WO2017142102A1 - Movable table system - Google Patents
Movable table system Download PDFInfo
- Publication number
- WO2017142102A1 WO2017142102A1 PCT/KR2016/001507 KR2016001507W WO2017142102A1 WO 2017142102 A1 WO2017142102 A1 WO 2017142102A1 KR 2016001507 W KR2016001507 W KR 2016001507W WO 2017142102 A1 WO2017142102 A1 WO 2017142102A1
- Authority
- WO
- WIPO (PCT)
- Prior art keywords
- linear motor
- linear
- moving
- guide
- driving
- Prior art date
Links
Images
Classifications
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- B23Q—DETAILS, COMPONENTS, OR ACCESSORIES FOR MACHINE TOOLS, e.g. ARRANGEMENTS FOR COPYING OR CONTROLLING; MACHINE TOOLS IN GENERAL CHARACTERISED BY THE CONSTRUCTION OF PARTICULAR DETAILS OR COMPONENTS; COMBINATIONS OR ASSOCIATIONS OF METAL-WORKING MACHINES, NOT DIRECTED TO A PARTICULAR RESULT
- B23Q1/00—Members which are comprised in the general build-up of a form of machine, particularly relatively large fixed members
- B23Q1/25—Movable or adjustable work or tool supports
- B23Q1/44—Movable or adjustable work or tool supports using particular mechanisms
- B23Q1/56—Movable or adjustable work or tool supports using particular mechanisms with sliding pairs only, the sliding pairs being the first two elements of the mechanism
- B23Q1/60—Movable or adjustable work or tool supports using particular mechanisms with sliding pairs only, the sliding pairs being the first two elements of the mechanism two sliding pairs only, the sliding pairs being the first two elements of the mechanism
- B23Q1/62—Movable or adjustable work or tool supports using particular mechanisms with sliding pairs only, the sliding pairs being the first two elements of the mechanism two sliding pairs only, the sliding pairs being the first two elements of the mechanism with perpendicular axes, e.g. cross-slides
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- B23Q—DETAILS, COMPONENTS, OR ACCESSORIES FOR MACHINE TOOLS, e.g. ARRANGEMENTS FOR COPYING OR CONTROLLING; MACHINE TOOLS IN GENERAL CHARACTERISED BY THE CONSTRUCTION OF PARTICULAR DETAILS OR COMPONENTS; COMBINATIONS OR ASSOCIATIONS OF METAL-WORKING MACHINES, NOT DIRECTED TO A PARTICULAR RESULT
- B23Q5/00—Driving or feeding mechanisms; Control arrangements therefor
- B23Q5/22—Feeding members carrying tools or work
- B23Q5/28—Electric drives
-
- G—PHYSICS
- G12—INSTRUMENT DETAILS
- G12B—CONSTRUCTIONAL DETAILS OF INSTRUMENTS, OR COMPARABLE DETAILS OF OTHER APPARATUS, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- G12B5/00—Adjusting position or attitude, e.g. level, of instruments or other apparatus, or of parts thereof; Compensating for the effects of tilting or acceleration, e.g. for optical apparatus
Definitions
- the present disclosure relates to a table system that is movable in its entirety, and more particularly to a table system that is movable in two perpendicular directions.
- Movable table systems particularly table systems that are movable in two perpendicular directions, are generally known as XY tables.
- 1 is a view showing an example of the XY table described in Korean Laid-Open Patent Publication No. 2001-0013820.
- the XY table includes a base 20, a guide rail 21 installed in the X-axis direction on the base 20, a guide rail 22 installed in the Y-axis direction at the ends of the guide rail 21, and a guide rail ( 21, an X-axis table 23 arranged on the X-axis table 23 and movably coupled in the X-axis direction, two guide rollers 24 and 25 disposed on the X-axis table 23, an X-axis driving motor 26, On the X-axis feed screw 27 connected to the X-axis drive motor 26, on the Y-axis table 28, Y-axis table 28, which is disposed on the guide rail 22 and movably coupled in the Y-axis direction Y-axis feed screw 31, X-axis table 23 and Y-axis table 28 connected to the guide rail 29 in the X-axis direction, the Y-axis drive motor 30, and the Y-axis drive motor 30 It includes a top table 32 disposed on.
- the XY table 10 drives the X-axis drive motor 26, the X-axis table 23 moves in the X-axis direction through the X-axis feed screw 27 connected to the rotational axis of the X-axis drive motor 26.
- the top table 32 moves in the X-axis direction through the guide rollers 24 and 25 provided on the X-axis table 23.
- this Y-axis driving The Y-axis table 28 moves in the Y-axis direction through the Y-axis feed screw 31 connected to the motor 30, and the top table 32 disposed on the Y-axis table 28 moves in the Y-axis direction.
- At least one moving table is disposed under the top table to move, for example, Korean Patent Laid-Open Publication No. 2008-0083297, Korean Patent Laid-Open Publication No. 2000-0006149, and Japanese Patent Laid-Open Publication No. 2005-297189.
- at least one or more moving tables are arranged under the top table.
- FIG. 2 is a view showing an example of the XY table described in Korean Patent Publication No. 1520401.
- the XY table 100 includes a table 110, a driving unit 122 moving in the X direction 121, a first linear motor 120 including the moving unit 123, and a driving unit 132 moving in the Y direction 131. And a second linear motor 130 including the moving part 133, the support part 160, the first linear guide 140 and the table 110 positioned between the table 110 and the first linear motor 120. And the second linear guide 150 and the third linear guide 170 and the support 160 positioned between the second linear guide 150 and the support 160 and the first linear motor 120 positioned between the second linear motor 130 and the second linear guide 130. And a fourth linear guide 180 positioned between the two linear motors 130.
- FIG. 2 is an XY table in which the table 110 moves in two directions without a separate moving table for moving the top table below the top table in order to solve the problem of the XY table described in FIG. 1. .
- the XY table of the system described in FIG. 2 has the problem described in FIG.
- the XY table 100 uses the first linear motor 120 and the second linear motor 130 to move the table 110 in the X and Y directions.
- the third linear guide 170 and the fourth linear guide to prevent the inertial reaction force generated from the first linear motor 120, the second linear motor 130, and the table 110 from affecting the support unit 160. It includes 180.
- the center of mass 111 of the table 110 has a distance from the thrust lines 121 and 131 of the first linear motor 120 and the second linear motor 130, as shown in FIGS. 3B and 3C.
- FIG. 4 is a diagram showing an example of an XY table described in Japanese Laid-Open Patent Publication No. 2007-19269.
- the XY table 200 includes a table 210, a first linear motor 220X and a second linear motor 221X moving in the X direction, a third linear motor 230Y and a fourth linear motor 231Y moving in the Y direction. , X direction inertial reaction force removing means (240, 241) and Y direction inertial reaction force removing means (250).
- X direction inertial reaction force removing means 240, 241
- Y direction inertial reaction force removing means 250
- the structure is complicated by requiring separate inertial reaction force removing means 240, 241, and 250 for removing the inertial reaction force, and the table 210 and the first control unit are actively controlled by the inertial reaction force removing means 240, 241, and 250. It is very difficult to accurately remove the inertial reaction forces in the translational and rotational directions generated by the first to fourth linear motors 220X, 221X, 230Y, and 231Y.
- the present disclosure does not require a movable table located under the top table, which is a problem of the prior art, and provides a movable table system which reduces the influence of the inertial reaction force in the translation direction and the rotation direction inertia on the support portion.
- a table comprising: A first linear motor including a driving unit and a moving unit for moving the table in a first direction;
- a support part supporting the first linear motor, the second linear motor, the third linear motor, and the fourth linear motor, wherein the support part
- a movable table system is provided that includes at least one of the following.
- 1 is a view showing an example of an XY table described in Korean Laid-Open Patent Publication No. 2001-0013820;
- FIG. 2 is a view showing an example of an XY table described in Korean Patent Publication No. 1520401,
- FIG. 3 is a view for explaining the problem of the XY table described in FIG.
- FIG. 5 illustrates an example of a movable table system according to the present disclosure
- FIG. 6 is a view showing an example of use of a movable table system according to the present disclosure.
- FIG. 7 is a view illustrating an example of a linear guide used in the present disclosure.
- FIG. 8 illustrates another example of a movable table system according to the present disclosure
- FIG. 9 is a view showing another example of a movable table system according to the present disclosure.
- FIG. 10 is a view showing an example of using a movable table system according to the present disclosure in a laser processing apparatus
- FIG. 11 is a perspective view showing another example of a movable table system according to the present disclosure.
- FIG. 12 illustrates another example of a movable table system according to the present disclosure.
- 5 is a diagram illustrating an example of a movable table system according to the present disclosure. 5 is a plan view.
- the movable table system 300 includes a table 310, a first linear motor 330 including a driving unit 331 and a moving unit 332 for reciprocating the table 310 in the first direction 320.
- the second linear motor 340 including the driving unit 341 and the moving unit 342 to reciprocate the 310 in the first direction 320 and the table 310 to reciprocate in the second direction 321.
- a third linear motor 350 including a driving unit 351 and a moving unit 352, and a driving unit 361 and a moving unit 362 that reciprocate the table 310 in the second direction 321.
- the table 310 reciprocates in the first direction 320 and the second direction 321, and corresponds to the top table in the XY table of FIG. 1.
- a laser light source can be placed when used in a laser processing apparatus
- a wire bonding head can be placed when used for wire bonding in semiconductor manufacturing
- a substrate can be placed when used in an exposure apparatus. .
- the first to fourth linear motors 330, 340, 350, and 360 include driving units 331, 341, 351, and 361 and moving parts 332, 342, 352, and 362. Although not shown in the drawings, it is well known to those skilled in the art that the driving units 331, 341, 351, and 361 and the moving units 332, 342, 352, and 362 are combined with linear guides. In addition, the driving units 331, 341, 351, and 361 are often yokes and permanent magnets, but may be armatures including coils. In addition, the first to fourth linear motors 330, 340, 350, and 360 may reduce the inertia reaction force by using the mass of the driving units 331, 341, 351, and 361 itself, but the reaction and reaction according to the present disclosure may be reduced.
- Additional mass portions 333, 343, 353, 363 may be included to enhance the function of reducing the inertia reaction force.
- the second linear motor 340 is positioned to face the first linear motor 330
- the fourth linear motor 360 is positioned to face the third linear motor 350.
- the first linear motor 330 and the second linear motor 340 reciprocate the table 310 in the first direction 320
- the third linear motor 350 and the fourth linear motor 360 may have a table ( 310 reciprocates in the second direction 321.
- the first direction 320 and the second direction 321 are perpendicular to each other.
- the first direction 320 is referred to as the X direction
- the second direction 321 is referred to as the Y direction.
- the first connection part 370 is coupled to the moving part 332 of the first linear motor 330, the moving part 342 of the second linear motor 340, and the table 310 so that the moving parts 332 and 342 are provided.
- the table 310 is reciprocated in the moving first direction 320.
- the second connection part 371 is coupled to the moving part 352 of the third linear motor 350, the moving part 362 of the fourth linear motor 360, and the table 310 to move the moving parts 352 and 362.
- the table 310 is reciprocated in the moving second direction 321.
- a fifth linear guide 394 may be positioned between the first connector 370 and the table 310, and a sixth linear guide 395 may be positioned between the second connector 371 and the table 310.
- the second connection part 371 does not move and the second connection part 371 moves in the first direction.
- the second connection part 371 is moved by the fifth linear guide 394 and the table 310 moves in the second direction 371, the first connection part 370 does not move and the first connection part 370 is moved.
- the table 310 moving in the second direction 371 is guided.
- the fifth linear guide 394 and the sixth linear guide 395 are shown to be visible.
- the table 310 may be located inside the table 310 such as the fifth linear guide 394 and the sixth linear guide 395 as shown in the tables 610 and 810 of FIGS. 9 and 11. Do.
- the linear guide located inside the table is shown unless there is a special reason.
- the support 380 may be any type as long as it supports the first to fourth linear motors 330, 340, 350, and 360. Although only a portion of the support 380 is shown in the drawing, it appears that each of the linear motors 330, 340, 350, and 360 is separate, but the support 380 may be configured as one or may be configured separately.
- the first to fourth linear guides 390, 391, 392, and 393 are respectively the driving units 331, 341, 351, and 361 of the first to fourth linear motors 330, 340, 350, and 360. Located between the support parts 380, the driving parts 331, 341, 351, and 361 may move in a direction opposite to the direction in which the moving parts 332, 342, 352, and 362 move, and thereby the table 310 and The influence of the translational and rotational inertia reaction forces generated by the first to fourth linear motors 330, 340, 350, and 360 on the support part 380 may be reduced. Details will be described with reference to FIG. 6.
- FIG. 6 is a view showing an example of the use of a movable table system according to the present disclosure.
- FIG. 6A illustrates a case in which the table 310 reciprocates in the second direction 321 while being biased toward the fourth linear motor 360. Since the center of mass of the table 310 is moved toward the fourth linear motor 360 side, the fourth linear motor is higher than the third linear motor 350 in order to perform the acceleration / deceleration movement of the table 310 in the second direction 321. At 360 the greater force should be generated. Accordingly, the distance 400 between the driving unit 361 and the additional mass unit 363 of the fourth linear motor 360 along the fourth linear guide 393 may be different from that of the driving unit 351 of the third linear motor 350.
- the additional mass portion 353 is larger than the distance 410 moving along the third linear guide 392, thereby reducing transmission of inertial reaction forces in the translational and rotational directions to the support 380.
- 6B is a diagram illustrating a case in which the table 310 reciprocates in the first direction 320 while being biased toward the second linear motor 340. By the same principle as in FIG. 6 (a), it is possible to reduce transmission of the inertial reaction force in the rotational direction as well as the inertial reaction force in the rotational direction.
- FIG. 7 is a diagram illustrating an example of a linear guide used in the present disclosure.
- Linear guide used in the present disclosure is located between the two objects to reduce the friction between the two objects during the relative linear movement of the two objects that can be used as a concept used in the present disclosure as well as the form described in FIG. All are included.
- it may be one of an air bearing, a magnetic bearing, a ball circulating linear motion guide, a cross roller table, a cam follower and a sliding bearing.
- FIG. 8 is a diagram illustrating another example of a movable table system according to the present disclosure.
- the movable table system 500 includes positioning units 510, 511, and 520 at additional mass parts 533, 543, 553, and 563 of the first to fourth linear motors 530, 540, 550, and 560. It is characterized by the addition.
- the additional mass parts 533, 543, 553, and 563 of the first to fourth linear motors 530, 540, 550, and 560 are the first to fourth linear motors 530, 540, 550, and 560. It is preferable to return to the position before moving after moving by reaction force of the moving parts 532, 542, 552, and 562. To this end, position adjusting units 510, 511, and 520 were added.
