赤色発光素子5R、緑色発光素子5G及び青色発光素子5Bは、基板12側から、第1電極22(アノード)と、機能層24R・24G・24Bと、第2電極25(カソード)とが、この順に形成された順積構造を有することから、第1電極22(アノード)より第2電極25(カソード)が上層として配置されるので、トップエミッション型にするためには、第1電極22(アノード)は可視光を反射する電極材料で形成し、第2電極25(カソード)は可視光を透過する電極材料で形成すればよく、ボトムエミッション型にするためには、第1電極22(アノード)は可視光を透過する電極材料で形成し、第2電極25(カソード)は可視光を反射する電極材料で形成すればよい。
 可視光を反射する電極材料としては、可視光を反射でき、導電性を有するのであれば、特に限定されないが、例えば、Al、Mg、Li、Agなどの金属材料または、前記金属材料の合金または、前記金属材料と透明金属酸化物(例えば、indium tin oxide、indium zinc oxide、indium gallium zinc oxideなど)との積層体または、前記合金と前記透明金属酸化物との積層体などを挙げることができる。
 一方、可視光を透過する電極材料としては、可視光を透過でき、導電性を有するのであれば、特に限定されないが、例えば、透明金属酸化物(例えば、indium tin oxide、indium zinc oxide、indium gallium zinc oxideなど)または、Al、Mg、Li、Agなどの金属材料からなる薄膜などを挙げることができる。
 第1電極22(アノード)及び第2電極25(カソード)の成膜方法としては、一般的な電極の形成方法を用いることができ、例えば、真空蒸着法、スパッタリング法、EB蒸着法、イオンプレーティング法などの物理的蒸着(PVD)法、あるいは、化学的蒸着(CVD)法などを挙げることができる。また、第1電極22(アノード)及び第2電極25(カソード)のパターニング方法としては、所望のパターンに精度よく形成することができる方法であれば特に限定されるものではないが、具体的にはフォトリソグラフィー法やインクジェット法などを挙げることができる。
 封止層6は透光性膜であり、例えば、第2電極25(カソード)を覆う無機封止膜26と、無機封止膜26よりも上層の有機膜27と、有機膜27よりも上層の無機封止膜28とで構成することができる。封止層6は、水、酸素などの異物の赤色発光素子5R、緑色発光素子5G及び青色発光素子5Bへの浸透を防いでいる。
 無機封止膜26及び無機封止膜28はそれぞれ無機膜であり、例えば、CVD法により形成される、酸化シリコン膜、窒化シリコン膜、あるいは酸窒化シリコン膜、またはこれらの積層膜で構成することができる。有機膜27は、平坦化効果のある透光性有機膜であり、例えば、アクリルなどの塗布可能な有機材料によって構成することができる。有機膜27は、例えばインクジェット法によって形成してもよい。本実施形態においては、封止層6を、2層の無機膜と2層の無機膜の間に設けられた1層の有機膜とで形成した場合を一例に挙げて説明したが、2層の無機膜と1層の有機膜の積層順はこれに限定されることはない。さらに、封止層6は、無機膜のみで構成されてもよく、有機膜のみで構成されてもよく、1層の無機膜と2層の有機膜とで構成されてもよく、2層以上の無機膜と2層以上の有機膜とで構成されてもよい。
 機能フィルム39は、例えば、光学補償機能、タッチセンサ機能、保護機能の少なくとも1つを有するフィルムである。
 図3は、実施形態1の表示装置1の製造工程を示す図である。
 図2に示す表示装置1の製造工程は、図3に示すように、基板12上に、バリア層3及び薄膜トランジスタ層4を形成する工程(S1)と、第1電極22(アノード)を形成する工程(S2)と、バンク23(透明樹脂層)を形成する工程(S3)と、赤色発光素子5Rに含まれる赤色発光層を含む機能層24R、緑色発光素子5Gに含まれる緑色発光層を含む機能層24G及び青色発光素子5Bに含まれる青色発光層を含む機能層24Bを形成する工程(S4)と、第2電極25(カソード)を形成する工程(S5)と、封止層6を形成する工程(S6)と、機能フィルム39を形成する工程(S7)とを含む。
 図4の(a)は、実施形態1の表示装置1に備えられた赤色発光素子5Rの概略的な構成を示す断面図であり、図4の(b)は、実施形態1の表示装置1に備えられた緑色発光素子5Gの概略的な構成を示す断面図であり、図4の(c)は、実施形態1の表示装置1に備えられた青色発光素子5Bの概略的な構成を示す断面図である。
 図5は、図3に示す実施形態1の表示装置1の製造工程における機能層24R、機能層24G及び機能層24Bを形成する工程を説明するための図である。
 図5に示すように、表示装置1に備えられた機能層24R、機能層24G及び機能層24Bを形成する工程は、第1電極22(アノード)上に、正孔注入層24HIを形成する工程(S11)と、正孔輸送層24HTを形成する工程(S12)と、発光層24REM(赤色発光層)を形成する工程(S13)と、発光層24GEM(緑色発光層)を形成する工程(S14)と、発光層24BEM(青色発光層)を形成する工程(S15)と、電子輸送層24ETを形成する工程(S16)とを含む。
 本実施形態においては、発光層24REM(赤色発光層)と、発光層24GEM(緑色発光層)と、発光層24BEM(青色発光層)とを、この順序で形成した場合を一例に挙げて説明するが、これに限定されることはなく、これらの発光層はどのような順序で形成されてもよい。
 また、本実施形態においては、上述したように、機能層24R、機能層24G及び機能層24Bのそれぞれが、同一材料を用いて同一工程で形成された正孔注入層24HIと、同一材料を用いて同一工程で形成された正孔輸送層24HTと、同一材料を用いて同一工程で形成された電子輸送層24ETとを備えている。したがって、第1電極22(アノード)上に、正孔注入層24HIを形成する工程(S11)においては、赤色発光素子5R、緑色発光素子5G及び青色発光素子5Bのそれぞれに備えられた第1電極22(アノード)上に、正孔注入層24HIが形成される。また、正孔輸送層24HTを形成する工程(S12)においては、赤色発光素子5R、緑色発光素子5G及び青色発光素子5Bのそれぞれに備えられた正孔注入層24HI上に、正孔輸送層24HTが形成される。さらに、電子輸送層24ETを形成する工程(S16)においては、赤色発光素子5Rに備えられた発光層24REM(赤色発光層)、緑色発光素子5Gに備えられた発光層24GEM(緑色発光層)及び青色発光素子5Bに備えられた発光層24BEM(青色発光層)上に、電子輸送層24ETが形成される。
 なお、第1電極22(アノード)は、例えば、100nm以上、300nm以下の膜厚で形成することができるが、これに限定されることはない。第2電極25(カソード)は、例えば、10nm以上、100nm以下の膜厚で形成することができるが、これに限定されることはない。正孔注入層24HIは、例えば、20nm以上、90nm以下の膜厚で形成することができるが、これに限定されることはない。正孔輸送層24HTは、例えば、20nm以上、70nm以下の膜厚で形成することができるが、これに限定されることはない。発光層24REM(赤色発光層)、発光層24GEM(緑色発光層)及び発光層24BEM(青色発光層)は、例えば、20nm以上、50nm以下の膜厚で形成することができるが、これに限定されることはない。電子輸送層24ETは、例えば、30nm以上、90nm以下の膜厚で形成することができるが、これに限定されることはない。
 正孔輸送層24HTは、後述するように、正孔輸送性を有する骨格と少なくとも2つの熱硬化性官能基とを含む分子同士が高分子化された3次元網目構造を有する第1正孔輸送性材料と、正孔輸送性を有する複数の分子を含む第2正孔輸送性材料とを含む。
