WO2014049743A1

WO2014049743A1 - Encoder, manufacturing method for encoder, and servo system

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Publication number: WO2014049743A1
Application number: PCT/JP2012/074770
Authority: WO
Inventors: 宏樹近藤; 正信原田
Original assignee: 株式会社安川電機
Priority date: 2012-09-26
Filing date: 2012-09-26
Publication date: 2014-04-03
Also published as: CN104620081A

Abstract

[Problem] To improve reliability. [Solution] An encoder (100) comprises a rotary body (R) and an object to be detected (170) having a through-hole (171) and maintained on the rotary body (R). The rotary body (R) has a disc (110) having a through-hole (111) and on which the object to be detected (170) is fixed by being brought into contact and bonded in the rotation shaft center (AX) direction. The inner diameter (L3) of the through-hole (111) in the disc (110) is formed to be larger than the inner diameter (L4) of the through-hole (171) in the object to be detected (170). Moreover, the rotary body (R) has a groove (190) formed on the inner peripheral edge of the disc (110).

Description

エンコーダ、エンコーダの製造方法、サーボシステムEncoder, encoder manufacturing method, servo system

　開示の実施形態は、エンコーダ、エンコーダの製造方法、サーボシステムに関する。 The disclosed embodiment relates to an encoder, an encoder manufacturing method, and a servo system.

　特許文献１には、回転ディスクに固着された磁石の磁界を検出して多回転量を検出するエンコーダが記載されている。 Patent Document 1 describes an encoder that detects a multi-rotation amount by detecting a magnetic field of a magnet fixed to a rotating disk.

特許第４４５３０３７号公報Japanese Patent No. 4453037

　一般に、磁石は高温になると減磁する性質を有する。このため、上記従来技術のエンコーダでは、モータ等の検出対象の発熱や外気温の上昇等により、磁石が減磁して多回転の検出に十分な磁束が得られなくなり、検出精度が低下する可能性があった。 Generally, magnets have the property of demagnetizing at high temperatures. For this reason, in the above-described conventional encoder, the magnet is demagnetized due to heat generation of a detection target such as a motor or an increase in the outside air temperature, so that a sufficient magnetic flux for multi-rotation detection cannot be obtained, and detection accuracy may be lowered. There was sex.

　そこで、本発明は、このような問題に鑑みてなされたものであり、本発明の目的とするところは、磁石の減磁による検出精度の低下を抑制することが可能なエンコーダ、エンコーダの製造方法、サーボシステムを提供することにある。 Accordingly, the present invention has been made in view of such problems, and an object of the present invention is to provide an encoder capable of suppressing a decrease in detection accuracy due to demagnetization of a magnet, and an encoder manufacturing method To provide a servo system.

　上記課題を解決するため、本発明の一の観点によれば、回転体と、
　上記回転体に保持された磁石と、
　上記磁石の上記回転体とは反対側に対向して配置され、上記磁石が発生する磁気を検出する磁気検出部と、を備え、
　上記磁石は、
　上記磁気検出部側の表面の磁束密度が上記回転体側の表面の磁束密度よりも大きくなるように構成される、エンコーダが提供される。 In order to solve the above problems, according to one aspect of the present invention, a rotating body,
A magnet held by the rotating body;
A magnetism detection unit that is arranged opposite to the rotating body of the magnet and that detects magnetism generated by the magnet,
The magnet
There is provided an encoder configured such that the magnetic flux density on the surface on the magnetic detection unit side is larger than the magnetic flux density on the surface on the rotating body side.

　また、上記課題を解決するため、本発明の別の観点によれば、回転体と、上記回転体に保持された磁石と、上記磁石の上記回転体とは反対側に対向して配置され、上記磁石が発生する磁気を検出する磁気検出部と、を備えたエンコーダの製造方法であって、
　着磁装置により、磁石素材を着磁ヨークとバックヨークとの間で着磁して上記磁石を製造することと、
　固定装置により、上記着磁ヨーク側の表面が上記磁気検出部側、上記バックヨーク側の表面が上記回転体側となるように、上記磁石を上記回転体に固定することと、を有する、エンコーダの製造方法が提供される。 In order to solve the above-mentioned problem, according to another aspect of the present invention, a rotating body, a magnet held by the rotating body, and the magnet is disposed opposite to the rotating body, A magnetic detection unit for detecting magnetism generated by the magnet, and an encoder manufacturing method comprising:
Magnetizing a magnet material between a magnetized yoke and a back yoke by a magnetizing device to produce the magnet;
Fixing the magnet to the rotating body by a fixing device so that the surface on the magnetizing yoke side is on the magnetic detecting unit side and the surface on the back yoke side is on the rotating body side. A manufacturing method is provided.

