WO2019234583A1 - 圧力センサモジュール - Google Patents

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WO2019234583A1
WO2019234583A1 PCT/IB2019/054574 IB2019054574W WO2019234583A1 WO 2019234583 A1 WO2019234583 A1 WO 2019234583A1 IB 2019054574 W IB2019054574 W IB 2019054574W WO 2019234583 A1 WO2019234583 A1 WO 2019234583A1
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pressure
sensor module
passage
sensor element
support member
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江藤昌也
川合康弘
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ローベルト ボッシュ ゲゼルシャフト ミット ベシュレンクテル ハフツング
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    • G01L19/147—Details about the mounting of the sensor to support or covering means

Definitions

  • the present invention relates to a pressure sensor module for detecting fluid pressure.
  • a pressure sensor module that detects a fluid pressure as a relative pressure with respect to a reference fluid pressure is known.
  • an adhesive or an elastic rubber seal is used to hermetically seal between the sensor element and the eight housing.
  • Patent Document 1 discloses a pressure sensor module that employs an adhesive as a seal material.
  • Patent Document 2 discloses a pressure sensor module that employs a single elastic seal member as a seal material.
  • Patent Document 1 US Patent Application Publication No. 2011/016981
  • Patent Document 2 US Patent Application Publication No. 2011/016982
  • the pressure seal sensor module disclosed in Patent Document 2 has an extremely small elastic seal member disposed at a predetermined position. Handling during assembly work is not easy.
  • Patent Documents 1 and 2 are assembled by placing the sensor element on a predetermined surface of the eight-swing. For this reason, there is a possibility that the sensor element jumps out of a predetermined position or reverses during manufacture.
  • the present invention provides a pressure sensor module capable of improving work efficiency during assembly.
  • a pressure sensor module for detecting a fluid pressure based on a differential pressure between a reference pressure and a fluid pressure. And a sensor element that can contact each of the fluid pressure, a support member that supports the sensor element and is held in an eight-swing, a first pressure passage that guides fluid pressure to the first contact surface of the sensor element, And a second pressure passage that is sealed with respect to the first pressure passage and guides the reference pressure to the second contact surface of the sensor element, and the support member includes the first pressure passage and the second pressure passage.
  • the pressure sensor module is characterized by an elastically deformable elastic material part that has a function of sealing and a hard material part having higher rigidity than the elastic material part.
  • FIG. 1 is an exploded perspective view of a pressure sensor module according to an embodiment of the present invention.
  • FIG. 2 is an exploded cross-sectional view of the pressure sensor module according to the embodiment. ⁇ ⁇ 0 2019/234583 ⁇ (: 17132019/054574
  • FIG. 3 is a cross-sectional view of the pressure sensor module according to the embodiment.
  • FIG. 4 is a top perspective view of a support member of the pressure sensor module according to the embodiment.
  • FIG. 5 is a lower perspective view of the support member of the pressure sensor module according to the embodiment.
  • FIG. 1 shows an exploded perspective view of the pressure sensor module 1.
  • FIG. 2 shows an exploded sectional view of the pressure sensor module 1
  • FIG. 3 shows a sectional view of the pressure sensor module 1.
  • FIG. 4 is a perspective view of the support member 70 as viewed from above.
  • FIG. 5 is a perspective view of the support member 70 as viewed from below. 2 to 5, the elastic material part 41 of the cap 40 and the elastic material part 81 of the support member 70 are indicated by dot hatching.
  • the pressure-capacitor module 1 includes an eight-side 10, a support member 70, a sensor element 30, and a copper 40.
  • the eight-sided 10 is made of, for example, a molded product of a resin material, and has a substantially rectangular parallelepiped main body 10 3.
  • the housing 10 has an inlet port 12 that protrudes from the lower surface of the main body 103.
  • the inlet port 1 2 has a hollow, substantially cylindrical shape and has an internal space serving as an inflow passage 1 1.
  • the inlet port 12 is inserted into a container (not shown) to be measured for fluid pressure.
  • the vessel is hermetically sealed by, for example, a not-shown gmet seal.
  • the housing 10 has a first partition wall 14 and a second partition wall 15 erected on the upper surface of the main body section 103.
  • the first partition 14 is erected in a substantially rectangular shape in plan view along the outer edge of the upper surface of the eight-side 10.
  • the second partition wall 15 is erected on the inner side of the first partition wall 14 in a substantially rectangular shape in plan view with a space from the first partition wall 14.
  • a sensor element 30 supported by a support member 70 is disposed in the inner space surrounded by the second partition 15.
  • a communication passage 13 that communicates with the inflow passage 11 that is the inner space 5 of the inlet port 12 is provided in the approximate center of the inner space of the second partition wall 15.
  • a plurality of ribs 19 for fixing the position of the support member 70 are provided on a part of the inner peripheral surface of the second partition 15.
  • the eight-sided 10 includes a connector 93 that protrudes from one side of the main body 10 3.
  • the connector 93 has a hollow cylindrical shape.
  • a conductive passper 90 made of metal is embedded in the eight-sided 10.
  • One end of the passper 90 is exposed in the internal space of the connector 93.
  • the other end of the pass pad 90 is exposed as a connection terminal 91 in the inner space of the second partition 15.
  • the eight-sided 10 is provided with concave ridges 5 1 7 and convex ridges 5 1 8 on the side surface of the main body 10 3.
  • the concave ridges 5 1 7 and the convex ridges 5 1 8 serve as engaging portions when the force member 40 is attached.
  • the concave portions 17 or the convex portions 18 are not shown in the figure (an appropriate number may be provided).
  • the body part 10 3 of the eight-sided 10 has internal passages 1 6 3 and 1 6 ⁇ ⁇ with one end opening on the upper surface and the other end opening on the lower or side surface.
  • the internal passages 1 6 3 and 1 6 ⁇ constitute a part of the second pressure passage 60
  • Kapa ' -40 is an elastic material part 41 having a sealing function and a hard material part 4 having higher rigidity than the elastic material part 41
  • Capa-40 has a substantially rectangular parallelepiped shape with an opening on the lower side.
