WO2020045299A1 - フラットパネルディスプレイ用ペリクル枠体及びその製造方法 - Google Patents

フラットパネルディスプレイ用ペリクル枠体及びその製造方法 Download PDF

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WO2020045299A1
WO2020045299A1 PCT/JP2019/033109 JP2019033109W WO2020045299A1 WO 2020045299 A1 WO2020045299 A1 WO 2020045299A1 JP 2019033109 W JP2019033109 W JP 2019033109W WO 2020045299 A1 WO2020045299 A1 WO 2020045299A1
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stainless steel
pellicle frame
fpd
frame
steel material
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PCT/JP2019/033109
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English (en)
French (fr)
Inventor
直人 古村
耕一 中野
飯塚　章
Original Assignee
日本軽金属株式会社
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Publication date
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    • G—PHYSICS
    • G03—PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
    • G03F—PHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR
    • G03F1/00—Originals for photomechanical production of textured or patterned surfaces, e.g., masks, photo-masks, reticles; Mask blanks or pellicles therefor; Containers specially adapted therefor; Preparation thereof
    • G03F1/62—Pellicles, e.g. pellicle assemblies, e.g. having membrane on support frame; Preparation thereof
    • G03F1/64—Pellicles, e.g. pellicle assemblies, e.g. having membrane on support frame; Preparation thereof characterised by the frames, e.g. structure or material, including bonding means therefor

