WO2022092505A1 - 비접촉 광음향 영상을 이용한 고주파 열처리 금속 내부의 비파괴 결함 검사 장치 및 방법 - Google Patents

비접촉 광음향 영상을 이용한 고주파 열처리 금속 내부의 비파괴 결함 검사 장치 및 방법 Download PDF

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이현철
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Definitions

  • the present invention relates to non-contact non-destructive inspection, and specifically, non-destructive defects inside high-frequency heat-treated metal using non-contact photo-acoustic images that increase inspection efficiency and accuracy by acquiring photoacoustic images of high-frequency heat-treated parts and detecting defects. It relates to an inspection apparatus and method.
  • Composite materials offer significant improvements in performance, but require stringent quality control procedures both during the manufacturing process and after the material has been serviced into finished products.
  • NDE non-destructive evaluation
  • photoacoustic imaging is a method of obtaining a signal inside a measurement object by using energy conversion from light energy to acoustic energy. It uses a pulse laser with a width of several nanoseconds to generate instantaneous thermal expansion and contraction, and the vibrations generated accordingly An imaging method to detect
  • the characteristics of optoacoustic imaging are based on the imaging principle in which the optical absorption properties can be obtained with the resolution of ultrasound. Compared to conventional optical imaging, the penetration depth is deeper and functional information that cannot be obtained from ultrasound imaging is obtained. It is popular as a fusion video.
  • photoacoustic imaging has been mainly used for biomedical engineering research, such as biocontrast, drug delivery, and treatment follow-up by obtaining images of living tissues, and recently, clinical research applications are being attempted.
  • high-frequency heat treatment of metal materials is a process performed to strengthen parts with a risk of wear, such as automobile parts, and it is essential to minimize defects in order to produce reliable, high-quality products.
  • the method currently used as a defect inspection method in the high frequency heat treatment process is an eddy current-based inspection system, it has the disadvantage that it can be used only for products of a specific shape. Therefore, a method of inspecting defects after cutting is used.
  • the present invention is to solve the problems of the non-contact non-destructive inspection technology of the prior art, and by acquiring a photoacoustic image of a high-frequency heat treatment component and detecting a defect, high frequency using a non-contact photoacoustic image that improves inspection efficiency and accuracy
  • An object of the present invention is to provide an apparatus and method for non-destructive defect inspection inside a heat-treated metal.
  • the present invention is a non-contact optoacoustic that enables efficient defect inspection without cutting and contacting the measurement object by performing signal processing to obtain a photoacoustic signal in a non-contact manner using an optical interferometer and to obtain a three-dimensional internal image through scanning of a light source.
  • An object of the present invention is to provide an apparatus and method for non-destructive defect inspection inside a high-frequency heat treatment metal using an image.
  • the present invention provides an algorithm and a signal processing method for detecting defects from an optoacoustic image of an induction heat-treated part to provide an apparatus and method for non-destructive defect inspection inside a high-frequency heat-treated metal using a non-contact photoacoustic image that enhances the applicability of non-contact non-destructive inspection but it has a purpose.
  • the present invention is a non-contact optoacoustic image that enables non-destructive defect inspection inside a non-contact high-frequency heat-treated metal through an optoacoustic imaging system to check real-time non-destructive defects inside a high-frequency heat-treated metal while preventing damage to the surface of the object to be measured.
  • An object of the present invention is to provide an apparatus and method for non-destructive defect inspection inside a high-frequency heat treatment using a metal.
  • a non-destructive defect inspection apparatus using a non-contact photoacoustic image in a high frequency heat treatment metal inside a light irradiation unit having a nanosecond pulsed laser for generating a photoacoustic signal, and a CW (Continues wave) laser A non-contact photoacoustic signal measuring unit comprising an optical interferometer, a signal acquisition module, and an optical measuring unit for measuring a photoacoustic signal generated by irradiating a nanosecond pulsed laser from the light irradiating unit to the measurement object;
  • the non-contact optoacoustic signal measuring unit A defect location detector that calculates the photoacoustic wave propagation time using the acoustic signal measurement result, and calculates the size of the photoacoustic wave generated at an arbitrary location to detect a defect location;
  • a three-dimensional image of the detection result of the defect location detector It is characterized in that it comprises a; defect location imaging unit to image the
  • the nanosecond pulse laser of the light irradiation unit is synchronized It is characterized in that it further comprises a system synchronization unit.
  • the non-contact photoacoustic signal measurement point is determined as at least three points, and it is characterized by further comprising a signal measurement position optimization unit that performs a process of optimizing the signal measurement position in order to increase the inspection accuracy according to the shape of the sample to be measured. .
  • the photoacoustic wave generated by the pulse laser travels along the sample to be measured, and the distortion of the waveform occurs at the defective location, which is observed at the non-contact measuring point.
  • the CW laser is a laser for non-contact measurement of vibrations generated when a photoacoustic signal is transmitted to the surface of a sample to be measured using an optical interferometer. It is characterized by measuring the intensity.
  • ultrasonic waves are generated through thermal contraction and expansion of the metal to be measured, and the phase and time of the waveform that changes when there is a defect using an optical interferometer and the waveform of the ultrasonic wave generated are checked. It is characterized in that it is checked for any defects in the position.
  • the atoms inside the metal instantaneously absorb light energy and emit as thermal energy to vibrate. characterized in use.
  • N detectors that perform non-contact signal detection based on the CW laser detect the generated photoacoustic wave, and calculate the distance from an arbitrary position of the sample to be measured to each detector and the corresponding photoacoustic wave propagation time.
  • N detectors that perform non-contact signal detection based on the CW laser detect the generated photoacoustic wave, and calculate the distance from an arbitrary position of the sample to be measured to each detector and the corresponding photoacoustic wave propagation time.
  • the size of the photoacoustic wave generated at an arbitrary location is calculated, and the location and size information of the defect is imaged by implementing it as a three-dimensional image.
  • the optical interferometer divides the path of the CW laser into two to form a fixed reference path and a path on the sample surface to be measured, and measures the phase difference caused by the difference between the two paths, which is generated by photoacoustic waves. It is characterized in that it detects the vibration of the metal surface.
  • the method for inspecting high-frequency heat treatment metal internal non-destructive defects using a non-contact photoacoustic image according to the present invention for achieving another object is a nanosecond pulse laser of the light irradiation part.
