WO2019059055A1 - Crystal oscillator - Google Patents

Abstract

The purpose of the present invention is to provide a crystal oscillator with which crystal impedance can be reduced. The crystal oscillator of the present invention comprises: a crystal piece which is AT-cut and provided with rectangular first and second major surfaces having long sides along the X-axis and short sides along the Z'-axis; an external electrode disposed on a surface of the crystal piece; a substrate; and an electrically conductive adhesive member which fixes the crystal piece to the substrate by contacting the substrate and the external electrode. An end surface on a -side of the X-axis of the crystal piece includes a first major surface-side one end surface which forms an angle θ1 (90° ≤ θ1 < 180°) with the first major surface, and a second major surface-side one end surface forming the angle θ1 with the second major surface. An end surface on a +side of the X-axis of the crystal piece includes a first major surface-side other end surface forming an angle θ2 (90° < θ2 < 180°) greater than θ1 with the first major surface, and a second major surface-side other end surface forming the angle θ2 with the second major surface. The electrically conductive adhesive member spans between the first major surface-side one end surface and the first major surface.

Description

水晶振動子Crystal oscillator

　本発明は、水晶振動子に関する。 The present invention relates to a quartz oscillator.

　水晶振動子（Ｑｕａｒｔｚ　Ｃｒｙｓｔａｌ　Ｕｎｉｔ）は、水晶片と、基板と、導電性接着部材とを含む。水晶片は、平板状であり、１対の主面を有する。１対の主面の各々は、長方形状である。水晶片は、その長さ方向の一端部で、導電性接着部材により、基板に固定されている。すなわち、水晶片は、導電性接着部材により片持ち支持されている。このような水晶振動子は、特許文献１に開示されている。 A quartz crystal unit (quartz crystal unit) includes a quartz piece, a substrate, and a conductive adhesive member. The crystal piece is flat and has a pair of main surfaces. Each of the pair of main surfaces is rectangular. The quartz crystal piece is fixed to the substrate by a conductive adhesive member at one end in the longitudinal direction. That is, the crystal piece is cantilevered by the conductive adhesive member. Such a crystal unit is disclosed in Patent Document 1.

特開２０１５－１５７６９号公報JP, 2015-15769, A 特開２００８－６７３４５号公報JP 2008-67345 A

　ところで、近年、水晶振動子の小型化が進んでいる。これに伴い、水晶片において、中心と導電性接着部材との接合部との距離が小さくなってきている。ここで、中心とは、振動の中心である。導電性接着部材との接合部では、水晶片の振動が阻害されるので、水晶片の小型化は、水晶片の振動のロス（いわゆる保持ロス）を招く。これにより、クリスタルインピーダンスが大きくなる。 By the way, in recent years, miniaturization of the quartz oscillator has been advanced. Along with this, in the quartz crystal piece, the distance between the center and the bonding portion between the conductive adhesive member is becoming smaller. Here, the center is the center of vibration. At the junction with the conductive adhesive member, the vibration of the quartz piece is inhibited, so the miniaturization of the quartz piece causes a loss of vibration (so-called holding loss) of the quartz piece. This increases the crystal impedance.

　そこで、本発明の目的は、クリスタルインピーダンスを低減できる水晶振動子を提供することである。 Therefore, an object of the present invention is to provide a quartz oscillator capable of reducing crystal impedance.

　本発明の一形態に係る水晶振動子は、
　ＡＴカットされた水晶片であって、Ｘ軸に沿う長辺とＺ’軸に沿う短辺とを有する長方形状の第１及び第２主面を備えた水晶片と、
　前記水晶片の表面に設けられた外部電極と、
　基板と、
　前記基板及び前記外部電極に接触することにより、前記水晶片を前記基板に固定する導電性接着部材と
　を含み、
　前記水晶片のＸ軸の－側の端面が、前記第２主面より前記第１主面に近接し前記第１主面となす角度がθ１（９０°≦θ１＜１８０°）である第１主面側一端面と、前記第１主面より前記第２主面に近接し前記第２主面となす角度がθ１である第２主面側一端面とを含み、
　前記水晶片のＸ軸の＋側の端面が、前記第２主面より前記第１主面に近接し前記第１主面となす角度がθ１より大きいθ２（９０°＜θ２＜１８０°）である第１主面側他端面と、前記第１主面より前記第２主面に近接し前記第２主面となす角度がθ２である第２主面側他端面とを含み、
　前記導電性接着部材が、前記第１主面側一端面と、前記第１主面とに跨って設けられている。 The crystal unit according to one aspect of the present invention is
A quartz-cut quartz piece provided with rectangular first and second major surfaces having long sides along the X-axis and short sides along the Z'-axis;
An external electrode provided on the surface of the crystal piece;
A substrate,
And a conductive adhesive member for fixing the crystal piece to the substrate by contacting the substrate and the external electrode.
An end face on the negative side of the X axis of the crystal piece is closer to the first main surface than the second main surface, and an angle formed with the first main surface is θ1 (90 ° ≦ θ1 <180 °). And a second main surface side end surface which is closer to the second main surface than the first main surface side and whose angle formed with the second main surface is θ1.
The end face on the + side of the X axis of the crystal piece is closer to the first main surface than the second main surface, and the angle formed with the first main surface is θ2 larger than θ1 (90 ° <θ2 <180 °) And a second main surface side other end surface which is closer to the second main surface than the first main surface and has an angle of θ2 with the second main surface,
The conductive adhesive member is provided across the first main surface side end surface and the first main surface.

　本発明の他の形態に係る水晶振動子は、
　ＡＴカットされた水晶片であって、Ｚ’軸に沿う長辺とＸ軸に沿う短辺とを有する長方形状の第１及び第２主面を備えた水晶片と、
　前記水晶片の表面に設けられた外部電極と、
　基板と、
　前記基板及び前記外部電極に接触することにより、前記水晶片を前記基板に固定する導電性接着部材と
　を含み、
　前記水晶片のＺ’軸の一方側の端面が、前記第２主面より前記第１主面に近接し前記第１主面となす角度がθ３（９０°≦θ３＜１８０°）である低角度端面と、前記第１主面より前記第２主面に近接し前記第２主面となす角度がθ３より大きいθ４（９０°＜θ４＜１８０°）である高角度端面とを含み、
　前記導電性接着部材が、前記低角度端面と、前記第１主面とに跨って設けられている。 A quartz oscillator according to another aspect of the present invention is
A quartz-cut quartz piece provided with rectangular first and second major surfaces having long sides extending along the Z 'axis and short sides extending along the X axis;
An external electrode provided on the surface of the crystal piece;
A substrate,
And a conductive adhesive member for fixing the crystal piece to the substrate by contacting the substrate and the external electrode.
The end face on one side of the Z ′ axis of the crystal piece is closer to the first main surface than the second main surface, and the angle formed with the first main surface is θ3 (90 ° ≦ θ3 <180 °). An angular end face, and a high angle end face that is closer to the second main surface than the first main surface and that forms an angle θ4 larger than θ3 (90 ° <θ4 <180 °),
The conductive adhesive member is provided across the low angle end surface and the first main surface.

　本発明の水晶振動子は、そのクリスタルインピーダンスを小さくすることができる。 The crystal oscillator of the present invention can reduce its crystal impedance.

図１は、水晶振動子１０の外観斜視図である。FIG. 1 is an external perspective view of a quartz oscillator 10. 図２は、水晶振動子１０の分解斜視図である。FIG. 2 is an exploded perspective view of the crystal unit 10. 図３Ａは、図１のＡ－Ａにおける断面構造図である。FIG. 3A is a sectional structural view taken along line AA of FIG. 図３Ｂは、図３Ａの水晶片１７付近を拡大して示す断面構造図である。FIG. 3B is an enlarged sectional view showing the vicinity of the crystal piece 17 of FIG. 3A. 図４は、水晶片１７を作製する方法を説明するための断面構造図である。FIG. 4 is a cross-sectional view for explaining the method of producing the crystal piece 17. 図５は、水晶振動子１０に備えられた水晶振動素子１６及び導電性接着部材２１０の断面構造図、並びに、水晶振動子５１０に備えられた水晶振動素子１６及び導電性接着部材２１０の断面構造図である。FIG. 5 is a cross-sectional view of the crystal vibrating element 16 and the conductive adhesive member 210 provided in the quartz oscillator 10, and the cross-sectional structure of the quartz vibrating element 16 and the conductive adhesive member 210 provided in the quartz oscillator 510. FIG. 図６は、水晶振動素子１６Ａ及び導電性接着部材２１０の断面構造図である。FIG. 6 is a cross-sectional view of the quartz crystal vibrating element 16A and the conductive adhesive member 210. As shown in FIG. 図７は、水晶振動子１０Ａに備えられた水晶振動素子１６Ａ及び導電性接着部材２１０の断面構造図、並びに、水晶振動子５２０に備えられた水晶振動素子１６Ａ及び導電性接着部材２１０の断面構造図である。FIG. 7 is a cross-sectional view of the quartz crystal vibrating element 16A and the conductive adhesive member 210 provided in the quartz oscillator 10A, and the cross-sectional structure of the quartz vibrating element 16A and the conductive adhesive member 210 provided in the quartz oscillator 520. FIG. 図８は、水晶振動素子１６Ｂ及び導電性接着部材２１０の断面構造図である。FIG. 8 is a cross-sectional view of the crystal vibrating element 16B and the conductive adhesive member 210. As shown in FIG. 図９Ａは、水晶片３７を製造する方法を説明するための断面構造図である。FIG. 9A is a sectional structural view for illustrating a method of manufacturing the crystal piece 37. As shown in FIG. 図９Ｂは、水晶片３７を製造する方法を説明するための断面構造図である。FIG. 9B is a cross-sectional view for explaining the method for manufacturing the crystal piece 37. As shown in FIG. 図９Ｃは、水晶片３７を製造する方法を説明するための断面構造図である。FIG. 9C is a cross-sectional view for explaining the method for manufacturing the crystal piece 37. As shown in FIG. 図１０は、水晶振動子１０Ｂに備えられた水晶振動素子１６Ｂ及び導電性接着部材２１０の断面構造図、並びに、水晶振動子５３０に備えられた水晶振動素子１６Ｂ及び導電性接着部材２１０の断面構造図である。FIG. 10 is a cross-sectional view of the crystal vibrating element 16B and the conductive adhesive member 210 provided in the quartz oscillator 10B, and the cross-sectional structure of the quartz vibrating element 16B and the conductive adhesive member 210 provided in the quartz oscillator 530. FIG.

〈第１実施形態〉
　以下に、本発明の第１実施形態に係る水晶振動子について、図面を参照しながら説明する。
（水晶振動子の構造）
　図１は、水晶振動子１０の外観斜視図である。図２は、水晶振動子１０の分解斜視図である。図３Ａは、図１のＡ－Ａにおける断面構造図である。図３Ｂは、図３Ａの水晶片１７付近を拡大して示す断面構造図である。 First Embodiment
Hereinafter, a crystal unit according to a first embodiment of the present invention will be described with reference to the drawings.
(Structure of quartz oscillator)
FIG. 1 is an external perspective view of a quartz oscillator 10. FIG. 2 is an exploded perspective view of the crystal unit 10. FIG. 3A is a sectional structural view taken along line AA of FIG. FIG. 3B is an enlarged sectional view showing the vicinity of the crystal piece 17 of FIG. 3A.

　以下では、水晶振動子１０の主面に対する法線方向を上下方向と定義し、上側から見たときに、水晶振動子１０の長辺が延在する方向を前後方向と定義し、水晶振動子１０の短辺が延在する方向を左右方向と定義する。 In the following, the normal direction to the main surface of the quartz oscillator 10 is defined as the vertical direction, and the direction in which the long side of the quartz oscillator 10 extends when viewed from the upper side is defined as the anteroposterior direction The direction in which the short sides of 10 extend is defined as the left-right direction.

　水晶振動子１０は、図１～図３Ａに示すように、保持器（Ｅｎｃｌｏｓｕｒｅ）１１、及び水晶振動素子（Ｑｕａｒｔｚ　Ｃｒｙｓｔａｌ　Ｒｅｓｏｎａｔｏｒ）１６を備えている。保持器１１は、基板１２、キャップ１４、及びろう材３０を含み、直方体状の密封容器である。保持器１１は、その内部に外部から隔離された空間Ｓｐ（内部空間）を有している。保持器１１は気密構造及び液密構造を有している。すなわち、空間Ｓｐは、気密かつ液密に封止されている。そのため、保持器１１外と空間Ｓｐとの間で、水蒸気などの気体、及び水などの液体の透過を防止できる。 The crystal unit 10 includes a holder (Enclosure) 11 and a quartz crystal resonator (Quartz Crystal Resonator) 16 as shown in FIGS. 1 to 3A. The holder 11 includes a substrate 12, a cap 14, and a brazing material 30, and is a rectangular parallelepiped sealed container. The holder 11 has a space Sp (internal space) internally isolated from the outside. The holder 11 has a gas tight structure and a liquid tight structure. That is, the space Sp is hermetically sealed in a liquid tight manner. Therefore, it is possible to prevent the permeation of a gas such as water vapor and a liquid such as water between the outside of the holder 11 and the space Sp.

　基板１２は、基板本体２１、外部電極２２，２６，４０，４２，４４，４６及びビア導体３２，３４を含んでいる。 The substrate 12 includes a substrate body 21, external electrodes 22, 26, 40, 42, 44 and 46 and via conductors 32 and 34.