　また、上記課題を解決するため、本発明の別の観点によれば、回転可能なガラス製のディスクと、
　上記ディスクの一方側の表面に固定された磁石と、
　上記ディスクの他方側の表面に固定されると共に、検出対象に連結されたハブと、
　上記磁石に対向して配置され、上記磁石が発生する磁気を検出する磁気検出部と、を備え、
　上記磁気検出部は、
　回転される上記ディスク、上記磁石、及び上記ハブに対して軸受を介さずに固定される、エンコーダが提供される。 Further, in order to solve the above problems, according to another aspect of the present invention, a rotatable glass disk,
A magnet fixed to the surface of one side of the disk;
A hub fixed to the surface of the other side of the disk and connected to a detection target;
A magnetism detection unit disposed opposite to the magnet and detecting magnetism generated by the magnet,
The magnetic detection unit is
An encoder is provided that is fixed to the rotating disk, the magnet, and the hub without bearings.

　また、上記課題を解決するため、本発明の別の観点によれば、シャフトを回転させ、上記シャフトの位置を検出するエンコーダを備えたモータと、
　上記エンコーダの検出結果に基づいて上記モータの駆動制御を行うモータ制御装置と、を備え、
　上記エンコーダは、
　回転体と、
　上記回転体に保持された磁石と、
　上記磁石の上記回転体とは反対側に対向して配置され、上記磁石が発生する磁気を検出する磁気検出部と、を備え、
　上記磁石は、
　上記磁気検出部側の表面の磁束密度が上記回転体側の表面の磁束密度よりも大きくなるように構成される、サーボシステムが提供される。 In order to solve the above problem, according to another aspect of the present invention, a motor including an encoder that rotates a shaft and detects the position of the shaft;
A motor control device that performs drive control of the motor based on the detection result of the encoder,
The encoder is
A rotating body,
A magnet held by the rotating body;
A magnetism detection unit that is arranged opposite to the rotating body of the magnet and that detects magnetism generated by the magnet,
The magnet
There is provided a servo system configured such that the magnetic flux density on the surface on the magnetic detection unit side is larger than the magnetic flux density on the surface on the rotating body side.

　以上説明したように本発明によれば、磁石の減磁による検出精度の低下を抑制することができる。 As described above, according to the present invention, it is possible to suppress a decrease in detection accuracy due to demagnetization of the magnet.

一実施形態に係るサーボシステムについて説明するための説明図である。It is explanatory drawing for demonstrating the servo system which concerns on one Embodiment. 同実施形態に係るエンコーダについて説明するための説明図である。It is explanatory drawing for demonstrating the encoder which concerns on the same embodiment. 同実施形態に係るエンコーダについて説明するための説明図である。It is explanatory drawing for demonstrating the encoder which concerns on the same embodiment. 同実施形態に係る回転体、被検出体、光学モジュール、及び磁気検出部について説明するための説明図である。It is explanatory drawing for demonstrating the rotary body which concerns on the embodiment, a to-be-detected body, an optical module, and a magnetic detection part. 同実施形態に係る被検出体及び磁気検出部について説明するための説明図である。It is explanatory drawing for demonstrating the to-be-detected body and magnetic detection part which concern on the same embodiment. 同実施形態に係る着磁部を製造する方法について説明するための説明図である。It is explanatory drawing for demonstrating the method to manufacture the magnetization part which concerns on the same embodiment. 同実施形態に係る着磁部を製造する方法について説明するための説明図である。It is explanatory drawing for demonstrating the method to manufacture the magnetization part which concerns on the same embodiment. 同実施形態に係る位置データ生成部について説明するための説明図である。It is explanatory drawing for demonstrating the position data generation part which concerns on the same embodiment. 同実施形態に係る外部電源供給時のＡ相パルス信号及びＢ相パルス信号の波形の一例について説明するための説明図である。It is explanatory drawing for demonstrating an example of the waveform of the A phase pulse signal at the time of external power supply which concerns on the embodiment, and a B phase pulse signal. 同実施形態に係る外部電源供給時のＡ相パルス信号及びＢ相パルス信号の波形の一例について説明するための説明図である。It is explanatory drawing for demonstrating an example of the waveform of the A phase pulse signal at the time of external power supply which concerns on the embodiment, and a B phase pulse signal. 同実施形態に係るバックアップ電源供給時のＡ相パルス信号、Ｂ相パルス信号及び電源制御パルス信号の波形の一例について説明するための説明図である。It is explanatory drawing for demonstrating an example of the waveform of the A phase pulse signal at the time of backup power supply concerning the embodiment, a B phase pulse signal, and a power supply control pulse signal. 同実施形態に係るバックアップ電源供給時のＡ相パルス信号、Ｂ相パルス信号及び電源制御パルス信号の波形の一例について説明するための説明図である。It is explanatory drawing for demonstrating an example of the waveform of the A phase pulse signal at the time of backup power supply concerning the embodiment, a B phase pulse signal, and a power supply control pulse signal. 磁石と非磁性体とで被検出体を構成する変形例に係る被検出体及び磁気検出部について説明するための説明図である。It is explanatory drawing for demonstrating the to-be-detected body and magnetic detection part which concern on the modification which comprises a to-be-detected body with a magnet and a nonmagnetic body.

