WO2019027276A1 - Device for automatically opening/closing gas barrel valve and method therefor - Google Patents
Device for automatically opening/closing gas barrel valve and method therefor Download PDFInfo
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- F17C13/00—Details of vessels or of the filling or discharging of vessels
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- F17C13/00—Details of vessels or of the filling or discharging of vessels
- F17C13/12—Arrangements or mounting of devices for preventing or minimising the effect of explosion ; Other safety measures
Definitions
- the present invention relates to an automatic opening and closing apparatus for a gas cylinder valve for automatically connecting a gas cylinder loaded in a cabinet with a gas supply line and more particularly to an automatic opening and closing apparatus for a gas cylinder valve which separates an end cap from a gas cylinder loaded in a cabinet After connecting the gas supply line to the gas supply line, the valve handle is opened to supply the gas in the gas supply line to the gas supply line. When the gas is leaked, The present invention relates to an automatic opening and closing apparatus for a gas cylinder valve and a method thereof.
- the gas used in such a semiconductor manufacturing process is very important to manage. These gases are supplied to the production line through the gas supply line by being filled in the gas tank with high pressure and installed in the cabinet. When the gas is exhausted by about 90% A new gas cylinder is used by the operator so as to prevent foreign matter remaining in the interior of the wafer from being supplied to the wafer processing step.
- FIG. 1 is a perspective view illustrating a conventional gas cylinder.
- the conventional gas cylinder 200 for manufacturing a semiconductor device includes a container body 210, a container neck 230, a gas injection nozzle 250, an end cap 290, And a main valve (270).
- the container body 210 has a cylindrical shape and is filled and stored with gas to be supplied to the semiconductor manufacturing process.
- the container body 230 is connected to the pipe body 210 by a predetermined length at one end of the container body 210, And serves as a gate for discharging the gas to the container body 210.
- the gas injection nozzle 250 is in the shape of a pipe like the container neck 230 and is mounted on the container neck 230 connected to the container body 210 so that the container neck 230 can be arbitrarily connected to the outside gas Line (not shown).
- the end cap 290 is in the form of a cap and is attached to the other end of the gas injection nozzle 250, that is, the portion where the gas injection nozzle 250 is connected to the external gas line to seal the gas injection nozzle 250 .
- the valve handle 270 has a T shape and is mounted on a portion where the gas injection nozzle 250 and the container neck 230 are connected. When the gas is discharged to the container body 210, To control the gas flow.
- the conventional gas cylinder 200 thus constructed is replaced by an operator every time the gas filled in the container body 210 is exhausted. At this time, the operator first separates the gas cylinder 200 from which the gas has been exhausted from the external gas line .
- the operator prepares a new gas cylinder, separates the end cap attached to the gas injection nozzle of the new cylinder, connects the cylinder to the external gas line again, opens the valve handle closing the gas injection nozzle, The replacement of the lower gas cylinder is completed.
- FIG. 2 is a perspective view schematically showing a gas supply device for a semiconductor device according to the prior art.
- SiH4, PH3, NF3, and SiH4 which are required in various equipments 8 in the FAB 7,
- the cabinet 1 is positioned so that a plurality of gas cylinders (not shown) filled with process gases such as CF4 gas are respectively accommodated in the cabinet 1 and a gas supply line A duct 4 is provided so as to guide the duct 3.
- a number of regulator boxes 5 corresponding to the gas cylinders are provided on the other side of the duct 4 so as to supply the process gas introduced along the gas supply line 3,
- the same number of supply pipes 9 as the number of the equipment 8 are connected so as to be connected to each equipment 8 in the FAB 7.
- Each of the process gases introduced into each regulator box 5 is then purified through a filter (not shown) and then supplied to each of the supply pipes (not shown) branched and connected in a corresponding number to the equipment 8 in the FAB 9 so that the wafer can be processed.
- Patent Document 0001 Korean Registered Patent No. 10-0242982 (registered on November 15, 1998)
- Patent Document 0002 Korean Registered Patent No. 10-0649112 (Registered on November 16, 2006)
- Patent Document 0003 Korean Registered Patent No. 10-0985575 (registered on September 29, 2010)
- the end cap is manually opened and closed by an operator. If the end cap is separated, it is stored in a certain place. If the gas injection nozzle is to be closed due to the replacement of the gas cylinder, the end cap must be screwed again. The storage location of the cap was not constant, so that the end cap could not be fastened quickly when replacing the gas cylinder.
- the present invention has been conceived to solve such a problem as described above, and it is an object of the present invention to automatically connect a gas cylinder aligned in a cabinet to a gas supply line, .
- Another object of the present invention is to manually rotate the handle valve holder for rotating the valve handle of the gas cylinder in an emergency so as to lock or open the gas injection nozzle of the gas cylinder.
- Another object of the present invention is to securely store an end cap, which has been automatically separated from a gas cylinder located in a cabinet, in an end cap holder, and automatically detect the timing of replacing the gas cylinder with an end cap accommodated in the end cap holder So that it can be closed.
- a method of manufacturing a gas injection apparatus including: a main plate provided to be vertically movable up and down; and an end cap provided at a lower portion of the main plate, A valve handle unit installed on the main plate so as to be rotatable about the first axis and rotating the valve handle in a clockwise or counterclockwise direction; And a valve handle opening / closing unit for opening and closing the valve body.
- a fuel cell system including: a main plate provided to be vertically movable up and down; a gas cylinder connector for disassembling the end cap from the gas cylinder provided below the main plate, A valve handle unit installed on the main plate so as to be rotatable around a first axis to rotate the valve handle clockwise or counterclockwise, a valve handle gear rotating about the first axis, And a valve handle opening / closing unit for rotating the valve handle gear clockwise or counterclockwise.
- a method of manufacturing a gas injection apparatus comprising the steps of: aligning a gas cylinder in a cabinet; separating the end cap from the gas cylinder; screwing the connector holder into the gas injection nozzle from which the end cap is removed A step of rotating the first shaft in a forward direction while restricting a reverse rotation of a first axis installed in the valve handle holder so as to idle, winding the spring on the first axis, and restricting the valve handle of the gas cylinder And automatically closing the valve when the gas cylinder is replaced or when a gas leakage is detected.
- the method for automatically opening and closing a gas cylinder valve according to the present invention includes the steps of:
- the present invention has various advantages as compared to the prior art.
- the valve of the gas cylinder which was opened even if the gas leaks due to the vibration applied to the earthquake or the cabinet or the power failure occurs, is quickly and automatically locked. Thereby preventing an accident that the leaked gas explodes or the operator is poisoned by the gas in advance.
- valve handle gear for opening and closing the valve handle of the gas cylinder can be manually opened and closed even in the power failure state, the gas can be supplied more stably or shut off.
- the end cap is automatically separated from the gas cylinder stored in the cabinet.
- the end cap is automatically tightened to close the gas injection nozzle. Therefore, the gas cylinder can be automatically replaced.
- the end cap can be quickly fastened again to close the gas injection nozzle, thereby preventing an explosion accident caused by gas leakage or an accident that a worker is poisoned with gas .
- FIG. 1 is a perspective view showing a conventional gas cylinder
- FIG. 2 is a perspective view schematically showing a gas supply device for a semiconductor device according to the prior art.
- FIG. 3 is a perspective view illustrating the present invention.
- Fig. 4 is a perspective view showing the essential part of the present invention.
- FIG. 5 is a perspective view showing a state in which the main plate is removed in the present invention.
- FIG. 6 is a perspective view showing another direction of FIG.
- valve handle unit of the present invention is a perspective view showing the valve handle unit of the present invention in cross section
- FIGS. 8A and 8B are perspective views showing the gas-
- Figure 9 is a perspective view of the end cap support means of the present invention.
- FIG. 10 is a perspective view showing a main portion of the end cap supporting means of the present invention.
- FIG. 11 is a perspective view showing the end cap holder of the present invention in cross section
- FIGS 12A and 12B are perspective views for explaining the operation state of the end cap supporting means of the present invention.
- FIG. 13 is a perspective view showing one embodiment of the end cap supporting means of the present invention
- Figure 14 is a perspective view of another embodiment of the end cap support means of the present invention.
- 17 is a perspective view showing a state in which the gas cylinder is aligned due to the descent of the main plate;
- valve 18 is a plan view showing a state in which the valve handle gear of the valve handle unit of the present invention and the rack of the valve handle opening and closing unit are separated and the valve handle gear and the first latch are engaged
- Fig. 19 is a plan view showing a state in which a rack of the valve handle opening / closing unit is engaged with the valve handle gear of the present invention
- Fig. 20 is a plan view in which the rack of the present invention is rotated by one step to rotate the valve handle gear
- 21 is a plan view showing a state in which the first latch is detached from the valve handle gear of the present invention and the planetary gear is separated from the spring-loaded drive gear
- FIG. 3 is a perspective view illustrating the present invention.
- FIG. 4 is a perspective view illustrating the essential part of the present invention.
- FIG. 5 is a perspective view of the present invention in which a main plate is removed.
- a main plate 11 provided on the main plate 11 so as to be able to descend and an end cap 62 separated from the gas cylinder 60.
- the connector holder 28 is automatically screwed to the gas injection nozzle 64
- a valve handle unit 50 rotatably mounted on the main plate 11 about the first axis 55 to rotate the valve handle 61 clockwise or counterclockwise,
- a valve handle opening and closing unit 40 which is installed on the main plate 11 and automatically opens and closes the valve 63 of the gas cylinder 60.
- First and second aligning means 120 and 130 for correcting the position of the gas cylinder 60 loaded in the cabinet (not shown) before the valve handle unit 50 is coupled to the gas cylinder 60, Respectively.
- the first aligning means 120 automatically corrects the position when raising the gas cylinder 60 loaded in a lift (not shown) as shown in FIG. 9, A positioning rod 121 protruding from at least one side of the main plate 11 and disposed at a lower portion of the main plate 11 so that the positioning rod 121 is aligned when the valve handle unit 50 is engaged with the valve handle 61. [ And a positioning panel 122 for fitting the groove 122a and correcting the position of the gas cylinder 60. [
- the first aligning means 120 is applicable when automatically raising the gas cylinder 60 loaded on the lift in a new type gas cylinder automatic opening and closing apparatus of 1200 x 590 (mm) in length and width of the cabinet.
- the second aligning means 130 includes an aligner 131 fixed to the bottom surface of the main plate 11 and having two or more alignment pins 131a as shown in FIG.
- An alignment block 132 having a positioning hole 132a which is detachably fixed to the valve 63 of the valve 63 and in which the alignment pin 131a is inserted, And a fastening plate 133 for fastening with a member (not shown).
- the operator can finely adjust the position of the gas cylinder 60 while visually identifying the position of the aligning pin 131a,
- the pins 131a are inserted into the positioning holes 132a of the alignment block 132 so that the positions of the gas cylinders 60 are aligned.
- the gas cylinder connection portion 20 includes a second actuator 23 installed on the main plate 11 to move the second mounting plate 23 toward and away from the end cap 62 as shown in FIGS. 8A, 8B, and 9
- a first actuator 22 installed on the second mounting plate 23 for moving the first mounting plate 21 in a direction orthogonal to the moving direction of the second mounting plate 23,
- An end cap holder 25 rotatably installed on a vertical plate 27 fixed to the mounting plate 21 and detachably holding the end cap 62;
- a connector holder 28 provided on the vertical plate 27 and screwed to the gas injection nozzle 64 of the gas container 60;
- the first and second gears 29a and 29b are fixed to the shafts of the holder 25 and the connector holder 28 so that the power of the third actuator 26 is transmitted. It is.
- the rod 24a of the second actuator 24 is movably fitted in the bracket 13 fixed to the second mounting plate 23, and the rod 24a passing through the bracket 13 is provided with a coil spring Such that the elastic member 14 is not detached.
- end cap holder (25) further includes end cap supporting means (30).
- the end cap supporting means 30 includes a plurality of through holes 31 penetrating the end cap holder 25, and a plurality of through holes 31, A latch block 32 fixed to the end cap holder 50 by a fastening member 33 so as to be positioned on the end cap holder 50 and a latch block 32 which is rotatably installed around the pin 34, A latch 35 which is exposed to the inside of the cap holder 25 and supports the end cap 62 accommodated in the end cap holder 25 and a latch 35 which is provided between the latch block 32 and the latch 35, And an elastic member 36 for bending the end cap 35 to the inside of the end cap holder 25.
- An inclined surface 35a and an engagement protrusion 35b are formed in the latch 35 exposed to the inside of the end cap holder 25 through the through hole 31 of the end cap holder 25, The end cap 62 is caused to pass through the latch 35 by the inclined surface 35a while the end cap 62 is accommodated and when the end cap 62 is accommodated, The projecting portion 65 of the cap 62 is engaged.
- the end cap support means 30 may include a plurality of through holes 31 penetrating the end cap holder 25, a housing 37 screwed to the through holes, A ball 37 which is accommodated in the housing 37 and is fitted in a leak test hole 62a of the end cap 62 accommodated in the end cap holder 25 to support the end cap 62, And a resilient member 39 such as a coil spring which is installed inside the housing 37 and biases the ball 38 into the end cap holder 25.
- endcap support means may be applied in various forms by those skilled in the art.
- end cap 62 It is also possible to prevent the end cap 62 from being detached from the end cap holder 25 even if only one end cap supporting means 30 is formed in the end cap holder 25, It is more preferable that a plurality of end-cap supporting means 30 are provided at equal intervals.
- the valve handle unit 50 includes a valve handle holder 52 which surrounds and rotates the valve handle 61 of the gas cylinder 60, and a plurality of the valve handle holders 52 A fourth resilient member 54 which biases the engaging pin 53 downward and a second resilient member 54 which engages with the upper portion of the valve handle holder 52, And a valve handle gear 51 that rotates in engagement with the rack 44.
- the valve handle gear 51 serves to automatically open and close the valve 63 of the gas cylinder 60 by the valve handle opening and closing unit 40 provided on the main plate 11.
- the valve handle opening / closing unit 40 installed on the main plate 11 and rotating the valve handle gear 51 rotates about the hinge shaft 41 on the upper surface of the main plate 11
- the actuator 47 for the rotary member When the driving is stopped, the pivotal member 22 is restored to move the rack 24 to the valve handle It is composed of 51 and the third elastic member 48 for spacing.
- valve handle holder 52 opens the valve 63 of the gas cylinder 60 by the driving of the valve handle opening and closing unit 40 and the restoring force of the spring 56 wound by the first shaft 55 is released, (70) for preventing the valve handle holder (52) from rotating forward even when the valve handle holder (52) is actuated.
- the first reverse rotation preventing means 70 includes a latch driving actuator 71 provided on the main plate 11, a latch driving actuator 71 mounted on the main plate 11, A first latch 73 which is rotatably mounted about a shaft 72 and which has one end meshed with the valve handle gear 51 and the other end connected to a rod of a latch drive actuator; And a first elastic member 74 for applying a restoring force to the first elastic member 74.
- a first shaft 55 is rotatably supported by a bearing 57 at the center of the valve handle holder 52 and a spring drive gear 58 is fixed to the upper portion of the first shaft 55 15, the bent portion 56a of the spring 56 is fitted and fixed to the notch 55a formed at the lower end of the first shaft 55 and the other end of the spring 56 is fixed to the valve handle holder 52, And is fixed to a fixing pin 59 fixed to the inside of the housing.
- the first axis 55 winds the spring 56 as the spring 58 rotates clockwise.
- the main plate 11 located at one side of the valve handle gear 51 is provided with a manual winding unit 80 for amplifying the number of revolutions generated by the actuation of the spring winding actuator 81 to be transmitted to the manual winding drive gear 58, Respectively.
- the first winding winding unit 80 includes a second shaft 82 rotatably installed on the main plate 11 and a second shaft 82 rotatably mounted on the second shaft 82,
- a one way clutch 83 such as a needle roller clutch bearing having a lever 83a at one end and a second hinge coupled to the lever 83a,
- An amplifier 84 fixed to the second shaft 82 to amplify the rotational speed of the second shaft 82 and a second shaft 82 fixed to the second shaft 82.
- the second shaft 82 rotates the second shaft 82,
- a planetary gear 85 which is engaged with the amplifier gear 84 and the spring-loaded drive gear 58 is rotatably installed at one end and a rod 86a of the actuator 86 for the planetary gear actuating is hinged And a link 87.
- the spring winding actuator 81 is provided with a sensor 88 for sensing the movement of the piston so that the spring 56 is completely wound on the first shaft 55 so that the sensor 88 senses the movement of the piston
- the control unit (not shown) stops the actuation of the actuator 81 for winding the wind.
- a second reverse rotation preventing means 90 for preventing the second shaft 82 from being reversely rotated when the one-way winding actuator 81 reduces the one-way clutch 83 to the initial position, Respectively.
- FIG. 7 showing the second anti-rotation means 90 according to an embodiment of the present invention, a second latch wheel 91 fixed to the second shaft 82 and a second latch wheel 91 fixed to the second latch wheel 91
- a backlash preventing means 110 is provided on the first shaft 55 so as to prevent backlash due to the loosened spring 56.
- the backlash preventing means 110 includes a fixing block 112 fitted to the first shaft 55 and fixed to the upper plate 111 by a fastening member 116, A pressing member 113 fitted to the first shaft 55 so as to be positioned below the fixed block 112 and connected to the upper surface of the manual winding drive gear 58 and a pressing member 113 fixed to the fixed block 112, And a fifth elastic member 115 provided between the fixing block 112 and the pressing member 113 and biasing the pressing member 113 downward .
- the present invention further includes a manual opening / closing means 100 for opening and closing the gas injection nozzle 64 of the gas cylinder 60 manually in an emergency.
- the manual opening / closing means 100 includes a valve handle manual rotary gear 101 rotatably mounted on the main plate 11 and engaged with the valve handle gear 51, A manual knob 102 installed to be exposed to the outside of the main plate 11 so as to rotate the valve handle manual rotary gear 101 and a manual knob 102 to rotate the manual knob 102, And power transmission means 103 for transmitting the power to the vehicle.
- the power transmission means 103 is a gear surface group that transmits power in a 90 ⁇ direction.
- the manual opening and closing means 100 is provided so that the rack 44 is separated from the valve handle gear 51 due to a sudden power failure and the power is turned off to the latch drive actuator 71, Even when the planetary gear 85 is separated from the manual drive gear 58 and the power is turned off to the planetary gear actuating actuator 86, the valve 63 of the gas cylinder 60 ) Can be manually opened and closed.
- actuators used in the present invention can be applied to a hydraulic or pneumatic cylinder, a step motor, a servo motor, or the like, if necessary.
- the gas cylinder 60 is loaded on a lift (not shown) positioned so as to be able to move up and down in the cabinet, and the lift is preliminarily aligned with the aligning means (not shown)
- the main plate 11 and the gas cylinder 60 are provided with first aligning means 120 for accurately aligning the valve handle 61 in the valve handle holder 52 when the main plate 11 is lowered
- the positioning rod 121 fixed to the outside of the valve 63 is fitted into the alignment groove 122a of the positioning panel 122 fixed to the main plate 11 so that the position of the gas cylinder 60 is fine
- the valve handle holder 52 provided on the main plate 11 is accurately engaged with the valve handle 61 of the gas cylinder 60 as shown in FIG.
- the above operation describes an automatic type gas cylinder automatic opening and closing apparatus for loading and raising the gas cylinder 60 into the lift.
- the gasket 60 when the gasket 60 is loaded in the spherical cabinet, the gasket 60 does not ascend and is stopped. Therefore, when the main plate 11 is lowered, the worker moves the second aligning means 130 While checking the pin 131a, the positioning hole 132a of the alignment block 132 provided in the valve 63 of the gas cylinder 60 is aligned with the positioning hole 132a of the gas cylinder 60 so that the alignment pin 131a is fitted as shown in FIG.
- the valve handle holder 52 provided on the main plate 11 is accurately engaged with the valve handle 61 of the gas container 60 (S100).
- the gas cylinder 60 is automatically lifted and lowered by the lift, while the gas cylinder 60 to be loaded into the spherical cabinet is stopped in the valve handle holder 52 It is understood that the gap between the gas cylinder 60 and the main plate 11 should be designed to be narrow as the movement section of the lift because the gas cylinder 60 is coupled to the valve handle 61 of the gas cylinder 60.
