WO2014185771A3 - Capteur d'humidité capacitif - Google Patents

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WO2014185771A3 PCT/MY2014/000093 MY2014000093W WO2014185771A3 WO 2014185771 A3 WO2014185771 A3 WO 2014185771A3 MY 2014000093 W MY2014000093 W MY 2014000093W WO 2014185771 A3 WO2014185771 A3 WO 2014185771A3
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Abstract

La présente invention concerne un capteur d'humidité capacitif (100) comprenant un substrat semi-conducteur (101), une couche isolante (103) reposant sur le substrat semi-conducteur (101), une membrane sensible (105), une pluralité d'électrodes interdigitées (107) et une pluralité de contacts d'électrodes (109). L'invention est caractérisée en ce que des connexions de plan de masse (111) et les électrodes interdigitées (107) sont prises en sandwich par la membrane sensible (105). Les connexions de plan de masse (111) et la membrane sensible (105) les prenant en sandwich sont conçues pour éliminer la capacité parasite et permettre une utilisation optimale de l'effet du champ de bord respectivement.
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