  • CW Continuous wave
  • the step of synchronizing the nanosecond pulse laser of the light irradiation unit, the CW (Continues wave) laser of the light measurement unit, the optical interferometer, and the signal acquisition module It is characterized in that it further comprises.
  • the measurement point for the collection of the photoacoustic signal (Photoacoustic Wave; PA) is determined as at least three points, the signal measurement position performing the process of optimizing the signal measurement position in order to increase the inspection accuracy according to the shape of the sample to be measured It characterized in that it further comprises an optimization step.
  • the apparatus and method for non-destructive defect inspection inside a high-frequency heat treatment metal using a non-contact photoacoustic image according to the present invention have the following effects.
  • a non-contact photoacoustic signal is obtained using an optical interferometer and signal processing is performed to obtain a three-dimensional internal image through scanning of a light source to enable efficient defect inspection without cutting or contacting the measurement object.
  • the applicability of non-contact non-destructive inspection is improved by providing an algorithm and signal processing method for detecting defects from photoacoustic images of high-frequency heat treatment parts.
  • non-destructive defect inspection inside non-contact high-frequency heat-treated metal through the photoacoustic imaging system is performed so that non-destructive defects inside high-frequency heat-treated metal can be checked in real time while preventing damage to the surface of the object to be measured.
  • FIG. 1 is a configuration diagram showing the non-destructive defect inspection characteristics inside a high-frequency heat treatment metal using a non-contact photoacoustic image according to the present invention
  • FIG. 2 is a block diagram of a non-destructive defect inspection apparatus inside a high-frequency heat treatment metal using a non-contact photoacoustic image according to the present invention
  • 3 and 4 are a configuration and flow chart showing a non-destructive defect inspection method inside a high-frequency heat treatment metal using a non-contact photoacoustic image according to the present invention
  • FIG. 1 is a block diagram showing non-destructive defect inspection characteristics inside a high-frequency heat treatment metal using a non-contact photoacoustic image according to the present invention.
  • the apparatus and method for non-destructive defect inspection inside a high-frequency heat treatment metal using a non-contact photoacoustic image according to the present invention is a non-contact photoacoustic signal using an optical interferometer and signal processing to obtain a three-dimensional internal image through scanning of a light source This enables efficient defect inspection without cutting or contacting the measurement object, and increases inspection efficiency and accuracy.
  • the present invention has a configuration having a nanosecond pulsed laser for generating a photoacoustic signal It may include a light irradiation means, a continuous wave (CW) laser for measuring an optoacoustic signal, an optical interferometer, an optical measuring means having a signal acquisition module, and an image realizing means for realizing an image by synchronizing the measured signal.
  • a light irradiation means a continuous wave (CW) laser for measuring an optoacoustic signal
  • an optical interferometer for measuring an optoacoustic signal
  • an optical measuring means having a signal acquisition module
  • an image realizing means for realizing an image by synchronizing the measured signal.
  • the present invention includes a configuration for synchronizing a nanosecond pulsed laser for generating an optoacoustic signal, a CW (Continues wave) laser for measuring an optoacoustic signal, an optical interferometer, and a signal acquisition module, and irradiation of the pulsed laser Measure the photoacoustic wave generated according to
  • the pulse laser uses a laser having a pulse width of ⁇ 10 ns, and may include a configuration for generating a near-infrared laser by controlling the wavelength as necessary and synchronizing the entire system by providing a synchronization signal at the same time.
  • the CW laser is a laser for non-contact measurement of vibrations generated when a photoacoustic signal is transmitted to the surface of a sample to be measured using an optical interferometer. measure the intensity.
  • the non-contact photoacoustic measurement point is determined as three or more points, and an optimization process is performed according to the shape of the sample to be measured.
  • the photoacoustic wave generated by the pulsed laser travels along the sample to be measured, and distortion of the waveform occurs where there is a defect, which is observed at the non-contact measuring point.
  • Imaging is performed by combining the photoacoustic signals measured at multiple points, and based on this, location information of the defect can be obtained.
  • the non-contact photoacoustic imaging system uses a non-contact photoacoustic imaging system to detect a photoacoustic (PA) wave generated by a nanosecond pulsed laser, as shown in FIG. make up
  • PA photoacoustic
  • the present invention is a basic principle for photoacoustic imaging for inspecting defects, which uses a nanosecond pulsed laser to generate ultrasonic waves through thermal contraction and expansion of metal, and the phase of the waveform that changes when there is a defect using an optical interferometer and a waveform of the emitted ultrasonic waves It is possible to check the location and the time to check what kind of defect there is.
  • N detectors receive the generated photoacoustic wave, and each detector is an optical interferometer based on CW laser and performs non-contact signal detection.
  • the CW laser is a laser for non-contact measurement of vibrations generated when a photoacoustic signal is transmitted to the surface of a sample to be measured using an optical interferometer.
  • the optical interferometer divides the path of the CW laser into two to form a fixed reference path and a path on the surface of the sample to be measured, and measures the phase difference caused by the difference between the two paths. Detect surface vibrations.
  • N detectors located at a certain location measure PA according to vibration, and the distance from any location of the sample to be measured to each detector and the corresponding photoacoustic wave propagation time are calculated and generated at any location Calculate the size of the photoacoustic wave.
  • the detailed configuration of a non-destructive defect inspection apparatus inside a high-frequency heat treatment metal using a non-contact photoacoustic image according to the present invention is as follows.
  • FIG. 2 is a block diagram of a non-destructive defect inspection apparatus inside a high-frequency heat treatment metal using a non-contact photoacoustic image according to the present invention.
  • a non-destructive defect inspection apparatus inside a high-frequency heat treatment metal using a non-contact photoacoustic image according to the present invention includes a light irradiator 21 having a nanosecond pulsed laser for generating a photoacoustic signal, and a CW (Continues wave)
  • a non-contact optoacoustic signal measuring unit including a laser, an optical interferometer, and a signal acquisition module, and including an optical measuring unit 22 for measuring a photoacoustic signal generated by irradiating a nanosecond pulsed laser to a measurement object in the light irradiation unit 21 (20) and the photoacoustic signal measurement result of the non-contact photoacoustic signal measuring unit 20 to calculate the photoacoustic wave propagation time, calculate the size of the photoacoustic wave generated at an arbitrary location, and detect the defect location and a defect position detection unit 40 that implements the detection result of the defect position detection unit 40 as a three-dimensional image to image the defect
  • the non-destructive defect inspection apparatus inside the high frequency heat treatment metal using a non-contact photoacoustic image is a light irradiation unit 21 in the process of measuring the photoacoustic signal generated by irradiating a nanosecond pulse laser to the measurement object, the light irradiation unit
  • the system synchronization unit 10 for synchronizing the nanosecond pulse laser of (21), the CW (continues wave) laser of the optical measuring unit 22, the optical interferometer, and the signal acquisition module is further included.