 本実施形態の表示装置1に備えられた赤色発光素子5R、緑色発光素子5G及び青色発光素子5Bのそれぞれは、第1正孔輸送性材料と第2正孔輸送性材料とを含む正孔輸送層24HTを備えている。正孔輸送層24HTに含まれる正孔輸送性を有する複数の分子を含む第2正孔輸送性材料は、熱硬化性官能基などを含まない正孔輸送性を有する複数の分子を含むので、第1正孔輸送性材料に比べると正孔輸送特性が高い。正孔輸送性を有する複数の分子を含む第2正孔輸送性材料としては、例えば、正孔輸送性を有する高分子材料を一例に挙げることができ、PVK(ポリビニルカルバゾール)やTFB(ポリ[(9,9-ジオクチルフルオレニル‐2,7‐ジイル)‐co‐(4,4’‐(N‐(4‐sec‐ブチルフェニル))ジフェニルアミン)])などの高分子材料を好適に用いることができるが、これに限定されることはない。正孔輸送性を有する複数の分子を含む第2正孔輸送性材料としては、例えば、正孔輸送性を有する低分子材料を用いてもよく、正孔輸送性を有する高分子材料と正孔輸送性を有する低分子材料との両方を用いてもよい。一方、正孔輸送層24HTに含まれる第1正孔輸送性材料は、3次元網目構造を有するので、第2正孔輸送性材料に比べると耐溶媒特性が高い。以上のように、正孔輸送層24HTは、耐溶媒特性が高い第1正孔輸送性材料と、正孔輸送特性が高い第2正孔輸送性材料とが混合されているので、満足できる程の耐溶媒特性及び正孔輸送特性を有する正孔輸送層を備えた発光素子及び表示装置を実現できる。
 本実施形態においては、表示装置1に備えられた赤色発光素子5R、緑色発光素子5G及び青色発光素子5Bの全てが第1正孔輸送性材料と第2正孔輸送性材料とを含む正孔輸送層24HTを備えている場合を一例に挙げて説明したが、これに限定されることはなく、表示装置1に備えられた赤色発光素子5R、緑色発光素子5G及び青色発光素子5Bの1つ以上の発光素子が第1正孔輸送性材料と第2正孔輸送性材料とを含む正孔輸送層24HTを備えていてもよい。
 図6の(a)は、実施形態1の表示装置1に備えられた正孔輸送層24HTに含まれるVNPB(N4,N4’-Di(naphthalen-1-yl)-N4,N4’-bis(4-vinylphenyl)biphenyl-4,4’-diamine)の熱処理によって得られた3次元網目構造の高分子材料を示す図である。
 なお、下記(化学式1)で示されるVNPBは、正孔輸送性を有する骨格(X‐X)と、熱硬化性官能基としてビニル基とを有する。なお、図6の(a)において、VNPBが有する正孔輸送性を有する骨格は、X‐Xで図示している。
Figure JPOXMLDOC01-appb-C000001
 図6の(b)は、実施形態1の変形例である表示装置に備えられた正孔輸送層に含まれるDV‐CBP(4,4’-Bis(3-((4-vinylphenoxy)methyl)-9H-carbazol-9-yl)biphenyl)の熱処理によって得られた3次元網目構造の高分子材料を示す図である。
 なお、下記(化学式2)で示されるDV‐CBPは、正孔輸送性を有する骨格(Y‐Y)と、熱硬化性官能基としてビニル基とを有する。なお、図6の(b)において、DV‐CBPが有する正孔輸送性を有する骨格は、Y‐Yで図示している。
Figure JPOXMLDOC01-appb-C000002
 図6の(c)は、実施形態1の他の変形例である表示装置に備えられた正孔輸送層に含まれるCBP‐V(4,4’-ビス(N-カルバゾリル)-1,1’-ビフェニル-ビニル)の熱処理によって得られた3次元網目構造の高分子材料を示す図である。
 なお、下記(化学式3)で示されるCBP‐Vは、正孔輸送性を有する骨格(Z‐Z)と、熱硬化性官能基としてビニル基とを有する。なお、図6の(c)において、CBP‐Vが有する正孔輸送性を有する骨格は、Z‐Zで図示している。
Figure JPOXMLDOC01-appb-C000003
 図6の(a)に示すVNPB、図6の(b)に示すDV‐CBP及び図6の(c)に示すCBP‐Vは、正孔輸送層24HTに含まれる3次元網目構造を有する第1正孔輸送性材料の前駆体(前駆体分子)の一例であり、これらの前駆体(前駆体分子)は何れも熱硬化性官能基としてビニル基を有するので、例えば、不活性ガス(例えば、窒素ガスまたはアルゴンガス)雰囲気下、230℃で熱処理することで、前駆体(前駆体分子)同士が高分子化された3次元網目構造を有する第1正孔輸送性材料を得ることができる。
 したがって、図5に示す正孔輸送層24HTを形成する工程(S12)は、例えば、VNPB、DV‐CBP及びCBP‐Vなどの前駆体(前駆体分子)と、正孔輸送性を有する複数の分子と、溶媒とを含む正孔輸送性材料混合溶液を第1電極22(アノード)上、具体的には、第1電極22(アノード)上の正孔注入層24HI上に形成した後、熱処理することで前駆体(前駆体分子)を3次元網目構造の高分子材料にする工程を含む。なお、前記正孔輸送性材料混合溶液に含まれる溶媒は、前記前駆体(前駆体分子)と前記正孔輸送性を有する複数の分子とを溶解または分散できるのであれば、その種類は特に限定されないが、本実施形態においては、クロロベンゼンを用いた。
 本実施形態においては、上述した前駆体(前駆体分子)同士を高分子化させる熱処理工程を230℃で行う場合を一例に挙げて説明したが、これに限定されることはない。この熱処理による正孔注入層24HIの性能低下を考慮した場合、上述した前駆体(前駆体分子)同士を高分子化させる熱処理工程は、120℃以上、230℃以下で行うことが好ましい。
 正孔輸送層24HTに含まれる正孔輸送特性が高い第2正孔輸送性材料の重量が大きくなれば、正孔輸送層24HTの正孔輸送特性は向上するが、その分、正孔輸送層24HTに含まれる耐溶媒特性が高い第1正孔輸送性材料の重量は小さくなり、正孔輸送層24HTの耐溶媒特性は低下する。したがって、正孔輸送層24HTの正孔輸送特性及び耐溶媒特性を最適化するためには、正孔輸送層24HTに含まれる正孔輸送特性が高い第2正孔輸送性材料の重量は、正孔輸送層24HTに含まれる耐溶媒特性が高い第1正孔輸送性材料の重量の1倍以上、4倍以下であることが好ましい。
 図7の(a)は、230℃の熱処理工程によってVNPB同士が高分子化された3次元網目構造を有する第1正孔輸送性材料とPVK(ポリビニルカルバゾール)を含む第2正孔輸送性材料との重量比が1:2である正孔輸送層の耐溶媒特性を示す図である。
 図7の(b)は、230℃の熱処理工程によってVNPB同士が高分子化された3次元網目構造を有する第1正孔輸送性材料とPVK(ポリビニルカルバゾール)を含む第2正孔輸送性材料との重量比が1:1である正孔輸送層の耐溶媒特性を示す図である。
 図7の(c)は、230℃の熱処理後のPVK(ポリビニルカルバゾール)を含む第2正孔輸送性材料のみを含む正孔輸送層の耐溶媒特性を示す図である。
 図7の(c)に示す正孔輸送層の場合、正孔輸送層の形成直後には、高い正孔輸送特性を有するが、3次元網目構造を有さない高分子材料からなるので、ガラス転移温度を超える温度で熱処理し、再結晶させでも、耐溶媒特性が悪く、後工程で使用される溶媒によって正孔輸送層が剥離してしまい、結果的には、正孔輸送層として使用することが困難である。
 一方、図7の(a)及び図7の(b)に示す正孔輸送層の場合、満足できる程の耐溶媒特性及び正孔輸送特性を有する。なお、耐溶媒特性面では、図7の(b)に示す正孔輸送層が図7の(a)に示す正孔輸送層よりも高く、正孔輸送特性面では、図7の(a)に示す正孔輸送層が図7の(b)に示す正孔輸送層よりも高い。
