WO2018131149A1 - 粉末収容容器および異物の検査方法 - Google Patents

粉末収容容器および異物の検査方法 Download PDF

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WO2018131149A1
WO2018131149A1 PCT/JP2017/001124 JP2017001124W WO2018131149A1 WO 2018131149 A1 WO2018131149 A1 WO 2018131149A1 JP 2017001124 W JP2017001124 W JP 2017001124W WO 2018131149 A1 WO2018131149 A1 WO 2018131149A1
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powder
light
container
powder container
recess
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PCT/JP2017/001124
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智文 碇
梅津　枝里子
深澤　亮一
功将 高橋
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株式会社ニコン
有限会社スペクトルデザイン
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    • G01N1/36—Embedding or analogous mounting of samples
    • G—PHYSICS
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    • G01N21/35—Investigating relative effect of material at wavelengths characteristic of specific elements or molecules, e.g. atomic absorption spectrometry using infrared light
    • G01N21/3581—Investigating relative effect of material at wavelengths characteristic of specific elements or molecules, e.g. atomic absorption spectrometry using infrared light using far infrared light; using Terahertz radiation
    • G01N21/3586—Investigating relative effect of material at wavelengths characteristic of specific elements or molecules, e.g. atomic absorption spectrometry using infrared light using far infrared light; using Terahertz radiation by Terahertz time domain spectroscopy [THz-TDS]

Definitions

  • the present invention relates to a powder container and a foreign substance inspection method.
  • Patent Document 1 a blister pack that contains a predetermined amount of powdered medicine is known (for example, Patent Document 1).
  • Patent Document 1 a blister pack that contains a predetermined amount of powdered medicine
  • the powder container includes a housing part in which a recess for housing powder is formed, and a lid member that covers the powder housed in the recess, and the powder is placed inside the recess. And store at a uniform density.
  • the lid member is provided so as to press the powder.
  • the powder storage container includes a storage portion in which a recess for storing the powder is formed; A lid member covering the powder accommodated in the concave portion, and the accommodating portion is made of a material that transmits terahertz light.
  • the distance between the lid member and the surface of the recess facing the lid member is constant.
  • the concave portion is along a direction in which inspection light for inspecting the presence or absence of foreign matter in the powder proceeds. It is preferable that the length is constant.
  • the lid member is in close contact with the surface of the powder and covers the powder.
  • the lid member is refracted in a frequency band of inspection light for inspecting the presence or absence of foreign matter in the powder.
  • the difference between the refractive index and the refractive index of the powder is preferably smaller than a predetermined value.
  • the refraction of the storage part in the frequency band of the inspection light for inspecting the presence or absence of foreign matter in the powder, the refraction of the storage part The difference between the refractive index and the refractive index of the powder is preferably smaller than a predetermined value.
  • the powder container of any one of the first to eighth aspects along the direction intersecting the traveling direction of the inspection light for inspecting the presence or absence of foreign matter in the powder, It is preferable to further include a reflection part that reflects the inspection light.
  • the powder container in the powder container of any one of the first to ninth aspects, it is preferable that the powder container further includes a light shielding part that shields the powder contained in the recess.
  • a method for inspecting a foreign substance contained in a powder is provided in a powder container including a container part in which a concave part for accommodating the powder is formed and a lid member covering the powder contained in the concave part.
  • the powder to be irradiated is irradiated with terahertz light, the terahertz light reaching the receiver from the powder container through the powder is received, and the presence of a foreign substance is detected based on the signal obtained from the receiver.
  • the powder contained in the powder container is stored in the powder container in a pressed state.
  • the difference in the density of the powder is set to a difference that allows a change amount smaller than the measurement accuracy to be detected. .
  • the difference in the density of the powder is the terahertz light sampling time interval set by the receiving unit that detects the terahertz pulse light It is preferable to make the difference in density such that the delay amount is smaller than twice the above.
  • the container according to the first embodiment will be described with reference to the drawings.
  • the container of the present embodiment has a structure capable of inspecting the presence or absence of a foreign substance in a medicine or the like with a high inspection accuracy in a state where a powdery or granular medicine or the like is contained.
  • the container is configured to obtain high inspection accuracy when performing inspection using a pulse wave having a frequency in the terahertz band (hereinafter referred to as terahertz pulsed light).
  • terahertz pulsed light a pulse wave having a frequency in the terahertz band
  • FIG. 1 is a block diagram schematically showing the configuration of the main part of the foreign object inspection apparatus 10.
  • the foreign object inspection apparatus 10 includes a transmitter 11, an optical system 12, a receiver 13, a scanning mechanism 14, a control unit 16, an image generation unit 17, a calculation unit 18, a femtosecond laser light source 19, and a light guide. Waveguides 22-1 and 22-2 and a time delay member 21 are provided.
  • the test object S to be inspected by the foreign substance inspection apparatus 10 is stored in the storage container 20. Further, as shown in FIG. 1, an explanation will be made by setting an orthogonal coordinate system composed of an X axis, a Y axis, and a Z axis.
  • the femtosecond laser light source 19 emits ultrashort pulse laser light.
  • the emitted ultrashort pulse laser light is incident on the optical waveguide 22-1.
  • a beam splitter 22 is provided in the middle of the optical waveguide 22-1.
  • a part of the ultrashort pulse laser beam is incident on the optical waveguide 22-2 by the beam splitter 22.
  • the remaining ultrashort pulse laser light passes through the beam splitter 22 and reaches the transmitter 11.
  • the ultrashort pulse laser beam propagating through the optical waveguide 22-2 reaches the time delay member 21.
  • the time delay member 21 can vary the optical path length of the propagation optical path of the ultrashort pulse laser light.
  • the transmitter 11 emits terahertz pulse light almost simultaneously with the incidence of ultrashort pulse laser light.
  • the transmitter 11 generates terahertz pulse light including a frequency of 0.1 to 10 THz, preferably 0.5 to 2 THz, for example.
  • the frequency of the terahertz pulse light is set so that the transmittance of the test object S is high.
  • a hemispherical lens 11 a is provided on the output side of the transmitter 11.
  • the hemispherical lens 11a has a function of refracting terahertz pulse light.
  • the hemispherical lens 11a may be replaced with a super hemispherical lens.
  • the optical system 12 guides the terahertz pulse light generated from the transmitter 11 to the test object S stored in the storage container 20 as irradiation light L1 and reflects the terahertz pulse light from the test object S and the storage container 20.
  • the light L2 is condensed toward the receiver 13.
  • the optical system 12 includes a half mirror 12a and a convex lens 12b.
  • the convex lens 12b is preferably an aspheric lens.
  • the half mirror 12a reflects the terahertz pulse light generated from the transmitter 11 and converged by the hemispherical lens 11a to the Z direction-side.
  • the convex lens 12b condenses the irradiation light L1, which is reflected by the half mirror 12a and refracted terahertz pulse light whose direction is changed to the Z direction-side, on the specimen S accommodated in the accommodation container 20. Further, the convex lens 12b refracts the reflected light L2 reflected by the test object S or the storage container 20.
  • the reflected light L2 transmitted through the convex lens 12b and the half mirror 12a is condensed on the receiver 13 by the hemispherical lens 13a provided in the receiver 13.
  • the receiver 13 generates a current corresponding to the instantaneous amplitude of the received terahertz pulse light only at the moment when the ultrashort pulse laser beam is incident.
  • the receiver 13 outputs the generated current value or a time waveform signal described later to the image generation unit 17.
  • the time delay member 21 changes the time for the ultrashort pulse laser light to reach the receiver 13, multiple times.
  • a time waveform signal can be acquired by receiving the terahertz pulse light with the receiver 13.
  • the scanning mechanism 14 moves the transmitter 11, the optical system 12, and the receiver 13 two-dimensionally at least on the XY plane with the position of the container 20 fixed. Thereby, the scanning mechanism 14 at least two-dimensionally scans the container 20 with the irradiation light L1 of the terahertz pulse light from the optical system 12.
  • the foreign substance inspection apparatus 10 may include a scanning mechanism that can move the transmitter 11, the optical system 12, and the receiver 13 in a three-dimensional manner relative to the container 20 instead of the scanning mechanism 14.
  • the scanning mechanism 14 may move the container 20 two-dimensionally on the XY plane with the positions of the transmitter 11, the optical system 12, and the receiver 13 fixed.
  • the optical system 12 may be configured to perform two-dimensional scanning by providing a driveable optical element that can deflect the light direction in the XY plane, for example, a movable mirror such as a galvano mirror. Depending on the size of the scanning range, the scanning mechanism and the drivable optical element may be used in combination. As the optical system 12, it is preferable to use a telecentric optical system having telecentricity on the measured object side.
  • the scanning mechanism 14 two-dimensionally scans the range in which the test object S exists in the container 20 at intervals of, for example, 1 mm or less, and the receiver 13 changes the current generated based on the amplitude of the reflected light L2. To get.
  • the image generation unit 17 generates at least one of a terahertz reflection image, a tomographic image, and a frequency image based on a temporal change (time waveform signal) of a current value output from the receiver 13 during two-dimensional scanning by the scanning mechanism 14. Generate. From these images, the presence / absence, shape, material, and the like of foreign matter in the test object S stored in the storage container 20 are detected. The image generation unit 17 generates a terahertz reflection image by generating each pixel value based on the value of the time waveform signal detected by the detection unit 15.
  • a method of obtaining a difference between the peak value and the dip value for one period and using the difference as a pixel value or the time waveform signal output from the receiver 13 is obtained.
  • a method that obtains a peak value of a signal that appears within a predetermined time and sets it to a pixel value according to the peak value a method that uses a value obtained by time-integrating the absolute value of a time waveform signal as a pixel value, etc. It is done.
  • the image generation unit 17 can measure the echo of the terahertz pulsed light and generate a cross-sectional image along a straight line connecting any two points at the end of the terahertz reflection image based on the echo.
  • the calculation unit 18 performs a Fourier transform on an image acquired in time series in a scanning cycle when two-dimensional scanning is performed, that is, a time-resolved mapping image (time waveform: I (X, Y, t)). Power spectrum can be obtained. Then, it is possible to three-dimensionally acquire position information that is a boundary between different substances from a time-resolved mapping image obtained by two-dimensional scanning.