  • the non-contact photoacoustic measurement point is determined as at least three points, and the signal measurement position is determined to increase the inspection accuracy according to the shape of the sample to be measured. It further includes a signal measurement position optimization unit 30 for performing a process of optimizing the .
  • 3 and 4 are a configuration and flow chart showing a non-destructive defect inspection method inside a high frequency heat treatment metal using a non-contact photoacoustic image according to the present invention.
  • FIG. 3 is a schematic diagram of a non-destructive defect inspection method inside a high-frequency heat treatment metal using an overall non-contact photoacoustic image, a system synchronization step, a non-contact photoacoustic signal measurement step, a defect location detection step through a defect location detection algorithm, and signal measurement It includes a location optimization step and a defect location imaging step.
  • the detection result is imaged so that the location of the defect can be imaged in real time at the correct location.
  • the nanosecond of the light irradiation unit 21 A control command for excitation of the pulse laser and continuous wave (CW) laser of the optical measuring unit 22 is transmitted to the non-contact optoacoustic signal measuring unit 20 (S401).
  • the nanosecond pulse laser of the light irradiation unit 21 is irradiated to the target material to generate a photoacoustic wave (PA). (S402)
  • the CW (Continues wave) laser of the photometric unit 22 of the non-contact photoacoustic signal measuring unit 20 is irradiated to receive a photoacoustic wave (PA) and a signal due to the phase difference is collected. (S403)
  • the defect location detector 40 receives the photoacoustic signal measurement result, calculates the photoacoustic wave propagation time, and calculates the size of the photoacoustic wave generated at an arbitrary location to detect and analyze the defect location. (S404)
  • the signal detected and analyzed by the defect location detector 40 is implemented as a 3D image by the defect location imaging unit 50 to image the location and size information of the defect. (S405)
  • the nanosecond pulse laser of the light irradiation unit 21 the CW (Continues wave) laser of the light measurement unit 22
  • the method may further include synchronizing the optical interferometer and the signal acquisition module.
  • the measurement point for the collection of the photoacoustic signal (Photoacoustic Wave; PA) is determined as at least three points, the signal measurement position performing the process of optimizing the signal measurement position in order to increase the inspection accuracy according to the shape of the sample to be measured It may further include an optimization step.
  • the apparatus and method for non-destructive defect inspection inside high-frequency heat treatment metal using non-contact optoacoustic image according to the present invention described above provides an algorithm and signal processing method for detecting defects from the photoacoustic image of high frequency heat-treated parts to apply non-contact non-destructive inspection will elevate it.
  • the present invention allows non-destructive defects inside high-frequency heat-treated metal to be checked in real time while preventing damage to the surface of the object to be measured by conducting non-contact non-destructive defect inspection inside the high-frequency heat-treated metal through the photoacoustic imaging system.
  • the present invention relates to non-contact non-destructive inspection, and specifically, non-destructive defects inside high-frequency heat-treated metal using non-contact photo-acoustic images that increase inspection efficiency and accuracy by acquiring photoacoustic images of high-frequency heat-treated parts and detecting defects. It relates to an inspection apparatus and method.

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Abstract

본 발명은 고주파 열처리 부품의 광음향(Photoacoustic) 영상을 획득하여 결함 검출을 하는 것에 의해 검사 효율성 및 정확도를 높인 비접촉 광음향 영상을 이용한 고주파 열처리 금속 내부의 비파괴 결함 검사 장치 및 방법에 관한 것으로, 광음향 신호를 발생시키기 위한 나노초 펄스레이저를 갖는 광조사부와, CW(Continues wave) 레이저, 광간섭계, 신호 획득 모듈을 구비하고 광조사부에서 나노초 펄스레이저를 측정대상체에 조사하여 발생하는 광음향 신호를 측정하는 광측정부를 포함하는 비접촉 광음향 신호 측정부;상기 비접촉 광음향 신호 측정부의 광음향신호 측정 결과를 이용하여 광음향파 전달 시간을 계산하여, 임의의 위치에서 발생된 광음향 파의 크기를 계산하여 결함 위치를 검출하는 결함 위치 검출부;상기 결함 위치 검출부의 검출 결과를 3차원 영상으로 구현하여 결함의 위치와 크기 정보를 이미지화하는 결함 위치 영상화부;를 포함하는 것이다.

Description

비접촉 광음향 영상을 이용한 고주파 열처리 금속 내부의 비파괴 결함 검사 장치 및 방법
본 발명은 비접촉 비파괴 검사에 관한 것으로, 구체적으로 고주파 열처리 부품의 광음향(Photoacoustic) 영상을 획득하여 결함 검출을 하는 것에 의해 검사 효율성 및 정확도를 높인 비접촉 광음향 영상을 이용한 고주파 열처리 금속 내부의 비파괴 결함 검사 장치 및 방법에 관한 것이다.
최근 들어, 항공 우주, 자동차 및 그 밖의 다른 다수의 상업적 산업에서 개선된 복합 구조를 사용하는 것이 상당한 성장을 이루었다.
복합 물질은 성능의 상당한 개선을 제공하지만, 제조 공정 중과, 물질이 완제품으로 서비스된 후, 모두에서 엄격한 품질 제어 절차를 필요로 한다.
특히, 비파괴적 평가(NDE: Non-Destructive Evaluation)법으로 복합 물질의 구조적 무결성(structural integrity)을 평가해야 한다. 적정한 평가는 표면 부근 영역과 깊은 내부 영역 모두에서, 내부결함(inclusion), 균열(delamination), 기공(porosity)을 검출할 수 있는 능력을 요구한다.
한편, 광음향 영상은 빛 에너지에서 음향 에너지로의 에너지 변환을 이용하여 측정대상체 내부의 신호를 얻는 방법으로 수 나노 초 폭의 펄스 레이저를 이용하여 순간적인 열팽창과 수축을 발생시키고 이에 따라 발생되는 진동을 감지하는 영상화 방법이다.