 以上のように、本実施形態においては、正孔輸送性を有する複数の分子を含む第2正孔輸送性材料としてPVK(ポリビニルカルバゾール)を用いた場合を一例に挙げて説明したが、これに限定されることはなく、第2正孔輸送性材料としては、例えば、TFB(ポリ[(9,9-ジオクチルフルオレニル‐2,7‐ジイル)‐co‐(4,4’‐(N‐(4‐sec‐ブチルフェニル))ジフェニルアミン)])などの有機正孔輸送性材料を用いてもよい。
 図8の(a)、図8の(b)、図8の(c)、図8の(d)、図8の(e)、図8の(f)及び図8の(g)は、実施形態1の表示装置1に備えられた赤色サブ画素RSPに含まれる赤色発光素子5Rの赤色発光層24REMを形成する工程を説明するための図である。
 図8の(a)及び図8の(b)に示すように、少なくとも、赤色サブ画素RSPに含まれる赤色発光素子5R、緑色サブ画素GSPに含まれる緑色発光素子5G及び青色サブ画素BSPに含まれる青色発光素子5Bの正孔輸送層24HT上に、第1レジスト層30を形成する。なお、緑色サブ画素GSPに含まれる緑色発光素子5G及び青色サブ画素BSPに含まれる青色発光素子5Bは図示しておらず、第1レジスト層30はポジ型のレジスト材料によって形成された層であり、例えば、500nm以上、2500nm以下の膜厚で形成することができる。
 その後、図8の(c)に示すように、平面視において赤色サブ画素RSPに含まれる赤色発光素子5Rの正孔輸送層24HTと重畳する第1レジスト層30の第1領域を、マスクM1の開口K1を介して、露光用の光Lで露光し、現像することで、図8の(d)に示すように、第1レジスト層30の前記第1領域に第1開口を形成することができる。なお、前記現像工程では、例えば、TMAH(テトラメチルアンモニウムハイドロオキサイド)水溶液を用いて現像を行うことができる。
 それから、図8の(e)に示すように、第1レジスト層30に形成された前記第1開口における正孔輸送層24HT上と、図8の(e)及び図8の(f)に示すように、赤色サブ画素RSP、緑色サブ画素GSP及び青色サブ画素BSPに含まれる第1レジスト層30上とに、赤色発光層24REMを形成する。なお、本実施形態においては、赤色発光層24REMは量子ドットを含む発光層であり、例えば、スピンコーターやスリットコーターなどを用いた塗布法によって、塗布して形成した場合を一例に挙げて説明するが、赤色発光層24REMの形成方法はこれに限定されることはない。
 その後、第1レジスト層30を剥離することで、図8の(g)に示すように、赤色サブ画素RSPに含まれる赤色発光素子5Rの赤色発光層24REMを所定形状に形成することができる。なお、前記剥離工程においては、第1レジスト層30の剥離は、極性溶媒を用いて行うことができ、極性溶媒としては、例えば、PGMEA(プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート)を用いることができる。
 上述したように、赤色発光層24REMを形成する工程においては、現像工程でTMAH水溶液が使用され、TMAH水溶液は正孔輸送層24HTと直接接し、剥離工程では極性溶媒であるPGMEAが使用され、PGMEAは正孔輸送層24HTと直接接する。したがって、PVK(ポリビニルカルバゾール)のように正孔輸送性を有するが、3次元網目構造を有さない高分子材料のみからなる正孔輸送層の場合、後工程である、赤色発光層を形成する工程、緑色発光層を形成する工程及び青色発光層を形成する工程のそれぞれにおいて、使用する溶媒であるPGMEA及びTMAH水溶液によって剥離してしまう恐れがあり、結果的には、正孔輸送層として使用することが困難である。
 一方、実施形態1の表示装置1に備えられた赤色発光素子5R、緑色発光素子5G及び青色発光素子5Bのそれぞれは、正孔輸送層24HTを備えており、正孔輸送層24HTは、上述したように、3次元網目構造を有する第1正孔輸送性材料と、正孔輸送性を有する複数の分子を含む第2正孔輸送性材料とを含むので、高い耐溶媒特性及び高い正孔輸送特性を有する。正孔輸送層24HTは、TMAH水溶液やPGMEAに対して、高い耐溶媒特性を有する。
 図9の(a)、図9の(b)、図9の(c)、図9の(d)、図9の(e)、図9の(f)及び図9の(g)は、実施形態1の表示装置1に備えられた緑色サブ画素GSPに含まれる緑色発光素子5Gの緑色発光層24GEMを形成する工程を説明するための図である。
 図8の(g)、図9の(a)及び図9の(b)に示すように、少なくとも、赤色サブ画素RSPに含まれる赤色発光素子5Rの赤色発光層24REM上と、緑色サブ画素GSPに含まれる緑色発光素子5G及び青色サブ画素BSPに含まれる青色発光素子5Bの正孔輸送層24HT上とに、第2レジスト層30を形成する。なお、青色サブ画素BSPに含まれる青色発光素子5Bは図示しておらず、第2レジスト層30はポジ型のレジスト材料によって形成された層であり、例えば、500nm以上、2500nm以下の膜厚で形成することができる。
 その後、図9の(c)に示すように、平面視において緑色サブ画素GSPに含まれる緑色発光素子5Gの正孔輸送層24HTと重畳する第2レジスト層30の第2領域を、マスクM2の開口K2を介して、露光用の光Lで露光し、現像することで、図9の(d)に示すように、第2レジスト層30の前記第2領域に第2開口を形成することができる。なお、前記現像工程では、例えば、TMAH(テトラメチルアンモニウムハイドロオキサイド)水溶液を用いて現像を行うことができる。
 それから、図9の(e)に示すように、第2レジスト層30に形成された前記第2開口における正孔輸送層24HT上と、図9の(e)及び図9の(f)に示すように、赤色サブ画素RSP、緑色サブ画素GSP及び青色サブ画素BSPに含まれる第2レジスト層30上とに、緑色発光層24GEMを形成する。なお、本実施形態においては、緑色発光層24GEMは量子ドットを含む発光層であり、例えば、スピンコーターやスリットコーターなどを用いた塗布法によって、塗布して形成した場合を一例に挙げて説明するが、緑色発光層24GEMの形成方法はこれに限定されることはない。
 その後、第2レジスト層30を剥離することで、図9の(g)に示すように、緑色サブ画素GSPに含まれる緑色発光素子5Gの緑色発光層24GEMを所定形状に形成することができる。なお、前記剥離工程においては、第2レジスト層30の剥離は、極性溶媒を用いて行うことができ、極性溶媒としては、例えば、PGMEA(プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート)を用いることができる。
 上述したように、緑色発光層24GEMを形成する工程においては、現像工程でTMAH水溶液が使用され、TMAH水溶液は正孔輸送層24HTと直接接し、剥離工程では極性溶媒であるPGMEAが使用され、PGMEAは正孔輸送層24HTと直接接する。
 実施形態1の表示装置1に備えられた赤色発光素子5R、緑色発光素子5G及び青色発光素子5Bのそれぞれは、正孔輸送層24HTを備えており、正孔輸送層24HTは、上述したように、3次元網目構造を有する第1正孔輸送性材料と、正孔輸送性を有する複数の分子を含む第2正孔輸送性材料とを含むので、高い耐溶媒特性及び高い正孔輸送特性を有する。正孔輸送層24HTは、TMAH水溶液やPGMEAに対して、高い耐溶媒特性を有する。
 図10の(a)、図10の(b)、図10の(c)、図10の(d)、図10の(e)及び図10の(f)は、実施形態1の表示装置1に備えられた青色サブ画素BSPに含まれる青色発光素子5Bの青色発光層24BEMを形成する工程を説明するための図である。
 図8の(g)、図9の(g)、図10の(a)及び図10の(b)に示すように、少なくとも、赤色サブ画素RSPに含まれる赤色発光素子5Rの赤色発光層24REM上と、緑色サブ画素GSPに含まれる緑色発光素子5Gの緑色発光層24GEM上と、青色サブ画素BSPに含まれる青色発光素子5Bの正孔輸送層24HT上とに、第3レジスト層30を形成する。なお、第3レジスト層30はポジ型のレジスト材料によって形成された層であり、例えば、500nm以上、2500nm以下の膜厚で形成することができる。