- the latching pin 53 is moved in the recessed portion 61a of the valve handle 61
- the engagement pin 53 is inserted into the recessed portion 61a of the valve handle 61. If the engagement pin 53 is positioned so as to be displaced from the recessed portion 61a of the valve handle 61, 61 while the fourth elastic member 54 is compressed while the recessed portion 61a of the valve handle 61 is aligned with the engaging pin 53 by the rotation of the valve handle holder 52, The pin 53 is lowered by the restoring force of the fourth elastic member 54 and is inserted into the recessed portion 61a so that the position of the valve handle holder 52 is corrected and the coupling of these is completed.
- the second and third actuators 24 and 26 of the gas cylinder connection portion 20 are connected to the valve handle holder 61 when the main plate 11 is lowered and the valve handle holder 52 mounted on the main plate 11 is assembled to the valve handle 61
- the end cap holder 25 is rotated when the second mounting plate 23 is moved to the gas cylinder 60 side because the end cap holder 25 and the end cap 62 are hexagonal, Even if the positions of the holder 25 and the end cap 62 do not coincide with each other, as the end cap holder 25 is in contact with the end cap 62 and continues to rotate until the end cap holders 25 coincide with each other, So that the end cap 62 is correctly inserted into the cap holder 25.
- the end cap 62 which has closed the inlet of the gas injection nozzle 64, is accommodated in the end cap holder 25.
- the ball 38 is exposed to the lower portion of the housing 37 screwed to the end cap holder 25 so that the ball 38 is elastically deformed by the end cap 62 39 and the ball 38 reaches the leak test hole 62a formed in the end cap 62.
- the end cap 62 is stably housed as shown in FIG. 14.
- the third actuator 26 for rotating the end cap holder 25 is driven to rotate the end cap holder 25
- the end cap 62 is disengaged from the gas injection nozzle 64.
- the second mounting plate 23 provided with the third actuator 31 is mounted on one side
- the rod 24a of the second actuator 24 is fitted to the fixed bracket 13 and the elastic member 14 is kept compressed in the rod 24a so that the end cap holder 25 is pressed against the elastic member
- the second mounting plate 23 is moved to the left in the figure by the distance that the end cap 62 is released by the restoring force of the end cap 62 and the end cap 62 is housed in the end cap holder 25 as shown in FIG. Is separated from the gas injection nozzle 64 (S200).
- the first and second gears 19a and 19b are engaged with the shaft of the connector holder 28 and the end cap holder 25 so that the connector holder 28 idles clockwise.
- the first mounting plate 21 is moved by the driving of the first actuator 22 to move the center of the connector holder 28 and the gas injection nozzle 64
- the second actuator 24 is driven to advance the second mounting plate 23 toward the gas cylinder 60 so that the connector holder 28 abuts against the gas injection nozzle 64.
- the planetary gear actuating actuator 86 is also turned on so that the planetary gear 85 is meshed with the spring drive gear 58 and the second latch 92 is engaged with the second latch wheel 91 Respectively.
- valve handle holder 52 of the valve handle unit 50 is assembled to the valve handle 61 of the gas cylinder 60 and the connector holder 28 is screwed to the gas injection nozzle 64
- the spring 63 must be opened by the rotation of the valve handle 61 so that the spring 56 is wound around the first axis 55 using the spring winding unit 80 before the gas is supplied to the gas line.
- valve handle (61) of the gas cylinder (60) is rotated to supply the gas to the gas line, so that even if a power failure occurs in opening the valve (63) 61 to automatically shut off the supply of the gas.
- the spring-leaf winding actuator 81 is turned on to wind the lever 56 of the one-way clutch 83 to wind the spring 56 located inside the valve handle holder 52
- the second shaft 82 rotates in the clockwise direction
- the number of revolutions is amplified by the amplifier 84 to rotate the planetary gear 85 in the counterclockwise direction.
- the first shaft 55 rotates the spring 56 while rotating the second spring 58 clockwise.
- the first latch 73 is engaged with the valve handle gear 51 located at the upper portion of the valve handle holder 52 in the above operation so that the valve handle holder 52 does not move. Is wound by the first shaft 55. In this case,
- the operation of winding the spring 56 by the first shaft 55 by the operation of the spring winding actuator 81 is performed as many times as the number of times set in the control unit (not shown)
- the drive is set to the control unit such that the first manual shaft 56 is stopped by the first shaft 55 without being fully wound.
- valve handle opening / closing unit 40 is used to open the gas cylinder 60
- the valve 63 should be opened.
- the actuator 47 for the rotary member is simultaneously driven to push the rotary member 42 toward the valve handle gear 51 to open the valve 63 of the gas cylinder 60,
- the rack 44 fixed to one end of the movable piece 45 as shown in FIG. 19 is pivotally moved by the valve handle 40.
- the movable member 45 is pivoted about the hinge shaft 41 and rotated while tensioning the third elastic member 48. Therefore, And is engaged with the gear 51.
- the latch drive actuator 71 which has been turned off is turned on to stretch the first elastic member 74, One latch 73 is pushed to engage the first latch 73 with the valve handle gear 51 and then the actuator 47 for the rotary member is turned off so that the pivoting member 42 is rotated by the third elastic member
- the rack 44 fixed to the movable piece 45 and the valve handle gear 51 are disengaged from each other by the restoring force of the hinge shaft 41.
- the sensor 88 provided on the actuator 81 for winding the wind-wound winding unit 80 can not detect the piston, It is more preferable that the second shaft 81 is driven again to completely wind the spring 56 by the first shaft 55.
- the first latch 73 is meshed with the valve handle gear 51 and the second latch 92 is meshed with the second latch wheel 91 so that the spring 56 wound on the first axis 55 is not loosened. Respectively.
- the valve 63 is opened from the gas cylinder 60 so that the gas is stably supplied to each process through the gas injection nozzle 64 via the connector holder 28 connected to the gas piping 12 and the gas line.
- valve handle 61 of the gas cylinder 60 must be quickly closed to stop the supply of the gas.
- the control unit causes the rod of the actuator 71 to be pulled by the control unit, so that the first latch 73 rotates about the shaft 72,
- the power supply to the actuator 71 for driving the latch is interrupted during a power failure so that the first latch 73 is engaged with the shaft 72 by the restoring force of the first elastic member 74, So that the engagement with the valve handle gear 51 is released.
- the control unit When the spring 56 is completely unfastened, the control unit operates the valve handle opening / closing unit 40 to engage the rack 44 with the valve handle gear 51, It is more preferable that the valve handle holder 52 is rotated in the clockwise direction by an operation opposite to that when the valve 63 is opened so as to completely lock the valve handle 61 of the gas cylinder 60 (S700).
- the valve handle 61 is automatically locked by the above operation and then the connector holder 28 is removed from the gas injection nozzle 64 by the gas cylinder connection portion 20 and the end cap 62 is screwed to the main plate
- the first shaft 55 tries to rotate in a counterclockwise direction by the loosened spring 56 when the valve handle holder 52 is released from the valve handle 61 due to the rise of the first shaft 55.
- the backlash preventing means 110 is provided on the first shaft 55 so that the first shaft 55 is gradually rotated until the loosened loose spring 56 is completely loosened.
- the fixed block 112 is fixed to the upper plate 111, and the guide pin 114 is inserted into the fixed block 112 so that the pressing member 113 can move up and down
- a plurality of fifth elastic members 115 are provided between the fixed block 112 and the pressing member 113 so as to press the manual winding drive gear 58 so that the pressing member 113 presses the manual winding drive gear 58
- the first shaft 55 is gradually rotated.
- valve 63 of the gas cylinder 60 is automatically opened by the valve handle opening / closing unit 40 and the spring winding unit 80, and the valve handle 61 of the gas cylinder 60
- the present invention is further provided with a manual opening / closing means 100 that can open and close the valve 63 of the gas cylinder 60 so that the valve handle 61 can be manually rotated.
- valve handle manual rotation gear 101 rotates the valve handle gear 51 to lock the valve 63 of the gas cylinder 60 because it is transmitted to the manual rotation gear 101 at step S800.
- the rack driving actuator 46 and the actuator 47 for the rotary member are alternately operated to move the rack 44 of the valve handle opening and closing unit 40 in the direction opposite to the above-
- the valve handle holder 52 is rotated in the clockwise direction, so that the valve handle 61 locks the valve 63.
- valve handle 61 locks the valve 63
- first, second, and third actuators 22, 24, 26 operate in the reverse direction as described above
- the end cap 62 housed in the end cap holder 25 closes the gas injection nozzle 64 and the gas cylinder can be replaced.
- the end cap 62 accommodated in the end cap holder 25 is screwed to the gas injection nozzle 64
- the first actuator 22 is driven to move the first mounting plate 21 toward the gas injection nozzle 64 so that the end cap holder 25 and the gas injection nozzle 63 are positioned on the same axis.
- the third actuator 26 rotates the end cap holder 25 clockwise to rotate the end cap 62 housed in the end cap holder 25 Since the gas injection nozzle 64 is screwed to the gas injection nozzle 64, the gas cylinder 60 can be replaced.
- valve handle gear 52 valve handle holder
- valve handle 63 valve
- first reverse rotation preventing means 71 latch driving actuator
- Winding-up unit 81 Winding-up actuator
- Valve handle manual rotation gear 102 Manual knob
- Positioning rod 122 Positioning panel
Landscapes
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- Mechanical Engineering (AREA)
- General Engineering & Computer Science (AREA)
- Filling Or Discharging Of Gas Storage Vessels (AREA)
Abstract
The present invention relates to a device for automatically opening/closing a gas barrel valve such that a gas barrel loaded on a cabinet is automatically connected to a gas supply line, and a method therefor, wherein, when a gas leakage occurs in the process of separating an end cap from the gas barrel loaded on the cabinet, connecting the same to the gas supply line, and opening a valve handle so as to supply gas from inside the gas barrel to the gas supply line, the opened gas spraying nozzle can be automatically closed quickly not only when power is supplied normally, but also during a power outage. To this end, the present invention is characterized by comprising: a main plate (11) installed to be able to ascend/descend; a gas barrel connecting portion (20) installed on the lower portion of the main plate (11) such that, after the end cap (62) is separated from the gas barrel (60), a connector holder (28) is automatically screw-coupled to the gas spraying nozzle (64); a valve handle unit (50) installed on the main plate (11) to be able to rotate around a first shaft (55), thereby rotating a valve handle (61) clockwise or counterclockwise; and a valve handle opening/closing unit (40) installed on the upper portion of the main plate (11) so as to automatically open/close the valve (63) of the gas barrel (60).
Description
본 발명은 캐비닛(cabinet)에 로딩(loading)된 가스통을 가스 공급라인과 자동으로 연결하는 가스통 밸브 자동 개폐장치 및 그 방법에 관한 것으로써, 좀더 구체적으로는 캐비닛에 로딩된 가스통으로부터 엔드 캡을 분리한 다음 가스 공급라인과 연결한 후 밸브 핸들을 개방하여 가스통 내의 가스를 가스 공급라인으로 공급하는 과정에서 가스가 누출하였을 때 비 정전시는 물론이고 정전시에도 개방된 가스분사노즐을 신속하게 자동으로 잠글 수 있도록 하는 가스통 밸브 자동 개폐장치 및 그 방법에 관한 것이다.BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to an automatic opening and closing apparatus for a gas cylinder valve for automatically connecting a gas cylinder loaded in a cabinet with a gas supply line and more particularly to an automatic opening and closing apparatus for a gas cylinder valve which separates an end cap from a gas cylinder loaded in a cabinet After connecting the gas supply line to the gas supply line, the valve handle is opened to supply the gas in the gas supply line to the gas supply line. When the gas is leaked, The present invention relates to an automatic opening and closing apparatus for a gas cylinder valve and a method thereof.
일반적으로, 반도체를 제조하는 제조공정에는 용도에 따라 다양한 종류의 가스가 공급되어 사용되는데, 이러한 가스들은 대부분 인체에 흡입되거나 대기중에 노출될 경우 안전사고 및 환경오염 등의 큰 피해를 일으키게 되므로 세심한 주의를 요한다.Generally, various kinds of gases are supplied and used depending on the application in the manufacturing process of the semiconductor. Most of these gases are sucked into the human body or exposed to the air, causing serious damage such as safety accidents and environmental pollution, .
예를 들면, 이온주입공정에 사용되는 가스의 종류로는, 수소화비소(AsH3 : Arsine), 인화수소(PH 3 : Phosphine) 또는 삼플루오르화붕소(BF3 : Boron Fluoride) 등과 같은 유독성 가스가 있는데, 이들 가스는 독성이 매우 강하여 작업자가 호흡기로 흡입할 경우 치명적인 결과를 초래하므로 생산라인으로 공급하는 과정에서 누출(漏出)되지 않도록 세심하게 관리하여야 된다.For example, there are toxic gases such as arsenic hydride (AsH3: Arsine), hydrogen phosphide (PH3: Phosphine) or boron trifluoride (BF3: Boron Fluoride) These gases are very toxic and should be carefully controlled so that they do not leak out in the process of feeding to the production line, as they cause fatal consequences when workers inhale into the respiratory tract.
이와 같은 반도체 제조 공정에 사용되는 가스들은 그 관리가 매우 중요한데, 이러한 가스들은 가스통에 고압으로 충전되어 캐비닛에 장착함으로써, 가스 공급라인을 통해 생산라인에 공급되며, 가스가 약 90% 정도 소진되면 가스통의 내부에 잔류하는 이물질이 웨이퍼 가공공정으로 공급되지 않도록 작업자가 새로운 가스통으로 교체하여 사용하게 된다.The gas used in such a semiconductor manufacturing process is very important to manage. These gases are supplied to the production line through the gas supply line by being filled in the gas tank with high pressure and installed in the cabinet. When the gas is exhausted by about 90% A new gas cylinder is used by the operator so as to prevent foreign matter remaining in the interior of the wafer from being supplied to the wafer processing step.
도 1은 종래의 가스통을 나타낸 사시도로써, 종래 반도체 제조용 가스통(200)은 용기 몸체(210), 용기 목(230), 가스분사노즐(Nozzle)(250), 엔드 캡(End cap)(290) 및 메인밸브(Main valve)(270)로 구성되어 있다.FIG. 1 is a perspective view illustrating a conventional gas cylinder. The conventional gas cylinder 200 for manufacturing a semiconductor device includes a container body 210, a container neck 230, a gas injection nozzle 250, an end cap 290, And a main valve (270).
상기 용기 몸체(210)는 원통형상으로 반도체 제조 공정에 공급될 가스가 충전 및 저장되는 것이고, 용기 목(230)은 용기 몸체(210)의 일단부에서 소정 길이만큼 연장형성된 부분으로 파이프(Pipe) 형상이며 용기 몸체(210)로 가스가 배출되도록 게이트(Gate)역할을 하게 된다. The container body 210 has a cylindrical shape and is filled and stored with gas to be supplied to the semiconductor manufacturing process. The container body 230 is connected to the pipe body 210 by a predetermined length at one end of the container body 210, And serves as a gate for discharging the gas to the container body 210.
그리고, 가스분사노즐(250)은 용기 목(230)과 같은 파이프 형상이며, 일단부가 용기 몸체(210)와 연결된 용기 목(230)에 장착되는 것으로, 상기 용기 목(230)이 임의로 외부의 가스라인(도시는 생략함)과 연결된다.The gas injection nozzle 250 is in the shape of a pipe like the container neck 230 and is mounted on the container neck 230 connected to the container body 210 so that the container neck 230 can be arbitrarily connected to the outside gas Line (not shown).
또한, 엔드 캡(290)은 마개형상이며, 가스분사노즐(250)의 타단부 즉, 가스분사노즐(250)이 외부의 가스라인과 연결되는 부분에 장착되어 가스분사노즐(250)을 밀봉시키는 역할을 하게 된다. The end cap 290 is in the form of a cap and is attached to the other end of the gas injection nozzle 250, that is, the portion where the gas injection nozzle 250 is connected to the external gas line to seal the gas injection nozzle 250 .
그리고 밸브 핸들(270)은 'T'자 형상이며, 가스분사노즐(250)과 용기 목(230)이 연결된 부분에 장착되고, 용기 몸체(210)로 가스가 배출될 때 가스분사노즐(250)을 개방하여 가스의 흐름을 제어하는 역할을 하게 된다.The valve handle 270 has a T shape and is mounted on a portion where the gas injection nozzle 250 and the container neck 230 are connected. When the gas is discharged to the container body 210, To control the gas flow.
이와 같이 구성된 종래 가스통(200)은 용기 몸체(210)에 충전된 가스가 소진될 때마다 작업자에 의해 교체되는데, 이때, 작업자는 먼저 가스가 모두 소진된 가스통(200)을 외부의 가스라인으로부터 분리하여야 된다.The conventional gas cylinder 200 thus constructed is replaced by an operator every time the gas filled in the container body 210 is exhausted. At this time, the operator first separates the gas cylinder 200 from which the gas has been exhausted from the external gas line .
이후, 작업자는 새로운 가스통을 준비하여 새로운 가스통의 가스분사노즐에 장착된 엔드 캡을 분리한 다음, 상기 가스통을 다시 외부의 가스라인에 연결시킨 뒤 가스분사노즐을 닫고 있는 밸브 핸들을 오픈(Open)하면 가스통의 교체가 완료된다.Thereafter, the operator prepares a new gas cylinder, separates the end cap attached to the gas injection nozzle of the new cylinder, connects the cylinder to the external gas line again, opens the valve handle closing the gas injection nozzle, The replacement of the lower gas cylinder is completed.
도 2는 종래의 기술에 의한 반도체 장비의 가스 공급장치를 개략적으로 나타낸 사시도로써, FAB(7) 외부의 소정 장소에는 FAB(7) 내의 여러 장비(8)에서 필요로 하는 SiH4, PH3, NF3, CF4 등과 같은 공정 가스가 각각 충전된 복수 개의 가스통(도시는 생략함)을 안착할 수 있도록 캐비닛(1)이 위치하고 있고, 상기 캐비닛(1)의 일 측에는 상기 가스통(2)에 각각 연결된 가스 공급라인(3)을 안내할 수 있도록 덕트(4)가 설치되어 있다.FIG. 2 is a perspective view schematically showing a gas supply device for a semiconductor device according to the prior art. In FIG. 2, SiH4, PH3, NF3, and SiH4, which are required in various equipments 8 in the FAB 7, The cabinet 1 is positioned so that a plurality of gas cylinders (not shown) filled with process gases such as CF4 gas are respectively accommodated in the cabinet 1 and a gas supply line A duct 4 is provided so as to guide the duct 3.
상기 덕트(4)의 타 측에는 가스 공급라인(3)을 따라 유입된 공정 가스를 공급할 수 있도록 가스통에 대응하는 개수로 레귤레이터 박스(5)가 설치되어 있고 상기 각각의 레귤레이터 박스(5)의 상단부에는 FAB(7) 내의 각 장비(8)에 대응하여 연결될 수 있도록 장비(8)의 개수와 동일한 개수의 공급관(9)이 연결되어 있다.A number of regulator boxes 5 corresponding to the gas cylinders are provided on the other side of the duct 4 so as to supply the process gas introduced along the gas supply line 3, The same number of supply pipes 9 as the number of the equipment 8 are connected so as to be connected to each equipment 8 in the FAB 7.
따라서 캐비닛(1)에 안착되어 있는 각각의 가스통에서 공정 가스가 공급되면, 각각의 공정 가스는 덕트(4)의 내부를 통과하는 가스 공급라인(3)을 따라 각각의 레귤레이터 박스(5)로 유입된다.Therefore, when the process gas is supplied to the respective gas cylinders seated in the cabinet 1, the respective process gases are introduced into the respective regulator boxes 5 along the gas supply line 3 passing through the inside of the duct 4 do.
이후, 각각의 레귤레이터 박스(5) 내로 유입된 각각의 공정 가스는 필터(미 도시)를 통해 정화된 후 FAB(7) 내의 장비(8)에 대응되는 개수로 분기되어 연결되어 있는 각각의 공급관(9)을 따라 흘러 공급되므로 웨이퍼를 가공할 수 있게 된다.Each of the process gases introduced into each regulator box 5 is then purified through a filter (not shown) and then supplied to each of the supply pipes (not shown) branched and connected in a corresponding number to the equipment 8 in the FAB 9 so that the wafer can be processed.