Definitions

  • the present invention relates to a pellicle frame for preventing foreign matter from adhering to a photomask or a reticle used in a lithography process in the manufacture of a flat panel display (FPD) panel, and a method for manufacturing the pellicle frame.
  • the present invention relates to a pellicle frame and a method for manufacturing the pellicle frame.
  • a pattern is formed on a semiconductor device such as an LSI and a super LSI or an FPD panel by irradiating a semiconductor wafer or an FPD original with light (pattern formation by lithography).
  • the dust absorbs and / or inverts the light, so that the pattern is not transferred well (for example, the pattern is deformed or the edge is unclear).
  • the quality and appearance of the semiconductor device and the FPD panel are impaired, and the performance and the production yield are reduced.
  • the pecryl is composed of a pecryl frame and a pecryl film stretched on the pecryl frame, and is installed so as to surround a pattern region formed on the surface of the exposure original plate. If the focus is set on the pattern of the exposure original during lithography, even if dust adheres to the pecryl film, the dust does not affect the transfer.
  • pellicles for general semiconductors are at most about 150 mm square, but pellicles have been increasing in size with the recent increase in size of FPD panels.
  • a pellicle frame is also required.
  • the pellicle frame is required to have high dimensional accuracy and flatness, as well as strength not to be deformed by the tension of the pellicle film, and it has become difficult to satisfy these requirements as the size of the pellicle frame increases.
  • Patent Document 1 Japanese Unexamined Patent Application Publication No. 2009-3111
  • a pellicle frame made of an aluminum alloy is used. 5.5% or less, further contains one or two kinds of Ti: 0.005 to 0.15%, B: 0.0005 to 0.05%, Fe: 0.15% or less, Si: 0 .10% or less, and the balance has a composition consisting of Al and unavoidable impurities, and the structure of this aluminum alloy is within the field of view of a crystallized substance observed by a scanning electron microscope at a magnification of 10,000 times.
  • the material of the pellicle frame is made of a 5000 series aluminum alloy having a relatively high Mg content and has a structure with a small amount of crystallized substances, thereby suppressing the generation of white spot defects.
  • Patent Document 2 Japanese Patent Application Laid-Open No. 2006-284927 discloses a support frame including a frame made of an aluminum alloy and a reinforcing member made of a material having a larger elastic coefficient than the frame. A support frame is disclosed in which a reinforcing member is embedded in an embedded recess formed in the frame.
  • the pellicle support frame needs to have a black surface for the purpose of preventing the reflection of light from the light source to obtain a clear pattern transfer image and easily performing a foreign matter non-adhesion inspection before use and the like.
  • a method of permeating an organic dye or the like into the pores of an anodized film to make it black or a method of making it black by electrolytic deposition after anodizing treatment has been proposed (for example, Patent Document 3: Japanese Patent Application Laid-Open No. 2013-7762). Gazette).
  • the method of blackening the surface of the pellicle support frame is basically optimized for the aluminum alloy pellicle support frame, and it is extremely difficult to apply the method to a pellicle support frame made of another material. .
  • an object of the present invention is to provide a pellicle for an FPD having a controlled external color so as to prevent scattering of exposure light and easily inspect foreign matter non-adherence before use.
  • An object of the present invention is to provide a frame and an efficient manufacturing method thereof.
  • the present inventors have conducted intensive studies on a pellicle frame for an FPD and a method of manufacturing the pellicle frame for an FPD in order to achieve the above object. It has been found that it is extremely effective to use the method of the present invention, and has reached the present invention.
  • the present invention Made of stainless steel with a transparent oxide film,
  • the transparent oxide film has a thickness of 420 nm to 700 nm;
  • a pellicle frame for an FPD characterized by the following characteristics:
  • the lightness index L * value is 33 or less due to the interference color of light reflected by the surface of the transparent oxide film and the surface of the stainless steel material.
  • the value of the lightness index L * is 33 or less, scattering of exposure light is prevented, and foreign matter non-adhesion inspection or the like before use can be easily performed.
  • the interference color of light reflected by the transparent oxide film and the surface of the stainless steel material is preferably black, gray or magenta. Since the appearance color of the pellicle frame for FPD is black, gray, or magenta, foreign matter non-adhesion inspection before use can be performed more easily and reliably.
  • the pellicle frame for FPD of the present invention is made of a stainless steel material, the 7000 series (Al—Zn—Mg) aluminum alloy and the 6000 series (Al—Mg) which are conventionally used as the material of the pellicle frame are used. It has a higher Young's modulus than the (Si-based) aluminum alloy and the 5000-based (Al-Mg-based) aluminum alloy.
  • the Young's modulus of the stainless steel material is preferably 100 GPa or more, more preferably 150 GPa or more, and most preferably 180 GPa or more.
  • the pellicle frame for FPD of the present invention is made of a stainless steel material having a transparent oxide film, and the thickness of the transparent oxide film is 420 nm to 700 nm. Since a transparent oxide film having a thickness of 420 nm to 700 nm is formed on the surface of the stainless steel material, the lightness index L * value is obtained by the interference color between the light reflected by the surface of the transparent oxide film and the light reflected by the surface of the stainless steel material. Can be 33 or less, and the appearance color can be black, gray or magenta.
  • the stainless steel is an austenitic stainless steel.
  • the appearance color can be changed to black, gray or magenta by using an austenitic stainless steel material.
  • the pellicle frame for FPD an austenitic stainless steel material, it is possible to combine high Young's modulus and corrosion resistance.
  • the austenitic stainless steel material is rich in ductility and toughness and has good cold workability, so that it can be easily worked into a desired frame shape.
  • the stainless steel material is preferably a martensitic stainless steel material.
  • the appearance color (interference color) becomes black, and the scattering of exposure light can be more reliably prevented.
  • the pellicle frame for FPD a martensitic stainless steel material
  • a Young's modulus of about 200 GPa and a Vickers hardness of 400 HV or more can be obtained.
  • the martensitic stainless steel material does not contain Ni, it is relatively inexpensive, and the material cost of the pellicle frame for FPD can be reduced.
  • the length of the short side is 300 mm or more and the length of the long side is 400 mm or more.
  • the pellicle frame for FPD of the present invention is made of a stainless steel material having a high Young's modulus and has sufficient rigidity, so that it can be used as a pellicle frame even if the frame is enlarged. it can.
  • the present invention A first step of obtaining a frame composed of stainless steel, A second step of immersing the frame body in a mixed solution containing chromic acid and sulfuric acid to form a transparent oxide film, And a method for manufacturing a pellicle frame for an FPD.
  • a transparent oxide film can be formed by immersing the frame made of stainless steel in a mixed solution containing chromic acid and sulfuric acid, and the immersion time Thereby, the thickness of the transparent oxide film can be controlled in angstrom units. As a result, the interference color between the light reflected from the surface of the transparent oxide film and the light reflected from the surface of the stainless steel material can be easily controlled.
  • the transparent oxide film has a thickness of 420 nm to 700 nm.
  • the appearance of the pellicle frame is black, gray, or magenta depending on the interference color between the light reflected by the surface of the transparent oxide film and the light reflected by the surface of the stainless steel material. It can be. As a result, it is possible to prevent the exposure light from being scattered, and to easily perform a foreign matter non-adhesion inspection before use.
  • the stainless steel material is austenitic stainless steel or martensitic stainless steel.
  • the austenitic stainless steel material is rich in ductility and toughness, and has good cold workability. It can be easily processed into a frame shape.
  • a stainless steel material as a martensitic stainless steel material, a transparent oxide film having a thickness of 420 nm to 700 nm is formed on the surface, so that the appearance color (interference color) can be reliably turned black.
  • it can have a Young's modulus of about 200 GPa and a Vickers hardness of 400 HV or more.
  • the martensitic stainless steel material is relatively inexpensive because it does not contain Ni, and the material cost of the pellicle frame for FPD can be reduced.
  • the frame is formed by solid-phase joining of the stainless steel material.
  • the yield of the material can be increased, and the material cost can be reduced compared to cutting out the pellicle frame for FPD from stainless steel plate. Can be reduced.
  • solid-state joining having a relatively low joining temperature
  • the solid-phase welding is not particularly limited as long as the effects of the present invention are not impaired, and various conventionally known solid-phase welding methods can be used.For example, friction stir welding or linear friction welding can be used. preferable.
  • the pellicle frame with high dimensional accuracy can be obtained by cutting the joined body.
  • the welding temperature can be controlled by the rotation speed, moving speed, load, etc. of the welding tool, and in addition to being able to control the structure of the welded portion, it is possible to control the formation of the heat-affected zone.
  • the control of the structure of the welded portion, suppression of the heat affected zone, and the like can be achieved by the linear friction conditions (amplitude, frequency, load, etc.).
  • a joining tool which is a consumable product, is unnecessary, and the joining cost can be reduced.
  • the joint becomes a rapidly solidified structure and the difference in mechanical and thermal properties from the base material becomes large, resulting in high dimensions. It is difficult to use it for a pellicle frame that requires accuracy and reliability. In addition, small pore defects may be formed at the joint in the fusion welding, but even a very small defect in the pellicle frame causes a serious problem. On the other hand, the distortion of the material to be joined due to friction stir welding or linear friction welding is extremely small, and the joint (stirred part) has a recrystallized structure that basically does not involve melt-solidification. It can be relatively small.
  • the length of the short side of the final pellicle frame is 300 mm or more, the length of the long side is 400 mm or more, and the maximum width is 6 mm or less. Is preferred.
  • the frame is increased in size and the sheet width is reduced. Even so, a good frame can be obtained. It is more preferable that the maximum width of the frame be 5 mm or less, from the viewpoint of increasing the inner size of the pellicle frame for FPD.
  • a pellicle frame for an FPD of the present invention it is preferable that in the first step, four stainless steel materials (bars) having substantially the same shape and size are joined.
  • the workability of joining can be improved, and the manufacturing cost can be reduced.
  • an FPD pellicle frame capable of easily preventing exposure light scattering and inspecting foreign matter adhesion before use, and an efficient manufacturing method thereof.
  • the pellicle frame 1 for FPD is made of a stainless steel material 2 having a transparent oxide film 4. More specifically, the pellicle frame 1 for FPD includes a frame 3 (hereinafter sometimes referred to as a “stainless steel frame”) 3 made of a stainless steel material 2 and a stainless steel frame 3. And a formed transparent oxide film 4. Since the pellicle frame 1 for FPD is made of stainless steel, it has a higher Young's modulus than an aluminum alloy conventionally used as a material of the pellicle frame.
  • the Young's modulus of the stainless steel material is preferably 100 GPa or more, more preferably 150 GPa or more, and most preferably 180 GPa or more.
  • the stainless steel frame 3 is made of a stainless steel material having a high Young's modulus, the rigidity required for the large pellicle frame 1 for FPD is maintained even if the cross-sectional area of the stainless steel frame 3 is reduced. By reducing the cross-sectional area, the inner size of the frame can be enlarged, and the pellicle frame 1 for FPD having high dimensional accuracy and flatness can be obtained.
  • the stainless steel material used for the stainless steel frame 3 is not particularly limited as long as the effects of the present invention are not impaired, and various conventionally known stainless steel materials can be used. From the viewpoint of ensuring corrosion resistance, an austenitic stainless steel material is used. It is preferable to use a stainless steel material, and it is preferable to use a martensitic stainless steel material from the viewpoint of Young's modulus and hardness.
  • austenitic stainless steel material for example, SUS301, SUS301L, SUS301J1, SUS302B, SUS303, SUS304, SUS304Cu, SUS304L, SUS304N1, SUS304N2, SUS304LN, SUS304J1, SUS304, SUS310, SUS30S specified by JIS standards.
  • martensitic stainless steel material for example, SUS403, SUS410, SUS410S, SUS420J1, SUS420J2, and SUS440A specified by JIS can be used.
  • the stainless steel frame 3 is obtained, for example, by cutting out from a stainless steel plate, and preferably does not have a region having different characteristics such as a joint, but if it has a joint, it is preferably a solid-phase joint. preferable.
  • the melt-welded part becomes a rapidly solidified structure and the difference in mechanical properties with the base material increases, but the solid-phase joint basically becomes a recrystallized structure and can reduce the difference in mechanical properties with the base material. it can.
  • the heat input during the solid-state joining is relatively small, it is possible to suppress a significant distortion and a decrease in strength of the pellicle frame.
  • the length of the short side (A in FIG. 1) of the pellicle frame 1 for FPD is usually 300 mm or more, preferably 500 mm or more, more preferably 700 mm or more, and the upper limit is not particularly limited, but is usually 3000 mm or less.
  • the length of the long side (B in FIG. 1) of the pellicle frame 1 for FPD is usually 400 mm or more, preferably 600 mm or more, more preferably 900 mm or more, and the upper limit is not particularly limited, but is usually 4000 mm or less.
  • the pellicle frame 1 for FPD When the length of the short side and the length of the long side of the pellicle frame 1 for FPD is equal to or more than the above lower limit, the influence of dust on the exposure original plate can be easily suppressed even for a large FPD panel. Further, the pellicle frame 1 for FPD can be sufficiently used as a pellicle frame even if the frame is enlarged since the stainless steel frame 3 is made of a stainless steel material having a high Young's modulus.
  • the maximum width (W in FIG. 2) of the frame of the pellicle frame 1 for FPD is preferably 6 mm or less, more preferably 5 mm or less. Since the pellicle frame 1 for FPD is made of the stainless steel material 2 having a high Young's modulus, the rigidity can be secured even if the frame width is reduced. Here, by setting the maximum width of the frame to 6 mm or less, exposure failure near the frame can be suppressed, and by setting the maximum width to 5 mm or less, the inner size of the pellicle frame 1 for FPD can be further enlarged.
