WO2020153789A1

WO2020153789A1 - Liquid lens module and optical device including same

Info

Publication number: WO2020153789A1
Application number: PCT/KR2020/001170
Authority: WO
Inventors: 김태기; 엄성수; 엄준필
Original assignee: 엘지이노텍(주)
Priority date: 2019-01-25
Filing date: 2020-01-23
Publication date: 2020-07-30
Also published as: KR20200092644A

Abstract

A liquid lens module according to an embodiment comprises: a first upper plate comprising a first cavity in which a conductive liquid and a non-conductive liquid are contained; a first lower plate comprising a second cavity in which a conductive liquid and a non-conductive liquid are contained and which is placed at a position corresponding to the first cavity; and a common plate disposed between the first upper plate and the first lower plate, wherein: the first cavity comprises a first opening formed at the top of the first upper plate and a second opening having a smaller size than the first opening and formed at the bottom of the first upper plate; the second cavity comprises a third opening formed at the top of the first lower plate and a fourth opening having a larger size than the third opening and formed at the bottom of the first lower plate; and the third opening is smaller than the second opening.

Description

액체 렌즈 모듈 및 이 모듈을 포함하는 광학 장치Liquid lens module and optical device comprising the module

실시 예는 액체 렌즈 모듈 및 이 모듈을 포함하는 광학 장치에 관한 것이다.Embodiments relate to a liquid lens module and an optical device comprising the module.

휴대용 장치의 사용자는 고해상도를 가지며 크기가 작고 다양한 촬영 기능을 갖는 광학 장치를 원하고 있다. 예를 들어, 다양한 촬영 기능이란, 광학 줌 기능(zoom-in/zoom-out), 오토 포커싱(AF:Auto-Focusing) 기능 또는 손떨림 보정 내지 영상 흔들림 방지(OIS:Optical Image Stabilizer) 기능 중 적어도 하나를 의미할 수 있다.Users of portable devices desire high-resolution, small-sized, and various imaging functions. For example, the various shooting functions include at least one of an optical zoom function (zoom-in/zoom-out), an auto-focusing (AF) function, or an image stabilization or image stabilization (OIS) function. Can mean

기존의 경우, 전술한 다양한 촬영 기능을 구현하기 위해, 여러 개의 렌즈를 조합하고, 조합된 렌즈를 직접 움직이는 방법을 이용하였다. 그러나, 이와 같이 렌즈의 수를 증가시킬 경우 광학 장치의 크기가 커질 수 있다.In the conventional case, in order to implement the various shooting functions described above, a method of combining a plurality of lenses and directly moving the combined lenses was used. However, if the number of lenses is increased as described above, the size of the optical device may be increased.

오토 포커스와 손떨림 보정 기능은, 광축으로 정렬된 여러 개의 렌즈가, 광축 또는 광축의 수직 방향으로 이동하거나 틸팅(Tilting)하여 수행된다. 이때, 광학 장치에서 오토 포커싱을 수행하는 렌즈부와 손떨림 보정 기능을 수행하는 렌즈부가 서로 이격되어 마련됨으로서, 광학 장치의 전체 크기가 커지는 문제가 있다.The autofocus and image stabilization functions are performed by moving or tilting a plurality of lenses aligned with the optical axis in the vertical direction of the optical axis or optical axis. At this time, since the lens unit performing autofocusing in the optical device and the lens unit performing the camera shake correction function are provided spaced apart from each other, there is a problem that the overall size of the optical device increases.

실시 예는 크기가 줄어든 액체 렌즈 모듈 및 이 모듈을 포함하는 광학 장치를 제공하기 위한 것이다.An embodiment is to provide a reduced sized liquid lens module and an optical device including the module.

실시 예에서 해결하고자 하는 기술적 과제는 이상에서 언급한 기술적 과제로 제한되지 않으며, 언급하지 않은 또 다른 기술적 과제는 아래의 기재로부터 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 명확하게 이해될 수 있을 것이다.The technical problem to be solved in the embodiment is not limited to the technical problem mentioned above, and another technical problem not mentioned will be clearly understood by a person having ordinary knowledge in the technical field to which the present invention belongs from the following description. Will be able to.

일 실시 예에 의한 액체 렌즈 모듈은, 전도성 액체 및 비전도성 액체가 배치되는 제1 캐비티를 포함하는 제1 상측 플레이트; 전도성 액체 및 비전도성 액체가 배치되고 상기 제1 캐비티와 대응되는 위치에 배치되는 제2 캐비티를 포함하는 제1 하측 플레이트; 및 상기 제1 상측 플레이트와 상기 제1 하측 플레이트 사이에 배치되는 공통 플레이트를 포함하고, 상기 제1 캐비티는 상기 제1 상측 플레이트의 상부에 형성된 제1 개구와 상기 제1 개구보다 작고 상기 제1 상측 플레이트의 하부에 형성된 제2 개구를 포함하고, 상기 제2 캐비티는 상기 제1 하측 플레이트의 상부에 형성된 제3 개구와 상기 제3 개구보다 크고 상기 제1 하측 플레이트의 하부에 형성된 제4 개구를 포함하고, 상기 제3 개구는 상기 제2 개구보다 작을 수 있다.A liquid lens module according to an embodiment includes a first upper plate including a first cavity in which a conductive liquid and a non-conductive liquid are disposed; A first lower plate including a second cavity in which a conductive liquid and a non-conductive liquid are disposed and disposed at a position corresponding to the first cavity; And a common plate disposed between the first upper plate and the first lower plate, wherein the first cavity is smaller than the first opening and the first opening formed above the first upper plate and the first upper side. A second opening formed in a lower portion of the plate, and the second cavity includes a third opening formed in the upper portion of the first lower plate and a fourth opening larger than the third opening and formed in the lower portion of the first lower plate And, the third opening may be smaller than the second opening.

예를 들어, 액체 렌즈 모듈은, 상기 제1 상측 플레이트 아래에 배치된 상측 개별 전극; 상기 제1 상측 플레이트 위에 배치된 상측 공통 전극; 상기 제1 하측 플레이트 아래에 배치된 하측 제1 공통 전극; 및 상기 제1 하측 플레이트 위에 배치된 하측 제2 공통 전극을 포함할 수 있다.For example, the liquid lens module may include: an upper individual electrode disposed under the first upper plate; An upper common electrode disposed on the first upper plate; A lower first common electrode disposed under the first lower plate; And a lower second common electrode disposed on the first lower plate.

예를 들어, 상기 상측 개별 전극은 복수 개로 분할되고, 상기 공통 전극들은 각각 일체로 구성될 수 있다.For example, the upper individual electrodes are divided into a plurality, and the common electrodes may be configured integrally.

예를 들어, 상기 제1 캐비티의 하부는 상기 하측 제2 공통 전극의 일부와 상기 광축과 나란한 방향으로 중첩될 수 있다.For example, a lower portion of the first cavity may overlap a portion of the lower second common electrode and a direction parallel to the optical axis.

예를 들어, 상기 액체 렌즈 모듈은, 상기 제1 상측 플레이트 위에 배치되는 제2 상측 플레이트; 상기 제1 하측 플레이트 아래에 배치되는 제2 하측 플레이트; 상기 제1 상측 플레이트와 상기 제2 상측 플레이트를 연결하는 제1 플레이트 연결부; 상기 상측 공통 전극과 상기 제2 상측 플레이트를 연결하는 제1 금속 연결부; 상기 제1 상측 플레이트와 상기 공통 플레이트를 연결하는 제2 플레이트 연결부; 또는 상기 상측 개별 전극과 상기 공통 플레이트를 연결하는 제2 금속 연결부 중 적어도 하나를 포함할 수 있다.For example, the liquid lens module may include a second upper plate disposed on the first upper plate; A second lower plate disposed under the first lower plate; A first plate connecting portion connecting the first upper plate and the second upper plate; A first metal connection portion connecting the upper common electrode and the second upper plate; A second plate connecting portion connecting the first upper plate and the common plate; Alternatively, at least one of a second metal connection part connecting the upper individual electrode and the common plate may be included.

예를 들어, 상기 상측 개별 전극과 상기 상측 공통 전극은 상기 제1 상측 플레이트 위에서 제1 오프닝을 사이에 두고 서로 이격되고, 상기 제2 플레이트 연결부는 상기 제1 오프닝과 상기 광축과 나란한 방향으로 중첩되는 제2-1 플레이트 연결부를 포함할 수 있다.For example, the upper individual electrode and the upper common electrode are spaced apart from each other with a first opening therebetween on the first upper plate, and the second plate connecting portion overlaps with the first opening in the direction parallel to the optical axis. It may include a 2-1 plate connection.

예를 들어, 상기 상측 공통 전극은 상기 제1 상측 플레이트와 상기 제2 상측 플레이트 사이에 위치한 제1 관통 홀을 포함하고, 상기 제2 플레이트 연결부는 상기 제1 관통 홀과 상기 광축과 나란한 방향으로 중첩되는 제2-2 플레이트 연결부를 포함할 수 있다.For example, the upper common electrode includes a first through hole positioned between the first upper plate and the second upper plate, and the second plate connection part overlaps the first through hole and the optical axis in a direction parallel to the first common hole. It may include a 2-2 plate connection.

예를 들어, 상기 액체 렌즈 모듈은, 상기 제1 하측 플레이트와 상기 제2 하측 플레이트를 연결하는 제3 플레이트 연결부; 상기 하측 제1 공통 전극과 상기 제2 하측 플레이트를 연결하는 제3 금속 연결부; 상기 제1 하측 플레이트와 상기 공통 플레이트를 연결하는 제4 플레이트 연결부; 또는 상기 하측 제2 공통 전극과 상기 공통 플레이트를 연결하는 제4 금속 연결부 중 적어도 하나를 포함할 수 있다.For example, the liquid lens module may include a third plate connecting portion connecting the first lower plate and the second lower plate; A third metal connection portion connecting the lower first common electrode and the second lower plate; A fourth plate connecting portion connecting the first lower plate and the common plate; Alternatively, at least one of a fourth metal connection part connecting the lower second common electrode and the common plate may be included.

예를 들어, 상기 하측 제2 공통 전극과 상기 하측 제1 공통 전극은 상기 제1 하측 플레이트 아래에서 제2 오프닝을 사이에 두고 서로 이격되고, 상기 제4 플레이트 연결부는 상기 제2 오프닝과 상기 광축과 나란한 방향으로 중첩되는 제4-1 플레이트 연결부를 포함할 수 있다.For example, the lower second common electrode and the lower first common electrode are spaced apart from each other with a second opening therebetween under the first lower plate, and the fourth plate connection part communicates with the second opening and the optical axis. It may include a 4-1 plate connecting portion overlapping in a parallel direction.

예를 들어, 상기 하측 제1 공통 전극은 상기 제1 하측 플레이트와 상기 제2 하측 플레이트 사이에 위치한 제2 관통 홀을 포함하고, 상기 제4 플레이트 연결부는 상기 제2 관통 홀과 상기 광축과 나란한 방향으로 중첩되는 제4-2 플레이트 연결부를 포함할 수 있다.For example, the lower first common electrode includes a second through hole positioned between the first lower plate and the second lower plate, and the fourth plate connection part is in a direction parallel to the second through hole and the optical axis. It may include a 4-2 plate connecting portion overlapping.

예를 들어, 상기 제3 금속 연결부는 환형 형상을 가질 수 있다.For example, the third metal connection part may have an annular shape.

예를 들어, 상기 제3 플레이트 연결부는 상기 제3 금속 연결부와 동심원상에서 서로 이격된 복수의 제3 플레이트 연결부를 포함할 수 있다.For example, the third plate connection portion may include a plurality of third plate connection portions spaced apart from each other on a concentric circle with the third metal connection portion.

예를 들어, 상기 광축과 나란한 방향으로 상기 제4 금속 연결부는 상기 제1 캐비티와 중첩될 수 있다.For example, the fourth metal connection part may overlap the first cavity in a direction parallel to the optical axis.

예를 들어, 상기 제1 금속 연결부와 상기 제3 금속 연결부는 상기 광축과 나란한 방향으로 서로 대칭인 단면 형상을 갖고, 상기 제1 플레이트 연결부와 상기 제3 플레이트 연결부는 상기 광축과 나란한 방향으로 서로 대칭인 단면 형상을 가질 수 있다.For example, the first metal connection portion and the third metal connection portion have cross-sectional shapes that are symmetrical to each other in a direction parallel to the optical axis, and the first plate connection portion and the third plate connection portion are symmetrical to each other in a direction parallel to the optical axis. It may have a phosphorus cross-sectional shape.

다른 실시 예에 의한 광학 장치는, 상기 액체 렌즈 모듈; 입사되는 광의 경로를 상기 액체 렌즈 모듈 방향으로 변경하는 프리즘 유닛; 및 상기 액체 렌즈 모듈을 경유한 광을 줌 인/줌아웃하는 주밍부를 포함할 수 있다.An optical device according to another embodiment includes the liquid lens module; A prism unit changing a path of incident light in the direction of the liquid lens module; And a zooming unit for zooming in/out the light passing through the liquid lens module.

실시 예에 따른 액체 렌즈 모듈 및 이 모듈을 포함하는 광학 장치는 2개의 액체 렌즈가 플레이트를 공유하므로 즉, 제3 상측 플레이트와 제3 하측 플레이트가 일체이므로 일체가 아니라 서로 이격된 제3 상측 플레이트와 제3 하측 플레이트를 포함하는 액체 렌즈 모듈보다 줄어든 전체 크기를 갖는다.The liquid lens module according to the embodiment and the optical device including the module have two liquid lenses sharing a plate, that is, the third upper plate and the third lower plate are integral, and thus the third upper plate spaced apart from each other is not integral. It has a reduced overall size than the liquid lens module including the third lower plate.

또한, 액체 렌즈 모듈 및 이 모듈을 포함하는 광학 장치는 수직으로 적층된 2개의 액체 렌즈 중에서 광이 먼저 입사되는 제1 액체 렌즈의 제2 개구가 제2 액체 렌즈의 제3 개구보다 크기 때문에, 컷 오프 영역이 형성됨으로써 파면 에러가 보상될 수 있다.In addition, the liquid lens module and the optical device including the module are cut because the second opening of the first liquid lens to which light is first incident is larger than the third opening of the second liquid lens among the two liquid lenses stacked vertically. A wavefront error can be compensated for by forming the off region.