- the position adjusting unit may use the damper 510 and the spring 511 in combination as shown in FIG. 8 (a), or use the actuator 520 as in FIG. 8 (b).
- Actuator 520 may be a linear motor.
- the position adjusting units 510, 511, and 520 may be directly connected to the driving units 531, 541, 551, and 561 when there are no additional mass parts 533, 543, 553, and 563. Except as described in FIG. 8, the movable table system 500 described is substantially the same as the movable table system 300 described in FIG. 5.
- FIG. 9 is a view showing another example of a movable table system according to the present disclosure.
- (A) is a perspective view
- FIG. 9 (b) is sectional drawing along AA '.
- FIG. 9 shows only a coupling method of the table 610, the first connector 630, and the second connector 640 in the movable table system 600 for convenience of description.
- the table 610 includes a first groove 611 formed in the first direction 620 and a second groove 612 formed in the second direction 621.
- the first groove 611 and the second connector 640 are coupled, and the second groove 612 and the first connector 630 are coupled.
- the linear guide 650 may be located between the table 610 and the second connection part 640.
- a linear guide may be positioned between the table 610 and the first connector 630.
- the movable table system 600 described is substantially the same as the movable table system 300 described in FIG. 5.
- FIG. 10 is a view illustrating an example of using a movable table system according to the present disclosure in a laser processing apparatus.
- the movable table system according to the present disclosure is capable of directly attaching and using a laser head that emits laser light to a table and using laser light that comes from a laser head installed outside of the movable table system.
- 10 shows an example of using a movable table system according to the present disclosure in a laser processing apparatus using an external laser light source.
- the movable table system 700 having the laser light source installed outside is installed in at least one moving part 732, 742, 752, 762 of the first to fourth linear motors 730, 740, 750, and 760.
- a second reflector 790 installed in the table 710 for changing the path of light to exit 771 from the table 710.
- the first reflecting portion 780 and the second reflecting portion 790 can be used without limitation as long as the loss of the laser light can be reduced. Mirrors are also possible, for example.
- a lens may be added to the table 710 so that the laser light emitted from the second reflector 790 may be more concentrated at a point.
- FIG. 10 (b) shows the path of light when the first linear motor 730 and the second linear motor 740 operate, and FIG.
- FIG. 10 (c) shows the third linear motor 750 and the fourth linear.
- FIG. 10 (d) shows a path of light when the first to fourth linear motors 730, 740, 750, and 760 operate together. Giving. 10 (b) to 10 (d) show that externally generated laser light is transferred to a table and used for laser processing.
- the movable table system 700 described except as described in FIG. 10 is substantially the same as the movable table system 300 described in FIG.
- FIG. 11 is a perspective view showing another example of a movable table system according to the present disclosure.
- the movable table system 800 includes a table 810, drives 831, 841, 851, 861, moving parts 832, 842, 852, 862 and additional mass parts 833, 843, 853, 863.
- the second connection portion 871 and the support 880 is included.
- the relative displacement between the three parts of the support part, the moving part, and the driving part must be measured, and can be measured using two position sensors. For example, as shown in FIG.
- the movable table system 800 includes a first position sensor 900 and a driver 831, 841 that measure displacement of the moving parts 832, 842, 852, and 862 with respect to the support part 880. And second position sensor 910 for measuring displacement with respect to support 880 of 851, 861.
- the relative displacement between the remaining moving parts 832, 842, 852, 862 and the driving parts 831, 841, 851, 861 is obtained using the signals obtained from the first position sensor 900 and the second position sensor 910. You can get it. That is, the first position sensor 900 and the second position sensor 910 are relative displacements between the support part 880 and the moving parts 832, 842, 852, and 862, and the support part 880 and the driving parts 831, 841, and 851.
- FIG. 11 may be positioned as shown in FIG. 11 to measure the relative displacement between and 861, but the relative displacement between the support 880 and the moving parts 832, 842, 852, and 862 and the driving parts 831, 841, 851, 861.
- first position sensors 900 and two second position sensors 910 are shown in FIG. 11, the displacements of the moving parts 832, 842, 852, and 862 and the driving parts 831, 841, 851, and 861 are shown. It is located in the moving part and the driving part, respectively, for measurement.
- the first to fourth linear motors 830, 840, 850, and 860 control the positions of the moving parts 832, 842, 852, and 862 using the first position sensor 900 signal, and the second position sensor. Phase switching of the driving units 831, 841, 851, and 861 is performed using the signal 910 and the signal of the first position sensor 900.
- the table system 800 described in FIG. 11 also uses a linear motor 930 as a position adjuster.
- the linear motor 930 has only a moving part 930, and the driving part shares the driving parts 831, 841, 851, and 861 of the first to fourth linear motors 830, 840, 850, and 860.
- the moving part 930 is fixed to the support part 880 so that the moving part 930 does not move due to the thrust generated by the driving parts 831, 841, 851, 861 and the driving parts 831, 841, 851, 861. Is moved to move the additional portions 833, 843, 853, and 863 connected to the driving units 831, 841, 851, 861 and the driving units 831, 841, 851, 861 to a desired position.
- FIG. 11 also shows a linear guide 896 located between the support 880 and the moving parts 832, 842, 852, 862 of the first to fourth linear motors 830, 840, 850, 860. .
- the linear guide 896 allows the moving parts 832, 842, 852, and 862 to move more stably.
- the combined height of the center of mass of the driving unit 831 of 830 and the driving unit 841 of the second linear motor 840 is the same as the first height, and the moving unit 852 and the fourth of the third linear motor 850 are the same.
- the height of the thrust line of the linear motor 930 positioned in the first linear motor 830 and the second linear motor 840 and used as a position adjuster has a first height
- the third linear motor 850 and the fourth linear motor preferably has a second height.
- the height of the center of mass and the height of the thrust line are based on the support 880.
- the height 950 of the center of mass 940 of the driver 841 of the second linear motor 840 may be measured based on the support 880.
- the movable table system 800 described is substantially the same as the movable table system 300 described in FIG. 5.
- FIG. 12 illustrates another example of a movable table system according to the present disclosure.
- FIG. 12A is a plan view
- FIG. 12B is a cross-sectional view taken along AA ′.
- the movable table system 1000 includes a table 1010, a first linear motor 1030 including a driving unit 1031 and a moving unit 1032 for moving the table 1010 in the first direction 1020, and a table ( The drive part 1051 which moves the 1010 in the 2nd direction 1021, the 2nd linear motor 1040 which contains the moving part 1042, and the drive part 1051 which moves the table 1010 in the 2nd direction 1021. ), A third linear motor 1050 including a moving part 1052, a connecting part 1060 connecting the second linear motor 1040 and the third linear motor 1050, a second linear motor 1040, and a third linear motor 1050.
- a support part 1070 supporting the three linear motors 1050 and positioned between the driving part 1031 and the connecting part 1060 of the first linear motor 1030, and the driving part 1031 of the first linear motor 1030. Is positioned between the first linear guide (1080) for guiding the first direction (1020), the driving unit (1041) and the support unit (1070) of the second linear motor (1040).
- At least one of the third linear guide 1082 to guide the driving unit 1051 of the three linear motor 1050 in the second direction (1021).
- a fourth linear guide 1083 may be included between the table 1010 and the connecting portion 1060 for the stable reciprocating movement of the table 1010 in the first direction 1020.
- the first linear motor 1030 By installing the first linear motor 1030 on the connecting portion 1060 for reciprocating the table 1010 in the first direction 1020, the overall structure is simpler than the movable table system 300 shown in FIG.
- the first linear guide 1080 Through the first linear guide 1080, the translational and rotational inertial reaction forces generated when the first direction 1020 is moved by the same principle as the movable table system 300 illustrated in FIG. 5 affect the support part 1070. The same effect of reducing the effect can be obtained.
- the first linear motor 1030 when the table 1010 is reciprocated in the second direction 1021, the first linear motor 1030 also moves together in addition to the table 1010, so that the second linear motor 1040 and the second direction 1021 move.
- the third linear motor 1050 should use more output.
- a first linear motor including a driving unit and a moving unit for moving the table in a first direction
- a second linear motor including a driving unit and a moving unit for moving the table in a first direction, comprising: a second linear motor positioned to face the first linear motor
- a third linear motor including a driving unit and a moving unit for moving the table in a second direction
- a fourth linear motor including a driving unit and a moving unit for moving the table in a second direction, comprising: a fourth linear motor positioned to face the third linear motor;
- a second connection portion connecting the third linear motor and the fourth linear motor; a second connection portion coupled to the table and guiding the table in a first direction;
- a support part supporting the first linear motor, the second linear motor, the third linear motor, and the fourth linear motor, wherein the support part is positioned between the driving part and the support part of the first linear
- the driving unit of the first linear motor, the second linear motor, the third linear motor, and the fourth linear motor is generated by moving the moving parts of the first linear motor, the second linear motor, the third linear motor, and the fourth linear motor.
- a movable table system characterized in that the movable portion can move in the opposite direction to the moving direction by the reaction force.
- a movable table system wherein the position adjusting portion is a linear motor.
- (6) a fifth linear guide positioned between the first connection portion and the table to guide the table in a second direction; And a sixth linear guide positioned between the second connection part and the table to guide the table in the first direction. And at least one of: a movable table system.
- first to sixth linear guides are at least one of an air bearing, a magnetic bearing, a ball recirculating linear motion guide, a cross roller table, a cam follower, and a sliding bearing.
- the table includes a first groove formed in the first direction and a second groove formed in the second direction, wherein the first groove and the second connection portion are coupled, and the second groove and the first connection portion are coupled. Movable table system.
- a second reflector for changing the path of the light to exit the table from the table through the first reflector in cooperation with the table.
- a movable table system characterized in that the path of light reflected from the second reflecting portion and exiting from the table is perpendicular to the table plane.
- a first position sensor for measuring a relative displacement between the support and the moving part and the driving part of the first to fourth linear motors; And a second position sensor.
- the first position sensor measures the displacement with respect to the support of the moving parts of the first to fourth linear motors
- the second position sensor measures the displacement with respect to the support of the drive of the first to fourth linear motors.
- Movable table system characterized in that for measuring.
- the combined center of mass height of the moving part of the first linear motor, the moving part of the second linear motor, the first connecting part and the table, and the combined center of mass height of the driving part of the first linear motor and the driving part of the second linear motor are the first.
- a first linear motor including a driving unit and a moving unit for moving the table in a first direction
- a second linear motor including a driving unit and a moving unit for moving the table in a second direction
- a third linear motor including a driving part and a moving part for moving the table in a second direction
- a third linear motor positioned to face the second linear motor
- a connection part connecting the second linear motor and the third linear motor A connection part on which the first linear motor is positioned;
- a support part supporting the second and third linear motors, the first linear guide being positioned between the driving part and the connecting part of the first linear motor to guide the driving part of the first linear motor in the first direction.
- a second linear guide positioned between the driving unit and the supporting unit of the second linear motor to guide the driving unit of the second linear motor in a second direction
- a third linear guide positioned between the driving part and the supporting part of the third linear motor to guide the driving part of the third linear motor in the second direction
- the movable table system According to the movable table system according to the present disclosure, it is possible to create a movable table system in which the influence of the inertial reaction forces in the translational and rotational directions on the support portion is reduced.
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
- Machine Tool Units (AREA)
Abstract
The present disclosure relates to a movable table system comprising: a first linear motor and a second linear motor positioned so as to face the first linear motor, the first and second linear motors comprising a driving unit and moving unit for moving a table in a first direction; a third linear motor and a fourth linear motor positioned so as to face the third linear motor, the third and fourth linear motors comprising a driving unit and moving unit for moving the table in a second direction; a first connecting unit for connecting the first linear motor with the second linear motor; a second connecting unit for connecting the third linear motor with the fourth linear motor; and support units for supporting the first, second, third, and fourth linear motors, the movable table system being characterized by comprising at least one of a first linear guide to a fourth linear guide positioned between the driving units of the first to fourth linear motors and the support units.
Description
본 개시(Disclosure)는 전체적으로 이동 가능한 테이블 시스템에 대한 것으로, 특히 수직한 두 방향으로 이동 가능한 테이블 시스템에 관한 것이다.The present disclosure relates to a table system that is movable in its entirety, and more particularly to a table system that is movable in two perpendicular directions.
여기서는, 본 개시에 관한 배경기술이 제공되며, 이들이 반드시 공지기술을 의미하는 것은 아니다(This section provides background information related to the present disclosure which is not necessarily prior art). This section provides background information related to the present disclosure which is not necessarily prior art.
이동 가능한 테이블 시스템, 특히 수직한 두 방향으로 이동 가능한 테이블 시스템은 일반적으로 XY 테이블로 알려져 있다.Movable table systems, particularly table systems that are movable in two perpendicular directions, are generally known as XY tables.
도 1은 한국 공개특허공보 제2001-0013820호에 기재된 XY 테이블의 일 예를 보여주는 도면이다.1 is a view showing an example of the XY table described in Korean Laid-Open Patent Publication No. 2001-0013820.
설명의 편의를 위해 도면 부호는 새로이 기재하였다.For convenience of description, reference numerals are newly described.