  • a transparent oxide film 4 is formed on the surface of the stainless steel frame 3.
  • the thickness of the transparent oxide film 4 is usually at least 420 nm, preferably at least 430 nm, more preferably at least 440 nm, further preferably at least 450 nm, particularly preferably at least 460 nm, usually at most 700 nm, preferably at most 600 nm, more preferably It is at most 550 nm, more preferably at most 500 nm, particularly preferably at most 480 nm.
  • the thickness of the transparent oxide film 4 By setting the thickness of the transparent oxide film 4 within the above range, the lightness index L of the pellicle frame 1 for FPD is obtained by the interference color between the light reflected by the surface of the transparent oxide film 4 and the light reflected by the surface of the stainless steel material 2.
  • the value can be a desired value, and the appearance color can be black, gray or magenta.
  • the thickness of the transparent oxide film 4 is extremely thin, so that the effect of the film on the dimensional accuracy and the like of the pellicle frame 1 for FPD can be minimized.
  • the thickness of the transparent oxide film 4 refers to a value measured by the method described in Examples.
  • the brightness index L * value of the pellicle frame 1 for FPD is usually 33 or less, preferably 32 or less, more preferably 31 or less, and particularly preferably 30 or less.
  • the value of the lightness index L * is within the above range, scattering of exposure light is easily prevented, and a foreign matter non-adhesion inspection or the like before use is easily performed.
  • the lightness index L * value refers to a value measured by the method described in Examples.
  • the appearance color of the pellicle frame 1 for FPD is an interference color between light reflected by the surface of the transparent oxide film 4 and light reflected by the surface of the stainless steel material 2 and is not a color developed by a dye or a pigment. The color does not change even after prolonged exposure.
  • the composition and microstructure of the transparent oxide film 4 are not particularly limited as long as the effects of the present invention are not impaired.
  • the brightness index L * of the pellicle frame 1 for FPD may be adjusted to a desired value by adjusting the film thickness.
  • the transparent oxide film 4 is more preferably a porous oxide film formed on the surface of the stainless steel material 2 in which pores generated in the porous oxide film are closed.
  • Such a transparent oxide film 4 is obtained by immersing the stainless steel frame 3 (stainless steel material 2) in a heated mixed solution of chromic acid and sulfuric acid to obtain a transparent porous oxide film. It can be obtained by depositing chromium oxide in the pores of the oxide film. By closing the pores of the transparent porous oxide film with chromium oxide, the film hardness and corrosion resistance can be improved.
  • the transparent oxide film 4 is preferably formed by growing an oxide film of the stainless steel material 2 itself.
  • the transparent oxide film 4 has extremely good adhesion since, for example, it does not have another substance adhered to the metal surface like a plating film, and the transparent oxide film 4 was formed. Later, bending or light pressing may be performed.
  • the cross-sectional shape of the pellicle frame 1 for FPD is not particularly limited as long as the effects of the present invention are not impaired, and may be any of various conventionally known shapes. Is preferably a quadrilateral whose lower side is parallel.
  • the upper side of the pellicle frame 1 for FPD needs a width for stretching the pellicle film, and the lower side needs a width for providing an adhesive layer for bonding and bonding to the exposure master.
  • the flatness of the pellicle frame 1 for FPD is preferably 150 ⁇ m or less, more preferably 100 ⁇ m or less.
  • the flatness is calculated by measuring a height at a total of eight points including four points at each corner and four points at the center of four sides of the pellicle frame 1 for FPD, and calculating a virtual plane from the virtual plane. Can be calculated by subtracting the lowest point from the highest point among the distances of the points.
  • various pellicles can be configured using the pellicle frame 1 for FPD.
  • the pellicle of the present embodiment includes a pellicle frame 1 for an FPD and a pellicle film provided on an upper surface of the pellicle frame 1 for an FPD.
  • the pellicle may include a protective film provided on the lower surface of the pellicle frame 1 for FPD.
  • Such a pellicle is formed, for example, by covering a transparent pellicle film on the upper surface of the pellicle frame 1 for FPD, forming an adhesive layer on the lower surface of the pellicle frame 1 for FPD, and protecting the lower surface of the adhesive layer. It can be obtained by covering the film in a releasable manner.
  • the pellicle frame 1 for FPD of the present embodiment since the pellicle is provided with the frame 3 made of the stainless steel material 2, the width of the frame 3 is increased due to the enlargement of the inner size of the frame 3 when the pellicle is formed. Even if it becomes narrow, distortion and the like hardly occur by maintaining rigidity. Note that the pellicle frame 1 for FPD can be blackened by various conventionally known surface treatments and surface coatings, and the problem that reflection of light at the time of exposure makes the transfer pattern unclear can be avoided.
  • the method for manufacturing an FPD pellicle frame includes a first step (S01) of obtaining a frame made of stainless steel, A second step (S02) of forming a transparent oxide film by dipping in a mixed solution containing chromic acid and sulfuric acid.
  • S01 first step
  • S02 second step
  • a transparent oxide film by dipping in a mixed solution containing chromic acid and sulfuric acid.
  • the first step (S01) is a step for obtaining a stainless steel frame 3, and the stainless steel material 2 is subjected to joining, cutting, and the like as necessary, and is used for the pellicle frame 1 for FPD. This is a step for obtaining the body 3 with high dimensional accuracy.
  • the stainless steel frame 3 can be cut out of the stainless steel material 2.
  • the stainless steel frame 2 can also be obtained by solid-phase joining the stainless steel material 2, and in this case, the yield of the stainless steel material 2 can be increased.
  • the stainless steel frame 3 obtained by cutting or solid-phase joining may be further cut.
  • Solid phase welding of stainless steel material Solid phase welding of stainless steel material is an optional process, and is a process for obtaining a bonded body close to the shape of the pellicle frame 1 for FPD by solid phase bonding of the stainless steel material 2. Since the basic shape of the pellicle frame 1 for FPD is formed by solid-phase joining of the stainless steel material 2, the yield of the material is high, and the material cost is reduced as compared with the case where the pellicle frame 1 for FPD is cut out from a stainless steel plate. Can be reduced.
  • the solid-phase welding is not particularly limited as long as the effects of the present invention are not impaired, and various conventionally known solid-phase welding methods can be used.For example, friction stir welding or linear friction welding can be used. preferable.
  • the welding temperature can be controlled by the rotation speed, moving speed, load, etc. of the welding tool, and in addition to being able to control the structure of the welded portion, it is possible to control the formation of the heat-affected zone.
  • the control of the structure of the welded portion, suppression of the heat affected zone, and the like can be achieved by the linear friction conditions (amplitude, frequency, load, etc.).
  • a joining tool which is a consumable product, is unnecessary, and the joining cost can be reduced.
  • a joining tool made of a material having higher strength than stainless steel materials 2 at the joining temperature is not particularly limited as long as friction stir welding is achieved.
  • a cemented carbide, ceramics such as silicon nitride and pc-BN, and a high melting point metal such as W-Re can be used. .
  • the joint becomes a rapidly solidified structure, and the difference in mechanical and thermal properties from the base material increases.
  • melt welding such as arc welding or laser welding
  • the pellicle frame 1 for FPD which requires high dimensional accuracy and reliability.
  • small pore defects may be formed at the joints by fusion welding, but even a very small defect in the pellicle frame 1 for FPD becomes a serious problem.
  • the distortion of the material to be joined due to friction stir welding or linear friction welding is extremely small, and the joint (stirring part) has a recrystallized structure that basically does not accompany melt solidification. It can be relatively small.
  • the stainless steel material 2 used for the pellicle frame 1 for FPD is not particularly limited as long as the effect of the present invention is not impaired, and various conventionally known stainless steel materials can be used. From the viewpoint of performing, it is preferable to use an austenitic stainless steel material, and from the viewpoint of Young's modulus and hardness, it is preferable to use a martensitic stainless steel material.
  • the stainless steel frame 3 by joining the stainless steel materials 2, it is preferable to join four stainless steel materials 2 having substantially the same shape and size in the first step.
  • the joining workability can be improved and the manufacturing cost can be reduced.
  • the length of the short side of the frame after cutting is 300 mm or more, the length of the long side is 400 mm or more, and the maximum width is 6 mm or less.
  • the pellicle frame 1 for FPD is required to have a uniform and high rigidity as a whole. However, even if the pellicle frame 1 has a joint, the stainless steel material 2 having a high Young's modulus is joined by solid-phase joining to form a frame body. , A good frame can be obtained even when the width of the plate is increased and the plate width is reduced. It is more preferable that the maximum width of the frame be 5 mm or less from the viewpoint of increasing the inner size of the pellicle frame 1 for FPD.
  • the joined body if distortion or the like due to joining poses a problem, it is preferable to subject the joined body to pressure annealing and then to perform cutting. Compared with the case where fusion welding is used, the distortion of the frame obtained by solid-phase joining is small, but the pellicle frame 1 for FPD requires extremely high dimensional accuracy. On the other hand, the dimensional accuracy of the frame after cutting can be further improved by removing the internal strain by subjecting the joined body to heat annealing.
  • the second step (S02) is a step for immersing the stainless steel frame 3 obtained in the first step (S01) in a mixed solution containing chromic acid and sulfuric acid to form a transparent oxide film.
  • the appearance color of the pellicle frame 1 for FPD can be determined.
  • the transparent oxide film 4 can be formed on the surface of the stainless steel material 2 by immersing the stainless steel frame 3 in a heated mixed coloring solution of chromic acid and sulfuric acid.
  • the oxide film grown in the mixed coloring solution is porous, and as it is, the film hardness and corrosion resistance may not be sufficient.
  • the product is electrolyzed as a cathode in a chromic acid-based solution after washing with water, and that the chromium oxide is deposited in the pores of the oxide film to close the pores. .
  • the appearance color of the pellicle frame 1 for FPD can be controlled by the thickness of the transparent oxide film 4, and the thickness of the transparent oxide film 4 is preferably in the range of 420 nm to 700 nm.
  • the thickness of the transparent oxide film 4 By setting the thickness of the transparent oxide film 4 to 420 nm to 700 nm, the lightness index * L value of the pellicle frame 1 for FPD can be set to 33 or less, but the value depends on the surface condition of the stainless steel frame. It is preferable that the thickness of the transparent oxide film 4 be finely adjusted in accordance with a desired value or appearance color, since it may change slightly.
  • the thickness of the transparent oxide film 4 can be adjusted in angstrom units. Specifically, the potential difference (mV unit) between the stainless steel frame and the platinum measurement electrode is measured in the mixed color developing solution, and the immersion time is measured by utilizing the fact that the potential difference changes as the transparent oxide film 4 grows. Should be determined.
  • the color that can be formed by the transparent oxide film 4 also depends on the type of stainless steel.
  • an austenitic stainless steel material it can be amber, blue, gray, gold, magenta, green and its intermediate colors, black, but black and gray Alternatively, magenta is preferable.
  • magenta is preferable.
  • martensitic stainless steel only black color is in principle.
  • Example A JIS-SUS303 plate material was cut to obtain a stainless steel frame having a long side of 940 mm, a short side of 760 mm, a frame width of 6 mm and a frame thickness of 6 mm.
  • the stainless steel frame was degreased and washed with water, and then immersed in a mixed coloring solution (mixed solution of chromic acid and sulfuric acid) manufactured by Toyo Rikagaku Kenkyusho for 75 seconds to form a transparent oxide film. Then, it was washed with water and dried to obtain a pellicle frame for FPD.
  • the thickness of the transparent oxide film of the pellicle frame for FPD of the example was 490 nm. In this example, the thickness of the transparent oxide film was measured by using a scanning electron microscope (SEM) (manufactured by Hitachi, Ltd., model number: S-4500) with a cross section of the sample obtained by cutting the pellicle frame for FPD.
  • SEM scanning electron microscope
  • a lightness index L * value was measured at a total of four places, that is, two places on the short side and two places on the long side of the pellicle frame for FPD.
  • the lightness index L * value is measured by measuring the surface of the pellicle frame for FPD with a spectral color difference meter (manufactured by Nippon Denshoku Industries Co., Ltd., model number: NF777), and averaging the measured values on each side. was performed. Table 1 shows the measured values and their average values.
  • the lightness index L * value is 32.01 at the maximum, and is 33 or less in all regions.
  • the known pellicle frame for FPD made of A5052 aluminum alloy has a Young's modulus of about 69 GPa, which indicates that the obtained pellicle frame for FPD has a high Young's modulus.
  • the tensile test was performed using a tensile tester (manufactured by Shimadzu Corporation, model number AG-IS # 100 kN).
  • the tensile strength, proof stress, and elongation were measured according to JIS Z2241.
  • the Young's modulus was determined from a stress-elongation curve.
  • the conditions of the tensile test were such that the crosshead displacement speed was 0.5 mm / min until the measurement of Young's modulus and proof stress, and 5 mm / min thereafter.
  • Comparative Example 1 A pellicle frame for FPD was obtained in the same manner as in Example except that the immersion time in the mixed coloring solution was set to 50 seconds.
  • the film thickness of the transparent oxide film of the pellicle frame for FPD of Comparative Example 1 was 400 nm.
  • the lightness index L * was measured in the same manner as in the example. Table 1 shows the obtained measured values and their average values.
  • the appearance color of the pellicle frame for FPD is blue, and the lightness index L * value is 35 or more.
  • Comparative Example 2 A pellicle frame for FPD was obtained in the same manner as in Example except that the immersion time in the mixed coloring solution was 65 seconds.
  • the film thickness of the transparent oxide film of the pellicle frame for FPD of Comparative Example 2 was 220 nm.
  • the lightness index L * was measured in the same manner as in the example. Table 1 shows the obtained measured values and their average values.
  • the appearance color of the pellicle frame for FPD is gold, and the lightness index L * value is 34 or more.
  • pellicle frame for FPD 1 ... pellicle frame for FPD, 2 ... stainless steel, 3 ... Stainless steel frame (frame) 4 ... Transparent oxide film.