광음향 영상의 특징은 광 흡수 성질을 초음파의 해상도로 얻을 수 있는 영상 원리에 기반하여, 기존의 광학 영상에 비해 침투 깊이가 깊고 초음파 영상에서 얻을 수 없는 기능적인 정보를 얻을 수 있는 장점으로 인해 차세대 융합 영상으로 각광받고 있다.
지금까지 광음향 영상은 주로 생체 조직의 영상을 얻어 생체 조영, 약물 전달, 치료 추적 관찰 등의 다양한 의생명 공학 연구에 사용되어 왔으며, 최근에는 임상 연구의 적용이 시도되고 있다.
또한, 광음향 영상을 산업분야에 적용하여 철강 시편 등의 비파괴 검사 등의 연구가 시도되고 있지만 아직 초기 단계에 머무르고 있으며, 공정에서 비파괴 검사의 수요가 증가하고 있기 때문에 관련 기술의 개발이 요구되고 있다.
그 중 금속 재료의 고주파 열처리는 자동차 부품 등 마모의 위험이 있는 부품의 강화를 위해 수행하는 공정으로, 신뢰성 있는 고품질 제품을 생산하기 위해서는 결함의 최소화가 필수적이다.
현재 고주파 열처리 공정에서 결함검사 방법으로 사용되고 있는 방법은 와전류 기반의 검사 시스템이지만 특정 모양의 제품에만 사용할 수 있는 단점이 있기 때문에 와전류 시스템으로 검사가 불가능한 제품의 경우 생산라인에서 몇 개의 측정대상체 샘플을 획득하여 절단 후 결함을 검사하는 방법을 사용하고 있다.
그러나 이와 같은 방법은 즉각적인 결함 검사가 어려워 효율적인 제품생산에 차질이 생길 수 있으며, 샘플링 에러에 의한 결함 미검출 등의 단점이 있다.
따라서, 이와 같은 문제를 해결하기 위하여, 공정 가동 중 고주파 열처리 부품의 비파괴 결함진단을 수행할 수 있는 새로운 기술의 개발이 요구되고 있다.
본 발명은 종래 기술의 비접촉 비파괴 검사 기술의 문제점을 해결하기 위한 것으로, 고주파 열처리 부품의 광음향(Photoacoustic) 영상을 획득하여 결함 검출을 하는 것에 의해 검사 효율성 및 정확도를 높인 비접촉 광음향 영상을 이용한 고주파 열처리 금속 내부의 비파괴 결함 검사 장치 및 방법을 제공하는데 그 목적이 있다.
본 발명은 광간섭계를 이용하여 비접촉식으로 광음향 신호를 얻고 광원의 스캐닝(Scanning)을 통해서 3차원 내부영상을 얻는 신호처리를 하여 측정대상체의 절단 및 접촉없이 효율적인 결함 검사가 가능하도록 한 비접촉 광음향 영상을 이용한 고주파 열처리 금속 내부의 비파괴 결함 검사 장치 및 방법을 제공하는데 그 목적이 있다.
본 발명은 고주파 열처리 부품의 광음향 영상으로부터 결함을 검출하는 알고리즘과 신호처리 방법을 제공하여 비접촉 비파괴 검사의 적용성을 높인 비접촉 광음향 영상을 이용한 고주파 열처리 금속 내부의 비파괴 결함 검사 장치 및 방법을 제공하는데 그 목적이 있다.
본 발명은 광음향 영상 시스템을 통한 비접촉식 고주파 열처리 금속 내부의 비파괴 결함 검사를 진행하여 측정대상체 표면에 손상이 가지 않도록 한 상태에서 고주파 열처리 금속 내부의 비파괴 결함을 실시간으로 확인할 수 있도록 한 비접촉 광음향 영상을 이용한 고주파 열처리 금속 내부의 비파괴 결함 검사 장치 및 방법을 제공하는데 그 목적이 있다.
본 발명의 다른 목적들은 이상에서 언급한 목적으로 제한되지 않으며, 언급되지 않은 또 다른 목적들은 아래의 기재로부터 당업자에게 명확하게 이해될 수 있을 것이다.
상기와 같은 목적을 달성하기 위한 본 발명에 따른 비접촉 광음향 영상을 이용한 고주파 열처리 금속 내부의 비파괴 결함 검사 장치는 광음향 신호를 발생시키기 위한 나노초 펄스레이저를 갖는 광조사부와, CW(Continues wave) 레이저, 광간섭계, 신호 획득 모듈을 구비하고 광조사부에서 나노초 펄스레이저를 측정대상체에 조사하여 발생하는 광음향 신호를 측정하는 광측정부를 포함하는 비접촉 광음향 신호 측정부;상기 비접촉 광음향 신호 측정부의 광음향신호 측정 결과를 이용하여 광음향파 전달 시간을 계산하여, 임의의 위치에서 발생된 광음향 파의 크기를 계산하여 결함 위치를 검출하는 결함 위치 검출부;상기 결함 위치 검출부의 검출 결과를 3차원 영상으로 구현하여 결함의 위치와 크기 정보를 이미지화하는 결함 위치 영상화부;를 포함하는 것을 특징으로 한다.
여기서, 광조사부에서 나노초 펄스레이저를 측정대상체에 조사하여 발생하는 광음향 신호를 측정하는 과정에서, 광조사부의 나노초 펄스레이저, 광측정부의 CW(Continues wave) 레이저, 광간섭계, 신호 획득 모듈을 동기화하는 시스템 동기화부를 더 포함하는 것을 특징으로 한다.
그리고 비접촉식 광음향 신호 측정 지점은 적어도 3개의 지점으로 정해지며, 측정대상체 샘플의 모양에 따라 검사 정확도를 높이기 위하여 신호 측정 위치를 최적화하는 과정을 수행하는 신호 측정 위치 최적화부를 더 포함하는 것을 특징으로 한다.
그리고 펄스레이저에 의해 발생되는 광음향파는 측정대상체 샘플을 따라 진행하며 결함이 있는 곳에서 파형의 왜곡이 발생하게 되고 이는 비접촉식 측정지점에서 관측되는 것을 특징으로 한다.
그리고 CW 레이저는, 광음향 신호가 측정대상체 샘플의 표면으로 전달되어 생기는 진동을 광간섭계를 이용하여 비접촉식으로 측정하기 위한 레이저로, 단파장의 레이저를 조사하고 진동에 따른 위상차를 측정하여 광음향파의 세기를 측정하는 것을 특징으로 한다.