　基板本体２１は、板状であり、上側から見たときに、長方形状である。そのため、基板本体２１は、長方形状の上面及び下面を有している。長方形は正方形も含む意味である。長方形状とは、長方形の他に長方形から僅かに変形した形状も含む意味である。基板本体２１は、例えば、酸化アルミニウム質焼結体、ムライト質焼結体、窒化アルミニウム質焼結体、炭化ケイ素質焼結体、ガラスセラミックス焼結体等のセラミックス系絶縁性材料、水晶、ガラス、シリコン等により作製されている。本実施形態では、基板本体２１は、酸化アルミニウム質焼結体により作製されている。 The substrate body 21 is plate-like and rectangular when viewed from the upper side. Therefore, the substrate body 21 has rectangular upper and lower surfaces. A rectangle is a meaning also including a square. The rectangular shape is meant to include, in addition to the rectangle, a shape slightly deformed from the rectangle. The substrate body 21 is, for example, a ceramic insulating material such as an aluminum oxide sintered body, a mullite sintered body, an aluminum nitride sintered body, a silicon carbide sintered body, a glass ceramic sintered body, quartz, glass , Silicon and the like. In the present embodiment, the substrate body 21 is made of an aluminum oxide sintered body.

　外部電極２２は、基板本体２１の上面の左後ろの角近傍に設けられている長方形状の導体層である。外部電極２６は、基板本体２１の上面の右後ろの角近傍に設けられている長方形状の導体層である。外部電極２２と外部電極２６とは、左右方向に並んでいる。 The external electrode 22 is a rectangular conductor layer provided in the vicinity of the rear left corner of the top surface of the substrate body 21. The external electrode 26 is a rectangular conductive layer provided in the vicinity of the rear right corner of the top surface of the substrate body 21. The external electrode 22 and the external electrode 26 are aligned in the left-right direction.

　外部電極４０は、基板本体２１の下面の右後ろの角近傍に設けられている正方形状の導体層である。外部電極４２は、基板本体２１の下面の左後ろの角近傍に設けられている正方形状の導体層である。外部電極４４は、基板本体２１の下面の右前の角近傍に設けられている正方形状の導体層である。外部電極４６は、基板本体２１の下面の左前の角近傍に設けられている正方形状の導体層である。 The external electrode 40 is a square-shaped conductor layer provided in the vicinity of the rear right corner of the lower surface of the substrate body 21. The external electrode 42 is a square-shaped conductor layer provided in the vicinity of the rear left corner of the lower surface of the substrate body 21. The external electrode 44 is a square-shaped conductor layer provided in the vicinity of the front right corner of the lower surface of the substrate body 21. The external electrode 46 is a square-shaped conductor layer provided in the vicinity of the left front corner of the lower surface of the substrate body 21.

　外部電極２２，２６，４０，４２，４４，４６の各々は、３層構造を有しており、具体的には、下層側から上層側へとモリブデン層、ニッケル層及び金層が積層されることにより構成されている。 Each of the external electrodes 22, 26, 40, 42, 44, and 46 has a three-layer structure, and specifically, a molybdenum layer, a nickel layer, and a gold layer are stacked from the lower layer side to the upper layer side. Is configured by.

　ビア導体３２，３４は、基板本体２１をその厚み方向（上下方向）に貫通している。ビア導体３２は、外部電極２２と外部電極４２とを接続している。ビア導体３４は、外部電極２６と外部電極４０とを接続している。ビア導体３２，３４は、モリブデン等の導体により作製されている。 The via conductors 32 and 34 penetrate the substrate body 21 in the thickness direction (vertical direction). The via conductor 32 connects the external electrode 22 and the external electrode 42. The via conductor 34 connects the external electrode 26 and the external electrode 40. The via conductors 32 and 34 are made of a conductor such as molybdenum.

　キャップ１４は、下側が開口した直方体状の金属製筺体である。キャップ１４は、主面部１４ａと、環状部１４ｂと、フランジ１４ｃとを含んでいる。主面部１４ａ、環状部１４ｂ及びフランジ１４ｃは、一体の部材として構成されている。具体的には、後述のように、環状部１４ｂ及びフランジ１４ｃは、一つの金属板が絞り加工により屈曲されて形成されている。 The cap 14 is a rectangular parallelepiped metal casing opened at the lower side. The cap 14 includes a main surface portion 14a, an annular portion 14b, and a flange 14c. The main surface portion 14a, the annular portion 14b and the flange 14c are configured as an integral member. Specifically, as described later, the annular portion 14 b and the flange 14 c are formed by bending one metal plate by drawing.

　主面部１４ａは、平板状である。主面部１４ａについて、平板状とは、平板の他に平板から僅かに変形した形状、例えば、主面が僅かに湾曲したものも含む意味である。環状部１４ｂは、主面部１４ａの略法線方向に延びる４つの板状部を有する。上下方向から見て、環状部１４ｂは、主面部１４ａの下面１５Ａを囲む環状構造を有する。主面部１４ａ及び環状部１４ｂにより、キャップ１４には凹部１５が構成されている。主面部１４ａの下面１５Ａは、凹部１５の底面である。キャップ１４は、長方形状の開口を有する。フランジ１４ｃは、環状部１４ｂの開口縁部（外縁）から、主面部１４ａの下面１５Ａに沿う方向、すなわち、主面部１４ａに略平行な方向、かつ凹部１５の外方に突出している。 The main surface portion 14a is flat. About main surface part 14a, flat form is a meaning including the shape by which the main surface was slightly curved besides a flat plate, for example, a thing slightly deformed from a flat plate. The annular portion 14 b has four plate-like portions extending in a direction substantially normal to the main surface portion 14 a. When viewed from the up and down direction, the annular portion 14b has an annular structure surrounding the lower surface 15A of the main surface portion 14a. A recess 15 is formed in the cap 14 by the main surface portion 14 a and the annular portion 14 b. The lower surface 15A of the main surface portion 14a is the bottom surface of the recess 15. The cap 14 has a rectangular opening. The flange 14c protrudes from the opening edge (outer edge) of the annular portion 14b in a direction along the lower surface 15A of the main surface 14a, that is, in a direction substantially parallel to the main surface 14a and outward of the recess 15.

　キャップ１４は、母材と、母材の表面に設けられためっき層とを備えている。母材は、例えば、鉄ニッケル合金（例えば、ニッケル含有率が４２質量％であるもの）又は鉄ニッケルコバルト合金（コバール）からなる。めっき層は、下地としてのニッケル層と、ニッケル層の上に設けられた金層との２層構造を有する。本実施形態では、キャップ１４は、鉄ニッケル合金の母材の表面にニッケルめっき及び金めっきが施されることにより作製されている。 The cap 14 includes a base material and a plating layer provided on the surface of the base material. The base material is made of, for example, an iron-nickel alloy (for example, one having a nickel content of 42% by mass) or an iron-nickel-cobalt alloy (Kovar). The plating layer has a two-layer structure of a nickel layer as a base and a gold layer provided on the nickel layer. In the present embodiment, the cap 14 is manufactured by applying nickel plating and gold plating to the surface of a base material of an iron-nickel alloy.

　ろう材３０は、長方形状の環状であり、上側から見たときに、水晶振動素子１６及び外部電極２２，２６を囲んでいる。ろう材３０は、例えば、金錫合金、又は錫鉛合金である。ろう材３０は、基板１２とキャップ１４とを接合する役割を果たす。接合する際には、基板１２の縁部の上にろう材３０を介してキャップ１４の開口縁部が重ねられた状態で、ろう材３０が溶融及び固化させられる。これにより、ろう材３０とキャップ１４の開口縁部との間で合金化層が形成されるとともに、ろう材３０が基板１２の縁部に固着する。すなわち、キャップ１４は、開口縁部の全周において基板１２の上面１２Ａに接合する。このようにして、凹部１５は、基板１２の上面１２Ａにより密閉される。その結果、基板本体２１の上面１２Ａ及びキャップ１４により、空間Ｓｐが形成されている。 The brazing material 30 has a rectangular annular shape and surrounds the quartz crystal vibrating element 16 and the external electrodes 22 and 26 when viewed from the upper side. The brazing material 30 is, for example, a gold-tin alloy or a tin-lead alloy. The brazing material 30 plays a role of joining the substrate 12 and the cap 14. In bonding, the brazing material 30 is melted and solidified in a state where the opening edge of the cap 14 is superimposed on the edge of the substrate 12 via the brazing material 30. As a result, an alloyed layer is formed between the brazing material 30 and the opening edge of the cap 14, and the brazing material 30 adheres to the edge of the substrate 12. That is, the cap 14 is bonded to the top surface 12A of the substrate 12 all around the opening edge. Thus, the recess 15 is sealed by the upper surface 12A of the substrate 12. As a result, a space Sp is formed by the upper surface 12A of the substrate body 21 and the cap 14.

　水晶振動子１０に要求される特性によって、ろう材３０の代わりに、他の材料からなる接着部材が用いられてもよい。例えば、水晶振動子１０に気密構造が要求され液密構造が要求されない場合は、ろう材３０の代わりに、有機物を主体とする接着剤が用いられてもよい。 Depending on the characteristics required for the quartz oscillator 10, instead of the brazing material 30, an adhesive member made of another material may be used. For example, when a gas tight structure is required for the quartz crystal vibrator 10 and a liquid tight structure is not required, an adhesive mainly composed of an organic substance may be used instead of the brazing material 30.

　水晶振動素子１６は、保持器１１内に励振可能に収納されている。水晶振動素子１６は、水晶片１７、外部電極９７，９８、励振電極１００，１０１及び引き出し導体１０２，１０３を含む。水晶片１７は、上面及び下面を有する板状であり、上側から見たときに、長方形状である。 The crystal vibrating element 16 is housed in the holder 11 so as to be excitable. The quartz crystal vibrating element 16 includes a quartz piece 17, external electrodes 97 and 98, excitation electrodes 100 and 101, and lead conductors 102 and 103. The crystal piece 17 is a plate having an upper surface and a lower surface, and is rectangular when viewed from the upper side.

　水晶片１７は、所定の結晶方位（Ｃｒｙｓｔａｌｌｏｇｒａｐｈｉｃ　Ａｘｉｓ）を有する水晶であり、具体的には、ＡＴカット型の水晶片である。水晶片１７は、例えば、人工水晶（Ｓｙｎｔｈｅｔｉｃ　Ｑｕａｒｔｚ　Ｃｒｙｓｔａｌ）から所定の角度で切り出して得られる。水晶片１７の寸法は、例えば、前後方向の長さが２．０ｍｍ、左右方向の幅が１．６ｍｍの範囲に収まる寸法である。保持器１１の壁厚み、封止材のにじみ、素子のマウント精度等を考慮して、水晶片１７の前後方向の長さが１．５００ｍｍ以下となり、水晶片１７の左右方向の幅が１．００ｍｍ以下となるように水晶片１７が設計される。 The crystal piece 17 is a crystal having a predetermined crystallographic orientation (crystallographic axis), and specifically, is an AT-cut type crystal piece. The quartz crystal piece 17 is obtained, for example, by cutting it out of synthetic quartz crystal at a predetermined angle. The dimension of the crystal piece 17 is, for example, a dimension within which the length in the front-rear direction is 2.0 mm and the width in the left-right direction is 1.6 mm. The length of the crystal piece 17 in the front-rear direction is 1.500 mm or less, and the width of the crystal piece 17 in the left-right direction is 1.2. The crystal piece 17 is designed to be equal to or less than 00 mm.

　水晶片１７の長さ方向（前後方向）はＸ軸方向に沿い、水晶片１７の幅方向（左右方向）はＺ’軸方向に沿い、水晶片１７の厚み方向（上下方向）はＹ’軸方向に沿う。図１～図３Ｂで、水晶片１７の後ろ側がＸ軸方向の－側であり、水晶片１７の前側がＸ軸方向の＋側である。水晶片１７の主たる振動モードは、厚みすべり振動（Ｔｈｉｃｋｎｅｓｓ　Ｓｈｅａｒ　Ｖｉｂｒａｔｉｏｎ）である。水晶片１７は、下面である第１主面１７Ａと、上面である第２主面１７Ｂとを有する。第１主面１７Ａ及び第２主面１７Ｂの各々は、Ｘ軸に沿う長辺と、Ｚ’軸に沿う短辺とを有する長方形状である。 The length direction (front-rear direction) of the crystal piece 17 is along the X-axis direction, the width direction (left-right direction) of the crystal piece 17 is along the Z'-axis direction, and the thickness direction (vertical direction) of the crystal piece 17 is the Y'-axis Along the direction. In FIGS. 1 to 3B, the back side of the crystal piece 17 is the − side in the X axis direction, and the front side of the crystal piece 17 is the + side in the X axis direction. The main vibration mode of the crystal piece 17 is thickness shear vibration. The crystal piece 17 has a first major surface 17A, which is the lower surface, and a second major surface 17B, which is the upper surface. Each of the first major surface 17A and the second major surface 17B has a rectangular shape having a long side along the X-axis and a short side along the Z'-axis.