(선행기술문헌)(Prior art document)
(특허문헌 0001) 대한민국 등록특허공보 10-0242982(1998.11.15.등록)(Patent Document 0001) Korean Registered Patent No. 10-0242982 (registered on November 15, 1998)
(특허문헌 0002) 대한민국 등록특허공보 10-0649112(2006.11.16.등록)(Patent Document 0002) Korean Registered Patent No. 10-0649112 (Registered on November 16, 2006)
(특허문헌 0003) 대한민국 등록특허공보 10-0985575(2010.09.29.등록)(Patent Document 0003) Korean Registered Patent No. 10-0985575 (registered on September 29, 2010)
그러나 이러한 종래의 가스공급장치는 다음과 같은 여러 가지 문제점이 있었다.However, such conventional gas supply apparatus has various problems as follows.
첫째, 캐비닛 내에 비치되는 가스통을 가스가 소진될 때마다 작업자가 수작업으로 교체하였기 때문에 작업자의 숙련도에 따라 휴먼 에러(human error)가 발생되었다.First, since the gas cylinder in the cabinet was manually replaced every time the gas was exhausted, a human error occurred according to the skill of the operator.
둘째, 가스 공급라인을 통해 가스를 공급하는 과정에서 지진 등의 불의의 사고로 가스가 누출될 경우 가스통의 밸브를 자동으로 잠그는 수단이 강구되어 있지 않아 누출된 가스가 폭발하거나, 작업자가 누출된 가스에 중독되는 치명적인 결함이 있었다.Second, when gas is leaked due to unexpected accident such as an earthquake in the process of supplying gas through the gas supply line, means for automatically locking the valve of the gas cylinder is not provided, so that the leaked gas may explode or the leaked gas There was a fatal fatal poisoning.
셋째, 엔드 캡을 작업자가 수작업으로 개폐하도록 되어 있어 엔드 캡을 분리하고 나면 이를 일정한 장소에 보관하였다가 가스통의 교체로 인해 가스분사노즐을 폐쇄하고자 할 경우에는 엔드 캡을 다시 나사 결합하여야 되지만, 엔드 캡의 보관장소가 일정하지 않아 가스통의 교체시 엔드 캡을 신속하게 나사 결합할 수 없었다.Third, the end cap is manually opened and closed by an operator. If the end cap is separated, it is stored in a certain place. If the gas injection nozzle is to be closed due to the replacement of the gas cylinder, the end cap must be screwed again. The storage location of the cap was not constant, so that the end cap could not be fastened quickly when replacing the gas cylinder.
설령, 일정한 장소에 엔드 캡을 보관하였다 하더라도 작업자가 가스분사노즐을 수작업으로 폐쇄하기 때문에 조작 실수에 따른 휴먼 에러(Human Error)가 발생될 우려가 있어 안전사고에 취약한 문제점이 있었다.Even if the end cap is stored in a certain place, since the operator manually closes the gas injection nozzle, a human error may occur due to the number of operation mistakes, which poses a problem in safety accident.
본 발명은 종래의 이와 같은 문제점을 해결하기 위해 안출한 것으로써, 캐비닛에 얼라인(align)되게 로딩된 가스통을 가스 공급라인에 자동으로 연결하도록 하여 가스통의 자동 교체를 실현할 수 있도록 하는 데 그 목적이 있다.SUMMARY OF THE INVENTION The present invention has been conceived to solve such a problem as described above, and it is an object of the present invention to automatically connect a gas cylinder aligned in a cabinet to a gas supply line, .
본 발명의 다른 목적은 가스통의 가스분사노즐이 개방된 상태에서 갑작스런 진동이나 지진 등으로 인해 가스가 누출되거나, 정전시 가스통의 밸브 핸들을 자동으로 잠가 가스의 누출로 인한 안전사고가 발생되는 현상을 근본적으로 해소할 수 있도록 하는 데 있다.It is another object of the present invention to provide a method for preventing a gas leakage due to sudden vibration or an earthquake while a gas injection nozzle of a gas cylinder is opened or a safety accident caused by gas leakage by automatically locking a valve handle of a gas cylinder during a power failure So that it can be fundamentally resolved.
본 발명의 또 다른 목적은 가스통의 가스분사노즐을 개방하기 전에 밸브 핸들을 잠글 수 있도록 태엽을 먼저 감아 밸브 핸들을 회전시켜 가스분사노즐을 개방하는 과정에서 지진 또는 정전이 발생하더라도 가스통의 가스분사노즐이 자동으로 잠길 수 있도록 하는 데 있다.It is still another object of the present invention to provide a gas injection apparatus and a gas injection method thereof, in which, even if an earthquake or a power failure occurs in a process of opening a gas injection nozzle by rotating a valve handle by first winding a spring to lock a valve handle before opening the gas injection nozzle, This is so that you can lock it automatically.
본 발명의 또 다른 목적은 비상시 가스통의 밸브 핸들을 회전시키는 핸들 밸브 홀더를 수동으로 회전시켜 가스통의 가스분사노즐을 잠그거나, 열 수 있도록 하는 데 있다.Another object of the present invention is to manually rotate the handle valve holder for rotating the valve handle of the gas cylinder in an emergency so as to lock or open the gas injection nozzle of the gas cylinder.
본 발명의 또 다른 목적은 캐비닛에 위치하는 가스통으로부터 자동으로 분리하였던 엔드 캡을 엔드 캡 홀더에 안전하게 수납하였다가 가스통의 교체시기가 감지되면 엔드 캡 홀더에 수납되었던 엔드 캡으로 가스분사노즐을 자동으로 폐쇄할 수 있도록 하는 데 있다.Another object of the present invention is to securely store an end cap, which has been automatically separated from a gas cylinder located in a cabinet, in an end cap holder, and automatically detect the timing of replacing the gas cylinder with an end cap accommodated in the end cap holder So that it can be closed.
상기 목적을 달성하기 위한 본 발명의 형태에 따르면, 승, 하강 가능하게 설치된 메인 플레이트와, 상기 메인 플레이트의 하부에 설치되어 가스통으로부터 엔드 캡을 분리한 다음 가스분사노즐에 커넥터 홀더를 자동으로 나사 결합하는 가스통 연결부와, 상기 메인 플레이트에 제1 축을 중심으로 회전 가능하게 설치되어 밸브 핸들을 시계 또는 반 시계방향으로 회전시키는 밸브 핸들 유니트와, 상기 메인 플레이트의 상부에 설치되어 가스통의 밸브를 자동으로 개폐하는 밸브 핸들 개폐 유니트로 구성된 것을 특징으로 하는 가스통 밸브 자동 개폐장치가 제공된다.According to another aspect of the present invention, there is provided a method of manufacturing a gas injection apparatus, including: a main plate provided to be vertically movable up and down; and an end cap provided at a lower portion of the main plate, A valve handle unit installed on the main plate so as to be rotatable about the first axis and rotating the valve handle in a clockwise or counterclockwise direction; And a valve handle opening / closing unit for opening and closing the valve body.
본 발명의 다른 형태에 따르면, 승, 하강 가능하게 설치된 메인 플레이트와, 상기 메인 플레이트의 하부에 설치되어 가스통으로부터 엔드 캡을 분리한 다음 가스분사노즐에 커넥터 홀더를 자동으로 나사 결합하는 가스통 연결부와, 상기 메인 플레이트에 제1 축을 중심으로 회전 가능하게 설치되어 밸브 핸들을 시계 또는 반 시계방향으로 회전시키는 밸브 핸들 유니트와, 상기 제1 축을 중심으로 회전하는 밸브 핸들 기어와, 상기 밸브 핸들 기어의 일 측에 설치되어 밸브 핸들 기어를 시계 또는 반 시계방향으로 회전시키는 밸브 핸들 개폐 유니트로 구성된 것을 특징으로 하는 가스통 밸브 자동 개폐장치가 제공된다.According to another aspect of the present invention, there is provided a fuel cell system including: a main plate provided to be vertically movable up and down; a gas cylinder connector for disassembling the end cap from the gas cylinder provided below the main plate, A valve handle unit installed on the main plate so as to be rotatable around a first axis to rotate the valve handle clockwise or counterclockwise, a valve handle gear rotating about the first axis, And a valve handle opening / closing unit for rotating the valve handle gear clockwise or counterclockwise.
본 발명의 또 다른 형태에 따르면, 캐비닛에 가스통을 얼라인되게 로딩하는 단계와, 상기 가스통으로부터 엔드 캡을 분리하는 단계와, 상기 엔드 캡이 제거된 가스분사노즐에 커넥터 홀더를 나사 결합하는 단계와, 상기 밸브 핸들 홀더에 공회전 가능하게 설치된 제1 축의 역회전을 억제시키면서 제1 축을 정 회전시켜 제1 축으로 태엽을 감는 단계와, 상기 밸브 핸들 홀더의 정 회전을 억제시키면서 가스통의 밸브 핸들을 역회전시켜 밸브를 개방하는 단계와, 상기 가스통의 교체 시기 또는 가스누출이 감지되면 밸브를 자동으로 잠그는 단계로 이루어진 것을 특징으로 하는 가스통 밸브 자동 개폐방법이 제공된다.According to another aspect of the present invention, there is provided a method of manufacturing a gas injection apparatus, the method comprising the steps of: aligning a gas cylinder in a cabinet; separating the end cap from the gas cylinder; screwing the connector holder into the gas injection nozzle from which the end cap is removed A step of rotating the first shaft in a forward direction while restricting a reverse rotation of a first axis installed in the valve handle holder so as to idle, winding the spring on the first axis, and restricting the valve handle of the gas cylinder And automatically closing the valve when the gas cylinder is replaced or when a gas leakage is detected. The method for automatically opening and closing a gas cylinder valve according to the present invention includes the steps of:
본 발명은 종래에 비하여 다음과 같은 여러 가지 장점을 갖는다.The present invention has various advantages as compared to the prior art.
첫째, 유독성 가스가 충진된 가스통 교체의 자동화 실현이 가능하므로 가스통을 안전하게 교체할 수 있음은 물론이고 고가의 인건비를 절감할 수 있게 된다.First, since it is possible to automate the replacement of the gas cylinder filled with toxic gas, it is possible to safely replace the gas cylinder, and also to save the expensive labor cost.
둘째, 가스통으로부터 가스를 생산라인에 공급하는 과정에서 지진 또는 캐비닛에 가해지는 진동에 의해 가스가 누출되거나, 정전이 발생할 경우에도 개방되었던 가스통의 밸브를 자동으로 신속하게 잠가 가스가 가스 공급라인을 통해 공급되지 않도록 하고, 이에 따라 누출된 가스가 폭발하거나, 작업자가 가스에 중독되는 사고를 미연에 방지하게 된다.Second, in the process of supplying the gas from the gas cylinder to the production line, the valve of the gas cylinder, which was opened even if the gas leaks due to the vibration applied to the earthquake or the cabinet or the power failure occurs, is quickly and automatically locked. Thereby preventing an accident that the leaked gas explodes or the operator is poisoned by the gas in advance.
셋째, 정전 상태에서도 가스통의 밸브 핸들을 개폐시키는 밸브 핸들 기어를 수동으로 개폐시킬 수 있도록 되어 있으므로 보다 안정되게 가스를 공급하거나, 차단할 수 있게 된다.Third, since the valve handle gear for opening and closing the valve handle of the gas cylinder can be manually opened and closed even in the power failure state, the gas can be supplied more stably or shut off.
넷째, 캐비닛에 수납된 가스통으로부터 엔드 캡을 자동으로 분리하여 수납하였다가 가스통의 교체 시 엔드 캡을 자동으로 체결하여 가스분사노즐을 폐쇄하기 때문에 가스통의 자동교체가 가능함은 물론이고 밸브 핸들의 밸브가 노후되어 엔드 캡을 제거할 때 가스가 누설되더라도 엔드 캡을 신속하게 다시 체결하여 가스분사노즐을 폐쇄할 수 있게 되므로 가스의 누출로 인한 폭발사고 또는 작업자가 가스에 중독되는 사고를 미연에 방지하게 된다.Fourthly, the end cap is automatically separated from the gas cylinder stored in the cabinet. When the gas cylinder is replaced, the end cap is automatically tightened to close the gas injection nozzle. Therefore, the gas cylinder can be automatically replaced. When the end cap is deteriorated and the gas is leaked, the end cap can be quickly fastened again to close the gas injection nozzle, thereby preventing an explosion accident caused by gas leakage or an accident that a worker is poisoned with gas .
도 1은 종래의 가스통을 나타낸 사시도1 is a perspective view showing a conventional gas cylinder;
도 2는 종래의 기술에 의한 반도체 장비의 가스 공급장치를 개략적으로 나타낸 사시도2 is a perspective view schematically showing a gas supply device for a semiconductor device according to the prior art.
도 3은 본 발명을 나타낸 사시도3 is a perspective view illustrating the present invention.
도 4는 본 발명의 요부를 발췌하여 나타낸 사시도Fig. 4 is a perspective view showing the essential part of the present invention.
도 5는 본 발명에서 메인 플레이트를 제거한 상태의 사시도FIG. 5 is a perspective view showing a state in which the main plate is removed in the present invention. FIG.
도 6은 도 5의 다른 방향을 나타낸 사시도FIG. 6 is a perspective view showing another direction of FIG.
도 7은 본 발명의 밸브 핸들 유니트를 단면으로 나타낸 사시도7 is a perspective view showing the valve handle unit of the present invention in cross section;
도 8a 및 도 8b는 본 발명의 가스통 연결부를 나타낸 사시도FIGS. 8A and 8B are perspective views showing the gas-
도 9는 본 발명의 엔드 캡 지지수단을 나타낸 사시도Figure 9 is a perspective view of the end cap support means of the present invention
도 10은 본 발명의 엔드 캡 지지수단의 요부를 나타낸 사시도10 is a perspective view showing a main portion of the end cap supporting means of the present invention;
도 11은 본 발명의 엔드 캡 홀더를 단면으로 나타낸 사시도11 is a perspective view showing the end cap holder of the present invention in cross section;
도 12a 및 도 12b는 본 발명의 엔드 캡 지지수단의 작동상태를 설명하기 위한 사시도로써,12A and 12B are perspective views for explaining the operation state of the end cap supporting means of the present invention,
도 12a는 엔드 캡 홀더가 엔드 캡을 감싼 상태도12A shows a state in which the end cap holder surrounds the end cap
도 12b는 엔드 캡 홀더가 가스분사노즐로부터 엔드 캡을 분리한 상태도12B is a state in which the end cap holder separates the end cap from the gas injection nozzle
도 13은 본 발명의 엔드 캡 지지수단의 일 실시예를 나타낸 사시도13 is a perspective view showing one embodiment of the end cap supporting means of the present invention
도 14는 본 발명의 엔드 캡 지지수단의 다른 실시예를 단면으로 나타낸 사시도Figure 14 is a perspective view of another embodiment of the end cap support means of the present invention,
도 15는 본 발명의 백래시 방지수단을 설명하기 위한 단면도15 is a sectional view for explaining the backlash preventing means of the present invention
도 16은 본 발명의 제2 얼라인수단을 나타낸 분해 사시도16 is an exploded perspective view showing the second aligning means of the present invention
도 17은 메인 플레이트의 하강으로 가스통이 얼라인된 상태의 사시도17 is a perspective view showing a state in which the gas cylinder is aligned due to the descent of the main plate;
도 18은 본 발명의 밸브 핸들 유니트의 밸브 핸들 기어와 밸브 핸들 개폐 유니트의 랙이 분리되고, 밸브 핸들 기어와 제1 래치가 치합된 상태의 평면도18 is a plan view showing a state in which the valve handle gear of the valve handle unit of the present invention and the rack of the valve handle opening and closing unit are separated and the valve handle gear and the first latch are engaged
도 19는 본 발명의 밸브 핸들 기어에 밸브 핸들 개폐유니트의 랙이 치합된 평면도Fig. 19 is a plan view showing a state in which a rack of the valve handle opening / closing unit is engaged with the valve handle gear of the present invention
도 20은 본 발명의 랙이 1스탭 이동하여 밸브 핸들 기어를 회전시킨 평면도Fig. 20 is a plan view in which the rack of the present invention is rotated by one step to rotate the valve handle gear
도 21은 본 발명의 밸브 핸들 기어에서 제1 래치가 분리되고, 태엽 구동기어에서 유성기어가 분리된 상태의 평면도21 is a plan view showing a state in which the first latch is detached from the valve handle gear of the present invention and the planetary gear is separated from the spring-loaded drive gear
도 22는 본 발명의 방법을 설명하기 위한 플로우챠트22 is a flow chart for explaining the method of the present invention
이하, 첨부한 도면을 참고로 하여 본 발명의 실시예에 대하여 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자가 용이하게 실시할 수 있도록 상세히 설명한다. 본 발명은 여러 가지 상이한 형태로 구현될 수 있으며 여기에서 설명하는 실시예에 한정되지 않는다. 도면들은 개략적이고 축적에 맞게 도시되지 않았다는 것을 일러둔다. 도면에 있는 부분들의 상대적인 치수 및 비율은 도면에서의 명확성 및 편의를 위해 그 크기에 있어 과장되거나 감소되어 도시되었으며 임의의 치수는 단지 예시적인 것이지 한정적인 것은 아니다. 그리고 둘 이상의 도면에 나타나는 동일한 구조물, 요소 또는 부품에는 동일한 참조 부호가 유사한 특징을 나타내기 위해 사용된다.Hereinafter, exemplary embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings, which will be readily apparent to those skilled in the art to which the present invention pertains. The present invention may be embodied in many different forms and is not limited to the embodiments described herein. The drawings are schematic and illustrate that they are not drawn to scale. The relative dimensions and ratios of the parts in the figures are shown exaggerated or reduced in size for clarity and convenience in the figures, and any dimensions are merely illustrative and not restrictive. And to the same structure, element or component appearing in more than one drawing, the same reference numerals are used to denote similar features.
도 3은 본 발명을 나타낸 사시도이고 도 4는 본 발명의 요부를 발췌하여 나타낸 사시도이며 도 5는 본 발명에서 메인 플레이트를 제거한 상태의 사시도로써, 본 발명은 캐비닛(도시는 생략함)에 승, 하강 가능하게 설치된 메인 플레이트(11)와, 상기 메인 플레이트(11)에 설치되어 가스통(60)으로부터 엔드 캡(62)을 분리한 다음 가스분사노즐(64)에 커넥터 홀더(28)를 자동으로 나사 결합하는 가스통 연결부(20)와, 상기 메인 플레이트(11)에 제1 축(55)을 중심으로 회전 가능하게 설치되어 밸브 핸들(61)을 시계 또는 반 시계방향으로 회전시키는 밸브 핸들 유니트(50)와, 상기 메인 플레이트(11)의 상부에 설치되어 가스통(60)의 밸브(63)를 자동으로 개폐하는 밸브 핸들 개폐 유니트(40)로 구성되어 있다.FIG. 3 is a perspective view illustrating the present invention. FIG. 4 is a perspective view illustrating the essential part of the present invention. FIG. 5 is a perspective view of the present invention in which a main plate is removed. A main plate 11 provided on the main plate 11 so as to be able to descend and an end cap 62 separated from the gas cylinder 60. The connector holder 28 is automatically screwed to the gas injection nozzle 64 A valve handle unit 50 rotatably mounted on the main plate 11 about the first axis 55 to rotate the valve handle 61 clockwise or counterclockwise, And a valve handle opening and closing unit 40 which is installed on the main plate 11 and automatically opens and closes the valve 63 of the gas cylinder 60.
본 발명에서는 가스통(60)에 밸브 핸들 유니트(50)를 결합하기 전에 캐비닛(도시는 생략함)에 로딩된 가스통(60)의 위치를 보정하는 제1, 2 얼라인수단(120)(130)이 구비되어 있다.First and second aligning means 120 and 130 for correcting the position of the gas cylinder 60 loaded in the cabinet (not shown) before the valve handle unit 50 is coupled to the gas cylinder 60, Respectively.