그리고 나노초 펄스레이저를 측정대상체에 조사하면 측정대상체가 되는 금속의 열 수축 팽창을 통하여 초음파를 생성하고, 생성되는 초음파의 파형과 광간섭계를 이용해 결함이 있을시 달라지는 파형의 위상과 시간을 확인하여 어느 위치에 어떠한 결함이 있는지 확인하는 것을 특징으로 한다.
그리고 나노초 펄스레이저를 임의의 결함이 있다고 가정이 되는 금속에 조사를 하게 되면 금속내부의 원자들이 순간적으로 빛에너지를 흡수하고 열에너지로 방출하면서 진동을 하게 되고 이때 진동에 의해 광음향파가 발생하는 것을 이용하는 것을 특징으로 한다.
그리고 발생된 광음향파를 CW 레이저를 기반으로 비접촉식 신호 검출을 수행하는 N개의 detector가 검출하고, 측정대상체 샘플의 임의의 위치에서 각각의 detector 까지의 거리와 그에 해당되는 광음향파 전달 시간을 계산하여, 임의의 위치에서 발생된 광음향 파의 크기를 계산하고, 3차원 영상으로 구현하여 결함의 위치와 크기 정보를 이미지화하는 것을 특징으로 한다.
그리고 광간섭계는 CW 레이저의 경로를 둘로 나누어 고정된 기준 광경로(reference path)와 측정대상체 샘플 표면의 경로를 구성하고, 두 경로 사이의 차이에 의해 생기는 위상차를 측정하여 광음향파에 의해 발생되는 금속 표면의 진동을 감지하는 것을 특징으로 한다.
다른 목적을 달성하기 위한 본 발명에 따른 비접촉 광음향 영상을 이용한 고주파 열처리 금속 내부의 비파괴 결함 검사 방법은 나노초 펄스레이저를 측정대상체에 조사하여 발생하는 광음향 신호를 측정하기 위하여 광조사부의 나노초 펄스레이저 및 광측정부의 CW(Continues wave) 레이저를 여기(excitation)시키는 단계;광조사부의 나노초 펄스레이저를 측정대상체(Target material)에 조사하여 광음향 신호(Photoacoustic Wave;PA)를 발생시키는 단계;광측정부의 CW(Continues wave) 레이저를 조사하여 광음향 신호(Photoacoustic Wave;PA)를 받아 위상차로 인한 신호를 수집하는 단계;결함 위치 검출부에서 광음향신호 측정 결과를 받아 광음향파 전달 시간을 계산하고, 임의의 위치에서 발생된 광음향 파의 크기를 계산하여 결함 위치를 검출하고 분석하는 단계;검출 및 분석된 신호를 결함 위치 영상화부에서 3차원 영상으로 구현하여 결함의 위치와 크기 정보를 이미지화하는 단계;를 포함하는 것을 특징으로 한다.
여기서, 나노초 펄스레이저를 측정대상체에 조사하여 발생하는 광음향 신호를 측정하는 과정에서, 광조사부의 나노초 펄스레이저, 광측정부의 CW(Continues wave) 레이저, 광간섭계, 신호 획득 모듈을 동기화하는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 한다.
그리고 광음향 신호(Photoacoustic Wave;PA)의 수집을 위한 측정 지점은 적어도 3개의 지점으로 정해지며, 측정대상체 샘플의 모양에 따라 검사 정확도를 높이기 위하여 신호 측정 위치를 최적화하는 과정을 수행하는 신호 측정 위치 최적화 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 한다.
이상에서 설명한 바와 같은 본 발명에 따른 비접촉 광음향 영상을 이용한 고주파 열처리 금속 내부의 비파괴 결함 검사 장치 및 방법은 다음과 같은 효과가 있다.
첫째, 고주파 열처리 부품의 광음향(Photoacoustic) 영상을 획득하여 결함 검출을 하는 것에 의해 검사 효율성 및 정확도를 높인다.
둘째, 광간섭계를 이용하여 비접촉식으로 광음향 신호를 얻고 광원의 스캐닝(Scanning)을 통해서 3차원 내부영상을 얻는 신호처리를 하여 측정대상체의 절단 및 접촉없이 효율적인 결함 검사가 가능하도록 한다.
셋째, 고주파 열처리 부품의 광음향 영상으로부터 결함을 검출하는 알고리즘과 신호처리 방법을 제공하여 비접촉 비파괴 검사의 적용성을 높인다.
넷째, 광음향 영상 시스템을 통한 비접촉식 고주파 열처리 금속 내부의 비파괴 결함 검사를 진행하여 측정대상체 표면에 손상이 가지 않도록 한 상태에서 고주파 열처리 금속 내부의 비파괴 결함을 실시간으로 확인할 수 있도록 한다.
도 1은 본 발명에 따른 비접촉 광음향 영상을 이용한 고주파 열처리 금속 내부의 비파괴 결함 검사 특성을 나타낸 구성도
도 2는 본 발명에 따른 비접촉 광음향 영상을 이용한 고주파 열처리 금속 내부의 비파괴 결함 검사 장치의 구성도
도 3 및 도 4는 본 발명에 따른 비접촉 광음향 영상을 이용한 고주파 열처리 금속 내부의 비파괴 결함 검사 방법을 나타낸 구성 및 플로우 차트
이하, 본 발명에 따른 비접촉 광음향 영상을 이용한 고주파 열처리 금속 내부의 비파괴 결함 검사 장치 및 방법의 바람직한 실시 예에 관하여 상세히 설명하면 다음과 같다.
본 발명에 따른 비접촉 광음향 영상을 이용한 고주파 열처리 금속 내부의 비파괴 결함 검사 장치 및 방법의 특징 및 이점들은 이하에서의 각 실시 예에 대한 상세한 설명을 통해 명백해질 것이다.
도 1은 본 발명에 따른 비접촉 광음향 영상을 이용한 고주파 열처리 금속 내부의 비파괴 결함 검사 특성을 나타낸 구성도이다.
본 발명에 따른 비접촉 광음향 영상을 이용한 고주파 열처리 금속 내부의 비파괴 결함 검사 장치 및 방법은 광간섭계를 이용하여 비접촉식으로 광음향 신호를 얻고 광원의 스캐닝(Scanning)을 통해서 3차원 내부영상을 얻는 신호처리를 하여 측정대상체의 절단 및 접촉없이 효율적인 결함 검사가 가능하도록 하고, 검사 효율성 및 정확도를 높일 수 있도록 한 것이다.
