WO2022078594A1 - Method for operating a group of pressure sensors - Google Patents

Abstract

Method for operating a group 1 of pressure sensors which are arranged in such a manner that they can measure the pressure in a common measurement volume 2, wherein the group of pressure sensors comprises at least a first pressure sensor 1' with a first pressure measurement range and a second pressure sensor 1'' with a second pressure measurement range, wherein the first and second pressure measurement ranges overlap in an overlap pressure measurement range, wherein the first and second pressure sensors are each based on an indirect pressure measurement principle and are configured to output a measurement signal calibrated to a reference gas, and wherein the method comprises the steps of: a) providing calibration data specific to the type of gas for the first measurement signal and for the second measurement signal, which calibration data describe a dependence of the first and second measurement signals on the effective pressure and on a list of types of gas, respectively; b) recording a first and a second measured value of the first and second measurement signals, respectively; c) determining a resultant type of gas which best matches the combination of the recorded first measured value and the recorded second measured value, taking into account the first and second calibration data. In one variant, a resultant pressure which is independent of the type of gas is additionally determined. The invention is also directed to an apparatus for carrying out the method and to a computer program product.

Description

VERFAHREN ZUM BETRIEB EINER GRUPPE VON DRUCKSENSOREN PROCEDURE FOR OPERATING A GROUP OF PRESSURE SENSORS

Die vorliegende Erfindung betri f ft ein Verfahren zum Betrieb einer Gruppe von mindestens zwei Drucksensoren . The present invention relates to a method for operating a group of at least two pressure sensors.

Im Stand der Technik sind verschiedene Messprinzipien zur Messung eines Drucks bekannt . Man kann diese Messprinzipien in zwei Gruppen einteilen, nämlich die direkten Druckmessprinzipien, welche letztlich eine Kraft pro Fläche bestimmen, und die indirekten Druckmessprinzipien, welcher eine Abhängigkeit einer anderen physikalischen Grösse vom Druck ausnutzt , beispielsweise die Druckabhängigkeit der Wärmeleitfähigkeit eines Gases . Indirekte Druckmessprinzipien zeigen eine mehr oder weniger starke Abhängigkeit von der Art des Gases . Various measuring principles for measuring a pressure are known in the prior art. These measuring principles can be divided into two groups, namely the direct pressure measuring principles, which ultimately determine a force per area, and the indirect pressure measuring principles, which exploit the dependency of another physical quantity on the pressure, for example the pressure dependency of the thermal conductivity of a gas. Indirect pressure measurement principles show a more or less strong dependence on the type of gas.

Beispiele für Drucksensoren, welche ein direktes , gasartunabhängiges Druckmessprinzip anwenden sind Piezo- Membran-Manometer , Kapazitäts-Membran-Manometer oder optische Membran-Manometer . Beispiele für Drucksensoren, welche ein indirektes , gasartabhängiges Druckmessprinzip anwenden sind Pirani-Sensoren, Kaltkathoden- lonisationsvakuummeter ( z . B . invertiertes Magnetron) oder Heisskathoden- Ionisationsvakuummeter ( z . B . Bayard-Alpert ) .Examples of pressure sensors that use a direct, gas-type-independent pressure measurement principle are piezo membrane manometers, capacitance membrane manometers or optical membrane manometers. Examples of pressure sensors that use an indirect, gas type-dependent pressure measurement principle are Pirani sensors, cold cathode ionization vacuum gauges (e.g. inverted magnetron) or hot cathode ionization vacuum gauges (e.g. Bayard-Alpert).

Drucksensoren sind aufgrund ihres Messprinzips meistens für einen spezi fischen Druckmessbereich ausgelegt . Der Messbereich kann durch die Kombination mehrerer Drucksensoren zu einer Gruppe von Drucksensoren vergrössert werden . Im Fall einer Kombination von Drucksensoren, welche allesamt ein indirektes Druckmessprinzip anwenden, wird die Messunsicherheit j edoch durch die Gasartabhängigkeit vergrössert , da die Gasartabhängigkeit bei den beteiligten Drucksensoren unterschiedlich sein kann . Ausserdem ist oftmals nicht genau bekannt , welches Gas oder welche Gasmischung vorliegt . Due to their measuring principle, pressure sensors are usually designed for a specific pressure measuring range. The measuring range can be increased by combining several pressure sensors into a group of pressure sensors. In the case of a combination of pressure sensors, which all use an indirect pressure measurement principle, the measurement uncertainty is increased by the gas type dependency, since the gas type dependency can be different for the pressure sensors involved. In addition, it is often not known exactly which gas or which gas mixture is present.

Die Aufgabe der vorliegenden Erfindung bestand darin, aus der Gasabhängigkeit von Drucksensoren entstehende Schwierigkeiten zu entschärfen . Die Aufgabe der vorliegenden Erfindung bestand insbesondere darin, ein Verfahren zum Betrieb einer Gruppe von Drucksensoren zur Verfügung zu stellen, welche aus der Gasartabhängigkeit von Drucksensoren entstehende Messungenauigkeiten reduziert . The object of the present invention was to alleviate the difficulties arising from the gas dependency of pressure sensors. The object of the present invention was in particular to provide a method for operating a group of pressure sensors which reduces measurement inaccuracies arising from the gas type dependency of pressure sensors.

Diese Aufgabe wird durch ein Verfahren nach Anspruch 1 gelöst . This problem is solved by a method according to claim 1 .

Das erfindungsgemässe Verfahren ist ein Verfahren zum Betrieb einer Gruppe von Drucksensoren . Die Drucksensoren, welche zur Gruppe von Drucksensoren gehören, sind derart angeordnet , dass sie den Druck in einem gemeinsamen Messvolumen messen können . Die Gruppe von Drucksensoren umfasst mindestens einen ersten Drucksensor mit einem ersten Druckmessbereich und einen zweiten Drucksensor mit einem zweiten Druckmessbereich, wobei der erste und der zweite Druckmessbereich in einem Überlapp-Druckmessbereich überlappen . Der erste Drucksensor beruht auf einem ersten indirekten Druckmessprinzip und ist eingerichtet zur Ausgabe eines auf ein Referenzgas , z . B . Stickstof f , kalibrierten ersten Mess-Signals . Der zweite Drucksensor beruht auf einem zweiten indirekten Druckmessprinzip und ist eingerichtet zur Ausgabe eines auf dasselbe Referenzgas kalibrierten zweiten Mess-Signals . The method according to the invention is a method for operating a group of pressure sensors. The pressure sensors, which belong to the group of pressure sensors, are arranged in such a way that they can measure the pressure in a common measuring volume. The group of pressure sensors includes at least a first pressure sensor with a first pressure measurement range and a second pressure sensor with a second pressure measurement range, the first and the second pressure measurement range overlapping in an overlap pressure measurement range. The first pressure sensor is based on a first indirect pressure measurement principle and is set up to output a reference gas, e.g. B. Nitrogen f, calibrated first measurement signal. The second pressure sensor is based on a second indirect pressure measurement principle and is set up to output a second measurement signal calibrated to the same reference gas.

Das Verfahren umfasst die Schritte : a) Bereitstellen von gasartspezi fischen ersten Kalibrierungsdaten für das erste Mess-Signal und von gasartspezi fischen zweiten Kalibrierungsdaten für das zweite Mess-Signal , wobei die ersten und zweiten Kalibrierungsdaten eine Abhängigkeit des ersten respektive zweiten Mess-Signals vom ef fektiven Drucks und von einer Gasart im gemeinsamen Messvolumen für eine Liste von Gasarten umfassend mindestens eine erste Gasart , die verschieden ist vom Referenzgas , beschreiben; b) im Wesentlichen gleichzeitiges Erfassen eines ersten Messwerts des ersten Mess-Signals und Erfassen eines zweiten Messwerts des zweiten Mess-Signals ; c) Bestimmen einer Resultat-Gasart als diej enige Gasart in der Liste von Gasarten, welche unter Berücksichtigung der ersten und zweiten Kalibrierungsdaten am besten zur Kombination des erfassten ersten Messwerts und des erfassten zweiten Messwerts passt . The method comprises the steps: a) providing gas-type-specific first calibration data for the first measurement signal and gas-type-specific second calibration data for the second measurement signal, the first and second calibration data being a dependency of the first or second measurement signal on the ef fective pressure and a gas type in the common measurement volume for a list of gas types comprising at least one first gas type that is different from the reference gas describe; b) essentially simultaneously detecting a first measured value of the first measured signal and detecting a second measured value of the second measured signal; c) determining a result gas type as that gas type in the list of gas types which, taking into account the first and second calibration data, best matches the combination of the recorded first measured value and the recorded second measured value.

Die ersten und die zweiten Kalibrierungsdaten können beispielsweise als Kombination einer mathematischen Funktion und mindestens einem Parameter dieser Funktion definiert sein . Die Kalibrierungsdaten können alternativ als Tabellenwerte ( in einer Look-Up-Table ) definiert sein . Ein Ablesen einer Kalibrierungskurve kann durch Interpolieren der Tabellenwerte erfolgen . Die Erfinder haben erkannt , dass mit der vorliegenden Erfindung, auf einfache Art und Weise eine Information über den im gemeinsamen Messvolumen vorhandenen Gastyp erhalten werden kann . Diese Information kann, wie unten noch weiter diskutiert wird, zu einer Verbesserung der Genauigkeit von Druckmessungen basierend auf den Messignalen der Drucksensoren verwendet werden . Diese Information über den Gastyp ist aber bereits für sich genommen wertvoll . Die Gruppe von Drucksensoren kann nämlich, wenn sie gemäss dem erfindungsgemässen Verfahren betrieben wird, auf überraschend einfache Art und Weise zumindest teilweise die Aufgabe eines Rest-Gas-Analysators übernehmen . The first and the second calibration data can be defined, for example, as a combination of a mathematical function and at least one parameter of this function. Alternatively, the calibration data can be defined as table values (in a look-up table). A calibration curve can be read by interpolating the table values. The inventors have recognized that with the present invention, information about the type of gas present in the common measurement volume can be obtained in a simple manner. As will be discussed further below, this information can be used to improve the accuracy of pressure measurements based on the measurement signals of the pressure sensors. However, this gas type information is valuable in and of itself. This is because the group of pressure sensors, when operated according to the method according to the invention, can at least partially assume the task of a residual gas analyzer in a surprisingly simple manner.