상기 제1 얼라인수단(120)은 도 9에 나타낸 바와 같이 리프트(도시는 생략함)에 로딩(loading)된 가스통(60)을 상승시킬 때 위치를 자동으로 보정하는 것으로, 상기 밸브(63)의 적어도 일 측에 돌출 형성된 위치결정봉(121)과, 상기 메인 플레이트(11)의 하부에 설치되어 밸브 핸들 유니트(50)가 밸브 핸들(61)에 결합시 위치결정봉(121)이 얼라인 홈(122a)에 끼워지면서 가스통(60)의 위치를 보정하도록 하는 위치결정패널(122)로 구성되어 있다.The first aligning means 120 automatically corrects the position when raising the gas cylinder 60 loaded in a lift (not shown) as shown in FIG. 9, A positioning rod 121 protruding from at least one side of the main plate 11 and disposed at a lower portion of the main plate 11 so that the positioning rod 121 is aligned when the valve handle unit 50 is engaged with the valve handle 61. [ And a positioning panel 122 for fitting the groove 122a and correcting the position of the gas cylinder 60. [
따라서 리프트에 로딩된 가스통(60)의 밸브 핸들(61)이 밸브 핸들 유니트(50)에 결합 시 가스통(60)의 위치가 어긋나 있더라도 밸브(63)에 돌출 형성된 위치결정봉(121)이 위치결정패널(122)에 형성된 얼라인 홈(122a)에 자동으로 끼워지면서 위치가 보정되므로 밸브 핸들(61)이 밸브 핸들 유니트(50)에 정확히 결합된다.Even if the position of the gas cylinder 60 is shifted when the valve handle 61 of the gas cylinder 60 loaded on the lift is engaged with the valve handle unit 50, the positioning rod 121 protruding from the valve 63 is positioned The valve handle 61 is correctly engaged with the valve handle unit 50 because the position is corrected while automatically fitting into the alignment groove 122a formed in the panel 122. [
상기 제1 얼라인수단(120)은 캐비닛의 가로 × 세로가 1200 × 590(mm)인 새로운 타입의 가스통 자동 개폐장치에서 리프트에 로딩된 가스통(60)을 자동으로 상승시킬 때 적용 가능하다.The first aligning means 120 is applicable when automatically raising the gas cylinder 60 loaded on the lift in a new type gas cylinder automatic opening and closing apparatus of 1200 x 590 (mm) in length and width of the cabinet.
그러나 캐비닛의 가로 × 세로가 800 × 590(mm)인 구형 타입의 가스통 자동 개폐장치에는 공간이 좁아 가스통(60)을 자동으로 상승시키는 리프트의 설치가 불가능하여 제1 얼라인수단을 적용하지 않고 제2 얼라인수단(130)을 적용하도록 설계되어 있다.However, in the case of a spherical type automatic gas opening / closing apparatus having a cabinet width × length of 800 × 590 (mm), it is impossible to install a lift for automatically lifting the gas cylinder 60, 2 aligning means 130. In this way,
상기 제2 얼라인수단(130)은 도 16에 나타낸 바와 같이 상기 메인 플레이트(11)의 저면에 고정되고 2개 이상의 얼라인 핀(131a)을 갖는 얼라이너(131)와, 상기 가스통(60)의 밸브(63)에 착탈 가능하게 고정되며 얼라인 핀(131a)이 끼워지는 위치결정공(132a)이 형성된 얼라인 블럭(132)과, 상기 얼라인 블럭(132)을 밸브(63)에 체결부재(도시는 생략함)로 고정하는 체결판(133)으로 구성되어 있다.The second aligning means 130 includes an aligner 131 fixed to the bottom surface of the main plate 11 and having two or more alignment pins 131a as shown in FIG. An alignment block 132 having a positioning hole 132a which is detachably fixed to the valve 63 of the valve 63 and in which the alignment pin 131a is inserted, And a fastening plate 133 for fastening with a member (not shown).
따라서 캐비닛의 내부에 가스통(60)을 위치시킨 상태에서 메인 플레이트(11)가 하강하면 작업자가 얼라인 핀(131a)의 위치를 육안으로 식별하면서 가스통(60)의 위치를 미세하게 조절하여 상기 얼라인 핀(131a)이 얼라인 블럭(132)의 위치결정공(132a)으로 삽입되도록 함으로써, 가스통(60)의 위치가 얼라인된다.Therefore, when the main plate 11 is lowered with the gas cylinder 60 positioned in the cabinet, the operator can finely adjust the position of the gas cylinder 60 while visually identifying the position of the aligning pin 131a, The pins 131a are inserted into the positioning holes 132a of the alignment block 132 so that the positions of the gas cylinders 60 are aligned.
상기 가스통 연결부(20)는, 도 8a 및 도 8b 그리고 도 9에 나타낸 바와 같이 상기 메인 플레이트(11)에 설치되어 제2 설치판(23)을 엔드 캡(62) 측으로 진퇴 운동시키는 제2 액츄에이터(24)와, 상기 제2 설치판(23)에 설치되어 제1 설치판(21)을 제2 설치판(23)의 이동방향과 직교된 방향으로 이동시키는 제1 액츄에이터(22)와, 상기 제1 설치판(21)에 고정된 수직판(27)에 회전 가능하게 설치되어 엔드 캡(62)을 감싸 착탈하는 엔드 캡 홀더(25)와, 상기 엔드 캡 홀더(25)를 회전시켜 엔드 캡(62)을 분리하거나, 체결하는 제3 액츄에이터(26)와, 상기 수직판(27)에 설치되어 가스통(60)의 가스분사노즐(64)에 나사 결합되는 커넥터 홀더(28)와, 상기 엔드 캡 홀더(25) 및 커넥터 홀더(28)의 축에 각각 고정되어 제3 액츄에이터(26)의 동력이 전달되도록 상호 맞물린 제1, 2 기어(29a)(29b)로 구성되어 있다.The gas cylinder connection portion 20 includes a second actuator 23 installed on the main plate 11 to move the second mounting plate 23 toward and away from the end cap 62 as shown in FIGS. 8A, 8B, and 9 A first actuator 22 installed on the second mounting plate 23 for moving the first mounting plate 21 in a direction orthogonal to the moving direction of the second mounting plate 23, An end cap holder 25 rotatably installed on a vertical plate 27 fixed to the mounting plate 21 and detachably holding the end cap 62; A connector holder 28 provided on the vertical plate 27 and screwed to the gas injection nozzle 64 of the gas container 60; The first and second gears 29a and 29b are fixed to the shafts of the holder 25 and the connector holder 28 so that the power of the third actuator 26 is transmitted. It is.
이때, 상기 제2 액츄에이터(24)의 로드(24a)가 제2 설치판(23)에 고정된 브라켓(13)에 이동 가능하게 끼워져 있고 상기 브라켓(13)을 통과한 로드(24a)에는 코일스프링과 같은 탄성부재(14)가 이탈되지 않도록 끼워져 있다.At this time, the rod 24a of the second actuator 24 is movably fitted in the bracket 13 fixed to the second mounting plate 23, and the rod 24a passing through the bracket 13 is provided with a coil spring Such that the elastic member 14 is not detached.
이는, 엔드 캡 홀더(25) 및 커넥터 홀더(28)를 회전시킬 때, 제2 액츄에이터(24)를 작동시키지 않고도 나사 결합되는 양만큼 제2 설치판(23)의 위치를 보상할 수 있도록 하기 위함이다.This is to make it possible to compensate the position of the second mounting plate 23 by an amount that is screwed without operating the second actuator 24 when the end cap holder 25 and the connector holder 28 are rotated to be.
상기 엔드 캡 홀더(25)에 엔드 캡 지지수단(30)을 더 구비하는 것이 보다 바람직하다.It is further preferable that the end cap holder (25) further includes end cap supporting means (30).
이는, 가스통(60)을 교체할 때, 가스통(60)의 가스분사노즐(64)을 신속하게 폐쇄할 수 있도록 하기 위한 것이다.This is for enabling the gas injection nozzle 64 of the gas cylinder 60 to be quickly closed when the gas cylinder 60 is replaced.
상기 엔드 캡 지지수단(30)으로 본 발명의 일 실시예에서는 도 11 내지 도 13에 나타낸 바와 같이 상기 엔드 캡 홀더(25)에 관통되게 복수 개 형성된 통공(31)과, 상기 각 통공의 외측으로 위치되게 엔드 캡 홀더(50)에 체결부재(33)로 고정된 래치 블럭(32)과, 상기 래치 블럭(32)에 핀(34)을 중심으로 회동 가능하게 설치되어 통공(31)을 통해 엔드 캡 홀더(25)의 내부로 노출되어 엔드 캡 홀더(25)의 내부에 수용된 엔드 캡(62)을 지지하는 래치(35)와, 상기 래치 블럭(32) 및 래치(35) 사이에 설치되어 래치(35)를 엔드 캡 홀더(25)의 내부로 편의하는 탄성부재(36)로 구성되어 있다.11 to 13, the end cap supporting means 30 includes a plurality of through holes 31 penetrating the end cap holder 25, and a plurality of through holes 31, A latch block 32 fixed to the end cap holder 50 by a fastening member 33 so as to be positioned on the end cap holder 50 and a latch block 32 which is rotatably installed around the pin 34, A latch 35 which is exposed to the inside of the cap holder 25 and supports the end cap 62 accommodated in the end cap holder 25 and a latch 35 which is provided between the latch block 32 and the latch 35, And an elastic member 36 for bending the end cap 35 to the inside of the end cap holder 25.
상기 엔드 캡 홀더(25)의 통공(31)을 통해 상기 엔드 캡 홀더(25)의 내부로 노출되는 래치(35)에 경사면(35a) 및 걸림 턱(35b)이 형성되어 있어 엔드 캡 홀더(25)에 엔드 캡(62)이 수납시에는 상기 엔드 캡(62)이 경사면(35a)에 의해 래치(35)를 통과되도록 하고 상기 엔드 캡(62)이 수납된 상태에서는 걸림 턱(35b)에 엔드 캡(62)의 돌출부(65)가 걸려 지지되도록 되어 있다.An inclined surface 35a and an engagement protrusion 35b are formed in the latch 35 exposed to the inside of the end cap holder 25 through the through hole 31 of the end cap holder 25, The end cap 62 is caused to pass through the latch 35 by the inclined surface 35a while the end cap 62 is accommodated and when the end cap 62 is accommodated, The projecting portion 65 of the cap 62 is engaged.
그러나 상기 엔드 캡 지지수단(30)을 다른 실시예로 나타낸 도 14와 같이 상기 엔드 캡 홀더(25)에 관통되게 복수 개 형성된 통공(31)과, 상기 각 통공에 나사 결합되는 하우징(37)과, 상기 하우징(37)의 내부에 수용되어 엔드 캡 홀더(25)의 내부에 수용된 엔드 캡(62)의 누설 테스트공(leak test hole)(62a)에 끼워져 엔드 캡(62)을 지지하는 볼(38)과, 상기 하우징(37)의 내부에 설치되어 볼(38)을 엔드 캡 홀더(25)의 내부로 편의하는 코일스프링과 같은 탄성부재(39)로 구성할 수도 있다.However, as shown in FIG. 14, the end cap support means 30 may include a plurality of through holes 31 penetrating the end cap holder 25, a housing 37 screwed to the through holes, A ball 37 which is accommodated in the housing 37 and is fitted in a leak test hole 62a of the end cap 62 accommodated in the end cap holder 25 to support the end cap 62, And a resilient member 39 such as a coil spring which is installed inside the housing 37 and biases the ball 38 into the end cap holder 25.
이외에도 당해 분야의 기술자에 의해 엔드 캡 지지수단을 다양한 형태로 적용 가능함은 이해 가능한 것이다.It will be appreciated that the endcap support means may be applied in various forms by those skilled in the art.
또한, 상기 엔드 캡 홀더(25)에 엔드 캡 지지수단(30)을 1개소만 형성하여도 엔드 캡 홀더(25)에서 엔드 캡(62)이 이탈되는 현상을 방지할 수 있으나, 보다 안정된 지지를 위해 엔드 캡 지지수단(30)을 등 간격으로 복수 개 설치하는 것이 보다 바람직하다.It is also possible to prevent the end cap 62 from being detached from the end cap holder 25 even if only one end cap supporting means 30 is formed in the end cap holder 25, It is more preferable that a plurality of end-cap supporting means 30 are provided at equal intervals.
상기 밸브 핸들 유니트(50)는, 도 7에 나타낸 바와 같이 가스통(60)의 밸브 핸들(61)을 감싸 회전시키는 밸브 핸들 홀더(52)와, 상기 밸브 핸들 홀더(52)의 내부에 복수 개 설치되어 밸브 핸들(61)의 요입부(61a)에 걸리는 걸림 핀(53)과, 상기 걸림 핀(53)을 하방으로 편의하는 제4 탄성부재(54)와, 상기 밸브 핸들 홀더(52)의 상부에 위치되어 랙(44)과 맞물려 회전하는 밸브 핸들 기어(51)로 구성되어 있다.7, the valve handle unit 50 includes a valve handle holder 52 which surrounds and rotates the valve handle 61 of the gas cylinder 60, and a plurality of the valve handle holders 52 A fourth resilient member 54 which biases the engaging pin 53 downward and a second resilient member 54 which engages with the upper portion of the valve handle holder 52, And a valve handle gear 51 that rotates in engagement with the rack 44.
상기 밸브 핸들 기어(51)는 메인 플레이트(11)에 설치된 밸브 핸들 개폐 유니트(40)에 의해 가스통(60)의 밸브(63)를 자동으로 개폐하는 역할을 하게 된다.The valve handle gear 51 serves to automatically open and close the valve 63 of the gas cylinder 60 by the valve handle opening and closing unit 40 provided on the main plate 11.
상기 메인 플레이트(11)에 설치되어 밸브 핸들 기어(51)를 회전시키는 밸브 핸들 개폐 유니트(40)는, 도 5에 나타낸 바와 같이 메인 플레이트(11)의 상면에 힌지 축(41)을 중심으로 회동 가능하게 설치된 회동부재(42)와, 상기 회동부재의 상면에 가이드봉(43)을 따라 진퇴 가능하게 설치되며 일단에 랙(rack)(44)이 고정된 가동편(45)과, 상기 가동편(45)의 양측에 설치되어 교호로 작동하면서 가동편(45)을 진퇴시키는 한 쌍의 랙 구동용 액츄에이터(46)와, 상기 각 랙 구동용 액츄에이터(46)의 일 측에 위치되게 메인 플레이트(11)에 설치되어 회동부재(42)를 회동시키는 회동부재용 액츄에이터(47)와, 상기 랙 구동용 액츄에이터(46) 및 회동부재용 액츄에이터(47) 사이에 연결되어 회동부재용 액츄에이터(47)의 구동이 중단 시 회동부재(22)를 복원시켜 랙(24)을 밸브 핸들 기어(51)와 이격시키는 제3 탄성부재(48)로 구성되어 있다.5, the valve handle opening / closing unit 40 installed on the main plate 11 and rotating the valve handle gear 51 rotates about the hinge shaft 41 on the upper surface of the main plate 11 A movable piece 45 provided on the upper surface of the tiltable member so as to be movable along the guide rod 43 and having a rack 44 fixed at one end thereof, A pair of rack driving actuators 46 provided on both sides of the rack 45 for moving the movable piece 45 forward and backward while being operated in alternation and a pair of rack driving actuators 46 disposed on one side of each of the rack actuating actuators 46, And an actuator 47 connected to the rack actuator 46 and the actuator 47 for the rotary member for rotating the rotary member 42. The actuator 47 for the rotary member When the driving is stopped, the pivotal member 22 is restored to move the rack 24 to the valve handle It is composed of 51 and the third elastic member 48 for spacing.
상기 밸브 핸들 개폐 유니트(40)의 구동으로 밸브 핸들 홀더(52)가 가스통(60)의 밸브(63)를 개방시 제1 축(55)에 의해 감겨진 태엽(56)의 복원력이 밸브 핸들 홀더(52)에 작용하더라도 밸브 핸들 홀더(52)가 정 회전하지 않도록 하는 제1 역회전방지수단(70)이 더 구비되어 있다.When the valve handle holder 52 opens the valve 63 of the gas cylinder 60 by the driving of the valve handle opening and closing unit 40 and the restoring force of the spring 56 wound by the first shaft 55 is released, (70) for preventing the valve handle holder (52) from rotating forward even when the valve handle holder (52) is actuated.
상기 제1 역회전 방지수단(70)을 본 발명의 일 실시예에서는 도 5 및 도 6에 나타낸 바와 같이 상기 메인 플레이트(11)에 설치된 래치 구동용 액츄에이터(71)와, 상기 메인 플레이트(11)에 축(72)을 중심으로 회동 가능하게 설치되어 일단이 밸브 핸들 기어(51)에 치합되며 타단은 래치 구동용 액츄에이터의 로드에 접속되는 제1 래치(73)와, 상기 제1 래치(73)에 복원력을 부여하는 제1 탄성부재(74)로 구성되어 있다.5 and 6, the first reverse rotation preventing means 70 includes a latch driving actuator 71 provided on the main plate 11, a latch driving actuator 71 mounted on the main plate 11, A first latch 73 which is rotatably mounted about a shaft 72 and which has one end meshed with the valve handle gear 51 and the other end connected to a rod of a latch drive actuator; And a first elastic member 74 for applying a restoring force to the first elastic member 74.
따라서 밸브 핸들 개폐 유니트(40)의 랙(44)이 밸브 핸들 기어(51)를 역방향으로 회전시켜 가스통(60)의 밸브(63)를 개방할 때, 제1 래치(73)가 밸브 핸들 기어(51)에 치합되어 있어 밸브 핸들 홀더(52)가 정 방향으로 회전하는 것을 억제시키게 된다.When the rack 44 of the valve handle opening and closing unit 40 rotates the valve handle gear 51 in the opposite direction to open the valve 63 of the gas cylinder 60, the first latch 73 is engaged with the valve handle gear 51 so that the valve handle holder 52 is prevented from rotating in the forward direction.
또한, 상기 밸브 핸들 홀더(52)의 중심부에 제1 축(55)이 회전 가능하게 베어링(57)으로 지지 설치되어 있고 상기 제1 축(55)의 상부에는 태엽 구동기어(58)가 고정되어 있으며 상기 제1 축(55)의 하단에 형성된 절결부(55a)에는 도 15와 같이 태엽(56)의 절곡부(56a)가 끼워져 고정됨과 동시에 태엽(56)의 타단은 밸브 핸들 홀더(52)의 내부에 고정된 고정 핀(59)에 고정되어 있다.A first shaft 55 is rotatably supported by a bearing 57 at the center of the valve handle holder 52 and a spring drive gear 58 is fixed to the upper portion of the first shaft 55 15, the bent portion 56a of the spring 56 is fitted and fixed to the notch 55a formed at the lower end of the first shaft 55 and the other end of the spring 56 is fixed to the valve handle holder 52, And is fixed to a fixing pin 59 fixed to the inside of the housing.
따라서 태엽 구동기어(58)를 시계방향으로 회전시킴에 따라 제1 축(55)이 태엽(56)을 감게 된다.Accordingly, the first axis 55 winds the spring 56 as the spring 58 rotates clockwise.
상기 밸브 핸들 기어(51)의 일 측에 위치하는 메인 플레이트(11)에는 태엽 감기용 액츄에이터(81)의 구동에 따른 회전수가 증폭되어 태엽 구동기어(58)에 전달되도록 하는 태엽 감김 유니트(80)가 구비되어 있다.The main plate 11 located at one side of the valve handle gear 51 is provided with a manual winding unit 80 for amplifying the number of revolutions generated by the actuation of the spring winding actuator 81 to be transmitted to the manual winding drive gear 58, Respectively.
상기 태엽 감김 유니트(80)가 본 발명의 일 실시예에서는 도 7에 나타낸 바와 같이 상기 메인 플레이트(11)에 회전 가능하게 설치된 제2 축(82)과, 상기 제2 축(82)에 회전 가능하게 설치되고 일단에 레버(83a)를 갖는 니들롤러 클러치 베어링(needle roller clutch bearing)같은 원웨이 클러치(one way clutch)(83)와, 상기 레버(83a)에 로드가 힌지 결합되어 제2 축(82)을 회전시키는 태엽 감기용 액츄에이터(81)와, 상기 제2 축(82)에 고정되어 제2 축(82)의 회전수를 증폭시키는 증폭기어(84)와, 상기 제2 축(82)에 고정되어 일단에 증폭기어(84) 및 태엽 구동기어(58)에 맞물리는 유성기어(85)가 회전 가능하게 설치되고 타단에는 유성기어 가동용 액츄에이터(86)의 로드(86a)가 힌지 결합된 링크(87)로 구성되어 있다.7, the first winding winding unit 80 includes a second shaft 82 rotatably installed on the main plate 11 and a second shaft 82 rotatably mounted on the second shaft 82, A one way clutch 83 such as a needle roller clutch bearing having a lever 83a at one end and a second hinge coupled to the lever 83a, An amplifier 84 fixed to the second shaft 82 to amplify the rotational speed of the second shaft 82 and a second shaft 82 fixed to the second shaft 82. The second shaft 82 rotates the second shaft 82, A planetary gear 85 which is engaged with the amplifier gear 84 and the spring-loaded drive gear 58 is rotatably installed at one end and a rod 86a of the actuator 86 for the planetary gear actuating is hinged And a link 87.
