WO2019083296A1 - 롤투롤 세정장치 - Google Patents

롤투롤 세정장치

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WO2019083296A1
WO2019083296A1 PCT/KR2018/012697 KR2018012697W WO2019083296A1 WO 2019083296 A1 WO2019083296 A1 WO 2019083296A1 KR 2018012697 W KR2018012697 W KR 2018012697W WO 2019083296 A1 WO2019083296 A1 WO 2019083296A1
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WO
WIPO (PCT)
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web
roll
suction unit
rolling drum
particles
Prior art date
Application number
PCT/KR2018/012697
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English (en)
French (fr)
Inventor
한규석
서영호
안중용
조용일
Original Assignee
엘지전자 주식회사
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
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    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/67005—Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/67011—Apparatus for manufacture or treatment
    • H01L21/67017—Apparatus for fluid treatment
    • H01L21/67028—Apparatus for fluid treatment for cleaning followed by drying, rinsing, stripping, blasting or the like
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B08—CLEANING
    • B08B—CLEANING IN GENERAL; PREVENTION OF FOULING IN GENERAL
    • B08B11/00—Cleaning flexible or delicate articles by methods or apparatus specially adapted thereto
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B08—CLEANING
    • B08B—CLEANING IN GENERAL; PREVENTION OF FOULING IN GENERAL
    • B08B3/00—Cleaning by methods involving the use or presence of liquid or steam
    • B08B3/04—Cleaning involving contact with liquid
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B08—CLEANING
    • B08B—CLEANING IN GENERAL; PREVENTION OF FOULING IN GENERAL
    • B08B5/00—Cleaning by methods involving the use of air flow or gas flow
    • B08B5/04—Cleaning by suction, with or without auxiliary action
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere

Definitions

  • the present invention relates to a roll-to-roll cleaning apparatus, and more particularly to a roll-to-roll cleaning apparatus capable of efficient web cleaning.
  • a roll to roll cleaning apparatus is a device for cleaning a web provided between a roll and a roll.
  • the roll-to-roll cleaning apparatus can be divided into a dry roll-to-roll cleaning apparatus using air and a wet roll-to-roll cleaning apparatus using liquid.
  • the amount of air to be discharged matches with the amount of air to be sucked.
  • the amount of sucked air may be varied.
  • Another object of the present invention is to provide a roll-to-roll cleaning apparatus capable of preventing airflow diffusion by ion ejection and preventing particle dispersion.
  • a roll-to-roll cleaning apparatus including a rolling drum for conveying a web, a fixed drum formed on a side surface of the rolling drum, a gap spacer formed on the fixed drum, And a particle removal module formed on the gap spacer, spaced apart from the rolling drum and removing particles on the web.
  • a roll-to-roll cleaning apparatus comprising: a case; a suction unit formed in the case and configured to suction particles from a web being transported; And a particle removing module having a discharge flow path, wherein the ion discharge flow path is formed in the opening direction of the suction unit.
  • a roll-to-roll cleaning apparatus includes: a roll-type drum for transporting a web; a fixed drum formed on a side surface of the rolling drum; a gap spacer formed on the fixed drum; And includes a particle removal module that is spaced apart from the rolling drum and removes particles on the web, thereby enabling efficient web cleaning.
  • the particle removing module is formed on the gap spacer and is spaced apart from the rolling drum in a uniform manner so as to uniformly remove the particles of the web conveyed through the rolling drum, The amount can be adjusted constantly.
  • the rolling drum is heatable, which allows particles of the web to be removed more efficiently.
  • the particles of the web can be removed more efficiently.
  • the particle removing module includes a case, a suction unit formed in the case for suctioning particles from the web, and an ion discharge passage formed on both sides of the suction unit, It is possible to prevent the airflow from being diffused by the ion ejection and to prevent the particles from being dispersed.
  • a roll-to-roll cleaning apparatus comprising a casing, a suction unit formed in the casing for suctioning particles from a web being conveyed, and an ion discharge passage formed on both sides of the suction unit And the ion discharge flow path is formed in the opening direction of the suction unit, thereby preventing airflow diffusion due to ion discharge and preventing particle dispersion.
  • the second particle removing module that removes the particles on the second surface of the web being transported can efficiently remove the particles on both sides of the web.
  • FIG. 1 is a view showing a roll-to-roll apparatus according to the present invention.
  • FIG. 2 is a view showing a roll-to-roll cleaning apparatus according to an embodiment of the present invention.
  • FIG. 3 is a cross-sectional view of Fig.
  • Figures 4A-4C show a roll-to-roll cleaning apparatus according to various embodiments of the present invention.
  • FIG. 5 is a view showing a roll-to-roll cleaning apparatus according to another embodiment of the present invention.
  • FIG. 6A and 6B are views referred to in the description of the operation of FIG.
  • FIG. 7 is a view showing a roll-to-roll cleaning apparatus according to another embodiment of the present invention.
  • FIGS. 8A-8C are views showing a roll-to-roll cleaning apparatus according to various embodiments of the present invention.
  • module and part for components used in the following description are given merely for convenience of description, and do not give special significance or role in themselves. Accordingly, the terms “ module " and “ part” may be used interchangeably.
  • FIG. 1 is a view showing a roll-to-roll apparatus according to the present invention.
  • the roll-to-roll apparatus 10 of FIG. 1 includes rolls RO1 and RO2 which are spaced apart from each other and rotated in one direction to transport the web FMaa, and particles a particle removal module (PSM) 20 may be provided to remove particles.
  • PSM particle removal module
  • the particle removal module (PSM) 20 in the roll-to-roll apparatus 10 of FIG. 1 may be formed on a plurality of rolls RO1 and RO2.
  • the gap between the particle removal module (PSM) 20 and the web FMaa constant.