Die Liste von Gasarten kann eine Liste von reinen chemischen Substanzen, wie z . B . Stickstof f (N2 ) , Sauerstof f (O2 ) , Helium (He ) , Argon (Ar ) , Xenon (Xe ) , Kohlendioxid (CO2 ) , Wasserdampf (H2O) , etc . sein . Die Liste von Gasarten kann aber auch eine Liste von Gasgemischen umfassen . Beispielsweise können unterschiedliche Mischungsverhältnisse derselben Gase separate Einträge in der Liste mit j e eigenen Kalibrierungsdaten haben . Eine solche Liste kann beispielsweise Einträge für 100% N2 , 90% N2 + 10% Ar, 80% N2 + 20% Ar, etc . umfassen . Je nach Empfindlichkeit der Kalibrierungsdaten auf die Gaskonzentrationen können auch 5%- , 2 %- , 1 %-Schritte etc . vorgesehen sein, um Kalibrierungsdaten bereitzustellen, welche die Gasartabhängigkeit ausreichend genau beschreiben . Die Liste von Gasarten kann Gruppen verschiedener chemischer Substanzen zu einem Listeneintrag zusammenfassen . Beispielsweise im Fall eines Pirani-Sensors können die Kalibrierungsdaten für Luft , Stickstof f und Sauerstof f gemeinsam behandelt werden . Beispielsweise kann die Liste von Gasarten auch durch eine Liste von Molekulargewichten definiert sein . Dabei werden chemische Substanzen mit demselben Molekulargewicht in einem einzigen Listeneintrag erfasst . The list of gas species can be a list of pure chemical substances, such as e.g. B. Nitrogen (N2 ) , Oxygen (O2 ) , Helium (He ) , Argon (Ar ) , Xenon (Xe ) , Carbon dioxide (CO2 ) , Water vapor (H2O) , etc . be . However, the list of gas types can also include a list of gas mixtures. For example, different mixing ratios of the same gases can have separate entries in the list, each with its own calibration data. Such a list can, for example, contain entries for 100% N2, 90% N2 + 10% Ar, 80% N2 + 20% Ar, etc. include . Depending on the sensitivity of the calibration data to the gas concentrations, 5%, 2%, 1% steps etc. can also be used. be provided to provide calibration data that describe the gas type dependency sufficiently accurate. The list of gas types can combine groups of different chemical substances into one list entry. For example, in the case of a Pirani sensor, the calibration data for air, nitrogen, and Oxygen f are treated together. For example, the list of gas types can also be defined by a list of molecular weights. Chemical substances with the same molecular weight are recorded in a single list entry.

Im Sinne der vorliegenden Erfindung soll unter dem Begri f f Liste von Gasarten auch eine verallgemeinerte Form einer Liste verstanden werden, bei welcher die Listeneinträge nicht anhand einer endlichen Anzahl von Listenindi zes , sondern durch einen kontinuierlich verlaufenden Parameter bestimmt sind . Dieser Parameter kann beispielsweise ein Mischungsverhältnis von Gasen sein . Dieser Parameter kann als weiteres Beispiel ein mittleres Molekulargewicht sein . In diesem Fall sind über eine mathematische Formel oder über eine Interpolation von Tabellenwerten für j eden Wert des Parameters erste und zweite Kalibrierungsdaten in Funktion dieses kontinuierlichen Parameters definiert . For the purposes of the present invention, the term list of gas types should also be understood as a generalized form of a list in which the list entries are not determined on the basis of a finite number of list indices but rather by a continuously running parameter. This parameter can be a mixture ratio of gases, for example. As another example, this parameter can be an average molecular weight. In this case, first and second calibration data are defined as a function of this continuous parameter via a mathematical formula or via an interpolation of table values for each value of the parameter.

Diese verallgemeinerte Form einer Liste von Gasarten spielt namentlich bei noch zu erwähnenden, auf Ausgleichsverfahren ("best fit" ) beruhenden Varianten des erfindungsgemässen Verfahrens eine Rolle . This generalized form of a list of gas types plays a role in particular in the case of variants of the method according to the invention which are based on equalization methods ("best fit") and are yet to be mentioned.

Die Kalibrierungsdaten können beispielsweise gemessene Daten sein . Die Kalibrierungsdaten können alternativ auch durch theoretische Eigenschaften des Drucksensors abgeleitet sein . Die Kalibrierungsdaten können beispielsweise auf einer Computersimulation, insbesondere unter Berücks ichtigung der geometrischen Formen und Abmessungen des j eweiligen Drucksensors , basiert sein . Aus führungs formen des Verfahrens ergeben sich aus den Merkmalen der abhängigen Ansprüche 2 bis 11 . The calibration data can be measured data, for example. Alternatively, the calibration data can also be derived from theoretical properties of the pressure sensor. The calibration data can be based, for example, on a computer simulation, in particular taking into account the geometric shapes and dimensions of the respective pressure sensor. Embodiments of the method result from the features of dependent claims 2 to 11.

Eine Variante des Verfahrens umfasst den zusätzlichen Schritt d) Bestimmen eines Resultat-Drucks in Funktion des erfassten ersten Messwerts und der ersten Kalibrierungsdaten für die Resultat-Gasart und/oder in Funktion des erfassten zweiten Messwerts und der zweiten Kalibrierungsdaten für die Resultat-Gasart . A variant of the method includes the additional step d) determining a result pressure as a function of the detected first measured value and the first calibration data for the result gas type and/or as a function of the detected second measured value and the second calibration data for the result gas type.

Die Erf inder haben erkannt , dass , basierend auf der zuvor ermittelten Information über den vorhandenen Gastyp, eine hohe Messgenauigkeit über den gesamten Druckmessbereich erreicht werden, der als zusammengesetzter Druckmessbereich mindestens zweier Drucksensoren der Gruppe entsteht . Die Unsicherheit des ermittelten Drucks die aus dem mangelnden Wissen über die im Messvolumen vorhandene Gasart entsteht , wird in dieser Variante des Verfahrens verkleinert oder verschwindet idealweise sogar ganz . In dieser Variante wird also zusätzlich ein gasartunabhängiger Resultat-Druck bestimmt . The inventors have recognized that, based on the previously determined information about the type of gas present, a high level of measurement accuracy can be achieved over the entire pressure measurement range, which is created as a composite pressure measurement range of at least two pressure sensors in the group. The uncertainty of the determined pressure, which arises from the lack of knowledge about the type of gas present in the measuring volume, is reduced in this variant of the method or ideally even disappears completely. In this variant, a result pressure that is independent of the type of gas is also determined.

In einer Variante des Verfahrens sind der erste und der zweite Drucksensor Vakuumdrucksensoren . In a variant of the method, the first and second pressure sensors are vacuum pressure sensors.

Vakuumdrucksensoren profitieren besonders stark von der erfindungsgemässen Methode , denn j e niedriger ein zu messender Druck ist , desto eher muss auf eine indirekte Druckmessmethode zugegri f fen werden, welche eine Gasartabhängigkeit zeigt . In einer Variante des Verfahrens ist der erste Drucksensor ein Pirani-Sensor . Vacuum pressure sensors benefit particularly greatly from the method according to the invention, because the lower the pressure to be measured, the more likely it is that an indirect pressure measurement method must be used, which shows a gas type dependency. In a variant of the method, the first pressure sensor is a Pirani sensor.

Pirani-Sensoren haben eine typische Gasartabhängigkeit , welche z . B . bei einem auf Stickstof f als Referenzgas kalibrierten Sensor für beispielsweise für Wasserdampf einen um einen Faktor 2 zu hohen Messwert anzeigt und beispielsweise für das Edelgas Xenon einen um einen Faktor 3 zu niedrigen Messwert anzeigt . Ohne das erfindungsgemässe Verfahren ist dies ein Quelle grosser Messunsicherheit . Im Zusammenhang mit dem erfindungsgemässen Verfahren wird diese Gasartabhängigkeit zu einer nützlichen Informationsquelle . Pirani sensors have a typical gas type dependency, which z. B. in the case of a sensor calibrated to nitrogen as the reference gas, the measured value for water vapor, for example, is too high by a factor of 2 and, for example, the measured value for the inert gas xenon shows a measured value that is too low by a factor of 3. Without the method according to the invention, this is a source of great measurement uncertainty. In connection with the method according to the invention, this dependence on the type of gas becomes a useful source of information.

In einer Variante des Verfahrens ist der zweite Drucksensor ein Heisskathoden- Ionisationsvakuummeter . Insbesondere kommt eine Heisskathoden- Ionisationsvakuummeter des Bayard- Alpert Typs in Frage . Für dieses Messprinzip zeigt ein auf Stickstof f geeichter Sensor bei Wasserstof f einen um den Faktor 2 . 4 zu tiefen Druck, während er im Fall von Xenon einen 2 . 5 mal zu hohen Druck ausgibt . In a variant of the method, the second pressure sensor is a hot cathode ionization vacuum gauge. A hot cathode ionization vacuum gauge of the Bayard-Alpert type is particularly suitable. For this measuring principle, a sensor calibrated for nitrogen shows a factor of 2 for hydrogen. 4 too deep pressure, while in the case of xenon it has a 2 . 5 times too high pressure outputs .

Diese Variante kann insbesondere mit einer Variante kombiniert werden, welche als ersten Drucksensor einen Pirani-Sensor verwendet . Die gänzlich verschiedenen Druckmessprinzipien der beiden Sensoren ergänzt sich ideal , da sich ihre Gasartabhängigkeiten stark unterscheiden . Eine Aenderung der Gasart im gemeinsamen Messvolumen mani festiert sich in ausgeprägter Weise in einer Abweichung der beiden ausgegebenen Drucke von z . B . auf N2 kalibrierten Pirani- und Heisskathoden Sensor . Im Falle von Xenon etwa zeigt ein auf N2 geeichter Piranisensor einen um den Faktor 3 zu tiefen Wert an, während der auf N2 geeichte Heisskathodensensor einen um den Faktor 2 . 5 zu hohen Wert ausgibt . This variant can in particular be combined with a variant which uses a Pirani sensor as the first pressure sensor. The completely different pressure measurement principles of the two sensors complement each other perfectly, since their gas type dependencies are very different. A change in the type of gas in the common measuring volume manifests itself in a pronounced way in a deviation of the two pressures that are output from z. B. calibrated to N2 Pirani and hot cathode sensors. In the case of xenon, for example, a Pirani sensor calibrated for N2 shows a value that is 3 times too low, while the hot cathode sensor calibrated for N2 shows a value that is 2 times too low. 5 outputs a value that is too high.