도 1에서 XY 테이블은 베이스(20), 베이스(20) 상에 X축 방향으로 설치된 가이드 레일(21), 가이드 레일(21)의 단부에 Y축 방향으로 설치된 가이드 레일(22), 가이드 레일(21) 상에 배치되어 X축 방향으로 이동 가능하게 결합된 X축 테이블(23), X축 테이블(23) 상에 배치된 두 개의 가이드 롤러(24, 25), X축 구동모터(26), X축 구동모터(26)에 연결된 X축 이송나사(27), 가이드 레일(22) 상에 배치되어 Y축 방향으로 이동 가능하게 결합된 Y축 테이블(28), Y축 테이블(28) 상에 배치된 X축 방향의 가이드 레일(29), Y축 구동모터(30), Y축 구동모터(30)에 연결된 Y축 이송나사(31), X축 테이블(23)과 Y축 테이블(28) 상에 배치된 탑 테이블(32)을 포함하고 있다. XY 테이블((10)은 X축 구동모터(26)를 구동하면, X축 구동모터(26)의 회전축에 연결된 X축 이송나사(27)를 통해 X축 테이블(23)이 X축 방향으로 이동됨과 동시에, X축 테이블(23) 상에 마련된 가이드 롤러(24, 25)를 통하여 탑 테이블(32)이 X축 방향으로 이동한다. 이어서 Y축 구동모터(30)를 구동하면, 이 Y축 구동모터(30)에 연결된 Y축 이송나사(31)를 통해 Y축 테이블(28)이 Y축 방향으로 이동함과 동시에 Y축 테이블(28) 상에 배치된 탑 테이블(32)이 Y축 방향으로 Y축 테이블(28)과 함께 이동한다. 그러나 탑 테이블(32)의 X축 방향 및 Y축 방향의 움직임을 위해 하부에 X축 테이블(23), Y축 테이블(28) 및 베이스(20)의 구조가 필요하며, 이것은 XY 테이블(10)의 구조가 전체적으로 대형화, 중량화되는 문제가 있었다. 도 1에 기재된 XY 테이블 이외에 대부분의 XY 테이블은 탑 테이블을 움직이기 위해 탑 테이블 하부에 적어도 1 개 이상의 움직이는 테이블을 배치하고 있다. 예를 들어 한국 공개특허공보 제2008-0083297호, 한국 공개특허공보 제2000-0006149호, 일본 공개특허공보 제2005-297189호 등 다수의 XY 테이블은 탑 테이블 하부에 적어도 1 개 이상의 움직이는 테이블을 배치하고 있다. In FIG. 1, the XY table includes a base 20, a guide rail 21 installed in the X-axis direction on the base 20, a guide rail 22 installed in the Y-axis direction at the ends of the guide rail 21, and a guide rail ( 21, an X-axis table 23 arranged on the X-axis table 23 and movably coupled in the X-axis direction, two guide rollers 24 and 25 disposed on the X-axis table 23, an X-axis driving motor 26, On the X-axis feed screw 27 connected to the X-axis drive motor 26, on the Y-axis table 28, Y-axis table 28, which is disposed on the guide rail 22 and movably coupled in the Y-axis direction Y-axis feed screw 31, X-axis table 23 and Y-axis table 28 connected to the guide rail 29 in the X-axis direction, the Y-axis drive motor 30, and the Y-axis drive motor 30 It includes a top table 32 disposed on. When the XY table 10 drives the X-axis drive motor 26, the X-axis table 23 moves in the X-axis direction through the X-axis feed screw 27 connected to the rotational axis of the X-axis drive motor 26. At the same time, the top table 32 moves in the X-axis direction through the guide rollers 24 and 25 provided on the X-axis table 23. Then, when the Y-axis driving motor 30 is driven, this Y-axis driving The Y-axis table 28 moves in the Y-axis direction through the Y-axis feed screw 31 connected to the motor 30, and the top table 32 disposed on the Y-axis table 28 moves in the Y-axis direction. It moves together with the Y-axis table 28. However, the bottom of the X-axis table 23, the Y-axis table 28 and the base 20 for the movement of the top table 32 in the X-axis direction and the Y-axis direction. There is a need for a structure, and this has a problem that the structure of the XY table 10 is enlarged and weighted as a whole. At least one moving table is disposed under the top table to move, for example, Korean Patent Laid-Open Publication No. 2008-0083297, Korean Patent Laid-Open Publication No. 2000-0006149, and Japanese Patent Laid-Open Publication No. 2005-297189. In many XY tables, at least one or more moving tables are arranged under the top table.
도 2는 한국 등록특허공보 제1520401호에 기재된 XY 테이블의 일 예를 보여주는 도면이다.2 is a view showing an example of the XY table described in Korean Patent Publication No. 1520401.
설명의 편의를 위해 도면 부호는 새로이 기재하였다.For convenience of description, reference numerals are newly described.
XY 테이블(100)은 테이블(110), X 방향(121)으로 움직이는 구동부(122)와 이동부(123)를 포함하는 제1 리니어 모터(120), Y 방향(131)으로 움직이는 구동부(132)와 이동부(133)를 포함하는 제2 리니어 모터(130), 지지부(160), 테이블(110)과 제1 리니어 모터(120) 사이에 위치하는 제1 리니어 가이드(140), 테이블(110)과 제2 리니어 모터(130) 사이에 위치하는 제2 리니어 가이드(150), 지지부(160)와 제1 리니어 모터(120) 사이에 위치하는 제3 리니어 가이드(170) 및 지지부(160)와 제2 리니어 모터(130) 사이에 위치하는 제4 리니어 가이드(180)를 포함하고 있다. 도 2에 기재된 XY 테이블(100)은 도 1에 기재된 XY 테이블의 문제점을 해결하기 위하여 탑 테이블 하부에 탑 테이블을 움직이기 위한 별도의 움직이는 테이블 없이 테이블(110)이 2개의 방향으로 움직이는 XY 테이블이다. 그러나 도 2에 기재된 방식의 XY 테이블은 도 3에 기재된 문제점을 갖고 있다.The XY table 100 includes a table 110, a driving unit 122 moving in the X direction 121, a first linear motor 120 including the moving unit 123, and a driving unit 132 moving in the Y direction 131. And a second linear motor 130 including the moving part 133, the support part 160, the first linear guide 140 and the table 110 positioned between the table 110 and the first linear motor 120. And the second linear guide 150 and the third linear guide 170 and the support 160 positioned between the second linear guide 150 and the support 160 and the first linear motor 120 positioned between the second linear motor 130 and the second linear guide 130. And a fourth linear guide 180 positioned between the two linear motors 130. The XY table 100 described in FIG. 2 is an XY table in which the table 110 moves in two directions without a separate moving table for moving the top table below the top table in order to solve the problem of the XY table described in FIG. 1. . However, the XY table of the system described in FIG. 2 has the problem described in FIG.
도 3은 도 2에 기재된 XY 테이블의 문제점을 설명하는 도면이다.It is a figure explaining the problem of the XY table of FIG.
XY 테이블(100)은 테이블(110)을 X 및 Y 방향으로 움직이기 위해 제1 리니어 모터(120) 및 제2 리니어 모터(130)를 사용한다. 또한 제1 리니어 모터(120), 제2 리니어 모터(130) 및 테이블(110)에서 발생하는 관성 반력이 지지부(160)에 영향을 미치지 않도록 하기 위해 제3 리니어 가이드(170) 및 제4 리니어 가이드(180)를 포함하고 있다. 그러나 테이블(110)의 질량 중심(111)이 제1 리니어 모터(120) 및 제2 리니어 모터(130)의 추력선(121, 131)에서 도 3(b) 및 도 3(c)와 같이 거리 d 만큼 벗어나기 때문에, 제3 리니어 가이드(170) 및 제4 리니어 가이드(180)에 의해서는 병진방향(X 및 Y 방향)의 관성 반력이 지지부(160)에 미치는 영향을 줄일 수는 있지만 테이블(110)의 회전 방향의 관성 반력이 지지부(160)에 미치는 영향을 줄일 수 없는 문제가 있다.The XY table 100 uses the first linear motor 120 and the second linear motor 130 to move the table 110 in the X and Y directions. In addition, the third linear guide 170 and the fourth linear guide to prevent the inertial reaction force generated from the first linear motor 120, the second linear motor 130, and the table 110 from affecting the support unit 160. It includes 180. However, the center of mass 111 of the table 110 has a distance from the thrust lines 121 and 131 of the first linear motor 120 and the second linear motor 130, as shown in FIGS. 3B and 3C. Since the third and fourth linear guides 170 and 180 deviate by d, it is possible to reduce the influence of the inertia reaction forces in the translational directions (the X and Y directions) on the support 160, but the table 110 There is a problem in that the influence of the inertial reaction force in the rotational direction of the) on the support unit 160 can not be reduced.
도 4는 일본 공개특허공보 제2007-19269호에 기재된 XY 테이블의 일 예를 보여주는 도면이다.4 is a diagram showing an example of an XY table described in Japanese Laid-Open Patent Publication No. 2007-19269.
설명의 편의를 위해 도면 부호는 새로이 기재하였다.For convenience of description, reference numerals are newly described.
XY 테이블(200)은 테이블(210), X 방향으로 움직이는 제1 리니어 모터(220X) 및 제2 리니어 모터(221X), Y 방향으로 움직이는 제3 리니어 모터(230Y) 및 제4 리니어 모터(231Y), X 방향 관성 반력 제거 수단(240, 241) 및 Y 방향 관성 반력 제거 수단(250)을 포함하고 있다. 그러나 관성 반력 제거를 위해 별도의 관성 반력 제거 수단(240, 241, 250)을 필요로 하여 구조가 복잡해지며, 또한 관성 반력 제거 수단(240, 241, 250)을 능동 제어하여 테이블(210) 및 제1 리니어 모터 내지 제4 리니어 모터(220X, 221X, 230Y, 231Y)에서 발생하는 병진방향 및 회전방향의 관성 반력을 정확하게 제거하는 것이 매우 어려운 문제가 있다.The XY table 200 includes a table 210, a first linear motor 220X and a second linear motor 221X moving in the X direction, a third linear motor 230Y and a fourth linear motor 231Y moving in the Y direction. , X direction inertial reaction force removing means (240, 241) and Y direction inertial reaction force removing means (250). However, the structure is complicated by requiring separate inertial reaction force removing means 240, 241, and 250 for removing the inertial reaction force, and the table 210 and the first control unit are actively controlled by the inertial reaction force removing means 240, 241, and 250. It is very difficult to accurately remove the inertial reaction forces in the translational and rotational directions generated by the first to fourth linear motors 220X, 221X, 230Y, and 231Y.
본 개시는 종래 기술의 문제점인 탑 테이블 밑에 위치하는 이동가능한 테이블이 필요 없으며, 지지부에 병진방향의 관성 반력 및 회전방향의 관성 반력이 미치는 영향을 줄인 이동 가능한 테이블 시스템을 제공하고자 한다.The present disclosure does not require a movable table located under the top table, which is a problem of the prior art, and provides a movable table system which reduces the influence of the inertial reaction force in the translation direction and the rotation direction inertia on the support portion.
이에 대하여 '발명을 실시하기 위한 구체적인 내용'의 후단에 기술한다.This will be described later in the section titled 'Details of the Invention.'
여기서는, 본 개시의 전체적인 요약(Summary)이 제공되며, 이것이 본 개시의 외연을 제한하는 것으로 이해되어서는 아니된다(This section provides a general summary of the disclosure and is not a comprehensive disclosure of its full scope or all of its features).This section provides a general summary of the disclosure and is not a comprehensive disclosure of its full scope or all, provided that this is a summary of the disclosure. of its features).
본 개시에 따른 일 태양에 의하면(According to one aspect of the present disclosure), 테이블; 테이블을 제1 방향으로 이동시키는 구동부와 이동부를 포함하는 제1 리니어 모터; 테이블을 제1 방향으로 이동시키는 구동부와 이동부를 포함하는 제2 리니어 모터;로서, 제1 리니어 모터와 마주보며 위치하는 제2 리니어 모터; 테이블을 제2 방향으로 이동시키는 구동부와 이동부를 포함하는 제3 리니어 모터; 테이블을 제2 방향으로 이동시키는 구동부와 이동부를 포함하는 제4 리니어 모터;로서, 제3 리니어 모터와 마주보며 위치하는 제4 리니어 모터; 제1 리니어 모터와 제2 리니어 모터를 연결하는 제1 연결부;로서 테이블에 결합되어 테이블을 제2 방향으로 가이드하는 제1 연결부; 제3 리니어 모터와 제4 리니어 모터를 연결하는 제2 연결부;로서 테이블에 결합되어 테이블을 제1 방향으로 가이드하는 제2 연결부; 그리고, 제1 리니어 모터, 제2 리니터 모터, 제3 리니어 모터 및 제4 리니어 모터를 지지하는 지지부;를 포함하며, 제1 리니어 모터의 구동부 및 지지부 사이에 위치하여 제1 리니어 모터의 구동부를 제1 방향으로 가이드 하는 제1 리니어 가이드; 제2 리니어 모터의 구동부 및 지지부 사이에 위치하여 제2 리니어 모터의 구동부를 제1 방향으로 가이드 하는 제2 리니어 가이드; 제3 리니어 모터의 구동부 및 지지부 사이에 위치하여 제3 리니어 모터의 구동부를 제2 방향으로 가이드 하는 제3 리니어 가이드; 그리고, 제4 리니어 모터의 구동부 및 지지부 사이에 위치하여 제4 리니어 모터의 구동부를 제2 방향으로 가이드 하는 제4 리니어 가이드; 중 적어도 하나를 포함하는 것을 특징으로 하는 이동 가능한 테이블 시스템이 제공된다.According to one aspect of the present disclosure (According to one aspect of the present disclosure), a table; A first linear motor including a driving unit and a moving unit for moving the table in a first direction; A second linear motor including a driving unit and a moving unit for moving the table in a first direction, comprising: a second linear motor positioned to face the first linear motor; A third linear motor including a driving unit and a moving unit for moving the table in a second direction; A fourth linear motor including a driving unit and a moving unit for moving the table in a second direction, comprising: a fourth linear motor positioned to face the third linear motor; A first connection part connecting the first linear motor and the second linear motor; a first connection part coupled to the table and guiding the table in a second direction; A second connection portion connecting the third linear motor and the fourth linear motor; a second connection portion coupled to the table and guiding the table in a first direction; And a support part supporting the first linear motor, the second linear motor, the third linear motor, and the fourth linear motor, wherein the support part is positioned between the driving part and the support part of the first linear motor. A first linear guide guiding in a first direction; A second linear guide positioned between the driving part and the supporting part of the second linear motor to guide the driving part of the second linear motor in a first direction; A third linear guide positioned between the driving part and the supporting part of the third linear motor to guide the driving part of the third linear motor in a second direction; And a fourth linear guide positioned between the driving portion and the supporting portion of the fourth linear motor to guide the driving portion of the fourth linear motor in the second direction; A movable table system is provided that includes at least one of the following.
이에 대하여 '발명의 실시를 위한 형태'의 후단에 기술한다.This will be described later in the section on Embodiments of the Invention.
도 1은 한국 공개특허공보 제2001-0013820호에 기재된 XY 테이블의 일 예를 보여주는 도면,1 is a view showing an example of an XY table described in Korean Laid-Open Patent Publication No. 2001-0013820;
도 2는 한국 등록특허공보 제1520401호에 기재된 XY 테이블의 일 예를 보여주는 도면,2 is a view showing an example of an XY table described in Korean Patent Publication No. 1520401,
도 3은 도 2에 기재된 XY 테이블의 문제점을 설명하는 도면,3 is a view for explaining the problem of the XY table described in FIG.
도 4는 일본 공개특허공보 제2007-19269호에 기재된 XY 테이블의 일 예를 보여주는 도면,4 is a view showing an example of an XY table described in Japanese Laid-Open Patent Publication No. 2007-19269;
도 5는 본 개시에 따른 이동 가능한 테이블 시스템의 일 예를 보여주는 도면,5 illustrates an example of a movable table system according to the present disclosure;
도 6은 본 개시에 따른 이동 가능한 테이블 시스템의 사용 예를 보여주는 도면,6 is a view showing an example of use of a movable table system according to the present disclosure;
도 7은 본 개시에 사용되는 리니어 가이드의 일 예를 보여주는 도면,7 is a view illustrating an example of a linear guide used in the present disclosure;
도 8은 본 개시에 따른 이동 가능한 테이블 시스템의 다른 일 예를 보여주는 도면,8 illustrates another example of a movable table system according to the present disclosure;
도 9는 본 개시에 따른 이동 가능한 테이블 시스템의 또 다른 일 예를 보여주는 도면,9 is a view showing another example of a movable table system according to the present disclosure,
도 10은 본 개시에 따른 이동 가능한 테이블 시스템을 레이저 가공장치에 사용하는 일 예를 보여주는 도면,10 is a view showing an example of using a movable table system according to the present disclosure in a laser processing apparatus,
도 11은 본 개시에 따른 이동 가능한 테이블 시스템의 또 다른 일 예를 보여주는 사시도,11 is a perspective view showing another example of a movable table system according to the present disclosure;
도 12는 본 개시에 따른 이동 가능한 테이블 시스템의 또 다른 일 예를 보여주는 도면.12 illustrates another example of a movable table system according to the present disclosure.
