WO2015083467A1 - クリーニング装置 - Google Patents

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WO2015083467A1
WO2015083467A1 PCT/JP2014/078861 JP2014078861W WO2015083467A1 WO 2015083467 A1 WO2015083467 A1 WO 2015083467A1 JP 2014078861 W JP2014078861 W JP 2014078861W WO 2015083467 A1 WO2015083467 A1 WO 2015083467A1
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roller
cleaning
cleaned
rollers
cleaning device
Prior art date
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PCT/JP2014/078861
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French (fr)
Inventor
松本　英樹
啓佑 笹島
Original Assignee
バンドー化学株式会社
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Publication date
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    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B08—CLEANING
    • B08B—CLEANING IN GENERAL; PREVENTION OF FOULING IN GENERAL
    • B08B1/00—Cleaning by methods involving the use of tools
    • B08B1/30—Cleaning by methods involving the use of tools by movement of cleaning members over a surface
    • B08B1/32—Cleaning by methods involving the use of tools by movement of cleaning members over a surface using rotary cleaning members
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B03—SEPARATION OF SOLID MATERIALS USING LIQUIDS OR USING PNEUMATIC TABLES OR JIGS; MAGNETIC OR ELECTROSTATIC SEPARATION OF SOLID MATERIALS FROM SOLID MATERIALS OR FLUIDS; SEPARATION BY HIGH-VOLTAGE ELECTRIC FIELDS
    • B03C—MAGNETIC OR ELECTROSTATIC SEPARATION OF SOLID MATERIALS FROM SOLID MATERIALS OR FLUIDS; SEPARATION BY HIGH-VOLTAGE ELECTRIC FIELDS
    • B03C7/00—Separating solids from solids by electrostatic effect
    • B03C7/02—Separators
    • B03C7/08—Separators with material carriers in the form of belts
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B08—CLEANING
    • B08B—CLEANING IN GENERAL; PREVENTION OF FOULING IN GENERAL
    • B08B1/00—Cleaning by methods involving the use of tools
    • B08B1/50—Cleaning by methods involving the use of tools involving cleaning of the cleaning members
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B08—CLEANING
    • B08B—CLEANING IN GENERAL; PREVENTION OF FOULING IN GENERAL
    • B08B1/00—Cleaning by methods involving the use of tools
    • B08B1/50—Cleaning by methods involving the use of tools involving cleaning of the cleaning members
    • B08B1/54—Cleaning by methods involving the use of tools involving cleaning of the cleaning members using mechanical tools
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B08—CLEANING
    • B08B—CLEANING IN GENERAL; PREVENTION OF FOULING IN GENERAL
    • B08B6/00—Cleaning by electrostatic means

Definitions

  • the present invention relates to a cleaning device that removes dust existing on the surface of a cleaning object using electrostatic force.
  • the cleaning object includes, for example, a film, a sheet, a glass substrate, a printed circuit board (PCB, PCBA, etc.). ), And a cleaning device suitable for a thin object such as a plastic plate.
  • Patent Documents 1 to 4 Regarding such a cleaning system, the applicant has applied for the inventions described in Patent Documents 1 to 4 below, for example. According to the cleaning systems described in Patent Documents 1 to 4, there is no need to periodically perform maintenance work for removing dust from the surface of the cleaning roller, and the dust adsorption operation by the cleaning roller can be stably performed over a long period of time. I was able to continue.
  • one cleaning roller charged negatively can be used on the surface of the object to be cleaned. It is possible to remove the positively charged dust adhering and remove the negatively charged dust with the other cleaning roller positively charged, and it is possible to widen the range of foreign matter that can be removed.
  • FIG. 7 is a side view schematically showing the layout of the main part of a conventional cleaning system in which two cleaning rollers are arranged on the upper and lower surfaces of the object to be cleaned.
  • the cleaning system 61 includes a cleaning unit 62 that removes dust adhering to the surface (upper surface and lower surface) of the material to be cleaned S by using electrostatic force, and a carry-in unit 63 that conveys the material to be cleaned S toward the cleaning unit 62. And an unloading section 64 for unloading the material to be cleaned S after being cleaned by the cleaning section 62.
  • the carry-in part 63 has a configuration in which a transport belt 63C is wound around a pair of rollers 63A and 63B, and the cleaning material S on the transport belt 63C is transported toward the cleaning unit 62. ing.
  • the carry-out unit 64 has a configuration in which a conveyance belt 64C is wound around a pair of rollers 64A and 64B so that the cleaning material S carried out from the cleaning unit 62 is conveyed in a direction away from the cleaning unit 62. It is configured.
  • a cleaning unit 62 is disposed between the carry-in unit 63 and the carry-out unit 64, and the cleaning unit 62 rotates with the cleaning rollers 71 ⁇ / b> A and 71 ⁇ / b> B rotating while the outer peripheral surface is in contact with the surface (upper surface) of the material to be cleaned S.
  • the cleaning rollers 71C and 71D rotate while the outer peripheral surface is in contact with the surface (lower surface) of the material to be cleaned S.
  • the cleaning unit 62 is configured to convey the material to be cleaned S toward the unloading unit 64 while sandwiching the material to be cleaned S between the cleaning rollers 71A and 71B and the cleaning rollers 71C and 71D.
  • rollers 72A and 72B that rotate while contacting the surfaces of the cleaning rollers 71A and 71B, and charge control rollers 73A that rotate while contacting the surfaces of the transfer rollers 72A and 72B
  • the roller 73A rotates in a direction opposite to the rotation direction of the transfer rollers 72A and 72B and scrapes dust adhering to the surfaces of the transfer rollers 72A and 72B, and contacts the brush rollers 74A and 74B and the brush rollers 74A and 74B.
  • rotating metal rollers 75A and 75B and dust scraping blades 76A and 76B disposed in the vicinity of the metal rollers 75A and 75B are provided.
  • An external power supply 77 is connected to the cores of the charge control rollers 73A and 73B, and charges for adsorbing dust adhering to the surface (upper surface) of the object to be cleaned S by electrostatic force are used as the cleaning rollers 71A and 71B.
  • the transfer rollers 72A and 72B can be applied.
  • External power supplies 78A and 78B are also connected to the metal rollers 75A and 75B, and a voltage is applied so as to generate a potential difference between the transfer rollers 72A and 72B.
  • suction ports 79A and 79B for air vacuum means for sucking dust are provided in the vicinity of the surfaces of the metal rollers 75A and 75B.
  • the lower side of the cleaning rollers 71C and 71D like the upper side, the transfer rollers 72C and 72D, the charging control rollers 73C and 73D, the brush rollers 74C and 74D, the metal rollers 75C and 75D, the blade 76C, 76D.
  • An external power supply 77 is connected to the cores of the charge control rollers 73C and 73D, and the cleaning rollers 71C and 71D use charges for adsorbing dust adhering to the surface (lower surface) of the object to be cleaned S by electrostatic force.
  • the transfer rollers 72C and 72D can be applied.
  • External power supplies 78C and 78D are also connected to the metal rollers 75C and 75D, and a voltage is applied so as to generate a potential difference between the transfer rollers 72C and 72D.
  • suction ports 79C and 79D of air vacuum means for sucking dust are provided.
  • the rotational force of the driving roller 81 is transmitted to the shaft portions of the cleaning rollers 71C and 71D via the driving belt 80, and the cleaning rollers 71C and 71D are rotationally driven.
  • the cleaning rollers 71C and 71D are disposed between the carry-in portion 63 and the cleaning roller 71C. Due to the configuration of the apparatus and the layout of the arrangement, there is inevitably a space between the cleaning roller 71D and the carry-out portion 64.
  • the object to be cleaned S is a thin object such as a film or sheet and has low rigidity
  • the object to be cleaned S falls into these spaces when the object to be cleaned S is carried in or out, and the object to be cleaned S
  • the lower cleaning rollers 71 ⁇ / b> C and 71 ⁇ / b> D may be caught, and the transportability of the cleaning target S may be deteriorated.
  • the present invention has been made in view of the above problems, and an object of the present invention is to provide a compact cleaning device that can improve the transportability of the object to be cleaned.
  • a cleaning device (1) is a cleaning device that removes dust existing on the surface of a member to be cleaned using electrostatic force, and contacts the lower surface of the member to be cleaned.