또한, 본 실시 예에서 얻을 수 있는 효과는 이상에서 언급한 효과들로 제한되지 않으며 언급하지 않은 또 다른 효과는 아래의 기재로부터 본 발명이 속하는 분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 명확하게 이해될 수 있을 것이다.In addition, the effects obtainable in the present embodiment are not limited to the above-mentioned effects, and other effects not mentioned can be clearly understood by those skilled in the art from the following description. There will be.

도 1은 실시 예에 의한 액체 렌즈 모듈의 단면도를 나타낸다.1 is a sectional view showing a liquid lens module according to an embodiment.

도 2는 도 1에 도시된 ‘A’ 부분을 확대한 부분 확대 단면도를 나타낸다.FIG. 2 is a partially enlarged cross-sectional view of the “A” portion illustrated in FIG. 1.

도 3a 및 도 3b는 도 1에 도시된 액체 렌즈 모듈의 평면도 및 저면도를 각각 나타낸다.3A and 3B show a plan view and a bottom view, respectively, of the liquid lens module shown in FIG. 1.

도 4는 실시 예에 의한 액체 렌즈 모듈의 저면도를 나타낸다.4 shows a bottom view of a liquid lens module according to an embodiment.

도 5는 도 4에 도시된 I-I’선을 따라 절취한 단면도를 나타낸다.5 is a cross-sectional view taken along line I-I' shown in FIG. 4.

도 6은 도 4에 도시된 Ⅱ-Ⅱ’선을 따라 절취한 단면도를 나타낸다.6 is a cross-sectional view taken along line II-II' shown in FIG. 4.

도 7은 도 4에 도시된 Ⅲ-Ⅲ’선을 따라 절취한 단면도를 나타낸다.7 is a cross-sectional view taken along line III-III' shown in FIG. 4.

도 8a 내지 도 8f는 도 5에 도시된 액체 렌즈 모듈의 제조 방법을 설명하기 위한 공정 단면도이다.8A to 8F are process cross-sectional views illustrating a method of manufacturing the liquid lens module illustrated in FIG. 5.

도 9는 실시 예에 의한 광학 장치의 개략적인 블럭도를 나타낸다.9 is a schematic block diagram of an optical device according to an embodiment.

이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시 예를 상세히 설명한다.Hereinafter, exemplary embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.

다만, 본 발명의 기술 사상은 설명되는 일부 실시 예에 한정되는 것이 아니라 서로 다른 다양한 형태로 구현될 수 있고, 본 발명의 기술 사상 범위 내에서라면, 실시 예들 간 그 구성 요소들 중 하나 이상을 선택적으로 결합, 치환하여 사용할 수 있다.However, the technical spirit of the present invention is not limited to some described embodiments, and may be implemented in various different forms, and within the scope of the technical spirit of the present invention, one or more of its components between embodiments may be selectively selected. It can be used by bonding and substitution.

또한, 본 발명의 실시 예에서 사용되는 용어(기술 및 과학적 용어를 포함)는, 명백하게 특별히 정의되어 기술되지 않는 한, 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 일반적으로 이해될 수 있는 의미로 해석될 수 있으며, 사전에 정의된 용어와 같이 일반적으로 사용되는 용어들은 관련 기술의 문맥상의 의미를 고려하여 그 의미를 해석할 수 있을 것이다.In addition, the terms used in the embodiments of the present invention (including technical and scientific terms), unless specifically defined and described, can be generally understood by those skilled in the art to which the present invention pertains. It can be interpreted as meaning, and commonly used terms, such as predefined terms, may interpret the meaning in consideration of the contextual meaning of the related technology.

또한, 본 발명의 실시 예에서 사용된 용어는 실시 예들을 설명하기 위한 것이며 본 발명을 제한하고자 하는 것은 아니다. 본 명세서에서, 단수형은 문구에서 특별히 언급하지 않는 한 복수형도 포함할 수 있고, “A 및(와) B, C중 적어도 하나(또는 한 개이상)”으로 기재되는 경우 A, B, C로 조합할 수 있는 모든 조합 중 하나이상을 포함할 수 있다.In addition, the terms used in the embodiments of the present invention are for describing the embodiments and are not intended to limit the present invention. In the present specification, the singular form may also include the plural form unless specifically stated in the phrase, and is combined with A, B, C when described as “at least one (or more than one) of A and B, C”. It can contain one or more of all possible combinations.

또한, 본 발명의 실시 예의 구성 요소를 설명하는 데 있어서, 제1, 제2, A, B, (a), (b) 등의 용어를 사용할 수 있다. 이러한 용어는 그 구성 요소를 다른 구성 요소와 구별하기 위한 것일 뿐, 그 용어에 의해 해당 구성 요소의 본질이나 차례 또는 순서 등으로 한정되지 않는다.In addition, in describing the components of the embodiments of the present invention, terms such as first, second, A, B, (a), and (b) may be used. These terms are only for distinguishing the component from other components, and the term is not limited to the nature, order, or order of the component.

그리고, 어떤 구성 요소가 다른 구성요소에 ‘연결’, ‘결합’ 또는 ‘접속’된다고 기재된 경우, 그 구성 요소는 그 다른 구성요소에 직접적으로 연결, 결합 또는 접속되는 경우 뿐만아니라, 그 구성 요소와 그 다른 구성요소 사이에 있는 또 다른 구성 요소로 인해 ‘연결’, ‘결합’ 또는 ‘접속’되는 경우도 포함할 수 있다.And, when a component is described as being'connected','coupled' or'connected' to another component, the component is not only directly connected, coupled or connected to the other component, but also to the component It may also include the case of'connected','coupled' or'connected' due to another component between the other components.

또한, 각 구성 요소의 “상(위) 또는 하(아래)”에 형성 또는 배치되는 것으로 기재되는 경우, 상(위) 또는 하(아래)는 두 개의 구성 요소들이 서로 직접 접촉되는 경우 뿐만아니라 하나 이상의 또 다른 구성 요소가 두 개의 구성 요소들 사이에 형성 또는 배치되는 경우도 포함한다. 또한 “상(위) 또는 하(아래)”로 표현되는 경우 하나의 구성 요소를 기준으로 위쪽 방향뿐만 아니라 아래쪽 방향의 의미도 포함할 수 있다.In addition, when described as being formed or disposed in the “top (top) or bottom (bottom)” of each component, the top (top) or bottom (bottom) is not only when two components are in direct contact with each other, but also one It also includes a case in which another component described above is formed or disposed between two components. In addition, when expressed as “up (up) or down (down)”, it may include the meaning of the downward direction as well as the upward direction based on one component.

가변 렌즈는 초점 가변 렌즈일 수 있다. 또한 가변 렌즈는 초점이 조절되는 렌즈일 수 있다. 가변 렌즈는 액체 렌즈, 폴리머 렌즈, 액정 렌즈, VCM 타입, SMA 타입 중 적어도 하나일 수 있다. 액체 렌즈는 하나의 액체를 포함하는 액체 렌즈와 두개의 액체를 포함하는 액체 렌즈를 포함할 수 있다. 하나의 액체를 포함하는 액체 렌즈는 액체와 대응되는 위치에 배치되는 멤브레인을 조절하여 초점을 가변시킬 수 있으며, 예를들어 마그넷과 코일의 전자기력에 의해 멤브레인을 가압하여 초점을 가변시킬 수 있다. 두개의 액체를 포함하는 액체 렌즈는 전도성 액체와 비전도성 액체를 포함하여 액체 렌즈에 인가되는 전압을 이용하여 전도성 액체와 비전도성 액체가 형성하는 계면을 조절할 수 있다. 폴리머 렌즈는 고분자 물질을 피에조 등의 구동부를 통해 초점을 가변시킬 수 있다. 액정 렌즈는 전자기력에 의해 액정을 제어하여 초점을 가변시킬 수 있다. VCM 타입은 고체 렌즈 또는 고체 렌즈를 포함하는 렌즈 어셈블리를 마그넷과 코일간의 전자기력을 통해 조절하여 초점을 가변시킬 수 있다. SMA 타입은 형상기억합금을 이용하여 고체 렌즈 또는 고체 렌즈를 포함하는 렌즈 어셈블리를 제어하여 초점을 가변시킬 수 있다.The variable lens may be a variable focus lens. Also, the variable lens may be a lens whose focus is adjusted. The variable lens may be at least one of a liquid lens, a polymer lens, a liquid crystal lens, a VCM type, and an SMA type. The liquid lens may include a liquid lens including one liquid and a liquid lens including two liquids. The liquid lens including one liquid may change the focus by adjusting the membrane disposed at a position corresponding to the liquid, and for example, the focus may be changed by pressing the membrane by the electromagnetic force of the magnet and the coil. The liquid lens including two liquids may control the interface formed by the conductive liquid and the non-conductive liquid by using a voltage applied to the liquid lens including the conductive liquid and the non-conductive liquid. The polymer lens can change the focus of the polymer material through a driving unit such as a piezo. The liquid crystal lens can change the focus by controlling the liquid crystal by electromagnetic force. The VCM type can change the focus by adjusting the solid lens or the lens assembly including the solid lens through an electromagnetic force between the magnet and the coil. The SMA type may use a shape memory alloy to control a solid lens or a lens assembly including the solid lens to change focus.

이하, 실시 예에 의한 렌즈 모듈 및 이 모듈을 포함하는 광학 장치에 포함되는 가변 렌즈는 액체 렌즈인 것으로 설명하지만, 실시 예에 의한 렌즈 모듈 및 이 모듈을 포함하는 광학 장치는 액체 렌즈 이외의 다른 형태의 가변 렌즈를 포함할 수도 있다.Hereinafter, the lens module according to the embodiment and the variable lens included in the optical device including the module will be described as a liquid lens, but the lens module according to the embodiment and the optical device including the module will have other forms other than the liquid lens. It may also include a variable lens.

이하, 실시 예에 의한 액체 렌즈 모듈 및 이 모듈을 포함하는 광학 장치를 데카르트 좌표계를 이용하여 설명하지만, 실시 예는 이에 국한되지 않는다. 즉, 데카르트 좌표계에 의하면, x축, y축 및 z축은 서로 직교하지만, 실시 예는 이에 국한되지 않는다. 즉, x축, y축, z축은 직교하는 대신에 서로 교차할 수 있다.Hereinafter, a liquid lens module according to an embodiment and an optical device including the module will be described using a Cartesian coordinate system, but the embodiment is not limited thereto. That is, according to the Cartesian coordinate system, the x-axis, y-axis, and z-axis are orthogonal to each other, but the embodiment is not limited thereto. That is, the x-axis, y-axis, and z-axis may intersect each other instead of being orthogonal.

도 1은 실시 예에 의한 액체 렌즈 모듈(100)의 단면도를 나타내고, 도 2는 도 1에 도시된 ‘A’ 부분을 확대한 부분 확대 단면도를 나타낸다.1 is a cross-sectional view of a liquid lens module 100 according to an embodiment, and FIG. 2 is a partially enlarged cross-sectional view of the “A” portion shown in FIG. 1.

도 3a 및 도 3b는 도 1에 도시된 액체 렌즈 모듈(100)의 평면도 및 저면도를 각각 나타낸다.3A and 3B show a top view and a bottom view, respectively, of the liquid lens module 100 shown in FIG. 1.

실시 예에 의한 액체 렌즈 모듈(100)은 제1 및 제2 액체 렌즈(110, 120)를 포함할 수 있다.The liquid lens module 100 according to the embodiment may include first and second

liquid lenses

110 and 120.

실시 예에 의한 제1 액체 렌즈(110)는 서로 다른 종류의 복수의 제1 액체(LQ11, LQ12), 제1 내지 제3 상측 플레이트(P1U, P2U, P3U), 상측 개별 전극(LLU), 상측 공통 전극(CEU) 및 상측 절연층(148U)을 포함할 수 있다.The first liquid lens 110 according to the embodiment includes a plurality of different kinds of first liquids LQ11 and LQ12, first to third upper plates P1U, P2U, and P3U, upper individual electrodes LLU, and upper sides A common electrode CEU and an upper insulating layer 148U may be included.

복수의 제1 액체(LQ11, LQ12)는 제1 캐비티(Cavity)(CA1)에 충진, 수용 또는 배치되며, 전도성을 갖는 제1 액체(LQ11)(또는, 전도성 제1 액체, 이하, ‘제1-1 액체’라 한다)와 비전도성을 갖는 제1 액체(LQ12)(또는, 비전도성 제1 액체, 이하, ‘제1-2 액체’라 한다)를 포함할 수 있다. 제1-1 액체(LQ11)와 제1-2 액체(LQ12)는 서로 섞이지 않으며, 제1-1 및 제1-2 액체(LQ11, LQ12) 사이의 접하는 부분에 제1 계면(BO10, BO11, BO12)이 형성될 수 있다. 예를 들어, 제1-2 액체(LQ2) 위에 제1-1 액체(LQ11)가 배치될 수 있으나, 실시 예는 이에 국한되지 않는다.The plurality of first liquids LQ11 and LQ12 are filled, received, or disposed in the first cavity CA1, and the first liquid LQ11 having conductivity (or, the conductive first liquid, hereinafter,'first' -1 liquid) and a non-conductive first liquid LQ12 (or a non-conductive first liquid, hereinafter referred to as a '1-2 liquid'). The first-first liquid (LQ11) and the first-second liquid (LQ12) do not mix with each other, and the first interface (BO10, BO11) BO12) may be formed. For example, the 1-1 liquid LQ11 may be disposed on the 1-2 liquid LQ2, but the embodiment is not limited thereto.