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Abstract

本発明は、露光光の散乱防止や使用前の異物不着検査等を容易に行うことができるように、外観色が制御されたＦＰＤ用ペリクル枠体及びその効率的な製造方法を提供する。本発明のＦＰＤ用ペリクル枠体は、透明酸化皮膜を有するステンレス鋼材で構成され、透明酸化皮膜の膜厚が４２０ｎｍ～７００ｎｍである。透明酸化皮膜の表面及びステンレス鋼材の表面による反射光の干渉色により、明度指数Ｌ＊値が３３以下であることが好ましい。

Description

フラットパネルディスプレイ用ペリクル枠体及びその製造方法
　本発明は、フラットパネルディスプレイ（ＦＰＤ）パネルの製造において、リソグラフィ工程で使用されるフォトマスクやレティクルに異物が付着するのを防止するペリクルの枠体及びその製造方法に関し、特に、大型のＦＰＤ用ペリクル枠体及びその製造方法に関する。
　ＬＳＩ及び超ＬＳＩ等の半導体装置やＦＰＤパネルは、半導体ウエハやＦＰＤ用原版に光を照射することでパターンが形成される（リソグラフィによるパターン形成）。ここで、ゴミが付着した露光原版を用いた場合は当該ゴミが光を吸収及び／又は反転するため、パターンが良好に転写されない（例えば、パターンの変形やエッジの不明瞭）。その結果、半導体装置やＦＰＤパネルの品質及び外観等が損なわれ、性能や製造歩留まりの低下が生じてしまうという問題があった。
　このため、リソグラフィに関する工程は通常クリーンルームで行われるが、当該環境下においても露光原版へのゴミの付着を完全に防止することはできないため、露光原版の表面にゴミよけのためのペクリルが設けられるのが一般的である。ペクリルはペクリル枠体及び当該ペクリル枠体に張設したペクリル膜から構成され、露光原版の表面に形成されたパターン領域を囲むように設置される。リソグラフィ時に焦点を露光原版のパターン上に合わせておけば、ペクリル膜にゴミが付着した場合であっても、当該ゴミが転写に影響することはない。
　ここで、従来の一般的な半導体用のペリクルは大きくても１５０ｍｍ角程度であったが、近年のＦＰＤパネルの大型化に伴ってペリクルの大型化も進んでおり、例えば、１０００ｍｍ角を超える大きさのペリクル枠体も要求されるようになっている。ペリクル枠体には高い寸法精度や平坦度に加えて、ペリクル膜の張力で変形しない強度が要求されるところ、ペリクル枠体の大型化に伴ってこれらの要求を満たすことが難しくなっている。
　これに対し、例えば、特許文献１（特開２００９－３１１１号公報）においては、アルミニウム合金からなるペリクル枠であって、この素材アルミニウム合金が、質量％で、Ｍｇ：３．５％を超え、５．５％以下を含み、更にＴｉ：０．００５～０．１５％、Ｂ：０．０００５～０．０５％の一種又は二種を含むとともに、Ｆｅ：０．１５％以下、Ｓｉ：０．１０％以下に各々規制し、残部がＡｌ及び不可避的不純物からなる組成を有するとともに、このアルミニウム合金の１万倍の走査型電子顕微鏡による組織観察において、観察される晶出物の視野内に占める合計面積率が５％以下であり、かつ観察される晶出物で最大の晶出物の径が円相当径で３μｍ以下である組織を有することを特徴とするペリクル枠、が開示されている。
　上記特許文献１に記載のペリクル枠においては、ペリクル枠の素材をＭｇ含有量が比較的高い５０００系アルミニウム合金とし、晶出物が少ない組織とすることで、白点欠陥の発生が抑制されることに加えて、厚みが比較的薄くても剛性を確保でき、薄型液晶テレビの液晶ディスプレイの著しい大型化に対応する、大型化を可能としたアルミニウム合金製ペリクル枠を提供することができる、とされている。
　また、特許文献２（特開２００６－２８４９２７号公報）においては、アルミニウム合金製の枠体と、前記枠体よりも弾性係数の大きい材料からなる補強部材と、を備える支持枠であって、前記補強部材が、前記枠体に形成された埋設凹部に埋め込まれていることを特徴とする支持枠、が開示されている。
　前記特許文献２に記載のペリクル用支持枠においては、アルミニウム合金製の枠体のみで構成した場合よりも曲げ剛性やせん断剛性が高くなるので、これを大型化しても撓みや歪みが発生し難い。しかも、枠体に形成した埋設凹部に補強部材を埋め込む構成としたので、枠体と補強部材とを簡単かつ確実に一体化させることが可能となる、とされている。
　更に、ペリクル用支持枠は、光源からの光の反射を防いで鮮明なパターン転写像を得ること及び使用前の異物不着検査等を容易に行う目的で表面を黒色化する必要があり、例えば、陽極酸化皮膜のポアに有機染料等を浸透させて黒色にする方法や、陽極酸化処理後の電解析出により黒色化する方法が提案されている（例えば、特許文献３：特開２０１３－７７６２号公報）。
特開２００９－３１１１号公報 特開２００６－２８４９２７号公報 特開２０１３－７７６２号公報
　しかしながら、上記特許文献１に記載されているペリクル枠であっても、大型化が急速に進んでいるＦＰＤ用パネルに用いられるペリクル枠体に要求される高い寸法精度、平坦度、ヤング率及び強度等を全て実現することは困難である。特に、近年では、露光エリアを最大化するためにペリクル枠体の内寸を拡大することが切望されているところ、枠を細くすると十分な剛性を担保することができなかった。
　また、上記特許文献２に記載されているペリクル用支持枠においては、枠体への埋設凹部の形成や補強部材との一体化等が必要であり、製造工程が複雑化すると共に高価になってしまう。加えて、補強部材には、枠体よりも弾性係数が大きい鉄やチタン等の異種材料を用いることから、加工精度や信頼性を十分に担保することが困難であった。
　更に、ペリクル用支持枠の表面を黒色化する方法は基本的にアルミニウム合金製のペリクル用支持枠に関して最適化されており、他の材料からなるペリクル用支持枠に適用することは極めて困難である。
　以上のような従来技術における問題点に鑑み、本発明の目的は、露光光の散乱防止や使用前の異物不着検査等を容易に行うことができるように、外観色が制御されたＦＰＤ用ペリクル枠体及びその効率的な製造方法を提供することを目的としている。
　本発明者らは、上記目的を達成すべく、ＦＰＤ用ペリクル枠体及びその製造方法について鋭意研究を重ねた結果、ＦＰＤ用ペリクル枠体をステンレス鋼材で構成し、透明酸化皮膜の形成による干渉色を利用すること等が極めて有効であることを見出し、本発明に到達した。
　即ち、本発明は、
　透明酸化皮膜を有するステンレス鋼材で構成され、
前記透明酸化皮膜の膜厚が４２０ｎｍ～７００ｎｍであること、
を特徴とするＦＰＤ用ペリクル枠体、を提供する。
　本発明のＦＰＤ用ペリクル枠体においては、前記透明酸化皮膜の表面及び前記ステンレス鋼材の表面による反射光の干渉色により、明度指数Ｌ＊値が３３以下であること、が好ましい。明度指数Ｌ＊値が３３以下となっていることで、露光光の散乱が防止されると共に、使用前の異物不着検査等を容易に行うことができる。
　また、本発明のＦＰＤ用ペリクル枠体においては、前記透明酸化皮膜及び前記ステンレス鋼材の表面による反射光の干渉色が黒色、グレー又はマゼンタであること、が好ましい。ＦＰＤ用ペリクル枠体の外観色が黒色、グレー又はマゼンタとなっていることで、使用前の異物不着検査等をより容易かつ確実に行うことができる。
　本発明のＦＰＤ用ペリクル枠体は、ステンレス鋼材で構成されていることから、ペリクル枠体の材質として従来用いられている７０００系（Ａｌ－Ｚｎ－Ｍｇ系）アルミニウム合金、６０００系（Ａｌ－Ｍｇ－Ｓｉ系）アルミニウム合金及び５０００系（Ａｌ－Ｍｇ系）アルミニウム合金と比較して、高いヤング率を有している。なお、ステンレス鋼材のヤング率は１００ＧＰａ以上とすることが好ましく、１５０ＧＰａ以上とすることがより好ましく、１８０ＧＰａ以上とすることが最も好ましい。枠体のヤング率を高くすることで、大型ＦＰＤ用のペリクル枠体であっても剛性を十分に担保することができ、従来のペリクル枠体よりも枠を細くすることができる。
　また、本発明のＦＰＤ用ペリクル枠体は、透明酸化皮膜を有するステンレス鋼材で構成され、前記透明酸化皮膜の膜厚が４２０ｎｍ～７００ｎｍとなっている。ステンレス鋼材の表面に膜厚が４２０ｎｍ～７００ｎｍの透明酸化皮膜が形成されていることから、透明酸化皮膜の表面による反射光とステンレス鋼材の表面による反射光との干渉色によって、明度指数Ｌ＊値を３３以下とすることができ、また、外観色を黒色、グレー又はマゼンタとすることができる。
　また、本発明のＦＰＤ用ペリクル枠体においては、前記ステンレス鋼材がオーステナイト系ステンレス鋼材であること、が好ましい。オーステナイト系ステンレス鋼材を用いることで、外観色（干渉色）を黒色、グレー又はマゼンタに変化させることができる。
　更に、ＦＰＤ用ペリクル枠体をオーステナイト系ステンレス鋼材とすることで、高いヤング率と耐食性を兼備させることができる。加えて、オーステナイト系ステンレス鋼材は延性及び靭性に富み、冷間加工性が良好であることから、所望の枠体形状に容易に加工することができる。
