WO2020004868A1 - 게이트 밸브 시스템 - Google Patents

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WO2020004868A1
WO2020004868A1 PCT/KR2019/007458 KR2019007458W WO2020004868A1 WO 2020004868 A1 WO2020004868 A1 WO 2020004868A1 KR 2019007458 W KR2019007458 W KR 2019007458W WO 2020004868 A1 WO2020004868 A1 WO 2020004868A1
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WO
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door
bracket
gate valve
valve system
passage
Prior art date
Application number
PCT/KR2019/007458
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English (en)
French (fr)
Inventor
최대규
Original Assignee
(주) 엔피홀딩스
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Publication date
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Priority claimed from KR1020180077677A external-priority patent/KR102150064B1/ko
Application filed by (주) 엔피홀딩스 filed Critical (주) 엔피홀딩스
Priority claimed from KR1020190073509A external-priority patent/KR102224594B1/ko
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    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
    • F16K—VALVES; TAPS; COCKS; ACTUATING-FLOATS; DEVICES FOR VENTING OR AERATING
    • F16K27/00—Construction of housing; Use of materials therefor
    • F16K27/04—Construction of housing; Use of materials therefor of sliding valves
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
    • F16K—VALVES; TAPS; COCKS; ACTUATING-FLOATS; DEVICES FOR VENTING OR AERATING
    • F16K3/00—Gate valves or sliding valves, i.e. cut-off apparatus with closing members having a sliding movement along the seat for opening and closing
    • F16K3/02—Gate valves or sliding valves, i.e. cut-off apparatus with closing members having a sliding movement along the seat for opening and closing with flat sealing faces; Packings therefor
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
    • F16K—VALVES; TAPS; COCKS; ACTUATING-FLOATS; DEVICES FOR VENTING OR AERATING
    • F16K3/00—Gate valves or sliding valves, i.e. cut-off apparatus with closing members having a sliding movement along the seat for opening and closing
    • F16K3/30—Details
    • F16K3/314—Forms or constructions of slides; Attachment of the slide to the spindle
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
    • F16K—VALVES; TAPS; COCKS; ACTUATING-FLOATS; DEVICES FOR VENTING OR AERATING
    • F16K51/00—Other details not peculiar to particular types of valves or cut-off apparatus
    • F16K51/02—Other details not peculiar to particular types of valves or cut-off apparatus specially adapted for high-vacuum installations

Definitions

  • the present invention relates to a gate valve system, and more particularly to a gate valve system that can be replaced the door without breaking the overall vacuum.
  • chambers are industrial facility facilities used to manufacture advanced semiconductor devices, display devices or other medical devices such as semiconductor chips, wafers, LCD panels, OLED panels, etc. that require a vacuum or high clean working environment.
  • the gate valve attached to the gate valve serves as an entrance and exit of the chamber.
  • the gate valve is a kind of device that opens a door to move a semiconductor chip or wafer into the chamber space and closes the door to maintain the airtight state in the chamber.
  • the idea of the present invention is to solve these problems, it is possible to replace the entire door including the O-ring even in the mono-type door can greatly reduce the replacement cost and time, and reduce the volume of the equipment to reduce the cost and equipment cost Pneumatic formation time and cost can be reduced, for example, to provide a gate valve system that allows for door replacement without breaking the overall vacuum of the valve housing.
  • these problems are exemplary, and the scope of the present invention is not limited thereby.
  • a mono-type gate valve system includes: a valve housing having a first lower surface and a second lower surface formed in at least a portion thereof, and a door replacement area formed in the other portion; A mono type door having a first sealing member corresponding to the first lower surface and the second lower surface of the passage so as to open and close the passage; Lifting platform for supporting the door; An elevating shaft for elevating the elevating platform; And a door replacement to move the door from the first position to the second position so that the door can be opened and closed when the door is moved up and down in the first position, and the door can be moved to the door replacement area when the door is moved up and down in the second position.
  • For mobile device may include.
  • valve housing is the door replacement area is disposed above the passage, the opening and closing door is installed in a portion of the door replacement area, the entrance or the lifting platform of the door replacement area A second sealing member for sealing the door replacement area may be installed.
  • the door replacement moving device may be installed on the elevating shaft, the elevating platform forward and backward devices for advancing the elevating platform.
  • the door replacement moving device, the lifting shaft forward and backward apparatus for advancing the lifting shaft up and down may include.
  • the door replacement moving device the lifting shaft guide hole formed in the valve housing to guide the forward and backward movement of the lifting shaft; And a bellows pipe installed in the valve housing so as to surround the elevating shaft guide hole to protect the elevating shaft and the inside of the valve housing.
  • the door replacement moving device, the lifting shaft angle adjusting device for adjusting the angle of the lifting shaft in accordance with the direction of the door replacement area may include.
  • the door replacement moving device is installed on the lifting platform, it may be a door forward and backward device for moving the door forward and backward.
  • the door forward and backward devices may be a sliding type sliding along the lifting platform or an extension type that is extended or contracted from the lifting platform.
  • valve housing has the door replacement area disposed below the passage, the opening and closing door is formed in a part of the door replacement area, the door replacement in the inlet portion of the door replacement area
  • a temporary closure device may be installed to temporarily seal the door replacement area.
  • the temporary sealing device may be a flexible sealing device in which the sealing door is extended or contracted or a rotary sealing device in which the sealing door is rotated.
  • the valve housing is formed, the valve housing is formed in the door replacement area; A door in which a sealing member is installed to open and close the passage; A movable table supporting the door; A door moving device capable of moving the door in the passage direction; And a door circulation replacement device installed in the door replacement area and configured to take over the old door from the movable table and to move the new door waiting in the movable table direction by using the conveyor device.
  • the conveyor apparatus the first sprocket wheel capable of driving rotation; A second sprocket wheel capable of driven rotation; And a belt wound to circulate between the first sprocket wheel and the second sprocket wheel.
  • the door circulation replacement device may further include a door fastening device installed on the belt and fastened to the dropping spherical door to seat the spherical door on the belt.
  • the door fastening device may be an insertion protrusion which can be inserted into an insertion groove of the door or an accommodation groove portion into which the door can be inserted.
  • the valve housing is formed at least a portion, the door replacement area is formed in the other portion;
  • a door provided with a first sealing member to open and close the passage, the door having a shape corresponding to the passage;
  • a bracket installed in the door replacement area and having a plurality of door accommodating grooves for loading the plurality of doors, the bracket being installed to be able to move forward and backward along the forward and backward rails;
  • Bracket forward and backward devices for advancing the bracket forward and backward;
  • a fastening device selectively fastened to at least one door positioned on a moving line among the doors accommodated in the bracket;
  • an elevating device capable of elevating the door engaged with the fastening device in the passage direction.
  • the valve housing has at least a portion of the passage having a first lower surface and a second lower surface, and the door is configured to open and close the passage.
  • the door may be a mono type in which the first sealing member corresponding to the second lower surface is installed.
  • the bracket when receiving the door, the guide inclined surface may be formed in the door receiving groove so as to guide the door to the home position.
  • the gate valve system according to the present invention further comprises a separator installed between the door receiving groove of the bracket and the door receiving groove of the bracket so as to prevent contamination of the door by the contaminated door or the external environment. can do.
  • the bracket forward and backward apparatus the front end is bitten-coupled to the clearance groove formed on the lower surface of the bracket, the rear end is rotated by the rotation axis shaft member; And a rotating device for axially rotating the camshaft member.
  • the fastening device may include a connecting block formed with at least one insertion protrusion that can be forcibly inserted into a fastening hole formed in the lower surface of the door.
  • the insertion protrusion of the fastening device is formed so that the tip is elastically deformed
  • the inclined guide surface may be formed so that the insertion position can be guided.
  • the bracket may be disposed below the center of the door, and the connecting block may be disposed below the left and right ends of the door, respectively.
  • the gate valve system according to the present invention may further include a temporary fixing device for temporarily fixing the door to the bracket so that the door is fixed to the door receiving groove of the bracket does not shake.
  • the door replacement method of the gate valve system for solving the above problems, using a bracket forward and backward device for advancing the bracket forward or forward the bracket on which the plurality of the door is mounted to the first position or Reversing; Selectively fastening at least one door positioned on a moving line among the doors accommodated in the bracket positioned at the first position by using a fastening device; Separating the door engaged with the fastening device from the bracket by using a lifting device to move up and down in the passage direction; Separating the door, which is finished using the elevating device, from the fastening device and re-receiving the door in the bracket; Advancing or retracting the bracket to a second position by using a bracket forward and backward device for advancing the bracket; Selectively fastening at least one door positioned on a moving line among the doors accommodated in the bracket located at the second position by using the fastening device; And elevating the door engaged with the fastening device in the passage direction by using the
  • FIGS. 1 and 2 are operational diagrams illustrating a mono type gate valve system in accordance with some embodiments of the present invention.
  • 3 and 4 are operational diagrams illustrating a mono type gate valve system in accordance with some other embodiments of the present invention.
  • 5 and 6 are operational diagrams illustrating a mono type gate valve system in accordance with some further embodiments of the present invention.
  • FIG. 7 and 8 are operational diagrams illustrating a mono type gate valve system in accordance with some further embodiments of the present invention.
  • FIGS. 9 and 10 are operational diagrams illustrating a mono type gate valve system in accordance with some further embodiments of the present invention.
  • 11 and 12 are operational diagrams illustrating a mono type gate valve system in accordance with some further embodiments of the present invention.
  • FIG. 13 and 14 are operational diagrams illustrating a mono type gate valve system in accordance with some further embodiments of the present invention.
  • 15 and 16 are operational diagrams illustrating a mono type gate valve system in accordance with some further embodiments of the present invention.
  • FIG. 17 is a perspective view illustrating an example of a door of a mono type gate valve system in accordance with some other embodiments of the present invention.
  • FIG. 18 is a cross-sectional view illustrating a door circulation replaceable gate valve system in accordance with some embodiments of the present disclosure.
  • FIG. 1 It is a top view which shows an example of the door removal apparatus of the door rotation replaceable gate valve system of FIG.
  • FIG. 20 is a plan view illustrating another example of the door detachment device of the door circulation replaceable gate valve system of FIG. 18.
  • FIG. 21 is a perspective view illustrating a door circulation replacing device of the door circulation replacing gate valve system of FIG. 18.
  • FIG. 22 is a cross-sectional view illustrating an operation process of the door rotation replaceable gate valve system of FIG. 18.
  • FIG. 23 is a cross-sectional view illustrating an example of a door circulation replacing apparatus of the door circulation replacing gate valve system of FIG. 18.
  • FIG. 24 is a cross-sectional view illustrating another example of the door circulation replacing apparatus of the door circulation replacing gate valve system of FIG. 18.
  • FIG. 25 is a cross-sectional view illustrating still another example of the door circulation replacing apparatus of the door circulation replacing gate valve system of FIG. 18.
  • 26 is an external perspective view illustrating a gate valve system in accordance with some embodiments of the present disclosure.
  • FIG. 27 is an exploded perspective view of parts illustrating the gate valve system of FIG. 26.
  • FIG. 28 is a cross-sectional view illustrating the gate valve system of FIG. 26.
  • FIG. 29 is a perspective view illustrating the bracket and the fastening device of the gate valve system of FIG. 26.
  • FIG. 30 is an enlarged perspective view illustrating an enlarged fastening device of the gate valve system of FIG. 29.
  • FIG. 31 is a cross-sectional view illustrating a fastening device of the gate valve system of FIG. 30.
  • FIG. 32 is a perspective view illustrating a bracket of the gate valve system of FIG. 30.
  • FIG. 33 is a front view illustrating the bracket of the gate valve system of FIG. 30.
  • FIG. 34 is a side view illustrating the advanced state of the bracket of the gate valve system of FIG. 30.
  • FIG. 35 is a side view illustrating a reverse state of the bracket of the gate valve system of FIG. 30.
  • FIG. 36 is a perspective view illustrating the bracket and the bracket forward and backward devices of the gate valve system of FIG. 29.
  • FIG. 37 is a cross-sectional view illustrating a process of back and forth of a bracket of the gate valve system of FIG. 26.
  • FIG. 38 is a cross-sectional view illustrating an example of a temporary fixing device of the gate valve system of FIG. 26.
  • FIG. 39 is a cross-sectional view illustrating another example of the temporary fixing device of the gate valve system of FIG. 26.
  • FIG. 40 is a cross-sectional view illustrating a stopper of the gate valve system of FIG. 26.
  • 41 is a cross-sectional view illustrating a door replacement process of a gate valve system in accordance with some embodiments of the present disclosure.
  • FIG. 42 is a cross-sectional view illustrating a door replacement process of a gate valve system in accordance with some other embodiments of the present disclosure.
  • FIG. 43 is a cross-sectional view illustrating a door replacement process of a gate valve system in accordance with some other embodiments of the present invention.
  • 44 is a flowchart illustrating a door replacing method of the gate valve system according to some embodiments of the present invention.
  • FIGS. 1 and 2 are operational diagrams illustrating a mono type gate valve system 100 in accordance with some embodiments of the present invention.
  • the mono type gate valve system 100 has a valve housing 10, a mono type door 20, Steel strip 30, the lifting shaft 40 and the door replacement moving device 50 may be included.
  • the valve housing 10 has a mono type passage 10a having a first lower surface F1 and a second lower surface F2 at least partially formed therein.
  • the valve housing 10 is not limited to the drawings, as conceptually illustrated in the drawings, and various types and types of passages or valve housings may be applied.
  • the door replacement area A is disposed above the passage 10a and the door replacement area is provided.
  • An opening / closing door (D) is installed in a portion of (A), the second sealing member (S2) for sealing the door replacement area (A) to the entrance of the door replacement area (A) or the lifting platform (30). Can be installed.
  • the door 20 has the first lower surface F1 and the second lower surface of the passage 10a so as to open and close the passage 10a. It may be a mono type door 20 formed in a shape corresponding to F2 and provided with a first sealing member S1 such as an O-ring or a gasket for airtightness.
  • a first sealing member S1 such as an O-ring or a gasket for airtightness.
  • FIG. 17 is a perspective view illustrating an example of a door 20 of a mono type gate valve system in accordance with some other embodiments of the present invention.
  • the first sealing member S1 applied to the mono type door 20 may have the passage formed in the horizontal direction only by the lifting operation of the door 20. It may be formed to be stepped in three dimensions to open and close 10a).
  • the door 20 is not limited to FIG. 17, and all the doors of the mono type that can open and close the passage with a single operation may be applied.
  • the lifting platform 30 may be a table-like structure that is formed to extend in the horizontal direction to support the door 20.
  • the present invention is not necessarily limited to the drawings and may be formed in a wide variety of shapes.
  • the lifting shaft 40 extends in a vertical direction from a lower surface of the lifting platform 30 so that the lifting platform 30 can be lifted. It may be a structure of a form. However, the present invention is not necessarily limited to the drawings and may be formed in a wide variety of shapes.
  • the door replacement moving apparatus 50 may open and close the passage 10a when the door 20 moves up and down from the first position, and the second position. It may be a device for moving the door 20 from the first position to the second position so as to be moved to the door replacement area (A) when descending from.
  • the door replacement moving device 50 is installed on the elevating shaft 40, and the elevating platform forward and backward devices for advancing the elevating platform 30 forward and backward ( 51).
  • the above-described lifting platform forward and backward device 51 may be applied to various hydraulic or pneumatic cylinder devices, various driving devices and actuators such as solenoids, motors or linear motors, and detailed description thereof will be omitted.
  • the door 20 is opened. Waits in the state where the passage 10a is opened by the lowering of the lifting shaft 40, and as shown in FIG. 1B, the door 20 is the lifting shaft 40.