이하, 본 개시를 첨부된 도면을 참고로 하여 자세하게 설명한다(The present disclosure will now be described in detail with reference to the accompanying drawing(s)). The present disclosure will now be described in detail with reference to the accompanying drawing (s).
도 5는 본 개시에 따른 이동 가능한 테이블 시스템의 일 예를 보여주는 도면이다. 도 5는 평면도이다.5 is a diagram illustrating an example of a movable table system according to the present disclosure. 5 is a plan view.
이동 가능한 테이블 시스템(300)은 테이블(310), 테이블(310)을 제1 방향(320)으로 왕복 이동시키는 구동부(331)와 이동부(332)를 포함하는 제1 리니어 모터(330), 테이블(310)을 제1 방향(320)으로 왕복 이동시키는 구동부(341)와 이동부(342)를 포함하는 제2 리니어 모터(340), 테이블(310)을 제2 방향(321)으로 왕복 이동시키는 구동부(351)와 이동부(352)를 포함하는 제3 리니어 모터(350), 테이블(310)을 제2 방향(321)으로 왕복 이동시키는 구동부(361)와 이동부(362)를 포함하는 제4 리니어 모터(360), 제1 리니어 모터(330)와 제2 리니어 모터(340)를 연결하는 제1 연결부(370), 제3 리니어 모터(350)와 제4 리니어 모터(360)를 연결하는 제2 연결부(371), 제1 리니어 모터 내지 제4 리니어 모터(330, 340, 350 360)를 지지하는 지지부(380)를 포함하며, 제1 리니어 모터(330)의 구동부(331) 및 지지부(380) 사이에 위치하여 제1 리니어 모터(330)의 구동부(331)를 제1 방향(320)으로 가이드 하는 제1 리니어 가이드(390), 제2 리니어 모터(340)의 구동부(341) 및 지지부(380) 사이에 위치하여 제2 리니어 모터(340)의 구동부(341)를 제1 방향(320)으로 가이드 하는 제2 리니어 가이드(391), 제3 리니어 모터(350)의 구동부(351) 및 지지부(380) 사이에 위치하여 제3 리니어 모터(350)의 구동부(351)를 제2 방향(321)으로 가이드 하는 제3 리니어 가이드(392) 및 제4 리니어 모터(360)의 구동부(361) 및 지지부(380) 사이에 위치하여 제4 리니어 모터(360)의 구동부(361)를 제2 방향(321)으로 가이드 하는 제4 리니어 가이드(393) 중 적어도 하나를 포함한다. The movable table system 300 includes a table 310, a first linear motor 330 including a driving unit 331 and a moving unit 332 for reciprocating the table 310 in the first direction 320. The second linear motor 340 including the driving unit 341 and the moving unit 342 to reciprocate the 310 in the first direction 320 and the table 310 to reciprocate in the second direction 321. A third linear motor 350 including a driving unit 351 and a moving unit 352, and a driving unit 361 and a moving unit 362 that reciprocate the table 310 in the second direction 321. Four linear motor 360, the first connecting portion 370 for connecting the first linear motor 330 and the second linear motor 340, for connecting the third linear motor 350 and the fourth linear motor 360 And a support part 380 for supporting the second connection part 371 and the first to fourth linear motors 330, 340, and 350 360, and the driving part 331 and the support part of the first linear motor 330 ( 380 The first linear guide 390 to guide the driving unit 331 of the first linear motor 330 in the first direction 320, the driving unit 341 and the support unit 380 of the second linear motor 340 A second linear guide 391 that is positioned between the second linear guide 391 to guide the driving unit 341 of the second linear motor 340 in the first direction 320, and a driving unit 351 and the supporting unit 380 of the third linear motor 350. ) And a driving part 361 and a supporting part of the third linear guide 392 and the fourth linear motor 360 which are positioned between the third linear guide 392 and the fourth linear motor 360 to guide the driving part 351 of the third linear motor 350 in the second direction 321. And at least one of the fourth linear guides 393 positioned between the 380s to guide the driving unit 361 of the fourth linear motor 360 in the second direction 321.
테이블(310)은 제1 방향(320) 및 제2 방향(321)으로 왕복 이동하는 것으로, 도 1의 XY 테이블에서 탑 테이블에 해당한다. 테이블(310) 위에는 레이저가공 장치에 사용되는 경우 레이저 광원이 놓여 질 수 있으며, 반도체 제조에서 와이어 본딩에 사용되는 경우 와이어 본딩 헤드가 놓여 질 수 있으며, 노광장치에 사용되는 경우 기판이 놓여 질 수 있다. The table 310 reciprocates in the first direction 320 and the second direction 321, and corresponds to the top table in the XY table of FIG. 1. On the table 310, a laser light source can be placed when used in a laser processing apparatus, a wire bonding head can be placed when used for wire bonding in semiconductor manufacturing, and a substrate can be placed when used in an exposure apparatus. .
제1 리니어 모터 내지 제4 리니어 모터(330, 340, 350, 360)는 구동부(331, 341, 351, 361) 및 이동부(332, 342, 352, 362)를 포함한다. 도면에 도시하지는 않았지만 구동부(331, 341, 351, 361)와 이동부(332, 342, 352, 362)가 리니어 가이드로 결합되어 있는 것은 당업자에게 잘 알려져 있다. 또한 구동부(331, 341, 351, 361)는 요크와 영구자석인 경우가 많으나 코일을 포함하는 전기자일 수도 있다. 또한 제1 리니어 모터 내지 제4 리니어 모터(330, 340, 350, 360)는 구동부(331, 341, 351, 361) 자체의 질량을 이용하여 관성 반력을 줄일 수 있지만 본 개시에 따른 작용과 반작용을 이용하여 관성 반력을 줄이는 기능을 향상시키기 위해 추가 질량부(333, 343, 353, 363)를 포함할 수도 있다. 또한 제2 리니어 모터(340)는 제1 리니어 모터(330)와 마주보며 위치하며, 제4 리니어 모터(360)는 제3 리니어 모터(350)와 마주보며 위치한다. 제1 리니어 모터(330)와 제2 리니어 모터(340)는 테이블(310)을 제1 방향(320)으로 왕복 이동시키며, 제3 리니어 모터(350)와 제4 리니어 모터(360)는 테이블(310)을 제2 방향(321)으로 왕복 이동시킨다. 제1 방향(320)과 제2 방향(321)이 수직인 것이 바람직하며, 이 경우 제1 방향(320)을 X 방향이라고 하며 제2 방향(321)을 Y 방향이라 한다.The first to fourth linear motors 330, 340, 350, and 360 include driving units 331, 341, 351, and 361 and moving parts 332, 342, 352, and 362. Although not shown in the drawings, it is well known to those skilled in the art that the driving units 331, 341, 351, and 361 and the moving units 332, 342, 352, and 362 are combined with linear guides. In addition, the driving units 331, 341, 351, and 361 are often yokes and permanent magnets, but may be armatures including coils. In addition, the first to fourth linear motors 330, 340, 350, and 360 may reduce the inertia reaction force by using the mass of the driving units 331, 341, 351, and 361 itself, but the reaction and reaction according to the present disclosure may be reduced. Additional mass portions 333, 343, 353, 363 may be included to enhance the function of reducing the inertia reaction force. In addition, the second linear motor 340 is positioned to face the first linear motor 330, and the fourth linear motor 360 is positioned to face the third linear motor 350. The first linear motor 330 and the second linear motor 340 reciprocate the table 310 in the first direction 320, and the third linear motor 350 and the fourth linear motor 360 may have a table ( 310 reciprocates in the second direction 321. Preferably, the first direction 320 and the second direction 321 are perpendicular to each other. In this case, the first direction 320 is referred to as the X direction and the second direction 321 is referred to as the Y direction.
제1 연결부(370)는 제1 리니어 모터(330)의 이동부(332), 제2 리니어 모터(340)의 이동부(342) 및 테이블(310)과 결합되어 이동부(332, 342)가 이동하는 제1 방향(320)으로 테이블(310)을 왕복 이동시킨다. 제2 연결부(371)는 제3 리니어 모터(350)의 이동부(352), 제4 리니어 모터(360)의 이동부(362) 및 테이블(310)과 결합되어 이동부(352, 362)가 이동하는 제2 방향(321)으로 테이블(310)을 왕복 이동시킨다. 제1 연결부(370)와 테이블(310) 사이에는 제5 리니어 가이드(394)가 위치하며, 제2 연결부(371)와 테이블(310) 사이에는 제6 리니어 가이드(395)가 위치할 수 있다. 제6 리니어 가이드(395)에 의해 제1 연결부(370)가 이동하여 테이블(310)이 제1 방향으로 이동할 때 제2 연결부(371)는 이동하지 않으며 제2 연결부(371)는 제1 방향으로 이동하는 테이블(310)을 가이드 한다. 또한 제5 리니어 가이드(394)에 의해 제2 연결부(371)가 이동하여 테이블(310)이 제2 방향(371)으로 이동할 때 제1 연결부(370)는 이동하지 않으며 제1 연결부(370)는 제2 방향(371)으로 이동하는 테이블(310)을 가이드 한다. 설명의 편의를 위해 제5 리니어 가이드(394) 및 제6 리니어 가이드(395)가 보이도록 도시하였다. 예를 들어 테이블(310)은 도 9 및 도 11에 도시된 테이블(610, 810)과 같이 제5 리니어 가이드(394) 및 제6 리니어 가이드(395)는 테이블(310) 내부에 위치하는 것이 바람직하다. 이하 도면에서도 특별한 이유가 없는 한 테이블 내부에 위치하는 리니어 가이드가 보이도록 도시하였다.The first connection part 370 is coupled to the moving part 332 of the first linear motor 330, the moving part 342 of the second linear motor 340, and the table 310 so that the moving parts 332 and 342 are provided. The table 310 is reciprocated in the moving first direction 320. The second connection part 371 is coupled to the moving part 352 of the third linear motor 350, the moving part 362 of the fourth linear motor 360, and the table 310 to move the moving parts 352 and 362. The table 310 is reciprocated in the moving second direction 321. A fifth linear guide 394 may be positioned between the first connector 370 and the table 310, and a sixth linear guide 395 may be positioned between the second connector 371 and the table 310. When the first connection part 370 is moved by the sixth linear guide 395 and the table 310 moves in the first direction, the second connection part 371 does not move and the second connection part 371 moves in the first direction. Guide the moving table (310). In addition, when the second connection part 371 is moved by the fifth linear guide 394 and the table 310 moves in the second direction 371, the first connection part 370 does not move and the first connection part 370 is moved. The table 310 moving in the second direction 371 is guided. For convenience of description, the fifth linear guide 394 and the sixth linear guide 395 are shown to be visible. For example, the table 310 may be located inside the table 310 such as the fifth linear guide 394 and the sixth linear guide 395 as shown in the tables 610 and 810 of FIGS. 9 and 11. Do. In the following drawings, the linear guide located inside the table is shown unless there is a special reason.
지지부(380)는 제1 리니어 모터 내지 제4 리니어 모터(330, 340, 350, 360)를 지지하기 위한 것이라면 제한없이 가능하다. 도면에는 지지부(380)의 일부만 도시되어 있어 각각의 리니어 모터(330, 340, 350, 360)마다 별개로 있는 것으로 보이지만, 지지부(380)는 1개로 구성될 수도 있으며 별개로 구성될 수도 있다. The support 380 may be any type as long as it supports the first to fourth linear motors 330, 340, 350, and 360. Although only a portion of the support 380 is shown in the drawing, it appears that each of the linear motors 330, 340, 350, and 360 is separate, but the support 380 may be configured as one or may be configured separately.
제1 리니어 가이드 내지 제4 리니어 가이드(390, 391, 392, 393)가 각각 제1 리니어 모터 내지 제4 리니어 모터(330, 340, 350, 360)의 구동부(331, 341, 351, 361)와 지지부(380) 사이에 위치하여, 이동부(332, 342, 352, 362)가 이동하는 방향과 반대 방향으로 구동부(331, 341, 351, 361)가 이동할 수 있으며, 이를 통해 테이블(310) 및 제1 리니어 모터 내지 제4 리니어 모터(330, 340, 350, 360)에서 발생하는 병진방향 및 회전방향 관성 반력이 지지부(380)에 미치는 영향을 줄일 수 있다. 자세한 것은 도 6에서 설명한다. The first to fourth linear guides 390, 391, 392, and 393 are respectively the driving units 331, 341, 351, and 361 of the first to fourth linear motors 330, 340, 350, and 360. Located between the support parts 380, the driving parts 331, 341, 351, and 361 may move in a direction opposite to the direction in which the moving parts 332, 342, 352, and 362 move, and thereby the table 310 and The influence of the translational and rotational inertia reaction forces generated by the first to fourth linear motors 330, 340, 350, and 360 on the support part 380 may be reduced. Details will be described with reference to FIG. 6.
도 6은 본 개시에 따른 이동 가능한 테이블 시스템의 사용 예를 보여주는 도면이다.6 is a view showing an example of the use of a movable table system according to the present disclosure.
