WO2020170637A1 - プローブ - Google Patents

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WO2020170637A1
WO2020170637A1 PCT/JP2020/000433 JP2020000433W WO2020170637A1 WO 2020170637 A1 WO2020170637 A1 WO 2020170637A1 JP 2020000433 W JP2020000433 W JP 2020000433W WO 2020170637 A1 WO2020170637 A1 WO 2020170637A1
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WO
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coil
detection
exciting
probe
eddy current
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PCT/JP2020/000433
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English (en)
French (fr)
Inventor
宇崎吉彦
Original Assignee
株式会社テイエルブイ
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Publication date
Application filed by 株式会社テイエルブイ filed Critical 株式会社テイエルブイ
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    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N27/00—Investigating or analysing materials by the use of electric, electrochemical, or magnetic means
    • G01N27/72—Investigating or analysing materials by the use of electric, electrochemical, or magnetic means by investigating magnetic variables
    • G01N27/82—Investigating or analysing materials by the use of electric, electrochemical, or magnetic means by investigating magnetic variables for investigating the presence of flaws
    • G01N27/90—Investigating or analysing materials by the use of electric, electrochemical, or magnetic means by investigating magnetic variables for investigating the presence of flaws using eddy currents

Definitions

  • the technology disclosed here relates to probes.
  • Patent Document 1 discloses a probe including an excitation coil that forms a magnetic field and a detection coil that detects an eddy current of an object.
  • the exciting coil and the detecting coil are wound concentrically with respect to a predetermined axis.
  • the detection coil is arranged so as to overlap the exciting coil in the radial direction around the axis.
  • the technology disclosed here is made in view of such a point, and an object thereof is to provide a probe capable of accurately detecting an eddy current.
  • the probe disclosed here for generating an eddy current in an object and detecting the eddy current in the object is wound around a predetermined axis, and the eddy current is applied to the object by the magnetic flux generated by the exciting current.
  • the coil length of the detection coil is shorter than the coil length of the exciting coil, and the exciting coil has a first portion that does not overlap with the detecting coil in the radial direction, and a first portion that is larger than the first portion.
  • eddy current can be detected accurately.
  • FIG. 1 is a vertical sectional view of the probe.
  • FIG. 2 is a sectional view of the probe taken along the line II-II in FIG.
  • FIG. 3 is a block diagram of the thickness measuring device.
  • FIG. 4 is a graph showing the time change of the voltage signal V(t).
  • FIG. 1 is a vertical cross-sectional view of a probe 1 (a cross-sectional view taken along a plane including the axis of a coil).
  • FIG. 2 is a cross-sectional view of the probe 1 taken along the line II-II in FIG.
  • the probe 1 is used to generate an eddy current in the object 9 and detect the generated eddy current.
  • the probe 1 is a non-contact type probe and is arranged close to the object 9.
  • “non-contact type” means that it can be used even in a non-contact state, and does not exclude use in a contact state.
  • the probe 1 generates an eddy current in the object 9 by forming a fluctuating magnetic field. Further, the probe 1 detects a change in the eddy current generated in the object 9 as an induced voltage.
  • the probe 1 is installed on the object 9 via a spacer (not shown) having a heat insulating property.
  • the probe 1 includes an exciting coil 3 that generates an eddy current in the target object 9 with a magnetic flux generated by the exciting current, and a detection coil 4 that detects the eddy current of the target object 9.
  • the probe 1 may have a plurality of sets of exciting coils 3 and detecting coils 4. In FIG. 1, the probe 1 has two sets of excitation coils 3 and detection coils 4.
  • Excitation coil 3 is wound around a predetermined axis X.
  • the exciting coil 3 is wound around a cylindrical bobbin 61.
  • the exciting coil 3 has a coil length L1.
  • the coil length is the length of the coil in the axial direction.
  • the coil length L1 is longer than the inner diameter D of the exciting coil 3 (that is, the outer diameter of the cylindrical portion of the bobbin 61).
  • the detection coil 4 is wound around the axis X. That is, the detection coil 4 is wound concentrically with the exciting coil 3.
  • the detection coil 4 is arranged outside the exciting coil 3 in the radial direction around the axis X.
  • the “radial direction” means the radial direction centered on the axis X.
  • the detection coil 4 has a coil length L2.
  • the coil length L2 is shorter than the coil length L1. That is, the detection coil 4 is arranged so as to partially overlap the exciting coil 3 in the coil length direction (that is, the direction of the axis X) in the radial direction.
  • a barrier tape 63 for insulation is provided between the detection coil 4 and the excitation coil 3.
  • the detection coil 4 is arranged closer to the object 9 than the center C1 of the exciting coil 3 in the coil length direction.
  • the exciting coil 3 has a first portion 31 that does not overlap the detection coil 4 in the radial direction, and a second portion 32 that is located closer to the object 9 than the first portion 31 and that overlaps the detection coil 4 in the radial direction. doing.
  • the excitation coil 3 extends in a direction away from the object 9 than the detection coil 4.
  • the center C2 of the detection coil 4 in the coil length direction is located closer to the object 9 than the center C1 of the exciting coil 3 in the coil length direction.
  • the second portion 32 may include at least the end of the exciting coil 3 closer to the object 9 in the coil length direction.
  • the detection coil 4 is wound so as to be radially overlapped with the end of the exciting coil 3 closer to the object 9 in the coil length direction.
  • the exciting coil 3 does not have a portion that does not overlap the detection coil 4 in the radial direction, on the side of the object 9 that is closer to the object 9 than the second portion 32.
  • the probe 1 may include a core 5 inserted in the exciting coil 3 and the detecting coil 4.
  • the core 5 has a first straight line portion 51, a second straight line portion 52, and a connecting portion 53 that connects the first straight line portion 51 and the second straight line portion 52, and is formed in a generally U-shape as a whole.
  • the core 5 is formed by laminating a plurality of generally U-shaped thin plates made of permalloy.
  • the first straight line portion 51 is inserted into the exciting coil 3 (that is, the bobbin 61) of one set
  • the second straight line portion 52 is inserted into the exciting coil 3 (that is, the bobbin 61) of the other set.
  • the core 5 magnetically connects the two sets of exciting coils 3.
  • Each of the first straight line portion 51 and the second straight line portion 52 is inserted only in the corresponding first portion 31 of the exciting coil 3 and not in the second portion 32. That is, the first straight line portion 51 and the second straight line portion 52 are not inserted in the detection coil 4.
