WO2019225017A1

WO2019225017A1 - Device generating at least either ions or ozone

Info

Publication number: WO2019225017A1
Application number: PCT/JP2018/020216
Authority: WO
Inventors: 大塚　寛治; 秋山　豊; 敏宏坪井; 純一河西
Original assignee: 株式会社Ｍｉｒａｉ
Priority date: 2018-05-25
Filing date: 2018-05-25
Publication date: 2019-11-28
Also published as: JP2021036521A; WO2019225683A1; JP6775865B2; JP6806399B1; JPWO2019225683A1; CN112189381A; CN112189381B

Abstract

Provided is an ion or ozone generation device that is highly efficient and inexpensive. The present invention has, for example: a first metal plate (3) having a first through-hole (12); a metal rod (1) that passes through the first through-hole (12); and an insulating material (2) that is in close contact with the metal rod (1) and covers the metal rod (1), in at least a section where same passes through the first through-hole (12), and electrically insulates the first metal plate (3) and the metal rod (1). In addition, the present invention ideally has: a second through-hole (13) corresponding to the first through-hole (12); and has a first insulating plate (5) that supports the first metal plate (3). Furthermore, the insulating material (2) is ideally in close contact with the metal rod (1) and covers the metal rod (1) in a section where same passes through the second through-hole (13). The present invention ideally also has a resist (4) that covers the first metal plate (3). Corona discharge occurs between the tip of the metal rod (1) and the first metal plate (3) regardless of the insulating material (2).

Description

イオン及びオゾンの少なくともいずれか一方を発生する装置Apparatus for generating at least one of ions and ozone

　本発明は、コロナ放電（Corona discharge）に関連して少なくともイオン及びオゾンの少なくともいずれか一方を発生する装置（以下、単に装置と呼ぶことがある）に関する。 The present invention relates to an apparatus that generates at least one of ions and ozone in connection with corona discharge (hereinafter, simply referred to as an apparatus).

　大気中に存在する帯電微粒子は、分子の電離とその後の化学反応によって生成する小イオンと、小イオンが電気的に中性のエアロゾル(aerosol) に付着してできる大イオンに大別できる。負極性の小イオン（以下、マイナスイオンと呼ぶことがある）を効率的に発生させる方法の一つにコロナ放電が知られている。コロナ放電は、例えば、針状電極と平板電極間に高電圧差を生じさせてそれらの間にコロナ放電を生じさせる。針の先端付近ではプラズマが発生し、正イオンと負イオンが発生する。針状電極に印加する高電圧が負極性であれば、正イオンは電界によって針電極の方向に吸引される。負イオンは平板電極の方向に吸引される。この負イオンの一部が大気中に放出される。コロナ放電時には、正負イオンだけでなく３つの酸素原子からなる分子であるオゾン（O3）も生成される。負イオンの流れをイオン風、オゾンの流れをオゾン風と呼ぶ。 Charged fine particles existing in the atmosphere can be broadly classified into small ions generated by ionization of molecules and subsequent chemical reaction, and large ions formed by small ions adhering to an electrically neutral aerosol. Corona discharge is known as one method for efficiently generating small negative ions (hereinafter sometimes referred to as negative ions). In the corona discharge, for example, a high voltage difference is generated between the needle electrode and the plate electrode, and the corona discharge is generated between them. Plasma is generated near the tip of the needle, generating positive ions and negative ions. If the high voltage applied to the needle electrode is negative, positive ions are attracted in the direction of the needle electrode by the electric field. Negative ions are attracted in the direction of the plate electrode. Some of these negative ions are released into the atmosphere. During corona discharge, not only positive and negative ions, but also ozone (O3), which is a molecule composed of three oxygen atoms, is generated. The flow of negative ions is called ion wind, and the flow of ozone is called ozone wind.

　コロナ放電を発生させる装置として、例えば特許文献１に開示された構成（図３Ａ）がある。複数の金属板にそれぞれ付属する複数の金属体を互いに対向させ、複数のコロナ放電（図６、図８）を発生させて少なくともイオン及びオゾンのいずれか一方を発生する装置が、開示される。金属体は、様々な形状（針（needle）、ペンシル、三角錐、四角錐、または円柱）が、開示される。 As an apparatus for generating corona discharge, for example, there is a configuration disclosed in Patent Document 1 (FIG. 3A). An apparatus is disclosed in which a plurality of metal bodies respectively attached to a plurality of metal plates are opposed to each other to generate a plurality of corona discharges (FIGS. 6 and 8) to generate at least one of ions and ozone. Metal bodies are disclosed in various shapes (needle, pencil, triangular pyramid, quadrangular pyramid, or cylinder).

　コロナ放電を発生させる装置として、例えば特許文献２に開示された複数の構成がある。複数の空洞パターンを有する複数の金属板にそれぞれ対応する金属体（針（needle））を対向させ、コロナ放電（図１、図７、図９、及び図１０）を発生させる装置が、開示される。また、複数の金属板（ブレード）を互いに対向させ、コロナ放電（図３）を発生させる装置が、開示される。また、空洞を有する円筒金属に複数の金属突起部を有する金属棒を挿入し、金属突起部を円筒内で対向させ、コロナ放電（図５）を発生させる装置が、開示される。 As a device for generating corona discharge, for example, there are a plurality of configurations disclosed in Patent Document 2. An apparatus for generating corona discharge (FIGS. 1, 7, 9, and 10) by causing metal bodies (needles) respectively corresponding to a plurality of metal plates having a plurality of cavity patterns to face each other is disclosed. The Also disclosed is an apparatus for generating corona discharge (FIG. 3) by causing a plurality of metal plates (blades) to face each other. Also disclosed is an apparatus for generating a corona discharge (FIG. 5) by inserting a metal rod having a plurality of metal projections into a hollow cylindrical metal and causing the metal projections to face each other in the cylinder.

　コロナ放電を発生させる装置として、例えば特許文献３に開示された円筒形の構成（図１４、図１５、図１９）がある。放電電極２１と、放電電極２１が貫通する円形リング部４２１を有する接地電極部材４２と、放電電極２１の外周面に接して位置するシールド用ガス流出通路２５が、開示される。詳細には、円筒形の構成は、図１９から最も良く理解できるように、放電電極２１の長手方向に沿って、第１円周チャンバＳ１、第２段円周チャンバＳ２、第１ガス溜め２６を直列に配列し、そして、この第１ガス溜め２６の内周側に位置するシールド用ガス流出通路２５と第１ガス溜め２６とを径方向に重複した態様で配置する。シールド用ガス流出通路２５は、放電電極２１の長手方向中間部分から先端２１ｂに至るまで放電電極２１の外周に沿って肉薄の長い円筒状に延びている。よって、このシールド用ガス流出通路２５内を通過するクリーンガスは層流化されて放電電極２１の先端２１ｂを包囲した状態でワークに向けて中心開放口部２０７を通じて下方に流出する。従って、放電電極２１の先端２１ｂに対するシース効果を向上して、放電電極２１の汚染防止効果を向上する、ことが開示される。 As an apparatus for generating corona discharge, for example, there is a cylindrical configuration disclosed in Patent Document 3 (FIGS. 14, 15, and 19). A discharge electrode 21, a ground electrode member 42 having a circular ring portion 421 through which the discharge electrode 21 passes, and a shielding gas outflow passage 25 positioned in contact with the outer peripheral surface of the discharge electrode 21 are disclosed. Specifically, the cylindrical configuration can be best understood from FIG. 19 along the longitudinal direction of the discharge electrode 21, the first circumferential chamber S 1, the second stage circumferential chamber S 2, and the first gas reservoir 26. Are arranged in series, and the shielding gas outflow passage 25 and the first gas reservoir 26 located on the inner peripheral side of the first gas reservoir 26 are arranged in an overlapping manner in the radial direction. The shielding gas outflow passage 25 extends in the form of a thin and long cylinder along the outer periphery of the discharge electrode 21 from the longitudinal intermediate portion of the discharge electrode 21 to the tip 21b. Therefore, the clean gas passing through the shielding gas outflow passage 25 is laminarized and flows downward through the center opening 207 toward the work in a state of surrounding the tip 21b of the discharge electrode 21. Therefore, it is disclosed that the sheath effect on the tip 21b of the discharge electrode 21 is improved and the contamination prevention effect of the discharge electrode 21 is improved.

特開２０１６－２２５１６０号公報Japanese Unexamined Patent Publication No. 2016-225160 特許第５７７３２３１号公報Japanese Patent No. 5773231 特開２００９－１６３９４９号公報JP 2009-163949 A

　装置の小型化を目指しつつ性能を向上するために、単位面積（または単位容量）当たりのイオン及び又はオゾン風の量、イオン及び又はオゾン風の方向の指向性、電極の汚染量の減少によるメンテナンス性の向上、及び製造コストの減少、の少なくともいずれか一つを、更に高める必要がある。 Maintenance by reducing the amount of ions and / or ozone wind per unit area (or unit volume), directivity in the direction of ions and / or ozone wind, and the amount of contamination of electrodes in order to improve performance while aiming for downsizing of the device It is necessary to further increase at least one of improvement in performance and reduction in manufacturing cost.

　イオン風の量について、例えば特許文献１に開示された構成において、特許文献１の図１１が示すイオン量の測定グラフは、０．７×１００００ Ion/cm3である。 Regarding the amount of ion wind, for example, in the configuration disclosed in Patent Document 1, the measurement graph of the ion amount shown in FIG. 11 of Patent Document 1 is 0.7 × 10000 Ion / cm 3.

　装置の小型化について、例えば、特許文献１の図１（Ｄ）に開示された構成が示すＹ方向のギャップＧ５の寸法約５ｍｍを含めた装置全体の大きさを、更に小さくする要求がある。しかしながら、陽電極と陰電極をそれぞれ構成する金属板、円筒、等の形状およびコロナ放電領域を含めた装置全体の大きさを小さくしなければならないという課題を有する。この理由は、少なくとも「陽極と陰極が対向の位置関係」であると考える。また、特許文献３が開示する円筒形の構成は、構造が複雑であり且つ部品点数を増大させるため、小型化及びコスト削減が困難である。 Regarding downsizing of the device, for example, there is a demand for further reducing the size of the entire device including the dimension of the gap G5 in the Y direction indicated by the configuration disclosed in FIG. However, there is a problem that the size of the entire apparatus including the shape of the metal plate, cylinder, etc., and the corona discharge region, which respectively constitute the positive electrode and the negative electrode, must be reduced. The reason is considered to be at least “positional relationship between the anode and the cathode”. Further, the cylindrical configuration disclosed in Patent Document 3 has a complicated structure and increases the number of parts, so that it is difficult to reduce the size and cost.