제1 상측 플레이트(P1U)는 제1 캐비티(CA1)를 포함할 수 있다. 제1 상측 플레이트(P1U)의 제1 내측면(i1)은 제1 캐비티(CA1)의 측부를 정의할 수 있다. 이때, 제1 상측 플레이트(P1U)의 제1 내측면(i1)은 도 1에 도시된 바와 같이 경사질 수 있으나, 실시 예는 이에 국한되지 않는다.The first upper plate P1U may include a first cavity CA1. The first inner surface i1 of the first upper plate P1U may define a side portion of the first cavity CA1. At this time, the first inner surface i1 of the first upper plate P1U may be inclined as illustrated in FIG. 1, but the embodiment is not limited thereto.

제1 상측 플레이트(P1U)는 상 및 하 각각에 위치한 제1 및 제2 개구(O1, O2)를 포함할 수 있다. 즉, 제1 캐비티(CA1)는 제1 상측 플레이트(P1U)의 제1 내측면(i1), 제1 개구(O1) 및 제2 개구(O2)로 둘러싸인 영역으로 정의될 수 있다. 이와 같이, 제1 캐비티(CA1)는 제1 개구(O1) 및 제2 개구(O2)를 포함할 수 있다. 제1 개구(O1)는 제1 상측 플레이트(P1U)의 상부에 형성되고, 제2 개구(O2)는 제1 상측 플레이트(P1U)의 하부에 형성될 수 있다.The first upper plate P1U may include first and second openings O1 and O2 located in upper and lower portions, respectively. That is, the first cavity CA1 may be defined as an area surrounded by the first inner surface i1, the first opening O1, and the second opening O2 of the first upper plate P1U. As such, the first cavity CA1 may include a first opening O1 and a second opening O2. The first opening O1 may be formed above the first upper plate P1U, and the second opening O2 may be formed below the first upper plate P1U.

제1 및 제2 개구(O1, O2) 중에서 보다 넓은 개구의 직경은 제1 액체 렌즈(110)에서 요구하는 화각(FOV) 또는 제1 액체 렌즈(110)를 포함하는 후술되는 광학 장치에서 수행해야 할 역할에 따라 달라질 수 있다. 실시 예에 의하면, 제1 개구(O1)의 크기(또는, 면적 또는 폭)는 제2 개구(O2)의 크기(또는, 면적 또는 폭)보다 더 클 수 있다. 여기서, 제1 및 제2 개구(O1, O2) 각각의 크기는 수평 방향(예를 들어, x축과 y축 방향)의 단면적일 수 있다. 예를 들어, 제1 및 제2 개구(O1, O2) 각각의 크기란, 개구의 단면이 원형이면 반지름을 의미하고, 개구의 단면이 정사각형이면 대각선의 길이를 의미할 수 있다. 제1 및 제2 개구(O1, O2) 각각은 후술되는 도 3a에 도시된 바와 같이 원형의 단면을 가질 수 있다.The diameters of the wider openings among the first and second openings O1 and O2 must be performed in an optical device described later including a field of view (FOV) required by the first liquid lens 110 or the first liquid lens 110 It may vary depending on the role to be played. According to an embodiment, the size (or area or width) of the first opening O1 may be larger than the size (or area or width) of the second opening O2. Here, the size of each of the first and second openings O1 and O2 may be a cross-sectional area in a horizontal direction (eg, x-axis and y-axis directions). For example, the size of each of the first and second openings O1 and O2 may mean a radius when the cross section of the opening is circular, and may mean a length of a diagonal line when the cross section of the opening is square. Each of the first and second openings O1 and O2 may have a circular cross section as shown in FIG. 3A to be described later.

제1 캐비티(CA1)는 광이 투과하는 부위이다. 따라서, 제1 캐비티(CA1)를 이루는 제1 상측 플레이트(P1U)는 투명한 재료로 이루어질 수도 있고, 광의 투과가 용이하지 않도록 불순물을 포함할 수도 있다.The first cavity CA1 is a site through which light passes. Therefore, the first upper plate P1U constituting the first cavity CA1 may be made of a transparent material or may contain impurities so that light is not easily transmitted.

광은 제1 캐비티(CA1)에서 제2 개구(O2)보다 넓은 제1 개구(O1)를 통해 입사되어 제2 개구(O2)를 통해 출사될 수도 있고, 제1 개구(O1)보다 좁은 제2 개구(O2)를 통해 입사되어 제1 개구(O1)를 통해 출사될 수 있다.The light may be incident through the first opening O1 wider than the second opening O2 in the first cavity CA1, and may be emitted through the second opening O2, or the second narrower than the first opening O1. It may be incident through the opening O2 and exit through the first opening O1.

또한, 제2 상측 플레이트(P2U)는 제1 상측 플레이트(P1U)의 위 또는 아래 중 한 곳에 배치되고, 제3 상측 플레이트(P3U)는 제1 상측 플레이트(P1U)의 위 또는 아래 중 다른 곳에 배치될 수 있다. 예를 들어, 도 1에 도시된 바와 같이, 제2 상측 플레이트(P2U)는 제1 상측 플레이트(P1U)의 위에 배치되고, 제3 상측 플레이트(P3U)는 제1 상측 플레이트(P1U)의 아래에 배치될 수 있다. 이 경우, 제2 상측 플레이트(P2U)는 상측 공통 전극(CEU)의 상면과 제1 캐비티(CA1) 위에 배치될 수 있다. 제3 상측 플레이트(P3U)는 상측 개별 전극(LLU)의 하면과 제1 캐비티(CA1) 아래에 배치될 수 있다.In addition, the second upper plate (P2U) is disposed on one of the top or bottom of the first upper plate (P1U), the third upper plate (P3U) is disposed on the other of the top or bottom of the first upper plate (P1U) Can be. For example, as shown in FIG. 1, the second upper plate P2U is disposed above the first upper plate P1U, and the third upper plate P3U is below the first upper plate P1U. Can be deployed. In this case, the second upper plate P2U may be disposed on the upper surface of the upper common electrode CEU and the first cavity CA1. The third upper plate P3U may be disposed under the lower surface of the upper individual electrode LLU and under the first cavity CA1.

제2 상측 플레이트(P2U)와 제3 상측 플레이트(P3U)는 제1 상측 플레이트(P1U)를 사이에 두고 서로 대향하여 배치될 수 있다. 또한, 제2 상측 플레이트(P2U) 또는 제3 상측 플레이트(P3U) 중 적어도 하나는 생략될 수도 있다.The second upper plate P2U and the third upper plate P3U may be disposed to face each other with the first upper plate P1U interposed therebetween. Also, at least one of the second upper plate P2U or the third upper plate P3U may be omitted.

제2 또는 제3 상측 플레이트(P2U, P3U) 중 적어도 하나는 사각형 평면 형상을 가질 수 있으며 일부 영역이 도피되어 후술할 전극의 일부를 노출 시킬 수 있다. 제2 및 제3 상측 플레이트(P2U, P3U) 각각은 광이 통과하는 영역으로서, 투광성 재료로 이루어질 수 있다. 예를 들면, 제2 및 제3 상측 플레이트(P2U, P3U) 각각은 유리(glass)로 이루어질 수 있으며, 공정의 편의상 동일한 재료로 형성될 수 있다. 또한, 제2 및 제3 상측 플레이트(P2U, P3U) 각각의 가장 자리는 사각형 형상일 수 있으나, 반드시 이에 한정하지는 않는다.At least one of the second or third upper plates P2U and P3U may have a rectangular planar shape, and some regions may be escaped to expose a portion of the electrode to be described later. Each of the second and third upper plates P2U and P3U is a region through which light passes, and may be made of a light-transmissive material. For example, each of the second and third upper plates P2U and P3U may be made of glass, and may be formed of the same material for convenience of processing. In addition, the edges of each of the second and third upper plates P2U and P3U may have a rectangular shape, but are not limited thereto.

제2 상측 플레이트(P2U)는 입사되는 광이 제1 상측 플레이트(P1U)의 제1 캐비티(CA1) 내부로 진행하도록 허용하는 구성을 가질 수 있으나 반대 방향으로 광 경로가 진행될 수도 있다. 제3 상측 플레이트(P3U)는 제1 상측 플레이트(P1U)의 제1 캐비티(CA1)를 통과한 광이 출사되도록 허용하는 구성을 가질 수 있으나 반대 방향으로도 광 출사를 허용하는 구성을 가질 수도 있다. 제2 상측 플레이트(P2U)는 제1-1 액체(LQ11)와 직접 접촉할 수 있다.The second upper plate P2U may have a configuration that allows the incident light to proceed into the first cavity CA1 of the first upper plate P1U, but the optical path may also proceed in the opposite direction. The third upper plate P3U may have a configuration that allows light passing through the first cavity CA1 of the first upper plate P1U to be emitted, but may also have a configuration that allows light emission in the opposite direction. . The second upper plate P2U may directly contact the first-first liquid LQ11.

또한, 제1 액체 렌즈(110)의 실제 유효 렌즈 영역은 제1 상측 플레이트(P1U)의 제1 및 제2 개구(O1, O2) 중에서 넓은 제1 개구(O1)의 직경보다 좁을 수 있다.Further, the actual effective lens area of the first liquid lens 110 may be narrower than the diameter of the wide first opening O1 among the first and second openings O1 and O2 of the first upper plate P1U.

제1 상측 플레이트(P1U)의 일면과 타면에 상측 공통 전극 및 상측 개별 전극(CEU, LLU)이 각각 배치될 수 있다. 상측 공통 전극(CEU)은 제1 상측 플레이트(P1U) 위에 배치될 수 있다. 구체적으로, 상측 공통 전극(CEU)은 제1 상측 플레이트(P1U)의 일면(예를 들어, 상부면)의 적어도 일부 영역에서 상측 개별 전극(LLU)과 이격되어 배치될 수 있다. 제1 상측 플레이트(P1U)의 일면에 배치된 상측 공통 전극(CEU)의 일부가 전도성을 갖는 제1-1 액체(LQ11)에 노출되어 제1-1 액체(LQ11)와 직접 접촉할 수 있다. 복수의 상측 개별 전극(LLU)은 제1 상측 플레이트(P1U)의 아래에 배치될 수 있다. 구체적으로, 제1 상측 플레이트(P1U)의 타면(예를 들어, 상부면, 제1 내측면 및 하부면)에 배치될 수 있다.Upper common electrodes and upper individual electrodes CEU and LLU may be respectively disposed on one surface and the other surface of the first upper plate P1U. The upper common electrode CEU may be disposed on the first upper plate P1U. Specifically, the upper common electrode CEU may be disposed to be spaced apart from the upper individual electrode LLU in at least a portion of one surface (eg, an upper surface) of the first upper plate P1U. A portion of the upper common electrode CEU disposed on one surface of the first upper plate P1U is exposed to the conductive first-first liquid LQ11 to directly contact the first-first liquid LQ11. The plurality of upper individual electrodes LLU may be disposed under the first upper plate P1U. Specifically, the first upper plate P1U may be disposed on other surfaces (eg, an upper surface, a first inner surface, and a lower surface).

도 3a에 도시된 바와 같이 상측 공통 전극(CEU)은 한 개의 전극이고, 상측 개별 전극(LLU)은 n개의 개별 전극을 포함할 수 있다. 여기서, n은 2 이상의 양의 정수일 수 있다. 예를 들어, n은 4 또는 8일 수 있으며, 도 3a에 도시된 바와 같이 n=8일 수 있다. 즉, 상측 개별 전극(LLU)은 복수 개로 분할될 수 있다.3A, the upper common electrode CEU is one electrode, and the upper individual electrode LLU may include n individual electrodes. Here, n may be a positive integer of 2 or more. For example, n may be 4 or 8, and n=8 as shown in FIG. 3A. That is, the upper individual electrode LLU may be divided into a plurality.

예를 들어, 복수의 상측 개별 전극(LLU)은 광축(LX)을 중심으로 시계 방향(또는, 반시계 방향)을 따라 순차적으로 배치될 수 있다.For example, the plurality of upper individual electrodes LLU may be sequentially arranged along the optical axis LX in the clockwise direction (or counterclockwise direction).

상측 공통 전극 및 상측 개별 전극(CEU, LLU) 각각은 도전성 재료로 이루어질 수 있고, 예를 들면 금속으로 이루어질 수 있다.Each of the upper common electrode and the upper individual electrodes CEU and LLU may be made of a conductive material, for example, metal.

한편, 상측 절연층(148U)은 제1 캐비티(CA1)의 하부 영역에서 제3 상측 플레이트(P3U)의 상부면의 일부를 덮으면서 배치될 수 있다. 즉, 상측 절연층(148U)은 제1-2 액체(LQ12)와 제3 상측 플레이트(P3U)의 사이에 배치될 수 있다.Meanwhile, the upper insulating layer 148U may be disposed while covering a part of the upper surface of the third upper plate P3U in the lower region of the first cavity CA1. That is, the upper insulating layer 148U may be disposed between the 1-2 liquid LQ12 and the third upper plate P3U.

또한, 상측 절연층(148U)은 제1 캐비티(CA1)의 측벽을 이루는 상측 개별 전극(LLU)의 일부를 덮으면서 배치될 수 있다. 또한, 상측 절연층(148U)은 제1 상측 플레이트(P1U)의 상부면에서, 상측 공통 전극(CEU)의 일부와 상측 개별 전극(LLU)의 전체를 덮으며 배치될 수 있다. 또한, 상측 절연층(148U)은 상측 공통 전극(CEU)과 상측 개별 전극(LLU)을 이격시키는 제1 오프닝(OP1)에서 노출된 제1 상측 플레이트(P1U)의 상부면의 일부를 덮으면서 배치될 수 있다.In addition, the upper insulating layer 148U may be disposed while covering a part of the upper individual electrode LLU forming a sidewall of the first cavity CA1. In addition, the upper insulating layer 148U may be disposed on the upper surface of the first upper plate P1U, covering a portion of the upper common electrode CEU and the entire upper individual electrode LLU. In addition, the upper insulating layer 148U is disposed while covering a portion of the upper surface of the first upper plate P1U exposed at the first opening OP1 separating the upper common electrode CEU and the upper individual electrode LLU. Can be.