  • the passage 10a may be closed by a rising operation, that is, a single operation.
  • the lifting platform 30 may be reversed from the first position to the second position by the lifting platform forward and backward device 51.
  • the door 20 may also be reversed to the second position.
  • the door 20 when the door 20 reaches the second position, the door 20 is moved toward the door replacement area A by the lifting shaft 40. And the door replacement area A may be sealed by the second sealing member S2 installed at the inlet of the door replacement area A, and thus not break the vacuum environment of the valve housing 10. It is possible to replace the door 20 with a new one by making only the door replacement area A in a standby state.
  • 3 and 4 are operational diagrams illustrating a mono type gate valve system 200 in accordance with some other embodiments of the present invention.
  • the door replacement moving device 50 of the mono type gate valve system 200 is configured to move the lifting shaft 40 forward and backward.
  • the elevating shaft forward and backward device 52 and the elevating shaft guide hole 53 formed in the valve housing 10 to guide the forward and backward movement of the elevating shaft 40 and the elevating shaft 40 and the It may include a bellows pipe 54 installed in the valve housing 10 in a shape surrounding the elevating shaft guide hole 53 so as to protect the inside of the valve housing 10.
  • the mono type gate valve system 200 first, as shown in FIG. Waits in a state where the passage 10a is opened by the lowering of the lifting shaft 40, and as shown in FIG. 3B, the door 20 is the lifting shaft 40.
  • the passage 10a may be closed by a rising operation, that is, a single operation.
  • the elevating shaft 40 may be reversed from the first position to the second position by the elevating shaft forward and backward device 52.
  • the door 20 may also be reversed to the second position.
  • the door 20 when the door 20 reaches the second position, the door 20 is moved toward the door replacement area A by the lifting shaft 40. And the door replacement area A may be sealed by the second sealing member S2 installed at the inlet of the door replacement area A, and thus not break the vacuum environment of the valve housing 10. It is possible to replace the door 20 with a new one by making only the door replacement area A in a standby state.
  • 5 and 6 are operational diagrams illustrating a mono type gate valve system 300 in accordance with some further embodiments of the present invention.
  • the door replacement moving device 50 of the mono type gate valve system 300 is directed in the direction of the door replacement area A.
  • FIG. It may include a lifting shaft angle adjusting device 55 to adjust the angle of the lifting shaft 40 in accordance with.
  • the door 20 is opened. Waits in the state where the passage 10a is opened by the lowering of the lifting shaft 40, and as shown in FIG. 5B, the door 20 is the lifting shaft 40.
  • the passage 10a may be closed by a rising operation, that is, a single operation.
  • the lifting shaft 40 vertically erected by the lifting shaft angle adjusting device 55 is as shown in FIG. 6 (d). Likewise, it can be tilted from the first position (first angle) to the second position (second angle).
  • FIG. 7 and 8 are operational diagrams illustrating a mono type gate valve system 400 in accordance with some further embodiments of the present invention.
  • the door replacement moving device 50 of the mono type gate valve system 400 is installed on the lifting platform 30. And, it may include a door forward and backward device 56 for moving forward and backward the door 20.
  • the mono type gate valve system 400 first, as shown in FIG. 20 waits in a state where the passage 10a is opened by the lowering of the lifting shaft 40, and as shown in FIG. 7B, the door 20 has the lifting shaft (
  • the passage 10a can be closed by the upward motion of the 40, i.e., a single motion.
  • the door 20 may be retracted from the first position to the second position by the door back and forth device 56.
  • the door 20 when the door 20 reaches the second position, the door 20 is moved toward the door replacement area A by the lifting shaft 40.
  • the door replacement area A By the second sealing member S2 installed in the lifting platform 30, the door replacement area A may be sealed, and the door replacement may be performed without breaking the vacuum environment of the valve housing 10. Only the area A can be made standby so that the door 20 can be replaced with a new one.
  • the door forward and backward device 56 may be a sliding type door forward and backward device 56-1 sliding in connection with the lower end of the door 20 along the lifting platform 30.
  • FIGS. 9 and 10 are operational diagrams illustrating a mono type gate valve system 500 in accordance with some further embodiments of the present invention.
  • the door forward and rearward device 56 of the mono type gate valve system 500 may include the door along the platform 30. It may be a sliding type door forward and backward device 56-2 sliding in connection with the middle portion of the (20).
  • 11 and 12 are operational diagrams illustrating a mono type gate valve system 600 in accordance with some further embodiments of the present invention.
  • the door forward and rearward device 56 of the mono type gate valve system 600 may be a stretch type door forward and backward device 56-3 which is connected to a portion and is extended or contracted from the lifting platform 30.
  • the door forward and backward devices 56 are not necessarily limited to the drawings, and various power transmission devices having a wide variety of shapes, and a wide variety of actuators such as cylinders, motors, and linear motors may be applied.
  • FIG. 13 and 14 are operational diagrams illustrating a mono type gate valve system 700 in accordance with some further embodiments of the present invention.
  • the valve housing 10 of the mono type gate valve system 700 has the door replacement area A in the passage 10a. It is disposed on the basis of the lower side, the opening and closing door (D) is formed in a part of the door replacement area (A), the temporary sealing to temporarily seal the door replacement area when replacing the door at the entrance of the door replacement area (A) Device 60 may be installed.
  • the temporary sealing device 60 may be a flexible sealing device 61 in which the sealing door G is extended or contracted.
  • the door ( 20 waits in a state where the passage 10a is opened by the lowering of the lifting shaft 40, and as shown in FIG. 13B, the door 20 has the lifting shaft (
  • the passage 10a can be closed by the upward motion of the 40, i.e., a single motion.
  • 15 and 16 are operational diagrams illustrating a mono type gate valve system 800 in accordance with some further embodiments of the present invention.
  • the temporary closure device 60 of the mono type gate valve system 800 is a rotary closure device in which the closure door G is rotated. (62).
  • the door ( 20 waits in a state where the passage 10a is opened by the lowering of the lifting shaft 40, and as shown in FIG. 15B, the door 20 has the lifting shaft (
  • the passage 10a can be closed by the upward motion of the 40, i.e., a single motion.
  • a door circulation replaceable gate valve system 1100 according to various embodiments of the present disclosure will be described in detail with reference to the accompanying drawings.
  • the door circulation replaceable gate valve system illustrated in the drawings exemplifies the L type, but may be equally applicable to the mono type described above.
  • FIG. 18 is a cross-sectional view illustrating a door circulation replaceable gate valve system 1100 according to some embodiments of the present disclosure.
  • 19 is a plan view showing an example of the door disconnecting device 160 of the door circulation replaceable gate valve system 1100 of FIG. 18, and
  • FIG. 20 is a door of the door circulation replaceable gate valve system 1100 of FIG. 18.
  • It is a top view which shows another example of the separating apparatus 160, and
  • FIG. 21 is a perspective view which shows the door circulation replacing apparatus 150 of the door circulation replacing gate valve system 1100 of FIG.
  • the door circulation replaceable gate valve system 1100 includes a valve housing 10, a door 20, and a movable table. 30, the door movement device 40, and the door circulation replacement device 150 may be included.
  • the valve housing 10 is a hollow box-shaped structure in which a passage 10a is formed and a door exchange area A is formed at a portion thereof. And, to support the movable table 30, the door moving device 40 and the door circulation replacement device 150, etc., and sufficient strength and durability to be connected to various chambers, vacuum lines or gas lines, etc. It may be a structure having.
  • the valve housing 10 is not limited to the drawings, as conceptually illustrated in the drawings, and various kinds and types of passages or valve housings may be applied.
  • the door 20 is provided with a sealing member S to open and close the passage 10a and is detachably installed with the movable table 30. It may be a structure formed in a shape corresponding to the passage 10a. However, the door 20 is not necessarily limited to the drawings, and all kinds of doors may be applied.
  • the movable table 30 may be a structure that detachably supports the door 20.
  • the movable table 30 is not necessarily limited to the drawings, all of the movable devices of a wide variety of shapes can be applied.
  • the door moving device 40 is a device capable of moving the door 20 in the direction of the passage 10a by using the lifting shaft 41.
  • various actuators including various power transmission devices or driving devices, such as various cylinders, motors, or linear motors, may all be applied.
  • the door circulation replacement device 150 is installed in the door exchange area (A), take over the spherical door 20-2 from the movable table 30, the conveyor
  • the device 151 may be a device for advancing the new door (20-1) in the direction of the movable table (30).
  • the conveyor device 151 of the door circulation replacement device 150 includes a first sprocket wheel 152 capable of driving rotation and the first sprocket wheel.
  • a second sprocket wheel 153 capable of driven rotation by 152 and a belt 154 wound to be circulated between the first sprocket wheel 152 and the second sprocket wheel 153 may be included.
  • the conveyor apparatus 151 is not necessarily limited to the drawings, and a wide variety of conveyor apparatuses such as a belt type conveyor, a roller type conveyor, a chain type conveyor, a crawler type conveyor, a timing belt type conveyor, and the like may all be applied.
  • the door circulation replacing apparatus 150 may be installed on the belt 154 and may be engaged with the spherical door 20-2 falling down to allow the spherical door 20-20 to fall. It may further include a door fastening device 155 for seating 2) on the belt 154.
  • the door fastening device 155 may include an insertion protrusion 155-1 that may be inserted into the insertion groove 20a of the door 20. have.
  • the insertion protrusion 155-1 is selectively extended when coupled with the door 20 to be inserted into the insertion groove 20a of the door 20, and the door ( After being separated from 20), when the belt 154 is moved, a stretchable insertion protrusion 155-1a may be applied so as to use a space.
  • the present invention is not necessarily limited thereto.
  • a wide variety of door fastening devices such as a general insertion protrusion or a magnet magnet attachment device, which are not stretchable to support the door 20, may be applied.
  • the door circulation replaceable gate valve system 1100 separates the door 20 from the movable table 30. It may further include a door separation device 160 to fall in the direction of the door circulation replacement device 150.
  • the door separation device 160 may be installed on the movable table 30 so as to be able to expand and contract, and may be engaged with the door 20.
  • the door 20 is installed to be extended and contracted to the at least one bite shaft 161 and the movable table 30 to be coupled, and to separate the door 20 from the bite shaft 161. It may include at least one pressing shaft 162 for pressing.
  • FIG. 22 is a cross-sectional view illustrating a step by step operation of the door rotation replaceable gate valve system 1100 of FIG. 18.
  • step by step operation of the door circulation replaceable gate valve system 1100 will be described first, as shown in FIG. 22A.
  • the door 20 may be advanced in the direction of the passage 10a to close the passage 10a.
  • the door 20 is a spherical door 20 in the new door 20-1 such that the sealing member S is worn or deformed.
  • the door 20 may be separated using the above-described door separation device 160 to naturally fall in the direction of the door circulation replacement device 150.
  • the movable table 30 is engaged with the new door 20-1 that is waiting in the door circulation replacement device 150 by the door moving device 40. Can be.
  • the spherical door 20-2 dropped using the door circulation replacing apparatus 150 is moved in the direction of the door replacing area A, and at the same time, the air is waiting.
  • the space for accommodating the new door 20-2 to be newly generated can be secured in advance.
  • the old door 20-2 can be replaced with the new door 20-1, thereby greatly reducing the replacement cost and time,
  • By reducing the volume of the equipment it is possible to reduce the cost of the equipment and the time and cost of the vacuum pressure forming, for example, the quick replacement of the door 20 without breaking the overall vacuum of the valve housing 10.
  • FIG. 23 is a cross-sectional view illustrating an example of the door circulation replacing apparatus 150 of the door circulation replacing gate valve system 1100 of FIG. 18.
  • the door circulation replacing apparatus 150 accommodates the spherical door 20-2 and advances it forward to secure a new space, and again the spherical door 20.
  • a plurality of new doors 20-1 can be used for a long time without breaking the internal vacuum while repeating a series of steps to accommodate -2).
  • FIG. 24 is a cross-sectional view illustrating another example of the door circulation replacing apparatus 150 of the door circulation replacing gate valve system 1100 of FIG. 18.
  • the insertion protrusion 155-1 is connected to the guide member G. It may be a folding insertion protrusion 155-1b that can be folded by.
  • the folding direction may be folded at various angles, such as front and rear or left and right directions or inclined directions.
  • the insertion protrusions 155-1 may be advantageously expanded and contracted in a narrow space at the time of conveying the conveyor, and thus may be advantageous in terms of securing space.
  • FIG. 25 is a cross-sectional view illustrating still another example of the door circulation replacing apparatus 150 of the door circulation replacing gate valve system 1100 of FIG. 18.
  • the door rotation replacement device 150 may include the door 20 inserted therein. It may include a receiving groove 155-2.
  • the door 20 may be freely fallen and guided and supported by the accommodation groove 155-2.
  • the door circulation replaceable gate valve system 1100 may include an identifier installed in the door 20 to allow operation only when matching identification information.
  • 81 may further include an identification device 80 capable of identifying the identification information.
  • the identification device 80 of the door circulation replaceable gate valve system 1100 may allow the operation of the door (eg, only when identification information is matched).
  • the identifier 81 may be an RFID tag or the like, and the identification apparatus 80 may include an RFID sensor or an RFID control apparatus. can do.
  • the operation of the equipment can be enabled only when the doors 20 are identified as genuine to ensure the stability and smooth operation of the product.
  • FIG. 26 is an external perspective view illustrating the gate valve system 2100 according to some embodiments of the present disclosure
  • FIG. 27 is an exploded perspective view illustrating components of the gate valve system 2100 of FIG. 26, and
  • FIG. 28 is a gate of FIG. 26.
  • 29 is a cross-sectional view illustrating the valve system 2100, and
  • FIG. 29 is a perspective view illustrating the bracket 70 and the fastening device 90 of the gate valve system 2100 of FIG. 26.
  • the gate valve system 2100 may include a valve housing 10, a door 20, a bracket 70, and a bracket. It may include a forward and backward device 80, a fastening device 90 and a lifting device 57.
  • the valve housing 10 may have a generally cylindrical or frame shape in which a passage 10a is formed at least in part and a door replacement area A is formed in another part. It may be a structure.
  • the valve housing 10 has the passage 10a having a first lower surface F1 and a second lower surface F2 formed in at least a portion thereof.
  • it may be a mono type gate valve housing installed between the transfer chamber and the process chamber or inside the transfer chamber.
  • the door 20 is provided with a first sealing member S1 to open and close the passage 10a, and corresponds to the passage 10a.
  • a kind of sealing plate is formed in a shape that is, more specifically, for example, the door 20, the first lower surface (F1) and the first of the passage (10a) to open and close the passage (10a) 2 may be a mono type door in which the first sealing member S1 corresponding to the lower surface F2 is installed.
  • the mono type door may be formed in a stepped or bent shape in a three-dimensional shape, as shown in FIG.
  • the bracket 70 is installed in the door replacement area A, and accommodates a plurality of doors so that the plurality of doors 20 can be loaded.
  • the groove portion 71 is formed, and may be a kind of movable body installed to be able to move forward and backward along the forward and backward rails R.
  • the bracket forward and backward apparatus 80 is a device for advancing and retreating the bracket 70
  • the fastening device 90 is the bracket 70.
  • the elevating device 57 is the door (fastened with the fastening device 90) It may include a lifting device 57 that can lift 20 in the direction of the passage (10a).
  • the gate valve system 2100 may prevent the bracket from being contaminated by the contaminated door or the external environment.
  • the separator 70 may further include a separator SP installed in the groove H4 between the door accommodating groove 71 and the neighboring door accommodating groove 71.