  • the exciting coil 3 forms a magnetic field in the direction of the axis X by applying a current.
  • a current is applied to the one exciting coil 3 and the other exciting coil 3 so as to form magnetic fields in directions opposite to each other in the direction of the axis X.
  • a magnetic field is formed in the core 5 along the longitudinal direction of the core 5. That is, when the tip of the first straight portion 51 has the N pole, the tip of the second straight portion 52 has the S pole. On the contrary, when the tip of the first straight portion 51 has the S pole, the tip of the second straight portion 52 has the N pole.
  • magnetic flux is generated from one excitation coil 3 toward the target object 9, and magnetic flux is generated from the target object 9 toward the other excitation coil 3.
  • most of the magnetic flux emitted from the one exciting coil 3 exits in the direction of the axis X of the one exciting coil 3 and enters the target object 9 and passes through the target object 9 in a substantially arc shape.
  • the magnetic field enters the other exciting coil 3 in the direction of the axis X of the other exciting coil 3.
  • the magnetic field generated in the target object 9 changes, and an eddy current is generated in the target object 9.
  • a magnetic flux penetrating the detection coil 4 is formed by the eddy current generated in the portion of the object 9 near the detection coil 4.
  • an induced electromotive force is generated in the detection coil 4.
  • the detection coil 4 detects the eddy current of the object 9 by detecting the induced electromotive force.
  • the probe 1 configured in this way, since the coil length of the detection coil 4 is short, it is difficult to pick up noise and the detection accuracy of eddy current is improved. That is, when the coil length of the detection coil 4 is long, electrostatic induction noise (electric field noise) existing in the space easily enters the detection coil 4. When the coil length of the detection coil 4 is short, it is difficult for electrostatic induction noise to enter, so that noise can be reduced. Further, if the coil length of the detection coil 4 is long, there is a possibility that the magnetic flux that has passed through the detection coil 4 and entered the object 9 may enter the coil 4 again. When the coil length of the detection coil 4 is short, the magnetic flux that has entered the target object 9 becomes difficult to enter the detection coil 4 again, so that noise can be reduced.
  • electrostatic induction noise electric field noise
  • the detection coil 4 is arranged so as to radially overlap with a part of the exciting coil 3 in the coil length direction, and the second portion 32 of the exciting coil 3 that overlaps with the detecting coil 4 in the radial direction is formed. , Located closer to the object 9 than the first portion 31 that does not overlap the detection coil 4 in the radial direction. That is, the detection coil 4 is arranged closer to the target 9 as compared with the structure in which the detection coil 4 is arranged at the end of the exciting coil 3 farther from the target 9 in the direction of the coil length. As a result, the detection coil 4 can capture a strong magnetic flux in the vicinity of the object 9, which also improves the detection accuracy of the eddy current.
  • the detection coil 4 is arranged outside the exciting coil 3 in the radial direction. As a result, the diameter of the detection coil 4 is increased, so that the detection coil 4 can capture more magnetic flux, which also improves the detection accuracy of the eddy current.
  • the inductance of the exciting coil 3 becomes large and the exciting coil 3 can generate a large magnetic flux. Thereby, a large eddy current can be generated in the target object 9. As a result, the detection accuracy of the eddy current by the detection coil 4 can be improved.
  • the exciting coil 3 can generate a larger magnetic flux.
  • the core 5 is not inserted in the detection coil 4.
  • the attenuation of the magnetic flux generated in the object 9 and penetrating the detection coil 4 may be delayed.
  • the transient change of the induced electromotive force of the detection coil 4 becomes dull with respect to the transient change of the eddy current of the target object 9. That is, by not inserting the core 5 into the detection coil 4, it is possible to reduce the time lag between the transient change in the induced electromotive force of the detection coil 4 and the transient change in the eddy current of the object 9.
  • FIG. 3 is a block diagram of the thickness measuring device 100.
  • the thickness measuring device 100 obtains the thickness of the object 9 based on a transient change of the detected eddy current and a sensor device 10 that generates an eddy current in the measurement object 9 and detects the generated eddy current. And an arithmetic unit 8.
  • the thickness measuring device 100 measures the thickness of the target object 9 by pulse eddy current flaw detection (PEC: Pulsed Eddy Current).
  • the target 9 is, for example, a metal pipe through which steam or drain flows.
  • the sensor device 10 has a probe 1 for generating an eddy current in the object 9 and detecting the generated eddy current, and a device body 7 for controlling the probe 1.
  • the device body 7 includes an exciting unit 71 that applies an exciting current to the exciting coil 3, a detecting unit 74 that detects a transient change in the eddy current of the object 9, a communication unit 76 that communicates with an external device, and various information. It has a storage unit 77 for storing, and at least an excitation unit 71, a detection unit 74, a communication unit 76, and a control unit 78 for controlling the storage unit 77.
  • the exciting unit 71 supplies a pulsed exciting current to the exciting coil 3.
  • the excitation unit 71 has a pulse generator 72 that generates a pulse signal, and a transmission amplifier 73 that amplifies the pulse signal from the pulse generator 72 and outputs it as an excitation current.
  • the detection unit 74 detects the induced electromotive force generated in the detection coil 4 according to the eddy current of the target object 9.
  • the transient change in the induced electromotive force generated in the detection coil 4 is associated with the transient change in the eddy current generated in the object 9.
  • the detection section 74 has at least a reception amplifier 75 that amplifies the voltage generated in the detection coil 4.
  • the detection unit 74 may further include a filter that filters the voltage signal.
  • the communication unit 76 performs wireless communication with an external device. For example, the communication unit 76 transmits the voltage signal detected by the detection unit 74 to the arithmetic device 8.
  • the control unit 78 is formed by a processor. For example, the control unit 78 causes the exciting unit 71 to output the exciting current for a predetermined period, while acquiring the detection signal by the detecting unit 74 after the output of the exciting current is stopped. The control unit 78 stores the acquired detection signal in the storage unit 77, and transmits the detection signal stored in the storage unit 77 to the arithmetic unit 8 via the communication unit 76 at a predetermined timing.
  • the arithmetic unit 8 is formed of a computer or a computer network (so-called cloud).
  • the arithmetic unit 8 includes a communication unit 81 that communicates with an external device, a storage unit 82 that stores various kinds of information, and an arithmetic unit 83 that obtains the thickness of the object 9 based on the detected transient change of the eddy current.
  • the communication unit 81 performs wireless communication with an external device.