  • the cap 40 is attached to the housing 10 so as to cover the sensor element 30 and the support member 70.
  • the elastic material portion 41 is a constituent portion made of a material in which one or more of thermoplastic elastomer or liquid silicone rubber is blended.
  • the elastic material portion 41 has appropriate elasticity according to the desired seal function.
  • the hard material portion 45 is a constituent portion made of a resin material such as Yawata 5, polycarbonate-polyester, polybutylene terephthalate, polypropylene or polyamide.
  • the hard material part 45 has a higher rigidity than the elastic material part 41.
  • the hard material portion 45 constitutes the base portion of the cap 40.
  • the hard material portion 45 includes a flow hole 48 that constitutes a part of the second pressure passage 60.
  • the hard material portion 45 has a locking portion 46 and an opening 47 on the side surface.
  • the engaging portion 46 and the opening portion 47 become an engaging portion when the cap 40 is attached to the housing 10.
  • An appropriate number of the locking portions 46 and the openings 47 may be provided in addition to those shown in the figure.
  • the elastic material portion 41 is formed integrally with a hard material portion 45 that becomes a base portion. A part of the elastic material part 41 is disposed in a part of the circulation hole 48 formed in the hard material part 45, and seals the circulation hole 48 connected to the side surface.
  • the elastic material portion 41 is composed of a first cap seal portion 4 1 3, a second cap seal portion 4 1 ⁇ and a third cap seal portion each having a substantially rectangular shape in plan view. 4 1 Has 0.
  • the first cap seal part 4 1 3 is arranged on the inside, and the third cap seal part 4 1.
  • a second copper seal portion 4 1 ⁇ is disposed between the two.
  • the first copper seal portion 4 13 is in elastic contact with the second contact surface 33 of the sensor element 30 at the lower end.
  • the inner space of one cap seal part 4 1 3 constitutes a part of the second pressure passage 60.
  • the second copper seal portion 4 1 ⁇ is elastically brought into contact with the outer peripheral surface of the second partition 15 of the housing 10 at the inner periphery.
  • the second copper seal portion 4 1 ⁇ is a space inside the second partition 15 formed on the upper surface of the housing 10 and a second pressure passage 60 formed on the outer peripheral side of the second partition 15. Has the function of sealing.
  • Third copper seal part 4 The inner periphery of the housing 10 elastically contacts the outer peripheral surface of the first partition 14 of the housing 10.
  • the third cap seal part 4 1 0 seals the second pressure passage 60 formed in the inner space of the third cap seal part 4 1 0 and the external space of the cap 40 It has a function.
  • the first cap seal part 4 1 3 is in contact with the second contact surface 33 of the sensor element 30, and the second cap seal part 4 1 ⁇ is of the second partition wall 15.
  • the space defined by contacting the outer peripheral surface functions as an electrical connection space 99 in which the connection terminals 91, sensor elements 30 and the like of the pass PAR 90 are arranged (see FIG. 3).
  • the support member 70 is a structure in which an elastic material portion 81 having a seal function and a hard material portion 75 having higher rigidity than the elastic material portion 81 are integrated.
  • the support member 70 is positioned by a plurality of ribs 19 which are disposed in the inner space of the second partition 15 of the eight-row 10 and formed on the inner peripheral surface of the second partition 15.
  • the support member 70 includes a first seal portion 83, a second seal portion 85, a guide portion 77, partition portions 793, 79 and ⁇ ⁇ 02019/234583? € 1/162019/054574
  • Sensor support ribs 8 7 3-8 7 ⁇ 1 are provided. Of the components listed here, the first seal portion 83, the second seal portion 85, and the sensor support ribs 873-387 7 ⁇ 1 form part of the elastic material portion 81. Further, the guide portion 7 7 and the partition portions 7 93 and 7 9 are part of the hard material portion 75.
  • the elastic material portion 81 is a constituent portion made of a material in which one or more of thermoplastic elastomer or liquid silicone rubber is blended.
  • the elastic material portion 81 has appropriate elasticity according to a desired seal function.
  • the hard material portion 75 is a constituent portion made of a resin material such as Yawata 5, polycarbonate-polyester, polybutylene terephthalate, polypropylene or polyamide.
  • the hard material portion 75 has higher rigidity than the elastic material portion 41.
  • the first seal portion 83 has a substantially oval ring shape in plan view, and is provided at substantially the center of the first surface 71 corresponding to the upper surface of the support member 70.
  • the second seal portion 85 has a substantially oval ring shape in plan view, and is provided at substantially the center of the second surface 73 corresponding to the lower surface of the support member 70.
  • a part of the hard material portion 75 is disposed in the inner space surrounded by the first seal portion 83 and the second seal portion 85.
  • the guide portion 77 consisting of the hard material portion 75 is projected downward from the space inside the second seal portion 85.
  • the guide part 7 7 is inserted into the communication path 13 of the eight-way 10.
  • a gap is formed between the guide portion 7 7 and the inner peripheral surface of the communication passage 13 so that fluid pressure can pass therethrough.
  • the first surface 71 and the second surface 73 communicate with the center of the hard material portion 75 in the inner space surrounded by the first seal portion 83 and the second seal portion 85. It has through caskets 7-8.
  • the penetrating fin 78 is provided adjacent to the upper end of the guide portion 77.
  • the through hole 78 forms a part of the first pressure passage 50 that guides the fluid pressure to the first contact surface 31 of the sensor element 30.
  • the partition walls 7 9 3 and 7 9 are erected upward from both ends in one direction of the first surface 71 of the support member 70.
  • the sensor support ribs 8 7 3 and 8 7 ⁇ are arranged at both ends of the partition wall portion 7 93.
  • 8 7 3 and 8 7 ⁇ are protruding toward the center in one direction from the bulkhead 7 9 3.
  • the sensor support ribs 8 7 0 and 8 7 ⁇ 1 are arranged at both ends of the partition wall 7 9 ⁇ . Each of the sensor support ribs 8 7 0 and 8 7 ⁇ 1 protrudes toward the center in one direction from the partition wall 7 9 ⁇ .