도 6(a)는 테이블(310)이 제4 리니어 모터(360) 측으로 치우친 상태에서 제2 방향(321)으로 왕복 이동하는 경우를 보여주는 도면이다. 테이블(310)의 질량중심이 제4 리니어 모터(360) 측으로 이동을 하였기 때문에 제2 방향(321)으로 테이블(310)이 가감속 운동을 하기 위해서는 제3 리니어 모터(350)보다 제4 리니어 모터(360)에 더 큰 힘이 발생 되어야 한다. 따라서 제4 리니어 모터(360)의 구동부(361)와 추가 질량부(363)가 제4 리니어 가이드(393))를 따라 움직이는 거리(400)는 제3 리니어 모터(350)의 구동부(351)와 추가 질량부(353)가 제3 리니어 가이드(392) 따라 움직이는 거리(410)보다 더 크며, 이를 통해 병진방향 및 회전방향의 관성 반력이 지지부(380)에 전달되는 것을 줄일 수 있다. 도 6(b)는 테이블(310)이 제2 리니어 모터(340) 측으로 치우친 상태에서 제1 방향(320)으로 왕복 이동하는 경우를 보여주는 도면이다. 도 6(a)와 동일한 원리에 의해 병진방향의 관성 반력뿐 아니라 회전방향의 관성 반력이 지지부(380)에 전달되는 것을 줄일 수 있다.FIG. 6A illustrates a case in which the table 310 reciprocates in the second direction 321 while being biased toward the fourth linear motor 360. Since the center of mass of the table 310 is moved toward the fourth linear motor 360 side, the fourth linear motor is higher than the third linear motor 350 in order to perform the acceleration / deceleration movement of the table 310 in the second direction 321. At 360 the greater force should be generated. Accordingly, the distance 400 between the driving unit 361 and the additional mass unit 363 of the fourth linear motor 360 along the fourth linear guide 393 may be different from that of the driving unit 351 of the third linear motor 350. The additional mass portion 353 is larger than the distance 410 moving along the third linear guide 392, thereby reducing transmission of inertial reaction forces in the translational and rotational directions to the support 380. 6B is a diagram illustrating a case in which the table 310 reciprocates in the first direction 320 while being biased toward the second linear motor 340. By the same principle as in FIG. 6 (a), it is possible to reduce transmission of the inertial reaction force in the rotational direction as well as the inertial reaction force in the rotational direction.
도 7은 본 개시에 사용되는 리니어 가이드의 일 예를 보여주는 도면이다.7 is a diagram illustrating an example of a linear guide used in the present disclosure.
본 개시에 사용되는 리니어 가이드는 두 물체 사이에 위치하여 두 물체의 상대적인 직선 운동시 두 물체 사이의 마찰력을 줄이는 기능을 하는 것으로 도 7에 기재된 형태뿐 아니라 본 개시에서 사용하는 개념으로 사용할 수 있는 것은 모두 포함된다. 예를 들어 에어 베어링, 자기 베어링, 볼 순환식 리니어 모션 가이드, 크로스롤러 테이블, 캠 팔로우어 및 미끄럼 베어링 중 하나일 수 있다. Linear guide used in the present disclosure is located between the two objects to reduce the friction between the two objects during the relative linear movement of the two objects that can be used as a concept used in the present disclosure as well as the form described in FIG. All are included. For example, it may be one of an air bearing, a magnetic bearing, a ball circulating linear motion guide, a cross roller table, a cam follower and a sliding bearing.
도 8은 본 개시에 따른 이동 가능한 테이블 시스템의 다른 일 예를 보여주는 도면이다.8 is a diagram illustrating another example of a movable table system according to the present disclosure.
이동 가능한 테이블 시스템(500)은 제1 리니어 모터 내지 제4 리니어 모터(530, 540, 550, 560)의 추가 질량부(533, 543, 553, 563)에 위치 조정부(510, 511, 520)를 추가한 것을 특징으로 한다. 제1 리니어 모터 내지 제4 리니어 모터(530, 540, 550, 560)의 추가 질량부(533, 543, 553, 563)가 제1 리니어 모터 내지 제4 리니어 모터(530, 540. 550, 560)의 이동부(532, 542, 552, 562)의 반력에 의해 이동한 후 이동하기 전의 위치로 되돌아 가는 것이 바람직하다. 이를 위해 위치 조정부(510, 511, 520)를 추가하였다. 위치 조정부는 도 8(a)에서와 같이 댐퍼(510) 및 스프링(511)을 결합하여 사용하거나, 도 8(b)에서와 같이 액추에이터(520)를 사용할 수 있다. 액추에이터(520)는 리니어 모터일 수 있다. 위치 조정부(510, 511, 520)는 추가 질량부(533, 543, 553, 563)가 없는 경우 직접 구동부(531, 541, 551, 561)에 연결될 수도 있다. 도 8에서 설명한 것을 제외하고 기재된 이동 가능한 테이블 시스템(500)은 도 5에서 설명한 이동 가능한 테이블 시스템(300)과 실질적으로 동일하다. The movable table system 500 includes positioning units 510, 511, and 520 at additional mass parts 533, 543, 553, and 563 of the first to fourth linear motors 530, 540, 550, and 560. It is characterized by the addition. The additional mass parts 533, 543, 553, and 563 of the first to fourth linear motors 530, 540, 550, and 560 are the first to fourth linear motors 530, 540, 550, and 560. It is preferable to return to the position before moving after moving by reaction force of the moving parts 532, 542, 552, and 562. To this end, position adjusting units 510, 511, and 520 were added. The position adjusting unit may use the damper 510 and the spring 511 in combination as shown in FIG. 8 (a), or use the actuator 520 as in FIG. 8 (b). Actuator 520 may be a linear motor. The position adjusting units 510, 511, and 520 may be directly connected to the driving units 531, 541, 551, and 561 when there are no additional mass parts 533, 543, 553, and 563. Except as described in FIG. 8, the movable table system 500 described is substantially the same as the movable table system 300 described in FIG. 5.
도 9는 본 개시에 따른 이동 가능한 테이블 시스템의 또 다른 일 예를 보여주는 도면이다. 도 9(a)는 사시도이며, 도 9(b)는 AA'에 따른 단면도이다.9 is a view showing another example of a movable table system according to the present disclosure. (A) is a perspective view, and FIG. 9 (b) is sectional drawing along AA '.
도 9는 설명의 편의를 위해 이동 가능한 테이블 시스템(600)에서 테이블(610)과 제1 연결부(630) 및 제2 연결부(640)의 결합 방식만을 보여준다. 테이블(610)은 제1 방향(620)으로 형성된 제1 홈(611)과 제2 방향(621)으로 형성된 제2 홈(612)을 포함한다. 제1 홈(611)과 제2 연결부(640)가 결합하고, 제2 홈(612)과 제1 연결부(630)가 결합한다. 또한 도 9(b)와 같이 테이블(610)과 제2 연결부(640) 사이에는 리니어 가이드(650)가 위치할 수 있다. 도시하지는 않았지만 테이블(610)과 제1 연결부(630) 사이에도 리니어 가이드가 위치할 수 있다. 도 9에서 설명한 것을 제외하고 기재된 이동 가능한 테이블 시스템(600)은 도 5에서 설명한 이동 가능한 테이블 시스템(300)과 실질적으로 동일하다. FIG. 9 shows only a coupling method of the table 610, the first connector 630, and the second connector 640 in the movable table system 600 for convenience of description. The table 610 includes a first groove 611 formed in the first direction 620 and a second groove 612 formed in the second direction 621. The first groove 611 and the second connector 640 are coupled, and the second groove 612 and the first connector 630 are coupled. In addition, as illustrated in FIG. 9B, the linear guide 650 may be located between the table 610 and the second connection part 640. Although not shown, a linear guide may be positioned between the table 610 and the first connector 630. Except as described in FIG. 9, the movable table system 600 described is substantially the same as the movable table system 300 described in FIG. 5.
도 10은 본 개시에 따른 이동 가능한 테이블 시스템을 레이저 가공장치에 사용하는 일 예를 보여주는 도면이다.10 is a view illustrating an example of using a movable table system according to the present disclosure in a laser processing apparatus.
본 개시에 따른 이동 가능한 테이블 시스템은 테이블에 레이저 광이 나오는 레이저 헤드를 직접 부착하여 사용하는 것과 이동 가능한 테이블 시스템의 외부에 설치된 레이저 헤드로부터 나오는 레이저 광을 이용하는 것이 가능하다. 도 10에는 외부에 설치된 레이저 광원을 이용하여 본 개시에 따른 이동 가능한 테이블 시스템을 레이저 가공장치에 사용하는 일 예를 보여주고 있다. 레이저 광원이 외부에 설치된 이동 가능한 테이블 시스템(700)은 제1 리니어 모터 내지 제4 리니어 모터(730, 740, 750, 760) 중 적어도 하나의 이동부(732, 742, 752, 762)에 설치되어 외부로부터 이동 가능한 테이블 시스템(700)으로 들어오는 광의 경로(770)를 테이블(710) 방향으로 변경하는 제1 반사부(780), 제1 반사부(780)를 통해 테이블(710)로 들어온 광의 경로(771)를 테이블(710)로부터 나가도록 광의 경로를 변경하는 테이블(710)에 설치된 제2 반사부(790)를 포함하는 것을 특징으로 한다. 테이블(710)로부터 나가는 광의 경로는 도시하지 않았지만, 테이블(710) 면(711)에 수직한 방향으로 나가는 것이 바람직하다. 제1 반사부(780) 및 제2 반사부(790)는 레이저 광의 손실을 작게 할 수 있는 것이면 제한없이 사용할 수 있다. 예를 들어 거울도 가능하다. 또한 제2 반사부(790)로부터 나오는 레이저 광이 한 점에 더 잘 집중될 수 있도록 테이블(710)에 렌즈를 추가할 수 있다. 도 10(b)는 제1 리니어 모터(730) 및 제2 리니어 모터(740)가 작동하는 경우의 광의 경로를 보여주고 있으며, 도 10(c)는 제3 리니어 모터(750) 및 제4 리니어 모터(760)가 작동하는 경우의 광의 경로를 보여주고 있으며, 도 10(d)는 제1 리니어 모터 내지 제4 리니어 모터(730, 740, 750, 760)가 함께 작동하는 경우의 광의 경로를 보여주고 있다. 도 10(b) 내지 도 10(d)는 외부에서 만들어진 레이저 광이 테이블로 전달되어 레이저 가공에 사용되는 것을 보여주고 있다. 도 10에서 설명한 것을 제외하고 기재된 이동 가능한 테이블 시스템(700)은 도 5에서 설명한 이동 가능한 테이블 시스템(300)과 실질적으로 동일하다. The movable table system according to the present disclosure is capable of directly attaching and using a laser head that emits laser light to a table and using laser light that comes from a laser head installed outside of the movable table system. 10 shows an example of using a movable table system according to the present disclosure in a laser processing apparatus using an external laser light source. The movable table system 700 having the laser light source installed outside is installed in at least one moving part 732, 742, 752, 762 of the first to fourth linear motors 730, 740, 750, and 760. A path of light entering the table 710 through the first reflector 780 and the first reflector 780 that changes the path 770 of the light coming into the movable table system 700 in the direction of the table 710. And a second reflector 790 installed in the table 710 for changing the path of light to exit 771 from the table 710. Although the path of the light exiting from the table 710 is not shown, it is preferable to exit in a direction perpendicular to the surface 711 of the table 710. The first reflecting portion 780 and the second reflecting portion 790 can be used without limitation as long as the loss of the laser light can be reduced. Mirrors are also possible, for example. In addition, a lens may be added to the table 710 so that the laser light emitted from the second reflector 790 may be more concentrated at a point. FIG. 10 (b) shows the path of light when the first linear motor 730 and the second linear motor 740 operate, and FIG. 10 (c) shows the third linear motor 750 and the fourth linear. FIG. 10 (d) shows a path of light when the first to fourth linear motors 730, 740, 750, and 760 operate together. Giving. 10 (b) to 10 (d) show that externally generated laser light is transferred to a table and used for laser processing. The movable table system 700 described except as described in FIG. 10 is substantially the same as the movable table system 300 described in FIG.
도 11은 본 개시에 따른 이동 가능한 테이블 시스템의 또 다른 일 예를 보여주는 사시도이다. 11 is a perspective view showing another example of a movable table system according to the present disclosure.