  • the calculation unit 18 can generate an arbitrary frequency image from the intensity mapping image generated when obtaining the power spectrum.
  • the control unit 16 controls the operation of each element such as the transmitter 11, the receiver 13, and the scanning mechanism 14 described above.
  • FIG. 2A is a diagram schematically illustrating the appearance of the storage container 20
  • FIG. 2B is a diagram schematically illustrating a cross section of the storage container 20 in the ZX plane.
  • the container 20 presses the body member 201 having the recess 201c for housing the test object S and the test object S stored in the recess 201c in the Z-axis + direction from above, and the test object from the recess 201c. And a lid member 202 for preventing S from being dissipated.
  • the main body member 201 is formed using a material that transmits the tera health pulse light.
  • the container 20 (the main body member 201 and the lid member 202) is irradiated with the terahertz pulse light used by the foreign substance inspection apparatus 10 in a state where the test object S is stored in the recess 201c
  • the storage container 20 and the test object S It is manufactured using a material that can suppress reflection at the interface as much as possible. That is, the container 20 is made of a material having a refractive index smaller than a predetermined value in a difference from the refractive index of the test object S in a frequency band in which terahertz pulse light is detected.
  • the material of the storage container 20 examples include a polyolefin resin such as polypropylene and polyethylene, a fluororesin such as tetrafluoroethylene, and the like as a material through which terahertz pulse light is transmitted.
  • the container 20 may be made of a material containing, for example, carbon black in order to shield the stored specimen S from ultraviolet light or visible light.
  • a printing layer printed with printing ink may be provided on the upper surface 202 t of the lid member 202 or the lower surface 201 u of the main body member 201.
  • the recess 201c of the container 20 is formed with a depth D in the Z-axis direction, that is, in the propagation direction of the terahertz pulse light.
  • the lower surface 201b and the upper surface 201t of the recess 201c provided in the main body member 201 are formed to be parallel to each other. That is, the shape of the recess 201c is set so that the test object S accommodated in the recess 201c has a uniform thickness in the propagation direction of the terahertz pulse light in the recess 201c.
  • the rectangle is shown as an example as a shape in the surface parallel to XY plane of the recessed part 201c, it is not limited to this, A circle may be sufficient and it may be polygons other than a rectangle. Also good.
  • the lid member 202 is configured so that the test object S accommodated in the recess 201c is in a state in which no air exists between the test object S and the cover member 202 and the density of the test object S is uniform. It fixes to the main body member 201 so that the shape of the thing S may not change. For example, the test object S is pressed and covered with a predetermined force in the Z axis + direction.
  • the lid member 202 has a planar shape, for example, and is fixed to the main body member 201 by being fused with the main body member 201.
  • a material thicker than the depth of the recess 201c is previously deposited so that there is no air layer between the upper surface (Z-axis direction-side surface) of the specimen S accommodated in the recess 201c and the lid member 202, You may make it enclose with the cover member 202.
  • FIG. By pressurizing the test object S toward the bottom of the container by the force generated by the elastic force of the lid member 202, the density of the test object S becomes substantially uniform at least in the direction in which the terahertz pulse light propagates.
  • the inspection method to be applied is to detect the foreign matter based on the amplitude distribution of the terahertz pulse light
  • the terahertz pulse light is made incident on the test object S and the test S is applied to each of the test objects S. It is preferable to determine whether or not the difference in output transmitted at the position is smaller than the resolution at the gradation required for foreign object detection.
  • FIG. 3 schematically shows a cross section of the storage container 20 in the ZX plane, similarly to FIG. 3 shows a state in which the test object S and the foreign material 300 are stored in the recess 201 c of the storage container 20.
  • the irradiation light L1 enters the receiving container 20 from the lower surface 201u of the main body member 201. At this time, a part of the irradiation light L1 is reflected by the lower surface 201u to generate reflected light L1-R1.
  • the transmitted light L1-T1 passes through the main body member 201 and enters the test object S. At this time, a part of the transmitted light L1-T1 is reflected to generate reflected light L1-R2.
  • the difference between the refractive index of the container 20 (main body member 201) and the refractive index of the test object S is smaller than a predetermined value. Therefore, the reflected light L1-R2 is suppressed to a low intensity, and the transmitted light L1-T2 having a sufficient intensity is incident on the test object S.
  • the transmitted light L1-T2 that has entered the test object S passes through the test object S and enters the lid member 202 from the upper surface of the test object S.
  • the difference in refractive index between the lid member 202 and the test object S is smaller than the difference between the test object S and air. Accordingly, the reflected light L1-R3 at the interface between the test object S and the lid member 202 is suppressed to a low intensity, and the sufficiently high intensity transmitted light L1-T3 is transmitted through the lid member 202.
  • 3B and 3C are examples of time waveform signals output from the receiver 13.
  • FIG. 3B In a region where there is no foreign matter, the waveform of the time waveform signal as shown in FIG. 3B is obtained from the receiver 13, and the time waveform signal of the reflected light is obtained at a time corresponding to the position where the refractive index changes. Can do.
  • the position where the refractive index changes occurs only at any of the interfaces of the container 20, the specimen S (powder), the lid member 202, and the external atmosphere. Therefore, if the dimensions of each part of the container 20 are known, the phase information of these time waveform signals can be estimated. Thereby, if the phase information of the time waveform signal is estimated, it can be understood that there is no foreign substance in the test object S.
  • the irradiation light L2 from the transmitter 11 of the foreign matter inspection apparatus 10 is irradiated onto the region where the foreign matter 300 exists.
  • the description is the same as the case where the foreign object 300 does not exist. That is, the irradiation light L2 generates reflected light L2-R1 and L2-R2 at the lower surface 201u of the main body member 201 and the interface between the main body member 201 and the test object S, respectively, and the transmitted light L2-T2 is generated in the foreign material 300.
  • reflected light L2-RO is generated.
  • the transmitted light L2-T3 that has passed through the foreign material 300 reaches the lid member 202, and generates reflected light L2-R3 at the interface between the test object S and the lid member 202. Further, the light passes through the lid member 202 and is emitted from the storage container 20. At this time, reflected light L 2 -R 4 is generated according to the refractive index difference between the lid member 202 and air.
  • the intensity of light transmitted through the foreign object 300 depends on the material and shape of the foreign object 300, and the intensity of light transmitted through the foreign object 300 may be zero or a minute intensity close to zero.
  • the receiver 13 can obtain a time waveform signal as shown in FIG. Compared to FIG. 3B, the number of occurrences of peaks increases in FIG.
  • the timing at which the peak waveform of the receiver 13 appears is estimated in advance according to the shape of the recess 201c and the position of the lid member 202 with respect to the recess 201c, it occurs at a timing different from the estimated peak waveform.
  • the timing at which the peak waveform of the receiver 13 appears is estimated in advance according to the shape of the recess 201c and the position of the lid member 202 with respect to the recess 201c, it occurs at a timing different from the estimated peak waveform.
  • the transmitted light L1-T3 and L2-T4 with and without the foreign material 300 have different intensities, and the transmitted light has different time waveforms depending on whether or not the foreign material 300 is affected.
  • the receiver 13 of the foreign substance inspection apparatus 10 For example, a case where the reflected light from the container 20 is detected by the receiver 13 of the foreign substance inspection apparatus 10 will be described.
  • the receiver 13 sequentially receives the reflected lights L1-R1, L1-R2, L1-R3, and L1-R4.
  • the receiver 13 sequentially receives the reflected lights L2-R1, L2-R2, L2-RO, L2-R3, and L2-R4. That is, since the reflected light received in time series by the receiver 13 differs depending on whether or not the foreign object 300 is present, the time waveforms of both are different. Therefore, by analyzing these time waveforms, the presence / absence, shape, material, etc. of foreign matter can be detected.
  • the receiver 13 of the foreign matter inspection apparatus 10 When the receiver 13 of the foreign matter inspection apparatus 10 is configured to receive transmitted light, the time waveform of the transmitted light L2-T4 that has passed through the region where the foreign matter 300 is present has an effect due to the foreign matter 300. On the other hand, the transmitted light L1-T3 that has passed through the region where the foreign object 300 does not exist is not affected by the foreign object 300. Therefore, the presence / absence of foreign matter, shape, material, etc. can be detected by comparative analysis of the time waveforms of both.
  • step S1 the transmitter 11 is irradiated with terahertz pulse light toward the storage container 20 in which the test object S is stored in the recess 201c, and the process proceeds to step S2.
  • the test object S present in the storage container 20 is, for example, powder as described above, and is stored in a pressed state.
  • step S2 the receiver 13 receives the terahertz pulse light that has arrived from the storage container 20, outputs a time waveform signal corresponding to the amplitude of the received terahertz pulse light, and proceeds to step S3.
  • step S3 the image generation unit 17 generates an image based on the time waveform signal output from the receiver 13, and proceeds to step S4.
  • step S4 it is determined whether or not the processing at all inspection positions of the object S has been performed. If the process has been performed at all inspection positions, an affirmative determination is made in step S4 and the process ends. If there is an inspection position that has not yet been processed, a negative determination is made in step S4 and the process proceeds to step S5.
  • step S5 the transmitter 11 and the optical system 12 are instructed so that the scanning mechanism 14 is instructed to irradiate the next measurement position of the test object S with the terahertz pulse light and the position of the container 20 is fixed. And the receiver 13 are two-dimensionally moved on the XY plane, and the process returns to step S1.
  • the test object S is stored in the recess 201c with a uniform density and a uniform thickness. Therefore, when there is no foreign substance, the detection position (timing) of the time waveform signal when the reflected light or transmitted light is detected at each inspection position does not change when the object S is two-dimensionally scanned. On the other hand, when a foreign object is present, a time waveform signal is detected at a different position (timing) as compared to the case where no foreign object is present. As a result, the foreign matter inspection apparatus 10 can detect even a minute foreign matter that slightly affects the time waveform of reflected light or transmitted light, and can improve the foreign matter detection accuracy. .
  • the lid member 202 of the container 20 is configured so that the test object S accommodated in the recess 201c of the main body member 201 has no air between the test object S and the cover member 202. It is fixed to the main body member 201 so that the density of S is uniform and the shape of the test object S does not change. Thereby, it is possible to detect even a minute foreign matter, which contributes to the improvement of foreign matter detection accuracy.