  • the communication unit 81 receives the voltage signal from the sensor device 10.
  • the storage unit 82 stores a voltage signal from the sensor device 10 and information necessary for calculating the thickness of the object 9.
  • the arithmetic unit 83 is formed of a processor.
  • the calculation unit 83 calculates the thickness of the object 9 based on the voltage signal from the sensor device 10 (specifically, the transient change of the voltage signal).
  • the control unit 78 causes the exciting unit 71 to output an exciting current to the exciting coil 3.
  • the exciting coil 3 forms a magnetic field in the direction of the axis X by applying an exciting current.
  • the one excitation coil 3 and the other excitation coil 3 form magnetic fields that are opposite to each other in the direction of the axis X. For example, magnetic flux is generated from one excitation coil 3 toward the target object 9, and magnetic flux is generated from the target object 9 toward the other excitation coil 3.
  • control unit 78 stops the output of the exciting current and causes the detection unit 74 to detect the eddy current generated in the object 9.
  • the control unit 78 continues the detection of the voltage signal by the detection unit 74 for a predetermined period, and stores the detected electric signal in the storage unit 77.
  • the control unit 78 acquires the transient change (temporal change) of the induced electromotive force of the detection coil 4, that is, the transient change of the eddy current generated in the target object 9.
  • the control unit 78 transmits the voltage signal stored in the storage unit 77 to the calculation unit 83 via the communication unit 76.
  • the control unit 78 previously acquires the transient change of the eddy current in the state where the thickness d of the object 9 is known as described above. After that, the control unit 78 periodically acquires the transient change of the eddy current. As a result, the transient change of the eddy current of the object 9 having the changed thickness d is obtained intermittently. Note that the magnitude of the exciting current applied to the exciting coil 3 at the time of periodically acquiring the transient change of the eddy current is constant.
  • the arithmetic device 8 obtains the thickness d of the object 9 based on the voltage signal acquired from the sensor device 10.
  • FIG. 4 is a graph showing the time change of the voltage signal V(t).
  • the graph of FIG. 4 is a log-log graph.
  • the voltage signal V0(t) is the voltage signal of the object 9 having the thickness d0
  • the voltage signal V1(t) is the voltage of the object 9 having the thickness d1 smaller than the thickness d0. It is a signal.
  • the eddy current attenuates as it penetrates into the object 9.
  • the eddy current gradually decreases until it reaches the back surface from the front surface (the surface where the probe 1 faces) of the object 9, and abruptly decreases when it reaches the back surface.
  • the voltage signal V(t) also shows the same change as the eddy current. That is, the transient change of the voltage signal V(t) corresponds to the transient change of the eddy current.
  • the change of the voltage signal V(t) until the eddy current reaches the back surface of the object 9 is expressed linearly (linearly) on the log-log graph. After that, the voltage signal V(t) is rapidly attenuated.
  • the voltage signal V(t) that changes in this way is represented by the following equation (1).
  • A is the amplification factor of the reception amplifier 75.
  • n is a constant related to the degree of attenuation of the voltage signal V(t), and ⁇ n represents the slope of the voltage signal V(t) in the log-log graph.
  • the change mode of the voltage signal V(t) switches at time ⁇ .
  • ⁇ will be referred to as “decay time”.
  • the decay time ⁇ is represented by the following equation (2).
  • ⁇ ⁇ d 2 (2)
  • ⁇ is the electrical conductivity of the target object 9
  • ⁇ is the magnetic permeability of the target object 9
  • d is the thickness of the target object 9.
  • the decay time ⁇ changes.
  • the electric conductivity ⁇ and the magnetic permeability ⁇ of the object 9 are constant, the decay time ⁇ changes depending only on the thickness d of the object 9.
  • ⁇ /d 2 is constant even if the decay time ⁇ and the thickness d change. Therefore, if the decay time ⁇ 0 for the known thickness d0 and the decay time ⁇ x for the unknown thickness dx are known, the unknown thickness dx can be obtained based on the following equation (3).
  • the change mode of the voltage signal V0(t) of the object 9 having the thickness d0 is switched at the decay time ⁇ 0.
  • the decay time ⁇ decreases from ⁇ 0 to ⁇ 1.
  • the change mode of the linear portion of the voltage logarithm graph of the voltage signal V(t) does not depend on the thickness d as can be seen from the expression (1), and therefore the voltage signals V0(t) and V1(t) Is substantially the same.
  • the arithmetic unit 8 sets the known thickness of the object 9 as the reference thickness d0, and acquires the transient change of the voltage signal V0(t) at the reference thickness d0.
  • the voltage signal V0(t) is referred to as the reference voltage signal V0(t).
  • the arithmetic unit 8 compares the transient change of the voltage signal Vx(t) with the transient change of the reference voltage signal V0(t), thereby The thickness dx of the object 9 is obtained.
  • the arithmetic unit 8 obtains the changed thickness dx from the reference thickness d0, the reference decay time ⁇ 0, and the decay time ⁇ x by using the equation (3).
  • the eddy current detection accuracy can be improved as described above.
  • the evaluation accuracy of the target object 9 specifically, the estimation accuracy of the thickness of the target object 9 can be improved.
  • the probe 1 for generating the eddy current in the object 9 and detecting the eddy current of the object 9 is wound around the predetermined axis X, and the object 9 is generated by the magnetic flux generated by the exciting current.
  • the detection coil 4 has a radius around the axis X.
  • the coil length L2 of the detection coil 4 is shorter than the coil length L1 of the excitation coil 3, and the excitation coil 3 does not overlap the detection coil 4 in the radial direction. It has a first portion 31 and a second portion 32 which is located closer to the object 9 than the first portion 31 and overlaps the detection coil 4 in the radial direction.
  • the exciting coil 3 can generate a large magnetic flux, and as a result, a large eddy current can be generated in the target object 9.
  • the coil length L2 of the detection coil 4 is relatively short, it becomes difficult for the detection coil 4 to detect noise.
  • the detection coil 4 is arranged near the target object 9, a strong magnetic flux near the target object 9 can be captured. As a result, the detection accuracy of the eddy current of the probe 1 can be improved.
  • the second portion 32 includes at least the end of the exciting coil 3 that is closer to the object 9 in the coil length direction.
  • the detection coil 4 is arranged radially inside or outside the end of the exciting coil 3 that is closer to the object 9 in the coil length direction. That is, the detection coil 4 is arranged near the object 9. As a result, the detection coil 4 can capture a strong magnetic flux near the object 9.
