WO2018166737A1 - Testsockel und kontaktierungsvorrichtung zur kontaktierung eines hochfrequenzsignals - Google Patents

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WO2018166737A1
WO2018166737A1 PCT/EP2018/053753 EP2018053753W WO2018166737A1 WO 2018166737 A1 WO2018166737 A1 WO 2018166737A1 EP 2018053753 W EP2018053753 W EP 2018053753W WO 2018166737 A1 WO2018166737 A1 WO 2018166737A1
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WO
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contact
frequency cable
sleeve
conductor
contacting
Prior art date
Application number
PCT/EP2018/053753
Other languages
English (en)
French (fr)
Inventor
Ludwig Huber
Stefan REISCHL
Frank Tatzel
Adalbert SCHADHAUSER
Steffen Thies
Original Assignee
Rosenberger Hochfrequenztechnik Gmbh & Co. Kg
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Rosenberger Hochfrequenztechnik Gmbh & Co. Kg filed Critical Rosenberger Hochfrequenztechnik Gmbh & Co. Kg
Publication of WO2018166737A1 publication Critical patent/WO2018166737A1/de

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Classifications

    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01R—MEASURING ELECTRIC VARIABLES; MEASURING MAGNETIC VARIABLES
    • G01R1/00—Details of instruments or arrangements of the types included in groups G01R5/00 - G01R13/00 and G01R31/00
    • G01R1/02—General constructional details
    • G01R1/04—Housings; Supporting members; Arrangements of terminals
    • G01R1/0408—Test fixtures or contact fields; Connectors or connecting adaptors; Test clips; Test sockets
    • G01R1/0433—Sockets for IC's or transistors

Definitions

  • the present invention relates to a test socket with a plurality of contact elements for contacting each of an electrical signal or each one
  • a test socket having a plurality of arranged in the same grid contact elements is required.
  • the contact elements han ⁇ delt it is through-contact, ie Kontak- sliding elements, of the contact plane with the Kunststoffflä ⁇ surfaces of the test integrated circuit over the adjacent to the contact plane surface of the test socket to the ge ⁇ genüberode surface of the test socket and is extend over the opposite face against ⁇ addition of the test socket.
  • the contact elements are in particular pin-shaped Maisele ⁇ elements, ie contact pins.
  • Circuit is also a circuit board with electronics or je ⁇ de other expression of an electronic module with electronic contact surfaces covered.
  • the integrated circuit is typically inserted into the test socket so that a contacting end of one contact element reliably electrically contacts an associated contact surface of the integrated circuit.
  • the other end of each con ⁇ tact element is in each case connected via a so-called loadboard (German: charging plate) with a measuring device.
  • loadboard German: charging plate
  • Respectively to measure the individual contact surfaces of the test inte ⁇ grated circuit only a DC stabilized or low-frequency signal, then for the contacting of only usually a pin sufficient.
  • a contact is required, which is adapted to the radio frequency physics of the measured high-frequency signal.
  • US Pat. No. 7,173,442 B2 discloses a test device for testing integrated circuits with which DC voltage and / or low-frequency signals and high-frequency signals can be contacted in parallel at individual contact surfaces of the integrated circuit. For contacting the
  • High frequency signals are each a coplanar Staccolei ⁇ tion used.
  • the coplanar strip line extends in egg ⁇ ner plane parallel to the contact plane of the test inte grated circuit ⁇ . Since a coplanar strip line has a certain extent in the plane, which is typically greater than the pitch of the individual contact surfaces, such a coplanar strip line can be disadvantageously contacted only high-frequency signals at the edges of the grid.
  • the object of the present invention is to provide a test socket with which not only DC voltage signals but also high-frequency signals can be contacted at any contact surface of the integrated circuit to be tested.
  • this object is tismesvortechnisch by a test socket having the features of patent claim 1, by a Kontak- with the features of claim 18 and by a method for fabricating a contact-making device having the features of claim ge solves ⁇ 29th
  • a test socket having a plurality of contact elements for contacting a respective electrical signal or by a respective electric potential and Minim ⁇ least one contacting device for contacting a respective high-frequency signal, wherein the plurality of contact elements angeord respectively in a first grid ⁇ are net and within the first grid through each contacting at least a Benach ⁇ bartes contact element in each of the two to one another or ⁇ thogonalen arrangement directions of the first raster re- placed, wherein each contacting device along the axial extent of the contact elements extends parallel to the contact elements, wherein the at least one contacting device is in each case different from each ⁇ the contact element ,
  • a contacting device for contacting each ⁇ wells a high frequency signal having an outer sleeve, guided in the outer sleeve in the axial direction of the inner sleeve, a spring that is positioned between the inner sleeve and a radially directed on the outer sleeve to the inside web, one with the
  • a process for preparing a Kunststoffleitersvor- direction for contacting a respective Hochfre ⁇ -frequency signal comprising the steps of: inserting a spring and an inner sleeve of the contact-making device which is connected to an outer conductor of a Hochfre ⁇ frequency cable, in an outer sleeve of Kon - timing device; Connecting an inner conductor contact side arranged contact element with an inner ⁇ conductor of the high-frequency cable; Connecting at least one outer conductor contact side arranged Maisele ⁇ ment with an inner sleeve of justify istsvorrich- device and shaping a directed to the contact plane axial boundary of the outer sleeve of the contacting ⁇ device.
  • the of the present invention is based insights nis / idea is to provide a contacting device for contacting a Hochfre ⁇ quenzsignals, which is arranged parallel to the axial extension of the individual arranged in a Ras ⁇ ter contact elements, each of which is preferably a DC or Low frequency signal is contacted.
  • a Hochfre ⁇ frequency signal can be contacted not only at the edges of the grid, but also in the interior of the grid. Clocking of the con- of the RF signal is thus dependent to replace only a certain number of adjacent Kontak ⁇ tele elements from realized miniaturization of Kunststoffmaschinetechniksvor- direction.
  • Additional contact members are located between the actual contact area of the high-frequency signal within the grid and the next ge ⁇ superior edge of the grid, thus wetting must in delimi- to a plane parallel to the plane of contact arrange-
  • the contacting device is not replaced and thus sacrificed.
  • the number of adjacent contact elements is formed by a contacting device within the grid, which is hereinafter referred to as the first grid, he ⁇ sets, obtained as a function of the realized miniaturization and the type of contact, such as coaxial contacting or differentiel- le or Twinax contacting.
  • Sleeve and a radially inwardly directed web of äuße ⁇ ren sleeve is a spring positioned elastically supports the inner sleeve in the outer sleeve in the axial direction.
  • the contacting device according to the invention is thus embodied such that it is exchangeable from the test socket according to the invention.
  • the inner sleeve is axially movable over the outer sleeve out through a first implementation, given in a ⁇ to test the integrated circuit end surface of the äuße ⁇ ren sleeve is arranged.
  • the movement of the inner sleeve is limited in the direction of the test integrated circuit by the interaction of a radially outwardly directed web of the inner sleeve and a radially inward boundary of the outer sleeve, the first limited by ⁇ management.
  • An outer conductor of a contacting device with the ver ⁇ -bound high frequency cable is electrically and mechanically connected to the inner sleeve.
  • at least one inner conductor of the high-frequency cable is connected to an associated inner conductor contact side arranged contact element of the inventive contacting device.
  • Minim ⁇ least an outer conductor contact side arranged Maisele ⁇ ment is verbun with the electrically conductive inner sleeve ⁇ .
  • a contacting reali ⁇ Siert contacting at a under test integrated circuit belonging to a high-frequency signal to be measured ⁇ inner conductor and outer conductor contact surfaces and the associated inner conductor and outer conductor is a potential off supplying high-frequency cables.
  • the elastic guide the inner sleeve in the outer sleeve of the contacting device allows a variable distance between the inner conductor and outer conductor contact surfaces of on the integrated circuit to be measured high-frequency signal and the associated contacting the test socket from ⁇ tincten.
  • the high ⁇ frequency cable in accordance with the respective spacing of the Kon ⁇ clock-plane is mounted to the outer sleeve of the contacting device within the outer sleeve movable and follows so ⁇ with the movement of contact level.
  • the term "contact plane" refers to the plane in which the contact between the inner conductor and outer conductor contact side contact elements of the contacting device and the inner conductor or outer conductor contact surfaces of the high-frequency signal to be measured on the integrated circuit takes place.
  • a plurality of outer conductor contact side Mullele ⁇ elements are provided, which are designed to be elastic. In this way, distance differences between individual surface areas of the associated outer conductor contact surface can occur the integrated circuit and the individual outer conductor contact side contact elements are compensated.
  • the elastic contact elements are realized in particular as contact elements with spring arms.
  • read ⁇ is resilient contact members sen with a very low expansion and thus a contacting the con- clocking of a high frequency signal in a miniaturized ⁇ th execution realized.
  • LIGA lithographic electroplating
  • outer conductor contact-side contact elements are seen upstream, these are, in a preferred execution ⁇ form in the same grid as the contact elements, that is, arranged in ers ⁇ th raster in the inventive test socket.
  • the individual contact elements for contacting each egg ⁇ nem electrical signal or each of an electrical potential are preferably also realized as elastic Federkon ⁇ contact pins.
  • the inner conductor contact-side contact element is executed in a first embodiment of the contacting device according to the invention as an elastic contact element, in particular as a contact element with spring arm.
  • an elastic contact element in particular as a contact element with spring arm.
  • Kunststoffschrich ⁇ tung the inner-conductor-contact-side contact member is implemented as a rigid contact element. Differences in distance be- seen, the inner conductor contact surface and the adoptedleiterkon- clock-face of the measured high-frequency signal on the tegrated in ⁇ circuit and the inner conductor or outer conductor ⁇ contact-side contact elements are of reasonable by the cooperation ⁇ play of elasticity within the outer sleeve arranged spring and the elasticity of the outer conductor contact side elastic spring elements balanced.
  • a third embodiment of a Kontak- invention is realized by a single-sided contact element salvageleiterkon- clock t istsvorraum, the approach direction in Griffinie- has a cylindrical inner bore and a Elas ⁇ ticity.
  • the single contact-side contact element on the contact side is preferably annular in shape.
  • the contacting device according to the invention has two inner-conductor-contact side Contacts- ELEMENTS on for detecting a differential Hochfrequenzsig ⁇ nal on the under test integrated circuit. These two inner conductor contact-side contact elements are each connected to an associated inner conductor of the high-frequency cable (so-called Twinax high-frequency cable or differential high-frequency cable).
  • the high frequency cable as a so-called ⁇ micro-coaxial cables, that is realized as a coaxial cable with egg nem compared to conventional coaxial cables clearly ge ⁇ ringeren outer diameter.
  • the diameter of the inner and outer sleeve blank Kunststoffie- reasoning apparatus and thus minimize the radial extent of Kon ⁇ takt istsvorraum significantly.
  • the space required in the inventive test socket for such of miniaturization ⁇ catalyzed contacting device, ie the number of be ⁇ neighboring contact pins that are to be replaced by the miniaturized he ⁇ -making proper contact device is therefore advantageously minimized.
  • the high frequency cable is guided via a second passage in the outer sleeve from the contacting too- and directly or indirectly connected to a high-frequency measuring ⁇ device.
  • This second implementation is preferably provided on the contact plane opposite end face of the Kon ⁇ takt istsvortechnisch, ie on the side facing away from the test ⁇ integrated circuit th, and limited by the provided on the outer sleeve and radially inwardly court ⁇ teten web.
  • the contacting device according to the invention is formed at its opposite end of the contact plane as a coupling unit for receiving a connector.
  • This plug ⁇ connector can be connected to an end of another Hochfrequenzka ⁇ bels, it is advised directly or indirectly connected with a Hochfrequenzmessge- be secured.
  • this connector can also be attached to an assembly, preferably on a printed circuit board, which contacts the individual Maisele ⁇ elements and the individual Kunststoff istsvor- invention of the test socket according to the invention.
  • a radially inwardly directed web of the outer sleeve which is a second one
  • the Hochfre ⁇ quenztiv extends within the coupling unit through a fraction of the longitudinal extent of the Kopplungsein ⁇ unit.
  • SEN test socket is a board, preferably a printed circuit board, inte grated ⁇ for contacting the individual contact elements and a ⁇ individual contact devices according to the invention.
  • the inner conductor of the Hochfrequenzka ⁇ bels over the front end of the high-frequency cable projects out towards ⁇ and is positively or non-positively to the resilient or rigid inner-conductor-contact-side contact member ver ⁇ prevented.
  • the inner conductor contact side contact element has at least one radially inwardly directed groove, preferably a plurality of radially inwardly directed grooves on. These grooves form together ⁇ men with the thermally foamed in the manufacture of insulator material that enter the grooves, an axial connection.
  • the spring and the inner sleeve are inserted into the outer sleeve.
  • a high frequency cable is inserted into the inner sleeve via a passage in the outer sleeve and the outer conductor of the high frequency cable is connected to the inner sleeve.
  • the contact plane ⁇ axial boundary of the outer sleeve is formed ⁇ .
  • a module is integrated, which is connected to those contact ends of the contact elements which are located on the integrated circuit to be tested to ⁇ facing side.
  • this assembly has associated first contact points, which are arranged in the same grid spacing as the first grid of the individual contact elements.
  • this first contact points are arranged in the same grid spacing as the first grid of the individual contact elements.
  • this first contact points are angeord ⁇ net in a second grid with a grid spacing which is greater than the grid spacing of the first Ras-ester is effected.
  • the second contact point against the first contact points are arranged offset so that the ist ⁇ rising high-frequency cable and the outgoing of radiofrequency can be dissipated with the use of a very space ⁇ filling the bend parallel to the test socket.
  • Figure 1A is a three dimensional representation of an OF INVENTION ⁇ to the invention the test socket having a first exporting ⁇ approximate shape of a contact-making device of the invention for one high-frequency signal
  • Figure 1B is a three dimensional representation of an OF INVENTION ⁇ to the invention the test receptacle with a second exporting ⁇ approximate shape of a present invention.. contact-making device for each of a high frequency signal
  • IC is a three dimensional representation of an oF iNVENTION ⁇ to the invention the test receptacle with a third exporting ⁇ approximate shape of a contact-making device according to the invention for one high-frequency signal
  • Fig. 1D is a three dimensional representation of an OF INVENTION ⁇ to the invention the test receptacle with a fourth exporting ⁇ approximate shape of a contact-making device according to the invention for one high-frequency signal
  • Fig. 2A is a cross-sectional view of a first exporting ⁇ approximate shape of a contact-making device according to the invention for one high-frequency signal in an inventive test socket,
  • 2B is a cross-sectional view of a first Unterva ⁇ variant of a second embodiment of a Kontak- t istsvortechnisch for a differential high-frequency ⁇ signal in a test ood according to the invention
  • 2C is a cross-sectional view of a second sub ⁇ variant of a second embodiment of a Kon ⁇ takttechniksvortechnisch for a high-frequency signal in a test socket according to the invention
  • FIG. 2D is a cross-sectional view of a third exporting ⁇ approximate shape of an inventive Kunststofftechniks ⁇ apparatus for a high frequency signal in an inventive test socket,
  • FIG. 2E is a cross-sectional view of a fourth exporting ⁇ approximate shape of an inventive Kunststofftechniks ⁇ apparatus for a high frequency signal in an inventive test socket,
  • FIG. 3 is a cross sectional view of a test socket according to the invention ⁇ SEN with a first variant of the ex ternal ⁇ high frequency connection to the inventiveness proper contacting device
  • FIG. 4A is a cross sectional view of an inventive ⁇ SEN test socket with a second variant of the ex ⁇ ternal high-frequency terminal in the non-plugged state of the inventive contact-making device
  • FIG. 5B is a cross sectional view of an inventive ⁇ SEN test socket with a third variant of the ex ⁇ ternary high-frequency connection in the plugged Zu ⁇ stand on the contacting device according to the invention and
  • Fig. 6 is a flowchart of an inventive procedural ⁇ proceedings for the preparation of an inventive con ⁇ takt istsVorraum.
  • test socket 1 is typically designed as a block-shaped body 2 made of plastic, which meh ⁇ rere arranged in a certain grid fürgangsboh ⁇ ments has.
  • contact elements 3 preferably contact pins 3, arranged mechanically fi xed, each preferably as a spring contact pins ⁇ executed as indicated in the following FIG. 2.
  • the individual contact pins 3 are beyond a surface of the cuboid body 2 of the test socket 1 according to the invention.
  • the individual contact pins 3 are up to the opposite surface of the parallelepiped body 2 GE. leads or stand over this opposite surface ⁇ out.
  • These contact pins 3 each detect a DC-recorders and low-frequency signal to the associated to kon ⁇ lactating electrical contact surface of the integrated circuit.
  • two or more contact devices 4 may be adjacent to each other directly without the interposition of contact pins 3 to ⁇ .
  • contact-making devices 4 may be positioned at an edge or at a corner of the grid of contact pins 3 and thus be adjacent to only three edges or on two edges each of the contact pins 3 ⁇ or enclosed.
