WO2017203886A1 - Ｘ線検査装置およびｘ線検査装置の制御方法 - Google Patents

Ｘ線検査装置およびｘ線検査装置の制御方法 Download PDF

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ray detector
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木下　修
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日本装置開発株式会社
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Definitions

  • the present invention relates to an X-ray inspection apparatus for non-destructively inspecting the inside of industrial products and the like and a control method for such an X-ray inspection apparatus.
  • An X-ray inspection apparatus for inspecting the inside of an inspection object such as an industrial product in a nondestructive manner is known (for example, see Patent Documents 1 and 2).
  • An X-ray inspection apparatus described in Patent Document 1 includes an X-ray source that irradiates an object to be inspected with X-rays, an X-ray line sensor (line sensor), an object to be inspected, and a vertical axis that rotates.
  • a rotary table that rotates as a direction and a moving mechanism that moves the line sensor up and down are provided.
  • the inspection object arranged between the X-ray source and the line sensor is rotated at a constant speed, and the line sensor is synchronized with the rotation of the inspection object from the upper end to the lower end of the inspection object.
  • the line sensor is synchronized with the rotation of the inspection object from the upper end to the lower end of the inspection object.
  • a plurality of X-ray images are acquired by the line sensor, and a CT image of the object to be inspected is generated from the acquired plurality of X-ray images.
  • Patent Document 2 when the object to be inspected is large and the required spatial resolution is high, the rotation mechanism of the object to be inspected is, for example, four or more rounds (360 ° ⁇ 4 rotations or more) and every 360 °.
  • An X-ray inspection apparatus that acquires a partial projection obtained by moving the two-dimensional detector to 4 parts (or 8 parts) of the object to be inspected and combining the obtained partial projections is disclosed as a prior art. Has been.
  • the entire CT image of the object to be inspected can be generated. Since a necessary X-ray image can be acquired, it is possible to shorten the acquisition time of the X-ray image necessary for generating the entire CT image of the subject. However, even if an X-ray image necessary for generating an entire CT image of the object to be inspected can be acquired in a short time, a CT image generation process for generating a CT image by performing a predetermined calculation based on the acquired X-ray image If it takes a long time, the inspection time of the object to be inspected cannot be shortened.
  • an object of the present invention is to reduce the acquisition time of an X-ray image necessary for generating an entire CT image of an object to be inspected even if the object to be inspected is large, and to obtain a CT image based on the acquired X-ray image.
  • An X-ray inspection apparatus and an X-ray inspection apparatus control method capable of shortening a CT image generation processing time for generating an object and reducing an inspection time of an object to be inspected.
  • an X-ray inspection apparatus includes an X-ray generator, a two-dimensional X-ray detector disposed so as to sandwich an object to be inspected between the X-ray generator, The X-ray generator and the two-dimensional X-ray detector are rotated so that the X-ray generator and the two-dimensional X-ray detector rotate relative to the inspection object on the outer periphery side of the inspection object, or the inspection object is A rotation mechanism that rotates, and a processing unit that captures and processes an X-ray image acquired by the two-dimensional X-ray detector, and a predetermined direction parallel to the detection surface of the two-dimensional X-ray detector is a first direction.
  • the direction parallel to the detection surface and perpendicular to the first direction is the second direction, and the relative rotation direction of the X-ray generator and the two-dimensional X-ray detector with respect to the object to be inspected is the relative rotation direction. Then, the two-dimensional X-ray detector moves relative to the object to be examined at least in the first direction.
  • the plane including the detection surface is a virtual projection plane
  • the entire projection image of the inspected object projected onto the virtual projection plane by the X-rays emitted by the X-ray generator is a virtual projection image
  • the detection plane is at least It is smaller than the virtual projection image in the first direction
  • the control unit rotates the X-ray generator and the two-dimensional X-ray detector relative to the object to be inspected with respect to the inspected object by the rotation mechanism and detects the two-dimensional X-ray.
  • An image acquisition operation for causing the device to acquire an X-ray image at a predetermined angle and a movement operation for moving the two-dimensional X-ray detector relative to the object to be inspected in one direction in the first direction by a moving mechanism are alternately performed.
  • a first position at a predetermined position in the second direction X-ray images of the object to be inspected divided in directions are acquired by a two-dimensional X-ray detector over 360 ° for every fixed angle in the relative rotation direction, and acquired over 360 ° for every fixed angle in the relative rotation direction. If the X-ray image of the object to be inspected divided in the first direction at the predetermined position in the second direction is an X-ray image for one row, the processing means can obtain the X-ray for one row taken from the two-dimensional X-ray detector.
  • a composition process for combining a plurality of X-ray images acquired at the same angle in the relative rotation direction in the image in the first direction is performed for each fixed angle in the relative rotation direction, and is synthesized after the composition process.
  • the X-ray image is divided in the second direction to form a plurality of band-shaped X-ray images, and after the division process, based on the band-shaped X-ray image for 360 ° located at the same position in the second direction.
  • CT image generation for generating a CT image by performing a predetermined calculation Or a division process that divides a row of X-ray images captured from the two-dimensional X-ray detector into a plurality of parts in the second direction, and is in the same position in the second direction after the division process.
  • a combined X-ray image obtained by dividing the X-ray images obtained at the same angle in the relative rotation direction in the first direction and combining them into a belt-like X-ray image is set for each fixed angle in the relative rotation direction.
  • the X-ray inspection apparatus control method of the present invention is a two-dimensional X-ray that is arranged so as to sandwich an object to be inspected between the X-ray generator and the X-ray generator.
  • a rotation mechanism that rotates the object to be inspected, and a predetermined direction parallel to the detection surface of the two-dimensional X-ray detector is defined as the first direction, the direction parallel to the detection surface and orthogonal to the first direction
  • the second direction is the second direction
  • the relative rotation direction of the X-ray generator and the two-dimensional X-ray detector with respect to the object to be inspected is the relative rotation direction.
  • An image acquisition operation for causing the two-dimensional X-ray detector to acquire an X-ray image at a predetermined angle and a moving mechanism to move the two-dimensional X-ray detector in the first direction with respect to the object to be inspected.
  • the X-ray image of the object to be inspected divided in the first direction at a predetermined position in the second direction is rotated over 360 ° for each constant angle in the relative rotation direction.
  • a combining process is performed to divide the combined X-ray image in the second direction to form a plurality of strip-shaped X-ray images.
  • 360 at the same position in the second direction Perform CT image generation processing for generating a CT image by performing a predetermined calculation based on a belt-shaped X-ray image for °°, or a row of X-ray images taken from a two-dimensional X-ray detector in the second direction If you execute a split process that splits into multiple
  • a plurality of X-ray images that are divided at the same position in the second direction and acquired at the same angle in the relative rotation direction are joined in the first direction to form a belt-like X-ray.
  • a synthesis process for synthesizing the image is executed at every fixed angle in the relative rotation direction.
  • a CT image is obtained by performing a predetermined calculation based on a 360 ° band X-ray image at the same position in the second direction.
  • a CT image generation process to be generated is executed.
  • the X-ray generator and the two-dimensional X-ray detector are rotated 360 ° relative to the object to be inspected by the rotation mechanism, and the two-dimensional X-ray detector acquires an X-ray image at a certain angle.
  • the operation and the moving operation of moving the two-dimensional X-ray detector relative to the object to be inspected in one direction in the first direction are alternately performed by the moving mechanism, and the predetermined position in the second direction is divided in the first direction.
  • the X-ray image of the object to be inspected is acquired by the two-dimensional X-ray detector over 360 ° for every fixed angle in the relative rotation direction.
  • the X-ray generator and the two-dimensional X can be reduced. Therefore, in the present invention, even when the object to be inspected is large, it is possible to shorten the acquisition time of the X-ray image necessary for generating the entire CT image of the object to be inspected.
  • a combining process for combining a plurality of X-ray images acquired at the same angle in the relative rotation direction in a row of X-ray images captured from a two-dimensional X-ray detector in the first direction. Is executed for each fixed angle in the relative rotation direction, and after the combining process, the combined X-ray image is divided in the second direction to form a plurality of belt-shaped X-ray images, and after the dividing process, A CT image generation process for generating a CT image by performing a predetermined calculation based on a 360 ° belt-shaped X-ray image at the same position in the second direction is performed, or captured from a two-dimensional X-ray detector.
  • a division process is performed to divide the X-ray image for one row into a plurality of parts in the second direction, and after the division process, the X-ray images are divided at the same position in the second direction and at the same angle in the relative rotation direction.
  • a composition process for joining line images in the first direction to compose a belt-like X-ray image is executed at fixed angles in the relative rotational direction, and after the composition process, a 360-degree belt-shaped belt at the same position in the second direction is executed.
  • CT image generation processing for generating a CT image by performing a predetermined calculation based on an X-ray image is executed. Therefore, in the present invention, by setting the width of the belt-shaped X-ray image (the width in the second direction) according to the processing capability of the processing means, the belt-shaped X-ray for 360 ° at the same position in the second direction. It is possible to reduce the time for CT image generation processing for generating a CT image by performing a predetermined calculation based on the image.
  • the acquisition time of the X-ray image necessary for generating the entire CT image of the object to be inspected can be shortened, and the acquired X-ray image can be reduced. It is possible to reduce the CT image generation processing time for generating a CT image based on the above. Therefore, in the present invention, even when the object to be inspected is large, the inspection time of the object to be inspected can be shortened.
  • the detection surface of the two-dimensional X-ray detector is smaller than the virtual projection image in the first direction and the second direction, and the control unit detects two-dimensional X-ray images for one row of X-ray images.
  • the two-dimensional X-ray detector is moved relative to the object to be inspected at least in the second direction by the moving mechanism, and then the image acquisition operation and the moving operation are alternately performed to inspect the object to be inspected.
  • the X-ray image for the next line in the second direction is acquired by the two-dimensional X-ray detector.
  • the X-ray inspection apparatus includes, as processing means, a first processing means connected to the two-dimensional X-ray detector and capturing an X-ray image acquired by the two-dimensional X-ray detector, and a first processing means. And a second processing unit connected to the first processing unit.
  • the first processing unit captures the X-ray image for one column
  • the first processing unit transmits the acquired X-ray image for one column to the second processing unit as it is. It is preferable to execute processing, division processing, and CT image generation processing.
  • the X-ray inspection apparatus includes, as processing means, first processing means connected to the two-dimensional X-ray detector and capturing an X-ray image acquired by the two-dimensional X-ray detector; A second processing unit connected to the first processing unit.
  • the first processing unit executes a synthesis process and a division process when the X-ray image for one column is captured, and the second processing unit captures from the first processing unit.
  • the CT image generation processing may be executed based on a 360 ° band X-ray image at the same position in the second direction.
  • the X-ray image capturing process with a high processing load is executed by the first processing means, and the CT image generation process with a high processing load is executed in parallel by the second processing means. It becomes possible. Therefore, as compared with the case where the X-ray image capturing process and the CT image generation process are executed by one processing unit having a processing capability comparable to that of the first processing unit or the second processing unit.
  • the CT image generation processing time can be shortened, and as a result, the inspection time of the object to be inspected can be further shortened.
  • an X-ray inspection apparatus includes an X-ray generator and a two-dimensional X-ray detector disposed so as to sandwich an object to be inspected between the X-ray generator and the X-ray generator.
  • the X-ray generator and the two-dimensional X-ray detector are rotated or rotated so that the X-ray generator and the two-dimensional X-ray detector rotate relative to the inspection object on the outer peripheral side of the inspection object.
  • a rotation mechanism that rotates the body, and processing means that captures and processes an X-ray image acquired by the two-dimensional X-ray detector, and sets a predetermined direction parallel to the detection surface of the two-dimensional X-ray detector.
  • the direction parallel to the detection surface and perpendicular to the first direction is the second direction
  • the relative rotation direction of the X-ray generator and the two-dimensional X-ray detector with respect to the object to be inspected is relatively rotated.
  • the two-dimensional X-ray detector in the first direction and the second direction with respect to the object to be inspected.
  • the moving mechanism for translating the two-dimensional X-ray detector or moving the object to be inspected so as to move in pairs is connected to the X-ray generator, the two-dimensional X-ray detector, the rotating mechanism, and the moving mechanism.
  • a plane including the detection surface as a virtual projection plane, and the entire projection image of the inspected object projected on the virtual projection plane by the X-rays emitted from the X-ray generator is a virtual projection image.
  • the surface is smaller than the virtual projection image in the first direction and the second direction, and the control unit rotates the X-ray generator and the two-dimensional X-ray detector relative to the object to be examined by 360 ° by the rotation mechanism.
  • an image acquisition operation for causing the two-dimensional X-ray detector to acquire an X-ray image at a certain angle, and a movement mechanism for moving the two-dimensional X-ray detector relative to the object to be examined in one direction in the first direction.
  • the X-ray image of the inspected object divided in the first direction at a predetermined position is acquired by the two-dimensional X-ray detector over 360 ° for every fixed angle in the relative rotation direction, and at every fixed angle in the relative rotation direction. If the X-ray image of the inspected object divided in the first direction at a predetermined position in the second direction obtained over 360 ° is an X-ray image for one row, the control unit When acquired by the two-dimensional X-ray detector, the two-dimensional X-ray detector is moved relative to the object to be inspected in at least the second direction by the moving mechanism, and then the image acquisition operation and the movement operation are alternately performed.
  • the next-row X-ray image in the second direction of the object to be inspected is acquired by the two-dimensional X-ray detector, and the processing means includes the one-row X-ray image captured from the two-dimensional X-ray detector.
  • the X-ray inspection apparatus control method of the present invention is a two-dimensional X-ray that is arranged so as to sandwich an object to be inspected between the X-ray generator and the X-ray generator.
  • a rotation mechanism that rotates the object to be inspected, and a predetermined direction parallel to the detection surface of the two-dimensional X-ray detector is defined as the first direction, the direction parallel to the detection surface and orthogonal to the first direction
  • the second direction is the second direction
  • the relative rotation direction of the X-ray generator and the two-dimensional X-ray detector with respect to the object to be inspected is the first direction of the two-dimensional X-ray detector with respect to the object to be inspected.
  • the two-dimensional X-ray detector is translated or moved so as to move relative to the direction and the second direction. Equipped with a moving mechanism that translates the specimen, the plane including the detection surface is taken as the virtual projection plane, and the entire projection image of the inspected object projected onto the virtual projection plane by the X-rays emitted by the X-ray generator is virtually projected
  • An image is a control method for an X-ray inspection apparatus in which the detection surface is smaller than the virtual projection image in the first direction and the second direction, and the X-ray generator and the two-dimensional X-ray detector are An image acquisition operation that causes the two-dimensional X-ray detector to acquire an X-ray image at a certain angle while rotating relative to the object to be inspected 360 °, and a two-dimensional X-ray detector with respect to the object to be inspected by a moving mechanism
  • the X-ray image of the object to be inspected divided in the first direction at a predetermined position in the second direction is alternately transferred 360 at a certain angle in the
  • the next-row X-ray image in the second direction of the object to be inspected is acquired by the two-dimensional X-ray detector, and the X-ray for one row captured from the two-dimensional X-ray detector
  • a synthesis process for connecting and synthesizing a plurality of X-ray images acquired at the same angle in the relative rotation direction in the image in the first direction is performed at every fixed angle in the relative rotation direction, and 360 ° after the synthesis process.
  • Based on synthesized X-ray images of minutes And executes the CT image generating process of generating a CT image by performing a constant arithmetic.
  • the X-ray generator and the two-dimensional X-ray detector are rotated 360 ° relative to the object to be inspected by the rotation mechanism, and the two-dimensional X-ray detector acquires an X-ray image at a certain angle.
  • the operation and the moving operation of moving the two-dimensional X-ray detector relative to the object to be inspected in one direction in the first direction are alternately performed by the moving mechanism, and the predetermined position in the second direction is divided in the first direction.
  • the X-ray image of the object to be inspected is acquired by the two-dimensional X-ray detector over 360 ° for every fixed angle in the relative rotation direction.