  • the sensor element 30 is elastically supported by four sensor support ribs 8 7 3 to 8 7 ⁇ 1.
  • the upper end of the first seal portion 83 is in elastic contact with the first contact surface 31 of the sensor element 30.
  • the inner space of the first seal portion 8 3 constitutes a part of the first pressure passage 50.
  • the first seal portion 8 3 is in elastic contact with the sensor element 30, and the first pressure passage 50 and the first seal portion 8 3 inside the first seal portion 83 are provided. It has a function of sealing the outside electrical connection space 99.
  • the lower end of the second seal portion 85 is in elastic contact with the surface around the communication path 13 of the housing 10.
  • the second seal portion 85 has a function of sealing the first pressure passage 50 inside the second seal portion 85 and the electrical connection space 9 9 outside the second seal portion 85.
  • the sensor element 30 is elastically supported by a support member 70 held by the housing 10.
  • the electrical connection portion 35 of the sensor element 30 is in contact with and electrically connected to the connection terminal 91 of the passer 90 provided in the eight-way 10.
  • the first contact surface 31 which is the lower surface of the sensor element 30 is in contact with the fluid pressure introduced through the first pressure passage 50 (see FIG. 3).
  • the first pressure passage 50 includes an inflow passage 11 which is an inner flange 5 space of the inlet port 12 of the housing 10, a communication passage 13 of the housing 10, and a through hole 7 8 of the support member 70. Consists of.
  • the first pressure passage 50 is sealed to the electrical connection space 99 by the first seal portion 83 and the second seal portion 85 of the support member 70.
  • the reference pressure introduced through the second pressure passage 60 (see FIG. 3) is in contact with the second contact surface 33, which is the upper surface of the sensor element 30.
  • the second pressure passage 60 is configured to include internal passages 16 3 and 16 6 formed in the eight housing 10 and a flow hole 48 formed in the copper 40.
  • the second pressure passage 60 is sealed to the electrical connection space 9 9 by the first cap seal portion 4 1 3 of the cap 40 and the second cap seal portion 4 1 ⁇ .
  • the In the second pressure passage 60 direct entry of water droplets and dust is suppressed by the third cap seal part 410.
  • first pressure passage 50 and the second pressure passage 60 are sealed to each other by the first seal portion 83 and the second seal portion 85.
  • the sensor element 30 outputs a detection signal based on the difference between the fluid pressure received at the first contact surface 31 and the reference pressure received at the second contact surface 33.
  • the second pressure passage 60 is opened to the atmosphere, for example, and in this case, the reference pressure is atmospheric pressure.
  • the pressure sensor module 1 according to this embodiment is assembled as follows.
  • the support member 70 is disposed on the eight-side 10. At that time, first, the guide portion 7 7 of the support member 70 is inserted into the communication path 13 of the eight-way 10. The support member 70 is pushed in while the guide portion 7 7 is guided by the communication path 13. The support member 70 is positioned by a plurality of ribs 19 formed on the inner peripheral surface of the second partition 15 of the housing 10. In this manner (the support member 70 can be easily disposed at a predetermined position).
  • the sensor element 30 is disposed on the support member 70.
  • the sensor element 30 is elastically supported by the four sensor support ribs 8 7 3-8 7 ⁇ 1 of the support member 70.
  • the first contact surface 31 of the sensor element 30 contacts the upper end of the first seal portion 83 of the support member 70.
  • the first copper seal portion 4 13 of the copper 40 is in elastic contact with the second contact surface 33 of the sensor element 30. Further, the second copper seal portion 4 1 ⁇ of the copper 40 is in elastic contact with the outer peripheral surface of the second partition 15 of the housing 10. As a result, the electrical connection space 99 and the second pressure passage 60 are hermetically sealed.
  • the third copper seal portion 4 10 of the copper 40 is in elastic contact with the outer peripheral surface of the first partition 14 of the housing 10. As a result, it is possible to reduce the possibility of water droplets and dust entering the second pressure passage 60 directly.
  • the electrical connection portion 35 of the sensor element 30 is pressed against the connection terminal 91 of the passpar 90 by the elastic force of the first copper seal portion 41.33. Thereby, the electrical connection between the sensor element 30 and the passer 90 is easily established.
  • first seal portion 83 of the support member 70 is in elastic contact with the first contact surface 31 of the sensor element 30, and the second seal portion 85 is a communication path on the upper surface of the housing 10. 1 Elastic contact with the surrounding surface of 3. As a result, the electric connection space 99 and the first pressure passage 50 are hermetically sealed.
  • the pressure sensor module 1 has the seal function of the first pressure passage 50 and the second pressure passage 60 and the electrical connection between the sensor element 30 and the pass bar 90. Assembling work can be performed efficiently while guaranteeing connection.
  • the pressure sensor module 1 includes an elastic material part 81 having a sealing function and a hard material part 75 having a rigidity higher than that of the elastic material part 81 and a support member 70 integrated with the sensor.
  • the assembly work can be performed with the element 30 supported. Therefore, the possibility that the sensor element 30 jumps out or reverses can be reduced. ⁇ ⁇ 02019/234583? 1/162019/054574
  • the guide portion 77 of the support member 70 is configured to be inserted into the communication path 13 of the eight housing 10; however, the present invention is not limited to such an example.
  • the guide portion 77 of the support member 70 may be inserted into a hole or a recess formed separately in the eight-side 10.
  • the guide part 77 of the support member 70 is a part of the hard material part 75, but the guide part 77 may be a part of the elastic material part.