  • High-frequency signal has in each case a contact element 5 for contacting the inner conductor of the high-frequency signal and min ⁇ least one contact element for contacting the outer conductor harnessfre ⁇ -frequency signal.
  • a contact element 5 for contacting the inner conductor of the high-frequency signal
  • min ⁇ least one contact element for contacting the outer conductor harnessfre ⁇ -frequency signal.
  • eight contact elements 61, 62, 63, 64, 65, 6 ⁇ , 67 and 6s are provided for contacting the high-frequency outer-conductor signal.
  • These individual contact elements 5, 6 1 , 6 2 , 63, 64, 65, 6 6 , 67 and 63 in the first embodiment of the contact techniks- device 4 and 4 are each designed as a resilient contact elements to compensate for contact in each direction of the present tolerances that can occur between the associated outer conductor contact points on the electrical contact surface to be contacted of the integrated circuit. Due to the small dimensions of the contact elements 61, 62, 63, 64, 65, 6 6 , 67 and 6 8 , these are each manufactured as micromechanical components with spring arms in, for example, LIGA technology.
  • a test socket according to the invention 1 '' with a third embodiment of a contact according to the invention techniksvorcardi 4 '' to the contacting of a high frequency signal shown in Fig. IC is the sum of all the individual resilient contact members 61, 6 2, 63, 64, 65 , 6 ⁇ , 67 and 63 for external conductor contact réelle by a single in the direction of contact réellesutter resilient annular contact element 6 replaced.
  • This contactor device is elastic. see annular contact element 6 may be, for example, a corrugated ring or an annular member made of an elastomer, are contained in the conductive particles in a certain Konzent ⁇ ration.
  • a test socket 1 'of the invention with a fourth embodiment of he ⁇ inventive contact techniksvorraum 4' for the contacting of a differential high-frequency signal of FIG. 1D are two resilient contact elements 5i and 5 2 to the inner conductor contact ation of the differential high-frequency signal and 1D, for example, ten fe ⁇ - reducing contact elements 6i, 62, 63, 64, 65, 6e, 67, 6s, 69 and 6 10 réelle provided forêtleitertern.
  • the first embodiment of a present invention approximately Kunststoffie- device 4 for contact ation of a Hochfrequenzsig ⁇ Nals and its electrical and mechanical connection to a high-frequency cable 7 will be explained below with reference to FIG. 2:
  • the contact element 5 for mecanicleiterness tion is directly and directly connected by means of, for example, a press fit with the inner conductor 8 of the high-frequency cable 7.
  • the inner conductor 8 is led out for this purpose from the high-frequency cable 7 and arranged opposite the st irnseit igen end of the high frequency ⁇ cable 7.
  • a press fit and a solder joint between the inner ⁇ conductor 8 of the high-frequency cable 7 and the contact element 5 for mecanicleiter candy is possible.
  • All contact elements 6 lr 6 2 , 6 3 , 6 4 , 6 5 , 6 6 , 6 7 and 6 8 for outer conductor contact technik are directly and directly with ei ⁇ ner electrically conductive inner sleeve 9, in which the high-frequency cable 7 is guided , each with a frontal Contact electrically and mechanically connected.
  • this connection between the individual Maisele ⁇ elements 6 1 , 6 2 , 6 3 , 6 4 , 6 5 , 6 e, 6 7 and 6s and the inner sleeve 9 by means of a solder joint.
  • a screw or a connector by means of
  • the outer diameter of the outer conductor 10 of the Hochfrequenzka ⁇ lever 7 is smaller than the inner diameter of the inner sleeve 9, so that the high-frequency cable 7 and the inner sleeve 9 can be easily joined.
  • a connection technique Zvi ⁇ rule the high-frequency cable 7 and the inner sleeve 9 coming cohesive compounds, for example soldering, or positive or non-positive connections, such as crimping, in question.
  • the solder joint between the outer conductor 10 of the high-frequency cable 7 and the inner sleeve 9 is indicated by a thick line.
  • the inner sleeve 9 electrically and mechanically connected to the individual contact elements 6i, 62, 63, 64, 65, 6, 6, 6 and 6 s for external conductor contact.
  • the peculiarity of this design is the shortest possible axial extent of the ⁇ lectric insulator element 12, whereby the high-frequency cable 7 as close as possible to the contact plane 22 leads ⁇ leads and thus electrical impurities are considerably mini ⁇ mized.
  • the contact plane 22 is the transition between the individual contact elements 5, 6 1, 62, 63, 64, 65, 6 e, 6 7 and 6 3 of the contact-making device 4 and the associated electrical contact areas of the integrated circuit to be tested Understood.
  • the entire contact istsvortechnisch 4 for a Hochfre ⁇ -frequency signal comprises in analogy to the contact st iften 3 likewise apply an elasticity, on the one hand, a spring force of the contact is to electrical contact pads of the integrated circuit and on the other hand, Zvi ⁇ rule the individual electrical contact surfaces of the inte ⁇ grated circuit in the direction of contact réellesutter compensate tolerances.
  • the inner sleeve 7 is resiliently mounted in egg ⁇ ner outer sleeve 13.
  • the resilient mounting of the inner sleeve 7 is effected by a spring element 14, which is within the outer sleeve 13 between a radially outwardly directed web 15 on st irnseit igen end of the inner sleeve 9 and a radially inwardly directed web 16 on st irnseit igen end of outer sleeve 13 is arranged.
  • the contact is istsvoriques 4 for a high frequency signal in analogy to a spring contact st ift realized as an elastic contact component.
  • the contact force of the spring element 14 is adapted to the contact ⁇ forces of the individual elastic contact elements 5, 6i, 6 2 , 6 3 , 6 4 , 6 5 , 6 6 , 6 7 and 6 8 ideally along the entire spring contact path.
  • a pre ⁇ voltage generating technical mechanism such as pneumatic, hydraulic or elastomer can be used and is covered by the invention.
  • the inner sleeve 9 has an upper stop in the direction of the integrated circuit, which is provided by a Mittelbe ⁇ rich inner sleeve 9 radially outwardly directed web 18 and at the other st irnseit igen end of the outer sleeve 13 and bent radially inwardly Wall 19 of the outer sleeve 13 is realized.
  • the inwardly curved inner wall 19 of the outer sleeve 13 has an end-side passage 32, which is referred to below as the first passage 32, and allows axial movement of the inner sleeve 9 from the outer sleeve 13 out.
  • the inner conductor 8 of the high-frequency cable 7 is to Kon ⁇ clock element 5' led to the inner conductor contact ation.
  • Themped- from the st irnseit strength end of the high frequency cable 7 guided inner conductor 8 is connected via a suitable stoffschlüs ⁇ fitting connection, for example by soldering, or egg ⁇ ne appropriate positive and / or non-positive connection, at ⁇ play, by means of press fit, directly and directly connected to the rigid contact element 5 ' .
  • a suitable stoffschlüs ⁇ fitting connection for example by soldering, or egg ⁇ ne appropriate positive and / or non-positive connection, at ⁇ play, by means of press fit, directly and directly connected to the rigid contact element 5 ' .
  • the additional insulator element 12 may be provided in the bore of the rigid contact element 5 ' is anchored for réelleleiter toast technik. Alternatively, however, it is also possible to dispense with the additional insulator element 12.
  • the inner conductor 8 of the high-frequency cable 7 is guided to the contact plane 22 without the use of a contact element 5. This is at Ver ⁇ strengthening of the inner conductor 8 of the high-frequency cable 7 in Kon ⁇ clock domain tet suitable coating in the contact region.
  • the outer conductor 10 of the high ⁇ frequency cable 7 can be led to the individual contact elements 6i, 62, 63, 6 4 , 65, 6e, 67 and 6s.
  • the contact element 5 '' for mecanicleiter toastkom at least one groove 23, preferably a plurality of grooves 23, into which or in which is foamed material of the dielectric Isola ⁇ sector 10 of the high-frequency cable 7.
  • the depth of each groove 23 within the contact element 5 '' for mecanicleitermas ist thereby enlarged to the outer diameter of the substantially cylindrical contact element 5 '' for mecanicleiteravaie ⁇ tion outside each of the slots 23 is larger than the outer ⁇ diameter of the High-frequency cable 7 belonging mecaniclei ⁇ ters 8 and within the individual grooves 23 is smaller than the outer diameter of the high-frequency cable 7 associated In ⁇ nenleiters 8 dimensioned.
  • the fixation of the contact element 5 '' for mecanicleiterkontak- tion at the front end of the high-frequency cable 7 is realized that the inner conductor 8 of Hochfre ⁇ quenztiv 7 pushed out of the high-frequency cable 7 at the front end of the high-frequency cable 7 and with the Kon ⁇ tact element 5 '' Suitably - for example by means of soldering - is connected. Subsequently, the inner conductor 8 of the high-frequency cable 8 with the connected Kunststoffele ⁇ ment 5 '' while heating the front end of the high ⁇ frequency cable 8 hineinein pushed ⁇ back into the high-frequency cable until only a tip of the contact element 5 ' from the front end of the High-frequency cable 8 stands out.
  • the contact element 5 '' is located in a that forms the recess 22 of the high-frequency cable 7. Due to the heating of the front end of the high-frequency cable 8, the pushing in of the contacts ⁇ lement 5 simplifies 'connected' inner conductor, the insulating 7. In addition, foamed by heating Material of the dielectric see insulator 10 in the vicinity of the individual grooves 23, enters the individual grooves 23 and fills these ⁇ individual grooves 23 completely.
  • Contact istsvortechnisch 4 '' of FIG. 2D is the outer conductor contact tion a single contact element 6 is used.
  • this contact element 6 has a cylindrical inner bore in the direction of contact with respect to the outer conductor contact.
  • the single contact element 6 for the outer conductor contact has an elasticity in the contact direction.
  • the contact element 6 to the outer conductor ⁇ contact tion is connected to the st irnseit igen end of the inner sleeve 9 with a suitable connection technology, for example ⁇ by means of soldering, screwing or interference fit, connected.
  • a contact device istsvor ⁇ 4 '''according to Fig. 2E are two resilient Contacts- to the contact ation of a differential high-frequency signal ELEMENTS ation provided 5i and 5 2 to the inner conductor contact.
  • These resilient contact elements 5i and 5 2 for the inner conductor contact are each connected to an inner conductor 8i and 8 2 of the differential high-frequency cable 7 ' .
  • the two inner conductors 8 1 and 8 2 are surrounded within the outer conductor 10 of the differential high-frequency cable 7 ' by a respective belonging to ⁇ dielectric insulator Iii and II 2 .
  • the two inner conductors 8 1 and 8 2 of the differential Hochfre ⁇ quenztiv 7 ' are each led beyond the associated dielectric ⁇ 's insulator Iii and II 2 and by an associated bore within the insulator element 12 with the associated resilient contact element 5i and 5 2 to the inner conductor contact tion electrically connected.
  • the resilient Kon ⁇ clock elements 5i and 5 2 are ation to the inner conductor contact connected in play ⁇ by press fitting or screwing opinion within the associated bore with the insulator element 12th
  • resilient contact elements 5i and 5 2 for mecanicleiterness tion rigid contact elements can be used.
  • the high-frequency cable 7 through a bore, which is hereinafter referred to as a second passage 17 and which is formed by the web 16 at st irnseit igen end of the outer Hül ⁇ se 13, in the outer space of the Needlesvorrich ⁇ device 4, 4 ⁇ ' , 4 2 ' , 4 '' and 4 ''' out.
  • the high-frequency cable 7 can be routed directly to a high-frequency measuring device or indirectly via an interconnected printed circuit board, for example a sample card (German: measuring adapter module), or an adapter or an adapter module interposed therebetween to a high-frequency measuring device. From Fig.
  • This group 20 implements an electrical and mechanical Bond between the contact pins 3, which are arranged in a ver ⁇ like small grid spacing from each other, in associated further contact pins 21, which are arranged at a greater distance to each other.
  • the DC and Niederfre acid sequence signals at the ends of the individual further contact pins ⁇ blank 21 by a simple to realize probe card, tap.
  • the contacting device 4, 4 '' , 4 2 ' , 4 '' and 4 ''' according to the invention for contacting a high-frequency signal with respect to the longitudinal extension of the contact pins 3 is extended and passed through a bore 26 in the assembly 20 is.
  • the assembly 20 imple- mented a spatial separation between the individual Kon ⁇ clock pins 21 and the depending ⁇ wells also guided from the individual bores 26 contact devices 4, 4i ', 4 2', 4 '' and 4 '''for contacting a Hochfrequenzsig ⁇ nals.
  • a deflection, ie a bend, the individual high-frequency cable 7 by a certain angle, preferably an angle of 90 °, which requires a certain space can be realized in this way.
  • the individual contacting devices 4, 4 ⁇ ' , 4 2 ' , 4 '' and 4 ' for contacting each of a high-frequency ⁇ signal and the electrically and mechanically connected thereto High-frequency cable 7 parallel to the individual pins 3, ie in contacting direction, out.
  • Contact terminals 4 and the associated high-frequency cable 7 are oriented in particular along the entire axial extent of the contact pins 3 parallel to the individual contact pins 3.
  • ⁇ guides without the assembly 20 are possible.
  • dispense with the additional contact pins 21 ⁇ to are conceivable.
  • the respective high-frequency cables 7 are adapted accordingly in their cross-sectional extent. Be used as a high-frequency cable 7 coaxial cable, so come Because of the low pitch intervals so-called micro ⁇ coaxial cable, that is coaxial with a small cable cross-section ⁇ used.
  • 4 ⁇ ' , 4 2 ' , 4 '' and 4 ''' guided high-frequency cable 7 is also by a second passage 17, which by a web 16 at the front end of the outer sleeve 13th is formed ⁇ out in the outer space of the contacting device 4, 4 ⁇ ' , 4 2 ' , 4 '' and 4 ''' out.
  • the assembly 20 preferably a circuit board 20, which realizes an increase of the grid spacing of the individual Kon ⁇ clock pins.
  • a through bore is aligned with the longitudinal extent of the contacting device 4 according to the invention, 4 ⁇ ', 4 2', 4 '' and 4 '''provided 26th
  • this through-hole 26 which is from the inventive Kon ⁇ takt istsvorraum 4, 4 ⁇ ', 4 2', 4 '' and 4 '''hinausge- led high-frequency cable 7 through a fraction of the L Lucasser ⁇ stretching of the through hole extended 26th
  • the mecaniclei ⁇ ter 8 of the high-frequency cable 7 is in this case additionally slightly extended relative to the dielectric insulator 11 and the outer conductor 10 of the high ⁇ frequency cable 7.
  • the through hole 26 is dimensioned to be as
  • Coupling element for receiving a at a front end of another high-frequency cable 7 ' attached plug- connector 27 can serve. In the inserted state of the connector 27 in the as
  • Coupling element serving through hole 26 of the Baugrup ⁇ pe 20 of FIG. 4B abuts the connector 27 preferably with its front end at the front end of he ⁇ inventive contacting device 4, 4 ⁇ ' , 4 2 ' , 4 '' and 4 ''' to.
  • the completed with the connector 27 high frequency ⁇ cable 7 ' is directly to a high-frequency meter or to an interconnected circuit board, example ⁇ a sample card (German: measuring adapter assembly), or to an interposed adapter or Adapterbaugrup ⁇ pe passed.
  • the diameter of the through hole 26 is enlarged on the output side over a certain length.
  • the connector 27, the end of a further high-frequency cable 7 'is attached may also be a with an assembly 20', preferably with a circuit board 20 ', verbun ⁇ Dener connector 29 (so-called Porterplattensteckver ⁇ binder) as further undern reference to the Figures 5A and 5B is presented, serving as the coupling element
  • Through hole 26 of the assembly 20 may be plugged.
  • each contact pin 3 and each contacting device 4, 4i ' , 4 2 ' , 4 '' and 4 '''of the test socket 1, 1 ' , 1 '' and 1 ' according to the invention is not analogous to the second variant of an external high-frequency connection contacted state ⁇ identical.
  • the web 16 is the outer one Sleeve 13 is not attached to the front end of the Kunststoffssensvor- direction 4, 4 ⁇ ' , 4 2 ' , 4 '' and 4 ''' , but is by a certain distance in the direction of the contact elements 5, 5i, 5 2 , 5 ' , 5 '' , 6, 6i, 6 2 , 6 3 , 6 4 , 6 5 , 6 6 , 6 7 , 6 8 , 6 9 and 6 i0 staggered.
  • the area between the web 16 and the front end of the outer sleeve 13 is provided as a Kopp ⁇ development element for receiving a plug connector 29 being shaped and dimensioned ⁇ .
  • the coupling element formed at the front end of the outer sleeve 13 is dimensioned such that a plug connector 29, which is fastened on an opposite surface 30 of an assembly 20 ' , preferably a printed circuit board 20 ' , in the inserted state according to FIG from the contacting device according to the invention 4, 4i ' , 4 2 ' , 4 '' and 4 ''' out high-frequency cable 7 inside and outside conductor safely mechanically and electrically connected is connected.