  • the moving mechanism moves the two-dimensional X-ray detector relative to the object to be inspected in at least the second direction, and then The image acquisition operation and the movement operation are alternately performed to cause the two-dimensional X-ray detector to acquire the next row of X-ray images in the second direction of the object to be inspected. Therefore, in the present invention, even when the object to be inspected is large in both the first direction and the second direction, the X-ray image necessary for generating the entire CT image of the object to be inspected is acquired on the object to be inspected.
  • the number of times of relative rotation of the X-ray generator and the two-dimensional X-ray detector can be reduced. Therefore, in the present invention, even when the object to be inspected is large in both the first direction and the second direction, it is possible to shorten the acquisition time of the X-ray image necessary for generating the entire CT image of the object to be inspected. Become.
  • a combining process for combining a plurality of X-ray images acquired at the same angle in the relative rotation direction in a row of X-ray images captured from a two-dimensional X-ray detector in the first direction Is performed for every fixed angle in the relative rotation direction, and after the synthesis process, a CT image generation process is performed in which a predetermined calculation based on the synthesized X-ray image for 360 ° is performed to generate a CT image. That is, in the present invention, a CT image is generated for each row of X-ray images that are X-ray images of the object to be inspected at a predetermined position in the second direction.
  • the X-ray image of the entire object to be inspected by the large-sized two-dimensional X-ray generator for each fixed angle in the relative rotation direction.
  • CT image generation compared to a case in which a two-dimensional X-ray detector is acquired over 360 ° and a predetermined calculation based on the acquired X-ray image is performed to generate a CT image of the entire inspection object at once. Processing time can be shortened.
  • the acquisition time of the X-ray image necessary for generating the entire CT image of the object to be inspected can be shortened, and the acquired X-ray image can be reduced. It is possible to reduce the CT image generation processing time for generating a CT image based on the above. Therefore, in the present invention, even when the object to be inspected is large, the inspection time of the object to be inspected can be shortened.
  • the X-ray inspection apparatus is connected to a two-dimensional X-ray detector as a processing means, a first processing means for capturing an X-ray image acquired by the two-dimensional X-ray detector, and a first processing means.
  • Second processing means and when the first processing means captures a row of X-ray images, the first processing means transmits the fetched one row of X-ray images as it is to the second processing means.
  • CT image generation processing are preferably executed.
  • the X-ray inspection apparatus includes, as processing means, first processing means connected to a two-dimensional X-ray detector and capturing an X-ray image acquired by the two-dimensional X-ray detector; And a second processing unit connected to the first processing unit, the first processing unit executes a synthesizing process when the X-ray image for one column is captured, and the second processing unit captures the first processing unit after the synthesizing process.
  • CT image generation processing may be executed based on the X-ray image.
  • the X-ray image capturing process with a high processing load is executed by the first processing means, and the CT image generation process with a high processing load is executed in parallel by the second processing means. It becomes possible. Therefore, as compared with the case where the X-ray image capturing process and the CT image generation process are executed by one processing unit having a processing capability comparable to that of the first processing unit or the second processing unit.
  • the CT image generation processing time can be shortened, and as a result, the inspection time of the object to be inspected can be further shortened.
  • the acquisition time of the X-ray image necessary for generating the entire CT image of the object to be inspected is shortened, and the CT based on the acquired X-ray image is obtained. It is possible to reduce the CT image generation processing time for generating an image and reduce the inspection time of the object to be inspected.
  • FIG. 1 is a schematic diagram of a mechanical configuration of an X-ray inspection apparatus according to an embodiment of the present invention. It is a block diagram for demonstrating schematic structure of the X-ray inspection apparatus shown in FIG. It is a figure for demonstrating the synthetic
  • FIG. 1 is a schematic diagram of a mechanical configuration of an X-ray inspection apparatus 1 according to an embodiment of the present invention.
  • FIG. 2 is a block diagram for explaining a schematic configuration of the X-ray inspection apparatus 1 shown in FIG.
  • the X-ray inspection apparatus 1 of this embodiment is an apparatus for inspecting the inside of an inspection object 2 such as an industrial product in a nondestructive manner.
  • the X-ray inspection apparatus 1 is an apparatus for inspecting a relatively large object 2 such as an engine block.
  • This X-ray inspection apparatus 1 includes an X-ray generator 3 that irradiates an object 2 to be inspected with X-rays, and a two-dimensional X-ray detection that is arranged so that the object 2 to be inspected is sandwiched between the X-ray generator 3. 4 (hereinafter referred to as “area sensor 4”).
  • the X-ray inspection apparatus 1 includes processing means 5 and 6 that capture and process an X-ray image acquired by the area sensor 4, a table 7 on which the inspection object 2 is mounted, and a rotation mechanism that rotates the table 7. 8 and a moving mechanism 9 for moving the area sensor 4 in parallel.
  • the X-ray inspection apparatus 1 includes two processing units 5 and 6 including a processing unit 5 as a first processing unit and a processing unit 6 as a second processing unit.
  • the X-ray generator 3, the area sensor 4, the rotating mechanism 8, and the moving mechanism 9 are connected to the control unit 10.
  • the processing means 5 and 6 include arithmetic means such as a CPU and storage means such as a semiconductor memory.
  • the processing means 5 and 6 of this form are personal computers (PC). Therefore, hereinafter, the processing means 5 is referred to as “PC5” and the processing means 6 is referred to as “PC6”.
  • the PC 5 is connected to the area sensor 4 and takes in an X-ray image acquired by the area sensor 4.
  • the PC 6 is connected to the PC 5.
  • the X-ray generator 3 emits, for example, a conical X-ray (cone beam) toward the inspection object 2.
  • the optical axis of the X-ray generator 3 is parallel to the horizontal direction.
  • the area sensor 4 is a two-dimensional camera.
  • the detection surface 4a of the area sensor 4 is formed in a rectangular shape. Specifically, the detection surface 4a is formed in a square shape. The length of one side of the detection surface 4a is, for example, 200 (mm). Assuming that the direction parallel to the optical axis of the X-ray generator 3 is the front-rear direction, the detection surface 4a is arranged so as to be orthogonal to the front-rear direction.
  • the area sensor 4 has two of the four sides of the detection surface 4a formed in a square shape parallel to the up-down direction, and the remaining The two sides are arranged so as to be parallel to the left-right direction.
  • the left-right direction of this embodiment is a first direction that is a predetermined direction parallel to the detection surface 4a
  • the up-down direction is a direction parallel to the detection surface 4a and orthogonal to the first direction. It is the second direction.
  • the table 7 is disposed between the X-ray generator 3 and the area sensor 4 in the front-rear direction so that the inspection object 2 is disposed between the X-ray generator 3 and the area sensor 4.
  • the rotation mechanism 8 rotates the table 7 with the vertical direction as the axis direction of rotation. That is, the rotation mechanism 8 rotates the device under test 2 mounted on the table 7 so that the X-ray generator 3 and the area sensor 4 rotate relative to the device under test 2 on the outer peripheral side of the device under test 2.
  • the moving mechanism 9 translates the area sensor 4 in the horizontal direction and the vertical direction. That is, the moving mechanism 9 translates the area sensor 4 so that the area sensor 4 moves relative to the object to be inspected 2 in the horizontal direction and the vertical direction.
  • the direction of relative rotation of the X-ray generator 3 and the area sensor 4 with respect to the inspection object 2 may be referred to as “relative rotation direction”.
  • a plane including the detection surface 4a of the area sensor 4 is defined as a virtual projection plane VP, and an entire projection image of the inspection object 2 projected onto the virtual projection plane VP by X-rays emitted from the X-ray generator 3 is a virtual projection image VI. Then, the detection surface 4a is smaller than the virtual projection image VI in the vertical direction and the horizontal direction. In this embodiment, when the area sensor 4 is moved to nine locations, the area sensor 4 can acquire the entire X-ray image of the object 2 to be inspected.
  • a first arrangement position 4A where the right end side of the lower end side portion of the inspection object 2 is projected
  • a second arrangement position 4B where the central portion in the left-right direction of the lower end side part of the inspection object 2 is projected.
  • the third arrangement position 4C where the left end side of the lower end side portion of the inspection object 2 is projected
  • the fourth arrangement position 4D where the right end side of the center part in the vertical direction of the inspection object 2 is projected
  • the sixth arrangement position 4F at which the left end side of the center portion in the vertical direction of the inspection object 2 is projected
  • the right end side of the upper end side portion of the inspection object 2 are projected.
  • the area sensor 4 arranged at the first arrangement position 4A moves to the left by the length of one side of the detection surface 4a
  • the area sensor 4 is arranged at the second arrangement position 4B and arranged at the second arrangement position 4B.
  • the area sensor 4 moves to the left by the length of one side of the detection surface 4a
  • the area sensor 4 is arranged at the third arrangement position 4C.
  • the area sensor 4 arranged at the third arrangement position 4C moves to the right by twice the length of one side of the detection surface 4a and moves upward by the length of one side of the detection surface 4a
  • the area sensor 4 arranged at the fourth arrangement position 4D moves to the left by the length of one side of the detection surface 4a
  • the area sensor 4 is arranged at the fifth arrangement position 4E, and at the fifth arrangement position 4E.
  • the area sensor 4 is arranged at the sixth arrangement position 4F.
  • the area sensor 4 arranged at the sixth arrangement position 4F moves to the right by twice the length of one side of the detection surface 4a and moves to the upper side by the length of one side of the detection surface 4a
  • the area The sensor 4 is arranged at the seventh arrangement position 4G.
  • the area sensor 4 arranged at the seventh arrangement position 4G moves to the left by the length of one side of the detection surface 4a
  • the area sensor 4 is moved to the eighth arrangement position 4H.
  • the area sensor 4 arranged and moved to the eighth arrangement position 4H moves to the left by the length of one side of the detection surface 4a
  • the area sensor 4 is arranged at the ninth arrangement position 4I.
  • a part of the inspection object 2 is projected on the detection surface 4a of the area sensor 4 regardless of the position of the first arrangement position 4A to the ninth arrangement position 4I.
  • the irradiation region of the X-ray generator 3 is set so that the virtual projection image VI is projected onto the virtual projection plane VP without moving the X-ray generator 3.
  • the X-ray inspection apparatus 1 acquires an X-ray image of the inspection object 2 as follows. First, the control unit 10 adjusts the rotation mechanism 8 so that the rotation position of the rotation mechanism 8 becomes a predetermined origin position. Further, the control unit 10 causes the moving mechanism 9 to move the area sensor 4 to, for example, the first arrangement position 4A and stop it. In this state, the control unit 10 rotates the inspection object 2 mounted on the table 7 by 360 ° by the rotation mechanism 8 and acquires X-ray images A1 to A1000 (see FIG. 3) from the area sensor 4 at a certain angle. An image acquisition operation is performed. In the image acquisition operation of this embodiment, 1000 X-ray images A1 to A1000 are sequentially acquired every 0.36 °. Note that the number of X-ray images acquired by the image acquisition operation may be less than 1000 or more than 1000.
  • the control unit 10 performs a moving operation of moving the area sensor 4 in the left direction by the moving mechanism 9.
  • the area sensor 4 moves from the first arrangement position 4A to the second arrangement position 4B and stops.
  • the control unit 10 rotates the object 2 to be inspected 360 ° by the rotation mechanism 8 and sequentially sends 1000 X-ray images B1 to B1000 (see FIG. 3) to the area sensor 4 every 0.36 °.
  • the image acquisition operation to be acquired is performed.
  • the control unit 10 performs a moving operation of moving the area sensor 4 from the second arrangement position 4B to the third arrangement position 4C by the movement mechanism 9.
  • the control unit 10 rotates the object 2 to be rotated 360 ° by the rotation mechanism 8 and causes the area sensor 4 to sequentially acquire 1000 X-ray images C1 to C1000 (see FIG. 3) every 0.36 °. Perform image acquisition.
  • the X-ray images A1, B1, and C1 are X-ray images acquired at the same angle in the relative rotation direction of the area sensor 4 with respect to the inspection object 2, and the X-ray images A1, B1, and C1 are arranged in this order from the right side.
  • an X-ray image of the origin position in the relative rotation direction of the lower end side portion of the inspection object 2 is obtained. That is, each of the X-ray images A1, B1, and C1 is an X-ray image of the origin position in the relative rotation direction of the lower end side portion of the inspection object 2, and the left and right direction of the lower end side portion of the inspection object 2 It is the X-ray image divided
  • the X-ray images A2, B2, and C2 are X-ray images acquired at the same angle in the relative rotation direction, and the X-ray images A2, B2, and C2 are arranged in this order from the right side and connected and combined. Then, an X-ray image of a position shifted by 0.36 ° from the origin position in the relative rotation direction of the lower end side portion of the inspection object 2 is obtained. That is, each of the X-ray images A2, B2, and C2 is an X-ray image at a position shifted by 0.36 ° from the origin position in the relative rotation direction of the lower end side portion of the inspection object 2 and the inspection object 2 It is the X-ray image divided
  • the X-ray images An, Bn, and Cn are X-ray images acquired at the same angle in the relative rotation direction, and the X-ray images An, Bn, and Cn are When arranged in this order from the right side and joined together to synthesize, the X-ray image of the lower end side portion of the inspection object 2 at a position shifted by (0.36 ⁇ (n ⁇ 1)) ° from the origin position in the relative rotation direction. It becomes.
  • Each of the X-ray images An, Bn, and Cn is an X-ray image at a position shifted by (0.36 ⁇ (n ⁇ 1)) ° from the origin position in the relative rotation direction of the lower end side portion of the inspection object 2.
  • the control unit 10 causes the rotation mechanism 8 to rotate the X-ray generator 3 and the area sensor 4 relative to the object to be inspected 360 ° with the rotation mechanism 8 in a state in which the area sensor 4 is stopped.
  • the image acquisition operation for acquiring the X-ray image and the movement operation for moving the area sensor 4 relative to the inspection object 2 in the left direction by the moving mechanism 9 are alternately performed, and the lower end side portion of the inspection object 2
  • the X-ray image divided in the left-right direction is acquired by the area sensor 4 over 360 ° at every fixed angle in the relative rotation direction.
  • the control unit 10 may acquire the X-ray images C1 to C1000 after acquiring the X-ray images A1 to A1000, and then acquire the X-ray images B1 to B1000. Further, the control unit 10 may acquire the X-ray images A1 to A1000 after acquiring the X-ray images B1 to B1000, and then acquire the X-ray images C1 to C1000, or may acquire the X-ray images B1 to B1000. X-ray images C1 to C1000 may be acquired after acquiring X-ray images, and then X-ray images A1 to A1000 may be acquired.
  • control unit 10 may acquire the X-ray images B1 to B1000 after acquiring the X-ray images C1 to C1000, and then acquire the X-ray images A1 to A1000, or may acquire the X-ray images C1 to C1000.
  • X-ray images A1 to A1000 may be acquired after acquiring X-ray images, and then X-ray images B1 to B1000 may be acquired.
  • a control unit 10 When a plurality of X-ray images divided in the left-right direction at the lower end side portion of the object 2 to be inspected, which are obtained over 360 ° at every fixed angle in the relative rotation direction, are set as a row of X-ray images P1, a control unit 10, when the X-ray image P ⁇ b> 1 for one row is acquired by the area sensor 4, the moving mechanism 9 moves the area sensor 4 from the third arrangement position 4 ⁇ / b> C to the fourth arrangement position 4 ⁇ / b> D. That is, the control unit 10 moves the area sensor 4 in the right direction and the upward direction by the moving mechanism 9.
  • control unit 10 performs an image acquisition operation similar to the above-described image acquisition operation, causes the area sensor 4 arranged at the fourth arrangement position 4D to acquire the X-ray images D1 to D1000, and then performs the above-described movement.
  • the movement operation similar to the operation is performed to move the area sensor 4 from the fourth arrangement position 4D to the fifth arrangement position 4E.
  • control unit 10 performs the image acquisition operation to cause the area sensor 4 arranged at the fifth arrangement position 4E to acquire the X-ray images E1 to E1000, and then performs the movement operation to execute the fifth operation.
  • the area sensor 4 is moved from the arrangement position 4E to the sixth arrangement position 4F, and then an image acquisition operation is performed to cause the area sensor 4 arranged at the sixth arrangement position 4F to acquire the X-ray images F1 to F1000.