상기 태엽 감기용 액츄에이터(81)에는 피스톤의 이동을 감지하는 센서(88)가 설치되어 있는 데, 이는 태엽(56)이 제1 축(55)에 완전히 감겨 센서(88)가 피스톤의 이동을 감지하지 못함에 따라 제어부(도시는 생략함)에 의해 태엽 감기용 액츄에이터(81)의 구동을 중단시키도록 하기 위함이다.The spring winding actuator 81 is provided with a sensor 88 for sensing the movement of the piston so that the spring 56 is completely wound on the first shaft 55 so that the sensor 88 senses the movement of the piston The control unit (not shown) stops the actuation of the actuator 81 for winding the wind.
상기 태엽 감김 유니트(80)에는 태엽 감기용 액츄에이터(81)가 원웨이 클러치(83)를 초기 위치로 환원시킬 때 제2 축(82)이 역 회전되지 않도록 하는 제2 역회전 방지수단(90)이 구비되어 있다.A second reverse rotation preventing means 90 for preventing the second shaft 82 from being reversely rotated when the one-way winding actuator 81 reduces the one-way clutch 83 to the initial position, Respectively.
상기 제2 역회전 방지수단(90)을 본 발명의 일 실시예로 나타낸 도 7에서는 상기 제2 축(82)에 고정된 제2 래치 휠(91)과, 상기 제2 래치 휠(91)에 치합되어 원웨이 클러치(83)의 복원 시 제2 축(82)이 역 회전되지 않도록 하는 제2 래치(92)와, 상기 제2 래치(92)에 일단이 연결된 제2 탄성부재(93)로 구성되어 있다.7 showing the second anti-rotation means 90 according to an embodiment of the present invention, a second latch wheel 91 fixed to the second shaft 82 and a second latch wheel 91 fixed to the second latch wheel 91 A second latch 92 for preventing the second shaft 82 from rotating in reverse when the one-way clutch 83 is restored and a second elastic member 93 connected at one end to the second latch 92, Consists of.
상기 밸브 핸들 홀더(52)가 밸브 핸들(61)에서 분리 시, 덜 풀린 태엽(56)으로 인한 백래시(backlash)가 발생되지 않도록 하는 백래시 방지수단(110)이 제1 축(55)에 더 구비되어 있다.When the valve handle holder 52 is separated from the valve handle 61, a backlash preventing means 110 is provided on the first shaft 55 so as to prevent backlash due to the loosened spring 56. [ .
이는, 감겼던 태엽(56)이 풀리면서 밸브 핸들(61)을 잠근 상태에서 밸브 핸들 홀더(52)가 밸브 핸들(61)에서 분리될 때 제1 축(55)이 과잉회전하는 백래시가 발생하여 제1 축(55)의 절결부(55a)에 끼워져 있던 태엽(56)의 절곡부(56a)에 반복적으로 충격이 가해져 태엽(56)의 고정부위가 부러지는 현상을 미연에 방지하기 위한 것이다.This is because when the wound spring 56 is released and the valve handle 61 is closed and the valve handle holder 52 is separated from the valve handle 61, backlash occurs in which the first shaft 55 rotates excessively A repetitive impact is applied to the bent portion 56a of the spring 56 fitted in the notch 55a of the first shaft 55 to prevent the fixing portion of the spring 56 from breaking.
상기 백래시 방지수단(110)으로 본 발명의 일 실시예에서는 도 15에 나타낸 바와 같이 제1 축(55)에 끼워지며 상판(111)에 체결부재(116)로 고정된 고정블럭(112)과, 상기 고정블럭(112)의 하부에 위치되게 제1 축(55)에 끼워져 태엽 구동기어(58)의 상면에 접속되는 가압부재(113)와, 상기 고정블럭(112)에서 가압부재(113)가 승, 하강 가능하도록 하는 가이드 핀(114)과, 상기 고정블럭(112)과 가압부재(113) 사이에 설치되어 가압부재(113)를 하방으로 편의하는 제5 탄성부재(115)로 구성되어 있다.15, the backlash preventing means 110 includes a fixing block 112 fitted to the first shaft 55 and fixed to the upper plate 111 by a fastening member 116, A pressing member 113 fitted to the first shaft 55 so as to be positioned below the fixed block 112 and connected to the upper surface of the manual winding drive gear 58 and a pressing member 113 fixed to the fixed block 112, And a fifth elastic member 115 provided between the fixing block 112 and the pressing member 113 and biasing the pressing member 113 downward .
이때, 상기 가압부재(113)의 저면에 브레이크 패드(117)를 고정하면 마찰력을 더욱 증대시킬 수 있어 백래시의 발생을 더욱 억제시킬 수 있게 되므로 보다 바람직하다.At this time, if the brake pad 117 is fixed to the bottom surface of the pressing member 113, the frictional force can be further increased, thereby further suppressing the occurrence of backlash.
본 발명에서는 비상 시 수동으로 가스통(60)의 가스분사노즐(64)을 개폐시킬 수 있도록 하는 수동개폐수단(100)이 더 구비되어 있다.The present invention further includes a manual opening / closing means 100 for opening and closing the gas injection nozzle 64 of the gas cylinder 60 manually in an emergency.
상기 수동개폐수단(100)으로 본 발명의 일 실시예에서는 도 5에 나타낸 바와 같이 상기 메인 플레이트(11)에 회전 가능하게 설치되어 밸브 핸들 기어(51)에 맞물리는 밸브 핸들 수동 회전기어(101)와, 상기 밸브 핸들 수동 회전기어(101)를 회전시키도록 메인 플레이트(11)의 외측으로 노출되게 설치된 수동 놉(102)과, 상기 수동 놉(102)의 회전을 밸브 핸들 수동 회전기어(101)에 전달하는 동력전달수단(103)으로 구성되어 있다.5, the manual opening / closing means 100 includes a valve handle manual rotary gear 101 rotatably mounted on the main plate 11 and engaged with the valve handle gear 51, A manual knob 102 installed to be exposed to the outside of the main plate 11 so as to rotate the valve handle manual rotary gear 101 and a manual knob 102 to rotate the manual knob 102, And power transmission means 103 for transmitting the power to the vehicle.
상기 동력전달수단(103)으로는 90°방향으로 동력을 전달하는 기어면 족하나, 본 발명에서는 한 쌍의 베벨기어를 적용하였다.A pair of bevel gears are used in the present invention. The power transmission means 103 is a gear surface group that transmits power in a 90 占 direction.
이와 같이 수동개폐수단(100)을 구비하는 것은, 갑작스런 정전 등으로 랙(44)이 밸브 핸들 기어(51)와 이격되고, 래치구동용 액츄에이터(71)에 전원이 오프되어 제1 래치(73)가 밸브 핸들 기어(51)에서 이격되어 있으며, 유성기어 가동용 액츄에이터(86)에 전원이 오프되어 유성기어(85)가 태엽 구동기어(58)에서 이격된 상태에서도 가스통(60)의 밸브(63)를 수동으로 개폐시킬 수 있도록 하기 위한 것이다.The manual opening and closing means 100 is provided so that the rack 44 is separated from the valve handle gear 51 due to a sudden power failure and the power is turned off to the latch drive actuator 71, Even when the planetary gear 85 is separated from the manual drive gear 58 and the power is turned off to the planetary gear actuating actuator 86, the valve 63 of the gas cylinder 60 ) Can be manually opened and closed.
본 발명에 사용되는 모든 액츄에이터(actuator)는 필요에 따라 유압 또는 공압 실린더를 적용하거나, 스탭 모터 또는 서보 모터 등을 적용할 수 있음은 이해 가능한 것이다.It is understood that all the actuators used in the present invention can be applied to a hydraulic or pneumatic cylinder, a step motor, a servo motor, or the like, if necessary.
본 발명의 작용에 대하여 설명하면 다음과 같다.The operation of the present invention will be described below.
먼저, 캐비닛(도시는 생략함)에 가스통(60)이 존재하지 않는 초기상태에서부터 설명하기로 한다.First, an initial state in which the gas container 60 is not present in the cabinet (not shown) will be described.
상기 캐비닛에 승, 하강 가능하게 위치하는 리프트(도시는 생략함)에 가스통(60)을 로딩하여 얼라인수단(도시는 생략함)으로 예비 얼라인(align)한 상태로 리프트를 상사점까지 상승시킨 다음 메인 플레이트(11)를 하강시키면 메인 플레이트(11) 및 가스통(60)에는 밸브 핸들 홀더(52)에 밸브 핸들(61)을 정확히 얼라인하는 제1 얼라인수단(120)이 구비되어 있어 메인 플레이트(11)에 고정된 위치결정패널(122)의 얼라인 홈(122a)으로 밸브(63)의 외측으로 돌출되게 고정된 위치결정봉(121)이 끼워지면서 가스통(60)의 위치가 미세하게 보정되므로 상기 메인 플레이트(11)에 설치된 밸브 핸들 홀더(52)가 도 7과 같이 가스통(60)의 밸브 핸들(61)에 정확히 결합된다.The gas cylinder 60 is loaded on a lift (not shown) positioned so as to be able to move up and down in the cabinet, and the lift is preliminarily aligned with the aligning means (not shown) The main plate 11 and the gas cylinder 60 are provided with first aligning means 120 for accurately aligning the valve handle 61 in the valve handle holder 52 when the main plate 11 is lowered The positioning rod 121 fixed to the outside of the valve 63 is fitted into the alignment groove 122a of the positioning panel 122 fixed to the main plate 11 so that the position of the gas cylinder 60 is fine The valve handle holder 52 provided on the main plate 11 is accurately engaged with the valve handle 61 of the gas cylinder 60 as shown in FIG.
상기한 동작은 가스통(60)을 리프트에 로딩하여 상승시키는 자동 타입의 가스통 자동 개폐장치를 설명한 것이다.The above operation describes an automatic type gas cylinder automatic opening and closing apparatus for loading and raising the gas cylinder 60 into the lift.
그러나 구형 캐비닛에 가스통(60)이 로딩된 상태에서는 가스통(60)이 상승하지 않고 정지된 상태이므로 메인 플레이트(11)가 하강할 때, 작업자가 육안으로 제2 얼라인수단(130)의 얼라인 핀(131a)을 확인하면서 가스통(60)의 밸브(63)에 설치된 얼라인블럭(132)의 위치결정공(132a)으로 얼라인 핀(131a)이 도 17과 같이 끼워지도록 가스통(60)의 위치를 미세 조절하므로 상기 메인 플레이트(11)에 설치된 밸브 핸들 홀더(52)가 가스통(60)의 밸브 핸들(61)에 정확히 결합된다(S100).However, when the gasket 60 is loaded in the spherical cabinet, the gasket 60 does not ascend and is stopped. Therefore, when the main plate 11 is lowered, the worker moves the second aligning means 130 While checking the pin 131a, the positioning hole 132a of the alignment block 132 provided in the valve 63 of the gas cylinder 60 is aligned with the positioning hole 132a of the gas cylinder 60 so that the alignment pin 131a is fitted as shown in FIG. The valve handle holder 52 provided on the main plate 11 is accurately engaged with the valve handle 61 of the gas container 60 (S100).
이때, 가스통 자동 개폐장치는 가스통(60)이 리프트에 의해 자동으로 승, 하강하는 반면, 구형 캐비닛에 로딩되는 가스통(60)은 정지된 상태에서 상기 메인 플레이트(11)에 설치된 밸브 핸들 홀더(52)가 가스통(60)의 밸브 핸들(61)에 결합되므로 가스통(60)과 메인 플레이트(11) 사이의 간격이 리프트의 이동 구간만큼 좁게 설계되어야 함은 이해 가능한 것이다.At this time, in the gas cylinder automatic opening and closing apparatus, the gas cylinder 60 is automatically lifted and lowered by the lift, while the gas cylinder 60 to be loaded into the spherical cabinet is stopped in the valve handle holder 52 It is understood that the gap between the gas cylinder 60 and the main plate 11 should be designed to be narrow as the movement section of the lift because the gas cylinder 60 is coupled to the valve handle 61 of the gas cylinder 60. [
상기한 바와 같은 동작으로 밸브 핸들(61)이 밸브 핸들 홀더(52)에 결합될 때, 밸브 핸들(61)의 위치에 따라 걸림 핀(53)이 밸브 핸들(61)의 요입부(61a)와 일치되어 있으면 걸림 핀(53)이 요입부(61a)에 삽입되지만, 만약 걸림 핀(53)이 밸브 핸들(61)의 요입부(61a)와 어긋나게 위치되어 있으면 걸림 핀(53)이 밸브 핸들(61)의 상면에 눌려 제4 탄성부재(54)를 압축시키면서 상승하였다가 밸브 핸들 홀더(52)의 회전으로 밸브 핸들(61)의 요입부(61a)가 걸림 핀(53)과 일치할 때 걸림 핀(53)이 제4 탄성부재(54)의 복원력에 의해 하강하여 요입부(61a)에 끼워지면서 밸브 핸들 홀더(52)의 위치가 교정되어 이들의 결합이 완료된다.When the valve handle 61 is engaged with the valve handle holder 52 by the above-described operation, the latching pin 53 is moved in the recessed portion 61a of the valve handle 61 The engagement pin 53 is inserted into the recessed portion 61a of the valve handle 61. If the engagement pin 53 is positioned so as to be displaced from the recessed portion 61a of the valve handle 61, 61 while the fourth elastic member 54 is compressed while the recessed portion 61a of the valve handle 61 is aligned with the engaging pin 53 by the rotation of the valve handle holder 52, The pin 53 is lowered by the restoring force of the fourth elastic member 54 and is inserted into the recessed portion 61a so that the position of the valve handle holder 52 is corrected and the coupling of these is completed.
상기 메인 플레이트(11)가 하강하여 메인 플레이트(11)에 설치된 밸브 핸들 홀더(52)가 밸브 핸들(61)에 조립되고 나면 가스통 연결부(20)의 제2, 3 액츄에이터(24)(26)가 동시에 구동하여 제2 설치판(23)을 가스통(60) 측으로 이동시킬 때 엔드 캡 홀더(25)를 회전시키는데, 이는 엔드 캡 홀더(25) 및 엔드 캡(62)이 육각형상으로 이루어져 있어 엔드 캡 홀더(25)와 엔드 캡(62)의 위치가 일치하지 않더라도 엔드 캡 홀더(25)가 엔드 캡(62)에 맞닿은 상태에서 계속해서 엔드 캡 홀더(25)가 상호 일치될 때까지 회전함에 따라 엔드 캡 홀더(25)에 엔드 캡(62)이 정확히 삽입되도록 하기 위한 것이다.The second and third actuators 24 and 26 of the gas cylinder connection portion 20 are connected to the valve handle holder 61 when the main plate 11 is lowered and the valve handle holder 52 mounted on the main plate 11 is assembled to the valve handle 61 The end cap holder 25 is rotated when the second mounting plate 23 is moved to the gas cylinder 60 side because the end cap holder 25 and the end cap 62 are hexagonal, Even if the positions of the holder 25 and the end cap 62 do not coincide with each other, as the end cap holder 25 is in contact with the end cap 62 and continues to rotate until the end cap holders 25 coincide with each other, So that the end cap 62 is correctly inserted into the cap holder 25.
이에 따라, 가스분사노즐(64)의 입구를 폐쇄하고 있던 엔드 캡(62)이 엔드 캡 홀더(25)의 내부에 수납된다. Thus, the end cap 62, which has closed the inlet of the gas injection nozzle 64, is accommodated in the end cap holder 25.
이와 같이 엔드 캡(62)이 엔드 캡 홀더(25)의 내부에 수납되면 본 발명의 일 실시예로 나타낸 도 11에서는 상기 엔드 캡 홀더(25)에 설치된 복수 개의 래치(35)가 엔드 캡(62)에 의해 탄성부재(36)를 압축시키면서 핀(34)을 중심으로 외측으로 벌어지는 데, 이때 상기 래치(35)의 진입부위에는 경사면(35a)이 형성되어 있어 엔드 캡(62)이 엔드 캡 홀더(25)의 내부로 원활하게 진입하고 엔드 캡(62)의 진입이 완료되고 나면 래치(35)는 탄성부재(36)의 복원력에 의해 최초의 상태로 환원되어 엔드 캡(62)의 돌출부(65)에 래치(35)의 걸림 턱(35b)이 걸려 지지되므로 엔드 캡(62)이 도 12a와 같이 안정적으로 수납된 상태를 유지하게 된다.11, which is an embodiment of the present invention, when the end cap 62 is accommodated in the end cap holder 25, a plurality of latches 35 provided on the end cap holder 25 are inserted into the end caps 62 The end portion of the end cap 62 is connected to the end cap 62. The end portion of the end cap 62 is connected to the end cap 62, The latch 35 is restored to its original state by the restoring force of the elastic member 36 and the protrusion 65 of the end cap 62 The latch 35b of the latch 35 is hooked on the end cap 62 so that the end cap 62 is stably housed as shown in FIG. 12A.
그러나 다른 실시예로 나타낸 도 14에서는 엔드 캡 홀더(25)에 나사 결합된 하우징(37)의 하부로 볼(38)이 노출되어 있어 상기 볼(38)이 엔드 캡(62)에 의해 탄성부재(39)를 압축시키면서 후방으로 후퇴였다가 엔드 캡(62)에 형성된 누설 테스트공(62a)에 볼(38)이 도달하면 탄성부재(39)의 복원력에 의해 최초의 상태로 환원되면서 엔드 캡(62)의 누설 테스트공(62a)에 끼워지므로 엔드 캡(62)이 도 14와 같이 안정적으로 수납된 상태를 유지하게 된다.14 showing another embodiment, the ball 38 is exposed to the lower portion of the housing 37 screwed to the end cap holder 25 so that the ball 38 is elastically deformed by the end cap 62 39 and the ball 38 reaches the leak test hole 62a formed in the end cap 62. When the ball 38 is returned to the initial state by the restoring force of the elastic member 39, The end cap 62 is stably housed as shown in FIG. 14.
상기한 바와 같은 동작으로 도 12a와 같이 엔드 캡 홀더(25)의 내부에 엔드 캡(62)이 수납되고 나면 엔드 캡 홀더(25)를 회전시키는 제3 액츄에이터(26)가 구동하여 엔드 캡 홀더(25)를 반 시계방향으로 회전시키게 되므로 가스분사노즐(64)로부터 엔드 캡(62)이 풀리는 데, 이때 도 8b와 같이 제3 액츄에이터(31)가 설치된 제2 설치판(23)의 일 측에 고정된 브라켓(13)에 제2 액츄에이터(24)의 로드(24a)가 끼워져 있고 상기 로드(24a)에는 탄성부재(14)가 압축된 상태를 유지하고 있어 엔드 캡 홀더(25)가 탄성부재(14)의 복원력에 의해 엔드 캡(62)이 풀리는 거리만큼 제2 설치판(23)이 도면상 좌측으로 이동하게 되므로 도 12b와 같이 엔드 캡(62)이 엔드 캡 홀더(25)에 수납된 상태로 가스분사노즐(64)에서 분리된다(S200).12A, when the end cap 62 is accommodated in the end cap holder 25, the third actuator 26 for rotating the end cap holder 25 is driven to rotate the end cap holder 25 The end cap 62 is disengaged from the gas injection nozzle 64. At this time, as shown in FIG. 8B, the second mounting plate 23 provided with the third actuator 31 is mounted on one side The rod 24a of the second actuator 24 is fitted to the fixed bracket 13 and the elastic member 14 is kept compressed in the rod 24a so that the end cap holder 25 is pressed against the elastic member The second mounting plate 23 is moved to the left in the figure by the distance that the end cap 62 is released by the restoring force of the end cap 62 and the end cap 62 is housed in the end cap holder 25 as shown in FIG. Is separated from the gas injection nozzle 64 (S200).
이때, 커넥터 홀더(28) 및 엔드 캡 홀더(25)의 축에는 제1, 2 기어(19a)(19b)가 맞물리게 설치되어 있어 상기 커넥터 홀더(28)는 시계방향으로 공회전하게 된다.At this time, the first and second gears 19a and 19b are engaged with the shaft of the connector holder 28 and the end cap holder 25 so that the connector holder 28 idles clockwise.