  • the connector 29 pushes in the plugged ⁇ th state preferably on the web 16 of the outer sleeve of he ⁇ inventive contacting device 4, 4 ⁇ ' , 4 2 ' , 4 '' and 4 ' .
  • the connector 29 is electrically and mechanically connected on the inside and outside conductors with corresponding contact surfaces of a high-frequency connection, which are applied to the surface 30 of the assembly 20 ' .
  • connector 29 can also at a further high-frequency cable 7' mounted Termina ⁇ 27, as is above-illustrated in the figures 4A and 4B, in the formed as a coupling element front end of the invention Contacting device 4, 4i ' , 4 2 ' , 4 '' and 4 '''are plugged.
  • a first method step S10 the spring element 14, the inner sleeve 9 in the outer sleeve 13 of the contacting tion device 4, 4 ⁇ ' , 4 2 ' , 4 '' and 4 ''' inserted.
  • the high-frequency cable 7 is inserted through the second passage 17 in the web 16 of the contacting device 4, 4 ⁇ ' , 4 2 ' , 4 '' and 4 ''' associated outer sleeve 13 in the inner region of the inner sleeve 9.
  • the outer conductor 10 of the high-frequency cable 7 is connected to the inner sleeve 9 either with a cohesive connection method, for example by means of soldering, or with a positive and / or non-positive connection method, for example with ⁇ means crimping.
  • the inner conductor contact side contact element 5 is connected to the inner conductor 8 of the high ⁇ frequency cable 7 or the two inner conductor contact side contact elements 5i and 5 2 with the associated inner conductors 8i and 8 2 of the high-frequency cable 7 with a suitable conne ⁇ tion method.
  • the inner conductor 8 of the high-frequency cable 7 is used for this purpose led out stirnseiti ⁇ towards the end of the high-frequency cable 7 and with egg ⁇ nem cohesive connection methods, for example by soldering, or with a positive and / or frictional connection method, for example by interference fit, with the inner-conductor-contact-side contact member 5 and 5i and 5 2 for the realization of a safe connected electrical contact.
  • the inner conductor 8 of the high-frequency cable 7 is for this purpose the inner conductor 8 of the high-frequency cable 7 also opposite the st irnseit igen end of the high-frequency cable 7
  • Lockge ⁇ leads and with a material connection method, for example by means of soldering, or with a positive and / or non-positive connection method, for example by means of interference fit, with the inner conductor contact since iges Maisele ⁇ ment 5 or 5i and 5 2 connected to the realization of a secure electrical contact.
  • the front end of the Hochfrequenzka ⁇ lever 7 is heated over a certain period of time.
  • the inner conductor 8 of the Hochfrequenzka ⁇ lever 8 with the attached inner conductor contact since igen contact element 5 '' pushed back into the high-frequency cable 7 ⁇ until only a certain portion of the inner ⁇ conductor contact shall igen contact element 5 '' from the stirnsei ⁇ end of the high-frequency cable 7 protrudes.
  • the heating simplifies the shifting and foams the insulating material of the dielectric insulator 11 and penetrates into the originally empty intermediate space within the grooves 23 of the inner conductor contact since contact element 5 ' . Are the spaces filled with insulation material completeness, ⁇ dig within the grooves 23, the heating process can be adjusted.
  • the inner conductor contact is permanently fixed in the high-frequency cable 7 since contact element 5 " .
  • step S30 the individual outer conductor contact side contact elements 6, 6i, 6 2 , 6 3 , 6 4 , 6 5 , 6 e, 6 7 , 6s, 6 9 and 6 10 with the inner sleeve 9 of he ⁇ inventive Contact techniksvorraum 4, 4 ⁇ ' , 4 '' and 4 ' either cohesively, for example by means of soldering, or positive or non-positive, for example by means
  • An inventivemaschine istsvor ⁇ direction 4, 4i ' , 4 '' and 4 ''' is made in a suitable dimensioned ⁇ bore within the associated test socket according to the invention 1, 1 ' , 1 '' and] _ ''', for example by means

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Abstract

Die vorliegende Erfindung betrifft einen Testsockel mit mehreren Kontaktelementen zur Kontaktierung von jeweils einem elektrischen Signal oder einem elektrischen Potential und mit mindestens einer Kontaktierungsvorrichtung zur Kontaktierung von jeweils einem Hochfrequenzsignal. Die mehreren Kontaktelemente sind jeweils in einem ersten Raster angeordnet. Innerhalb des ersten Rasters sind durch jede Kontaktierungsvorrichtung jeweils mindestens ein benachbartes Kontaktelement in jeder der beiden zueinander orthogonalen Anordnungsrichtungen des ersten Rasters ersetzt. Jede Kontaktierungsvorrichtung verläuft entlang der axialen Erstreckung der Kontaktelemente parallel zu den Kontaktelementen. Die mindestens eine Kontaktierungsvorrichtung (4; 41'; 42'; 4' '; 4' ' ') ist jeweils unterschiedlich zu jedem Kontaktelement (3).

Description

Testsockel und Kontaktierungsvorrichtung zur Kontaktie- rung eines Hochfrequenzsignals
GEBIET DER ERFINDUNG
Die vorliegende Erfindung betrifft einen Testsockel mit mehreren Kontaktelementen zur Kontaktierung von jeweils einem elektrischen Signal oder von jeweils einem
elektrischen Potential und mindestens einer Kontaktie- rungsvorrichtung zur Kontaktierung von jeweils einem
Hochfrequenzsignal .
TECHNISCHER HINTERGRUND Zur Prüfung einer integrierten Schaltung, die mehrere in ei¬ nem Raster jeweils angeordnete Kontaktflächen aufweist, ist ein Testsockel mit mehreren im selben Raster angeordneten Kontaktelementen erforderlich. Bei den Kontaktelementen han¬ delt es sich um Durchkontaktierungselemente, d.h. um Kontak- telemente, die sich von der Kontaktebene mit den Kontaktflä¬ chen der zu prüfenden integrierten Schaltung über die zur Kontaktebene benachbarte Fläche des Testsockels bis zur ge¬ genüberliegende Fläche des Testsockels bzw. über die gegen¬ überliegende Fläche des Testsockels hinaus erstrecken. Die Kontaktelemente sind insbesondere stiftförmige Kontaktele¬ mente, d.h. Kontaktstifte . Anstelle einer integrierten
Schaltung ist auch eine Leiterplatte mit Elektronik oder je¬ de andere Ausprägung einer elektronischen Baugruppe mit elektronischen Kontaktflächen mit abgedeckt. Die integrierte Schaltung wird typischerweise in den Testsockel eingefügt, so dass ein Kontaktierungsende von jeweils einem Kontaktele¬ ment sicher eine zugehörige Kontaktfläche der integrierten Schaltung elektrisch kontaktiert. Das andere Ende jedes Kon¬ taktelementes ist jeweils über ein sogenanntes Loadboard (deutsch: Lade-Platte) mit einem Messgerät verbunden. Ist an den einzelnen Kontaktflächen der zu prüfenden inte¬ grierten Schaltung lediglich jeweils ein Gleichspannungs¬ oder Niederfrequenzsignal zu messen, so ist für die Kontak- tierung lediglich in der Regel ein Kontaktstift ausreichend. Sind dagegen Hochfrequenzsignale an den einzelnen Kontakt¬ flächen der integrierten Schaltung zu messen, so ist eine Kontaktierung erforderlich, die an die Hochfrequenzphysik des zu messenden Hochfrequenzsignals angepasst ist.
Aus der US 7,173,442 B2 ist eine Testvorrichtung zum Testen von integrierten Schaltungen bekannt, mit der an einzelnen Kontaktflächen der integrierten Schaltung parallel Gleich- spannungs- bzw. Niederfrequenzsignale und Hochfrequenzsigna- le kontaktiert werden können. Für die Kontaktierung der
Hochfrequenzsignale wird jeweils eine koplanare Streifenlei¬ tung benutzt. Die koplanare Streifenleitung verläuft in ei¬ ner parallelen Ebene zur Kontaktebene der zu prüfenden inte¬ grierten Schaltung. Da eine koplanare Streifenleitung eine gewisse Ausdehnung in der Ebene aufweist, die typischerweise größer als der Rasterabstand der einzelnen Kontaktflächen ist, können mit einer derartigen koplanaren Streifenleitung nachteilig lediglich Hochfrequenzsignale an den Rändern des Rasters kontaktiert werden.
Dies ist ein Zustand, den es zu verbessern gilt.
ZUSAMMENFASSUNG DER ERFINDUNG Vor diesem Hintergrund liegt der vorliegenden Erfindung die Aufgabe zugrunde, einen Testsockel anzugeben, mit dem nicht nur Gleichspannungs- bzw. Niederfrequenzsignale sondern auch Hochfrequenzsignale an jeder beliebigen Kontaktfläche der zu prüfenden integrierten Schaltung kontaktiert werden können. Erfindungsgemäß wird diese Aufgabe durch einen Testsockel mit den Merkmalen des Patentanspruchs 1, durch eine Kontak- tierungsvorrichtung mit den Merkmalen des Patentanspruchs 18 und durch ein Verfahren zum Herstellen einer Kontaktierungs- Vorrichtung mit den Merkmalen des Patentanspruches 29 ge¬ löst .
Demgemäß ist vorgesehen: - Einen Testsockel mit mehreren Kontaktelementen zur Kon- taktierung von jeweils einem elektrischen Signal oder von jeweils einem elektrischen Potential und mit mindes¬ tens einer Kontaktierungsvorrichtung zur Kontaktierung von jeweils einem Hochfrequenzsignal, wobei die mehreren Kontaktelemente jeweils in einem ersten Raster angeord¬ net sind und innerhalb des ersten Rasters durch jede Kontaktierungsvorrichtung jeweils mindestens ein benach¬ bartes Kontaktelement in jeder der beiden zueinander or¬ thogonalen Anordnungsrichtungen des ersten Rasters er- setzt ist, wobei jede Kontaktierungsvorrichtung entlang der axialen Erstreckung der Kontaktelemente parallel zu den Kontaktelementen verläuft, wobei die mindestens eine Kontaktierungsvorrichtung jeweils unterschiedlich zu je¬ dem Kontaktelement ist,
- eine Kontaktierungsvorrichtung zur Kontaktierung von je¬ weils einem Hochfrequenzsignal mit einer äußeren Hülse, einer in der äußeren Hülse in axialer Richtung geführten inneren Hülse, einer Feder, die zwischen der inneren Hülse und einem an der äußeren Hülse radial nach innen gerichteten Steg positioniert ist, einem mit der
elektrisch leitenden inneren Hülse verbundenen Außenlei¬ ter eines Hochfrequenzkabels, einem mit einem Innenlei¬ ter des Hochfrequenzkabels verbundenen innenleiterkon- taktseitig angeordneten Kontaktelement und mindestens einem mit der inneren Hülse verbundenen außenleiterkon- taktseitig angeordneten Kontaktelement und
- ein Verfahren zur Herstellung einer Kontaktierungsvor- richtung zur Kontaktierung von jeweils einem Hochfre¬ quenzsignal mit folgenden Verfahrensschritten: Einfügen einer Feder und einer inneren Hülse der Kontaktierungs- vorrichtung, die mit einem Außenleiter eines Hochfre¬ quenzkabels verbunden ist, in eine äußere Hülse der Kon- taktierungsvorrichtung; Verbinden eines innenleiterkon- taktseitig angeordneten Kontaktelements mit einem Innen¬ leiter des Hochfrequenzkabels; Verbinden von mindestens einem außenleiterkontaktseitig angeordneten Kontaktele¬ ments mit einer inneren Hülse der Kontaktierungsvorrich- tung und Ausformen einer zur Kontaktebene gerichteten axialen Begrenzung der äußeren Hülse der Kontaktierungs¬ vorrichtung .
Die der vorliegenden Erfindung zugrunde liegende Erkennt- nis/Idee besteht darin, für die Kontaktierung eines Hochfre¬ quenzsignals eine Kontaktierungsvorrichtung vorzusehen, die parallel zur axialen Erstreckung der einzelnen in einem Ras¬ ter angeordneten Kontaktelemente angeordnet ist, mit denen jeweils bevorzugt ein Gleichspannungs- oder Niederfrequenz- signal kontaktiert wird. Auf diese Weise kann ein Hochfre¬ quenzsignal nicht nur an den Rändern des Rasters, sondern auch im Innern des Rasters kontaktiert werden. Für die Kon- taktierung des Hochfrequenzsignals ist somit abhängig vom realisierten Miniaturisierungsgrad der Kontaktierungsvor- richtung nur eine bestimmte Anzahl von benachbarten Kontak¬ telementen zu ersetzen. Zusätzliche Kontaktelemente, die sich zwischen dem eigentlichen Kontaktierungsbereich des Hochfrequenzsignals innerhalb des Rasters und dem nächst ge¬ legenen Rand des Rasters befinden, müssen somit in Abgren- zung zu einer zur Kontaktebene parallel verlaufenden Anord- nung der Kontaktierungsvorrichtung vorteilhaft nicht ersetzt und damit geopfert werden.
Die Anzahl der benachbarten Kontaktelemente, die durch eine Kontaktierungsvorrichtung innerhalb des Rasters, das im Folgenden als erstes Raster bezeichnet wird, er¬ setzt wird, ergibt sich in Abhängigkeit des realisierten Miniaturisierungsgrades und der Art der Kontaktierung, beispielsweise koaxiale Kontaktierung oder differentiel- le bzw. Twinax-Kontaktierung .
Vorteilhafte Ausgestaltungen und Weiterbildungen ergeben sich aus den weiteren Unteransprüchen sowie aus der Be¬ schreibung unter Bezugnahme auf die Figuren der Zeichnung.
Es versteht sich, dass die voranstehend genannten und die nachstehend noch zu erläuternden Merkmale nicht nur in der jeweils angegebenen Kombination, sondern auch in anderen Kombinationen oder in Alleinstellung verwendbar sind, ohne den Rahmen der vorliegenden Erfindung zu verlassen.
Für den Fall eines unsymmetrischen Hochfrequenzsignals (eng¬ lisch: single-ended signal) ist die erfindungsgemäße Kontak- tierungsvorrichtung koaxial ausgeführt und weist somit im Hinblick auf ein minimiertes Volumen eine hülsenförmige Form auf. Diese hülsenförmige Kontaktierungsvorrichtung weist ei¬ ne äußere Hülse auf, die im Kontaktierungsbereich des zu kontaktierenden Hochfrequenzsignals im erfindungsgemäßen Testsockel fixiert ist. In der äußeren Hülse ist in axialer Richtung eine innere Hülse geführt. Zwischen der inneren
Hülse und einem radial nach innen gerichteten Steg der äuße¬ ren Hülse ist eine Feder positioniert, die die innere Hülse in der äußeren Hülse in axialer Richtung elastisch lagert. Die erfindungsgemäße Kontaktierungsvorrichtung ist somit derart ausgeführt, dass sie aus dem erfindungsgemäßen Test¬ sockel austauschbar ist. Die innere Hülse ist über die äußere Hülse hinaus durch eine erste Durchführung axial bewegbar, die in einer zur prüfen¬ den integrierten Schaltung gerichteten Stirnfläche der äuße¬ ren Hülse angeordnet ist. Die Bewegung der inneren Hülse ist in Richtung der zu prüfenden integrierten Schaltung durch das Zusammenspiel eines radial nach außen gerichteten Steges der inneren Hülse und einer radial nach innen gerichteten Begrenzung der äußeren Hülse limitiert, die die erste Durch¬ führung begrenzt. Ein Außenleiter eines mit der Kontaktierungsvorrichtung ver¬ bundenen Hochfrequenzkabels ist mit der inneren Hülse elektrisch und mechanisch verbunden. Jeweils mindestens ein Innenleiter des Hochfrequenzkabels ist mit einem zugehörigen innenleiterkontaktseitig angeordneten Kontaktelement der er- findungsgemäßen Kontaktierungsvorrichtung verbunden. Mindes¬ tens ein außenleiterkontaktseitig angeordnetes Kontaktele¬ ment ist mit der elektrisch leitenden inneren Hülse verbun¬ den. Unter innenleiterkontaktseitiges und außenleiterkon- taktseitiges Kontaktelement wird hierbei und im Folgenden ein Kontaktelement verstanden, das in Richtung der Kontak- tierung mit der zugehörigen Innenleiterkontaktfläche bzw. der zugehörigen Außenleiterkontaktfläche des zu erfassenden Hochfrequenzsignals auf der integrierten Schaltung orien¬ tiert ist.