  • the control unit 10 moves the area sensor 4 in the right direction and the upward direction by the movement mechanism 9, and then performs the image acquisition operation and the movement operation.
  • the area sensor 4 moves the area sensor 4 in the right direction and the upward direction by the movement mechanism 9, and then performs the image acquisition operation and the movement operation.
  • the area sensor 4 moves the area sensor 4 in the right direction and the upward direction by the movement mechanism 9, and then performs the image acquisition operation and the movement operation.
  • the control unit 10 moves the area sensor 4 in the right direction and the upward direction by the moving mechanism 9, and then performs the image acquisition operation and the movement operation. Alternately, the area sensor 4 acquires the X-ray image P2 for the next line in the vertical direction.
  • the control unit 10 moves the area sensor 4 from the sixth arrangement position 4F to the seventh arrangement position 4G by the moving mechanism 9. Thereafter, the control unit 10 similarly performs an image acquisition operation to cause the area sensor 4 arranged at the seventh arrangement position 4G to acquire the X-ray images G1 to G1000, and then performs a movement operation to perform the seventh operation.
  • the area sensor 4 is moved from the arrangement position 4G to the eighth arrangement position 4H.
  • the control unit 10 performs the image acquisition operation to cause the area sensor 4 arranged at the eighth arrangement position 4H to acquire the X-ray images H1 to H1000, and then performs the movement operation to perform the eighth operation.
  • an image acquisition operation is performed to cause the area sensor 4 arranged at the ninth arrangement position 4I to acquire X-ray images I1 to I1000.
  • the acquisition of the X-ray image of the inspection object 2 by the area sensor 4 is completed.
  • the control unit 10 moves the area sensor 4 in the right direction and the upward direction by the moving mechanism 9, and then performs the image acquisition operation and the movement operation.
  • the area sensor 4 moves the area sensor 4 in the right direction and the upward direction by the moving mechanism 9, and then performs the image acquisition operation and the movement operation.
  • FIG. 3 is a diagram for explaining the combining process and the dividing process in the PC 6 shown in FIG.
  • the PC 5 sequentially captures the X-ray images acquired by the area sensor 4. Further, when the PC 5 captures the X-ray image P1 for one row (ie, X-ray images A1 to A1000, B1 to B1000, C1 to C1000), the PC 5 transmits the captured X-ray image P1 for the single row to the PC 6 as it is. . First, the PC 6 combines and combines a plurality of X-ray images acquired at the same angle in the relative rotation direction of the area sensor 4 with respect to the inspection object 2 in the X-ray image P1 for one row in the left-right direction. Is executed at every fixed angle in the relative rotation direction.
  • the PC 6 arranges three X-ray images A1, B1, and C1 in this order from the right side and combines them to synthesize the combined X-ray image X1. Generate. Similarly, the PC 6 arranges and combines the three X-ray images A2, B2, and C2 in this order from the right side to generate a combined X-ray image X2. Further, the PC 6 performs the same combining process until a combined X-ray image X1000 in which three X-ray images A1000, B1000, and C1000 are connected is generated. That is, the PC 6 arranges and combines the three X-ray images An, Bn, and Cn in this order from the right side to generate 1000 synthesized X-ray images Xn.
  • the PC 6 divides the synthesized X-ray image X1 (the synthesized X-ray image) in the vertical direction into a plurality of strip X-ray images X1-1 to X1-4. Execute the process. In this embodiment, the PC 6 divides the combined X-ray image X1 into four strip X-ray images X1-1 to X1-4. Further, the PC 6 divides the composite X-ray image X1 into four strip X-ray images X1-1 to X1-4. Similarly, the PC 6 executes division processing to divide the composite X-ray image X2 in the vertical direction into four strip X-ray images X2-1 to X2-4 which are four strip X-ray images.
  • the PC 6 performs the same division process until the combined X-ray image X1000 is divided into the strip X-ray images X1000-1 to X1000-4. That is, the PC 6 executes a dividing process for dividing the combined X-ray image Xn into four vertical X-ray images Xn-1 to Xn-4.
  • the belt-like X-ray images Xn-1 to Xn-4 are arranged in this order from the lower side.
  • the PC 6 may sequentially divide the 1000 composite X-ray images Xn after generating 1000 composite X-ray images Xn, or every time one composite X-ray image Xn is generated, The generated composite X-ray image Xn may be divided.
  • the PC 6 executes a CT image generation process for generating a CT image by performing a predetermined calculation based on a 360 ° band X-ray image at the same position in the vertical direction. That is, the PC 6 performs a calculation based on the 1000 strip X-ray images X1-1, the strip X-ray images X2-1,..., The strip X-ray image X1000-1, and performs CT on the lowermost layer of the object 2 to be inspected. Generate an image. Further, the PC 6 performs a calculation based on the 1000 strip X-ray images X1-2, the strip X-ray images X2-2,...
  • a CT image of the third layer from the bottom is generated, and an operation is performed based on 1000 strip X-ray images X1-4, strip X-ray images X2-4,..., Strip X-ray images X1000-4.
  • a CT image of the fourth layer from the bottom of the inspection object 2 is generated.
  • the number of divisions of the composite X-ray image Xn in the division process may be two or three, or may be five or more.
  • the number of divisions of the composite X-ray image Xn in the division process is set according to the processing capability of the PC 6. Specifically, as the processing capability of the PC 6 increases, the number of divisions of the composite X-ray image Xn in the division processing decreases. On the other hand, when the processing capability of the PC 6 decreases, the number of divisions of the composite X-ray image Xn in the division processing increases.
  • the PC 5 sequentially captures each X-ray image constituting the X-ray image P2 for one column in parallel with the synthesis process, the division process, and the CT image generation process for the X-ray image P1 for the single column in the PC 6.
  • the PC 5 transmits the captured X-ray image P2 for the single line to the PC 6 as it is.
  • the PC 6 performs the synthesis process, the division process, and the CT image generation process for the X-ray image P2 for the single column in the same procedure as described above.
  • the PC 5 may transmit the captured X-ray image P2 for one column to the PC 6 before the composition processing, the division processing, and the CT image generation processing for the X-ray image P1 for the column in the PC 6 are completed. After completing the synthesizing process, the dividing process, and the CT image generating process for the one-line X-ray image P1, the captured one-line X-ray image P2 may be transmitted to the PC 6.
  • the PC 5 sequentially captures each X-ray image constituting the X-ray image P3 for one column in parallel with the composition processing, the division processing, and the CT image generation processing for the X-ray image P2 for the single column in the PC 6.
  • the PC 5 transmits the captured X-ray image P3 for the single line to the PC 6 as it is.
  • the PC 6 performs a synthesis process, a segmentation process, and a CT image generation process on the X-ray image P3 for one column in the same procedure as described above, and the CT image of the ninth layer from the bottom of the object to be inspected 2, A CT image of the tenth layer from the bottom of the inspection object 2, a CT image of the eleventh layer from the bottom of the inspection object 2, and a CT image of the uppermost layer of the inspection object 2 are generated.
  • the rotation mechanism 8 rotates the object 2 to be rotated 360 ° and the area sensor 4 acquires an X-ray image at a certain angle.
  • the left and right directions of the X-ray image divided in the left-right direction of the lower end side portion of the object to be inspected and the center portion of the inspected object 2 in the up-down direction are alternately performed.
  • the X-ray image divided in the left-right direction of the upper end side portion of the object to be inspected 2 are acquired over 360 ° for each constant angle in the rotation direction of the object 2 to be inspected. ing.
  • the PC 6 performs a relative process of combining three X-ray images acquired at the same angle in the rotation direction of the inspected object 2 in the horizontal direction in the X-ray image P1 for one row. It is executed for each fixed angle in the rotation direction, and after the synthesis process, a synthesis X-ray image is divided into four in the vertical direction to form a belt-like X-ray image that is a belt-like X-ray image.
  • a CT image generation process is performed in which a predetermined calculation based on a 360 ° band X-ray image at the same position in the vertical direction is performed to generate a CT image.
  • the PC 6 performs the synthesis process, the division process, and the CT image generation process for the X-ray images P2 and P3 for one column.
  • the number of divisions of the composite X-ray image in the division process is set according to the processing capability of the PC 6. Therefore, in this embodiment, it is possible to reduce the time of CT image generation processing for generating a CT image by performing a predetermined calculation based on a strip X-ray image.
  • the acquisition time of the X-ray image necessary for generating the entire CT image of the inspection object 2 can be shortened, and the acquired X It is possible to reduce the CT image generation processing time for generating a CT image based on a line image. Therefore, in this embodiment, even when the inspection object 2 is large, the inspection time of the inspection object 2 can be shortened.
  • the X-ray image capturing process with a high processing load is executed on the PC 5 while the CT image generating process with a high processing load is executed in parallel with the PC 6.
  • the CT image generation processing time can be further shortened. As a result, it is possible to further reduce the inspection time of the object 2 to be inspected.
  • FIG. 4 is a diagram for explaining the dividing process and the synthesizing process according to another embodiment of the present invention.
  • the PC 6 divides a row of X-ray images captured from the area sensor 4 into a plurality of parts in the vertical direction (specifically, divides each of the plurality of X-ray images in the vertical direction).
  • a plurality of X-ray images obtained at the same position in the vertical direction and obtained at the same angle in the rotation direction of the inspected object 2 are joined in the left-right direction.
  • a synthesis process for synthesizing the belt-shaped X-ray image is performed at every fixed angle in the rotation direction of the inspection object 2, and after the synthesis process, a predetermined X-ray image based on a 360-degree belt X-ray image located at the same position in the vertical direction.
  • the PC 6 first performs division processing, for example, as shown in FIG. 4A, the X-ray image A1 is divided into four in the vertical direction to form divided X-ray images A11 to A14, or the X-ray image An area arranged at the first arrangement position 4A until the X-ray image A1000 is divided into four divided X-ray images A10001 to A10004, for example, by dividing A2 into four in the vertical direction into divided X-ray images A21 to A24.
  • the X-ray image acquired by the sensor 4 is divided.
  • the PC 6 divides the X-ray image B1 into four in the vertical direction into divided X-ray images B11 to B14, or divides the X-ray image B2 into four in the vertical direction into divided X-ray images B21 to B24.
  • the X-ray image acquired by the area sensor 4 arranged at the second arrangement position 4B is divided until the X-ray image B1000 is divided into four divided X-ray images B10001 to B10004.
  • the PC 6 divides the X-ray image C1 into four pieces in the vertical direction into divided X-ray images C11 to C14, or divides the X-ray image C2 into four pieces in the vertical direction into divided X-ray images C21 to C24.
  • the X-ray image acquired by the area sensor 4 arranged at the third arrangement position 4C is divided until the X-ray image C1000 is divided into four divided X-ray images C10001 to C10004.
  • the PC 6 performs a synthesis process after the division process, and obtains the divided X-ray images at the same position in the vertical direction and at the same angle in the rotation direction of the device under test 2 as shown in FIG.
  • the three divided X-ray images A11 to C11 are sequentially arranged from the right side and joined in the left-right direction to be combined into a belt-like X-ray image X1-1.
  • the PC 6 performs a composition process to connect the divided X-ray images A12 to C12 to combine them into a belt-like X-ray image X1-2, and to connect the divided X-ray images A13 to C13 to connect the belt-like X-ray image X1.
  • the PC 6 performs the same combining process until the strip X-ray images X1000-1 to X1000-4 are combined.
  • the PC 6 performs a CT image generation process for generating a CT image by performing a predetermined calculation based on a 360 ° band X-ray image at the same position in the vertical direction after the synthesis process. To do. Even in this case, by setting the number of X-ray image divisions in the division process according to the processing capability of the PC 6, it is possible to reduce the time of the CT image generation process as in the above-described form. Become.
  • the PC 6 when the processing capability of the PC 6 is relatively high, the PC 6 does not execute the division processing for the X-ray images P1 to P3 for one column, but executes the synthesis processing and the CT image generation processing. good. That is, for example, the PC 6 performs a predetermined calculation based on the 360 ° synthesized X-ray images X1 to X1000 (synthesized X-ray images) after the synthesizing process for generating the synthesized X-ray images X1 to X1000, and obtains the CT image CT image generation processing for generating the image may be executed.
  • a CT image is generated on the basis of a row of X-ray images P1 that are X-ray images of the lower end portion of the inspection object 2, and is an X-ray image of the central portion of the inspection object 2 in the vertical direction.
  • a CT image is generated based on the X-ray image P2 for one column, and a CT image is generated based on the X-ray image P3 for one column that is an X-ray image of the upper end side portion of the inspection object 2. That is, a CT image is generated for each row of X-ray images P1 to P3.
  • the entire X-ray image of the object 2 to be inspected by the large area sensor over 360 ° at a certain angle in the relative rotation direction. It is possible to reduce the time of the CT image generation process as compared with the case where the entire CT image of the object to be inspected 2 is generated at once by performing a predetermined calculation based on the acquired X-ray image. become.
  • the PC 6 executes the combining process and the dividing process, but the PC 5 may execute the combining process and the dividing process.
  • the X-ray inspection apparatus 1 includes the two PCs 5 and 6. However, when the processing capability of the PC 5 is high, the X-ray inspection apparatus 1 does not include the PC 6. good. In this case, the PC 5 executes X-ray image capture processing, composition processing, division processing, and CT image generation processing. In the second modification of the X-ray image processing method described above, the PC 5 may execute the synthesis process, and the PC 6 may execute the CT image process. In the second modification of the X-ray image processing method described above, if the X-ray inspection apparatus 1 does not include the PC 6, the PC 5 performs X-ray image capture processing, composition processing, and CT image generation processing. Execute.
  • the rotation mechanism 8 rotates the object 2 to be inspected 2 mounted on the table 7, but the rotation mechanism 8 may rotate the X-ray generator 3 and the area sensor 4.
  • the moving mechanism 9 translates the area sensor 4 in the vertical direction and the horizontal direction.
  • the moving mechanism 9 may translate the subject 2 in the vertical direction and the horizontal direction. good.
  • the moving mechanism 9 may move the area sensor 4 in parallel in the left-right direction.
  • the X-ray inspection apparatus 1 includes a moving mechanism that translates the inspection object 2 in the vertical direction.
  • the moving mechanism 9 may move the device under test 2 in the left-right direction.
  • the X-ray inspection apparatus 1 includes a moving mechanism that translates the area sensor 4 in the vertical direction.
  • the moving mechanism 9 may move the X-ray generator 3 in parallel with the area sensor 4 in the vertical direction and the horizontal direction. In this case, for example, if the X-ray generator 3 is not moved, the virtual projection image VI (the entire projection image of the inspection object 2) cannot be projected onto the virtual projection plane VP. Three irradiation areas are set.
  • the area sensor 4 when the area sensor 4 is moved to nine positions from the first arrangement position 4A to the ninth arrangement position 4I, the area sensor 4 can acquire an entire X-ray image of the object 2 to be inspected.
  • the area sensor 4 when the area sensor 4 is moved to six locations from the first arrangement position 4A to the sixth arrangement position 4F, the area sensor 4 can acquire the entire X-ray image of the object 2 to be inspected.
  • the area sensor 4 may be moved to four locations of the first arrangement position 4A, the second arrangement position 4B, the fourth arrangement position 4D, and the fifth arrangement position 4E. It may be possible to acquire an X-ray image of the entire image.
  • the entire X-ray image of the inspection object 2 can be acquired by the area sensor 4. good.
  • the detection surface 4a is larger than the virtual projection image VI in the vertical direction.
  • the number of movements of the area sensor 4 from the first arrangement position 4A to the third arrangement position 4C at the same height is the same height.
  • the number of movements of the area sensor 4 from a certain fourth arrangement position 4D to the sixth arrangement position 4F (hereinafter referred to as “second stage movement number”) and the seventh arrangement position 4G to the ninth arrangement position at the same height.
  • the number of movements of the area sensor 4 up to the position 4I (hereinafter referred to as “the number of movements of the third stage”) is equal, but the number of movements of the first stage and the second stage are determined according to the shape of the inspection object 2.
  • the number of eye movements and the number of third movements may be different.