  • the detection coil 4 is arranged outside the exciting coil 3 in the radial direction.
  • the inner diameter of the detection coil 4 is larger than that of the configuration in which the detection coil 4 is arranged inside the exciting coil 3 in the radial direction. As a result, the detection coil 4 can capture more magnetic flux.
  • the coil length L1 of the exciting coil 3 is longer than the inner diameter D of the exciting coil L1.
  • the coil length L1 of the exciting coil 3 becomes relatively long, so that the exciting coil 3 can generate a larger magnetic flux, and thus generate a larger eddy current in the object 9. it can.
  • the detection coil 4 is arranged on the inner side or the outer side in the radial direction of the exciting coil 3 as described above, if the coil length L2 of the detecting coil 4 is set to be approximately the same as the coil length L1 of the exciting coil 3, The noise detected by will increase.
  • the coil length L2 of the detecting coil 4 by making the coil length L2 of the detecting coil 4 shorter than the coil length L1 of the exciting coil 3, the increase of the magnetic flux generated by the exciting coil 3 and the noise detected by the detecting coil 4 are suppressed. Both reduction and reduction can be achieved.
  • the above embodiment may have the following configurations.
  • the probe 1 is applied to the thickness measuring device 100, but is not limited to this.
  • the above-described probe 1 can be applied to any device that generates an eddy current in an object and detects the eddy current in the object.
  • the probe 1 is not limited to the above configuration.
  • the probe 1 includes two sets of the exciting coil 3 and the detecting coil 4, but the exciting coil 3 and the detecting coil 4 may be one set or three or more sets.
  • the probe 1 may not include the core 5.
  • the core 5 may be inserted in the detection coil 4.
  • the detection coil 4 is arranged outside the exciting coil 3 in the radial direction, but may be arranged inside the exciting coil 3 in the radial direction.
  • the detection coil 4 is arranged at the end of the exciting coil 3 in the coil length direction, but may be arranged at an intermediate portion of the exciting coil 3 in the coil length direction. That is, the excitation coil 3 further includes, in addition to the first portion 31 and the second portion 32, a third portion that is located closer to the object 9 than the second portion 32 and that does not overlap the detection coil 4 in the radial direction. You may have.
  • the detection coil 4 is targeted in comparison with the configuration in which the detection coil 4 is arranged so as to be radially overlapped with the end portion of the exciting coil 3 which is far from the target object 9 in the coil length direction. It can be placed near the object 9.
  • the thickness measurement by the thickness measuring device 100 is just an example. Since there are various thickness measuring methods by PEC, an arbitrary measuring method can be adopted.
  • the configuration of the thickness measuring device 100 is merely an example.
  • the sensor device 10 and the arithmetic device 8 may be integrally configured.