  • the particle removal module (PSM) 20 in the vicinity of the first roll Ro1 The interval between the webs FMaa is Da and the interval between the particle removal module (PSM) 20 and the web FMaa in the vicinity of the second roll Ro2 is Db and may not coincide with each other.
  • the present invention provides a roll-to-roll cleaning apparatus capable of efficient web cleaning. This will be described with reference to FIG.
  • FIG. 2 is a view showing a roll-to-roll cleaning apparatus according to an embodiment of the present invention
  • Fig. 3 is a sectional view of Fig. Particularly, FIG. 3 is a sectional view taken along line A-A 'in FIG.
  • a roll-to-roll cleaning apparatus 100 includes a rolling drum 130 for conveying a web FM, a fixed drum (not shown) formed on a side surface of the rolling drum 130
  • efficient web (FM) cleaning is enabled.
  • the particle removing module 120 is formed on the gap spacers 127a and 127b and spaced apart from the rolling drum 130 by a predetermined distance D1. 1, the particles of the web FM conveyed through the rolling drum 130 can be uniformly removed, and the amount of discharged air and the amount of air sucked can be controlled to be constant .
  • the rolling drum 130 can be connected via bearings to the fixed drums 135a and 135b which rotate in one direction and do not rotate.
  • the particle removing module 120 can be separated from the rolling drum 130 by a predetermined distance D1 .
  • a constant air gap 125 is formed between the particle removing module 120 and the rolling drum 130, and the web FMa is conveyed between the uniformly formed gaps 125.
  • the particle removing module 120 includes an air outlet (not shown) for discharging air (for example, N2) and an air inlet (not shown) for sucking air, To efficiently remove particles, which are artifacts on the web (FMa).
  • the roll-to-roll cleaning apparatus 100 shown in FIG. 2 includes the dry particle removal module 120 to efficiently remove particles that are artifacts on the web FMa.
  • the rolling drum 130 can heat the fed web FM while rotating in one direction. This makes it easier to separate the particles, which are impurities on the web FM, and eventually, the particles can be efficiently removed through the particle removal module 120.
  • the region corresponding to the outer periphery of the circular rolling drum 130 has a curved shape so as to be spaced apart from the rolling drum 130 by a predetermined distance. Accordingly, the particle removing module 120 is spaced apart from the rolling drum 130 by a predetermined distance D1.
  • the constant interval D1 can be set differently depending on the process conditions, and can be set to approximately a few um.
  • the web FMa described above may be a film or a substrate.
  • it may be a flexible film or a flexible substrate.
  • Such a flexible film or flexible substrate can be mounted on a flexible mobile terminal, a flexible video display device (e.g., a TV, a monitor, etc.).
  • a flexible video display device e.g., a TV, a monitor, etc.
  • a deposition module (not shown) may be disposed immediately around the roll-to-roll cleaning apparatus 100, and a web may be deposited on the display of the mobile terminal or the image display device.
  • the web FM can be conveyed in contact with the rolling drum 130.
  • Figures 4A-4C show a roll-to-roll cleaning apparatus according to various embodiments of the present invention.
  • the roll-to-roll cleaning apparatus 100b shown in FIG. 4A is similar to the roll-to-roll cleaning apparatus 100 shown in FIG. 2 but includes a static elimination module 150 spaced apart from the rolling drum 130 There is a difference.
  • the electrostatic elimination module 150 may include an ionizer or the like, and may include an air outlet (not shown) for discharging ions and an air inlet (not shown) for sucking the ionized wool. As a result, it is possible to efficiently remove particles, which are artifacts on the web FMa.
  • the roll-to-roll cleaning apparatus 100c of FIG. 4B is similar to the roll-to-roll cleaning apparatus 100 of FIG. 2, except that the web FMb and the particle removing module 120 are variable in accordance with the web conveyance direction.
  • the roll-to-roll cleaning apparatus 100d shown in FIG. 4C is similar to the roll-to-roll cleaning apparatus 100 shown in FIG. 2, except that the air roller 130b is used instead of the rolling drum 130.
  • FIG. 4C is similar to the roll-to-roll cleaning apparatus 100 shown in FIG. 2, except that the air roller 130b is used instead of the rolling drum 130.
  • the air roller 130b may include an air outlet (not shown) and an air inlet (not shown). Accordingly, the web FMc can be transferred between the air roller 130b and the particle removing module 120 without being contacted with the air roller 130b.
  • FIG. 5 is a view showing a roll-to-roll cleaning apparatus according to another embodiment of the present invention.
  • the roll-to-roll cleaning apparatus 200 may include a particle removing module 120a.
  • the particle removing module 120a includes a case CS and a case formed in the case CS A suction unit SU for sucking particles from the web FM and ion discharge ports Lta and Ltb formed on both sides of the suction unit SU and the ion discharge ports Lta and Ltb And the opening INH of the suction unit SU. Accordingly, it is possible to prevent the airflow from being diffused by the ion ejection and to prevent the particles from being dispersed.
  • Suction units SU are formed in a central region in the case CS and ion discharge lines Lta and Ltb can be formed on both sides of the suction unit SU.
  • the ion discharge paths Lta and Ltb may extend in the direction of the opening INH of the suction unit SU as shown in the figure.
  • the ion discharge paths Lta and Ltb may be formed in the direction of the opening INH of the suction unit SU or in the direction of the opening OP of the particle removing module 120a.
  • the ions IONa and IONb are efficiently discharged in the direction of the opening INH of the suction unit SU or the direction OP of the particle removing module 120a.
  • the opening OP of the particle removing module 120a may be an opening OP formed in an area corresponding to the outlet of the ion discharge paths Lta and Ltb in the case CS.