이동 가능한 테이블 시스템(800)은 테이블(810), 구동부(831, 841, 851, 861), 이동부(832, 842, 852, 862) 및 추가 질량부(833, 843, 853, 863)를 포함하는 제1 리니어 모터 내지 제4 리니어 모터(830, 840, 850, 860), 제1 리니어 가이드 내지 제6 리니어 가이드(890, 891, 892, 893, 894, 895), 제1 연결부(870), 제2 연결부(871) 및 지지부(880)를 포함한다. 또한 이동 가능한 테이블 시스템(800)을 제어하기 위해서는 지지부, 이동부 및 구동부의 3자 사이의 상대적 변위를 측정하여야 하며, 2개의 위치 센서를 사용하여 측정 가능하다. 예를 들어 도 11과 같이 이동 가능한 테이블 시스템(800)은 이동부(832, 842, 852, 862)의 지지부(880)에 대한 변위를 측정하는 제1 위치 센서(900)와 구동부(831, 841, 851, 861)의 지지부(880)에 대한 변위를 측정하는 제2 위치 센서(910)를 포함한다. 나머지 이동부(832, 842, 852, 862)와 구동부(831, 841, 851, 861) 사이의 상대적 변위는 제1 위치 센서(900)와 제2 위치 센서(910)로 부터 얻은 신호를 이용하여 얻을 수 있다. 즉 제1 위치 센서(900) 및 제2 위치 센서(910)는 지지부(880)와 이동부(832, 842, 852, 862) 사이의 상대적 변위 및 지지부(880)와 구동부(831, 841, 851, 861) 사이의 상대적 변위를 측정하기 위해 도 11과 같이 위치할 수 있지만, 지지부(880)와 이동부(832, 842, 852, 862) 사이의 상대적 변위와 구동부(831, 841, 851, 861)와 이동부(832, 842, 852, 862) 사이의 상대적 변위를 측정하기 위해 적절한 위치에 설치될 수도 있으며, 이동부(832, 842, 852, 862)와 구동부(831, 841, 851, 861) 사이의 상대적 변위와 지지부(880)와 구동부(831, 841, 851, 861) 사이의 상대적 변위를 측정하기 위해 적절한 위치에 설치될 수도 있다(미도시). 도 11에는 제1 위치 센서(900)와 제2 위치 센서(910)가 2개만 도시되었지만 각각의 이동부(832, 842, 852, 862) 및 구동부(831, 841, 851, 861)의 변위를 측정하기 위해 각각 이동부 및 구동부에 위치하고 있다. 제1 리니어 모터 내지 제4 리니어 모터(830, 840, 850, 860)는 제1 위치 센서(900) 신호를 이용하여 이동부(832, 842, 852, 862)의 위치를 제어하고 제2 위치 센서(910) 신호 및 제1 위치 센서(900)의 신호를 이용하여 구동부(831, 841, 851, 861)의 상 전환을 수행한다. 또한 도 11에 기재된 테이블 시스템(800)은 위치 조정기로서 리니어 모터(930)를 사용한다. 다만 리니어 모터(930)는 이동부(930)만 있으며, 구동부는 제1 리니어 모터 내지 제4 리니어 모터(830, 840, 850, 860)의 구동부(831, 841, 851, 861)를 공유한다. 또한 이동부(930)는 지지부(880)에 고정되어 있어 구동부(831, 841, 851, 861)에 의해 발생한 추력에 의해 이동부(930)는 이동하지 않고 구동부(831, 841, 851, 861)가 이동하게 되어 구동부(831, 841, 851, 861)와 구동부(831, 841, 851, 861)에 연결된 추가 질량부(833, 843, 853, 863)를 원하는 위치로 이동시킬 수 있다. 또한 도 11에는 지지부(880)와 제1 리니어 모터 내지 제4 리니어 모터(830, 840, 850, 860)의 이동부(832, 842, 852, 862) 사이에 위치하는 리니어 가이드(896)를 보여준다. 리니어 가이드(896)에 의해 이동부(832, 842, 852, 862)가 더 안정적으로 움직일 수 있다. 또한 제1 리니어 모터(830)의 이동부(832), 제2 리니어 모터(840)의 이동부(842), 제1 연결부(870) 및 테이블(810)의 합쳐진 질량 중심 높이와 제1 리니어 모터(830)의 구동부(831) 및 제2 리니어 모터(840)의 구동부(841)의 합쳐진 질량 중심 높이가 제1 높이로 동일하며, 제3 리니어 모터(850)의 이동부(852), 제4 리니어 모터(860)의 이동부(862), 제2 연결부(871) 및 테이블(810)의 합쳐진 질량 중심 높이와 제3 리니어 모터(850)의 구동부(851) 및 제4 리니어 모터(860)의 구동부(861)의 합쳐진 질량 중심 높이가 제2 높이로 동일한 것이 바람직하다. 더 나아가 제1 리니어 모터(830) 및 제2 리니어 모터(840)의 추력선의 높이는 제1 높이이고, 제3 리니어 모터(850) 및 제4 리니어 모터(860)의 추력선의 높이는 제2 높이인 것이 바람직하다. 질량 중심의 높이 및 추력선의 높이를 동일하게 함으로써 제1 방향(820) 및 제2 방향(821)으로 움직일 때 질량 중심의 높이가 다르기 때문에 발생할 수 있는 회전 관성반력을 줄일 수 있다. 또한 제1 리니어 모터(830) 및 제2 리니어 모터(840)에 위치하여 위치 조정기로 사용되는 리니어 모터(930)의 추력선의 높이는 제1 높이를 갖고 제3 리니어 모터(850) 및 제4 리니어 모터(860)에 위치하여 위치 조정기로 사용되는 리니어 모터(930)의 추력선의 높이는 제2 높이를 갖는 것이 바람직하다. 질량 중심의 높이 및 추력선의 높이는 지지부(880)를 기준으로 한다. 예를 들어 제2 리니어 모터(840)의 구동부(841)의 질량 중심(940)의 높이(950)는 지지부(880)를 기준으로 측정할 수 있다. 도 11에서 설명한 것을 제외하고 기재된 이동 가능한 테이블 시스템(800)은 도 5에서 설명한 이동 가능한 테이블 시스템(300)과 실질적으로 동일하다. The movable table system 800 includes a table 810, drives 831, 841, 851, 861, moving parts 832, 842, 852, 862 and additional mass parts 833, 843, 853, 863. The first to fourth linear motors 830, 840, 850, 860, the first to sixth linear guides 890, 891, 892, 893, 894, 895, and the first connection part 870. The second connection portion 871 and the support 880 is included. In addition, in order to control the movable table system 800, the relative displacement between the three parts of the support part, the moving part, and the driving part must be measured, and can be measured using two position sensors. For example, as shown in FIG. 11, the movable table system 800 includes a first position sensor 900 and a driver 831, 841 that measure displacement of the moving parts 832, 842, 852, and 862 with respect to the support part 880. And second position sensor 910 for measuring displacement with respect to support 880 of 851, 861. The relative displacement between the remaining moving parts 832, 842, 852, 862 and the driving parts 831, 841, 851, 861 is obtained using the signals obtained from the first position sensor 900 and the second position sensor 910. You can get it. That is, the first position sensor 900 and the second position sensor 910 are relative displacements between the support part 880 and the moving parts 832, 842, 852, and 862, and the support part 880 and the driving parts 831, 841, and 851. 11 may be positioned as shown in FIG. 11 to measure the relative displacement between and 861, but the relative displacement between the support 880 and the moving parts 832, 842, 852, and 862 and the driving parts 831, 841, 851, 861. ) And the moving parts 832, 842, 852, 862 and the driving parts 831, 841, 851, 861 to measure the relative displacement between the moving parts 832, 842, 852, 862. May be installed (not shown) to measure the relative displacement between the < RTI ID = 0.0 >) and the < / RTI > relative displacement between the support 880 and the drivers 831, 841, 851, 861. Although only two first position sensors 900 and two second position sensors 910 are shown in FIG. 11, the displacements of the moving parts 832, 842, 852, and 862 and the driving parts 831, 841, 851, and 861 are shown. It is located in the moving part and the driving part, respectively, for measurement. The first to fourth linear motors 830, 840, 850, and 860 control the positions of the moving parts 832, 842, 852, and 862 using the first position sensor 900 signal, and the second position sensor. Phase switching of the driving units 831, 841, 851, and 861 is performed using the signal 910 and the signal of the first position sensor 900. The table system 800 described in FIG. 11 also uses a linear motor 930 as a position adjuster. However, the linear motor 930 has only a moving part 930, and the driving part shares the driving parts 831, 841, 851, and 861 of the first to fourth linear motors 830, 840, 850, and 860. In addition, the moving part 930 is fixed to the support part 880 so that the moving part 930 does not move due to the thrust generated by the driving parts 831, 841, 851, 861 and the driving parts 831, 841, 851, 861. Is moved to move the additional portions 833, 843, 853, and 863 connected to the driving units 831, 841, 851, 861 and the driving units 831, 841, 851, 861 to a desired position. 11 also shows a linear guide 896 located between the support 880 and the moving parts 832, 842, 852, 862 of the first to fourth linear motors 830, 840, 850, 860. . The linear guide 896 allows the moving parts 832, 842, 852, and 862 to move more stably. In addition, the combined mass center height of the moving part 832 of the first linear motor 830, the moving part 842 of the second linear motor 840, the first connecting part 870, and the table 810 and the first linear motor The combined height of the center of mass of the driving unit 831 of 830 and the driving unit 841 of the second linear motor 840 is the same as the first height, and the moving unit 852 and the fourth of the third linear motor 850 are the same. The combined center of mass height of the moving part 862, the second connection part 871 and the table 810 of the linear motor 860, and the driving part 851 and the fourth linear motor 860 of the third linear motor 850. It is preferred that the combined center of mass height of the drive 861 be the same as the second height. Furthermore, the height of the thrust lines of the first linear motor 830 and the second linear motor 840 is the first height, and the height of the thrust lines of the third linear motor 850 and the fourth linear motor 860 is the second height. desirable. By making the height of the center of mass and the height of the thrust line the same, it is possible to reduce the rotational inertia reaction that may occur because the height of the center of mass is different when moving in the first direction 820 and the second direction 821. In addition, the height of the thrust line of the linear motor 930 positioned in the first linear motor 830 and the second linear motor 840 and used as a position adjuster has a first height, and the third linear motor 850 and the fourth linear motor. The height of the thrust line of the linear motor 930, which is located at 860 and used as the position adjuster, preferably has a second height. The height of the center of mass and the height of the thrust line are based on the support 880. For example, the height 950 of the center of mass 940 of the driver 841 of the second linear motor 840 may be measured based on the support 880. Except as described in FIG. 11, the movable table system 800 described is substantially the same as the movable table system 300 described in FIG. 5.
도 12는 본 개시에 따른 이동 가능한 테이블 시스템의 또 다른 일 예를 보여주는 도면이다. 도 12(a)는 평면도이며, 도 12(b)는 AA'를 따라 자른 단면도이다.12 illustrates another example of a movable table system according to the present disclosure. FIG. 12A is a plan view, and FIG. 12B is a cross-sectional view taken along AA ′.
이동 가능한 테이블 시스템(1000)은 테이블(1010), 테이블(1010)을 제1 방향(1020)으로 이동시키는 구동부(1031)와 이동부(1032)를 포함하는 제1 리니어 모터(1030), 테이블(1010)을 제2 방향(1021)으로 이동시키는 구동부(1041)와 이동부(1042)를 포함하는 제2 리니어 모터(1040), 테이블(1010)을 제2 방향(1021)으로 이동시키는 구동부(1051)와 이동부(1052)를 포함하는 제3 리니어 모터(1050), 제2 리니어 모터(1040)와 제3 리니어 모터(1050)를 연결하는 연결부(1060), 제2 리니어 모터(1040) 및 제3 리니어 모터(1050)를 지지하는 지지부(1070)를 포함하며, 제1 리니어 모터(1030)의 구동부(1031) 및 연결부(1060) 사이에 위치하여 제1 리니어 모터(1030)의 구동부(1031)를 제1 방향(1020)으로 가이드 하는 제1 리니어 가이드(1080), 제2 리니어 모터(1040)의 구동부(1041) 및 지지부(1070) 사이에 위치하여 제2 리니어 모터(1040)의 구동부(1041)를 제2 방향(1020)으로 가이드 하는 제2 리니어 가이드(1081),및 제3 리니어 모터(1050)의 구동부(1051) 및 지지부(1070) 사이에 위치하여 제3 리니어 모터(1050)의 구동부(1051)를 제2 방향(1021)으로 가이드 하는 제3 리니어 가이드(1082) 중 적어도 하나를 포함한다. 또한 테이블(1010)의 안정적인 제1 방향(1020) 왕복 이동을 위해 테이블(1010)과 연결부(1060) 사이에 제4 리니어 가이드(1083)를 포함할 수 있다. 테이블(1010)을 제1 방향(1020)으로 왕복 이동시키는 제1 리니어 모터(1030)를 연결부(1060) 위에 설치함으로써, 도 5에 기재된 이동 가능한 테이블 시스템(300)과 비교하여 전체적인 구조가 간단해지며, 제1 리니어 가이드(1080)를 통해 도 5에 기재된 이동 가능한 테이블 시스템(300)과 동일한 원리에 의해 제1 방향(1020) 이동시 발생하는 병진방향 및 회전방향 관성 반력이 지지부(1070)에 미치는 영향을 줄이는 동일한 효과를 얻을 수 있다. 다만 제2 방향(1021)으로 테이블(1010)이 왕복 이동할 때 테이블(1010) 이외에 제1 리니어 모터(1030)도 함께 움직이기 때문에 제2 방향(1021) 이동을 위한 제2 리니어 모터(1040) 및 제3 리니어 모터(1050)가 더 많은 출력을 사용하여야 한다.The movable table system 1000 includes a table 1010, a first linear motor 1030 including a driving unit 1031 and a moving unit 1032 for moving the table 1010 in the first direction 1020, and a table ( The drive part 1051 which moves the 1010 in the 2nd direction 1021, the 2nd linear motor 1040 which contains the moving part 1042, and the drive part 1051 which moves the table 1010 in the 2nd direction 1021. ), A third linear motor 1050 including a moving part 1052, a connecting part 1060 connecting the second linear motor 1040 and the third linear motor 1050, a second linear motor 1040, and a third linear motor 1050. And a support part 1070 supporting the three linear motors 1050, and positioned between the driving part 1031 and the connecting part 1060 of the first linear motor 1030, and the driving part 1031 of the first linear motor 1030. Is positioned between the first linear guide (1080) for guiding the first direction (1020), the driving unit (1041) and the support unit (1070) of the second linear motor (1040). The second linear guide 1081 for guiding the driving unit 1041 of the rotor 1040 in the second direction 1020 and between the driving unit 1051 and the supporting unit 1070 of the third linear motor 1050. At least one of the third linear guide 1082 to guide the driving unit 1051 of the three linear motor 1050 in the second direction (1021). In addition, a fourth linear guide 1083 may be included between the table 1010 and the connecting portion 1060 for the stable reciprocating movement of the table 1010 in the first direction 1020. By installing the first linear motor 1030 on the connecting portion 1060 for reciprocating the table 1010 in the first direction 1020, the overall structure is simpler than the movable table system 300 shown in FIG. Through the first linear guide 1080, the translational and rotational inertial reaction forces generated when the first direction 1020 is moved by the same principle as the movable table system 300 illustrated in FIG. 5 affect the support part 1070. The same effect of reducing the effect can be obtained. However, when the table 1010 is reciprocated in the second direction 1021, the first linear motor 1030 also moves together in addition to the table 1010, so that the second linear motor 1040 and the second direction 1021 move. The third linear motor 1050 should use more output.
이하 본 개시의 다양한 실시 형태에 대하여 설명한다.Hereinafter, various embodiments of the present disclosure will be described.
(1) 테이블; 테이블을 제1 방향으로 이동시키는 구동부와 이동부를 포함하는 제1 리니어 모터; 테이블을 제1 방향으로 이동시키는 구동부와 이동부를 포함하는 제2 리니어 모터;로서, 제1 리니어 모터와 마주보며 위치하는 제2 리니어 모터; 테이블을 제2 방향으로 이동시키는 구동부와 이동부를 포함하는 제3 리니어 모터; 테이블을 제2 방향으로 이동시키는 구동부와 이동부를 포함하는 제4 리니어 모터;로서, 제3 리니어 모터와 마주보며 위치하는 제4 리니어 모터; 제1 리니어 모터와 제2 리니어 모터를 연결하는 제1 연결부;로서 테이블에 결합되어 테이블을 제2 방향으로 가이드하는 제1 연결부; 제3 리니어 모터와 제4 리니어 모터를 연결하는 제2 연결부;로서 테이블에 결합되어 테이블을 제1 방향으로 가이드하는 제2 연결부; 그리고, 제1 리니어 모터, 제2 리니터 모터, 제3 리니어 모터 및 제4 리니어 모터를 지지하는 지지부;를 포함하며, 제1 리니어 모터의 구동부 및 지지부 사이에 위치하여 제1 리니어 모터의 구동부를 제1 방향으로 가이드 하는 제1 리니어 가이드;제2 리니어 모터의 구동부 및 지지부 사이에 위치하여 제2 리니어 모터의 구동부를 제1 방향으로 가이드 하는 제2 리니어 가이드; 제3 리니어 모터의 구동부 및 지지부 사이에 위치하여 제3 리니어 모터의 구동부를 제2 방향으로 가이드 하는 제3 리니어 가이드; 그리고, 제4 리니어 모터의 구동부 및 지지부 사이에 위치하여 제4 리니어 모터의 구동부를 제2 방향으로 가이드 하는 제4 리니어 가이드; 중 적어도 하나를 포함하는 것을 특징으로 하는 이동 가능한 테이블 시스템.(1) table; A first linear motor including a driving unit and a moving unit for moving the table in a first direction; A second linear motor including a driving unit and a moving unit for moving the table in a first direction, comprising: a second linear motor positioned to face the first linear motor; A third linear motor including a driving unit and a moving unit for moving the table in a second direction; A fourth linear motor including a driving unit and a moving unit for moving the table in a second direction, comprising: a fourth linear motor positioned to face the third linear motor; A first connection part connecting the first linear motor and the second linear motor; a first connection part coupled to the table and guiding the table in a second direction; A second connection portion connecting the third linear motor and the fourth linear motor; a second connection portion coupled to the table and guiding the table in a first direction; And a support part supporting the first linear motor, the second linear motor, the third linear motor, and the fourth linear motor, wherein the support part is positioned between the driving part and the support part of the first linear motor. A first linear guide guiding in a first direction; a second linear guide positioned between the driving part and the supporting part of the second linear motor to guide the driving part of the second linear motor in the first direction; A third linear guide positioned between the driving part and the supporting part of the third linear motor to guide the driving part of the third linear motor in a second direction; And a fourth linear guide positioned between the driving portion and the supporting portion of the fourth linear motor to guide the driving portion of the fourth linear motor in the second direction; And at least one of: a movable table system.