이와 같이, 상측 절연층(148U)은 상측 개별 전극(LLU)과 제1-1 액체(LQ11) 간의 접촉, 상측 개별 전극(LLU)과 제1-2 액체(LQ12) 간의 접촉 및 제3 상측 플레이트(P3U)와 제1-2 액체(LQ12) 간의 접촉을 차단할 수 있다.In this way, the upper insulating layer 148U is in contact between the upper individual electrode LLU and the first-first liquid LQ11, the upper individual electrode LLU and the first-2 liquid LQ12, and the third upper plate The contact between (P3U) and the 1-2 liquid (LQ12) can be blocked.

상측 절연층(148U)이 상측 공통 전극(CEU) 및 상측 개별 전극(LLU) 중 하나의 전극(예를 들어, 상측 개별 전극(LLU))을 덮고, 다른 하나의 전극(예를 들어, 상측 공통 전극(CEU))의 일부를 노출시켜 전도성을 갖는 제1-1 액체(LQ11)에 전기 에너지가 인가되도록 할 수 있다.The upper insulating layer 148U covers one electrode (for example, the upper individual electrode LLU) of the upper common electrode CEU and the upper individual electrode LLU, and the other electrode (for example, upper common) A portion of the electrode CEU) is exposed to allow electric energy to be applied to the conductive 1-1 liquid LQ11.

실시 예에 의한 제2 액체 렌즈(120)는 서로 다른 종류의 복수의 제2 액체(LQ21, LQ22), 제1 내지 제3 하측 플레이트(P1L, P2L, P3L), 하측 개별 전극(LLL), 하측 공통 전극(CEL) 및 하측 절연층(148L)을 포함할 수 있다.The second liquid lens 120 according to the embodiment includes a plurality of different types of second liquids LQ21 and LQ22, first to third lower plates P1L, P2L, and P3L, lower individual electrodes LLL, and lower sides The common electrode CEL and the lower insulating layer 148L may be included.

복수의 제2 액체(LQ21, LQ22)는 제2 캐비티(CA2)에 충진, 수용 또는 배치되며, 전도성을 갖는 제2 액체(LQ21)(또는, 전도성 제2 액체, 이하, ‘제2-1 액체’라 한다)와 비전도성을 갖는 제2 액체(LQ22)(또는, 비전도성 제2 액체, 이하, ‘제2-2 액체’라 한다)를 포함할 수 있다. 제2-1 액체(LQ21)와 제2-2 액체(LQ22)는 서로 섞이지 않으며, 제2-1 및 제2-2 액체(LQ21, LQ22) 사이의 접하는 부분에 제2 계면(BO20, BO21)이 형성될 수 있다. 예를 들어, 제2-1 액체(LQ21) 위에 제2-2 액체(LQ22)가 배치될 수 있으나, 실시 예는 이에 국한되지 않는다.The plurality of second liquids LQ21 and LQ22 are filled, received, or disposed in the second cavity CA2, and the second liquid LQ21 having conductivity (or, the second conductive liquid, hereinafter, the '2-1 liquid) It may include a second liquid (LQ22) having a non-conductive (referred to as'), or a second liquid (non-conductive, hereinafter referred to as '2-2 liquid'). The 2-1 liquid (LQ21) and the 2-2 liquid (LQ22) do not mix with each other, and the second interface (BO20, BO21) is in contact with the portion between the 2-1 and 2-2 liquids (LQ21, LQ22). It can be formed. For example, the 2-2 liquid LQ22 may be disposed on the 2-1 liquid LQ21, but the embodiment is not limited thereto.

제1 하측 플레이트(P1L)는 제2 캐비티(CA2)를 포함할 수 있다. 제1 하측 플레이트(P1L)의 제2 내측면(i2)은 제2 캐비티(CA2)의 측부를 정의할 수 있다. 이때, 제1 하측 플레이트(P1L)의 제2 내측면(i2)은 도 1에 도시된 바와 같이 경사질 수 있으나, 실시 예는 이에 국한되지 않는다.The first lower plate P1L may include a second cavity CA2. The second inner surface i2 of the first lower plate P1L may define a side portion of the second cavity CA2. At this time, the second inner surface i2 of the first lower plate P1L may be inclined as illustrated in FIG. 1, but the embodiment is not limited thereto.

제1 하측 플레이트(P1L)는 상하의 제3 및 제4 개구(O3, O4)를 포함할 수 있다. 제2 캐비티(CA2)는 제1 하측 플레이트(P1L)의 제2 내측면(i1), 제3 개구(O3) 및 제4 개구(O4)로 둘러싸인 영역으로 정의될 수 있다. 제2 캐비티(CA2)는 제1 캐비티(CA1)와 대응되는 위치에 배치되며, 광축(LX)에서 제1 캐비티(CA1)와 중첩되어 배치될 수 있다.The first lower plate P1L may include upper and lower third and fourth openings O3 and O4. The second cavity CA2 may be defined as an area surrounded by the second inner surface i1, the third opening O3, and the fourth opening O4 of the first lower plate P1L. The second cavity CA2 is disposed at a position corresponding to the first cavity CA1, and may be disposed to overlap the first cavity CA1 at the optical axis LX.

제2 캐비티(CA2)는 제3 및 제4 개구(O3, O4)를 포함할 수 있다. 제3 개구(O3)는 제1 하측 플레이트(P1L)의 상부에 형성되고, 제4 개구(O4)는 제1 하측 플레이트(P1L)의 하부에 형성될 수 있다.The second cavity CA2 may include third and fourth openings O3 and O4. The third opening O3 may be formed on the first lower plate P1L, and the fourth opening O4 may be formed on the lower portion of the first lower plate P1L.

제3 및 제4 개구(O3, O4) 중에서 보다 넓은 개구의 직경은 제2 액체 렌즈(120)에서 요구하는 화각(FOV) 또는 제2 액체 렌즈(120)를 포함하는 후술되는 광학 장치에서 수행해야 할 역할에 따라 달라질 수 있다. 실시 예에 의하면, 제3 개구(O3)의 크기(또는, 면적 또는 폭)는 제4 개구(O4)의 크기(또는, 면적 또는 폭)보다 더 작을 수 있다. 여기서, 제3 및 제4 개구(O3, O4) 각각의 크기는 수평 방향(예를 들어, x축과 y축 방향)의 단면적일 수 있다. 예를 들어, 제3 및 제4 개구(O3, O4) 각각의 크기란, 개구의 단면이 원형이면 반지름을 의미하고, 개구의 단면이 정사각형이면 대각선의 길이를 의미할 수 있다. 제3 및 제4 개구(O3, O4) 각각은 원형의 단면 형상일 수 있다.The diameter of the wider opening among the third and fourth openings O3 and O4 should be performed in an optical device described later including a field of view (FOV) required by the second liquid lens 120 or the second liquid lens 120 It may vary depending on the role to be played. According to an embodiment, the size (or area or width) of the third opening O3 may be smaller than the size (or area or width) of the fourth opening O4. Here, the size of each of the third and fourth openings O3 and O4 may be a cross-sectional area in a horizontal direction (eg, x-axis and y-axis directions). For example, the size of each of the third and fourth openings O3 and O4 may mean a radius when the cross section of the opening is circular, and may mean a length of a diagonal line when the cross section of the opening is square. Each of the third and fourth openings O3 and O4 may have a circular cross-sectional shape.

제2 캐비티(CA2)는 광이 투과하는 부위이다. 따라서, 제2 캐비티(CA2)를 이루는 제1 하측 플레이트(P1L)는 투명한 재료로 이루어질 수도 있고, 광의 투과가 용이하지 않도록 불순물을 포함할 수도 있다.The second cavity CA2 is a site through which light passes. Therefore, the first lower plate P1L constituting the second cavity CA2 may be made of a transparent material, or may contain impurities so that light is not easily transmitted.

광은 제2 캐비티(CA2)에서 제4 개구(O4)보다 좁은 제3 개구(O3)를 통해 입사되어 제4 개구(O4)를 통해 출사될 수도 있고, 제3 개구(O3)보다 넓은 제4 개구(O4)를 통해 입사되어 제3 개구(O3)를 통해 출사될 수 있고 반대 방향으로도 입사 및 출사될 수 있다.Light may be incident through the third opening O3 narrower than the fourth opening O4 in the second cavity CA2, and may be emitted through the fourth opening O4, or the fourth wider than the third opening O3 It may be incident through the opening O4 and exit through the third opening O3, and may also be incident and exit in the opposite direction.

이하, 광이 제1 개구(O1)를 통해 입사된 후 제2 개구(O2)를 통해 제1 액체 렌즈(110)로부터 출사되고, 제3 개구(O3)를 통해 입사된 후 제4 개구(O4)를 통해 제2 액체 렌즈(120)로부터 출사되는 것으로 설명하지만, 광이 제4 개구(O4)를 통해 입사된 후 제3 개구(O3)를 통해 제2 액체 렌즈(120)로부터 출사되고, 제2 개구(O2)를 통해 입사된 후 제1 개구(O1)를 통해 제1 액체 렌즈(110)로부터 출사되는 경우에도 하기의 설명은 적용될 수 있다.Hereinafter, after light is incident through the first opening O1, it is emitted from the first liquid lens 110 through the second opening O2, and after being incident through the third opening O3, the fourth opening O4 Although it is described as being emitted from the second liquid lens 120 through ), light is incident through the fourth opening O4 and then emitted from the second liquid lens 120 through the third opening O3. The following description may also be applied when incident through the second opening O2 and then exiting from the first liquid lens 110 through the first opening O1.

또한, 제2 하측 플레이트(P2L)는 제1 하측 플레이트(P1L)의 위 또는 아래 중 한 곳에 배치되고, 제3 하측 플레이트(P3L)는 제1 하측 플레이트(P1L)의 위 또는 아래 중 다른 곳에 배치될 수 있다. 예를 들어, 도 1에 도시된 바와 같이, 제2 하측 플레이트(P2L)는 제1 하측 플레이트(P1L)의 아래에 배치되고, 제3 하측 플레이트(P3L)는 제1 하측 플레이트(P1L)의 위에 배치될 수 있다. 이 경우, 제2 하측 플레이트(P2L)는 하측 공통 전극(CEL)의 하면과 제2 캐비티(CA2) 아래에 배치될 수 있다. 제3 하측 플레이트(P3L)는 하측 개별 전극(LLL)의 상면과 제2 캐비티(CA2) 위에 배치될 수 있다.In addition, the second lower plate P2L is disposed at one of the top or bottom of the first lower plate P1L, and the third lower plate P3L is disposed at the other of the top or bottom of the first lower plate P1L. Can be. For example, as shown in FIG. 1, the second lower plate P2L is disposed under the first lower plate P1L, and the third lower plate P3L is above the first lower plate P1L. Can be deployed. In this case, the second lower plate P2L may be disposed under the lower surface of the lower common electrode CEL and under the second cavity CA2. The third lower plate P3L may be disposed on the upper surface of the lower individual electrode LLL and the second cavity CA2.

실시 예에 의하면, 제3 상측 플레이트(P3U)와 제3 하측 플레이트(P3L)는 일체일 수 있다. 제3 상측 플레이트(P3U)와 제3 하측 플레이트(P3L)가 일체화된 플레이트를 '공통 플레이트' 또는 '중앙 플레이트' 등으로 칭할 수 있다. 즉, 공통 플레이트(P3U, P3L)는 제1 상측 플레이트(P1U)와 제1 하측 플레이트(P1L) 사이에 배치될 수 있다. 따라서, 일체가 아니라 서로 이격된 제3 상측 플레이트(P3U)와 제3 하측 플레이트(P3L)를 포함하는 액체 렌즈 모듈보다 실시 예에 의한 액체 렌즈 모듈(100)의 전체 크기(예를 들어, z축 방향으로의 높이)가 줄어들 수 있다.According to an embodiment, the third upper plate P3U and the third lower plate P3L may be integral. A plate in which the third upper plate P3U and the third lower plate P3L are integrated may be referred to as a'common plate' or a'center plate'. That is, the common plates P3U and P3L may be disposed between the first upper plate P1U and the first lower plate P1L. Therefore, the overall size of the liquid lens module 100 according to the embodiment (eg, the z-axis) than the liquid lens module including the third upper plate P3U and the third lower plate P3L spaced apart from each other, but not integrally, for example Direction).

제2 하측 플레이트(P2L)와 제3 하측 플레이트(P3L)는 제1 하측 플레이트(P1L)를 사이에 두고 서로 대향하여 배치될 수 있다. 또한, 제2 하측 플레이트(P2L) 또는 제3 하측 플레이트(P3L) 중 적어도 하나는 생략될 수도 있다.The second lower plate P2L and the third lower plate P3L may be disposed to face each other with the first lower plate P1L interposed therebetween. Also, at least one of the second lower plate P2L or the third lower plate P3L may be omitted.

제2 또는 제3 하측 플레이트(P2L, P3L) 중 적어도 하나는 사각형 평면 형상을 가질 수 있으며 일부 영역이 도피되어 후술할 전극의 일부를 노출 시킬 수 있다. 제2 및 제3 하측 플레이트(P2L, P3L) 각각은 광이 통과하는 영역으로서, 투광성 재료로 이루어질 수 있다. 예를 들면, 제2 및 제3 하측 플레이트(P2L, P3L) 각각은 유리(glass)로 이루어질 수 있으며, 공정의 편의상 동일한 재료로 형성될 수 있다. 또한, 제2 및 제3 하측 플레이트(P2L, P3L) 각각의 가장 자리는 사각형 형상일 수 있으나, 반드시 이에 한정하지는 않는다.At least one of the second or third lower plates P2L and P3L may have a rectangular planar shape, and some regions may be escaped to expose a portion of the electrode to be described later. Each of the second and third lower plates P2L and P3L is a region through which light passes, and may be made of a light-transmissive material. For example, each of the second and third lower plates P2L and P3L may be made of glass, and may be formed of the same material for convenience of processing. In addition, the edges of each of the second and third lower plates P2L and P3L may have a rectangular shape, but are not limited thereto.