상기 가스분사노즐(64)로부터 엔드 캡(62)을 제거하고 나면 제1 액츄에이터(22)의 구동으로 제1 설치판(21)이 이동하여 커넥터 홀더(28) 및 가스분사노즐(64)의 중심이 일치되도록 한 다음 제2 액츄에이터(24)가 구동하여 제2 설치판(23)을 가스통(60) 측으로 전진시키게 되므로 커넥터 홀더(28)가 가스분사노즐(64)에 맞닿게 된다.After the end cap 62 is removed from the gas injection nozzle 64, the first mounting plate 21 is moved by the driving of the first actuator 22 to move the center of the connector holder 28 and the gas injection nozzle 64 The second actuator 24 is driven to advance the second mounting plate 23 toward the gas cylinder 60 so that the connector holder 28 abuts against the gas injection nozzle 64. [
이러한 상태에서 제3 액츄에이터(26)가 역 구동하여 엔드 캡 홀더(25)를 반 시계방향으로 회전시키면 커넥터 홀더(28)는 시계방향으로 회전하므로 커넥터 홀더(28)가 가스분사노즐(64)에 나사 결합된다(S300).In this state, when the third actuator 26 is driven in the reverse direction to rotate the end cap holder 25 in the counterclockwise direction, the connector holder 28 rotates in the clockwise direction, so that the connector holder 28 is connected to the gas injection nozzle 64 (S300).
상기한 바와 같이 가스통(60)으로부터 엔드 캡(62)을 분리하고 가스분사노즐(64)에 커넥터 홀더(28)를 결합한 상태에서는 도 18과 같이 회동부재용 액츄에이터(47)가 오프(off)되어 랙(44)이 밸브 핸들 기어(51)에서 이격되고, 래치구동용 액츄에이터(71)는 온(on)되어 제1 래치(73)가 밸브 핸들 기어(51)에 치합되어 있다.When the end cap 62 is separated from the gas cylinder 60 and the connector holder 28 is coupled to the gas injection nozzle 64 as described above, the actuator 47 for the rotary member is turned off as shown in FIG. 18 The rack 44 is separated from the valve handle gear 51 and the latch drive actuator 71 is turned on so that the first latch 73 is meshed with the valve handle gear 51. [
또한, 유성기어 가동용 액츄에이터(86)는 온(on)되어 유성기어(85)가 태엽 구동기어(58)에 맞물려 있고 제2 래치(92)는 도 7과 같이 제2 래치 휠(91)에 치합되어 있다.The planetary gear actuating actuator 86 is also turned on so that the planetary gear 85 is meshed with the spring drive gear 58 and the second latch 92 is engaged with the second latch wheel 91 Respectively.
전술한 바와 같은 동작으로 밸브 핸들 유니트(50)의 밸브 핸들 홀더(52)가 가스통(60)의 밸브 핸들(61)에 조립되고, 커넥터 홀더(28)가 가스분사노즐(64)에 나사 결합되고 나면 밸브 핸들(61)의 회전으로 밸브(63)를 개방하여 가스를 가스라인으로 공급하기 전에 태엽 감김 유니트(80)를 이용하여 제1 축(55)으로 태엽(56)을 감아 주어야 된다.The valve handle holder 52 of the valve handle unit 50 is assembled to the valve handle 61 of the gas cylinder 60 and the connector holder 28 is screwed to the gas injection nozzle 64 The spring 63 must be opened by the rotation of the valve handle 61 so that the spring 56 is wound around the first axis 55 using the spring winding unit 80 before the gas is supplied to the gas line.
이는, 가스 라인으로 가스를 공급하기 위해 가스통(60)의 밸브 핸들(61)을 회전시켜 밸브(63)를 개방하는 과정에서 정전이 발생되거나, 불의 사고로 가스가 누출되더라도 빠른 시간 내에 밸브 핸들(61)을 자동으로 잠가 가스의 공급을 중단시킬 수 있도록 하기 위한 것이다.This is because the valve handle (61) of the gas cylinder (60) is rotated to supply the gas to the gas line, so that even if a power failure occurs in opening the valve (63) 61 to automatically shut off the supply of the gas.
상기 밸브 핸들 홀더(52)의 내부에 위치하는 태엽(56)을 감기 위해 도 5 및 도 7에 나타낸 바와 같이 태엽 감기용 액츄에이터(81)가 온(on)되어 원웨이 클러치(83)의 레버(83a)에 힌지 결합된 로드를 잡아당기면 제2 축(82)이 시계방향으로 회전함에 따라 증폭기어(84)에 의해 회전수가 증폭되어 유성기어(85)를 반 시계방향으로 회전시키게 되므로 태엽 구동기어(58)가 시계방향으로 회전하면서 제1 축(55)으로 태엽(56)을 감아주게 된다.5 and 7, the spring-leaf winding actuator 81 is turned on to wind the lever 56 of the one-way clutch 83 to wind the spring 56 located inside the valve handle holder 52 When the second shaft 82 rotates in the clockwise direction, the number of revolutions is amplified by the amplifier 84 to rotate the planetary gear 85 in the counterclockwise direction. Thus, And the first shaft 55 rotates the spring 56 while rotating the second spring 58 clockwise.
이때, 제2 축(82)에 설치된 제2 래치 휠(91)에는 제2 래치(92)가 치합되어 있더라도 제2 축(82)의 시계방향 회전시에는 제2 래치(92)가 제2 탄성부재(93)를 인장시키면서 제2 래치 휠(91)의 나사 산을 넘어가게 되므로 제2 축(82)의 회전이 가능하다.At this time, even if the second latch 92 is engaged with the second latch wheel 91 provided on the second shaft 82, when the second shaft 82 rotates in the clockwise direction, The second shaft 82 is rotated while the member 93 is pulled over the screw thread of the second latch wheel 91. [
상기한 바와 같은 동작시 밸브 핸들 홀더(52)의 상부에 위치하는 밸브 핸들 기어(51)에는 제1 래치(73)가 치합되어 있어 밸브 핸들 홀더(52)가 움직이지 않으므로 일단이 고정 핀(59)에 고정된 태엽(56)이 제1 축(55)에 의해 감기게 된다.The first latch 73 is engaged with the valve handle gear 51 located at the upper portion of the valve handle holder 52 in the above operation so that the valve handle holder 52 does not move. Is wound by the first shaft 55. In this case,
상기한 바와 같이 태엽 감기용 액츄에이터(81)가 로드를 잡아당겨 제1 축(55)을 회동시키고 나면 태엽 감기용 액츄에이터(81)가 로드를 다시 밀어주는데, 이때에는 원웨이 클러치(83)가 반 시계방향으로 회전하더라도 제2 래치 휠(91)에 제2 래치(92)가 걸려 있어 제2 축(82)이 회전되지 않는다(S400).As described above, when the spring-loaded actuator 81 pulls the rod to rotate the first shaft 55, the spring-loaded actuator 81 pushes the rod again. At this time, the one- The second latch 92 is engaged with the second latch wheel 91 so that the second shaft 82 is not rotated (S400).
상기 태엽 감기용 액츄에이터(81)의 동작으로 제1 축(55)에 의해 태엽(56)을 감는 동작은 제어부(도시는 생략함)에 설정된 회수만큼 이루어지는데, 상기 태엽 감기용 액츄에이터(81)의 구동은 태엽(56)이 제1 축(55)에 의해 완전히 감기지 않은 상태에서 중단되도록 제어부에 세팅되어 있다.The operation of winding the spring 56 by the first shaft 55 by the operation of the spring winding actuator 81 is performed as many times as the number of times set in the control unit (not shown) The drive is set to the control unit such that the first manual shaft 56 is stopped by the first shaft 55 without being fully wound.
이는, 추후에 랙(44)이 밸브 핸들 기어(51)를 회전시켜 가스통(60)의 밸브(63)를 개방할 때에도 밸브 핸들 홀더(52)에 태엽(56)의 일단이 고정된 고정 핀(59)이 설치되어 있어 태엽(56)이 감기기 때문이다.This is because even when the rack 44 later rotates the valve handle gear 51 to open the valve 63 of the gas cylinder 60, 59) are installed, and the spring 56 is wound.
일단이 고정 핀(59)에 고정되고 타단은 제1 축(55)에 고정된 태엽(56)을 태엽 감김 유니트(80)의 작동으로 감고 나면 밸브 핸들 개폐 유니트(40)를 이용하여 가스통(60)의 밸브(63)를 개방하여야 된다.When the spring 56 having one end fixed to the fixing pin 59 and the other end fixed to the first shaft 55 is wound by the operation of the winding unit 80, the valve handle opening / closing unit 40 is used to open the gas cylinder 60 The valve 63 should be opened.
상기 가스통(60)의 밸브(63)를 개방하기 위해, 도 18과 같은 상태에서 회동부재용 액츄에이터(47)가 동시에 구동하여 회동부재(42)를 밸브 핸들 기어(51) 측으로 밀면 상기 회동부재(42)는 힌지 축(41)을 중심으로 회동 가능하게 설치되어 있어 제3 탄성부재(48)를 인장시키면서 회동되므로 도 19와 같이 가동편(45)의 일단에 고정된 랙(44)이 밸브 핸들 기어(51)와 맞물린다.The actuator 47 for the rotary member is simultaneously driven to push the rotary member 42 toward the valve handle gear 51 to open the valve 63 of the gas cylinder 60, The rack 44 fixed to one end of the movable piece 45 as shown in FIG. 19 is pivotally moved by the valve handle 40. The movable member 45 is pivoted about the hinge shaft 41 and rotated while tensioning the third elastic member 48. Therefore, And is engaged with the gear 51.
이와 같이 랙(44)이 밸브 핸들 기어(51)와 맞물린 상태에서 제1 역회전방지수단(70)의 구동원인 래치구동용 액츄에이터(71)가 오프(off)되면 인장되었던 제1 탄성부재(74)의 복원력에 의해 래치구동용 액츄에이터(71)의 로드가 당겨지므로 제1 래치(73)는 축(72)을 중심으로 반 시계방향으로 회동하여 밸브 핸들 기어(51)와의 치합상태가 해제된다.When the latch driving actuator 71 for driving the first reverse rotation preventing means 70 is turned off with the rack 44 engaged with the valve handle gear 51 as described above, the first elastic member 74 The first latch 73 rotates in the counterclockwise direction about the shaft 72 and the engagement with the valve handle gear 51 is released.
그 후, 랙 구동용 액츄에이터(46)가 가동편(45)을 밀어주면 도 20과 같이 상기 가동편(45)이 가이드봉(43)을 따라 반대편 랙 구동용 액츄에이터(46) 측으로 이동하면서 밸브 핸들 기어(51)를 반 시계방향으로 회전시키게 되므로 랙(44)의 스트로크(stroke)만큼 밸브 핸들 홀더(52)가 회전하면서 밸브 핸들(51)을 개방하게 된다.Thereafter, when the actuator 46 for rack driving pushes the movable piece 45, the movable piece 45 moves along the guide rod 43 to the side of the actuator 46 for driving the opposite rack as shown in Fig. 20, The gear 51 is rotated in the counterclockwise direction so that the valve handle holder 52 is rotated by the stroke of the rack 44 and the valve handle 51 is opened.
상기한 바와 같은 동작으로 가동편(45)을 이동시켜 밸브 핸들 홀더(52)를 회전시키고 나면 오프되었던 래치구동용 액츄에이터(71)가 온(on)되어 제1 탄성부재(74)를 인장시키면서 제1 래치(73)를 밀어 상기 제1 래치(73)가 밸브 핸들 기어(51)에 치합되도록 한 다음 회동부재용 액츄에이터(47)를 오프(off)시키게 되므로 회동부재(42)는 제3 탄성부재(48)의 복원력에 의해 힌지 축(41)을 중심으로 회동하게 되고, 이에 따라 가동편(45)에 고정된 랙(44)과 밸브 핸들 기어(51)는 맞물림 상태가 해제된다.After the movable piece 45 is moved to rotate the valve handle holder 52 by the above-described operation, the latch drive actuator 71 which has been turned off is turned on to stretch the first elastic member 74, One latch 73 is pushed to engage the first latch 73 with the valve handle gear 51 and then the actuator 47 for the rotary member is turned off so that the pivoting member 42 is rotated by the third elastic member The rack 44 fixed to the movable piece 45 and the valve handle gear 51 are disengaged from each other by the restoring force of the hinge shaft 41. As a result,
상기 랙(44)이 밸브 핸들 기어(51)에서 분리되면 가동편(45)은 반대편에 위치하는 랙 구동용 액츄에이터(46)의 구동에 의해 최초위치로 복귀되므로 가스통(60)의 밸브 핸들(61)이 밸브(63)를 완전히 개방할 때까지 전술한 바와 같은 동작을 반복적으로 실시하게 된다(S500).When the rack 44 is separated from the valve handle gear 51, the movable piece 45 is returned to the initial position by driving the rack-driving actuator 46 positioned on the opposite side, so that the valve handle 61 The above-described operation is repeatedly performed until the valve 63 is completely opened (S500).
상기한 동작으로 가스통(60)의 밸브(63)가 완전히 개방되고 나면 태엽 감김 유니트(80)의 태엽 감기용 액츄에이터(81)에 설치된 센서(88)가 피스톤을 감지하지 못할 때까지 태엽 감기용 액츄에이터(81)가 재구동하여 제1 축(55)에 의해 태엽(56)을 완전히 감아주는 것이 보다 바람직하다.When the valve 63 of the gas cylinder 60 is completely opened by the above operation, the sensor 88 provided on the actuator 81 for winding the wind-wound winding unit 80 can not detect the piston, It is more preferable that the second shaft 81 is driven again to completely wind the spring 56 by the first shaft 55.
이와 동시에 회동부재용 액츄에이터(47)의 동작이 중단되어 회동부재(42)가 제3 탄성부재(48)의 복원력에 의해 힌지 축(41)을 중심으로 회동되므로 랙(44)과 밸브 핸들 기어(51)가 분리된 상태를 유지하게 된다.The operation of the actuator 47 for the rotary member is stopped and the rotary member 42 is rotated about the hinge axis 41 by the restoring force of the third elastic member 48 so that the rack 44 and the valve handle gear 51 remain separated from each other.
이때, 제1 축(55)에 감겨진 태엽(56)이 풀리지 않도록 제1 래치(73)는 밸브 핸들 기어(51)에 치합되어 있고, 제2 래치(92)는 제2 래치 휠(91)에 치합되어 있다.The first latch 73 is meshed with the valve handle gear 51 and the second latch 92 is meshed with the second latch wheel 91 so that the spring 56 wound on the first axis 55 is not loosened. Respectively.
따라서 가스통(60)으로부터 밸브(63)가 열려 있어 가스가 가스분사노즐(64)을 통해 가스배관(12)과 연결된 커넥터 홀더(28) 및 가스 라인을 거쳐 각 공정으로 안정적으로 공급된다.The valve 63 is opened from the gas cylinder 60 so that the gas is stably supplied to each process through the gas injection nozzle 64 via the connector holder 28 connected to the gas piping 12 and the gas line.
그러나 가스통(60)으로부터 밸브(63)를 개방하는 과정 또는 밸브(63)의 개방으로 가스를 가스 라인으로 공급하는 과정에서 지진 등의 천재지변이나, 센서부(140)에 가스의 누출이 감지되면 신속하게 가스통(60)의 밸브 핸들(61)을 잠가 가스의 공급을 중단시켜야 된다.However, if a natural disaster such as an earthquake or leakage of gas to the sensor unit 140 is detected during the process of opening the valve 63 from the gas container 60 or opening the valve 63, The valve handle 61 of the gas cylinder 60 must be quickly closed to stop the supply of the gas.
이에 따라, 센서부(140)가 가스의 누출을 감지한 경우에는 제어부에 의해 래치구동용 액츄에이터(71)의 로드를 당기게 되므로 제1 래치(73)는 축(72)을 중심으로 회동하여 밸브 핸들 기어(51)와의 치합상태를 해제시키게 되고, 정전시에는 래치구동용 액츄에이터(71)의 전원 공급이 중단되므로 제1 래치(73)는 제1 탄성부재(74)의 복원력에 의해 축(72)을 중심으로 회동하여 밸브 핸들 기어(51)와의 치합상태가 해제된다.Accordingly, when the sensor unit 140 senses the leakage of the gas, the control unit causes the rod of the actuator 71 to be pulled by the control unit, so that the first latch 73 rotates about the shaft 72, The power supply to the actuator 71 for driving the latch is interrupted during a power failure so that the first latch 73 is engaged with the shaft 72 by the restoring force of the first elastic member 74, So that the engagement with the valve handle gear 51 is released.
상기한 바와 같은 동작으로 제1 래치(73)가 밸브 핸들 기어(51)와의 치합상태에서 해제될 때, 태엽 구동기어(58)에는 유성기어(85)가 맞물려 있어 제1 축(55)은 정지된 상태를 유지하므로 제1 축(55)에 의해 감겨 있던 태엽(56)이 빠른 속도로 풀리면서 밸브 핸들 홀더(52)를 시계방향으로 회전시켜 가스통(60)의 밸브(63)를 잠그게 된다(S600).When the first latch 73 is released from engagement with the valve handle gear 51 in the above-described operation, the planetary gear 85 is engaged with the spring-loaded drive gear 58, The spring 56 wound by the first shaft 55 is released at a high speed and the valve handle holder 52 is rotated clockwise to lock the valve 63 of the gas cylinder 60 (S600).
이때, 상기 태엽(56)이 완전히 풀린 상태에서 정전이 되지 않았으면 제어부에서 밸브 핸들 개폐 유니트(40)를 작동하여 랙(44)이 밸브 핸들 기어(51)와 맞물리도록 한 다음 가스통(60)의 밸브(63)를 개방할 때와는 반대의 작동으로 밸브 핸들 홀더(52)를 시계방향으로 회전시켜 가스통(60)의 밸브 핸들(61)을 완전하게 잠가 주도록 하는 것이 보다 바람직하다(S700).When the spring 56 is completely unfastened, the control unit operates the valve handle opening / closing unit 40 to engage the rack 44 with the valve handle gear 51, It is more preferable that the valve handle holder 52 is rotated in the clockwise direction by an operation opposite to that when the valve 63 is opened so as to completely lock the valve handle 61 of the gas cylinder 60 (S700).
상기한 동작으로 밸브 핸들(61)을 자동으로 잠근 다음 가스통 연결부(20)에 의해 가스분사노즐(64)에서 커넥터 홀더(28)를 분리함과 동시에 엔드 캡(62)을 나사 결합한 다음 메인 플레이트(11)의 상승으로 밸브 핸들 홀더(52)가 밸브 핸들(61)에서 벗어나면 덜 풀린 태엽(56)에 의해 제1 축(55)이 반 시계방향으로 빠르게 회전하려고 하지만, 본 발명에서는 제1 축(55)에 백래시 방지수단(110)이 구비되어 있어 덜 풀린 태엽(56)이 완전히 풀릴 때까지 제1 축(55)이 서서히 회전하게 된다.The valve handle 61 is automatically locked by the above operation and then the connector holder 28 is removed from the gas injection nozzle 64 by the gas cylinder connection portion 20 and the end cap 62 is screwed to the main plate The first shaft 55 tries to rotate in a counterclockwise direction by the loosened spring 56 when the valve handle holder 52 is released from the valve handle 61 due to the rise of the first shaft 55. In the present invention, The backlash preventing means 110 is provided on the first shaft 55 so that the first shaft 55 is gradually rotated until the loosened loose spring 56 is completely loosened.
즉, 도 15에 나타낸 바와 같이 고정블럭(112)이 상판(111)에 고정되어 있고 상기 고정블럭(112)에 가압부재(113)가 승, 하강 가능하게 가이드 핀(114)이 끼워짐과 동시에 태엽 구동기어(58)를 가압하도록 복수 개의 제5 탄성부재(115)가 고정블럭(112)과 가압부재(113) 사이에 설치되어 있어 가압부재(113)가 태엽 구동기어(58)를 누르고 있으므로 제1 축(55)이 서서히 회전하게 된다.15, the fixed block 112 is fixed to the upper plate 111, and the guide pin 114 is inserted into the fixed block 112 so that the pressing member 113 can move up and down A plurality of fifth elastic members 115 are provided between the fixed block 112 and the pressing member 113 so as to press the manual winding drive gear 58 so that the pressing member 113 presses the manual winding drive gear 58 The first shaft 55 is gradually rotated.