  • the probe 1, the excitation unit 71, and the detection unit 74 of the sensor device 10 may be housed in separate housings and separated.
  • the sensor device 10 and the arithmetic device 8 may be connected by wire.
  • a plurality of sensor devices 10 may be connected to one arithmetic device 8.
  • the arithmetic device 8 may transmit the calculated data regarding the thickness to another device connected wirelessly or by wire.

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Abstract

対象物９に渦電流を発生させ且つ対象物９の渦電流を検出するためのプローブ１は、所定の軸心Ｘの周りに巻回され、励磁電流による磁束で対象物９に渦電流を発生させる励磁コイル３と、軸心Ｘの周りに巻回され、対象物９の渦電流を検出する検出コイル４とを備えている。検出コイル４は、軸心Ｘを中心とする半径方向において励磁コイル３の内側又は外側に配置される。検出コイル４のコイル長さＬ２は、励磁コイル３のコイル長さＬ１よりも短い。励磁コイル３は、検出コイル４と半径方向に重ならない第１部分３１と、第１部分３１よりも対象物９の側に位置し、検出コイル４と半径方向に重なる第２部分３２とを有している。

Description

プローブ
　ここに開示された技術は、プローブに関する。
　従来より、プローブ、特に、渦電流を利用した探傷に用いられるプローブが知られている。例えば、特許文献１には、磁場を形成する励磁コイルと対象物の渦電流を検出する検出コイルとを備えたプローブが開示されている。励磁コイルと検出コイルとは、所定の軸心に対して同心状に巻回されている。検出コイルは、励磁コイルに対して、軸心を中心とする半径方向に重なるように配置されている。
特開２００８－３２５７５号公報
　ところで、渦電流を精度よく検出するためには、対象物により大きな渦電流を発生させると共に、渦電流の検出性能を向上させることが求められる。
　ここに開示された技術は、かかる点に鑑みてなされたものであり、その目的とするところは、渦電流を精度よく検出できるプローブを提供することにある。
　ここに開示された、対象物に渦電流を発生させ且つ対象物の渦電流を検出するためのプローブは、所定の軸心の周りに巻回され、励磁電流による磁束で対象物に渦電流を発生させる励磁コイルと、前記軸心の周りに巻回され、対象物の渦電流を検出する検出コイルとを備え、前記検出コイルは、前記軸心を中心とする半径方向において前記励磁コイルの内側又は外側に配置され、前記検出コイルのコイル長さは、前記励磁コイルのコイル長さよりも短く、前記励磁コイルは、前記検出コイルと前記半径方向に重ならない第１部分と、前記第１部分よりも対象物の側に位置し、前記検出コイルと前記半径方向に重なる第２部分とを有している。
　前記プローブによれば、渦電流を精度よく検出できる。
図１は、プローブの縦断面図である。 図２は、図１のII－II線におけるプローブの断面図である。 図３は、厚さ測定装置のブロック図である。 図４は、電圧信号Ｖ（ｔ）の時間変化を示すグラフである。
　以下、例示的な実施形態を図面に基づいて詳細に説明する。図１は、プローブ１の縦断面図（コイルの軸心を含む平面で切断した断面図）である。図２は、図１のII－II線におけるプローブ１の横断面図である。
　プローブ１は、対象物９に渦電流を発生させ且つ発生した渦電流を検出するために用いられる。プローブ１は、非接触型のプローブであり、対象物９に近接して配置される。尚、「非接触型」とは、非接触でも使用可能であることを意味し、接触状態での使用を除外するものではない。プローブ１は、変動磁場を形成することによって対象物９に渦電流を発生させる。また、プローブ１は、対象物９に発生した渦電流の変化を誘導電圧として検出する。例えば、プローブ１は、断熱性を有するスペーサ（図示省略）を介して対象物９に設置される。
　プローブ１は、励磁電流による磁束で対象物９に渦電流を発生させる励磁コイル３と、対象物９の渦電流を検出する検出コイル４とを備えている。プローブ１は、励磁コイル３及び検出コイル４を複数組有していてもよい。図１では、プローブ１は、２組の励磁コイル３及び検出コイル４を有している。
　励磁コイル３は、所定の軸心Ｘの周りに巻回されている。励磁コイル３は、円筒状のボビン６１に巻回されている。励磁コイル３は、コイル長さＬ１を有している。ここで、コイル長さとは、軸心の方向におけるコイルの長さである。コイル長さＬ１は、励磁コイル３の内径Ｄ（即ち、ボビン６１の円筒部分の外径）よりも長い。
　検出コイル４は、軸心Ｘの周りに巻回されている。つまり、検出コイル４は、励磁コイル３と同心状に巻回されている。検出コイル４は、軸心Ｘを中心とする半径方向において励磁コイル３の外側に配置されている。以下、特に断りが無い限り、「半径方向」は、軸心Ｘを中心とする半径方向を意味する。検出コイル４は、コイル長さＬ２を有している。コイル長さＬ２は、コイル長さＬ１よりも短い。すなわち、検出コイル４は、励磁コイル３のうちコイル長さの方向（即ち、軸心Ｘの方向）における一部分と半径方向に重なるように配置されている。検出コイル４と励磁コイル３との間には、絶縁のためのバリアテープ６３が設けられている。好ましくは、検出コイル４は、励磁コイル３のうちコイル長さの方向における中心Ｃ１よりも対象物９の側に配置されている。
　励磁コイル３は、検出コイル４と半径方向に重ならない第１部分３１と、第１部分３１よりも対象物９の側に位置し、検出コイル４と半径方向に重なる第２部分３２とを有している。換言すると、励磁コイル３は、検出コイル４よりも対象物９から離れる方向へ延びている。さらに別の言い方をすると、コイル長さの方向における検出コイル４の中心Ｃ２は、コイル長さの方向における励磁コイル３の中心Ｃ１よりも対象物９の側に位置している。
　また、第２部分３２は、励磁コイル３のうちコイル長さの方向における対象物９に近い方の端部を少なくとも含んでいてもよい。検出コイル４は、励磁コイル３のうちコイル長さの方向における対象物９に近い方の端部と半径方向に重なるように巻回されている。換言すると、励磁コイル３は、第２部分３２よりも対象物９の側に、検出コイル４と半径方向に重ならない部分を有していない。
　さらに、プローブ１は、励磁コイル３及び検出コイル４に挿入されたコア５を備えていてもよい。コア５は、第１直線部５１と、第２直線部５２と、第１直線部５１及び第２直線部５２を連結する連結部５３とを有し、全体として概ねＵ字状に形成されている。より詳しくは、コア５は、パーマロイで形成された、概ねＵ字状の複数の薄板を積層されて形成されている。第１直線部５１は、一方の組の励磁コイル３（即ち、ボビン６１）に挿入され、第２直線部５２は、他方の組の励磁コイル３（即ち、ボビン６１）に挿入されている。コア５は、２組の励磁コイル３を磁気的に接続している。第１直線部５１及び第２直線部５２はそれぞれ、対応する励磁コイル３の第１部分３１にのみ挿入され、第２部分３２には挿入されていない。すなわち、第１直線部５１及び第２直線部５２はそれぞれ、検出コイル４には挿入されていない。