Auf diese Weise ist eine Kontaktierungsvorrichtung reali¬ siert, die an einer zu prüfenden integrierten Schaltung die zu einem zu messenden Hochfrequenzsignal gehörenden Innen¬ leiter- und Außenleiterkontaktflächen kontaktiert und die zugehörigen Innenleiter- und Außenleiterpotenziale einem ab- gehenden Hochfrequenzkabel zuführt. Die elastische Führung der inneren Hülse in der äußeren Hülse der Kontaktierungs- vorrichtung ermöglicht einen veränderlichen Abstand zwischen den Innenleiter- bzw. Außenleiterkontaktflächen des auf der integrierten Schaltung zu messenden Hochfrequenzsignals und der zugehörigen Kontaktierungsvorrichtung im Testsockel aus¬ zugleichen .
Da das Hochfrequenzkabel mit der in der äußeren Hülse elas- tisch geführten inneren Hülse verbunden ist, ist das Hoch¬ frequenzkabel entsprechend des jeweiligen Abstands der Kon¬ taktebene zur äußeren Hülse der Kontaktierungsvorrichtung innerhalb der äußeren Hülse beweglich gelagert und folgt so¬ mit der Bewegung der Kontaktebene. Unter Kontaktebene wird in diesem Zusammenhang die Ebene verstanden, in der die Kon- taktierung zwischen den innenleiter- und außenleiterkontakt- seitigen Kontaktelementen der Kontaktierungsvorrichtung und den Innenleiter- bzw. Außenleiterkontaktflächen des auf der integrierten Schaltung zu messenden Hochfrequenzsignals stattfindet.
Außerdem ist bei einer derartigen erfindungsgemäßen Ausfüh¬ rung der Kontaktierungsvorrichtung das Hochfrequenzkabel, insbesondere der Innenleiter des Hochfrequenzkabels, mög- liehst nahe an die Kontaktelemente und damit an die Kontakt¬ ebene herangeführt. Schließlich wird die Anzahl von Übergän¬ gen auf dem Hochfrequenzsignalpfad zwischen der zu prüfenden integrierten Schaltung und dem Hochfrequenzkabel minimiert und damit die Impedanzanpassung auf dem Hochfrequenzsignal- pfad verbessert.
Bevorzugt sind mehrere außenleiterkontaktseitige Kontaktele¬ mente vorgesehen, die elastisch ausgeführt sind. Auf diese Weise können Abstandsunterschiede zwischen einzelnen Flä- chenbereichen der zugehörigen Außenleiterkontaktfläche auf der integrierten Schaltung und den einzelnen außenleiterkon- taktseitigen Kontaktelementen ausgeglichen werden.
Die elastischen Kontaktelemente sind insbesondere als Kon- taktelemente mit Federarmen realisiert. Auf diese Weise las¬ sen sich elastische Kontaktelemente mit einer sehr geringen Ausdehnung und damit eine Kontaktierungsvorrichtung zur Kon- taktierung eines Hochfrequenzsignals in einer miniaturisier¬ ten Ausführung realisieren. Als Fertigungstechnologie für derartige Kontaktelemente mit Federarm bietet sich bei¬ spielsweise der sogenannte Lithographie-Galvanik- Abformung (LIGA) -Prozess an.
Falls mehrere außenleiterkontaktseitige Kontaktelemente vor- gesehen sind, sind diese in einer bevorzugten Ausführungs¬ form im selben Raster wie die Kontaktelemente, d.h. im ers¬ ten Raster, im erfindungsgemäßen Testsockel angeordnet. Die einzelnen Kontaktelemente zur Kontaktierung von jeweils ei¬ nem elektrischen Signal oder von jeweils einem elektrischen Potential sind bevorzugt ebenfalls als elastische Federkon¬ taktstifte realisiert.
Das innenleiterkontaktseitige Kontaktelement ist in einer ersten Ausführungsform der erfindungsgemäßen Kontaktierungs- Vorrichtung als elastisches Kontaktelement, insbesondere als Kontaktelement mit Federarm, ausgeführt. In einer zweiten Ausführungsform der erfindungsgemäßen Kontaktierungsvorrich¬ tung ist das innenleiterkontaktseitige Kontaktelement als starres Kontaktelement realisiert. Abstandsunterschiede zwi- sehen der Innenleiterkontaktfläche und der Außenleiterkon- taktfläche des zu messenden Hochfrequenzsignals auf der in¬ tegrierten Schaltung und den innenleiter- bzw. außenleiter¬ kontaktseitigen Kontaktelementen werden durch das Zusammen¬ spiel der Elastizität der innerhalb der äußeren Hülse ange- ordneten Feder und der Elastizität der außenleiterkontakt- seitigen elastischen Federelementen ausgeglichen.
Eine dritte Ausführungsform einer erfindungsgemäßen Kontak- tierungsvorrichtung ist durch ein einziges außenleiterkon- taktseitiges Kontaktelement verwirklicht, das in Kontaktie- rungsrichtung eine zylindrische Innenbohrung und eine Elas¬ tizität aufweist. Bevorzugt ist das einzige außenleiterkon- taktseitige Kontaktelement in Kontaktierungsrichtung ring- förmig ausgeformt.
In einer vierten Ausführungsform einer erfindungsgemäßen Kontaktierungsvorrichtung weist die erfindungsgemäße Kontak- tierungsvorrichtung zwei innenleiterkontaktseitige Kontakte- lemente zur Erfassung eines differentiellen Hochfrequenzsig¬ nal auf der zu prüfenden integrierten Schaltung auf. Diese beiden innenleiterkontaktseitigen Kontaktelemente sind mit jeweils einem zugehörigen Innenleiter des Hochfrequenzkabels verbunden (sogenanntes Twinax-Hochfrequenzkabel oder diffe- rentielles Hochfrequenzkabel) .
Im Hinblick auf eine möglichst gute Miniaturisierung der Kontaktierungsvorrichtung ist das Hochfrequenzkabel als so¬ genanntes Mikro-Koaxialkabel , d.h. als Koaxialkabel mit ei- nem im Vergleich zu herkömmlichen Koaxialkabeln deutlich ge¬ ringeren Außendurchmesser, realisiert. Somit lassen sich die Durchmesser der inneren und äußeren Hülse der Kontaktie- rungsvorrichtung und damit die radiale Ausdehnung der Kon¬ taktierungsvorrichtung deutlich minimieren. Der Platzbedarf im erfindungsgemäßen Testsockel für eine derart miniaturi¬ sierte Kontaktierungsvorrichtung, d.h. die Anzahl von be¬ nachbarten Kontaktstiften, die durch die miniaturisierte er¬ findungsgemäße Kontaktierungsvorrichtung zu ersetzen sind, ist damit vorteilhaft minimiert. In einer ersten Variante eines externen Hochfrequenzan¬ schlusses für die erfindungsgemäße Kontaktierungsvorrichtung wird das Hochfrequenzkabel über eine zweite Durchführung in der äußeren Hülse aus der Kontaktierungsvorrichtung hinaus- geführt und direkt oder indirekt mit einem Hochfrequenzmess¬ gerät verbunden. Diese zweite Durchführung ist bevorzugt an der der Kontaktebene entgegengesetzten Stirnfläche der Kon¬ taktierungsvorrichtung, d.h. an der zur prüfenden integrier¬ ten Schaltung abgewandten Seite, vorgesehen und durch den an der äußeren Hülse vorgesehenen und radial nach innen gerich¬ teten Steg begrenzt.
In einer zweiten Variante eines externen Hochfrequenzan¬ schlusses für die erfindungsgemäße Kontaktierungsvorrichtung ist die erfindungsgemäße Kontaktierungsvorrichtung an ihrem der Kontaktebene entgegengesetzten Ende als Kopplungseinheit zur Aufnahme eines Steckverbinders ausgeformt. Dieser Steck¬ verbinder kann an einem Ende eines weiteren Hochfrequenzka¬ bels, das direkt oder indirekt mit einem Hochfrequenzmessge- rät verbunden ist, befestigt sein. Alternativ kann dieser Steckverbinder auch an einer Baugruppe, bevorzugt an einer Leiterplatte, befestigt sein, die die einzelnen Kontaktele¬ mente und die einzelnen erfindungsgemäßen Kontaktierungsvor- richtungen des erfindungsgemäßen Testsockels kontaktiert. Zwischen der Feder und der Kopplungseinheit der Kontaktie- rungsvorrichtung befindet sich hierzu ein radial nach innen gerichteter Steg der äußeren Hülse, der eine zweite
Durchführung für das Hochfrequenzkabel bildet. Das Hochfre¬ quenzkabel erstreckt sich innerhalb der Kopplungseinheit über einen Bruchteil der Längserstreckung der Kopplungsein¬ heit .
In einer dritten Variante eines externen Hochfrequenzan¬ schlusses für die erfindungsgemäße Kontaktierungsvorrichtung erfolgt die Kontaktierung zwischen dem in der erfindungsge- mäßen Kontaktierungsvorrichtung geführten Hochfrequenzkabel und einem Steckverbinder außerhalb der erfindungsgemäßen Kontaktierungsvorrichtung . Hierzu ist in dem erfindungsgemä¬ ßen Testsockel eine Baugruppe, bevorzugt eine Leiterplatte, zur Kontaktierung der einzelnen Kontaktelemente und der ein¬ zelnen erfindungsgemäßen Kontaktierungsvorrichtungen inte¬ griert. Innerhalb dieser Baugruppe ist fluchtend zur
Längserstreckung der erfindungsgemäßen Kontaktierungsvor¬ richtung eine als Kopplungseinheit für den Steckverbinder dienende Durchgangsbohrung vorgesehen. Das in der erfin¬ dungsgemäßen Kontaktierungsvorrichtung geführte Hochfre¬ quenzkabel ist über einen als Durchführung dienenden und ra¬ dial nach innen gerichteten Steg der äußeren Hülse am stirn¬ seitigen Ende der erfindungsgemäßen Kontaktierungsvorrich¬ tung in die zugehörige Durchgangsbohrung der Baugruppe ge¬ führt und erstreckt sich über einen Bruchteil der Längser¬ streckung der Bohrung.
In einer ersten Untervariante der erfindungsgemäßen Kontak- tierungsvorrichtung ragt der Innenleiter des Hochfrequenzka¬ bels über das stirnseitige Ende des Hochfrequenzkabels hin¬ aus und ist form- oder kraftschlüssig mit dem elastischen oder starren innenleiterkontaktseitigen Kontaktelement ver¬ bunden .
In einer zweiten Untervariante der erfindungsgemäßen Kontak- tierungsvorrichtung ist am stirnseitigen Ende des Hochfre¬ quenzkabels der Innenleiter des Hochfrequenzkabels gegenüber dem Isolator des Hochfrequenzkabels axial verkürzt. Das in¬ nenleiterkontaktseitige Kontaktelement ist hierbei fest mit dem Isolator des Hochfrequenzkabels fixiert und zusammen mit dem Innenleiter soweit in das Hochfrequenzkabel hineinge¬ schoben, dass lediglich ein oberer Abschnitt des innen¬ leiterkontaktseitigen Kontaktelements aus dem Hochfrequenz¬ kabel herausragt. Zur Fixierung des innenleiterkontaktseiti- gen Kontaktelements im Isolator des Hochfrequenzkabel weist das innenleiterkontaktseitig Kontaktelement mindestens eine radial nach innen gerichtete Nut, bevorzugt mehrere radial nach innen gerichtete Nuten, auf. Diese Nuten bilden zusam¬ men mit dem bei der Herstellung thermisch aufgeschäumten Isolator-Material, die in die Nuten gelangen, eine axiale Verbindung .
Zur Herstellung einer derartigen erfindungsgemäßen Kontak- tierungsvorrichtung werden die Feder und die innere Hülse in die äußere Hülse eingefügt. Ein Hochfrequenzkabel wird über eine Durchführung in der äußeren Hülse in die innere Hülse eingefügt und der Außenleiter des Hochfrequenzkabels mit der inneren Hülse verbunden. Anschließend werden das mindestens eine innenleiterkontaktseitige Kontaktelement mit dem zuge¬ hörigen Innenleiter des Hochfrequenzkabels und das mindes¬ tens eine außenleiterkontaktseitige Kontaktelement mit der inneren Hülse verbunden. Abschließend wird eine zur Kontakt¬ ebene gerichtete axiale Begrenzung der äußeren Hülse ausge¬ formt .
Bei der ersten Untervariante der erfindungsgemäßen Kontak- tierungsvorrichtung wird der Innenleiter des Hochfrequenzka¬ bels am stirnseitigen Ende des Hochfrequenzkabels axial aus dem Hochfrequenzkabel hinausgeschoben, bevor der Innenleiter mit dem innenleiterkontaktseitigen Kontaktelement verbunden wird .
Bei der zweiten Untervariante der erfindungsgemäßen Kontak- tierungsvorrichtung wird der mit dem innenleiterkontaktsei¬ figen Kontaktelement verbundene Innenleiter unter Erwärmung des stirnseitigen Endes des Hochfrequenzkabels wieder in das Hochfrequenzkabel hineingeschoben, bis nur noch die Spitze des innenleiterkontaktseitigen Kontaktelements aus dem stirnseitigen Ende des Hochfrequenzkabels herausragt. Die Erwärmung dient zum einfacheren Einfügen des mit dem innen- leiterkontaktseitigen Kontaktelement verbundenen Innenleiter in das Hochfrequenzkabel und zum Aufschäumen des Isolator- Materials des Hochfrequenzkabels. Das aufgeschäumte Isola- tor-Material dringt in die im innenleiterkontaktseitigen
Kontaktelement vorgesehenen Nuten und fixiert somit das in¬ nenleiterkontaktseitige Kontaktelement im Hochfrequenzkabel. Nach einer Abkühlungsphase liegt eine axial fixierte Verbin¬ dung zwischen dem innenleiterkontaktseitigen Kontaktelement und dem Isolator am stirnseitigen Ende des Hochfrequenzsig¬ nals vor.
In einer bevorzugten Erweiterung des erfindungsgemäßen Test¬ sockels ist im Testsockel eine Baugruppe integriert, die mit denjenigen Kontaktenden der Kontaktelemente verbunden ist, die sich an der zur prüfenden integrierten Schaltung abge¬ wandten Seite befinden. Zur Kontaktierung mit den Kontakten¬ den der Kontaktelemente weist diese Baugruppe zugehörige erste Kontaktstellen auf, die im selben Rasterabstand wie das erste Raster der einzelnen Kontaktelemente angeordnet sind. Innerhalb der Baugruppe erfolgt eine Umsetzung dieser ersten Kontaktstellen in zugehörige zweite Kontaktstellen, die in einem zweiten Raster mit einem Rasterabstand angeord¬ net sind, der größer als der Rasterabstand des ersten Ras- ters ist. Auf diese Weise lassen sich die durch die einzel¬ nen Kontaktelemente jeweils kontaktierten Gleichspannungs¬ bzw. Niederfrequenzsignale an den zugehörigen zweiten Kon¬ taktstellen der Baugruppe leichter durch eine weitere Bau¬ gruppe, beispielsweise ein Loadboard, oder ein Bündel von Kabeln kontaktieren.
Typischerweise sind die zweiten Kontaktstellen gegenüber den ersten Kontaktstellen versetzt angeordnet, so dass das abge¬ hende Hochfrequenzkabel bzw. die abgehenden Hochfrequenzka- bei leichter unter Ausnutzung jeweils einer sehr raumfüllen¬ den Biegung parallel zum Testsockel abgeführt werden.
Die obigen Ausgestaltungen und Weiterbildungen lassen sich, sofern sinnvoll, beliebig miteinander kombinieren. Weitere mögliche Ausgestaltungen, Weiterbildungen und Implementie¬ rungen der Erfindung umfassen auch nicht explizit genannte Kombinationen von zuvor oder im Folgenden bezüglich der Aus¬ führungsbeispiele beschriebenen Merkmale der Erfindung. Ins- besondere wird dabei der Fachmann auch Einzelaspekte als
Verbesserungen oder Ergänzungen zu der jeweiligen Grundform der vorliegenden Erfindung hinzufügen.