　図３Ｂを参照して、水晶片１７の後ろ側（Ｘ軸方向の－側）の端面は、第１主面側一端面１７Ｃと第２主面側一端面１７Ｄとを含む。第１主面側一端面１７Ｃは、第１主面１７Ａに隣接している。第１主面側一端面１７Ｃが第１主面１７Ａとなす角度を、θ１（９０°≦θ１＜１８０°）とする。第２主面側一端面１７Ｄは、第２主面１７Ｂに隣接している。第２主面側一端面１７Ｄが第２主面１７Ｂとなす角度は、θ１である。水晶片１７の前側（Ｘ軸方向の＋側）の端面は、第１主面側他端面１７Ｅと第２主面側他端面１７Ｆとを含む。第１主面側他端面１７Ｅは、第１主面１７Ａに隣接している。第１主面側他端面１７Ｅが第１主面１７Ａとなす角度は、θ１より大きいθ２（９０°＜θ２＜１８０°）である。第２主面側他端面１７Ｆは、第２主面１７Ｂに隣接している。第２主面側他端面１７Ｆが第２主面１７Ｂとなす角度は、θ２である。 Referring to FIG. 3B, the end face on the back side (the − side in the X-axis direction) of crystal piece 17 includes a first major surface side end surface 17C and a second major surface side end surface 17D. The first major surface side end surface 17C is adjacent to the first major surface 17A. An angle formed by the first major surface side end surface 17C with the first major surface 17A is θ1 (90 ° ≦ θ1 <180 °). The second major surface side end surface 17D is adjacent to the second major surface 17B. An angle formed by the second major surface side end surface 17D with the second major surface 17B is θ1. The front end (+ side in the X-axis direction) end face of the crystal piece 17 includes a first main surface side other end surface 17E and a second main surface side other end surface 17F. The first major surface side other end surface 17E is adjacent to the first major surface 17A. The angle formed by the first main surface side other end surface 17E with the first main surface 17A is θ2 (90 ° <θ2 <180 °) larger than θ1. The second major surface side other end surface 17F is adjacent to the second major surface 17B. The angle between the second major surface 17F and the second major surface 17B is θ2.

　第１主面側一端面１７Ｃと第１主面１７Ａとの間には、第１主面側一端面１７Ｃ及び第１主面１７Ａのいずれとも平行ではない他の面が介在していてもよい。この場合、第１主面側一端面１７Ｃは、第２主面１７Ｂより第１主面１７Ａに近接しているものとする。第２主面側一端面１７Ｄと第２主面１７Ｂとの間には、第２主面側一端面１７Ｄ及び第２主面１７Ｂのいずれとも平行ではない他の面が介在していてもよい。この場合、第２主面側一端面１７Ｄは、第１主面１７Ａより第２主面１７Ｂに近接しているものとする。 Between the first major surface side end surface 17C and the first major surface 17A, another surface which is not parallel to any of the first major surface side one end surface 17C and the first major surface 17A may be interposed. . In this case, the first major surface side end surface 17C is closer to the first major surface 17A than the second major surface 17B. Between the second main surface side end surface 17D and the second main surface 17B, another surface which is not parallel to either the second main surface side one end surface 17D or the second main surface 17B may be interposed. . In this case, it is assumed that the second major surface side end surface 17D is closer to the second major surface 17B than the first major surface 17A.

　第１主面側他端面１７Ｅと第１主面１７Ａとの間には、第１主面側他端面１７Ｅ及び第１主面１７Ａのいずれとも平行ではない他の面が介在していてもよい。この場合、第１主面側他端面１７Ｅは、第２主面１７Ｂより第１主面１７Ａに近接しているものとする。第２主面側他端面１７Ｆと第２主面１７Ｂとの間には、第２主面側他端面１７Ｆ及び第２主面１７Ｂのいずれとも平行ではない他の面が介在していてもよい。この場合、第２主面側他端面１７Ｆは、第１主面１７Ａより第２主面１７Ｂに近接しているものとする。 Between the first main surface side other end surface 17E and the first main surface 17A, another surface which is not parallel to any of the first main surface side other end surface 17E and the first main surface 17A may be interposed. . In this case, the first major surface side other end surface 17E is closer to the first major surface 17A than the second major surface 17B. Between the second main surface side other end surface 17F and the second main surface 17B, another surface which is not parallel to any of the second main surface side other end surface 17F and the second main surface 17B may be interposed. . In this case, the second main surface side other end surface 17F is closer to the second main surface 17B than the first main surface 17A.

　図２及び図３Ａを参照して、外部電極９７は、水晶片１７の左後ろの角及びその近傍に設けられている導体層である。外部電極９７は、第１主面１７Ａ、第１主面側一端面１７Ｃ、第２主面側一端面１７Ｄ、第２主面１７Ｂ及び左面に跨って形成されている。外部電極９８は、水晶片１７の右後ろの角及びその近傍に設けられている導体層である。外部電極９８は、第１主面１７Ａ、第１主面側一端面１７Ｃ、第２主面側一端面１７Ｄ、第２主面１７Ｂ及び右面に跨って形成されている。外部電極９７，９８は、左右方向に、すなわち、水晶片１７の短辺に沿って並んでいる。 Referring to FIGS. 2 and 3A, the external electrode 97 is a conductor layer provided at the rear left corner of the quartz piece 17 and in the vicinity thereof. The external electrode 97 is formed across the first major surface 17A, the first major surface side end surface 17C, the second major surface side end surface 17D, the second major surface 17B, and the left surface. The outer electrode 98 is a conductor layer provided at the rear right corner of the quartz piece 17 and in the vicinity thereof. The external electrode 98 is formed across the first major surface 17A, the first major surface side end surface 17C, the second major surface side end surface 17D, the second major surface 17B, and the right surface. The external electrodes 97 and 98 are aligned in the left-right direction, that is, along the short side of the quartz piece 17.

　励振電極１００は、水晶片１７の第２主面１７Ｂの中央に設けられており、上側から見たときに長方形状である。励振電極１０１は、水晶片１７の第１主面１７Ａの中央に設けられており、上側から見たときに長方形状である。励振電極１００と励振電極１０１とは、上側から見たときに、これらの外縁が一致するように重なっている。 The excitation electrode 100 is provided at the center of the second major surface 17B of the crystal piece 17, and has a rectangular shape when viewed from the upper side. The excitation electrode 101 is provided at the center of the first major surface 17A of the quartz piece 17, and has a rectangular shape when viewed from the upper side. The excitation electrode 100 and the excitation electrode 101 overlap such that their outer edges coincide when viewed from the upper side.

　図２を参照して、引き出し導体１０２は、水晶片１７の第２主面１７Ｂに設けられており、外部電極９７と励振電極１００とを接続している。引き出し導体１０３は、水晶片１７の第１主面１７Ａに設けられており、外部電極９８と励振電極１０１とを接続している。外部電極９７，９８、励振電極１００，１０１及び引き出し導体１０２，１０３の各々は、２層構造を有しており、クロム層及び金層を含んでいる。クロム層は、水晶片１７の表面上に設けられている。金層は、クロム層の上に設けられている表面金属層である。金層は水晶片１７への密着性が低い。そのため、クロム層は、金層と水晶片１７との間に設けられることによって、外部電極９７，９８、励振電極１００，１０１及び引き出し導体１０２，１０３の水晶片１７の表面への密着層として機能している。なお、クロム層の代わりにチタン層等の他の金属層を密着層として用いてもよい。 Referring to FIG. 2, the lead conductor 102 is provided on the second main surface 17B of the crystal piece 17, and connects the external electrode 97 and the excitation electrode 100. The lead conductor 103 is provided on the first main surface 17A of the crystal piece 17, and connects the external electrode 98 and the excitation electrode 101. Each of the external electrodes 97 and 98, the excitation electrodes 100 and 101, and the lead conductors 102 and 103 has a two-layer structure, and includes a chromium layer and a gold layer. The chromium layer is provided on the surface of the quartz piece 17. The gold layer is a surface metal layer provided on the chromium layer. The gold layer has low adhesion to the quartz piece 17. Therefore, the chromium layer is provided between the gold layer and the crystal piece 17 to function as an adhesion layer to the surface of the crystal piece 17 of the external electrodes 97, 98, the excitation electrodes 100, 101 and the lead conductors 102, 103. doing. In place of the chromium layer, another metal layer such as a titanium layer may be used as the adhesion layer.

　水晶振動素子１６は、導電性接着部材２１０，２１２により、基板１２の上面１２Ａに実装されている。導電性接着部材２１０，２１２は、基板１２、及び水晶振動素子１６の外部電極９７，９８に接触することにより、水晶片１７を基板１２に固定している。水晶振動素子１６（水晶片１７）は、その後ろ側の端部で、導電性接着部材２１０，２１２により片持ち支持されている。外部電極２２と外部電極９７とは、導電性接着部材２１０により電気的に接続されている。外部電極２６と外部電極９８とは、導電性接着部材２１２により電気的に接続されている。導電性接着部材２１０，２１２の材料は、例えば、エポキシ系樹脂基材に銀フィラーなどの導電性材料フィラーを含有したものである。 The crystal vibrating element 16 is mounted on the upper surface 12 A of the substrate 12 by the conductive adhesive members 210 and 212. The conductive adhesive members 210 and 212 fix the crystal piece 17 to the substrate 12 by contacting the substrate 12 and the external electrodes 97 and 98 of the crystal vibrating element 16. The quartz crystal vibrating element 16 (quartz piece 17) is cantilevered by the conductive adhesive members 210 and 212 at its rear end. The external electrode 22 and the external electrode 97 are electrically connected by the conductive adhesive member 210. The external electrode 26 and the external electrode 98 are electrically connected by the conductive adhesive member 212. The material of the conductive adhesive members 210 and 212 is, for example, an epoxy resin base material containing a conductive material filler such as a silver filler.

　導電性接着部材２１０，２１２は、第１主面側一端面１７Ｃと第１主面１７Ａとに跨って設けられている。ここで、導電性接着部材２１０，２１２が第１主面側一端面１７Ｃと第１主面１７Ａとに跨って設けられているとは、下記(i)及び(ii)の態様を含む。 The conductive adhesive members 210 and 212 are provided across the first major surface side end surface 17C and the first major surface 17A. Here, the conductive adhesive members 210 and 212 being provided across the first major surface side end surface 17C and the first major surface 17A include the following aspects (i) and (ii).

(i) 導電性接着部材２１０，２１２の形成領域が、外部電極９７，９８の形成領域からはみ出していない。すなわち、図３Ａ及び図３Ｂに示すように、水晶片１７と導電性接着部材２１０，２１２との間の全域に渡って外部電極９７，９８が介在している。水晶片１７と導電性接着部材２１０，２１２とが直接接触している部分は存在しない。導電性接着部材２１０，２１２は、第１主面側一端面１７Ｃ及び第１主面１７Ａに対向している。
(ii) 導電性接着部材２１０，２１２の形成領域が、外部電極９７，９８の形成領域からはみ出している。すなわち、第１主面側一端面１７Ｃ及び第１主面１７Ａの少なくともいずれかにおいて、導電性接着部材２１０，２１２が水晶片１７に直接接触する部分が存在する。導電性接着部材２１０，２１２において水晶片１７に直接接触していない部分は、外部電極９７，９８を介して第１主面側一端面１７Ｃ又は第１主面１７Ａに対向している。導電性接着部材２１０，２１２は、外部電極９７，９８の形成領域の全体又は一部を含む領域に設けられていている。 (i) The formation regions of the conductive adhesive members 210 and 212 do not protrude from the formation regions of the external electrodes 97 and 98. That is, as shown in FIGS. 3A and 3B, the external electrodes 97 and 98 intervene over the entire area between the crystal piece 17 and the conductive adhesive members 210 and 212. There is no portion where the crystal piece 17 and the conductive adhesive members 210 and 212 are in direct contact with each other. The conductive adhesive members 210 and 212 are opposed to the first major surface side end surface 17C and the first major surface 17A.
(ii) The formation regions of the conductive adhesive members 210 and 212 protrude from the formation regions of the external electrodes 97 and 98. That is, at least one of the first principal surface side end surface 17C and the first principal surface 17A, there is a portion where the conductive adhesive members 210 and 212 directly contact the crystal piece 17. The portions of the conductive adhesive members 210 and 212 not in direct contact with the crystal piece 17 are opposed to the first major surface side end face 17C or the first major surface 17A via the external electrodes 97 and 98. The conductive adhesive members 210 and 212 are provided in a region including the whole or a part of the formation region of the external electrodes 97 and 98.

（水晶振動子の製造方法）
　以下に、水晶振動子１０の製造方法について図面を参照しながら説明する。 (Method of manufacturing quartz oscillator)
Hereinafter, a method of manufacturing the crystal unit 10 will be described with reference to the drawings.

　まず、キャップ１４を作製する。平板状の金属板を準備する。この金属板を、プレス加工により絞り成形して、主面部１４ａ、環状部１４ｂ及びフランジ１４ｃを有する形状に加工する。この加工については、一般的な工程であるので説明を省略する。 First, the cap 14 is manufactured. Prepare a flat metal plate. This metal plate is drawn and formed by press work to be processed into a shape having the main surface portion 14a, the annular portion 14b and the flange 14c. Since this processing is a general process, the description is omitted.

　次に、基板１２を作製する。複数の基板本体２１がマトリクス状に配列されたマザー基板を準備する。マザー基板は、基板本体２１と同じ材料、例えば、酸化アルミニウム質焼結体、ムライト質焼結体、窒化アルミニウム質焼結体、炭化ケイ素質焼結体、ガラスセラミックス焼結体等のセラミックス系絶縁性材料、水晶、ガラス、シリコン等により作製されている。 Next, the substrate 12 is manufactured. A mother substrate in which a plurality of substrate bodies 21 are arranged in a matrix is prepared. The mother substrate is made of the same material as the substrate body 21. For example, ceramic-based insulation such as aluminum oxide sintered body, mullite sintered body, aluminum nitride sintered body, silicon carbide sintered body, glass ceramics sintered body, etc. Material, quartz crystal, glass, silicon and the like.