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Abstract

組立時の作業効率を向上可能な圧力センサモジュールを提供する。 基準圧と流体圧との差圧に基づいて流体圧を検出する圧力センサモジュールであって、ハウジングと、基準圧 及び流体圧のそれぞれに接触可能なセンサ素子と、センサ素子を支持するとともにハウジングに保持される支持 部材と、センサ素子の第１の接触面に流体圧を導く第１の圧力通路と、第１の圧力通路に対してシールされ 、センサ素子の第２の接触面に基準圧を導く第２の圧力通路とを備え、支持部材は、第１の圧力通路と第 ２の圧力通路とをシールする機能を有する弾性変形可能な弾性材料部と、弾性材料部に比べて剛性が高い 硬質材料部とが一体化された構造物である。

Description

\¥02019/234583 卩（：17132019/054574
1
【書類名】明細書
【発明の名称】圧カセンサモジュ-ル
【技術分野】
[0001]
本発明は、流体圧を検出する圧カセンサモジュ-ルに関する。
【背景技術】
[0002]
従来流体圧を基準流体圧に対する相対圧として検出する方式の圧カセンサモジュ-ルが知られている。かか る圧カセンサモジュ-ルにおいては接着剤あるいは弾性ゴムシ-ルを用いてセンサ素子と八ウジングとの間を気密 にシールしている。
[0003]
例えば特許文献 1にはシ-ル材として接着剤を採用した圧カセンサモジュ-ルが開示されている。また特許文 献 2にはシ-ル材として単体の弾性シ-ル部材を採用した圧カセンサモジュ-ルが開示されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
[0004]
【特許文献 1】米国特許出願公開第 2011/016981号明細書
【特許文献 2】米国特許出願公開第 2011/016982号明細書
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
[0005]
しかしながら特許文献 1及び 2に開示された圧カセンサモジュ-ルでは、圧カセンサモジュ-ル自体の組立作 業が必ずしも効率的ではない。例えば特許文献 1に開示された圧カセンサモジュ-ルを製造するには接着剤を 塗布する装置が必要になるとともに塗布した接着剤を硬化させる工程が必要になる。
[0006] \¥0 2019/234583 卩（：17132019/054574
2
また圧カセンサモジュール自体の長さあるいは幅が例えば 1 0 以下程度であるために特許文献 2に開 示された圧カセンサモジュ-ルでは所定の位置に配置される弾性シ-ル部材が極めて小さくなり、組立作業時に おける取り扱いが容易ではない。
[ 0 0 0 7 ]
さらに特許文献 1及び 2に開示された圧カセンサモジュ-ルはセンサ素子を八ウジングの所定の面に載置して 組み立てるものである。このため製造時においてセンサ素子が所定の位置から跳び出したり反転したりするおそれ がある。
[ 0 0 0 8 ]
本発明は、組立時の作業効率を向上可能な圧カセンサモジュ-ルを提供する。
【課題を解決するための手段】
[ 0 0 0 9 ]
上記課題を解決するために、本発明のある観点（こよれば、基準圧と流体圧との差圧に基づいて流体圧を検 出する圧カセンサモジュ-ルであって、八ウジングと、基準圧及び流体圧のそれぞれに接触可能なセンサ素子と、 センサ素子を支持するとともに八ウジングに保持される支持部材と、センサ素子の第 1の接触面に流体圧を導く 第 1の圧力通路と、第 1の圧力通路に対してシ-ルされ、センサ素子の第 2の接触面に基準圧を導く第 2の 圧力通路とを備え、支持部材は、第 1の圧力通路と第 2の圧力通路とをシ-ルする機能を有する弾性変形 可能な弾性材料部と、弾性材料部に比べて剛性が高い硬質材料部とが一体化された構造物であることを特 徴とする圧カセンサモジュ-ルが提供される。
【発明の効果】
[ 0 0 1 0 ]
以上説明したように本発明によれば、圧カセンサモジュ-ルの組立時の作業効率を向上させることができる。 【図面の簡単な説明】
[ 0 0 1 1 ]
【図 1】本発明の実施の形態に係る圧カセンサモジュ-ルの分解斜視図である。
【図 2】同実施形態に係る圧カセンサモジュ-ルの分解断面図である。 \¥0 2019/234583 卩（：17132019/054574
3
【図 3】同実施形態に係る圧カセンサモジュ-ルの断面図である。
【図 4】同実施形態に係る圧カセンサモジュ-ルの支持部材の上方斜視図である。
【図 5】同実施形態に係る圧カセンサモジュ-ルの支持部材の下方斜視図である。
【発明を実施するための形態】
[ 0 0 1 2 ]
以下に添付図面を参照しながら本発明の好適な実施の形態について詳細に説明する。なお本明細書及び 図面において実質的に同一の機能構成を有する構成要素については同一の符号を付することにより重複説明 を省略する。
[ 0 0 1 3 ]
なお以下の説明においては便宜上カパー 4 0側を上、インレットポート 1 2側を下として説明する。
【0 0 1 4】
図 1〜図 5を参照して本実施形態に係る圧カセンサモジュ-ル 1の構成例を説明する。図 1は圧カセンサ モジュ-ル 1の分解斜視図を示している。図 2は圧カセンサモジュ-ル 1の分解断面図を示し、図 3は圧カセン サモジュ-ル 1の断面図を示している。図 4は支持部材 7 0を上方から見た斜視図である。図 5は支持部材 7 0を下方から見た斜視図である。図 2〜図 5においてカパ- 4 0の弾性材料部 4 1及び支持部材 7 0の 弾性材料部 8 1はドットハッチングで示されている。
[ 0 0 1 5 ]
圧カセンサモジュール 1は八ウジング 1 0、支持部材 7 0、センサ素子 3 0及びカパー 4 0を備える。