  • the main body member 201 of the storage container 20 transmits the terahertz pulse light, the foreign matter inspection in the test object S stored in the recess 201c is possible by the terahertz pulse light.
  • the depth D of the concave portion 201c of the main body member 201 is constant, and the distance between the lower surface of the lid member 202 (the upper surface 201t of the main body member 201) and the lower surface 201b of the concave portion 201c is constant.
  • the difference between the refractive index of the main body member 201 and / or the lid member 202 and the refractive index of the test object S is smaller than a predetermined value.
  • the container 20 can contain a material that shields ultraviolet light and visible light from the specimen S housed in the recess 201c. Thereby, it can suppress that the test object S in the storage container 20 changes in quality by the influence of ultraviolet light or visible light.
  • the “uniform density” in the present invention indicates a state in the terahertz sensing device that satisfies the condition that the presence / absence of foreign matter can be distinguished. For example, when the presence or absence of a foreign object is determined according to the detection timing of the terahertz pulse light by the receiver 13, particularly the timing at which a large signal value is detected in the detected pulse or the timing at which a predetermined pulse waveform is detected When the foreign matter is present, it is preferable that the detection timing of the terahertz pulse light of the receiver 13 with respect to the pulse emission timing of the terahertz pulse light deviates from a predetermined timing. However, if there is a difference in density for each measurement position (position on the XY plane in FIG. 1) of the test object S, the detection timing of the terahertz pulse light is shifted according to the difference in density. Therefore, in the following description, it will be described how much the terahertz pulse light detection timing does not cause a problem to what extent.
  • the ultrashort pulse laser beam is irradiated from the femtosecond laser light source 19 which is a primary light source to the transmitter 11, terahertz pulse light is emitted from the transmitter 11. Since the femtosecond laser light source 19 emits ultrashort pulse laser light at a constant period, the transmitter 11 emits terahertz pulse light at a constant period in synchronization with the period.
  • the receiver 13 is sensitive to the terahertz pulse light only at the timing when the ultrashort pulse laser light from the femtosecond laser light source 19 is irradiated.
  • the current output waveform (that is, the time waveform signal) output from the receiver 13 is also output at a constant cycle.
  • the ultrashort pulse laser light and pump light reaching the transmitter 11 are referred to as pump light
  • the ultrashort pulse laser light reaching the receiver 13 is referred to as probe light.
  • the femtosecond laser as a primary light source is branched by a beam splitter, the pulse waveform of the probe light is irradiated as a current measurement trigger of the receiver 13 in synchronization with the time waveform signal.
  • the optical path length of the pump light and terahertz pulse light which is the optical path length of the optical path length of the pump light plus the optical path length from the transmitter to the receiver of the terahertz pulse light, is the same as the optical path length of the probe light
  • the pulse waveform L110 of the probe light that is a measurement trigger reaches the receiver 13 simultaneously with the generation of the terahertz pulse light. That is, the current value at the point a of the time waveform signal L100 shown in FIG.
  • the pulse waveform L110 of the probe light is from the moment when the terahertz pulse light is generated. Since the current reaches the receiver 13 with a slight delay, the current value at the point b of the time waveform signal L100 is taken into the image generation unit 17.
  • the time delay member 21 is moved in the direction in which the optical path length difference between the optical path length of the pump light and the terahertz pulse light and the probe light is further increased, whereby c of the time waveform signal L100 shown in FIG.
  • the current values at point to point f are taken into the image generation unit 17.
  • the image generation unit 17 shapes the time waveform L120 from the current values at the points a to f.
  • the detection timing of the terahertz pulse light is obtained using the above-described method, but if it is delayed more than twice as long as the time corresponding to the sampling interval at this time, it can be clearly recognized as an abnormal part with respect to other parts. it can. Therefore, in the present embodiment, a density state that does not differ by more than twice for this reason can be regarded as a uniform density.
  • FIG. 9A schematically shows a time waveform signal when the shape of the test object S is measured by a reflection measurement system. It is assumed that L200 in FIG. 9A is a reflected pulse from the reflector and is a main pulse to be analyzed.
  • L200 in FIG. 9A is a reflected pulse from the reflector and is a main pulse to be analyzed.
  • the range S01 in which the specimen S is accommodated at a low density is indicated by coarse dots
  • the range S02 in which the specimen S is accommodated at a high density is schematically represented by fine dots.
  • 9B and 9C show temporal changes in the amplitude of the terahertz pulse light reflected by the surface and the bottom surface of the test object S in the range S01 and the range S02. As shown in FIGS.
  • the arrival time of the terahertz pulse light reflected from the bottom surface of the test object S is shifted due to the difference in density of the powder test object S stored in the storage container 20. That is, as shown in the figure, the pulse L200 is observed at different places depending on the density change.
  • the shift amount ⁇ t of the observation position (on the time axis) of the pulse L200 as the main pulse is equal to or less than the pulse position measurement accuracy of the inspection apparatus within the inspection region. For example, in the foreign substance inspection apparatus 10, it is assumed that the sampling interval for sampling the temporal amplitude change of the terahertz pulse light is 0.1 picoseconds.
  • the difference in arrival time of the reflected pulse to the detector due to the density distribution is shorter than twice the sampling interval of 0.1 picoseconds. In other words, it is desirable to set so that the inspection accuracy of the terahertz pulse light is below.
  • FIG. 9D schematically shows a change in temporal amplitude of the tera health pulsed light L201 composed of discrete points.
  • the sampling interval of the temporal amplitude change of the terahertz pulse light is set to 0.1 picoseconds.
  • ideal conditions for the deviation (delay amount) of the pulse time accompanying the change in the density of the test object S to remain within the inspection accuracy of the foreign matter inspection apparatus 10 will be described below. That is, the density change rate is calculated so that the deviation of the pulse position is less than the inspection accuracy.
  • the relationship between the speed of electromagnetic waves (terahertz pulse light) and the thickness and refractive index of the catalyst is expressed by the following equation (1).
  • t 2nl / c
  • t time
  • n the refractive index
  • l the physical length (catalyst thickness)
  • c the speed of light.
  • the refractive index n is generally closely related to the density of the medium
  • the refractive index n of the sealed sample (test object S) uses the density d and the coefficient k of the sample (test object S).
  • the coefficient k is a coefficient that relates the density d and the refractive index n, and differs depending on the test object S.
  • the time change ⁇ t that occurs when the density d has a slight change ⁇ d is calculated by differentiating the equation (3) with respect to time. That is, the time change ⁇ t due to the density change ⁇ d is expressed by the following equation (4).
  • the time t ′ t + ⁇ t
  • the same result can be obtained by using equations (3) and (1).
  • Equation (4) in order to set the calculation parameter to the density change ratio ( ⁇ d / d), the denominator and the numerator on the right side of Equation (4) are multiplied by the density to obtain an absolute value.
  • Formula (4) becomes following Formula (5). ... (5)
  • the density change rate ⁇ d / d and the pulse time change ⁇ t are associated with each other.
  • Expression (5) represents the amount of change over time when a distribution occurs for a certain density d and a slight change in density occurs.
  • calculated by the equation (5) may be equal to or less than the time interval corresponding to the measurement accuracy required for the foreign matter inspection apparatus 10.
  • the storage container 20 according to the embodiment of the present invention is configured such that when the powder is pressed by the lid member 202, the amount of the powder stored in the storage container 20 is such that the delay amount is twice or less the sampling interval.
  • the threshold value is not necessarily limited to two times or more, and when the detection accuracy is to be increased, 1.9 times, 1.8 times, 1.7 times, 1.6 times, 1.5 times the sampling interval. Double, 1.4 times, 1.3 times, 1.2 times, and 1,1 times may be set as threshold values.
  • the present invention is not limited to a method that is obtained by a change in the detection timing of the detected terahertz pulse light. When the presence / absence is detected, it may be determined according to the gradation resolution of the signal value.
  • FIG. 4A is a diagram schematically illustrating the appearance of the storage container 40
  • FIG. 4B is a diagram schematically illustrating a cross section of the storage container 40 in the ZX plane.
  • the container 40 of the present embodiment is different from the first embodiment in that a pressing member 401 for pressing the test object S is provided between the lid member 202 and the test object S.
  • the specimen S accommodated in the recess 201c of the main body member 201 is pressed from the upper side in the Z-axis + direction by the lid member 202, and the object to be tested is removed from the recess 201c. It was the structure which prevents the inspection material S from dissipating.
  • the lid member 202 presses the test object S from above in the Z-axis + direction via the pressing member 401, and the test object S dissipates from the recess 201c. It is the structure which prevents doing.
  • the pressing member 401 is preferably made of a material having high elasticity in order to generate a uniform pressing force against the test object S.
  • a material having high elasticity for example, butadiene rubber, polyolefin resin such as polyethylene and polypropylene, fluorine rubber, butylene rubber, polyethylene, and the like can be used.
  • the side surface of the pressing member 401 has a shape that is in close contact with the side surface of the recess 201 c of the main body member 201 in a state where the test object S is pressed. Thus, the specimen S is prevented from escaping from the recess 201c through the gap between the main body member 201 and the lid member 202.
  • butylene rubber is soft, even if the contact surface between the butylene rubber and the powder test object S is uneven, a gap is hardly generated between the powder test object S and the butylene rubber. For this reason, using butylene rubber is suitable for inspection with terahertz pulse light.
  • the refractive index of the pressing member 401 it is preferable that the transmittance of the terahertz pulse light is high and the difference from the refractive index of the test object S is small.
  • the principle of performing the inspection by irradiating the container 40 with the terahertz pulse light conforms to the description of the inspection using the container 20 described in the first embodiment.
  • reflected light is generated at the interface between the test object S and the lid member 202, whereas in the present embodiment, the test object S and the pressing member 401 The difference is that reflected light is generated at the interface and at the interface between the pressing member 401 and the lid member 202.
  • the lid member 202 presses the test object S via the pressing member 401.
  • the test object S accommodated in the recess 201c of the main body member 201 is arranged so that there is no air between the test object S and the pressing member 401 and between the pressing member 401 and the lid member 202.