  • the shape of the separator SP may be similar to the shape of the door replacement area A or the shape of the door 20 so as to distinguish a part of the door replacement area A.
  • the bracket 70 is disposed below the center of the door 20, and the fastening device 90 is stably disposed below the left and right ends of the door 20, respectively.
  • the present invention is not limited thereto, and for example, the brackets 70 are disposed below the left and right ends of the door 20, and the fastening device 90 is disposed below the center of the door 20. Batch forms can be applied.
  • FIGS. 30-37 A more detailed description of these devices may be made through various components, as shown in FIGS. 30-37. However, these devices are not necessarily limited to the drawings, and various changes and modifications are possible.
  • FIG. 30 is an enlarged perspective view showing an enlarged fastening device 90 of the gate valve system 2100 of FIG. 29, and FIG. 31 is a cross-sectional view illustrating the fastening device 90 of the gate valve system 2100 of FIG. 30.
  • the fastening device 90 is provided with at least one insertion protrusion 92 that can be forcibly inserted into the fastening hole H2 formed on the lower surface of the door 20.
  • the connecting block 91 may be included.
  • the insertion protrusion 92 of the fastening device 90, the branch groove (H3) is formed so that the tip is elastically deformed, the insertion position is guided
  • An inclined guide surface GF may be formed to be.
  • the door 20 may open and close the passage 10a of the valve housing 10 while being engaged with the fastening device 90.
  • the door 20 is in close contact with the passage 10a while the insertion protrusion 92 is completely connected to the fastening hole H2 of the door 20. It can be firmly fixed by being inserted and forced into the bite.
  • FIG. 32 is a perspective view illustrating the bracket 70 of the gate valve system 2100 of FIG. 30,
  • FIG. 33 is a front view illustrating the bracket 70 of the gate valve system 2100 of FIG. 30, and
  • FIG. 34 is a view of FIG. 30.
  • FIG. 35 is a side view showing the advanced state of the bracket 70 of the gate valve system 2100
  • FIG. 35 is a side view showing the reverse state of the bracket 70 of the gate valve system 2100 of FIG. 30,
  • FIG. 36 is shown in FIG.
  • It is a perspective view which shows the bracket 70 and the bracket back and forth apparatus 80 of the gate valve system 2100
  • FIG. 37 is sectional drawing which shows the process of back and forth of the bracket 70 of the gate valve system 2100 of FIG. admit.
  • the bracket 70 may have a guide inclined surface formed on the door accommodating groove 71 to guide the door 20 to a proper position when the door is accommodated. .
  • the bracket 70 is capable of forward and backward along the forward and backward rails (R) formed with a long hole in the forward and backward direction, the bracket 70 can minimize the frictional force with the forward and backward rails (R)
  • a plurality of bearings, two bearings (B), or the like may be installed. When the two bearings B are installed, the angle of the bracket 70 can be kept constant at all times when the bracket 70 is moved back and forth to facilitate the horizontal movement of the door 20. have.
  • the front and rear propagating device 80 of the bracket, the front end projection (T) is bite coupled to the clearance groove (H1) formed on the lower surface of the bracket 70, the rear end of the rotary shaft
  • the camshaft member 81 rotated by 82 and the rotating device 83 which axially rotates the camshaft member 81 can be included.
  • FIG. 37 for example, when the three doors 20 are stacked, as shown in FIG. 37A, when the chamfer member 81 is 0 degrees, the first above The door 20 may be used, and as shown in (b) of FIG. 37, when the chamfer member 81 is 90 degrees, the second door 20 may be used, and FIG. 37 (c) As shown in FIG. 3, when the chamfer member 81 is 180 degrees, the bracket 70 may be moved back and forth step by step to use the third door 20.
  • the gate valve of the mono type can be replaced easily, even if it is a mono type gate valve, it can be used for a long time.
  • FIG. 38 is a cross-sectional view illustrating an example of the temporary fixing device E of the gate valve system 2100 of FIG. 26, and FIG. 39 illustrates another example of the temporary fixing device E of the gate valve system 2100 of FIG. 26. It is a cross section.
  • the door 20 is fixed to the door receiving groove 71 of the bracket 70. It may further include a temporary fixing device (E) for temporarily fixing the door 20 to the bracket 70 so as not to shake, as shown in Figure 38, the temporary fixing device (E), the valve It may be an elastic body E1 installed in the housing 10 and elastically pressing the door 20.
  • a temporary fixing device (E) for temporarily fixing the door 20 to the bracket 70 so as not to shake, as shown in Figure 38
  • the temporary fixing device (E) the valve It may be an elastic body E1 installed in the housing 10 and elastically pressing the door 20.
  • the temporary fixing device E is installed in the valve housing 10 or the bracket 70, and is formed by the magnetic material M installed in the door 20 and the magnetic force. It may be a magnetic member E2 to be coupled.
  • 40 is a cross-sectional view illustrating the stopper ST of the gate valve system 2100 of FIG. 26.
  • a stopper ST may be installed in the passage 10a of the valve housing 10 to prevent the door 20 from being pushed. Therefore, it is possible to prevent the sliding phenomenon and the separation phenomenon of the door 20 to improve the durability and precision of the device.
  • 41 through 43 are cross-sectional views illustrating a door replacement process of gate valve systems according to various embodiments of the present disclosure.
  • the door 20, which is finished using the elevating device in the (1 Plate Down) process may be separated from the fastening device 90 and re-received in the bracket 70.
  • the bracket 70 may be advanced or retracted to the second position by using the bracket forward and backward device 80 which moves forward and backward the bracket 70.
  • the door 20 may be selectively fastened, and the door 20 fastened to the fastening device 90 may be lifted up and down in the direction of the passage 10a by using the lifting device.
  • the door 20, which is finished using the elevating device in the (2 Plate Down) process may be separated from the fastening device 90 and re-received in the bracket 70.
  • the bracket 70 may be advanced or retracted to the third position by using the bracket forward and backward device 80 which moves forward and backward the bracket 70.
  • the door 20 may be selectively fastened, and the door 20 fastened to the fastening device 90 may be lifted up and down in the direction of the passage 10a by using the lifting device.
  • FIG. 42 is a case where the direction of the passage 10a is applied to the valve housing 10 in which the direction of the passage 10a is reversed while accommodating the two doors 20.
  • (1 Plate Up) One of the two doors 20 may be selected and used through a series of processes such as (1 Plate Down), (Push-Change), (2 Plate Up), and (2 Plate Down).
  • the present invention is not necessarily limited thereto, and as shown in FIG. 43, a series of processes such as (1 Plate Up), (1 Plate Down), (Push-Change), (2 Plate Up), and (2 Plate Down) It is also possible to raise and lower both of the two doors 20 through the left one of the door replacement area A and to select and use the remaining doors 20.
  • the number and use of the doors 20 may be applied in various numbers and shapes according to the working environment or various equipments.
  • 44 is a flow chart illustrating a door replacement method of the gate valve system 2100 in accordance with some embodiments of the present invention.
  • the door replacement method of the gate valve system uses a plurality of bracket forward and backward devices 80 to move the bracket 70 forward and backward. Advancing or retracting the brackets 70 on which the two doors 20 are loaded to the first position (S100), and received in the brackets 70 located at the first position by using the fastening device 90. Selectively fastening at least one door 20 positioned on a moving line among the doors 20 (S200) and the fastening device 90 fastened with the lifting device 57; Separating the door 20 from the bracket 70 to move up and down in the direction of the passage 10a (S300), and the fastening device 90 using the door 20 after the use of the lifting device is finished.

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Abstract

본 발명은 도어의 상승 동작만으로도 통로를 개폐시킬 수 있도록 실링 부재가 단차지게 형성되는 모노 타입 게이트 밸브 시스템에 관한 것으로서, 적어도 일부분에 제 1 하면과 제 2 하면을 갖는 통로가 형성되고, 타부분에 도어 교체 영역이 형성되는 밸브 하우징; 상기 통로를 개폐할 수 있도록 상기 통로의 상기 제 1 하면과 상기 제 2 하면과 대응되는 제 1 실링 부재가 설치되는 모노 타입의 도어; 상기 도어를 지지하는 승하강대; 상기 승하강대를 승하강시키는 승하강축; 및 상기 도어가 제 1 위치에서 승하강시 상기 통로를 개폐할 수 있고, 제 2 위치에서 승하강시 상기 도어 교체 영역으로 이동될 수 있도록 상기 도어를 상기 제 1 위치에서 상기 제 2 위치로 이동시키는 도어 교체용 이동 장치;를 포함할 수 있다.

Description

게이트 밸브 시스템
본 발명은 게이트 밸브 시스템에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 전체적인 진공을 깨뜨리지 않고도 도어를 교체할 수 있는 게이트 밸브 시스템에 관한 것이다.
일반적으로, 챔버는 진공 또는 고청정의 작업환경이 요구되는 반도체 칩, 웨이퍼, LCD 패널, OLED 패널 등과 같은 첨단 반도체 장치나 디스플레이 장치나 기타 의료 기기를 제조하기 위해 사용되는 산업 설비 시설이며, 이러한 챔버에 부착되는 게이트 밸브는 챔버의 출입구 역할을 하는 것으로서, 도어를 열어 챔버 공간 내로 반도체 칩이나 웨이퍼 등을 이동하고 다시 도어를 닫아 챔버 내의 기밀 상태가 유지되도록 하는 장치의 일종이다.
한편, 이러한 종래 게이트 밸브는 일반적으로 오링을 이용하여 기밀 상태를 유지하는 것으로서, 내부의 공정 환경이나 진공, 고압, 고온 등의 악조건에 의해 탄성 재질로 제조되는 오링이 쉽게 마모되거나 변형되어 주기적으로 교환해야 하는 번거로움이 있었다.
이를 해결하고자 하는 종래의 기술로는, 대한민국 공개특허 제10-2006-0069287호에 개시된 바와 같이, 밸브 하우징의 일부분에 설치된 개폐 덮개를 열고, 밸브체로부터 밀봉 부재(오링)만을 교환할 수 있는 기술이 개발된 바 있다.
그러나, 이러한 오링만을 교환하는 종래의 기술은 최근 추세인 일체형 오링이 적용된 도어에서는 사용할 수 없고, 설사 오링만 교환한다 하더라도 오링을 좁은 오링홈에 끼우는 작업이 매우 번거롭고 수작업으로 이루어지기 때문에 부주의로 인하여 부품이 손상되거나 오링이 불완전하게 설치되어 기밀 유지가 어려웠었던 문제점들이 있었다.
또한, 이러한 종래의 오링 교환 기술은 오링을 교환하기 위해서 매우 넓은 영역이 개방되어야 하는 데, 이러한 넓은 영역으로 인하여 장비의 부피가 커져서 장비의 제조 단가가 비싸지는 것은 물론이고, 장비의 내부 공간이 넓어져서 진공압을 형성하는 데에 시간과 비용이 많이 소요되는 등 많은 문제점들이 있었다.
한편, 종래에는 도어의 상승 동작만으로도 통로를 개폐시킬 수 있도록 실링 부재가 단차지게 형성되어 비교적 구조가 간단하고 작동성이 우수한 모노 타입 게이트 밸브 시스템이 널리 적용되고 있다.
본 발명의 사상은, 이러한 문제점들을 해결하기 위한 것으로서, 모노 타입 도어에서도 오링을 포함한 도어 전체를 교체할 수 있어서 교체 비용과 시간을 크게 절감할 수 있고, 장비의 부피를 축소시켜서 장비의 단가와 진공압 형성 시간 및 비용을 줄일 수 있으며, 예컨대, 밸브 하우징의 전체적인 진공을 깨뜨리지 않고도 도어의 교체를 가능하게 하는 게이트 밸브 시스템을 제공함에 있다. 그러나 이러한 과제는 예시적인 것으로서, 이에 의해 본 발명의 범위가 한정되는 것은 아니다.
상기 과제를 해결하기 위한 본 발명의 사상에 따른 모노 타입 게이트 밸브 시스템은, 적어도 일부분에 제 1 하면과 제 2 하면을 갖는 통로가 형성되고, 타부분에 도어 교체 영역이 형성되는 밸브 하우징; 상기 통로를 개폐할 수 있도록 상기 통로의 상기 제 1 하면과 상기 제 2 하면과 대응되는 제 1 실링 부재가 설치되는 모노 타입의 도어; 상기 도어를 지지하는 승하강대; 상기 승하강대를 승하강시키는 승하강축; 및 상기 도어가 제 1 위치에서 승하강시 상기 통로를 개폐할 수 있고, 제 2 위치에서 승하강시 상기 도어 교체 영역으로 이동될 수 있도록 상기 도어를 상기 제 1 위치에서 상기 제 2 위치로 이동시키는 도어 교체용 이동 장치;를 포함할 수 있다.
또한, 본 발명에 따르면, 상기 밸브 하우징은 상기 도어 교체 영역이 상기 통로를 기준으로 상방에 배치되고, 상기 도어 교체 영역의 일부분에 개폐문이 설치되며, 상기 도어 교체 영역의 입구부 또는 상기 승하강대에 상기 도어 교체 영역의 밀폐를 위한 제 2 실링 부재가 설치될 수 있다.
또한, 본 발명에 따르면, 상기 도어 교체용 이동 장치는, 상기 승하강축에 설치되고, 상기 승하강대를 전후진시키는 승하강대 전후진 장치일 수 있다.
또한, 본 발명에 따르면, 상기 도어 교체용 이동 장치는, 상기 승하강축을 전후진시키는 승하강축 전후진 장치;를 포함할 수 있다.
또한, 본 발명에 따르면, 상기 도어 교체용 이동 장치는, 상기 승하강축의 전후진 이동을 안내할 수 있도록 상기 밸브 하우징에 형성되는 승하강축 가이드홀부; 및 상기 승하강축과 상기 밸브 하우징의 내부를 보호할 수 있도록 상기 승하강축 가이드홀부를 둘러싸는 형상으로 상기 밸브 하우징에 설치되는 벨로우즈관;을 더 포함할 수 있다.
또한, 본 발명에 따르면, 상기 도어 교체용 이동 장치는, 상기 도어 교체 영역의 방향에 맞추어 상기 승하강축의 각도를 조절하는 승하강축 각도 조절 장치;를 포함할 수 있다.
또한, 본 발명에 따르면, 상기 도어 교체용 이동 장치는, 상기 승하강대에 설치되고, 상기 도어를 전후진시키는 도어 전후진 장치일 수 있다.
또한, 본 발명에 따르면, 상기 도어 전후진 장치는, 상기 승하강대를 따라 슬라이딩되는 슬라이딩 타입 또는 상기 승하강대로부터 신장 또는 수축되는 신축 타입일 수 있다.
또한, 본 발명에 따르면, 상기 밸브 하우징은 상기 도어 교체 영역이 상기 통로를 기준으로 하방에 배치되고, 상기 도어 교체 영역의 일부에 개폐문이 형성되며, 상기 도어 교체 영역의 입구부에 도어 교체시 상기 도어 교체 영역을 임시 밀폐시키는 임시 밀폐 장치가 설치될 수 있다.
또한, 본 발명에 따르면, 상기 임시 밀폐 장치는, 밀폐문이 신장 또는 수축되는 신축식 밀폐 장치 또는 밀폐문이 회전되는 회전식 밀폐 장치일 수 있다.