이와 같이 펄스레이저의 조사에 따라 발생되는 광음향파를 측정하여 임의의 결함에 대한 위치를 3차원으로 비침습적으로 찾을 수 있도록 하기 위하여 본 발명은 광음향 신호를 발생시키기 위한 나노초 펄스레이저를 갖는 구성되는 광조사 수단, 광음향 신호를 측정하기 위한 CW(Continues wave) 레이저, 광간섭계, 신호 획득 모듈을 구비하는 광측정 수단, 측정된 신호를 동기화하여 영상을 구현하는 영상구현 수단을 포함할 수 있다.
본 발명은 광음향 신호를 발생시키기 위한 나노초 펄스레이저(Pulsed laser), 광음향 신호를 측정하기 위한 CW(Continues wave) 레이저, 광간섭계, 신호 획득 모듈을 동기화하는 구성을 포함하고, 펄스레이저의 조사에 따라 발생되는 광음향파를 측정한다.
본 발명은 펄스레이저는 펄스폭이 ~10 ns인 레이저를 사용하며, 필요에 따라 파장을 제어하여 근적외선 레이저를 발생시킴과 동시에 동기화 신호를 제공하여 전체적인 시스템의 동기화를 하는 구성을 포함할 수 있다.
그리고 CW 레이저는, 광음향 신호가 측정대상체 샘플의 표면으로 전달되어 생기는 진동을 광간섭계를 이용하여 비접촉식으로 측정하기 위한 레이저로, 단파장의 레이저를 조사하고 진동에 따른 위상차를 측정하여 광음향파의 세기를 측정한다.
비접촉식 광음향 측정 지점은 3개 이상의 지점으로 정해지며 측정대상체 샘플의 모양에 따라 최적화 과정을 수행한다.
펄스레이저에 의해 발생되는 광음향파는 측정대상체 샘플을 따라 진행하며 결함이 있는 곳에서 파형의 왜곡이 발생하게 되고 이는 비접촉식 측정지점에서 관측된다.
다수의 지점에서 측정된 광음향 신호를 결합하여 영상화를 수행하며, 이를 바탕으로 결함의 위치정보를 얻을 수 있다.
본 발명에 따른 비접촉 광음향 영상을 이용한 고주파 열처리 금속 내부의 비파괴 결함 검사 장치는 도 1에서와 같이, 비접촉식 광음향 영상시스템을 나노초 펄스레이저에 의해 생성되는 광음향(PA, Photoacoustic)파를 검출하도록 구성한다.
본 발명은 결함을 검사하기 위한 광음향 영상화를 위한 기본적인 원리로 나노초 펄스레이저를 사용해 금속의 열 수축 팽창을 통하여 초음파를 생성하고, 나오는 초음파의 파형과 광간섭계를 이용해 결함이 있을시 달라지는 파형의 위상과 시간을 확인하여 어느 위치에 어떠한 결함이 있는지 확인이 가능하도록 한 것이다.
즉, 짧은 펄스레이저를 임의의 결함이 있다고 가정이 되는 금속에 조사를 하게 되면 금속내부의 원자들이 순간적으로 빛에너지를 흡수하고 열에너지로 방출하면서 진동을 하게 되고 이때 진동에 의해 음파(광음향파)가 발생한다.
발생된 광음향파를 N개의 detector가 받아들이게 되며, 각각의 detector는 CW 레이저를 기반으로 한 광간섭계로, 비접촉식 신호 검출을 수행한다
여기서, CW 레이저는, 광음향 신호가 측정대상체 샘플의 표면으로 전달되어 생기는 진동을 광간섭계를 이용하여 비접촉식으로 측정하기 위한 레이저이다.
광간섭계는 CW 레이저의 경로를 둘로 나누어 고정된 기준 광경로(reference path)와 측정대상체 샘플 표면의 경로를 구성하고, 두 경로 사이의 차이에 의해 생기는 위상차를 측정하여 광음향파에 의해 발생되는 금속 표면의 진동을 감지한다.
진동에 따른 PA를 일정 위치에 존재하는 N개의 detector가 측정을 하고, 측정대상체 샘플의 임의의 위치에서 각각의 detector 까지의 거리와 그에 해당되는 광음향파 전달 시간을 계산하여, 임의의 위치에서 발생된 광음향 파의 크기를 계산한다.
이를 3차원 영상으로 구현하여 결함의 위치와 크기 정보를 이미지화한다.
본 발명에 따른 비접촉 광음향 영상을 이용한 고주파 열처리 금속 내부의 비파괴 결함 검사 장치의 상세 구성은 다음과 같다.
도 2는 본 발명에 따른 비접촉 광음향 영상을 이용한 고주파 열처리 금속 내부의 비파괴 결함 검사 장치의 구성도이다.
본 발명에 따른 비접촉 광음향 영상을 이용한 고주파 열처리 금속 내부의 비파괴 결함 검사 장치는 도 2에서와 같이, 광음향 신호를 발생시키기 위한 나노초 펄스레이저를 갖는 광조사부(21)와, CW(Continues wave) 레이저, 광간섭계, 신호 획득 모듈을 구비하고, 광조사부(21)에서 나노초 펄스레이저를 측정대상체에 조사하여 발생하는 광음향 신호를 측정하는 광측정부(22)를 포함하는 비접촉 광음향 신호 측정부(20)와, 비접촉 광음향 신호 측정부(20)의 광음향신호 측정 결과를 이용하여 광음향파 전달 시간을 계산하여, 임의의 위치에서 발생된 광음향 파의 크기를 계산하여 결함 위치를 검출하는 결함 위치 검출부(40)와, 결함 위치 검출부(40)의 검출 결과를 3차원 영상으로 구현하여 결함의 위치와 크기 정보를 이미지화하는 결함 위치 영상화부(50)를 포함한다.
여기서, 본 발명에 따른 비접촉 광음향 영상을 이용한 고주파 열처리 금속 내부의 비파괴 결함 검사 장치는 광조사부(21)에서 나노초 펄스레이저를 측정대상체에 조사하여 발생하는 광음향 신호를 측정하는 과정에서, 광조사부(21)의 나노초 펄스레이저, 광측정부(22)의 CW(Continues wave) 레이저, 광간섭계, 신호 획득 모듈을 동기화하는 시스템 동기화부(10)를 더 포함한다.