　次に、マザー基板において、ビア導体３２，３４が配置される位置にビームを照射して、円形の貫通孔（ビアホール）を形成する。そして、この貫通孔内にビア導体３２，３４を埋め込む。 Next, in the mother substrate, a beam is irradiated to a position where the via conductors 32 and 34 are disposed, to form a circular through hole (via hole). Then, the via conductors 32 and 34 are embedded in the through holes.

　次に、外部電極４０，４２，４４，４６の下地電極をマザー基板の下面に形成する。具体的には、モリブデン層をマザー基板の下面上に印刷し、乾燥させる。その後、モリブデン層を焼結する。これにより、外部電極４０，４２，４４，４６の下地電極が形成される。 Next, base electrodes of the external electrodes 40, 42, 44, and 46 are formed on the lower surface of the mother substrate. Specifically, a molybdenum layer is printed on the lower surface of the mother substrate and dried. Thereafter, the molybdenum layer is sintered. Thereby, base electrodes of the external electrodes 40, 42, 44 and 46 are formed.

　次に、外部電極２２，２６の下地電極をマザー基板の上面に形成する。具体的には、モリブデン層をマザー基板の上面上に印刷し、乾燥させる。その後、モリブデン層を焼結する。これにより、外部電極２２，２６の下地電極が形成される。 Next, base electrodes of the external electrodes 22 and 26 are formed on the upper surface of the mother substrate. Specifically, a molybdenum layer is printed on the upper surface of the mother substrate and dried. Thereafter, the molybdenum layer is sintered. Thereby, base electrodes of the external electrodes 22 and 26 are formed.

　次に、外部電極４０，４２，４４，４６，２２，２６の下地電極に、ニッケルめっき及び金めっきをこの順に施す。これにより、外部電極４０，４２，４４，４６，２２，２６が形成される。 Next, nickel plating and gold plating are applied to the base electrodes of the external electrodes 40, 42, 44, 46, 22, 26 in this order. Thereby, the external electrodes 40, 42, 44, 46, 22, 26 are formed.

　次に、ダイシングブレードにより、マザー基板を複数の基板本体２１に分割する。なお、レーザビームを照射してマザー基板に分割溝を形成した後、マザー基板を複数の基板本体２１に分割してもよい。これにより、基板１２が完成する。 Next, the mother substrate is divided into a plurality of substrate bodies 21 by a dicing blade. The mother substrate may be divided into a plurality of substrate bodies 21 after the division grooves are formed on the mother substrate by irradiation with a laser beam. Thereby, the substrate 12 is completed.

　次に、水晶振動素子１６を作製する。人工水晶をＡＴカットにより切り出して、長方形状の板状の水晶片１７を得る。図４は、水晶片１７を作製する方法を説明するための断面構造図である。Ｘ軸方向及びＺ’軸方向にマトリクス状に配列された複数の水晶片１７に対応する水晶板１９を準備する。図４では、水晶板１９のＺ’軸に直交する方向の断面を示している。水晶板１９は、水晶片１７とほぼ同じ厚みを有する。 Next, the crystal vibrating element 16 is manufactured. The artificial quartz is cut out by AT cutting to obtain a rectangular plate-like quartz piece 17. FIG. 4 is a cross-sectional view for explaining the method of producing the crystal piece 17. A crystal plate 19 corresponding to a plurality of crystal pieces 17 arranged in a matrix in the X axis direction and the Z 'axis direction is prepared. FIG. 4 shows a cross section of the crystal plate 19 in a direction orthogonal to the Z ′ axis. The quartz plate 19 has substantially the same thickness as the quartz piece 17.

　次に、水晶板１９の一方表面（水晶片１７における第１主面１７Ａに対応する面）にマスクＭ１を設け、水晶板１９の他方表面（水晶片１７における第２主面１７Ｂに対応する面）に、マスクＭ２を設ける。マスクＭ１には、Ｘ軸方向及びＺ’軸方向に延びる格子状の開口Ｍｏ１が設けられている。同様に、マスクＭ２には、Ｘ軸方向及びＺ’軸方向に延びる格子状の開口Ｍｏ２が設けられている。マスクＭ１とマスクＭ２とは、Ｙ’軸に沿う方向から見たときに、これらの開口Ｍｏ１，Ｍｏ２の輪郭が一致して重なるように設ける。 Next, the mask M1 is provided on one surface of the quartz plate 19 (the surface corresponding to the first major surface 17A of the quartz piece 17), and the other surface of the quartz plate 19 (the surface corresponding to the second major surface 17B of the quartz piece 17). ), A mask M2 is provided. The mask M1 is provided with a grid-like opening Mo1 extending in the X-axis direction and the Z'-axis direction. Similarly, the mask M2 is provided with lattice-like openings Mo2 extending in the X-axis direction and the Z'-axis direction. The masks M1 and M2 are provided such that the contours of the openings Mo1 and Mo2 coincide and overlap when viewed from the direction along the Y 'axis.

　次に、マスクＭ１，Ｍ２の開口Ｍｏ１，Ｍｏ２を介して、水晶板１９をウェットエッチングする。エッチング液としては、例えば、ＨＦ(フッ化水素)とＮＨ_４Ｆ(フッ化アンモニウム)との混合水溶液を用いることができる。水晶板１９において、各マスクＭ１，Ｍ２の開口Ｍｏ１，Ｍｏ２を介して露出した部分には、エッチングにより凹部が形成される。更にエッチングが進行すると、凹部は水晶板１９を貫通する。これにより、複数の水晶片１７が得られる。 Next, the quartz plate 19 is wet-etched through the openings Mo1 and Mo2 of the masks M1 and M2. As the etching solution, for example, a mixed aqueous solution of HF (hydrogen fluoride) and NH ₄ F (ammonium fluoride) can be used. In the portion of the quartz plate 19 exposed through the openings Mo1 and Mo2 of the masks M1 and M2, concave portions are formed by etching. When the etching further proceeds, the recess penetrates the quartz plate 19. Thereby, a plurality of crystal pieces 17 are obtained.

　エッチングが進行する過程で、水晶板１９においてエッチング液と接触する部分には、水晶の結晶面に対応するエッチング面が現れる。水晶のエッチング速度の異方性により、Ｘ軸方向の－側と＋側とで、第１及び第２主面１７Ａ，１７Ｂとのなす角度が異なるエッチング面が現れる。 As the etching progresses, an etching surface corresponding to the crystal plane of the quartz crystal appears in the portion of the quartz plate 19 in contact with the etching solution. Due to the anisotropy of the etching rate of quartz, an etching surface having different angles with the first and second major surfaces 17A and 17B appears on the − side and the + side in the X-axis direction.

　具体的には、水晶板１９のＸ軸方向の－側には、エッチング面として、第１主面１７Ａに隣接し第１主面１７Ａとなす角度がθ１（９０°≦θ１＜１８０°）である第１主面側一端面１７Ｃと、第２主面１７Ｂに隣接し第２主面１７Ｂとなす角度がθ１である第２主面側一端面１７Ｄとが現れる。一方、水晶板１９のＸ軸方向の＋側には、エッチング面として、第１主面１７Ａに隣接し第１主面１７Ａとなす角度がθ１より大きいθ２（９０°＜θ２＜１８０°）である第１主面側他端面１７Ｅと、第２主面１７Ｂに隣接し第２主面１７Ｂとなす角度がθ２である第２主面側他端面１７Ｆとが現れる。 Specifically, on the − side in the X-axis direction of the crystal plate 19, the angle formed with the first major surface 17A adjacent to the first major surface 17A is θ1 (90 ° ≦ θ1 <180 °) as an etching surface. A first main surface side end surface 17C and a second main surface side end surface 17D adjacent to the second main surface 17B and forming an angle of θ1 with the second main surface 17B appear. On the other hand, on the + side in the X-axis direction of the crystal plate 19, the etching surface is adjacent to the first major surface 17A and the angle formed with the first major surface 17A is θ2 larger than θ1 (90 ° <θ2 <180 °) A first main surface side other end surface 17E and a second main surface side other end surface 17F adjacent to the second main surface 17B and forming an angle of θ2 with the second main surface 17B appear.

　得られた水晶片１７に対して、必要に応じて、更にバレル加工装置を用いてベベル加工を施す。これにより、水晶片１７の稜線付近が削り取られ、ベベル形状の水晶片１７が得られる。 The obtained crystal piece 17 is further beveled using a barrel processing device, if necessary. As a result, the vicinity of the ridgeline of the crystal piece 17 is scraped off to obtain a bevel-shaped crystal piece 17.

　次に、水晶片１７の表面に外部電極９７，９８、引き出し導体１０２，１０３及び励振電極１００，１０１を形成する。なお、外部電極９７，９８、励振電極１００，１０１及び引き出し導体１０２，１０３の形成については、一般的な工程であるので説明を省略する。これにより、水晶振動素子１６が完成する。 Next, external electrodes 97 and 98, lead conductors 102 and 103, and excitation electrodes 100 and 101 are formed on the surface of the crystal piece 17. The formation of the external electrodes 97 and 98, the excitation electrodes 100 and 101, and the lead conductors 102 and 103 is a general process, and thus the description thereof is omitted. Thereby, the crystal vibrating element 16 is completed.

　次に、基板１２の上面１２Ａに水晶振動素子１６を実装する。具体的には、図２及び図３Ａに示すように、外部電極２２と外部電極９７とを導電性接着部材２１０により接着するとともに、外部電極２６と外部電極９８とを導電性接着部材２１２により接着する。 Next, the crystal vibrating element 16 is mounted on the upper surface 12A of the substrate 12. Specifically, as shown in FIGS. 2 and 3A, the outer electrode 22 and the outer electrode 97 are bonded by the conductive adhesive member 210, and the outer electrode 26 and the outer electrode 98 are bonded by the conductive adhesive member 212. Do.

　次に、保持器１１を密封する。ろう材３０を、環状部１４ｂ及びフランジ１４ｃの下面と基板１２の上面１２Ａの縁部との間に挟む。この状態で、キャップ１４及び基板１２とともにろう材３０を加熱することにより、ろう材３０を溶融させる。その後、キャップ１４及び基板１２とともにろう材３０を冷却することにより、ろう材３０を固化させる。これにより、保持器１１が密封される。以上の工程を経て、水晶振動子１０が完成する。 Next, the holder 11 is sealed. The brazing material 30 is sandwiched between the lower surfaces of the annular portion 14 b and the flange 14 c and the edge of the upper surface 12 A of the substrate 12. In this state, the brazing material 30 is melted by heating the brazing material 30 together with the cap 14 and the substrate 12. Thereafter, the brazing material 30 is solidified by cooling the brazing material 30 together with the cap 14 and the substrate 12. Thereby, the holder 11 is sealed. Through the above steps, the crystal unit 10 is completed.

（効果）
　図５は、水晶振動素子１６と導電性接着部材２１０との接合部付近を拡大して示す断面構造図である。図５（ａ）は、図１～図３Ｂに示す水晶振動子１０の断面構造図である。図５（ｂ）は、水晶振動素子１６がＸ軸の＋側端部で導電性接着部材２１０に接合されている水晶振動子５１０の断面構造図である。水晶振動子５１０は、比較例である。水晶振動子５１０では、外部電極９７は、第１主面１７Ａ、第１主面側他端面１７Ｅ、第２主面側他端面１７Ｆ、及び第２主面１７Ｂに跨って設けられている。 (effect)
FIG. 5 is an enlarged sectional view showing the vicinity of a bonding portion between the quartz crystal vibrating element 16 and the conductive adhesive member 210. As shown in FIG. FIG. 5 (a) is a cross-sectional view of the crystal unit 10 shown in FIGS. 1 to 3B. FIG. 5B is a cross-sectional view of the crystal unit 510 in which the crystal vibrating element 16 is bonded to the conductive adhesive member 210 at the + side end of the X axis. The quartz oscillator 510 is a comparative example. In the crystal unit 510, the external electrode 97 is provided across the first major surface 17A, the other major surface 17E, the other major surface 17F, and the second major surface 17B.

　図５（ａ）の水晶振動子１０では、水晶片１７は、Ｘ軸方向の－側端部で片持ち支持されている。導電性接着部材２１０は、第１主面側一端面１７Ｃと第１主面１７Ａとに跨って設けられている。この断面では、導電性接着部材２１０は、第１主面側一端面１７Ｃの全域と、第１主面１７Ａにおいて第１主面側一端面１７Ｃに隣接する領域とに設けられている。図５（ｂ）の水晶振動子５１０では、水晶片１７は、Ｘ軸方向の＋側端部で片持ち支持されている。導電性接着部材２１０は、第１主面側他端面１７Ｅと第１主面１７Ａとに跨って設けられている。この断面では、導電性接着部材２１０は、第１主面側他端面１７Ｅの全域と、第１主面１７Ａにおいて第１主面側他端面１７Ｅに隣接する領域とに設けられている。 In the crystal unit 10 of FIG. 5A, the crystal piece 17 is supported at one end at the negative side in the X-axis direction. The conductive adhesive member 210 is provided across the first major surface side end surface 17C and the first major surface 17A. In this cross section, the conductive adhesive member 210 is provided in the entire area of the first major surface side end surface 17C and in the region adjacent to the first major surface side end surface 17C in the first major surface 17A. In the crystal unit 510 shown in FIG. 5B, the crystal piece 17 is cantilevered at the + side end in the X-axis direction. The conductive adhesive member 210 is provided across the first main surface side other end surface 17E and the first main surface 17A. In this cross section, the conductive adhesive member 210 is provided in the entire area of the first main surface side other end surface 17E and in a region adjacent to the first main surface side other end surface 17E in the first main surface 17A.