  • the cross section of the ion discharge paths Lta and Ltb is variable in the figure and the size of the cross section Pc and Pf in the direction of the opening INH of the suction unit SU is larger than the size And a section larger than the cross section (Pd, Pe) is exemplified.
  • an opening INH may also be formed at the end of the suction unit SU.
  • the size of the opening OP formed in the region corresponding to the outlet of the ion discharge flow paths Lta and Ltb in the case CS is larger than the size of the opening INH formed in the suction unit SU, , And Ltb is larger than the size of the opening INH formed in the suction unit SU.
  • ions trapped in the ion discharge paths Lta and Ltb are output to the openings OP formed in the regions corresponding to the outlets of the ion discharge paths Lta and Ltb and are output to the surface of the web FM1 ,
  • the particles on the surface of the web FM1 are sucked through the opening INH formed in the suction unit SU. Therefore, particles on the surface of the web FM1 can be efficiently removed.
  • the suction speed of the suction unit SU is faster than the speed of ions discharged through the ion discharge paths Lta and Ltb. As a result, particles on the surface of the web FM1 can be efficiently removed.
  • FIG. 6A and 6B are views referred to in the description of the operation of FIG.
  • FIG. 6B shows a case where the case CS is provided in the particle removing module 120a of Fig. 5, in which the particles on the surface of the web FM1 are gathered in the case CS and particles are stably removed through the suction unit SU .
  • FIG. 7 is a view showing a roll-to-roll cleaning apparatus according to another embodiment of the present invention.
  • the roll-to-roll cleaning apparatus 200b includes a first particle removing module 120a for removing particles on the first surface of the web FM2 and a second particle removing module 120b for removing particles on the second surface of the web FM2. And a second particle removing module 120b for removing the particles.
  • the first particle removing module 120a includes a case CSa and a suction port formed in the case CSa for sucking particles from the web FM2, Unit SUa and ion discharge passages Ltaa and Ltba formed on both sides of the suction unit SUa and the ion discharge flow paths Ltaa and Ltba are formed in the opening INHa of the suction unit SUa, So that it is possible to prevent the airflow from being diffused by the ion ejection and to prevent the particles from being dispersed.
  • the second particle removing module 120b includes a case CSb and a suction unit SUb formed in the case CSb for suctioning particles from the web FM2 and a suction unit SUb for sucking particles from the web FM2, And the ion discharging flow paths Ltab and Ltbb may be formed in the direction of the opening INHb of the suction unit SUb so that the ion discharging flow paths Ltab and Ltbb It is possible to prevent the diffusion of the airflow caused by the particles, and to prevent the dispersion of the particles.
  • FIGS. 8A-8C are views showing a roll-to-roll cleaning apparatus according to various embodiments of the present invention.
  • the roll-to-roll cleaning apparatus 200c of FIG. 8A is similar to the roll-to-roll cleaning apparatus 100b of FIG. 4A except that the particle removal module 120a of FIG. 5 is used instead of the particle removal module 120 There is a difference.
  • the roll-to-roll cleaning apparatus 200c of FIG. 8A may further include a static elimination module 150 spaced apart from the rolling drum 130 by a predetermined distance.
  • the electrostatic elimination module 150 may include an ionizer or the like, and may include an air outlet (not shown) for discharging ions and an air inlet (not shown) for sucking the ionized wool. As a result, it is possible to efficiently remove particles, which are artifacts on the web FMa.
  • the roll-to-roll cleaning apparatus 200d of FIG. 8B is similar to the roll-to-roll cleaning apparatus 100c of FIG. 4B, except that the particle removal module 120a of FIG. 5 is used instead of the particle removal module 120 There is a difference.
  • the roll-to-roll cleaning apparatus 200d of FIG. 8B is configured such that the distance 125b between the web FMb and the particle removing module 120a is adjusted by adjusting the center position of the rolling drum 130, .
  • the roll-to-roll cleaning apparatus 200e of FIG. 8C is similar to the roll-to-roll cleaning apparatus 100d of FIG. 4C, except that the particle removal module 120a of FIG. 5 is used instead of the particle removal module 120 There is a difference.
  • an air roller 130b may be used in place of the rolling drum 130.
  • the air roller 130b may include an air outlet (not shown) and an air inlet (not shown). Accordingly, the web FMc can be transferred between the air roller 130b and the particle removing module 120a without being contacted with the air roller 130b.
  • the web FMc does not contact the rolling drum 130, but the rolling drum 130 It is also possible that the particles are separated and transferred between the particle removing modules 120a.
  • the roll-to-roll cleaning apparatus according to the embodiment of the present invention is not limited to the configuration and method of the embodiments described above, but the embodiments can be applied to all or some of the embodiments May be selectively combined.
  • the operation method of the roll-to-roll cleaning apparatus of the present invention can be implemented as a processor readable code on a processor-readable recording medium provided in the roll-to-roll cleaning apparatus.
  • the processor-readable recording medium includes all kinds of recording apparatuses in which data that can be read by the processor is stored. Examples of the recording medium that can be read by the processor include a ROM, a RAM, a CD-ROM, a magnetic tape, a floppy disk, an optical data storage device, and the like, and may also be implemented in the form of a carrier wave such as transmission over the Internet .
  • the processor-readable recording medium may be distributed over network-connected computer systems so that code readable by the processor in a distributed fashion can be stored and executed.

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Abstract

본 발명은 롤투롤 세정장치에 관한 것이다. 본 발명의 실시예에 따른 롤투롤 세정장치는, 웹을 이송하는 롤링형 드럼과, 롤링형 드럼의 측면에 형성되는 고정형 드럼과, 고정형 드럼 상에 형성되는 갭 스페이서와, 갭 스페이서 상에 형성되며, 롤링형 드럼과 일정 간격 이격되며, 웹 상의 파티클을 제거하는 파티클 제거 모듈을 포함한다. 이에 의해, 효율적인 웹 세정이 가능하게 된다.