  • the area sensor 4 may move from the third arrangement position 4C to the sixth arrangement position 4F when acquiring an X-ray image of the object 2 to be inspected. In this case, the area sensor 4 subsequently moves sequentially to, for example, the fifth arrangement position 4E, the fourth arrangement position 4D, the seventh arrangement position 4G, the eighth arrangement position 4H, and the ninth arrangement position 4I.
  • the optical axis of the X-ray generator 3 is parallel to the horizontal direction, but the optical axis of the X-ray generator 3 may be tilted with respect to the horizontal direction.

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Abstract

【課題】被検査体が大きくても、被検査体の全体のＣＴ画像の生成に必要なＸ線画像の取得時間と、取得したＸ線画像に基づいてＣＴ画像を生成するＣＴ画像の生成処理時間とを短縮することが可能なＸ線検査装置を提供する。 【解決手段】Ｘ線検査装置１では、上下方向の所定位置の、左右方向で分割された被検査体２のＸ線画像を被検査体２の回転方向の一定角度ごとに３６０°に亘って二次元Ｘ線検出器４で取得し、二次元Ｘ線検出器４から取り込んだＸ線画像の中の被検査体２の回転方向の同じ角度で取得されたＸ線画像を左右方向で繋ぎ合わせて合成する合成処理を被検査体２の回転方向の一定角度ごとに実行するとともに、合成処理で合成されたＸ線画像を上下方向で分割して複数の帯状のＸ線画像にする分割処理を実行した後に、上下方向において同じ位置にある３６０°分の帯状のＸ線画像に基づく演算を行ってＣＴ画像を生成するＣＴ画像生成処理を実行している。

Description

Ｘ線検査装置およびＸ線検査装置の制御方法
　本発明は、工業製品等の内部を非破壊で検査するためのＸ線検査装置およびかかるＸ線検査装置の制御方法に関する。
　従来、工業製品等の被検査体の内部を非破壊で検査するためのＸ線検査装置が知られている（たとえば、特許文献１、２参照）。特許文献１に記載のＸ線検査装置は、被検査体にＸ線を照射するＸ線源と、Ｘ線ラインセンサ（ラインセンサ）と、被検査体が搭載されるとともに上下方向を回転の軸方向として回転する回転テーブルと、ラインセンサを上下動させる移動機構とを備えている。このＸ線検査装置では、Ｘ線源とラインセンサとの間に配置される被検査体を定速回転させるとともに、被検査体の回転に同期させてラインセンサを被検査体の上端から下端まで移動させながら、ラインセンサによって複数枚のＸ線画像を取得し、取得した複数枚のＸ線画像から被検査体のＣＴ画像を生成している。
　また、特許文献２には、被検査体が大きく、かつ、要求される空間分解能が高い場合に、被検査体の回転機構をたとえば４周以上（３６０°×４回転以上）させるとともに３６０°ごとに二次元検出器を移動させて、被検査体の４分割（あるいは８分割）された部分投影を取得し、所得した部分投影を合成して全投影を得るＸ線検査装置が従来技術として開示されている。
特開２００４－３５４２１５号公報 特開２００５－２９２０４７号公報
　特許文献１に記載のＸ線検査装置では、被検査体の１回転に対するラインセンサの下降量を小さくしないと、適切なＣＴ画像を取得することは困難である。たとえば、被検査体が１回転する間のラインセンサの下降量を０．１ｍｍ～０．２ｍｍ程度にしないと、このＸ線検査装置で適切なＣＴ画像を生成することは困難である。したがって、このＸ線検査装置では、被検査体が大きいと、被検査体の検査を行う際に被検査体を回転させる回数が多くなり、その結果、被検査体の全体のＣＴ画像を生成するために必要なＸ線画像の取得に時間がかかって、被検査体の検査時間が長くなる。
　これに対して、特許文献２に開示されたＸ線検査装置では、被検査体が大きくても、被検査体を４回転あるいは８回転させれば、被検査体の全体のＣＴ画像の生成に必要なＸ線画像を取得できるため、被検査体の全体のＣＴ画像の生成に必要なＸ線画像の取得時間を短縮することは可能である。しかしながら、被検査体の全体のＣＴ画像の生成に必要なＸ線画像を短時間で取得できても、取得したＸ線画像に基づく所定の演算を行ってＣＴ画像を生成するＣＴ画像の生成処理に時間がかかると、被検査体の検査時間を短縮することはできない。
　そこで、本発明の課題は、被検査体が大きくても、被検査体の全体のＣＴ画像の生成に必要なＸ線画像の取得時間を短縮するとともに、取得したＸ線画像に基づいてＣＴ画像を生成するＣＴ画像の生成処理時間を短縮して、被検査体の検査時間を短縮することが可能なＸ線検査装置およびＸ線検査装置の制御方法を提供することにある。
　上記の課題を解決するため、本発明のＸ線検査装置は、Ｘ線発生器と、Ｘ線発生器との間で被検査体を挟むように配置される二次元Ｘ線検出器と、被検査体の外周側で被検査体に対してＸ線発生器および二次元Ｘ線検出器が相対回転するようにＸ線発生器と二次元Ｘ線検出器とを回転させるかまたは被検査体を回転させる回転機構と、二次元Ｘ線検出器で取得されたＸ線画像を取り込んで処理する処理手段とを備えるとともに、二次元Ｘ線検出器の検出面に平行な所定の方向を第１方向とし、検出面に平行な方向であってかつ第１方向に直交する方向を第２方向とし、被検査体に対するＸ線発生器および二次元Ｘ線検出器の相対回転の方向を相対回転方向とすると、被検査体に対して二次元Ｘ線検出器が少なくとも第１方向へ相対移動するように二次元Ｘ線検出器を平行移動させるかまたは被検査体を平行移動させる移動機構と、Ｘ線発生器と二次元Ｘ線検出器と回転機構と移動機構とが接続される制御部とを備え、検出面を含む平面を仮想投影面とし、Ｘ線発生器が射出するＸ線によって仮想投影面に投影される被検査体の全体の投影像を仮想投影像とすると、検出面は、少なくとも第１方向において仮想投影像よりも小さくなっており、制御部は、回転機構によってＸ線発生器および二次元Ｘ線検出器を被検査体に対して３６０°相対回転させるとともに二次元Ｘ線検出器に一定角度ごとにＸ線画像を取得させる画像取得動作と、移動機構によって二次元Ｘ線検出器を被検査体に対して第１方向の一方へ相対移動させる移動動作とを交互に行って、第２方向の所定位置の、第１方向で分割された被検査体のＸ線画像を相対回転方向の一定角度ごとに３６０°に亘って二次元Ｘ線検出器に取得させ、相対回転方向の一定角度ごとに３６０°に亘って取得された、第２方向の所定位置の第１方向で分割された被検査体のＸ線画像を一列分Ｘ線画像とすると、処理手段は、二次元Ｘ線検出器から取り込んだ一列分Ｘ線画像の中の相対回転方向の同じ角度で取得された複数のＸ線画像を第１方向で繋ぎ合わせて合成する合成処理を相対回転方向の一定角度ごとに実行するとともに、合成処理後に、合成されたＸ線画像を第２方向で分割して複数の帯状のＸ線画像にする分割処理を実行し、分割処理後に、第２方向において同じ位置にある３６０°分の帯状のＸ線画像に基づく所定の演算を行ってＣＴ画像を生成するＣＴ画像生成処理を実行するか、あるいは、二次元Ｘ線検出器から取り込んだ一列分Ｘ線画像を第２方向で複数に分割する分割処理を実行するとともに、分割処理後に、第２方向において同じ位置にある分割後のＸ線画像であって相対回転方向の同じ角度で取得された複数のＸ線画像を第１方向で繋ぎ合わせて帯状のＸ線画像に合成する合成処理を相対回転方向の一定角度ごとに実行し、合成処理後に、第２方向において同じ位置にある３６０°分の帯状のＸ線画像に基づく所定の演算を行ってＣＴ画像を生成するＣＴ画像生成処理を実行することを特徴とする。
　また、上記の課題を解決するため、本発明のＸ線検査装置の制御方法は、Ｘ線発生器と、Ｘ線発生器との間で被検査体を挟むように配置される二次元Ｘ線検出器と、被検査体の外周側で被検査体に対してＸ線発生器および二次元Ｘ線検出器が相対回転するようにＸ線発生器と二次元Ｘ線検出器とを回転させるかまたは被検査体を回転させる回転機構とを備えるとともに、二次元Ｘ線検出器の検出面に平行な所定の方向を第１方向とし、検出面に平行な方向であってかつ第１方向に直交する方向を第２方向とし、被検査体に対するＸ線発生器および二次元Ｘ線検出器の相対回転の方向を相対回転方向とすると、被検査体に対して二次元Ｘ線検出器が少なくとも第１方向へ相対移動するように二次元Ｘ線検出器を平行移動させるかまたは被検査体を平行移動させる移動機構を備え、検出面を含む平面を仮想投影面とし、Ｘ線発生器が射出するＸ線によって仮想投影面に投影される被検査体の全体の投影像を仮想投影像とすると、検出面が少なくとも第１方向において仮想投影像よりも小さくなっているＸ線検査装置の制御方法であって、回転機構によってＸ線発生器および二次元Ｘ線検出器を被検査体に対して３６０°相対回転させるとともに二次元Ｘ線検出器に一定角度ごとにＸ線画像を取得させる画像取得動作と、移動機構によって二次元Ｘ線検出器を被検査体に対して第１方向の一方へ相対移動させる移動動作とを交互に行って、第２方向の所定位置の、第１方向で分割された被検査体のＸ線画像を相対回転方向の一定角度ごとに３６０°に亘って二次元Ｘ線検出器に取得させ、相対回転方向の一定角度ごとに３６０°に亘って取得された、第２方向の所定位置の第１方向で分割された被検査体のＸ線画像を一列分Ｘ線画像とすると、二次元Ｘ線検出器から取り込んだ一列分Ｘ線画像の中の相対回転方向の同じ角度で取得された複数のＸ線画像を第１方向で繋ぎ合わせて合成する合成処理を相対回転方向の一定角度ごとに実行するとともに、合成処理後に、合成されたＸ線画像を第２方向で分割して複数の帯状のＸ線画像にする分割処理を実行し、分割処理後に、第２方向において同じ位置にある３６０°分の帯状のＸ線画像に基づく所定の演算を行ってＣＴ画像を生成するＣＴ画像生成処理を実行するか、あるいは、二次元Ｘ線検出器から取り込んだ一列分Ｘ線画像を第２方向で複数に分割する分割処理を実行するとともに、分割処理後に、第２方向において同じ位置にある分割後のＸ線画像であって相対回転方向の同じ角度で取得された複数のＸ線画像を第１方向で繋ぎ合わせて帯状のＸ線画像に合成する合成処理を相対回転方向の一定角度ごとに実行し、合成処理後に、第２方向において同じ位置にある３６０°分の帯状のＸ線画像に基づく所定の演算を行ってＣＴ画像を生成するＣＴ画像生成処理を実行することを特徴とする。
　本発明では、回転機構によってＸ線発生器および二次元Ｘ線検出器を被検査体に対して３６０°相対回転させるとともに二次元Ｘ線検出器に一定角度ごとにＸ線画像を取得させる画像取得動作と、移動機構によって二次元Ｘ線検出器を被検査体に対して第１方向の一方へ相対移動させる移動動作とを交互に行って、第２方向の所定位置の、第１方向で分割された被検査体のＸ線画像を相対回転方向の一定角度ごとに３６０°に亘って二次元Ｘ線検出器に取得させている。そのため、本発明では、被検査体が大きくても、被検査体の全体のＣＴ画像の生成に必要なＸ線画像を取得する際に、被検査体に対してＸ線発生器および二次元Ｘ線検出器を相対回転させる回数を低減することが可能になる。したがって、本発明では、被検査体が大きくても、被検査体の全体のＣＴ画像の生成に必要なＸ線画像の取得時間を短縮することが可能になる。
　また、本発明では、二次元Ｘ線検出器から取り込んだ一列分Ｘ線画像の中の相対回転方向の同じ角度で取得された複数のＸ線画像を第１方向で繋ぎ合わせて合成する合成処理を相対回転方向の一定角度ごとに実行するとともに、合成処理後に、合成されたＸ線画像を第２方向で分割して複数の帯状のＸ線画像にする分割処理を実行し、分割処理後に、第２方向において同じ位置にある３６０°分の帯状のＸ線画像に基づく所定の演算を行ってＣＴ画像を生成するＣＴ画像生成処理を実行しているか、あるいは、二次元Ｘ線検出器から取り込んだ一列分Ｘ線画像を第２方向で複数に分割する分割処理を実行するとともに、分割処理後に、第２方向において同じ位置にある分割後のＸ線画像であって相対回転方向の同じ角度で取得された複数のＸ線画像を第１方向で繋ぎ合わせて帯状のＸ線画像に合成する合成処理を相対回転方向の一定角度ごとに実行し、合成処理後に、第２方向において同じ位置にある３６０°分の帯状のＸ線画像に基づく所定の演算を行ってＣＴ画像を生成するＣＴ画像生成処理を実行している。そのため、本発明では、処理手段の処理能力に応じて帯状のＸ線画像の幅（第２方向の幅）を設定することで、第２方向において同じ位置にある３６０°分の帯状のＸ線画像に基づく所定の演算を行ってＣＴ画像を生成するＣＴ画像生成処理の時間を短縮することが可能になる。
　このように本発明では、被検査体が大きくても、被検査体の全体のＣＴ画像の生成に必要なＸ線画像の取得時間を短縮することが可能になり、また、取得したＸ線画像に基づいてＣＴ画像を生成するＣＴ画像の生成処理時間を短縮することが可能になる。したがって、本発明では、被検査体が大きくても、被検査体の検査時間を短縮することが可能になる。
　本発明において、たとえば、二次元Ｘ線検出器の検出面は、第１方向および第２方向において仮想投影像よりも小さくなっており、制御部は、一列分Ｘ線画像が二次元Ｘ線検出器によって取得されると、移動機構によって二次元Ｘ線検出器を被検査体に対して少なくとも第２方向へ相対移動させ、その後、画像取得動作と移動動作とを交互に行って、被検査体の、第２方向における次の一列分Ｘ線画像を二次元Ｘ線検出器に取得させる。