  • the transport roller having an outer diameter smaller than the outer diameter of the cleaning roller is provided in front of and behind the cleaning roller, a space generated before and after the cleaning roller is provided in the transport. It is filled (narrowed) by a roller.
  • the object to be cleaned is a thin object with low rigidity, there is no possibility that the object to be cleaned falls into the space formed before and after the cleaning roller, and the object to be cleaned is carried in and out accurately. It is possible to improve transportability.
  • the cleaning device (2) according to the present invention is characterized in that, in the cleaning device (1), the upper peripheral surface of the transport roller and the upper peripheral surface of the cleaning roller are located on the same plane. Yes.
  • the cleaning device (2) since the upper peripheral surface of the transport roller and the upper peripheral surface of the cleaning roller are located on the same plane, the contact point between the transport roller and the object to be cleaned is determined.
  • the tangent line of the transport roller passing through and the tangent line of the cleaning roller passing through the contact point between the cleaning roller and the object to be cleaned are located on the same plane. Therefore, the object to be cleaned can be transported to the cleaning roller in a state in which the object to be cleaned is maintained in a horizontal state, the object to be cleaned can be transported more accurately, and stable cleaning performance is exhibited. can do.
  • the cleaning device (3) according to the present invention is configured such that, in the cleaning device (1) or (2), the transport roller is rotationally driven at the same peripheral speed as the cleaning roller. It is said.
  • the transport roller is configured to be rotationally driven at the same peripheral speed as the cleaning roller, the object to be cleaned is a thin, low-rigid sheet or film. Even if it is a thing, the to-be-cleaned body can be conveyed before and after the cleaning roller without causing the slack to the to-be-cleaned body, and the effect of improving the transportability of the to-be-cleaned body can be enhanced. it can.
  • the cleaning device (4) according to the present invention is configured such that, in any one of the cleaning devices (1) to (3), the transport roller is rotationally driven along with the rotational driving of the cleaning roller. It is characterized by being.
  • the cleaning device (4) since the transport roller is configured to be rotationally driven along with the rotational drive of the cleaning roller, when changing the transport speed and transport direction of the object to be cleaned, It is only necessary to control the rotational speed and direction of the cleaning roller. In other words, it is not necessary to individually control the driving of the transport roller, and the peripheral speeds of the cleaning roller and the transport roller can be easily synchronized. In addition, the apparatus can be made compact.
  • the cleaning device (5) according to the present invention is characterized in that, in any of the cleaning devices (1) to (4), the transport roller is made of a metal material.
  • the cleaning device (5) since the conveying roller is made of a metal material, the bending of the conveying roller can be reduced and the conveying accuracy can be improved. Further, even if the outer diameter of the conveying roller is reduced, the rigidity of the roller can be exhibited and the apparatus can be made compact.
  • the cleaning device (6) includes a brush body that contacts the cleaning roller and removes dust present on the surface of the cleaning roller in any of the cleaning devices (1) to (5).
  • a metal roller that contacts the brush body and receives dust from the brush body, a blade body that removes dust adhering to the metal roller, the cleaning roller, the brush body, and the metal roller. And a charge imparting mechanism.
  • the cleaning device (6) since the brush body is in contact with the cleaning roller, it is possible to remove dust existing on the surface of the cleaning roller with the brush body.
  • the dust removal efficiency can be increased and the cleanliness of the surface of the cleaning roller can be increased as compared with a conventional apparatus in which a transfer roller is provided between the brush body. Further, foreign matter scraped off by the brush body is attracted to the metal roller by electrostatic force, and dust adsorbed on the metal roller is scraped off from the metal roller by the blade body.
  • the foreign matter adsorption removal operation by the can be continued stably, and the structure can be made compact.
  • FIG. 4 is a sectional view taken along the line IV-IV in FIG. 2. It is the side view which showed typically the layout of the principal part at the time of arranging the cleaning apparatus concerning embodiment twice. It is the side view which showed typically the layout of the principal part which comprises the cleaning apparatus which concerns on another embodiment. It is the side view which showed typically the layout of the principal part which comprises the conventional cleaning system.
  • FIG. 1 is a side view schematically showing a layout of a main part constituting the cleaning device according to the embodiment.
  • the cleaning device 1 is disposed between the carry-in part 63 and the carry-out part 64.
  • the cleaning device 1 moves relative to the cleaning object S while rotating the surface of the cleaning object S in contact with the surface S1 of the cleaning object S (the lower surface in this case) S1, and the lower surface S1 of the cleaning object S.
  • the dust adhering to the top (for example, minute dust such as a conductor or a dielectric) is removed using the electrostatic force applied to the cleaning roller 2.
  • the cleaning device 1 includes a cleaning roller 2 that is brought into contact with the lower surface S1 of the object to be cleaned S, and conveyance rollers 3A and 3B that are disposed in front of and behind the cleaning roller 2, and is further in contact with the cleaning roller 2 to be cleaned.
  • a brush roller 4 that removes dust on the surface
  • a metal roller 5 that rotates while contacting the brush roller 4 to receive dust from the brush roller 4
  • a blade 6 that removes dust attached to the metal roller 5.
  • the cleaning roller 2, the brush roller 4, and the metal roller 5 are rotatably supported by left and right side plate portions 11 and 12 (see FIGS. 2 and 3), respectively, and the transport rollers 3A and 3B are respectively attached to the left and right mounting plates 13A. , 13B, 14A, 14B (see FIGS. 2 and 3) are rotatably supported. Further, the cleaning device 1 is provided with a charge applying mechanism (not shown) for applying charges to the cleaning roller 2, the brush roller 4 and the metal roller 5.
  • the cleaning roller 2 is capable of charging the surface with a charge (plus or minus charge) that adsorbs dust adhering on the lower surface S1 of the object to be cleaned S by using electrostatic force.
  • the dust is adsorbed by the electrostatic force by using the charging property.
  • the transport rollers 3A and 3B are rollers for transporting the object to be cleaned S, and are made of a metal material such as iron or stainless steel.
  • the outer diameters of the conveying rollers 3A and 3B are set to be smaller than the outer diameter of the cleaning roller 2, and from the viewpoint of making the apparatus compact and filling (narrowing) the space before and after the cleaning roller 2 as much as possible.
  • 3B is preferably set to be equal to or smaller than the radius of the cleaning roller 2.
  • the horizontal axis distance W1 between the cleaning roller 2 and the transport roller 3A is smaller than the total value of the radius R1 of the cleaning roller 2 and the radius r1 of the transport roller 3A (W1 ⁇ R1 + r1).
  • the conveying roller 3 ⁇ / b> A is disposed in the vicinity of the cleaning roller 2.
  • the axial distance W2 between the cleaning roller 2 and the conveyance roller 3B in the horizontal direction is smaller than the total value of the radius R1 of the cleaning roller 2 and the radius r2 of the conveyance roller 3B (W2 ⁇ R1 + r2).
  • a conveyance roller 3 ⁇ / b> B is disposed in the vicinity of the cleaning roller 2.
  • transport rollers 3A and 3B and the cleaning roller 2 are disposed so that the upper peripheral surfaces of the transport rollers 3A and 3B and the upper peripheral surface of the cleaning roller 2 are located on the same plane.
  • the tangent line of the transport rollers 3A and 3B passing through the contact point between the transport rollers 3A and 3B and the cleaning object S and the tangent line of the cleaning roller 2 passing through the contact point between the cleaning roller 2 and the cleaning object S are obtained.
  • Conveying rollers 3A and 3B and a cleaning roller 2 are disposed so as to be located on the same plane.
  • the transport rollers 3A and 3B are made of a metal material. Therefore, even if the outer diameters of the transport rollers 3A and 3B are small, the rigidity can be exhibited, the bending of the transport rollers 3A and 3B can be reduced, and the apparatus can be made compact.
  • pulleys 7A and 7B are disposed on the rotating shafts at both ends of the cleaning roller 2
  • pulleys 8A and 8B are disposed on the rotating shafts at both ends of the conveying roller 3A.
  • Pulleys 9A and 9B are disposed on the rotation shafts at both ends of the roller 3B.