이때, 상기 가압부재(113)의 저면에 브레이크 패드(117)를 고정하면 마찰력을 증대시키게 되므로 제1 축(55)이 더욱 서서히 회전됨은 이해 가능한 것이다.At this time, if the brake pad 117 is fixed to the bottom surface of the pressing member 113, the frictional force is increased, so that the first shaft 55 is rotated more slowly.
한편, 본 발명에서는 밸브 핸들 개폐 유니트(40) 및 태엽 감김 유니트(80)에 의해 가스통(60)의 밸브(63)를 자동으로 개방하였다가 천재지변이나 정전시 가스통(60)의 밸브 핸들(61)을 자동으로 잠글 수 있으나, 이외에 본 발명은 가스통(60)의 밸브(63)를 개폐할 수 있는 수동개폐수단(100)이 더 구비되어 있어 밸브 핸들(61)을 수동으로 회전시킬 수 있다.In the present invention, the valve 63 of the gas cylinder 60 is automatically opened by the valve handle opening / closing unit 40 and the spring winding unit 80, and the valve handle 61 of the gas cylinder 60 The present invention is further provided with a manual opening / closing means 100 that can open and close the valve 63 of the gas cylinder 60 so that the valve handle 61 can be manually rotated.
즉, 정전으로 모든 액츄에이터(46)(47)(71)(81)(86)의 동작이 이루어지지 않음에 따라 도 21과 같이 제1 래치(73)가 밸브 핸들 기어(51)에서 치합상태가 해제되어 태엽(56)이 완전히 풀린 상태이어서 메인 플레이트(11)의 외측으로 노출된 수동 놉(102)을 회전시킴에 따라 그 동력이 동력전달수단(103)인 한 쌍의 베벨기어를 통해 밸브 핸들 수동 회전기어(101)에 전달되므로 상기 밸브 핸들 수동 회전기어(101)가 밸브 핸들 기어(51)를 회전시켜 가스통(60)의 밸브(63)를 잠글 수 있게 됨은 이해 가능한 것이다(S800).That is, since the actuators 46, 47, 71, 81, and 86 are not operated due to the power failure, the first latch 73 is engaged with the valve handle gear 51 And the manual knob 102 exposed to the outside of the main plate 11 is rotated so that the power is transmitted through the pair of bevel gears, It is understood that the valve handle manual rotation gear 101 rotates the valve handle gear 51 to lock the valve 63 of the gas cylinder 60 because it is transmitted to the manual rotation gear 101 at step S800.
그러나 가스를 가스 라인으로 정상적으로 공급하여 가스통(60)의 교체시기가 되면 사용하고 난 가스통을 새로운 가스통으로 교체하여야 된다.However, when the gas is normally supplied to the gas line and the gas cylinder (60) is to be replaced, the used gas cylinder must be replaced with a new gas cylinder.
상기 가스통(60)을 교체하기 위해서는 랙 구동용 액츄에이터(46) 및 회동부재용 액츄에이터(47)를 교호로 작동시켜 밸브 핸들 개폐 유니트(40)의 랙(44)을 전술한 바와는 반대방향으로 이동시킴에 따라 밸브 핸들 홀더(52)가 시계방향으로 회전되므로 밸브 핸들(61)이 밸브(63)를 잠그게 된다.In order to replace the gas cylinder 60, the rack driving actuator 46 and the actuator 47 for the rotary member are alternately operated to move the rack 44 of the valve handle opening and closing unit 40 in the direction opposite to the above- The valve handle holder 52 is rotated in the clockwise direction, so that the valve handle 61 locks the valve 63.
상기 밸브 핸들(61)이 밸브(63)를 잠그고 나면 제1, 2, 3 액츄에이터(22)(24)(26)가 전술한 바와는 반대로 작동하므로 가스분사노즐(64)에 나사 결합된 커넥터 홀더(28)를 분리함과 동시에 엔드 캡 홀더(25)에 수납된 엔드 캡(62)이 가스분사노즐(64)을 폐쇄함으로써, 가스통의 교체가 가능해지게 된다.When the valve handle 61 locks the valve 63, the first, second, and third actuators 22, 24, 26 operate in the reverse direction as described above, The end cap 62 housed in the end cap holder 25 closes the gas injection nozzle 64 and the gas cylinder can be replaced.
즉, 제3 액츄에이터(26)의 역구동으로 커넥터 홀더(28)를 반 시계방향으로 회전시켜 가스분사노즐(64)로부터 분리시킬 때, 제3 액츄에이터(26)가 설치된 제2 설치판(23)은 커넥터 홀더(28)가 풀리는 만큼 제2 액츄에이터(24)의 로드(24a)에 끼워져 압축되었던 탄성부재(14)의 복원력에 의해 도 8b의 좌측으로 이동하게 되므로 가스분사노즐(64)로부터 커넥터 홀더(28)가 분리되는 데, 이때 제2 액츄에이터(24)가 구동하여 제2 설치판(23)을 가스통(60) 측으로부터 후퇴시킨다.That is, when the connector holder 28 is rotated counterclockwise by the reverse drive of the third actuator 26 to be separated from the gas injection nozzle 64, the second mounting plate 23 provided with the third actuator 26, 8b due to the restoring force of the elastic member 14 that has been compressed and fitted to the rod 24a of the second actuator 24 as the connector holder 28 is loosened, The second actuator 24 is driven and the second mounting plate 23 is retracted from the gas cylinder 60 side.
상기한 바와 같은 동작으로 가스분사노즐(64)에서 커넥터 홀더(28)를 분리하고 나면 엔드 캡 홀더(25)의 내부에 수납된 엔드 캡(62)을 가스분사노즐(64)에 나사 체결하기 위해 제1 액츄에이터(22)가 구동하여 제1 설치판(21)을 가스분사노즐(64) 측으로 이동시켜 엔드 캡 홀더(25)와 가스분사노즐(63)을 동일 축선 상에 위치시키게 된다.After the connector holder 28 is separated from the gas injection nozzle 64 in the above-described operation, the end cap 62 accommodated in the end cap holder 25 is screwed to the gas injection nozzle 64 The first actuator 22 is driven to move the first mounting plate 21 toward the gas injection nozzle 64 so that the end cap holder 25 and the gas injection nozzle 63 are positioned on the same axis.
그 후, 제2 액츄에이터(24)가 역 구동함과 동시에 제3 액츄에이터(26)가 엔드 캡 홀더(25)를 시계방향으로 회전하여 상기 엔드 캡 홀더(25)에 수납된 엔드 캡(62)을 가스분사노즐(64)에 나사 결합하여 폐쇄하게 되므로 가스통(60)의 교체가 가능해지게 되는 것이다.The third actuator 26 rotates the end cap holder 25 clockwise to rotate the end cap 62 housed in the end cap holder 25 Since the gas injection nozzle 64 is screwed to the gas injection nozzle 64, the gas cylinder 60 can be replaced.
이상 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 실시예를 설명하였지만, 본 발명이 속하는 기술분야의 통상의 지식을 가진 자는 기술적 사상이나 필수적 특징을 변경하지 않고 다른 구체적인 형태로 실시될 수 있다는 것을 이해할 수 있을 것이다.While the present invention has been particularly shown and described with reference to exemplary embodiments thereof, it is to be understood that the invention may be embodied with various changes and modifications without departing from the scope of the invention. will be.
그러므로 이상에서 기술한 실시예는 모든 면에서 예시적인 것이며 한정적인 것이 아닌 것으로서 이해되어야 하고, 상기 상세한 설명에서 기술된 본 발명의 범위는 후술하는 특허청구범위에 의하여 나타내어지며, 특허청구범위의 의미 및 범위 그리고 그 등가개념으로부터 도출되는 모든 변경 또는 변형된 형태가 본 발명의 범위에 포함되는 것으로 해석되어야 한다.It is therefore to be understood that the embodiments described above are to be considered in all respects only as illustrative and not restrictive, the scope of the invention being described in the foregoing specification is defined by the appended claims, Ranges and equivalents thereof are to be construed as being included within the scope of the present invention.
[부호의 설명][Description of Symbols]
10 : 엘리베이터 11 : 메인 플레이트10: elevator 11: main plate
20 : 가스통 연결부 22, 24, 26 : 제1, 2, 3 액츄에이터20: gas cylinder connection parts 22, 24, 26: first, second and third actuators
25 : 엔드 캡 홀더 28 : 커넥터 홀더25: end cap holder 28: connector holder
30 : 엔드 캡 지지수단 32 : 래치 블럭30: end cap supporting means 32: latch block
35 : 래치 37 : 하우징35: latch 37: housing
38 : 볼 40 : 밸브 핸들 개폐 유니트38: Ball 40: Valve handle opening / closing unit
42 : 회동부재 44 : 랙42: tiltable member 44: rack
45 : 가동편 46 : 랙 구동용 액츄에이터45: movable piece 46: rack driving actuator
47 : 회동부재용 액츄에이터 50 : 밸브 핸들 유니트47: Actuator for the rotary member 50: Valve handle unit
51 : 밸브 핸들 기어 52 : 밸브 핸들 홀더51: valve handle gear 52: valve handle holder
55 : 제1 축 56 : 태엽55: first axis 56: spring wound
58 : 태엽 구동기어 60 : 가스통58: manual winding drive gear 60: gas cylinder
61 : 밸브 핸들 63 : 밸브61: valve handle 63: valve
64 : 가스분사노즐 65 : 돌출부64: gas injection nozzle 65:
70 : 제1 역회전방지수단 71 : 래치 구동용 액츄에이터70: first reverse rotation preventing means 71: latch driving actuator
72 : 축 73 : 제1 래치72: shaft 73: first latch
80 : 태엽 감김 유니트 81 : 태엽 감기용 액츄에이터80: Winding-up unit 81: Winding-up actuator
82 : 제2 축 83 : 원웨이 클러치82: Second shaft 83: One-way clutch
84 : 증폭기어 85 : 유성기어84: amplifier 85: planetary gear
86 : 유성기어 가동용 액츄에이터 87 : 링크86: Actuator for driving planetary gears 87: Link
90 : 제2 역회전방지수단 91 : 제2 래치 휠90: second reverse rotation preventing means 91: second latch wheel
92 : 제2 래치 100 : 수동개폐수단92: second latch 100: manual opening / closing means
101 : 밸브 핸들 수동 회전기어 102 : 수동 놉101: Valve handle manual rotation gear 102: Manual knob
110 : 백래시 방지수단 112 : 고정블럭110: backlash preventing means 112:
113 : 가압부재 114 : 가이드 핀113: pressing member 114: guide pin
117 : 브레이크 패드 120 : 제1 얼라인수단117: brake pad 120: first aligning means
121 : 위치결정봉 122 : 위치결정패널121: Positioning rod 122: Positioning panel
122a : 얼라인 홈 130 : 제2 얼라인수단122a: aligning groove 130: second aligning means
131 : 얼라이너 131a : 얼라인 핀131: Aligner 131a: Alignment pin
132 : 얼라인 블럭 132a : 위치결정공132: alignment block 132a: positioning ball
140 : 센서부140:
Claims (35)
- 승, 하강 가능하게 설치된 메인 플레이트(11)와, 상기 메인 플레이트(11)의 하부에 설치되어 가스통(60)으로부터 엔드 캡(62)을 분리한 다음 가스분사노즐(64)에 커넥터 홀더(28)를 자동으로 나사 결합하는 가스통 연결부(20)와, 상기 메인 플레이트(11)에 제1 축(55)을 중심으로 회전 가능하게 설치되어 밸브 핸들(61)을 시계 또는 반 시계방향으로 회전시키는 밸브 핸들 유니트(50)와, 상기 메인 플레이트(11)의 상부에 설치되어 가스통(60)의 밸브(63)를 자동으로 개폐하는 밸브 핸들 개폐 유니트(40)로 구성된 것을 특징으로 하는 가스통 밸브 자동 개폐장치.A main plate 11 provided at a lower portion of the main plate 11 to separate the end cap 62 from the gas cylinder 60 and then to attach the connector holder 28 to the gas injection nozzle 64, And a valve handle (61) rotatably mounted on the main plate (11) so as to be rotatable about the first axis (55), for rotating clockwise or counterclockwise the valve handle (61) And a valve handle opening / closing unit (40) installed on the main plate (11) for automatically opening and closing the valve (63) of the gas cylinder (60).
- 승, 하강 가능하게 설치된 메인 플레이트(11)와, 상기 메인 플레이트(11)의 하부에 설치되어 가스통(60)으로부터 엔드 캡(62)을 분리한 다음 가스분사노즐(64)에 커넥터 홀더(28)를 자동으로 나사 결합하는 가스통 연결부(20)와, 상기 메인 플레이트(11)에 제1 축(55)을 중심으로 회전 가능하게 설치되어 밸브 핸들(61)을 시계 또는 반 시계방향으로 회전시키는 밸브 핸들 유니트(50)와, 상기 제1 축(55)을 중심으로 회전하는 밸브 핸들 기어(51)와, 상기 밸브 핸들 기어(51)의 일 측에 설치되어 밸브 핸들 기어(51)를 시계 또는 반 시계방향으로 회전시키는 밸브 핸들 개폐 유니트(40)로 구성된 것을 특징으로 하는 가스통 밸브 자동 개폐장치.A main plate 11 provided at a lower portion of the main plate 11 to separate the end cap 62 from the gas cylinder 60 and then to attach the connector holder 28 to the gas injection nozzle 64, And a valve handle (61) rotatably mounted on the main plate (11) so as to be rotatable about the first axis (55), for rotating clockwise or counterclockwise the valve handle (61) A valve handle gear 51 provided on one side of the valve handle gear 51 for rotating the valve handle gear 51 clockwise or counterclockwise; And a valve handle opening / closing unit (40) that rotates the valve handle (40).
- 청구항 1 또는 청구항 2에 있어서,The method according to claim 1 or 2,상기 밸브 핸들 유니트(50)는, The valve handle unit (50)상기 가스통(60)의 밸브 핸들(61)을 감싸 회전시키는 밸브 핸들 홀더(52)와, 상기 밸브 핸들 홀더(52)의 내부에 복수 개 설치되어 밸브 핸들(61)의 요입부(61a)에 걸리는 걸림 핀(53)과, 상기 걸림 핀(53)을 하방으로 편의하는 제4 탄성부재(54)와, 상기 밸브 핸들 홀더(52)의 상부에 위치되어 랙(44)과 맞물려 회전하는 밸브 핸들 기어(51)로 구성된 것을 특징으로 하는 가스통 밸브 자동 개폐장치.A valve handle holder 52 which surrounds and rotates the valve handle 61 of the gas cylinder 60 and a plurality of valve handle holders 52 which are provided in the valve handle holder 52 and which are engaged with the recessed portion 61a of the valve handle 61 A fourth elastic member 54 which pivots the latching pin 53 downward and a second elastic member 54 which is located above the valve handle holder 52 and rotates in engagement with the rack 44, (51). ≪ / RTI >
- 청구항 1 또는 청구항 2에 있어서,The method according to claim 1 or 2,상기 밸브 핸들 개폐 유니트(40)는, The valve handle opening / closing unit (40)상기 메인 플레이트(11)에 힌지 축(41)을 중심으로 회동 가능하게 설치된 회동부재(42)와, A tiltable member 42 rotatably mounted on the main plate 11 around a hinge axis 41,상기 회동부재(42)의 일 측에 위치하는 메인 플레이트(11)에 설치되어 회동부재(42)를 회동시키는 회동부재용 액츄에이터(47)와, An actuator 47 provided on the main plate 11 at one side of the pivoting member 42 for rotating the pivoting member 42,상기 회동부재(42) 및 회동부재용 액츄에이터(47) 사이에 설치된 제3 탄성부재(48)와, A third elastic member 48 provided between the pivoting member 42 and the actuator 47 for the pivoting member,상기 회동부재(42)에 고정 설치된 한 쌍의 랙 구동용 액츄에이터(46)와, A pair of rack actuating actuators 46 fixed to the pivoting member 42,상기 랙 구동용 액츄에이터(46)의 구동에 따라 가이드 봉(43)에 안내되어 진퇴 운동하는 가동편(45)과, A movable piece 45 which is guided by the guide rod 43 in accordance with the driving of the rack-driving actuator 46 and moves back and forth,상기 가동편(45)에 고정되어 밸브 핸들 기어(51)와 치합되는 랙(44)으로 구성된 것을 특징으로 하는 가스통 밸브 자동 개폐장치.And a rack (44) fixed to the movable piece (45) and engaged with the valve handle gear (51).
- 청구항 1 또는 청구항 2에 있어서,The method according to claim 1 or 2,상기 메인 플레이트(11)에 가스통(60)으로부터 누출되는 가스를 감지하는 센세부(140)를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 가스통 밸브 자동 개폐장치.Further comprising a sensor (140) for sensing gas leaking from the gas cylinder (60) to the main plate (11).
- 청구항 1 또는 청구항 2에 있어서,The method according to claim 1 or 2,상기 가스통 연결부(20)는, The gas-tank connection part (20)상기 메인 플레이트(11)에 설치되어 제2 설치판(23)을 엔드 캡(62) 측으로 진퇴 운동시키는 제2 액츄에이터(24)와, A second actuator 24 installed on the main plate 11 and moving the second mounting plate 23 toward and away from the end cap 62,상기 제2 설치판(23)에 설치되어 제1 설치판(21)을 제2 설치판(23)의 이동방향과 직교된 방향으로 이동시키는 제1 액츄에이터(22)와, A first actuator 22 installed on the second mounting plate 23 for moving the first mounting plate 21 in a direction orthogonal to the moving direction of the second mounting plate 23,상기 제1 설치판(21)에 고정된 수직판(27)에 회전 가능하게 설치되어 엔드 캡(62)을 감싸 착탈하는 엔드 캡 홀더(25)와, An end cap holder 25 rotatably installed on the vertical plate 27 fixed to the first mounting plate 21 and detachably holding the end cap 62,상기 엔드 캡 홀더(25)를 회전시켜 엔드 캡(62)을 분리하거나, 체결하는 제3 액츄에이터(26)와, A third actuator 26 for separating or fastening the end cap 62 by rotating the end cap holder 25,상기 수직판(27)에 설치되어 가스통(60)의 가스분사노즐(64)에 나사 결합되는 커넥터 홀터(28)와, A connector halter 28 provided on the vertical plate 27 and screwed to the gas injection nozzle 64 of the gas cylinder 60,상기 엔드 캡 홀더(25) 및 커넥터 홀더(28)의 축에 각각 고정되어 제3 액츄에이터(26)의 동력이 전달되도록 상호 맞물린 제1, 2 기어(29a)(29b)로 구성된 것을 특징으로 하는 가스통 밸브 자동 개폐장치.And first and second gears (29a) and (29b) fixed to the axes of the end cap holder (25) and the connector holder (28) so as to be mutually engaged so as to transmit the power of the third actuator (26) Automatic valve opening / closing device.
- 청구항 6에 있어서,The method of claim 6,상기 엔드 캡 홀더(25)에 엔드 캡 지지수단(30)이 더 구비된 것을 특징으로 하는 가스통 밸브 자동 개폐장치.Wherein the end cap holder (25) is further provided with an end cap supporting means (30).
- 청구항 7에 있어서,The method of claim 7,상기 엔드 캡 지지수단(30)은, The end cap support means (30)상기 엔드 캡 홀더(25)에 관통되게 복수 개 형성된 통공(31)과, A plurality of through holes 31 penetrating the end cap holder 25,상기 각 통공의 외측으로 위치되게 엔드 캡 홀더(25)에 체결부재(33)로 고정된 래치 블럭(32)과, A latch block 32 fixed to the end cap holder 25 by a fastening member 33 so as to be located outside the respective through holes,상기 래치 블럭(32)에 핀(34)을 중심으로 회동 가능하게 설치되어 통공(31)을 통해 엔드 캡 홀더(25)의 내부로 노출되어 엔드 캡 홀더(25)의 내부에 수용된 엔드 캡(62)을 지지하는 래치(35)와, An end cap 62 which is rotatably mounted on the latch block 32 around the pin 34 and is exposed to the inside of the end cap holder 25 through the through hole 31 and accommodated in the end cap holder 25 A latch 35 for supporting the latch 35,상기 래치 블럭(32) 및 래치(35) 사이에 설치되어 래치(35)를 엔드 캡 홀더(25)의 내부로 편의하는 탄성부재(36)로 구성된 것을 특징으로 하는 가스통 밸브 자동 개폐장치.And an elastic member (36) provided between the latch block (32) and the latch (35) for biasing the latch (35) into the end cap holder (25).