  • the density of the test object S is uniform and the shape of the test object S is fixed to the main body member 201 more reliably so that the shape of the test object S does not change.
  • the storage container 40 has been described as a separate member for the pressing member 401 and the lid member 202.
  • the pressing member 401 and the lid member 202 may be integrally formed.
  • a container 50 according to the present embodiment is shown in FIG. 5, the convex portion 205v is formed on the lower surface of the lid member 205, and the side surface of the convex portion 205v is a side surface of the concave portion 201c of the main body member 201 in a state where the test object S is pressed.
  • the shape is in close contact with the
  • the lid member 205 can be integrally formed of, for example, a polyolefin resin. With such a configuration, there is no need to prepare the pressing member 401 as a separate member, so that the storage container can be manufactured at a lower cost compared to the second embodiment.
  • the depth D of the recess 201c of the main body member 201 is constant.
  • the present invention is not limited to this.
  • an example of the container 60 in which the depth D of the recess 201c is not constant is shown in the cross-sectional view of FIG.
  • the lower surface 201b of the recess 201c of the main body member 201 has a predetermined inclination with respect to the XY plane, the depth of the end on the X direction ⁇ side of the recess 201c is D1, and the + The depth of the end on the side is D2 which is shallower than D1.
  • the depth of the recess 201c is not uniform, information on the depth of the recess 201c corresponding to each position in the XY plane is obtained in advance.
  • a case will be described in which terahertz pulse light is irradiated from the lower side (Z-axis-side) of the container 60 toward the upper side to inspect whether or not foreign matter is mixed in the test object S.
  • the timing at which the reflected light is generated at the interface between the main body member 201 and the test object S can be grasped in advance corresponding to each position in the XY plane.
  • the absorption of the terahertz pulse light by the test object S can be grasped in advance corresponding to each position in the XY plane. Thereby, the reflection timing of the terahertz pulse light due to the change in depth and the amplitude of the transmitted terahertz pulse light can be corrected.
  • the specimen S is accommodated in the recess 201c with a uniform density, and between the specimen S and the lid member 202 (205), or between the specimen S and the pressing member 401.
  • the specimen S drug powder
  • the lid member 202 may be fixed to the accommodating portion in a reduced pressure environment.
  • ultrasonic waves are applied to the main body member 201 during and / or after the test object S is stored in the recess 201c. Such vibrations may be applied. Thereby, it can suppress that the irradiation light L1 attenuate
  • the storage container 20 may include a reflecting portion.
  • the reflection portion is provided on the surface opposite to the surface on which the terahertz pulse light is incident.
  • the reflecting portion is provided on the upper surface of the lid member 202.
  • the reflection portion is provided below the lower surface 201u.
  • the foreign substance inspection apparatus 10 reflects the terahertz pulse light transmitted through the test object S, transmits the test object S again, and can inspect the foreign object with higher accuracy.
  • An antireflection film may be provided on the lower surface 201u of the main body member 201 and the lower surface 201b of the recess 201c (that is, the surface in contact with the test object S).
  • the resin material has a high transmittance for the terahertz pulse light as the antireflection film, the effect can be expected.
  • a cycloolefin resin or polyethylene can be used.
  • the thickness d is preferably ⁇ / (4n) (n is the thickness of the material used as the antireflection film).
  • the antireflection film may be provided on the side surface of the recess 201c, thereby suppressing generation of reflected light on the inner side surface and the surface of the recess 201c. Can be improved.
  • the powder storage container includes a storage portion in which a recess for storing powder is formed, and a lid member that covers the powder stored in the recess, and the lid member seals the powder in the storage portion by pressing the powder. Thereby, the difference in the density distribution of the powder is reduced compared to before the powder is covered with the lid member.
  • the present invention is not limited to the above-described embodiments, and other forms conceivable within the scope of the technical idea of the present invention are also included in the scope of the present invention. .