한편, 상기 과제를 해결하기 위한 본 발명의 사상에 따른 도어 순환 교체형 게이트 밸브 시스템은, 통로가 형성되고, 일부분에 도어 교환 영역이 형성되는 밸브 하우징; 상기 통로를 개폐할 수 있도록 실링 부재가 설치되는 도어; 상기 도어를 지지하는 가동대; 상기 도어를 상기 통로 방향으로 이동시킬 수 있는 도어 이동 장치; 및 도어 교환 영역에 설치되고, 상기 가동대로부터 구형 도어를 인계받아 컨베이어 장치를 이용하여 대기 중인 신형 도어를 상기 가동대 방향으로 전진시키는 도어 순환 교체 장치;를 포함할 수 있다.
또한, 본 발명에 따르면, 상기 컨베이어 장치는, 구동 회전이 가능한 제 1 스프로킷휠; 종동 회전이 가능한 제 2 스프로킷휠; 및 상기 제 1 스프로킷휠과 상기 제 2 스프로킷휠 사이에 순환되도록 권취되는 벨트;를 포함할 수 있다.
또한, 본 발명에 따르면, 상기 도어 순환 교체 장치는, 상기 벨트에 설치되고, 낙하되는 상기 구형 도어와 체결되어 상기 구형 도어를 상기 벨트 상에 안착시키는 도어 체결 장치;를 더 포함할 수 있다.
또한, 본 발명에 따르면, 상기 도어 체결 장치는, 상기 도어의 삽입홈에 삽입될 수 있는 삽입 돌기 또는 상기 도어가 삽입될 수 있는 수용홈부일 수 있다.
한편, 상기 과제를 해결하기 위한 본 발명의 사상에 따른 게이트 밸브 시스템은, 적어도 일부분에 통로가 형성되고, 타부분에 도어 교체 영역이 형성되는 밸브 하우징; 상기 통로를 개폐할 수 있도록 제 1 실링 부재가 설치되고, 상기 통로와 대응되는 형상으로 형성되는 도어; 상기 도어 교체 영역에 설치되고, 복수개의 상기 도어를 적재할 수 있도록 복수개의 도어 수용홈부가 형성되며, 전후진 레일을 따라 전후진이 가능하게 설치되는 브라켓; 상기 브라켓을 전후진시키는 브라켓 전후진 장치; 상기 브라켓에 수용된 상기 도어들 중 이동 선상에 위치하는 적어도 어느 하나의 도어와 선택적으로 체결되는 체결 장치; 및 상기 체결 장치와 체결된 상기 도어를 상기 통로 방향으로 승하강시킬 수 있는 승하강 장치;를 포함할 수 있다.
또한, 본 발명에 따르면, 상기 밸브 하우징은, 적어도 일부분에 제 1 하면과 제 2 하면을 갖는 상기 통로가 형성되고, 상기 도어는, 상기 통로를 개폐할 수 있도록 상기 통로의 상기 제 1 하면과 상기 제 2 하면과 대응되는 상기 제 1 실링 부재가 설치되는 모노 타입의 도어일 수 있다.
또한, 본 발명에 따르면, 상기 브라켓은, 도어 수용시, 상기 도어를 정위치로 유도할 수 있도록 상기 도어 수용홈부에 안내 경사면이 형성될 수 있다.
또한, 본 발명에 따른 게이트 밸브 시스템은, 오염된 도어 또는 외부 환경에 의한 도어의 오염을 방지할 수 있도록 상기 브라켓의 상기 도어 수용홈부와 이웃하는 도어 수용홈부 사이에 설치되는 격리판;을 더 포함할 수 있다.
또한, 본 발명에 따르면, 상기 브라켓 전후진 장치는, 상기 브라켓의 하면에 형성된 여유홈에 선단이 물림 결합되고, 후단이 회전축에 의해 회동되는 캠축 부재; 및 상기 캠축 부재를 축회전시키는 회전 장치;를 포함할 수 있다.
또한, 본 발명에 따르면, 상기 체결 장치는, 상기 도어에 하면에 형성된 체결홀에 억지 삽입될 수 있는 적어도 하나의 삽입 돌기가 형성되는 커넥팅 블록;을 포함할 수 있다.
또한, 본 발명에 따르면, 상기 체결 장치의 상기 삽입 돌기는, 선단이 탄성 변형되기 용이하도록 분지홈이 형성되고, 삽입 위치가 안내될 수 있도록 경사진 안내면이 형성될 수 있다.
또한, 본 발명에 따르면, 상기 브라켓은 상기 도어의 중심부 하방에 배치되고, 상기 커넥팅 블록은, 상기 도어의 좌우 단부 하방에 각각 배치될 수 있다.
또한, 본 발명에 따른 게이트 밸브 시스템은, 상기 도어가 상기 브라켓의 상기 도어 수용홈에 고정되어 흔들리지 않도록 상기 도어를 상기 브라켓에 임시 고정시키는 임시 고정 장치;를 더 포함할 수 있다.
한편, 상기 과제를 해결하기 위한 본 발명의 사상에 따른 게이트 밸브 시스템의 도어 교체 방법은, 브라켓을 전후진시키는 브라켓 전후진 장치를 이용하여 복수개의 상기 도어를 적재한 브라켓을 제 1 위치로 전진 또는 후진시키는 단계; 체결 장치를 이용하여 상기 제 1 위치에 위치된 상기 브라켓에 수용된 상기 도어들 중 이동 선상에 위치하는 적어도 어느 하나의 도어를 선택적으로 체결하는 단계; 승하강 장치를 이용하여 상기 체결 장치와 체결된 상기 도어를 상기 브라켓으로부터 분리하여 상기 통로 방향으로 승하강시키는 단계; 상기 승하강 장치를 이용하여 사용을 마친 상기 도어를 상기 체결 장치와 분리하여 상기 브라켓에 재수용하는 단계; 상기 브라켓을 전후진시키는 브라켓 전후진 장치를 이용하여 상기 브라켓을 제 2 위치로 전진 또는 후진시키는 단계; 상기 체결 장치를 이용하여 상기 제 2 위치에 위치된 상기 브라켓에 수용된 상기 도어들 중 이동 선상에 위치하는 적어도 어느 하나의 도어를 선택적으로 체결하는 단계; 및 상기 승하강 장치를 이용하여 상기 체결 장치와 체결된 상기 도어를 상기 통로 방향으로 승하강시키는 단계;를 포함할 수 있다.
상기한 바와 같이 이루어진 본 발명의 일부 실시예들에 따르면, 모노 타입 도어에서 오링을 포함한 도어 전체를 교체할 수 있어서 교체 비용과 시간을 크게 절감할 수 있고, 장비의 부피를 축소시켜서 장비의 단가와 진공압 형성 시간 및 비용을 줄일 수 있으며, 예컨대, 밸브 하우징의 전체적인 진공을 깨뜨리지 않고도 도어의 교체를 가능하게 하여 장비의 작동과 운영을 단순화시켜서 장비의 내구성과 성능을 향상시킬 수 있는 효과를 갖는 것이다. 물론 이러한 효과에 의해 본 발명의 범위가 한정되는 것은 아니다.
도 1 및 도 2는 본 발명의 일부 실시예들에 따른 모노 타입 게이트 밸브 시스템을 나타내는 작동 도면들이다.
도 3 및 도 4는 본 발명의 일부 다른 실시예들에 따른 모노 타입 게이트 밸브 시스템을 나타내는 작동 도면들이다.
도 5 및 도 6은 본 발명의 일부 또 다른 실시예들에 따른 모노 타입 게이트 밸브 시스템을 나타내는 작동 도면들이다.
도 7 및 도 8은 본 발명의 일부 또 다른 실시예들에 따른 모노 타입 게이트 밸브 시스템을 나타내는 작동 도면들이다.
도 9 및 도 10은 본 발명의 일부 또 다른 실시예들에 따른 모노 타입 게이트 밸브 시스템을 나타내는 작동 도면들이다.
도 11 및 도 12는 본 발명의 일부 또 다른 실시예들에 따른 모노 타입 게이트 밸브 시스템을 나타내는 작동 도면들이다.
도 13 및 도 14는 본 발명의 일부 또 다른 실시예들에 따른 모노 타입 게이트 밸브 시스템을 나타내는 작동 도면들이다.
도 15 및 도 16은 본 발명의 일부 또 다른 실시예들에 따른 모노 타입 게이트 밸브 시스템을 나타내는 작동 도면들이다.
도 17은 본 발명의 일부 또 다른 실시예들에 따른 모노 타입 게이트 밸브 시스템의 도어의 일례를 나타내는 사시도이다.
도 18은 본 발명의 일부 실시예들에 따른 도어 순환 교체형 게이트 밸브 시스템을 나타내는 단면도이다.
도 19는 도 18의 도어 순환 교체형 게이트 밸브 시스템의 도어 분리 장치의 일례를 나타내는 평면도이다.
도 20은 도 18의 도어 순환 교체형 게이트 밸브 시스템의 도어 분리 장치의 다른 일례를 나타내는 평면도이다.
도 21은 도 18의 도어 순환 교체형 게이트 밸브 시스템의 도어 순환 교체 장치를 나타내는 사시도이다.
도 22는 도 18의 도어 순환 교체형 게이트 밸브 시스템의 작동 과정을 단계적으로 나타내는 단면도들이다.
도 23은 도 18의 도어 순환 교체형 게이트 밸브 시스템의 도어 순환 교체 장치의 일례를 나타내는 단면도들이다.
도 24는 도 18의 도어 순환 교체형 게이트 밸브 시스템의 도어 순환 교체 장치의 다른 일례를 나타내는 단면도들이다.
도 25는 도 18의 도어 순환 교체형 게이트 밸브 시스템의 도어 순환 교체 장치의 또 다른 일례를 나타내는 단면도들이다.
도 26은 본 발명의 일부 실시예들에 따른 게이트 밸브 시스템을 나타내는 외관 사시도이다.
도 27은 도 26의 게이트 밸브 시스템을 나타내는 부품 분해 사시도이다.
도 28은 도 26의 게이트 밸브 시스템을 나타내는 단면도이다.
도 29는 도 26의 게이트 밸브 시스템의 브라켓 및 체결 장치를 나타내는 사시도이다.
도 30은 도 29의 게이트 밸브 시스템의 체결 장치를 확대하여 나타내는 확대 사시도이다.
도 31은 도 30의 게이트 밸브 시스템의 체결 장치를 나타내는 단면도이다.
도 32는 도 30의 게이트 밸브 시스템의 브라켓을 나타내는 사시도이다.
도 33은 도 30의 게이트 밸브 시스템의 브라켓을 나타내는 정면도이다.
도 34는 도 30의 게이트 밸브 시스템의 브라켓의 전진 상태를 나타내는 측면도이다.
도 35는 도 30의 게이트 밸브 시스템의 브라켓의 후진 상태를 나타내는 측면도이다.
도 36은 도 29의 게이트 밸브 시스템의 브라켓 및 브라켓 전후진 장치를 나타내는 사시도이다.
도 37은 도 26의 게이트 밸브 시스템의 브라켓의 전후진 과정을 단계적으로 나타내는 단면도들이다.
도 38은 도 26의 게이트 밸브 시스템의 임시 고정 장치의 일례를 나타내는 단면도이다.
도 39는 도 26의 게이트 밸브 시스템의 임시 고정 장치의 다른 일례를 나타내는 단면도이다.
도 40은 도 26의 게이트 밸브 시스템의 스토퍼를 나타내는 단면도이다.
도 41은 본 발명의 일부 실시예들에 따른 게이트 밸브 시스템의 도어 교체 과정을 단계적으로 나타내는 단면도들이다.
도 42는 본 발명의 일부 다른 실시예들에 따른 게이트 밸브 시스템의 도어 교체 과정을 단계적으로 나타내는 단면도들이다.
도 43은 본 발명의 일부 또 다른 실시예들에 따른 게이트 밸브 시스템의 도어 교체 과정을 단계적으로 나타내는 단면도들이다.
도 44는 본 발명의 일부 실시예들에 따른 게이트 밸브 시스템의 도어 교체 방법을 나타내는 순서도이다.
이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 여러 실시예들을 상세히 설명하기로 한다.
본 발명의 실시예들은 당해 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 본 발명을 더욱 완전하게 설명하기 위하여 제공되는 것이며, 하기 실시예는 여러 가지 다른 형태로 변형될 수 있으며, 본 발명의 범위가 하기 실시예에 한정되는 것은 아니다. 오히려 이들 실시예들은 본 개시를 더욱 충실하고 완전하게 하고, 당업자에게 본 발명의 사상을 완전하게 전달하기 위하여 제공되는 것이다. 또한, 도면에서 각 층의 두께나 크기는 설명의 편의 및 명확성을 위하여 과장된 것이다.
본 명세서에서 사용된 용어는 특정 실시예를 설명하기 위하여 사용되며, 본 발명을 제한하기 위한 것이 아니다. 본 명세서에서 사용된 바와 같이, 단수 형태는 문맥상 다른 경우를 분명히 지적하는 것이 아니라면, 복수의 형태를 포함할 수 있다. 또한, 본 명세서에서 사용되는 경우 "포함한다(comprise)" 및/또는 "포함하는(comprising)"은 언급한 형상들, 숫자, 단계, 동작, 부재, 요소 및/또는 이들 그룹의 존재를 특정하는 것이며, 하나 이상의 다른 형상, 숫자, 동작, 부재, 요소 및/또는 그룹들의 존재 또는 부가를 배제하는 것이 아니다.
이하, 본 발명의 실시예들은 본 발명의 이상적인 실시예들을 개략적으로 도시하는 도면들을 참조하여 설명한다. 도면들에 있어서, 예를 들면, 제조 기술 및/또는 공차(tolerance)에 따라, 도시된 형상의 변형들이 예상될 수 있다. 따라서, 본 발명 사상의 실시예는 본 명세서에 도시된 영역의 특정 형상에 제한된 것으로 해석되어서는 아니 되며, 예를 들면 제조상 초래되는 형상의 변화를 포함하여야 한다.
이하, 본 발명의 여러 실시예들에 따른 모노 타입 게이트 밸브 시스템(100~800)을 도면을 참조하여 상세히 설명한다.
도 1 및 도 2는 본 발명의 일부 실시예들에 따른 모노 타입 게이트 밸브 시스템(100)을 나타내는 작동 도면들이다.
먼저, 도 1 및 도 2에 도시된 바와 같이, 본 발명의 일부 실시예들에 따른 모노 타입 게이트 밸브 시스템(100)은, 크게 밸브 하우징(10)과, 모노 타입의 도어(20)와, 승하강대(30)와, 승하강축(40) 및 도어 교체용 이동 장치(50)를 포함할 수 있다.
예컨대, 도 1 및 도 2에 도시된 바와 같이, 상기 밸브 하우징(10)은, 적어도 일부분에 제 1 하면(F1)과 제 2 하면(F2)을 갖는 모노 타입의 통로(10a)가 형성되고, 타부분에 도어 교체 영역(A)이 형성되는 속이 빈 박스 형태의 구조체로서, 상술된 상기 도어(20)와, 상기 승하강대(30)와, 상기 승하강축(40) 및 상기 도어 교체용 이동 장치(50) 등을 지지할 수 있고, 각종 챔버들이나 진공 라인이나 가스 라인 등과 연결될 수 있도록 충분한 강도와 내구성을 갖는 구조체일 수 있다. 그러나, 이러한 상기 밸브 하우징(10)은 도면에 개념적으로 도시된 바와 같이, 도면에 한정되지 않고 매우 다양한 종류와 형태의 통로나 밸브 하우징들이 모두 적용될 수 있다.