　メンテナンス性の向上について、例えば、特許文献２の図７に開示された構成が示す第１の導電体５１Ａ及び第２の導電体５１Ｂの汚染量を減少する要求がある。しかしながら、第１の導電体５１Ａ／第２の導電体５１Ｂと電極５０との間で生じたコロナ放電にさらされた汚染物が、イオン風（左方向への風の流れ）の向きによって、第１の導電体５１Ａ／第２の導電体５１Ｂに付着する。これは、第１の導電体５１Ａ／第２の導電体５１Ｂが、コロナ放電領域に対して風下に位置するからである。よって、導電体の汚染を減少させることが難しい。これは、少なくとも「陽極と陰極が対向の位置関係」であることが課題の一つであると考える。また、特許文献３が開示するシース効果を向上して放電電極２１の汚染防止効果を向上する円筒形の構成は、小型化及びコスト削減を抑制する。 Regarding improvement of maintainability, for example, there is a demand to reduce the amount of contamination of the first conductor 51A and the second conductor 51B shown in the configuration disclosed in FIG. However, the contaminants exposed to the corona discharge generated between the first conductor 51A / second conductor 51B and the electrode 50 are affected by the direction of the ion wind (wind flow to the left). It adheres to the first conductor 51A / second conductor 51B. This is because the first conductor 51A / second conductor 51B is located leeward with respect to the corona discharge region. Therefore, it is difficult to reduce the contamination of the conductor. It is considered that one of the problems is that at least “the positional relationship between the anode and the cathode is opposite”. Moreover, the cylindrical structure which improves the sheath effect which patent document 3 discloses and improves the contamination prevention effect of the discharge electrode 21 suppresses size reduction and cost reduction.

　本発明のイオン及びオゾンの少なくともいずれか一方を発生する装置の一つの側面は、第１の貫通孔を有する第１の金属板と、第１の貫通孔を貫通する金属棒と、少なくとも第１の貫通孔を貫通する部分において、金属棒に密着させて金属棒を被覆して第１の金属板と金属棒との電気的絶縁を維持する絶縁材と、を有することを特徴とする。 One side surface of the apparatus for generating at least one of ions and ozone according to the present invention includes a first metal plate having a first through hole, a metal rod penetrating the first through hole, and at least a first metal plate. In the part which penetrates the through-hole of this, it has an insulating material which adhere | attaches a metal rod and coat | covers a metal rod, and maintains the electrical insulation with a 1st metal plate and a metal rod, It is characterized by the above-mentioned.

本発明の第１の実施例を簡素に例示する断面図。Sectional drawing which illustrates 1st Example of this invention simply. 図１の平面図。The top view of FIG. 図１のコロナ放電を示す模式図。The schematic diagram which shows the corona discharge of FIG. 本発明の第２の実施例を簡素に例示する断面図。Sectional drawing which illustrates 2nd Example of this invention simply. 図４の平面図。The top view of FIG. 図４のコロナ放電を示す模式図。The schematic diagram which shows the corona discharge of FIG. 本発明の第３の実施例を簡素に示す断面図。Sectional drawing which shows the 3rd Example of this invention simply. 図７に関連するオゾン量の第１の特性図。FIG. 8 is a first characteristic diagram of the ozone amount related to FIG. 7. 図７に関連するオゾン量の第２の特性図。FIG. 8 is a second characteristic diagram of the ozone amount related to FIG. 7. 図７に関連するオゾン量の第３の特性図。FIG. 8 is a third characteristic diagram of the ozone amount related to FIG. 7. 図７に関連するオゾン量の第４の特性図。FIG. 8 is a fourth characteristic diagram of the ozone amount related to FIG. 7. 本発明の第４の実施例を簡素に示す断面図。Sectional drawing which shows the 4th Example of this invention simply. 図８が開示する基板Ｂ１の平面図。The top view of board | substrate B1 which FIG. 8 discloses. 図８が開示する基板Ｂ２の平面図。The top view of board | substrate B2 which FIG. 8 discloses. 図８が開示する基板Ｂ３の平面図。The top view of board | substrate B3 which FIG. 8 discloses. 図８が開示する基板Ｂ４の平面図。The top view of board | substrate B4 which FIG. 8 discloses. 図８が開示する基板Ｂ５の平面図。The top view of board | substrate B5 which FIG. 8 discloses. 本発明の第５の実施例を簡素に示す断面図。Sectional drawing which shows the 5th Example of this invention simply.

１  　金属棒
２   　被覆体
３、７、４０、２４６　　金属板
４、８　　レジスト
５、９、Ｂ１、Ｂ２、Ｂ３、Ｂ４、Ｂ５　　絶縁板
６、１０、１１、１２、１３、１４、２３６、２３８、２５０、２５２、２５４、２５６、２５８　　貫通孔
１５　　基板
１６、２３３、２３４、２３５　　支持体
１００　システム
２００　モジュール
２１０　電源装置ＰＷＲ
２２０　送風機ファン
２２８、２２９  　排出口
Ｃ１、Ｃ２　コロナ放電領域
Ｄ１　　接続部
ＳＷ. スイッチ
Ｓｉｇ．制御信号 1 Metal rod 2

Cover

3, 7, 40, 246

Metal plate

4, 8 Resist 5, 9, B1, B2, B3, B4, B5

Insulating plate

6, 10, 11, 12, 13, 14, 236, 238, 250, 252, 254, 256, 258 Through-hole 15

Substrate

16, 233, 234, 235 Support 100 System 200 Module 210 Power supply PWR
220

Blower fan

228, 229 Discharge port C1, C2 Corona discharge area D1 Connection part SW. Switch Sig. Control signal

　図１、図２及び図３は、本発明の第１の実施例（イオンの発生を主体とする装置の一部）を簡素に例示する断面図、平面図及び模式図である。 FIG. 1, FIG. 2 and FIG. 3 are a cross-sectional view, a plan view, and a schematic view simply illustrating the first embodiment of the present invention (a part of an apparatus that mainly generates ions).

　図１（断面図）及び図２（平面図）において、金属棒１（Metal Rod）、被覆体２(絶縁材；Insulating film or Insulating material）、金属板３（第１の金属板；Metal plate or Metal substrate）、金属板３が有する貫通孔１２（第１の貫通孔；Through hole）、レジスト４（第１のレジスト）、絶縁板５（第１の絶縁板；Insulating plate）、及び、絶縁板５がそれぞれ有する貫通孔６（第３の貫通孔）及び貫通孔１３（第２の貫通孔）が、開示される。導電体の金属棒１（例えば、スズメッキ軟銅線）は、絶縁材である被覆体２（例えば、シリコーンゴム）で被覆されている。つまり、被覆体２は、金属棒１に密着するように被膜する。金属棒１の先端（ポジションＰ２側）は、金属が露出して電極となっている。金属棒１及び被覆体２は、図２に示すようにＸＹ方向に延在する絶縁板５（例えば、ガラス繊維の布にエポキシ樹脂をしみ込ませ熱硬化処理を施し板状にしたＦＲ－４（Flame Retardant Type 4））が有する貫通孔１３を介してポジションＰ１からポジションＰ２へ延在する。尚、ポジションＰ１及びＰ２は、Ｚ軸を示す。金属棒１及び被覆体２は、更に、導電体の金属板３（例えば、銅箔等のメタライズ（metallizing）パターン）が有する貫通孔１２を貫通する。被覆体２は、貫通孔１２の部分において、金属棒１と金属板３との電気的絶縁を維持する。絶縁体である不導体（絶縁性の材料）のレジスト４は、金属板３を覆う。貫通孔１３の直径は、金属棒１の直径を含む被覆体２の直径に実質的に等しい。金属板３は、貫通孔１２を有する円形である。貫通孔１２の直径は、貫通孔１３の直径よりも大きい。絶縁板５は、複数の貫通孔６（例えば、それらはそれぞれ円形）を有する。複数の貫通孔６は、金属棒１を中心に金属板３を取り囲む様に円形に配置される。尚、図1は図２を適宜に示す断面であり、当該事業者であれば容易に理解できる。 In FIG. 1 (cross-sectional view) and FIG. 2 (plan view), a metal rod 1 (Metal Rod), a covering 2 (insulating material; Insulating film or Insulating material), a metal plate 3 (first metal plate; Metal plate or) Metal substrate), through hole 12 (first through hole), resist 4 (first resist), insulating plate 5 (first insulating plate; Insulating plate), and insulating plate of metal plate 3 A through-hole 6 (third through-hole) and a through-hole 13 (second through-hole) each 5 has are disclosed. A conductive metal rod 1 (for example, tin-plated annealed copper wire) is covered with a covering 2 (for example, silicone rubber) that is an insulating material. That is, the covering 2 is coated so as to be in close contact with the metal rod 1. The tip of the metal bar 1 (position P2 side) is an electrode with the metal exposed. As shown in FIG. 2, the metal rod 1 and the cover 2 are made of an insulating plate 5 extending in the XY direction (for example, FR-4 (which is formed into a plate shape by impregnating an epoxy resin into a glass fiber cloth and applying a thermosetting treatment). It extends from the position P1 to the position P2 through the through hole 13 of Flame Retardant Type 4)). Positions P1 and P2 indicate the Z axis. The metal rod 1 and the covering 2 further penetrate through a through-hole 12 included in a metal plate 3 of a conductor (for example, a metallizing pattern such as a copper foil). The cover 2 maintains electrical insulation between the metal rod 1 and the metal plate 3 in the portion of the through hole 12. A resist 4 made of a nonconductor (insulating material) that is an insulator covers the metal plate 3. The diameter of the through hole 13 is substantially equal to the diameter of the covering 2 including the diameter of the metal rod 1. The metal plate 3 has a circular shape having a through hole 12. The diameter of the through hole 12 is larger than the diameter of the through hole 13. The insulating plate 5 has a plurality of through holes 6 (for example, they are each circular). The plurality of through holes 6 are arranged in a circle so as to surround the metal plate 3 around the metal rod 1. FIG. 1 is a cross-sectional view appropriately showing FIG. 2, and can be easily understood by the business operator.