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Abstract

収容容器は、粉末を収容する凹部が形成された収容部と、凹部に収容された粉末を覆う蓋部材と、を備え、粉末を凹部の内部にて一様な密度にて収容する。

Description

粉末収容容器および異物の検査方法
　本発明は、粉末収容容器および異物の検査方法に関する。
　従来から、所定量の粉末の薬剤を収容するブリスターパックが知られている（たとえば特許文献１）。しかし、粉末を収容した状態で粉末に混入した異物を精度よく検出することができない。
日本国特開２００９－１９５７２８号公報
　第１の態様によれば、粉末収容容器は、粉末を収容する凹部が形成された収容部と、前記凹部に収容された粉末を覆う蓋部材と、を備え、前記粉末を前記凹部の内部にて一様な密度にて収容する。
　第２の態様によれば、第１の態様の粉末収容容器において、前記蓋部材は、前記粉末を押圧するように備えられていることが好ましい。
　第３の態様によれば、粉末収容容器は、粉末を収容する凹部が形成された収容部と、
　前記凹部に収容された粉末を覆う蓋部材と、を備え、前記収容部は、テラヘルツ光を透過する材料から構成されている。
　第４の態様によれば、第２または第３の態様の粉末収容容器において、前記蓋部材と、前記蓋部材と対向する前記凹部の面との距離が一定であることが好ましい。
　第５の態様によれば、第１乃至第４の何れかの態様の粉末収容容器において、前記凹部は、前記粉末内の異物の混入の有無を検査するための検査光が進行する方向に沿った長さが一定であることが好ましい。
　第６の態様によれば、第１乃至第５の何れかの態様の粉末収容容器において、前記蓋部材は、前記粉末の表面と密着して前記粉末を覆うことが好ましい。
　第７の態様によれば、第１乃至第６の何れかの態様の粉末収容容器において、前記粉末内の異物の混入の有無を検査するための検査光の周波数帯において、前記蓋部材の屈折率と、前記粉末の屈折率との差が所定値より小さいことが好ましい。
　第８の態様によれば、第１乃至第７の何れかの態様の粉末収容容器において、前記粉末内の異物の混入の有無を検査するための検査光の周波数帯において、前記収容部の屈折率と、前記粉末の屈折率との差が所定値より小さいことが好ましい。
　第９の態様によれば、第１乃至第８の何れかの態様の粉末収容容器において、前記粉末内の異物の混入の有無を検査するための検査光の進行方向と交わる方向に沿って、前記検査光を反射する反射部をさらに備えることが好ましい。
　第１０の態様によれば、第１乃至第９の何れかの態様の粉末収容容器において、前記凹部内に収容された前記粉末を遮光する遮光部をさらに備えることが好ましい。
　第１１の態様によれば、粉末に含まれる異物の検査方法は、前記粉末を収容する凹部が形成された収容部と前記凹部に収容された前記粉末を覆う蓋部材からなる粉末収容容器に内在する粉末に、テラヘルツ光を照射し、前記粉末を介して前記粉末収容容器から受信器に到達したテラヘルツ光を受信し、前記受信器から得られた信号を基に、異物の存在を検出する。
　第１２の態様によれば、第１１の態様の異物の検査方法において、前記粉末収容容器に内在する粉末は、押圧された状態で前記粉末収容容器に収容されていることが好ましい。
　第１３の態様によれば、第１乃至第１０の何れかの態様の粉末収容容器において、前記粉末の密度の差を測定精度よりも小さい変化量が検出される程度の差にすることが好ましい。
　第１４の態様によれば、第１乃至第１０の何れかの態様の粉末収容容器において、前記粉末の密度の差が、テラヘルツパルス光を検出する受信部で設定されたテラヘルツ光のサンプリング時間間隔の２倍よりも小さい遅延量となるような密度の差になるようにすることが好ましい。
本実施の形態の収容容器に収容された粉末内の異物の有無を検査するために用いる異物検査装置の要部構成を模式的に示す図である。 第１の実施の形態における収容容器の構造を模式的に示す図である。 検査時における検査光の収容容器内の透過の様子を模式的に示す図である。 第２の実施の形態における収容容器の構造を模式的に示す図である。 第３の実施の形態における収容容器の構造を模式的に示す図である。 変形例における収容容器の断面構造を模式的に示す図である。 本実施の形態の異物検査装置の動作を説明するフローチャートである。 テラヘルツパルス光の時間位置の検出について説明する図である。 テラヘルツパルス光の到達時間の遅延と被検物Ｓの密度との関係を説明する図である。
（第１の実施の形態）
　図面を参照して、第１の実施の形態の収容容器について説明する。本実施の形態の収容容器は、粉末状や粒状の薬剤等を収容した状態で、薬剤等への異物の混入の有無を高い検査精度にて検査可能な構造を有するものである。この収容容器は、特に、テラヘルツ帯の周波数のパルス波（以後、テラヘルツパルス光と呼ぶ）を用いて検査を行う場合高い検査精度が得られるように構成されている。以下、テラヘルツ帯のパルス波を用いて検査装置、本実施の形態の収容容器の順に詳細に説明する。
　図１は、異物検査装置１０の要部構成を模式的に示すブロック図である。異物検査装置１０は、発信器１１と、光学系１２と、受信器１３と、走査機構１４と、制御部１６と、画像生成部１７と、演算部１８と、フェムト秒レーザ光源１９と、光導波路２２－１、２２－２、時間遅延部材２１とを備える。なお、図１においては、異物検査装置１０により検査される被検物Ｓが収容容器２０に収容されている。また、図１に示す通りにＸ軸、Ｙ軸、Ｚ軸からなる直交座標系を設定して説明を行う。
　フェムト秒レーザ光源１９は、超短パルスレーザ光を放射する。放射された超短パルスレーザ光は、光導波路２２－１に入射する。光導波路２２－１の途中にビームスプリッタ２２が備えられている。ビームスプリッタ２２により超短パルスレーザ光の一部は光導波路２２－２に入射する。一方、残りの超短パルスレーザ光は、ビームスプリッタ２２を通過して、発信器１１に到達する。
　ところで、光導波路２２－２を伝搬する超短パルスレーザ光は、時間遅延部材２１に到達する。時間遅延部材２１は、超短パルスレーザ光の伝搬光路の光路長を可変することができる。そのため、超短パルスレーザ光が発信器１１に到達する時間に対して受信器１３に到達する時間が調整される。
　発信器１１は、超短パルスレーザ光が入射するとほぼ同時にテラヘルツパルス光を放射する。発信器１１は、たとえば０．１～１０ＴＨｚ、好ましくは０．５～２ＴＨｚの周波数を含むテラヘルツパルス光を発生する。テラヘルツパルス光の周波数は、被検物Ｓにおける透過率が高くなるように設定される。発信器１１の出力側には、半球レンズ１１ａを備える。半球レンズ１１ａは、テラヘルツパルス光を屈折させる機能を有する。なお、半球レンズ１１ａを超半球レンズに置き換えてもよい。光学系１２は、発信器１１から発生されたテラヘルツパルス光を照射光Ｌ１として収容容器２０に収容された被検物Ｓに導くとともに、被検物Ｓや収容容器２０からのテラヘルツパルス光の反射光Ｌ２を受信器１３に向けて集光する。光学系１２は、ハーフミラー１２ａと凸レンズ１２ｂとを備える。なお、凸レンズ１２ｂは非球面レンズであることが好ましい。ハーフミラー１２ａは、発信器１１から発生され半球レンズ１１ａによって収束させられたテラヘルツパルス光をＺ方向－側に反射する。凸レンズ１２ｂは、ハーフミラー１２ａにより反射されＺ方向－側に向きを変えたテラヘルツパルス光を屈折させた照射光Ｌ１を収容容器２０に収容された被検物Ｓに集光する。また、凸レンズ１２ｂは、被検物Ｓや収容容器２０で反射した反射光Ｌ２を屈折させる。
　凸レンズ１２ｂおよびハーフミラー１２ａを透過した反射光Ｌ２は、受信器１３に備えられた半球レンズ１３ａにより受信器１３に集光される。受信器１３は、超短パルスレーザ光が入射した瞬間のみ、受光したテラヘルツパルス光の瞬間的な振幅に応じた電流を発生する。受信器１３は、発生した電流値または後述する時間波形信号を画像生成部１７に出力する。ところで、受信器１３は、収容容器２０の同じ位置にテラヘルツパルス光を照射している間に、時間遅延部材２１により超短パルスレーザ光が受信器１３に到達する時間を変えながら、複数回にわたって受信器１３でテラヘルツパルス光を受信することにより、時間波形信号を取得することができる。走査機構１４は、収容容器２０の位置を固定した状態で、発信器１１と光学系１２と受信器１３とを、少なくともＸＹ平面上にて二次元移動させる。これにより、走査機構１４は、光学系１２からのテラヘルツパルス光の照射光Ｌ１を収容容器２０に対して少なくとも二次元走査する。もちろん、異物検査装置１０は、走査機構１４の代わりに発信器１１と光学系１２と受信器１３とを収容容器２０に対して三次元的に移動可能な走査機構を備えてもよい。なお、走査機構１４は、発信器１１と光学系１２と受信器１３との位置を固定した状態で、収容容器２０をＸＹ平面上で二次元移動させてもよい。また、光学系１２に光の方向をＸＹ面内で偏向可能とするような駆動可能光学素子、例えば、ガルバノミラー等の可動ミラー等を設けることによって二次元走査を行う構成としてもよい。走査範囲の大きさにより、走査機構と駆動可能光学素子とを併用してもよい。光学系１２としては、被測定物側にテレセン性を有するテレセントリック光学系を使用することが好ましい。走査機構１４は、収容容器２０のうち被検物Ｓが存在する範囲を、たとえば１ｍｍまたはそれ以下の間隔で二次元走査し、受信器１３は反射光Ｌ２の振幅に基づいて発生する電流の変化を取得する。
　画像生成部１７は、走査機構１４による二次元走査中に受信器１３から出力される電流値の時間変化（時間波形信号）を基に、テラヘルツ反射画像、断層画像および周波数画像の少なくとも１つを生成する。これらの画像から、収容容器２０に収容された被検物Ｓの中の異物の有無、形状および材料等を検出する。なお、画像生成部１７は、検出部１５が検出した時間波形信号の値に基づいて、各画素値を生成することでテラヘルツ反射画像を生成する。なお、受信器１３から出力された時間波形信号に対して、１周期分のピーク値とディップ値の差を求め、それを画素値とする方法や、受信器１３から出力された時間波形信号のうち、所定の時間内に現れる信号のピーク値を取得し、そのピーク値に応じて画素値とする方法、時間波形信号の絶対値を時間積分した時の値を画素値にする方法などが用いられる。また、画像生成部１７は、テラヘルツパルス光のエコーを計測し、それに基づいてテラヘルツ反射画像の端部の任意の２点間を結ぶ直線に沿った断面画像を生成することができる。演算部１８は、二次元走査を行った際の走査周期で時系列的に取得された画像、すなわち時間分解マッピング画像（時間波形：Ｉ（Ｘ，Ｙ，ｔ））に対してフーリエ変換を行ってパワースペクトルを得ることができる。そして、二次元走査して得られた時間分解マッピング画像から異種物質の境界となる位置情報を三次元的に取得することができる。演算部１８は、上記のパワースペクトルを得る際に生成した強度マッピング画像から、任意の周波数画像を生成することができる。