  • the round belt 10A is wound around the pulleys 7A, 8A, and 9A on one end side, and the round belt 10B is wound around the pulleys 7B, 8B, and 9B on the other end side.
  • the pulleys 7 ⁇ / b> A and 7 ⁇ / b> B are configured such that their pitch circle diameters coincide with the outer diameter of the cleaning roller 2.
  • the pulleys 8A and 8B are configured such that the pitch circle diameter thereof matches the outer diameter of the conveyance roller 3A
  • the pulleys 9A and 9B are configured such that the pitch circle diameter thereof matches the outer diameter of the conveyance roller 3B. ing.
  • the transport rollers 3A and 3B are driven to rotate following the rotational drive of the cleaning roller 2. That is, the transport rollers 3A and 3B are configured to be rotationally driven in the same direction at the same peripheral speed as the cleaning roller 2.
  • a brush roller 4 that rotates in opposite directions while contacting the surface of the cleaning roller 2 and removes dust on the surface of the cleaning roller 2 is provided obliquely below the cleaning roller 2.
  • the brush roller 4 is configured to be applied with a potential having the same sign as the charge to be charged on the surface of the cleaning roller 2 at the time of cleaning so as to generate a potential difference with the cleaning roller 2.
  • the brush roller 4 has a synthetic resin brush part (hair part) 4b on a cored bar 4a.
  • the shape outside the cross section of the brush portion 4b is not particularly limited, and for example, a circular shape, an elliptical shape, a polygonal shape, a wave curve shape, or a shape formed by combining a curve and a straight line. Etc. may be employed.
  • a metal roller 5 that rotates while contacting the brush roller 4 in a rotating direction is disposed obliquely below the brush roller 4.
  • the metal roller 5 is also configured to be applied with a potential having the same sign as the charge to be charged on the surface of the cleaning roller 2 during cleaning so that a predetermined potential difference is generated between the metal roller 5 and the cleaning roller 2.
  • the metal roller 5 removes dust from the brush roller 4.
  • the blade 6 is formed of, for example, an elastic body made of synthetic resin (for example, thermosetting urethane resin).
  • FIG. 2 is a perspective view of the cleaning device 1 according to the embodiment as viewed from the front upper side
  • FIG. 3 is a perspective view of the cleaning device 1 as viewed from the upper rear side
  • 4 is a cross-sectional view taken along the line IV-IV in FIG. In FIG. 4, hatching of the member cross section is omitted in order to make the drawing easy to see.
  • the cleaning device 1 is unitized as an integrated structure, and includes a cleaning roller 2 and conveying rollers 3A and 3B disposed at the top of the unit, a brush roller 4, a metal roller 5 and a blade 6 disposed inside the unit. It has.
  • the cleaning device 1 includes left and right side plate portions 11 and 12 on which the cleaning roller 2, the brush roller 4 and the metal roller 5 are rotatably supported, and left and right mounting plates 13A on which the transport roller 3A is rotatably supported. 13B, left and right mounting plates 14A and 14B on which the transport roller 3B is rotatably supported, and connecting members 15 and 16 to which the side plate portions 11 and 12 are connected to each other.
  • the mounting plates 13A and 14A are fixed to the side plate portion 11, and the mounting plates 13B and 14B are fixed to the side plate portion 12.
  • the side plate portions 11 and 12 are made of an insulating material (for example, made of resin such as polyacetal), and the side plate portions 11 and 12 are provided with rotating shafts of the cleaning roller 2, the brush roller 4, and the metal roller 5, respectively. Mounting holes (both not shown) for mounting are respectively formed at predetermined positions.
  • Bearings (not shown) into which the rotation shafts of the cleaning roller 2, the brush roller 4 and the metal roller 5 are inserted are respectively incorporated in these mounting holes, and electrode portions (not shown) are provided on outer ring portions of these bearings (not shown). Is incorporated in a state where it can be energized by electrical contact. An energization connector for energizing these electrode portions is provided, and a predetermined voltage is applied from the outside.
  • a charge applying mechanism is configured including the bearing and the electrode portion incorporated in each of the mounting holes.
  • a roller driving gear 17A and an idle gear 18 formed of an insulating material such as an insulating resin are mounted on the end of the rotating shaft of the cleaning roller 2 inserted into the side plate portion 11, and the roller driving gear.
  • a gear (not shown) to which a rotational force of a cleaning roller driving motor (not shown) is transmitted is meshed with 17A.
  • a metal roller gear 19A formed of an insulating material such as an insulating resin is attached to the end of the rotating shaft of the metal roller 5 inserted into the side plate portion 11.
  • the metal roller gear 19 ⁇ / b> A meshes with the idle gear 18, and the metal roller 5 is driven to rotate as the cleaning roller 2 rotates.
  • a roller driving gear 17B formed of an insulating material such as an insulating resin is attached to the end of the rotating shaft of the cleaning roller 2 inserted into the side plate portion 12, and the roller A gear (not shown) to which the rotational force of a cleaning roller driving motor (not shown) is transmitted can be engaged with the driving gear 17B.
  • a metal roller gear 19B formed of an insulating material such as an insulating resin is attached to the end of the rotating shaft of the metal roller 5 inserted into the side plate portion 12, and the rotating shaft of the brush roller 4
  • a brush roller gear 20 formed of an insulating material such as an insulating resin is attached to the end.
  • the brush roller gear 20 is meshed with the metal roller gear 19 ⁇ / b> B, and the brush roller 4 is driven to rotate as the metal roller 5 rotates.
  • the cleaning roller 2 includes a cored bar (core bar) 2a, a cylindrical inner layer part 2b that covers the cored bar 2, and a thin-film cylindrical outer layer part 2c that covers the inner layer part 2b. It is configured to include.
  • the inner layer portion 2b is made of a conductive elastic member (for example, polyester urethane containing carbon (conductive material)), and the outer layer portion 2c is made of a material such as urethane resin, acrylic mixed urethane or fluorine mixed urethane. Can be used to charge the charges adsorbing dust adhering to the surface of the object S to be cleaned by static electricity.
  • the thickness of the outer layer portion 2c is preferably 2 ⁇ m to 500 ⁇ m, more preferably 5 ⁇ m to 50 ⁇ m from the viewpoint of charging characteristics and the like.
  • the blade 6 is fixed to the blade mounting portion 21.
  • a foreign matter collecting part (not shown) for collecting dust separated by the blade 6 is attached to the lower side of the blade 6.
  • the cleaning target S conveyed from the carry-in unit 63 falls into the space between the carry-in unit 63 and the cleaning device 1 by the conveyance roller 3B of the cleaning device 1. Instead, it is conveyed to the cleaning roller 2 with high accuracy.
  • the object to be cleaned S that has passed over the cleaning roller 2 is accurately transported to the unloading section 64 without falling into the space between the cleaning apparatus 1 and the unloading section 64 by the transport roller 3A of the cleaning apparatus 1. Become.
  • the conveyance rollers 3A and 3B having an outer diameter smaller than the outer diameter of the cleaning roller 2 are disposed in front of and behind the cleaning roller 2, so Is filled (narrowed) by the small-diameter conveying rollers 3A and 3B.
  • the small-diameter conveying rollers 3A and 3B it is possible to accurately carry in and carry out the cleaning target S before and after the cleaning roller 2 and improve the transportability of the cleaning target S.
  • the object to be cleaned S is a thin object with low rigidity.
  • the conveyance can be performed with high accuracy.
  • the conveyance rollers 3A and 3B are made to be the cleaning rollers by the power transmission mechanism including the pulleys 7A and 7B, the pulleys 8A and 8B, the pulleys 9A and 9B, and the round belts 10A and 10B.
  • 2 is configured to be driven to rotate at the same peripheral speed as that of No. 2, even if the object to be cleaned S is a thin or low-rigid sheet or film, the object to be cleaned before and after the cleaning roller 2 is used.
  • the object to be cleaned S can be transported without causing slack or misalignment of the body S, and the effect of improving the transportability of the object to be cleaned S can be enhanced.
  • the cleaning device 1 since the transport rollers 3A and 3B are configured to be rotationally driven along with the rotational drive of the cleaning roller 2, when the transport speed and transport direction of the cleaning object S are changed, It is only necessary to control the rotational speed and direction of the cleaning roller 2. Therefore, it is not necessary to individually control the driving of the conveying rollers 3A and 3B, the peripheral speeds of the cleaning roller 2 and the conveying rollers 3A and 3B can be easily synchronized, and the apparatus can be made compact. .