　また、本発明のＦＰＤ用ペリクル枠体においては、前記ステンレス鋼材がマルテンサイト系ステンレス鋼材であること、が好ましい。マルテンサイト系ステンレス鋼材の表面に膜厚が４２０ｎｍ～７００ｎｍの透明酸化皮膜を形成させることで、外観色（干渉色）は黒色となり、より確実に露光光の散乱を防止することができる。
　更に、ＦＰＤ用ペリクル枠体をマルテンサイト系ステンレス鋼材とすることで、２００ＧＰａ程度のヤング率や４００ＨＶ以上のビッカース硬度とすることができる。加えて、マルテンサイト系ステンレス鋼材はＮｉを含まないことから比較的廉価であり、ＦＰＤ用ペリクル枠体の材料コストを低減することができる。
　また、本発明のＦＰＤ用ペリクル枠体においては、短辺の長さが３００ｍｍ以上であり、長辺の長さが４００ｍｍ以上であること、が好ましい。本発明のＦＰＤ用ペリクル枠体は、当該枠体が高いヤング率を有するステンレス鋼材で構成され、十分な剛性を有していることから、枠体が大型化してもペリクル枠体として用いることができる。
　また、本発明は、
　ステンレス鋼材から構成される枠体を得る第一工程と、
　前記枠体をクロム酸と硫酸を含む混合溶液中に浸漬して透明酸化皮膜を形成させる第二工程と、を含むこと、
　を特徴とするＦＰＤ用ペリクル枠体の製造方法、も提供する。
　本発明のＦＰＤ用ペリクル枠体の製造方法においては、ステンレス鋼材から構成される枠体をクロム酸と硫酸を含む混合溶液中に浸漬することで透明酸化皮膜を形成することができ、当該浸漬時間によって透明酸化皮膜の膜厚をオングストローム単位で制御することができる。その結果、透明酸化皮膜表面からの反射光と、ステンレス鋼材表面からの反射光との干渉色を容易に制御することができる。
　また、本発明のＦＰＤ用ペリクル枠体の製造方法においては、前記透明酸化皮膜の膜厚を４２０ｎｍ～７００ｎｍとすること、が好ましい。透明酸化皮膜の膜厚を４２０ｎｍ～７００ｎｍとすることで、透明酸化皮膜の表面による反射光と、ステンレス鋼材の表面による反射光と、の干渉色によって、ペリクル枠体の外観を黒色、グレー又はマゼンタとすることができる。その結果、露光光の散乱が防止されると共に、使用前の異物不着検査等を容易に行うことができる。
　また、本発明のＦＰＤ用ペリクル枠体の製造方法においては、前記ステンレス鋼材をオーステナイト系ステンレス鋼又はマルテンサイト系ステンレス鋼とすること、が好ましい。ステンレス鋼材をオーステナイト系ステンレス鋼材とすることで、高いヤング率と耐食性を兼備させることができることに加え、オーステナイト系ステンレス鋼材は延性及び靭性に富み、冷間加工性が良好であることから、所望の枠体形状に容易に加工することができる。
　また、ステンレス鋼材をマルテンサイト系ステンレス鋼材とすることで、表面に膜厚が４２０ｎｍ～７００ｎｍの透明酸化皮膜を形成させることにより外観色（干渉色）を確実に黒色とすることができる。加えて、２００ＧＰａ程度のヤング率や４００ＨＶ以上のビッカース硬度とすることができる。更に、マルテンサイト系ステンレス鋼材はＮｉを含まないことから比較的廉価であり、ＦＰＤ用ペリクル枠体の材料コストを低減することができる。
　また、本発明のＦＰＤ用ペリクル枠体の製造方法においては、前記第一工程において、前記ステンレス鋼材の固相接合で前記枠体を形成すること、が好ましい。ステンレス鋼材の固相接合によりＦＰＤ用ペリクル枠体の基本形状を形成することで、材料の歩留りを高くすることができ、ステンレス鋼板からＦＰＤ用ペリクル枠体を切り出す場合と比較して、材料コストを低減することができる。
　また、比較的接合温度が低い固相接合を用いることで、棒状のステンレス鋼材を接合して構成されるペリクル枠体の歪みや強度低下を抑制することができる。ここで、固相接合は本発明の効果を損なわない限りにおいて特に限定されず、従来公知の種々の固相接合方法を用いることができるが、例えば、摩擦攪拌接合又は線形摩擦接合を用いることが好ましい。なお、接合体に対して切削加工を施すことで、寸法精度の高いペリクル枠体を得ることができる。
　摩擦攪拌接合では接合用ツールの回転速度、移動速度及び荷重等によって接合温度を制御することができ、接合部の組織を制御できることに加えて、熱影響部の形成等を制御することができる。また、線形摩擦接合においても、線形摩擦条件（振幅、周波数及び荷重等）によって、接合部の組織制御や熱影響部の抑制等を達成することができる。更に、線形摩擦接合では消耗品である接合用ツールが不要であり、接合コストを低減することができる。
　アーク溶接やレーザ溶接等の溶融溶接を用いて押出材同士を接合すると、接合部が急冷凝固組織となって母材との機械的及び熱的性質の差異が大きくなってしまうことから、高い寸法精度や信頼性等が要求されるペリクル枠体に用いることは困難である。また、溶融溶接では接合部に小さな気孔欠陥が形成される場合があるが、ペリクル枠体では極めて小さな欠陥であっても深刻な問題となる。これに対し、摩擦攪拌接合や線形摩擦接合による被接合材の歪みは極めて小さいことに加え、接合部（攪拌部）は基本的に溶融凝固を伴わない再結晶組織となり、母材との差異を比較的小さくすることができる。
　また、本発明のＦＰＤ用ペリクル枠体の製造方法においては、最終的なペリクル枠体の短辺の長さを３００ｍｍ以上、長辺の長さを４００ｍｍ以上、最大幅を６ｍｍ以下とすること、が好ましい。本発明のＦＰＤ用ペリクル枠体の製造方法においては、高いヤング率を有するステンレス鋼材を固相接合である摩擦攪拌接合で接合することから、枠体を大型化すると共に板幅を小さくした場合であっても、良好な枠体を得ることができる。なお、ＦＰＤ用ペリクル枠体の内寸拡大の観点から、枠の最大幅は５ｍｍ以下とすることがより好ましい。
　また、本発明のＦＰＤ用ペリクル枠体の製造方法においては、第一工程において、略同一の形状及び大きさを有する４つのステンレス鋼材（棒材）を接合すること、が好ましい。ペリクル枠体を構成するステンレス鋼材（棒材）の形状及び大きさを統一することで、接合の作業性を向上させることができ、製造コストを低減することができる。
　本発明によれば、露光光の散乱防止や使用前の異物不着検査等を容易に行うことができるＦＰＤ用ペリクル枠体及びその効率的な製造方法を提供することができる。
実施形態のＦＰＤ用ペリクル枠体の斜視図である。 実施形態のＦＰＤ用ペリクル枠体１のＣ－Ｃ’断面図である。 実施形態のＦＰＤ用ペリクル枠体の製造方法の工程図である。 実施例で得られたＦＰＤ用ペリクル枠体の概観写真である。
　以下、図面を参照しながら本発明のＦＰＤ用ペリクル枠体及びその製造方法についての代表的な実施形態について詳細に説明するが、本発明はこれらのみに限定されるものではない。また、実施形態における構成要素は、一部又は全部を適宜組み合わせることができる。なお、以下の説明では、同一又は相当部分には同一符号を付し、重複する説明は省略する場合がある。また、図面は、本発明を概念的に説明するためのものであるから、表された各構成要素の寸法やそれらの比は実際のものとは異なる場合もある。
１．ＦＰＤ用ペリクル枠体
　図１，図２に示すように、ＦＰＤ用ペリクル枠体１は、透明酸化皮膜４を有するステンレス鋼材２で構成されている。より具体的には、ＦＰＤ用ペリクル枠体１は、ステンレス鋼材２から構成される枠体（以降、「ステンレス鋼製枠体」と称することがある。）３と、ステンレス鋼製枠体３に形成された透明酸化皮膜４とを備えている。ＦＰＤ用ペリクル枠体１は、ステンレス鋼材で構成されていることで、ペリクル枠体の材質として従来用いられているアルミニウム合金と比較して、高いヤング率を有している。なお、ステンレス鋼材のヤング率は１００ＧＰａ以上とすることが好ましく、１５０ＧＰａ以上とすることがより好ましく、１８０ＧＰａ以上とすることが最も好ましい。枠体のヤング率を高くすることで、大型ＦＰＤ用のペリクル枠体であっても剛性を十分に担保することができ、従来のペリクル枠体よりも枠を細くすることができる。
　ステンレス鋼製枠体３は高いヤング率を有するステンレス鋼材から構成されているため、ステンレス鋼製枠体３の断面積を低減しても大型のＦＰＤ用ペリクル枠体１に要求される剛性を維持することができ、当該断面積の低減によって枠体の内寸を拡大することができると共に、高い寸法精度や平坦度を有するＦＰＤ用ペリクル枠体１を得ることができる。
　ステンレス鋼製枠体３に用いるステンレス鋼材は、本発明の効果を損なわない限りにおいて特に限定されず、従来公知の種々のステンレス鋼材を用いることができるが、耐食性を担保する観点からは、オーステナイト系ステンレス鋼材を用いることが好ましく、ヤング率や硬度の観点からは、マルテンサイト系ステンレス鋼材を用いることが好ましい。