　制御部１６は、上述した発信器１１と受信器１３と走査機構１４等の各要素の動作を制御する。
　次に、本実施の形態による収容容器２０について説明する。収容容器２０には、被検物Ｓとして、ブドウ糖や乳糖、または抗生物質等の医薬活性成分を含む粉末状や粒状の薬剤、または小麦粉や片栗粉、米、麦などの食物系の粉末材料や顆粒状材料が収容される場合を例に挙げる。
　図２を参照しながら、本実施の形態の収容容器２０について説明する。図２（ａ）は、収容容器２０の外観を模式的に示す図であり、図２（ｂ）は収容容器２０のＺＸ平面における断面を模式的に示す図である。収容容器２０は、被検物Ｓを収容するための凹部２０１ｃを有する本体部材２０１と、凹部２０１ｃに収容された被検物Ｓを上部からＺ軸＋方向に押圧し、凹部２０１ｃから被検物Ｓが散逸することを防ぐための蓋部材２０２とを有する。本体部材２０１はテラヘルスパルス光が透過する材料を用いて形成されている。
　収容容器２０（本体部材２０１および蓋部材２０２）は、凹部２０１ｃに被検物Ｓを収容した状態で異物検査装置１０が用いるテラヘルツパルス光が照射された際、収容容器２０と被検物Ｓとの界面における反射を極力抑えられる材料を用いて製造される。すなわち、収容容器２０は、テラヘルツパルス光を検出する周波数帯において、被検物Ｓの屈折率との差が所定値よりも小さな屈折率を有する材料が用いられる。収容容器２０の材料としては、たとえば、テラヘルツパルス光が透過する材料として、ポリプロピレンやポリエチレン等のポリオレフィン樹脂や、四フッ化エチレン等のフッ素樹脂等が挙げられる。
　なお、収容容器２０は、収容された被検物Ｓを紫外光や可視光を遮蔽するために、たとえばカーボンブラック等を含む材料を用いてもよい。また、蓋部材２０２の上面２０２ｔまたは本体部材２０１の下面２０１ｕには、印刷インクにより印刷された印刷層が設けられてもよい。
　収容容器２０の凹部２０１ｃは、Ｚ軸方向、すなわちテラヘルツパルス光の伝搬方向に深さＤに形成される。本体部材２０１に設けられた凹部２０１ｃの低面２０１ｂと上面２０１ｔとは、互いに平行となるように形成されている。すなわち、凹部２０１ｃに収容された被検物Ｓが凹部２０１ｃ内でテラヘルツパルス光の伝搬方向において均一の厚みを有するように、凹部２０１ｃの形状が設定されている。なお、図２においては、凹部２０１ｃのＸＹ平面に平行な面における形状として矩形を一例として示しているが、これに限定されず、円形であってもよいし、矩形以外の多角形であってもよい。
　蓋部材２０２は、凹部２０１ｃに収容された被検物Ｓを、被検物Ｓと蓋部材２０２との間には空気が存在せず、被検物Ｓの密度が一様な状態と被検物Ｓの形状が変化しないように本体部材２０１に固定される。例えば、Ｚ軸＋方向に所定の力にて被検物Ｓを押圧して覆う。蓋部材２０２は、例えば平面形状を有し、本体部材２０１と互いに融着されることで本体部材２０１に固定される。凹部２０１ｃに収容された被検物Ｓの上面（Ｚ軸方向－側の面）と蓋部材２０２との間には空気層が存在しないように予め凹部２０１ｃの深さよりも厚く材料を盛って、蓋部材２０２で封入するようにしてもよい。蓋部材２０２の弾性力により生ずる力により被検物Ｓを容器の底の方へ加圧させることで、被検物Ｓの密度が少なくともテラヘルツパルス光が伝搬する方向にほぼ一様となる。
　なお、一様か否かの基準について、適用する検査手法がテラヘルツパルス光の振幅分布により異物検出を行う場合には、テラヘルツパルス光を被検物Ｓに入射させ、被検物Ｓの各々の位置で透過した出力の差が、異物検出のために必要な階調における分解能よりも小さいかどうかで判定することが好ましい。
　図３を参照して、上記の構成を有する収容容器２０に収容された被検物Ｓに対して、異物検査装置１０によりテラヘルツパルス光を照射して検査を行う場合について説明する。図３は、図２（ｂ）と同様に、収容容器２０のＺＸ平面における断面を模式的に示す。図３は、収容容器２０の凹部２０１ｃに、被検物Ｓと異物３００とが収容された状態を示している。
　まず、異物検査装置１０の発信器１１からの照射光Ｌ１を異物３００の存在しない領域に照射する場合について説明する。照射光Ｌ１は、本体部材２０１の下面２０１ｕから収容容器２０に入射するが、このとき、照射光Ｌ１の一部は下面２０１ｕで反射されて反射光Ｌ１－Ｒ１が発生する。一方、透過光Ｌ１－Ｔ１は、本体部材２０１を透過して被検物Ｓに入射する。このとき、透過光Ｌ１－Ｔ１の一部は反射されて反射光Ｌ１－Ｒ２が発生する。ただし、上述したように、収容容器２０（本体部材２０１）の屈折率と被検物Ｓの屈折率との差は所定値よりも小さい。従って、反射光Ｌ１－Ｒ２は低い強度に抑えられ、充分な強度の透過光Ｌ１－Ｔ２が被検物Ｓに入射する。
　被検物Ｓに入射した透過光Ｌ１－Ｔ２は被検物Ｓの内部を透過し、被検物Ｓの上面から蓋部材２０２に入射する。上述したように、被検物Ｓと蓋部材２０２との界面には空気層が存在しない。また、蓋部材２０２と被検物Ｓとの屈折率差は被検物Ｓと空気との差より小さい。従って、被検物Ｓと蓋部材２０２との界面における反射光Ｌ１-Ｒ３は低い強度に抑えられ、充分に高い強度の透過光Ｌ１－Ｔ３が蓋部材２０２を透過する。なお、透過光Ｌ１－Ｔ３が蓋部材２０２を出射する際には、蓋部材２０２と空気の屈折率差に応じた反射光が発生する。
　なお、図３（ｂ）及び図３（ｃ）は受信器１３から出力された時間波形信号の例である。異物が存在しない領域では、受信器１３から、図３（ｂ）に示すような時間波形信号の波形が得られ、屈折率が変化する位置に応じた時間で反射光の時間波形信号を得ることができる。しかし、屈折率が変化する位置は収容容器２０と、被検物Ｓ（粉末）と、蓋部材２０２と、外部雰囲気とのいずれかの界面においてのみ発生する。したがって、収容容器２０の各部の寸法が既知であれば、これらの時間波形信号の位相情報を推定することができる。これにより、時間波形信号の位相情報が推定されたものであれば、被検物Ｓ内に異物が無いことを把握することができる。
　次に、異物検査装置１０の発信器１１からの照射光Ｌ２を異物３００の存在する領域に照射する場合について説明する。照射光Ｌ２が異物３００に到達するまでは、異物３００が存在しない場合の説明と同様である。すなわち、照射光Ｌ２は、本体部材２０１の下面２０１ｕ、本体部材２０１と被検物Ｓとの界面において、それぞれ反射光Ｌ２-Ｒ１およびＬ２-Ｒ２が発生し、透過光Ｌ２-Ｔ２が異物３００に到達する。異物３００においては、反射光Ｌ２-ＲＯが発生する。異物３００を透過した透過光Ｌ２-Ｔ３は蓋部材２０２に到達し、被検物Ｓと蓋部材２０２との界面において、反射光Ｌ２-Ｒ３を発生する。さらに、蓋部材２０２を透過して収容容器２０から出射するが、その際、蓋部材２０２と空気の屈折率差に応じて反射光Ｌ２-Ｒ４が発生する。なお、異物３００を透過する光の強度は異物３００の材料や形状に依存し、異物３００を透過する光の強度がゼロまたはゼロに近い微小な強度になる可能性もある。なお、受信器１３では、図３（ｃ）に示すような時間波形信号が得られる。図３（ｂ）と比較して、図３（ｃ）ではピークの発生回数が増え、そのタイミングは異物が混在する位置に応じている。このように、予め凹部２０１ｃの形状や、凹部２０１ｃに対する蓋部材２０２の位置に応じて、受信器１３のピーク波形が出現するタイミングが推定されるので、推定されたピーク波形とは異なるタイミングで発生するピーク波形をとらえることで、異物の存在を高い精度で取得することが可能となる。
　上記説明の通り、異物３００がない場合とある場合のそれぞれの透過光であるＬ１-Ｔ３とＬ２-Ｔ４とは強度が異なり、また、異物３００による影響を有無により透過光の時間波形も互いに異なる。反射光についても同様で、異物３００がない場合とある場合のそれぞれの反射光であるＬ１ＲとＬ２Ｒとは強度も時間波形も互いに異なる。
　例えば、異物検査装置１０の受信器１３により収容容器２０からの反射光を検出するように構成した場合について説明する。異物が存在しない領域においては、受信器１３は、反射光Ｌ１-Ｒ１、Ｌ１-Ｒ２、Ｌ１-Ｒ３、Ｌ１-Ｒ４を順次受信する。一方、異物が存在する領域においては、受信器１３は、反射光Ｌ２-Ｒ１、Ｌ２-Ｒ２、Ｌ２-ＲＯ、Ｌ２-Ｒ３、Ｌ２-Ｒ４を順次受信する。すなわち、受信器１３が時系列的に受信する反射光は、異物３００がある場合とない場合とで異なるため、両者の時間波形は互いに異なる。従って、これらの時間波形を解析することで、異物の有無、形状、材料等を検出することができる。
　異物検査装置１０の受信器１３に透過光を受信させる構成とした場合には、異物３００が存在する領域を透過した透過光Ｌ２－Ｔ４の時間波形には、異物３００による影響が現れる。これに対して、異物３００が存在しない領域を透過した透過光Ｌ１-Ｔ３には、異物３００による影響は現れない。従って、両者の時間波形を比較解析することにより、異物の有無、形状、材料等を検出することができる。
　以下、図７のフローチャートを参照しながら、異物検査装置１０の動作を説明する。図７に示す各処理は、制御部１６でプログラムを実行して行われる。このプログラムは、メモリ（不図示）に格納されており、制御部１６により起動され、実行される。
　ステップＳ１では、発信器１１に対して、被検物Ｓが凹部２０１ｃに収容された収容容器２０に向けてテラヘルツパルス光の照射を行わせて、ステップＳ２へ進む。なお、この場合、収容容器２０に内在する被検物Ｓは、たとえば上述したように粉末であり、押圧された状態で収容されている。
　ステップＳ２では、受信器１３に収容容器２０から到達したテラヘルツパルス光を受信させ、受信されたテラヘルツパルス光の振幅に応じた時間波形信号を出力させてステップＳ３へ進む。ステップＳ３では、画像生成部１７は、受信器１３から出力された時間波形信号に基づいて、画像を生成しステップＳ４へ進む。ステップＳ４では、被検物Ｓの全ての検査位置における処理が行われたか否かを判定する。全ての検査位置における処理が行われた場合には、ステップＳ４が肯定判定されて処理を終了する。まだ処理が行われていな検査位置が存在する場合には、ステップＳ４が否定判定されてステップＳ５へ進む。ステップＳ５では、被検物Ｓの次の計測位置にテラヘルツパルス光が照射されるように、走査機構１４に指令して、収容容器２０の位置を固定した状態で、発信器１１と光学系１２と受信器１３とを、ＸＹ平面上にて二次元移動させステップＳ１へ戻る。
　本実施の形態の収容容器２０では、被検物Ｓが凹部２０１ｃ内で一様な密度および一様な厚さにて収容されている。従って、異物が存在しない場合には、被検物Ｓを二次元走査した際に、各検査位置における反射光または透過光を検出したときの時間波形信号の検出位置（タイミング）は変化しない。一方、異物が存在している場合には、異物が存在しない場合と比較して、異なる位置（タイミング）で時間波形信号が検出される。これにより、異物検査装置１０は、反射光または透過光の時間波形に対して僅かに影響を与えるような微小な異物についても検出することが可能になり、異物の検出精度を向上させることができる。
　上述した第１の実施の形態によれば、次の作用効果が得られる。