그리고 본 발명에 따른 비접촉 광음향 영상을 이용한 고주파 열처리 금속 내부의 비파괴 결함 검사 장치는 비접촉식 광음향 측정 지점은 적어도 3개의 지점으로 정해지며, 측정대상체 샘플의 모양에 따라 검사 정확도를 높이기 위하여 신호 측정 위치를 최적화하는 과정을 수행하는 신호 측정 위치 최적화부(30)를 더 포함한다.
도 3 및 도 4는 본 발명에 따른 비접촉 광음향 영상을 이용한 고주파 열처리 금속 내부의 비파괴 결함 검사 방법을 나타낸 구성 및 플로우 차트이다.
도 3은 전체적인 비접촉 광음향 영상을 이용한 고주파 열처리 금속 내부의 비파괴 결함 검사 방법의 모식도로, 시스템 동기화 단계와, 비접촉 광음향 신호 측정 단계와, 결함 위치 검출 알고리즘을 통한 결함 위치 검출 단계와, 신호 측정 위치 최적화 단계와, 결함 위치 영상화 단계를 포함한다.
금속의 내부에 광음파를 발생하기 위한 펄스레이저와 신호 측정을 위한 N개의 detector, 그리고 detector에서 받은 신호를 광간섭계를 통해서 신호의 위상의 차이를 확인해 결함 위치에 대한 정확한 판단과 실시간으로 측정이 가능할 수 있도록 신호를 검출할 수 있도록 한 것이다.
이를 기반으로 검출 결과를 영상화하여 정확한 위치에 실시간으로 결함의 위치를 영상화할 수 있도록 한 것이다.
도 4는 비접촉식 광음향 비파괴 결함검사를 하기 위한 전체적인 순서를 나타낸 것이다.
먼저, 본 발명에 따른 비접촉 광음향 영상을 이용한 고주파 열처리 금속 내부의 비파괴 결함 검사 장치의 제어 수단에서 나노초 펄스레이저를 측정대상체에 조사하여 발생하는 광음향 신호를 측정하기 위하여 광조사부(21)의 나노초 펄스레이저 및 광측정부(22)의 CW(Continues wave) 레이저를 여기(excitation)시키기 위한 제어 명령을 비접촉 광음향 신호 측정부(20)로 전송한다.(S401)
이어, 광조사부(21)의 나노초 펄스레이저를 측정대상체(Target material)에 조사하여 광음향 신호(Photoacoustic Wave;PA)를 발생시킨다.(S402)
그리고 비접촉 광음향 신호 측정부(20)의 광측정부(22)의 CW(Continues wave) 레이저를 조사하여 광음향 신호(Photoacoustic Wave;PA)를 받아 위상차로 인한 신호를 수집한다.(S403)
이어, 결함 위치 검출부(40)에서 광음향신호 측정 결과를 받아 광음향파 전달 시간을 계산하고, 임의의 위치에서 발생된 광음향 파의 크기를 계산하여 결함 위치를 검출하고 분석한다.(S404)
그리고 결함 위치 검출부(40)에서 검출 및 분석된 신호를 결함 위치 영상화부(50)에서 3차원 영상으로 구현하여 결함의 위치와 크기 정보를 이미지화 한다.(S405)
이와 같은 본 발명에 따른 나노초 펄스레이저를 측정대상체에 조사하여 발생하는 광음향 신호를 측정하는 과정에서, 광조사부(21)의 나노초 펄스레이저, 광측정부(22)의 CW(Continues wave) 레이저, 광간섭계, 신호 획득 모듈을 동기화하는 단계를 더 포함할 수 있다.
그리고 광음향 신호(Photoacoustic Wave;PA)의 수집을 위한 측정 지점은 적어도 3개의 지점으로 정해지며, 측정대상체 샘플의 모양에 따라 검사 정확도를 높이기 위하여 신호 측정 위치를 최적화하는 과정을 수행하는 신호 측정 위치 최적화 단계를 더 포함할 수 있다.
이상에서 설명한 본 발명에 따른 비접촉 광음향 영상을 이용한 고주파 열처리 금속 내부의 비파괴 결함 검사 장치 및 방법은 고주파 열처리 부품의 광음향 영상으로부터 결함을 검출하는 알고리즘과 신호처리 방법을 제공하여 비접촉 비파괴 검사의 적용성을 높인 것이다.
특히, 본 발명은 광음향 영상 시스템을 통한 비접촉식 고주파 열처리 금속 내부의 비파괴 결함 검사를 진행하여 측정대상체 표면에 손상이 가지 않도록 한 상태에서 고주파 열처리 금속 내부의 비파괴 결함을 실시간으로 확인할 수 있도록 한 것이다.
이상에서의 설명에서와 같이 본 발명의 본질적인 특성에서 벗어나지 않는 범위에서 변형된 형태로 본 발명이 구현되어 있음을 이해할 수 있을 것이다.
그러므로 명시된 실시 예들은 한정적인 관점이 아니라 설명적인 관점에서 고려되어야 하고, 본 발명의 범위는 전술한 설명이 아니라 특허청구 범위에 나타나 있으며, 그와 동등한 범위 내에 있는 모든 차이점은 본 발명에 포함된 것으로 해석되어야 할 것이다.
본 발명은 비접촉 비파괴 검사에 관한 것으로, 구체적으로 고주파 열처리 부품의 광음향(Photoacoustic) 영상을 획득하여 결함 검출을 하는 것에 의해 검사 효율성 및 정확도를 높인 비접촉 광음향 영상을 이용한 고주파 열처리 금속 내부의 비파괴 결함 검사 장치 및 방법에 관한 것이다.

Claims (12)

  1. 광음향 신호를 발생시키기 위한 나노초 펄스레이저를 갖는 광조사부와, CW(Continues wave) 레이저, 광간섭계, 신호 획득 모듈을 구비하고 광조사부에서 나노초 펄스레이저를 측정대상체에 조사하여 발생하는 광음향 신호를 측정하는 광측정부를 포함하는 비접촉 광음향 신호 측정부;
    상기 비접촉 광음향 신호 측정부의 광음향신호 측정 결과를 이용하여 광음향파 전달 시간을 계산하여, 임의의 위치에서 발생된 광음향 파의 크기를 계산하여 결함 위치를 검출하는 결함 위치 검출부;
    상기 결함 위치 검출부의 검출 결과를 3차원 영상으로 구현하여 결함의 위치와 크기 정보를 이미지화하는 결함 위치 영상화부;를 포함하는 것을 특징으로 하는 비접촉 광음향 영상을 이용한 고주파 열처리 금속 내부의 비파괴 결함 검사 장치.