Description

롤투롤 세정장치
본 발명은 롤투롤 세정장치에 관한 것이며, 더욱 상세하게는 효율적인 웹 세정이 가능한 롤투롤 세정장치에 관한 것이다.
롤투롤(roll to roll) 세정장치는, 롤과 롤 사이에서 제공되는 웹을 세정하기 위한 장치이다.
롤투롤 세정장치는, 공기를 이용하는 건식 롤투롤 세정장치와, 액체를 이용하는 습식 롤투롤 세정장치로 구분될 수 있다.
건식 롤투롤 세정장치의 경우, 방출되는 공기와 흡입되는 공기의 양이 일치하는 것이 바람직하나, 실제 구현시, 흡입되는 공기의 양이 달라질 수 있으며, 이에 따라, 불균일하게 파티클이 제거될 수 있다.
한편, 건식 롤투롤 세정장치의 경우, 헤드와 웹 사이의 간격이 넓을수록, 사용되는 공기의 양이 많아야 하므로, 이를 흡입하기 위해서는, 고용량의 흡입 유닛을 사용하여야 하는 불편함이 있다.
본 발명의 목적은, 효율적인 웹 세정이 가능한 롤투롤 세정장치를 제공함에 있다.
본 발명의 다른 목적은, 이온 토출에 의한 기류 확산을 방지하고, 파티클의 분산을 방지할 수 있는 롤투롤 세정장치를 제공함에 있다.
상기 목적을 달성하기 위한 본 발명의 실시예에 따른 롤투롤 세정장치는, 웹을 이송하는 롤링형 드럼과, 롤링형 드럼의 측면에 형성되는 고정형 드럼과, 고정형 드럼 상에 형성되는 갭 스페이서와, 갭 스페이서 상에 형성되며, 롤링형 드럼과 일정 간격 이격되며, 웹 상의 파티클을 제거하는 파티클 제거 모듈을 포함한다.
상기 목적을 달성하기 위한 본 발명의 다른 실시예에 따른 롤투롤 세정장치는, 케이스와, 케이스 내에 형성되며, 이송 중인 웹으로부터의 파티클을 석션하는 석션 유닛과, 석션 유닛의 양 측에 형성되는 이온 토출 유로를 구비하는 파티클 제거 모듈을 포함하며, 이온 토출 유로는, 석션 유닛의 개구 방향으로 형성된다.
본 발명의 일 실시예에 따른 롤투롤 세정장치는, 웹을 이송하는 롤링형 드럼과, 롤링형 드럼의 측면에 형성되는 고정형 드럼과, 고정형 드럼 상에 형성되는 갭 스페이서와, 갭 스페이서 상에 형성되며, 롤링형 드럼과 일정 간격 이격되며, 웹 상의 파티클을 제거하는 파티클 제거 모듈을 포함함으로써, 효율적인 웹 세정이 가능하게 된다.
특히, 파티클 제거 모듈이, 갭 스페이서 상에 형성되며, 롤링형 드럼과 일정 간격 이격됨으로써, 롤링형 드럼을 통해 이송되는 웹의 파티클을 균일하게 제거할 수 있게 되며, 방출되는 공기와 흡입되는 공기의 양이 일정하게 조절될 수 있게 된다.
한편, 롤링형 드럼은 가열 가능하며, 이에 따라, 웹의 파티클을 더욱 효율적으로 제거할 수 있게 된다.
한편, 롤링형 드럼과 일정 간격 이격되는 정전기 제거 모듈을 더 포함함으로써, 웹의 파티클을 더욱 효율적으로 제거할 수 있게 된다.
한편, 파티클 제거 모듈은, 케이스와, 케이스 내에 형성되며, 웹으로부터의 파티클을 석션하는 석션 유닛과, 석션 유닛의 양 측에 형성되는 이온 토출 유로를 포함하며, 이온 토출 유로는, 상기 석션 유닛의 개구 방향으로 형성될 수 있으며, 이에 따라, 이온 토출에 의한 기류 확산을 방지하고, 파티클의 분산을 방지할 수 있게 된다.
한편, 본 발명의 다른 실시예에 따른 롤투롤 세정장치는, 케이스와, 케이스 내에 형성되며, 이송 중인 웹으로부터의 파티클을 석션하는 석션 유닛과, 석션 유닛의 양 측에 형성되는 이온 토출 유로를 구비하는 파티클 제거 모듈을 포함하며, 이온 토출 유로는, 석션 유닛의 개구 방향으로 형성됨으로써, 이온 토출에 의한 기류 확산을 방지하고, 파티클의 분산을 방지할 수 있게 된다.
한편, 이송 중인 웹의 제2 면의 파티클을 제거하는 제2 파티클 제거 모듈을 더 포함함으로써, 웹의 양면의 파티클을 효율적으로 제거할 수 있게 된다.
도 1은 본 발명과 관련된 롤투롤 장치를 도시하는 도면이다.
도 2는 본 발명의 실시예에 따른 롤투롤 세정장치를 도시하는 도면이다.
도 3은 도 2의 단면도이다.
도 4a 내지 도 4c는 본 발명의 다양한 실시예에 따른 롤투롤 세정장치를 도시하는 도면이다.
도 5는 본 발명의 다른 실시예에 따른 롤투롤 세정장치를 도시하는 도면이다.
도 6a 내지 도 6b는 도 5의 동작 설명에 참조되는 도면이다.
도 7은 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 롤투롤 세정장치를 도시하는 도면이다.