 その後、図10の(c)に示すように、平面視において青色サブ画素BSPに含まれる青色発光素子5Bの正孔輸送層24HTと重畳する第3レジスト層30の第3領域を、マスクM3の開口K3を介して、露光用の光Lで露光し、現像することで、図10の(d)に示すように、第3レジスト層30の前記第3領域に第3開口を形成することができる。なお、前記現像工程では、例えば、TMAH(テトラメチルアンモニウムハイドロオキサイド)水溶液を用いて現像を行うことができる。
 それから、図10の(e)に示すように、第3レジスト層30に形成された前記第3開口における正孔輸送層24HT上と、赤色サブ画素RSP、緑色サブ画素GSP及び青色サブ画素BSPに含まれる第3レジスト層30上とに、青色発光層24BEMを形成する。なお、本実施形態においては、青色発光層24BEMは量子ドットを含む発光層であり、例えば、スピンコーターやスリットコーターなどを用いた塗布法によって、塗布して形成した場合を一例に挙げて説明するが、青色発光層24BEMの形成方法はこれに限定されることはない。
 その後、第3レジスト層30を剥離することで、図10の(f)に示すように、青色サブ画素BSPに含まれる青色発光素子5Bの青色発光層24BEMを所定形状に形成することができる。なお、前記剥離工程においては、第3レジスト層30の剥離は、極性溶媒を用いて行うことができ、極性溶媒としては、例えば、PGMEA(プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート)を用いることができる。
 上述したように、青色発光層24BEMを形成する工程においては、現像工程でTMAH水溶液が使用され、TMAH水溶液は正孔輸送層24HTと直接接し、剥離工程では極性溶媒であるPGMEAが使用され、PGMEAは正孔輸送層24HTと直接接する。
 実施形態1の表示装置1に備えられた赤色発光素子5R、緑色発光素子5G及び青色発光素子5Bのそれぞれは、正孔輸送層24HTを備えており、正孔輸送層24HTは、上述したように、3次元網目構造を有する第1正孔輸送性材料と、正孔輸送性を有する複数の分子を含む第2正孔輸送性材料とを含むので、高い耐溶媒特性及び高い正孔輸送特性を有する。正孔輸送層24HTは、TMAH水溶液やPGMEAに対して、高い耐溶媒特性を有する。
 以上のように、図8から図10に基づいて説明した、第1レジスト層30、第2レジスト層30及び第3レジスト層30を用いたリフトオフ法による、赤色発光層24REM、緑色発光層24GEM及び青色発光層24BEMの形成工程では、TMAH水溶液とPGMEAとがそれぞれ3回ずつ使用されるため、TMAH水溶液やPGMEAに対して、高い耐溶媒特性を有する正孔輸送層24HTを備えることによる効果が高い。本実施形態においては、赤色発光層24REMと、緑色発光層24GEMと、青色発光層24BEMとを、この順序で形成した場合を一例に挙げて説明するが、これに限定されることはなく、これらの発光層はどのような順序で形成されてもよい。
 また、本実施形態においては、赤色発光層24REM、緑色発光層24GEM及び青色発光層24BEMが、量子ドットを含む発光層であり、例えば、スピンコーターやスリットコーターなどを用いた塗布法によって、塗布して形成した場合を一例に挙げて説明するが、赤色発光層24REM、緑色発光層24GEM及び青色発光層24BEMは、蒸着法によって形成された有機発光層であってもよい。この場合には、第1レジスト層30の第1開口の正孔輸送層24HT上と、第1レジスト層30上との全面に赤色発光層24REMを蒸着して形成し、第1レジスト層30を剥離することで、赤色発光層24REMを所定形状に形成することができ、第2レジスト層30の第2開口の正孔輸送層24HT上と、第2レジスト層30上との全面に緑色発光層24GEMを蒸着して形成し、第2レジスト層30を剥離することで、緑色発光層24GEMを所定形状に形成することができ、第3レジスト層30の第3開口の正孔輸送層24HT上と、第3レジスト層30上との全面に青色発光層24BEMを蒸着して形成し、第3レジスト層30を剥離することで、青色発光層24BEMを所定形状に形成することができる。
 また、本実施形態においては、赤色発光層24REM、緑色発光層24GEM及び青色発光層24BEMが、量子ドットを含む発光層であり、例えば、スピンコーターやスリットコーターなどを用いた塗布法によって、塗布して形成した場合を一例に挙げて説明するが、赤色発光層24REM、緑色発光層24GEM及び青色発光層24BEMは、ポジ型の感光性レジストまたはネガ型の感光性レジストを含んでいてもよい。この場合には、赤色発光層24REM、緑色発光層24GEM及び青色発光層24BEMが、感光性レジストを含むため、第1レジスト層30、第2レジスト層30及び第3レジスト層30を用いる必要がない。例えば、赤色発光層24REMは、赤色を発光する量子ドット(第1発光材料)と感光性レジストと溶媒とを含む赤色発光材料溶液(第1発光材料溶液)を、正孔輸送層24HT上に形成し、露光及び現像することで、所定形状にパターニングして形成することができる。また、緑色発光層24GEMは、緑色を発光する量子ドット(第2発光材料)と感光性レジストと溶媒とを含む緑色発光材料溶液(第2発光材料溶液)を、赤色発光層24REM及び正孔輸送層24HT上に形成し、露光及び現像することで、所定形状にパターニングして形成することができる。さらに、青色発光層24BEMは、青色を発光する量子ドット(第3発光材料)と感光性レジストと溶媒とを含む青色発光材料溶液(第3発光材料溶液)を、赤色発光層24REM、緑色発光層24GEM及び正孔輸送層24HT上に形成し、露光及び現像することで、所定形状にパターニングして形成することができる。
 以上のように、フォトリソグラフィー法によってパターニングすることで、赤色発光層24REM、緑色発光層24GEM及び青色発光層24BEMを形成する工程においても、溶媒を含む赤色発光材料溶液(第1発光材料溶液)、溶媒を含む緑色発光材料溶液(第2発光材料溶液)及び溶媒を含む青色発光材料溶液(第3発光材料溶液)を形成する工程と、各現像工程とにおいて、極性溶媒や現像液が使用されるため、高い耐溶媒特性を有する正孔輸送層24HTを備えることによる効果が高い。
 〔実施形態2〕
 次に、図11及び図12に基づき、本発明の実施形態2について説明する。本実施形態においては、VNPB、DV‐CBP及びCBP‐Vなどの正孔輸送層24HTに含まれる3次元網目構造を有する第1正孔輸送性材料の前駆体(前駆体分子)同士を高分子化させる熱処理工程を150℃で行っている点において、上述した実施形成1とは異なる。その他については実施形態1において説明したとおりである。説明の便宜上、実施形態1の図面に示した部材と同じ機能を有する部材については、同じ符号を付し、その説明を省略する。
 図11の(a)は、実施形態2の表示装置に備えられた正孔輸送層に含まれるVNPBの熱処理によって得られた3次元網目構造の高分子材料を示す図であり、図11の(b)は、実施形態2の変形例である表示装置に備えられた正孔輸送層に含まれるDV‐CBPの熱処理によって得られた3次元網目構造の高分子材料を示す図であり、図11の(c)は、実施形態2の他の変形例である表示装置に備えられた正孔輸送層に含まれるCBP‐Vの熱処理によって得られた3次元網目構造の高分子材料を示す図である。