In einer Variante des Verfahrens ist der zweite Drucksensor ein Kaltkathoden- Ionisationsvakuummeter . Das Kaltkathoden- lonisationsvakuummeter kann dabei insbesondere ein invertiertes Magnetron sein . In a variant of the method, the second pressure sensor is a cold cathode ionization vacuum gauge. The cold cathode ionization vacuum gauge can in particular be an inverted magnetron.

Auch diese Variante funktioniert gut zusammen mit einem Pirani-Sensor als erstem Drucksensor . This variant also works well together with a Pirani sensor as the first pressure sensor.

In einer Variante des Verfahrens sind die ersten und zweiten gasartspezi fischen Kalibrierungsdaten j e durch einen ersten resp . zweiten Faktor definiert , mit dem das erste Mess-Signal respektive das zweite Mess-Signal zu multipli zieren ist , um den ef fektiven Druck zu erhalten .In a variant of the method, the first and second gas type-specific calibration data are j e by a first resp. second factor defined by which the first measurement signal or the second measurement signal is to be multiplied in order to obtain the effective pressure.

Es gilt also beispielsweise für das Mess-Signal pi des ersten Sensors und das i ' te Gas Gi die Formel für den ef fektiven Druck The formula for the effective pressure therefore applies, for example, to the measurement signal pi of the first sensor and the i'th gas Gi

Peff = C i [ Gi ] P i und für das Mess-Signal p2 zweiten Sensors Peff = C i [ Gi ] P i and for the measurement signal p2 of the second sensor

Peff = C2 [ Gi ] P2 • Peff = C2 [ Gi ] P2 •

Eine Tabelle mit konkreten Faktoren für eine Liste von Gasarten und für die Drucksensortypen Pirani undA table of specific factors for a list of gas types and for pressure sensor types Pirani and

Kaltkathode ist weiter unten angegeben . In einer Variante des Verfahrens wird eine Liste von Quotienten gebildet, indem zu jeder Gasart aus der Liste ein Quotient aus dem ersten Faktor für die jeweilige Gasart und dem zweiten Faktor für die jeweilige Gasart gebildet wird, wobei ein erfasster Quotient als Quotient des erfassten ersten Messwerts und des erfassten zweiten Messwerts gebildet wird, und wobei im Schritt c) "Bestimmen einer Resultat-Gasart" bestimmt wird, welchem der Quotienten aus der Liste von Quotienten der erfasste Quotient am nächsten kommt. Cold cathode is given below. In a variant of the method, a list of quotients is formed by forming a quotient from the first factor for the respective gas type and the second factor for the respective gas type for each gas type from the list, with a recorded quotient being the quotient of the recorded first measured value and the detected second measured value is formed, and in step c) "determining a result gas type" it is determined to which of the quotients from the list of quotients the detected quotient comes closest.

Das heisst eine Liste von Quotienten Q[G±] ist definiert als Q[G±] = Ci[Gi] / C2 [GI] oder als dessen Kehrwert, für jedes i aus der Liste von Gasarten Gi . That is, a list of quotients Q[G±] is defined as Q[G±] = Ci[Gi] / C2[GI] or its reciprocal, for each i from the list of gas species Gi .

Der erfasste Quotient wird berechnet aus den erfassten Messwerten pi (des ersten Drucksensors) und p2 (des zweiten Drucksensors) als Q = pi / P2. The recorded quotient is calculated from the recorded measured values pi (of the first pressure sensor) and p2 (of the second pressure sensor) as Q=pi/P2.

Als Q* wird derjenige Quotient aus der Liste Q[G±] bestimmt, welcher am nächsten an Q liegt. Die zughörigeThe quotient from the list Q[G±] which is closest to Q is determined as Q*. The related

Gasart ist dann die Resultat-Gasart G* . Gas type is then the result gas type G* .

In einer Variante des Verfahrens wird im Schritt c) "Bestimmen einer Resultat-Gasart" zu jedem Gas aus der Liste der Gase ausgehend vom erfassten ersten Messwert basierend auf den ersten und zweiten gasartspezifischen Kalibrierungsdaten ermittelt, was für ein Wert für das zweite Mess-Signal erwartet wird, falls dieses Gas im gemeinsamen Messvolumen vorliegen würde. Die kleinste Abweichung dieses Werts vom erfassten zweiten Messwert wird als Kriterium für das Bestimmen der Resultat-Gasart verwendet . In a variant of the method, in step c) "determining a result gas type" for each gas from the list of gases, starting from the recorded first measured value based on the first and second gas-type-specific calibration data, it is determined what kind of value the second measurement signal is is expected if this gas were to be present in the common measurement volume. The smallest Deviation of this value from the recorded second measured value is used as a criterion for determining the result gas type.

Bei dieser Varianten kann beispielsweise aus einer endlichen Liste von Gasarten ausgewählt werden . Diese Variante eignet sich auch für die oben erwähnte verallgemeinerte Form einer Liste von Gasarten . Durch das Kriterium kleinste Abweichung des aus den Kalibrierungsdaten prognosti zierten Werts für das zweite Mess-Signal vom erfassten zweiten Messwert ergibt sich die beste Wahl für den kontinuierlichen Parameter der Liste von Gasarten, also beispielsweise für den Wert eines Mischungsverhältnisses oder ein mittleres Molekulargewicht . Diese Wahl des kontinuierlichen Parameters definiert die Resultat-Gasart . With this variant, a selection can be made from a finite list of gas types, for example. This variant also lends itself to the generalized form of a list of gas species mentioned above. The criterion of the smallest deviation of the value predicted from the calibration data for the second measurement signal from the recorded second measured value results in the best choice for the continuous parameter in the list of gas types, i.e. for the value of a mixing ratio or an average molecular weight, for example. This choice of continuous parameter defines the result gas type.

In einer Variante des Verfahrens werden bei sich bei änderndem Druck im gemeinsamen Messvolumen eine Mehrzahl von Paaren aus j e einem ersten Messwert des ersten Drucksensors und einem zweiten Messwert des zweiten Drucksensors erfasst werden, wobei beim Bestimmen der Resultat-Gasart diej enige Gasart gewählt wird, welche am besten zur Kombination der erfassten Mehrzahl von Paaren passt . In a variant of the method, when the pressure in the common measurement volume changes, a plurality of pairs each consisting of a first measured value of the first pressure sensor and a second measured value of the second pressure sensor are recorded, with the gas type being selected when determining the resulting gas type best matches the combination of the detected plurality of pairs.

Diese Variante des Verfahrens ist besonderes dann von Nutzen, wenn sich die Kalibrierungskurven unterschiedlicher Gase in ihrer Abhängigkeit vom ef fektiven Druck z . B . durch unterschiedliche Steigungen oder Krümmungen unterscheiden, welche allein mit einer Messung bei einem einzigen Druckwert nicht beobachtbar sind . Die Bedingung, dass sich der Druck im gemeinsamen Messvolumen ändert kann aktiv beispielsweise dadurch erreicht werden, dass eine Pumpe eingeschaltet wird oder ein Ventil zum Einlassen eines Gases ins gemeinsame Messvolumen geöf fnet wird . Die Bedingung sich ändernder Druck kann aber alternativ auch erreicht werden durch kontinuierliches Beobachten z . B . eines Mess-Signals eines der Drucksensoren und Starten des Verfahrens , sobald eine ausreichend schnelle Druckänderungsrate beobachtet wird . Auf diese Weise können Messdaten aus einem genügend grossen Druckbereich erhoben werden, in dem sich die unterschiedlichen Verläufe von gasabhängigen Kalibrierungskurven in unterscheidbaren Messresultaten niederschlagen . This variant of the method is particularly useful when the calibration curves of different gases differ in their dependence on the effective pressure z. B. differ by different slopes or curvatures, which alone with a measurement at a single pressure value are not observable. The condition that the pressure in the common measurement volume changes can be actively achieved, for example, by switching on a pump or opening a valve for admitting a gas into the common measurement volume. Alternatively, the condition of changing pressure can also be achieved by continuously observing e.g. B. a measurement signal from one of the pressure sensors and starting the method as soon as a sufficiently rapid pressure change rate is observed. In this way, measurement data can be collected from a sufficiently large pressure range in which the different courses of gas-dependent calibration curves are reflected in distinguishable measurement results.

Auch in dieser Varianten kann mit einer Liste von Gasarten gearbeitet werden, bei welcher die Listeneinträge durch einen kontinuierlichen Parameter definiert sind . Dies kann die Genauigkeit des ermittelten Drucks noch weiter erhöhen, da nicht auf das am besten passende Gas aus einer Tabelle "gerundet" werden muss . Die Anpassung eines kontinuierlichen Parameters kann die ef fektiv im Messvolumen vorliegende Situation aus Gasgemischen besser abbilden . A list of gas types can also be used in this variant, in which the list entries are defined by a continuous parameter. This can increase the accuracy of the determined pressure even further, since there is no need to "round" to the best-fitting gas from a table. The adaptation of a continuous parameter can better reflect the actual situation of gas mixtures in the measurement volume.

In einer Variante des Verfahrens wird anhand des erfassten ersten Messwerts , anhand des erfassten zweiten Messwerts oder anhand des Resultat-Drucks überprüft , ob der im gemeinsamen Mess-Volumen vorliegende Druck im Überlapp- Druckmessbereich liegt und es werden der Resultat-Druck und/oder die Resultat-Gasart als ungültig verworfen, wenn dies nicht der Fall ist . In a variant of the method, the detected first measured value, the detected second measured value or the result pressure is used to check whether the pressure in the common measurement volume is in the overlap pressure measurement range and the result pressure and/or the result gas type is discarded as invalid if this is not the case.