- 청구항 8에 있어서,The method of claim 8,상기 엔드 캡 홀더(25)의 통공(31)을 통해 상기 엔드 캡 홀더(25)의 내부로 노출되는 래치(35)에 경사면(35a) 및 걸림 턱(35b)을 형성하여 엔드 캡 홀더(25)에 엔드 캡(62)을 수납시에는 상기 엔드 캡(62)이 경사면(35a)에 의해 래치(35)를 통과되도록 하고 상기 엔드 캡(62)이 수납된 상태에서는 걸림 턱(35b)에 엔드 캡(62)의 돌출부(65)가 걸려 지지되도록 한 것을 특징으로 하는 가스통 밸브 자동 개폐장치.An inclined surface 35a and an engagement protrusion 35b are formed in the latch 35 exposed through the through-hole 31 of the end cap holder 25 to expose the end cap holder 25, The end cap 62 is allowed to pass through the latch 35 by the inclined surface 35a when the end cap 62 is housed in the end cap 62. When the end cap 62 is accommodated, (65) of the gas cylinder valve (62) is engaged.
- 청구항 7에 있어서,The method of claim 7,상기 엔드 캡 지지수단(30)은, The end cap support means (30)상기 엔드 캡 홀더(25)에 관통되게 복수 개 형성된 통공(31)과, A plurality of through holes 31 penetrating the end cap holder 25,상기 각 통공에 나사 결합되는 하우징(37)과, A housing (37) screwed to each of the through holes,상기 하우징(37)의 내부에 수용되어 엔드 캡 홀더(25)의 내부에 수용된 엔드 캡(62)의 누설 테스트공(leak test hole)(62a)에 끼워져 엔드 캡(62)을 지지하는 볼(38)과, A ball 38 which is accommodated in the housing 37 and is fitted in a leak test hole 62a of the end cap 62 accommodated in the end cap holder 25 to support the end cap 62 )and,상기 하우징(37)의 내부에 설치되어 볼(38)을 엔드 캡 홀더(25)의 내부로 편의하는 코일스프링과 같은 탄성부재(39)로 구성된 것을 특징으로 하는 가스통 밸브 자동 개폐장치.And an elastic member (39) such as a coil spring which is installed inside the housing (37) and which bores the ball (38) to the inside of the end cap holder (25).
- 청구항 7 , 청구항 8, 청구항 10 중 어느 한 항에 있어서,The method according to any one of claims 7, 8, and 10,상기 엔드 캡 홀더(25)에 엔드 캡 지지수단(30)을 등 간격으로 복수 개 설치한 것을 특징으로 하는 가스통 밸브 자동 개폐장치.Wherein a plurality of end cap supporting means (30) are provided at equal intervals in the end cap holder (25).
- 청구항 1 또는 청구항 2에 있어서,The method according to claim 1 or 2,상기 제1 축(55)의 회전에 의해 태엽(56)이 감기도록 하는 태엽 감김 유니트(80)와, A winding winding unit 80 for winding the first winding shaft 56 by the rotation of the first shaft 55,상기 태엽 감김 유니트(80)를 구동시키는 구동수단과, A driving means for driving the winding winding unit 80,상기 가스통(60)의 밸브(63)를 개방시 밸브 핸들 기어(51)에 치합되어 태엽(56)의 복원력에 의해 밸브 핸들 홀더(52)가 정 회전하지 않도록 하는 제1 역회전방지수단(70)과, A first reverse rotation preventing means 70 for preventing the valve handle holder 52 from rotating forward due to the restoring force of the spring 56 when the valve 63 of the gas cylinder 60 is opened, )and,상기 구동수단의 구동으로 태엽(56)을 감을 때 제2 축(82)이 역 회전되지 않도록 하는 제2 역회전 방지수단(90)을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 가스통 밸브 자동 개폐장치.Further comprising a second reverse rotation preventing means (90) for preventing the second shaft (82) from being reversely rotated when the spring means (56) is wound by driving the driving means.
- 청구항 12에 있어서,The method of claim 12,상기 태엽 감김 유니트(80)는, The wound winding unit (80)상기 밸브 핸들 유니트(50)의 중심에 설치된 제1 축(55)과, A first shaft 55 provided at the center of the valve handle unit 50,상기 밸브 핸들 유니트(50)의 내부에 위치되게 설치된 고정 핀(59)과, A fixing pin 59 disposed inside the valve handle unit 50,상기 고정 핀(59)에 일단이 고정되고, 타단은 제1 축(55)에 고정되어 밸브 핸들(61)이 열리는 방향으로 제1 축(55)이 회전됨에 따라 감기는 태엽(56)으로 구성된 것을 특징으로 하는 가스통 밸브 자동 개폐장치.And the other end is fixed to the first shaft 55 to be wound with the first spring 55 as the first shaft 55 rotates in the direction in which the valve handle 61 is opened, And the gas cylinder valve automatic opening / closing device.
- 청구항 12에 있어서,The method of claim 12,상기 구동수단은, The driving means includes:상기 밸브 핸들 기어(51)의 상부에 위치되게 제1 축(55)에 고정된 태엽 구동기어(58)와, A spring-loaded drive gear 58 fixed to the first shaft 55 so as to be positioned above the valve handle gear 51,상기 메인 플레이트(11)에 회전 가능하게 설치된 제2 축(82)과, A second shaft 82 rotatably installed on the main plate 11,상기 제2 축(82)에 고정되어 제2 축(82)의 회전수를 증폭시키는 증폭기어(84)와, An amplifier 84 fixed to the second shaft 82 to amplify the number of revolutions of the second shaft 82,상기 제2 축(82)에 고정된 링크(87)와, A link 87 fixed to the second shaft 82,상기 링크(87)의 일단에 증폭기어(84)와 맞물리게 설치되어 태엽 구동기어(58)에 맞물리거나, 맞물림이 해제되는 유성기어(85)와, A planetary gear 85 meshing with the amplifier gear 84 at one end of the link 87 to engage or disengage the manual winding drive gear 58,상기 링크(87)의 다른 일단에 로드(86a)가 힌지 결합되어 링크(87)를 회동시키는 유성기어 가동용 액츄에이터(86)와, A planetary gear actuating actuator 86 for hinging a rod 86a to the other end of the link 87 to rotate the link 87,상기 제2 축(82)을 회전시켜 제1 축(55)에 태엽(56)이 감기도록 하는 태엽 감기용 액츄에이터(81)로 구성된 것을 특징으로 하는 가스통 밸브 자동 개폐장치.And an actuator (81) for winding the wire wound on the first shaft (55) so as to wind the spring (56) by rotating the second shaft (82).
- 청구항 1 또는 청구항 2에 있어서,The method according to claim 1 or 2,상기 메인 플레이트(11)와 밸브(63)에 제1 얼라인수단(120)이 더 구비된 것을 특징으로 하는 가스통 밸브 자동 개폐장치.Wherein the main plate (11) and the valve (63) are further provided with first aligning means (120).
- 청구항 15에 있어서,16. The method of claim 15,상기 제1 얼라인수단(120)이, The first aligning means (120)상기 밸브(63)의 외측이 적어도 1개 이상 돌출 형성된 위치결정봉(121)과, A positioning rod 121 having at least one protruding outer side of the valve 63,상기 메인 플레이트(11)의 하부에 설치되어 밸브 핸들 유니트(50)가 밸브 핸들(61)에 결합시 위치결정봉(121)이 얼라인 홈(122a)에 끼워지면서 가스통(60)의 위치를 보정하는 위치결정패널(122)로 구성된 것을 특징으로 하는 가스통 밸브 자동 개폐장치.The positioning rod 121 is fitted in the alignment groove 122a when the valve handle unit 50 is coupled to the valve handle 61 and the position of the gas cylinder 60 is corrected And a positioning panel (122) for positioning the gas cylinder valve.
- 청구항 12에 있어서,The method of claim 12,상기 제1 역회전 방지수단(70)은,The first reverse rotation preventing means (70)상기 메인 플레이트(11)에 설치된 래치 구동용 액츄에이터(71)와, A latch drive actuator 71 provided on the main plate 11,상기 메인 플레이트(11)에 축(72)을 중심으로 회동 가능하게 설치되어 일단이 밸브 핸들 기어(51)에 치합되며 타단은 래치 구동용 액츄에이터(71)의 로드에 접속되는 제1 래치(73)와, A first latch 73 connected to the main plate 11 so as to be rotatable around a shaft 72 and having one end engaged with the valve handle gear 51 and the other end connected to the rod of the actuator 71 for driving the latch, Wow,상기 제1 래치(73)에 복원력을 부여하는 제1 탄성부재(74)로 구성된 것을 특징으로 하는 가스통 밸브 자동 개폐장치.And a first elastic member (74) for applying a restoring force to the first latch (73).
- 청구항 14에 있어서,15. The method of claim 14,상기 태엽 감기용 액츄에이터(81)에 피스톤의 이동을 감지하는 센서(88)를 설치하여 태엽(56)이 완전히 감겨 센서(88)가 태엽 감기용 액츄에이터(81)의 피스톤 이동을 감지하지 못함에 따라 제어부에 의해 태엽 감기용 액츄에이터(81)의 구동을 중단시키는 것을 특징으로 하는 가스통 밸브 자동 개폐장치.A sensor 88 for sensing the movement of the piston is installed in the spring winding actuator 81 so that the spring 88 is completely wound and the sensor 88 can not detect the piston movement of the spring winding actuator 81 And the control unit stops the drive of the spring-leaf winding actuator (81).
- 청구항 12에 있어서,The method of claim 12,상기 제2 역회전 방지수단(90)은, The second reverse rotation preventing means (90)상기 제2 축(82)에 고정된 제2 래치 휠(91)과, A second latch wheel 91 fixed to the second shaft 82,상기 제2 래치 휠(91)에 치합되어 원웨이 클러치(83)의 복원 시 제2 축(82)이 역 회전되지 않도록 하는 제2 래치(92)와, A second latch 92 engaged with the second latch wheel 91 to prevent the second shaft 82 from being reversely rotated when the one-way clutch 83 is restored,상기 제2 래치(92)에 일단이 연결된 제2 탄성부재(93)로 구성된 것을 특징으로 하는 가스통 밸브 자동 개폐장치.And a second elastic member (93) connected at one end to the second latch (92).
- 청구항 1 또는 청구항 2에 있어서,The method according to claim 1 or 2,정전시 밸브 핸들(61)을 수동으로 개폐하는 수동개폐수단(100)이 더 구비된 것을 특징으로 하는 가스통 밸브 자동 개폐장치.Further comprising a manual opening / closing means (100) for manually opening and closing the valve handle (61) during a power failure.
- 청구항 20에 있어서,The method of claim 20,상기 수동개폐수단(100)은, The manual opening / closing means (100)상기 메인 플레이트(11)에 회전 가능하게 설치되어 밸브 핸들 기어(51)에 맞물리는 밸브 핸들 수동 회전기어(101)와, A valve handle manual rotation gear 101 rotatably installed on the main plate 11 and engaged with the valve handle gear 51,상기 밸브 핸들 수동 회전기어(101)를 회전시키도록 메인 플레이트(11)의 외측으로 노출되게 설치된 수동 놉(102)과, A manual knob 102 installed to be exposed to the outside of the main plate 11 to rotate the valve handle manual rotary gear 101,상기 수동 놉(102)의 회전을 밸브 핸들 수동 회전기어(101)에 전달하는 동력전달수단(103)으로 구성된 것을 특징으로 하는 가스통 밸브 자동 개폐장치.And a power transmitting means (103) for transmitting the rotation of the manual knob (102) to the valve handle manual rotary gear (101).
- 청구항 21에 있어서,23. The method of claim 21,상기 동력전달수단(103)이 한 쌍의 베벨기어인 것을 특징으로 하는 가스통 밸브 자동 개폐장치.Wherein the power transmission means (103) is a pair of bevel gears.
- 청구항 12에 있어서,The method of claim 12,상기 밸브 핸들 홀더(52)가 밸브 핸들(61)에서 분리 시, 덜 풀린 태엽(56)으로 인한 백래시가 발생되지 않도록 하는 백래시 방지수단(110)이 제1 축(55)에 더 구비된 것을 특징으로 하는 가스통 밸브 자동 개폐장치.The backlash preventing means 110 is further provided on the first shaft 55 to prevent backlash due to the loosened spring 56 when the valve handle holder 52 is separated from the valve handle 61 Automatic opening / closing device of gas cylinder valve.
- 청구항 23에 있어서,24. The method of claim 23,상기 백래시 방지수단(110)은, The backlash preventing means (110)상기 제1 축(55)에 끼워지며 상판(111)에 체결부재(116)로 고정된 고정블럭(112)과, A fixing block 112 fitted to the first shaft 55 and fixed to the upper plate 111 by a fastening member 116,상기 고정블럭(112)의 하부에 위치되게 제1 축(55)에 끼워져 태엽 구동기어(58)의 상면에 접속되는 가압부재(113)와, A pressing member 113 fitted to the first shaft 55 so as to be positioned below the fixed block 112 and connected to the upper surface of the manual winding drive gear 58,상기 고정블럭(112)에서 가압부재(113)가 승, 하강 가능하도록 하는 가이드 핀(114)과, A guide pin 114 for allowing the pressing member 113 to move up and down in the fixed block 112,상기 고정블럭(112)과 가압부재(113) 사이에 설치되어 가압부재(113)를 하방으로 편의하는 제5 탄성부재(115)로 구성된 것을 특징으로 하는 가스통 밸브 자동 개폐장치.And a fifth elastic member (115) provided between the fixed block (112) and the pressing member (113) and biasing the pressing member (113) downward.
- 청구항 24에 있어서,27. The method of claim 24,상기 가압부재(113)의 저면에 브레이크 패드(117)가 고정된 것을 특징으로 하는 가스통 밸브 자동개폐장치.And a brake pad (117) is fixed to the bottom surface of the pressing member (113).
- 청구항 6에 있어서,The method of claim 6,상기 제1, 2, 3 액츄에이터(actuator)(22)(24)(26)는 유압 또는 공압 실린더, 스탭 모터 또는 서보 모터 중 어느 하나인 것을 특징으로 하는 가스통 밸브 자동 개폐장치.Wherein the first, second, and third actuators (22, 24, 26) are any one of a hydraulic or pneumatic cylinder, a step motor, and a servomotor.
- 청구항 1 또는 청구항 2에 있어서,The method according to claim 1 or 2,상기 메인 플레이트(11)와 가스통(60)의 밸브(63)에 제2 얼라인수단(130)이 더 구비된 것을 특징으로 하는 가스통 밸브 자동 개폐장치.Characterized in that the main plate (11) and the valve (63) of the gas cylinder (60) are further provided with a second aligning means (130).
- 청구항 27에 있어서,28. The method of claim 27,상기 제2 얼라인수단(130)은,The second aligning means (130)상기 메인 플레이트(11)의 저면에 고정되고 2개 이상의 얼라인 핀(131a)을 갖는 얼라이너(131)와,An aligner 131 fixed to the bottom surface of the main plate 11 and having two or more alignment pins 131a,상기 가스통(60)의 밸브(63)에 착탈 가능하게 고정되며 얼라인 핀(131a)이 끼워지는 위치결정공(132a)이 형성된 얼라인 블럭(132)과,An alignment block 132 which is detachably fixed to the valve 63 of the gas cylinder 60 and in which a positioning hole 132a through which the alignment pin 131a is inserted is formed,상기 얼라인 블럭(132)을 밸브(63)에 체결부재로 고정하는 체결판(133)으로 구성된 것을 특징으로 하는 가스통 밸브 자동 개폐장치.And a fastening plate (133) for fastening the alignment block (132) to the valve (63) with a fastening member.
- 캐비닛에 가스통(60)을 얼라인되게 로딩하는 단계와, 상기 가스통(60)으로부터 엔드 캡(62)을 분리하는 단계와, 상기 엔드 캡(62)이 제거된 가스분사노즐(64)에 커넥터 홀더(28)를 나사 결합하는 단계와, 상기 밸브 핸들 홀더(52)에 공회전 가능하게 설치된 제1 축(55)의 역회전을 억제시키면서 제1 축(55)을 정 회전시켜 제1 축(55)으로 태엽(56)을 감는 단계와, 상기 밸브 핸들 홀더(52)의 정 회전을 억제시키면서 가스통(60)의 밸브 핸들(61)을 역회전시켜 밸브(63)를 개방하는 단계와, 상기 가스통(60)의 교체 시기 또는 가스누출이 감지되면 밸브(63)를 자동으로 잠그는 단계로 이루어진 것을 특징으로 하는 가스통 밸브 자동 개폐방법.(62) to the gas injection nozzle (64) from which the end cap (62) has been removed, the method comprising the steps of: loading the gas cylinder (60) The first shaft 55 is rotated in the normal direction while the first shaft 55 installed to idle the valve handle holder 52 is restrained from rotating reversely, Closing the valve handle (61) of the gas cylinder (60) while restricting the normal rotation of the valve handle holder (52) to open the valve (63) And automatically closing the valve (63) when a replacement time of the valve (60) or a gas leak is detected.
- 청구항 29에 있어서,29. The method of claim 29,상기 가스통(60)의 밸브(63)을 개방하기 전에 제1 축(55)에 의해 태엽(56)을 감아주는 것을 특징으로 하는 가스통 밸브 자동 개폐방법.Wherein the spring (56) is wound by the first shaft (55) before opening the valve (63) of the gas cylinder (60).
- 청구항 29에 있어서,29. The method of claim 29,상기 가스통(60)으로부터 가스 배관(12)을 통해 가스가 공급될 때, 센서부(140)가 가스의 누출을 감지하지 못하면 가스를 계속해서 공급하고, 센서부(140)가 가스의 누출을 감지하면 밸브 핸들 기어(51)의 억제를 해제하여 태엽(56)의 복원력에 의해 밸브 핸들(61)을 강제로 잠그도록 하는 것을 특징으로 하는 가스통 밸브 자동 개폐방법.When gas is supplied from the gas pipe 60 through the gas pipe 12, if the sensor unit 140 does not sense gas leakage, the gas is continuously supplied. If the sensor unit 140 detects gas leakage And the valve handle (61) is forcibly locked by the restoring force of the spring (56) by releasing the inhibition of the valve handle gear (51).
- 청구항 29에 있어서,29. The method of claim 29,상기 가스통(60)의 가스분사노즐(64)이 개방된 상태에서 정전시 밸브 핸들 기어(51)의 억제를 해제하여 태엽(56)의 복원력에 의해 밸브 핸들(61)을 강제적으로 잠그도록 하는 것을 특징으로 하는 가스통 밸브 자동 개폐방법.The valve handle 61 is forcibly locked by the restoring force of the spring 56 by releasing the restraint of the valve handle gear 51 when the gas injection nozzle 64 of the gas cylinder 60 is open Features automatic opening and closing of gas cylinder valve.
- 청구항 31에 있어서,32. The method of claim 31,상기 태엽(56)이 풀려 밸브 핸들 홀더(52)가 밸브 핸들(61)을 잠근 상태에서 밸브 핸들 개폐 유니트(40)가 밸브 핸들(61)을 전기적인 힘으로 더 잠그는 단계를 실시하는 것을 특징으로 하는 가스통 밸브 자동 개폐방법.The spring lever 56 is released and the valve handle opening / closing unit 40 further locks the valve handle 61 with an electric force when the valve handle holder 52 has closed the valve handle 61 Automatic opening and closing method of gas cylinder valve.
- 청구항 29에 있어서,29. The method of claim 29,상기 밸브 핸들 기어(52) 및 태엽 구동기어(58)의 억제를 해제하여 밸브 핸들 홀더(52) 및 태엽 구동기어(58)의 회전이 자유로운 상태에서 밸브 핸들 기어(51)를 수동으로 회전시켜 가스통(60)의 밸브(63)를 잠그는 것을 특징으로 하는 가스통 밸브 자동 개폐방법.The valve handle gear 52 and the manual winding drive gear 58 are released to manually rotate the valve handle gear 51 in a state in which the valve handle holder 52 and the manual winding drive gear 58 are free to rotate, (63) of the gas cylinder valve (60) is locked.
- 청구항 31에 있어서,32. The method of claim 31,상기 밸브 핸들(61)로부터 밸브 핸들 홀더(52)가 분리되기 전에 유성기어(85)를 태엽 구동기어(58)에서 분리시키는 것을 특징으로 하는 가스통 밸브 자동 개폐방법.Wherein the planetary gears (85) are separated from the spring-loaded drive gear (58) before the valve handle holder (52) is disengaged from the valve handle (61).
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