도 8a 내지 도 8c는 본 발명의 다양한 실시예에 따른 롤투롤 세정장치를 도시하는 도면이다.
이하에서는 도면을 참조하여 본 발명을 보다 상세하게 설명한다.
이하의 설명에서 사용되는 구성요소에 대한 접미사 "모듈" 및 "부"는 단순히 본 명세서 작성의 용이함만이 고려되어 부여되는 것으로서, 그 자체로 특별히 중요한 의미 또는 역할을 부여하는 것은 아니다. 따라서, 상기 "모듈" 및 "부"는 서로 혼용되어 사용될 수도 있다.
도 1은 본 발명과 관련된 롤투롤 장치를 도시하는 도면이다.
도면을 참조하면, 도 1의 롤투롤 장치(10)는, 웹(FMaa)을 이송하기 위해 서로 이격되어 일방향으로 회전하는 롤(RO1, RO2), 그리고, 웹(FMaa) 상에 불순물인 파티클(particle)을 제거하기 위한 파티클 제거 모듈(Particle Suction Module; PSM)(20)을 구비할 수 있다.
도 1의 롤투롤 장치(10) 내의 파티클 제거 모듈(PSM)(20)은, 복수의 롤(RO1, RO2) 상에 이격되어 형성될 수 있다.
그러나, 파티클 제거 모듈(PSM)(20)과 웹(FMaa) 상의 간격이 넓을수록, 사용되는 공기의 양이 많아야 하므로, 이를 흡입하기 위해서는, 고용량의 흡입 유닛을 사용하여야 하는 불편함이 있다.
또한, 파티클 제거 모듈(PSM)(20)과 웹(FMaa) 사이의 간격을 일정하게 유지하기 쉽지 않으며, 도면과 같이, 제1 롤(Ro1) 부근에서의 파티클 제거 모듈(PSM)(20)과 웹(FMaa) 사이의 간격은 Da이고, 제2 롤(Ro2) 부근에서의 파티클 제거 모듈(PSM)(20)과 웹(FMaa) 사이의 간격은 Db로서, 서로 일치하지 않을 수 있다.
본 발명에서는, 이러한 점을 해결하기 위해, 효율적인 웹 세정이 가능한 롤투롤 세정장치를 제공한다. 이에 대해서는, 도 2 이하를 참조하여 기술한다.
도 2는 본 발명의 실시예에 따른 롤투롤 세정장치를 도시하는 도면이고, 도 3은 도 2의 단면도이다. 특히, 도 3은 도 2의 A-A'를 따라 절단한 단면도이다.
도면을 참조하면, 본 발명의 실시예에 따른 롤투롤 세정장치(100)는, 웹(FM)을 이송하는 롤링형 드럼(130)과, 롤링형 드럼(130)의 측면에 형성되는 고정형 드럼(135a,135b)과, 고정형 드럼(135a,135b) 상에 형성되는 갭 스페이서(127a,127b)와, 갭 스페이서(127a,127b) 상에 형성되며, 롤링형 드럼(130)과 일정 간격 이격되며, 웹(FM) 상의 파티클을 제거하는 파티클 제거 모듈(120)을 포함함으로써, 효율적인 웹(FM) 세정이 가능하게 된다.
특히, 파티클 제거 모듈(120)이, 갭 스페이서(127a,127b) 상에 형성되며, 롤링형 드럼(130)과 일정 간격(D1)으로 이격되게 된다. 이에 따라, 도 1과 달리, 롤링형 드럼(130)을 통해 이송되는 웹(FM)의 파티클을 균일하게 제거할 수 있게 되며, 방출되는 공기와 흡입되는 공기의 양이 일정하게 조절될 수 있게 된다.
한편, 롤링형 드럼(130)은, 일방향 회전하며, 회전하지 않는 고정형 드럼(135a,135b)과는 베어링을 통해 접속될 수 있다.
이와 같이, 회전하지 않는 고정형 드럼(135a,135b) 상에, 갭 스페이서(127a,127b)를 형성함으로써, 파티클 제거 모듈(120)이, 롤링형 드럼(130)과 일정 간격(D1)으로 이격될 수 있게 된다.
한편, 파티클 제거 모듈(120)과, 롤링형 드럼(130) 사이에 일정한 공극(air gap)(125)이 형성되며, 일정하게 형성된 공극(125) 사이에, 웹(FMa)이 이송되게 된다.
한편, 파티클 제거 모듈(120)은, 공기(예를 들어, N2)를 방출하는 공기 방출구(미도시), 공기를 흡입하는 공기 흡입구(미도시)를 구비하며, 방출되는 공기와 흡입되는 공기의 양이 일정하게 조절하여, 웹(FMa) 상의 불술물인 파티클을 효율적으로 제거한다.
이러한, 도 2의 롤투롤 세정장치(100)는, 건식 파티클 제거 모듈(120)을 구비함으로써, 웹(FMa) 상의 불술물인 파티클을 효율적으로 제거한다.
한편, 롤링형 드럼(130)은, 일방향 회전하면서, 이송되는 웹(FM)을 가열할 수 있다. 이에 따라, 웹(FM) 상의 불순물인 파티클의 분리가 더 용이하게 되어, 결국, 파티클 제거 모듈(120)을 통해, 파티클을 효율적으로 제거할 수 있게 된다.
한편, 도 3의 단면도에 도시한 바와 같이, 원형의 롤링형 드럼(130)의 외주에 대응하는 영역이, 롤링형 드럼(130)과 일정 간격이 되도록, 곡면 형상을 가지는 것이 바람직하다. 이에 따라, 파티클 제거 모듈(120)이 롤링형 드럼(130)과 일정 간격(D1)으로 이격되게 된다.
한편, 일정 간격(D1)은, 공정 조건에 따라, 달리 설정될 수 있으며, 대략 수 um로 설정될 수 있다.