  • the brush roller 4 is brought into contact with the cleaning roller 2, so that dust existing on the surface of the cleaning roller 2 can be efficiently removed by the brush roller 4.
  • the dust removal efficiency can be increased as compared with the conventional apparatus (see FIG. 7) provided with the transfer roller, and the reduction of the dust removal efficiency can be suppressed, and the cleanliness of the surface of the cleaning roller 2 is increased. You can also.
  • the cleaning device 1 the foreign matter adhering to the surface of the cleaning roller 2 by the electrostatic force is scraped by the brush roller 4, and the foreign matter scraped by the brush roller 4 is attracted to the metal roller 5 by the electrostatic force.
  • the dust adsorbed on the metal roller 5 is scraped off from the metal roller 5 by the blade 6. Therefore, the foreign matter adsorption removal operation by the cleaning roller 2 can be continued stably, and the cost of the apparatus can be reduced and the structure can be made compact by adopting a structure that does not use a conventionally used transfer roller. .
  • FIG. 5 is a side view schematically showing a layout when two cleaning devices according to the embodiment are arranged. Note that components having the same functions as those of the cleaning device 1 shown in FIG.
  • two cleaning devices 1A and 1B are arranged between the carry-in portion 63 and the carry-out portion 64.
  • the cleaning roller 2A and the cleaning roller 2A Charging control is performed so that the sign of the charge charged on the outer peripheral surface of 2B is reversed.
  • the negatively charged cleaning roller 2A removes the positively charged dust adhering to the lower surface S1 of the material S to be cleaned, and the positively charged cleaning roller 2B removes the negatively charged dust. And the range of dust that can be removed can be expanded.
  • the conveyance roller 3A of the cleaning device 1A and the conveyance roller 3B of the cleaning device 1B are located between the cleaning rollers 2A and 2B, the space between the cleaning rollers 2A and 2B is filled with the adjacent conveyance rollers 3A and 3B. Can be narrowed. Therefore, even if the material to be cleaned S is a thin object with low rigidity such as a sheet or a film, the material to be cleaned S does not fall between the cleaning rollers 2A and 2B, and the cleaning device 1A is transferred to the cleaning device 1B. It becomes possible to improve the transportability of the cleaning object S.
  • pulleys 7A and 7B, pulleys 8A and 8B, and pulleys 9A and 9B are used as means for synchronizing the peripheral speeds of the cleaning roller 2 and the transport rollers 3A and 3B.
  • gears (gears) and rollers are applied instead of the pulleys 7A and 7B, the pulleys 8A and 8B, and the pulleys 9A and 9B. be able to.
  • an idle gear is provided between a gear (or roller) 30 attached to the rotating shaft of the cleaning roller 2 and a gear (or roller) 31A attached to the rotating shaft of the conveying roller 3A.
  • an idle roller 32A is interposed, and an idle gear (or idle roller) 32B is provided between the gear (or roller) 30 and a gear (or roller) 31B attached to the rotation shaft of the transport roller 3B. Is configured to be installed.
  • the gear 30 is configured such that its pitch circle diameter matches the outer diameter of the cleaning roller 2.
  • the gears 31A and 31B are configured such that their pitch circle diameters match the outer diameters of the transport rollers 3A and 3B, respectively, and the pitch circle diameters of gears (not shown) on the other end side of the transport rollers 3A and 3B. Is also configured to match the outer diameter of the transport rollers 3A, 3B.