제3 하측 플레이트(P3L)는 입사되는 광이 제1 하측 플레이트(P1L)의 제2 캐비티(CA2) 내부로 진행하도록 허용하는 구성을 가질 수 있다. 제2 하측 플레이트(P2L)는 제1 하측 플레이트(P1L)의 제2 캐비티(CA2)를 통과한 광이 출사되도록 허용하는 구성을 가질 수 있다. 제2 하측 플레이트(P2L)는 제2-1 액체(LQ21)와 직접 접촉할 수 있다.The third lower plate P3L may have a configuration that allows incident light to proceed into the second cavity CA2 of the first lower plate P1L. The second lower plate P2L may have a configuration that allows light passing through the second cavity CA2 of the first lower plate P1L to be emitted. The second lower plate P2L may directly contact the 2-1 liquid LQ21.

또한, 제2 액체 렌즈(120)의 실제 유효 렌즈 영역은 제1 하측 플레이트(P1L)의 제3 및 제4 개구(O3, O4) 중에서 넓은 제4 개구(O4)의 직경보다 좁을 수 있다.Further, the actual effective lens area of the second liquid lens 120 may be narrower than the diameter of the wide fourth opening O4 among the third and fourth openings O3 and O4 of the first lower plate P1L.

제1 하측 플레이트(P1L)의 일면과 타면에 하측 공통 전극 및 하측 개별 전극(CEL, LLL)이 각각 배치될 수 있다. 하측 공통 전극(CEL)은 제1 하측 플레이트(P1L)의 아래에 배치되고, 하측 개별 전극(LLL)은 제1 하측 플레이트(P1L)의 위에 배치될 수 있다. 하측 공통 전극(CEL)은 제1 하측 플레이트(P1L)의 일면(예를 들어, 하부면)의 적어도 일부 영역에서 하측 개별 전극(LLL)과 이격되어 배치될 수 있다. 제1 하측 플레이트(P1L)의 일면에 배치된 하측 공통 전극(CEL)의 일부가 전도성을 갖는 제2-1 액체(LQ21)에 노출되어 제2-1 액체(LQ21)와 직접 접촉할 수 있다. 복수의 하측 개별 전극(LLL)은 제1 하측 플레이트(P1L)의 타면(예를 들어, 상부면, 제2 내측면 및 하부면)에 배치될 수 있다.Lower common electrodes and lower individual electrodes CEL and LLL may be respectively disposed on one surface and the other surface of the first lower plate P1L. The lower common electrode CEL may be disposed under the first lower plate P1L, and the lower individual electrode LLL may be disposed on the first lower plate P1L. The lower common electrode CEL may be disposed to be spaced apart from the lower individual electrode LLL in at least a portion of one surface (eg, a lower surface) of the first lower plate P1L. A portion of the lower common electrode CEL disposed on one surface of the first lower plate P1L is exposed to the conductive 2-1 liquid LQ21 to directly contact the 2-1 liquid LQ21. The plurality of lower individual electrodes LLL may be disposed on other surfaces (eg, an upper surface, a second inner surface, and a lower surface) of the first lower plate P1L.

도 3b에 도시된 바와 같이, 하측 공통 전극(CEL)은 한 개의 전극이고, 하측 개별 전극(LLL)은 복수의 전극 또는 한 개의 전극일 수 있다. 하측 개별 전극(LLL)이 하나의 전극인 경우 하측 공통 전극(CEL)은 ‘하측 제1 공통 전극’으로 칭하고, 하측 개별 전극(LLL)은 ‘하측 제2 공통 전극’으로 칭할 수 도 있다. 이때, 공통 전극들은 각각 일체로 구성될 수 있다.3B, the lower common electrode CEL is one electrode, and the lower individual electrode LLL may be a plurality of electrodes or one electrode. When the lower individual electrode LLL is one electrode, the lower common electrode CEL may be referred to as a “lower first common electrode” and the lower individual electrode LLL may be referred to as a “lower second common electrode”. At this time, the common electrodes may be configured integrally with each other.

도 3a에 도시된 바와 같이, 복수 개의 상측 개별 전극(LLU)을 갖는 제1 액체 렌즈(110)는 손떨림 보정 내지 영상 흔들림 방지(OIS:Optical Image Stabilizer) 기능을 수행하는 반면, 한 몸체인 하측 개별 전극(LLL)을 갖는 제2 액체 렌즈(120)는 오토 포커싱(AF:Auto-Focusin) 기능을 수행할 수 있다.As illustrated in FIG. 3A, the first liquid lens 110 having a plurality of upper individual electrodes LLU performs image stabilization or image stabilization (OIS: Optical Image Stabilizer) function, while the lower individual that is one body The second liquid lens 120 having the electrode LLL may perform an auto-focus (AF) function.

그러나, 다른 실시 예에 의하면, 도 3a 및 도 3b에 도시된 바와 달리, 하측 개별 전극(LLL)이 복수 개로 분할되고, 상측 개별 전극은 한 몸체일 수 있다. 이 경우, 상측 개별 전극(LLU)은 한 몸체이므로 제1 액체 렌즈(110)는 AF 기능을 수행하는 반면, 하측 개별 전극(LLL)은 복수 개로 분할되므로 제2 액체 렌즈(120)는 OIS 기능을 수행할 수 있다.However, according to another embodiment, unlike shown in FIGS. 3A and 3B, the lower individual electrode LLL is divided into a plurality, and the upper individual electrode may be one body. In this case, since the upper individual electrode LLU is one body, the first liquid lens 110 performs the AF function, while the lower individual electrode LLL is divided into a plurality, so the second liquid lens 120 has an OIS function. It can be done.

하측 공통 전극 및 하측 개별 전극(CEL, LLL) 각각은 도전성 재료로 이루어질 수 있고, 예를 들면 금속으로 이루어질 수 있고, 상세하게는 크롬(Cr)을 포함할 수 있다.Each of the lower common electrode and the lower individual electrodes CEL and LLL may be made of a conductive material, for example, may be made of metal, and specifically, may include chromium (Cr).

한편, 하측 절연층(148L)은 제2 캐비티(CA2)의 상부 영역에서 제3 하측 플레이트(P3L)의 하부면의 일부를 덮으면서 배치될 수 있다. 즉, 하측 절연층(148L)은 제2-2 액체(LQ22)와 제3 하측 플레이트(P3L)의 사이에 배치될 수 있다.Meanwhile, the lower insulating layer 148L may be disposed while covering a part of the lower surface of the third lower plate P3L in the upper region of the second cavity CA2. That is, the lower insulating layer 148L may be disposed between the 2-2 liquid LQ22 and the third lower plate P3L.

또한, 하측 절연층(148L)은 제2 캐비티(CA2)의 측벽을 이루는 하측 개별 전극(LLL)의 일부를 덮으면서 배치될 수 있다. 또한, 하측 절연층(148L)은 제1 하측 플레이트(P1L)의 하부면에서, 하측 공통 전극(CEL)의 일부와 하측 개별 전극(LLL)의 전체를 덮으며 배치될 수 있다. 또한, 하측 절연층(148L)은 하측 공통 전극(CEL)과 하측 개별 전극(LLL)을 이격시키는 제2 오프닝(OP2)에서 노출된 제1 하측 플레이트(P1L)의 하부면의 일부를 덮으면서 배치될 수 있다.In addition, the lower insulating layer 148L may be disposed while covering a portion of the lower individual electrode LLL forming a sidewall of the second cavity CA2. In addition, the lower insulating layer 148L may be disposed on the lower surface of the first lower plate P1L, covering a portion of the lower common electrode CEL and the entire lower individual electrode LLL. In addition, the lower insulating layer 148L is disposed while covering a part of the lower surface of the first lower plate P1L exposed at the second opening OP2 separating the lower common electrode CEL and the lower individual electrode LLL. Can be.

이와 같이, 하측 절연층(148L)은 하측 개별 전극(LLL)과 제2-1 액체(LQ21) 간의 접촉, 하측 개별 전극(LLL)과 제2-2 액체(LQ22) 간의 접촉 및 제3 하측 플레이트(P3L)와 제2-2 액체(LQ22) 간의 접촉을 차단할 수 있다.As such, the lower insulating layer 148L contacts between the lower individual electrode LLL and the 2-1 liquid LQ21, the lower individual electrode LLL and the second-2 liquid LQ22, and the third lower plate. The contact between (P3L) and the 2-2 liquid (LQ22) can be blocked.

하측 절연층(148L)이 하측 공통 전극(CEL) 및 하측 개별 전극(LLL) 중 하나의 전극(예를 들어, 하측 개별 전극(LLL))의 전체를 덮고, 다른 하나의 전극(예를 들어, 하측 공통 전극(CEL))의 일부를 노출시켜 전도성을 갖는 제2-1 액체(LQ21)에 전기 에너지가 인가되도록 할 수 있다.The lower insulating layer 148L covers the entirety of one electrode (eg, the lower individual electrode LLL) of the lower common electrode CEL and the lower individual electrode LLL, and the other electrode (eg, A portion of the lower common electrode CEL may be exposed to allow electric energy to be applied to the conductive 2-1 liquid LQ21.

실시 예에 의하면, 제3 개구(O3)는 제2 개구(O2)보다 작을 수 있다. 이로 인해, 도 2에 도시된 바와 같이, 제1 캐비티(CA1)에 컷 오프 영역(A1, A2)이 형성될 수 있다.According to an embodiment, the third opening O3 may be smaller than the second opening O2. Due to this, as shown in FIG. 2, cut-off regions A1 and A2 may be formed in the first cavity CA1.

일반적으로 액체 렌즈가 AF 기능을 수행할 때 보다 OIS 기능을 수행할 때, 파면 에러(WFE)가 더 많이 발생할 수 있다. 만일, 광이 제1 액체 렌즈(110)로 입사되어 제2 액체 렌즈(120)로 진행하고 제1 액체 렌즈(110)가 OIS 기능을 수행하고 제2 액체 렌즈(120)가 AF 기능을 수행한다면, 제1 액체 렌즈(110)에서 OIS 기능을 수행할 때 컷 오프 영역(A1, A2)에 존재하는 파면 에러는 제2 액체 렌즈(120)로 전달되지 않는다. 이와 같이, 제3 개구(O3)가 제2 개구(O2)보다 작기 때문에, 파면 에러가 보상될 수 있음을 알 수 있다.In general, when a liquid lens performs an OIS function than when performing an AF function, a wavefront error (WFE) may occur more. If the light enters the first liquid lens 110 and proceeds to the second liquid lens 120, the first liquid lens 110 performs the OIS function and the second liquid lens 120 performs the AF function , When performing the OIS function in the first liquid lens 110, the wavefront error existing in the cut-off regions A1 and A2 is not transmitted to the second liquid lens 120. Thus, it can be seen that since the third opening O3 is smaller than the second opening O2, the wavefront error can be compensated.

한편, 비록 도시되지 않았지만, 실시 예에 의한 액체 렌즈 모듈(100)은 제1 상측 연결 기판, 제2 상측 연결 기판, 제1 하측 연결 기판 및 제2 하측 연결 기판을 더 포함할 수 있다.Meanwhile, although not illustrated, the liquid lens module 100 according to the embodiment may further include a first upper connection substrate, a second upper connection substrate, a first lower connection substrate, and a second lower connection substrate.

제1 상측 연결 기판은 상측 공통 전극(CEU)과 전기적으로 연결된 연결 패드를 통해 메인 기판(미도시) 상에 형성된 전극 패드와 전기적으로 연결될 수 있다. 제2 상측 연결 기판은 복수의 상측 개별 전극(LLU) 각각과 전기적으로 연결된 연결 패드를 통해 메인 기판 상에 형성된 전극 패드와 전기적으로 연결될 수 있다.The first upper connection substrate may be electrically connected to the electrode pad formed on the main substrate (not shown) through a connection pad electrically connected to the upper common electrode CEU. The second upper connection substrate may be electrically connected to the electrode pad formed on the main substrate through a connection pad electrically connected to each of the plurality of upper individual electrodes LLU.

또한, 제1 하측 연결 기판은 하측 공통 전극(CEL)과 전기적으로 연결된 연결 패드를 통해 메인 기판 상에 형성된 전극 패드와 전기적으로 연결될 수 있다. 제2 하측 연결 기판은 하측 개별 전극(LLL)과 전기적으로 연결된 연결 패드를 통해 메인 기판 상에 형성된 전극 패드와 전기적으로 연결될 수 있다.Also, the first lower connection substrate may be electrically connected to the electrode pad formed on the main substrate through a connection pad electrically connected to the lower common electrode CEL. The second lower connection substrate may be electrically connected to the electrode pad formed on the main substrate through a connection pad electrically connected to the lower individual electrode LLL.

예를 들어, 제1 상측 및 제1 하측 연결 기판 각각은 FPCB 또는 단일 메탈 기판(전도성 메탈 플레이트)으로 구현되고, 제2 상측 및 제2 하측 연결 기판 각각은 연성회로기판(FPCB: Flexible Printed Circuit Board)로 구현될 수 있으나, 실시 예는 이에 국한되지 않는다.For example, each of the first upper and first lower connection boards is implemented as an FPCB or a single metal substrate (conductive metal plate), and each of the second upper and second lower connection boards is a flexible printed circuit board (FPCB). ), but the embodiment is not limited thereto.

제1 상측 연결 기판은 하나의 구동 전압(이하, ‘공통 전압’이라 함)을 제1 액체 렌즈(110)로 전달할 수 있고, 제2 상측 연결 기판은 서로 다른 n개의 구동 전압(이하, ‘개별 전압’이라 함)을 제1 액체 렌즈(110)로 전달할 수 있다. 공통 전압은 DC 전압 또는 AC 전압을 포함할 수 있으며, 공통 전압이 펄스 형태로 인가되는 경우 펄스의 폭 또는 듀티 사이클(duty cycle)은 일정할 수 있다. 제2 상측 연결 기판을 통해 공급되는 개별 전압은 제1 액체 렌즈(110)의 각 모서리에 노출되는 복수의 상측 개별 전극(LLU)에 인가될 수 있다. 즉, 제1 상측 연결 기판과 제2 상측 연결 기판을 통해 제1 액체 렌즈(110)에 전압이 공급될 수 있다.The first upper connecting substrate may transmit one driving voltage (hereinafter, referred to as a “common voltage”) to the first liquid lens 110, and the second upper connecting substrate may have different n driving voltages (hereinafter, “individual”). Voltage') to the first liquid lens 110. The common voltage may include a DC voltage or an AC voltage, and when the common voltage is applied in the form of a pulse, the width or duty cycle of the pulse may be constant. The individual voltages supplied through the second upper connection substrate may be applied to the plurality of upper individual electrodes LLU exposed at each corner of the first liquid lens 110. That is, a voltage may be supplied to the first liquid lens 110 through the first upper connection substrate and the second upper connection substrate.