INHALTSANGABE DER ZEICHNUNG
Die vorliegende Erfindung wird nachfolgend anhand der in den schematischen Figuren der Zeichnung angegebenen Ausführungs¬ beispiele näher erläutert. Es zeigen dabei: Fig. 1A eine dreidimensionale Darstellung eines erfin¬ dungsgemäßen Testsockels mit einer ersten Ausfüh¬ rungsform einer erfindungsgemäßen Kontaktierungs- vorrichtung für jeweils ein Hochfrequenzsignal, Fig. 1B eine dreidimensionale Darstellung eines erfin¬ dungsgemäßen Testsockels mit einer zweiten Ausfüh¬ rungsform einer erfindungsgemäßen Kontaktierungs- vorrichtung für jeweils ein Hochfrequenzsignal, Fig. IC eine dreidimensionale Darstellung eines erfin¬ dungsgemäßen Testsockels mit einer dritten Ausfüh¬ rungsform einer erfindungsgemäßen Kontaktierungs- vorrichtung für jeweils ein Hochfrequenzsignal, Fig. 1D eine dreidimensionale Darstellung eines erfin¬ dungsgemäßen Testsockels mit einer vierten Ausfüh¬ rungsform einer erfindungsgemäßen Kontaktierungs- vorrichtung für jeweils ein Hochfrequenzsignal,
Fig. 2A eine Querschnittsdarstellung einer ersten Ausfüh¬ rungsform einer erfindungsgemäßen Kontaktierungs- vorrichtung für jeweils ein Hochfrequenzsignal in einem erfindungsgemäßen Testsockel,
Fig. 2B eine Querschnittsdarstellung einer ersten Unterva¬ riante einer zweiten Ausführungsform eines Kontak- tierungsvorrichtung für ein differentielles Hoch¬ frequenzsignal in einem erfindungsgemäßen Testso- ekel,
Fig. 2C eine Querschnittsdarstellung einer zweiten Unter¬ variante einer zweiten Ausführungsform eines Kon¬ taktierungsvorrichtung für ein Hochfrequenzsignal in einem erfindungsgemäßen Testsockel,
Fig. 2D eine Querschnittsdarstellung einer dritten Ausfüh¬ rungsform einer erfindungsgemäßen Kontaktierungs¬ vorrichtung für ein Hochfrequenzsignal in einem erfindungsgemäßen Testsockel,
Fig. 2E eine Querschnittsdarstellung einer vierten Ausfüh¬ rungsform einer erfindungsgemäßen Kontaktierungs¬ vorrichtung für ein Hochfrequenzsignal in einem erfindungsgemäßen Testsockel,
Fig. 3 eine Querschnittsdarstellung eines erfindungsgemä¬ ßen Testsockels mit einer ersten Variante des ex¬ ternen Hochfrequenzanschlusses an der erfindungs- gemäßen Kontaktierungsvorrichtung, Fig. 4A eine Querschnittsdarstellung eines erfindungsgemä¬ ßen Testsockels mit einer zweiten Variante des ex¬ ternen Hochfrequenzanschlusses im nicht gesteckten Zustand an der erfindungsgemäßen Kontaktierungs- vorrichtung, eine Querschnittsdarstellung eines erfindungsgemä¬ ßen Testsockels mit einer zweiten Variante des ex¬ ternen Hochfrequenzanschlusses im gesteckten Zu¬ stand an der erfindungsgemäßen Kontaktierungsvor- richtung, eine Querschnittsdarstellung eines erfindungsgemä¬ ßen Testsockels mit einer dritten Variante des ex¬ ternen Hochfrequenzanschlusses im nicht gesteckten Zustand an der erfindungsgemäßen Kontaktierungs- vorrichtung, Fig. 5B eine Querschnittsdarstellung eines erfindungsgemä¬ ßen Testsockels mit einer dritten Variante des ex¬ ternen Hochfrequenzanschlusses im gesteckten Zu¬ stand an der erfindungsgemäßen Kontaktierungsvor- richtung und
Fig. 6 ein Flussdiagramm eines erfindungsgemäßen Verfah¬ rens zur Herstellung einer erfindungsgemäßen Kon¬ taktierungsVorrichtung .
Die beiliegenden Figuren der Zeichnung sollen ein weiteres Verständnis der Ausführungsformen der Erfindung vermitteln. Sie veranschaulichen Ausführungsformen und dienen im Zusam¬ menhang mit der Beschreibung der Erklärung von Prinzipien und Konzepten der Erfindung. Andere Ausführungsformen und viele der genannten Vorteile ergeben sich im Hinblick auf die Zeichnungen. Die Elemente der Zeichnungen sind nicht notwendigerweise maßstabsgetreu zueinander gezeigt.
In den Figuren der Zeichnung sind gleiche, funktionsgleiche und gleich wirkende Elemente, Merkmale und Komponenten - so¬ fern nichts anderes ausgeführt ist - jeweils mit denselben Bezugszeichen versehen.
Im Folgenden werden die Figuren zusammenhängend und über- greifend beschrieben.
BESCHREIBUNG VON AUSFÜHRUNGSBEISPIELEN
Im Folgenden wird anhand von Fig. 1 eine erste Ausführungs- form eines erfindungsgemäßen Testsockels 1 mit einer ersten Ausführungsform einer erfindungsgemäßen Kontaktierungsvor- richtung 4 zur Kontaktierung eines Hochfrequenzsignals im Detail erläutert: Der erfindungsgemäße Testsockel 1 ist typischerweise als quaderförmiger Körper 2 aus Kunststoff ausgeführt, der meh¬ rere in einem bestimmten Raster angeordnete Durchgangsboh¬ rungen aufweist. In diesen Durchgangsbohrungen sind jeweils Kontaktelemente 3, bevorzugt Kontaktstifte 3, mechanisch fi- xiert angeordnet, die jeweils bevorzugt als Federkontakt¬ stifte ausgeführt sind, wie in der darauffolgenden Fig. 2 angedeutet ist. Zur Kontaktierung von jeweils einer elektri¬ schen Kontaktfläche auf einer zu prüfenden und in Fig. 1 nicht dargestellten integrierten Schaltung stehen die ein- zelnen Kontaktstifte 3 über eine Fläche des quaderförmigen Körpers 2 des erfindungsgemäßen Testsockels 1 hinaus. Zur Kontaktierung der einzelnen Kontaktstifte 3 mit weiteren Signalleitungen, die direkt oder indirekt mit dem Messgerät verbunden sind, sind die einzelnen Kontaktstifte 3 bis zur gegenüberliegenden Fläche des quaderförmigen Körpers 2 ge- führt oder stehen über diese gegenüberliegende Fläche hin¬ aus. Diese Kontaktstifte 3 erfassen jeweils ein Gleichspan- nungs- oder Niederfrequenzsignal an der zugehörigen zu kon¬ taktierenden elektrischen Kontaktfläche der integrierten Schaltung.
Innerhalb dieses Rasters von Kontaktstiften 3 ist eine be¬ stimmte Anzahl von jeweils zueinander benachbarten Kontakt¬ stiften 3 in jeder Anordnungsrichtung des Rasters durch je- weils eine erfindungsgemäße Kontaktlerungsvorrichtung 4 zur Kontaktierung von jeweils einem Hochfrequenzsignal an zuge¬ hörigen elektrischen Kontaktflächen der zu prüfenden inte¬ grierten Schaltung ersetzt. Hierbei ersetzt eine Kontaktlerungsvorrichtung 4 zur Kontak- tierung eines Hochfrequenzsignals jeweils mindestens einen Kontaktstift . Für die beiden in Fig. 1 beispielhaft darge¬ stellten Kontaktierungsvorrichtungen 4 werden jeweils 3*3=9 Kontaktstifte ersetzt. Bevorzugt sind die einzelnen Kontak- tierungsvorrichtungen 4 jeweils an allen ihren Rändern je¬ weils von Kontaktstiften 3 benachbart bzw. umschlossen. Al¬ ternativ können zwei oder mehr Kontaktierungsvorrichtungen 4 auch direkt ohne Zwischenschaltung von Kontaktstiften 3 zu¬ einander benachbart sein. Schließlich können Kontaktierungs- Vorrichtungen 4 an einem Rand oder an einer Ecke des Rasters von Kontaktstiften 3 positioniert sein und somit lediglich an drei Rändern bzw. an zwei Rändern jeweils vom Kontakt¬ stiften 3 benachbart bzw. umschlossen sein. Jede Kontaktlerungsvorrichtung 4 zur Kontaktierung eines
Hochfrequenzsignals weist jeweils ein Kontaktelement 5 zur Kontaktierung des hochfrequenten Innenleitersignals und min¬ destens ein Kontaktelement zur Kontaktierung des hochfre¬ quenten Außenleitersignals auf. In der in Fig. 1 dargestell- ten ersten Ausführungsform einer Kontaktlerungsvorrichtung 4 sind beispielsweise jeweils acht Kontaktelemente 61, 62, 63, 64, 65, 6δ, 67 und 6s zur Kontakt ierung des hochfrequenten Au- ßenleitersignals vorgesehen. Diese einzelnen Kontaktelemente 5, 61, 62, 63, 64, 65, 66, 67 und 63 sind in der ersten Ausführungsform der Kontakt ierungs- vorrichtung 4 und 4 jeweils als federnde Kontaktelemente zum Ausgleich von in Kontakt ierungsrichtung jeweils vorliegenden Toleranzen ausgeführt, die zwischen den zugehörigen Außen- leiterkontaktpunkten an der zu kontaktierenden elektrischen Kontakt fläche der integrierten Schaltung auftreten können. Aufgrund der geringen Ausmessungen der Kontaktelemente 61, 62, 63, 64, 65, 66, 67 und 68 sind diese jeweils als Mikrome- chanik-Bauteile mit Federarmen in beispielsweise LIGA- Technologie hergestellt.
In einer zweiten Ausführungsform eines erfindungsgemäßen Testsockels 1 ' mit einer zweiten Ausführungsform einer er¬ findungsgemäßen Kontakt ierungsvorrichtung 4 ' zur Kontaktie- rung eines Hochfrequenzsignals gemäß Fig. 1B sind lediglich die Kontaktelemente 61, 62, 63, 64, 65, 6e, 67 und 63 für den Außenleiterkontakt als federndes Kontaktelement ausgeführt, während das Kontaktelement 5 für den Innenleiterkontakt als starres Kontaktelement realisiert ist. In diesem Fall wird der Toleranzausgleich am Innenleiterkontakt durch das weiter unten noch beschriebene Federelement 14 sichergestellt.
In einer dritten Ausführungsform eines erfindungsgemäßen Testsockels 1 ' ' mit einer dritten Ausführungsform einer er- findungsgemäßen Kontakt ierungsvorrichtung 4 ' ' zur Kontaktie- rung eines Hochfrequenzsignals gemäß Fig. IC ist die Summe aller einzelnen federnden Kontaktelemente 61, 62, 63, 64, 65, 6δ, 67 und 63 zur Außenleiterkontakt ierung durch ein einziges in Kontakt ierungsrichtung federndes ringförmiges Kontaktele- ment 6 ersetzt. Dieses in Kontakt ierungsvorrichtung elasti- sehe ringförmige Kontaktelement 6 kann beispielsweise ein Wellring oder ein ringförmiges Bauteil aus einem Elastomer sein, in dem leitende Partikel in einer bestimmten Konzent¬ ration enthalten sind.
In einer vierten Ausführungsform eines erfindungsgemäßen Testsockels 1 ' mit einer vierten Ausführungsform einer er¬ findungsgemäßen Kontakt ierungsvorrichtung 4 ' zur Kontak- tierung eines differenziellen Hochfrequenzsignals gemäß Fig. 1D sind zwei federnde Kontaktelemente 5i und 52 zur Innen- leiterkontakt ierung des differenziellen Hochfrequenzsignals und in der Darstellung der Fig. 1D beispielsweise zehn fe¬ dernde Kontaktelemente 6i, 62, 63, 64, 65, 6e, 67, 6s, 69 und 610 zur Außenleiterkontakt ierung vorgesehen.
Die erste Ausführungsform einer erfindungsgemäßen Kontaktie- rungsvorrichtung 4 zur Kontakt ierung eines Hochfrequenzsig¬ nals und dessen elektrische und mechanische Verbindung zu einem Hochfrequenzkabel 7 werden im Folgenden anhand von Fig. 2 erläutert:
Das Kontaktelement 5 zur Innenleiterkontakt ierung ist direkt und unmittelbar mittels beispielsweise einer Presspassung mit dem Innenleiter 8 des Hochfrequenzkabels 7 verbunden. Der Innenleiter 8 ist hierzu aus dem Hochfrequenzkabel 7 herausgeführt und gegenüber dem st irnseit igen Ende des Hoch¬ frequenzkabels 7 überstehend angeordnet. Anstelle einer Presspassung ist auch eine Lötverbindung zwischen dem Innen¬ leiter 8 des Hochfrequenzkabels 7 und dem Kontaktelement 5 zur Innenleiterkontakt ierung möglich.
Sämtliche Kontaktelemente 6lr 62, 63, 64, 65, 66, 67 und 68 zur Außenleiterkontakt ierung sind direkt und unmittelbar mit ei¬ ner elektrisch leitenden inneren Hülse 9, in der das Hoch- frequenzkabel 7 geführt ist, jeweils über einen stirnseiti- gen Kontakt elektrisch und mechanisch verbunden. Bevorzugt erfolgt diese Verbindung zwischen den einzelnen Kontaktele¬ menten 61, 62, 63, 64, 65, 6e, 67 und 6s und der inneren Hülse 9 mittels einer Lötverbindung. Alternativ ist auch eine Schraubverbindung oder eine Steckverbindung mittels
Presspassung denkbar.
Der Außendurchmesser des Außenleiters 10 des Hochfrequenzka¬ bels 7 ist kleiner als der Innendurchmesser der inneren Hül- se 9, so dass das Hochfrequenzkabel 7 und die innere Hülse 9 einfach gefügt werden können. Als Verbindungstechnik zwi¬ schen dem Hochfrequenzkabel 7 und der inneren Hülse 9 kommen Stoffschlüssige Verbindungen, beispielsweise Löten, oder form- bzw. kraft schlüssige Verbindungen, beispielsweise Crimpen, in Frage. In Fig. 2A ist die Lötverbindung zwischen dem Außenleiter 10 des Hochfrequenzkabels 7 und der inneren Hülse 9 durch eine dicke Linie angedeutet. Damit ist eine sichere elektrische und mechanische Verbindung zwischen dem Außenleiter 10 des Hochfrequenzkabels 7 und den Kontaktele- menten 61, 62, 63, 64, 65, 66, 67 und 68 zur Außenleiterkontak- tierung über die innere Hülse 9 gewährleistet.
Da der Innenleiter-Kontakt ierungsbereich zwischen dem Kon¬ taktelement 5 zur Innenleiterkontakt ierung und dem Innenlei- ter 8 des Hochfrequenzkabels 7 eine gewisse axiale Erstre- ckung aufweist, ist die innere Hülse 9 gegenüber dem stirn¬ seitigen Ende des Hochfrequenzkabels 7 um diesen Kontaktie- rungsbereich verlängert. Um in diesem Verlängerungsbereich der inneren Hülse 9 die als Außenleiter wirkende innere Hülse 9 vom Innenleiter- Kontakt ierungsbereich zu isolieren, ist am st irnseit igen En¬ de des Hochfrequenzkabels 7 in Analogie zum dielektrischen Isolator 11 des Hochfrequenzkabels 7 ein dielektrisches Iso- lator-Element 12 zwischen der inneren Hülse 9 und dem Innen¬ leiter-Kontakt ierungsbereich vorgesehen .
Erst am st irnseit igen Ende dieser Verlängerung ist die inne- re Hülse 9 mit den einzelnen Kontaktelementen 6i, 62 , 63 , 64 , 65 , 6 δ , 6 7 und 6 s zur Außenleiterkontakt ierung elektrisch und mechanisch verbunden. Die Besonderheit bei dieser Ausführung besteht in der kürzest möglichen axialen Ausdehnung des die¬ lektrischen Isolator-Elements 12, wodurch das Hochfrequenz- kabel 7 so nahe wie möglich an die Kontaktebene 22 herange¬ führt wird und damit elektrische Störstellen erheblich mini¬ miert sind. Als Kontaktebene 22 wird hierbei der Übergang zwischen den einzelnen Kontaktelementen 5, 6 1 , 62 , 63 , 64 , 65 , 6e, 6 7 und 6 3 der Kontakt ierungsvorrichtung 4 und den zugehö- rigen zu kontaktierenden elektrischen Kontakt flächen der zu prüfenden integrierten Schaltung verstanden.
Die gesamte Kontakt ierungsvorrichtung 4 für ein Hochfre¬ quenzsignal weist in Analogie zu den Kontakt st iften 3 eben- falls eine Elastizität auf, um einerseits eine Federkraft auf die zu kontaktierenden elektrischen Kontakt flächen der integrierten Schaltung aufzubringen und andererseits zwi¬ schen den einzelnen elektrischen Kontakt flächen der inte¬ grierten Schaltung in Kontakt ierungsrichtung auftretende To- leranzen auszugleichen. Hierzu ist die innere Hülse 7 in ei¬ ner äußeren Hülse 13 federnd gelagert. Die federnde Lagerung der inneren Hülse 7 erfolgt durch ein Federelement 14, das innerhalb der äußeren Hülse 13 zwischen einem radial nach außen gerichteten Steg 15 am st irnseit igen Ende der inneren Hülse 9 und einen radial nach innen gerichteten Steg 16 am st irnseit igen Ende der äußeren Hülse 13 angeordnet ist. Auf diese Weise ist die Kontakt ierungsvorrichtung 4 für ein Hochfrequenzsignal in Analogie zu einem Federkontakt st ift als elastisches Kontakt-Bauteil realisiert. Die Kontaktkraft des Federelements 14 ist auf die Kontakt¬ kräfte der einzelnen elastischen Kontaktelemente 5, 6i, 62, 63, 64, 65, 66, 67 und 68 idealerweise entlang des gesamten Federkontaktweges abgestimmt. Dies bedeutet, dass die Kon- taktkraft des Federelements 14 näherungsweise der Summe der Kontaktkräfte der einzelnen elastischen Kontaktelemente 5, 61, 62, 63, 64, 65, 6δ, 67 und 63 entspricht bzw. bevorzugt identisch zur Summe der Kontaktkräfte der einzelnen elasti¬ schen Kontaktelemente 5, 61, 62, 63, 64, 65, 66, 67 und 68 ist.