  • the transport rollers 3A and 3B are driven to rotate following the rotational drive of the cleaning roller 2. That is, the transport rollers 3A and 3B can be rotationally driven in the same direction at the same peripheral speed as the cleaning roller 2.
  • the cleaning device 1 or the cleaning devices 1A and 1B are disposed below the cleaning target S, and the lower surface S1 of the cleaning target S is cleaned.
  • the cleaning devices 1A and 1B are disposed on the lower side S1 of the object to be cleaned S, the cleaning device 1, the cleaning devices 1A and 1B or another cleaning device are disposed on the upper side, and the upper and lower surfaces of the object to be cleaned S are simultaneously disposed. It is also possible to have a system configuration for cleaning.

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Abstract

　本発明の目的は、被クリーニング体の搬送性を向上させることができるクリーニング装置を提供することにあり、被クリーニング体Ｓ表面に存在する塵埃を静電気力を利用して除去するクリーニング装置１であって、被クリーニング体Ｓ下面Ｓ１に接触させるクリーニングローラ２と、クリーニングローラ２の前後に近設される搬送ローラ３Ａ、３Ｂとを備え、これら搬送ローラ３Ａ、３Ｂの外径がクリーニングローラ２の外径よりも小さく設定されている。クリーニングローラ２の前後に生じていた空間が狭められ、被クリーニング体Ｓの搬送性を向上させることが可能となる。

Description

クリーニング装置
　本発明は、被クリーニング体表面に存在する塵埃を静電気力を利用して除去するクリーニング装置に関し、より詳細には、被クリーニング体が、例えばフィルム、シート、ガラス基板、プリント基板（ＰＣＢ、ＰＣＢＡなど）、プラスチック板などの薄物である場合に適するクリーニング装置に関する。
　被クリーニング体の表面にクリーニングローラを接触させつつ回転させながら、被クリーニング体の表面に付着する塵埃を静電気力を利用して除去するクリーニングシステムが近年開発されている。
　このようなクリーニングシステムに関して、出願人は、例えば下記の特許文献１～４記載の発明を先に出願している。特許文献１～４記載のクリーニングシステムによれば、クリーニングローラの表面から塵埃を取り除くためのメンテナンス作業を定期的に行う必要がなくなり、クリーニングローラによる塵埃の吸着除去動作を長期に亘って安定して継続できるようになった。
　また、このようなクリーニングローラを２連配置し、各クリーニングローラに帯電させる電荷の符号を逆とするシステム構成にすることで、マイナスに帯電させた一方のクリーニングローラで、被クリーニング体の表面に付着するプラス帯電性の塵埃を除去し、プラスに帯電させた他方のクリーニングローラで、マイナス帯電性の塵埃を除去することが可能となり、除去できる異物の範囲を広げることも可能となった。
　さらに、被クリーニング体の上面だけでなく、被クリーニング体の下面に付着した塵埃を除去することができるクリーニングシステムを構成することも可能となった。
　図７は、被クリーニング体の上下面にそれぞれクリーニングローラが２連配置された従来のクリーニングシステムを構成する要部のレイアウトを模式的に示した側面図である。
　クリーニングシステム６１は、被クリーニング材Ｓの表面（上面及び下面）上に付着する塵埃を静電気力を利用して取り除くクリーニング部６２と、被クリーニング材Ｓをクリーニング部６２に向けて搬送する搬入部６３と、クリーニング部６２でクリーニングされた後の被クリーニング材Ｓを搬出する搬出部６４とを備えている。
　搬入部６３は、１対のローラ６３Ａ、６３Ｂに搬送ベルト６３Ｃが巻き掛けられた構成となっており、搬送ベルト６３Ｃ上の被クリーニング材Ｓがクリーニング部６２に向けて搬送されるように構成されている。
　搬出部６４は、１対のローラ６４Ａ、６４Ｂに搬送ベルト６４Ｃが巻き掛けられた構成となっており、クリーニング部６２から搬出された被クリーニング材Ｓがクリーニング部６２から離れる方向に搬送されるように構成されている。
　搬入部６３と搬出部６４との間にクリーニング部６２が配設され、クリーニング部６２は、被クリーニング材Ｓの表面（上面）上に対し外周面を接触させながら回転するクリーニングローラ７１Ａ、７１Ｂと、被クリーニング材Ｓの表面（下面）に対し外周面を接触させながら回転するクリーニングローラ７１Ｃ、７１Ｄとを備えている。クリーニング部６２は、クリーニングローラ７１Ａ、７１Ｂとクリーニングローラ７１Ｃ、７１Ｄとの間に被クリーニング材Ｓを挟みつつ被クリーニング材Ｓを搬出部６４側に搬送するように構成されている。
　クリーニングローラ７１Ａ、７１Ｂの上側には、各クリーニングローラ７１Ａ、７１Ｂの表面に接触しながら回転する転写ローラ７２Ａ、７２Ｂと、各転写ローラ７２Ａ、７２Ｂの表面に接触しながら回転する帯電制御ローラ７３Ａ、７３Ｂと、転写ローラ７２Ａ、７２Ｂの連れ回り方向と逆方向に回転して転写ローラ７２Ａ、７２Ｂの表面に付着している塵埃を掻き取るブラシローラ７４Ａ、７４Ｂと、ブラシローラ７４Ａ、７４Ｂに接触しながら回転する金属ローラ７５Ａ、７５Ｂと、金属ローラ７５Ａ、７５Ｂの近傍に配置された塵埃掻き取り用のブレード７６Ａ、７６Ｂとが設けられている。
　帯電制御ローラ７３Ａ、７３Ｂの芯金には外部電源７７が接続され、被クリーニング体Ｓの表面（上面）上に付着している塵埃を静電気力により吸着するための電荷を、クリーニングローラ７１Ａ、７１Ｂおよび転写ローラ７２Ａ、７２Ｂに対して付与できる構成になっている。金属ローラ７５Ａ、７５Ｂにも外部電源７８Ａ、７８Ｂが接続され、転写ローラ７２Ａ、７２Ｂとの間に電位差を生じるように電圧が印加される構成になっている。金属ローラ７５Ａ、７５Ｂの表面近傍には、塵埃を吸い込むエアバキューム手段の吸込み口７９Ａ、７９Ｂが設けられている。
　また、クリーニングローラ７１Ｃ、７１Ｄの下側には、上側と同様に、転写ローラ７２Ｃ、７２Ｄと、帯電制御ローラ７３Ｃ、７３Ｄと、ブラシローラ７４Ｃ、７４Ｄと、金属ローラ７５Ｃ、７５Ｄと、ブレード７６Ｃ、７６Ｄとが設けられている。
　帯電制御ローラ７３Ｃ、７３Ｄの芯金には外部電源７７が接続され、被クリーニング体Ｓの表面（下面）上に付着している塵埃を静電気力により吸着するための電荷を、クリーニングローラ７１Ｃ、７１Ｄおよび転写ローラ７２Ｃ、７２Ｄに対して付与できる構成になっている。金属ローラ７５Ｃ、７５Ｄにも外部電源７８Ｃ、７８Ｄが接続され、転写ローラ７２Ｃ、７２Ｄとの間に電位差を生じるように、電圧が印加される構成になっている。金属ローラ７５Ｃ、７５Ｄの表面近傍には、塵埃を吸い込むエアバキューム手段の吸込み口７９Ｃ、７９Ｄが設けられている。
　また、クリーニングローラ７１Ｃ、７１Ｄの軸部には、駆動ベルト８０を介して駆動ローラ８１の回転力が伝達され、クリーニングローラ７１Ｃ、７１Ｄが回転駆動される構成になっている。
　図７に示したクリーニングシステム６１によって、被クリーニング体Ｓの上面だけでなく、被クリーニング体Ｓの下面に付着した塵埃も静電気力を利用して除去することが可能となった。一方で、被クリーニング体Ｓの下側に複数のクリーニングローラ７１Ｃ、７１Ｄを備えたシステムとした場合、従来のクリーニングシステム６１では、搬入部６３とクリーニングローラ７１Ｃとの間、クリーニングローラ７１Ｃ、７１Ｄどうしの間、及びクリーニングローラ７１Ｄと搬出部６４との間に、装置の構成や配置のレイアウト上、必然的に空間が生じやすいものとなっていた。
　そのため、被クリーニング体Ｓが特にフィルムやシート等の薄物で剛性が低いものである場合、被クリーニング体Ｓの搬入や搬出時に、被クリーニング体Ｓがこれらの空間内に落ち込んで、被クリーニング体Ｓに弛みや位置ずれが生じる虞や下側のクリーニングローラ７１Ｃ、７１Ｄに巻き込まれる虞があり、被クリーニング体Ｓの搬送性が低下する虞があるという課題があった。
特許第４８８６０９７号公報 特許第５０４４０６１号公報 特許第５０１５３６５号公報 特表２０１０－１０９７５５号公報