　図３（模式図）において、導電体の金属棒１は、負電圧（例えば、マイナス６，０００Ｖ）が供給される陰極である。金属板３は、正電圧（例えば、グランド電圧０Ｖ；ＧＮＤ）が供給される陽極である。すると、コロナ放電領域Ｃ１が生ずる。コロナ放電領域Ｃ１は、金属棒１の先端と金属板３を基準とする立体的なドーム型のイメージである。コロナ放電領域によって、空気（大気）が電気分解されてポジションＰ２からポジションＰ１の方向性を有するイオン（負イオン）及びオゾンが発生する。他方、後述するファンがポジションＰ１からポジションＰ２の方向へ風の流れ（エアーフロー２０）を形成する。ファンが形成するエアフロ―２０の風速が強いので、生成されたＰ２からＰ１の方向性を有するイオン及びオゾンは、結果的にポジションＰ１からポジションＰ２の方向性有するイオン風及びオゾン風となる。よって、最終的に、絶縁板５が有する貫通孔６にイオン及びオゾンの流れが生ずる。つまり、イオン風及びオゾン風は、後述するファンによって、それらの流れの方向が所定の方向（ポジションＰ１からポジションＰ２の方向）へ確実化され、且つその風量が加速される。第１の実施例は、主にイオンの発生量を狙った(即ち、イオンリッチ)装置であり、それは構造設計、電気設計、等から決定される。 In FIG. 3 (schematic diagram), a conductive metal rod 1 is a cathode to which a negative voltage (for example, minus 6,000 V) is supplied. The metal plate 3 is an anode to which a positive voltage (for example, ground voltage 0V; GND) is supplied. Then, a corona discharge region C1 is generated. The corona discharge area C <b> 1 is a three-dimensional dome-shaped image based on the tip of the metal rod 1 and the metal plate 3. Air (atmosphere) is electrolyzed by the corona discharge region, and ions (negative ions) and ozone having a directionality from position P2 to position P1 are generated. On the other hand, a fan described later forms a wind flow (air flow 20) from the position P1 to the position P2. Since the wind speed of the airflow 20 formed by the fan is strong, the generated ions and ozone having the direction from P2 to P1 become the ion wind and ozone wind having the direction from position P1 to position P2. Therefore, finally, the flow of ions and ozone occurs in the through hole 6 of the insulating plate 5. In other words, the flow of the ion wind and the ozone wind is ensured in a predetermined direction (the direction from the position P1 to the position P2) by a fan described later, and the air volume is accelerated. The first embodiment is an apparatus mainly aimed at the generation amount of ions (that is, ion-rich), which is determined from structural design, electrical design, and the like.

　第１の実施例において、Ｚ軸の視点において、コロナ放電領域Ｃ１が金属棒１の一部を内包するように覆っている。言い換えれば、「コロナ放電領域が陰極の一部を内包する構造設計」であるといえる。この構造設計は、「傘とその軸」の様に考えることができる。よって、従来の「陰極と陽極が対応する構造設計」と比べてコロナ放電領域を単独で確保する必要がないから、装置の小型化が可能である。更に、陽極（金属板３）がイオン風及びオゾン風の風元側に配置され、陰極（金属棒１の先端部）がイオン風及びオゾン風の風下側に配置される。よって、金属板３（陽極側）に汚染物が付着する量を抑制できる。従って、メンテナンス性の向上が期待できる。更に、レジスト４が金属板３を覆っているので、金属板３に付着する汚染物の量を極端に抑制できる。 In the first embodiment, the corona discharge region C1 covers a part of the metal rod 1 from the viewpoint of the Z axis. In other words, it can be said that “the corona discharge region includes a part of the cathode”. This structural design can be thought of as an “umbrella and its axis”. Therefore, it is not necessary to secure a corona discharge region alone as compared with the conventional “structural design corresponding to the cathode and anode”, and the apparatus can be downsized. Furthermore, the anode (metal plate 3) is disposed on the wind source side of the ion wind and the ozone wind, and the cathode (the tip of the metal rod 1) is disposed on the lee side of the ion wind and the ozone wind. Therefore, the amount of contaminants attached to the metal plate 3 (anode side) can be suppressed. Therefore, improvement in maintainability can be expected. Furthermore, since the resist 4 covers the metal plate 3, the amount of contaminants attached to the metal plate 3 can be extremely suppressed.

　第１の実施例において、被覆体２によらず露出した金属棒１の先端（ポジションＰ２側）の長さは１ｍｍである。被覆体２が金属棒１を被覆する長さは、１４ｍｍである。絶縁板５の厚さは、１．６ｍｍである。絶縁板５が有する貫通孔１３の直径は、３．２ｍｍである。絶縁板５が有する貫通孔６の直径は、６ｍｍである。金属板３の直径は、１０ｍｍである。金属板３が有する貫通孔１２の直径は、５ｍｍである。図２におけるＸ方向のそれぞれ上下２つの貫通孔６の配置間隔は、８ｍｍである。中段２つの貫通孔６の配置間隔は、１６ｍｍである。図２におけるＹ方向の３つの貫通孔６の配置ピッチは、７ｍｍである。これらは、後述する図１４及び１５にもそれらの一部が記載されている。 In the first embodiment, the length of the tip (position P2 side) of the exposed metal rod 1 regardless of the covering 2 is 1 mm. The length with which the covering 2 covers the metal rod 1 is 14 mm. The thickness of the insulating plate 5 is 1.6 mm. The diameter of the through hole 13 included in the insulating plate 5 is 3.2 mm. The diameter of the through hole 6 included in the insulating plate 5 is 6 mm. The diameter of the metal plate 3 is 10 mm. The diameter of the through hole 12 included in the metal plate 3 is 5 mm. The arrangement interval between the two upper and lower through holes 6 in the X direction in FIG. 2 is 8 mm. The arrangement interval between the two through holes 6 in the middle stage is 16 mm. The arrangement pitch of the three through holes 6 in the Y direction in FIG. 2 is 7 mm. Some of these are also described in FIGS. 14 and 15 described later.

　第１の実施例において、発生したイオンの量を測定した。それは、５３０×１０，０００ Ion/cm3を測定した。測定条件は、装置から３００ｍｍに測定器を設定した。 In the first example, the amount of generated ions was measured. It measured 530 × 10,000 Ion / cm 3. Measurement conditions were set to 300 mm from the apparatus.

　この結果に対して、図示しないが、金属板３よりも直径サイズを小さくした別の金属板（以下「小さくした金属板」と称する）を用いた場合のイオンの量は、４２０×１０，０００ Ion/cm3を測定した。小さくした金属板の直径は、８ｍｍである。小さくした金属板が有する貫通孔の直径は、貫通孔１２のそれよりも小さく、４．５ｍｍとした。発生するイオンの量は、金属板３及び貫通孔１２のように直径が大きい方が多いことが理解できる。言い換えれば、第１の実施例のように、金属板３が有する貫通孔１２の直径は、絶縁板５が有する貫通孔１３の直径よりも大きいことが望ましい。 In contrast to this result, although not shown, the amount of ions when using another metal plate having a diameter smaller than that of the metal plate 3 (hereinafter referred to as “small metal plate”) is 420 × 10,000. Ion / cm3 was measured. The diameter of the reduced metal plate is 8 mm. The diameter of the through-hole which the metal plate made small was smaller than that of the through-hole 12, and was 4.5 mm. It can be understood that the amount of ions generated is larger when the diameter is larger, like the metal plate 3 and the through hole 12. In other words, as in the first embodiment, it is desirable that the diameter of the through hole 12 included in the metal plate 3 is larger than the diameter of the through hole 13 included in the insulating plate 5.

　第１の実施例において、被覆体２は図３が示す好ましいコロナ放電を形成する一つの要素である。例えば、被覆体２を削除すると、金属棒１と金属板３の最も短い距離の場所で絶対電圧６ｋＶの放電が起きるからである。但し、絶縁板５が有する貫通孔１３の直径をより大きくすれば、被覆体２は無くすことも可能と考える。 In the first embodiment, the covering 2 is one element that forms the preferred corona discharge shown in FIG. For example, if the covering 2 is deleted, a discharge with an absolute voltage of 6 kV occurs at the shortest distance between the metal rod 1 and the metal plate 3. However, if the diameter of the through hole 13 of the insulating plate 5 is made larger, it is considered that the covering 2 can be eliminated.

　第１の実施例において、コロナ放電の形状が最も効率的なのは、立体的な半球型であるドームである。してみると、第１の実施例のように貫通孔１２、貫通孔１３及び貫通孔６の形状を円形とするのが好ましい。 In the first embodiment, the most efficient corona discharge shape is a three-dimensional hemispherical dome. Accordingly, it is preferable that the through hole 12, the through hole 13, and the through hole 6 have a circular shape as in the first embodiment.

　図４、図５及び図６は、本発明の第２の実施例（オゾンの発生を主体とする装置の一部）を簡素に例示する断面図、平面図及び模式図である。第１の実施例と同一の内容は同一の符号によって、それらの説明を省略する。 FIGS. 4, 5 and 6 are a cross-sectional view, a plan view and a schematic view simply illustrating a second embodiment of the present invention (a part of an apparatus mainly composed of ozone generation). The same contents as those of the first embodiment are denoted by the same reference numerals, and the description thereof is omitted.