　図５の断面で、水晶片１７が導電性接着部材２１０により保持される領域（以下、保持領域と呼ぶ。）の長さ（水晶片１７の表面に沿う長さ）は、図５（ａ）の水晶振動子１０と図５（ｂ）の水晶振動子５１０とで同じである。これにより、水晶振動子１０と水晶振動子５１０とで、水晶片１７は同等の力で保持されている。一方、水晶片１７の長さ方向（Ｘ軸方向）に関しては、水晶振動子１０における保持領域の長さＬｈ１は、水晶振動子５１０における保持領域Ｌｈ２の長さより短い。これは、θ１＜θ２であることにより、第１主面１７Ａとなす角度が小さい端面ほどＸ軸方向の長さが短くなることによる。ここで、９０°≦θ１＜θ２＜１８０°であることにより、第１主面１７Ａとなす角度が小さいとは、第１主面１７Ａとなす角度が９０°に近いことをいう。 In the cross section of FIG. 5, the length (length along the surface of the crystal piece 17) of the region where the crystal piece 17 is held by the conductive adhesive member 210 (hereinafter referred to as a holding region) is shown in FIG. Is the same as the crystal unit 10 of FIG. 5 and the crystal unit 510 of FIG. Thereby, the quartz crystal piece 17 is held by the quartz oscillator 10 and the quartz oscillator 510 with the same force. On the other hand, with respect to the length direction (X-axis direction) of the crystal piece 17, the length Lh1 of the holding area in the crystal unit 10 is shorter than the length of the holding area Lh2 in the crystal unit 510. This is because the length in the X-axis direction becomes shorter as the angle formed by the first major surface 17A is smaller because θ1 <θ2. Here, that 90 ° ≦ θ1 <θ2 <180 ° means that the angle formed with the first major surface 17A is small means that the angle formed with the first major surface 17A is close to 90 °.

　以上のことから、導電性接着部材２１０，２１２が、第１主面側他端面１７Ｅと第１主面１７Ａとに跨って設けられていることより、第１主面側一端面１７Ｃと第１主面１７Ａとに跨って設けられていた方が、水晶片１７の振動中心から遠い領域に導電性接着部材２１０，２１２を配置することができる。振動中心は、具体的には、各励振電極１００，１０１における対角線の交点である。これにより、水晶振動子１０では、水晶片１７の振動が阻害されにくくなるので、クリスタルインピーダンスを低減できる。 From the above, since the conductive adhesive members 210 and 212 are provided across the first major surface other end surface 17E and the first major surface 17A, the first major surface end surface 17C and the first major surface side The conductive adhesive members 210 and 212 can be disposed in a region far from the vibration center of the crystal piece 17 when provided across the main surface 17A. Specifically, the vibration center is an intersection point of diagonal lines in each of the excitation electrodes 100 and 101. Thereby, in the crystal unit 10, the vibration of the crystal piece 17 is less likely to be inhibited, so that the crystal impedance can be reduced.

　水晶片１７の形状は、上下方向に関して対称である。具体的には、水晶片１７の厚み方向中心を通る面Ｓ（図３Ｂ参照）に関して対称である。このため、導電性接着部材２１０が、第２主面側一端面１７Ｄと第２主面１７Ｂとに跨って設けられた水晶振動子は、水晶振動子１０と同様の効果を奏することができる。この場合は、第２主面１７Ｂ、第２主面側一端面１７Ｄ及び第２主面側他端面１７Ｆを、それぞれ、第１主面１７Ａ、第１主面側一端面１７Ｃ及び第１主面側他端面１７Ｅとみなすことができる。 The shape of the crystal piece 17 is symmetrical with respect to the vertical direction. Specifically, it is symmetrical with respect to a plane S (see FIG. 3B) passing through the center in the thickness direction of the crystal piece 17. Therefore, the crystal unit in which the conductive adhesive member 210 is provided across the second main surface side end surface 17D and the second main surface 17B can exhibit the same effect as the crystal unit 10. In this case, the second main surface 17B, the second main surface side end surface 17D, and the second main surface side other end surface 17F are respectively the first main surface 17A, the first main surface side end surface 17C, and the first main surface. It can be regarded as the other side end face 17E.

〈第２実施形態〉
　図６は、本発明の第２実施形態に係る水晶振動子１０Ａに備えられた水晶振動素子１６Ａ及び導電性接着部材２１０の断面構造図である。図６で、図１～図５に表された部品、部分と共通する部品、部分には、同じ符号を付し、重複する説明は省略する。水晶振動子１０Ａと第１実施形態に係る水晶振動子１０との違いは、水晶振動子１０Ａが水晶振動素子１６の代わりに水晶振動素子１６Ａを備えていることである。これ以外は、水晶振動子１０Ａは水晶振動子１０と同様の構成を有する。 Second Embodiment
FIG. 6 is a cross-sectional structural view of a quartz crystal vibrating element 16A and a conductive adhesive member 210 provided in a quartz vibrator 10A according to a second embodiment of the present invention. In FIG. 6, parts and parts common to parts and parts shown in FIGS. 1 to 5 are denoted by the same reference numerals, and redundant description will be omitted. The difference between the crystal unit 10A and the crystal unit 10 according to the first embodiment is that the crystal unit 10A includes a crystal vibrating element 16A instead of the quartz crystal vibrating element 16. Except for this, the crystal unit 10A has the same configuration as the crystal unit 10.

　水晶振動素子１６Ａは、水晶片２７、外部電極９７，９８、励振電極１００，１０１及び引き出し導体１０２，１０３を含む（励振電極１００，１０１及び引き出し導体１０２，１０３（図２及び図３Ａ参照）は、図６では、図示せず）。水晶片２７は、上面及び下面を有する板状であり、上側から見たときに、長方形状である。 The crystal vibrating element 16A includes a crystal piece 27, external electrodes 97 and 98, excitation electrodes 100 and 101, and lead conductors 102 and 103 ( excitation electrodes 100 and 101 and lead conductors 102 and 103 (see FIGS. 2 and 3A) , Not shown in FIG. The crystal piece 27 is a plate having an upper surface and a lower surface, and is rectangular when viewed from the upper side.

　水晶片２７の長さ方向（前後方向）はＺ’軸方向に沿い、水晶片２７の幅方向（左右方向）はＸ軸方向に沿い、水晶片２７の厚み方向（上下方向）はＹ’軸方向に沿う。水晶片２７の主たる振動モードは、厚みすべり振動である。水晶片２７は、下面である第１主面２７Ａと、上面である第２主面２７Ｂとを有する。第１主面２７Ａ及び第２主面２７Ｂの各々は、Ｚ’軸に沿う長辺と、Ｘ軸に沿う短辺とを有する長方形状である。 The length direction (longitudinal direction) of the crystal piece 27 is along the Z 'axis direction, the width direction (left and right direction) of the crystal piece 27 is along the X axis direction, and the thickness direction (vertical direction) of the crystal piece 27 is Y' axis Along the direction. The main vibration mode of the crystal piece 27 is thickness shear vibration. The crystal piece 27 has a first main surface 27A, which is a lower surface, and a second main surface 27B, which is an upper surface. Each of the first major surface 27A and the second major surface 27B has a rectangular shape having a long side along the Z 'axis and a short side along the X axis.

　水晶片２７の後ろ側（Ｚ’軸方向の一方側）の端面は、低角度一端面（低角度端面の一例）２７Ｃと高角度一端面（高角度端面の一例）２７Ｄとを含む。低角度一端面２７Ｃは、第１主面２７Ａに隣接している。低角度一端面２７Ｃが第１主面２７Ａとなす角度を、θ３（９０°≦θ３＜１８０°）とする。θ３は略９０°である。高角度一端面２７Ｄは、第２主面２７Ｂ及び低角度一端面２７Ｃに隣接している。高角度一端面２７Ｄが第２主面２７Ｂとなす角度は、θ３より大きいθ４（９０°＜θ４＜１８０°）である。 The end face on the rear side (one side in the Z′-axis direction) of the crystal piece 27 includes a low angle end face (an example of a low angle end face) 27C and a high angle end face (an example of a high angle end face) 27D. The low angle end face 27C is adjacent to the first major surface 27A. An angle formed by the low angle one end surface 27C with the first major surface 27A is θ3 (90 ° ≦ θ3 <180 °). θ3 is approximately 90 °. The high angle end face 27D is adjacent to the second major surface 27B and the low angle end face 27C. The angle formed by the high angle one end surface 27D with the second main surface 27B is θ4 (90 ° <θ4 <180 °) larger than θ3.

　水晶片２７の前側（Ｚ’軸方向の他方側）の端面は、低角度他端面２７Ｅと高角度他端面２７Ｆとを含む。低角度他端面２７Ｅは、第２主面２７Ｂに隣接している。低角度他端面２７Ｅが第２主面２７Ｂとなす角度は、θ３（略９０°）である。高角度他端面２７Ｆは、第１主面２７Ａ及び低角度他端面２７Ｅに隣接している。高角度他端面２７Ｆが第１主面２７Ａとなす角度は、略θ４である。水晶片２７の形状は、Ｘ軸に関して実質的に２回回転対称である。 The end surface of the front side (the other side in the Z′-axis direction) of the crystal piece 27 includes a low angle other end surface 27E and a high angle other end surface 27F. The low angle other end surface 27E is adjacent to the second major surface 27B. The angle which the low angle other end surface 27E forms with the second major surface 27B is θ3 (approximately 90 °). The high angle other end surface 27F is adjacent to the first major surface 27A and the low angle other end surface 27E. The angle formed by the high angle other end surface 27F with the first major surface 27A is approximately θ4. The shape of the crystal piece 27 is substantially twice rotational symmetric with respect to the X axis.

　低角度一端面２７Ｃと第１主面２７Ａとの間には、低角度一端面２７Ｃ及び第１主面２７Ａのいずれとも平行ではない他の面が介在していてもよい。この場合、低角度一端面２７Ｃは、第２主面２７Ｂより第１主面２７Ａに近接しているものとする。高角度一端面２７Ｄと第２主面２７Ｂとの間には、高角度一端面２７Ｄ及び第２主面２７Ｂのいずれとも平行ではない他の面が介在していてもよい。この場合、高角度一端面２７Ｄは、第１主面２７Ａより第２主面２７Ｂに近接しているものとする。 Another surface which is not parallel to any of the low angle end surface 27C and the first main surface 27A may be interposed between the low angle end surface 27C and the first main surface 27A. In this case, the low angle one end surface 27C is closer to the first major surface 27A than the second major surface 27B. Between the high angle end surface 27D and the second main surface 27B, another surface which is not parallel to any of the high angle end surface 27D and the second main surface 27B may be interposed. In this case, the high angle one end surface 27D is closer to the second major surface 27B than the first major surface 27A.

　低角度他端面２７Ｅと第２主面２７Ｂとの間には、低角度他端面２７Ｅ及び第２主面２７Ｂのいずれとも平行ではない他の面が介在していてもよい。この場合、低角度他端面２７Ｅは、第１主面２７Ａより第２主面２７Ｂに近接しているものとする。高角度他端面２７Ｆと第１主面２７Ａとの間には、高角度他端面２７Ｆ及び第１主面２７Ａのいずれとも平行ではない他の面が介在していてもよい。この場合、高角度他端面２７Ｆは、第２主面２７Ｂより第１主面２７Ａに近接しているものとする。 Another surface which is not parallel to any of the low angle other end surface 27E and the second main surface 27B may be interposed between the low angle other end surface 27E and the second main surface 27B. In this case, the low angle other end surface 27E is closer to the second major surface 27B than the first major surface 27A. Between the high angle other end surface 27F and the first main surface 27A, another surface which is not parallel to any of the high angle other end surface 27F and the first main surface 27A may be interposed. In this case, the high angle other end surface 27F is closer to the first major surface 27A than the second major surface 27B.

　外部電極９７，９８は、低角度一端面２７Ｃ及び第１主面２７Ａに跨って設けられており、高角度一端面２７Ｄ及び第２主面２７Ｂには設けられていない。外部電極９７は、水晶片２７の左面に、設けられていてもよく、設けられていなくてもよい。外部電極９８は、水晶片２７の右面には、設けられていてもよく、設けられていなくてもよい。 The external electrodes 97 and 98 are provided across the low angle end surface 27C and the first main surface 27A, and are not provided on the high angle end surface 27D and the second main surface 27B. The external electrode 97 may or may not be provided on the left surface of the crystal piece 27. The external electrode 98 may or may not be provided on the right surface of the crystal piece 27.

　導電性接着部材２１０，２１２は、低角度一端面２７Ｃと第１主面２７Ａとに跨って設けられている。導電性接着部材２１０，２１２が低角度一端面２７Ｃと第１主面２７Ａとに跨って設けられているとは、第１実施形態で導電性接着部材２１０，２１２が第１主面側一端面１７Ｃと第１主面１７Ａとに跨って設けられていることと同様のことを意味する。 The conductive adhesive members 210 and 212 are provided across the low angle end surface 27C and the first major surface 27A. The conductive adhesive members 210 and 212 are provided across the low angle end surface 27C and the first main surface 27A in the first embodiment, in the first embodiment, the conductive adhesive members 210 and 212 are on the first main surface side end surface. It means the same thing as being provided straddling 17C and the first major surface 17A.

　この水晶振動子１０Ａは、水晶振動子１０と同様の方法により製造することができる。水晶片２７は、水晶片１７と同様の方法により製造することができる。その際、後述のメサ加工を行ってもよい。 The crystal unit 10A can be manufactured by the same method as the crystal unit 10. The crystal piece 27 can be manufactured by the same method as the crystal piece 17. At that time, the mesa processing described later may be performed.