더욱 구체적으로 예를 들면, 도 1 및 도 2에 도시된 바와 같이, 상기 밸브 하우징(10)은 상기 도어 교체 영역(A)이 상기 통로(10a)를 기준으로 상방에 배치되고, 상기 도어 교체 영역(A)의 일부분에 개폐문(D)이 설치되며, 상기 도어 교체 영역(A)의 입구부 또는 상기 승하강대(30)에 상기 도어 교체 영역(A)의 밀폐를 위한 제 2 실링 부재(S2)가 설치될 수 있다.
또한, 예컨대, 도 1 및 도 2에 도시된 바와 같이, 상기 도어(20)는, 상기 통로(10a)를 개폐할 수 있도록 상기 통로(10a)의 상기 제 1 하면(F1)과 상기 제 2 하면(F2)과 대응되는 형상으로 형성되고, 기밀을 위한 오링이나 가스킷 등의 제 1 실링 부재(S1)가 설치되는 모노 타입의 도어(20)일 수 있다.
도 17은 본 발명의 일부 또 다른 실시예들에 따른 모노 타입 게이트 밸브 시스템의 도어(20)의 일례를 나타내는 사시도이다.
더욱 구체적으로 예를 들면, 도 17에 도시된 바와 같이, 모노 타입의 도어(20)에 적용되는 상기 제 1 실링 부재(S1)는 상기 도어(20)의 상승 동작만으로 수평 방향으로 형성된 상기 통로(10a)를 개폐할 수 있도록 3차원적으로 단차지게 형성될 수 있다. 그러나, 이러한 상기 도어(20)는 도 17에 국한되지 않고, 단일 동작만으로 상기 통로를 개폐시킬 수 있는 모노 타입의 모든 도어들이 모두 적용될 수 있다.
또한, 예컨대, 도 1 및 도 2에 도시된 바와 같이, 상기 승하강대(30)는, 상기 도어(20)를 지지할 수 있도록 수평 방향으로 연장되게 형성되는 테이블 형태의 구조체일 수 있다. 그러나, 도면에 반드시 국한되지 않고, 매우 다양한 형상으로 형성될 수 있다.
또한, 예컨대, 도 1 및 도 2에 도시된 바와 같이, 상기 승하강축(40)은, 상기 승하강대(30)를 승하강시킬 수 있도록 상기 승하강대(30)의 하면으로부터 수직 방향으로 연장되는 막대 형태의 구조체일 수 있다. 그러나, 도면에 반드시 국한되지 않고, 매우 다양한 형상으로 형성될 수 있다.
한편, 도 1 및 도 2에 도시된 바와 같이, 상기 도어 교체용 이동 장치(50)는, 상기 도어(20)가 제 1 위치에서 승하강시 상기 통로(10a)를 개폐할 수 있고, 제 2 위치에서 승하강시 상기 도어 교체 영역(A)으로 이동될 수 있도록 상기 도어(20)를 상기 제 1 위치에서 상기 제 2 위치로 이동시키는 장치일 수 있다.
여기서, 도 1 및 도 2에 도시된 바와 같이, 상기 도어 교체용 이동 장치(50)는, 상기 승하강축(40)에 설치되고, 상기 승하강대(30)를 전후진시키는 승하강대 전후진 장치(51)일 수 있다.
이러한, 상기 승하강대 전후진 장치(51)는 각종 유압 또는 공압 실린더 장치나, 솔레노이드나, 모터 또는 리니어 모터 등 각종 구동 장치나 액츄에이터들이 모두 적용될 수 있는 것으로서, 상세한 설명은 생략한다.
따라서, 본 발명의 일부 실시예들에 따른 모노 타입 게이트 밸브 시스템(100)의 작동 과정을 설명하면, 먼저, 도 1의 (a)에 도시된 바와 같이, 도어 개방시에는, 상기 도어(20)가 상기 승하강축(40)의 하강에 의해 상기 통로(10a)를 개방한 상태로 대기하고 있다가, 도 1의 (b)에 도시된 바와 같이, 상기 도어(20)가 상기 승하강축(40)의 상승 동작, 즉 단일 동작만으로 상기 통로(10a)를 폐쇄시킬 수 있다.
이어서, 도 2의 (c)에 도시된 바와 같이, 도어 교체시에는, 상기 승하강대 전후진 장치(51)에 의해서, 상기 승하강대(30)가 제 1 위치에서 제 2 위치로 후진될 수 있다. 이 때, 도 2의 (d)에 도시된 바와 같이, 상기 도어(20) 역시 상기 제 2 위치로 후진될 수도 있다.
이어서, 도 2의 (e)에 도시된 바와 같이, 상기 도어(20)가 상기 제 2 위치에 도달되면, 상기 승하강축(40)에 의해 상기 도어(20)가 상기 도어 교체 영역(A) 방향으로 상승되고, 상기 도어 교체 영역(A)의 입구부에 설치된 제 2 실링 부재(S2)에 의해서, 상기 도어 교체 영역(A)이 밀폐될 수 있고, 상기 밸브 하우징(10)의 진공 환경을 깨뜨리지 않고도 상기 도어 교체 영역(A)만 대기 상태로 만들어서 상기 도어(20)를 신품으로 교체할 수 있다.
그러므로, 모노 타입 도어에서 오링을 포함한 도어 전체를 교체할 수 있어서 교체 비용과 시간을 크게 절감할 수 있고, 장비의 부피를 축소시켜서 장비의 단가와 진공압 형성 시간 및 비용을 줄일 수 있으며, 예컨대, 가동대를 단순 하강시키는 동작만으로 밸브 하우징의 전체적인 진공을 깨뜨리지 않고도 도어의 교체를 가능하게 하여 장비의 작동과 운영을 단순화시켜서 장비의 내구성과 성능을 향상시킬 수 있다.
도 3 및 도 4는 본 발명의 일부 다른 실시예들에 따른 모노 타입 게이트 밸브 시스템(200)을 나타내는 작동 도면들이다.
도 3 및 도 4에 도시된 바와 같이, 본 발명의 일부 다른 실시예들에 따른 모노 타입 게이트 밸브 시스템(200)의 도어 교체용 이동 장치(50)는, 상기 승하강축(40)을 전후진시키는 승하강축 전후진 장치(52)와, 상기 승하강축(40)의 전후진 이동을 안내할 수 있도록 상기 밸브 하우징(10)에 형성되는 승하강축 가이드홀부(53) 및 상기 승하강축(40)과 상기 밸브 하우징(10)의 내부를 보호할 수 있도록 상기 승하강축 가이드홀부(53)를 둘러싸는 형상으로 상기 밸브 하우징(10)에 설치되는 벨로우즈관(54)을 포함할 수 있다.
따라서, 본 발명의 일부 실시예들에 따른 모노 타입 게이트 밸브 시스템(200)의 작동 과정을 설명하면, 먼저, 도 3의 (a)에 도시된 바와 같이, 도어 개방시에는, 상기 도어(20)가 상기 승하강축(40)의 하강에 의해 상기 통로(10a)를 개방한 상태로 대기하고 있다가, 도 3의 (b)에 도시된 바와 같이, 상기 도어(20)가 상기 승하강축(40)의 상승 동작, 즉 단일 동작만으로 상기 통로(10a)를 폐쇄시킬 수 있다.
이어서, 도 4의 (c)에 도시된 바와 같이, 도어 교체시에는, 상기 승하강축 전후진 장치(52)에 의해서, 상기 승하강축(40)가 제 1 위치에서 제 2 위치로 후진될 수 있다. 이 때, 도 4의 (d)에 도시된 바와 같이, 상기 도어(20) 역시 상기 제 2 위치로 후진될 수도 있다.
이어서, 도 4의 (e)에 도시된 바와 같이, 상기 도어(20)가 상기 제 2 위치에 도달되면, 상기 승하강축(40)에 의해 상기 도어(20)가 상기 도어 교체 영역(A) 방향으로 상승되고, 상기 도어 교체 영역(A)의 입구부에 설치된 제 2 실링 부재(S2)에 의해서, 상기 도어 교체 영역(A)이 밀폐될 수 있고, 상기 밸브 하우징(10)의 진공 환경을 깨뜨리지 않고도 상기 도어 교체 영역(A)만 대기 상태로 만들어서 상기 도어(20)를 신품으로 교체할 수 있다.
도 5 및 도 6은 본 발명의 일부 또 다른 실시예들에 따른 모노 타입 게이트 밸브 시스템(300)을 나타내는 작동 도면들이다.
도 5 및 도 6에 도시된 바와 같이, 본 발명의 일부 또 다른 실시예들에 따른 모노 타입 게이트 밸브 시스템(300)의 도어 교체용 이동 장치(50)는, 상기 도어 교체 영역(A)의 방향에 맞추어 상기 승하강축(40)의 각도를 조절하는 승하강축 각도 조절 장치(55)를 포함할 수 있다.
따라서, 본 발명의 일부 실시예들에 따른 모노 타입 게이트 밸브 시스템(300)의 작동 과정을 설명하면, 먼저, 도 5의 (a)에 도시된 바와 같이, 도어 개방시에는, 상기 도어(20)가 상기 승하강축(40)의 하강에 의해 상기 통로(10a)를 개방한 상태로 대기하고 있다가, 도 5의 (b)에 도시된 바와 같이, 상기 도어(20)가 상기 승하강축(40)의 상승 동작, 즉 단일 동작만으로 상기 통로(10a)를 폐쇄시킬 수 있다.
이어서, 도 6의 (c)에 도시된 바와 같이, 도어 교체시에는, 상기 승하강축 각도 조절 장치(55)에 의해 수직으로 세워진 상기 승하강축(40)이 도 6의 (d)에 도시된 바와 같이, 제 1 위치(제 1 각도)에서 제 2 위치(제 2 각도)로 기울어질 수 있다.
이어서, 도 6의 (e)에 도시된 바와 같이, 상기 도어(20)가 상기 제 2 위치(각도)로 기울어지면, 상기 승하강축(40)에 의해 상기 도어(20)가 상기 도어 교체 영역(A) 방향으로 상승되고, 상기 도어 교체 영역(A)의 입구부에 설치된 제 2 실링 부재(S2)에 의해서, 상기 도어 교체 영역(A)이 밀폐될 수 있고, 상기 밸브 하우징(10)의 진공 환경을 깨뜨리지 않고도 상기 도어 교체 영역(A)만 대기 상태로 만들어서 상기 도어(20)를 신품으로 교체할 수 있다.
도 7 및 도 8은 본 발명의 일부 또 다른 실시예들에 따른 모노 타입 게이트 밸브 시스템(400)을 나타내는 작동 도면들이다.
도 7 및 도 8에 도시된 바와 같이, 본 발명의 일부 또 다른 실시예들에 따른 모노 타입 게이트 밸브 시스템(400)의 도어 교체용 이동 장치(50)는, 상기 승하강대(30)에 설치되고, 상기 도어(20)를 전후진시키는 도어 전후진 장치(56)를 포함할 수 있다.
따라서, 본 발명의 일부 또 다른 실시예들에 따른 모노 타입 게이트 밸브 시스템(400)의 작동 과정을 설명하면, 먼저, 도 7의 (a)에 도시된 바와 같이, 도어 개방시에는, 상기 도어(20)가 상기 승하강축(40)의 하강에 의해 상기 통로(10a)를 개방한 상태로 대기하고 있다가, 도 7의 (b)에 도시된 바와 같이, 상기 도어(20)가 상기 승하강축(40)의 상승 동작, 즉 단일 동작만으로 상기 통로(10a)를 폐쇄시킬 수 있다.
이어서, 도 8의 (c)에 도시된 바와 같이, 도어 교체시에는, 상기 도어 전후진 장치(56)에 의해서, 상기 도어(20)가 제 1 위치에서 제 2 위치로 후진될 수 있다.
이어서, 도 8의 (e)에 도시된 바와 같이, 상기 도어(20)가 상기 제 2 위치에 도달되면, 상기 승하강축(40)에 의해 상기 도어(20)가 상기 도어 교체 영역(A) 방향으로 상승되고, 상기 승하강대(30)에 설치된 제 2 실링 부재(S2)에 의해서, 상기 도어 교체 영역(A)이 밀폐될 수 있고, 상기 밸브 하우징(10)의 진공 환경을 깨뜨리지 않고도 상기 도어 교체 영역(A)만 대기 상태로 만들어서 상기 도어(20)를 신품으로 교체할 수 있다.
여기서, 상기 도어 전후진 장치(56)는, 상기 승하강대(30)를 따라 상기 도어(20)의 하단부와 연결되어 슬라이딩되는 슬라이딩 타입 도어 전후진 장치(56-1)일 수 있다.
도 9 및 도 10은 본 발명의 일부 또 다른 실시예들에 따른 모노 타입 게이트 밸브 시스템(500)을 나타내는 작동 도면들이다.
도 9 및 도 10에 도시된 바와 같이, 본 발명의 일부 또 다른 실시예들에 따른 모노 타입 게이트 밸브 시스템(500)의 도어 전후진 장치(56)는, 상기 승하강대(30)를 따라 상기 도어(20)의 중간부와 연결되어 슬라이딩되는 슬라이딩 타입 도어 전후진 장치(56-2)일 수 있다.
도 11 및 도 12는 본 발명의 일부 또 다른 실시예들에 따른 모노 타입 게이트 밸브 시스템(600)을 나타내는 작동 도면들이다.
또한, 도 11 및 도 12에 도시된 바와 같이, 본 발명의 일부 또 다른 실시예들에 따른 모노 타입 게이트 밸브 시스템(600)의 도어 전후진 장치(56)는, 또는 상기 도어(20)의 중간부와 연결되어 상기 승하강대(30)로부터 신장 또는 수축되는 신축 타입 도어 전후진 장치(56-3)일 수 있다.
따라서, 이러한 상기 도어 전후진 장치(56)는 반드시 도면에 국한되지 않고, 매우 다양한 형상의 각종 동력 전달 장치나, 실린더나 모터나 리니어 모터 등 매우 다양한 액츄에이터들이 모두 적용될 수 있다.
도 13 및 도 14는 본 발명의 일부 또 다른 실시예들에 따른 모노 타입 게이트 밸브 시스템(700)을 나타내는 작동 도면들이다.
도 13 및 도 14에 도시된 바와 같이, 본 발명의 일부 또 다른 실시예들에 따른 모노 타입 게이트 밸브 시스템(700)의 밸브 하우징(10)은 상기 도어 교체 영역(A)이 상기 통로(10a)를 기준으로 하방에 배치되고, 상기 도어 교체 영역(A)의 일부에 개폐문(D)이 형성되며, 상기 도어 교체 영역(A)의 입구부에 도어 교체시 상기 도어 교체 영역을 임시 밀폐시키는 임시 밀폐 장치(60)가 설치될 수 있다.
여기서, 도 13 및 도 14에 도시된 바와 같이, 상기 임시 밀폐 장치(60)는, 밀폐문(G)이 신장 또는 수축되는 신축식 밀폐 장치(61)일 수 있다.
따라서, 본 발명의 일부 또 다른 실시예들에 따른 모노 타입 게이트 밸브 시스템(700)의 작동 과정을 설명하면, 먼저, 도 13의 (a)에 도시된 바와 같이, 도어 개방시에는, 상기 도어(20)가 상기 승하강축(40)의 하강에 의해 상기 통로(10a)를 개방한 상태로 대기하고 있다가, 도 13의 (b)에 도시된 바와 같이, 상기 도어(20)가 상기 승하강축(40)의 상승 동작, 즉 단일 동작만으로 상기 통로(10a)를 폐쇄시킬 수 있다.