　図４（断面図）及び図５（平面図）において、金属板７（第２の金属板）、金属板２が有する貫通孔１４（第４の貫通孔）、レジスト８（第２のレジスト）、絶縁板９（第２の絶縁板）、及び第２の絶縁板９がそれぞれ有する貫通孔１０（第６の貫通孔）及び貫通孔１１（第５の貫通孔）が、新たに開示される。絶縁板９、金属板７及びレジスト８は、ポジションＰ２側に配置される。ＸＹ方向に延在する絶縁板９、貫通孔１０及び貫通孔１１の特徴は、絶縁板５、貫通孔６及び貫通孔１３のそれぞれの特徴に対応する。レジスト８の特徴は、レジスト４の特徴に対応する。金属板７の特徴は、金属板３の特徴に対応する。貫通孔１４の直径は、貫通孔１１の直径よりも大きい。複数の貫通孔１０は、金属棒１を中心に金属板７を取り囲む様に円形に配置される。 4 (sectional view) and FIG. 5 (plan view), a metal plate 7 (second metal plate), a through hole 14 (fourth through hole) included in the metal plate 2, and a resist 8 (second resist). , An insulating plate 9 (second insulating plate), and a through hole 10 (sixth through hole) and a through hole 11 (fifth through hole) respectively included in the second insulating plate 9 are newly disclosed. . The insulating plate 9, the metal plate 7, and the resist 8 are disposed on the position P2 side. The characteristics of the insulating plate 9, the through hole 10, and the through hole 11 extending in the XY direction correspond to the characteristics of the insulating plate 5, the through hole 6, and the through hole 13. The characteristics of the resist 8 correspond to the characteristics of the resist 4. The features of the metal plate 7 correspond to the features of the metal plate 3. The diameter of the through hole 14 is larger than the diameter of the through hole 11. The plurality of through holes 10 are arranged in a circle so as to surround the metal plate 7 around the metal rod 1.

　図６（模式図）において、導電体の金属棒１は、負電圧（例えば、マイナス６，０００Ｖ）が供給される陰極である。金属板７は、正電圧（例えば、グランド電圧０Ｖ）が供給される陽極である。金属板３は、電圧が供給されないフローティングである。すると、コロナ放電領域Ｃ２が生ずる。コロナ放電領域Ｃ２は、金属棒１の先端と金属板７を基準とするドーム型のイメージである。コロナ放電領域によって、空気（大気）が電気分解されてイオン（負イオン）及びオゾンが発生する。それらの幾つかは、ポジションＰ１からポジションＰ２へのイオン風及びオゾン風となり、絶縁板９が有する貫通孔１０にエアー３０の流れが生ずる。尚、イオン風及びオゾン風は、後述するファンによって、それらの流れの方向が所定の方向（ポジションＰ１からポジションＰ２の方向）へ確実化され、且つその風量が加速される。第２の実施例は、主にオゾンの発生量を狙った(即ち、オゾンリッチ)装置であり、それは構造設計、電気設計等から決定される。 In FIG. 6 (schematic diagram), a conductive metal rod 1 is a cathode to which a negative voltage (for example, minus 6,000 V) is supplied. The metal plate 7 is an anode to which a positive voltage (for example, ground voltage 0V) is supplied. The metal plate 3 is in a floating state where no voltage is supplied. Then, a corona discharge region C2 is generated. The corona discharge area C <b> 2 is a dome-shaped image based on the tip of the metal rod 1 and the metal plate 7. Air (atmosphere) is electrolyzed by the corona discharge region to generate ions (negative ions) and ozone. Some of them become ion wind and ozone wind from the position P1 to the position P2, and the flow of the air 30 is generated in the through hole 10 of the insulating plate 9. In addition, the flow direction of the ion wind and the ozone wind is ensured in a predetermined direction (direction from the position P1 to the position P2) by a fan described later, and the air volume is accelerated. The second embodiment is an apparatus mainly aimed at the amount of ozone generated (that is, ozone rich), which is determined from structural design, electrical design, and the like.

　ここで、図６（模式図）において、金属板３は、電圧が供給されないフローティング（floating）である。詳細は、後述する図７及び特性表１から４で説明する。 Here, in FIG. 6 (schematic diagram), the metal plate 3 is in a floating state to which no voltage is supplied. Details will be described later with reference to FIG. 7 and characteristic tables 1 to 4.

　第２の実施例において、コロナ放電領域Ｃ２が金属棒１と金属板７との間に独立して介在し、且つ、オゾン発生を抑制する金属板５が、金属棒１の先端を挟むように金属板７と対向する。言い換えれば、「Ｚ軸の視点において、陽極と陰極が対向の位置関係であり、且つ陽極とフローティング極が対向の関係、である構造設計」といえる。よって、コロナ放電によって発生するオゾンの量を制御可能である。更に、絶縁板９が、陽極（金属板７）と金属棒１との間に配置される。言い換えれば、陰極（金属棒１の先端部）がイオン風及びオゾン風の風元側に配置される。絶縁板９は、金属板７と共にイオン風及びオゾン風の風下側に配置される。しかし、絶縁板９は、金属板７（陽極側）に汚染物が付着する量を抑制できる。従って、メンテナンス性の向上が期待できる。更に、レジスト８が金属板７を覆っているので、金属板７に付着する汚染物の量を極端に抑制できる。 In the second embodiment, the corona discharge region C2 is independently interposed between the metal rod 1 and the metal plate 7, and the metal plate 5 that suppresses ozone generation sandwiches the tip of the metal rod 1. It faces the metal plate 7. In other words, it can be said that “a structural design in which the anode and the cathode are opposed to each other and the anode and the floating electrode are opposed to each other from the viewpoint of the Z axis”. Therefore, the amount of ozone generated by corona discharge can be controlled. Further, an insulating plate 9 is disposed between the anode (metal plate 7) and the metal rod 1. In other words, the cathode (the tip of the metal rod 1) is disposed on the wind source side of the ion wind and the ozone wind. The insulating plate 9 is disposed on the leeward side of the ion wind and the ozone wind together with the metal plate 7. However, the insulating plate 9 can suppress the amount of contaminants attached to the metal plate 7 (anode side). Therefore, improvement in maintainability can be expected. Furthermore, since the resist 8 covers the metal plate 7, the amount of contaminants attached to the metal plate 7 can be extremely suppressed.

　第２の実施例において、絶縁板９の厚さは、１．６ｍｍである。絶縁板９が有する貫通孔１１の直径は、３．２ｍｍである。絶縁板９が有する貫通孔１０の直径は、６ｍｍである。金属板７の直径は、８ｍｍである。それは、金属板３の直径（１０ｍｍ）よりも小さい。金属板７が有する貫通孔１４の直径は、４．５ｍｍである。図５におけるＸ方向のそれぞれ上下２つの貫通孔１０の配置間隔は、８ｍｍである。中段２つの貫通孔６の配置間隔は、１６ｍｍである。図５におけるＹ方向の３つの貫通孔６の配置ピッチは、７ｍｍである。これらは、後述する図１６にもそれらの一部が記載されている。 In the second embodiment, the thickness of the insulating plate 9 is 1.6 mm. The diameter of the through hole 11 included in the insulating plate 9 is 3.2 mm. The diameter of the through hole 10 included in the insulating plate 9 is 6 mm. The diameter of the metal plate 7 is 8 mm. It is smaller than the diameter (10 mm) of the metal plate 3. The diameter of the through hole 14 included in the metal plate 7 is 4.5 mm. The arrangement interval between the two upper and lower through holes 10 in the X direction in FIG. 5 is 8 mm. The arrangement interval between the two through holes 6 in the middle stage is 16 mm. The arrangement pitch of the three through holes 6 in the Y direction in FIG. 5 is 7 mm. Some of these are also described in FIG.

　第２の実施例において、発生したオゾンの量を測定した。それは、０．０５ｐｐｍ以下を測定した。測定条件は、装置から５０ｍｍに測定器を設定した。尚、JIS（日本工業規格）が定める基準値（０．０５ｐｐｍ以下）が指標である。 In the second example, the amount of generated ozone was measured. It measured 0.05 ppm or less. The measuring condition was set to 50 mm from the apparatus. In addition, the standard value (0.05 ppm or less) defined by JIS (Japanese Industrial Standard) is an index.

　この結果に対して、図示しないが、金属板７よりも直径サイズを大きくした別の金属板を用いた場合のオゾンの量は、０．０５ｐｐｍ以上を測定した。よって、発生するオゾンの量は、第２の実施例のように直径が小さい金属板７を用いた方が少なくて良好であることが理解できる。更に、この結果に対して、図示しないが、貫通孔１１（第５の貫通孔）のサイズは、発生するオゾンの量に関連する。例えば、貫通孔１１のサイズを小さくすれば発生するオゾンの量は減少する。また、この視点において、貫通孔１１を設けなくても良い。この場合、発生するオゾンの量は、最も少ない値となる。 In contrast to this result, although not shown, the amount of ozone when a different metal plate having a diameter larger than that of the metal plate 7 was used was measured to be 0.05 ppm or more. Therefore, it can be understood that the amount of ozone generated is better when the metal plate 7 having a smaller diameter is used as in the second embodiment. Furthermore, although not shown with respect to this result, the size of the through hole 11 (fifth through hole) is related to the amount of ozone generated. For example, if the size of the through hole 11 is reduced, the amount of ozone generated decreases. Further, from this viewpoint, the through hole 11 may not be provided. In this case, the amount of ozone generated is the smallest value.

　第２の実施例において、「Ｚ軸の視点において、陽極と陰極が対向の位置関係であり、且つ陽極とフローティング極が対向の関係」は図６が示す好ましいコロナ放電を形成する一つの要素である。例えば、金属板３（フローティング極）、若しくは金属板３（フローティング極）及び絶縁板５を追加または削除すると、発生するオゾン量を制御できるからである。詳細は、後述する図７及び特性表１から４で説明する。 In the second embodiment, “in the viewpoint of the Z axis, the anode and the cathode are opposed to each other and the anode and the floating electrode are opposed to each other” is one element that forms a preferable corona discharge shown in FIG. is there. For example, if the metal plate 3 (floating electrode), or the metal plate 3 (floating electrode) and the insulating plate 5 are added or deleted, the amount of ozone generated can be controlled. Details will be described later with reference to FIG. 7 and characteristic tables 1 to 4.

　図７は、本発明の第３の実施例（オゾンの発生を主体とする装置の一部）を簡素に例示する断面図である。第１及び第２の実施例と同一の内容は同一の符号によって、それらの説明を省略する。 FIG. 7 is a cross-sectional view simply illustrating a third embodiment of the present invention (a part of an apparatus mainly composed of ozone generation). The same contents as those in the first and second embodiments are denoted by the same reference numerals, and the description thereof is omitted.