　次に、図７を参照して、水晶振動子１０Ａにより奏することができる効果について説明する。図７は、水晶振動素子１６Ａと導電性接着部材２１０との接合部付近を拡大して示す断面構造図である。図７（ａ）は、図６と同じ断面を示している。図７（ｂ）は、水晶振動素子１６ＡがＹ’軸方向に関して水晶振動子１０Ａとは逆向きで導電性接着部材２１０に接合されている水晶振動子５２０の断面構造図である。水晶振動子５２０は、比較例である。水晶振動子５２０では、外部電極９７は、高角度一端面２７Ｄと第２主面２７Ｂとに跨って設けられている。 Next, with reference to FIG. 7, an effect that can be achieved by the crystal unit 10A will be described. FIG. 7 is an enlarged cross-sectional view showing the vicinity of a bonding portion between the quartz crystal vibrating element 16A and the conductive adhesive member 210. As shown in FIG. FIG. 7 (a) shows the same cross section as FIG. FIG. 7B is a cross-sectional view of the crystal unit 520 in which the crystal vibrating element 16A is bonded to the conductive adhesive member 210 in the direction opposite to that of the crystal unit 10A in the Y′-axis direction. The quartz oscillator 520 is a comparative example. In the crystal unit 520, the external electrode 97 is provided across the high angle one end surface 27D and the second major surface 27B.

　図７（ａ）の水晶振動子１０Ａでは、導電性接着部材２１０は、低角度一端面２７Ｃと第１主面２７Ａとに跨って設けられている。この断面では、導電性接着部材２１０は、低角度一端面２７Ｃの全域と、第１主面２７Ａにおいて低角度一端面２７Ｃに隣接する領域とに設けられている。図７（ｂ）の水晶振動子５２０では、導電性接着部材２１０は、高角度一端面２７Ｄと第２主面２７Ｂとに跨って設けられている。この断面では、導電性接着部材２１０は、高角度一端面２７Ｄの全域と、第２主面２７Ｂにおいて高角度一端面２７Ｄに隣接する領域とに設けられている。 In the crystal unit 10A of FIG. 7A, the conductive adhesive member 210 is provided across the low angle one end surface 27C and the first major surface 27A. In this cross section, the conductive adhesive member 210 is provided in the entire area of the low angle end face 27C and in a region adjacent to the low angle end face 27C on the first major surface 27A. In the crystal unit 520 of FIG. 7B, the conductive adhesive member 210 is provided across the high angle one end surface 27D and the second main surface 27B. In this cross section, the conductive adhesive member 210 is provided in the entire area of the high angle end face 27D and in a region adjacent to the high angle end face 27D on the second major surface 27B.

　図７の断面で、導電性接着部材２１０による水晶片２７の保持領域の長さ（水晶片２７の表面に沿う長さ）は、図７（ａ）の水晶振動子１０Ａと図７（ｂ）の水晶振動子５２０とで同じである。これにより、水晶振動子１０Ａと水晶振動子５２０とで、水晶片２７は同等の力で保持されている。一方、水晶片２７の長さ方向（Ｚ’軸方向）に関しては、水晶振動子１０Ａにおける保持領域の長さＬｈ３は、水晶振動子５２０における保持領域の長さＬｈ４より短い。これは、θ３＜θ４であることにより、第１主面２７Ａ又は第２主面２７Ｂとなす角度（９０°以上、１８０°未満）が小さい端面ほどＺ’軸方向の長さが短くなることによる。 In the cross section of FIG. 7, the length of the holding area of the quartz piece 27 by the conductive adhesive member 210 (length along the surface of the quartz piece 27) is the quartz oscillator 10A of FIG. 7A and FIG. Is the same as the quartz oscillator 520 of FIG. Thus, the quartz crystal piece 27 is held by the quartz oscillator 10A and the quartz oscillator 520 with the same force. On the other hand, with respect to the length direction (Z ′ axis direction) of the crystal piece 27, the length Lh3 of the holding area in the crystal unit 10A is shorter than the length Lh4 of the holding area in the crystal unit 520. This is because by θ3 <θ4, the length in the Z ′ axis direction becomes shorter as the end face formed with the first main surface 27A or the second main surface 27B (90 ° or more and less than 180 °) decreases. .

　以上のことから、導電性接着部材２１０，２１２が、高角度一端面２７Ｄと第２主面２７Ｂとに跨って設けられているより、低角度一端面２７Ｃと第１主面２７Ａとに跨って設けられていた方が、水晶片２７の長さ方向（Ｚ’軸方向）に関して、振動中心から遠い領域に導電性接着部材２１０，２１２を配置することができる。これにより、水晶振動子１０Ａでは、水晶片２７の振動が阻害されにくくなるので、クリスタルインピーダンスを低減できる。 From the above, since the conductive adhesive members 210 and 212 are provided across the high angle end face 27D and the second main surface 27B, the conductive adhesion members 210 and 212 extend over the low angle end face 27C and the first main surface 27A. If provided, the conductive adhesive members 210 and 212 can be arranged in a region far from the vibration center with respect to the length direction (Z ′ axis direction) of the quartz crystal piece 27. Thereby, in the crystal unit 10A, the vibration of the crystal piece 27 is less likely to be inhibited, so that the crystal impedance can be reduced.

　水晶片２７の形状は、Ｘ軸に関して２回回転対称であるので、導電性接着部材２１０が、低角度他端面２７Ｅと第２主面２７Ｂとに跨って設けられた水晶振動子は、水晶振動子１０Ａと同様の効果を奏することができる。この場合は、第２主面２７Ｂ、低角度他端面２７Ｅ、及び高角度他端面２７Ｆを、それぞれ、第１主面２７Ａ、低角度一端面２７Ｃ、及び高角度一端面２７Ｄとみなすことができる。 Since the shape of the crystal piece 27 is twice rotational symmetric with respect to the X-axis, the crystal oscillator in which the conductive adhesive member 210 is provided across the low angle other end surface 27E and the second main surface 27B The same effect as that of the child 10A can be achieved. In this case, the second major surface 27B, the low angle other end surface 27E, and the high angle other end surface 27F can be regarded as the first major surface 27A, the low angle one end surface 27C, and the high angle one end surface 27D, respectively.

　水晶振動素子１６Ａを基板に実装する際、水晶片２７において、基板１２に対向させるべき面、及び導電性接着部材２１０，２１２と付着させるべき部分を特定する必要がある。イメージセンサにより、水晶片２７の形状から、低角度一端面２７Ｃと高角度一端面２７Ｄとを判別するのは困難である。外部電極９７，９８は、低角度一端面２７Ｃに設けられており、高角度一端面２７Ｄには設けられていない。そのため、イメージセンサにより、外部電極９７，９８の有無を判別することにより、低角度一端面２７Ｃと高角度一端面２７Ｄとを判別することができる。これにより、水晶振動素子１６Ａにおいて、基板１２に対向させるべき面、及び導電性接着部材２１０，２１２を付着させるべき部分を特定することができる。 When mounting the crystal vibrating element 16A on a substrate, it is necessary to specify the surface of the crystal piece 27 to be opposed to the substrate 12 and the portion to be attached to the conductive adhesive members 210 and 212. It is difficult to distinguish between the low angle end face 27C and the high angle end face 27D from the shape of the crystal piece 27 by the image sensor. The external electrodes 97 and 98 are provided on the low angle end face 27C and not provided on the high angle end face 27D. Therefore, the low angle one end surface 27C and the high angle one end surface 27D can be determined by determining the presence or absence of the external electrodes 97 and 98 by the image sensor. Thereby, in the quartz crystal vibrating element 16A, it is possible to specify the surface to be opposed to the substrate 12 and the portion to which the conductive adhesive members 210 and 212 should be attached.

〈第３実施形態〉
　図８は、本発明の第３実施形態に係る水晶振動子１０Ｂに備えられた水晶振動素子１６Ｂ及び導電性接着部材２１０の断面構造図である。図８で、図１～図５に表された部品、部分と共通する部品、部分には、同じ符号を付し、重複する説明は省略する。水晶振動子１０Ｂと第１実施形態に係る水晶振動子１０との違いは、水晶振動子１０Ｂが水晶振動素子１６の代わりに水晶振動素子１６Ｂを備えていることであり、これ以外は、水晶振動子１０Ｂは水晶振動子１０と同様の構成を有する。 Third Embodiment
FIG. 8 is a cross-sectional structural view of a crystal vibrating element 16B and a conductive adhesive member 210 provided in a crystal unit 10B according to a third embodiment of the present invention. In FIG. 8, parts and parts common to parts and parts shown in FIGS. 1 to 5 are denoted by the same reference numerals, and redundant description will be omitted. The difference between the crystal unit 10B and the crystal unit 10 according to the first embodiment is that the crystal unit 10B includes the crystal unit 16B instead of the crystal unit 16. Other than this, the crystal unit 10B is a crystal unit. The element 10 B has the same configuration as the crystal unit 10.

　水晶振動素子１６Ｂは、水晶片３７、外部電極９７，９８、励振電極１００，１０１及び引き出し導体１０２，１０３を含む（励振電極１００，１０１及び引き出し導体１０２，１０３（図２及び図３Ａ参照）は、図８では、図示せず）。水晶片３７は、上面及び下面を有する板状であり、上側から見たときに、長方形状である。 The quartz crystal vibrating element 16B includes a quartz piece 37, external electrodes 97 and 98, excitation electrodes 100 and 101, and lead conductors 102 and 103 ( excitation electrodes 100 and 101 and lead conductors 102 and 103 (see FIGS. 2 and 3A) , Not shown in FIG. 8). The crystal piece 37 is a plate having an upper surface and a lower surface, and is rectangular when viewed from the upper side.

　水晶片３７の長さ方向（前後方向）はＺ’軸方向に沿い、水晶片３７の幅方向（左右方向）はＸ軸方向に沿い、水晶片３７の厚み方向（上下方向）はＹ’軸方向に沿う。水晶片３７の主たる振動モードは、厚みすべり振動である。水晶片３７は、下面である第１主面３７Ａと、上面である第２主面３７Ｂとを有する。第１主面３７Ａ及び第２主面３７Ｂの各々は、Ｚ’軸に沿う長辺と、Ｘ軸に沿う短辺とを有する長方形状である。 The length direction (longitudinal direction) of the crystal piece 37 is along the Z 'axis direction, the width direction (left and right direction) of the crystal piece 37 is along the X axis direction, and the thickness direction (vertical direction) of the crystal piece 37 is Y' axis Along the direction. The main vibration mode of the crystal piece 37 is thickness shear vibration. The crystal piece 37 has a first main surface 37A, which is a lower surface, and a second main surface 37B, which is an upper surface. Each of the first major surface 37A and the second major surface 37B has a rectangular shape having a long side along the Z 'axis and a short side along the X axis.

　水晶片３７の後ろ側（Ｚ’軸方向の一方側）の端面は、低角度一端面（低角度端面の一例）３７Ｃと、高角度一端面（高角度端面の一例）３７Ｄと、中間一端面３７Ｇとを含む。低角度一端面３７Ｃは、第１主面３７Ａに隣接している。低角度一端面３７Ｃが第１主面３７Ａとなす角度を、θ３（９０°≦θ３＜１８０°）とする。高角度一端面３７Ｄは、第２主面３７Ｂに隣接している。高角度一端面３７Ｄが第２主面３７Ｂとなす角度は、θ３より大きいθ４（９０°＜θ４＜１８０°）である。 An end face on the rear side (one side in the Z ′ axis direction) of the crystal piece 37 is a low angle end face (an example of a low angle end face) 37C, a high angle end face (an example of a high angle end face) 37D, and an intermediate end face And 37G. The low angle end face 37C is adjacent to the first major surface 37A. An angle formed by the low angle one end surface 37C with the first major surface 37A is θ3 (90 ° ≦ θ3 <180 °). The high angle one end face 37D is adjacent to the second major surface 37B. The angle formed by the high angle one end surface 37D with the second major surface 37B is θ4 (90 ° <θ4 <180 °) larger than θ3.

　中間一端面３７Ｇは、低角度一端面３７Ｃと高角度一端面３７Ｄとの間に介在している。中間一端面３７Ｇが第１主面３７Ａ又は第２主面３７Ｂとなす角度（９０°より大きく、１８０°以下）は、θ３及びθ４のいずれとも異なる。 The intermediate end face 37G is interposed between the low angle end face 37C and the high angle end face 37D. The angle (larger than 90 ° and smaller than or equal to 180 °) that the intermediate end surface 37G forms with the first major surface 37A or the second major surface 37B is different from both θ3 and θ4.

　水晶片３７の前側（Ｚ’軸方向の他方側）の端面は、低角度他端面３７Ｅと、高角度他端面３７Ｆと、中間他端面３７Ｈとを含む。低角度他端面３７Ｅは、第２主面３７Ｂに隣接している。低角度他端面３７Ｅが第２主面３７Ｂとなす角度は、θ３である。高角度他端面３７Ｆは、第１主面３７Ａに隣接している。高角度他端面３７Ｆが第１主面３７Ａとなす角度は、θ４である。 The end face on the front side (the other side in the Z′-axis direction) of the crystal piece 37 includes a low angle other end surface 37E, a high angle other end surface 37F, and an intermediate other end surface 37H. The low angle other end surface 37E is adjacent to the second major surface 37B. The angle which the low angle other end surface 37E forms with the second major surface 37B is θ3. The high angle other end surface 37F is adjacent to the first major surface 37A. The angle formed by the high angle other end surface 37F with the first major surface 37A is θ4.