　続いて、プローブ１の動作について説明する。
　励磁コイル３は、電流が印加されることによって、軸心Ｘの方向に磁場を形成する。一方の励磁コイル３と他方の励磁コイル３とは、軸心Ｘの方向において互いに反対向きの磁場を形成するように電流が印加される。その結果、コア５には、コア５の長手方向に沿った磁場が形成される。すなわち、第１直線部５１の先端がＮ極となるときには、第２直線部５２の先端はＳ極となる。逆に、第１直線部５１の先端がＳ極となるときには、第２直線部５２の先端はＮ極となる。例えば、一方の励磁コイル３から対象物９へ向かって磁束が発生し、対象物９から他方の励磁コイル３へ向かって磁束が発生する。詳しくは、一方の励磁コイル３から発せられる大部分の磁束は、一方の励磁コイル３の軸心Ｘの方向に出て対象物９内へ入り、対象物９内を略円弧状に通過し、他方の励磁コイル３の軸心Ｘの方向へ他方の励磁コイル３に入っていく。励磁コイル３に印加する電流を変動させることによって、対象物９に発生する磁場が変動し、対象物９に渦電流が発生する。
　一方、対象物９のうち検出コイル４の近傍の部分に発生した渦電流によって、検出コイル４を貫通する磁束が形成される。検出コイル４を貫通する磁束が変化すると、検出コイル４に誘導起電力が発生する。検出コイル４は、この誘導起電力を検出することによって、対象物９の渦電流を検出する。
　このように構成されたプローブ１によれば、検出コイル４のコイル長さが短いので、ノイズを拾い難くなり、渦電流の検出精度が向上する。つまり、検出コイル４のコイル長さが長いと、空間に存在している静電誘導ノイズ（電界ノイズ）が検出コイル４内に進入しやすくなる。検出コイル４のコイル長さが短いと、静電誘導ノイズが進入しづらくなるので、ノイズを低減することができる。また、検出コイル４のコイル長さが長いと、検出コイル４を通過して対象物９に進入した磁束が再びコイル４内に進入する虞がある。検出コイル４のコイル長さが短いと、対象物９に進入した磁束が検出コイル４に再度進入しづらくなるので、ノイズを低減することができる。
　それに加えて、検出コイル４は、励磁コイル３のうちコイル長さの方向における一部分と半径方向に重なるように配置され且つ、励磁コイル３のうち検出コイル４と半径方向に重なる第２部分３２は、検出コイル４と半径方向に重ならない第１部分３１よりも対象物９の側に位置している。つまり、コイル長さの方向において励磁コイル３のうち対象物９から遠い側の端部に検出コイル４が配置される構成に比べて、検出コイル４は、対象物９の近くに配置される。その結果、検出コイル４は、対象物９の近傍の強い磁束を捉えることができ、このことによっても、渦電流の検出精度が向上する。
　さらに、検出コイル４は、励磁コイル３の半径方向外側に配置されている。これにより、検出コイル４の径が大きくなるので、検出コイル４はより多くの磁束を捉えることができ、このことによっても、渦電流の検出精度が向上する。
　その一方で、励磁コイル３のコイル長さが長いので、励磁コイル３のインダクタンスが大きくなり、励磁コイル３は大きな磁束を発生させることができる。これにより、対象物９に大きな渦電流を発生させることができる。その結果、検出コイル４による渦電流の検出精度を向上させることができる。
　それに加えて、励磁コイル３にはコア５が挿入されているので、励磁コイル３はより大きな磁束を発生させることができる。ただし、コア５は、検出コイル４には挿入されていない。検出コイル４にコアが挿入されていると、対象物９で発生して検出コイル４を貫通する磁束の減衰が遅くなり得る。その場合、検出コイル４の誘導起電力の過渡変化が、対象物９の渦電流の過渡変化に対して鈍くなってしまう。つまり、検出コイル４にコア５を挿入しないことによって、検出コイル４の誘導起電力の過渡変化と対象物９の渦電流の過渡変化との時間のずれを低減することができる。
　次に、このように構成されたプローブ１の適用例について説明する。図３は、厚さ測定装置１００のブロック図である。尚、図３において、プローブ１は簡略化して図示されている。厚さ測定装置１００は、測定の対象物９に渦電流を発生させ且つ発生した渦電流を検出するセンサ装置１０と、検出された渦電流の過渡変化に基づいて対象物９の厚さを求める演算装置８とを備えている。厚さ測定装置１００は、パルス渦電流探傷（ＰＥＣ:Pulsed Eddy Current）によって対象物９の厚さを測定する。対象物９は、例えば、蒸気又はドレンが流通する金属配管である。
　センサ装置１０は、対象物９に渦電流を発生させ且つ発生した渦電流を検出するためのプローブ１と、プローブ１を制御する装置本体７とを有している。
　装置本体７は、励磁コイル３に励磁電流を印加する励磁部７１と、対象物９の渦電流の過渡変化を検出する検出部７４と、外部機器と通信を行う通信部７６と、各種情報を記憶する記憶部７７と、少なくとも励磁部７１、検出部７４、通信部７６及び記憶部７７を制御する制御部７８とを有している。
　励磁部７１は、パルス状の励磁電流を励磁コイル３に供給する。励磁部７１は、パルス信号を発生するパルス発生器７２と、パルス発生器７２からのパルス信号を増幅して、励磁電流として出力する送信アンプ７３とを有している。
　検出部７４は、対象物９の渦電流に応じて検出コイル４に発生する誘導起電力を検出する。検出コイル４に発生する誘導起電力の過渡変化は、対象物９に発生する渦電流の過渡変化と関連している。検出部７４は、検出コイル４に発生する電圧を増幅する受信アンプ７５を少なくとも有している。検出部７４は、電圧信号にフィルタ処理を施すフィルタをさらに有していてもよい。
　通信部７６は、外部機器と無線通信を行う。例えば、通信部７６は、検出部７４によって検出された電圧信号を演算装置８に送信する。
　制御部７８は、プロセッサで形成されている。例えば、制御部７８は、励磁部７１に所定期間だけ励磁電流を出力させる一方、励磁電流の出力停止後に検出部７４による検出信号を取得する。制御部７８は、取得した検出信号を記憶部７７に記憶させ、記憶部７７に記憶された検出信号を所定のタイミングで通信部７６を介して演算装置８に送信する。
　演算装置８は、コンピュータ又はコンピュータネットワーク（所謂、クラウド）で形成されている。演算装置８は、外部機器と通信を行う通信部８１と、各種情報を記憶する記憶部８２と、検出された渦電流の過渡変化に基づいて対象物９の厚さを求める演算部８３とを有している。
　通信部８１は、外部機器と無線通信を行う。例えば、通信部８１は、センサ装置１０からの電圧信号を受信する。
　記憶部８２は、センサ装置１０からの電圧信号、及び、対象物９の厚さを演算するために必要な情報等を記憶している。
　演算部８３は、プロセッサで形成されている。演算部８３は、センサ装置１０からの電圧信号（具体的には、電圧信号の過渡変化）に基づいて対象物９の厚さを演算する。
　続いて、厚さ測定装置１００による厚さ測定処理について説明する。
　まず、制御部７８は、励磁部７１に励磁電流を励磁コイル３へ出力させる。励磁コイル３は、励磁電流の印加によって軸心Ｘの方向に磁場を形成する。一方の励磁コイル３と他方の励磁コイル３とは、軸心Ｘの方向において互いに反対向きの磁場を形成する。例えば、一方の励磁コイル３から対象物９へ向かって磁束が発生し、対象物９から他方の励磁コイル３へ向かって磁束が発生する。