 図11の(a)に示すVNPB、図11の(b)に示すDV‐CBP及び図11の(c)に示すCBP‐Vは、正孔輸送層24HTに含まれる3次元網目構造を有する第1正孔輸送性材料の前駆体(前駆体分子)の一例であり、これらの前駆体(前駆体分子)は何れも熱硬化性官能基としてビニル基を有するので、例えば、不活性ガス(例えば、窒素ガスまたはアルゴンガス)雰囲気下、150℃で熱処理することで、前駆体(前駆体分子)同士が高分子化された3次元網目構造を有する第1正孔輸送性材料を得ることができる。
 以上のように、150℃で熱処理することで、この熱処理による正孔注入層24HIの性能低下を抑制することができる。なお、上述した前駆体(前駆体分子)同士を高分子化させる熱処理工程は、150℃で行うことに限定されることはなく、120℃以上、230℃以下で行うことが好ましい。
 図12は、150℃の熱処理工程によってVNPB同士が高分子化された3次元網目構造を有する第1正孔輸送性材料とPVK(ポリビニルカルバゾール)を含む第2正孔輸送性材料との重量比が1:2である正孔輸送層の耐溶媒特性を示す図である。
 図12に示すように、比較的低温である150℃の熱処理工程によってVNPB同士が高分子化された3次元網目構造を有する第1正孔輸送性材料とPVKを含む第2正孔輸送性材料とを含む正孔輸送層24HTの場合、良好な耐溶媒特性を示し、正孔輸送性を有するが、3次元網目構造を有さない高分子材料からなる正孔輸送層のように、後工程で使用される溶媒によって正孔輸送層が剥離してしまうことはない。
 〔実施形態3〕
 次に、図13、図14、図15及び図16に基づき、本発明の実施形態3について説明する。本実施形態においては、正孔輸送層24HTに含まれる3次元網目構造を有する第1正孔輸送性材料の前駆体(前駆体分子)が、ビニル基以外の熱硬化性官能基を含む点において、上述した実施形成1及び2とは異なる。その他については実施形態1及び2において説明したとおりである。説明の便宜上、実施形態1及び2の図面に示した部材と同じ機能を有する部材については、同じ符号を付し、その説明を省略する。
 図13の(a)は、正孔輸送性を有する骨格(X‐X)と、熱硬化性官能基であるホスホン酸基(-PO)及びヒドロキシ基(-OH)とを含む分子の一例を示す図であり、(b)は、図13の(a)に示す分子の熱処理によって得られた実施形態3の表示装置に備えられた正孔輸送層に含まれる3次元網目構造の高分子材料を示す図である。
 図14の(a)及び図14の(b)は、熱硬化性官能基であるホスホン酸基(-PO)及びヒドロキシ基(-OH)と、図13の(a)に示す分子とは異なる正孔輸送性を有する骨格(Y‐YまたはZ-Z)とを含む分子の熱処理によって得られた実施形態3の他の変形例の表示装置に備えられた正孔輸送層に含まれる3次元網目構造の高分子材料を示す図である。
 図15の(a)は、正孔輸送性を有する骨格(X-X)と、熱硬化性官能基であるカルボキシル基(-COOH)及びヒドロキシ基(-OH)とを含む分子の一例を示す図であり、図15の(b)は、図15の(a)に示す分子の熱処理によって得られた実施形態3のさらに他の変形例である表示装置に備えられた正孔輸送層に含まれる3次元網目構造の高分子材料を示す図である。
 図16の(a)及び図16の(b)は、熱硬化性官能基であるカルボキシル基(-COOH)及びヒドロキシ基(-OH)と、図15の(a)に示す分子とは異なる正孔輸送性を有する骨格(Y‐YまたはZ-Z)とを含む分子の熱処理によって得られた実施形態3のさらに他の変形例である表示装置に備えられた正孔輸送層に含まれる3次元網目構造の高分子材料を示す図である。
 図13、図14、図15及び図16に示す正孔輸送層24HTに含まれる3次元網目構造を有する第1正孔輸送性材料の前駆体(前駆体分子)は、熱硬化性官能基として、ホスホン酸基(-PO)及びヒドロキシ基(-OH)または、カルボキシル基(-COOH)及びヒドロキシ基(-OH)を有するので、例えば、不活性ガス(例えば、窒素ガスまたはアルゴンガス)雰囲気下、150℃で熱処理することで、前駆体(前駆体分子)同士が高分子化された3次元網目構造を有する第1正孔輸送性材料を得ることができる。
 以上のように、150℃で熱処理することで、この熱処理による正孔注入層24HIの性能低下を抑制することができる。なお、上述した前駆体(前駆体分子)同士を高分子化させる熱処理工程は、150℃で行うことに限定されることはなく、120℃以上、230℃以下で行うことが好ましい。
 以上のように、熱硬化性官能基として、ホスホン酸基(-PO)及びヒドロキシ基(-OH)または、カルボキシル基(-COOH)及びヒドロキシ基(-OH)を有する前駆体(前駆体分子)同士が高分子化された3次元網目構造を有する第1正孔輸送性材料と、正孔輸送性を有する複数の分子を含む第2正孔輸送性材料とを含む正孔輸送層24HTは、高い耐溶媒特性及び高い正孔輸送特性を有するので、正孔輸送性を有するが、3次元網目構造を有さない高分子材料からなる正孔輸送層のように、後工程で使用される溶媒によって正孔輸送層が剥離してしまうことはない。
 なお、図13の(a)、図13の(b)、図15の(a)及び図15の(b)に示す正孔輸送性を有する骨格(X-X)は、上記(化学式1)で示す正孔輸送性を有する骨格(X-X)と同一であり、図14の(a)及び図16の(a)に示す正孔輸送性を有する骨格(Y-Y)は、上記(化学式2)で示す正孔輸送性を有する骨格(Y-Y)と同一であり、図14の(b)及び図16の(b)に示す正孔輸送性を有する骨格(Z-Z)は、上記(化学式3)で示す正孔輸送性を有する骨格(Z-Z)と同一である。
 〔実施形態4〕
 次に、図17に基づき、本発明の実施形態4について説明する。本実施形態においては、例えば、赤色発光層24REM’が、量子ドットを含む発光層であり、インクジェット法で形成されている点において、上述した実施形成1から3とは異なる。その他については実施形態1から3において説明したとおりである。説明の便宜上、実施形態1から3の図面に示した部材と同じ機能を有する部材については、同じ符号を付し、その説明を省略する。
 図17の(a)、図17の(b)及び図17の(c)は、実施形態4の表示装置に備えられた赤色サブ画素RSPに含まれる赤色発光素子5Rの赤色発光層24REM’をインクジェット法で形成する場合を説明するための図である。
 なお、図示してないが、緑色発光層及び青色発光層も量子ドットを含む発光層であり、インクジェット法で形成されているものとする。
 赤色発光層24REM’、緑色発光層及び青色発光層を、インクジェット装置IJMを用いたインクジェット法で形成する場合、実施形態1で説明した第1レジスト層30、第2レジスト層30及び第3レジスト層30を用いる必要がない。
 図17の(a)及び図17の(b)に示すように、赤色サブ画素RSPに含まれる赤色発光素子5Rの正孔輸送層24HT上であって、バンク23の内側に、赤色を発光する量子ドット(第1発光材料)と溶媒とを含む赤色発光材料溶液(第1発光材料溶液)を滴下し、例えば、熱処理などにより溶媒を除去することで、図17の(c)に示すように、赤色発光層24REM’を所定形状に形成することができる。
 図示してないが、緑色サブ画素GSPに含まれる緑色発光素子5Gの正孔輸送層24HT上であって、バンク23の内側に、緑色を発光する量子ドット(第2発光材料)と溶媒とを含む緑色発光材料溶液(第2発光材料溶液)を滴下し、例えば、熱処理などにより溶媒を除去することで、緑色発光層を所定形状に形成することができ、青色サブ画素BSPに含まれる緑色発光素子5Bの正孔輸送層24HT上であって、バンク23の内側に、青色を発光する量子ドット(第3発光材料)と溶媒とを含む青色発光材料溶液(第3発光材料溶液)を滴下し、例えば、熱処理などにより溶媒を除去することで、青色発光層を所定形状に形成することができる。