（１）収容容器２０の蓋部材２０２は、本体部材２０１の凹部２０１ｃに収容された被検物Ｓを、被検物Ｓと蓋部材２０２との間には空気が存在せず、被検物Ｓの密度が一様な状態であって被検物Ｓの形状が変化しないように本体部材２０１に固定される。これにより、微小な異物についても検出することが可能になり、異物の検出精度の向上に寄与する。
（２）収容容器２０の本体部材２０１はテラヘルツパルス光を透過するため、テラヘルツパルス光により、凹部２０１ｃに収容された被検物Ｓにおける異物検査が可能となる。
（３）本体部材２０１の凹部２０１ｃの深さＤは一定であり、蓋部材２０２の下面（本体部材２０１の上面２０１ｔ）と対向する凹部２０１ｃの低面２０１ｂとの距離は一定である。これにより、異物が存在しない領域においては、反射光または透過光の時間波形が一様になり、微小な異物の有無の検出が容易になる。
（４）検査に用いるテラヘルツパルス光の周波数帯において、本体部材２０１および／または蓋部材２０２の屈折率と、被検物Ｓの屈折率との差は所定値より小さい。これにより、被検物Ｓと本体部材２０１との界面、および／または、被検物Ｓと蓋部材２０２との界面における反射を抑えることができるので、検査精度を向上させることができる。
（５）収容容器２０には、凹部２０１ｃ内に収容された被検物Ｓに対して紫外光や可視光を遮蔽する材料を含ませることができる。これにより、収容容器２０内の被検物Ｓが紫外光や可視光の影響により変質等が発生することを抑制できる。
　なお、本発明における「一様な密度」とは、テラヘルツセンシング装置において、異物の存在の有無が分別できる条件を満たしている状態を示す。たとえば、受信器１３によりテラヘルツパルス光の検出タイミング、特に検出されたパルス中で大きい信号値が検出されたタイミングまたは所定のパルス波形が検出されるタイミング等に応じて、異物の有無を判定する場合、異物が存在するときに、テラヘルツパルス光のパルス発光タイミングに対する受信器１３のテラヘルツパルス光の検出タイミングが、所定のタイミングからずれるようにすることが好ましい。
　しかしながら、被検物Ｓの測定位置（図１のＸＹ平面上での位置）ごとに密度に差があると、密度の差に応じてテラヘルツパルス光の検出タイミングがずれてしまう。そこで、以下の説明では、どの程度までテラヘルツパルス光の検出タイミングがずれても問題がないかについて説明する。
　まず初めに、テラヘルツパルス光の時間位置を検出する方法について説明する。
　一次光源であるフェムト秒レーザ光源１９から超短パルスレーザ光が発信器１１に照射されると、テラヘルツパルス光が発信器１１から放射される。フェムト秒レーザ光源１９は、一定周期で超短パルスレーザ光を放射するので、その周期に同期して発信器１１はテラヘルツパルス光を一定周期で放射する。また、受信器１３はフェムト秒レーザ光源１９からの超短パルスレーザ光が照射されているタイミングだけ、テラヘルツパルス光に対して感度を有する。このため、超短パルスレーザ光の周期に同期して、受信器１３から出力される電流出力波形（すなわち時間波形信号）も一定周期で出力される。なお、発信器１１に到達する超短パルスレーザ光とポンプ光と称し、受信器１３に到達する超短パルスレーザ光をプローブ光と称する。また、プローブ光のパルス波形は、一次光源であるフェムト秒レーザをビームスプリッタで分岐させるので、時間波形信号に同期して受信器１３の電流測定トリガとして照射される。
　ポンプ光の光路長にテラヘルツパルス光の発信器から受信器までの光路長を加えた光路長であるポンプ光及びテラヘルツパルス光の光路長和と、プローブ光の光路長とが同一の場合、電流測定トリガであるプローブ光のパルス波形Ｌ１１０はテラヘルツパルス光の発生と同時に受信器１３に到達する。すなわち、図８に示す時間波形信号Ｌ１００のａ点における電流値が画像生成部１７に取り込まれる。次に、ポンプ光及びテラヘルツパルス光の光路長和とプローブ光との光路長差が大きくなる方向に時間遅延部材２１を移動させる場合、プローブ光のパルス波形Ｌ１１０はテラヘルツパルス光が発生する瞬間よりも少し遅れて受信器１３に到達するため、時間波形信号Ｌ１００のｂ点における電流値が画像生成部１７に取り込まれる。以下、同様にして、ポンプ光及びテラヘルツパルス光の光路長和とプローブ光との光路長差がさらに大きくなる方向に時間遅延部材２１を移動させることにより、図８に示す時間波形信号Ｌ１００のｃ点～ｆ点における電流値が画像生成部１７に取り込まれる。画像生成部１７は、これらａ点～ｆ点での電流値から時間波形Ｌ１２０を整形する。
　上述した方法を用いてテラヘルツパルス光の検出タイミングを求めるが、このときのサンプリング間隔に対応する時間よりも２倍より長く遅延すると、明らかに他の部分に対して異常な箇所として認識することができる。そこで、本実施の形態では、このような理由から２倍より大きく異ならない密度状態を一様な密度として見なせることができる。
　なお、遅延量と密度との関係については、次のように説明することができる。
　図９（ａ）は被検物Ｓの形状を反射測定系で測定した場合の時間波形信号を模式的に示す。図９（ａ）のＬ２００が反射体からの反射パルスであり、解析対象のメインパルスであるものとする。図９（ａ）においては、被検物Ｓが低密度に収容された範囲Ｓ０１を粗いドットで示し、高密度で収容された範囲Ｓ０２を細かいドットで模式的に表現する。範囲Ｓ０１と範囲Ｓ０２とにおいて、被検物Ｓの表面と底面とで反射するテラヘルツパルス光の振幅の時間的変化を、図９（ｂ）、（ｃ）に示す。図９（ｂ）、（ｃ）に示す通り、被検物Ｓの底面で反射したテラヘルツパルス光は、収容容器２０に収容された粉末の被検物Ｓの密度の違いによって到達時刻がずれる。すなわち、図示の通りパルスＬ２００が密度の変化によって異なる場所に観察される。高い検査精度を保つためには、メインパルスであるパルスＬ２００の観測位置（時間軸上）のずれ量Δｔが、検査領域内で検査装置のパルス位置測定精度以下となることが重要である。
　たとえば、異物検査装置１０においては、テラヘルツパルス光の時間的な振幅変化をサンプリングするサンプリング間隔が０．１ピコ秒であるとする。収容容器２０内における粉体の密度の差の適切な条件の一例としては、密度の分布により反射パルスの検出器への到達時間のずれが０．１ピコ秒のサンプリング間隔の２倍よりも短くなる、すなわちテラヘルツパルス光の検査精度以下になるように設定されることが望ましい。
　図９（ｄ）は、離散的な点から構成されるテラヘルスパルス光Ｌ２０１の時間的な振幅の変化を模式的に示す。なお、図９（ｄ）に示すように、本実施の形態による異物検査装置１０では、テラヘルツパルス光の時間的な振幅変化のサンプリング間隔を０．１ピコ秒とする。
　次に、被検物Ｓの密度の変化に伴うパルス時間のずれ（遅延量）が異物検査装置１０の検査精度内にとどまるための理想的な条件について以下に示す。すなわち、パルスの位置のずれが検査精度以下になるような密度変化の割合を計算する。
　電磁波（テラヘルツパルス光）の速度と、触媒の厚みおよび屈折率との関係は、以下の式（１）によって表される。
　ｔ＝２ｎｌ／ｃ　…（１）
　なお、式（１）において、ｔは時間、ｎは屈折率、ｌは物理長（触媒の厚み）、ｃは光速を表す。
　屈折率ｎは、一般的に媒質の密度と密接な関係にあり、密閉されたサンプル（被検物Ｓ）の屈折率ｎは、サンプル（被検物Ｓ）の密度ｄと係数ｋとを用いて、以下の式（２）によって表される。
　
Figure JPOXMLDOC01-appb-I000001
　…（２）
　係数ｋは密度ｄと屈折率ｎとを関係付ける係数であり、被検物Ｓによって異なる。式（２）は式（１）を用いて以下の式（３）のように変形され、サンプル（被検物Ｓ）の密度ｄとサンプル（被検物Ｓ）中の電磁波の伝搬時間が関係付けされる。
　ｔ＝２（１＋ｋｄ）ｌ／ｃ　…（３）
　ここで、密度ｄにわずかな変化Δｄがある場合に生じる時間変化Δｔは、式（３）を時間微分することによって算出される。すなわち、密度変化Δｄによる時間変化Δｔは以下の式（４）となる。
　
Figure JPOXMLDOC01-appb-I000002
　…（４）
　なお、上記式（４）は密度をｄ’＝ｄ＋Δｄとし、時間ｔ’＝ｔ＋Δｔとし、式（３）と式（１）とを用いても同様な結果が得られる。
　ここで、計算パラメータを密度変化の割合（Δｄ／ｄ）とするため、式（４）の右辺の分母と分子に密度を掛け、絶対値をとる。これにより、式（４）は以下の式（５）になる。
　
Figure JPOXMLDOC01-appb-I000003
　…（５）
　式（５）に示すように、密度変化の割合Δｄ／ｄとパルスの時間変化Δｔとが関連付けされる。式（５）は、ある密度ｄに対して分布が生じ僅かに密度変化が生じた際の時間変化量を表している。
　図９（ｃ）は、異なるサンプル（被検物Ｓ）の厚みに応じて、密度が変化した場合のその割合Δｄ／ｄに対するパルスの時間変化Δｔを表し、計算条件として係数ｋ＝０．５［ｃｍ３／ｇ］、密度ｄ＝０．５［ｃｍ３／ｇ］としている。密度変化が一定である好適な条件としては、式（５）で算出される｜Δｔ｜が異物検査装置１０に要求される測定精度に対応する時間間隔以下となればよい。特に、本発明の実施の形態における収容容器２０は、蓋部材２０２で粉体を押圧したときに、サンプリング間隔の２倍以下の遅延量となるように収容容器２０内に収容された粉体の密度分布のばらつきを抑えられるようにできることが好ましい。
　なお、必ずしも閾値を２倍以上にすることに限られず、検出精度を高めたい場合には、サンプリング間隔の１．９倍、１．８倍、１．７倍、１．６倍、１．５倍、１．４倍、１．３倍、１．２倍、１，１倍を閾値に設定してもよい。
　なお、本発明は、検出されたテラヘルツパルス光の検出タイミングの変化で求める方法に限られず、テラヘルツパルス光の波形（たとえば、最大振幅の絶対値や、波形の長さなど）の変化により異物の有無を検出するときには、信号値の階調分解能に応じて決めてもよい。
（第２の実施の形態）
　次に、第２の実施の形態の収容容器について図４を参照して説明する。なお、図４においては、図２を参照して説明した第１の実施の形態と同様の構成については、同じ符号を用いる。図４（ａ）は、収容容器４０の外観を模式的に示す図であり、図４（ｂ）は収容容器４０のＺＸ平面における断面を模式的に示す図である。本実施の形態の収容容器４０は、蓋部材２０２と被検物Ｓとの間に、被検物Ｓを押圧するための押圧部材４０１を設けた点で、第１の実施の形態と異なる。すなわち、第１の実施の形態の収容容器２０においては、蓋部材２０２により、本体部材２０１の凹部２０１ｃに収容された被検物Ｓを上部からＺ軸＋方向に押圧して、凹部２０１ｃから被検物Ｓが散逸することを防ぐ構成であった。これに対して、本実施の形態の収容容器４０は、蓋部材２０２が押圧部材４０１を介して被検物Ｓを上方からＺ軸＋方向に押圧して、凹部２０１ｃから被検物Ｓが散逸することを防ぐ構成となっている。