제1 하측 연결 기판은 하나의 공통 전압을 제2 액체 렌즈(120)로 전달할 수 있고, 제2 하측 연결 기판은 하나의 개별 전압을 제2 액체 렌즈(120)로 전달할 수 있다. 제2 하측 연결 기판을 통해 공급되는 개별 전압은 제2 액체 렌즈(120)의 모서리에 노출되는 하측 개별 전극(LLL)에 인가될 수 있다. 즉, 제1 하측 연결 기판과 제2 하측 연결 기판을 통해 제2 액체 렌즈(120)에 전압이 공급될 수 있다.The first lower connection substrate may transmit one common voltage to the second liquid lens 120, and the second lower connection substrate may transmit one individual voltage to the second liquid lens 120. The individual voltage supplied through the second lower connection substrate may be applied to the lower individual electrode LLL exposed at the edge of the second liquid lens 120. That is, a voltage may be supplied to the second liquid lens 120 through the first lower connection substrate and the second lower connection substrate.

구동 전압에 대응하여 제1 액체 렌즈(110) 내에 형성되는 제1 계면(BO10)이 0 디옵터일 수도 있고, 0 디옵터로부터 제1 화살표 방향(AR1)으로 제1 계면(BO11, BO12)의 틸팅되는 각도가 변함으로써, 실시 예에 의한 제1 액체 렌즈(110)를 포함하는 광학 장치는 OIS 기능을 수행할 수 있다.The first interface BO10 formed in the first liquid lens 110 in response to the driving voltage may be 0 diopter, or tilted from the 0 diopter to the first arrow direction AR1 in the first interface BO11, BO12 By changing the angle, the optical device including the first liquid lens 110 according to the embodiment may perform the OIS function.

또한, 구동 전압에 대응하여 제2 액체 렌즈(120) 내에 형성되는 제2 계면(BO20)이 0 디옵터일 수도 있고, 0 디옵터로부터 제2 화살표 방향(AR2)으로 이동하여 제2 계면(BO21)의 곡률이 변함으로써, 실시 예에 의한 제2 액체 렌즈(120)를 포함하는 광학 장치는 AF 기능을 수행할 수 있다.In addition, the second interface BO20 formed in the second liquid lens 120 in response to the driving voltage may be 0 diopters, or the second interface BO21 moves from the 0 diopters in the second arrow direction AR2. By changing the curvature, the optical device including the second liquid lens 120 according to the embodiment may perform the AF function.

한편, 전술한 실시 예에 의한 액체 렌즈 모듈(100)은 광축 방향으로 복수 개의 액체 렌즈(110, 120)가 중첩되며, 복수의 액체 렌즈(110, 120)는 하나의 플레이트를 제3 상측 및 제3 하측 플레이트(P3U, P3L)로서 공유한다. 이때, 복수의 플레이트를 서로 연결하고 플레이트와 전극을 서로 연결함이 중요한 문제로 대두될 수 있다. 이를 위해, 실시 예에 의한 액체 렌즈 모듈(100)은 플레이트 연결부 및 금속 연결부를 포함할 수 있다. 여기서, 플레이트 연결부는 이웃하는 플레이트를 서로 연결하는 역할을 하고, 금속 연결부는 이웃하는 플레이트와 전극을 서로 연결하는 역할을 한다.On the other hand, the liquid lens module 100 according to the above-described embodiment is a plurality of liquid lenses (110, 120) are superimposed in the optical axis direction, the plurality of liquid lenses (110, 120) is a third plate to the upper and third 3 Share as lower plates (P3U, P3L). At this time, it is an important problem to connect a plurality of plates to each other and to connect the plates and the electrodes to each other. To this end, the liquid lens module 100 according to the embodiment may include a plate connection part and a metal connection part. Here, the plate connection portion serves to connect adjacent plates to each other, and the metal connection portion serves to connect the adjacent plates and electrodes to each other.

이하, 액체 렌즈 모듈(100)의 제1 및 제2 액체 렌즈(110, 120) 각각에 포함되는 플레이트 연결부 및 금속 연결부를 첨부된 도면을 참조하여 다음과 같이 살펴본다.Hereinafter, a plate connection part and a metal connection part included in each of the first and second

liquid lenses

110 and 120 of the liquid lens module 100 will be described with reference to the accompanying drawings.

도 4는 실시 예에 의한 액체 렌즈 모듈(100)의 저면도를 나타내고, 도 5는 도 4에 도시된 I-I’선을 따라 절취한 단면도를 나타내고, 도 6은 도 4에 도시된 Ⅱ-Ⅱ’선을 따라 절취한 단면도를 나타내고, 도 7은 도 4에 도시된 Ⅲ-Ⅲ’선을 따라 절취한 단면도를 나타낸다.4 is a bottom view of the liquid lens module 100 according to the embodiment, FIG. 5 is a cross-sectional view taken along line I-I' shown in FIG. 4, and FIG. 6 is II- shown in FIG. FIG. 7 shows a cross-sectional view taken along line II', and FIG. 7 shows a cross-sectional view taken along line III-III' shown in FIG. 4.

도 5는 도 1에 도시된 액체 렌즈 모듈(100)을 뒤집은 단면도와 동일하다. 따라서, 도 1은 도 4에 도시된 액체 렌즈 모듈(100)을 I-I’선을 따라 절취한 후 뒤집은 단면도에 해당한다. 따라서, 도 4 내지 도 7에서, 도 1에 도시된 액체 렌즈 모듈(100)과 동일한 부분에 대해서는 동일한 참조부호를 사용하여 중복되는 설명을 생략한다.5 is the same as a cross-sectional view of the liquid lens module 100 shown in FIG. 1. Accordingly, FIG. 1 corresponds to a cross-sectional view of the liquid lens module 100 shown in FIG. 4 taken along line I-I' and turned over. Therefore, in FIG. 4 to FIG. 7, overlapping descriptions are omitted for the same parts as the liquid lens module 100 shown in FIG. 1 by using the same reference numerals.

도 1, 도 4 내지 도 7을 참조하면, 실시 예에 의한 제1 액체 렌즈(110)는 제1 및 제2 플레이트 연결부(PC1, PC2) 및 제1 및 제2 금속 연결부(MC1, MC2)를 포함할 수 있다.1, 4 to 7, the first liquid lens 110 according to an embodiment includes first and second plate connecting parts PC1 and PC2 and first and second metal connecting parts MC1 and MC2. It can contain.

제1 플레이트 연결부(PC1)는 제1 상측 플레이트(P1U)와 제2 상측 플레이트(P2U)를 서로 연결하는 역할을 한다. 제2 플레이트 연결부(PC2)는 제1 상측 플레이트(P1U)와 제3 상측 플레이트(P3U)를 서로 연결하는 역할을 한다.The first plate connection part PC1 serves to connect the first upper plate P1U and the second upper plate P2U. The second plate connection part PC2 serves to connect the first upper plate P1U and the third upper plate P3U.

제2 플레이트 연결부(PC2)는 제2-1 플레이트 연결부(PC21)를 포함할 수 있다. 제2-1 플레이트 연결부(PC21)는 제1 오프닝(OP1)과 광축(LX)과 나란한 방향(예를 들어, z축 방향)으로 중첩될 수 있다. 여기서, 제1 오프닝(OP1)은 제1 상측 플레이트(P1U)의 위에서 상측 개별 전극(LLU)과 상측 공통 전극(CEU) 사이의 공간으로서, 상측 개별 전극(LLU)과 상측 공통 전극(CEU)은 제1 상측 플레이트(P1U) 위에서 제1 오프닝(OP1)을 사이에 두고 서로 이격될 수 있다.The second plate connecting portion PC2 may include a 2-1 plate connecting portion PC21. The 2-1 plate connecting portion PC21 may overlap in a direction (eg, z-axis direction) parallel to the first opening OP1 and the optical axis LX. Here, the first opening OP1 is a space between the upper individual electrode LLU and the upper common electrode CEU on the first upper plate P1U, and the upper individual electrode LLU and the upper common electrode CEU are The first opening OP1 may be spaced apart from each other on the first upper plate P1U.

또한, 제2 플레이트 연결부(PC2)는 제2-2 플레이트 연결부(PC22)를 더 포함할 수 있다. 제2-2 플레이트 연결부(PC22)는 제1 관통 홀(TH1)과 광축(LX)과 나란한 방향(예를 들어, z축 방향)으로 중첩될 수 있다. 여기서, 제1 관통 홀(TH1)은 제1 상측 플레이트(P1U)와 제2 상측 플레이트(P2U) 사이에서 상측 공통 전극(CEU)에 형성될 수 있다. 즉, 상측 공통 전극(CEU)의 일부에 제1 관통 홀(TH1)이 형성될 수 있다.In addition, the second plate connecting portion PC2 may further include a second-2 plate connecting portion PC22. The 2-2 plate connection part PC22 may overlap in a direction (eg, z-axis direction) parallel to the first through hole TH1 and the optical axis LX. Here, the first through hole TH1 may be formed in the upper common electrode CEU between the first upper plate P1U and the second upper plate P2U. That is, the first through hole TH1 may be formed in a part of the upper common electrode CEU.

또한, 제2 플레이트 연결부(PC2)는 제2-3 및 제2-4 플레이트 연결부(PC23, PC24) 중 적어도 하나를 더 포함할 수 있다. 여기서, 제2-3 플레이트 연결부(PC23)는 제2-1 플레이트 연결부(PC21)와 제2-2 플레이트 연결부(PC22) 사이에 배치되고, 제2-4 플레이트 연결부(PC24)는 제2-2 플레이트 연결부(PC22)의 바깥 쪽에 배치될 수 있다.In addition, the second plate connection portion PC2 may further include at least one of the 2-3 and 2-4 plate connection portions PC23 and PC24. Here, the 2-3 plate connecting portion PC23 is disposed between the 2-1 plate connecting portion PC21 and the 2-2 plate connecting portion PC22, and the 2-4 plate connecting portion PC24 is 2-2. It may be disposed on the outside of the plate connection (PC22).

제1 금속 연결부(MC1)는 상측 공통 전극(CEU)과 제2 상측 플레이트(P2U)를 연결하는 역할을 한다. 제2 금속 연결부(MC2)는 상측 개별 전극(LLU)과 제3 상측 플레이트(P3U)를 서로 연결하는 역할을 한다.The first metal connection part MC1 serves to connect the upper common electrode CEU and the second upper plate P2U. The second metal connection part MC2 serves to connect the upper individual electrode LLU and the third upper plate P3U to each other.

실시 예에 의한 제2 액체 렌즈(120)는 제3 및 제4 플레이트 연결부(PC3, PC4) 및 제3 및 제4 금속 연결부(MC3, MC4)를 포함할 수 있다.The second liquid lens 120 according to the embodiment may include third and fourth plate connecting parts PC3 and PC4 and third and fourth metal connecting parts MC3 and MC4.

제3 플레이트 연결부(PC3)는 제1 하측 플레이트(P1L)와 제2 하측 플레이트(P2L)를 서로 연결하는 역할을 한다. 또한, 도 4를 참조하면 제3 플레이트 연결부(PC3)는 제3 금속 연결부(MC3)와 동심원 상에서 서로 이격된 복수의 제3 플레이트 연결부를 포함할 수 있다. 또한, 제3 플레이트 연결부(PC3)는 광축(LX)과 나란한 방향으로 제1 플레이트 연결부(PC1)과 서로 대칭인 단면 형상을 가질 수 있다.The third plate connection part PC3 serves to connect the first lower plate P1L and the second lower plate P2L to each other. In addition, referring to FIG. 4, the third plate connection part PC3 may include a third metal connection part MC3 and a plurality of third plate connection parts spaced apart from each other on a concentric circle. In addition, the third plate connecting portion PC3 may have a cross-sectional shape that is symmetric to each other with the first plate connecting portion PC1 in a direction parallel to the optical axis LX.

제4 플레이트 연결부(PC4)는 제1 하측 플레이트(P1L)와 제3 하측 플레이트(P3L)를 서로 연결하는 역할을 한다.The fourth plate connection part PC4 serves to connect the first lower plate P1L and the third lower plate P3L to each other.

제4 플레이트 연결부(PC4)는 제4-1 플레이트 연결부(PC41)를 포함할 수 있다. 제4-1 플레이트 연결부(PC41)는 제2 오프닝(OP2)과 광축(LX)과 나란한 방향(예를 들어, z축 방향)으로 중첩될 수 있다. 여기서, 제2 오프닝(OP2)은 제1 하측 플레이트(P1L)의 아래에서 하측 개별 전극(LLL)과 하측 공통 전극(CEL) 사이의 공간으로서, 하측 개별 전극(LLL)과 하측 공통 전극(CEL)은 제1 하측 플레이트(P1L) 아래에서 제2 오프닝(OP2)을 사이에 두고 서로 이격될 수 있다.The fourth plate connecting portion PC4 may include a 4-1 plate connecting portion PC41. The 4-1 plate connecting portion PC41 may overlap the second opening OP2 and the optical axis LX in a direction (eg, z-axis direction). Here, the second opening OP2 is a space between the lower individual electrode LLL and the lower common electrode CEL below the first lower plate P1L, and the lower individual electrode LLL and the lower common electrode CEL. May be spaced apart from each other with the second opening OP2 therebetween under the first lower plate P1L.