 以上のように、インクジェット装置IJMを用いたインクジェット法で、赤色発光層24REM’、緑色発光層及び青色発光層を形成する工程においても、溶媒を含む赤色発光材料溶液(第1発光材料溶液)、溶媒を含む緑色発光材料溶液(第2発光材料溶液)及び溶媒を含む青色発光材料溶液(第3発光材料溶液)を滴下する工程において、溶媒が正孔輸送層24HTと接するため、高い耐溶媒特性を有する正孔輸送層24HTを備えることによる効果が高い。
 〔まとめ〕
 〔態様1〕
 第1電極と、
 前記第1電極上に形成された正孔輸送層と、
 前記正孔輸送層上に形成された発光層と、
 前記発光層上に形成された第2電極と、を含み、
 前記正孔輸送層は、正孔輸送性を有する骨格と少なくとも2つの熱硬化性官能基とを含む分子同士が高分子化された3次元網目構造を有する第1正孔輸送性材料と、正孔輸送性を有する複数の分子を含む第2正孔輸送性材料とを含む、発光素子。
 〔態様2〕
 前記熱硬化性官能基は、ビニル基である、態様1に記載の発光素子。
 〔態様3〕
 前記正孔輸送性を有する骨格と前記熱硬化性官能基とを含む前記分子は、VNPB(N4,N4’-Di(naphthalen-1-yl)-N4,N4’-bis(4-vinylphenyl)biphenyl-4,4’-diamine)であり、
 前記第2正孔輸送性材料は、PVK(ポリビニルカルバゾール)または、TFB(ポリ[(9,9-ジオクチルフルオレニル‐2,7‐ジイル)‐co‐(4,4’‐(N‐(4‐sec‐ブチルフェニル))ジフェニルアミン)])である、態様2に記載の発光素子。
 〔態様4〕
 前記正孔輸送性を有する骨格と前記熱硬化性官能基とを含む前記分子は、DV-CBP(4,4’-Bis(3-((4-vinylphenoxy)methyl)-9H-carbazol-9-yl)biphenyl)であり、
 前記第2正孔輸送性材料は、PVK(ポリビニルカルバゾール)または、TFB(ポリ[(9,9‐ジオクチルフルオレニル‐2,7‐ジイル)‐co‐(4,4’‐(N‐(4‐sec‐ブチルフェニル))ジフェニルアミン)])である、態様2に記載の発光素子。
 〔態様5〕
 前記正孔輸送性を有する骨格と前記熱硬化性官能基とを含む前記分子は、CBP-V(4,4’-ビス(N-カルバゾリル)-1,1’-ビフェニル-ビニル)であり、
 前記第2正孔輸送性材料は、PVK(ポリビニルカルバゾール)または、TFB(ポリ[(9,9‐ジオクチルフルオレニル‐2,7‐ジイル)‐co‐(4,4’‐(N‐(4‐sec‐ブチルフェニル))ジフェニルアミン)])である、態様2に記載の発光素子。
 〔態様6〕
 前記熱硬化性官能基は、ホスホン酸基(-PO)及びヒドロキシ基(-OH)である、態様1に記載の発光素子。
 〔態様7〕
 前記熱硬化性官能基は、カルボキシル基(-COOH)及びヒドロキシ基(-OH)である、態様1に記載の発光素子。
 〔態様8〕
 前記第2正孔輸送性材料の重量は、前記第1正孔輸送性材料の重量の1倍以上、4倍以下である、態様1から7の何れかに記載の発光素子。
 〔態様9〕
 前記発光層は、量子ドットを含む、態様1から8の何れかに記載の発光素子。
 〔態様10〕
 前記発光層は、有機材料からなる、態様1から8の何れかに記載の発光素子。
 〔態様11〕
 前記第1電極と前記正孔輸送層との間に正孔注入層をさらに備えている、態様1から10の何れかに記載の発光素子。
 〔態様12〕
 基板上に、態様1から11の何れかに記載の発光素子が複数設けられ、
 前記複数の発光素子は、第1発光素子と第2発光素子と第3発光素子とを含み、
 前記第1発光素子は、前記発光層として、第1発光層を備え、
 前記第2発光素子は、前記発光層として、前記第1発光層とは発光ピーク波長が異なる第2発光層を備え、
 前記第3発光素子は、前記発光層として、前記第1発光層及び前記第2発光層とは発光ピーク波長が異なる第3発光層を備えている、表示装置。
 〔態様13〕
 第1電極を形成する工程と、
 それぞれが正孔輸送性を有する骨格と少なくとも2つの熱硬化性官能基とを含む複数の分子と、正孔輸送性を有する複数の分子と、溶媒とを含む正孔輸送性材料混合溶液を前記第1電極上に形成した後、熱処理することで前記正孔輸送性を有する骨格と前記熱硬化性官能基とを含む前記複数の分子を3次元網目構造の高分子材料にする工程を含む正孔輸送層を形成する工程と、
 前記正孔輸送層上に発光層を形成する工程と、
 前記発光層上に第2電極を形成する工程と、を含む、表示装置の製造方法。
 〔態様14〕
 前記熱処理は、120℃以上、230℃以下で行われる、態様13に記載の表示装置の製造方法。
 〔態様15〕
 基板上に、前記第1電極と、前記正孔輸送層と、前記発光層と、前記第2電極とを含む発光素子が複数設けられ、
 前記複数の発光素子は、第1発光素子と第2発光素子と第3発光素子とを含み、
 前記第1発光素子は、前記発光層として、第1発光層を備え、
 前記第2発光素子は、前記発光層として、前記第1発光層とは発光ピーク波長が異なる第2発光層を備え、
 前記第3発光素子は、前記発光層として、前記第1発光層及び前記第2発光層とは発光ピーク波長が異なる第3発光層を備え、
 前記発光層を形成する工程は、
 少なくとも、前記第1発光素子、前記第2発光素子及び前記第3発光素子の前記正孔輸送層上に、第1レジスト層を形成した後、平面視において前記第1発光素子の正孔輸送層と重畳する前記第1レジスト層の第1領域を露光し、現像することで、前記第1レジスト層の前記第1領域に第1開口を形成する工程と、
 前記第1開口における前記正孔輸送層上と、前記第1レジスト層上とに、前記第1発光層を形成した後、前記第1レジスト層を剥離することで、前記第1発光素子の前記第1発光層を形成する工程と、
 少なくとも、前記第1発光素子の前記第1発光層上と、前記第2発光素子及び前記第3発光素子の前記正孔輸送層上とに、第2レジスト層を形成した後、平面視において前記第2発光素子の正孔輸送層と重畳する前記第2レジスト層の第2領域を露光し、現像することで、前記第2レジスト層の前記第2領域に第2開口を形成する工程と、
 前記第2開口における前記正孔輸送層上と、前記第2レジスト層上とに、前記第2発光層を形成した後、前記第2レジスト層を剥離することで、前記第2発光素子の前記第2発光層を形成する工程と、
 少なくとも、前記第1発光素子の前記第1発光層上と、前記第2発光素子の前記第2発光層上と、前記第3発光素子の前記正孔輸送層上とに、第3レジスト層を形成した後、平面視において前記第3発光素子の正孔輸送層と重畳する前記第3レジスト層の第3領域を露光し、現像することで、前記第3レジスト層の前記第3領域に第3開口を形成する工程と、
 前記第3開口における前記正孔輸送層上と、前記第3レジスト層上とに、前記第3発光層を形成した後、前記第3レジスト層を剥離することで、前記第3発光素子の前記第3発光層を形成する工程と、を含む、態様13または14に記載の表示装置の製造方法。
 〔態様16〕
 前記現像は、TMAH(テトラメチルアンモニウムハイドロオキサイド)水溶液を用いて行う、態様15に記載の表示装置の製造方法。
 〔態様17〕
 前記剥離は、極性溶媒を用いて行う、態様15または16に記載の表示装置の製造方法。
 〔態様18〕
 前記極性溶媒は、PGMEA(プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート)である、態様17に記載の表示装置の製造方法。
 〔態様19〕
 前記第1発光層、前記第2発光層及び前記第3発光層は、量子ドットを含む発光層であり、
 前記第1発光層、前記第2発光層及び前記第3発光層は、塗布して形成される、態様15から18の何れかに記載の表示装置の製造方法。
 〔態様20〕
 前記第1発光層、前記第2発光層及び前記第3発光層は、蒸着して形成される、態様15から18の何れかに記載の表示装置の製造方法。
 〔態様21〕
 基板上に、前記第1電極と、前記正孔輸送層と、前記発光層と、前記第2電極とを含む発光素子が複数設けられ、