  2. 제 1 항에 있어서, 광조사부에서 나노초 펄스레이저를 측정대상체에 조사하여 발생하는 광음향 신호를 측정하는 과정에서,
    광조사부의 나노초 펄스레이저, 광측정부의 CW(Continues wave) 레이저, 광간섭계, 신호 획득 모듈을 동기화하는 시스템 동기화부를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 비접촉 광음향 영상을 이용한 고주파 열처리 금속 내부의 비파괴 결함 검사 장치.
  3. 제 1 항에 있어서, 비접촉식 광음향 신호 측정 지점은 적어도 3개의 지점으로 정해지며,
    측정대상체 샘플의 모양에 따라 검사 정확도를 높이기 위하여 신호 측정 위치를 최적화하는 과정을 수행하는 신호 측정 위치 최적화부를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 비접촉 광음향 영상을 이용한 고주파 열처리 금속 내부의 비파괴 결함 검사 장치.
  4. 제 3 항에 있어서, 펄스레이저에 의해 발생되는 광음향파는 측정대상체 샘플을 따라 진행하며 결함이 있는 곳에서 파형의 왜곡이 발생하게 되고 이는 비접촉식 측정지점에서 관측되는 것을 특징으로 하는 비접촉 광음향 영상을 이용한 고주파 열처리 금속 내부의 비파괴 결함 검사 장치.
  5. 제 1 항에 있어서, CW 레이저는,
    광음향 신호가 측정대상체 샘플의 표면으로 전달되어 생기는 진동을 광간섭계를 이용하여 비접촉식으로 측정하기 위한 레이저로, 단파장의 레이저를 조사하고 진동에 따른 위상차를 측정하여 광음향파의 세기를 측정하는 것을 특징으로 하는 비접촉 광음향 영상을 이용한 고주파 열처리 금속 내부의 비파괴 결함 검사 장치.
  6. 제 1 항에 있어서, 나노초 펄스레이저를 측정대상체에 조사하면 측정대상체가 되는 금속의 열 수축 팽창을 통하여 초음파를 생성하고,
    생성되는 초음파의 파형과 광간섭계를 이용해 결함이 있을시 달라지는 파형의 위상과 시간을 확인하여 어느 위치에 어떠한 결함이 있는지 확인하는 것을 특징으로 하는 비접촉 광음향 영상을 이용한 고주파 열처리 금속 내부의 비파괴 결함 검사 장치.
  7. 제 6 항에 있어서, 나노초 펄스레이저를 임의의 결함이 있다고 가정이 되는 금속에 조사를 하게 되면 금속내부의 원자들이 순간적으로 빛에너지를 흡수하고 열에너지로 방출하면서 진동을 하게 되고 이때 진동에 의해 광음향파가 발생하는 것을 이용하는 것을 특징으로 하는 비접촉 광음향 영상을 이용한 고주파 열처리 금속 내부의 비파괴 결함 검사 장치.
  8. 제 7 항에 있어서, 발생된 광음향파를 CW 레이저를 기반으로 비접촉식 신호 검출을 수행하는 N개의 detector가 검출하고,
    측정대상체 샘플의 임의의 위치에서 각각의 detector 까지의 거리와 그에 해당되는 광음향파 전달 시간을 계산하여, 임의의 위치에서 발생된 광음향 파의 크기를 계산하고, 3차원 영상으로 구현하여 결함의 위치와 크기 정보를 이미지화하는 것을 특징으로 하는 비접촉 광음향 영상을 이용한 고주파 열처리 금속 내부의 비파괴 결함 검사 장치.
  9. 제 1 항에 있어서, 광간섭계는 CW 레이저의 경로를 둘로 나누어 고정된 기준 광경로(reference path)와 측정대상체 샘플 표면의 경로를 구성하고,
    두 경로 사이의 차이에 의해 생기는 위상차를 측정하여 광음향파에 의해 발생되는 금속 표면의 진동을 감지하는 것을 특징으로 하는 비접촉 광음향 영상을 이용한 고주파 열처리 금속 내부의 비파괴 결함 검사 장치.
  10. 나노초 펄스레이저를 측정대상체에 조사하여 발생하는 광음향 신호를 측정하기 위하여 광조사부의 나노초 펄스레이저 및 광측정부의 CW(Continues wave) 레이저를 여기(excitation)시키는 단계;
    광조사부의 나노초 펄스레이저를 측정대상체(Target material)에 조사하여 광음향 신호(Photoacoustic Wave;PA)를 발생시키는 단계;
    광측정부의 CW(Continues wave) 레이저를 조사하여 광음향 신호(Photoacoustic Wave;PA)를 받아 위상차로 인한 신호를 수집하는 단계;
    결함 위치 검출부에서 광음향신호 측정 결과를 받아 광음향파 전달 시간을 계산하고, 임의의 위치에서 발생된 광음향 파의 크기를 계산하여 결함 위치를 검출하고 분석하는 단계;
    검출 및 분석된 신호를 결함 위치 영상화부에서 3차원 영상으로 구현하여 결함의 위치와 크기 정보를 이미지화하는 단계;를 포함하는 것을 특징으로 하는 비접촉 광음향 영상을 이용한 고주파 열처리 금속 내부의 비파괴 결함 검사 방법.
  11. 제 10 항에 있어서, 나노초 펄스레이저를 측정대상체에 조사하여 발생하는 광음향 신호를 측정하는 과정에서,
    광조사부의 나노초 펄스레이저, 광측정부의 CW(Continues wave) 레이저, 광간섭계, 신호 획득 모듈을 동기화하는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 비접촉 광음향 영상을 이용한 고주파 열처리 금속 내부의 비파괴 결함 검사 방법.
  12. 제 10 항에 있어서, 광음향 신호(Photoacoustic Wave;PA)의 수집을 위한 측정 지점은 적어도 3개의 지점으로 정해지며, 측정대상체 샘플의 모양에 따라 검사 정확도를 높이기 위하여 신호 측정 위치를 최적화하는 과정을 수행하는 신호 측정 위치 최적화 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 비접촉 광음향 영상을 이용한 고주파 열처리 금속 내부의 비파괴 결함 검사 방법.
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