　ここで、オーステナイト系ステンレス鋼材としては、例えば、ＪＩＳ規格で規定されているＳＵＳ３０１、ＳＵＳ３０１Ｌ、ＳＵＳ３０１Ｊ１、ＳＵＳ３０２Ｂ、ＳＵＳ３０３、ＳＵＳ３０４、ＳＵＳ３０４Ｃｕ、ＳＵＳ３０４Ｌ、ＳＵＳ３０４Ｎ１、ＳＵＳ３０４Ｎ２、ＳＵＳ３０４ＬＮ、ＳＵＳ３０４Ｊ１、ＳＵＳ３０４Ｊ２、ＳＵＳ３０５、ＳＵＳ３０９Ｓ、ＳＵＳ３１０Ｓ、ＳＵＳ３１２Ｌ、ＳＵＳ３１５Ｊ１、ＳＵＳ３１５Ｊ２、ＳＵＳ３１６、ＳＵＳ３１６Ｌ、ＳＵＳ３１６ＬＮ、ＳＵＳ３１６Ｔｉ、ＳＵＳ３１６Ｊ１、ＳＵＳ３１６Ｊ１Ｌ、ＳＵＳ３１７、ＳＵＳ３１７Ｌ、ＳＵＳ３１７ＬＮ、ＳＵＳ３１７Ｊ１、ＳＵＳ３１７Ｊ２、ＳＵＳ８３６Ｌ、ＳＵＳ８９０Ｌ、ＳＵＳ３２１、ＳＵＳ３４７、ＳＵＳＳＸＭ７、ＳＵＳＸＭ１５Ｊ１を用いることができる。
　また、マルテンサイト系ステンレス鋼材としては、例えば、ＪＩＳ規格で規定されているＳＵＳ４０３、ＳＵＳ４１０、ＳＵＳ４１０Ｓ、ＳＵＳ４２０Ｊ１、ＳＵＳ４２０Ｊ２、ＳＵＳ４４０Ａを用いることができる。
　ステンレス鋼製枠体３は、例えば、ステンレス鋼板から切り出すことによって得られ、接合部等の特性が異なる領域を有さないことが好ましいが、接合部を有する場合は固相接合部であることが好ましい。溶融溶接部は急冷凝固組織となり母材との機械的性質の差異が大きくなってしまうが、固相接合部は基本的に再結晶組織となり母材との機械的性質の差異を小さくすることができる。加えて、固相接合時の入熱は比較的小さくなるため、ペリクル枠体の顕著な歪みや強度低下を抑制することができる。
　ＦＰＤ用ペリクル枠体１の短辺（図１のＡ）の長さは、通常３００ｍｍ以上、好ましくは５００ｍｍ以上、より好ましくは７００ｍｍ以上であり、上限は特に限定されないが、通常３０００ｍｍ以下である。ＦＰＤ用ペリクル枠体１の長辺（図１のＢ）の長さは、通常４００ｍｍ以上、好ましくは６００ｍｍ以上、より好ましくは９００ｍｍ以上であり、上限は特に限定されないが、通常４０００ｍｍ以下である。ＦＰＤ用ペリクル枠体１の短辺及び長辺の長さが上記下限値以上であると、大型のＦＰＤパネルに対しても露光原版へのゴミの影響を抑えやすい。また、ＦＰＤ用ペリクル枠体１は、ステンレス鋼製枠体３が高いヤング率を有するステンレス鋼材で構成されていることから、枠体が大型化してもペリクル枠体として十分に用いることができる。
　ＦＰＤ用ペリクル枠体１の枠の最大幅（図２のＷ）は６ｍｍ以下であることが好ましく、５ｍｍ以下であることがより好ましい。ＦＰＤ用ペリクル枠体１は高いヤング率を有するステンレス鋼材２で構成されていることから、枠幅を小さくしても剛性を担保することができる。ここで、枠の最大幅を６ｍｍ以下とすることで枠体近傍における露光不良を抑制することができ、５ｍｍ以下とすることでＦＰＤ用ペリクル枠体１の内寸をより拡大することができる。
　ステンレス鋼製枠体３の表面には、透明酸化皮膜４が形成されている。透明酸化皮膜４の膜厚は、通常４２０ｎｍ以上、好ましくは４３０ｎｍ以上、より好ましくは４４０ｎｍ以上、さらに好ましくは４５０ｎｍ以上、特に好ましくは４６０ｎｍ以上であり、通常７００ｎｍ以下、好ましくは６００ｎｍ以下、より好ましくは５５０ｎｍ以下、さらに好ましくは５００ｎｍ以下、特に好ましくは４８０ｎｍ以下である。透明酸化皮膜４の膜厚を上記範囲内とすることで、透明酸化皮膜４の表面による反射光とステンレス鋼材２の表面による反射光との干渉色によって、ＦＰＤ用ペリクル枠体１の明度指数Ｌ＊値を所望の値とすることができ、また、外観色を黒色、グレー又はマゼンタとすることができる。一般的な塗装等とは異なり、透明酸化皮膜４の膜厚は極めて薄いことから、ＦＰＤ用ペリクル枠体１の寸法精度等に及ぼす皮膜の影響を最小限に留めることができる。本明細書において、透明酸化皮膜４の膜厚とは、実施例に記載の方法によって測定される値をいう。
　ＦＰＤ用ペリクル枠体１の明度指数Ｌ＊値は、通常３３以下、好ましくは３２以下、より好ましくは３１以下、特に好ましくは３０以下である。明度指数Ｌ＊値が上記範囲内であると、露光光の散乱が防止されやすくなると共に、使用前の異物不着検査等を容易に行いやすくなる。本明細書において、明度指数Ｌ＊値とは、実施例に記載の方法によって測定される値をいう。
　また、ＦＰＤ用ペリクル枠体１の外観色は、透明酸化皮膜４の表面による反射光とステンレス鋼材２の表面による反射光との干渉色であり、染料や顔料による発色ではないため、強い光に長時間曝されても色が変化することがない。
　透明酸化皮膜４の組成及び微細構造は本発明の効果を損なわない限りにおいて特に限定されず、膜厚を調節してＦＰＤ用ペリクル枠体１の明度指数Ｌ＊値を所望の値とすることが好ましい。また、透明酸化皮膜４は、ステンレス鋼材２の表面に形成される多孔質酸化皮膜において、この多孔質酸化皮膜に生じる孔が塞がれたものであることがより好ましい。このような透明酸化皮膜４は、ステンレス鋼製枠体３（ステンレス鋼材２）を加温したクロム酸と硫酸の混合溶液中に浸漬して透明の多孔質酸化皮膜を得て、さらにこの多孔質酸化皮膜の孔の中にクロム酸化物を析出させることで得ることができる。透明多孔質酸化皮膜の孔をクロム酸化物で塞ぐことで、皮膜硬度と耐食性を向上させることができる。
　また、透明酸化皮膜４はステンレス鋼材２自体の酸化皮膜を成長させたものであることが好ましい。これにより、透明酸化皮膜４は、例えば、めっき皮膜の様に金属表面に別の物質を付着させたものではないことから極めて良好な密着性を有しており、透明酸化皮膜４を形成させた後に曲げ加工や軽度のプレス加工等を施すこともできる。
　ＦＰＤ用ペリクル枠体１の断面形状は、本発明の効果を損なわない範囲で特に制限されず、従来公知の種々の形状とすることができるが、ペリクル膜を張設する上辺及び接着用粘着層を設ける下辺が平行な四辺形とすることが好ましい。ＦＰＤ用ペリクル枠体１の上辺にはペリクル膜を張設するための幅が必要であり、下辺には接着用粘着層を設けて露光原版に接着するための幅が必要である。
　ＦＰＤ用ペリクル枠体１の平坦度は、好ましくは１５０μｍ以下、より好ましくは１００μｍ以下である。ＦＰＤ用ペリクル枠体１の平坦度を向上させることで、ペリクルを露光原版に貼り付けた場合のＦＰＤ用ペリクル枠体１の変形量を小さくすることができる。なお、本明細書において平坦度は、ＦＰＤ用ペリクル枠体１の各コーナー４点と４辺の中央４点の計８点において高さを測定することで仮想平面を算出し、当該仮想平面からの各点の距離のうち、最高点から最低点を差引いた差により算出することができる。
　また、ＦＰＤ用ペリクル枠体１を用いて、各種ペリクルを構成することができる。本実施形態のペリクルは、ＦＰＤ用ペリクル枠体１と、ＦＰＤ用ペリクル枠体１の上面に設けられたペリクル膜とを備えている。さらに、ペリクルは、ＦＰＤ用ペリクル枠体１の下面に設けられた保護膜を備えていてもよい。このようなペリクルは、例えば、ＦＰＤ用ペリクル枠体１の上面に透明性のペリクル膜を覆設すると共に、ＦＰＤ用ペリクル枠体１の下面に接着層を形成し、当該接着層の下面に保護膜を剥離可能に覆設することで得ることができる。本実施形態のＦＰＤ用ペリクル枠体１によれば、ステンレス鋼材２から構成される枠体３を備えるため、ペリクルを構成した場合に、枠体３の内寸の拡大により枠体３の幅が狭くなった場合であっても、剛性を維持することによって歪み等が発生し難い。なお、従来公知の種々の表面処理や表面被覆によってＦＰＤ用ペリクル枠体１を黒色化することができ、露光時の光の反射が転写パターンを不鮮明にするといった問題を回避することができる。
２．ＦＰＤ用ペリクル枠体の製造方法
　図３に示すように、本実施形態のＦＰＤ用ペリクル枠体の製造方法は、ステンレス鋼材から構成される枠体を得る第一工程（Ｓ０１）と、枠体をクロム酸と硫酸を含む混合溶液中に浸漬して透明酸化皮膜を形成させる第二工程（Ｓ０２）と、を含んでいる。以下、任意の工程も含めて各工程等について詳細に説明する。
（１）第一工程（Ｓ０１：枠体成形工程）
　第一工程（Ｓ０１）はステンレス鋼製枠体３を得るための工程であり、必要に応じてステンレス鋼材２に対して接合及び切削等を施し、ＦＰＤ用ペリクル枠体１に用いるステンレス鋼製枠体３を高い寸法精度にて得るための工程である。
　ステンレス鋼材２が十分な大きさを有している場合、ステンレス鋼材２からステンレス鋼製枠体３を切り出すことができる。一方で、ステンレス鋼材２を固相接合することでもステンレス製枠体３を得ることができ、この場合はステンレス鋼材２の歩留まりを高くすることができる。なお、切り出し又は固相接合で得られたステンレス鋼製枠体３に対しては更に切削加工を行ってもよい。以下、固相接合を用いてステンレス鋼製枠体３を得る工程について、詳細に説明する。
１．ステンレス鋼材の固相接合
　ステンレス鋼材の固相接合は任意の工程であり、ステンレス鋼材２を固相接合してＦＰＤ用ペリクル枠体１の形状に近い接合体を得るための工程である。ステンレス鋼材２を固相接合することでＦＰＤ用ペリクル枠体１の基本形状を形成するため、材料の歩留まりが高く、ステンレス鋼板からＦＰＤ用ペリクル枠体１を切り出す場合と比較して、材料コストを低減することができる。
　また、比較的接合温度が低い固相接合を用いることで、板状のステンレス鋼材２を接合して構成されるペリクル枠体の歪みや強度低下を抑制することができる。ここで、固相接合は本発明の効果を損なわない限りにおいて特に限定されず、従来公知の種々の固相接合方法を用いることができるが、例えば、摩擦攪拌接合又は線形摩擦接合を用いることが好ましい。