課題を解決するための手段及びその効果
　本発明は上記課題に鑑みなされたものであって、被クリーニング体の搬送性を向上させることができるコンパクトなクリーニング装置を提供することを目的としている。
　上記目的を達成するために本発明に係るクリーニング装置（１）は、被クリーニング体の表面に存在する塵埃を静電気力を利用して除去するクリーニング装置であって、前記被クリーニング体の下面に接触させるクリーニングローラと、該クリーニングローラの前後に近設される搬送ローラとを備え、これら搬送ローラの外径が前記クリーニングローラの外径よりも小さく設定されていることを特徴としている。
　上記クリーニング装置（１）によれば、前記クリーニングローラの前後に、前記クリーニングローラの外径よりも小さい外径の前記搬送ローラが近設されるため、前記クリーニングローラの前後に生じる空間が前記搬送ローラによって埋められる（狭められる）。その結果、前記被クリーニング体が剛性の低い薄物であったとしても、前記クリーニングローラの前後に生じていた空間に前記被クリーニング体が落ち込む虞がなくなり、前記被クリーニング体の搬入及び搬出を精度良く行うことができ、搬送性を向上させることができる。
　また、本発明に係るクリーニング装置（２）は、上記クリーニング装置（１）において、前記搬送ローラの周面上部と前記クリーニングローラの周面上部とが同一平面上に位置していることを特徴としている。
　上記クリーニング装置（２）によれば、前記搬送ローラの周面上部と前記クリーニングローラの周面上部とが同一平面上に位置しているので、前記搬送ローラと前記被クリーニング体との接触点を通る前記搬送ローラの接線と、前記クリーニングローラと前記被クリーニング体との接触点を通る前記クリーニングローラの接線とが同一平面上に位置することとなる。したがって、前記被クリーニング体の水平状態を保った状態で前記被クリーニング体を前記クリーニングローラに搬送することができ、前記被クリーニング体の搬送をより精度良く行うことができ、安定したクリーニング性能を発揮することができる。
　また、本発明に係るクリーニング装置（３）は、上記クリーニング装置（１）又は（２）において、前記搬送ローラが前記クリーニングローラと同じ周速度で回転駆動されるように構成されていることを特徴としている。
　上記クリーニング装置（３）によれば、前記搬送ローラが前記クリーニングローラと同じ周速度で回転駆動されるように構成されているので、前記被クリーニング体が、特に薄物で剛性の低いシートやフィルム状のものであったとしても、前記クリーニングローラの前後で前記被クリーニング体に弛み等を生じることなく被クリーニング体を搬送することができ、前記被クリーニング体の搬送性を向上させる効果を高めることができる。
　また、本発明に係るクリーニング装置（４）は、上記クリーニング装置（１）～（３）のいずれかにおいて、前記搬送ローラが前記クリーニングローラの回転駆動に伴って回転駆動されるように構成されていることを特徴としている。
　上記クリーニング装置（４）によれば、前記搬送ローラが前記クリーニングローラの回転駆動に伴って回転駆動されるように構成されているので、前記被クリーニング体の搬送速度や搬送方向を変える場合、前記クリーニングローラの回転速度や回転方向を制御するだけで良く、換言すれば、前記搬送ローラの駆動を個別に制御する必要がなく、前記クリーニングローラと前記搬送ローラの周速度を容易に同期させることができ、また、装置のコンパクト化を図ることができる。
　また、本発明に係るクリーニング装置（５）は、上記クリーニング装置（１）～（４）のいずれかにおいて、前記搬送ローラが金属材料で構成されていることを特徴としている。
　上記クリーニング装置（５）によれば、前記搬送ローラが金属材料で構成されているので、前記搬送ローラの撓みを少なくすることができ、搬送精度を高めることができる。また、前記搬送ローラの外径を小さくしてもローラの剛性を発揮することができ、装置のコンパクト化を図ることができる。
　また、本発明に係るクリーニング装置（６）は、上記クリーニング装置（１）～（５）のいずれかにおいて、前記クリーニングローラに接触して該クリーニングローラの表面に存在する塵埃を除去するブラシ体と、該ブラシ体に接触して該ブラシ体から塵埃を受取る金属ローラと、該金属ローラに付着した塵埃を除去するブレード体と、前記クリーニングローラ、前記ブラシ体、及び前記金属ローラに電荷を付与する電荷付与機構とを備えていることを特徴としている。
　上記クリーニング装置（６）によれば、前記クリーニングローラに前記ブラシ体を接触させているので、前記クリーニングローラの表面に存在する塵埃を前記ブラシ体で除去することが可能となり、前記クリーニングローラと前記ブラシ体との間に転写ローラが設けられていた従来の装置よりも前記塵埃の除去効率を高めることができ、前記クリーニングローラ表面の清浄度を高めることができる。
　また、前記ブラシ体によって掻き取られ異物が静電気力により前記金属ローラに吸着され、該金属ローラに吸着した塵埃が前記ブレード体によって前記金属ローラから掻き取られるようになっているので、前記クリーニングローラによる異物の吸着除去動作が安定して継続できるとともに、構造のコンパクト化を図ることができる。
本発明の実施の形態に係るクリーニング装置を構成する要部のレイアウトを模式的に示した側面図である。 実施の形態に係るクリーニング装置を正面上方から見た斜視図である。 実施の形態に係るクリーニング装置を背面上方から見た斜視図である。 図２におけるIV－IV線要部断面図である。 実施の形態に係るクリーニング装置を２連配置した場合における要部のレイアウトを模式的に示した側面図である。 別の実施の形態に係るクリーニング装置を構成する要部のレイアウトを模式的に示した側面図である。 従来のクリーニングシステムを構成する要部のレイアウトを模式的に示した側面図である。
　以下、本発明に係るクリーニング装置の実施の形態を図面に基づいて説明する。図１は、実施の形態に係るクリーニング装置を構成する要部のレイアウトを模式的に示した側面図である。
　クリーニング装置１は、搬入部６３と搬出部６４との間に配設されている。クリーニング装置１は、被クリーニング体Ｓの表面（この場合、下面）Ｓ１にクリーニングローラ２の表面を接触させつつ回転させながら、被クリーニング体Ｓに対して相対移動させ、被クリーニング体Ｓの下面Ｓ１上に付着している塵埃（例えば、導体あるいは誘電体などの微小な塵埃）を、クリーニングローラ２に付与された静電気力を利用して取り除くものである。
　クリーニング装置１は、被クリーニング体Ｓの下面Ｓ１に接触させるクリーニングローラ２と、クリーニングローラ２の前後に近設された搬送ローラ３Ａ、３Ｂとを備え、さらにクリーニングローラ２に接触してクリーニングローラ２表面の塵埃を除去するブラシローラ４と、ブラシローラ４に接触しながら回転してブラシローラ４から塵埃を受取る金属ローラ５と、金属ローラ５に付着した塵埃を除去するブレード６とを含んで構成されている。
　クリーニングローラ２、ブラシローラ４及び金属ローラ５は、それぞれ左右の側板部１１、１２（図２、３を参照）に回転可能に軸支され、搬送ローラ３Ａ、３Ｂは、それぞれ左右の取付板１３Ａ、１３Ｂ、１４Ａ、１４Ｂ（図２、３を参照）に回転可能に軸支されている。また、クリーニング装置１には、クリーニングローラ２、ブラシローラ４及び金属ローラ５に電荷を付与するための図示しない電荷付与機構が設けられている。
　クリーニングローラ２は、被クリーニング体Ｓの下面Ｓ１上に付着している塵埃を静電気力を利用して吸着させる電荷（プラス又はマイナスの電荷）を表面に帯電し得るものであり、クリーニングローラ２表面の帯電性を利用して塵埃を静電気力により吸着するものである。
　搬送ローラ３Ａ、３Ｂは、被クリーニング体Ｓを搬送するためのローラであり、鉄やステンレスなどの金属材料で構成されている。搬送ローラ３Ａ、３Ｂの外径は、クリーニングローラ２の外径よりも小さく設定されており、装置のコンパクト化及びクリーニングローラ２の前後の空間をできるだけ埋める（狭くする）という観点から、搬送ローラ３Ａ、３Ｂの外径は、クリーニングローラ２の半径以下に設定することが好ましい。
　また、クリーニングローラ２と搬送ローラ３Ａとの水平方向における軸（中心軸）間距離Ｗ１が、クリーニングローラ２の半径Ｒ１と搬送ローラ３Ａの半径ｒ１との合計値よりも小さく（Ｗ１＜Ｒ１＋ｒ１）なるように、搬送ローラ３Ａがクリーニングローラ２の近傍に配設されている。
　同様に、クリーニングローラ２と搬送ローラ３Ｂとの水平方向における軸間距離Ｗ２が、クリーニングローラ２の半径Ｒ１と搬送ローラ３Ｂの半径ｒ２との合計値よりも小さく（Ｗ２＜Ｒ１＋ｒ２）なるように、搬送ローラ３Ｂがクリーニングローラ２の近傍に配設されている。なお、半径ｒ１と半径ｒ２は同じ大きさに設定されている（ｒ１＝ｒ２）。