Falls der ef fektive Druck im gemeinsamen Messvolumen nicht einem Druck entspricht , der im Druckmes sbereich beider Drucksensoren liegt , die für die Schritte des Verfahrens verwendet werden, so wird die ermittelte Resultat-Gasart und gegebenenfalls der Resultat-Druck nicht eine sinnvolle sein . Ob die vorgenannte Bedingung erfüllt ist , stellt sich möglicherweise erst dann heraus , wenn einige Schritte des Verfahrens schon ausgeführt sind . Die vorliegende Variante des Verfahrens sorgt auf einfache Weise für eine Qualitätssicherung . If the effective pressure in the common measuring volume does not correspond to a pressure that is in the pressure measuring range of both pressure sensors that are used for the steps of the method, the determined result gas type and possibly the result pressure will not be meaningful. Whether or not the above condition is met may not become apparent until some steps of the method have already been carried out. The present variant of the method ensures quality assurance in a simple manner.

Weiter betri f ft die Erfindung auch eine Vorrichtung nach Anspruch 12 . Es handelt sich um eine Vorrichtung zur Durchführung des erfindungsgemässen Verfahrens . The invention also relates to a device according to claim 12 . It is a device for carrying out the method according to the invention.

Die Vorrichtung umfasst eine Gruppe von Drucksensoren, welche derart angeordnet sind, dass sie den Druck in einem gemeinsamen Messvolumen messen können . Die Gruppe von Drucksensoren umfasst mindestens einen ersten Drucksensor mit einem ersten Druckmessbereich und einen zweiten Drucksensor mit einem zweiten Druckmessbereich, wobei der erste und der zweite Druckmessbereich in einem Überlapp- Druckmessbereich überlappen . Der erste Drucksensor beruht auf einem ersten indirekten Druckmessprinzip und der zweite Drucksensor beruht auf einem zweiten indirekten Druckmessprinzip . Die Vorrichtung umfasst weiter Mittel zur Speicherung von ersten Kalibrierungsdaten und von zweiten Kalibrierungsdaten . Eine Aus führungs form der Vorrichtung umfasst weiter eine Steuereinheit , die mit einem ersten Mess-Signal-Ausgang des ersten Drucksensors , mit einem zweiten Mess-Signal-Ausgang des zweiten Drucksensors und mit den Mitteln zur Speicherung von ersten Kalibrierungsdaten und von zweiten Kalibrierungsdaten wirkverbunden ist zur Verarbeitung der Mess-Signale der Drucksensoren . Die Vorrichtung ist weiter eingerichtet zur Ausgabe der Resultat-Gasart und/oder des Resultat-Drucks . The device includes a group of pressure sensors which are arranged in such a way that they can measure the pressure in a common measuring volume. The group of pressure sensors includes at least a first pressure sensor with a first pressure measurement range and a second pressure sensor with a second pressure measurement range, the first and the second pressure measurement range overlapping in an overlap pressure measurement range. The first pressure sensor is based on a first indirect pressure measurement principle and the second pressure sensor is based on a second indirect pressure measurement principle. The device also includes means for storing first calibration data and second calibration data. An embodiment of the device further comprises a control unit which is operatively connected to a first measurement signal output of the first pressure sensor, to a second measurement signal output of the second pressure sensor and to the means for storing first calibration data and second calibration data for processing the measurement signals from the pressure sensors . The device is also set up to output the result gas type and/or the result pressure.

Die Resultat-Gasart kann in dieser Aus führungs form ein internes Resultat bleiben und es kann beispielsweise nur der Resultat-Druck über eine Schnittstelle ausgegeben werden . Damit kann sich die Vorrichtung von aussen betrachtet verhalten wie ein einziger Drucksensor, welcher unabhängig von der Gasart im Messvolumen ein genaues Messresultat für den Druck liefert . In this embodiment, the result gas type can remain an internal result and, for example, only the result pressure can be output via an interface. Viewed from the outside, the device can thus behave like a single pressure sensor, which supplies an exact measurement result for the pressure independently of the type of gas in the measurement volume.

Weiter im Rahmen der Erfindung liegt ein Computerprogramm- Produkt gemäss Anspruch 14 . Das Computerprogramm-Produkt umfasst Befehle , die bei der Aus führung der Befehle durch eine Steuereinheit einer erfindungsgemässen Vorrichtung die Steuereinheit dazu veranlassen, die Schritte des erfindungsgemässen Verfahrens respektive einer der Varianten des Verfahrens durchzuführen . A computer program product according to claim 14 is also within the scope of the invention. The computer program product includes commands which, when the commands are executed by a control unit of a device according to the invention, cause the control unit to carry out the steps of the method according to the invention or one of the variants of the method.

Im Folgenden wird ein Beispiel anhand einer Gruppe von Drucksensoren mit einem Pirani-Sensor als erstem Drucksensor (Kalibrierungsdaten in Form des Faktors CI) und mit einem Heisskathoden-IonisationsvakuummeterThe following is an example using a group of pressure sensors with a Pirani sensor as the first pressure sensor (calibration data in the form of the CI factor) and with a hot cathode ionization vacuum gauge

(Kalibrierungsdaten in Form des Faktors C2 ) als zweitem Drucksensor mit konkreter Kalibrierungsdaten, welche in diesem Fall als Faktoren vorliegen, erläutert. (Calibration data in the form of the factor C2) as the second pressure sensor with concrete calibration data, which in this case are present as factors.

Es gilt im Druckbereich von 5*10E-2 bis 5*E-4 mbar in guterIt applies in the pressure range from 5*10E-2 to 5*E-4 mbar in good

Näherung p_eff = Ci[G±] * pi für Drucksensor 1 und p_eff = C₂[Gi] * p2 für Drucksensor 2, wobei entsprechend dem Gas Gi die jeweilige Zeile der untenstehenden Tabelle zu abzulesen ist. Dieser Druckbereich liegt auch im Überlapp-Druckmessbereich der beiden Drucksensoren. Die Tabelle gilt für Stickstoff N2 als Referenzgas, sodass für Stickstoff der gasartabhängige Faktor 1 ist. Luft (air) und Sauerstoff (02) verhalten sich für die hier gewählten Sensoren praktisch identisch wie das Referenzgas N2 und sind deshalb in einer Zeile der Tabelle auf gelistet .

Approximation p _e ff = Ci[G±] * pi for pressure sensor 1 and p _e ff = C ₂ [Gi] * p2 for pressure sensor 2, whereby the respective line of the table below can be read according to the gas Gi. This pressure range is also in the overlapping pressure measurement range of the two pressure sensors. The table applies to nitrogen N2 as the reference gas, so that the gas type-dependent factor is 1 for nitrogen. For the sensors selected here, air (air) and oxygen (02) behave practically identically to the reference gas N2 and are therefore listed in one line of the table.

Liegt nun der effektive Druck p_eff im gemeinsamen Messvolumen der beiden Drucksensoren im Gültigkeitsbereich der Kalibration durch je einen gasabhängigen Faktor gemäss Tabelle, so liefert der erste Drucksensor den Messwert pi = p_eff / Ci und der zweite Drucksensor liefert den Messwert p2 = Peff / C2. Der Quotient der beiden Messwerte beträgt alsoIf the effective pressure p _e ff in the common measuring volume of the two pressure sensors is within the validity range of the calibration by a gas-dependent factor according to the table, the first pressure sensor supplies the measured value pi = p _e ff / Ci and the second pressure sensor supplies the measured value p2 = Peff / C2. The quotient of the two measured values is therefore

Pl/P2 = (C2 * Peff) / (Ci * Peff) = C2/C1 , unabhängig davon, was der exakte Werte von p_eff ist. Der Überlapp-Druckmessbereich resp. Gültigkeitsbereich der Näherung erstreckt sich in diesem Beispiel über zwei Dekaden . Pl/P2 = (C2 * Peff) / (Ci * Peff) = C2/C1 , regardless of what the exact value of p _e ff is. The overlap pressure measurement range resp. In this example, the validity of the approximation extends over two decades.

Ermittelt man also beispielsweise für den Quotienten pi/p2 einen Wert von über 7, so passt innerhalb der Liste der Gase in der obigen Tabelle das Gas Helium (He) am besten (Tabellenwert für Q[He] = 7.38) , während der am zweitbesten passende Wert (Q[H2] = 4.80) bereits relativ weit weg liegt. Im Schritt c) des erfindungsgemässen Verfahrens würde in diesem Fall also Helium als Resultat-Gasart bestimmt. Im Schritt d) der Variante des Verfahrens kann nun mit den Faktoren zum Gas Helium, also der Resultat- Gasart, der Resultat Druck p* bestimmt werden, z.B. durch die Formel p* = Ci[He] * pi = 0.8 * pi . If, for example, a value of more than 7 is determined for the quotient pi/p2, the gas helium (He) fits best within the list of gases in the table above (table value for Q[He] = 7.38) , while the second best suitable value (Q[H2] = 4.80) is already relatively far away. In step c) of the method according to the invention, helium would be determined as the result gas type in this case. In step d) of the variant of the method, the result pressure p* can now be determined with the factors for the gas helium, ie the result gas type, eg by the formula p* = Ci[He] * pi = 0.8 * pi .

Alternativ kann die Formel p* = C2[He] * P2 = 5.9 * p2 angewendet werden, oder es kann ein Mittelwert basierend auf Messwerten beider Drucksensoren beispielsweise als p* = (Ci[HeJ * pi + C₂[He] * p₂) /2 bestimmt werden. Alternatively, the formula p* = C2[He] * P2 = 5.9 * p2 can be applied, or an average based on readings from both pressure sensors can be given, for example, as p* = (Ci[HeJ * pi + C ₂ [He] * p ₂ ) /2 can be determined.

Ausführungsbeispiele der vorliegenden Erfindung werden nachstehend anhand von Figuren noch näher erläutert. Es zeigen Exemplary embodiments of the present invention are explained in more detail below with reference to figures. Show it

Fig. 1 schematisch eine Vorrichtung zur Durchführung des Verfahrens; 1 schematically shows a device for carrying out the method;

Fig. 2 ein Flussdiagramm des erfindungsgemässen Verfahrens ; FIG. 2 shows a flow chart of the method according to the invention; FIG.