[ 0 0 1 6 ]
＜八ウジング＞
八ウジング 1 0は例えば樹脂材料の成形品からなり略直方体状の本体部 1 0 3を有する。ハウジング 1 0 は本体部 1 〇 3の下面に突設されたインレットポート 1 2を有する。インレットポート 1 2は中空の略円筒形状 を有 流入通路 1 1となる内部空間を有する。
[ 0 0 1 7 ]
インレットポート 1 2は流体圧を測定する対象の図示しない容器内に挿入される。インレットポート 1 2と容 \¥02019/234583 ?€1/162019/054574
4
器とは例えば図示しないグ□メットシ-ル等によって気密にシ-ルされる。
[ 0 0 1 8 ]
ハウジング 1 0は本体部 1 0 3の上面に立設された第 1の隔壁 1 4及び第 2の隔壁 1 5を有する。第 1 の隔壁 1 4は八ウジング 1 0の上面の外縁に沿って平面視略矩形状に立設されている。第 2の隔壁 1 5は 第 1の隔壁 1 4の内側に、第 1の隔壁 1 4と間隔をおいて平面視略矩形状に立設されている。
[ 0 0 1 9 ]
第 2の隔壁 1 5により囲まれた内側空間には支持部材 7 0により支持されたセンサ素子 3 0が配置され る。第 2の隔壁 1 5の内側空間の略中央にはインレットポート 1 2の内咅5空間である流入通路 1 1に連通す る連通路 1 3が設けられている。第 2の隔壁 1 5の内周面の一部には支持部材 7 0の位置を固定する複 数のリブ 1 9が設けられている。
[0020]
八ウジング 1 0は本体部 1 0 3の一側面に突設されたコネクタ 9 3を備える。コネクタ 9 3は中空の筒形 状を有する。八ウジング 1 0には例えば金属からなる導電性のパスパー 9 0が埋設されている。パスパー 9 0の 一端部はコネクタ 9 3の内部空間に露出する。パスパ- 9 0の他端部は第 2の隔壁 1 5の内側空間に接続 端子 9 1として露出している。
[ 0 0 2 1 ]
八ウジング 1 0は本体部 1 0 3の側面に凹咅5 1 7及び凸咅 5 1 8を備える。凹咅5 1 7及び凸咅 5 1 8は力 パ- 4 0が装着される際の係合部となる。凹部 1 7又は凸部 1 8は図示された以外（こも適宜の数備えられて いてちよい。
[0022]
八ウジング 1 0の本体部 1 0 3は一方の端部が上面に開口し他方の端部が下面あるいは側面に開口する 内部通路 1 6 3， 1 6 匕を有する。内部通路 1 6 3， 1 6 匕は第 2の圧力通路 6 0の一部を構成する
[ 0 0 2 3 ]
＜カパー＞ \¥0 2019/234583 卩（：17132019/054574
5
カパ' - 4 0はシ-ル機能を有する弾性材料部 4 1と弾性材料部 4 1に比べて剛性が高い硬質材料部 4
5とが一体化された構造物である。カパ- 4 0は下方側が開口した略直方体状を有する。カパ- 4 0はセンサ 素子 3 0及び支持部材 7 0を覆うようにしてハウジング 1 0に取り付けられる。
[ 0 0 2 4 ]
弾性材料部 4 1は例えば熱可塑性エラストマ又は液状シリ]-ンゴムのうちの一種又は複数種を配合した 材料からなる構成部分である。弾性材料部 4 1は所望のシ-ル機能に応じて適切な弾性を有する。硬質材 料部 4 5は例えば八巳 5、ポリカ-ボネ-卜、ポリブチレンテレフタレ-卜、ポリプロピレン又はポリアミド等の樹脂 材料からなる構成部分である。硬質材料部 4 5は弾性材料部 4 1に比べて高い剛性となっている。
[ 0 0 2 5 ]
硬質材料部 4 5はカパ- 4 0のべ-ス部分を構成する。硬質材料部 4 5は第 2の圧力通路 6 0の一部 を構成する流通孔 4 8を備える。硬質材料部 4 5は側面に係止部 4 6及び開口部 4 7を備える。係止部 4 6及び開口部 4 7はカパ- 4 0をハウジング 1 0に装着する際の係合部となる。係止部 4 6及び開口部 4 7は図示、された以外にも適宜の数備えられていてもよい。
[ 0 0 2 6 ]
弾性材料部 4 1はべ-ス部分となる硬質材料部 4 5に一体的に組み込まれて形成されている。弾性材料 部 4 1の一部は硬質材料部 4 5に形成された流通孔 4 8の一部に配置されて側面に通じる流通孔 4 8を 封止する。
[ 0 0 2 7 ]
また弾性材料部 4 1はいずれも平面視略矩形状の第 1のカパ-シ-ル部 4 1 3、第 2のカパ-シ-ル部 4 1 匕及び第 3のカパ-シ-ル部 4 1 〇を有する。第 1のカパ-シ-ル部 4 1 3が内側に配置され、第 3のカパ -シ-ル部 4 1 。が外側に配置され、第 1のカパ-シ-ル部 4 1 3と第 3のカパ-シ-ル部 4 1 。の間に第 2 のカパーシール部 4 1 匕が配置されている。
[ 0 0 2 8 ]
第 1のカパーシール部 4 1 3は下端部においてセンサ素子 3 0の第 2の接触面 3 3に弾性接触する。第
1のカパ-シ-ル部 4 1 3の内側空間は第 2の圧力通路 6 0の一部を構成する。第 1のカパ-シ-ル部 4 1 \¥0 2019/234583 卩（：17132019/054574
6
3はセンサ素子 3 0の第 2の接触面 3 3に弾性接触した状態で第 1のカパーシール部 4 1 3の内側の第 2 の圧力通路 6 0と第 1のカパーシール部 4 1 3の外周側の空間とをシールする機能を有する。
[ 0 0 2 9 ]
第 1のカパーシール部 4 1 3がセンサ素子 3 0に弾性接触することによりセンサ素子 3 0の電気接続部 3 5がパスパー 9 0の接続端子 9 1に対して押し付けられる。これによりセンサ素子 3 0とパスパー 9 0との電気 的な接続の確実性が高められる。
[ 0 0 3 0 ]