　中間他端面３７Ｈは、低角度他端面３７Ｅと高角度他端面３７Ｆとの間に介在している。中間他端面３７Ｈが第１主面３７Ａ又は第２主面３７Ｂとなす角度（９０°より大きく、１８０°以下）は、θ３及びθ４のいずれとも異なる。水晶片３７の形状は、Ｘ軸に関して実質的に２回回転対称である。 The middle other end surface 37H is interposed between the low angle other end surface 37E and the high angle other end surface 37F. The angle (larger than 90 ° and smaller than or equal to 180 °) that the intermediate other end surface 37H forms with the first major surface 37A or the second major surface 37B is different from both θ3 and θ4. The shape of the crystal piece 37 is substantially twice rotational symmetric with respect to the X axis.

　低角度一端面３７Ｃと第１主面３７Ａとの間には、低角度一端面３７Ｃ及び第１主面３７Ａのいずれとも平行ではない他の面が介在していてもよい。この場合、低角度一端面３７Ｃは、第２主面３７Ｂより第１主面３７Ａに近接しているものとする。高角度一端面３７Ｄと第２主面３７Ｂとの間には、高角度一端面３７Ｄ及び第２主面３７Ｂのいずれとも平行ではない他の面が介在していてもよい。この場合、高角度一端面３７Ｄは、第１主面３７Ａより第２主面３７Ｂに近接しているものとする。 Another surface which is not parallel to any of the low angle one end surface 37C and the first main surface 37A may be interposed between the low angle one end surface 37C and the first main surface 37A. In this case, the low angle one end surface 37C is closer to the first major surface 37A than the second major surface 37B. Another surface which is not parallel to any of the high angle end surface 37D and the second main surface 37B may be interposed between the high angle end surface 37D and the second main surface 37B. In this case, the high angle one end surface 37D is closer to the second major surface 37B than the first major surface 37A.

　低角度他端面３７Ｅと第２主面３７Ｂとの間には、低角度他端面３７Ｅ及び第２主面３７Ｂのいずれとも平行ではない他の面が介在していてもよい。この場合、低角度他端面３７Ｅは、第１主面３７Ａより第２主面３７Ｂに近接しているものとする。高角度他端面３７Ｆと第１主面３７Ａとの間には、高角度他端面３７Ｆ及び第１主面３７Ａのいずれとも平行ではない他の面が介在していてもよい。この場合、高角度他端面３７Ｆは、第２主面３７Ｂより第１主面３７Ａに近接しているものとする。 Another surface which is not parallel to any of the low angle other end surface 37E and the second main surface 37B may be interposed between the low angle other end surface 37E and the second main surface 37B. In this case, the low angle other end surface 37E is closer to the second major surface 37B than the first major surface 37A. Between the high angle other end surface 37F and the first main surface 37A, another surface which is not parallel to any of the high angle other end surface 37F and the first main surface 37A may be interposed. In this case, the high angle other end surface 37F is closer to the first major surface 37A than the second major surface 37B.

　外部電極９７，９８は、低角度一端面３７Ｃ及び第１主面３７Ａに跨って設けられており、高角度一端面３７Ｄ及び第２主面３７Ｂには設けられていない。外部電極９７は、水晶片３７の左面に、設けられていてもよく、設けられていなくてもよい。外部電極９８は、水晶片３７の右面に、設けられていてもよく、設けられていなくてもよい。 The external electrodes 97 and 98 are provided across the low angle end surface 37C and the first main surface 37A, and are not provided on the high angle end surface 37D and the second main surface 37B. The external electrode 97 may or may not be provided on the left surface of the crystal piece 37. The external electrode 98 may or may not be provided on the right surface of the crystal piece 37.

　導電性接着部材２１０，２１２は、低角度一端面３７Ｃと第１主面３７Ａとに跨って設けられている。導電性接着部材２１０，２１２が低角度一端面３７Ｃと第１主面３７Ａとに跨って設けられているとは、第１実施形態で導電性接着部材２１０，２１２が第１主面側一端面１７Ｃと第１主面１７Ａとに跨って設けられていることと同様のことを意味する。 The conductive adhesive members 210 and 212 are provided across the low angle one end surface 37C and the first major surface 37A. The conductive adhesive members 210 and 212 are provided across the low angle end surface 37C and the first main surface 37A in the first embodiment, in the first embodiment, the conductive adhesive members 210 and 212 are on the first main surface side end surface. It means the same thing as being provided straddling 17C and the first major surface 17A.

　この水晶振動子１０Ｂは、水晶振動子１０と同様の方法により製造することができる。水晶片３７は、水晶片１７と同様の方法により製造することができる。その際、マスクＭ１の開口Ｍｏ１とマスクＭ２の開口Ｍｏ２とをＺ’軸方向に所定量ずらして水晶板１９に設けて、水晶板１９をエッチングすることにより、エッチングに要する工数を削減することができる。この技術については、例えば、特許文献２に記載されている。 The crystal unit 10B can be manufactured by the same method as the crystal unit 10. The crystal piece 37 can be manufactured by the same method as the crystal piece 17. At this time, the number of steps required for etching can be reduced by providing the crystal plate 19 with the opening Mo1 of the mask M1 and the opening Mo2 of the mask M2 shifted in the Z ′ axis direction by a predetermined amount and etching the crystal plate 19. it can. This technique is described, for example, in Patent Document 2.

　図９Ａ～図９Ｃは、水晶片３７の製造方法を説明するための断面構造図である。図９Ａを参照して、水晶板１９の一方表面（水晶片３７における第１主面３７Ａに対応する面）にマスクＭ１を設け、水晶板１９の他方表面（水晶片３７における第２主面３７Ｂに対応する面）に、マスクＭ２を設ける。マスクＭ１とマスクＭ２とは、開口Ｍｏ１と開口Ｍｏ２とがＺ’軸方向に所定量ずれるように設ける。 9A to 9C are cross-sectional views for explaining the method of manufacturing the crystal piece 37. As shown in FIG. Referring to FIG. 9A, mask M1 is provided on one surface of quartz plate 19 (the surface corresponding to first major surface 37A of quartz piece 37), and the other surface of quartz plate 19 (second major surface 37B of quartz plate 37). A mask M2 is provided on the surface corresponding to. The mask M1 and the mask M2 are provided such that the openings Mo1 and Mo2 are displaced by a predetermined amount in the Z 'axis direction.

　次に、開口Ｍｏ１，Ｍｏ２を介して水晶板１９をエッチングする。図９Ａ及び図９Ｂを参照して、エッチングが進行すると、水晶板１９において、開口Ｍｏ１を介して露出した部分に形成される凹部と開口Ｍｏ２を介して露出した部分に形成される凹部とがつながり、水晶板１９が分断されたチップＣが得られる。チップＣのＺ’軸方向の一方側の端面には、水晶の結晶面に対応するエッチング面である端面３７Ｗ，３７Ｘが現れ、チップＣのＺ’軸方向の他方側の端面には、水晶の結晶面に対応するエッチング面である端面３７Ｙ，３７Ｚが現れる。すなわち、チップＣのＺ’軸方向の一方側の端面及び他方側の端面は、それぞれ、２つの端面を有する。 Next, the quartz plate 19 is etched through the openings Mo1 and Mo2. Referring to FIGS. 9A and 9B, as etching proceeds, in the quartz crystal plate 19, the recess formed in the exposed portion through the opening Mo1 and the recess formed in the exposed portion through the opening Mo2 are connected. The chip C in which the quartz plate 19 is divided is obtained. The end faces 37W and 37X, which are etching surfaces corresponding to the crystal plane of the crystal, appear on the end face on one side of the chip C in the Z 'axis direction, and the end face on the other side of the chip C in the Z' axis direction The end faces 37Y and 37Z, which are etching planes corresponding to crystal planes, appear. That is, the end face on one side of the chip C in the Z 'axis direction and the end face on the other side each have two end faces.

　端面３７Ｗ，３７Ｚは、第１主面３７Ａに隣接している。端面３７Ｘ，３７Ｙは、第２主面３７Ｂに隣接している。端面３７Ｗと第１主面３７Ａとがなす角度は、端面３７Ｙと第２主面３７Ｂとがなす角度にほぼ等しい。端面３７Ｘと第２主面３７Ｂとがなす角度は、端面３７Ｚと第１主面３７Ａとがなす角度にほぼ等しい。 The end faces 37W and 37Z are adjacent to the first major surface 37A. The end surfaces 37X and 37Y are adjacent to the second major surface 37B. The angle between the end face 37W and the first major surface 37A is substantially equal to the angle between the end face 37Y and the second major surface 37B. The angle between the end surface 37X and the second main surface 37B is substantially equal to the angle between the end surface 37Z and the first main surface 37A.

　次に、チップＣに対して、メサ加工を行い、水晶片３７を得る。図９Ｂを参照して、まず、マスクＭ１，Ｍ２を除去した後、第１及び第２主面３７Ａ，３７Ｂに、それぞれ、メサ加工用のマスクＭ３，Ｍ４を設ける。より詳細には、マスクＭ３は、第１主面３７Ａにおいて、端面３７Ｗ，３７Ｚの近傍を除く領域に設ける。マスクＭ４は、第２主面３７Ｂにおいて、端面３７Ｘ，３７Ｙの近傍を除く領域に設ける。 Next, mesa processing is performed on the chip C to obtain a crystal piece 37. Referring to FIG. 9B, first, after removing masks M1 and M2, masks M3 and M4 for mesa processing are provided on first and second main surfaces 37A and 37B, respectively. More specifically, the mask M3 is provided in the region excluding the vicinity of the end faces 37W and 37Z on the first major surface 37A. The mask M4 is provided in an area excluding the vicinity of the end faces 37X and 37Y in the second major surface 37B.

　図９Ｃを参照して、この状態のチップＣに対して、エッチングを行うと、チップＣにおいて、Ｚ’軸方向の一方側及び他方側の部分に、マスクＭ３，Ｍ４が設けられた部分に比して厚みが薄い薄肉部が形成される。これに伴い、Ｚ’軸方向の一方側の端面に、低角度一端面３７Ｃ、高角度一端面３７Ｄ及び中間一端面３７Ｇが現れ、Ｚ’軸方向の他方側の端面に、低角度他端面３７Ｅ、高角度他端面３７Ｆ及び中間他端面３７Ｈが現れる。水晶片３７のＺ’軸方向の一方側の端面及び他方側の端面は、それぞれ、３つの端面を有する。 Referring to FIG. 9C, when the chip C in this state is etched, the chip C has a ratio to the portion provided with the masks M3 and M4 on one side and the other side in the Z ′ axis direction. As a result, a thin portion with a small thickness is formed. Along with this, the low angle end face 37C, the high angle end face 37D and the intermediate end face 37G appear on the end face on one side in the Z ′ axis direction, and the low angle other end face 37E on the end face on the other side in the Z ′ axis direction. , The high angle other end surface 37F and the middle other end surface 37H appear. The end surface on one side in the Z′-axis direction of the crystal piece 37 and the end surface on the other side each have three end surfaces.

　第１主面３７Ａは、薄肉部においてＹ’軸方向の一方側の表面である薄肉部第１主面３７Ａｔを含むものとする。第２主面３７Ｂは、薄肉部においてＹ’軸方向の他方側の表面である薄肉部第２主面３７Ｂｔを含むものとする。その後、マスクＭ３，Ｍ４を除去する。 The first major surface 37A includes a thinner portion first major surface 37At, which is a surface on one side in the Y′-axis direction in the thinner portion. The second major surface 37B includes a thinner portion second major surface 37Bt, which is the surface on the other side in the Y′-axis direction in the thinner portion. Thereafter, the masks M3 and M4 are removed.

　次に、図１０を参照して、水晶振動子１０Ｂにより奏することができる効果について説明する。図１０は、水晶振動素子１６Ｂと導電性接着部材２１０との接合部付近を拡大して示す断面構造図である。図８及び図１０では、メサ加工により形成された薄肉部の図示を省略している。 Next, with reference to FIG. 10, an effect that can be achieved by the crystal unit 10B will be described. FIG. 10 is an enlarged cross-sectional view showing the vicinity of a bonding portion between the crystal vibrating element 16B and the conductive adhesive member 210. As shown in FIG. In FIG. 8 and FIG. 10, illustration of the thin-walled portion formed by mesa processing is omitted.

　図１０（ａ）は、図８と同じ断面を示している。図１０（ｂ）は、水晶振動素子１６ＢがＹ’軸方向に関して水晶振動子１０Ｂとは逆向きで導電性接着部材２１０に接合されている水晶振動子５３０の断面構造図である。水晶振動子５３０は、比較例である。水晶振動子５３０では、外部電極９７は、高角度一端面３７Ｄと第２主面３７Ｂとに跨って設けられている。 FIG. 10 (a) shows the same cross section as FIG. FIG. 10B is a cross-sectional view of the crystal unit 530 in which the crystal unit 16B is bonded to the conductive adhesive member 210 in the direction opposite to that of the crystal unit 10B in the Y′-axis direction. The quartz oscillator 530 is a comparative example. In the crystal unit 530, the external electrode 97 is provided across the high angle one end surface 37D and the second major surface 37B.