 前記複数の発光素子は、第1発光素子と第2発光素子と第3発光素子とを含み、
 前記第1発光素子は、前記発光層として、第1発光層を備え、
 前記第2発光素子は、前記発光層として、前記第1発光層とは発光ピーク波長が異なる第2発光層を備え、
 前記第3発光素子は、前記発光層として、前記第1発光層及び前記第2発光層とは発光ピーク波長が異なる第3発光層を備え、
 前記発光層を形成する工程は、
 少なくとも、前記第1発光素子、前記第2発光素子及び前記第3発光素子の前記正孔輸送層上に、第1発光材料と感光性レジストと溶媒とを含む第1発光材料溶液を形成し、前記第1発光層を形成する工程と、
 前記第1発光層を露光及び現像することで、前記第1発光素子の前記第1発光層を形成する、前記第1発光層のパターニング工程と、
 少なくとも、前記第1発光素子の前記第1発光層上と、前記第2発光素子及び前記第3発光素子の前記正孔輸送層上とに、第2発光材料と感光性レジストと溶媒とを含む第2発光材料溶液を形成し、前記第2発光層を形成する工程と、
 前記第2発光層を露光及び現像することで、前記第2発光素子の前記第2発光層を形成する、前記第2発光層のパターニング工程と、
 少なくとも、前記第1発光素子の前記第1発光層上と、前記第2発光素子の前記第2発光層上と、前記第3発光素子の前記正孔輸送層上とに、第3発光材料と感光性レジストと溶媒とを含む第3発光材料溶液を形成し、前記第3発光層を形成する工程と、
 前記第3発光層を露光及び現像することで、前記第3発光素子の前記第3発光層を形成する、前記第3発光層のパターニング工程と、を含む、態様13または14に記載の表示装置の製造方法。
 〔態様22〕
 基板上に、前記第1電極と、前記正孔輸送層と、前記発光層と、前記第2電極とを含む発光素子が複数設けられ、
 前記複数の発光素子は、第1発光素子と第2発光素子と第3発光素子とを含み、
 前記第1発光素子は、前記発光層として、第1発光層を備え、
 前記第2発光素子は、前記発光層として、前記第1発光層とは発光ピーク波長が異なる第2発光層を備え、
 前記第3発光素子は、前記発光層として、前記第1発光層及び前記第2発光層とは発光ピーク波長が異なる第3発光層を備え、
 前記発光層を形成する工程は、
 前記第1発光素子の前記正孔輸送層上に、第1発光材料と溶媒とを含む第1発光材料溶液を滴下し、前記第1発光層を形成する工程と、
 前記第2発光素子の前記正孔輸送層上に、第2発光材料と溶媒とを含む第2発光材料溶液を滴下し、前記第2発光層を形成する工程と、
 前記第3発光素子の前記正孔輸送層上に、第3発光材料と溶媒とを含む第3発光材料溶液を滴下し、前記第3発光層を形成する工程と、を含む、態様13または14に記載の表示装置の製造方法。
 〔付記事項〕
 本発明は上述した各実施形態に限定されるものではなく、請求項に示した範囲で種々の変更が可能であり、異なる実施形態にそれぞれ開示された技術的手段を適宜組み合わせて得られる実施形態についても本発明の技術的範囲に含まれる。さらに、各実施形態にそれぞれ開示された技術的手段を組み合わせることにより、新しい技術的特徴を形成することができる。
 本発明は、表示装置の駆動方法及び表示装置に利用することができる。
 1       表示装置
 3       バリア層
 4       薄膜トランジスタ層
 5R      赤色発光素子(発光素子)
 5G      緑色発光素子(発光素子)
 5B      青色発光素子(発光素子)
 6       封止層
 12      基板
 16、18、20 無機絶縁膜
 21      平坦化膜
 22      第1電極(アノード)
 23      バンク(透明樹脂層)
 24R     赤色発光層を含む機能層
 24G     緑色発光層を含む機能層
 24B     青色発光層を含む機能層
 24HI    正孔注入層
 24HT    正孔輸送層
 24REM、24REM’ 赤色発光層(発光層)
 24GEM   緑色発光層(発光層)
 24BEM   青色発光層(発光層)
 24ET    電子輸送層
 25      第2電極(カソード)
 26、28   無機封止膜
 27      有機膜
 30      第1レジスト層~第3レジスト層
 39      機能フィルム
 PIX     画素
 RSP     赤色サブ画素
 GSP     緑色サブ画素
 BSP     青色サブ画素
 TR      トランジスタ
 SEM、SEM’、SEM’’ 半導体膜
 G       ゲート電極
 D       ドレイン電極
 S       ソース電極
 DA      表示領域
 NDA     額縁領域
 M1、M2、M3 マスク
 K1、K2、K3 マスクの開口
 L        露光用の光

Claims (22)

  1.  第1電極と、
     前記第1電極上に形成された正孔輸送層と、
     前記正孔輸送層上に形成された発光層と、
     前記発光層上に形成された第2電極と、を含み、
     前記正孔輸送層は、正孔輸送性を有する骨格と少なくとも2つの熱硬化性官能基とを含む分子同士が高分子化された3次元網目構造を有する第1正孔輸送性材料と、正孔輸送性を有する複数の分子を含む第2正孔輸送性材料とを含む、発光素子。
  2.  前記熱硬化性官能基は、ビニル基である、請求項1に記載の発光素子。
  3.  前記正孔輸送性を有する骨格と前記熱硬化性官能基とを含む前記分子は、VNPB(N4,N4’-Di(naphthalen-1-yl)-N4,N4’-bis(4-vinylphenyl)biphenyl-4,4’-diamine)であり、
     前記第2正孔輸送性材料は、PVK(ポリビニルカルバゾール)または、TFB(ポリ[(9,9-ジオクチルフルオレニル‐2,7‐ジイル)‐co‐(4,4’‐(N‐(4‐sec‐ブチルフェニル))ジフェニルアミン)])である、請求項2に記載の発光素子。
  4.  前記正孔輸送性を有する骨格と前記熱硬化性官能基とを含む前記分子は、DV-CBP(4,4’-Bis(3-((4-vinylphenoxy)methyl)-9H-carbazol-9-yl)biphenyl)であり、
     前記第2正孔輸送性材料は、PVK(ポリビニルカルバゾール)または、TFB(ポリ[(9,9‐ジオクチルフルオレニル‐2,7‐ジイル)‐co‐(4,4’‐(N‐(4‐sec‐ブチルフェニル))ジフェニルアミン)])である、請求項2に記載の発光素子。
  5.  前記正孔輸送性を有する骨格と前記熱硬化性官能基とを含む前記分子は、CBP-V(4,4’-ビス(N-カルバゾリル)-1,1’-ビフェニル-ビニル)であり、
     前記第2正孔輸送性材料は、PVK(ポリビニルカルバゾール)または、TFB(ポリ[(9,9‐ジオクチルフルオレニル‐2,7‐ジイル)‐co‐(4,4’‐(N‐(4‐sec‐ブチルフェニル))ジフェニルアミン)])である、請求項2に記載の発光素子。
  6.  前記熱硬化性官能基は、ホスホン酸基(-PO)及びヒドロキシ基(-OH)である、請求項1に記載の発光素子。
  7.  前記熱硬化性官能基は、カルボキシル基(-COOH)及びヒドロキシ基(-OH)である、請求項1に記載の発光素子。
  8.  前記第2正孔輸送性材料の重量は、前記第1正孔輸送性材料の重量の1倍以上、4倍以下である、請求項1から7の何れか1項に記載の発光素子。
  9.  前記発光層は、量子ドットを含む、請求項1から8の何れか1項に記載の発光素子。
  10.  前記発光層は、有機材料からなる、請求項1から8の何れか1項に記載の発光素子。
  11.  前記第1電極と前記正孔輸送層との間に正孔注入層をさらに備えている、請求項1から10の何れか1項に記載の発光素子。