第 2のカパーシール部 4 1 匕は内周咅 こおいてハウジング 1 0の第 2の隔壁 1 5の外周面に弾性接触する 。第 2のカパーシール部 4 1 匕はハウジング 1 0の上面に形成された第 2の隔壁 1 5の内側の空間と第 2の 隔壁 1 5の外周側に形成される第 2の圧力通路 6 0とをシ-ルする機能を有する。
【0 0 3 1】
第 3のカパーシール部 4 1 。は内周咅 こおいてハウジング 1 0の第 1の隔壁 1 4の外周面に弾性接触する 。第 3のカパ-シ-ル部 4 1 〇は第 3のカパ-シ-ル部 4 1 〇の内側空間に形成される第 2の圧力通路 6 0 とカパー 4 0の外部空間とをシールする機能を有する。
[ 0 0 3 2 ]
なお第 1のカパ-シ-ル部 4 1 3がセンサ素子 3 0の第 2の接触面 3 3に当接し、第 2のカパ-シ-ル部 4 1 匕が第 2の隔壁 1 5の外周面に当接することにより画成された空間はパスパー 9 0の接続端子 9 1やセ ンサ素子 3 0等が配置された電気接続空間 9 9として機能する （図 3を参照） 。
[ 0 0 3 3 ]
＜支持部材＞
支持部材 7 0は、シ-ル機能を有する弾性材料部 8 1と弾性材料部 8 1に比べて剛性が高い硬質材料 部 7 5とが一体化された構造物である。支持部材 7 0は八ウジング 1 0の第 2の隔壁 1 5の内側空間に配 置されて第 2の隔壁 1 5の内周面に形成された複数のリブ 1 9により位置決めされる。
[ 0 0 3 4 ]
支持部材 7 0は第 1のシ-ル部 8 3、第 2のシ-ル部 8 5、ガイド部 7 7、隔壁部 7 9 3 , 7 9 匕及び \¥02019/234583 ?€1/162019/054574
7
センサ支持リブ 8 7 3 - 8 7 ¢1を備える。ここに挙げた構成要素のうちの第 1のシール部 8 3、第 2のシール 部 8 5及びセンサ支持リブ 8 7 3 - 8 7 ¢1は弾性材料部 8 1の一部をなす。またガイド部 7 7及び隔壁部 7 9 3 , 7 9 匕は硬質材料部 7 5の一部をなす。
[ 0 0 3 5 ]
弾性材料部 8 1は例えば熱可塑性エラストマ又は液状シリ]-ンゴムのうちの一種又は複数種を配合した 材料からなる構成部分である。弾性材料部 8 1は所望のシ-ル機能に応じて適切な弾性を有する。硬質材 料部 7 5は例えば八巳 5、ポリカ-ボネ-卜、ポリブチレンテレフタレ-卜、ポリプロピレン又はポリアミド等の樹脂 材料からなる構成部分である。硬質材料部 7 5は弾性材料部 4 1に比べて高い剛性となっている。
[ 0 0 3 6 ]
第 1のシ-ル部 8 3は平面視略長円形のリング形状を有し支持部材 7 0の上面に相当する第 1の面 7 1の略中央に設けられている。第 2のシ-ル部 8 5は平面視略長円形のリング形状を有し支持部材 7 0の 下面に相当する第 2の面 7 3の略中央に設けられている。第 1のシール部 8 3及び第 2のシール部 8 5によ り囲まれる内側の空間には硬質材料部 7 5の一部が配置されている。
[ 0 0 3 7 ]
硬質材料部 7 5からなるガイド部 7 7は第 2のシ-ル部 8 5の内側の空間から下方に突設されている。ガ イド部 7 7は八ウジング 1 0の連通路 1 3内に挿入される。ガイド部 7 7と連通路 1 3の内周面との間には 隙間が形成され流体圧が通過可能にされる。
[ 0 0 3 8 ]
第 1のシ-ル部 8 3及び第 2のシ-ル部 8 5により囲まれる内側の空間の硬質材料部 7 5の中央には第 1の面 7 1と第 2の面 7 3を連通する貫通孑し 7 8を有する。貫通孑し 7 8はガイド部 7 7の上端に隣接して 設けられている。貫通孔 7 8は流体圧をセンサ素子 3 0の第 1の接触面 3 1に導く第 1の圧力通路 5 0の 一部を構成する。
[ 0 0 3 9 ]
隔壁部 7 9 3 , 7 9 は支持部材 7 0の第 1の面 7 1の一の方向の両端部から上方に向けて立設し ている。センサ支持リブ 8 7 3 , 8 7 匕は隔壁部 7 9 3の両端部に配置されている。それぞれのセンサ支持リ \¥0 2019/234583 卩（：17132019/054574
8
ブ 8 7 3， 8 7 匕は隔壁部 7 9 3よりも一の方向の中央側に迫り出している。
[ 0 0 4 0 ]
センサ支持リブ 8 7 〇, 8 7 ¢1は隔壁部 7 9 匕の両端部に配置されている。それぞれのセンサ支持リブ 8 7 〇, 8 7 ¢1は隔壁部 7 9 匕よりも一の方向の中央側に迫り出している。センサ素子 3 0は四つのセンサ支 持リブ 8 7 3〜8 7 ¢1により弾性支持される。
【0 0 4 1】
第 1のシール部 8 3の上端はセンサ素子 3 0の第 1の接触面 3 1に弾性接触する。第 1のシール部 8 3 の内側空間は第 1の圧力通路 5 0の一部を構成する。第 1のシ-ル部 8 3はセンサ素子 3 0に弾性接触し た状態で第 1のシ-ル部 8 3の内側の第 1の圧力通路 5 0と第 1のシ-ル部 8 3の外側の電気接続空間 9 9とをシールする機能を有する。
[ 0 0 4 2 ]
第 2のシール部 8 5の下端はハウジング 1 0の連通路 1 3の周囲の面に弾性接触する。第 2のシール部 8 5は第 2のシ-ル部 8 5の内側の第 1の圧力通路 5 0と第 2のシ-ル部 8 5の外側の電気接続空間 9 9 とをシールする機能を有する。
[ 0 0 4 3 ]
＜センサ素子＞
センサ素子 3 0はハウジング 1 0に保持される支持部材 7 0に弾性支持される。センサ素子 3 0の電気接 続部 3 5は八ウジング 1 0に備えられたパスパ- 9 0の接続端子 9 1と接触して電気的に接続される。
[ 0 0 4 4 ]