　以下に添付図面を参照して、一実施形態について詳細に説明する。なお、本明細書及び図面では、実質的に同一の機能を有する構成要素は、原則として同一の符号で表す。そして、これらの構成要素についての重複説明は、適宜省略する。 Hereinafter, an embodiment will be described in detail with reference to the accompanying drawings. In the present specification and drawings, components having substantially the same function are represented by the same reference numerals in principle. A duplicate description of these components will be omitted as appropriate.

＜１．サーボシステム＞
　まず、図１を参照しつつ、本実施形態に係るサーボシステムの構成について説明する。図１は、本実施形態に係るサーボシステムの構成の一例について説明するための説明図である。 <1. Servo system>
First, the configuration of the servo system according to the present embodiment will be described with reference to FIG. FIG. 1 is an explanatory diagram for explaining an example of a configuration of a servo system according to the present embodiment.

　図１に示すように、本実施形態に係るサーボシステムＳは、サーボモータＳＭ（モータの一例）と、制御装置ＣＴ（モータ制御装置の一例）とを有する。サーボモータＳＭは、エンコーダ１００と、モータＭとを有する。 As shown in FIG. 1, the servo system S according to the present embodiment includes a servo motor SM (an example of a motor) and a control device CT (an example of a motor control device). The servo motor SM includes an encoder 100 and a motor M.

　モータＭは、エンコーダ１００を含まない動力発生源の一例である。このモータＭ単体をサーボモータという場合もあるが、本実施形態では、エンコーダ１００を含む構成をサーボモータＳＭということにする。モータＭは、シャフトＳＨ（検出対象の一例）を有しており、このシャフトＳＨを回転軸心ＡＸ周りに回転させることにより、回転力を出力する。 The motor M is an example of a power generation source that does not include the encoder 100. Although the motor M alone may be referred to as a servo motor, in this embodiment, a configuration including the encoder 100 is referred to as a servo motor SM. The motor M has a shaft SH (an example of a detection target), and outputs a rotational force by rotating the shaft SH around the rotation axis AX.

　なお、モータＭは、例えば位置データ等のようなエンコーダ１００の検出結果を表すデータに基づいて制御されるモータであれば特に限定されるものではない。また、モータＭは、動力源として電気を使用する電動式モータである場合に限定されるものではなく、例えば、油圧式モータ、エア式モータ、蒸気式モータ等の他の動力源を使用したモータであってもよい。但し、説明の便宜上、以下ではモータＭが電動式モータである場合について説明する。 Note that the motor M is not particularly limited as long as it is a motor controlled based on data representing the detection result of the encoder 100 such as position data. The motor M is not limited to an electric motor that uses electricity as a power source. For example, a motor using another power source such as a hydraulic motor, an air motor, or a steam motor. It may be. However, for convenience of explanation, a case where the motor M is an electric motor will be described below.