　図１０（ａ）の水晶振動子１０Ｂでは、導電性接着部材２１０は、低角度一端面３７Ｃと第１主面３７Ａとに跨って設けられている。この断面では、導電性接着部材２１０は、中間一端面３７Ｇの全域と、低角度一端面３７Ｃの全域と、第１主面３７Ａにおいて低角度一端面３７Ｃに隣接する領域とに設けられている。図１０（ｂ）の水晶振動子５３０では、導電性接着部材２１０は、高角度一端面３７Ｄと第２主面３７Ｂとに跨って設けられている。この断面では、導電性接着部材２１０は、高角度一端面３７Ｄの全域と、第２主面３７Ｂにおいて高角度一端面３７Ｄに隣接する領域とに設けられている。水晶振動子１０Ｂ及び水晶振動子５３０では、いずれも水晶片３７の厚み方向に関して、導電性接着部材２１０，２１２を設ける領域を、水晶片３７の厚みの約半分の領域に設定している。 In the crystal unit 10B of FIG. 10A, the conductive adhesive member 210 is provided across the low angle one end surface 37C and the first major surface 37A. In this cross section, the conductive adhesive member 210 is provided in the entire area of the intermediate end surface 37G, the entire area of the low angle end surface 37C, and the region adjacent to the low angle end surface 37C on the first major surface 37A. In the crystal unit 530 of FIG. 10B, the conductive adhesive member 210 is provided across the high angle one end surface 37D and the second main surface 37B. In this cross section, the conductive adhesive member 210 is provided in the entire area of the high angle end face 37D and in a region adjacent to the high angle end face 37D on the second major surface 37B. In each of the crystal unit 10B and the crystal unit 530, the area in which the conductive adhesive members 210 and 212 are provided is set to about half the thickness of the crystal piece 37 in the thickness direction of the crystal piece 37.

　図１０の断面で、導電性接着部材２１０による水晶片３７の保持領域の長さ（水晶片３７の表面に沿う長さ）は、図１０（ａ）の水晶振動子１０Ｂと図１０（ｂ）の水晶振動子５３０とで同じである。これにより、水晶振動子１０Ｂと水晶振動子５３０とで、水晶片３７は同等の力で保持されている。一方、水晶片３７の長さ方向（Ｚ’軸方向）に関しては、水晶振動子１０Ｂにおける保持領域の長さＬｈ５は、水晶振動子５３０における保持領域Ｌｈ６の長さより短い。これは、θ３＜θ４であることにより、第１主面３７Ａ又は第２主面３７Ｂとなす角度（９０°以上、１８０°未満）が小さい端面ほどＺ’軸方向の長さが短くなることによる。 In the cross section of FIG. 10, the length (the length along the surface of the crystal piece 37) of the holding area of the crystal piece 37 by the conductive adhesive member 210 is the crystal oscillator 10B of FIG. 10 (a) and FIG. Is the same as the quartz oscillator 530 of FIG. Thereby, the quartz crystal piece 37 is held by the quartz oscillator 10B and the quartz oscillator 530 with the same force. On the other hand, with respect to the length direction (Z ′ axis direction) of the crystal piece 37, the length Lh5 of the holding area in the crystal unit 10B is shorter than the length of the holding area Lh6 in the crystal unit 530. This is because by θ3 <θ4, the length in the Z ′ axis direction becomes shorter as the end face formed with the first main surface 37A or the second main surface 37B (90 ° or more and less than 180 °) decreases. .

　以上のことから、導電性接着部材２１０，２１２が、高角度一端面３７Ｄと第２主面３７Ｂとに跨って設けられているより、中間一端面３７Ｇと、低角度一端面３７Ｃと、第１主面３７Ａとに跨って設けられていた方が、水晶片３７の長さ方向（Ｚ’軸方向）に関して、振動中心から遠い領域に導電性接着部材２１０，２１２を配置することができる。これにより、水晶振動子１０Ｂでは、水晶片３７の振動が阻害されにくくなるので、クリスタルインピーダンスを低減できる。 From the above, since the conductive adhesive members 210 and 212 are provided across the high angle end face 37D and the second main surface 37B, the middle end face 37G, the low angle end face 37C, and the first The conductive adhesive members 210 and 212 can be disposed in a region far from the vibration center with respect to the length direction (Z ′ axis direction) of the quartz crystal piece 37 if provided so as to straddle the main surface 37A. Thereby, in the crystal unit 10B, the vibration of the crystal piece 37 is less likely to be inhibited, so that the crystal impedance can be reduced.

　水晶片３７の形状は、Ｘ軸に関して２回回転対称であるので、外部電極９７，９８及び導電性接着部材２１０が、中間他端面３７Ｈ、低角度他端面３７Ｅと第２主面３７Ｂとに跨って設けられた水晶振動子は、水晶振動子１０Ｂと同様の効果を奏することができる。この場合は、第２主面３７Ｂ、低角度他端面３７Ｅ、中間他端面３７Ｈ、及び高角度他端面３７Ｆを、それぞれ、第１主面３７Ａ、低角度一端面３７Ｃ、中間一端面３７Ｇ、及び高角度一端面３７Ｄとみなすことができる。 Since the shape of the crystal piece 37 is twice rotational symmetric with respect to the X axis, the external electrodes 97 and 98 and the conductive adhesive member 210 straddle the middle other end surface 37H, the low angle other end surface 37E and the second main surface 37B. The quartz oscillator provided can have the same effect as the quartz oscillator 10B. In this case, the second main surface 37B, the low angle other end surface 37E, the middle other end surface 37H, and the high angle other end surface 37F are respectively the first main surface 37A, the low angle one end surface 37C, the middle one end surface 37G, and It can be considered as an angle end face 37D.

　水晶振動素子１６Ａと同様に、水晶振動素子１６Ｂにおいても、外部電極９７，９８は、低角度一端面３７Ｃに設けられており、高角度一端面３７Ｄには設けられていないため、イメージセンサにより、外部電極９７，９８の有無を判別することにより、低角度一端面３７Ｃと高角度一端面３７Ｄとを判別することができる。これにより、水晶振動素子１６Ｂにおいて、基板１２に対向させるべき面、及び導電性接着部材２１０，２１２を付着させるべき部分を特定することができる。 Similarly to the quartz crystal vibrating element 16A, also in the quartz crystal vibrating element 16B, the external electrodes 97 and 98 are provided on the low angle one end face 37C and not provided on the high angle one end face 37D. By determining the presence or absence of the external electrodes 97 and 98, it is possible to distinguish between the low angle end face 37C and the high angle end face 37D. Thereby, in the quartz crystal vibrating element 16B, the surface to be opposed to the substrate 12 and the portion to which the conductive adhesive members 210 and 212 are to be attached can be specified.

（その他の実施形態）
　第１実施形態の水晶片１７は、メサ加工されたものであってもよい。上記実施形態の構成は、任意に組み合わせてもよい。 (Other embodiments)
The crystal piece 17 of the first embodiment may be mesa-processed. The configurations of the above embodiments may be combined arbitrarily.

１０，１０Ａ，１０Ｂ：水晶振動子
１１：保持器
１２：基板
１２Ａ：上面
１４：キャップ
１４ａ：主面部
１４ｂ：環状部
１４ｃ：フランジ
１５：凹部
１５Ａ：下面
１６，１６Ａ，１６Ｂ：水晶振動素子
１７，２７，３７：水晶片
１７Ａ，２７Ａ，３７Ａ：第１主面
１７Ｂ，２７Ｂ，３７Ｂ：第２主面
１７Ｃ：第１主面側一端面
１７Ｄ：第２主面側一端面
１７Ｅ：第１主面側他端面
１７Ｆ：第２主面側他端面
２１：基板本体
２７Ｃ，３７Ｃ：低角度一端面
２７Ｄ，３７Ｄ：高角度一端面
２７Ｅ，３７Ｅ：低角度他端面
２７Ｆ，３７Ｆ：高角度他端面
３０：ろう材
３７Ｇ：中間一端面
３７Ｈ：中間他端面
９７，９８：外部電極
１００，１０１：励振電極
２１０，２１２：導電性接着部材
Ｓｐ：空間 10, 10A, 10B: quartz crystal vibrator 11: holder 12: baseplate 12A: top surface 14: cap 14a: main surface section 14b: annular section 14c: flange 15: concave section 15A: lower surface 16, 16A, 16B: crystal vibrating element 17, 27, 37: quartz crystal pieces 17A, 27A, 37A: first main surfaces 17B, 27B, 37B: second main surface 17C: first main surface side one end surface 17D: second main surface side one end surface 17E: first main surface Side other end surface 17F: Second main surface side other end surface 21: Substrate body 27C, 37C: Low angle end surface 27D, 37D: High angle end surface 27E, 37E: Low angle other end surface 27F, 37F: High angle other end surface 30: Brazing material 37G: middle one end face 37H: middle other end face 97, 98: external electrode 100, 101: excitation electrode 210, 212: conductive adhesive member Sp: space

Claims (5)

1. 　ＡＴカットされた水晶片であって、Ｘ軸に沿う長辺とＺ’軸に沿う短辺とを有する長方形状の第１及び第２主面を備えた水晶片と、
   　前記水晶片の表面に設けられた外部電極と、
   　基板と、
   　前記基板及び前記外部電極に接触することにより、前記水晶片を前記基板に固定する導電性接着部材と
   　を含み、
   　前記水晶片のＸ軸の－側の端面が、前記第２主面より前記第１主面に近接し前記第１主面となす角度がθ１（９０°≦θ１＜１８０°）である第１主面側一端面と、前記第１主面より前記第２主面に近接し前記第２主面となす角度がθ１である第２主面側一端面とを含み、
   　前記水晶片のＸ軸の＋側の端面が、前記第２主面より前記第１主面に近接し前記第１主面となす角度がθ１より大きいθ２（９０°＜θ２＜１８０°）である第１主面側他端面と、前記第１主面より前記第２主面に近接し前記第２主面となす角度がθ２である第２主面側他端面とを含み、
   　前記導電性接着部材が、前記第１主面側一端面と、前記第１主面とに跨って設けられている、
   　水晶振動子。 A quartz-cut quartz piece provided with rectangular first and second major surfaces having long sides along the X-axis and short sides along the Z'-axis;
   An external electrode provided on the surface of the crystal piece;
   A substrate,
   And a conductive adhesive member for fixing the crystal piece to the substrate by contacting the substrate and the external electrode.
   An end face on the negative side of the X axis of the crystal piece is closer to the first main surface than the second main surface, and an angle formed with the first main surface is θ1 (90 ° ≦ θ1 <180 °). And a second main surface side end surface which is closer to the second main surface than the first main surface side and whose angle formed with the second main surface is θ1.
   The end face on the + side of the X axis of the crystal piece is closer to the first main surface than the second main surface, and the angle formed with the first main surface is θ2 larger than θ1 (90 ° <θ2 <180 °) And a second main surface side other end surface which is closer to the second main surface than the first main surface and has an angle of θ2 with the second main surface,
   The conductive adhesive member is provided across the first main surface side end surface and the first main surface.
   Crystal oscillator.
2. 　ＡＴカットされた水晶片であって、Ｚ’軸に沿う長辺とＸ軸に沿う短辺とを有する長方形状の第１及び第２主面を備えた水晶片と、
   　前記水晶片の表面に設けられた外部電極と、
   　基板と、
   　前記基板及び前記外部電極に接触することにより、前記水晶片を前記基板に固定する導電性接着部材と
   　を含み、
   　前記水晶片のＺ’軸の一方側の端面が、前記第２主面より前記第１主面に近接し前記第１主面となす角度がθ３（９０°≦θ３＜１８０°）である低角度端面と、前記第１主面より前記第２主面に近接し前記第２主面となす角度がθ３より大きいθ４（９０°＜θ４＜１８０°）である高角度端面とを含み、
   　前記導電性接着部材が、前記低角度端面と、前記第１主面とに跨って設けられている、
   　水晶振動子。 A quartz-cut quartz piece provided with rectangular first and second major surfaces having long sides extending along the Z 'axis and short sides extending along the X axis;
   An external electrode provided on the surface of the crystal piece;
   A substrate,
   And a conductive adhesive member for fixing the crystal piece to the substrate by contacting the substrate and the external electrode.
   The end face on one side of the Z ′ axis of the crystal piece is closer to the first main surface than the second main surface, and the angle formed with the first main surface is θ3 (90 ° ≦ θ3 <180 °). An angular end face, and a high angle end face that is closer to the second main surface than the first main surface and that forms an angle θ4 larger than θ3 (90 ° <θ4 <180 °),
   The conductive adhesive member is provided across the low angle end face and the first main surface.
   Crystal oscillator.
3. 　前記低角度端面と前記高角度端面とが隣接しており、
   　前記低角度端面と前記第１主面とがなす角度が、略９０°である、
   　請求項２に記載の水晶振動子。 The low angle end face and the high angle end face are adjacent to each other,
   The angle between the low angle end face and the first main surface is approximately 90 degrees,
   The crystal unit according to claim 2.
4. 　前記水晶片のＺ’軸の前記一方側の端面が、前記低角度端面と前記高角度端面との間に、中間端面を更に含む、
   　請求項２に記載の水晶振動子。 The end face on one side of the Z ′ axis of the crystal piece further includes an intermediate end face between the low angle end face and the high angle end face,
   The crystal unit according to claim 2.
5. 　前記外部電極が、前記第１主面及び前記低角度端面の少なくとも一方に設けられているとともに、前記第２主面及び前記高角度端面のいずれにも設けられていない、
   　請求項２乃至請求項４のいずれか１項に記載の水晶振動子。 The external electrode is provided on at least one of the first main surface and the low angle end surface, and is not provided on any of the second main surface and the high angle end surface.
   The crystal oscillator according to any one of claims 2 to 4.

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