センサ素子 3 0の下面である第 1の接触面 3 1には第 1の圧力通路 5 0 （図 3を参照） を介して導入 される流体圧が接触する。第 1の圧力通路 5 0はハウジング 1 0のインレツトポート 1 2の内咅5空間である流 入通路 1 1、ハウジング 1 0の連通路 1 3及び支持部材 7 0の貫通孔 7 8を含んで構成される。第 1の圧 力通路 5 0は支持部材 7 0の第 1のシ-ル部 8 3及び第 2のシ-ル部 8 5により電気接続空間 9 9に対 してシ-ルされる。
[ 0 0 4 5 ] \¥0 2019/234583 卩（：17132019/054574
9
センサ素子 3 0の上面である第 2の接触面 3 3には第 2の圧力通路 6 0 （図 3を参照） を介して導入 される基準圧が接触する。第 2の圧力通路 6 0は八ウジング 1 0に形成された内部通路 1 6 3， 1 6 匕及 びカパー 4 0に形成された流通孔 4 8を含んで構成される。第 2の圧力通路 6 0はカパー 4 0の第 1のカパ -シ-ル部 4 1 3及び第 2のカパ-シ-ル部 4 1 匕により電気接続空間 9 9に対してシ-ルされる。第 2の圧 力通路 6 0は第 3のカパ-シ-ル部 4 1 〇によって水滴や塵埃の直接的な進入が抑制されている。
[ 0 0 4 6 ]
このように第 1の圧力通路 5 0と第 2の圧力通路 6 0とは第 1のシ-ル部 8 3及び第 2のシ-ル部 8 5 により互いにシ-ルされている。センサ素子 3 0は、第 1の接触面 3 1で受ける流体圧と第 2の接触面 3 3で 受ける基準圧との差に基づいて検出信号を出力する。第 2の圧力通路 6 0は例えば大気開放されており、こ の場合基準圧は大気圧である。
[ 0 0 4 7 ]
＜組立方法＞
本実施形態に係る圧カセンサモジュ-ル 1は以下のように組み立てられる。
[ 0 0 4 8 ]
（支持部材の組付け）
支持部材 7 0を八ウジング 1 0上に配置する。その際にまず支持部材 7 0のガイド部 7 7を八ウジング 1 0の連通路 1 3に挿入する。ガイド部 7 7が連通路 1 3によりガイドされながら支持部材 7 0が押し込まれ る。支持部材 7 〇はハウジング 1 0の第 2の隔壁 1 5の内周面に形成された複数のリブ 1 9により位置決め される。このよう（こして支持部材 7 0を容易に所定位置に配置することができる。
[ 0 0 4 9 ]
（センサ素子の組付け）
センサ素子 3 0を支持部材 7 0上に配置する。センサ素子 3 0は支持部材 7 0の 4つのセンサ支持リブ 8 7 3 - 8 7 ¢1により弾性支持される。センサ素子 3 0の第 1の接触面 3 1は支持部材 7 0の第 1のシー ル部 8 3の上端に接触する。
[ 0 0 5 0 ] \¥0 2019/234583 卩（：17132019/054574
10
（カパ-の組付け）
カパー 4 0をハウジング 1 0の上面側に装着する。その際にカパー 4 0の係止部 4 6及び開口咅 5 4 7とハウ ジング 1 0の凹部 1 7及び凸部 1 8とが係合されてカパ- 4 0が八ウジング 1 0に固定される。
[ 0 0 5 1 ]
カパー 4 0が組み付けられた状態ではカパー 4 0の第 1のカパーシール部 4 1 3がセンサ素子 3 0の第 2の 接触面 3 3に弾性接触する。またカパー 4 0の第 2のカパーシール部 4 1 匕がハウジング 1 0の第 2の隔壁 1 5の外周面に弾性接触する。これにより電気接続空間 9 9と第 2の圧力通路 6 0とが気密にシ-ルされる。
[ 0 0 5 2 ]
またカパー 4 0の第 3のカパーシール部 4 1 〇がハウジング 1 0の第 1の隔壁 1 4の外周面に弾性接触す る。これにより第 2の圧力通路 6 0に水滴や塵埃が直接的に進入するおそれを低減することができる。
[ 0 0 5 3 ]
また第 1のカパーシール部 4 1 3の弾性力によりセンサ素子 3 0の電気接続部 3 5がパスパー 9 0の接続 端子 9 1に押し付けられる。これによりセンサ素子 3 0とパスパ- 9 0との電気的な接続が容易に確立される。
[ 0 0 5 4 ]
さらに支持部材 7 0の第 1のシール部 8 3はセンサ素子 3 0の第 1の接触面 3 1に弾性接触するととも に第 2のシール部 8 5はハウジング 1 0の上面のうちの連通路 1 3の周囲の面に弾性接触する。これにより電 気接続空間 9 9と第 1の圧力通路 5 0とが気密にシ-ルされる。
[ 0 0 5 5 ]
このようにして本実施形態に係る圧カセンサモジュ-ル 1は第 1の圧力通路 5 0及び第 2の圧力通路 6 0 のシ-ル機能及びセンサ素子 3 0とパスパ- 9 0との電気的な接続を保証しつつ組み立て作業を効率的に行 うことができる。
[ 0 0 5 6 ]
本実施形態に係る圧カセンサモジュ-ル 1はシ-ル機能を有する弾性材料部 8 1と弾性材料部 8 1よりも 剛性の高い硬質材料部 7 5とが一体化された支持部材 7 0にセンサ素子 3 0を支持させて組立作業を行う ことができる。したがってセンサ素子 3 0が跳び出したり反転したりするおそれを低減することができる。 \¥02019/234583 ? 1/162019/054574
11
[00 5 7]
以上、添付図面を参照しながら本発明の好適な実施形態について詳細に説明したが本発明はかかる例に 限定されない。本発明の属する技術の分野における通常の知識を有する者であれば、特許請求の範囲に記載 された技術的思想の範疇内において各種の変更例または修正例に想到し得ることは明らかであり、これらについ ても当然に本発明の技術的範囲に属するものと了解される。
[00 58]