Fig. 3 schematisch mögliche relative Lagen von erstem und zweitem Druckmessbereich und resultierendem Überlapp-Druckmessbereich; 3 schematically shows possible relative positions of the first and second pressure measurement area and the resulting overlap pressure measurement area;

Fig. 4 zeigt in einer doppelt-logarithmischen Darstellung die Abhängigkeit eines mittels Pirani- Sensors bestimmten Drucks von der Gasart; 4 shows, in a double-logarithmic representation, the dependency of a pressure determined by means of a Pirani sensor on the type of gas;

Fig. 5 zeigt schematisch erste und zweite gasabhängige Kalibrie rungs kurven . 5 schematically shows first and second gas-dependent calibration curves.

In Figur 1 ist schematisch eine beispielhafte Vorrichtung 10 zur Durchführung des Verfahrens gezeigt. Die Vorrichtung umfasst eine Gruppe 1 von Drucksensoren, mit mindestens einem ersten Drucksensor 1 ' und einem zweiten Drucksensor 1 ' ' , welche Drücke in einem gemeinsamen Messvolumen 2 messen können . Das Messvolumen 2 kann insbesondere ein Teilvolumen einer Vakuumkammer sein, wie schematisch durch den strichpunktiert umrandeten Bereich angedeutet ist . Der erste Drucksensor 1 ' ist dazu eingerichtet , ein erstes Mess-Signal pi aus einem ersten Mess-Signal-Ausgang 3 ' an eine Steuereinheit 12 weiterzuleiten . Der zweite Drucksensor 1 ' ' ist dazu eingerichtet ein zweites Mess- Signal p2 aus einem zweiten Mess-Signal-Ausgang 3 ' ' an die Steuereinheit 12 weiterzuleiten . Die mit gestrichelten Linien eingezeichneten Wirkverbindungen können beispielsweise drahtgebunden umgesetzt sein, sie können beispielsweise auch über Funksignale (Bluetooth, etc . ) oder optische Signalübertragung verwirklicht sein . Gestrichelt gezeichnete Pfeile zeigen den Informations fluss zwischen den Elementen der Vorrichtung . Die Vorrichtung umfasst Mittel 5 zur Speicherung von gasabhängigen Kalibrierungsdaten, welche an die Steuereinheit übermittelt werden können . Eine Resultat-Gasart G* und ein Resultat- Druck p* können von der Steuereinheit ausgegeben werden .FIG. 1 shows an exemplary device 10 for carrying out the method. The device includes a group 1 of pressure sensors, with at least a first pressure sensor 1 'and a second pressure sensor 1'', which can measure pressures in a common measurement volume 2. The measuring volume 2 can in particular be a partial volume of a vacuum chamber, as indicated schematically by the area surrounded by a dot-dash line. The first pressure sensor 1' is set up to forward a first measurement signal pi from a first measurement signal output 3' to a control unit 12. The second pressure sensor 1'' is set up to forward a second measurement signal p2 from a second measurement signal output 3'' to the control unit 12. The operative connections drawn in with dashed lines can, for example, be wired; they can also be implemented, for example, via radio signals (Bluetooth, etc.) or optical signal transmission. Dashed arrows show the flow of information between the elements of the device. The device includes means 5 for storing gas-dependent calibration data, which can be transmitted to the control unit. A result gas type G* and a result pressure p* can be output by the control unit.

Die Teile der gezeigten Vorrichtung oder die komplette Vorrichtung kann in einem gemeinsamen Gehäuse eingebaut sein . Insbesondere kann die Gruppe der Drucksensoren und die Steuereinheit in einem gemeinsamen Gehäuse zu einer Drucksensor-Einheit kombiniert sein . Zusätzlich kann gegebenenfalls ein Mittel zur Speicherung der Kalibrierungsdaten im gemeinsamen Gehäuse untergebracht sein . In Figur 2 ist ein Flussdiagramm des erfindungsgemässen Verfahrens 100 gezeigt . Das Verfahren umfasst die Schritte a) Bereitstellen 101 von gasartspezi fischen ersten Kalibrierungsdaten Ki [Gi ] für das erste Mess-Signal und von gasartspezi fischen zweiten Kalibrierungsdaten K2 [ GI ] für das zweite Mess-Signal , wobei die ersten und zweiten Kalibrierungsdaten eine Abhängigkeit des ersten respektive zweiten Mess-Signals vom ef fektiven Drucks p_eff und von einer Gasart im gemeinsamen Messvolumen für eine Liste von Gasarten umfassend mindestens eine erste Gasart Gi, die verschieden ist vom Referenzgas , beschreiben; b) im Wesentlichen gleichzeitiges Erfassen 102 eines ersten Messwerts pi des ersten Mess-Signals und Erfassen eines zweiten Messwerts p2 des zweiten Mess-Signals im Überlapp- Druckmessbereich ; c) Bestimmen 103 einer Resultat-Gasart G* als diej enige Gasart in der Liste von Gasarten, welche unter Berücksichtigung der ersten und zweiten Kalibrierungsdaten am besten zur Kombination des erfassten ersten Messwerts pi und des erfassten zweiten Messwerts passt p2 . The parts of the device shown or the complete device can be installed in a common housing. In particular, the group of pressure sensors and the control unit can be combined in a common housing to form a pressure sensor unit. In addition, if necessary, a means for storing the calibration data can be accommodated in the common housing. FIG. 2 shows a flow chart of the method 100 according to the invention. The method comprises the steps a) providing 101 gas-type-specific first calibration data Ki [Gi] for the first measurement signal and gas-type-specific second calibration data K2 [GI] for the second measurement signal, the first and second calibration data being dependent on the describe the first or second measurement signal from the effective pressure peak _and from a gas type in the common measurement volume for a list of gas types comprising at least one first gas type Gi, which is different from the reference gas; b) essentially simultaneously detecting 102 a first measured value pi of the first measured signal and detecting a second measured value p2 of the second measured signal in the overlapping pressure measuring range; c) determining 103 a result gas type G* as that gas type in the list of gas types which, taking into account the first and second calibration data, best matches the combination of the detected first measured value pi and the detected second measured value p2.

Die Schritte 101 , 102 und 103 werden sequenziell durchgeführt , wobei vor dem Beginn ( START ) des Verfahrens bereits die notwendigen Kalibrierungsdaten zur Verfügung gestellt sind . Am Ende (ENDE ) des Verfahrens ist das Resultat-Gas G* bekannt . Steps 101, 102 and 103 are carried out sequentially, with the necessary calibration data already being made available before the start (START) of the method. At the end (END) of the method, the result gas G* is known.

Durch ein gestrichelt eingezeichnetes Rechteck wird der optionale Schritt d) dargestellt , welcher, wenn zusätzlich ausgeführt, zu einer Variante des Verfahrens führt, welche ausserdem einen Resultat-Druck als Ausgabe liefert. Mit diesem zusätzlichen Schritt ist am Ende des Verfahrens auch der Resultat-Druck p* bekannt. The optional step d) is represented by a dashed rectangle, which, if additional carried out, leads to a variant of the method, which also provides a result printout as an output. With this additional step, the resulting pressure p* is also known at the end of the process.

Bei dem zusätzlichen Schritt d) handelt es sich um ein Bestimmen 104 eines Resultat-Drucks p* in Funktion des erfassten ersten Messwerts pi und der ersten Kalibrierungsdaten für die Resultat-Gasart und/oder in Funktion des erfassten zweiten Messwerts p2 und der zweiten Kalibrierungsdaten für die Resultat-Gasart. Auf Basis der aus Schritt c) bekannten Resultat-Gasart dient also der entsprechende Satz von Kalibrationsdaten dazu, die Messwerte der Drucksensoren in den gasartunabhängigen effektiven Druck zu übersetzen. The additional step d) involves determining 104 a result pressure p* as a function of the recorded first measured value pi and the first calibration data for the result gas type and/or as a function of the recorded second measured value p2 and the second calibration data for the result gas type. On the basis of the result gas type known from step c), the corresponding set of calibration data is used to convert the measured values of the pressure sensors into the gas type-independent effective pressure.

Figur 3 zeigen in Fig. 3.a) und in Fig. 3.b) schematisch zwei Möglichkeiten der relativen Lage von erstem 4' und zweitem 4' ' Druck-Messbereich des ersten 1' resp. zweiten 1' ' Drucksensors der Gruppe von Drucksensoren auf einer Druck-Achse p. Die Druck-Achse p ist hier schematisch zu verstehen, es könnte sich beispielsweise um eine lineare Achse oder auch um eine logarithmische Achse handeln. Hohe Drücke sind auf der Achse weiter oben eingezeichnet als niedrigere Drücke. Ein Überlapp-Druck-Messbereich 6 existiert, in welchem der erste 4' und der zweite 4' ' Druck-Messbereich überlappen. Das Auslesen des ersten und zweiten Mess-Signals im Schritt a) des Verfahrens findet statt, während der Druck im gemeinsamen Messvolumen in diesem Überlapp-Druck-Messbereich 6 liegt. In Fig. 3.b) ist der Fall gezeigt, in welchem der zweite Druck-Messbereich 4' ' komplett innerhalb des ersten Druck-Messbereichs 4' liegt, sodass der Überlapp-Druckmessbereich identisch mit dem zweiten Druck-Messbereich 4' ist. FIG. 3 shows in FIG. 3.a) and in FIG. second 1'' pressure sensor of the group of pressure sensors on a pressure axis p. The pressure axis p is to be understood schematically here; it could be a linear axis or a logarithmic axis, for example. High pressures are plotted higher on the axis than lower pressures. An overlapping pressure measurement area 6 exists in which the first 4' and the second 4'' pressure measurement area overlap. The first and second measurement signals are read out in step a) of the method while the pressure in the common measurement volume is in this overlap pressure measurement range 6 . In Fig. 3.b) is the case is shown in which the second pressure measurement range 4'' is completely within the first pressure measurement range 4', so that the overlap pressure measurement range is identical to the second pressure measurement range 4'.