　エンコーダ１００は、モータＭの回転力出力側（負荷側ともいう。）とは反対側（反負荷側ともいう。）のシャフトＳＨに連結されている。なお、エンコーダ１００の配置位置は特に限定されるものではなく、エンコーダ１００は、例えば減速機や回転方向変換機、ブレーキ等の他の機構を介してシャフトＳＨ等に連結されてもよい。そして、エンコーダ１００は、シャフトＳＨの位置（角度）を検出することにより、モータＭの位置ｘ（回転角度ともいう。）を検出して、その位置ｘを表す位置データを出力する。 The encoder 100 is connected to a shaft SH on the side opposite to the torque output side (also referred to as load side) of the motor M (also referred to as anti-load side). The arrangement position of the encoder 100 is not particularly limited, and the encoder 100 may be connected to the shaft SH or the like via another mechanism such as a speed reducer, a rotation direction changer, or a brake. The encoder 100 detects the position (angle) of the shaft SH, thereby detecting the position x (also referred to as a rotation angle) of the motor M, and outputs position data representing the position x.

　なお、エンコーダ１００は、モータＭの位置ｘに加えて又は代えて、モータＭの速度（回転速度、角速度等ともいう。）及びモータＭの加速度（回転加速度、角加速度等ともいう。）の少なくとも一方を検出してもよい。この場合、モータＭの速度及び加速度は、例えば、位置ｘを時間で１又は２階微分したり検出信号を所定時間の間カウントする等の処理により検出することが可能である。但し、説明の便宜上、以下ではエンコーダ１００が検出する物理量は位置ｘであるとして説明する。 In addition to or instead of the position x of the motor M, the encoder 100 includes at least the speed of the motor M (also referred to as rotational speed, angular velocity, etc.) and the acceleration of the motor M (also referred to as rotational acceleration, angular acceleration, etc.). One may be detected. In this case, the speed and acceleration of the motor M can be detected by, for example, processing such as differentiating the position x by the first or second order with respect to time or counting the detection signal for a predetermined time. However, for convenience of explanation, the following description will be made assuming that the physical quantity detected by the encoder 100 is the position x.

　制御装置ＣＴは、エンコーダ１００から出力される位置データを取得して、該位置データに基づいて、モータＭの回転を制御する。従って、モータＭとして電動式モータが使用される本実施形態では、制御装置ＣＴは、位置データに基づいて、モータＭに印加する電流又は電圧等を制御することにより、モータＭの回転を制御する。更に、制御装置ＣＴは、上位制御装置（図示せず）から上位制御信号を取得して、該上位制御信号に表された位置等を実現可能な回転力がシャフトＳＨから出力されるように、モータＭを制御することも可能である。なお、モータＭが、油圧式、エア式、蒸気式などの他の動力源を使用する場合には、制御装置ＣＴは、それらの動力源の供給を制御することにより、モータＭの回転を制御することが可能である。 The control device CT acquires the position data output from the encoder 100 and controls the rotation of the motor M based on the position data. Therefore, in this embodiment in which an electric motor is used as the motor M, the control device CT controls the rotation of the motor M by controlling the current or voltage applied to the motor M based on the position data. . Further, the control device CT acquires a high-order control signal from a high-order control device (not shown), and a rotational force capable of realizing the position or the like represented by the high-order control signal is output from the shaft SH. It is also possible to control the motor M. When the motor M uses another power source such as a hydraulic type, an air type, or a steam type, the control device CT controls the rotation of the motor M by controlling the supply of these power sources. Is possible.

＜２．エンコーダ＞
　次に、図２～図５を参照しつつ、本実施形態に係るエンコーダ１００の構成について説明する。図２～図５は、本実施形態に係るエンコーダの構成の一例について説明するための説明図である。なお、図２は、本実施形態に係るエンコーダの構成の一例を表す断面図である。図３は、図２中のＡ部の部分拡大図である。図４は、本実施形態に係る回転体、被検出体、光学モジュール、及び磁気検出部の構成の一例を表す平面図である。図５は、本実施形態に係る被検出体及び磁気検出部の構成の一例を表す平面図である。 <2. Encoder>
Next, the configuration of the encoder 100 according to the present embodiment will be described with reference to FIGS. 2 to 5 are explanatory diagrams for explaining an example of the configuration of the encoder according to the present embodiment. FIG. 2 is a cross-sectional view illustrating an example of the configuration of the encoder according to the present embodiment. FIG. 3 is a partially enlarged view of part A in FIG. FIG. 4 is a plan view illustrating an example of the configuration of the rotating body, the detection target, the optical module, and the magnetic detection unit according to the present embodiment. FIG. 5 is a plan view illustrating an example of the configuration of the detection target and the magnetic detection unit according to the present embodiment.