또한, 제4 플레이트 연결부(PC4)는 제4-2 플레이트 연결부(PC42)를 더 포함할 수 있다. 제4-2 플레이트 연결부(PC42)는 제2 관통 홀(TH2)과 광축과 나란한 방향(예를 들어, z축 방향)으로 중첩될 수 있다. 여기서, 제2 관통 홀(TH2)은 제1 하측 플레이트(P1L)와 제2 하측 플레이트(P2L) 사이에서 하측 공통 전극(CEL)에 형성될 수 있다. 즉, 하측 공통 전극(CEL)의 일부에 제2 관통 홀(TH2)이 형성될 수 있다.In addition, the fourth plate connecting portion PC4 may further include a 4-2 plate connecting portion PC42. The 4-2 plate connection part PC42 may overlap the second through hole TH2 in the direction parallel to the optical axis (eg, the z-axis direction). Here, the second through hole TH2 may be formed in the lower common electrode CEL between the first lower plate P1L and the second lower plate P2L. That is, the second through hole TH2 may be formed in a part of the lower common electrode CEL.

또한, 도 4에 예시된 바와 같이, 제3 플레이트 연결부(PC3)와 제4 플레이트 연결부(PC4)는 동일한 원주 상에서 서로 이격되어 배치된 저면 형상을 가질 수 있다.In addition, as illustrated in FIG. 4, the third plate connecting portion PC3 and the fourth plate connecting portion PC4 may have a bottom surface shape spaced apart from each other on the same circumference.

제3 금속 연결부(MC3)는 하측 공통 전극(CEL)과 제2 하측 플레이트(P2L)를 연결하는 역할을 한다. 도 4를 참조하면, 제3 금속 연결부(MC3)는 환형 저면 형상을 가질 수 있다. 또한, 제3 금속 연결부(MC3)는 광축(LX)과 나란한 방향(예를 들어, z축 방향)으로 제1 금속 연결부(MC1)와 서로 대칭인 단면 형상을 가질 수 있다.The third metal connection part MC3 serves to connect the lower common electrode CEL and the second lower plate P2L. Referring to FIG. 4, the third metal connection part MC3 may have an annular bottom shape. In addition, the third metal connection part MC3 may have a cross-sectional shape that is symmetric to each other with the first metal connection part MC1 in a direction parallel to the optical axis LX (eg, the z-axis direction).

제4 금속 연결부(MC4)는 하측 개별 전극(LLL)과 제3 하측 플레이트(P3L)를 서로 연결하는 역할을 한다. 또한, 광축과 나란한 방향(예를 들어, z축 방향)으로 제4 금속 연결부(MC4)는 제1 캐비티(CA1)와 중첩될 수 있다. 즉, 후술되는 제조 방법에서 설명되는 바와 같이, 제1 캐비티(CA1)의 하부가 하측 개별 전극(LLL)의 단부와 광축(LX)과 나란한 방향(예를 들어, z축 방향)으로 중첩되므로, 제4 금속 연결부(MC4)가 형성될 수 있다. 이와 같이, 제1 캐비티(CA1)의 하부는 하측 개별 전극(LLL)의 일부와 광축(LX)과 나란한 방향(예를 들어, z축 방향)으로 중첩될 수 있다.The fourth metal connection part MC4 serves to connect the lower individual electrodes LLL and the third lower plate P3L to each other. In addition, the fourth metal connection part MC4 may overlap the first cavity CA1 in a direction parallel to the optical axis (eg, the z-axis direction). That is, as described in the manufacturing method described below, the lower portion of the first cavity CA1 overlaps with the end of the lower individual electrode LLL in the direction parallel to the optical axis LX (eg, the z-axis direction), The fourth metal connection part MC4 may be formed. As such, the lower portion of the first cavity CA1 may overlap a portion of the lower individual electrode LLL and a direction parallel to the optical axis LX (eg, the z-axis direction).

이하, 전술한 실시 예에 의한 액체 렌즈 모듈(100)의 제조 방법을 첨부된 도면을 참조하여 다음과 같이 살펴본다.Hereinafter, a method of manufacturing the liquid lens module 100 according to the above-described embodiment will be described with reference to the accompanying drawings.

도 8a 내지 도 8f는 도 5에 도시된 액체 렌즈 모듈(100)의 제조 방법을 설명하기 위한 공정 단면도이다.8A to 8F are process cross-sectional views illustrating a method of manufacturing the liquid lens module 100 shown in FIG. 5.

설명의 편의상, 도 8a 내지 도 8f에서 왼쪽 부분 위주로 설명하지만, 오른쪽 부분에 대해서도 동일한 공정이 수행된다.For convenience of explanation, the description is mainly focused on the left part in FIGS. 8A to 8F, but the same process is performed for the right part.

도 8a에 도시된 바와 같이, 상측 개별 전극(LLU)과 상측 공통 전극(CEU)이 표면에 형성된 제1 상측 플레이트(P1U)를 준비한다. 이후, 준비된 제1 상측 플레이트(P1U) 위에 제3 상측 플레이트(P3U)이면서 제3 하측 플레이트(P3L)에 해당하는 플레이트(이하 ‘제3 플레이트’라 한다)를 얹고, 투광성을 갖는 제3 플레이트(P3U/P3L)의 소정 부위에 국부적으로 제1 레이저(L1)를 조사하여 제2-3 플레이트 연결부(P23) 및 제2-4 플레이트 연결부(P24)를 형성하고, 제2 레이저(L2)를 조사하여 제2 금속 연결부(MC2)를 형성한다. 이때, 제2-3 플레이트 연결부(P23) 및 제2-4 플레이트 연결부(P24)를 형성할 때, 상측 개별 전극(LLU)를 관통하도록 제1 레이저(L1)를 조사하는 반면, 제2 금속 연결부(MC2)를 형성할 때 상측 개별 전극(LLU)를 관통하지 않도록 제2 레이저(L2)를 조사한다. 이와 같이, 전극과 같은 금속 물질을 관통하도록 레이저를 조사하여 인접하는 플레이트를 연결시키는 동작을 ‘하드 본딩’이라 칭하고, 전극과 같은 금속 물질을 관통하지 않도록 레이저를 조사하여 인접하는 금속 물질과 플레이트를 연결시키는 동작을 ‘소프드 본딩’이라 칭한다.8A, a first upper plate P1U having an upper individual electrode LLU and an upper common electrode CEU formed on a surface is prepared. Then, on the prepared first upper plate P1U, a third upper plate P3U and a plate corresponding to the third lower plate P3L (hereinafter referred to as a'third plate') are placed, and the third plate having light transmittance ( A 2-3 plate connecting portion P23 and a 2-4 plate connecting portion P24 are formed by irradiating the first laser L1 locally to a predetermined portion of the P3U/P3L, and the second laser L2 is irradiated. To form the second metal connection part MC2. At this time, when forming the 2-3 plate connecting portion P23 and the 2-4 plate connecting portion P24, while irradiating the first laser L1 to penetrate the upper individual electrode LLU, the second metal connecting portion When forming the MC2, the second laser L2 is irradiated so as not to penetrate the upper individual electrode LLU. As described above, an operation of connecting adjacent plates by irradiating a laser to penetrate a metal material such as an electrode is referred to as'hard bonding', and irradiating a laser so as not to penetrate a metal material such as an electrode to adjacent metal materials and plates. The linking operation is called'soft bonding'.

실시 예에 의하면, 전술한 플레이트 연결부는 하드 본딩에 의해 제조되고, 금속 연결부는 소프트 본딩에 의해 제조될 수 있다.According to an embodiment, the above-described plate connection part may be manufactured by hard bonding, and the metal connection part may be manufactured by soft bonding.

계속해서 도 8a를 참조하면 상측 공통 전극(CEU) 및 상측 개별 전극(LLU) 중 적어도 하나로 제3 레이저(L3)를 조사하여 제1 오프닝(OP1)과 제1 관통 홀(TH1)을 형성할 수 있다.8A, the first opening OP1 and the first through hole TH1 may be formed by irradiating the third laser L3 with at least one of the upper common electrode CEU and the upper individual electrode LLU. have.

이후, 도 8b를 참조하면, 제1 오프닝(OP1)과 제1 관통 홀(TH1)에 제4 레이저(L4)를 조사하여 하드 본딩에 의해 제2-1 및 제2-2 플레이트 연결부(PC21, PC22)를 형성할 수 있다.Thereafter, referring to FIG. 8B, the first opening OP1 and the first through hole TH1 are irradiated with the fourth laser L4 to connect the 2-1 and 2-2 plate connecting portions PC21 by hard bonding. PC22).

이상에서와 같이, 도 8a 및 도 8b에 도시된 방법을 통해, 제3 플레이트(P3L/P3U)가 상측 개별 전극(LLU)과 제1 상측 플레이트(P1U)에 연결될 수 있다.As described above, through the method illustrated in FIGS. 8A and 8B, the third plate P3L/P3U may be connected to the upper individual electrode LLU and the first upper plate P1U.

이후, 도 8c를 참조하면, 제3 플레이트(P3L/P3U) 위에, 하측 개별 전극(LLL)과 하측 공통 전극(CEL)이 표면에 형성된 제1 하측 플레이트(P1L)를 얹는다. 이후, 하측 공통 전극(CEL) 및 하측 개별 전극(LLL) 중 적어도 하나로 제5 레이저(L5)를 조사하여 제2 오프닝(OP2)과 제2 관통 홀(TH2)을 형성할 수 있다.Thereafter, referring to FIG. 8C, on the third plate P3L/P3U, a first lower plate P1L having a lower individual electrode LLL and a lower common electrode CEL formed on a surface is placed. Thereafter, the second opening OP2 and the second through hole TH2 may be formed by irradiating the fifth laser L5 with at least one of the lower common electrode CEL and the lower individual electrode LLL.

이후, 도 8d를 참조하면, 제2 오프닝(OP2)과 제2 관통 홀(TH2)에 제6 레이저(L6)를 조사하여 하드 본딩에 의해 제4-1 및 제4-2 플레이트 연결부(PC41, PC42)를 형성한다. 이때, 투광성을 갖는 제3 플레이트(P3L/P3U)에 제7 레이저(L7)를 조사하여, 소프트 본딩에 의해 제4 금속 연결부(MC4)를 형성한다. 이를 위해, 제1 캐비티(CA1)의 하부가 하측 개별 전극(LLL)의 단부와 광축(LX)과 나란한 방향(예를 들어, z축 방향)으로 중첩될 수 있다.Thereafter, referring to FIG. 8D, the fourth openings 4-1 and 4-2 are connected to the second opening OP2 and the second through hole TH2 by the sixth laser L6 by hard bonding. PC42). In this case, the fourth metal connection part MC4 is formed by soft bonding by irradiating the seventh laser L7 to the third plate P3L/P3U having light transmittance. To this end, the lower portion of the first cavity CA1 may overlap the end of the lower individual electrode LLL and the optical axis LX in a direction (eg, the z-axis direction).

이상에서와 같이, 도 8c 및 도 8d에 도시된 방법을 통해, 제1 하측 플레이트(P1L)가 제3 플레이트(P3U/P3L)에 연결될 수 있다.As described above, through the method illustrated in FIGS. 8C and 8D, the first lower plate P1L may be connected to the third plate P3U/P3L.

이후, 도 8e에 도시된 바와 같이, 상측 및 하측 절연층(148U, 148L)을 형성한다.Thereafter, as shown in FIG. 8E, upper and lower insulating

layers

148U and 148L are formed.

이후, 도 8f에 도시된 바와 같이, 제1 캐비티(CA1)에 제1 액체(LQ11, LQ12)를 채우면서 제2 상측 플레이트(P2U)를 기밀하게 제1 상측 플레이트(P1U)에 얹고, 제2 캐비티(CA2)에 제2 액체(LQ21, LQ22)를 채우면서 제2 하측 플레이트(P2L)를 기밀하게 제1 하측 플레이트(P1L)에 얹는다. 이후, 투광성을 갖는 제2 하측 플레이트(P2L)에 제8 레이저(L8)를 조사하여 하드 본딩에 의해 제3 플레이트 연결부(PC3)를 형성한다. 또한, 제2 하측 플레이트(P2L)에 제9 레이저(L9)를 조사하여 소프트 본딩에 의해 제3 금속 연결부(MC3)를 형성한다. 또한, 투광성을 갖는 제2 상측 플레이트(P2U)에 제10 레이저(L10)를 조사하여 하드 본딩에 의해 제1 플레이트 연결부(PC1)를 형성한다. 또한, 제2 상측 플레이트(P2U)에 제11 레이저(L11)를 조사하여 소프트 본딩에 의해 제1 금속 연결부(MC1)를 형성한다. 따라서, 도 5에 도시된 액체 렌즈 모듈(100)이 완성될 수 있다.Thereafter, as illustrated in FIG. 8F, the second upper plate P2U is hermetically placed on the first upper plate P1U while filling the first cavity CA1 with the first liquids LQ11 and LQ12. Filling the cavity CA2 with the second liquids LQ21 and LQ22, the second lower plate P2L is hermetically placed on the first lower plate P1L. Thereafter, the eighth laser L8 is irradiated on the second lower plate P2L having light transmittance to form the third plate connection part PC3 by hard bonding. Further, the third metal connection part MC3 is formed by soft bonding by irradiating the ninth laser L9 to the second lower plate P2L. In addition, the first plate connecting portion PC1 is formed by hard bonding by irradiating the second laser plate 10 with the second upper plate P2U having light transmittance. Further, the first metal connection part MC1 is formed by soft bonding by irradiating the eleventh laser L11 to the second upper plate P2U. Thus, the liquid lens module 100 shown in FIG. 5 can be completed.

전술한 실시 예에 의한 액체 렌즈 모듈(100)은 다양한 분야에 적용될 수 있다.The liquid lens module 100 according to the above-described embodiment can be applied to various fields.

이하, 실시 예에 의한 액체 렌즈 모듈을 포함하는 광학 장치(200)를 첨부된 도면을 참조하여 설명하지만, 실시 예에 의한 광학 장치(200)는 이에 국한되지 않는다.Hereinafter, the optical device 200 including the liquid lens module according to the embodiment will be described with reference to the accompanying drawings, but the optical device 200 according to the embodiment is not limited thereto.

도 9는 실시 예에 의한 광학 장치(200)의 개략적인 블럭도를 나타낸다.9 is a schematic block diagram of an optical device 200 according to an embodiment.