Figur 4 zeigt in einer doppelt-logarithmischen Darstellung die Abhängigkeit eines mittels eines Pirani-Sensors bestimmten Drucks von einer bestimmten Gasart. In horizontaler Richtung ist der "effektive" Druck p_eff eingezeichnet. In vertikaler Richtung ist der an einem Pirani-Sensor abgelesene Druck p (mbar) in Abhängigkeit vom effektiven Druck p_eff (mbar) für verschiedene Gasarten je mit einer separaten Kurve aufgetragen, siehe die Beschriftung zu jeder Kurve im Bereich oben rechts der Grafik. Der gezeigte Druckbereich reicht auf beiden Achsen von 10~³ mbar bis 10² mbar, d.h. über 5 Grössenordnungen.FIG. 4 shows the dependency of a pressure determined by means of a Pirani sensor on a specific type of gas in a double-logarithmic representation. The "effective" pressure p _e ff is shown in the horizontal direction. In the vertical direction, the pressure p (mbar) read on a Pirani sensor as a function of the effective pressure p _e ff (mbar) for different types of gas is plotted with a separate curve, see the label for each curve in the upper right area of the graphic. The pressure range shown extends from 10~ ³ mbar to 10 ² mbar on both axes, ie over 5 orders of magnitude.

Der Pirani-Sensor ist in diesem Fall so kalibriert, dass er für die Gasart Luft den Druck p_eff anzeigt, d.h. die Druckkurve zu Luft (Air) ist im doppelt-logarithmischen Plot eine gerade Linie auf der Diagonalen. Jeder der gezeigten Kurven ist also eine gasartabhängige Kalibrierungskurve. Der erste Drucksensor kann beispielsweise ein Pirani-Sensor sein, sodass die in Fig. 4 gezeigte Kurvenschar die gasartspezifischen ersten Kalibrierungsdaten darstellen können. In this case, the Pirani sensor is calibrated in such a way that it displays the pressure p _e ff for the gas type air, ie the pressure curve for air (Air) is a straight line on the diagonal in the double-logarithmic plot. Each of the curves shown is therefore a gas type-dependent calibration curve. The first pressure sensor can be a Pirani sensor, for example, so that the set of curves shown in FIG. 4 can represent the gas-type-specific first calibration data.

In einem Druckbereich unterhalb von ca. 1 mbar kann der Effekt der Gasart durch einen Faktor zwischen p_eff und dem mit dem Pirani-Sensor gemessenen Druck p beschrieben werden, welcher sich im doppelt-logarithmischen Diagramm als Versatz der Kurven zeigt . Wie die Erfinder erkannt haben, kann die wesentliche Information dieser Kalibrierungskurven in über ca . zwei Dekaden durch den genannten Faktor bereits ausreichend genau beschrieben werden, sodass eine Tabelle mit den entsprechenden Faktoren eine sehr speichersparende Form von gasartspezi fischen ersten Kalibrierungsdaten darstellt . In a pressure range below approx. 1 mbar, the effect of the gas type can be described by a factor between p _e ff and the pressure p measured with the Pirani sensor, which can be seen in the double-logarithmic diagram shows as the offset of the curves. As the inventors have recognized, the essential information of these calibration curves in over approx. two decades can already be described with sufficient accuracy by the factor mentioned, so that a table with the corresponding factors represents a very memory-saving form of gas-type-specific first calibration data.

Analog können zweite Kalibrierungsdaten für den zweiten Drucksensor als Kurvenschar oder als Tabelle von Faktoren zur Verfügung gestellt werden . Similarly, second calibration data for the second pressure sensor can be provided as a family of curves or as a table of factors.

Figur 5 zeigt beispielhaft und schematisch Kalibrierungskurven für drei Gase , für Gas Gl (durchgezogene Linie ) , für Gas G2 ( gestrichelt mit kurzen Strichen) und Gas G3 ( gestrichelt mit langen Strichen) . In der linken Häl fte sind die Kalibrierungskurven für einen ersten Drucksensor in Abhängigkeit des ersten Mess-Signals pi gezeigt . In der rechten Häl fte sind die Kalibrierungskurven für einen zweiten Drucksensor in Abhängigkeit des zweiten Mess-Signals p2 gezeigt . Auf die senkrechte Achse ist der dem j eweiligen Mess-Signal entsprechende ef fektive Druck p_eff abgetragen, wobei eine bestimmte vertikale Position im linken Diagramm demselben ef fektiven Druck entspricht , wie im rechten Diagramm . Die Kalibrierungskurven sind als illustrative Beispiele zu verstehen, welche das der Erfindung zugrunde liegende Prinzip verdeutlichen . Die Diagramme können beispielsweise doppelt-logarithmische Darstellungen sein . Die Gasartabhängigkeit des ersten Sensors unterscheidet sich von der Gasartabhängigkeit des zweiten Sensors . Beim zweiten Drucksensor sind Variationen in Steigung und Krümmung der Kurven erkennbar , welche bei den Kalibrierungskurven des ersten Sensors in diesem Beispiel nicht ausgeprägt sind . FIG. 5 shows, by way of example and schematically, calibration curves for three gases, for gas G1 (solid line), for gas G2 (dashed with short dashes) and gas G3 (dashed with long dashes). The calibration curves for a first pressure sensor as a function of the first measurement signal pi are shown in the left half. The calibration curves for a second pressure sensor as a function of the second measurement signal p2 are shown in the right half. The effective pressure p _eff corresponding to the respective measurement signal is plotted on the vertical axis, with a specific vertical position in the left-hand diagram corresponding to the same effective pressure as in the right-hand diagram. The calibration curves are to be understood as illustrative examples which clarify the principle on which the invention is based. For example, the diagrams can be double-logarithmic representations. The gas type dependency of the first sensor differs on the gas type dependency of the second sensor. Variations in the slope and curvature of the curves can be seen in the second pressure sensor, which are not pronounced in the calibration curves of the first sensor in this example.

Ein weisses Dreieck zeigt das ermittelte erste Mess-Signal des ersten Drucksensors auf der pi-Achse an . Gleichzeitig wurde vom zweiten Drucksensor der als schwarzes Dreieck auf P2-Achse angezeigte zweite Mess-Signal ermittelt . Mit Hil fslinien ausgehend vom weissen Dreieck wird angezeigt , welchen ef fektiven Druck man j e nach Gasart im gemeinsamen Messvolumen erwarten würde und welches zweite Mess-Signal bei diesem ef fektiven Druck zu erwarten wäre . Gas G3 passt am besten zu den tatsächlich gemessen Werten, daher wird Gas G3 als Resultat-Gas G* festgelegt . Das Kriterium dafür kann z . B . Abstand auf der - gegebenenfalls logarithmischen - p2-Achse sein . Auf der Kalibrierungskurve für G* = G3 kann nun der Resultat-Druck p* auf der p_eff-Achse abgelesen werden . A white triangle shows the determined first measurement signal of the first pressure sensor on the pi axis. At the same time, the second measurement signal, displayed as a black triangle on the P2 axis, was determined by the second pressure sensor. Auxiliary lines starting from the white triangle show what effective pressure you would expect depending on the type of gas in the common measurement volume and what second measurement signal would be expected at this effective pressure. Gas G3 best matches the actually measured values, therefore Gas G3 is set as result gas G* . The criterion for this can B. Distance on the - possibly logarithmic - p2-axis. The resulting pressure p* can now be read off the p _e ff axis on the calibration curve for G* = G3.

Im Fall , dass mehrere solche Paare von erstem und zweitem Mess-Signal verglichen werden sollen, ist beispielsweise eine Summe von quadrierten Abständen ein geeignetes Kriterium, um das am besten passende Gas zu bestimmen . Die Rolle von erstem und zweitem Mess-Signal kann insofern vertauscht werden, als dass auch ausgehend vom tatsächlich gemessenen zweiten Mess-Signal erwartete Mess-Signale auf der pi-Achse bestimmt werden und dort - alternativ oder zusätzlich - der Abstand vom gemessenen ersten Mess-Signal als Kriterium für das am besten passende Gas bestimmt werden . If several such pairs of first and second measurement signals are to be compared, a sum of squared distances is a suitable criterion for determining the most suitable gas. The role of the first and second measurement signal can be reversed insofar as expected measurement signals are determined on the pi axis based on the actually measured second measurement signal and there - alternatively or additionally - the distance from the measured first measurement signal be determined as a criterion for the most suitable gas.

Das erfindungsgemässe Verfahren und alle seine Aus führungs formen können mit einem zusätzlichen Schritt des Nullens mindestens eines der Drucksensoren kombiniert werden . Bei verschiedenen Typen von Drucksensoren unterliegt das für einen bestimmten ef fektiven Druck generierte Mess-Signal einem zeitlichen Dri ft . Dieser Ef fekt kann durch Nullen eliminiert werden, was die Genauigkeit des erfindungsgemässen Verfahrens weiter erhöht . Das Nullpunkt Mess-Signal wird dabei bevorzugterweise bei einem ef fektiven Druck bestimmt , welche mindestens eine bis zwei Dekaden unterhalb des Messbereichs des zu nullenden Drucksensors liegt . Das Überprüfen, ob ein genügend niedriger Druck vorliegt kann auf verschiedene Weisen erfolgen . Beispielsweise kann zum Nullen eines Pirani-Sensors das Erreichen eines ausreichend tiefen Drucks mit einem lonisations-Vakuummeter , dessen Druck-Messbereich bis mindestens zwei Dekaden unter den Messbereich des Pirani-Sensors reicht , überprüft werden . Als weiteres Beispiel kann beim Nullen eines lonisations- Vakuummeters des Bayard-Alpert-Typs das Erreichen eines genügend tiefen Drucks durch ein lonisations-Vakuummeter des Extraktor-Typs überprüft werden . Das Erreichen eines genügend tiefen Drucks für das Nullen eines Drucksensors kann beispielsweise auch durch geeignete Verfahrensschritte , wie durch langes Abpumpen des gemeinsamen Messvolumen erreicht werden . Das Erreichen eines genügend tiefen Drucks kann alternativ auch aus Betriebsparametern einer mit dem gemeinsamen Messvolumen der Drucksensoren wirkverbundenen Vakuumpumpe abgeleitet werden . The method according to the invention and all of its embodiments can be combined with an additional step of zeroing at least one of the pressure sensors. With different types of pressure sensors, the measurement signal generated for a specific effective pressure is subject to a temporal drift. This effect can be eliminated by zeros, which further increases the accuracy of the method according to the invention. The zero point measurement signal is preferably determined at an effective pressure which is at least one to two decades below the measurement range of the pressure sensor to be zeroed. There are various ways of checking whether the pressure is sufficiently low. For example, to zero a Pirani sensor, the achievement of a sufficiently low pressure can be checked using an ionization vacuum gauge, the pressure measuring range of which reaches at least two decades below the measuring range of the Pirani sensor. As another example, when zeroing an ionization vacuum gauge of the Bayard-Alpert type, the attainment of a sufficiently low pressure can be checked by an ionization vacuum gauge of the extractor type. Reaching a sufficiently low pressure for zeroing a pressure sensor can also be achieved, for example, by suitable method steps, such as by pumping out the common measurement volume for a long time. Alternatively, a sufficiently low pressure can also be achieved from operating parameters with the common measurement volume the pressure sensors operatively connected vacuum pump are derived.