　図７（断面図）は、４つの装置をＣａｓｅ１からＣａｓｅ４で開示する。Ｃａｓｅ４は、第２の実施例（図４）に対応する。符号１５は、金属棒１を支持し、金属棒１に負電圧を供給して陰極とする基板である。基板１５は、絶縁板５と同一の特性であってもよい。符号１６は、基板１５と絶縁板５を支持する支持体である。金属棒１の先端である被覆体２が露出した電極と基板１５の距離Ｄは、１５ｍｍである。Ｃａｓｅ３は、絶縁板９に付随する金属板４０を開示する。金属板４０は、Ｃａｓｅ４の装置の金属板７の配置に対して反転した金属棒１側に配置される。金属板４０は、金属板７と同一特性を有する。Ｃａｓｅ２は、Ｃａｓｅ４に対して絶縁板５及び金属板３を排除した構造である。Ｃａｓｅ１は、Ｃａｓｅ３に対して絶縁板５及び金属板３を排除した構造である。Ｃａｓｅ１からＣａｓｅ４において、金属棒１の先端とそれぞれ対応する金属板７又は金属板４０までの距離（ｍｍ）は、Ｚ軸の視点において、それぞれＸ１からＸ４で示される。 FIG. 7 (cross-sectional view) discloses four devices in Case 1 to Case 4. Case 4 corresponds to the second embodiment (FIG. 4). Reference numeral 15 denotes a substrate that supports the metal rod 1 and supplies a negative voltage to the metal rod 1 to serve as a cathode. The substrate 15 may have the same characteristics as the insulating plate 5. Reference numeral 16 denotes a support that supports the substrate 15 and the insulating plate 5. The distance D between the electrode from which the covering 2 that is the tip of the metal rod 1 is exposed and the substrate 15 is 15 mm. Case 3 discloses a metal plate 40 associated with the insulating plate 9. The metal plate 40 is disposed on the metal rod 1 side that is inverted with respect to the arrangement of the metal plate 7 of the Case 4 device. The metal plate 40 has the same characteristics as the metal plate 7. Case 2 has a structure in which the insulating plate 5 and the metal plate 3 are excluded from the Case 4. Case 1 has a structure in which the insulating plate 5 and the metal plate 3 are excluded from Case 3. In Case 1 to Case 4, the distance (mm) to the

metal plate

7 or 40 corresponding to the tip of the metal rod 1 is indicated by X1 to X4, respectively, from the viewpoint of the Z axis.

　図８から図１１の特性図は、図７が開示するＣａｓｅ１からＣａｓｅ４にそれぞれ対応する距離Ｘ１から距離Ｘ４に対応するオゾン発生量（ｐｐｍ）を示す特性図である。図８は、Ｃａｓｅ１とＣａｓｅ２のオゾン発生量を比較している。Ｃａｓｅ１における金属板４０は、絶縁板９の金属棒１に対面する側に位置しているが、Ｃａｓｅ２における金属板７は、絶縁板９の金属棒１に対面しない側（裏面）に位置している。所定のオゾン量を発生するために、Ｃａｓｅ１の装置における距離Ｘ１対して、Ｃａｓｅ２の装置における距離Ｘ２は小さくすることができる。つまり、金属棒１の先端（陰極）と金属板７の間に絶縁板９を挟むＣａｓｅ２の構造は、最も効率よいオゾン発生量が期待できる。すなわち装置の小型化が達成できる。また、金属板７の汚染物による汚れの付着量も、金属板４０よりも少ないことが理解できる。これは、メンテナンスコストの削減が期待できる。図９は、Ｃａｓｅ３とＣａｓｅ４のオゾン発生量を比較している。Ｃａｓｅ３及びＣａｓｅ４は、フローティング電位の金属板３及び対応する絶縁板５をグリッド電極として採用している。更に、絶縁板９に対する金属板７及び４０は、それぞれＣａｓｅ２及び１とそれぞれ同様である。所定のオゾン量を発生するために、Ｃａｓｅ３の装置における距離Ｘ３に対して、Ｃａｓｅ４の装置における距離Ｘ４は、小さくすることができる。更に、Ｃａｓｅ３およびＣａｓｅ４における絶縁板５の存在は、オゾン発生量をＣａｓｅ１及びＣａｓｅ２に対して絶対量で更に少なくすることが理解できる。図１０は、Ｃａｓｅ１とＣａｓｅ３のオゾン発生量を比較している。図１１は、Ｃａｓｅ２とＣａｓｅ４のオゾン発生量を比較している。Ｃａｓｅ３およびＣａｓｅ４の絶縁板５の存在は、オゾン発生量を制御する側面において有効であることが理解できる。ここで、顧客が求めるオゾン発生量において、図１１に示すＣａｓｅ２とＣａｓｅ４の装置は、それぞれ有効である。例えば、Ｃａｓｅ２の装置は、人体等が存在しない空間において、最大の殺菌能力が得られる。更に、金属板７の汚染物の付着量を最小にできる。例えば、Ｃａｓｅ４の装置は、人体等が存在する空間において、小さな装置構造で効率的にオゾンが発生できる。更に、金属板７の汚染物の付着量を最小にできる。尚、人体等が存在する空間においてＪＩＳ（日本工業規格）が定める基準値は、０．０５ｐｐｍ以下である。 8 to 11 are characteristic diagrams showing ozone generation amounts (ppm) corresponding to the distances X1 to X4 corresponding to Case 1 to Case 4 disclosed in FIG. 7, respectively. FIG. 8 compares the ozone generation amounts of Case1 and Case2. The metal plate 40 in Case 1 is located on the side of the insulating plate 9 facing the metal rod 1, but the metal plate 7 in Case 2 is located on the side of the insulating plate 9 that does not face the metal rod 1 (back surface). Yes. In order to generate a predetermined amount of ozone, the distance X2 in the Case 2 apparatus can be made smaller than the distance X1 in the Case 1 apparatus. That is, the structure of Case 2 in which the insulating plate 9 is sandwiched between the tip (cathode) of the metal rod 1 and the metal plate 7 can be expected to produce the most efficient ozone generation amount. That is, downsizing of the apparatus can be achieved. Further, it can be understood that the amount of dirt attached due to contaminants on the metal plate 7 is also smaller than that of the metal plate 40. This can be expected to reduce maintenance costs. FIG. 9 compares the ozone generation amounts of Case 3 and Case 4. Case 3 and Case 4 employ a floating potential metal plate 3 and a corresponding insulating plate 5 as grid electrodes. Further, the

metal plates

7 and 40 for the insulating plate 9 are the same as

Cases

2 and 1, respectively. In order to generate a predetermined amount of ozone, the distance X4 in the Case 4 apparatus can be made smaller than the distance X3 in the Case 3 apparatus. Furthermore, it can be understood that the presence of the insulating plate 5 in Case 3 and Case 4 further reduces the amount of ozone generation in absolute amount with respect to Case 1 and Case 2. FIG. 10 compares the ozone generation amounts of Case1 and Case3. FIG. 11 compares the ozone generation amounts of Case2 and Case4. It can be understood that the presence of the insulating plates 5 of Case 3 and Case 4 is effective in controlling the amount of ozone generated. Here, Case 2 and Case 4 shown in FIG. 11 are effective in the amount of ozone generated by the customer. For example, the Case 2 apparatus can obtain the maximum sterilizing ability in a space where no human body exists. Furthermore, the amount of contaminants attached to the metal plate 7 can be minimized. For example, the Case 4 device can efficiently generate ozone with a small device structure in a space where a human body or the like exists. Furthermore, the amount of contaminants attached to the metal plate 7 can be minimized. In addition, the standard value which JIS (Japanese Industrial Standard) defines in the space where a human body etc. exists is 0.05 ppm or less.

　図１２は、本発明の第４の実施例（イオンの発生を主体とする装置とオゾンの発生を主体とする装置を組み込んだシステムの一部）を簡素に例示する断面図である。第１から第３の実施例と同一の内容は同一の符号によって、それらの説明を省略する。 FIG. 12 is a cross-sectional view simply illustrating a fourth embodiment of the present invention (a part of a system incorporating a device mainly composed of ions and a device mainly composed of ozone). The same contents as those in the first to third embodiments are denoted by the same reference numerals, and the description thereof is omitted.

　図１２において、システム１００は、筐体、送風機であるファン（Ｆａｎ）２２０、電源装置であるＰＷＲ２１０、及びイオン及びオゾンを発生するモジュール２００、並びにモジュール２００を筐体に支持する接続部Ｄ１を有する。ＰＷＲ２１０は、システム１００の外部から電源が供給され、マークＳで示される直流の－６Ｋｖの電圧を発生し、モジュール２００へ供給する。ＰＷＲ２１０は、ファン２２０へも所定電圧を供給する。ファン２２０は、筐体が有する吸引口（それは左側の破線部に対応する）から外部のエアー２３０を吸引し、筐体が有する排出口２２８、２２９からエアー２３１、２３２を排出する。これはポジションＰ１からポジションＰ２への風の流れを誘引している。ファン２２０は、前述したようにモジュール２００自身が引き起こすオゾン風もしくはイオン風をアシストする役割を持つ。 In FIG. 12, a system 100 includes a housing, a fan 220 that is a blower, a PWR 210 that is a power supply device, a module 200 that generates ions and ozone, and a connection portion D1 that supports the module 200 on the housing. . The PWR 210 is supplied with power from the outside of the system 100, generates a DC voltage of −6 Kv indicated by the mark S, and supplies it to the module 200. The PWR 210 also supplies a predetermined voltage to the fan 220. The fan 220 sucks external air 230 from a suction port (which corresponds to the broken line portion on the left side) of the housing, and discharges

air

231 and 232 from the

discharge ports

228 and 229 of the housing. This induces a wind flow from position P1 to position P2. The fan 220 has a role of assisting ozone wind or ion wind caused by the module 200 itself as described above.