　この場合には、Ｘ線検査装置は、処理手段として、二次元Ｘ線検出器に接続され二次元Ｘ線検出器で取得されたＸ線画像を取り込む第１処理手段と、第１処理手段に接続される第２処理手段とを備え、第１処理手段は、一列分Ｘ線画像を取り込むと、取り込んだ一列分Ｘ線画像をそのまま第２処理手段に送信し、第２処理手段は、合成処理と分割処理とＣＴ画像生成処理とを実行することが好ましい。また、この場合には、Ｘ線検査装置は、処理手段として、二次元Ｘ線検出器に接続され二次元Ｘ線検出器で取得されたＸ線画像を取り込む第１処理手段と、第１処理手段に接続される第２処理手段とを備え、第１処理手段は、一列分Ｘ線画像を取り込むと、合成処理と分割処理とを実行し、第２処理手段は、第１処理手段から取り込んだ、第２方向において同じ位置にある３６０°分の帯状のＸ線画像に基づいてＣＴ画像生成処理を実行しても良い。
　このように構成すると、処理の負荷が高いＸ線画像の取込処理を第１処理手段で実行しながら、処理の負荷が高いＣＴ画像生成処理を第２処理手段で並行して実行することが可能になる。したがって、第１処理手段や第２処理手段の処理能力と同程度の処理能力を有する１個の処理手段によって、Ｘ線画像の取込処理とＣＴ画像生成処理とを実行する場合と比較して、ＣＴ画像の生成処理時間を短縮することが可能になり、その結果、被検査体の検査時間をより短縮することが可能になる。
　さらに、上記の課題を解決するため、本発明のＸ線検査装置は、Ｘ線発生器と、Ｘ線発生器との間で被検査体を挟むように配置される二次元Ｘ線検出器と、被検査体の外周側で被検査体に対してＸ線発生器および二次元Ｘ線検出器が相対回転するようにＸ線発生器と二次元Ｘ線検出器とを回転させるかまたは被検査体を回転させる回転機構と、二次元Ｘ線検出器で取得されたＸ線画像を取り込んで処理する処理手段とを備えるとともに、二次元Ｘ線検出器の検出面に平行な所定の方向を第１方向とし、検出面に平行な方向であってかつ第１方向に直交する方向を第２方向とし、被検査体に対するＸ線発生器および二次元Ｘ線検出器の相対回転の方向を相対回転方向とすると、被検査体に対して二次元Ｘ線検出器が第１方向および第２方向へ相対移動するように二次元Ｘ線検出器を平行移動させるかまたは被検査体を平行移動させる移動機構と、Ｘ線発生器と二次元Ｘ線検出器と回転機構と移動機構とが接続される制御部とを備え、検出面を含む平面を仮想投影面とし、Ｘ線発生器が射出するＸ線によって仮想投影面に投影される被検査体の全体の投影像を仮想投影像とすると、検出面は、第１方向および第２方向において仮想投影像よりも小さくなっており、制御部は、回転機構によってＸ線発生器および二次元Ｘ線検出器を被検査体に対して３６０°相対回転させるとともに二次元Ｘ線検出器に一定角度ごとにＸ線画像を取得させる画像取得動作と、移動機構によって二次元Ｘ線検出器を被検査体に対して第１方向の一方へ相対移動させる移動動作とを交互に行って、第２方向の所定位置の、第１方向で分割された被検査体のＸ線画像を相対回転方向の一定角度ごとに３６０°に亘って二次元Ｘ線検出器に取得させるとともに、相対回転方向の一定角度ごとに３６０°に亘って取得された、第２方向の所定位置の第１方向で分割された被検査体のＸ線画像を一列分Ｘ線画像とすると、制御部は、一列分Ｘ線画像が二次元Ｘ線検出器によって取得されると、移動機構によって二次元Ｘ線検出器を被検査体に対して少なくとも第２方向へ相対移動させ、その後、画像取得動作と移動動作とを交互に行って、被検査体の、第２方向における次の一列分Ｘ線画像を二次元Ｘ線検出器に取得させ、処理手段は、二次元Ｘ線検出器から取り込んだ一列分Ｘ線画像の中の相対回転方向の同じ角度で取得された複数のＸ線画像を第１方向で繋ぎ合わせて合成する合成処理を相対回転方向の一定角度ごとに実行するとともに、合成処理後に、３６０°分の合成されたＸ線画像に基づく所定の演算を行ってＣＴ画像を生成するＣＴ画像生成処理を実行することを特徴とする。
　また、上記の課題を解決するため、本発明のＸ線検査装置の制御方法は、Ｘ線発生器と、Ｘ線発生器との間で被検査体を挟むように配置される二次元Ｘ線検出器と、被検査体の外周側で被検査体に対してＸ線発生器および二次元Ｘ線検出器が相対回転するようにＸ線発生器と二次元Ｘ線検出器とを回転させるかまたは被検査体を回転させる回転機構とを備えるとともに、二次元Ｘ線検出器の検出面に平行な所定の方向を第１方向とし、検出面に平行な方向であってかつ第１方向に直交する方向を第２方向とし、被検査体に対するＸ線発生器および二次元Ｘ線検出器の相対回転の方向を相対回転方向とすると、被検査体に対して二次元Ｘ線検出器が第１方向および第２方向へ相対移動するように二次元Ｘ線検出器を平行移動させるかまたは被検査体を平行移動させる移動機構を備え、検出面を含む平面を仮想投影面とし、Ｘ線発生器が射出するＸ線によって仮想投影面に投影される被検査体の全体の投影像を仮想投影像とすると、検出面が第１方向および第２方向において仮想投影像よりも小さくなっているＸ線検査装置の制御方法であって、回転機構によってＸ線発生器および二次元Ｘ線検出器を被検査体に対して３６０°相対回転させるとともに二次元Ｘ線検出器に一定角度ごとにＸ線画像を取得させる画像取得動作と、移動機構によって二次元Ｘ線検出器を被検査体に対して第１方向の一方へ相対移動させる移動動作とを交互に行って、第２方向の所定位置の、第１方向で分割された被検査体のＸ線画像を相対回転方向の一定角度ごとに３６０°に亘って二次元Ｘ線検出器に取得させるとともに、相対回転方向の一定角度ごとに３６０°に亘って取得された、第２方向の所定位置の第１方向で分割された被検査体のＸ線画像を一列分Ｘ線画像とすると、一列分Ｘ線画像が二次元Ｘ線検出器によって取得されると、移動機構によって二次元Ｘ線検出器を被検査体に対して少なくとも第２方向へ相対移動させ、その後、画像取得動作と移動動作とを交互に行って、被検査体の、第２方向における次の一列分Ｘ線画像を二次元Ｘ線検出器に取得させ、なおかつ、二次元Ｘ線検出器から取り込んだ一列分Ｘ線画像の中の相対回転方向の同じ角度で取得された複数のＸ線画像を第１方向で繋ぎ合わせて合成する合成処理を相対回転方向の一定角度ごとに実行するとともに、合成処理後に、３６０°分の合成されたＸ線画像に基づく所定の演算を行ってＣＴ画像を生成するＣＴ画像生成処理を実行することを特徴とする。
　本発明では、回転機構によってＸ線発生器および二次元Ｘ線検出器を被検査体に対して３６０°相対回転させるとともに二次元Ｘ線検出器に一定角度ごとにＸ線画像を取得させる画像取得動作と、移動機構によって二次元Ｘ線検出器を被検査体に対して第１方向の一方へ相対移動させる移動動作とを交互に行って、第２方向の所定位置の、第１方向で分割された被検査体のＸ線画像を相対回転方向の一定角度ごとに３６０°に亘って二次元Ｘ線検出器に取得させている。また、本発明では、一列分Ｘ線画像が二次元Ｘ線検出器によって取得されると、移動機構によって二次元Ｘ線検出器を被検査体に対して少なくとも第２方向へ相対移動させ、その後、画像取得動作と移動動作とを交互に行って、被検査体の、第２方向における次の一列分Ｘ線画像を二次元Ｘ線検出器に取得させている。そのため、本発明では、第１方向および第２方向の両方向において被検査体が大きくても、被検査体の全体のＣＴ画像の生成に必要なＸ線画像を取得する際に、被検査体に対してＸ線発生器および二次元Ｘ線検出器を相対回転させる回数を低減することが可能になる。したがって、本発明では、第１方向および第２方向の両方向において被検査体が大きくても、被検査体の全体のＣＴ画像の生成に必要なＸ線画像の取得時間を短縮することが可能になる。
　また、本発明では、二次元Ｘ線検出器から取り込んだ一列分Ｘ線画像の中の相対回転方向の同じ角度で取得された複数のＸ線画像を第１方向で繋ぎ合わせて合成する合成処理を相対回転方向の一定角度ごとに実行するとともに、合成処理後に、３６０°分の合成されたＸ線画像に基づく所定の演算を行ってＣＴ画像を生成するＣＴ画像生成処理を実行している。すなわち、本発明では、第２方向の所定の位置における被検査体のＸ線画像である一列分Ｘ線画像ごとにＣＴ画像を生成している。そのため、本発明では、第１方向および第２方向の両方向において被検査体が大きくても、大型の二次元Ｘ線発生器によって被検査体全体のＸ線画像を相対回転方向の一定角度ごとに３６０°に亘って二次元Ｘ線検出器に取得させるとともに取得されたＸ線画像に基づく所定の演算を行って被検査体全体のＣＴ画像を一度に生成する場合と比較して、ＣＴ画像生成処理の時間を短縮することが可能になる。
　このように本発明では、被検査体が大きくても、被検査体の全体のＣＴ画像の生成に必要なＸ線画像の取得時間を短縮することが可能になり、また、取得したＸ線画像に基づいてＣＴ画像を生成するＣＴ画像の生成処理時間を短縮することが可能になる。したがって、本発明では、被検査体が大きくても、被検査体の検査時間を短縮することが可能になる。
　本発明において、Ｘ線検査装置は、処理手段として、二次元Ｘ線検出器に接続され二次元Ｘ線検出器で取得されたＸ線画像を取り込む第１処理手段と、第１処理手段に接続される第２処理手段とを備え、第１処理手段は、一列分Ｘ線画像を取り込むと、取り込んだ一列分Ｘ線画像をそのまま第２処理手段に送信し、第２処理手段は、合成処理とＣＴ画像生成処理とを実行することが好ましい。また、本発明において、Ｘ線検査装置は、処理手段として、二次元Ｘ線検出器に接続され二次元Ｘ線検出器で取得されたＸ線画像を取り込む第１処理手段と、第１処理手段に接続される第２処理手段とを備え、第１処理手段は、一列分Ｘ線画像を取り込むと、合成処理を実行し、第２処理手段は、第１処理手段から取り込んだ、合成処理後のＸ線画像に基づいてＣＴ画像生成処理を実行しても良い。
　このように構成すると、処理の負荷が高いＸ線画像の取込処理を第１処理手段で実行しながら、処理の負荷が高いＣＴ画像生成処理を第２処理手段で並行して実行することが可能になる。したがって、第１処理手段や第２処理手段の処理能力と同程度の処理能力を有する１個の処理手段によって、Ｘ線画像の取込処理とＣＴ画像生成処理とを実行する場合と比較して、ＣＴ画像の生成処理時間を短縮することが可能になり、その結果、被検査体の検査時間をより短縮することが可能になる。
　以上のように、本発明では、被検査体が大きくても、被検査体の全体のＣＴ画像の生成に必要なＸ線画像の取得時間を短縮するとともに、取得したＸ線画像に基づいてＣＴ画像を生成するＣＴ画像の生成処理時間を短縮して、被検査体の検査時間を短縮することが可能になる。
本発明の実施の形態にかかるＸ線検査装置の機械構成の概略図である。 図１に示すＸ線検査装置の概略構成を説明するためのブロック図である。 図２に示す第２処理手段での合成処理および分割処理を説明するための図である。 本発明の他の実施の形態にかかる分割処理および合成処理を説明するための図である。
　以下、図面を参照しながら、本発明の実施の形態を説明する。
　（Ｘ線検査装置の構成）
　図１は、本発明の実施の形態にかかるＸ線検査装置１の機械構成の概略図である。図２は、図１に示すＸ線検査装置１の概略構成を説明するためのブロック図である。
　本形態のＸ線検査装置１は、工業製品等の被検査体２の内部を非破壊で検査するための装置である。具体的には、Ｘ線検査装置１は、エンジンブロック等の比較的大きな被検査体２を検査するための装置である。このＸ線検査装置１は、被検査体２にＸ線を照射するＸ線発生器３と、Ｘ線発生器３との間に被検査体２を挟むように配置される二次元Ｘ線検出器４（以下、「エリアセンサ４」とする）とを備えている。
　また、Ｘ線検査装置１は、エリアセンサ４で取得されたＸ線画像を取り込んで処理する処理手段５、６と、被検査体２が搭載されるテーブル７と、テーブル７を回転させる回転機構８と、エリアセンサ４を平行移動させる移動機構９とを備えている。本形態のＸ線検査装置１は、第１処理手段としての処理手段５と、第２処理手段としての処理手段６との２個の処理手段５、６を備えている。Ｘ線発生器３とエリアセンサ４と回転機構８と移動機構９とは、制御部１０に接続されている。
　処理手段５、６は、ＣＰＵ等の演算手段と、半導体メモリ等の記憶手段とを備えている。本形態の処理手段５、６は、パーソナルコンピュータ（ＰＣ）である。したがって、以下では、処理手段５を「ＰＣ５」とし、処理手段６を「ＰＣ６」とする。ＰＣ５は、エリアセンサ４に接続されており、エリアセンサ４で取得されたＸ線画像を取り込む。ＰＣ６は、ＰＣ５に接続されている。
　Ｘ線発生器３は、たとえば、被検査体２に向かって円錐状のＸ線（コーンビーム）を射出する。Ｘ線発生器３の光軸は、水平方向と平行になっている。エリアセンサ４は、二次元カメラである。エリアセンサ４の検出面４ａは、矩形状に形成されている。具体的には、検出面４ａは、正方形状に形成されている。検出面４ａの一辺の長さは、たとえば、２００（ｍｍ）となっている。Ｘ線発生器３の光軸に平行な方向を前後方向とすると、検出面４ａは、前後方向に直交するように配置されている。また、上下方向と前後方向とに直交する方向を左右方向とすると、エリアセンサ４は、正方形状に形成される検出面４ａの４辺のうちの２辺が上下方向と平行になり、残りの２辺が左右方向と平行になるように配置されている。本形態の左右方向は、検出面４ａに平行な所定の方向である第１方向となっており、上下方向は、検出面４ａに平行な方向であってかつ第１方向に直交する方向である第２方向となっている。
　テーブル７は、Ｘ線発生器３とエリアセンサ４との間に被検査体２が配置されるように、前後方向においてＸ線発生器３とエリアセンサ４との間に配置されている。回転機構８は、上下方向を回転の軸方向としてテーブル７を回転させる。すなわち、回転機構８は、被検査体２の外周側で被検査体２に対してＸ線発生器３およびエリアセンサ４が相対回転するように、テーブル７に搭載される被検査体２を回転させる。移動機構９は、エリアセンサ４を左右方向および上下方向へ平行移動させる。すなわち、移動機構９は、被検査体２に対してエリアセンサ４が左右方向および上下方向へ相対移動するようにエリアセンサ４を平行移動させる。以下では、被検査体２に対するＸ線発生器３およびエリアセンサ４の相対回転の方向を「相対回転方向」と記載する場合がある。
　エリアセンサ４の検出面４ａを含む平面を仮想投影面ＶＰとし、Ｘ線発生器３が射出するＸ線によって仮想投影面ＶＰに投影される被検査体２の全体の投影像を仮想投影像ＶＩとすると、検出面４ａは、上下方向および左右方向において仮想投影像ＶＩよりも小さくなっている。本形態では、９箇所にエリアセンサ４を移動させると、エリアセンサ４によって被検査体２の全体のＸ線画像を取得することが可能になる。