Hierbei ist zu beachten, dass es sich bei der Drift des Drucksensors und bei der Gasartabhängigkeit um zwei separate Phänomene handelt. So bleibt beispielsweise auch bei einem nach jedem Wechseln der Gasart immer wieder neu genulltem Druck-Sensor eine Gasartabhängigkeit bestehen. It should be noted here that the drift of the pressure sensor and the dependency on the gas type are two separate phenomena. For example, a gas type dependency remains even with a pressure sensor that is always re-zeroed after each change of gas type.

Zurückkommend auf die Art und Weise, wie eine Liste von Gasarten, welche eine Liste von Gasgemischen umfassen kann, gehandhabt werden kann, werden folgende illustrative Beispiele genannt. Beispielsweise im Fall eines Pirani- Sensors geht es darum, die Beiträge der Wärmeleitung jeder Komponente des Gasgemischs zur gesamten Wärmeleitung zusammenzufassen. Beispielsweise gibt Jousten mit Formel 11 aus der Publikation Coming back to the way in which a list of gas types, which may comprise a list of gas mixtures, can be managed, the following illustrative examples are given. In the case of a Pirani sensor, for example, it is a matter of summarizing the contributions of the thermal conduction of each component of the gas mixture to the total thermal conduction. For example, Jousten gives Formula 11 from the publication

K. Jousten , On the gas species dependence of Pirani vacuum gauges, Vac. Sei. Technol. A 26, 3, May/ Jun 2008 eine Formel an, welche effektive Akkomodationskoeffizienten und Wärmekapazitäten jeder an einer Mischung beteiligten Gasspezies berücksichtigt. Alternativ, ebenfalls geeignet für Pirani-Sensoren, gibt Setiawan mit Formeln 17 und 18 aus der Publikation K. Jousten, On the gas species dependent on Pirani vacuum gauges, Vac. May be. technol. A 26, 3, May/ Jun 2008 a formula that takes into account effective accommodation coefficients and heat capacities of each gas species involved in a mixture. Alternatively, also suitable for Pirani sensors, Setiawan gives formulas 17 and 18 from the publication

Ikhsan Setiawan et al. , Critical Temperature Differences of a Standing Wave Thermoacoustic Prime Mover with Various Helium-Based Binary Mixture Working Gases, 2015 J. Phys. : Conf. Ser. 622 012010 eine Formel an, welche basierend auf dem Gasanteil , auf den Wärmeleitfähigkeiten und molaren Massen j eder beteiligten Gasspezies die Wärmeleitfähigkeit des Gasgemischs angibt . Beide genannten Formeln sind dazu geeignet , eine Tabelle von Gasarten in Form von Gasgemischen zu erzeugen, oder auch um einen Anteil eines oder mehreren Gasspezies als kontinuierlichen Parameter zu verwenden . Letzteres ist für die "best fit" Verfahren wie oben beschrieben von Vorteil .Ikhsan Setiawan et al. , Critical Temperature Differences of a Standing Wave Thermoacoustic Prime Mover with Various Helium-Based Binary Mixture Working Gases, 2015 J. Phys. : conf. ser 622 012010 a formula which gives the thermal conductivity of the gas mixture based on the gas content, the thermal conductivities and molar masses of each gas species involved. Both formulas mentioned are suitable for generating a table of gas types in the form of gas mixtures, or for using a proportion of one or more gas species as a continuous parameter. The latter is advantageous for the "best fit" method as described above.

Ein ähnliches , allerdings etwas aufwändigeres Vorgehen ist bei lonisationsvakuummetern möglich . Hier sind für die Voraussage eines lonenstroms die Energieverteilung der Elektronen, das lonisierungspotential der Gase , die Fragmentation der Gase und etwaige Rekombination als mögliche Einflussgrössen von Bedeutung . Kennt man die Sensitivität S , welche als Verhältnis von lonenstrom am lonenkollektor einerseits und Elektronenemissionsstrom und Druck andererseits definiert ist , aus experimentellen Daten oder Simulationen, so kann der kombinierte lonenstrom als die mit Partialdrücken der beteiligten Gasspezies gewichtete Summe ermittelt werden . Drücke und Partialdrücke werden dabei als Di f ferenz zum Residualdruck,A similar, albeit somewhat more complex, procedure is possible with ionization vacuum gauges. Here, the energy distribution of the electrons, the ionization potential of the gases, the fragmentation of the gases and any recombination are of importance as possible influencing variables for the prediction of an ion current. If one knows the sensitivity S, which is defined as the ratio of ion current at the ion collector on the one hand and electron emission current and pressure on the other hand, from experimental data or simulations, the combined ion current can be determined as the sum weighted with the partial pressures of the gas species involved. Pressures and partial pressures are calculated as a difference to the residual pressure,

Kollektorströme als Di f ferenz zum Kollektorstrom beim Residualdruck berücksichtigt . Collector currents considered as difference to collector current at residual pressure.

Bezugs zeichenliste reference character list

1 Gruppe von Drucksensoren 1 group of pressure sensors

1 ' erster Drucksensor 1 ' first pressure sensor

1 ' ' zweiter Drucksensor 1'' second pressure sensor

2 gemeinsames Messvolumen 2 common measurement volume

3 ' erster Mess-Signal-Ausgang 3 'first measurement signal output

3 ' ' zweiter Mess-Signal-Ausgang 3 '' second measurement signal output

4 ' erster Druckmessbereich 4 'first pressure measuring range

4 ' ' zweiter Druckmessbereich 4'' second pressure measuring range

5 Mittel zur Speicherung von Kalibrierungsdaten5 Means for storing calibration data

6 Überlapp-Druckmessbereich 6 Overlap pressure measurement range

12 Steuereinheit 12 control unit

G* Resultat-Gasart pi erstes Mess-Signal G* Result gas type pi first measurement signal

P2 zweites Mess-Signal p_eff ef fektiver Druck p* Resultat-Druck P2 second measurement signal p _e ff eff ective pressure p* Result pressure

100 Verfahren 100 procedures

101 Schritt a ) Bereitstellen von Kalibrierungsdaten101 Step a ) Providing calibration data

102 Schritt b ) Erfassen des ersten und zweiten Mess- Signals 102 Step b ) Acquisition of the first and second measurement signal

103 Schritt c ) Bestimmen der Resultat-Gasart 103 Step c ) Determine the result gas type

104 Schritt d) Bestimmen des Resultat-Drucks104 Step d) Determine the result print

START Beginn des Verfahrens START Start of the procedure

ENDE Ende des Verfahrens END End of procedure

Claims

- 27 - Patentansprüche - 27 - Claims

1. Verfahren zum Betrieb einer Gruppe (1) von Drucksensoren (1', 1' ' ) , welche derart angeordnet sind, dass sie den Druck in einem gemeinsamen Messvolumen (2) messen können, wobei die Gruppe von Drucksensoren mindestens einen ersten Drucksensor (1' ) mit einem ersten Druckmessbereich (4' ) und einen zweiten Drucksensor (1' ' ) mit einem zweiten Druckmessbereich (4' ' ) umfasst, wobei der erste und der zweite Druckmessbereich in einem Überlapp-Druckmessbereich (6) überlappen, wobei der erste Drucksensor (1' ) auf einem ersten indirekten Druckmessprinzip beruht und eingerichtet ist zur Ausgabe eines auf ein Referenzgas (G_ref) kalibrierten ersten Mess-Signals, wobei der zweite Drucksensor (1' ' ) auf einem zweiten indirekten Druckmessprinzip beruht und eingerichtet ist zur Ausgabe eines auf das Referenzgas kalibrierten zweiten Mess-Signals, und wobei das Verfahren die Schritte umfasst: a) Bereitstellen (101) von gasartspezifischen ersten Kalibrierungsdaten (Ki[Gi] ) für das erste Mess-Signal und von gasartspezifischen zweiten Kalibrierungsdaten (K2[G±] ) für das zweite Mess-Signal, wobei die ersten und zweiten Kalibrierungsdaten eine Abhängigkeit des ersten respektive zweiten Mess-Signals vom effektiven Drucks (p_eff) und von einer Gasart im gemeinsamen Messvolumen für eine Liste von Gasarten umfassend mindestens eine erste Gasart (Gi) , die verschieden ist vom Referenzgas, beschreiben; b) im Wesentlichen gleichzeitiges Erfassen (102) eines ersten Messwerts (pi) des ersten Mess-Signals und Erfassen eines zweiten Messwerts (P2) des zweiten Mess-Signals; c) Bestimmen (103) einer Resultat-Gasart (G*) als diejenige Gasart in der Liste von Gasarten, welche unter1. A method for operating a group (1) of pressure sensors (1', 1'') which are arranged in such a way that they can measure the pressure in a common measurement volume (2), the group of pressure sensors having at least one first pressure sensor ( 1') with a first pressure measurement range (4') and a second pressure sensor (1'') with a second pressure measurement range (4''), the first and second pressure measurement ranges overlapping in an overlap pressure measurement range (6), the first pressure sensor (1') is based on a first indirect pressure measurement principle and is set up to output a first measurement signal calibrated to a reference gas (G _ref ), the second pressure sensor (1'') being based on a second indirect pressure measurement principle and set up for outputting a second measurement signal calibrated to the reference gas, and wherein the method comprises the steps of: a) providing (101) gas-type-specific first calibration data (Ki[Gi] ) for the first measurement -Signal and gas-type-specific second calibration data (K2[G±]) for the second measurement signal, the first and second calibration data being a dependence of the first and second measurement signal on the effective pressure ( _pe ff) and on a gas type in common Measuring volume for a list of gas types comprising at least one first gas type (Gi), which is different from the reference gas, describe; b) essentially simultaneously detecting (102) a first measured value (pi) of the first measured signal and detecting a second measured value (P2) of the second measured signal; c) determining (103) a result gas type (G*) as that gas type in the list of gas types which is under

Berücksichtigung der ersten und zweiten Kalibrierungsdaten am besten zur Kombination des erfassten ersten Messwerts (pi) und des erfassten zweiten Messwerts passt (P2) . Considering the first and second calibration data best fits the combination of the recorded first measured value (pi) and the recorded second measured value (P2).