　また、搬送ローラ３Ａ、３Ｂの周面上部とクリーニングローラ２の周面上部とが同一平面上に位置するように、搬送ローラ３Ａ、３Ｂ及びクリーニングローラ２が配設されている。換言すれば、搬送ローラ３Ａ、３Ｂと被クリーニング体Ｓとの接触点を通る搬送ローラ３Ａ、３Ｂの接線と、クリーニングローラ２と被クリーニング体Ｓとの接触点を通るクリーニングローラ２の接線とが同一平面上に位置するように、搬送ローラ３Ａ、３Ｂ及びクリーニングローラ２が配設されている。
　搬送ローラ３Ａ、３Ｂは金属材料で構成されている。そのため、搬送ローラ３Ａ、３Ｂの外径が小さくても剛性を発揮することができ、搬送ローラ３Ａ、３Ｂの撓みを小さくすることができ、装置のコンパクト化を図ることが可能となっている。
　また、図２、３に示すように、クリーニングローラ２両端の回転軸には、プーリー７Ａ、７Ｂが配設され、搬送ローラ３Ａ両端の回転軸には、プーリー８Ａ、８Ｂが配設され、搬送ローラ３Ｂ両端の回転軸には、プーリー９Ａ、９Ｂが配設されている。
　一端側のプーリー７Ａ、８Ａ、９Ａには丸ベルト１０Ａが巻き掛けられ、他端側のプーリー７Ｂ、８Ｂ、９Ｂには丸ベルト１０Ｂが巻き掛けられている。プーリー７Ａ、７Ｂは、そのピッチ円直径がクリーニングローラ２の外径と一致するように構成されている。またプーリー８Ａ、８Ｂは、そのピッチ円直径が搬送ローラ３Ａの外径と一致するように構成され、プーリー９Ａ、９Ｂは、そのピッチ円直径が搬送ローラ３Ｂの外径と一致するように構成されている。
　上記構成によって、搬送ローラ３Ａ、３Ｂがクリーニングローラ２の回転駆動に追従して回転駆動される。すなわち、搬送ローラ３Ａ、３Ｂがクリーニングローラ２と同じ周速度で、同一方向に回転駆動されるように構成されている。
　また、クリーニングローラ２の斜め下方には、クリーニングローラ２の表面に接触しながら相互に逆方向に回転し、クリーニングローラ２の表面の塵埃を除去するブラシローラ４が設けられている。
　ブラシローラ４は、クリーニングローラ２との間に電位差を生じるように、クリーニング時にクリーニングローラ２の表面に帯電させる電荷と同符号の電位が印加される構成となっている。ブラシローラ４は、芯金４ａに合成樹脂製のブラシ部（毛部）４ｂを有するものである。なお、ブラシ部４ｂの断面外形状は、特に限定されるものではなく、例えば、円形状、楕円形状、多角形形状、波曲線形状、又は曲線と直線とが組み合わされて構成された形状のものなどが採用され得る。
　ブラシローラ４の斜め下方には、ブラシローラ４に対し連れ回り方向に接触しながら回転する金属ローラ５が配設されている。この金属ローラ５も、クリーニングローラ２との間で所定の電位差が生じるように、クリーニング時にクリーニングローラ２の表面に帯電させる電荷と同符号の電位が印加される構成となっている。この金属ローラ５は、ブラシローラ４から塵埃を取り除くものである。
　金属ローラ５の近傍には、金属ローラ５の表面上に付着する塵埃を先端掻き取り部にて掻き取るブレード６が配設され、ブレード６の先端部によって金属ローラ５の表面上に付着する塵埃が掻き取られ、図示しない塵埃回収部に回収される構成になっている。ブレード６は、例えば、合成樹脂製（例えば、熱硬化性ウレタン樹脂）の弾性体などで形成されている。
　図２は、実施の形態に係るクリーニング装置１を正面上方から見た斜視図であり、図３は、クリーニング装置１を背面上方から見た斜視図である。また、図４は、図２におけるIV－IV線要部断面図である。なお、図４では図を見易いものとするため、部材断面のハッチングを省略している。
　クリーニング装置１は、一体構造としてユニット化されており、ユニット上部に配設されたクリーニングローラ２及び搬送ローラ３Ａ、３Ｂと、ユニット内部に配設されたブラシローラ４、金属ローラ５及びブレード６とを備えている。
　また、クリーニング装置１は、クリーニングローラ２、ブラシローラ４及び金属ローラ５が回転可能に支持される左右の側板部１１、１２と、搬送ローラ３Ａが回転可能に支持される左右の取付板１３Ａ、１３Ｂと、搬送ローラ３Ｂが回転可能に支持される左右の取付板１４Ａ、１４Ｂと、側板部１１、１２が互いに連結される連結部材１５、１６などを含んで構成されている。取付板１３Ａ、１４Ａは側板部１１に固定され、取付板１３Ｂ、１４Ｂは側板部１２に固定されている。
　側板部１１、１２は、絶縁性（例えば、ポリアセタ―ルなどの樹脂製）の材質で構成され、側板部１１、１２には、クリーニングローラ２、ブラシローラ４及び金属ローラ５の各回転軸を取り付けるための取付孔（いずれも図示せず）が所定の位置にそれぞれ形成されている。
　これら各取付孔には、クリーニングローラ２、ブラシローラ４及び金属ローラ５の回転軸が挿着される軸受（図示せず）がそれぞれ組み込まれ、図示しないこれら各軸受の外輪部に電極部（図示しない）が電気的に接触して通電可能な状態で組み込まれている。これら電極部に通電するための通電コネクタが設けられ、外部から所定の電圧が印加される構成になっている。
　図示しない前記電極部から前記軸受を介して、クリーニングローラ２、ブラシローラ４及び金属ローラ５に対し、それぞれ所定の電荷を与えることが可能になっている。これら各取付孔に組み込まれた前記軸受及び前記電極部を含んで電荷付与機構が構成されている。
　側板部１１に挿着されたクリーニングローラ２の回転軸の端部には、絶縁性の樹脂等の絶縁体で形成されたローラ駆動用歯車１７Ａとアイドル歯車１８とが装着され、ローラ駆動用歯車１７Ａには、図示しないクリーニングローラ駆動用モータの回転力が伝達される歯車（図示せず）が歯合されるようになっている。
　また、側板部１１に挿着された金属ローラ５の回転軸の端部には、絶縁性の樹脂等の絶縁体で形成された金属ローラ用歯車１９Ａが装着されている。金属ローラ用歯車１９Ａは、アイドル歯車１８と歯合されており、金属ローラ５は、クリーニングローラ２の回転駆動に伴って回転駆動されるようになっている。
　また、図３に示すように側板部１２に挿着されたクリーニングローラ２の回転軸の端部には、絶縁性の樹脂等の絶縁体で形成されたローラ駆動用歯車１７Ｂが装着され、ローラ駆動用歯車１７Ｂには、図示しないクリーニングローラ駆動用モータの回転力が伝達される歯車（図示せず）が歯合可能に構成されている。
　また、側板部１２に挿着された金属ローラ５の回転軸の端部には、絶縁性の樹脂等の絶縁体で形成された金属ローラ用歯車１９Ｂが装着され、ブラシローラ４の回転軸の端部には、絶縁性の樹脂等の絶縁体で形成されたブラシローラ用歯車２０が装着されている。ブラシローラ用歯車２０は、金属ローラ用歯車１９Ｂと歯合されており、ブラシローラ４は、金属ローラ５の回転駆動に伴って回転駆動されるようになっている。
　また、図４に示すように、クリーニングローラ２は、芯金（芯棒）２ａと、芯金２を覆う円筒状の内層部２ｂと、内層部２ｂを覆う薄膜円筒状の外層部２ｃとを含んで構成されている。内層部２ｂには、導電性を有する弾性部材（例えば、カーボン（導電材）を含むポリエステル系ウレタン等）が用いられ、外層部２ｃには、ウレタン樹脂、アクリル混合ウレタンあるいはフッ素混合ウレタンなどの材料が用いられ、被クリーニング体Ｓ表面に付着する塵埃を静電気により吸着する電荷を帯電し得るようになっている。なお、外層部２ｃの厚さは、帯電特性などの観点から２μｍ～５００μｍが好ましく、より好ましくは、５μｍ～５０μｍである。
　また、図４に示すように、ブレード６はブレード取付部２１に固定されている。ブレード６の下側には、このブレード６により剥離された塵埃が収集される異物回収部（図示せず）が取り付けられている。
　上記実施の形態に係るクリーニング装置１を用いた場合、搬入部６３から搬送されてきた被クリーニング体Ｓは、クリーニング装置１の搬送ローラ３Ｂによって搬入部６３とクリーニング装置１との空間内に落ち込むことなく、クリーニングローラ２まで精度良く搬送されることとなる。
　そして、被クリーニング体Ｓの下面Ｓ１に付着している塵埃にクリーニングローラ２が接触すると、塵埃が被クリーニング体Ｓの下面Ｓ１から除去され、クリーニングローラ２の表面に吸着される。クリーニングローラ２が回転して、クリーニングローラ２の表面に吸着されている塵埃がブラシローラ４と接触すると、塵埃はブラシローラ４によってクリーニングローラ２から掻き取られ、塵埃は金属ローラ５の表面に吸着される。そして、金属ローラ５の回転に伴い、金属ローラ５の表面に付着している塵埃はブレード６によって掻き取られる。
　また、クリーニングローラ２上を通過した被クリーニング体Ｓは、クリーニング装置１の搬送ローラ３Ａによってクリーニング装置１と搬出部６４との空間内に落ち込むことなく、搬出部６４まで精度良く搬送されることとなる。