　具体的には、被検査体２の下端側部分の右端側が投影される第１配置位置４Ａと、被検査体２の下端側部分の左右方向の中央部が投影される第２配置位置４Ｂと、被検査体２の下端側部分の左端側が投影される第３配置位置４Ｃと、被検査体２の上下方向の中心部分の右端側が投影される第４配置位置４Ｄと、被検査体２の中心部分が投影される第５配置位置４Ｅと、被検査体２の上下方向の中心部分の左端側が投影される第６配置位置４Ｆと、被検査体２の上端側部分の右端側が投影される第７配置位置４Ｇと、被検査体２の上端側部分の左右方向の中央部が投影される第８配置位置４Ｈと、被検査体２の上端側部分の左端側が投影される第９配置位置４Ｉとの９箇所にエリアセンサ４を移動させると、エリアセンサ４によって被検査体２の全体のＸ線画像を取得することが可能になる。
　第１配置位置４Ａに配置されるエリアセンサ４が検出面４ａの一辺の長さ分、左側へ移動すると、エリアセンサ４は第２配置位置４Ｂに配置され、第２配置位置４Ｂに配置されるエリアセンサ４が検出面４ａの一辺の長さ分、左側へ移動すると、エリアセンサ４は第３配置位置４Ｃに配置される。第３配置位置４Ｃに配置されるエリアセンサ４が検出面４ａの一辺の長さの２倍分、右側へ移動するとともに、検出面４ａの一辺の長さ分、上側へ移動すると、エリアセンサ４は第４配置位置４Ｄに配置される。
　同様に、第４配置位置４Ｄに配置されるエリアセンサ４が検出面４ａの一辺の長さ分、左側へ移動すると、エリアセンサ４は第５配置位置４Ｅに配置され、第５配置位置４Ｅに配置されるエリアセンサ４が検出面４ａの一辺の長さ分、左側へ移動すると、エリアセンサ４は第６配置位置４Ｆに配置される。また、第６配置位置４Ｆに配置されるエリアセンサ４が検出面４ａの一辺の長さの２倍分、右側へ移動するとともに、検出面４ａの一辺の長さ分、上側へ移動すると、エリアセンサ４は第７配置位置４Ｇに配置され、第７配置位置４Ｇに配置されるエリアセンサ４が検出面４ａの一辺の長さ分、左側へ移動すると、エリアセンサ４は第８配置位置４Ｈに配置され、第８配置位置４Ｈに配置されるエリアセンサ４が検出面４ａの一辺の長さ分、左側へ移動すると、エリアセンサ４は第９配置位置４Ｉに配置される。
　本形態では、第１配置位置４Ａ～第９配置位置４Ｉのいずれの位置にエリアセンサ４が配置されても、エリアセンサ４の検出面４ａに被検査体２の一部分が投影される。ただし、第１配置位置４Ａ～第９配置位置４Ｉのいずれかの位置にエリアセンサ４が配置されたときに、検出面４ａに被検査体２の一部分が投影されなくても良い。なお、本形態では、Ｘ線発生器３を移動させなくても仮想投影面ＶＰに仮想投影像ＶＩが投影されるように、Ｘ線発生器３の照射領域が設定されている。
　（Ｘ線画像の取得方法）
　Ｘ線検査装置１で被検査体２の検査を行うときには、Ｘ線検査装置１は、以下のように、被検査体２のＸ線画像を取得する。まず、制御部１０は、回転機構８の回転位置が所定の原点位置となるように回転機構８を調整する。また、制御部１０は、移動機構９によって、エリアセンサ４をたとえば、第１配置位置４Ａに移動させて停止させる。この状態で、制御部１０は、テーブル７に搭載された被検査体２を回転機構８によって３６０°回転させるとともにエリアセンサ４に一定角度ごとにＸ線画像Ａ１～Ａ１０００（図３参照）を取得させる画像取得動作を行う。本形態の画像取得動作では、０．３６°ごとに１０００枚のＸ線画像Ａ１～Ａ１０００が順次、取得される。なお、画像取得動作で取得されるＸ線画像の枚数は、１０００枚未満であっても良いし、１０００枚を超えても良い。
　その後、制御部１０は、移動機構９によってエリアセンサ４を左方向へ移動させる移動動作を行う。この移動動作では、第１配置位置４Ａから第２配置位置４Ｂへエリアセンサ４が移動して停止する。この状態で、制御部１０は、被検査体２を回転機構８によって３６０°回転させるとともにエリアセンサ４に０．３６°ごとに１０００枚のＸ線画像Ｂ１～Ｂ１０００（図３参照）を順次、取得させる画像取得動作を行う。その後、制御部１０は、移動機構９によってエリアセンサ４を第２配置位置４Ｂから第３配置位置４Ｃへ移動させる移動動作を行う。また、制御部１０は、回転機構８によって被検査体２を３６０°回転させるとともにエリアセンサ４に０．３６°ごとに１０００枚のＸ線画像Ｃ１～Ｃ１０００（図３参照）を順次、取得させる画像取得動作を行う。
　Ｘ線画像Ａ１、Ｂ１、Ｃ１は、被検査体２に対するエリアセンサ４の相対回転方向において同じ角度で取得されたＸ線画像であり、Ｘ線画像Ａ１、Ｂ１、Ｃ１を右側からこの順番で配置して繋ぎ合わせて合成すると、被検査体２の下端側部分の、相対回転方向における原点位置のＸ線画像となる。すなわち、Ｘ線画像Ａ１、Ｂ１、Ｃ１のそれぞれは、被検査体２の下端側部分の、相対回転方向における原点位置のＸ線画像であるとともに、被検査体２の下端側部分の、左右方向で分割されたＸ線画像である。
　同様に、Ｘ線画像Ａ２、Ｂ２、Ｃ２は、相対回転方向において同じ角度で取得されたＸ線画像であり、Ｘ線画像Ａ２、Ｂ２、Ｃ２を右側からこの順番で配置して繋ぎ合わせて合成すると、被検査体２の下端側部分の、相対回転方向における原点位置から０．３６°ずれた位置のＸ線画像となる。すなわち、Ｘ線画像Ａ２、Ｂ２、Ｃ２のそれぞれは、被検査体２の下端側部分の、相対回転方向における原点位置から０．３６°ずれた位置のＸ線画像であるとともに、被検査体２の下端側部分の、左右方向で分割されたＸ線画像である。
　すなわち、「ｎ」を１から１０００までの整数とすると、Ｘ線画像Ａｎ、Ｂｎ、Ｃｎは、相対回転方向において同じ角度で取得されたＸ線画像であり、Ｘ線画像Ａｎ、Ｂｎ、Ｃｎを右側からこの順番で配置して繋ぎ合わせて合成すると、被検査体２の下端側部分の、相対回転方向における原点位置から（０．３６×（ｎ－１））°ずれた位置のＸ線画像となる。また、Ｘ線画像Ａｎ、Ｂｎ、Ｃｎのそれぞれは、被検査体２の下端側部分の、相対回転方向における原点位置から（０．３６×（ｎ－１））°ずれた位置のＸ線画像であるとともに、被検査体２の下端側部分の、左右方向で分割されたＸ線画像である。
　このように、画像取得動作と移動動作とが交互に行われると、被検査体２の下端側部分の、左右方向で分割されたＸ線画像が相対回転方向の０．３６°ごとに３６０°に亘って取得される。すなわち、制御部１０は、エリアセンサ４を停止させた状態で回転機構８によってＸ線発生器３およびエリアセンサ４を被検査体２に対して３６０°相対回転させるとともにエリアセンサ４に一定角度ごとにＸ線画像を取得させる画像取得動作と、移動機構９によってエリアセンサ４を被検査体２に対して左方向へ相対移動させる移動動作とを交互に行って、被検査体２の下端側部分の、左右方向で分割されたＸ線画像を相対回転方向の一定角度ごとに３６０°に亘ってエリアセンサ４に取得させる。
　なお、制御部１０は、Ｘ線画像Ａ１～Ａ１０００を取得した後に、Ｘ線画像Ｃ１～Ｃ１０００を取得し、その後、Ｘ線画像Ｂ１～Ｂ１０００を取得しても良い。また、制御部１０は、Ｘ線画像Ｂ１～Ｂ１０００を取得した後に、Ｘ線画像Ａ１～Ａ１０００を取得し、その後、Ｘ線画像Ｃ１～Ｃ１０００を取得しても良いし、Ｘ線画像Ｂ１～Ｂ１０００を取得した後に、Ｘ線画像Ｃ１～Ｃ１０００を取得し、その後、Ｘ線画像Ａ１～Ａ１０００を取得しても良い。さらに、制御部１０は、Ｘ線画像Ｃ１～Ｃ１０００を取得した後に、Ｘ線画像Ｂ１～Ｂ１０００を取得し、その後、Ｘ線画像Ａ１～Ａ１０００を取得しても良いし、Ｘ線画像Ｃ１～Ｃ１０００を取得した後に、Ｘ線画像Ａ１～Ａ１０００を取得し、その後、Ｘ線画像Ｂ１～Ｂ１０００を取得しても良い。
　相対回転方向の一定角度ごとに３６０°に亘って取得された、被検査体２の下端側部分の、左右方向で分割された複数のＸ線画像を一列分Ｘ線画像Ｐ１とすると、制御部１０は、一列分Ｘ線画像Ｐ１がエリアセンサ４によって取得されると、移動機構９によってエリアセンサ４を第３配置位置４Ｃから第４配置位置４Ｄへ移動させる。すなわち、制御部１０は、移動機構９によってエリアセンサ４を右方向および上方向へ移動させる。
　その後、制御部１０は、上述の画像取得動作と同様の画像取得動作を行って、第４配置位置４Ｄに配置されたエリアセンサ４にＸ線画像Ｄ１～Ｄ１０００を取得させてから、上述の移動動作と同様の移動動作を行って、第４配置位置４Ｄから第５配置位置４Ｅへエリアセンサ４を移動させる。また、制御部１０は、同様に、画像取得動作を行って、第５配置位置４Ｅに配置されたエリアセンサ４にＸ線画像Ｅ１～Ｅ１０００を取得させてから、移動動作を行って、第５配置位置４Ｅから第６配置位置４Ｆへエリアセンサ４を移動させ、その後、画像取得動作を行って、第６配置位置４Ｆに配置されたエリアセンサ４にＸ線画像Ｆ１～Ｆ１０００を取得させる。
　このように、制御部１０は、一列分Ｘ線画像Ｐ１がエリアセンサ４によって取得されると、移動機構９によってエリアセンサ４を右方向および上方向へ移動させてから、画像取得動作と移動動作とを交互に行って、上下方向における被検査体２の中心部分の、左右方向で分割されたＸ線画像を相対回転方向の０．３６°ごとに３６０°に亘ってエリアセンサ４に取得させる。すなわち、相対回転方向の一定角度ごとに３６０°に亘って取得された、上下方向における被検査体２の中心部分の、左右方向で分割された複数のＸ線画像を一列分Ｘ線画像Ｐ２とすると、制御部１０は、一列分Ｘ線画像Ｐ１がエリアセンサ４によって取得されると、移動機構９によってエリアセンサ４を右方向および上方向へ移動させてから、画像取得動作と移動動作とを交互に行って、上下方向における次の一列分Ｘ線画像Ｐ２をエリアセンサ４に取得させる。
　また、制御部１０は、一列分Ｘ線画像Ｐ２がエリアセンサ４によって取得されると、移動機構９によってエリアセンサ４を第６配置位置４Ｆから第７配置位置４Ｇへ移動させる。その後、制御部１０は、同様に、画像取得動作を行って、第７配置位置４Ｇに配置されたエリアセンサ４にＸ線画像Ｇ１～Ｇ１０００を取得させてから、移動動作を行って、第７配置位置４Ｇから第８配置位置４Ｈへエリアセンサ４を移動させる。また、制御部１０は、同様に、画像取得動作を行って、第８配置位置４Ｈに配置されたエリアセンサ４にＸ線画像Ｈ１～Ｈ１０００を取得させてから、移動動作を行って、第８配置位置４Ｈから第９配置位置４Ｉへエリアセンサ４を移動させた後、画像取得動作を行って、第９配置位置４Ｉに配置されたエリアセンサ４にＸ線画像Ｉ１～Ｉ１０００を取得させる。Ｘ線画像Ｉ１～Ｉ１０００が取得されると、エリアセンサ４による被検査体２のＸ線画像の取得が終了する。
　このように、制御部１０は、一列分Ｘ線画像Ｐ２がエリアセンサ４によって取得されると、移動機構９によってエリアセンサ４を右方向および上方向へ移動させてから、画像取得動作と移動動作とを交互に行って、被検査体２の上端側部分の、左右方向で分割されたＸ線画像を相対回転方向の０．３６°ごとに３６０°に亘ってエリアセンサ４に取得させる。すなわち、相対回転方向の一定角度ごとに３６０°に亘って取得された、被検査体２の上端側部分の、左右方向で分割された複数のＸ線画像を一列分Ｘ線画像Ｐ３とすると、制御部１０は、一列分Ｘ線画像Ｐ２がエリアセンサ４によって取得されると、移動機構９によってエリアセンサ４を右方向および上方向へ移動させてから、画像取得動作と移動動作とを交互に行って、上下方向における次の一列分Ｘ線画像Ｐ３をエリアセンサ４に取得させる。
　（Ｘ線画像の処理方法）
　図３は、図２に示すＰＣ６での合成処理および分割処理を説明するための図である。
　ＰＣ５は、エリアセンサ４で取得されたＸ線画像を順次、取り込む。また、ＰＣ５は、一列分Ｘ線画像Ｐ１を取り込むと（すなわち、Ｘ線画像Ａ１～Ａ１０００、Ｂ１～Ｂ１０００、Ｃ１～Ｃ１０００）を取り込むと、取り込んだ一列分Ｘ線画像Ｐ１をそのままＰＣ６へ送信する。ＰＣ６は、まず、一列分Ｘ線画像Ｐ１の中の、被検査体２に対するエリアセンサ４の相対回転方向における同じ角度で取得された複数のＸ線画像を左右方向で繋ぎ合わせて合成する合成処理を相対回転方向の一定角度ごとに実行する。
　具体的には、ＰＣ６は、図３（Ｂ）に示すように、３枚のＸ線画像Ａ１、Ｂ１、Ｃ１を右側からこの順番で配置して繋ぎ合わせて合成し、合成Ｘ線画像Ｘ１を生成する。同様に、ＰＣ６は、３枚のＸ線画像Ａ２、Ｂ２、Ｃ２を右側からこの順番で配置して繋ぎ合わせて合成し、合成Ｘ線画像Ｘ２を生成する。また、ＰＣ６は、３枚のＸ線画像Ａ１０００、Ｂ１０００、Ｃ１０００が繋ぎ合わされた合成Ｘ線画像Ｘ１０００が生成されるまで、同様の合成処理を行う。すなわち、ＰＣ６は、３枚のＸ線画像Ａｎ、Ｂｎ、Ｃｎを右側からこの順番で配置して繋ぎ合わせて合成し、１０００個の合成Ｘ線画像Ｘｎを生成する。
　合成処理後に、ＰＣ６は、合成Ｘ線画像Ｘ１（合成されたＸ線画像）を上下方向で分割して複数の帯状のＸ線画像である帯状Ｘ線画像Ｘ１－１～Ｘ１－４にする分割処理を実行する。本形態では、ＰＣ６は、合成Ｘ線画像Ｘ１を帯状Ｘ線画像Ｘ１－１～Ｘ１－４に４分割する。また、ＰＣ６は、合成Ｘ線画像Ｘ１を帯状Ｘ線画像Ｘ１－１～Ｘ１－４に４等分する。同様に、ＰＣ６は、合成Ｘ線画像Ｘ２を上下方向で分割して４個の帯状のＸ線画像である帯状Ｘ線画像Ｘ２－１～Ｘ２－４にする分割処理を実行する。また、ＰＣ６は、合成Ｘ線画像Ｘ１０００が帯状Ｘ線画像Ｘ１０００－１～Ｘ１０００－４に分割されるまで、同様の分割処理を行う。すなわち、ＰＣ６は、合成Ｘ線画像Ｘｎを上下方向に４分割して帯状Ｘ線画像Ｘｎ－１～Ｘｎ－４にする分割処理を実行する。帯状Ｘ線画像Ｘｎ－１～Ｘｎ－４は、下側からこの順番で配置されている。
　なお、ＰＣ６は、１０００個の合成Ｘ線画像Ｘｎを生成した後に、１０００個の合成Ｘ線画像Ｘｎを順次、分割しても良いし、１個の合成Ｘ線画像Ｘｎを生成するたびに、生成された合成Ｘ線画像Ｘｎを分割しても良い。
　分割処理後に、ＰＣ６は、上下方向において同じ位置にある３６０°分の帯状Ｘ線画像に基づく所定の演算を行ってＣＴ画像を生成するＣＴ画像生成処理を実行する。すなわち、ＰＣ６は、１０００個の帯状Ｘ線画像Ｘ１－１、帯状Ｘ線画像Ｘ２－１、・・・、帯状Ｘ線画像Ｘ１０００－１に基づく演算を行って被検査体２の最下層のＣＴ画像を生成する。また、ＰＣ６は、１０００個の帯状Ｘ線画像Ｘ１－２、帯状Ｘ線画像Ｘ２－２、・・・、帯状Ｘ線画像Ｘ１０００－２に基づく演算を行って被検査体２の下から２番目の層のＣＴ画像を生成し、１０００個の帯状Ｘ線画像Ｘ１－３、帯状Ｘ線画像Ｘ２－３、・・・、帯状Ｘ線画像Ｘ１０００－３に基づく演算を行って被検査体２の下から３番目の層のＣＴ画像を生成し、１０００個の帯状Ｘ線画像Ｘ１－４、帯状Ｘ線画像Ｘ２－４、・・・、帯状Ｘ線画像Ｘ１０００－４に基づく演算を行って被検査体２の下から４番目の層のＣＴ画像を生成する。