2. Verfahren nach Anspruch 1 umfassend den zusätzlichen Schritt d) Bestimmen (104) eines Resultat-Drucks (p*) in Funktion des erfassten ersten Messwerts (pi) und der ersten Kalibrierungsdaten für die Resultat-Gasart und/oder in Funktion des erfassten zweiten Messwerts (P2) und der zweiten Kalibrierungsdaten für die Resultat-Gasart. 2. The method according to claim 1 comprising the additional step d) determining (104) a result pressure (p*) as a function of the detected first measured value (pi) and the first calibration data for the result gas type and/or as a function of the detected second Measured value (P2) and the second calibration data for the result gas type.

3. Verfahren nach einem der Ansprüche 1 oder 2, wobei der erste und der zweite Drucksensor Vakuumdrucksensoren sind. 3. The method according to any one of claims 1 or 2, wherein the first and the second pressure sensor are vacuum pressure sensors.

4. Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 3, wobei der erste Drucksensor (1' ) ein Pirani-Sensor ist. 4. The method according to any one of claims 1 to 3, wherein the first pressure sensor (1 ') is a Pirani sensor.

5. Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 4, wobei der zweite Drucksensor (1' ' ) ein Heisskathoden- Ionisationsvakuummeter, insbesondere des Bayard-Alpert Typs, ist. 5. The method according to any one of claims 1 to 4, wherein the second pressure sensor (1 '') is a hot cathode ionization vacuum gauge, in particular of the Bayard-Alpert type.

6. Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 5, wobei der zweite Drucksensor (1' ' ) ein Kaltkathoden- lonisationsvakuummeter , insbesondere ein invertiertes Magnetron, ist. 6. The method according to any one of claims 1 to 5, wherein the second pressure sensor (1 '') is a cold cathode ionization vacuum gauge, in particular an inverted magnetron.

7. Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 6, wobei die ersten und zweiten gasartspezifischen Kalibrierungsdaten (Ki [Gi] , K2[G ) je durch einen ersten resp. zweiten Faktor (Ci[Gi] , C2 [GI] ) definiert sind, mit dem das erste Mess- Signal respektive das zweite Mess-Signal zu multiplizieren ist, um den effektiven Druck zu erhalten. 7. The method according to any one of claims 1 to 6, wherein the first and second gas type-specific calibration data (Ki [Gi], K2 [G) each by a first resp. second factor (Ci[Gi] , C2 [GI] ) are defined, by which the first measurement signal or the second measurement signal is to be multiplied in order to obtain the effective pressure.

8. Verfahren nach Anspruch 7, wobei eine Liste von Quotienten gebildet wird, indem zu jeder Gasart aus der Liste ein Quotient (Q[G±] ) aus dem ersten Faktor für die jeweilige Gasart und dem zweiten Faktor für die jeweilige Gasart gebildet wird, wobei ein erfasster Quotient (Q) als Quotient des erfassten ersten Messwerts (pi) und des erfassten zweiten Messwerts (P2) gebildet wird, und wobei im Schritt c) bestimmt wird, welchem der Quotienten (Q*) aus der Liste von Quotienten der erfasste Quotient am nächsten kommt. 8. The method according to claim 7, wherein a list of quotients is formed by forming a quotient (Q[G±]) from the first factor for the respective gas type and the second factor for the respective gas type for each gas type from the list, wherein a recorded quotient (Q) is formed as the quotient of the recorded first measured value (pi) and the recorded second measured value (P2), and wherein in step c) it is determined which of the quotients (Q*) from the list of quotients the recorded quotient is closest.

9. Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 8, wobei im Schritt c) zu jedem Gas aus der Liste der Gase ausgehend vom erfassten ersten Messwert (pi) basierend auf den ersten und zweiten gasartspezifischen Kalibrierungsdaten ermittelt wird, was für ein Wert für das zweite Mess-Signal erwartet wird, falls dieses Gas im gemeinsamen Messvolumen vorliegen würde , und wobei die kleinste Abweichung dieses Werts vom erfassten zweiten Messwert (P2 ) als Kriterium für das Bestimmen der Resultat-Gasart verwendet wird . 9. The method according to any one of claims 1 to 8, wherein in step c) determined for each gas from the list of gases starting from the detected first measured value (pi) based on the first and second gas type-specific calibration data what is expected for a value for the second measurement signal if this gas were to be present in the common measurement volume, and the smallest deviation of this value from the recorded second measurement value (P2) is used as a criterion for determining the result gas type.

10 . Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 9 , wobei bei sich bei änderndem Druck im gemeinsamen Messvolumen eine Mehrzahl von Paaren aus j e einem ersten Messwert des ersten Drucksensors und einem zweiten Messwert des zweiten Drucksensors erfasst werden, wobei beim Bestimmen der Resultat-Gasart (G* ) diej enige Gasart gewählt wird, welche am besten zur Kombination der erfassten Mehrzahl von Paaren passt . 10 . Method according to one of Claims 1 to 9, wherein when the pressure in the common measurement volume changes, a plurality of pairs each consisting of a first measured value of the first pressure sensor and a second measured value of the second pressure sensor are recorded, with the determination of the resulting gas type (G* ) that type of gas is selected which best suits the combination of the detected plurality of pairs.

11 . Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 10 , wobei anhand des erfassten ersten Messwerts (pi ) , anhand des erfassten zweiten Messwerts (P2 ) oder anhand des Resultat- Drucks (p* ) überprüft wird, ob der im gemeinsamen Mess- Volumen vorliegende Druck im Überlapp-Druckmessbereich liegt und wobei der Resultat-Druck und/oder die Resultat- Gasart als ungültig verworfen werden, wenn dies nicht der Fall ist . 11 . Method according to one of Claims 1 to 10, it being checked on the basis of the recorded first measured value (pi), on the basis of the recorded second measured value (P2) or on the basis of the result pressure (p*) whether the pressure present in the common measurement volume in overlap pressure measurement range and the result pressure and/or the result gas type are discarded as invalid if this is not the case.

12 . Vorrichtung ( 10 ) zur Durchführung des Verfahrens gemäss einem der Ansprüche 1 bis 11 , wobei die Vorrichtung eine Gruppe ( 1 ) von Drucksensoren umfasst , welche derart angeordnet sind, dass sie den Druck in einem gemeinsamen - 31 - 12 . Device (10) for carrying out the method according to any one of claims 1 to 11, wherein the device comprises a group (1) of pressure sensors, which are arranged such that they measure the pressure in a common - 31 -

Messvolumen (2) messen können, wobei die Gruppe von Drucksensoren mindestens einen ersten Drucksensor (1' ) mit einem ersten Druckmessbereich (4' ) und einen zweiten Drucksensor (1' ' ) mit einem zweiten Druckmessbereich (4' ' ) umfasst, wobei der erste und der zweite Druckmessbereich in einem Überlapp-Druckmessbereich (6) überlappen, wobei der erste Drucksensor (1' ) auf einem ersten indirekten Druckmessprinzip beruht und der zweite Drucksensor (1' ' ) auf einem zweiten indirekten Druckmessprinzip beruht und wobei die Vorrichtung Mittel (5) zur Speicherung von ersten Kalibrierungsdaten und von zweiten Kalibrierungsdaten umfasst. Can measure measurement volume (2), wherein the group of pressure sensors comprises at least a first pressure sensor (1') with a first pressure measurement range (4') and a second pressure sensor (1'') with a second pressure measurement range (4''), wherein the first and second pressure measurement ranges overlap in an overlapping pressure measurement range (6), the first pressure sensor (1') being based on a first indirect pressure measurement principle and the second pressure sensor (1''') being based on a second indirect pressure measurement principle, and the device having means ( 5) for storing first calibration data and second calibration data.

13. Vorrichtung (10) nach Anspruch 12, mit einer Steuereinheit (12) , die mit einem ersten Mess-Signal- Ausgang (3' ) des ersten Drucksensors, mit einem zweiten Mess-Signal-Ausgang (3' ' ) des zweiten Drucksensors und mit den Mitteln (5) zur Speicherung von ersten Kalibrierungsdaten und von zweiten Kalibrierungsdaten wirkverbunden ist zur Verarbeitung der Mess-Signale der Drucksensoren und die zur Ausgabe der Resultat-Gasart und/oder des Resultat-Drucks eingerichtet ist. 13. Device (10) according to claim 12, with a control unit (12) with a first measurement signal output (3 ') of the first pressure sensor, with a second measurement signal output (3' ') of the second pressure sensor and is operatively connected to the means (5) for storing first calibration data and second calibration data for processing the measurement signals of the pressure sensors and is set up for outputting the result gas type and/or the result pressure.

14. Computerprogramm-Produkt umfassend Befehle, die bei der Ausführung der Befehle durch eine Steuereinheit (12) einer Vorrichtung (10) nach Anspruch 13 die Steuereinheit dazu veranlassen, die Schritte eines Verfahrens (100) gemäss einem der Ansprüche 1 bis 11 durchzuführen. 14. Computer program product comprising instructions which, when the instructions are executed by a control unit (12) of a device (10) according to claim 13, cause the control unit to carry out the steps of a method (100) according to one of claims 1 to 11.