이어서, 도 14의 (c)에 도시된 바와 같이, 도어 교체시에는, 상기 승하강축(40)이 상승된 제 1 위치 상태에서, 도 14의 (d)에 도시된 바와 같이, 상기 도어(20)가 상기 제 2 위치에 하강되고, 도 14의 (e)에 도시된 바와 같이, 상기 임시 밀폐 장치(60)의 상기 밀폐문(G)이 신장되어 상기 도어 교체 영역(A)을 임시 밀폐시킬 수 있고, 상기 밸브 하우징(10)의 진공 환경을 깨뜨리지 않고도 상기 도어 교체 영역(A)만 대기 상태로 만들어서 상기 도어(20)를 신품으로 교체할 수 있다.
도 15 및 도 16은 본 발명의 일부 또 다른 실시예들에 따른 모노 타입 게이트 밸브 시스템(800)을 나타내는 작동 도면들이다.
도 15 및 도 16에 도시된 바와 같이, 본 발명의 일부 또 다른 실시예들에 따른 모노 타입 게이트 밸브 시스템(800)의 임시 밀폐 장치(60)는, 밀폐문(G)이 회전되는 회전식 밀폐 장치(62)일 수 있다.
따라서, 본 발명의 일부 또 다른 실시예들에 따른 모노 타입 게이트 밸브 시스템(800)의 작동 과정을 설명하면, 먼저, 도 15의 (a)에 도시된 바와 같이, 도어 개방시에는, 상기 도어(20)가 상기 승하강축(40)의 하강에 의해 상기 통로(10a)를 개방한 상태로 대기하고 있다가, 도 15의 (b)에 도시된 바와 같이, 상기 도어(20)가 상기 승하강축(40)의 상승 동작, 즉 단일 동작만으로 상기 통로(10a)를 폐쇄시킬 수 있다.
이어서, 도 16의 (c)에 도시된 바와 같이, 도어 교체시에는, 상기 승하강축(40)이 상승된 제 1 위치 상태에서, 도 16의 (d)에 도시된 바와 같이, 상기 도어(20)가 상기 제 2 위치에 하강되고, 도 16의 (e)에 도시된 바와 같이, 상기 임시 밀폐 장치(60)의 상기 밀폐문(G)이 회전되어 상기 도어 교체 영역(A)을 임시 밀폐시킬 수 있고, 상기 밸브 하우징(10)의 진공 환경을 깨뜨리지 않고도 상기 도어 교체 영역(A)만 대기 상태로 만들어서 상기 도어(20)를 신품으로 교체할 수 있다.
이하, 본 발명의 여러 실시예들에 따른 도어 순환 교체형 게이트 밸브 시스템(1100)을 도면을 참조하여 상세히 설명한다. 여기서, 도면에 예시된 도어 순환 교체형 게이트 밸브 시스템은 L타입을 예시하였으나, 상술된 모노 타입에도 동일하게 적용될 수 있다.
도 18은 본 발명의 일부 실시예들에 따른 도어 순환 교체형 게이트 밸브 시스템(1100)을 나타내는 단면도이다. 그리고, 도 19는 도 18의 도어 순환 교체형 게이트 밸브 시스템(1100)의 도어 분리 장치(160)의 일례를 나타내는 평면도이고, 도 20은 도 18의 도어 순환 교체형 게이트 밸브 시스템(1100)의 도어 분리 장치(160)의 다른 일례를 나타내는 평면도이고, 도 21은 도 18의 도어 순환 교체형 게이트 밸브 시스템(1100)의 도어 순환 교체 장치(150)를 나타내는 사시도이다.
먼저, 도 18 및 도 21에 도시된 바와 같이, 본 발명의 일부 실시예들에 따른 도어 순환 교체형 게이트 밸브 시스템(1100)은, 크게 밸브 하우징(10)과, 도어(20)와, 가동대(30)와, 도어 이동 장치(40) 및 도어 순환 교체 장치(150)를 포함할 수 있다.
예컨대, 도 18에 도시된 바와 같이, 상기 밸브 하우징(10)은, 통로(10a)가 형성되고, 일부분에 도어 교환 영역(A)이 형성되는 속이 빈 박스 형태의 구조체로서, 상기 도어(20)와, 상기 가동대(30)와, 상기 도어 이동 장치(40) 및 상기 도어 순환 교체 장치(150) 등을 지지할 수 있고, 각종 챔버들이나 진공 라인이나 가스 라인 등과 연결될 수 있도록 충분한 강도와 내구성을 갖는 구조체일 수 있다. 그러나, 이러한 상기 밸브 하우징(10)은 도면에 개념적으로 도시된 바와 같이, 도면에 한정되지 않고 매우 다양한 종류와 형태의 통로나 밸브 하우징들이 모두 적용될 수 있다.
또한, 예컨대, 도 18에 도시된 바와 같이, 상기 도어(20)는, 상기 통로(10a)를 개폐할 수 있도록 실링 부재(S)가 설치되고, 상기 가동대(30)와 착탈 가능하게 설치되며, 상기 통로(10a)와 대응되는 형상으로 형성되는 구조체일 수 있다. 그러나, 상기 도어(20)는 반드시 도면에 국한되지 않고, 매우 다양한 형상의 도어들이 모두 적용될 수 있다.
또한, 예컨대, 도 18에 도시된 바와 같이, 상기 가동대(30)는, 상기 도어(20)를 착탈 가능하게 지지하는 구조체일 수 있다. 그러나, 상기 가동대(30)는 반드시 도면에 국한되지 않고, 매우 다양한 형상의 가동 장치들이 모두 적용될 수 있다.
또한, 예컨대, 도 18에 도시된 바와 같이, 상기 도어 이동 장치(40)는, 승하강축(41)을 이용하여 상기 도어(20)를 상기 통로(10a) 방향으로 이동시킬 수 있는 장치로서, 상세하게 도시하진 않았지만, 각종 실린더나 모터나 리니어 모터 등 다양한 동력 전달 장치나 구동 장치를 포함하는 각종 액츄에이터들이 모두 적용될 수 있다.
한편, 예컨대, 도 18에 도시된 바와 같이, 상기 도어 순환 교체 장치(150)는, 도어 교환 영역(A)에 설치되고, 상기 가동대(30)로부터 구형 도어(20-2)를 인계받아 컨베이어 장치(151)를 이용하여 대기 중인 신형 도어(20-1)를 상기 가동대(30) 방향으로 전진시키는 장치일 수 있다.
더욱 구체적으로 예를 들면, 도 18에 도시된 바와 같이, 상기 도어 순환 교체 장치(150)의 상기 컨베이어 장치(151)는, 구동 회전이 가능한 제 1 스프로킷휠(152)과, 상기 제 1 스프로킷휠(152)에 의해 종동 회전이 가능한 제 2 스프로킷휠(153) 및 상기 제 1 스프로킷휠(152)과 상기 제 2 스프로킷휠(153) 사이에 순환되도록 권취되는 벨트(154)를 포함할 수 있다.
여기서, 이러한 상기 컨베이어 장치(151)는 도면에 반드시 국한되지 않고, 밸트 타입 컨베이어, 롤러 타입 컨베이어, 체인 타입 컨베이어, 무한궤도 타입 컨베이어, 타이밍 밸트 타입 컨베이어 등 매우 다양한 컨베이어 장치들이 모두 적용될 수 있다.
또한, 예컨대, 도 18에 도시된 바와 같이, 상기 도어 순환 교체 장치(150)는, 상기 벨트(154)에 설치되고, 낙하되는 상기 구형 도어(20-2)와 체결되어 상기 구형 도어(20-2)를 상기 벨트(154) 상에 안착시키는 도어 체결 장치(155)를 더 포함할 수 있다.
더욱 구체적으로 예를 들면, 도 18에 도시된 바와 같이, 상기 도어 체결 장치(155)는, 상기 도어(20)의 삽입홈(20a)에 삽입될 수 있는 삽입 돌기(155-1)가 적용될 수 있다.
여기서, 도 18에 도시된 바와 같이, 상기 삽입 돌기(155-1)는, 상기 도어(20)와의 결합시 선택적으로 신장되어 상기 도어(20)의 삽입홈(20a)에 삽입되고, 상기 도어(20)와 분리된 다음, 상기 벨트(154)에 의해 이동시에는 공간을 활용할 수 있도록 수축이 가능한 신축형 삽입 돌기(155-1a)가 적용될 수 있다.
그러나, 이에 반드시 국한되지 않고, 예컨대, 상기 도어(20)를 지지할 수 있도록 신축이 불가능한 일반적인 삽입 돌기나, 마그넷 자석 부착 장치 등 매우 다양한 도어 체결 장치들이 모두 적용될 수 있다.
또한, 예컨대, 도 18 및 도 19에 도시된 바와 같이, 본 발명의 일부 실시예들에 따른 도어 순환 교체형 게이트 밸브 시스템(1100)은, 상기 가동대(30)로부터 상기 도어(20)를 분리하여 상기 도어 순환 교체 장치(150) 방향으로 낙하시키는 도어 분리 장치(160)을 더 포함할 수 있다.
더욱 구체적으로 예를 들면, 도 19 및 도 20에 도시된 바와 같이, 상기 도어 분리 장치(160)는, 상기 가동대(30)에 신장 및 수축이 가능하게 설치되고, 상기 도어(20)와 물림 결합되는 적어도 하나의 물림축(161) 및 상기 가동대(30)에 신장 및 수축이 가능하게 설치되고, 상기 물림축(161)로부터 상기 도어(20)를 분리시킬 수 있도록 상기 도어(20)를 가압하는 적어도 하나의 가압축(162)를 포함할 수 있다.
여기서, 예컨대, 도 19의 (a)에 도시된 바와 같이, 상기 가동대(30)의 양측에 각각 2개의 상기 가압축(162)가 설치되고, 중심에 상기 물림축(161)이 설치되는 경우, 도 19의 (b)에 도시된 바와 같이, 2개의 상기 가압축(162)가 상기 도어(20)를 가압하면, 상기 물림축(161)이 결합력을 상실하게 되고, 이로 인하여 상기 도어(20)는 중력에 의해 상기 가동대(30)로부터 분리되어 하방으로 낙하될 수 있다.
또한, 예컨대, 도 20의 (a)에 도시된 바와 같이, 상기 가동대(30)의 양측에 각각 2개의 상기 물림축(161)이 설치되고, 중심에 상기 가압축(162)가 설치되는 경우, 도 20의 (b)에 도시된 바와 같이, 중심의 상기 가압축(162)가 상기 도어(20)를 가압하면, 2개의 상기 물림축(161)이 결합력을 상실하게 되고, 이로 인하여 상기 도어(20)는 중력에 의해 상기 가동대(30)로부터 분리되어 하방으로 낙하될 수 있다.
도 22는 도 18의 도어 순환 교체형 게이트 밸브 시스템(1100)의 작동 과정을 단계적으로 나타내는 단면도들이다.
따라서, 도 22에 도시된 바와 같이, 본 발명의 일부 실시예들에 따른 도어 순환 교체형 게이트 밸브 시스템(1100)의 작동 과정을 단계적으로 설명하면, 먼저, 도 22의 (a)에 도시된 바와 같이, 도어 폐쇄시에는, 상기 도어(20)가 상기 통로(10a) 방향으로 전진되어 상기 통로(10a)를 폐쇄시킬 수 있다.
이어서, 이러한 과정을 반복하면서, 도 22의 (b)에 도시된 바와 같이, 상기 도어(20)는 상기 실링 부재(S)가 마모되거나 변형되는 등 신형 도어(20-1)에서 구형 도어(20-2)로 상태가 변화되면, 상술된 상기 도어 분리 장치(160)을 이용하여 상기 도어(20)를 분리시켜서 상기 도어 순환 교체 장치(150) 방향으로 자연 낙하시킬 수 있다.
이어서, 도 22의 (c)에 도시된 바와 같이, 상기 도어 이동 장치(40)에 의해 상기 가동대(30)는 상기 도어 순환 교체 장치(150)에서 대기 중인 신형 도어(20-1)와 체결될 수 있다.
이어서, 도 22의 (d)에 도시된 바와 같이, 상기 도어 순환 교체 장치(150)를 이용하여 낙하된 상기 구형 도어(20-2)를 상기 도어 교환 영역(A) 방향으로 이동시키는 동시에, 대기 중인 신형 도어(20-1) 및 수용된 구형 도어(20-2)를 전진시켜서, 새로 발생될 구형 도어(20-2)를 수용할 수 있는 공간을 미리 확보할 수 있다.
이어서, 도 22의 (e)에 도시된 바와 같이, 상기 도어(20)가 상기 실링 부재(S)가 마모되거나 변형되는 등 신형 도어(20-1)에서 구형 도어(20-2)로 상태가 변화되면, 상술된 과정들을 반복할 수 있다.
이후, 상기 도어 순환 교체 장치(150)에 수용된 모든 도어(20)들이 구형화되면 외부로 언로딩시키고 새로운 도어들을 상기 도어 순환 교체 장치(150)에 패키지 상태로 로딩할 수 있다.
그러므로, 복수개의 상기 도어(20)들을 동시에 컨베이어 형태로 전진시켜서 구형 도어(20-2)를 신형 도어(20-1)로 도어 전체를 교체할 수 있어서 교체 비용과 시간을 크게 절감할 수 있고, 장비의 부피를 축소시켜서 장비의 단가와 진공압 형성 시간 및 비용을 줄일 수 있으며, 예컨대, 상기 밸브 하우징(10)의 전체적인 진공을 깨뜨리지 않고도 상기 도어(20)의 신속한 교체가 가능하다.
도 23은 도 18의 도어 순환 교체형 게이트 밸브 시스템(1100)의 도어 순환 교체 장치(150)의 일례를 나타내는 단면도들이다.
즉, 도 23의 (a)에 도시된 바와 같이, 상기 도어 순환 교체 장치(150)를 구형 도어(20-2)를 수용하고, 이를 전방으로 전진시켜서 새로운 공간을 확보하고, 다시 구형 도어(20-2)를 수용하는 일련의 단계들을 반복하면서 내부 진공을 깨뜨리지 않고도 복수개의 신형 도어(20-1)들을 장시간 사용할 수 있다.
도 24는 도 18의 도어 순환 교체형 게이트 밸브 시스템(1100)의 도어 순환 교체 장치(150)의 다른 일례를 나타내는 단면도들이다.
도 24에 도시된 바와 같이, 도 18의 도어 순환 교체형 게이트 밸브 시스템(1100)의 도어 순환 교체 장치(150)의 다른 일례로서, 상기 삽입 돌기(155-1)는, 가이드 부재(G)에 의해 접철이 가능한 접철형 삽입 돌기(155-1b)일 수 있다.
여기서, 접철되는 방향은 전후방향 또는 좌우방향 또는 경사진 방향 등 다양한 각도로 접철될 수 있다.
따라서, 상기 삽입 돌기(155-1)들은 컨베이어 이송시 좁은 공간에서 선택적으로 신장과 수축이 가능하여 공간 확보 측면에서도 유리할 수 있다.
도 25는 도 18의 도어 순환 교체형 게이트 밸브 시스템(1100)의 도어 순환 교체 장치(150)의 또 다른 일례를 나타내는 단면도들이다.
도 25에 도시된 바와 같이, 도어 순환 교체형 게이트 밸브 시스템(1100)의 도어 순환 교체 장치(150)의 또 다른 일례로서, 상기 도어 순환 교체 장치(150)는, 상기 도어(20)가 삽입될 수 있는 수용홈부(155-2)를 포함할 수 있다.
따라서, 상기 도어(20)는 자유 낙하되어 상기 수용홈부(155-2)에 의해 안내 및 지지될 수 있다.