한편, 상술한 웹(FMa)은 필름 또는 기판일 수 있다. 특히, 플렉서블 필름 또는 플렉서블 기판일 수 있다.
이러한 플렉서블 필름 또는 플랙서블 기판은, 플렉서블 이동 단말기, 플렉서블 영상표시장치(예를 들어, TV, 모니터 등) 상에 부착 가능하다.
한편, 롤투롤 세정장치(100)를 통한 파티클 제거한 후에, 바로 증착 공정을 수행하는 것도 가능하다.
이에 따라, 롤투롤 세정장치(100) 주변에, 바로 증착 모듈(미도시)이 배치되어, 이동 단말기 또는 영상표시장치의 디스플레이 상에, 웹이 증착되는 것도 가능하다.
한편, 도 3에 도시된 바와 같이, 웹(FM)은, 롤링형 드럼(130)에 접촉되어, 이송될 수 있다.
도 4a 내지 도 4c는 본 발명의 다양한 실시예에 따른 롤투롤 세정장치를 도시하는 도면이다.
먼저, 도 4a의 롤투롤 세정장치(100b)는, 도 2의 롤투롤 세정장치(100)와 유사하나, 롤링형 드럼(130)과 일정 간격 이격되는 정전기 제거 모듈(150)을 더 포함하는 것에 그 차이가 있다.
정전기 제거 모듈(150)은, 이오나이저 등을 구비할 수 있으며, 이온을 방출하는 공기 방출구(미도시), 이온울 흡입하는 공기 흡입구(미도시)를 구비할 수 있다. 이에 따라, 웹(FMa) 상의 불술물인 파티클을 효율적으로 제거할 수 있게 된다.
다음, 도 4b의 롤투롤 세정장치(100c)는, 도 2의 롤투롤 세정장치(100)와 유사하나, 롤링형 드럼(130)의 중심 위치 조정을 통해, 웹(FMb)과 파티클 제거 모듈(120) 사이의 간격(125b)이, 웹 이송 방향에 따라 가변되는 것에 그 차이가 있다.
다음, 도 4c의 롤투롤 세정장치(100d)는, 도 2의 롤투롤 세정장치(100)와 유사하나, 롤링형 드럼(130) 대신에 에어 롤러(130b)가 사용되는 것에 그 차이가 있다.
에어 롤러(130b)는, 에어 방출구(미도시), 에어 흡입구(미도시)를 구비할 수 있다. 이에 따라, 웹(FMc)은, 에어 롤러(130b)에 접촉되지 않고, 에어 롤러(130b)과 파티클 제거 모듈(120) 사이에 이격되어, 이송될 수 있다.
한편, 도 4c와 유사하게, 에어 롤러(130b) 대신에 롤링형 드럼(130)이 사용되는 경우, 웹(FMc)이, 롤링형 드럼(130)에 접촉되지 않고, 롤링형 드럼(130)과 파티클 제거 모듈(120) 사이에 이격되어, 이송되는 것도 가능하다.
도 5는 본 발명의 다른 실시예에 따른 롤투롤 세정장치를 도시하는 도면이다.
도면을 참조하면, 도 5의 롤투롤 세정장치(200)는, 파티클 제거 모듈(120a)을 구비할 수 있으며, 파티클 제거 모듈(120a)은, 케이스(CS)와, 케이스(CS) 내에 형성되며, 웹(FM)으로부터의 파티클을 석션하는 석션 유닛(SU)과, 석션 유닛(SU)의 양 측에 형성되는 이온 토출 유로(Lta,Ltb)를 포함하며, 이온 토출 유로(Lta,Ltb)는, 상기 석션 유닛(SU)의 개구(INH) 방향으로 형성될 수 있으며, 이에 따라, 이온 토출에 의한 기류 확산을 방지하고, 파티클의 분산을 방지할 수 있게 된다.
케이스(CS) 내에 중앙 영역에, 석션 유닛(SU)이 형성되며, 석션 유닛(SU)의 양 측에, 이온 토출 유로(Lta,Ltb)가 형성될 수 있다.
이온 토출 유로(Lta,Ltb)는, 도면과 같이, 석션 유닛(SU)의 개구(INH) 방향으로 연장되어 형성될 수 있다.
이때, 이온 토출 유로(Lta,Ltb)는, 석션 유닛(SU)의 개구(INH) 방향 또는 파티클 제거 모듈(120a)의 개구(OP) 방향으로 굴곡되어 형성될 수 있다. 이에 의해, 석션 유닛(SU)의 개구(INH) 방향 또는 파티클 제거 모듈(120a)의 개구(OP) 방향으로, 이온(IONa,IONb)이 효율적으로 토출되게 된다.
한편, 파티클 제거 모듈(120a)의 개구(OP)는, 케이스(CS) 중 이온 토출 유로(Lta,Ltb)의 출구에 대응하는 영역에 형성되는 개구(OP)일 수 있다.
한편, 도면에서는, 이온 토출 유로(Lta,Ltb)의 단면이 가변되며, 특히, 석션 유닛(SU)의 개구(INH) 방향에서의 단면(Pc,Pf)의 크기가, 굴곡이 시작되는 부분의 단면(Pd,Pe) 보다 큰 것을 예시한다.
한편, 석션 유닛(SU)의 단부에도 개구(INH)가 형성될 수 있다.
케이스(CS) 중 이온 토출 유로(Lta,Ltb)의 출구에 대응하는 영역에 형성된 개구(OP)의 크기는, 석션 유닛(SU)에 형성된 개구(INH)의 크기 보다 크며, 이온 토출 유로(Lta,Ltb)의 크기가, 석션 유닛(SU)에 형성된 개구(INH)의 크기 보다 큰 것이 바람직하다.