(2) 제1 리니어 모터, 제2 리니어 모터, 제3 리니어 모터 및 제4 리니어 모터의 구동부는 제1 리니어 모터, 제2 리니어 모터, 제3 리니어 모터 및 제4 리니어 모터의 이동부가 움직여 발생하는 반력에 의해 각각 이동부가 움직이는 방향의 반대 방향으로 움직일 수 있도록 되어 있는 것을 특징으로 하는 이동 가능한 테이블 시스템.(2) The driving unit of the first linear motor, the second linear motor, the third linear motor, and the fourth linear motor is generated by moving the moving parts of the first linear motor, the second linear motor, the third linear motor, and the fourth linear motor. A movable table system, characterized in that the movable portion can move in the opposite direction to the moving direction by the reaction force.
(3) 제1 리니어 모터, 제2 리니어 모터, 제3 리니어 모터 및 제4 리니어 모터 중 적어도 하나의 구동부와 연동하여 제1 리니어 모터, 제2 리니어 모터, 제3 리니어 모터 및 제4 리니어 모터의 이동부가 움직여 발생하는 반력에 의해 움직인 구동부를 본래의 위치로 움직이게 하는 위치 조정부;를 포함하고 있는 것을 특징으로 하는 이동 가능한 테이블 시스템.(3) the first linear motor, the second linear motor, the third linear motor and the fourth linear motor in association with at least one driving unit of the first linear motor, the second linear motor, the third linear motor and the fourth linear motor; And a position adjusting unit for moving the driving unit to its original position by the reaction force generated by moving the moving unit.
(4) 위치 조정부는 댐퍼 및 스프링을 포함하는 것을 특징으로 하는 이동 가능한 테이블 시스템.(4) Movable table system, characterized in that the position adjusting portion includes a damper and a spring.
(5) 위치 조정부는 리니어 모터인 것을 특징으로 하는 이동 가능한 테이블 시스템.(5) A movable table system, wherein the position adjusting portion is a linear motor.
(6) 제1 연결부와 테이블 사이에 위치하여 테이블을 제2 방향으로 가이드하는 제5 리니어 가이드; 그리고, 제2 연결부와 테이블 사이에 위치하여 테이블을 제1 방향으로 가이드하는 제6 리니어 가이드; 중 적어도 하나를 포함하는 것을 특징으로 하는 이동 가능한 테이블 시스템.(6) a fifth linear guide positioned between the first connection portion and the table to guide the table in a second direction; And a sixth linear guide positioned between the second connection part and the table to guide the table in the first direction. And at least one of: a movable table system.
(7) 제1 리니어 가이드 내지 제6 리니어 가이드는 에어 베어링, 자기 베어링, 볼 순환식 리이어 모션 가이드, 크로스롤러 테이블, 캠 팔로우어 및 미끄럼 베어링 중 적어도 하나인 것을 특징으로 하는 이동 가능한 테이블 시스템.(7) The movable table system, wherein the first to sixth linear guides are at least one of an air bearing, a magnetic bearing, a ball recirculating linear motion guide, a cross roller table, a cam follower, and a sliding bearing.
(8) 테이블은 제1 방향으로 형성된 제1 홈 및 제2 방향으로 형성된 제2 홈을 포함하며, 제1 홈과 제2 연결부가 결합하고 제2 홈과 제1 연결부가 결합하는 것을 특징으로 하는 이동 가능한 테이블 시스템.(8) The table includes a first groove formed in the first direction and a second groove formed in the second direction, wherein the first groove and the second connection portion are coupled, and the second groove and the first connection portion are coupled. Movable table system.
(9) 제1 리니어 모터 내지 제4 리니어 모터는 추가 질량부를 포함하는 것을 특징으로 하는 이동 가능한 테이블 시스템.(9) A movable table system, wherein the first to fourth linear motors comprise additional mass parts.
(10) 제1 리니어 모터 내지 제4 리니어 모터 중 적어도 하나의 이동부와 연동하여 외부로부터 이동 가능한 테이블 시스템으로 들어오는 광의 경로를 테이블 방향으로 변경하는 제1 반사부;를 포함하는 것을 특징으로 하는 이동 가능한 테이블 시스템.(10) a first reflector for changing the path of light entering the table system movable from the outside in association with at least one moving unit of the first to fourth linear motors in the table direction; Possible table system.
(11) 테이블과 연동하여 제1 반사부를 통해 테이블로 들어온 광을 테이블로부터 나가도록 광의 경로를 변경하는 제2 반사부;를 포함하는 것을 특징으로 하는 이동 가능한 테이블 시스템.And a second reflector for changing the path of the light to exit the table from the table through the first reflector in cooperation with the table.
(12) 제2 반사부에 반사되어 테이블로부터 나가는 광의 경로는 테이블 면에 수직한 것을 특징으로 하는 이동 가능한 테이블 시스템.(12) A movable table system, characterized in that the path of light reflected from the second reflecting portion and exiting from the table is perpendicular to the table plane.
(13) 지지부와 제1 리니어 모터 내지 제4 리니어 모터의 이동부 및 구동부 3자 간의 상대적 변위를 측정하기 위한 제1 위치 센서; 및 제2 위치 센서;를 포함하는 것을 특징으로 하는 이동 가능한 테이블 시스템.(13) a first position sensor for measuring a relative displacement between the support and the moving part and the driving part of the first to fourth linear motors; And a second position sensor.
(14) 제1 위치 센서는 제1 리니어 모터 내지 제4 리니어 모터의 이동부의 지지부에 대한 변위를 측정하며, 제2 위치 센서는 제1 리니어 모터 내지 제4 리니어 모터의 구동부의 지지부에 대한 변위를 측정하는 것을 특징으로 하는 이동 가능한 테이블 시스템.(14) The first position sensor measures the displacement with respect to the support of the moving parts of the first to fourth linear motors, and the second position sensor measures the displacement with respect to the support of the drive of the first to fourth linear motors. Movable table system, characterized in that for measuring.
(15) 제1 리니어 모터의 이동부, 제2 리니어 모터의 이동부, 제1 연결부 및 테이블의 합쳐진 질량 중심 높이와 제1 리니어 모터의 구동부 및 제2 리니어 모터의 구동부의 합쳐진 질량 중심 높이가 제1 높이로 동일하며, 제3 리니어 모터의 이동부, 제4 리니어 모터의 이동부, 제2 연결부 및 테이블의 합쳐진 질량 중심 높이와 제3 리니어 모터의 구동부 및 제4 리니어 모터의 구동부의 합쳐진 질량 중심 높이가 제2 높이로 동일한 것을 특징으로 하는 이동 가능한 테이블 시스템.(15) The combined center of mass height of the moving part of the first linear motor, the moving part of the second linear motor, the first connecting part and the table, and the combined center of mass height of the driving part of the first linear motor and the driving part of the second linear motor are the first. The same center of mass, the combined center of mass of the moving part of the third linear motor, the moving part of the fourth linear motor, the second connecting part and the table, and the combined center of mass of the driving part of the third linear motor and the driving part of the fourth linear motor. A movable table system, wherein the height is the same as the second height.
(16) 제1 리니어 모터 및 제2 리니어 모터의 추력선의 높이는 제1 높이이고, 제3 리니어 모터 및 제4 리니어 모터의 추력선의 높이는 제2 높이인 것을 특징으로 하는 이동 가능한 테이블 시스템.(16) The movable table system, wherein the height of the thrust lines of the first linear motor and the second linear motor is the first height, and the height of the thrust lines of the third linear motor and the fourth linear motor is the second height.
(17) 테이블; 테이블을 제1 방향으로 이동시키는 구동부와 이동부를 포함하는 제1 리니어 모터; 테이블을 제2 방향으로 이동시키는 구동부와 이동부를 포함하는 제2 리니어 모터; 테이블을 제2 방향으로 이동시키는 구동부와 이동부를 포함하는 제3 리니어 모터;로서, 제2 리니어 모터와 마주보며 위치하는 제3 리니어 모터;제2 리니어 모터와 제3 리니어 모터를 연결하는 연결부;로서, 연결부 위에 제1 리니어 모터가 위치하는 연결부; 그리고, 제2 리니터 모터 및 제3 리니어 모터를 지지하는 지지부;를 포함하며, 제1 리니어 모터의 구동부 및 연결부 사이에 위치하여 제1 리니어 모터의 구동부를 제1 방향으로 가이드 하는 제1 리니어 가이드; 제2 리니어 모터의 구동부 및 지지부 사이에 위치하여 제2 리니어 모터의 구동부를 제2 방향으로 가이드 하는 제2 리니어 가이드; 그리고, 제3 리니어 모터의 구동부 및 지지부 사이에 위치하여 제3 리니어 모터의 구동부를 제2 방향으로 가이드 하는 제3 리니어 가이드; 중 적어도 하나를 포함하는 것을 특징으로 하는 이동 가능한 테이블 시스템.(17) tables; A first linear motor including a driving unit and a moving unit for moving the table in a first direction; A second linear motor including a driving unit and a moving unit for moving the table in a second direction; A third linear motor including a driving part and a moving part for moving the table in a second direction; a third linear motor positioned to face the second linear motor; a connection part connecting the second linear motor and the third linear motor; A connection part on which the first linear motor is positioned; And a support part supporting the second and third linear motors, the first linear guide being positioned between the driving part and the connecting part of the first linear motor to guide the driving part of the first linear motor in the first direction. ; A second linear guide positioned between the driving unit and the supporting unit of the second linear motor to guide the driving unit of the second linear motor in a second direction; And a third linear guide positioned between the driving part and the supporting part of the third linear motor to guide the driving part of the third linear motor in the second direction; And at least one of: a movable table system.
(18) 테이블과 연결부 사이에 위치하여 테이블을 제1 방향으로 가이드 하는 제4 리니어 가이드;를 포함하는 것을 특징으로 하는 이동 가능한 테이블 시스템.And (18) a fourth linear guide positioned between the table and the connecting portion to guide the table in the first direction.
본 개시에 따른 이동 가능한 테이블 시스템에 의하면, 병진방향 및 회전방향의 관성 반력이 지지부에 미치는 영향을 줄인 이동 가능한 테이블 시스템을 만들 수 있다.According to the movable table system according to the present disclosure, it is possible to create a movable table system in which the influence of the inertial reaction forces in the translational and rotational directions on the support portion is reduced.
Claims (18)
- 테이블;table;테이블을 제1 방향으로 이동시키는 구동부와 이동부를 포함하는 제1 리니어 모터;A first linear motor including a driving unit and a moving unit for moving the table in a first direction;테이블을 제1 방향으로 이동시키는 구동부와 이동부를 포함하는 제2 리니어 모터;로서, 제1 리니어 모터와 마주보며 위치하는 제2 리니어 모터;A second linear motor including a driving unit and a moving unit for moving the table in a first direction, comprising: a second linear motor positioned to face the first linear motor;테이블을 제2 방향으로 이동시키는 구동부와 이동부를 포함하는 제3 리니어 모터;A third linear motor including a driving unit and a moving unit for moving the table in a second direction;테이블을 제2 방향으로 이동시키는 구동부와 이동부를 포함하는 제4 리니어 모터;로서, 제3 리니어 모터와 마주보며 위치하는 제4 리니어 모터;A fourth linear motor including a driving unit and a moving unit for moving the table in a second direction, comprising: a fourth linear motor positioned to face the third linear motor;제1 리니어 모터와 제2 리니어 모터를 연결하는 제1 연결부;로서 테이블에 결합되어 테이블을 제2 방향으로 가이드하는 제1 연결부;A first connection part connecting the first linear motor and the second linear motor; a first connection part coupled to the table and guiding the table in a second direction;제3 리니어 모터와 제4 리니어 모터를 연결하는 제2 연결부;로서 테이블에 결합되어 테이블을 제1 방향으로 가이드하는 제2 연결부; 그리고,A second connection portion connecting the third linear motor and the fourth linear motor; a second connection portion coupled to the table and guiding the table in a first direction; And,제1 리니어 모터, 제2 리니터 모터, 제3 리니어 모터 및 제4 리니어 모터를 지지하는 지지부;를 포함하며,And a support for supporting the first linear motor, the second linear motor, the third linear motor, and the fourth linear motor.제1 리니어 모터의 구동부 및 지지부 사이에 위치하여 제1 리니어 모터의 구동부를 제1 방향으로 가이드 하는 제1 리니어 가이드;A first linear guide positioned between the driving part and the supporting part of the first linear motor to guide the driving part of the first linear motor in a first direction;제2 리니어 모터의 구동부 및 지지부 사이에 위치하여 제2 리니어 모터의 구동부를 제1 방향으로 가이드 하는 제2 리니어 가이드;A second linear guide positioned between the driving part and the supporting part of the second linear motor to guide the driving part of the second linear motor in a first direction;제3 리니어 모터의 구동부 및 지지부 사이에 위치하여 제3 리니어 모터의 구동부를 제2 방향으로 가이드 하는 제3 리니어 가이드; 그리고,A third linear guide positioned between the driving part and the supporting part of the third linear motor to guide the driving part of the third linear motor in a second direction; And,제4 리니어 모터의 구동부 및 지지부 사이에 위치하여 제4 리니어 모터의 구동부를 제2 방향으로 가이드 하는 제4 리니어 가이드; 중 적어도 하나를 포함하는 것을 특징으로 하는 이동 가능한 테이블 시스템.A fourth linear guide positioned between the driving part and the supporting part of the fourth linear motor to guide the driving part of the fourth linear motor in a second direction; And at least one of: a movable table system.
- 청구항 1에 있어서,The method according to claim 1,제1 리니어 모터, 제2 리니어 모터, 제3 리니어 모터 및 제4 리니어 모터의 구동부는 제1 리니어 모터, 제2 리니어 모터, 제3 리니어 모터 및 제4 리니어 모터의 이동부가 움직여 발생하는 반력에 의해 각각 이동부가 움직이는 방향의 반대 방향으로 움직일 수 있도록 되어 있는 것을 특징으로 하는 이동 가능한 테이블 시스템.The driving portions of the first linear motor, the second linear motor, the third linear motor, and the fourth linear motor are driven by reaction forces generated by moving the moving parts of the first linear motor, the second linear motor, the third linear motor, and the fourth linear motor. Movable table system, characterized in that each of the moving parts to move in the opposite direction of the moving direction.