　図１２が示す断面図において、モジュール２００は、実施例１に対応する３つの装置（イオンの発生を主体とする装置）２０１～２０３と、実施例２及びＣａｓｅ４に対応する１つの装置（オゾンの発生を主体とする装置）２０４を有する。それら装置２０１～２０４は、図１２に示す通り、Ｙ方向に並べて配置されている。また図１２は断面図であるため同図には示されていないが、図１３～図１７を用いて後述するように、装置２０１～２０４は、各々、Ｘ方向に２つずつ配列されている。各装置２０１～２０４には、ＰＷＲ２１０から－６Ｋｖの電圧、及びＧＮＤが供給される。モジュール２００は、５枚の絶縁板Ｂ１～Ｂ５で構成される。ポジションＰ１側からポジションＰ２側に向かって、装置２０４の金属棒１をサポートする絶縁板Ｂ１、装置２０１～２０３の金属棒１をサポートする絶縁板Ｂ２、装置２０１～２０３の金属板２４６（図１５）をサポートする絶縁板Ｂ３、安全機能（感電防止）としての絶縁板Ｂ４及びＢ５である。絶縁板Ｂ３は、絶縁板５（図１）に対応する。絶縁板Ｂ２は、装置２０４の絶縁板を兼用していて、図４の絶縁板５に相当する。絶縁板Ｂ４は、装置２０４の絶縁板を兼用していて、図４の絶縁板９に相当する。装置２０１～２０４の特徴は、前述したとおりである。５つの絶縁板Ｂ１～Ｂ５は、図７で示した支持体１６に相当する支持体２３３、２３４、２３５でそれぞれサポートされる。モジュール２００の各部の寸法（ｍｍ）は、図１２に示される。金属棒１の露出長さＬ１は、１ｍｍである。被覆体２が金属棒を被覆する長さＬ２は、１４ｍｍである。装置２０１～２０３のそれぞれの金属棒１の先端から絶縁板Ｂ４までの距離Ｌ３は、１．６ｍｍである。装置２０４の金属棒１の先端から絶縁板Ｂ４までの距離Ｌ４は、８．２ｍｍである。装置２０４の金属棒１の先端から絶縁板Ｂ２の金属板３までの距離Ｌ５は、８．４ｍｍである。絶縁板Ｂ４と絶縁板Ｂ５の距離Ｌ６は、１ｍｍである。支持体２３４のうち、絶縁板Ｂ１と絶縁板Ｂ２を支持する部分の長さＬ７、並びに絶縁板Ｂ２と絶縁板Ｂ３を支持する部分の長さＬ８は、それぞれ５ｍｍである。支持体２３４のうち、絶縁板Ｂ３と絶縁板Ｂ４を支持する部分の長さＬ９は、１０ｍｍである。支持体２３５のうち、絶縁板Ｂ２と絶縁板Ｂ４を支持する部分の長さＬ１０は、１６．６ｍｍである。モジュール２００の製造コストを削減するために、各絶縁板、各金属板、各金属棒、及び各被覆体は、それぞれ同一の特性を有することが望ましい。例えば、各絶縁板がそれぞれ有する孔の規格を同一にすることで、絶縁板の製造工程を簡素にできる。大きな１枚の絶縁基板から、絶縁板Ｂ１、Ｂ２、Ｂ３、Ｂ４、Ｂ５を得ることができる。更に、絶縁板Ｂ２が装置２０４の絶縁板を兼用することで、モジュール２００の製造コストが削減される。絶縁板Ｂ４が装置２０４の絶縁板を兼用することは、モジュール２００の製造コストを削減する。更に、装置（イオンの発生を主体とする装置）２０１～２０３と、装置（オゾンの発生を主体とする装置）２０４を一つのモジュールとすることで、システム１００の製造コストを削減できる。更に、後述する図１３～図１７で示されるように、複数の装置（イオンの発生を主体とする装置）２０１～２０３を一つの絶縁基板に搭載することで、製造コストを削減できる。更に、後述する図１３～図１７で示されるように、複数の装置（オゾンの発生を主体とする装置）２０４を一つの絶縁基板に搭載することで、製造コストを削減できる。尚、装置２０４の絶縁基板Ｂ１と装置２０３の絶縁基板Ｂ２を、ひとつの絶縁基板で実現できる。例えば、既に述べたように、装置２０４の金属棒１の先端から絶縁板Ｂ４までの距離Ｌ４（８．２ｍｍ）を維持しながら、装置２０３の金属棒１の先端から絶縁板Ｂ４までの距離Ｌ３を、絶縁板Ｂ１と絶縁板Ｂ２を支持する部分の長さＬ７（５ｍｍ）分加算して１．６ｍｍから６．６ｍｍにする。これによって、５枚の絶縁板を４枚の絶縁板に削減できる。絶縁基板Ｂ１とＢ２を、ひとつの絶縁基板で実現できるからである。また、安全機能（感電防止）としての絶縁板Ｂ４及びＢ５が有する孔２３６、２３８（図１６、図１７参照）の径は、筐体が有する排出口２２８、２２９の径よりも小さいことが望ましい。絶縁板Ｂ４及びＢ５が有する孔２３６、２３８の配置は、筐体が有する排出口２２８、２２９の配置とシンクロしないことが望ましい。 In the cross-sectional view shown in FIG. 12, the module 200 includes three devices corresponding to Example 1 (devices mainly responsible for the generation of ions) 201 to 203 and one device corresponding to Example 2 and Case 4 (of ozone). (Device mainly for generation) 204. These devices 201 to 204 are arranged side by side in the Y direction as shown in FIG. 12 is a cross-sectional view and is not shown in the figure. However, as will be described later with reference to FIGS. 13 to 17, two devices 201 to 204 are arranged in the X direction. . The devices 201 to 204 are supplied with a voltage of −6 Kv from the PWR 210 and GND. The module 200 is composed of five insulating plates B1 to B5. From the position P1 side toward the position P2 side, the insulating plate B1 that supports the metal rod 1 of the device 204, the insulating plate B2 that supports the metal rod 1 of the devices 201 to 203, and the metal plate 246 of the devices 201 to 203 (FIG. 15). Insulating plate B3 that supports (1)), and insulating plates B4 and B5 as safety functions (prevention of electric shock). The insulating plate B3 corresponds to the insulating plate 5 (FIG. 1). The insulating plate B2 also serves as the insulating plate of the device 204 and corresponds to the insulating plate 5 in FIG. The insulating plate B4 also serves as the insulating plate of the device 204 and corresponds to the insulating plate 9 in FIG. The features of the devices 201 to 204 are as described above. The five insulating plates B1 to B5 are respectively supported by

supports

233, 234, and 235 corresponding to the support 16 shown in FIG. The dimensions (mm) of each part of the module 200 are shown in FIG. The exposed length L1 of the metal rod 1 is 1 mm. The length L2 that the covering 2 covers the metal rod is 14 mm. The distance L3 from the tip of each metal rod 1 of the devices 201 to 203 to the insulating plate B4 is 1.6 mm. The distance L4 from the tip of the metal rod 1 of the device 204 to the insulating plate B4 is 8.2 mm. A distance L5 from the tip of the metal rod 1 of the device 204 to the metal plate 3 of the insulating plate B2 is 8.4 mm. The distance L6 between the insulating plate B4 and the insulating plate B5 is 1 mm. Of the support 234, the length L7 of the portion that supports the insulating plate B1 and the insulating plate B2, and the length L8 of the portion that supports the insulating plate B2 and the insulating plate B3 are each 5 mm. The length L9 of the support 234 that supports the insulating plate B3 and the insulating plate B4 is 10 mm. The length L10 of the part which supports the insulating board B2 and the insulating board B4 among the support bodies 235 is 16.6 mm. In order to reduce the manufacturing cost of the module 200, it is desirable that each insulating plate, each metal plate, each metal rod, and each covering body have the same characteristics. For example, the manufacturing process of an insulating board can be simplified by making the standard of the hole which each insulating board has respectively the same. The insulating plates B1, B2, B3, B4, and B5 can be obtained from one large insulating substrate. Furthermore, since the insulating plate B2 also serves as the insulating plate of the device 204, the manufacturing cost of the module 200 is reduced. The use of the insulating plate B4 also as the insulating plate of the device 204 reduces the manufacturing cost of the module 200. Further, the manufacturing cost of the system 100 can be reduced by combining the devices (devices mainly composed of ions) 201 to 203 and the device (device mainly composed of ozone generation) 204 as one module. Further, as shown in FIGS. 13 to 17 described later, the manufacturing cost can be reduced by mounting a plurality of devices (devices mainly using ions) 201 to 203 on one insulating substrate. Further, as shown in FIGS. 13 to 17 to be described later, the manufacturing cost can be reduced by mounting a plurality of devices (devices mainly composed of ozone) 204 on one insulating substrate. Note that the insulating substrate B1 of the device 204 and the insulating substrate B2 of the device 203 can be realized by one insulating substrate. For example, as already described, the distance L3 from the tip of the metal rod 1 of the device 203 to the insulating plate B4 while maintaining the distance L4 (8.2 mm) from the tip of the metal rod 1 of the device 204 to the insulating plate B4. Is added by the length L7 (5 mm) of the portion supporting the insulating plate B1 and the insulating plate B2 to be 1.6 mm to 6.6 mm. Thus, the five insulating plates can be reduced to four insulating plates. This is because the insulating substrates B1 and B2 can be realized by one insulating substrate. Moreover, it is desirable that the diameters of the holes 236 and 238 (see FIGS. 16 and 17) of the insulating plates B4 and B5 as a safety function (prevention of electric shock) are smaller than the diameters of the

discharge ports

228 and 229 of the housing. . The arrangement of the

holes

236 and 238 provided in the insulating plates B4 and B5 is preferably not synchronized with the arrangement of the

discharge ports

228 and 229 provided in the housing.