한편, 도 18에 도시된 바와 같이, 본 발명의 일부 실시예들에 따른 도어 순환 교체형 게이트 밸브 시스템(1100)은, 식별 정보 매칭시에만 동작 허용이 가능하도록 상기 도어(20)에 설치된 식별자(81)의 식별 정보를 식별할 수 있는 식별 장치(80)를 더 포함하 수 있다.
도 18에 도시된 바와 같이, 본 발명의 일부 또 다른 실시예들에 따른 도어 순환 교체형 게이트 밸브 시스템(1100)의 식별 장치(80)는, 식별 정보 매칭시에만 동작 허용이 가능하도록 상기 도어(20)의 식별자(81)의 식별 정보를 식별할 수 있는 장치로서, 예컨대, 상기 식별자(81)는 RFID 태그 등이 적용될 수 있고, 상기 식별 장치(80)는 RFID 센서나 RFID 제어 장치 등을 포함할 수 있다.
따라서, 상기 도어(20)들이 정품으로 식별되는 경우에만 장비의 가동을 가능하게 하여 제품의 안정성과 원활한 작동을 보장할 수 있다.
도 26은 본 발명의 일부 실시예들에 따른 게이트 밸브 시스템(2100)을 나타내는 외관 사시도이고, 도 27은 도 26의 게이트 밸브 시스템(2100)을 나타내는 부품 분해 사시도이고, 도 28은 도 26의 게이트 밸브 시스템(2100)을 나타내는 단면도이고, 도 29는 도 26의 게이트 밸브 시스템(2100)의 브라켓(70) 및 체결 장치(90)를 나타내는 사시도이다.
먼저, 도 26 내지 도 29에 도시된 바와 같이, 본 발명의 일부 실시예들에 따른 게이트 밸브 시스템(2100)은, 밸브 하우징(10)과, 도어(20)와, 브라켓(70)과, 브라켓 전후진 장치(80)와, 체결 장치(90) 및 승하강 장치(57)를 포함할 수 있다.
예컨대, 도 26 내지 도 29에 도시된 바와 같이, 상기 밸브 하우징(10)은 적어도 일부분에 통로(10a)가 형성되고, 타부분에 도어 교체 영역(A)이 형성되는 전체적으로 통형상 또는 프레임 형상의 구조체일 수 있다.
더욱 구체적으로 예를 들면, 도 28에 도시된 바와 같이, 상기 밸브 하우징(10)은, 적어도 일부분에 제 1 하면(F1)과 제 2 하면(F2)을 갖는 상기 통로(10a)가 형성되는 것으로서, 일반적으로 트랜스퍼 챔버와 공정 챔버 사이 또는 트랜스퍼 챔버 내부에 설치되는 모노 타입의 게이트 밸브 하우징일 수 있다.
또한, 예컨대, 도 26 내지 도 29에 도시된 바와 같이, 상기 도어(20)는, 상기 통로(10a)를 개폐할 수 있도록 제 1 실링 부재(S1)가 설치되고, 상기 통로(10a)와 대응되는 형상으로 형성되는 일종의 실링 플레이트로서, 더욱 구체적으로 예를 들면, 상기 도어(20)는, 상기 통로(10a)를 개폐할 수 있도록 상기 통로(10a)의 상기 제 1 하면(F1)과 상기 제 2 하면(F2)과 대응되는 상기 제 1 실링 부재(S1)가 설치되는 모노 타입의 도어일 수 있다. 여기서, 이러한 모노 타입의 도어는 도 17에 도시된 바와 같이, 3차원적인 형상으로 단차지거나 절곡된 형상으로 형성될 수 있다.
또한, 예컨대, 도 27 내지 도 29에 도시된 바와 같이, 상기 브라켓(70)은, 상기 도어 교체 영역(A)에 설치되는 것으로서, 복수개의 상기 도어(20)를 적재할 수 있도록 복수개의 도어 수용홈부(71)가 형성되며, 전후진 레일(R)을 따라 전후진이 가능하게 설치되는 일종의 가동체일 수 있다.
또한, 예컨대, 도 27 내지 도 29에 도시된 바와 같이, 상기 브라켓 전후진 장치(80)는, 상기 브라켓(70)을 전후진시키는 장치이고, 상기 체결 장치(90)는, 상기 브라켓(70)에 수용된 상기 도어(20)들 중 이동 선상에 위치하는 적어도 어느 하나의 도어(20)와 선택적으로 체결되는 장치이며, 상기 승하강 장치(57)는 상기 체결 장치(90)와 체결된 상기 도어(20)를 상기 통로(10a) 방향으로 승하강시킬 수 있는 승하강 장치(57)를 포함할 수 있다.
또한, 예컨대, 도 27 및 도 28에 도시된 바와 같이, 본 발명의 일부 실시예들에 따른 게이트 밸브 시스템(2100)은, 오염된 도어 또는 외부 환경에 의한 도어의 오염을 방지할 수 있도록 상기 브라켓(70)의 상기 도어 수용홈부(71)와 이웃하는 도어 수용홈부(71) 사이의 사이홈부(H4)에 설치되는 격리판(SP)을 더 포함할 수 있다.
여기서, 이러한 상기 격리판(SP)의 형상은 상기 도어 교체 영역(A)의 일부분을 구분할 수 있도록 상기 도어 교체 영역(A)의 형상 또는 상기 도어(20)의 형상과 유사할 수 있다.
또한, 도 29에 도시된 바와 같이, 상기 브라켓(70)은 상기 도어(20)의 중심부 하방에 배치되고, 상기 체결 장치(90)는, 상기 도어(20)의 좌우 단부 하방에 각각 안정적으로 배치될 수 있다. 그러나, 반드시 이에 국한되지 않고, 예컨대, 상기 브라켓(70)이 상기 도어(20)의 좌우 단부 하방에 각각 배치되고, 상기 체결 장치(90)가 상기 도어(20)의 중심부 하방에 배치되는 등 다양한 배치 형태가 적용될 수 있다.
이러한 장치들에 대하여 보다 상세한 설명은 도 30 내지 도 37에 도시된 바와 같이, 다양한 부품들을 통해서 이루어질 수 있다. 그러나 이러한 장치들은 도면에 반드시 국한되지 않는 것으로서, 다양한 변경과 수정이 가능하다.
도 30은 도 29의 게이트 밸브 시스템(2100)의 체결 장치(90)를 확대하여 나타내는 확대 사시도이고, 도 31은 도 30의 게이트 밸브 시스템(2100)의 체결 장치(90)를 나타내는 단면도이다.
도 30 및 도 31에 도시된 바와 같이, 상기 체결 장치(90)는, 상기 도어(20)에 하면에 형성된 체결홀(H2)에 억지 삽입될 수 있는 적어도 하나의 삽입 돌기(92)가 형성되는 커넥팅 블록(91)을 포함할 수 있다.
더욱 구체적으로 예를 들면, 도 31에 도시된 바와 같이, 상기 체결 장치(90)의 상기 삽입 돌기(92)는, 선단이 탄성 변형되기 용이하도록 분지홈(H3)이 형성되고, 삽입 위치가 안내될 수 있도록 경사진 안내면(GF)이 형성될 수 있다.
따라서, 상기 도어(20)는 상기 체결 장치(90)와 체결되어 승하강하면서 상기 밸브 하우징(10)의 상기 통로(10a)를 개폐시킬 수 있다.
이 때, 상기 도어(20)는 처음에 상기 체결 장치(90)에 헐겁게 체결되더라도 상기 통로(10a)와 밀착되면서 상기 삽입 돌기(92)가 상기 도어(20)의 상기 체결홀(H2)에 완전히 삽입되어 억지 물림됨으로써 견고하게 고정될 수 있다.
도 32는 도 30의 게이트 밸브 시스템(2100)의 브라켓(70)를 나타내는 사시도이고, 도 33은 도 30의 게이트 밸브 시스템(2100)의 브라켓(70)를 나타내는 정면도이고, 도 34는 도 30의 게이트 밸브 시스템(2100)의 브라켓(70)의 전진 상태를 나타내는 측면도이고, 도 35는 도 30의 게이트 밸브 시스템(2100)의 브라켓(70)의 후진 상태를 나타내는 측면도이고, 도 36은 도 29의 게이트 밸브 시스템(2100)의 브라켓(70) 및 브라켓 전후진 장치(80)를 나타내는 사시도이고, 도 37은 도 26의 게이트 밸브 시스템(2100)의 브라켓(70)의 전후진 과정을 단계적으로 나타내는 단면도들이다.
도 32 내지 도 37에 도시된 바와 같이, 상기 브라켓(70)은, 도어 수용시, 상기 도어(20)를 정위치로 유도할 수 있도록 상기 도어 수용홈부(71)에 안내 경사면이 형성될 수 있다.
여기서, 상기 브라켓(70)은 전후진 방향으로 길게 장공이 형성된 상기 전후진 레일(R)을 따라 전후진이 가능한 것으로서, 상기 브라켓(70)에는 상기 전후진 레일(R)과의 마찰력을 최소화할 수 있도록 예컨대, 복수개, 도면에서는 2개의 베어링(B) 등이 설치될 수 있다. 2개의 상기 베어링(B)이 설치되는 경우, 상기 브라켓(70)의 전후진시 상기 브라켓(70)의 각도를 항상 일정하게 유지할 수 있어서 상기 도어(20)의 수평 방향으로의 이동을 용이하게 할 수 있다.
또한, 예컨대, 도 36에 도시된 바와 같이, 상기 브라켓 전후진 장치(80)는, 상기 브라켓(70)의 하면에 형성된 여유홈(H1)에 선단 돌기(T)가 물림 결합되고, 후단이 회전축(82)에 의해 회동되는 캠축 부재(81) 및 상기 캠축 부재(81)를 축회전시키는 회전 장치(83)를 포함할 수 있다.
따라서, 도 36의 (a)에 도시된 바와 같이, 상기 캠축 부재(81)가 정회전하면 상기 브라켓(70)이 전진하거나 또는 도 36의 (b)에 도시된 바와 같이, 상기 캠축 부재(81)가 역회전하면 상기 브라켓(70)이 후진할 수 있다.
그러므로, 도 37에 도시된 바와 같이, 예컨대, 3개의 상기 도어(20)가 적재된 경우, 도 37의 (a)에 도시된 바와 같이, 상기 챔축 부재(81)가 0도인 경우, 첫 번째 상기 도어(20)를 사용할 수 있고, 도 37의 (b)에 도시된 바와 같이, 상기 챔축 부재(81)가 90도인 경우, 두 번째 상기 도어(20)를 사용할 수 있으며, 도 37의 (c)에 도시된 바와 같이, 상기 챔축 부재(81)가 180도인 경우, 세 번째 상기 도어(20)를 사용할 수 있도록 상기 브라켓(70)을 단계적으로 전후진시킬 수 있다.
그러므로, 내부의 진공을 깨뜨리지 않고도 모노 타입의 게이트 밸브에서도 복수개의 상기 도어(20)들을 쉽게 교체하면서 장기간 사용할 수 있다.
도 38은 도 26의 게이트 밸브 시스템(2100)의 임시 고정 장치(E)의 일례를 나타내는 단면도이고, 도 39는 도 26의 게이트 밸브 시스템(2100)의 임시 고정 장치(E)의 다른 일례를 나타내는 단면도이다.
도 38 및 도 39에 도시된 바와 같이, 본 발명의 일부 실시예들에 따른 게이트 밸브 시스템(2100)은, 상기 도어(20)가 상기 브라켓(70)의 상기 도어 수용홈부(71)에 고정되어 흔들리지 않도록 상기 도어(20)를 상기 브라켓(70)에 임시 고정시키는 임시 고정 장치(E)를 더 포함할 수 있는 것으로서, 도 38에 도시된 바와 같이, 상기 임시 고정 장치(E)는, 상기 밸브 하우징(10)에 설치되고, 상기 도어(20)를 탄성 가압하는 탄성체(E1)일 수 있다.
따라서, 상기 도어 교체 영역(A)에서 대기 중인 상기 도어(20)들을 상기 탄성체(E1)가 상기 브라켓(70)에 견고하게 임시 고정시킴으로써 부품들 간의 불필요한 충돌을 방지할 수 있다.
이외에도, 도 39에 도시된 바와 같이, 상기 임시 고정 장치(E)는, 상기 밸브 하우징(10) 또는 상기 브라켓(70)에 설치되고, 상기 도어(20)에 설치된 자성체(M)와 자력에 의해 결합되는 자성 부재(E2)일 수 있다.
따라서, 상기 도어 교체 영역(A)에서 대기 중인 상기 도어(20)들을 상기 자성 부재(E2)의 자력에 의해 견고하게 임시 고정됨으로써 부품들 간의 불필요한 충돌을 방지할 수 있다.
도 40은 도 26의 게이트 밸브 시스템(2100)의 스토퍼(ST)를 나타내는 단면도이다.
도 40에 도시된 바와 같이, 상기 밸브 하우징(10)의 통로(10a)에 상기 도어(20)의 밀림 현상을 방지할 수 있도록 스토퍼(ST)가 설치될 수 있다. 따라서, 상기 도어(20)의 밀림 현상 및 이탈 현상을 방지하여 장치의 내구성과 정밀도를 향상시킬 수 있다.
도 41 내지 도 43은 본 발명의 여러 실시예들에 따른 게이트 밸브 시스템들의 도어 교체 과정을 단계적으로 나타내는 단면도들이다.
도 41 내지 도 43에 도시된 바와 같이, 본 발명의 여러 실시예들에 따른 게이트 밸브 시스템들의 도어 교체 과정을 단계적으로 설명하면, 먼저, 도 41에 도시된 바와 같이, 3개의 상기 도어(20)들을 수용한 경우, (1 Plate) 과정에서 브라켓(70)을 전후진시키는 브라켓 전후진 장치(80)를 이용하여 복수개의 상기 도어(20)를 적재한 브라켓(70)을 제 1 위치로 전진 또는 후진시킬 수 있다.
이어서, (1 Plate Up) 과정에서 체결 장치(90)를 이용하여 상기 제 1 위치에 위치된 상기 브라켓(70)에 수용된 상기 도어(20)들 중 이동 선상에 위치하는 적어도 어느 하나의 첫 번째 도어(20)를 선택적으로 체결하고, 상기 승하강 장치(57)를 이용하여 상기 체결 장치(90)와 체결된 상기 도어(20)를 상기 브라켓(70)으로부터 분리하여 상기 통로(10a) 방향으로 승하강시킬 수 있다.
이어서, (1 Plate Down) 과정에서 상기 승하강 장치를 이용하여 사용을 마친 상기 도어(20)를 상기 체결 장치(90)와 분리하여 상기 브라켓(70)에 재수용할 수 있다.
이어서, (90도 회전 교체) 과정에서, 상기 브라켓(70)을 전후진시키는 브라켓 전후진 장치(80)를 이용하여 상기 브라켓(70)을 제 2 위치로 전진 또는 후진시킬 수 있다.
이어서, (2 Plate Up) 과정에서 상기 체결 장치(90)를 이용하여 상기 제 2 위치에 위치된 상기 브라켓(70)에 수용된 상기 도어(20)들 중 이동 선상에 위치하는 적어도 어느 하나의 두 번째 도어(20)를 선택적으로 체결하고, 상기 승하강 장치를 이용하여 상기 체결 장치(90)와 체결된 상기 도어(20)를 상기 통로(10a) 방향으로 승하강시킬 수 있다.
이어서, (2 Plate Down) 과정에서 상기 승하강 장치를 이용하여 사용을 마친 상기 도어(20)를 상기 체결 장치(90)와 분리하여 상기 브라켓(70)에 재수용할 수 있다.