이에 따라, 이온 토출 유로(Lta,Ltb)에서 토촐되는 이온이, 이온 토출 유로(Lta,Ltb)의 출구에 대응하는 영역에 형성된 개구(OP)로 출력되어, 웹(FM1)의 표면으로 출력되며, 웹(FM1)의 표면의 파티클이, 석션 유닛(SU)에 형성된 개구(INH)를 통해, 흡입된다. 따라서, 효율적으로 웹(FM1)의 표면의 파티클을 제거할 수 있게 된다.
한편, 석션 유닛(SU)의 석션 속도가, 이온 토출 유로(Lta,Ltb)를 통해 토출되는 이온의 속도 보다 더 빠른 것이 바람직하다. 이에 따라, 효율적으로 웹(FM1)의 표면의 파티클을 제거할 수 있게 된다.
도 6a 내지 도 6b는 도 5의 동작 설명에 참조되는 도면이다.
도 6a는, 도 5와 달리, 파티클 제거 모듈(120a)에서 케이스(CS)가 없는 경우, 웹(FM1)의 표면의 파티클이 사방으로 퍼져나가, 석션 유닛에도 불구하고, 안정적으로 파티클 제거가 수행되지 못하는 것을 예시한다.
도 6b는 도 5의 파티클 제거 모듈(120a)에서 케이스(CS)가 있는 경우로서, 웹(FM1)의 표면의 파티클이 케이스(CS) 안에 모여, 석션 유닛(SU)을 통해 안정적으로 파티클 제거가 수행되는 것을 예시한다.
도 7은 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 롤투롤 세정장치를 도시하는 도면이다.
도면을 참조하면, 도 7의 롤투롤 세정장치(200b)는, 웹(FM2)의 제1 면의 파티클 제거를 위한 제1 파티클 제거 모듈(120a)과, 웹(FM2)의 제2면의 파티클 제거를 위한 제2 파티클 제거 모듈(120b)을 구비하는 것에 그 차이가 있다.
제1 파티클 제거 모듈(120a)은, 도 5에 도시된 파티클 제거 모듈(120a)과 유사하게, 케이스(CSa)와, 케이스(CSa) 내에 형성되며, 웹(FM2)으로부터의 파티클을 석션하는 석션 유닛(SUa)과, 석션 유닛(SUa)의 양 측에 형성되는 이온 토출 유로(Ltaa,Ltba)를 포함하며, 이온 토출 유로(Ltaa,Ltba)는, 상기 석션 유닛(SUa)의 개구(INHa) 방향으로 형성될 수 있으며, 이에 따라, 이온 토출에 의한 기류 확산을 방지하고, 파티클의 분산을 방지할 수 있게 된다.
한편, 제2 파티클 제거 모듈(120b)은, 케이스(CSb)와, 케이스(CSb) 내에 형성되며, 웹(FM2)으로부터의 파티클을 석션하는 석션 유닛(SUb)과, 석션 유닛(SUb)의 양 측에 형성되는 이온 토출 유로(Ltab,Ltbb)를 포함하며, 이온 토출 유로(Ltab,Ltbb)는, 상기 석션 유닛(SUb)의 개구(INHb) 방향으로 형성될 수 있으며, 이에 따라, 이온 토출에 의한 기류 확산을 방지하고, 파티클의 분산을 방지할 수 있게 된다.
도 8a 내지 도 8c는 본 발명의 다양한 실시예에 따른 롤투롤 세정장치를 도시하는 도면이다.
먼저, 도 8a의 롤투롤 세정장치(200c)는, 도 4a의 롤투롤 세정장치(100b)와 유사하나, 파티클 제거 모듈(120) 대신에, 도 5의 파티클 제거 모듈(120a)이 사용되는 것에 그 차이가 있다.
한편, 도 8a의 롤투롤 세정장치(200c)는, 롤링형 드럼(130)과 일정 간격 이격되는 정전기 제거 모듈(150)을 더 포함할 수 있다.
정전기 제거 모듈(150)은, 이오나이저 등을 구비할 수 있으며, 이온을 방출하는 공기 방출구(미도시), 이온울 흡입하는 공기 흡입구(미도시)를 구비할 수 있다. 이에 따라, 웹(FMa) 상의 불술물인 파티클을 효율적으로 제거할 수 있게 된다.
다음, 도 8b의 롤투롤 세정장치(200d)는, 도 4b의 롤투롤 세정장치(100c)와 유사하나, 파티클 제거 모듈(120) 대신에, 도 5의 파티클 제거 모듈(120a)이 사용되는 것에 그 차이가 있다.
도 8b의 롤투롤 세정장치(200d)는, 롤링형 드럼(130)의 중심 위치 조정을 통해, 웹(FMb)과 파티클 제거 모듈(120a) 사이의 간격(125b)이, 웹 이송 방향에 따라 가변될 수 있다.
다음, 도 8c의 롤투롤 세정장치(200e)는, 도 4c의 롤투롤 세정장치(100d)와 유사하나, 파티클 제거 모듈(120) 대신에, 도 5의 파티클 제거 모듈(120a)이 사용되는 것에 그 차이가 있다.
도 8c의 롤투롤 세정장치(200e)는, 롤링형 드럼(130) 대신에 에어 롤러(130b)가 사용될 수 있다.
에어 롤러(130b)는, 에어 방출구(미도시), 에어 흡입구(미도시)를 구비할 수 있다. 이에 따라, 웹(FMc)은, 에어 롤러(130b)에 접촉되지 않고, 에어 롤러(130b)과 파티클 제거 모듈(120a) 사이에 이격되어, 이송될 수 있다.