광학 장치(200)는 프리즘 유닛(210), 액체 렌즈 모듈(220) 및 주밍(zooming)부(230)를 포함할 수 있다. 여기서, 액체 렌즈 모듈(220)은 전술한 액체 렌즈 모듈(100)에 해당할 수 있다.The optical device 200 may include a prism unit 210, a liquid lens module 220, and a zooming unit 230. Here, the liquid lens module 220 may correspond to the liquid lens module 100 described above.

프리즘 유닛(210)은 IN으로 표기된 방향으로 입사되는 광의 경로를 액체 렌즈 모듈(220)의 광축(LX)과 나란한 방향(예를 들어, z축 방향)으로 변경하는 역할을 한다.The prism unit 210 serves to change the path of light incident in the direction indicated by IN in a direction parallel to the optical axis LX of the liquid lens module 220 (eg, the z-axis direction).

프리즘 유닛(210)에서 광로가 변경된 광에 대해 액체 렌즈 모듈(220)은 OIS 및 AF 기능을 수행하여 주밍부(230)로 출사한다.The liquid lens module 220 performs OIS and AF functions for the light whose optical path is changed in the prism unit 210 and exits to the zooming unit 230.

주밍부(230)는 액체 렌즈 모듈(220)을 경유한 광을 줌 인/줌 아웃한다. 이를 위해, 주밍부(230)는 복수의 렌즈(미도시) 및 렌즈를 광축(LX)과 나란한 방향(예를 들어, z축 방향)으로 이동시키는 액츄에이터(미도시)를 포함할 수 있다.The zooming unit 230 zooms in/out the light passing through the liquid lens module 220. To this end, the zooming unit 230 may include a plurality of lenses (not shown) and an actuator (not shown) that moves the lenses in a direction parallel to the optical axis LX (eg, the z-axis direction).

실시 예와 관련하여 전술한 바와 같이 몇 가지만을 기술하였지만, 이외에도 다양한 형태의 실시가 가능하다. 앞서 설명한 실시 예들의 기술적 내용들은 서로 양립할 수 없는 기술이 아닌 이상은 다양한 형태로 조합될 수 있으며, 이를 통해 새로운 실시 형태로 구현될 수도 있다.Although only a few are described as described above in connection with the embodiments, various forms of implementation are possible. The technical contents of the above-described embodiments may be combined in various forms, unless the technologies are incompatible with each other, and may be implemented as a new embodiment.

한편, 다른 실시 예에 의하면, 액체 렌즈 모듈(100)을 갖는 렌즈 어셈블리를 포함하는 카메라 모듈을 이용하여 광학 장치를 구현할 수 있다. 여기서, 광학 장치는 광 신호를 가공하거나 분석할 수 있는 장치를 포함할 수 있다. 광학 장치의 예로는 카메라/비디오 장치, 망원경 장치, 현미경 장치, 간섭계 장치, 광도계 장치, 편광계 장치, 분광계 장치, 반사계 장치, 오토콜리메이터 장치, 렌즈미터 장치 등이 있을 수 있으며, 액체 렌즈 모듈(100)을 갖는 렌즈 어셈블리를 포함할 수 있는 광학 장치에 본 실시 예를 적용할 수 있다.Meanwhile, according to another embodiment, an optical device may be implemented using a camera module including a lens assembly having a liquid lens module 100. Here, the optical device may include a device capable of processing or analyzing an optical signal. Examples of the optical device may include a camera/video device, a telescope device, a microscope device, an interferometer device, a photometer device, a polarimeter device, a spectrometer device, a reflectometer device, an autocollimator device, a lens meter device, and the like, and a liquid lens module 100 ) May be applied to an optical device that may include a lens assembly.

또한, 광학 장치는 스마트폰, 노트북 컴퓨터, 태블릿 컴퓨터 등의 휴대용 장치로 구현될 수 있다. 이러한 광학 장치는 액체 렌즈 모듈(100)을 갖는 카메라 모듈, 영상을 출력하는 디스플레이부(미도시), 카메라 모듈에 전원을 공급하는 배터리(미도시), 카메라 모듈과 디스플레이부와 배터리를 실장하는 본체 하우징을 포함할 수 있다. 광학 장치는 타 기기와 통신할 수 있는 통신모듈과, 데이터를 저장할 수 있는 메모리부를 더 포함할 수 있다. 통신 모듈과 메모리부 역시 본체 하우징에 실장될 수 있다.Further, the optical device may be implemented as a portable device such as a smart phone, a notebook computer, and a tablet computer. Such an optical device includes a camera module having a liquid lens module 100, a display unit (not shown) for outputting an image, a battery (not shown) for supplying power to the camera module, and a body for mounting the camera module, the display unit and the battery It may include a housing. The optical device may further include a communication module capable of communicating with other devices and a memory unit capable of storing data. The communication module and the memory unit may also be mounted in the body housing.

본 발명은 본 발명의 정신 및 필수적 특징을 벗어나지 않는 범위에서 다른 특정한 형태로 구체화될 수 있음은 당업자에게 자명하다. 따라서, 상기의 상세한 설명은 모든 면에서 제한적으로 해석되어서는 아니되고 예시적인 것으로 고려되어야 한다. 본 발명의 범위는 첨부된 청구항의 합리적 해석에 의해 결정되어야 하고, 본 발명의 등가적 범위 내에서의 모든 변경은 본 발명의 범위에 포함된다.It will be apparent to those skilled in the art that the present invention may be embodied in other specific forms without departing from the spirit and essential features of the present invention. Accordingly, the above detailed description should not be construed as limiting in all respects, but should be considered illustrative. The scope of the invention should be determined by rational interpretation of the appended claims, and all changes within the equivalent scope of the invention are included in the scope of the invention.

발명의 실시를 위한 형태는 전술한 "발명의 실시를 위한 최선의 형태"에서 충분히 설명되었다.Modes for carrying out the invention have been fully explained in the above-described "Best Mode for Invention".

실시 예에 의한 액체 렌즈 모듈 및 이 모듈을 포함하는 광학 장치는 카메라/비디오 장치, 망원경 장치, 현미경 장치, 간섭계 장치, 광도계 장치, 편광계 장치, 분광계 장치, 반사계 장치, 오토콜리메이터 장치, 렌즈미터 장치, 스마트폰, 노트북 컴퓨터, 태블릿 컴퓨터 등에 이용될 수 있다.The liquid lens module according to the embodiment and the optical device including the module include a camera/video device, a telescope device, a microscope device, an interferometer device, a photometer device, a polarimeter device, a spectrometer device, a reflectometer device, an autocollimator device, and a lens meter device , Smart phones, notebook computers, tablet computers, and the like.

Claims

전도성 액체 및 비전도성 액체가 배치되는 제1 캐비티를 포함하는 제1 상측 플레이트;A first upper plate including a first cavity in which a conductive liquid and a non-conductive liquid are disposed;

전도성 액체 및 비전도성 액체가 배치되고 상기 제1 캐비티와 대응되는 위치에 배치되는 제2 캐비티를 포함하는 제1 하측 플레이트; 및A first lower plate including a second cavity in which a conductive liquid and a non-conductive liquid are disposed and disposed at a position corresponding to the first cavity; And

상기 제1 상측 플레이트와 상기 제1 하측 플레이트 사이에 배치되는 공통 플레이트를 포함하고,And a common plate disposed between the first upper plate and the first lower plate,

상기 제1 캐비티는 상기 제1 상측 플레이트의 상부에 형성된 제1 개구와 상기 제1 개구보다 작고 상기 제1 상측 플레이트의 하부에 형성된 제2 개구를 포함하고,The first cavity includes a first opening formed in an upper portion of the first upper plate and a second opening smaller than the first opening and formed in a lower portion of the first upper plate,

상기 제2 캐비티는 상기 제1 하측 플레이트의 상부에 형성된 제3 개구와 상기 제3 개구보다 크고 상기 제1 하측 플레이트의 하부에 형성된 제4 개구를 포함하고,The second cavity includes a third opening formed in an upper portion of the first lower plate and a fourth opening larger than the third opening and formed in a lower portion of the first lower plate,

상기 제3 개구는 상기 제2 개구보다 작은 액체 렌즈 모듈.The third opening is a smaller liquid lens module than the second opening.
제1 항에 있어서,According to claim 1,

상기 제1 상측 플레이트 아래에 배치된 상측 개별 전극;An upper individual electrode disposed under the first upper plate;

상기 제1 상측 플레이트 위에 배치된 상측 공통 전극;An upper common electrode disposed on the first upper plate;

상기 제1 하측 플레이트 아래에 배치된 하측 제1 공통 전극; 및A lower first common electrode disposed under the first lower plate; And

상기 제1 하측 플레이트 위에 배치된 하측 제2 공통 전극을 포함하는 액체 렌즈 모듈.A liquid lens module including a lower second common electrode disposed on the first lower plate.
제2 항에 있어서,According to claim 2,

상기 상측 개별 전극은 복수 개로 분할되고, 상기 공통 전극들은 각각 일체로 구성되는 액체 렌즈 모듈.The upper individual electrode is divided into a plurality of, and the common electrode is a liquid lens module, each of which is integrally configured.
제2 항에 있어서,According to claim 2,

상기 제1 캐비티의 하부는 상기 하측 제2 공통 전극의 일부와 상기 광축과 나란한 방향으로 중첩되는 액체 렌즈 모듈.A lower portion of the first cavity is a liquid lens module overlapping a portion of the lower second common electrode and a direction parallel to the optical axis.
제2 항에 있어서,According to claim 2,

상기 제1 상측 플레이트 위에 배치되는 제2 상측 플레이트;A second upper plate disposed on the first upper plate;

상기 제1 하측 플레이트 아래에 배치되는 제2 하측 플레이트;A second lower plate disposed under the first lower plate;

상기 제1 상측 플레이트와 상기 제2 상측 플레이트를 연결하는 제1 플레이트 연결부;A first plate connecting portion connecting the first upper plate and the second upper plate;

상기 상측 공통 전극과 상기 제2 상측 플레이트를 연결하는 제1 금속 연결부;A first metal connection portion connecting the upper common electrode and the second upper plate;

상기 제1 상측 플레이트와 상기 공통 플레이트를 연결하는 제2 플레이트 연결부; 또는A second plate connecting portion connecting the first upper plate and the common plate; or

상기 상측 개별 전극과 상기 공통 플레이트를 연결하는 제2 금속 연결부 중 적어도 하나를 포함하는 액체 렌즈 모듈.A liquid lens module including at least one of a second metal connection portion connecting the upper individual electrode and the common plate.
제5 항에 있어서,The method of claim 5,

상기 상측 개별 전극과 상기 상측 공통 전극은 상기 제1 상측 플레이트 위에서 제1 오프닝을 사이에 두고 서로 이격되고,The upper individual electrode and the upper common electrode are spaced apart from each other with a first opening therebetween on the first upper plate,

상기 제2 플레이트 연결부는 상기 제1 오프닝과 상기 광축과 나란한 방향으로 중첩되는 제2-1 플레이트 연결부를 포함하는 액체 렌즈 모듈.The second plate connecting portion is a liquid lens module including the first opening and the 2-1 plate connecting portion overlapping in a direction parallel to the optical axis.
제5 항에 있어서,The method of claim 5,

상기 상측 공통 전극은 상기 제1 상측 플레이트와 상기 제2 상측 플레이트 사이에 위치한 제1 관통 홀을 포함하고,The upper common electrode includes a first through hole positioned between the first upper plate and the second upper plate,

상기 제2 플레이트 연결부는 상기 제1 관통 홀과 상기 광축과 나란한 방향으로 중첩되는 제2-2 플레이트 연결부를 포함하는 액체 렌즈 모듈.The second plate connection portion is a liquid lens module including the second through-hole and the second-2 plate connection portion overlapping in the direction parallel to the optical axis.
제5 항에 있어서,The method of claim 5,

상기 제1 하측 플레이트와 상기 제2 하측 플레이트를 연결하는 제3 플레이트 연결부;A third plate connecting portion connecting the first lower plate and the second lower plate;

상기 하측 제1 공통 전극과 상기 제2 하측 플레이트를 연결하는 제3 금속 연결부;A third metal connection portion connecting the lower first common electrode and the second lower plate;

상기 제1 하측 플레이트와 상기 공통 플레이트를 연결하는 제4 플레이트 연결부; 또는A fourth plate connecting portion connecting the first lower plate and the common plate; or

상기 하측 제2 공통 전극과 상기 공통 플레이트를 연결하는 제4 금속 연결부 중 적어도 하나를 포함하는 액체 렌즈 모듈.And a fourth metal connection portion connecting the lower second common electrode and the common plate.
제8 항에 있어서,The method of claim 8,

상기 하측 제2 공통 전극과 상기 하측 제1 공통 전극은 상기 제1 하측 플레이트 아래에서 제2 오프닝을 사이에 두고 서로 이격되고,The lower second common electrode and the lower first common electrode are spaced apart from each other with a second opening therebetween under the first lower plate,

상기 제4 플레이트 연결부는 상기 제2 오프닝과 상기 광축과 나란한 방향으로 중첩되는 제4-1 플레이트 연결부를 포함하고,The fourth plate connecting portion includes a fourth-1 plate connecting portion overlapping in the direction parallel to the second opening and the optical axis,

상기 하측 제1 공통 전극은 상기 제1 하측 플레이트와 상기 제2 하측 플레이트 사이에 위치한 제2 관통 홀을 포함하고,The lower first common electrode includes a second through hole positioned between the first lower plate and the second lower plate,

상기 제4 플레이트 연결부는 상기 제2 관통 홀과 상기 광축과 나란한 방향으로 중첩되는 제4-2 플레이트 연결부를 포함하는 액체 렌즈 모듈.The fourth plate connecting portion is a liquid lens module including the second through-hole and a fourth-2 plate connecting portion overlapping in a direction parallel to the optical axis.
제1 항에 기재된 액체 렌즈 모듈;The liquid lens module according to claim 1;

입사되는 광의 경로를 상기 액체 렌즈 모듈 방향으로 변경하는 프리즘 유닛; 및A prism unit changing a path of incident light in the direction of the liquid lens module; And

상기 액체 렌즈 모듈을 경유한 광을 줌 인/줌아웃하는 주밍부를 포함하는 광학 장치.An optical device including a zooming unit for zooming in/out of light passing through the liquid lens module.