　摩擦攪拌接合では接合用ツールの回転速度、移動速度及び荷重等によって接合温度を制御することができ、接合部の組織を制御できることに加えて、熱影響部の形成等を制御することができる。また、線形摩擦接合においても、線形摩擦条件（振幅、周波数及び荷重等）によって、接合部の組織制御や熱影響部の抑制等を達成することができる。更に、線形摩擦接合では消耗品である接合用ツールが不要であり、接合コストを低減することができる。
　摩擦攪拌接合を用いてステンレス鋼材２を接合する場合、接合温度においてステンレス鋼材２よりも強度が高い材質の接合用ツールを用いる必要がある。当該接合用ツールの材質は摩擦攪拌接合が達成される限りにおいて特に限定されないが、例えば、超硬合金、窒化ケイ素やｐｃ－ＢＮ等のセラミックス、Ｗ－Ｒｅ等の高融点金属を用いることができる。
　ここで、アーク溶接やレーザ溶接等の溶融溶接を用いて押出材同士を接合すると、接合部が急冷凝固組織となって母材との機械的及び熱的性質の差異が大きくなってしまうことから、高い寸法精度や信頼性等が要求されるＦＰＤ用ペリクル枠体１の製造に用いることは困難である。また、溶融溶接では接合部に小さな気孔欠陥が形成される場合があるが、ＦＰＤ用ペリクル枠体１では極めて小さな欠陥であっても深刻な問題となる。これに対し、摩擦攪拌接合や線形摩擦接合による被接合材の歪みは極めて小さいことに加え、接合部（攪拌部）は基本的に溶融凝固を伴わない再結晶組織となり、母材との差異を比較的小さくすることができる。
　また、上述のとおり、ＦＰＤ用ペリクル枠体１に用いるステンレス鋼材２は、本発明の効果を損なわない限りにおいて特に限定されず、従来公知の種々のステンレス鋼材を用いることができるが、耐食性を担保する観点からは、オーステナイト系ステンレス鋼材を用いることが好ましく、ヤング率や硬度の観点からは、マルテンサイト系ステンレス鋼材を用いることが好ましい。
　また、ステンレス鋼材２を接合してステンレス鋼製枠体３を製造する場合、第一工程において、略同一の形状及び大きさを有する４つのステンレス鋼材２を接合すること、が好ましい。ペリクル枠体を構成するステンレス鋼材２の形状及び大きさを統一することで、接合の作業性を向上させることができ、製造コストを低減することができる。
２．接合体の切削加工
　予備工程１で得られたステンレス鋼材２の接合体に対して切削加工を施すことで、ステンレス鋼製枠体３、及び最終的なＦＰＤ用ペリクル枠体１の形状を得ることができる。
　切削加工後の枠体の短辺の長さは３００ｍｍ以上、長辺の長さは４００ｍｍ以上、最大幅を６ｍｍ以下とすること、が好ましい。ＦＰＤ用ペリクル枠１は全体として均質かつ高い剛性を有することが求められるが、接合部を有する場合であっても、高いヤング率を有するステンレス鋼材２を固相接合で接合することで、枠体を大型化すると共に板幅を小さくした場合であっても、良好な枠体を得ることができる。なお、ＦＰＤ用ペリクル枠体１の内寸拡大の観点から、枠の最大幅は５ｍｍ以下とすることがより好ましい。
　ここで、接合による歪等が問題となる場合は、接合体を加圧焼鈍した後、切削加工を施すこと、が好ましい。溶融溶接を用いる場合と比較すると、固相接合で得られる枠体の歪みは小さくなるが、ＦＰＤ用ペリクル枠１には極めて高い寸法精度が要求される。これに対し、接合体に加熱焼鈍を施して内部歪を除去することで、切削加工後の枠体の寸法精度を更に向上させることができる。
（２）第二工程（Ｓ０２：透明酸化皮膜形成工程）
　第二工程（Ｓ０２）は、第一工程（Ｓ０１）で得られたステンレス鋼製枠体３をクロム酸と硫酸を含む混合溶液中に浸漬して透明酸化皮膜を形成させるための工程である。第二工程（Ｓ０２）によってＦＰＤ用ペリクル枠体１の外観色を決定することができる。
　ステンレス鋼製枠体３を加温したクロム酸と硫酸の混合発色溶液中に浸漬することにより、ステンレス鋼材２の表面に透明酸化皮膜４を形成することができる。混合発色溶液中で成長させた酸化皮膜は多孔質であり、そのままでは皮膜硬度及び耐食性が十分でない場合がある。ここで、硬度皮膜や耐食性が十分ではない場合、水洗の後にクロム酸系の溶液中で製品を陰極として電解し、酸化皮膜の孔の中にクロム酸化物を析出させて孔を塞ぐことが好ましい。
　ＦＰＤ用ペリクル枠体１の外観色は、透明酸化皮膜４の膜厚によって制御することができ、透明酸化皮膜４の膜厚は４２０ｎｍ～７００ｎｍの範囲とすることが好ましい。透明酸化皮膜４の膜厚を４２０ｎｍ～７００ｎｍとすることでＦＰＤ用ペリクル枠体１の明度指数＊Ｌ値を３３以下とすることができるが、当該値はステンレス鋼製枠体の表面状態によっても微妙に変化する場合があることから、所望の値や外観色に応じて透明酸化皮膜４の膜厚を微調整することが好ましい。
　ここで、透明酸化皮膜４の膜厚はオングストーム単位で調整することができる。具体的には、混合発色溶液中でステンレス鋼製枠体と白金の測定電極との電位差（ｍＶ単位）を計測し、当該電位差が透明酸化皮膜４の成長に従って変化することを利用して浸漬時間を決定すればよい。
　透明酸化皮膜４で発色できる色はステンレスの種類にも依存し、オーステナイト系ステンレス鋼材の場合はアンバー、ブルー、グレー、ゴールド、マゼンタ、グリーン及びその中間色、黒色とすることができるが、黒色、グレー又はマゼンタとすることが好ましい。また、マルテンサイト系ステンレス鋼材の場合は原則として黒色のみとなる。
　以上、本発明の代表的な実施形態について説明したが、本発明はこれらのみに限定されるものではなく、種々の設計変更が可能であり、それら設計変更は全て本発明の技術的範囲に含まれる。
≪実施例≫
　ＪＩＳ－ＳＵＳ３０３の板材に切削加工を施し、長辺９４０ｍｍ、短辺７６０ｍｍ、枠幅６ｍｍ及び枠厚６ｍｍのステンレス鋼製枠体を得た。
　次に、ステンレス鋼製枠体を脱脂及び水洗した後、株式会社東陽理化学研究所製の混合発色溶液（クロム酸と硫酸の混合溶液）中に７５秒浸漬して透明酸化皮膜を形成させた。その後、水洗及び乾燥させてＦＰＤ用ペリクル枠体を得た。実施例のＦＰＤ用ペリクル枠体の透明酸化皮膜の膜厚は、４９０ｎｍであった。本実施例において、透明酸化皮膜の膜厚の測定は、ＦＰＤ用ペリクル枠体を切断することで得られた試料の断面を走査電子顕微鏡（ＳＥＭ）（日立製作所製、型番：Ｓ－４５００）を用いて観察し、観察写真から上面、内側面、外側面の皮膜厚さを算出して、これらの皮膜厚さの平均値を求めることにより行った。得られたＦＰＤ用ペリクル枠体の外観写真を図４に示す。ＦＰＤ用ペリクル枠体に歪みや傷は認められず、十分な剛性及び寸法精度を有する大型のＦＰＤ用ペリクル枠体が得られていることが得分かる。また、ＦＰＤ用ペリクル枠体の外観色はマゼンタとなっていた。
　ＦＰＤ用ペリクル枠体の短辺２箇所及び長辺２箇所の計４箇所の明度指数Ｌ＊値を測定した。本実施例において、明度指数Ｌ＊値の測定は、ＦＰＤ用ペリクル枠体の表面を分光色差計（日本電色工業製、型番：ＮＦ７７７）にて測定し、各辺の測定値を平均することにより行った。各測定値及びその平均値を表１に示す。明度指数Ｌ＊値は最大でも３２．０１となっており、全ての領域で３３以下となっている。
Figure JPOXMLDOC01-appb-T000001
　得られたＦＰＤ用ペリクル枠体に引張試験を施し、応力－ひずみ曲線からヤング率を求めたところ、１９８．８ＧＰａであった。また、引張強度は６１７ＭＰａ、０．２％耐力は２３６ＭＰａであった。従来知られているＡ５０５２アルミニウム合金製のＦＰＤ用ペリクル枠体のヤング率は６９ＧＰａ程度であり、得られたＦＰＤ用ペリクル枠体は高いヤング率を有していることが分かる。本実施例において、引張試験は、引張試験機（島津製作所製、型番ＡＧ－ＩＳ １００ｋＮ）を用いて測定を行った。引張強度、耐力、伸びは、ＪＩＳ Ｚ２２４１に準じて測定を行った。ヤング率は、応力－伸び曲線から求めた。引張試験の条件は、ヤング率及び耐力測定まではクロスヘッド変位速度を０．５ｍｍ／ｍｉｎとし、それ以降は５ｍｍ／ｍｉｎとした。
≪比較例１≫
　混合発色溶液中への浸漬時間を５０秒としたこと以外は実施例と同様にして、ＦＰＤ用ペリクル枠体を得た。比較例１のＦＰＤ用ペリクル枠体の透明酸化皮膜の膜厚は、４００ｎｍであった。
　また、実施例と同様にして明度指数Ｌ＊値を測定した。得られた各測定値及びその平均値を表１に示す。ＦＰＤ用ペリクル枠体の外観色はブルーとなっており、明度指数Ｌ＊値は３５以上となっている。
≪比較例２≫
　混合発色溶液中への浸漬時間を６５秒としたこと以外は実施例と同様にして、ＦＰＤ用ペリクル枠体を得た。比較例２のＦＰＤ用ペリクル枠体の透明酸化皮膜の膜厚は、２２０ｎｍであった。
　また、実施例と同様にして明度指数Ｌ＊値を測定した。得られた各測定値及びその平均値を表１に示す。ＦＰＤ用ペリクル枠体の外観色はゴールドとなっており、明度指数Ｌ＊値は３４以上となっている。
１・・・ＦＰＤ用ペリクル枠体、
２・・・ステンレス鋼材、
３・・・ステンレス鋼製枠体（枠体）
４・・・透明酸化皮膜。