  12.  基板上に、請求項1から11の何れか1項に記載の発光素子が複数設けられ、
     前記複数の発光素子は、第1発光素子と第2発光素子と第3発光素子とを含み、
     前記第1発光素子は、前記発光層として、第1発光層を備え、
     前記第2発光素子は、前記発光層として、前記第1発光層とは発光ピーク波長が異なる第2発光層を備え、
     前記第3発光素子は、前記発光層として、前記第1発光層及び前記第2発光層とは発光ピーク波長が異なる第3発光層を備えている、表示装置。
  13.  第1電極を形成する工程と、
     それぞれが正孔輸送性を有する骨格と少なくとも2つの熱硬化性官能基とを含む複数の分子と、正孔輸送性を有する複数の分子と、溶媒とを含む正孔輸送性材料混合溶液を前記第1電極上に形成した後、熱処理することで前記正孔輸送性を有する骨格と前記熱硬化性官能基とを含む前記複数の分子を3次元網目構造の高分子材料にする工程を含む正孔輸送層を形成する工程と、
     前記正孔輸送層上に発光層を形成する工程と、
     前記発光層上に第2電極を形成する工程と、を含む、表示装置の製造方法。
  14.  前記熱処理は、120℃以上、230℃以下で行われる、請求項13に記載の表示装置の製造方法。
  15.  基板上に、前記第1電極と、前記正孔輸送層と、前記発光層と、前記第2電極とを含む発光素子が複数設けられ、
     前記複数の発光素子は、第1発光素子と第2発光素子と第3発光素子とを含み、
     前記第1発光素子は、前記発光層として、第1発光層を備え、
     前記第2発光素子は、前記発光層として、前記第1発光層とは発光ピーク波長が異なる第2発光層を備え、
     前記第3発光素子は、前記発光層として、前記第1発光層及び前記第2発光層とは発光ピーク波長が異なる第3発光層を備え、
     前記発光層を形成する工程は、
     少なくとも、前記第1発光素子、前記第2発光素子及び前記第3発光素子の前記正孔輸送層上に、第1レジスト層を形成した後、平面視において前記第1発光素子の正孔輸送層と重畳する前記第1レジスト層の第1領域を露光し、現像することで、前記第1レジスト層の前記第1領域に第1開口を形成する工程と、
     前記第1開口における前記正孔輸送層上と、前記第1レジスト層上とに、前記第1発光層を形成した後、前記第1レジスト層を剥離することで、前記第1発光素子の前記第1発光層を形成する工程と、
     少なくとも、前記第1発光素子の前記第1発光層上と、前記第2発光素子及び前記第3発光素子の前記正孔輸送層上とに、第2レジスト層を形成した後、平面視において前記第2発光素子の正孔輸送層と重畳する前記第2レジスト層の第2領域を露光し、現像することで、前記第2レジスト層の前記第2領域に第2開口を形成する工程と、
     前記第2開口における前記正孔輸送層上と、前記第2レジスト層上とに、前記第2発光層を形成した後、前記第2レジスト層を剥離することで、前記第2発光素子の前記第2発光層を形成する工程と、
     少なくとも、前記第1発光素子の前記第1発光層上と、前記第2発光素子の前記第2発光層上と、前記第3発光素子の前記正孔輸送層上とに、第3レジスト層を形成した後、平面視において前記第3発光素子の正孔輸送層と重畳する前記第3レジスト層の第3領域を露光し、現像することで、前記第3レジスト層の前記第3領域に第3開口を形成する工程と、
     前記第3開口における前記正孔輸送層上と、前記第3レジスト層上とに、前記第3発光層を形成した後、前記第3レジスト層を剥離することで、前記第3発光素子の前記第3発光層を形成する工程と、を含む、請求項13または14に記載の表示装置の製造方法。
  16.  前記現像は、TMAH(テトラメチルアンモニウムハイドロオキサイド)水溶液を用いて行う、請求項15に記載の表示装置の製造方法。
  17.  前記剥離は、極性溶媒を用いて行う、請求項15または16に記載の表示装置の製造方法。
  18.  前記極性溶媒は、PGMEA(プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート)である、請求項17に記載の表示装置の製造方法。
  19.  前記第1発光層、前記第2発光層及び前記第3発光層は、量子ドットを含む発光層であり、
     前記第1発光層、前記第2発光層及び前記第3発光層は、塗布して形成される、請求項15から18の何れか1項に記載の表示装置の製造方法。
  20.  前記第1発光層、前記第2発光層及び前記第3発光層は、蒸着して形成される、請求項15から18の何れか1項に記載の表示装置の製造方法。
  21.  基板上に、前記第1電極と、前記正孔輸送層と、前記発光層と、前記第2電極とを含む発光素子が複数設けられ、
     前記複数の発光素子は、第1発光素子と第2発光素子と第3発光素子とを含み、
     前記第1発光素子は、前記発光層として、第1発光層を備え、
     前記第2発光素子は、前記発光層として、前記第1発光層とは発光ピーク波長が異なる第2発光層を備え、
     前記第3発光素子は、前記発光層として、前記第1発光層及び前記第2発光層とは発光ピーク波長が異なる第3発光層を備え、
     前記発光層を形成する工程は、
     少なくとも、前記第1発光素子、前記第2発光素子及び前記第3発光素子の前記正孔輸送層上に、第1発光材料と感光性レジストと溶媒とを含む第1発光材料溶液を形成し、前記第1発光層を形成する工程と、
     前記第1発光層を露光及び現像することで、前記第1発光素子の前記第1発光層を形成する、前記第1発光層のパターニング工程と、
     少なくとも、前記第1発光素子の前記第1発光層上と、前記第2発光素子及び前記第3発光素子の前記正孔輸送層上とに、第2発光材料と感光性レジストと溶媒とを含む第2発光材料溶液を形成し、前記第2発光層を形成する工程と、
     前記第2発光層を露光及び現像することで、前記第2発光素子の前記第2発光層を形成する、前記第2発光層のパターニング工程と、
     少なくとも、前記第1発光素子の前記第1発光層上と、前記第2発光素子の前記第2発光層上と、前記第3発光素子の前記正孔輸送層上とに、第3発光材料と感光性レジストと溶媒とを含む第3発光材料溶液を形成し、前記第3発光層を形成する工程と、
     前記第3発光層を露光及び現像することで、前記第3発光素子の前記第3発光層を形成する、前記第3発光層のパターニング工程と、を含む、請求項13または14に記載の表示装置の製造方法。
  22.  基板上に、前記第1電極と、前記正孔輸送層と、前記発光層と、前記第2電極とを含む発光素子が複数設けられ、
     前記複数の発光素子は、第1発光素子と第2発光素子と第3発光素子とを含み、
     前記第1発光素子は、前記発光層として、第1発光層を備え、
     前記第2発光素子は、前記発光層として、前記第1発光層とは発光ピーク波長が異なる第2発光層を備え、
     前記第3発光素子は、前記発光層として、前記第1発光層及び前記第2発光層とは発光ピーク波長が異なる第3発光層を備え、
     前記発光層を形成する工程は、
     前記第1発光素子の前記正孔輸送層上に、第1発光材料と溶媒とを含む第1発光材料溶液を滴下し、前記第1発光層を形成する工程と、
     前記第2発光素子の前記正孔輸送層上に、第2発光材料と溶媒とを含む第2発光材料溶液を滴下し、前記第2発光層を形成する工程と、
     前記第3発光素子の前記正孔輸送層上に、第3発光材料と溶媒とを含む第3発光材料溶液を滴下し、前記第3発光層を形成する工程と、を含む、請求項13または14に記載の表示装置の製造方法。
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