한편, 도 8c와 유사하게, 에어 롤러(130b) 대신에 롤링형 드럼(130)이 사용되는 경우, 웹(FMc)이, 롤링형 드럼(130)에 접촉되지 않고, 롤링형 드럼(130)과 파티클 제거 모듈(120a) 사이에 이격되어, 이송되는 것도 가능하다.
본 발명의 실시예에 따른 롤투롤 세정장치는 상기한 바와 같이 설명된 실시예들의 구성과 방법이 한정되게 적용될 수 있는 것이 아니라, 상기 실시예들은 다양한 변형이 이루어질 수 있도록 각 실시예들의 전부 또는 일부가 선택적으로 조합되어 구성될 수도 있다.
한편, 본 발명의 롤투롤 세정장치의 동작방법은 롤투롤 세정장치에 구비된 프로세서가 읽을 수 있는 기록매체에 프로세서가 읽을 수 있는 코드로서 구현하는 것이 가능하다. 프로세서가 읽을 수 있는 기록매체는 프로세서에 의해 읽혀질 수 있는 데이터가 저장되는 모든 종류의 기록장치를 포함한다. 프로세서가 읽을 수 있는 기록매체의 예로는 ROM, RAM, CD-ROM, 자기 테이프, 플로피디스크, 광 데이터 저장장치 등이 있으며, 또한, 인터넷을 통한 전송 등과 같은 캐리어 웨이브의 형태로 구현되는 것도 포함한다. 또한, 프로세서가 읽을 수 있는 기록매체는 네트워크로 연결된 컴퓨터 시스템에 분산되어, 분산방식으로 프로세서가 읽을 수 있는 코드가 저장되고 실행될 수 있다.
또한, 이상에서는 본 발명의 바람직한 실시예에 대하여 도시하고 설명하였지만, 본 발명은 상술한 특정의 실시예에 한정되지 아니하며, 청구범위에서 청구하는 본 발명의 요지를 벗어남이 없이 당해 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진자에 의해 다양한 변형실시가 가능한 것은 물론이고, 이러한 변형실시들은 본 발명의 기술적 사상이나 전망으로부터 개별적으로 이해되어져서는 안될 것이다.

Claims (12)

  1. 웹을 이송하는 롤링형 드럼;
    상기 롤링형 드럼의 측면에 형성되는 고정형 드럼;
    상기 고정형 드럼 상에 형성되는 갭 스페이서;
    상기 갭 스페이서 상에 형성되며, 상기 롤링형 드럼과 일정 간격 이격되며, 상기 웹 상의 파티클을 제거하는 파티클 제거 모듈;을 포함하는 것을 특징으로 하는 롤투롤 세정장치.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 파티클 제거 모듈은, 건식 파티클 제거 모듈 인 것을 특징으로 하는 롤투롤 세정장치.
  3. 제1항에 있어서,
    상기 롤링형 드럼은, 일방향 회전하면서, 이송되는 상기 웹을 가열하는 것을 특징으로 하는 롤투롤 세정장치.
  4. 제1항에 있어서,
    상기 파티클 제거 모듈은,
    원형의 상기 롤링형 드럼의 외주에 대응하는 영역이, 상기 롤링형 드럼과 일정 간격이 되도록, 곡면 형상을 가지는 것을 특징으로 하는 롤투롤 세정장치.
  5. 제1항에 있어서,
    상기 롤링형 드럼과 일정 간격 이격되는 정전기 제거 모듈;을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 롤투롤 세정장치.
  6. 제1항에 있어서,
    상기 웹은, 상기 롤링형 드럼에 접촉되어, 이송되는 것을 특징으로 하는 롤투롤 세정장치.
  7. 제1항에 있어서,
    상기 웹은, 상기 롤링형 드럼에 접촉되지 않고, 상기 롤링형 드럼과 상기 파티클 제거 모듈 사이에 이격되어, 이송되는 것을 특징으로 하는 롤투롤 세정장치.
  8. 제1항에 있어서,
    상기 파티클 제거 모듈은,
    케이스;
    상기 케이스 내에 형성되며, 상기 웹으로부터의 파티클을 석션하는 석션 유닛;
    상기 석션 유닛의 양 측에 형성되는 이온 토출 유로;를 포함하며,
    상기 이온 토출 유로는, 상기 석션 유닛의 개구 방향으로 형성되는 것을 특징으로 하는 롤투롤 세정장치.
  9. 케이스;
    상기 케이스 내에 형성되며, 이송 중인 웹으로부터의 파티클을 석션하는 석션 유닛;
    상기 석션 유닛의 양 측에 형성되는 이온 토출 유로;를 구비하는 파티클 제거 모듈을 포함하며,
    상기 이온 토출 유로는, 상기 석션 유닛의 개구 방향으로 형성되는 것을 특징으로 하는 롤투롤 세정장치.
  10. 제9항에 있어서,
    상기 석션 유닛의 석션 속도가, 상기 이온 토출 유로를 통해 토출되는 이온의 속도 보다 더 빠른 것을 특징으로 하는 롤투롤 세정장치.
  11. 제9항에 있어서,
    상기 케이스 중 상기 이온 토출 유로의 출구에 대응하는 영역에 개구가 형성되며,
    상기 개구의 크기는, 상기 석션 유닛에 형성된 개구의 크기 보다 크며,
    상기 이온 토출 유로의 크기가, 상기 석션 유닛에 형성된 개구의 크기 보다 큰 것을 특징으로 하는 롤투롤 세정장치.
  12. 제9항에 있어서,
    상기 파티클 제거 모듈은, 이송 중인 상기 웹의 제1 면의 파티클을 제거하며,
    이송 중인 상기 웹의 제2 면의 파티클을 제거하는 제2 파티클 제거 모듈;을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 롤투롤 세정장치.
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