이어서, (180도 회전 교체) 과정에서, 상기 브라켓(70)을 전후진시키는 브라켓 전후진 장치(80)를 이용하여 상기 브라켓(70)을 제 3 위치로 전진 또는 후진시킬 수 있다.
이어서, (3 Plate Up) 과정에서 상기 체결 장치(90)를 이용하여 상기 제 2 위치에 위치된 상기 브라켓(70)에 수용된 상기 도어(20)들 중 이동 선상에 위치하는 적어도 어느 하나의 세 번째 도어(20)를 선택적으로 체결하고, 상기 승하강 장치를 이용하여 상기 체결 장치(90)와 체결된 상기 도어(20)를 상기 통로(10a) 방향으로 승하강시킬 수 있다.
따라서, 3개의 상기 도어(20)들을 모두 사용할 때까지 진공을 깨뜨리고 상기 도어를 교체할 필요가 없기 때문에 장비의 중단 시간을 줄여서 생산성을 크게 향상시킬 수 있다.
한편, 도 42는 2개의 상기 도어(20)들을 수용하면서 상기 통로(10a)의 방향이 뒤바뀐 다른 형태의 상기 밸브 하우징(10)에 적용된 경우인데, 이러한 경우에도, 도시된 (1 Plate Up), (1 Plate Down), (Push-Change), (2 Plate Up), (2 Plate Down) 등의 일련의 과정을 거쳐서 2개의 상기 도어(20)들 중 어느 하나를 선택하여 사용할 수 있다.
그러나, 이에 반드시 국한되지 않고, 도 43에 도시된 바와 같이, (1 Plate Up), (1 Plate Down), (Push-Change), (2 Plate Up), (2 Plate Down) 등의 일련의 과정을 거쳐서 2개의 상기 도어(20)를 모두 승하강시키다가 어느 하나를 상기 도어 교체 영역(A)에 남겨두고 나머지 상기 도어(20)를 선택하여 사용하는 것도 가능하다.
이러한, 상기 도어(20)들의 선택 개수와 사용 개수는 작업 환경이나 다양한 장비들에 따라 다양한 개수와 형태로 적용될 수 있다.
도 44는 본 발명의 일부 실시예들에 따른 게이트 밸브 시스템(2100)의 도어 교체 방법을 나타내는 순서도이다.
따라서, 도 26 내지 도 44에 도시된 바와 같이, 본 발명의 일부 실시예들에 따른 게이트 밸브 시스템의 도어 교체 방법은, 브라켓(70)을 전후진시키는 브라켓 전후진 장치(80)를 이용하여 복수개의 상기 도어(20)를 적재한 브라켓(70)을 제 1 위치로 전진 또는 후진시키는 단계(S100)와, 체결 장치(90)를 이용하여 상기 제 1 위치에 위치된 상기 브라켓(70)에 수용된 상기 도어(20)들 중 이동 선상에 위치하는 적어도 어느 하나의 도어(20)를 선택적으로 체결하는 단계(S200)와, 승하강 장치(57)를 이용하여 상기 체결 장치(90)와 체결된 상기 도어(20)를 상기 브라켓(70)으로부터 분리하여 상기 통로(10a) 방향으로 승하강시키는 단계(S300)와, 상기 승하강 장치를 이용하여 사용을 마친 상기 도어(20)를 상기 체결 장치(90)와 분리하여 상기 브라켓(70)에 재수용하는 단계(S400)와, 상기 브라켓(70)을 전후진시키는 브라켓 전후진 장치(80)를 이용하여 상기 브라켓(70)을 제 2 위치로 전진 또는 후진시키는 단계(S500)와, 상기 체결 장치(90)를 이용하여 상기 제 2 위치에 위치된 상기 브라켓(70)에 수용된 상기 도어(20)들 중 이동 선상에 위치하는 적어도 어느 하나의 도어(20)를 선택적으로 체결하는 단계(S600) 및 상기 승하강 장치를 이용하여 상기 체결 장치(90)와 체결된 상기 도어(20)를 상기 통로(10a) 방향으로 승하강시키는 단계(S700)를 포함할 수 있다.
본 발명은 도면에 도시된 실시예를 참고로 설명되었으나 이는 예시적인 것에 불과하며, 당해 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 이로부터 다양한 변형 및 균등한 다른 실시예가 가능하다는 점을 이해할 것이다. 따라서 본 발명의 진정한 기술적 보호 범위는 첨부된 특허청구범위의 기술적 사상에 의하여 정해져야 할 것이다.
상기한 바와 같이 이루어진 본 발명의 일부 실시예들에 따르면, 모노 타입 도어에서 오링을 포함한 도어 전체를 교체할 수 있어서 교체 비용과 시간을 크게 절감할 수 있고, 장비의 부피를 축소시켜서 장비의 단가와 진공압 형성 시간 및 비용을 줄일 수 있으며, 예컨대, 밸브 하우징의 전체적인 진공을 깨뜨리지 않고도 도어의 교체를 가능하게 하여 장비의 작동과 운영을 단순화시켜서 장비의 내구성과 성능을 향상시킬 수 있는 효과를 갖는 것이다. 물론 이러한 효과에 의해 본 발명의 범위가 한정되는 것은 아니다.

Claims (20)

  1. 적어도 일부분에 제 1 하면과 제 2 하면을 갖는 통로가 형성되고, 타부분에 도어 교체 영역이 형성되는 밸브 하우징;
    상기 통로를 개폐할 수 있도록 상기 통로의 상기 제 1 하면과 상기 제 2 하면과 대응되는 제 1 실링 부재가 설치되는 모노 타입의 도어;
    상기 도어를 지지하는 승하강대;
    상기 승하강대를 승하강시키는 승하강축; 및
    상기 도어가 제 1 위치에서 승하강시 상기 통로를 개폐할 수 있고, 제 2 위치에서 승하강시 상기 도어 교체 영역으로 이동될 수 있도록 상기 도어를 상기 제 1 위치에서 상기 제 2 위치로 이동시키는 도어 교체용 이동 장치;
    를 포함하는, 모노 타입 게이트 밸브 시스템.
  2. 제 1 항에 있어서,
    상기 밸브 하우징은 상기 도어 교체 영역이 상기 통로를 기준으로 상방에 배치되고, 상기 도어 교체 영역의 일부분에 개폐문이 설치되며, 상기 도어 교체 영역의 입구부 또는 상기 승하강대에 상기 도어 교체 영역의 밀폐를 위한 제 2 실링 부재가 설치되고,
    상기 도어 교체용 이동 장치는,
    상기 승하강축에 설치되고, 상기 승하강대를 전후진시키는 승하강대 전후진 장치인, 모노 타입 게이트 밸브 시스템.
  3. 제 2 항에 있어서,
    상기 도어 교체용 이동 장치는,
    상기 승하강축을 전후진시키는 승하강축 전후진 장치;
    상기 승하강축의 전후진 이동을 안내할 수 있도록 상기 밸브 하우징에 형성되는 승하강축 가이드홀부; 및
    상기 승하강축과 상기 밸브 하우징의 내부를 보호할 수 있도록 상기 승하강축 가이드홀부를 둘러싸는 형상으로 상기 밸브 하우징에 설치되는 벨로우즈관;
    을 더 포함하는, 모노 타입 게이트 밸브 시스템.
  4. 제 2 항에 있어서,
    상기 도어 교체용 이동 장치는,
    상기 도어 교체 영역의 방향에 맞추어 상기 승하강축의 각도를 조절하는 승하강축 각도 조절 장치;를 포함하는, 모노 타입 게이트 밸브 시스템.
  5. 제 2 항에 있어서,
    상기 도어 교체용 이동 장치는,
    상기 승하강대에 설치되고, 상기 도어를 전후진시키는 도어 전후진 장치이고,
    상기 도어 전후진 장치는, 상기 승하강대를 따라 슬라이딩되는 슬라이딩 타입 또는 상기 승하강대로부터 신장 또는 수축되는 신축 타입인, 모노 타입 게이트 밸브 시스템.
  6. 제 1 항에 있어서,
    상기 밸브 하우징은 상기 도어 교체 영역이 상기 통로를 기준으로 하방에 배치되고, 상기 도어 교체 영역의 일부에 개폐문이 형성되며, 상기 도어 교체 영역의 입구부에 도어 교체시 상기 도어 교체 영역을 임시 밀폐시키는 임시 밀폐 장치가 설치되는, 모노 타입 게이트 밸브 시스템.
  7. 통로가 형성되고, 일부분에 도어 교환 영역이 형성되는 밸브 하우징;
    상기 통로를 개폐할 수 있도록 실링 부재가 설치되는 도어;
    상기 도어를 지지하는 가동대;
    상기 도어를 상기 통로 방향으로 이동시킬 수 있는 도어 이동 장치; 및
    도어 교환 영역에 설치되고, 상기 가동대로부터 구형 도어를 인계받아 컨베이어 장치를 이용하여 대기 중인 신형 도어를 상기 가동대 방향으로 전진시키는 도어 순환 교체 장치;
    를 포함하는, 도어 순환 교체형 게이트 밸브 시스템.
  8. 제 7 항에 있어서,
    상기 컨베이어 장치는,
    구동 회전이 가능한 제 1 스프로킷휠;
    종동 회전이 가능한 제 2 스프로킷휠; 및
    상기 제 1 스프로킷휠과 상기 제 2 스프로킷휠 사이에 순환되도록 권취되는 벨트;
    를 포함하는, 도어 순환 교체형 게이트 밸브 시스템.
  9. 제 8 항에 있어서,
    상기 도어 순환 교체 장치는,
    상기 벨트에 설치되고, 낙하되는 상기 구형 도어와 체결되어 상기 구형 도어를 상기 벨트 상에 안착시키는 도어 체결 장치;를 더 포함하고,
    상기 도어 체결 장치는,
    상기 도어의 삽입홈에 삽입될 수 있는 삽입 돌기 또는 상기 도어가 삽입될 수 있는 수용홈부이며,
    상기 삽입 돌기는, 신장 및 수축이 가능한 신축형 삽입 돌기 또는 접철이 가능한 접철형 삽입 돌기인, 도어 순환 교체형 게이트 밸브 시스템.
  10. 제 7 항에 있어서,
    상기 가동대로부터 상기 도어를 분리하여 상기 도어 순환 교체 장치 방향으로 낙하시키는 도어 분리 장치;를 더 포함하고,
    상기 도어 분리 장치는,
    상기 가동대에 신장 및 수축이 가능하게 설치되고, 상기 도어와 물림 결합되는 적어도 하나의 물림축; 및
    상기 가동대에 신장 및 수축이 가능하게 설치되고, 상기 물림축으로부터 상기 도어를 분리시킬 수 있도록 상기 도어를 가압하는 적어도 하나의 가압축;
    을 포함하는, 도어 순환 교체형 게이트 밸브 시스템.
  11. 제 7 항에 있어서,
    식별 정보 매칭시에만 동작 허용이 가능하도록 상기 도어의 식별 정보를 식별할 수 있는 식별 장치;
    를 더 포함하는, 도어 순환 교체형 게이트 밸브 시스템.
  12. 적어도 일부분에 통로가 형성되고, 타부분에 도어 교체 영역이 형성되는 밸브 하우징;
    상기 통로를 개폐할 수 있도록 제 1 실링 부재가 설치되고, 상기 통로와 대응되는 형상으로 형성되는 도어;
    상기 도어 교체 영역에 설치되고, 복수개의 상기 도어를 적재할 수 있도록 복수개의 도어 수용홈부가 형성되며, 전후진 레일을 따라 전후진이 가능하게 설치되는 브라켓;
    상기 브라켓을 전후진시키는 브라켓 전후진 장치;
    상기 브라켓에 수용된 상기 도어들 중 이동 선상에 위치하는 적어도 어느 하나의 도어와 선택적으로 체결되는 체결 장치; 및
    상기 체결 장치와 체결된 상기 도어를 상기 통로 방향으로 승하강시킬 수 있는 승하강 장치;
    를 포함하는, 게이트 밸브 시스템.
  13. 제 1 항에 있어서,
    상기 밸브 하우징은, 적어도 일부분에 제 1 하면과 제 2 하면을 갖는 상기 통로가 형성되고,
    상기 도어는, 상기 통로를 개폐할 수 있도록 상기 통로의 상기 제 1 하면과 상기 제 2 하면과 대응되는 상기 제 1 실링 부재가 설치되는 모노 타입의 도어인, 게이트 밸브 시스템.
  14. 제 1 항에 있어서,
    오염된 도어 또는 외부 환경에 의한 도어의 오염을 방지할 수 있도록 상기 브라켓의 상기 도어 수용홈부와 이웃하는 도어 수용홈부 사이에 설치되는 격리판;
    을 더 포함하는, 게이트 밸브 시스템.
  15. 제 1 항에 있어서,
    상기 브라켓 전후진 장치는,
    상기 브라켓의 하면에 형성된 여유홈에 선단이 물림 결합되고, 후단이 회전축에 의해 회동되는 캠축 부재; 및
    상기 캠축 부재를 축회전시키는 회전 장치;
    를 포함하는, 게이트 밸브 시스템.
  16. 제 1 항에 있어서,
    상기 체결 장치는,
    상기 도어에 하면에 형성된 체결홀에 억지 삽입될 수 있는 적어도 하나의 삽입 돌기가 형성되는 커넥팅 블록;
    을 포함하는, 게이트 밸브 시스템.
  17. 제 16 항에 있어서,
    상기 체결 장치의 상기 삽입 돌기는, 선단이 탄성 변형되기 용이하도록 분지홈이 형성되고, 삽입 위치가 안내될 수 있도록 경사진 안내면이 형성되는, 게이트 밸브 시스템.
  18. 제 1 항에 있어서,
    상기 도어가 상기 브라켓의 상기 도어 수용홈에 고정되어 흔들리지 않도록 상기 도어를 상기 브라켓에 임시 고정시키는 임시 고정 장치;
    를 더 포함하는, 게이트 밸브 시스템.
  19. 제 18 항에 있어서,
    상기 임시 고정 장치는, 상기 밸브 하우징에 설치되고, 상기 도어를 탄성 가압하는 탄성체 또는 상기 밸브 하우징 또는 상기 브라켓에 설치되고, 상기 도어에 설치된 자성체와 자력에 의해 결합되는 자성 부재인, 게이트 밸브 시스템.
  20. 브라켓을 전후진시키는 브라켓 전후진 장치를 이용하여 복수개의 상기 도어를 적재한 브라켓을 제 1 위치로 전진 또는 후진시키는 단계;
    체결 장치를 이용하여 상기 제 1 위치에 위치된 상기 브라켓에 수용된 상기 도어들 중 이동 선상에 위치하는 적어도 어느 하나의 도어를 선택적으로 체결하는 단계;
    승하강 장치를 이용하여 상기 체결 장치와 체결된 상기 도어를 상기 브라켓으로부터 분리하여 상기 통로 방향으로 승하강시키는 단계;
    상기 승하강 장치를 이용하여 사용을 마친 상기 도어를 상기 체결 장치와 분리하여 상기 브라켓에 재수용하는 단계;
    상기 브라켓을 전후진시키는 브라켓 전후진 장치를 이용하여 상기 브라켓을 제 2 위치로 전진 또는 후진시키는 단계;
    상기 체결 장치를 이용하여 상기 제 2 위치에 위치된 상기 브라켓에 수용된 상기 도어들 중 이동 선상에 위치하는 적어도 어느 하나의 도어를 선택적으로 체결하는 단계; 및
    상기 승하강 장치를 이용하여 상기 체결 장치와 체결된 상기 도어를 상기 통로 방향으로 승하강시키는 단계;
    를 포함하는, 게이트 밸브 시스템의 도어 교체 방법.
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