Anstelle eines Federelements 14 kann jeder, andere eine Vor¬ spannung erzeugende technische Mechanismus wie Pneumatik, Hydraulik oder Elastomer zum Einsatz kommen und ist von der Erfindung mit abgedeckt .
Die innere Hülse 9 weist einen oberen Anschlag in Richtung der integrierten Schaltung auf, die durch einen im Mittelbe¬ reich der inneren Hülse 9 radial nach außen gerichteten Steg 18 und eine am anderen st irnseit igen Ende der äußeren Hülse 13 vorgesehene und radial nach innen gebogenen Wandung 19 der äußeren Hülse 13 realisiert ist.
Die nach innen gebogene innere Wandung 19 der äußeren Hülse 13 weist eine stirnseitige Durchführung 32 auf, die im Fol- genden als erste Durchführung 32 bezeichnet wird, und eine axiale Bewegung der inneren Hülse 9 aus der äußeren Hülse 13 heraus ermöglicht.
Im Fall einer ersten Untervariante einer zweiten Ausfüh- rungsform einer erfindungsgemäßen Kontakt ierungsvorrichtung
4i ' zur Kontakt ierung eines Hochfrequenzsignals gemäß Fig. 2B wird der Innenleiter 8 des Hochfrequenzkabels 7 bis zum Kon¬ taktelement 5' zur Innenleiterkontakt ierung geführt. Hierbei wird der Innenleiter 8 des Hochfrequenzkabels 7, wie aus Fig. 2B hervorgeht, über das stirnseitige Ende des Hochfre- quenzkabels 7, d.h. über das stirnseitige Ende des Außenlei¬ ters 10 und über das stirnseitige Ende des dielektrischen Isolators 11 des Hochfrequenzkabels 7, hinausgeführt. Der aus dem st irnseit igen Ende des Hochfrequenzkabels 7 hinaus- geführte Innenleiter 8 ist über eine geeignete stoffschlüs¬ sige Verbindung, beispielsweise mittels Löten, oder über ei¬ ne geeignete form- und/oder kraft schlüssige Verbindung, bei¬ spielsweise mittels Presspassung, direkt und unmittelbar mit dem starren Kontaktelements 5' verbunden. Zur mechanischen Stabilisierung der Verbindung zwischen dem Innenleiter 8 des Hochfrequenzkabels 7 und dem starren Kontaktelement 5 ' zur Innenleiterkontakt ierung kann das zusätzliche Isolator- Element 12 vorgesehen sein, in dessen Bohrung das starre Kontaktelement 5 ' zur Innenleiterkontakt ierung verankert ist. Alternativ kann aber auch auf das zusätzliche Isolator- Element 12 verzichtet werden.
In einer weiteren Ausprägung der ersten Untervariante der zweiten Ausführungsform einer Kontakt ierungsvorrichtung für das Hochfrequenzsignal, die nicht dargestellt ist, wird der Innenleiter 8 des Hochfrequenzkabels 7 bis zur Kontaktebene 22 ohne Verwendung eines Kontaktelements 5 geführt. Zur Ver¬ stärkung des Innenleiters 8 des Hochfrequenzkabels 7 im Kon¬ taktbereich ist dieser im Kontaktbereich geeignet beschich- tet . In diesem Fall kann auch der Außenleiter 10 des Hoch¬ frequenzkabels 7 bis zu den einzelnen Kontaktelementen 6i, 62, 63, 64, 65, 6e, 67 und 6s geführt sein.
Im Fall einer zweiten Untervariante der zweiten Ausführungs- form einer erfindungsgemäßen Kontakt ierungsvorrichtung 42 ' zur Kontakt ierung eines Hochfrequenzsignals gemäß Fig. 2C ist der Innenleiter 8 des Hochfrequenzkabels 7 nicht bis zum st irnseit igen Ende des Hochfrequenzkabels 7 geführt, sondern ist in einem gewissen Abstand zum st irnseit igen Ende des Hochfrequenzkabels 7 verkürzt. In der dadurch sich ausbil- elenden Ausnehmung 22 innerhalb des dielektrischen Isolators 10 des Hochfrequenzkabels 7 ist ein Kontaktelement 5 ' ' zur Innenleiterkontaktierung fixiert. Zur Fixierung weist das Kontaktelement 5 ' ' zur Innenleiterkontaktierung mindestens eine Nut 23, bevorzugt mehrere Nuten 23, auf, in das bzw. in die sich aufgeschäumtes Material des dielektrischen Isola¬ tors 10 des Hochfrequenzkabels 7 befindet. Zur Verstärkung der Fixierung ist die Tiefe jeder einzelnen Nut 23 innerhalb des Kontaktelements 5 ' ' zur Innenleiterkontaktierung dadurch vergrößert, dass der Außendurchmesser des im wesentlichen zylindrischen Kontaktelements 5 ' ' zur Innenleiterkontaktie¬ rung außerhalb der einzelnen Nuten 23 größer als der Außen¬ durchmesser des zum Hochfrequenzkabel 7 gehörigen Innenlei¬ ters 8 und innerhalb der einzelnen Nuten 23 kleiner als der Außendurchmesser des zum Hochfrequenzkabel 7 gehörigen In¬ nenleiters 8 dimensioniert ist.
Die Fixierung des Kontaktelements 5 ' ' zur Innenleiterkontak- tierung am stirnseitigen Ende des Hochfrequenzkabels 7 wird dadurch realisiert, dass das der Innenleiter 8 des Hochfre¬ quenzkabels 7 am stirnseitigen Ende des Hochfrequenzkabels 7 aus dem Hochfrequenzkabel 7 herausgeschoben und mit dem Kon¬ taktelement 5 ' ' geeignet - beispielsweise mittels Lötung - verbunden wird. Anschließend wird der Innenleiter 8 des Hochfrequenzkabels 8 mit dem daran verbundenen Kontaktele¬ ment 5 ' ' unter Erwärmung des stirnseitigen Endes des Hoch¬ frequenzkabels 8 wieder in das Hochfrequenzkabel hineinein¬ geschoben, bis nur noch eine Spitze des Kontaktelements 5 ' aus dem stirnseitigen Ende des Hochfrequenzkabels 8 heraus- ragt. Das Kontaktelement 5' ' befindet sich in einer sich ausbildende Ausnehmung 22 des Hochfrequenzkabels 7. Durch die Erwärmung des stirnseitigen Endes des Hochfrequenzkabels 8 vereinfacht sich das Hineinschieben des mit dem Kontakte¬ lement 5' ' verbundenen Innenleiters 7. Zusätzlich schäumt durch die Erwärmung das isolierende Material des dielektri- sehen Isolators 10 in der Umgebung der einzelnen Nuten 23 auf, gelangt in die einzelnen Nuten 23 und füllt diese ein¬ zelnen Nuten 23 vollständig aus. In einer dritten Ausführungsform einer erfindungsgemäßen
Kontakt ierungsvorrichtung 4' ' gemäß Fig. 2D wird zur Außen- leiterkontakt ierung ein einziges Kontaktelement 6 benutzt. Dieses Kontaktelement 6 zur Außenleiterkontakt ierung weist im Hinblick auf eine Realisierung einer koaxialen Struktur mit dem zugehörigen Kontaktelement 5 ' zur Innenleiterkontak- tierung eine zylindrische Innenbohrung in Kontakt ierungs- richtung auf. Bevorzugt ist das einzige Kontaktelement 6 zur Außenleiterkontakt ierung in Kontakt ierungsrichtung ringför¬ mig ausgeformt. Zusätzlich weist das einzige Kontaktelement 6 zur Außenleiterkontakt ierung eine Elastizität in Kontak- tierungsrichtung auf. Das Kontaktelement 6 zur Außenleiter¬ kontakt ierung ist mit dem st irnseit igen Ende der inneren Hülse 9 mit einer geeigneten Verbindungstechnik, beispiels¬ weise mittels Lötung, Verschraubung oder Presspassung, ver- bunden.
In einer vierten Ausführungsform einer Kontakt ierungsvor¬ richtung 4' ' ' gemäß Fig. 2E sind zur Kontakt ierung eines differenziellen Hochfrequenzsignals zwei federnde Kontakte- lemente 5i und 52 zur Innenleiterkontakt ierung vorgesehen.
Diese federnden Kontaktelemente 5i und 52 zur Innenleiterkon- taktierung sind mit jeweils einem Innenleiter 8i und 82 des differenziellen Hochfrequenzkabels 7' verbunden. Die beiden Innenleiter 81 und 82 sind innerhalb des Außenleiters 10 des differenziellen Hochfrequenzkabels 7 ' von jeweils einem zu¬ gehörigen dielektrischen Isolator Iii und II2 umgeben. Die beiden Innenleiter 81 und 82 des differenziellen Hochfre¬ quenzkabels 7 ' sind jeweils über den zugehörigen dielektri¬ schen Isolator Iii und II2 hinausgeführt und durch einen zu- gehörigen Bohrung innerhalb des Isolator-Elements 12 mit dem zugehörigen federnden Kontaktelement 5i und 52 zur Innen- leiterkontakt ierung elektrisch verbunden. Die federnden Kon¬ taktelemente 5i und 52 zur Innenleiterkontakt ierung sind bei¬ spielsweise mittels Presspassung oder Verschraubung inner- halb der zugehörigen Bohrung mit dem Isolator-Element 12 verbunden. Anstelle der in Fig. 2E dargestellten federnden Kontaktelemente 5i und 52 zur Innenleiterkontakt ierung können auch starre Kontaktelemente zum Einsatz kommen. In einer ersten Variante eines externen Hochfrequenzan¬ schlusses an die erfindungsgemäße Kontakt ierungsvorrichtung gemäß Fig. 3 wird das in der erfindungsgemäßen Kontaktie- rungsvorrichtung 4, 4ι ', 42 ', 4 ' ' und 4 ' ' ' geführte Hochfre¬ quenzkabel 7 aus der Kontakt ierungsvorrichtung hinausgeführt und direkt oder indirekt mit einem Hochfrequenzmessgerät verbunden :
Hierzu wird das Hochfrequenzkabel 7 durch eine Bohrung, die im Folgenden als zweite Durchführung 17 bezeichnet wird und die durch den Steg 16 am st irnseit igen Ende der äußeren Hül¬ se 13 ausgebildet ist, in den Außenraum der Kontaktvorrich¬ tung 4, 4ι ', 42 ', 4 ' ' und 4 ' ' ' geführt. Das Hochfrequenzka¬ bel 7 kann hierbei direkt an ein Hochfrequenzmessgerät oder indirekt über eine dazwischengeschaltete Leiterplatte, bei- spielsweise eine Probe-Card (deutsch: Messadapter- Baugruppe), oder einen dazwischengeschalteten Adapter bzw. eine Adapterbaugruppe an ein Hochfrequenzmessgerät geführt sein . Aus Fig. 3 ist ferner eine Baugruppe 20, bevorzugt eine Lei¬ terplatte 20, dargestellt, die entweder im quaderförmigen Körper 2 des erfindungsgemäßen Testsockels 1, 1 ', 1 ' ' und 1 ' integriert ist oder direkt an den erfindungsgemäßen Testsockel 1, 1 ', 1 ' ' und \' ' ' angegliedert ist. Diese Bau- gruppe 20 realisiert eine elektrische und mechanische Ver- bindung zwischen den Kontaktstiften 3, die in einem ver¬ gleichsweise kleinen Rasterabstand zueinander angeordnet sind, in zugehörige weitere Kontaktstifte 21, die in einem hierzu größeren Abstand zueinander angeordnet sind. Auf die- se Weise lassen sich die Gleichspannungs- und Niederfre¬ quenz-Signale an den Enden der einzelnen weiteren Kontakt¬ stifte 21 durch eine einfacher zu realisierende Probe-Card, abgreifen . Zu erkennen ist auch, dass die erfindungsgemäße Kontaktie- rungsvorrichtung 4, 4ι', 42 ', 4 ' ' und 4 ' ' ' zur Kontaktierung eines Hochfrequenzsignals gegenüber der Längserstreckung der Kontaktstifte 3 verlängert ist und durch eine Bohrung 26 in der Baugruppe 20 hindurchgeführt ist. Die Baugruppe 20 rea- lisiert eine räumliche Trennung zwischen den einzelnen Kon¬ taktstiften 21 und den aus den einzelnen Bohrungen 26 je¬ weils hinaus geführten Kontaktierungsvorrichtungen 4, 4i', 42 ', 4 ' ' und 4 ' ' ' zur Kontaktierung eines Hochfrequenzsig¬ nals. Eine Umlenkung, d.h. eine Biegung, der einzelnen Hoch- frequenzkabel 7 um einen bestimmten Winkel, bevorzugt einen Winkel von 90°, die einen bestimmten Raum benötigt, ist auf diese Weise realisierbar.
Innerhalb des Rasters von Kontaktstiften 3, die in einem vergleichsweise kleinen Rasterabstand angeordnet sind, sind die einzelnen Kontaktierungsvorrichtungen 4, 4ι', 42 ', 4 ' ' und 4 ' zur Kontaktierung von jeweils einem Hochfrequenz¬ signal und die daran elektrisch und mechanisch verbundenen Hochfrequenzkabel 7 parallel zu den einzelnen Kontaktstiften 3, d.h. in Kontaktierungsrichtung, geführt. Die einzelnen
Kontaktanschlüsse 4 und die zugehörigen Hochfrequenzkabel 7 sind insbesondere entlang der gesamten axialen Erstreckung der Kontaktstifte 3 parallel zu den einzelnen Kontaktstiften 3 orientiert. Zusätzlich zur dargestellten Lösung in Fig. 3 sind auch Aus¬ führungen ohne die Baugruppe 20 denkbar. Auch Ausführungen, in denen auf die weiteren Kontaktstifte 21 verzichtet wer¬ den, sind denkbar.
Aufgrund der geringen Rasterabstände im Zehntel-Millimeter- Bereich sind die jeweiligen Hochfrequenzkabel 7 in ihrer Querschnittsausdehnung entsprechend angepasst. Werden als Hochfrequenzkabel 7 Koaxialkabel verwendet, so kommen auf- grund der geringen Rasterabstände sogenannten Mikro¬ Koaxialkabel, das heißt Koaxialkabel mit geringem Kabelquer¬ schnitt, zum Einsatz.
In einer zweiten Variante eines externen Hochfrequenzan- Schlusses gemäß der Figuren 4A und 4B wird das in der erfin¬ dungsgemäßen Kontaktierungsvorrichtung 4, 4χ', 42 ', 4 ' ' und 4 ' geführte Hochfrequenzkabel 7 mit einem externen Hoch¬ frequenzkabel über einen am stirnseitigen Ende des externen Hochfrequenzkabels befestigten Steckverbinder mechanisch und elektrisch verbunden:
Hierzu wird das in der erfindungsgemäßen Kontaktierungsvor¬ richtung 4, 4ι', 42 ', 4 ' ' und 4 ' ' ' geführte Hochfrequenzkabel 7 ebenfalls durch eine zweite Durchführung 17, die durch ei- nen Steg 16 am stirnseitigen Ende der äußeren Hülse 13 aus¬ gebildet ist, in den Außenraum der Kontaktierungsvorrichtung 4, 4ι', 42 ', 4 ' ' und 4 ' ' ' geführt. Jeder Kontaktstift 3 und jede Kontaktierungsvorrichtung 4, 4χ', 42 ', 4 ' ' und 4 ' ' ' des erfindungsgemäßen Testsockels 1, 1 ', 1 ' ' und 1' ' ' endet an einer Fläche 24 des quaderförmigen Körpers 2, die einer Flä¬ che 25 des quaderförmigen Körpers 2 gegenüberliegt, die sich unmittelbar benachbart zur Kontaktebene 22 der erfindungsge¬ mäßen Kontaktierungsvorrichtung 4, 4ι', 42 ', 4 ' ' und 4 ' ' ' mit der zu prüfenden integrierten Schaltung befindet. An dieser Fläche 25 des quaderförmigen Körpers 2 schließt sich unmit- telbar die Baugruppe 20, bevorzugt eine Leiterplatte 20, an, die eine Vergrößerung des Rasterabstandes der einzelnen Kon¬ taktstifte 3 realisiert. In dieser Baugruppe 20 ist fluchtend zur Längserstreckung der erfindungsgemäßen Kontaktierungsvorrichtung 4, 4ι', 42 ', 4' ' und 4' ' ' eine Durchgangsbohrung 26 vorgesehen. In dieser Durchgangsbohrung 26 ist das aus der erfindungsgemäßen Kon¬ taktierungsvorrichtung 4, 4ι', 42 ', 4' ' und 4' ' ' hinausge- führte Hochfrequenzkabel 7 über einen Bruchteil der Längser¬ streckung der Durchgangsbohrung 26 verlängert. Der Innenlei¬ ter 8 des Hochfrequenzkabels 7 ist hierbei gegenüber dem dielektrischen Isolator 11 und dem Außenleiter 10 des Hoch¬ frequenzkabels 7 zusätzlich geringfügig verlängert. Die Durchgangsbohrung 26 ist so dimensioniert, dass sie als
Kopplungselement zur Aufnahme eines an einem stirnseitigen Ende eines weiteren Hochfrequenzkabels 7 ' befestigten Steck¬ verbinders 27 dienen kann. Im gesteckten Zustand des Steckverbinders 27 in der als
Kupplungselement dienenden Durchgangsbohrung 26 der Baugrup¬ pe 20 gemäß Fig. 4B stößt der Steckverbinder 27 bevorzugt mit seinem stirnseitigen Ende am stirnseitigen Ende der er¬ findungsgemäßen Kontaktierungsvorrichtung 4, 4χ', 42 ', 4' ' und 4' ' ' an. Über eine Schnappverbindung, wie sie in den Fi¬ guren 4A und 4B angedeutet ist, wird das aus der erfindungs¬ gemäßen Kontaktierungsvorrichtung 4, 4ι', 42 ', 4' ' und 4' ' ' hinausgeführte Hochfrequenzkabel 7 mit dem Steckverbinder 27 mechanisch verbunden und damit mit dem weiteren Hochfre- quenzkabel 7 ' elektrisch innen- und außenleiterseitig kon¬ taktiert. Das mit dem Steckverbinder 27 abgeschlossene Hoch¬ frequenzkabel 7 ' wird direkt an ein Hochfrequenzmessgerät oder an eine dazwischengeschaltete Leiterplatte, beispiels¬ weise eine Probe-Card (deutsch: Messadapter-Baugruppe), oder an einen dazwischengeschalteten Adapter bzw. Adapterbaugrup¬ pe geleitet.