　図１３から図１７は、本発明の第４の実施例（図１２）が開示するモジュール２００を構成する各絶縁板Ｂ１～Ｂ５の平面図である。図１３は、絶縁板Ｂ１をポジションＰ１の側面から示した平面図である。図１４は、絶縁板Ｂ２をポジションＰ１の側面から示した平面図である。図１５は、絶縁板Ｂ３をポジションＰ２の側面から示した平面図である。図１６は、絶縁板Ｂ４をポジションＰ２の側面から示した平面図である。図１７は、絶縁板Ｂ５をポジションＰ１の側面から示した平面図である。図１３が示す絶縁板Ｂ１は、Ｘ方向に２つ配列された装置２０４に対応する。図１４が示す絶縁板Ｂ２は、それぞれＸ方向に２つずつ配列された装置２０１、２０２、２０３すなわち計６つの装置と、Ｘ方向に２つ配列された装置２０４とに対応する。図１５が示す絶縁板Ｂ３は、それぞれＸ方向に２つずつ配置された装置２０１、２０２、２０３すなわち計６つの装置に対応する。図１６が示す絶縁板Ｂ４は、それぞれＸ方向に２つずつ配列された装置２０１、２０２、２０３すなわち計６つの装置と、Ｘ方向に２つ配列された装置２０４とに対応する。図１７が示す絶縁板Ｂ５（第４の絶縁板）は、Ｘ方向に２つ配列された装置２０４に対応する。５つの絶縁板Ｂ１～Ｂ５は、それぞれ同一の複数の孔（それは各装置辺り６つの孔である。代表して図１６の孔２３６、図１７の孔２３８を符号を付して図示する）を有する。これは、オゾン風及びイオン風を効率よくポジションＰ１からポジションＰ２へ流すためであり、ファン２２０の送風効率も向上させる。例えば、複数の絶縁板がそれぞれ有する孔は、互いに同期して配置される、同一数の複数の孔を有する、同一サイズの孔を有する、の少なくともいずれか一つによって、実現される。図１３において、絶縁板Ｂ１にはメタライズされた１つの金属板２４０が付されている。６つの孔の中心に位置するメタライズ部２４０ａ、２４０ｂには、金属棒１が半田付けされる。絶縁板Ｂ１の上部に位置するメタライズ部２４０ｃは、電源装置ＰＷＲ２１０から－６Ｋｖが供給される接続部である。図１４において、絶縁板Ｂ２にはメタライズされた２つの金属板２４２、２４４が付されている。第１の金属板２４２は、装置２０１、２０２、２０３のそれぞれの金属棒１を支持する。第１の金属板２４２はポジションＰ１側の絶縁板Ｂ２に配置される。図１４の第２の金属板２４４は、ポジションＰ２側の絶縁板Ｂ２に配置される。よって、第２の金属板２４４は点線で表現されている。第１の金属板２４２のうち、絶縁板Ｂ２の上部に位置するメタライズ部２４２ａは、電源装置ＰＷＲ２１０から－６Ｋｖが供給される接続部である。絶縁板Ｂ２の下部に位置する第２の金属板２４４は電気的にフローティングである。第１及び第２の金属板２４２、２４４は、図１３の金属板２４０と同様の特性である。図１５において、絶縁板Ｂ３にはメタライズされた１つの金属板２４６が付されている。６つの孔の中心に位置するメタライズ部２４６ａには、図１２に示すようにＧＮＤ電位が供給される。図１６において、絶縁板Ｂ４にはメタライズされた１つの金属板２４８が付されている。６つの孔の中心に位置するメタライズ部２４８ａには、図１２に示すようにＧＮＤ電位が供給される。絶縁板Ｂ４のうち装置２０１、２０２、２０３に対応する部分にはメタライズ基板は付されない。図１７において、装置２０４に対応する部分にはメタライズ基板は付されない。各絶縁板Ｂ１～Ｂ５には、それぞれ周辺部に互いを支持する支持体のために孔（代表して図１２の支持体２３４のための孔２５０、２５２、２５４、２５６、２５８を図１３～図１７に示す）が設けられている。尚、図１２の支持体２３４、２３５は、絶縁板Ｂ５に到達してもよい。図１７の絶縁体Ｂ５には、右側に多角形の孔２６０が、半田付けのための逃げ穴として設けられている。 13 to 17 are plan views of the insulating plates B1 to B5 constituting the module 200 disclosed in the fourth embodiment (FIG. 12) of the present invention. FIG. 13 is a plan view showing the insulating plate B1 from the side surface of the position P1. FIG. 14 is a plan view showing the insulating plate B2 from the side surface of the position P1. FIG. 15 is a plan view showing the insulating plate B3 from the side surface of the position P2. FIG. 16 is a plan view showing the insulating plate B4 from the side surface of the position P2. FIG. 17 is a plan view showing the insulating plate B5 from the side surface of the position P1. Insulating plate B1 shown in FIG. 13 corresponds to two devices 204 arranged in the X direction. Insulating plate B2 shown in FIG. 14 corresponds to

devices

201, 202, 203 arranged in two in the X direction, that is, a total of six devices, and devices 204 arranged in two in the X direction. The insulating plate B3 shown in FIG. 15 corresponds to the

devices

201, 202, and 203 arranged in the X direction, that is, a total of six devices. Insulating plate B4 shown in FIG. 16 corresponds to

devices

201, 202, 203 arranged in two in the X direction, that is, a total of six devices, and devices 204 arranged in two in the X direction. Insulating plate B5 (fourth insulating plate) shown in FIG. 17 corresponds to two devices 204 arranged in the X direction. Each of the five insulating plates B1 to B5 has a plurality of identical holes (there are six holes per device. Representatively, the holes 236 in FIG. 16 and the holes 238 in FIG. 17 are indicated by reference numerals). Have. This is for efficiently flowing the ozone wind and ion wind from the position P1 to the position P2, and improves the blowing efficiency of the fan 220. For example, the holes included in each of the plurality of insulating plates are realized by at least one of the same number of holes and the same size of holes arranged in synchronization with each other. In FIG. 13, a metallized metal plate 240 is attached to the insulating plate B1. The metal rod 1 is soldered to the metallized

portions

240a and 240b located at the centers of the six holes. The metallized portion 240c located on the upper side of the insulating plate B1 is a connection portion to which −6 Kv is supplied from the power supply device PWR210. In FIG. 14, two metalized

metal plates

242 and 244 are attached to the insulating plate B2. The first metal plate 242 supports the metal bars 1 of the

devices

201, 202, and 203. The first metal plate 242 is disposed on the insulating plate B2 on the position P1 side. The second metal plate 244 in FIG. 14 is disposed on the insulating plate B2 on the position P2 side. Therefore, the second metal plate 244 is represented by a dotted line. Of the first metal plate 242, the metallized portion 242a located above the insulating plate B2 is a connection portion to which −6 Kv is supplied from the power supply device PWR210. The second metal plate 244 located below the insulating plate B2 is electrically floating. The first and

second metal plates

242 and 244 have the same characteristics as the metal plate 240 of FIG. In FIG. 15, a metalized metal plate 246 is attached to the insulating plate B3. The GND potential is supplied to the metallized portion 246a located at the center of the six holes as shown in FIG. In FIG. 16, a metallized metal plate 248 is attached to the insulating plate B4. The GND potential is supplied to the metallized portion 248a located at the center of the six holes as shown in FIG. A portion of the insulating plate B4 corresponding to the

devices

201, 202, and 203 is not provided with a metallized substrate. In FIG. 17, the metallized substrate is not attached to the part corresponding to the device 204. In each of the insulating plates B1 to B5, holes (typically holes 250, 252, 254, 256, 258 for the support 234 in FIG. 12 are formed as shown in FIGS. 17) is provided. Note that the

supports

234 and 235 in FIG. 12 may reach the insulating plate B5. In the insulator B5 of FIG. 17, a polygonal hole 260 is provided on the right side as a relief hole for soldering.

　図１８は、本発明の第５の実施例（イオンの発生を主体とする装置とオゾンの発生を主体とする装置を組み込んだシステムの一部）を簡素に例示する断面図である。第１から４の実施例と同一の内容は同一の符号によって、それらの説明を省略する。 FIG. 18 is a cross-sectional view simply illustrating a fifth embodiment of the present invention (a part of a system incorporating a device mainly composed of ions and a device mainly composed of ozone). The same contents as those in the first to fourth embodiments are denoted by the same reference numerals, and the description thereof is omitted.

　図１８において、更に、電気的な制御を実行するスイッチＳＷ.が付加される。スイッチＳＷ.は、一つの入力端子２６２と、二つの出力端子２６４、２６６を有する。スイッチＳＷ.は、制御信号Ｓｉｇ．によって、入力端子２６２に接続される接地電位ＧＮＤを、金属板３及び金属板７にそれぞれ接続される二つの出力端子２６４、２６６のいずれか一方に供給する。選択されなかった他方の金属板は、電気的にフローティングである。第５の実施例によれば、図１２に示した第４の実施例の装置２０１～２０３及び装置２０４をすべて同一の構造にできる。更に、図１２に示したモジュール２００のフレキシビリティーを高めることができる。例えば、図１２の装置２０１～２０４を図１８の第５の実施例と同一の構造に変更し、それぞれが有する複数のスイッチＳＷ.に、それぞれ対応する複数の制御信号Ｓｉｇ．を与えることで、各装置に異なる制御を実行することができる。その結果、システム１００はイオン発生量及びオゾン発生量のレシオをフレキシブルに制御できる。尚、更にスイッチＳＷ.は、制御信号Ｓｉｇ．によって二つの出力端子のいずれも選択しない機能を持たせても良い。これによって、システム１００はイオン発生量及びオゾン発生量の絶対値をフレキシブルに制御できる。 In FIG. 18, a switch SW that executes electrical control is further added. The switch SW. Has one input terminal 262 and two

output terminals

264, 266. The switch SW. Controls the control signal Sig. Thus, the ground potential GND connected to the input terminal 262 is supplied to one of the two

output terminals

264 and 266 connected to the metal plate 3 and the metal plate 7 respectively. The other metal plate not selected is electrically floating. According to the fifth embodiment, the devices 201 to 203 and the device 204 of the fourth embodiment shown in FIG. 12 can all have the same structure. Furthermore, the flexibility of the module 200 shown in FIG. 12 can be enhanced. For example, the devices 201 to 204 of FIG. 12 are changed to the same structure as that of the fifth embodiment of FIG. 18, and a plurality of control signals Sig. By giving, different control can be executed for each device. As a result, the system 100 can flexibly control the ratio of the ion generation amount and the ozone generation amount. Furthermore, the switch SW. Is connected to the control signal Sig. The function of not selecting either of the two output terminals may be provided. Accordingly, the system 100 can flexibly control the absolute values of the ion generation amount and the ozone generation amount.