Claims (11)

  1. 　透明酸化皮膜を有するステンレス鋼材で構成され、
    　前記透明酸化皮膜の膜厚が４２０ｎｍ～７００ｎｍであること、
    　を特徴とするフラットパネルディスプレイ（ＦＰＤ）用ペリクル枠体。
  2. 　前記透明酸化皮膜の表面及び前記ステンレス鋼材の表面による反射光の干渉色により、明度指数Ｌ＊値が３３以下であること、
    　を特徴とする請求項１に記載のＦＰＤ用ペリクル枠体。
  3. 　前記干渉色が黒色、グレー又はマゼンタであること、
    　を特徴とする請求項１又は２に記載のＦＰＤ用ペリクル枠体。
  4. 　前記ステンレス鋼材がオーステナイト系ステンレス鋼材であること、
    　を特徴とする請求項１～３のうちのいずれかに記載のＦＰＤ用ペリクル枠体。
  5. 　前記ステンレス鋼材がマルテンサイト系ステンレス鋼材であること、
    　を特徴とする請求項１～３のうちのいずれかに記載のＦＰＤ用ペリクル枠体。
  6. 　短辺の長さが３００ｍｍ以上であり、
    　長辺の長さが４００ｍｍ以上であること、
    　を特徴とする請求項１～５のうちのいずれかに記載のＦＰＤ用ペリクル枠体。
  7. 　ステンレス鋼材から構成される枠体を得る第一工程と、
    　前記枠体をクロム酸と硫酸を含む混合溶液中に浸漬して透明酸化皮膜を形成させる第二工程と、を含むこと、
    　を特徴とするＦＰＤ用ペリクル枠体の製造方法。
  8. 　前記透明酸化皮膜の膜厚を４２０ｎｍ～７００ｎｍとすること、
    　を特徴とする請求項７に記載のＦＰＤ用ペリクル枠体の製造方法。
  9. 　前記ステンレス鋼材をオーステナイト系ステンレス鋼又はマルテンサイト系ステンレス鋼とすること、
    　を特徴とする請求項７又は８に記載のＦＰＤ用ペリクル枠体の製造方法。
  10. 　前記ステンレス鋼材の固相接合で前記枠体を形成すること、
    　を特徴とする請求項７～９のうちのいずれかに記載のＦＰＤ用ペリクル枠体の製造方法。
  11. 　前記固相接合に摩擦攪拌接合又は線形摩擦接合を用いること、
    　を特徴とする請求項７～１０のうちのいずれかに記載のＦＰＤ用ペリクル枠体の製造方法。
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Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2022220228A1 (ja) * 2021-04-13 2022-10-20 信越化学工業株式会社 ペリクルフレーム積層体及びこれを用いたペリクルの製造方法
JP2023044039A (ja) * 2021-09-17 2023-03-30 株式会社Kokusai Electric 半導体装置の製造方法、基板処理方法、プログラム、および基板処理装置

Citations (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS61213380A (ja) * 1985-03-18 1986-09-22 Tsukiboshi Art Kogyo Kk 金属板表面模様形成方法
JP2004361649A (ja) * 2003-06-04 2004-12-24 Asahi Kasei Electronics Co Ltd 大型ペリクル
JP2006284927A (ja) 2005-03-31 2006-10-19 Nippon Light Metal Co Ltd ペリクル、支持枠、枠体および枠体の製造方法
JP2009003111A (ja) 2007-06-20 2009-01-08 Kobelco Kaken:Kk ペリクル枠
JP2013007762A (ja) 2011-05-20 2013-01-10 Nippon Light Metal Co Ltd ペリクル用支持枠の製造方法及びペリクル用支持枠並びにペリクル
JP2015036791A (ja) * 2013-08-15 2015-02-23 旭化成イーマテリアルズ株式会社 ペリクル枠体及びペリクル
JP2016090784A (ja) * 2014-11-04 2016-05-23 日本軽金属株式会社 ペリクル用支持枠および製造方法
JP2016218162A (ja) * 2015-05-18 2016-12-22 信越化学工業株式会社 ペリクル及びその装着方法

Family Cites Families (19)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS61250179A (ja) * 1985-04-26 1986-11-07 Nisshin Steel Co Ltd 高耐食性着色ステンレス鋼
JPH01167702A (ja) * 1987-12-23 1989-07-03 Matsushita Electric Works Ltd 光学膜付き金属材
JPH02258996A (ja) * 1989-03-30 1990-10-19 Nippon Stainless Steel Co Ltd 酸化発色ステンレス綱の耐食性改善方法
JPH0735586B2 (ja) * 1989-08-25 1995-04-19 住友金属工業株式会社 着色フェライト系ステンレス鋼とその製造方法
JP3050615B2 (ja) * 1991-02-07 2000-06-12 旭化成工業株式会社 液晶製造用マスクのための防塵体
DE60119026T2 (de) * 2000-06-01 2006-11-30 Asahi Glass Co., Ltd. Membranabdeckung und Verfahren zu deren Verwendung
JP4202770B2 (ja) * 2003-01-10 2008-12-24 大日本印刷株式会社 防塵装置付きフォトマスクおよび露光方法、検査方法と修正方法
JP2005202011A (ja) * 2004-01-14 2005-07-28 Mitsui Chemicals Inc ペリクル
EP2221398B1 (en) * 2007-12-14 2016-10-19 Toadenka Corporation Resin-metal bonded body and method for producing the same
EP2145980A1 (de) * 2008-07-07 2010-01-20 Poligrat Gmbh Farbige Edelstahloberfläche und Verfahren zum Färben von Edelstahl
JP5241756B2 (ja) * 2010-03-03 2013-07-17 アベル株式会社 被覆ステンレス鋼およびその製造方法
US9599889B2 (en) * 2012-07-17 2017-03-21 Nippon Light Metal Company, Ltd. Method for manufacturing support frame for pellicle, support frame for pellicle, and pellicle
JP2014085435A (ja) * 2012-10-22 2014-05-12 Shin Etsu Chem Co Ltd ペリクルフレーム及びこのペリクルフレームで構成されたペリクル
JP5741561B2 (ja) * 2012-12-04 2015-07-01 日本軽金属株式会社 ペリクル枠及びその製造方法
JP6008784B2 (ja) * 2013-04-15 2016-10-19 信越化学工業株式会社 ペリクルフレーム及びその製作方法とペリクル
CN105659163B (zh) * 2013-10-23 2020-02-07 日本轻金属株式会社 光罩护膜框及其制造方法
KR102460875B1 (ko) * 2014-04-17 2022-10-31 신에쓰 가가꾸 고교 가부시끼가이샤 펠리클 수납 용기
JP6293041B2 (ja) * 2014-12-01 2018-03-14 信越化学工業株式会社 ペリクルフレームおよびこれを用いたペリクル
JP6706575B2 (ja) * 2016-12-22 2020-06-10 信越化学工業株式会社 ペリクルフレーム及びこれを用いたペリクル

Patent Citations (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS61213380A (ja) * 1985-03-18 1986-09-22 Tsukiboshi Art Kogyo Kk 金属板表面模様形成方法
JP2004361649A (ja) * 2003-06-04 2004-12-24 Asahi Kasei Electronics Co Ltd 大型ペリクル
JP2006284927A (ja) 2005-03-31 2006-10-19 Nippon Light Metal Co Ltd ペリクル、支持枠、枠体および枠体の製造方法
JP2009003111A (ja) 2007-06-20 2009-01-08 Kobelco Kaken:Kk ペリクル枠
JP2013007762A (ja) 2011-05-20 2013-01-10 Nippon Light Metal Co Ltd ペリクル用支持枠の製造方法及びペリクル用支持枠並びにペリクル
JP2015036791A (ja) * 2013-08-15 2015-02-23 旭化成イーマテリアルズ株式会社 ペリクル枠体及びペリクル
JP2016090784A (ja) * 2014-11-04 2016-05-23 日本軽金属株式会社 ペリクル用支持枠および製造方法
JP2016218162A (ja) * 2015-05-18 2016-12-22 信越化学工業株式会社 ペリクル及びその装着方法

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2022220228A1 (ja) * 2021-04-13 2022-10-20 信越化学工業株式会社 ペリクルフレーム積層体及びこれを用いたペリクルの製造方法
JP2023044039A (ja) * 2021-09-17 2023-03-30 株式会社Kokusai Electric 半導体装置の製造方法、基板処理方法、プログラム、および基板処理装置
JP7387685B2 (ja) 2021-09-17 2023-11-28 株式会社Kokusai Electric 半導体装置の製造方法、基板処理方法、プログラム、および基板処理装置

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