例えば上記実施形態では支持部材 7 0のガイド部 7 7が八ウジング 1 0の連通路 1 3に挿入されるよう 構成されていたが本発明はかかる例に限定されない。支持部材 7 0のガイド部 7 7は八ウジング 1 0に別途 形成された孔部又は凹部に挿入されてもよい。また上記実施形態では支持部材 7 0のガイド部 7 7が硬質 材料部 7 5の一部とされていたが、ガイド部 7 7は弾性材料部の一部であってもよい。
【符号の説明】
[00 5 9]
1 ···圧カセンサモジュ-ル、 1 0 ···ハウジング、 1 1 ···流入通路、 1 3 ···連通路、 3 0 ···センサ素子、 3 1 · · ·第 1の接触面、 33 · · ·第 2の接触面、 4 0 ·· ·カパ-、 4 1 · · ·弾性材料部、 4 1 3 · · ·第 1の カパ-シ-ル部、 4 1 匕 ···第 2のカパ-シ-ル部、 4 1 〇 ···第 3のカパ-シ-ル部、 4 5 硬質材料部、 4 8 · · ·流通孔、 5 0 · · ·第 1の圧力通路、 6 0 · · ·第 2の圧力通路、 7 0 ·· ·支持部材、 7 5 ·· ·硬質材 料部、 7 7 ·· ·ガイド部、 78 ·· ·貫通孔、 8 1 · · ·弾性材料部、 83 · · ·第 1のシ-ル部、 85 · · ·第 2の シ-ル部

Claims

\¥0 2019/234583 卩（：17132019/054574 12 【書類名】請求の範囲
【請求項 1】
基準圧と流体圧との差圧に基づいて前記流体圧を検出する圧カセンサモジュ-ル （ 1） において、 ハウジング （1 0） と、
前記基準圧及び前記流体圧のそれぞれに接触可能なセンサ素子 （3 0） と、
前記センサ素子 （3 0） を支持するとともに前記ハウジング （1 0） に保持される支持部材 （7 0） と、 前記センサ素子 （3 0） の第 1の接触面 （3 1） に前記流体圧を導く第 1の圧力通路 （5 0） と、 前記第 1の圧力通路 （5 0） に対してシ-ルされ、前記センサ素子 （3 0） の第 2の接触面 （3 3） に前記基準圧を導く第 2の圧力通路 （6 0） とを備え、
前記支持部材 （ 7 0） は、
前記第 1の圧力通路 （5 0） と前記第 2の圧力通路 （6 0） とをシ-ルする機能を有する弾性変形可 能な弾性材料部 （8 1） と、前記弾性材料部 （8 1） に比べて剛性が高い硬質材料部 （7 5） とが一 体化された構造物である
ことを特徴とする圧カセンサモジュール （1） 。
【請求項 2】
前記支持部材 （7 0） の前記弾性材料部 （ 8 1） は、
前記センサ素子 （3 0） を支持する第 1の面 （7 1） 及び前記第 1の面 （7 1） の背面に位置する 第 2の面 （7 3） に形成されるシール部 （8 3， 8 5） を備える
ことを特徴とする請求項 1に記載の圧カセンサモジュ-ル （1） 。
【請求項 3】
前記支持部材 （ 7 0） は、
前記第 1の面 （7 1） と前記第 2の面 （7 3） とを連通する貫通孔 （7 8） を備え、
前記シ-ル部 （8 3， 8 5） は、
前記貫通孔 （7 8） の開口の周囲を囲むリング状に形成される
ことを特徴とする請求項 2に記載の圧カセンサモジュ-ル （1） 。 \¥0 2019/234583 卩（：17132019/054574
13
【請求項 4】
前記八ウジング （ 1 0） は、
前記第 1の圧力通路 （5 0） の一部を構成する流入通路 （1 1） と、前記流入通路 （1 1） を前記 センサ素子 （3 0） が配置される空間側に連通させる連通路 （1 3） とを備え、
前記支持部材 （ 7 0） は、
前記第 2の面 （7 3） 側に、前記連通路 （1 3） 若しくは前記八ウジング （1 0） に設けられた孔又は 凹部に挿入されるガイド部 （7 7） を備える
ことを特徴とする請求項 2又は 3に記載の圧カセンサモジュ-ル （1） 。
【請求項 5】
前記圧カセンサモジュ-ル （1） は、
前記八ウジング （1 0） に取り付けられたパスパ- （9 0） の接続端子 （9 1） であって、前記センサ素 子 （ 3 0） の電気接続部 （3 5） が接触する前記接続端子 （9 1） が配置された電気接続空間 （ 9 9） を備え、
前記シ-ル部 （8 3， 8 5） は、
前記第 1の圧力通路 （5 0） と前記電気接続空間 （9 9） とをシ-ルすることにより、前記第 1の圧力 通路 （5 0） と前記第 2の圧力通路 （6 0） とをシ-ルする
ことを特徴とする請求項 2〜 4のいずれか 1項に記載の圧カセンサモジュ-ル （1） 。
【請求項 6】
前記圧カセンサモジュ-ル （1） は、
前記ハウジング （1 0） に装着されるカパ- （4 0） を備え、
前記カパ- （4 0） は、
前記第 2の圧力通路 （6 0） の一部を構成する流通孔 （4 8） を備え、
前記カパ- （4 0） は、
前記電気接続空間 （9 9） と前記第 2の圧力通路 （6 0） とをシ-ルする機能を有する弾性変形可能 な弾性材料部 （4 1） と、前記弾性材料部 （4 1） に比べて剛性が高い硬質材料部 （4 5） とが一体 \¥0 2019/234583 卩（：17132019/054574
14
化された構造物である
ことを特徴とする請求項 2〜 5のいずれか 1項に記載の圧カセンサモジュ-ル （1） 。
【請求項 7】
前記支持部材 （ 7 0） は、
前記第 1の面 （7 1） に隔壁部 （7 9 3， 7 9 匕） を備え、
前記隔壁部 （7 9 3， 7 9 匕） （こ、前記センサ素子 （3 0） を位置決め又は保持するリブ （8 7 3〜 8 7 ¢1） が一体に形成される
ことを特徴とする請求項 1〜 6のいずれか 1項に記載の圧カセンサモジユ-ル （1） 。
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