　上記実施の形態に係るクリーニング装置１によれば、クリーニングローラ２の前後に、クリーニングローラ２の外径よりも小さい外径の搬送ローラ３Ａ、３Ｂが近設されているため、クリーニングローラ２の前後に生じる空間が小径の搬送ローラ３Ａ、３Ｂによって埋められる（狭められる）。その結果、クリーニングローラ２の前後における被クリーニング体Ｓの搬入及び搬出を精度良く行うことができ、被クリーニング体Ｓの搬送性を向上させることができる。
　また、クリーニング装置１によれば、搬送ローラ３Ａ、３Ｂの周面上部とクリーニングローラ２の周面上部とが同一平面上に位置しているので、被クリーニング体Ｓが剛性の低い薄物であっても、その搬送を精度良く行うことができる。
　また、クリーニング装置１によれば、プーリー７Ａ、７Ｂ、プーリー８Ａ、８Ｂ、プーリー９Ａ、９Ｂ、及び丸ベルト１０Ａ、１０Ｂを含んで構成された動力伝達機構により、搬送ローラ３Ａ、３Ｂが、クリーニングローラ２と同じ周速度で回転駆動されるように構成されているので、被クリーニング体Ｓが、特に薄物で剛性の低いシートやフィルム状のものであったとしても、クリーニングローラ２の前後で被クリーニング体Ｓに弛みや位置ずれ等が生じることなく被クリーニング体Ｓを搬送することができ、被クリーニング体Ｓの搬送性を向上させる効果を高めることができる。
　また、クリーニング装置１によれば、搬送ローラ３Ａ、３Ｂがクリーニングローラ２の回転駆動に伴って回転駆動されるように構成されているので、被クリーニング体Ｓの搬送速度や搬送方向を変える場合、クリーニングローラ２の回転速度や回転方向を制御するだけで良い。したがって、搬送ローラ３Ａ、３Ｂの駆動を個別に制御する必要がなく、クリーニングローラ２と搬送ローラ３Ａ、３Ｂの周速度を容易に同期させることができ、また、装置のコンパクト化を図ることができる。
　また、クリーニング装置１によれば、クリーニングローラ２にブラシローラ４を接触させているので、クリーニングローラ２表面に存在する塵埃をブラシローラ４で効率良く除去することが可能となる。転写ローラが設けられていた従来の装置（図７参照）よりも塵埃の除去効率を高めることができ、また、塵埃除去効率の低下を抑えることができ、クリーニングローラ２表面の清浄度を高めることもできる。
　また、クリーニング装置１によれば、クリーニングローラ２の表面に静電気力で付着している異物がブラシローラ４によって掻き取られ、ブラシローラ４により掻き取られた異物が静電気力により金属ローラ５に吸着され、金属ローラ５に吸着した塵埃がブレード６によって金属ローラ５から掻き取られる構造になっている。したがって、クリーニングローラ２による異物の吸着除去動作が安定して継続できるとともに、従来使用されていた転写ローラを用いない構造とすることで、装置のコスト削減、及び構造のコンパクト化を図ることができる。
　図５は、実施の形態に係るクリーニング装置を２連配置した場合のレイアウトを模式的に示した側面図である。なお、図１に示したクリーニング装置１と同一機能を有する構成部品には同一符号を付し、その説明を省略することとする。
　図５に示すように、搬入部６３と搬出部６４との間にクリーニング装置１Ａ、１Ｂが２連配置され、各クリーニング装置１Ａ、１Ｂでは、クリーニングローラ２Ａ、２Ｂに対して、クリーニングローラ２Ａ、２Ｂの外周面に帯電される電荷の符号が逆となるように帯電制御が行われるようになっている。
　このようにすれば、マイナスに帯電させたクリーニングローラ２Ａで、被クリーニング材Ｓの下面Ｓ１に付着するプラス帯電性の塵埃を除去し、プラスに帯電させたクリーニングローラ２Ｂで、マイナス帯電性の塵埃を除去することができ、除去できる塵埃の範囲を広げることが可能となる。
　また、クリーニングローラ２Ａ、２Ｂの間には、クリーニング装置１Ａの搬送ローラ３Ａとクリーニング装置１Ｂの搬送ローラ３Ｂが位置するので、クリーニングローラ２Ａ、２Ｂ間の空間が隣接する搬送ローラ３Ａ、３Ｂによって埋められる（狭められる）。そのため、被クリーニング材Ｓがシートやフィルムなどの剛性の低い薄物であっても、このような被クリーニング材Ｓがクリーニングローラ２Ａ、２Ｂ間に落ち込むことがなくなり、クリーニング装置１Ａからクリーニング装置１Ｂへの被クリーニング体Ｓの搬送性を向上させることが可能となる。
　なお、上記した実施の形態に係るクリーニング装置１では、クリーニングローラ２と搬送ローラ３Ａ、３Ｂとの周速度を同期させる手段として、プーリー７Ａ、７Ｂ、プーリー８Ａ、８Ｂ、プーリー９Ａ、９Ｂを使用したが、図６に示すように、別の実施の形態に係るクリーニング装置１Ｃでは、上記したプーリー７Ａ、７Ｂ、プーリー８Ａ、８Ｂ、プーリー９Ａ、９Ｂに代えて、ギア（歯車）やローラを適用することができる。
　ギア（歯車）やローラを適用する場合、クリーニングローラ２と搬送ローラ３Ａ、３Ｂとの回転方向を一致させる必要がある。そのため、図６に示すように、クリーニングローラ２の回転軸に装着されたギア（又はローラ）３０と、搬送ローラ３Ａの回転軸に装着されたギア（又はローラ）３１Ａとの間に、アイドルギア（又はアイドルローラ）３２Ａが介装され、また、ギア（又はローラ）３０と、搬送ローラ３Ｂの回転軸に装着されたギア（又はローラ）３１Ｂとの間に、アイドルギア（又はアイドルローラ）３２Ｂが介装された構成になっている。
　ギア３０は、そのピッチ円直径がクリーニングローラ２の外径と一致するように構成されている。また、ギア３１Ａ、３１Ｂは、そのピッチ円直径が搬送ローラ３Ａ、３Ｂの外径とそれぞれ一致するように構成され、搬送ローラ３Ａ、３Ｂの他端側のギア（図示せず）のピッチ円直径も搬送ローラ３Ａ、３Ｂの外径と一致するように構成されている。
　上記構成によっても、搬送ローラ３Ａ、３Ｂがクリーニングローラ２の回転駆動に追従して回転駆動される。すなわち、搬送ローラ３Ａ、３Ｂをクリーニングローラ２と同じ周速度で、同一方向に回転駆動させることが可能となる。
　また、上記実施の形態では、クリーニング装置１又はクリーニング装置１Ａ、１Ｂを被クリーニング体Ｓの下側に配設し、被クリーニング体Ｓの下面Ｓ１をクリーニングする場合について説明したが、クリーニング装置１又はクリーニング装置１Ａ、１Ｂを被クリーニング体Ｓの下側Ｓ１に配設し、クリーニング装置１、クリーニング装置１Ａ、１Ｂ又は別のクリーニング装置を上側に配設して、被クリーニング体Ｓの上下面を同時にクリーニングするシステム構成とすることも可能である。
　フィルム、シート、ガラス基板、プリント基板、プラスチック板など半導体装置搭載用として多く使用される基板等の表面に存在している塵埃を除去するクリーニング装置であって、半導体装置分野などに広く利用可能である。
１、１Ａ、１Ｂ、１Ｃ　　クリーニング装置
２、２Ａ、２Ｂ　　クリーニングローラ
３Ａ、３Ｂ　搬送ローラ
４　ブラシローラ
５　金属ローラ
６　ブレード
７Ａ、７Ｂ　プーリー
８Ａ、８Ｂ　プーリー
９Ａ、９Ｂ　プーリー
１０Ａ、１０Ｂ　丸ベルト
１１、１２　側板部
１３Ａ、１３Ｂ、１４Ａ、１４Ｂ　取付板
１５、１６　連結板
１７Ａ、１７Ｂ　クリーニングローラ用歯車
１８　アイドル歯車
１９Ａ、１９Ｂ　金属ローラ用歯車
２０　ブラシローラ用歯車
２１　取付部

Claims (6)

  1. 　被クリーニング体の表面に存在する塵埃を静電気力を利用して除去するクリーニング装置であって、
    　前記被クリーニング体の下面に接触させるクリーニングローラと、
    　該クリーニングローラの前後に近設される搬送ローラとを備え、
    　これら搬送ローラの外径が前記クリーニングローラの外径よりも小さく設定されていることを特徴とするクリーニング装置。
  2. 　前記搬送ローラの周面上部と前記クリーニングローラの周面上部とが同一平面上に位置していることを特徴とする請求項１記載のクリーニング装置。
  3. 　前記搬送ローラが前記クリーニングローラと同じ周速度で回転駆動されるように構成されていることを特徴とする請求項１又は請求項２記載のクリーニング装置。
  4. 　前記搬送ローラが前記クリーニングローラの回転駆動に伴って回転駆動されるように構成されていることを特徴とする請求項１～３のいずれかの項に記載のクリーニング装置。
  5. 　前記搬送ローラが金属材料で構成されていることを特徴とする請求項１～４のいずれかの項に記載のクリーニング装置。
  6. 　前記クリーニングローラに接触して該クリーニングローラの表面に存在する塵埃を除去するブラシ体と、
    　該ブラシ体に接触して該ブラシ体から塵埃を受取る金属ローラと、
    　該金属ローラに付着した塵埃を除去するブレード体と、
    　前記クリーニングローラ、前記ブラシ体、及び前記金属ローラに電荷を付与する電荷付与機構とを備えていることを特徴とする請求項１～５のいずれかの項に記載のクリーニング装置。
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