　以上、本発明の実施形態について説明したが、本発明は上述した実施形態に限定されることなく、本発明の主旨を逸脱しない範囲で他の様々な形態で実施可能である。例えば、金属棒１は、針（needle）であってもよいし、その他様々な形状（ペンシル、三角錐、四角錐、または円柱）であってもよい。更に、金属棒１は、電線（Wire）であってもよいし、撚り線（Strand wire）であってもよい。更に、金属棒１は、カーボンファイバーであってもよい。金属棒の先端の形状は、鋭利なニードルであってもよい。絶縁材２は、絶縁体と外皮の２層構造であってもよい。第１の金属板３及び第２の金属板７は、ステンレスでもよい。また、金属板は、金属シートまたは金属フィルム（導電性のフレキシブルな材料）であっても良い。第１の絶縁板５及び第２の絶縁板９は、紙フェノール基板（FR-1,2）、紙エポキシ基板（FR-3）、ガラスコンポジット基板（CEM-3）、ガラスポリイミド基板、フッ素基板、ガラスPPO基板、等であってもよい。貫通孔６の形状は、所定の半径の円形に限られない。例えば、楕円でもよい。円形以外の形状であってもよい。複数の貫通孔６の配置は、円形配置に限られない。貫通孔１２を有するリング状の金属板３は、第１の絶縁板５が有する貫通孔６を含んでいても良いし、貫通孔６の外側に配置されても良い。正電圧は、グランド電圧０Ｖ（ＧＮＤ）に限られない。陰極と陽極の電圧の絶対値の関係を入れ替えても良い。交流信号が、陰極と陽極に供給されても良い。更に、交流信号に所定値のバイアス値を与えても良い。第１の実施例から第５の実施例を、本明細書において明記または明示されていないに係わらず適宜組み合わせることができる。本発明の技術的範囲は、上述した複数の実施例またはそれらの組み合わせに限定されず、特許請求の範囲に記載された事項とその均等物または変形物まで及ぶ。 As mentioned above, although embodiment of this invention was described, this invention is not limited to embodiment mentioned above, In the range which does not deviate from the main point of this invention, it can implement with another various form. For example, the metal rod 1 may be a needle or may have various other shapes (a pencil, a triangular pyramid, a quadrangular pyramid, or a cylinder). Furthermore, the metal rod 1 may be an electric wire (Wire) or a stranded wire. Furthermore, the metal rod 1 may be a carbon fiber. The tip of the metal rod may be a sharp needle. The insulating material 2 may have a two-layer structure of an insulator and a skin. The first metal plate 3 and the second metal plate 7 may be stainless steel. Further, the metal plate may be a metal sheet or a metal film (conductive flexible material). The first insulating plate 5 and the second insulating plate 9 are a paper phenol substrate (FR-1, 2), a paper epoxy substrate (FR-3), a glass composite substrate (CEM-3), a glass polyimide substrate, and a fluorine substrate. It may be a glass PPO substrate. The shape of the through hole 6 is not limited to a circle with a predetermined radius. For example, an ellipse may be used. It may be a shape other than a circle. The arrangement of the plurality of through holes 6 is not limited to a circular arrangement. The ring-shaped metal plate 3 having the through hole 12 may include the through hole 6 included in the first insulating plate 5 or may be disposed outside the through hole 6. The positive voltage is not limited to the ground voltage 0 V (GND). The relationship between the absolute values of the cathode and anode voltages may be interchanged. An alternating signal may be supplied to the cathode and anode. Further, a predetermined bias value may be given to the AC signal. The first to fifth embodiments can be appropriately combined regardless of whether they are specified or not specified in this specification. The technical scope of the present invention is not limited to the above-described embodiments or combinations thereof, but extends to the matters described in the claims and equivalents or variations thereof.

　本発明は、コロナ放電（Corona discharge）に関連して少なくともイオン及びオゾンの少なくともいずれか一方を発生する装置に利用することができる。 The present invention can be used for an apparatus that generates at least one of ions and ozone in connection with a corona discharge.

Claims

　第１の貫通孔を有する第１の金属板と、
　前記第１の貫通孔を貫通する金属棒と、
　少なくとも前記第１の貫通孔を貫通する部分において、前記金属棒に密着させて前記金属棒を被覆して前記第１の金属板と前記金属棒との電気的絶縁を維持する絶縁材と、を有し、イオン及びオゾンの少なくともいずれか一方を発生する装置。 A first metal plate having a first through hole;
A metal rod penetrating the first through hole;
An insulating material that maintains electrical insulation between the first metal plate and the metal rod by covering the metal rod in close contact with the metal rod at least in a portion that penetrates the first through hole; A device for generating at least one of ions and ozone.
　前記第１の貫通孔に対応する第２の貫通孔を有し、前記第１の金属板を支持する第１の絶縁板を更に有する、請求項１に記載の装置。 The apparatus according to claim 1, further comprising a first insulating plate having a second through hole corresponding to the first through hole and supporting the first metal plate.
　前記金属棒の先端は、前記絶縁材によらず電極が露出している、請求項２に記載の装置。 The apparatus according to claim 2, wherein an electrode is exposed at a tip of the metal bar regardless of the insulating material.
　前記電極を挟むように前記第１の金属板と対向する第２の金属板を更に有する、請求項３に記載の装置。 4. The apparatus according to claim 3, further comprising a second metal plate facing the first metal plate so as to sandwich the electrode.
　前記絶縁材は、更に、前記第２の貫通孔を貫通する部分において、前記金属棒に密着させて前記金属棒を被覆する、請求項３から４いずれか一項に記載の装置。 The apparatus according to any one of claims 3 to 4, wherein the insulating material further covers the metal rod in close contact with the metal rod in a portion penetrating the second through hole.
　前記第１の金属板は、前記金属棒の先端と前記第１の絶縁板の間に配置される、請求項５に記載の装置。 The apparatus according to claim 5, wherein the first metal plate is disposed between a tip of the metal bar and the first insulating plate.
　前記第１の金属板を前記第１の絶縁板との間に挟むように配置される、第１のレジストを更に有する、請求項６に記載の装置。 The apparatus according to claim 6, further comprising a first resist arranged so as to sandwich the first metal plate with the first insulating plate.
　前記第１の貫通孔は、前記第２の貫通孔よりも大きい、請求項５から７いずれか一項に記載の装置。 The device according to any one of claims 5 to 7, wherein the first through hole is larger than the second through hole.
　前記第１の絶縁板は、前記第１及び第２の貫通孔に対応してそれらの周辺に配置される複数の第３の貫通孔を含む、請求項５から８いずれか一項に記載の装置。 9. The first insulating plate according to claim 5, wherein the first insulating plate includes a plurality of third through holes arranged around the first and second through holes corresponding to the first and second through holes. apparatus.
　前記第１、第２及び第３の貫通孔の少なくとも一つは、円形である、請求項９に記載の装置。 10. The apparatus according to claim 9, wherein at least one of the first, second and third through holes is circular.
　前記第２の金属板は、第４の貫通孔を含み、
　前記第４の貫通孔に対応する第５の貫通孔を有し、前記第２の金属板を支持する第２の絶縁板を更に有する、請求項４に記載の装置。 The second metal plate includes a fourth through hole,
The apparatus according to claim 4, further comprising a second insulating plate having a fifth through hole corresponding to the fourth through hole and supporting the second metal plate.
　前記第２の絶縁板は、前記金属棒の先端と前記第２の金属板の間に配置される、請求項１１に記載の装置。 The apparatus according to claim 11, wherein the second insulating plate is disposed between a tip of the metal bar and the second metal plate.
　前記第２の金属板を前記第２の絶縁板との間に挟むように配置される、第２のレジストを更に有する、請求項１２に記載の装置。 13. The apparatus according to claim 12, further comprising a second resist arranged so as to sandwich the second metal plate with the second insulating plate.
　前記第４の貫通孔は、前記第５の貫通孔よりも大きい、請求項１１から１３いずれか一項に記載の装置。 The apparatus according to any one of claims 11 to 13, wherein the fourth through hole is larger than the fifth through hole.
　前記第２の絶縁板は、前記第４及び第５の貫通孔に対応してそれらの周辺に配置される、複数の第６の貫通孔を含む、請求項１１から１４いずれか一項に記載の装置。 The second insulating plate includes a plurality of sixth through holes arranged around the fourth and fifth through holes so as to correspond to the fourth and fifth through holes. Equipment.
　前記第４、第５及び第６の貫通孔の少なくとも一つは、円形である、請求項１５に記載の装置。 The apparatus according to claim 15, wherein at least one of the fourth, fifth and sixth through holes is circular.
　前記金属棒に第１の電圧を、前記第１の金属板に第２の電圧を供給する電源回路を更に有する、請求項１に記載の装置。 The apparatus according to claim 1, further comprising a power supply circuit that supplies a first voltage to the metal rod and a second voltage to the first metal plate.
　前記金属棒に第１の電圧を、前記第２の金属板に第２の電圧を供給する電源回路を更に有する、請求項４に記載の装置。 The apparatus according to claim 4, further comprising a power supply circuit that supplies a first voltage to the metal rod and a second voltage to the second metal plate.
　前記第１の金属板の電位はフローティングである、請求項１８に記載の装置。 The apparatus according to claim 18, wherein the potential of the first metal plate is floating.
　前記金属棒の先端を間に挟むように前記第１の絶縁板と対向する第３の絶縁板を更に有する、請求項３に記載の装置。 4. The apparatus according to claim 3, further comprising a third insulating plate facing the first insulating plate so as to sandwich a tip end of the metal rod.
　前記第２の金属板を間に挟むように前記第２の絶縁板と対向する第４の絶縁板を更に有する、請求項１１から１６いずれか一項に記載の装置。 The apparatus according to any one of claims 11 to 16, further comprising a fourth insulating plate facing the second insulating plate so as to sandwich the second metal plate therebetween.
　前記第１の金属板と、前記第１の貫通孔を貫通する金属棒の先端との間でコロナ放電領域が形成される、請求項１に記載の装置。 The apparatus according to claim 1, wherein a corona discharge region is formed between the first metal plate and a tip of a metal rod penetrating the first through hole.
　前記第２の金属板と、前記第１の貫通孔を貫通する金属棒の先端との間でコロナ放電領域が形成される、請求項４に記載の装置。 The apparatus according to claim 4, wherein a corona discharge region is formed between the second metal plate and a tip of a metal rod penetrating the first through hole.
　前記第１及び第２の金属板の電位をそれぞれ制御可能にするスイッチを更に有する、請求項４に記載の装置。 The apparatus according to claim 4, further comprising a switch capable of controlling a potential of each of the first and second metal plates.
　前記スイッチは、前記第１及び第２の金属板のいずれか一方を第１の電位に制御し、前記第１及び第２の金属板のいずれか他方を電気的にフローティングに制御する、請求項２４に記載の装置。 The switch controls one of the first and second metal plates to a first potential, and controls the other of the first and second metal plates to be electrically floating. 24. Device according to 24.