Um ein leichteres Entfernen des mit dem Steckverbinder 27 abgeschlossenen Hochfrequenzkabels 7 ' aus der Durchgangsboh¬ rung 26 der Baugruppe 20 zu ermöglichen, ist der Durchmesser der Durchgangsbohrung 26 ausgangsseitig über eine bestimmte Längserstreckung vergrößert. Alternativ zum Steckverbinder 27, der am Ende eines weiteren Hochfrequenzkabels 7 ' befestigt ist, kann auch ein mit einer Baugruppe 20', bevorzugt mit einer Leiterplatte 20', verbun¬ dener Steckverbinder 29 (sogenannter Leiterplattensteckver¬ binder) , wie er weiter untern anhand der Figuren 5A und 5B vorgestellt wird, in die als Kopplungselement dienende
Durchgangsbohrung 26 der Baugruppe 20 gesteckt sein.
In einer dritten Variante eines externen Hochfrequenzan¬ schlusses gemäß der Figuren 5A und 5B wird das in der erfin- dungsgemäßen Kontaktierungsvorrichtung 4, 4χ', 42 ', 4 ' ' und 4 ' geführte Hochfrequenzkabel 7 mit einem auf einer Bau¬ gruppe, bevorzugt einer Leiterplatte, befestigten Steckver¬ binder elektrisch und mechanisch verbunden: Hierzu wird das innerhalb der Kontaktierungsvorrichtung 4,
4ι', 42 ', 4 ' ' und 4 ' ' ' geführte Hochfrequenzkabel 7 ebenfalls durch eine zweite Durchführung 17 in einem Steg 16 der äuße¬ ren Hülse 13 in den Außenraum der Kontaktierungsvorrichtung 4, 4ι', 42 ', 4 ' ' und 4 ' ' ' geführt. Die Längserstreckung jedes Kontaktstiftes 3 und jeder Kontaktierungsvorrichtung 4, 4i', 42 ', 4 ' ' und 4 ' ' ' des erfindungsgemäßen Testsockels 1, 1', 1 ' ' und 1 ' ist hierbei analog zur zweiten Variante eines externen Hochfrequenzanschlusses im nicht kontaktierten Zu¬ stand identisch. In Abgrenzung zur zweiten Variante eines externen Hochfrequenzanschlusses ist der Steg 16 der äußeren Hülse 13 nicht am stirnseitigen Ende der Kontaktierungsvor- richtung 4, 4ι', 42 ', 4 ' ' und 4 ' ' ' angebracht, sondern ist um eine bestimmte Distanz in Richtung zu den Kontaktelementen 5, 5i, 52, 5', 5' ', 6, 6i, 62, 63, 64, 65, 66, 67, 68, 69 und 6i0 versetzt angeordnet. Der Bereich zwischen dem Steg 16 und dem stirnseitigen Ende der äußeren Hülse 13 ist als Kopp¬ lungselement zur Aufnahme eines Steckverbinders 29 ausge¬ formt und dimensioniert. Über einen Bruchteil der Distanz zwischen dem Steg 16 und dem stirnseitigen Ende der äußeren Hülse 13 ist das aus der erfindungsgemäßen Kontaktierungsvorrichtung 4, 4χ', 42 ', 4 ' ' und 4 ' ' ' hinausgeführte Hochfrequenzkabel 7 verlängert. Der Innenleiter 8 des Hochfrequenzkabels 7 ist hierbei gegenüber dem dielektrischen Isolator 11 und dem Außenleiter 10 des Hochfrequenzkabels 7 ebenfalls zusätzlich geringfügig ver¬ längert. Das am stirnseitigen Ende der äußeren Hülse 13 aus¬ geformte Kopplungselement ist so dimensioniert, dass ein Steckverbinder 29, der auf einer gegenüberliegenden Fläche 30 einer Baugruppe 20 ', bevorzugt einer Leiterplatte 20 ', befestigt ist, im gesteckten Zustand gemäß Fig. 5B mit dem aus der erfindungsgemäßen Kontaktierungsvorrichtung 4, 4i', 42 ', 4 ' ' und 4 ' ' ' hinausgeführten Hochfrequenzkabel 7 innen- und außenleiterseitig sicher mechanisch und elektrisch ver- bunden ist. Außerdem stößt der Steckverbinder 29 im gesteck¬ ten Zustand bevorzugt am Steg 16 der äußeren Hülse der er¬ findungsgemäßen Kontaktierungsvorrichtung 4, 4ι', 42 ', 4 ' ' und 4 ' an . Der Steckverbinder 29 ist innen- und außenleiterseitig mit entsprechenden Kontaktflächen eines Hochfrequenzanschlusses elektrisch und mechanisch verbunden, die auf der Fläche 30 der Baugruppe 20 ' aufgebracht sind. Analog kontaktieren im gesteckten Zustand des Steckverbinders 29 die einzelnen Kon- taktstifte 3 zugehörige Kontaktflächen 28, die jeweils an geeigneter Position auf der Fläche 30 der Baugruppe 20 ' auf¬ gebracht sind.
Alternativ zu einem mit einer Baugruppe 20 ' elektrisch und mechanisch verbundenen Steckverbinder 29 kann auch ein an einem weiteren Hochfrequenzkabel 7 ' befestigter Steckverbin¬ der 27, wie er obig in den Figuren 4A und 4B dargestellt ist, in das als Kopplungselement ausgeformte stirnseitige Ende der erfindungsgemäßen Kontaktierungsvorrichtung 4, 4i', 42 ', 4' ' und 4' ' ' gesteckt werden.
Abschließend sei darauf hingewiesen, dass der erfindungsge¬ mäße Testsockel 1, 1', 1' ' und ]_' ' ' im Bereich der einzelnen gerastert angeordneten Kontaktstifte 3 zur Kontaktierung ei- nes elektrischen Signals oder eines elektrischen Potentials und der jeweils benachbart angeordneten Kontaktierungsvor- richtungen 4, 4ι', 42 ', 4' ' und 4' ' ' zur Kontaktierung eines Hochfrequenzsignals einen temperierten Luftkanal 31 zur Küh¬ lung oder Erwärmung der einzelnen Kontaktstifte 3 und der einzelnen Kontaktierungsvorrichtungen 4, 4χ', 42 ', 4' ' und 4' ' ' optional aufweisen kann.
Der Vorteil der somit abschließend beschriebenen Ausfüh¬ rungsformen einer Kontaktierungsvorrichtung 4, 4χ', 42 ', 4' ' und 4 ' zur Kontaktierung eines Hochfrequenzsignals ist da¬ rin zu sehen, dass jede Kontaktierungsvorrichtung zur Kon- taktierung eines Hochfrequenzsignals jeweils separat zum zu¬ gehörigen erfindungsgemäßen Testsockel 1, 1', 1' ' und ]_' ' ' gefertigt werden kann und im Fehlerfall austauschbar ist.
Schließlich wird im Folgenden das erfindungsgemäße Verfahren zur Herstellung einer erfindungsgemäßen Kontaktierungsvor¬ richtung 4, 4ι', 42 ', 4' ' und 4' ' ' anhand des Flussdiagrammes in Fig. 6 im Detail erläutert: In einem ersten Verfahrensschritt S10 wird das Federelement 14, die innere Hülse 9 in die äußere Hülse 13 der Kontaktie- rungsvorrichtung 4, 4ι', 42 ', 4' ' und 4' ' ' eingefügt. An¬ schließend wird das Hochfrequenzkabel 7 durch die zweite Durchführung 17 im Steg 16 der zur Kontaktierungsvorrichtung 4, 4ι', 42 ', 4' ' und 4' ' ' gehörigen äußeren Hülse 13 in den Innenbereich der inneren Hülse 9 eingefügt. Der Außenleiter 10 des Hochfrequenzkabels 7 wird mit der inneren Hülse 9 entweder mit einem stoffschlüssigen Verbindungsverfahren, beispielsweise mittels Lötung, oder mit einem form- und/oder kraftschlüssigen Verbindungsverfahren, beispielsweise mit¬ tels Crimpen, verbunden.
Im nächsten Verfahrensschritt S20 wird das innenleiterkon- taktseitige Kontaktelement 5 mit dem Innenleiter 8 des Hoch¬ frequenzkabels 7 oder die beiden innenleiterkontaktseitigen Kontaktelemente 5i und 52 mit den zugehörigen Innenleitern 8i bzw. 82 des Hochfrequenzkabels 7 mit einem geeigneten Verbin¬ dungsverfahren verbunden.
Im Fall der ersten Ausführungsform, der ersten Untervariante der zweiten Ausführungsform, der dritten Ausführungsform und der vierten Ausführungsform der erfindungsgemäßen Kontaktie- rungsvorrichtung 4, 4χ', 4' ' und 4' ' ' wird hierzu der Innen- leiter 8 des Hochfrequenzkabels 7 gegenüber dem stirnseiti¬ gen Ende des Hochfrequenzkabels 7 hinausgeführt und mit ei¬ nem stoffschlüssigen Verbindungsverfahren, beispielsweise mittels Lötung, oder mit einem form- und/oder kraftschlüssig Verbindungsverfahren, beispielsweise mittels Presspassung, mit dem innenleiterkontaktseitigen Kontaktelement 5 bzw. 5i und 52 zur Realisierung eines sicheren elektrischen Kontaktes verbunden .
Im Fall der zweiten Untervariante der zweiten Ausführungs- form der erfindungsgemäßen Kontaktierungsvorrichtung 42 ' wird der Innenleiter 8 des Hochfrequenzkabels 7 wird hierzu der Innenleiter 8 des Hochfrequenzkabels 7 ebenfalls gegenüber dem st irnseit igen Ende des Hochfrequenzkabels 7 hinausge¬ führt und mit einem stoffschlüssigen Verbindungsverfahren, beispielsweise mittels Lötung, oder mit einem form- und/oder kraft schlüssig Verbindungsverfahren, beispielsweise mittels Presspassung, mit dem innenleiterkontakt seit igen Kontaktele¬ ment 5 bzw. 5i und 52 zur Realisierung eines sicheren elektrischen Kontaktes verbunden.
Anschließend wird das stirnseitige Ende des Hochfrequenzka¬ bels 7 über eine bestimmte Zeitdauer erwärmt. Während der Erwärmungsphase wird der Innenleiter 8 des Hochfrequenzka¬ bels 8 mit dem daran befestigten innenleiterkontakt seit igen Kontaktelement 5 ' ' wieder in das Hochfrequenzkabel 7 hinein¬ geschoben, bis lediglich ein bestimmter Bereich des innen¬ leiterkontakt seit igen Kontaktelements 5 ' ' aus dem stirnsei¬ tigen Ende des Hochfrequenzkabels 7 herausragt. Durch die Erwärmung vereinfacht sich das Verschieben und schäumt das Isolationsmaterial des dielektrischen Isolators 11 auf und dringt in den ursprünglich leeren Zwischenraum innerhalb der Nuten 23 des innenleiterkontakt seit igen Kontaktelement 5 ' ein. Sind die Zwischenräume innerhalb der Nuten 23 vollstän¬ dig mit Isolationsmaterial aufgefüllt, kann der Erwärmungs- prozess eingestellt werden. Nach einer Abkühlungsphase ist das innenleiterkontakt seit ige Kontaktelements 5 ' ' fest im Hochfrequenzkabel 7 fixiert.
Im darauffolgenden Verfahrensschritt S30 werden die einzel- nen außenleiterkontakt seit igen Kontaktelemente 6, 6i, 62, 63, 64, 65, 6e, 67, 6s, 69 und 610 mit der inneren Hülse 9 der er¬ findungsgemäßen Kontakt ierungsvorrichtung 4, 4χ', 4' ' und 4 ' entweder stoffschlüssig, beispielsweise mittels Löten, oder form- bzw. kraft schlüssig, beispielsweise mittels
Presspassung, verbunden. Im abschließenden Verfahrensschritt S40 wird die äußere Hül¬ se 9 der erfindungsgemäßen Kontaktierungsvorrichtung 4, 4i', 4 ' ' und 4 ' in Richtung der zu prüfenden integrierten
Schaltung, d.h. in Richtung der Kontaktebene 22, abgeschlos¬ sen. Hierzu wird mittels Kaltumformung, beispielsweise mit¬ tels Biegen, am stirnseitigen Ende der äußeren Hülse 9 ein radial nach innen gerichteter bzw. nach innen gebogener Steg 19 ausgebildet.
Eine derart gefertigte erfindungsgemäße Kontaktierungsvor¬ richtung 4, 4i', 4' ' und 4' ' ' wird in eine geeignet dimensio¬ nierte Bohrung innerhalb des zugehörigen erfindungsgemäßen Testsockels 1, 1', 1' ' und ]_' ' ' beispielsweise mittels
Presspassung in benachbarter Position und in paralleler Ori¬ entierung zu den einzelnen gerastert angeordneten Kontakt¬ stiften 3 eingefügt.
Obwohl die vorliegende Erfindung anhand bevorzugter Ausfüh- rungsbeispiele vorstehend vollständig beschrieben wurde, ist sie darauf nicht beschränkt, sondern auf vielfältige Art und Weise modifizierbar.
Bezugszeichenliste
Testsockel
quaderförmiger Körper
Kontaktelement, insbesondere Kontakt¬ stift
Kontaktierungs orrichtung
innenleiterkontaktseitiges Kontaktele¬ rnent
außenleiterkontaktseitiges Kontakt- element
Hochfrequenzkabel
Innenleiter des Hochfrequenzkabels innere Hülse
Außenleiter des Hochfrequenzkabels dielektrischer Isolator des Hochfre¬ quenzkabels
Isolator-Element
äußere Hülse
Federelement
Steg der inneren Hülse
Steg der äußeren Hülse
zweite Durchführung
Steg der inneren Hülse
nach innen gebogene innere Wandung der äußeren Hülse
Baugruppe
weiterer Kontaktstift
Kontaktebene
Nut
zur integrierten Schaltung abgewandte Fläche des quaderförmigen Körpers zur integrierten Schaltung gerichtete Fläche des quaderförmigen Körpers 26 Durchgangsbohrung der Baugruppe
27 Steckverbinder des Hochfrequenzkabels
28 Kontakt flächen der Baugruppe
29 Steckverbinder auf Baugruppe
5 30 Fläche der Baugruppe
31 Luftkanal
32 erste Durchführung

Claims

PATENTANSPRÜCHE
1. Testsockel (1; 1'; 1' '; 1' ' ') mit mehreren Kontaktele¬ menten (3) zur Kontakt ierung von jeweils einem elektrischen Signal oder von jeweils einem elektrischen Potential und mit mindestens einer Kontakt ierungsvorrichtung (4; 4ι'; 42 '; 4' '; 4' ' ') zur Kontakt ierung von jeweils einem Hochfrequenzsig¬ nal, wobei die mehreren Kontaktelemente (3) jeweils in einem ersten Raster angeordnet sind und innerhalb des ersten Ras- ters durch jede Kontakt ierungsvorrichtung (4; 4ι'; 42 '; 4' '; 4' ' ') jeweils mindestens ein benachbartes Kontaktelement (3) in jeder der beiden zueinander orthogonalen Anordnungsrich¬ tungen des ersten Rasters ersetzt ist, wobei jede Kontaktie- rungsvorrichtung (4; 4ι'; 42 '; 4' '; 4' ' ') entlang der axialen Erstreckung der Kontaktelemente (3) parallel zu den Kontak¬ telementen (3) verläuft, wobei die mindestens eine Kontak- tierungsvorrichtung (4; 4ι'; 42 '; 4' '; 4' ' ') jeweils unter¬ schiedlich zu jedem Kontaktelement (3) ist.