　押圧部材４０１は被検物Ｓに対して一様な押圧力を発生させるために、弾力性に富んだ材料であることが好ましい。具体的には、例えばブタジエンゴム、ポリエチレンやポリプロピレン等のポリオレフィン樹脂、フッ素ゴム、ブチレンゴム、ポリエチレン等を用いることができる。押圧部材４０１の側面は、被検物Ｓを押圧した状態において、本体部材２０１の凹部２０１ｃの側面に密着する形状とする。これにより、被検物Ｓが本体部材２０１と蓋部材２０２との隙間を通って凹部２０１ｃから散逸することを防止する。なお、特に、ブチレンゴムは柔らかいので、ブチレンゴムと粉体の被検物Ｓとの接触面に凹凸があったとしても、粉体の被検物Ｓとブチレンゴムとの間に隙間が発生しにくい。このため、ブチレンゴムを用いることがテラヘルツパルス光による検査には好適である。押圧部材４０１の屈折率は、テラヘルツパルス光の透過率が高く、かつ、被検物Ｓの屈折率との差が小さいことが好ましい。このような条件を満たす押圧部材４０１を用いた収容容器４０を用いることにより、テラヘルツパルス光を透過させて異物検査を行うことができる。
　テラヘルツパルス光を収容容器４０に照射して検査を行うことについての原理については、第１の実施の形態において説明した収容容器２０を用いた検査についての説明に準ずる。なお、第１の実施の形態においては、被検物Ｓと蓋部材２０２との界面において反射光が発生するのに対して、本実施の形態においては、被検物Ｓと押圧部材４０１との界面、および押圧部材４０１と蓋部材２０２との界面において反射光が発生する点が異なる。
　上述した第２の実施の形態によれば、第１の実施の形態において説明した作用効果に加えて、次の作用効果が得られる。
（１）収容容器４０においては、蓋部材２０２は押圧部材４０１を介して被検物Ｓを押圧する。これにより、本体部材２０１の凹部２０１ｃに収容された被検物Ｓを、被検物Ｓと押圧部材４０１との間、および押圧部材４０１と蓋部材２０２との間に空気が存在しないように、かつ、被検物Ｓの密度が一様な状態であって被検物Ｓの形状が変化しないようにより確実に本体部材２０１に固定される。
（２）検査に用いるテラヘルツパルス光の周波数帯において、押圧部材４０１の屈折率と被検物Ｓの屈折率との差を所定値より小さくした場合、被検物Ｓと押圧部材４０１との界面における反射を抑えることができるので、検査精度を向上させることができる。
（第３の実施の形態）
　第２の実施の形態において、収容容器４０は、押圧部材４０１と蓋部材２０２とは別々の部材として説明した。しかし、押圧部材４０１と蓋部材２０２とを一体で構成してもよい。本実施の形態の収容容器５０を図５に示す。図５に示す収容容器５０は、蓋部材２０５の下面に凸部２０５ｖが形成されており、この凸部２０５ｖの側面は、被検物Ｓを押圧した状態で、本体部材２０１の凹部２０１ｃの側面に密着するように形状となっている。蓋部材２０５は、例えば、ポリオレフィン樹脂により一体成形することが可能である。このような構成により、押圧部材４０１を別部材として用意する必要がないので、第２の実施の形態に比較して、より低いコストで収容容器を製造することができる。
　次のような変形例も本発明の範囲内であり、これらの変形例のうちの一つ、もしくは複数を上述の実施形態と組み合わせることも可能である。
（１）上述した実施の形態の収容容器においては、本体部材２０１の凹部２０１ｃの深さＤを一定としたが、これに限定されない。たとえば、図６の断面図に凹部２０１ｃの深さＤが一定でない収容容器６０の一例を示す。この収容容器６０は、本体部材２０１の凹部２０１ｃの低面２０１ｂはＸＹ平面に対して所定の傾きを有し、凹部２０１ｃのＸ方向－側の端部の深さはＤ１であり、Ｘ方向＋側の端部の深さはＤ１より浅いＤ２である。
　上記のように凹部２０１ｃの深さが一様でない収容容器においては、ＸＹ面内の各位置に対応した凹部２０１ｃの深さの情報を予め把握しておく。例えば、テラヘルツパルス光を、収容容器６０の下方（Ｚ軸－側）から上方に向けて照射して、被検物Ｓに異物が混入しているかどうか検査する場合について説明する。上記説明の深さ情報を予め把握していることで、本体部材２０１と被検物Ｓとの界面において反射光が発生するタイミングを、ＸＹ面内の各位置に対応させて予め把握できる。また、被検物Ｓによるテラヘルツパルス光の吸収についてもＸＹ面内の各位置に対応させて予め把握できる。これにより、深さの変化によるテラヘルツパルス光の反射タイミングや透過したテラヘルツパルス光の振幅の大きさを補正することができる。
（２）被検物Ｓが一様な密度で凹部内２０１ｃに収容され、かつ、被検物Ｓと蓋部材２０２（２０５）の間、あるいは、被検物Ｓと押圧部材４０１との間に空気層が存在しないようにするため、減圧環境下で、被検物Ｓ（薬剤粉末）を本体部材２０１に収容し、蓋部材２０２を収容部に固定してもよい。また、本体部材２０１の凹部２０１ｃに被検物Ｓを密度が一様となるように収容するために、凹部２０１ｃに被検物Ｓを収容中および／または収容後に本体部材２０１に対して超音波等の振動を与えてもよい。これにより、被検物Ｓ内において照射光Ｌ１が空気層の影響により減衰し、異物の検出精度に悪影響を及ぼすことを抑制できる。
（３）収容容器２０は反射部を備えてもよい。反射部はテラヘルツパルス光を入射させる側の表面とは反対側の面に設ける。例えば、テラヘルツパルス光を本体部材２０１の下面２０１ｕから収容容器２０に入射させる場合には、反射部は蓋部材２０２の上面に設ける。また、テラヘルツパルス光を蓋部材２０２の上面から入射させる場合には、反射部は下面２０１ｕの下方に設ける。これにより、異物検査装置１０が被検物Ｓを透過したテラヘルツパルス光を反射させて、再び被検物Ｓを透過させ、さらに高精度に異物の検査を行うことができる。なお、反射部としては、金属材料で形成されていることが好ましい。金属材料であれば、蒸着薄膜やシート状の金属箔などであっても好ましい。金属材料としては、アルミが軽量で安価であるので、その点で好ましいが、それ以外の金属でも適用可能である。
（４）本体部材２０１の下面２０１ｕおよび凹部２０１ｃの低面２０１ｂ（すなわち被検物Ｓと接触する面）に反射防止膜を設けてもよい。この場合、反射防止膜として、テラヘルツパルス光にとって透過率が高い樹脂材料であればその効果を期待でき、たとえば、シクロオレフィン系の樹脂やポリエチレンを用いることができる。また、その厚みｄは、λ／（４ｎ）（ｎは反射防止膜として使用する材料の厚み）にすることが好ましい。これにより、収容容器２０にテラヘルツパルス光が入射する際、あるいは、本体部材２０１を透過して被検物Ｓに入射する際に、反射光の発生を抑えることができる。また、反射防止膜は、凹部２０１ｃの側面に設けてもよく、これにより、凹部２０１ｃにおける内部側面および表面における反射光の発生を抑えることができるので、被検物Ｓ内の異物の検出精度を向上させることができる。
（５）上記説明は、凹部２０１ｃが１個である場合について説明したが、凹部２０１ｃが複数個存在するような収容容器にも適用することができる。
（６）また、本発明は次のような特徴から構成されるものも含む。
　粉末収容容器は、粉末を収容する凹部が形成された収容部と、凹部に収容された粉末を覆う蓋部材と、を備え、蓋部材は、粉末を押圧して粉末を収容部に封止することで、前記粉末を蓋部材で覆う前に対して、粉末の密度の分布の差を低減させる。
　本発明の特徴を損なわない限り、本発明は上記実施の形態に限定されるものではなく、本発明の技術的思想の範囲内で考えられるその他の形態についても、本発明の範囲内に含まれる。
１０…異物検査装置、１１…発信器、１２…光学系、
１３…受信器、１４…走査機構、１６…制御部、
１７…画像生成部、１８…演算部、
１９…フェムト秒レーザ光源、２１…時間遅延部材、
２２－１、２２－２…光導波路、
２０、４０、５０、６０…収容容器、２０１…本体部材、２０１ｃ…凹部
２０２、２０５…蓋部材、４０１…押圧部材

Claims (14)

  1. 　粉末を収容する凹部が形成された収容部と、
    　前記凹部に収容された粉末を覆う蓋部材と、を備え、
    　前記粉末を前記凹部の内部にて一様な密度にて収容する粉末収容容器。
  2. 　請求項１に記載の粉末収容容器において、
    　前記蓋部材は、前記粉末を押圧するように備えられている粉末収容容器。
  3. 　粉末を収容する凹部が形成された収容部と、
    　前記凹部に収容された粉末を覆う蓋部材と、を備え、
    　前記収容部は、テラヘルツ光を透過する材料から構成されている粉末収容容器。
  4. 　請求項２または３に記載の粉末収容容器において、
    　前記蓋部材と、前記蓋部材と対向する前記凹部の面との距離が一定である粉末収容容器。
  5. 　請求項１乃至４の何れか一項に記載の粉末収容容器において、
    　前記凹部は、前記粉末内の異物の混入の有無を検査するための検査光が進行する方向に沿った長さが一定である粉末収容容器。
  6. 　請求項１乃至５の何れか一項に記載の粉末収容容器において、
    　前記蓋部材は、前記粉末の表面と密着して前記粉末を覆う粉末収容容器。
  7. 　請求項１乃至６の何れか一項に記載の粉末収容容器において、
    　前記粉末内の異物の混入の有無を検査するための検査光の周波数帯において、前記蓋部材の屈折率と、前記粉末の屈折率との差が所定値より小さい粉末収容容器。
  8. 　請求項１乃至７の何れか一項に記載の粉末収容容器において、
    　前記粉末内の異物の混入の有無を検査するための検査光の周波数帯において、前記収容部の屈折率と、前記粉末の屈折率との差が所定値より小さい粉末収容容器。
  9. 　請求項１乃至８の何れか一項に記載の粉末収容容器において、
    　前記粉末内の異物の混入の有無を検査するための検査光の進行方向と交わる方向に沿って、前記検査光を反射する反射部をさらに備える粉末収容容器。
  10. 　請求項１乃至９の何れか一項に記載の粉末収容容器において、
    　前記凹部内に収容された前記粉末を遮光する遮光部をさらに備える粉末収容容器。
  11. 　粉末に含まれる異物の検査方法において、
    　前記粉末を収容する凹部が形成された収容部と前記凹部に収容された前記粉末を覆う蓋部材からなる粉末収容容器に内在する粉末に、テラヘルツ光を照射し、
    　前記粉末を介して前記粉末収容容器から受信器に到達したテラヘルツ光を受信し、
    　前記受信器から得られた信号を基に、異物の存在を検出する異物の検査方法。
  12. 　請求項１１に記載の異物の検査方法において、
    　前記粉末収容容器に内在する粉末は、押圧された状態で前記粉末収容容器に収容されている異物の検査方法。
  13. 　請求項1乃至１０の何れか一項に記載の粉末収容容器において、
    　前記粉末の密度の差を測定精度よりも小さい変化量が検出される程度の差にする粉末収容容器。
  14. 　請求項１乃至１０の何れか一項に記載の粉末収容容器において、
    　前記粉末の密度の差が、テラヘルツパルス光を検出する受信部で設定されたテラヘルツ光のサンプリング時間間隔の２倍よりも小さい遅延量となるような密度の差になるようにする粉末収容容器。
     
     
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