　次に、制御部７８は、励磁電流の出力を停止させ、対象物９に発生する渦電流を検出部７４に検出させる。制御部７８は、検出部７４による電圧信号の検出を所定期間継続し、検出された電気信号を記憶部７７に記憶していく。これにより、制御部７８は、検出コイル４の誘導起電力の過渡変化（経時変化）、即ち、対象物９に発生する渦電流の過渡変化を取得する。その後、制御部７８は、記憶部７７に記憶された電圧信号を演算部８３へ通信部７６を介して送信する。
　制御部７８は、対象物９の厚さｄが既知の状態において前述のように渦電流の過渡変化を予め取得する。その後、制御部７８は、渦電流の過渡変化の取得を定期的に行う。これにより、厚さｄが変化した対象物９の渦電流の過渡変化が断続的に取得される。尚、定期的な渦電流の過渡変化の取得に際し、励磁コイル３に印加される励磁電流の大きさは一定である。
　演算装置８は、センサ装置１０から取得した電圧信号に基づいて対象物９の厚さｄを求める。
　図４は、電圧信号Ｖ（ｔ）の時間変化を示すグラフである。図４のグラフは、両対数グラフである。図４において、電圧信号Ｖ０（ｔ）は、厚さｄ０を有する対象物９の電圧信号であり、電圧信号Ｖ１（ｔ）は、厚さｄ０よりも薄い厚さｄ１を有する対象物９の電圧信号である。
　渦電流は、対象物９に浸透していくのに従って減衰していく。渦電流は、対象物９の表面（プローブ１が対向している面）から裏面に到達するまでの間は徐々に減衰し、裏面に到達すると急激に減衰する。電圧信号Ｖ（ｔ）も渦電流と同様の変化を示す。つまり、電圧信号Ｖ（ｔ）の過渡変化は、渦電流の過渡変化に相当する。渦電流が対象物９の裏面に達するまでの間の電圧信号Ｖ（ｔ）の変化は、両対数グラフ上では直線的（線形的）に表される。その後、電圧信号Ｖ（ｔ）は、急激に減衰していく。このように変化する電圧信号Ｖ（ｔ）は、以下の式（１）のように表される。
Figure JPOXMLDOC01-appb-M000001
 　ここで、Ａは、受信アンプ７５の増幅率である。ｎは、電圧信号Ｖ（ｔ）の減衰の程度に関連する定数であり、－ｎは、両対数グラフにおける電圧信号Ｖ（ｔ）の傾きを表す。
　式（１）からもわかるように、電圧信号Ｖ（ｔ）の変化態様は、時間τにおいて切り替わる。以下、説明の便宜上、τを「減衰時間」と称する。減衰時間τは、以下の式（２）で表わされる。
　τ＝σμｄ２　　　・・・（２）
　ここで、σは、対象物９の導電率であり、μは、対象物９の透磁率であり、ｄは、対象物９の厚さである。
　つまり、対象物９の厚さｄが変化すると、減衰時間τが変化する。この場合、対象物９の導電率σ及び透磁率μは一定なので、減衰時間τは、対象物９の厚さｄのみに依存して変化する。また、減衰時間τ及び厚さｄが変化しても、τ／ｄ２は、一定である。そのため、既知の厚さｄ０に対する減衰時間τ０と、未知の厚さｄｘに対する減衰時間τｘとがわかれば、以下の式（３）に基づいて、未知の厚さｄｘを求めることができる。
Figure JPOXMLDOC01-appb-M000002
 　例えば、図４において電圧信号Ｖ０（ｔ），Ｖ１（ｔ）を比較すると、厚さｄ０の対象物９の電圧信号Ｖ０（ｔ）の変化態様は、減衰時間τ０で切り替わる。対象物９の厚さｄがｄ０からｄ１に減少すると、減衰時間τは、τ０からτ１に減少する。尚、電圧信号Ｖ（ｔ）のうち両対数グラフで直線状の部分の変化態様は、式（１）からわかるように厚さｄに依存しないので、電圧信号Ｖ０（ｔ），Ｖ１（ｔ）で実質的に同じである。厚さｄ０及び減衰時間τ０，τ１を式（３）に代入することによって、厚さｄ１を求めることができる。
　演算装置８は、対象物９の既知の厚さを基準厚さｄ０とし、基準厚さｄ０における電圧信号Ｖ０（ｔ）の過渡変化を取得する。以下、電圧信号Ｖ０（ｔ）を基準電圧信号Ｖ０（ｔ）と称する。その後、演算装置８は、未知の厚さｄｘに関する電圧信号Ｖｘ（ｔ）を取得すると、電圧信号Ｖｘ（ｔ）の過渡変化を基準電圧信号Ｖ０（ｔ）の過渡変化と比較することによって、対象物９の厚さｄｘを求める。具体的には、演算装置８は、式（３）を用いて、基準厚さｄ０、基準減衰時間τ０及び減衰時間τｘから変化後の厚さｄｘを求める。
　このような適用例においては、プローブ１を採用することによって、前述のように渦電流の検出精度を向上させることができる。その結果、対象物９の評価精度、具体的には、対象物９の厚さの推定精度を向上させることができる。
　以上のように、対象物９に渦電流を発生させ且つ対象物９の渦電流を検出するためのプローブ１は、所定の軸心Ｘの周りに巻回され、励磁電流による磁束で対象物９に渦電流を発生させる励磁コイル３と、軸心Ｘの周りに巻回され、対象物９の渦電流を検出する検出コイル４とを備え、検出コイル４は、軸心Ｘを中心とする半径方向において励磁コイル３の内側又は外側に配置され、検出コイル４のコイル長さＬ２は、励磁コイル３のコイル長さＬ１よりも短く、励磁コイル３は、検出コイル４と半径方向に重ならない第１部分３１と、第１部分３１よりも対象物９の側に位置し、検出コイル４と半径方向に重なる第２部分３２とを有している。
　この構成によれば、励磁コイル３のコイル長さＬ１が比較的長いので、励磁コイル３は大きな磁束を発生させることができ、その結果、対象物９に大きな渦電流を発生させることができる。一方、検出コイル４のコイル長さＬ２が比較的短いので、検出コイル４はノイズを検出し難くなる。それに加えて、検出コイル４が対象物９の近くに配置されるので、対象物９の近傍の強い磁束を捉えることができる。これらの結果、プローブ１の渦電流の検出精度を向上させることができる。
　また、第２部分３２は、励磁コイル３のうちコイル長さの方向における対象物９に近い方の端部を少なくとも含んでいる。
　この構成によれば、検出コイル４は、励磁コイル３のうちコイル長さの方向における対象物９に近い方の端部の半径方向内側又は外側に配置される。つまり、検出コイル４は、対象物９の近くに配置される。その結果、検出コイル４は、対象物９の近傍の強い磁束を捉えることができる。
　さらに、検出コイル４は、半径方向における励磁コイル３の外側に配置されている。
　この構成によれば、検出コイル４が励磁コイル３の半径方向内側に配置される構成と比べて、検出コイル４の内径が大きくなる。その結果、検出コイル４は、より多くの磁束を捉えることができる。
　また、励磁コイル３のコイル長さＬ１は、励磁コイルＬ１の内径Ｄよりも長い。
　この構成によれば、励磁コイル３のコイル長さＬ１が比較的長くなるので、励磁コイル３は、より大きな磁束を発生させることができ、ひいては、対象物９により大きな渦電流を発生させることができる。このような励磁コイル３の半径方向内側又は外側に検出コイル４を重ねて配置する際に、検出コイル４のコイル長さＬ２を励磁コイル３のコイル長さＬ１と同程度にすると、検出コイル４が検出するノイズが大きくなってしまう。それに対し、前述の如く、検出コイル４のコイル長さＬ２を励磁コイル３のコイル長さＬ１よりも短くすることによって、励磁コイル３により発生させる磁束の増大と検出コイル４により検出されるノイズの低減とを両立させることができる。
　《その他の実施形態》