　なお、分割処理での合成Ｘ線画像Ｘｎの分割数は、２個または３個であっても良いし、５個以上であっても良い。分割処理での合成Ｘ線画像Ｘｎの分割数は、ＰＣ６の処理能力に応じて設定される。具体的には、ＰＣ６の処理能力が高くなると、分割処理での合成Ｘ線画像Ｘｎの分割数は少なくなる。一方、ＰＣ６の処理能力が低くなると、分割処理での合成Ｘ線画像Ｘｎの分割数は多くなる。
　また、ＰＣ５は、ＰＣ６での一列分Ｘ線画像Ｐ１に対する合成処理、分割処理およびＣＴ画像生成処理に並行して、一列分Ｘ線画像Ｐ２を構成する各Ｘ線画像を順次、取り込む。ＰＣ５は、一列分Ｘ線画像Ｐ２の取込みが完了すると、取り込んだ一列分Ｘ線画像Ｐ２をそのままＰＣ６へ送信する。ＰＣ６は、一列分Ｘ線画像Ｐ１に対する合成処理、分割処理およびＣＴ画像生成処理が完了すると、上述した手順と同様の手順で、一列分Ｘ線画像Ｐ２に対する合成処理、分割処理およびＣＴ画像生成処理を実行して、被検査体２の下から５番目の層のＣＴ画像と、被検査体２の下から６番目の層のＣＴ画像と、被検査体２の下から７番目の層のＣＴ画像と、被検査体２の下から８番目の層のＣＴ画像とを生成する。
　なお、ＰＣ５は、ＰＣ６での一列分Ｘ線画像Ｐ１に対する合成処理、分割処理およびＣＴ画像生成処理が完了する前に、取り込んだ一列分Ｘ線画像Ｐ２をＰＣ６へ送信しても良いし、ＰＣ６での一列分Ｘ線画像Ｐ１に対する合成処理、分割処理およびＣＴ画像生成処理が完了した後に、取り込んだ一列分Ｘ線画像Ｐ２をＰＣ６へ送信しても良い。
　また、ＰＣ５は、ＰＣ６での一列分Ｘ線画像Ｐ２に対する合成処理、分割処理およびＣＴ画像生成処理に並行して、一列分Ｘ線画像Ｐ３を構成する各Ｘ線画像を順次、取り込む。ＰＣ５は、一列分Ｘ線画像Ｐ３の取込みが完了すると、取り込んだ一列分Ｘ線画像Ｐ３をそのままＰＣ６へ送信する。ＰＣ６は、上述した手順と同様の手順で、一列分Ｘ線画像Ｐ３に対する合成処理、分割処理およびＣＴ画像生成処理を実行して、被検査体２の下から９番目の層のＣＴ画像と、被検査体２の下から１０番目の層のＣＴ画像と、被検査体２の下から１１番目の層のＣＴ画像と、被検査体２の最上層のＣＴ画像とを生成する。
　（本形態の主な効果）
　以上説明したように、本形態では、回転機構８によって被検査体２を３６０°回転させるとともにエリアセンサ４に一定角度ごとにＸ線画像を取得させる画像取得動作と、移動機構９によってエリアセンサ４を左方向へ移動させる移動動作とを交互に行って、被検査体２の下端側部分の、左右方向で分割されたＸ線画像と、上下方向における被検査体２の中心部分の、左右方向で分割されたＸ線画像と、被検査体２の上端側部分の、左右方向で分割されたＸ線画像とを、被検査体２の回転方向の一定角度ごとに３６０°に亘って取得している。そのため、本形態では、被検査体２が大きくても、被検査体２の全体のＣＴ画像の生成に必要なＸ線画像を取得する際に、被検査体２を回転させる回数を低減することが可能になる。したがって、本形態では、被検査体２が大きくても、被検査体２の全体のＣＴ画像の生成に必要なＸ線画像の取得時間を短縮することが可能になる。
　本形態では、ＰＣ６は、一列分Ｘ線画像Ｐ１の中の、被検査体２の回転方向における同じ角度で取得された３枚のＸ線画像を左右方向で繋ぎ合わせて合成する合成処理を相対回転方向の一定角度ごとに実行するとともに、合成処理後に、合成Ｘ線画像を上下方向で４分割して帯状のＸ線画像である帯状Ｘ線画像にする分割処理を実行し、分割処理後に、上下方向において同じ位置にある３６０°分の帯状Ｘ線画像に基づく所定の演算を行ってＣＴ画像を生成するＣＴ画像生成処理を実行している。また、ＰＣ６は、一列分Ｘ線画像Ｐ２、Ｐ３に対しても同様に、合成処理と分割処理とＣＴ画像生成処理とを実行している。また、本形態では、分割処理での合成Ｘ線画像の分割数は、ＰＣ６の処理能力に応じて設定されている。そのため、本形態では、帯状Ｘ線画像に基づく所定の演算を行ってＣＴ画像を生成するＣＴ画像生成処理の時間を短縮することが可能になる。
　このように本形態では、被検査体２が大きくても、被検査体２の全体のＣＴ画像の生成に必要なＸ線画像の取得時間を短縮することが可能になり、また、取得したＸ線画像に基づいてＣＴ画像を生成するＣＴ画像の生成処理時間を短縮することが可能になる。したがって、本形態では、被検査体２が大きくても、被検査体２の検査時間を短縮することが可能になる。
　また、本形態では、処理の負荷が高いＸ線画像の取込処理をＰＣ５で実行しながら、処理の負荷が高いＣＴ画像生成処理をＰＣ６で並行して実行しているため、ＰＣ５、６の処理能力と同程度の処理能力を有する１台のＰＣによってＸ線画像の取込処理とＣＴ画像生成処理とを実行する場合と比較して、ＣＴ画像の生成処理時間をより短縮することが可能になり、その結果、被検査体２の検査時間をより短縮することが可能になる。
　（Ｘ線画像の処理方法の変形例１）
　図４は、本発明の他の実施の形態にかかる分割処理および合成処理を説明するための図である。
　上述した形態において、ＰＣ６は、エリアセンサ４から取り込んだ一列分Ｘ線画像を上下方向で複数に分割する（具体的には、複数のＸ線画像のそれぞれを上下方向で分割する）分割処理を実行するとともに、分割処理後に、上下方向において同じ位置にある分割後のＸ線画像であって被検査体２の回転方向の同じ角度で取得された複数のＸ線画像を左右方向で繋ぎ合わせて帯状のＸ線画像に合成する合成処理を被検査体２の回転方向の一定角度ごとに実行し、合成処理後に、上下方向において同じ位置にある３６０°分の帯状のＸ線画像に基づく所定の演算を行ってＣＴ画像を生成するＣＴ画像生成処理を実行しても良い。
　すなわち、ＰＣ６は、まず、分割処理を行って、たとえば、図４（Ａ）に示すように、Ｘ線画像Ａ１を上下方向に４分割して分割Ｘ線画像Ａ１１～Ａ１４にしたり、Ｘ線画像Ａ２を上下方向に４分割して分割Ｘ線画像Ａ２１～Ａ２４にしたりして、Ｘ線画像Ａ１０００が分割Ｘ線画像Ａ１０００１～Ａ１０００４に４分割されるまで、第１配置位置４Ａに配置されるエリアセンサ４で取得されたＸ線画像を分割する。
　同様に、ＰＣ６は、Ｘ線画像Ｂ１を上下方向に４分割して分割Ｘ線画像Ｂ１１～Ｂ１４にしたり、Ｘ線画像Ｂ２を上下方向に４分割して分割Ｘ線画像Ｂ２１～Ｂ２４にしたりして、Ｘ線画像Ｂ１０００が分割Ｘ線画像Ｂ１０００１～Ｂ１０００４に４分割されるまで、第２配置位置４Ｂに配置されるエリアセンサ４で取得されたＸ線画像を分割する。また、ＰＣ６は、Ｘ線画像Ｃ１を上下方向に４分割して分割Ｘ線画像Ｃ１１～Ｃ１４にしたり、Ｘ線画像Ｃ２を上下方向に４分割して分割Ｘ線画像Ｃ２１～Ｃ２４にしたりして、Ｘ線画像Ｃ１０００が分割Ｘ線画像Ｃ１０００１～Ｃ１０００４に４分割されるまで、第３配置位置４Ｃに配置されるエリアセンサ４で取得されたＸ線画像を分割する。
　また、ＰＣ６は、分割処理後に合成処理を行って、図４（Ｂ）に示すように、上下方向において同じ位置にある分割Ｘ線画像であって被検査体２の回転方向の同じ角度で取得された３枚の分割Ｘ線画像Ａ１１～Ｃ１１を右側から順番に配置するとともに左右方向で繋ぎ合わせて帯状Ｘ線画像Ｘ１－１に合成する。同様に、ＰＣ６は、合成処理を行って、分割Ｘ線画像Ａ１２～Ｃ１２を繋ぎ合わせて帯状Ｘ線画像Ｘ１－２に合成し、分割Ｘ線画像Ａ１３～Ｃ１３を繋ぎ合わせて帯状Ｘ線画像Ｘ１－３に合成し、分割Ｘ線画像Ａ１４～Ｃ１４を繋ぎ合わせて帯状Ｘ線画像Ｘ１－４に合成する。また、ＰＣ６は、帯状Ｘ線画像Ｘ１０００－１～Ｘ１０００－４が合成されるまで、同様の合成処理を行う。
　また、ＰＣ６は、合成処理後に、上述した形態と同様に、上下方向において同じ位置にある３６０°分の帯状Ｘ線画像に基づく所定の演算を行ってＣＴ画像を生成するＣＴ画像生成処理を実行する。この場合であっても、分割処理でのＸ線画像の分割数をＰＣ６の処理能力に応じて設定することで、上述した形態と同様に、ＣＴ画像生成処理の時間を短縮することが可能になる。
　（Ｘ線画像の処理方法の変形例２）
　上述した形態において、ＰＣ６の処理能力が比較的高い場合には、ＰＣ６は、一列分Ｘ線画像Ｐ１～Ｐ３に対する分割処理を実行せずに、合成処理とＣＴ画像生成処理とを実行しても良い。すなわち、ＰＣ６は、たとえば、合成Ｘ線画像Ｘ１～Ｘ１０００を生成する合成処理後に、３６０°分の合成Ｘ線画像Ｘ１～Ｘ１０００（合成されたＸ線画像）に基づく所定の演算を行ってＣＴ画像を生成するＣＴ画像生成処理を実行しても良い。
　この場合には、被検査体２の下端側部分のＸ線画像である一列分Ｘ線画像Ｐ１に基づいてＣＴ画像が生成され、上下方向における被検査体２の中心部分のＸ線画像である一列分Ｘ線画像Ｐ２に基づいてＣＴ画像が生成され、被検査体２の上端側部分のＸ線画像である一列分Ｘ線画像Ｐ３に基づいてＣＴ画像が生成される。すなわち、一列分Ｘ線画像Ｐ１～Ｐ３のごとにＣＴ画像が生成される。そのため、左右方向および上下方向の両方向において被検査体２が大きくても、大型のエリアセンサによって被検査体２の全体のＸ線画像を相対回転方向の一定角度ごとに３６０°に亘ってエリアセンサに取得させるとともに取得されたＸ線画像に基づく所定の演算を行って被検査体２の全体のＣＴ画像を一度に生成する場合と比較して、ＣＴ画像生成処理の時間を短縮することが可能になる。
　したがって、この場合であっても、被検査体２が大きくても、被検査体２の全体のＣＴ画像の生成に必要なＸ線画像の取得時間を短縮することが可能になり、また、取得したＸ線画像に基づいてＣＴ画像を生成するＣＴ画像の生成処理時間を短縮することが可能になる。その結果、被検査体２が大きくても、被検査体２の検査時間を短縮することが可能になる。
　（他の実施の形態）
　上述した形態では、ＰＣ６が合成処理と分割処理とを実行しているが、ＰＣ５が合成処理と分割処理とを実行しても良い。また、上述した形態では、Ｘ線検査装置１は、２個のＰＣ５、６を備えているが、ＰＣ５の処理能力が高い場合には、Ｘ線検査装置１は、ＰＣ６を備えていなくても良い。この場合には、ＰＣ５が、Ｘ線画像の取込処理と合成処理と分割処理とＣＴ画像生成処理とを実行する。また、上述したＸ線画像の処理方法の変形例２において、ＰＣ５が合成処理を実行し、ＰＣ６がＣＴ画像処理を実行しても良い。また、上述したＸ線画像の処理方法の変形例２において、Ｘ線検査装置１がＰＣ６を備えていない場合には、ＰＣ５が、Ｘ線画像の取込処理と合成処理とＣＴ画像生成処理とを実行する。
　上述した形態では、回転機構８は、テーブル７に搭載される被検査体２を回転させているが、回転機構８は、Ｘ線発生器３およびエリアセンサ４を回転させても良い。また、上述した形態では、移動機構９は、上下方向および左右方向へエリアセンサ４を平行移動させているが、移動機構９は、上下方向および左右方向へ被検査体２を平行移動させても良い。また、移動機構９は、左右方向へエリアセンサ４を平行移動させても良い。この場合には、Ｘ線検査装置１は、上下方向へ被検査体２を平行移動させる移動機構を備えている。また、移動機構９は、左右方向へ被検査体２を平行移動させても良い。この場合には、Ｘ線検査装置１は、上下方向へエリアセンサ４を平行移動させる移動機構を備えている。また、上述した形態において、移動機構９は、エリアセンサ４と一緒にＸ線発生器３を上下方向および左右方向へ平行移動させても良い。この場合には、たとえば、Ｘ線発生器３を移動させないと、仮想投影面ＶＰに仮想投影像ＶＩ（被検査体２の全体の投影像）を投影することができないように、Ｘ線発生器３の照射領域が設定されている。
　上述した形態では、第１配置位置４Ａ～第９配置位置４Ｉの９箇所にエリアセンサ４を移動させると、エリアセンサ４によって被検査体２の全体のＸ線画像を取得することが可能になっているが、たとえば、第１配置位置４Ａ～第６配置位置４Ｆの６箇所にエリアセンサ４を移動させると、エリアセンサ４によって被検査体２の全体のＸ線画像を取得することが可能になっていても良いし、第１配置位置４Ａ、第２配置位置４Ｂ、第４配置位置４Ｄおよび第５配置位置４Ｅの４箇所にエリアセンサ４を移動させると、エリアセンサ４によって被検査体２の全体のＸ線画像を取得することが可能になっていても良い。また、第１配置位置４Ａ～第３配置位置４Ｃの３箇所にエリアセンサ４を移動させると、エリアセンサ４によって被検査体２の全体のＸ線画像を取得することが可能になっていても良い。この場合には、検出面４ａは、上下方向において、仮想投影像ＶＩよりも大きくなっている。
　また、上述した形態では、同じ高さにある第１配置位置４Ａから第３配置位置４Ｃまでのエリアセンサ４の移動回数（以下、「一段目の移動回数」とする）と、同じ高さにある第４配置位置４Ｄから第６配置位置４Ｆまでのエリアセンサ４の移動回数（以下、「二段目の移動回数」とする）と、同じ高さにある第７配置位置４Ｇから第９配置位置４Ｉまでのエリアセンサ４の移動回数（以下、「三段目の移動回数」とする）とが等しくなっているが、被検査体２の形状に応じて、一段目の移動回数と二段目の移動回数と三段目の移動回数とが異なっていても良い。
　上述した形態において、エリアセンサ４は、被検査体２のＸ線画像を取得する際に、第３配置位置４Ｃから第６配置位置４Ｆに移動しても良い。この場合には、エリアセンサ４は、その後、たとえば、第５配置位置４Ｅ、第４配置位置４Ｄ、第７配置位置４Ｇ、第８配置位置４Ｈおよび第９配置位置４Ｉに順次移動する。また、上述した形態では、Ｘ線発生器３の光軸は、水平方向と平行になっているが、Ｘ線発生器３の光軸は、水平方向に対して傾いていても良い。
　１　Ｘ線検査装置
　２　被検査体
　３　Ｘ線発生器
　４　エリアセンサ（二次元Ｘ線検出器）
　４ａ　検出面
　５　ＰＣ（処理手段、第１処理手段）
　６　ＰＣ（処理手段、第２処理手段）
　８　回転機構
　９　移動機構
　１０　制御部
　ＶＰ　仮想投影面
　ＶＩ　仮想投影像

Claims (9)

  1. 　Ｘ線発生器と、前記Ｘ線発生器との間で被検査体を挟むように配置される二次元Ｘ線検出器と、前記被検査体の外周側で前記被検査体に対して前記Ｘ線発生器および前記二次元Ｘ線検出器が相対回転するように前記Ｘ線発生器と前記二次元Ｘ線検出器とを回転させるかまたは前記被検査体を回転させる回転機構と、前記二次元Ｘ線検出器で取得されたＸ線画像を取り込んで処理する処理手段とを備えるとともに、