2. Testsockel (1; 1'; 1' '; 1' ' ') nach Patentanspruch 1, dadurch gekennzeichnet ,
dass jede Kontakt ierungsvorrichtung (4; 4χ'; 42 '; 4' '; 4' ' ') jeweils hülsenförmig ausgeführt ist.
3. Testsockel (1; 1'; 1' '; 1' ' ') nach Patentanspruch 2, dadurch gekennzeichnet ,
dass jede hülsenförmige Kontakt ierungsvorrichtung (4; 4i'; 42 '; 4' '; 4' ' ') jeweils mit einem zugehörigen Hochfrequenzka¬ bel (7) verbunden ist, wobei das zugehörige Hochfrequenzka- bei (7) jeweils innerhalb der jeweiligen hülsenförmigen Kon¬ takt ierungsvorrichtung (4; 4ι'; 42 '; 4' '; 4' ' ') geführt ist.
4. Testsockel (1; 1'; 1' '; 1' ' ') nach Patentanspruch 3, dadurch gekennzeichnet , dass jede hülsenförmige Kontaktierungsvorrichtung (4; 4i'; 42 '; 4' '; 4' ' ') jeweils eine im Testsockel (1; 1'; 1' ';
1' ' ') fixierte äußere Hülse (13) und eine in der äußeren Hülse (13) in axialer Richtung elastisch geführte innere Hülse (9) aufweist, wobei die innere Hülse (9) über die äu¬ ßere Hülse (13) hinaus durch eine an einer Stirnseite der äußeren Hülse (13) vorgesehene erste Durchführung (32) in axialer Richtung bewegbar ist.
5. Testsockel (1; 1'; 1' '; 1' ' ') nach Patentanspruch 4, dadurch gekennzeichnet ,
dass ein Außenleiter (10) des zugehörigen Hochfrequenzkabels (7) mit der elektrisch leitenden inneren Hülse (9) verbunden ist .
6. Testsockel (1; 1'; 1' '; 1' ' ') nach Patentanspruch 4 o- der 5 ,
dadurch gekennzeichnet ,
dass das zugehörige Hochfrequenzkabel (7) durch eine in der äußeren Hülse (13) vorgesehene zweite Durchführung (17) aus der äußeren Hülse (13) hinausgeführt ist.
7. Testsockel (1; 1'; 1' '; 1' ' ') nach Patentanspruch 6, dadurch gekennzeichnet ,
dass die hülsenförmige Kontaktierungsvorrichtung (4; 4i';
42 '; 4' '; 4' ' ') zwischen der zweiten Durchführung in einem Steg (16) der äußeren Hülse (13) und einem stirnseitigen En¬ de der äußeren Hülse (13) als Kopplungselement zur Aufnahme eines Steckverbinders (27, 29) ausgeformt ist.
8. Testsockel (1; 1'; 1' '; 1' ' ') nach einem der Patentan¬ sprüche 4 bis 7,
dadurch gekennzeichnet ,
dass mindestens ein innenleiterkontaktseitiges Kontaktele- ment (5, 5i, 52, 5', 5' ') mit jeweils einem Innenleiter des Hochfrequenzkabels (7) und mindestens ein außenleiterkon- taktseitiges Kontaktelement (6, 6i, 62, 63, 64, 65, 6δ, 67, 6s, 69, 610) mit der inneren Hülse (9) verbunden sind.
9. Testsockel (1; 1'; 1' '; 1' ' ') nach Patentanspruch 8, dadurch gekennzeichnet ,
dass die Kontaktierungsvorrichtung (4; 4ι'; 42 '; 4' '; 4' ' ') mehrere außenleiterkontaktseitigen elastischen Kontaktele¬ mente (61, 62, 63, 64, 65, 6δ, 67, 6s, 69, 610) aufweist.
10. Testsockel (1; 1'; 1' '; 1' ' ') nach Patentanspruch 9, dadurch gekennzeichnet ,
dass die außenleiterkontaktseitigen elastischen Kontaktele¬ mente (61, 62, 63, 64, 65, 6δ, 67, 6s, 69, 610) im ersten Raster angeordnete Kontaktelemente mit einem Federarm sind.
11. Testsockel (1; 1'; 1' '; 1' ' ') nach Patentanspruch 8, dadurch gekennzeichnet ,
dass die Kontaktierungsvorrichtung (4; 4ι'; 42 '; 4' '; 4' ' ') ein außenleiterkontaktseitiges Kontaktelement mit einer
Elastizität und einer zylindrischen Bohrung in Kontaktie- rungsrichtung aufweist.
12. Testsockel (1; 1'; 1' '; 1' ' ') nach Patentanspruch 8, dadurch gekennzeichnet,
dass die Kontaktierungsvorrichtung (4; 4ι'; 42 '; 4' '; 4' ' ') ein innenleiterkontaktseitiges elastisches Kontaktelement (5; 5i, 52) aufweist.
13. Testsockel (1; 1'; 1' '; 1' ' ') nach Patentanspruch 8, dadurch gekennzeichnet ,
dass die Kontaktierungsvorrichtung (4; 4ι'; 42 '; 4' '; 4' ' ') ein innenleiterkontaktseitiges starres Kontaktelement (5'; 5 ' ' ) aufweist .
14. Testsockel (1; 1 '; 1 ' '; 1 ' ' ') nach einem der Patentan¬ sprüche 8 bis 13,
dadurch gekennzeichnet ,
dass die innere Hülse (9) mit dem mindestens einen außen- leiterkontakt seit igen Kontaktelement (6i, 62, 63, 64, 65, 66, 67, 68, 69, 610) verbunden ist.
15. Testsockel (1; 1 '; 1 ' '; 1 ' ' ') nach einem der Patentan¬ sprüche 8 bis 14,
dadurch gekennzeichnet,
dass mindestens ein Innenleiter (8; 81, 82) des Hochfrequenz¬ kabels (7) mit dem jeweils zugeordneten innenleiterkontakt- seitigen Kontaktelement (5; 5i, 52; 5'; 5' ') verbunden ist.
16. Testsockel (1; 1 '; 1 ' '; 1 ' ' ') nach Patentanspruch 15, dadurch gekennzeichnet ,
dass der mindestens eine Innenleiter (8; 81, 82) des Hochfre¬ quenzkabels (7) aus einem st irnseit igen Ende des Hochfre¬ quenzkabels (7) herausragt.
17. Testsockel (1; 1 '; 1 ' '; 1 ' ' ') nach einem der Patentan¬ sprüche 1 bis 16,
dadurch gekennzeichnet ,
dass jedes Kontaktelement (3) zur Kontakt ierung von jeweils einem elektrischen Signal oder von jeweils einem elektri¬ schen Potential mit einer zugehörigen ersten Kontaktstelle (28) auf einer Baugruppe (20; 20 ') verbunden ist, in der ei¬ ne Umsetzung der im ersten Raster jeweils angeordneten ers¬ ten Kontaktstellen (28) in zugehörige, in einem zweiten Ras- ter jeweils angeordnete zweite Kontaktstellen erfolgt, wobei der Rasterabstand der zweiten Kontaktstellen gegenüber dem Rasterabstand der ersten Kontaktstellen (28) vergrößert ist.
18. Kontakt ierungsvorrichtung (4; 4ι'; 42 '; 4 ' '; 4 ' ' ') zur Kontakt ierung von jeweils einem Hochfrequenzsignal mit einer äußeren Hülse (13), einer in der äußeren Hülse (13) in axia¬ ler Richtung geführten inneren Hülse (9), ein Federelement (14), die zwischen der inneren Hülse (9) und einem an der äußeren Hülse (13) radial nach innen gerichteten Steg (16) positioniert ist, einem mit der elektrisch leitenden inneren Hülse (9) verbundenen Außenleiter (10) eines Hochfrequenzka¬ bels (7), mindestens einem mit einem Innenleiter (8; 8i, 82) des Hochfrequenzkabels (7) jeweils verbundenen innenleiter- kontakt seit igen Kontaktelement (5; 5'; 5' '; 5i, 52) und min- destens einem mit der inneren Hülse (9) verbundenen außen¬ leiterkontakt seit igen Kontaktelement (6, 61, 62, 63, 64, 65,
Figure imgf000045_0001
19. Kontakt ierungsvorrichtung (4; 4ι'; 42 '; 4' '; 4' ' ') nach Patentanspruch 18,
dadurch gekennzeichnet ,
dass die innere Hülse (9) über die äußere Hülse (13) hinaus durch eine an einer Stirnseite der äußeren Hülse (13) vorge¬ sehene erste Durchführung (32) in axialer Richtung bewegbar ist, wobei eine Bewegung der inneren Hülse (9) durch einen radial nach außen gerichteten Steg (18) der inneren Hülse (9) und eine die erste Durchführung (32) begrenzende und ra¬ dial nach innen gerichtete axiale Begrenzung (19) der äuße¬ ren Hülse (13) axial begrenzt ist.
20. Kontakt ierungsvorrichtung (4; 4χ'; 42 '; 4' '; 4' ' ') nach Patentanspruch 18 oder 19,
dadurch gekennzeichnet ,
dass das mindestens eine außenleiterkontakt seit ige Kontakte- lement (6, 61, 62, 63, 64, 65, 6e, 67, 63, 69, 610) jeweils ein elastisches Kontaktelement mit einem Federarm ist.
21. Kontakt ierungsvorrichtung (4; 4ι'; 42 '; 4' '; 4' ' ') nach Patentanspruch 18 oder 19,
dadurch gekennzeichnet , dass das mindestens eine außenleiterkontaktseitige Kontakte¬ lement (6, 6i, 62, 63, 64, 65, 6δ, 67, 6s, 69, 610) ein Kontak¬ telement mit einer zylindrischen Bohrung und einer Elastizi¬ tät in Kontaktierungsrichtung ist.
22. Kontaktierungsvorrichtung (4; 4ι'; 42 '; 4' '; 4' ' ') nach einem der Patentansprüche 18 bis 21,
dadurch gekennzeichnet ,
dass das mindestens eine innenleiterkontaktseitige Kontakte- lement (5; 5i, 52) ein elastisches Kontaktelement ist.
23. Kontaktierungsvorrichtung (4; 4ι'; 42 '; 4' '; 4' ' ') nach einem der Patentansprüche 18 bis 21,
dadurch gekennzeichnet ,
dass das mindestens eine innenleiterkontaktseitige Kontakte¬ lement (5; 5'; 5' ') ein starres Kontaktelement ist.
24. Kontaktierungsvorrichtung (4; 4ι'; 42 '; 4' '; 4' ' ') nach Patentanspruch 22 oder 23,
dadurch gekennzeichnet,
dass der mindestens eine Innenleiter (8; 81, 82) des Hochfre¬ quenzkabels (7) aus einem stirnseitigen Ende des Hochfre¬ quenzkabels (7) herausragt.
25. Kontaktierungsvorrichtung (4; 4ι'; 42 '; 4' '; 4' ' ') nach Patentanspruch 22 oder 23,
dadurch gekennzeichnet ,
dass der mindestens eine Innenleiter (8; 81, 82) des Hochfre¬ quenzkabels (7) gegenüber einem zugehörigen Isolator (11; Iii, H2) des Hochfrequenzkabels (7) axial zurückverschoben ist und das mindestens eine innenleiterkontaktseitige Kon¬ taktelement (5; 5i, 52) mit dem Innenleiter (8; 81, 82) ver¬ bunden ist und in einer Ausnehmung (22) im zugehörigen Iso¬ lator (11; Iii, H2) des Hochfrequenzkabels (7) eingefügt ist.
26. Kontaktierungsvorrichtung (4; 4ι'; 42 '; 4' '; 4' ' ') nach Patentanspruch 25,
dadurch gekennzeichnet ,
dass das Kontaktelement (5; 5i, 52) mindestens eine Nut (23) aufweist, in die ein Isolator-Material des zugehörigen Iso¬ lators (11; Iii, H2) eingefügt ist.
27. Kontaktierungsvorrichtung (4; 4ι'; 42 '; 4' '; 4' ' ') nach einem der Patentansprüche 19 bis 26,
dadurch gekennzeichnet ,
dass das Hochfrequenzkabel (7) durch eine in der äußeren Hülse (13) vorgesehene zweite Durchführung (17) aus der äu¬ ßeren Hülse (13) herausgeführt ist.
28. Kontaktierungsvorrichtung (4; 4χ'; 42 '; 4' '; 4' ' ') nach Patentanspruch 27,
dadurch gekennzeichnet ,
dass die hülsenförmige Kontaktierungsvorrichtung (4; 4i'; 42 '; 4' '; 4' ' ') zwischen der zweiten Durchführung und einem stirnseitigen Ende als Kopplungselement zur Aufnahme eines Steckverbinders (27, 29) ausgeformt ist.
29. Verfahren zur Herstellung einer Kontaktierungsvorrich- tung (4; 4ι'; 42 '; 4' '; 4' ' ') nach einem der Patentansprüche
18 bis 28 zur Kontaktierung von jeweils einem Hochfrequenz¬ signal mit folgenden Verfahrensschritten:
Einfügen eines Federelements (14) und einer inneren Hülse (9) der Kontaktierungsvorrichtung (4; 4ι'; 42 '; 4' '; 4' ' '), die mit einem Außenleiter (10) eines Hochfrequenzka¬ bels (7) verbunden ist, in eine äußere Hülse (9) der Kontak- tierungsvorrichtung (4; 4ι'; 42 '; 4' '; 4' ' '),
Verbinden von mindestens einem innenleiterkontaktseiti- gen Kontaktelement (5; 5'; 5' '; 5i, 52) mit einem zugehörigen Innenleiter (8; 81, 82) des Hochfrequenzkabels (7), Verbinden von mindestens einem außenleiterkontaktseiti- gen Kontaktelement (6, 6i, 62, 63, 64, 65, 6δ, 67, 6s, 69, 610) mit einer inneren Hülse (9) der Kontaktierungsvorrichtung (4; 4ι'; 42 '; 4"; 4" ') und
· Ausformen einer zu einer zu prüfenden integrierten Schaltung gerichteten axialen Begrenzung (19) der äußeren Hülse (9) der Kontaktierungsvorrichtung (4; 4ι'; 42 '; 4' '; 4 " ') · 30. Verfahren nach Patentanspruch 29,
dadurch gekennzeichnet ,
dass das Verbinden des mindestens einen innenleiterkontakt- seitigen Kontaktelements (5; 5'; 5' '; 5i, 52) mit dem zugehö¬ rigen Innenleiter (8; 81, 82) des Hochfrequenzkabels (7) fol- gende Verfahrensschritte beinhaltet:
axiales Herausführen des mindestens einen Innenleiters (8; 81, 82) des Hochfrequenzkabels (7) aus einem zugehörigen Isolator (11; Iii, H2) des Hochfrequenzkabels (7) an einem stirnseitigen Ende des Hochfrequenzkabels (7),
· Verbinden des mindestens einen innenleiterkontaktseiti- gen Kontaktelements (5; 5'; 5' '; 5i, 52) mit dem zugehörigen Innenleiter (8; 81, 82) des Hochfrequenzkabels (7) und
Erwärmen des stirnseitigen Endes des Hochfrequenzkabels (7) über eine bestimmte Zeitdauer und axiales Hineinver- schieben des mindestens einen Innenleiters (8; 81, 82) des Hochfrequenzkabels (7) mit dem jeweilig verbundenen innen¬ leiterkontaktseitigen Kontaktelement (5; 5'; 5' '; 5i, 52) in das Hochfrequenzkabel (7) . 31. Verfahren nach Patentanspruch 29,
dadurch gekennzeichnet ,
dass das Verbinden des mindestens einen innenleiterkontakt- seitigen Kontaktelements (5; 5'; 5' '; 5i, 52) mit dem zugehö¬ rigen Innenleiter (8; 81, 82) des Hochfrequenzkabels (7) fol- gende Verfahrensschritte beinhaltet: axiales Herausführen des mindestens einen Innenleiters (8; 8i, 82) des Hochfrequenzkabels (7) aus einem zugehörigen Isolator (11; Iii, H2) des Hochfrequenzkabels (7) an einem stirnseitigen Ende des Hochfrequenzkabels (7) und
· Verbinden des mindestens einen innenleiterkontaktseiti- gen Kontaktelements (5; 5'; 5' '; 5i, 52) mit dem zugehörigen Innenleiter (8; 81, 82) des Hochfrequenzkabels (7).
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