- 청구항 2에 있어서,The method according to claim 2,제1 리니어 모터, 제2 리니어 모터, 제3 리니어 모터 및 제4 리니어 모터 중 적어도 하나의 구동부와 연동하여 제1 리니어 모터, 제2 리니어 모터, 제3 리니어 모터 및 제4 리니어 모터의 이동부가 움직여 발생하는 반력에 의해 움직인 구동부를 본래의 위치로 움직이게 하는 위치 조정부;를 포함하고 있는 것을 특징으로 하는 이동 가능한 테이블 시스템.The moving parts of the first linear motor, the second linear motor, the third linear motor and the fourth linear motor move in conjunction with at least one driving unit of the first linear motor, the second linear motor, the third linear motor, and the fourth linear motor. And a position adjusting unit for moving the driving unit moved to the original position by the generated reaction force.
- 청구항 3에 있어서, The method according to claim 3,위치 조정부는 댐퍼 및 스프링을 포함하는 것을 특징으로 하는 이동 가능한 테이블 시스템.Movable table system, characterized in that the position adjustment portion includes a damper and a spring.
- 청구항 3에 있어서,The method according to claim 3,위치 조정부는 리니어 모터인 것을 특징으로 하는 이동 가능한 테이블 시스템.A movable table system, characterized in that the position adjusting portion is a linear motor.
- 청구항 1에 있어서,The method according to claim 1,제1 연결부와 테이블 사이에 위치하여 테이블을 제2 방향으로 가이드하는 제5 리니어 가이드; 그리고,A fifth linear guide positioned between the first connection portion and the table to guide the table in a second direction; And,제2 연결부와 테이블 사이에 위치하여 테이블을 제1 방향으로 가이드하는 제6 리니어 가이드; 중 적어도 하나를 포함하는 것을 특징으로 하는 이동 가능한 테이블 시스템.A sixth linear guide positioned between the second connection part and the table to guide the table in a first direction; And at least one of: a movable table system.
- 청구항 6에 있어서,The method according to claim 6,제1 리니어 가이드 내지 제6 리니어 가이드는 에어 베어링, 자기 베어링, 볼 순환식 리이어 모션 가이드, 크로스롤러 테이블, 캠 팔로우어 및 미끄럼 베어링 중 적어도 하나인 것을 특징으로 하는 이동 가능한 테이블 시스템.And the first to sixth linear guides are at least one of an air bearing, a magnetic bearing, a ball recirculating linear motion guide, a cross roller table, a cam follower, and a sliding bearing.
- 청구항 1에 있어서,The method according to claim 1,테이블은 제1 방향으로 형성된 제1 홈 및 제2 방향으로 형성된 제2 홈을 포함하며, 제1 홈과 제2 연결부가 결합하고 제2 홈과 제1 연결부가 결합하는 것을 특징으로 하는 이동 가능한 테이블 시스템.The table includes a first groove formed in the first direction and a second groove formed in the second direction, wherein the movable table combines the first groove and the second connection part and the second groove and the first connection part. system.
- 청구항 1에 있어서,The method according to claim 1,제1 리니어 모터 내지 제4 리니어 모터는 추가 질량부를 포함하는 것을 특징으로 하는 이동 가능한 테이블 시스템.A movable table system, wherein the first to fourth linear motors comprise additional mass parts.
- 청구항 1에 있어서,The method according to claim 1,제1 리니어 모터 내지 제4 리니어 모터 중 적어도 하나의 이동부와 연동하여 외부로부터 이동 가능한 테이블 시스템으로 들어오는 광의 경로를 테이블 방향으로 변경하는 제1 반사부;를 포함하는 것을 특징으로 하는 이동 가능한 테이블 시스템.A movable table system, comprising: a first reflector for changing a path of light entering the table system movable from the outside in a table direction in association with at least one moving unit among the first linear motor and the fourth linear motor. .
- 청구항 10에 있어서, The method according to claim 10,테이블과 연동하여 제1 반사부를 통해 테이블로 들어온 광을 테이블로부터 나가도록 광의 경로를 변경하는 제2 반사부;를 포함하는 것을 특징으로 하는 이동 가능한 테이블 시스템.And a second reflector configured to change a path of light to exit the table from the table through the first reflector in association with the table.
- 청구항 11에 있어서,The method according to claim 11,제2 반사부에 반사되어 테이블로부터 나가는 광의 경로는 테이블 면에 수직한 것을 특징으로 하는 이동 가능한 테이블 시스템.And the path of the light reflected from the second reflector to the table is perpendicular to the table plane.
- 청구항 1에 있어서,The method according to claim 1,지지부, 제1 리니어 모터 내지 제4 리니어 모터의 이동부 및 구동부 3자 간의 상대적 변위를 측정하기 위한 제1 위치 센서; 및 제2 위치 센서;를 포함하는 것을 특징으로 하는 이동 가능한 테이블 시스템.A first position sensor for measuring a relative displacement between the support, the moving portions of the first to fourth linear motors, and the three driving portions; And a second position sensor.
- 청구항 13에 있어서,The method according to claim 13,제1 위치 센서는 제1 리니어 모터 내지 제4 리니어 모터의 이동부의 지지부에 대한 변위를 측정하며, 제2 위치 센서는 제1 리니어 모터 내지 제4 리니어 모터의 구동부의 지지부에 대한 변위를 측정하는 것을 특징으로 하는 이동 가능한 테이블 시스템.The first position sensor measures the displacement of the support of the moving parts of the first to fourth linear motors, and the second position sensor measures the displacement of the support of the drive of the first to fourth linear motors. Movable table system characterized.
- 청구항 1에 있어서,The method according to claim 1,제1 리니어 모터의 이동부, 제2 리니어 모터의 이동부, 제1 연결부 및 테이블의 합쳐진 질량 중심 높이와 제1 리니어 모터의 구동부 및 제2 리니어 모터의 구동부의 합쳐진 질량 중심 높이가 제1 높이로 동일하며, 제3 리니어 모터의 이동부, 제4 리니어 모터의 이동부, 제2 연결부 및 테이블의 합쳐진 질량 중심 높이와 제3 리니어 모터의 구동부 및 제4 리니어 모터의 구동부의 합쳐진 질량 중심 높이가 제2 높이로 동일한 것을 특징으로 하는 이동 가능한 테이블 시스템.The combined center of mass height of the moving part of the first linear motor, the moving part of the second linear motor, the first connecting part and the table and the combined center of mass height of the driving part of the first linear motor and the driving part of the second linear motor are the first height. The same, the combined center of mass height of the moving part of the third linear motor, the moving part of the fourth linear motor, the second connecting part and the table and the combined center of mass height of the driving part of the third linear motor and the driving part of the fourth linear motor are Movable table system, characterized by two heights equal.
- 청구항 15에 있어서,The method according to claim 15,제1 리니어 모터 및 제2 리니어 모터의 추력선의 높이는 제1 높이이고, 제3 리니어 모터 및 제4 리니어 모터의 추력선의 높이는 제2 높이인 것을 특징으로 하는 이동 가능한 테이블 시스템.The height of the thrust lines of the first linear motor and the second linear motor is a first height, the height of the thrust lines of the third linear motor and the fourth linear motor is a second height.
- 테이블;table;테이블을 제1 방향으로 이동시키는 구동부와 이동부를 포함하는 제1 리니어 모터;A first linear motor including a driving unit and a moving unit for moving the table in a first direction;테이블을 제2 방향으로 이동시키는 구동부와 이동부를 포함하는 제2 리니어 모터;A second linear motor including a driving unit and a moving unit for moving the table in a second direction;테이블을 제2 방향으로 이동시키는 구동부와 이동부를 포함하는 제3 리니어 모터;로서, 제2 리니어 모터와 마주보며 위치하는 제3 리니어 모터;A third linear motor including a driving unit and a moving unit for moving the table in a second direction, comprising: a third linear motor positioned to face the second linear motor;제2 리니어 모터와 제3 리니어 모터를 연결하는 연결부;로서, 연결부 위에 제1 리니어 모터가 위치하는 연결부; 그리고,A connecting portion connecting the second linear motor and the third linear motor, the connecting portion having the first linear motor positioned on the connecting portion; And,제2 리니터 모터 및 제3 리니어 모터를 지지하는 지지부;를 포함하며,Includes; support for supporting the second liner motor and the third linear motor,제1 리니어 모터의 구동부 및 연결부 사이에 위치하여 제1 리니어 모터의 구동부를 제1 방향으로 가이드 하는 제1 리니어 가이드;A first linear guide positioned between the driving unit and the connecting unit of the first linear motor to guide the driving unit of the first linear motor in a first direction;제2 리니어 모터의 구동부 및 지지부 사이에 위치하여 제2 리니어 모터의 구동부를 제2 방향으로 가이드 하는 제2 리니어 가이드; 그리고,A second linear guide positioned between the driving unit and the supporting unit of the second linear motor to guide the driving unit of the second linear motor in a second direction; And,제3 리니어 모터의 구동부 및 지지부 사이에 위치하여 제3 리니어 모터의 구동부를 제2 방향으로 가이드 하는 제3 리니어 가이드; 중 적어도 하나를 포함하는 것을 특징으로 하는 이동 가능한 테이블 시스템.A third linear guide positioned between the driving part and the supporting part of the third linear motor to guide the driving part of the third linear motor in a second direction; And at least one of: a movable table system.
- 청구항 17에 있어서,The method according to claim 17,테이블과 연결부 사이에 위치하여 테이블을 제1 방향으로 가이드 하는 제4 리니어 가이드;를 포함하는 것을 특징으로 하는 이동 가능한 테이블 시스템.And a fourth linear guide positioned between the table and the connecting portion to guide the table in a first direction.
Applications Claiming Priority (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
KR10-2016-0017254 | 2016-02-15 | ||
KR1020160017254A KR101756800B1 (en) | 2016-02-15 | 2016-02-15 | Movable table system |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
WO2017142102A1 true WO2017142102A1 (en) | 2017-08-24 |
Family
ID=59354533
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
PCT/KR2016/001507 WO2017142102A1 (en) | 2016-02-15 | 2016-02-15 | Movable table system |
Country Status (2)
Country | Link |
---|---|
KR (1) | KR101756800B1 (en) |
WO (1) | WO2017142102A1 (en) |
Families Citing this family (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR101949773B1 (en) * | 2018-10-10 | 2019-02-19 | 주식회사 케이에스테크놀러지 | Computer Numerical Control Processing Machine Tool for Measuring Size of Board Article and Fixing the Same |
Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2001307983A (en) * | 2000-04-20 | 2001-11-02 | Nikon Corp | Stage device and aligner |
JP2003059797A (en) * | 2001-08-09 | 2003-02-28 | Canon Inc | Movement apparatus, stage device, and exposure system |
KR20040086560A (en) * | 2003-03-28 | 2004-10-11 | 스미도모쥬기가이고교 가부시키가이샤 | X-Y stage apparatus |
KR20110129438A (en) * | 2009-03-26 | 2011-12-01 | 일렉트로 싸이언티픽 인더스트리이즈 인코포레이티드 | Printed circuit board via drilling stage assembly |
KR101520401B1 (en) * | 2015-01-13 | 2015-05-15 | 재단법인차세대융합기술연구원 | Movable table system |
-
2016
- 2016-02-15 KR KR1020160017254A patent/KR101756800B1/en active IP Right Grant
- 2016-02-15 WO PCT/KR2016/001507 patent/WO2017142102A1/en active Application Filing
Patent Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2001307983A (en) * | 2000-04-20 | 2001-11-02 | Nikon Corp | Stage device and aligner |
JP2003059797A (en) * | 2001-08-09 | 2003-02-28 | Canon Inc | Movement apparatus, stage device, and exposure system |
KR20040086560A (en) * | 2003-03-28 | 2004-10-11 | 스미도모쥬기가이고교 가부시키가이샤 | X-Y stage apparatus |
KR20110129438A (en) * | 2009-03-26 | 2011-12-01 | 일렉트로 싸이언티픽 인더스트리이즈 인코포레이티드 | Printed circuit board via drilling stage assembly |
KR101520401B1 (en) * | 2015-01-13 | 2015-05-15 | 재단법인차세대융합기술연구원 | Movable table system |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
KR101756800B1 (en) | 2017-07-11 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US6363809B1 (en) | Precision scanning apparatus and method with fixed and movable guide members | |
JP2714502B2 (en) | Moving stage device | |
EP1965411B1 (en) | Stage system for use in exposure apparatus | |
WO2016200185A1 (en) | Three-dimensional scanning system and target mechanism for line laser alignment therefor | |
US10374530B2 (en) | Dual-axis linear motion system | |
KR20020092796A (en) | Stage apparatus and exposure apparatus | |
WO2016114519A1 (en) | Movable table system | |
WO2017142102A1 (en) | Movable table system | |
WO2019143116A1 (en) | Lens assembly and camera module comprising same | |
WO2014042337A1 (en) | Lens barrel assembly and photographing apparatus including the same | |
CN103105742B (en) | Mask table system of six-degree-of-freedom coarse table with photoelectric position detector measurement function | |
CN109938694B (en) | Multi-channel imaging system and image surface registration method | |
US8231106B2 (en) | Synchronous moving device and image measuring apparatus | |
WO2018004124A1 (en) | Dual actuator | |
KR20040086560A (en) | X-Y stage apparatus | |
US20030113043A1 (en) | X-Y stage apparatus capable of reducing the number of drive sources | |
WO2010047523A2 (en) | Apparatus and method for three-dimensional scanning using a plurality of line patterns | |
JPH11126996A (en) | Component mounting device | |
WO2015084087A1 (en) | Laser processing machine | |
JP4012199B2 (en) | Stage apparatus, exposure apparatus, and device manufacturing method | |
CN207407998U (en) | A kind of new Fourier transformation infrared spectrometer and movinglens scanning device | |
WO2018156663A1 (en) | Single-axis linear motion system | |
JP4012198B2 (en) | Stage apparatus, exposure apparatus, and device manufacturing method | |
CN220520146U (en) | Sample table and micro-nano processing device with same | |
US20100095798A1 (en) | Planar moving apparatus |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
121 | Ep: the epo has been informed by wipo that ep was designated in this application |
Ref document number: 16890694 Country of ref document: EP Kind code of ref document: A1 |
|
NENP | Non-entry into the national phase |
Ref country code: DE |
|
32PN | Ep: public notification in the ep bulletin as address of the adressee cannot be established |
Free format text: NOTING OF LOSS OF RIGHTS PURSUANT TO RULE 112(1) EPC (EPO FORM1205 DATED 23/01/2019) |
|
122 | Ep: pct application non-entry in european phase |
Ref document number: 16890694 Country of ref document: EP Kind code of ref document: A1 |