    　前記二次元Ｘ線検出器の検出面に平行な所定の方向を第１方向とし、前記検出面に平行な方向であってかつ前記第１方向に直交する方向を第２方向とし、前記被検査体に対する前記Ｘ線発生器および前記二次元Ｘ線検出器の相対回転の方向を相対回転方向とすると、前記被検査体に対して前記二次元Ｘ線検出器が少なくとも前記第１方向へ相対移動するように前記二次元Ｘ線検出器を平行移動させるかまたは前記被検査体を平行移動させる移動機構と、前記Ｘ線発生器と前記二次元Ｘ線検出器と前記回転機構と前記移動機構とが接続される制御部とを備え、
    　前記検出面を含む平面を仮想投影面とし、前記Ｘ線発生器が射出するＸ線によって前記仮想投影面に投影される前記被検査体の全体の投影像を仮想投影像とすると、前記検出面は、少なくとも前記第１方向において前記仮想投影像よりも小さくなっており、
    　前記制御部は、前記回転機構によって前記Ｘ線発生器および前記二次元Ｘ線検出器を前記被検査体に対して３６０°相対回転させるとともに前記二次元Ｘ線検出器に一定角度ごとにＸ線画像を取得させる画像取得動作と、前記移動機構によって前記二次元Ｘ線検出器を前記被検査体に対して前記第１方向の一方へ相対移動させる移動動作とを交互に行って、前記第２方向の所定位置の、前記第１方向で分割された前記被検査体のＸ線画像を前記相対回転方向の一定角度ごとに３６０°に亘って前記二次元Ｘ線検出器に取得させ、
    　前記相対回転方向の一定角度ごとに３６０°に亘って取得された、前記第２方向の所定位置の前記第１方向で分割された前記被検査体のＸ線画像を一列分Ｘ線画像とすると、
    　前記処理手段は、前記二次元Ｘ線検出器から取り込んだ前記一列分Ｘ線画像の中の前記相対回転方向の同じ角度で取得された複数のＸ線画像を前記第１方向で繋ぎ合わせて合成する合成処理を前記相対回転方向の一定角度ごとに実行するとともに、前記合成処理後に、合成されたＸ線画像を前記第２方向で分割して複数の帯状のＸ線画像にする分割処理を実行し、前記分割処理後に、前記第２方向において同じ位置にある３６０°分の帯状のＸ線画像に基づく所定の演算を行ってＣＴ画像を生成するＣＴ画像生成処理を実行するか、あるいは、前記二次元Ｘ線検出器から取り込んだ前記一列分Ｘ線画像を前記第２方向で複数に分割する分割処理を実行するとともに、前記分割処理後に、前記第２方向において同じ位置にある分割後のＸ線画像であって前記相対回転方向の同じ角度で取得された複数のＸ線画像を前記第１方向で繋ぎ合わせて帯状のＸ線画像に合成する合成処理を前記相対回転方向の一定角度ごとに実行し、前記合成処理後に、前記第２方向において同じ位置にある３６０°分の帯状のＸ線画像に基づく所定の演算を行ってＣＴ画像を生成するＣＴ画像生成処理を実行することを特徴とするＸ線検査装置。
  2. 　前記検出面は、前記第１方向および前記第２方向において前記仮想投影像よりも小さくなっており、
    　前記制御部は、前記一列分Ｘ線画像が前記二次元Ｘ線検出器によって取得されると、前記移動機構によって前記二次元Ｘ線検出器を前記被検査体に対して少なくとも前記第２方向へ相対移動させ、その後、前記画像取得動作と前記移動動作とを交互に行って、前記被検査体の、前記第２方向における次の前記一列分Ｘ線画像を前記二次元Ｘ線検出器に取得させることを特徴とする請求項１記載のＸ線検査装置。
  3. 　前記処理手段として、前記二次元Ｘ線検出器に接続され前記二次元Ｘ線検出器で取得されたＸ線画像を取り込む第１処理手段と、前記第１処理手段に接続される第２処理手段とを備え、
    　前記第１処理手段は、前記一列分Ｘ線画像を取り込むと、取り込んだ前記一列分Ｘ線画像をそのまま前記第２処理手段に送信し、
    　前記第２処理手段は、前記合成処理と前記分割処理と前記ＣＴ画像生成処理とを実行することを特徴とする請求項２記載のＸ線検査装置。
  4. 　前記処理手段として、前記二次元Ｘ線検出器に接続され前記二次元Ｘ線検出器で取得されたＸ線画像を取り込む第１処理手段と、前記第１処理手段に接続される第２処理手段とを備え、
    　前記第１処理手段は、前記一列分Ｘ線画像を取り込むと、前記合成処理と前記分割処理とを実行し、
    　前記第２処理手段は、前記第１処理手段から取り込んだ、前記第２方向において同じ位置にある３６０°分の帯状のＸ線画像に基づいて前記ＣＴ画像生成処理を実行することを特徴とする請求項２記載のＸ線検査装置。
  5. 　Ｘ線発生器と、前記Ｘ線発生器との間で被検査体を挟むように配置される二次元Ｘ線検出器と、前記被検査体の外周側で前記被検査体に対して前記Ｘ線発生器および前記二次元Ｘ線検出器が相対回転するように前記Ｘ線発生器と前記二次元Ｘ線検出器とを回転させるかまたは前記被検査体を回転させる回転機構と、前記二次元Ｘ線検出器で取得されたＸ線画像を取り込んで処理する処理手段とを備えるとともに、
    　前記二次元Ｘ線検出器の検出面に平行な所定の方向を第１方向とし、前記検出面に平行な方向であってかつ前記第１方向に直交する方向を第２方向とし、前記被検査体に対する前記Ｘ線発生器および前記二次元Ｘ線検出器の相対回転の方向を相対回転方向とすると、前記被検査体に対して前記二次元Ｘ線検出器が前記第１方向および前記第２方向へ相対移動するように前記二次元Ｘ線検出器を平行移動させるかまたは前記被検査体を平行移動させる移動機構と、前記Ｘ線発生器と前記二次元Ｘ線検出器と前記回転機構と前記移動機構とが接続される制御部とを備え、
    　前記検出面を含む平面を仮想投影面とし、前記Ｘ線発生器が射出するＸ線によって前記仮想投影面に投影される前記被検査体の全体の投影像を仮想投影像とすると、前記検出面は、前記第１方向および前記第２方向において前記仮想投影像よりも小さくなっており、
    　前記制御部は、前記回転機構によって前記Ｘ線発生器および前記二次元Ｘ線検出器を前記被検査体に対して３６０°相対回転させるとともに前記二次元Ｘ線検出器に一定角度ごとにＸ線画像を取得させる画像取得動作と、前記移動機構によって前記二次元Ｘ線検出器を前記被検査体に対して前記第１方向の一方へ相対移動させる移動動作とを交互に行って、前記第２方向の所定位置の、前記第１方向で分割された前記被検査体のＸ線画像を前記相対回転方向の一定角度ごとに３６０°に亘って前記二次元Ｘ線検出器に取得させるとともに、
    　前記相対回転方向の一定角度ごとに３６０°に亘って取得された、前記第２方向の所定位置の前記第１方向で分割された前記被検査体のＸ線画像を一列分Ｘ線画像とすると、
    　前記制御部は、前記一列分Ｘ線画像が前記二次元Ｘ線検出器によって取得されると、前記移動機構によって前記二次元Ｘ線検出器を前記被検査体に対して少なくとも前記第２方向へ相対移動させ、その後、前記画像取得動作と前記移動動作とを交互に行って、前記被検査体の、前記第２方向における次の前記一列分Ｘ線画像を前記二次元Ｘ線検出器に取得させ、
    　前記処理手段は、前記二次元Ｘ線検出器から取り込んだ前記一列分Ｘ線画像の中の前記相対回転方向の同じ角度で取得された複数のＸ線画像を前記第１方向で繋ぎ合わせて合成する合成処理を前記相対回転方向の一定角度ごとに実行するとともに、前記合成処理後に、３６０°分の合成されたＸ線画像に基づく所定の演算を行ってＣＴ画像を生成するＣＴ画像生成処理を実行することを特徴とするＸ線検査装置。
  6. 　前記処理手段として、前記二次元Ｘ線検出器に接続され前記二次元Ｘ線検出器で取得されたＸ線画像を取り込む第１処理手段と、前記第１処理手段に接続される第２処理手段とを備え、
    　前記第１処理手段は、前記一列分Ｘ線画像を取り込むと、取り込んだ前記一列分Ｘ線画像をそのまま前記第２処理手段に送信し、
    　前記第２処理手段は、前記合成処理と前記ＣＴ画像生成処理とを実行することを特徴とする請求項５記載のＸ線検査装置。
  7. 　前記処理手段として、前記二次元Ｘ線検出器に接続され前記二次元Ｘ線検出器で取得されたＸ線画像を取り込む第１処理手段と、前記第１処理手段に接続される第２処理手段とを備え、
    　前記第１処理手段は、前記一列分Ｘ線画像を取り込むと、前記合成処理を実行し、
    　前記第２処理手段は、前記第１処理手段から取り込んだ、合成処理後のＸ線画像に基づいて前記ＣＴ画像生成処理を実行することを特徴とする請求項５記載のＸ線検査装置。
  8. 　Ｘ線発生器と、前記Ｘ線発生器との間で被検査体を挟むように配置される二次元Ｘ線検出器と、前記被検査体の外周側で前記被検査体に対して前記Ｘ線発生器および前記二次元Ｘ線検出器が相対回転するように前記Ｘ線発生器と前記二次元Ｘ線検出器とを回転させるかまたは前記被検査体を回転させる回転機構とを備えるとともに、
    　前記二次元Ｘ線検出器の検出面に平行な所定の方向を第１方向とし、前記検出面に平行な方向であってかつ前記第１方向に直交する方向を第２方向とし、前記被検査体に対する前記Ｘ線発生器および前記二次元Ｘ線検出器の相対回転の方向を相対回転方向とすると、前記被検査体に対して前記二次元Ｘ線検出器が少なくとも前記第１方向へ相対移動するように前記二次元Ｘ線検出器を平行移動させるかまたは前記被検査体を平行移動させる移動機構を備え、
    　前記検出面を含む平面を仮想投影面とし、前記Ｘ線発生器が射出するＸ線によって前記仮想投影面に投影される前記被検査体の全体の投影像を仮想投影像とすると、前記検出面が少なくとも前記第１方向において前記仮想投影像よりも小さくなっているＸ線検査装置の制御方法であって、
    　前記回転機構によって前記Ｘ線発生器および前記二次元Ｘ線検出器を前記被検査体に対して３６０°相対回転させるとともに前記二次元Ｘ線検出器に一定角度ごとにＸ線画像を取得させる画像取得動作と、前記移動機構によって前記二次元Ｘ線検出器を前記被検査体に対して前記第１方向の一方へ相対移動させる移動動作とを交互に行って、前記第２方向の所定位置の、前記第１方向で分割された前記被検査体のＸ線画像を前記相対回転方向の一定角度ごとに３６０°に亘って前記二次元Ｘ線検出器に取得させ、
    　前記相対回転方向の一定角度ごとに３６０°に亘って取得された、前記第２方向の所定位置の前記第１方向で分割された前記被検査体のＸ線画像を一列分Ｘ線画像とすると、
    　前記二次元Ｘ線検出器から取り込んだ前記一列分Ｘ線画像の中の前記相対回転方向の同じ角度で取得された複数のＸ線画像を前記第１方向で繋ぎ合わせて合成する合成処理を前記相対回転方向の一定角度ごとに実行するとともに、前記合成処理後に、合成されたＸ線画像を前記第２方向で分割して複数の帯状のＸ線画像にする分割処理を実行し、前記分割処理後に、前記第２方向において同じ位置にある３６０°分の帯状のＸ線画像に基づく所定の演算を行ってＣＴ画像を生成するＣＴ画像生成処理を実行するか、あるいは、前記二次元Ｘ線検出器から取り込んだ前記一列分Ｘ線画像を前記第２方向で複数に分割する分割処理を実行するとともに、前記分割処理後に、前記第２方向において同じ位置にある分割後のＸ線画像であって前記相対回転方向の同じ角度で取得された複数のＸ線画像を前記第１方向で繋ぎ合わせて帯状のＸ線画像に合成する合成処理を前記相対回転方向の一定角度ごとに実行し、前記合成処理後に、前記第２方向において同じ位置にある３６０°分の帯状のＸ線画像に基づく所定の演算を行ってＣＴ画像を生成するＣＴ画像生成処理を実行することを特徴とするＸ線検査装置の制御方法。
  9. 　Ｘ線発生器と、前記Ｘ線発生器との間で被検査体を挟むように配置される二次元Ｘ線検出器と、前記被検査体の外周側で前記被検査体に対して前記Ｘ線発生器および前記二次元Ｘ線検出器が相対回転するように前記Ｘ線発生器と前記二次元Ｘ線検出器とを回転させるかまたは前記被検査体を回転させる回転機構とを備えるとともに、
    　前記二次元Ｘ線検出器の検出面に平行な所定の方向を第１方向とし、前記検出面に平行な方向であってかつ前記第１方向に直交する方向を第２方向とし、前記被検査体に対する前記Ｘ線発生器および前記二次元Ｘ線検出器の相対回転の方向を相対回転方向とすると、前記被検査体に対して前記二次元Ｘ線検出器が前記第１方向および前記第２方向へ相対移動するように前記二次元Ｘ線検出器を平行移動させるかまたは前記被検査体を平行移動させる移動機構を備え、
    　前記検出面を含む平面を仮想投影面とし、前記Ｘ線発生器が射出するＸ線によって前記仮想投影面に投影される前記被検査体の全体の投影像を仮想投影像とすると、前記検出面が前記第１方向および前記第２方向において前記仮想投影像よりも小さくなっているＸ線検査装置の制御方法であって、
    　前記回転機構によって前記Ｘ線発生器および前記二次元Ｘ線検出器を前記被検査体に対して３６０°相対回転させるとともに前記二次元Ｘ線検出器に一定角度ごとにＸ線画像を取得させる画像取得動作と、前記移動機構によって前記二次元Ｘ線検出器を前記被検査体に対して前記第１方向の一方へ相対移動させる移動動作とを交互に行って、前記第２方向の所定位置の、前記第１方向で分割された前記被検査体のＸ線画像を前記相対回転方向の一定角度ごとに３６０°に亘って前記二次元Ｘ線検出器に取得させるとともに、
    　前記相対回転方向の一定角度ごとに３６０°に亘って取得された、前記第２方向の所定位置の前記第１方向で分割された前記被検査体のＸ線画像を一列分Ｘ線画像とすると、
    　前記一列分Ｘ線画像が前記二次元Ｘ線検出器によって取得されると、前記移動機構によって前記二次元Ｘ線検出器を前記被検査体に対して少なくとも前記第２方向へ相対移動させ、その後、前記画像取得動作と前記移動動作とを交互に行って、前記被検査体の、前記第２方向における次の前記一列分Ｘ線画像を前記二次元Ｘ線検出器に取得させ、なおかつ、
    　前記二次元Ｘ線検出器から取り込んだ前記一列分Ｘ線画像の中の前記相対回転方向の同じ角度で取得された複数のＸ線画像を前記第１方向で繋ぎ合わせて合成する合成処理を前記相対回転方向の一定角度ごとに実行するとともに、前記合成処理後に、３６０°分の合成されたＸ線画像に基づく所定の演算を行ってＣＴ画像を生成するＣＴ画像生成処理を実行することを特徴とするＸ線検査装置の制御方法。
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