　以上のように、本出願において開示する技術の例示として、前記実施形態を説明した。しかしながら、本開示における技術は、これに限定されず、適宜、変更、置き換え、付加、省略などを行った実施の形態にも適用可能である。また、前記実施形態で説明した各構成要素を組み合わせて、新たな実施の形態とすることも可能である。また、添付図面および詳細な説明に記載された構成要素の中には、課題解決のために必須な構成要素だけでなく、前記技術を例示するために、課題解決のためには必須でない構成要素も含まれ得る。そのため、それらの必須ではない構成要素が添付図面や詳細な説明に記載されていることをもって、直ちに、それらの必須ではない構成要素が必須であるとの認定をするべきではない。
　前記実施形態について、以下のような構成としてもよい。
　例えば、プローブ１は、厚さ測定装置１００に適用されているが、これに限られるものではない。対象物に渦電流を発生させ且つ対象物の渦電流を検出する装置であれば、前述のプローブ１を適用することができる。
　さらに、プローブ１は、前述の構成に限られない。例えば、プローブ１は、２組の励磁コイル３及び検出コイル４を備えているが、励磁コイル３及び検出コイル４は、１組でもよく、３組以上であってもよい。また、プローブ１は、コア５を備えていなくてもよい。コア５は、検出コイル４に挿入されていてもよい。
　検出コイル４は、励磁コイル３の半径方向の外側に配置されているが、励磁コイル３の半径方向の内側に配置されていてもよい。検出コイル４は、励磁コイル３のコイル長さ方向の端部に配置されているが、励磁コイル３のコイル長さ方向の中間部分に配置されていてもよい。すなわち、励磁コイル３は、第１部分３１及び第２部分３２に加えて、第２部分３２よりも対象物９の側に位置し、検出コイル４と半径方向に重ならない第３部分をさらに有していてもよい。この場合であっても、検出コイル４が励磁コイル３のコイル長さの方向における対象物９から遠い方の端部と半径方向に重なるように配置される構成に比べて、検出コイル４を対象物９の近くに配置することができる。
　さらに、厚さ測定装置１００による厚さ測定は、一例に過ぎない。ＰＥＣによる厚さ測定方法は、様々であるので、任意の測定手法を採用することができる。
　また、厚さ測定装置１００の構成も一例に過ぎない。センサ装置１０と演算装置８は、一体的に構成されていてもよい。また、センサ装置１０のプローブ１、励磁部７１及び検出部７４を別筐体に収容して分離してもよい。また、センサ装置１０と演算装置８とが有線で接続されていてもよい。また、１つの演算装置８に対して複数のセンサ装置１０が接続されていてもよい。また、演算装置８は、無線又は有線により接続された他の装置に対して、演算した厚さに関するデータを送信するようにしてもよい。
　以上説明したように、ここに開示された技術は、プローブについて有用である。
１　　　　プローブ
３　　　　励磁コイル
３１　　　第１部分
３２　　　第２部分
４　　　　検出コイル
９　　　　対象物
Ｄ　　　　励磁コイルの内径
Ｌ１　　　励磁コイルのコイル長さ
Ｌ２　　　検出コイルのコイル長さ
Ｘ　　　　軸心

Claims (5)

  1. 　対象物に渦電流を発生させ且つ対象物の渦電流を検出するためのプローブであって、
    　所定の軸心の周りに巻回され、励磁電流による磁束で対象物に渦電流を発生させる励磁コイルと、
    　前記軸心の周りに巻回され、対象物の渦電流を検出する検出コイルとを備え、
    　前記検出コイルは、前記軸心を中心とする半径方向において前記励磁コイルの内側又は外側に配置され、
    　前記検出コイルのコイル長さは、前記励磁コイルのコイル長さよりも短く、
    　前記励磁コイルは、前記検出コイルと前記半径方向に重ならない第１部分と、前記第１部分よりも対象物の側に位置し、前記検出コイルと前記半径方向に重なる第２部分とを有しているプローブ。
  2. 　請求項１に記載のプローブにおいて、
    　前記第２部分は、前記励磁コイルのうち前記コイル長さの方向における対象物に近い方の端部を少なくとも含んでいるプローブ。
  3. 　請求項１又は２に記載のプローブにおいて、
    　前記検出コイルは、前記半径方向における前記励磁コイルの外側に配置されているプローブ。
  4. 　請求項１乃至３の何れか１つに記載のプローブにおいて、
    　前記励磁コイルのコイル長さは、前記励磁コイルの内径よりも長いプローブ。
  5. 　請求項１乃至４の何れか１つに記載のプローブにおいて、
    　前記励磁コイルの内部に挿入され且つ、前記検出コイルの内部に挿入されていないコアをさらに備えるプローブ。
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Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US20100207620A1 (en) * 2006-10-17 2010-08-19 Gies Paul D Inspection apparatus and method
JP2012063181A (ja) * 2010-09-14 2012-03-29 Delta Tooling Co Ltd 焼入れ状態検査装置及び焼入れ状態検査方法
JP2013205024A (ja) * 2012-03-27 2013-10-07 Dainichi Kikai Kogyo Kk 交番磁場を使用した非破壊検査用検出器

Family Cites Families (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS61133857A (ja) * 1984-12-05 1986-06-21 Nippon Telegr & Teleph Corp <Ntt> 地下管路腐食診断方法及びその装置
JPS61137058A (ja) * 1984-12-06 1986-06-24 Kubota Ltd 表面欠陥記録装置
JPS63105857A (ja) * 1986-10-23 1988-05-11 Nitto Kohki Co Ltd パレツトチエンジヤ
JP2008032575A (ja) * 2006-07-29 2008-02-14 Nippon Hihakai Kensa Kk 渦電流測定用プローブ及びそれを用いた探傷装置
JP2009036682A (ja) * 2007-08-02 2009-02-19 Toyota Motor Corp 渦電流センサ、硬化層深さ検査装置及び硬化層深さ検査方法
JP2009085894A (ja) * 2007-10-02 2009-04-23 Kaisei Engineer Kk 溶接部欠陥検出方法及び装置
JP4905560B2 (ja) * 2010-01-14 2012-03-28 トヨタ自動車株式会社 渦流計測用センサ、及び、渦流計測用センサによる検査方法

Patent Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US20100207620A1 (en) * 2006-10-17 2010-08-19 Gies Paul D Inspection apparatus and method
JP2012063181A (ja) * 2010-09-14 2012-03-29 Delta Tooling Co Ltd 焼入れ状態検査装置及び焼入れ状態検査方法
JP2013205024A (ja) * 2012-03-27 2013-10-07 Dainichi Kikai Kogyo Kk 交番磁場を使用した非破壊検査用検出器

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