　ここで、エンコーダ１００の構成の説明の便宜上、以下では上下等の方向を次のように定める。すなわち、回転軸心ＡＸにおける反負荷側方向であるＺ軸正の方向を「上」や「上方」と表し、逆の負荷側方向であるＺ軸負の方向を「下」や「下方」と表す。但し、本実施形態に係るエンコーダ１００の各構成の位置関係は、上下等の概念に特に限定されるものではない。また、説明の便宜に応じて、ここで定めた方向について他の表現等をしたり、これら以外の方向については適宜説明しつつ使用する場合もあることを付言しておく。 Here, for convenience of explanation of the configuration of the encoder 100, the following directions such as up and down are defined as follows. That is, the Z-axis positive direction that is the anti-load side direction in the rotation axis AX is expressed as “up” or “upward”, and the negative Z-axis direction that is the opposite load side direction is “down” or “down”. To express. However, the positional relationship between the components of the encoder 100 according to the present embodiment is not particularly limited to concepts such as up and down. In addition, for the convenience of explanation, it is noted that other directions may be used for the directions determined here, or directions other than these may be used while being described as appropriate.

　図２に示すように、本実施形態に係るエンコーダ１００は、モータＭのハウジング１０に設けられており、エンコーダカバー１０１により覆われている。このエンコーダ１００は、基板１６と、支持部材１５０と、回転体Ｒと、被検出体１７０と、磁気検出部１２０と、光学モジュール１３０と、位置データ生成部１４０とを有する。 As shown in FIG. 2, the encoder 100 according to the present embodiment is provided in the housing 10 of the motor M and is covered with an encoder cover 101. The encoder 100 includes a substrate 16, a support member 150, a rotating body R, a detection target 170, a magnetic detection unit 120, an optical module 130, and a position data generation unit 140.

図２に示すように、基板１６は、円板状のプリント配線基板であり、その下面には、複数の回路素子等が搭載されている。この基板１６は、支持部材１５０とほぼ同じ直径となるように形成されており、その縁部が支持部材１５０の面１５１に載置されている。基板１６の縁部には、固定ネジ１５が貫通する複数の貫通孔１６Ａが円周方向に略均等な間隔で設けられている。支持部材１５０は、円筒状に形成されており、基板１６を支持する。この支持部材１５０は、固定ネジ１５が貫通する複数の貫通孔１５２を有している。固定ネジ１５は、基板１６の貫通孔１６Ａ及び支持部材１５０の貫通孔１５２を上下方向に貫通して、ハウジング１０に設けられたネジ穴に螺合する。これにより、基板１６及び支持部材１５０がハウジング１０に固定される。 As shown in FIG. 2, the substrate 16 is a disc-shaped printed wiring board, and a plurality of circuit elements and the like are mounted on the lower surface thereof. The substrate 16 is formed to have substantially the same diameter as the support member 150, and an edge portion of the substrate 16 is placed on the surface 151 of the support member 150. A plurality of through holes 16 A through which the fixing screws 15 pass are provided at the edge of the substrate 16 at substantially equal intervals in the circumferential direction. The support member 150 is formed in a cylindrical shape and supports the substrate 16. The support member 150 has a plurality of through holes 152 through which the fixing screw 15 passes. The fixing screw 15 passes through the through hole 16 A of the substrate 16 and the through hole 152 of the support member 150 in the vertical direction, and is screwed into a screw hole provided in the housing 10. As a result, the substrate 16 and the support member 150 are fixed to the housing 10.

　　（２－１．回転体）
　図２～図４に示すように、回転体Ｒは、ハブ１６０と、ディスク１１０（磁石固着部の一例）とを有する。 (2-1. Rotating body)
As shown in FIGS. 2 to 4, the rotator R has a hub 160 and a disk 110 (an example of a magnet fixing portion).

　ハブ１６０は、例えばステンレス鋼（ＳＵＳ（Ｓｔｅｅｌ　Ｕｓｅ　Ｓｔａｉｎｌｅｓｓ）ともいう。）等の金属で形成されている。なお、ハブ１６０の材質（材料）は、金属に限定されるものではない。このハブ１６０は、ディスク固着部１６２と、ボルト締結部１６３とを有する。 The hub 160 is made of a metal such as stainless steel (also called SUS (Steel Use Stainless)). The material (material) of the hub 160 is not limited to metal. The hub 160 has a disk fixing portion 162 and a bolt fastening portion 163.

　ディスク固着部１６２は、円環状に形成されており、その表面１６２Ａ（以下では上面１６２Ａともいう。）には、ディスク１１０の表面１１０Ｂ（他方側の表面。以下では下面１１０Ｂともいう。）が上下方向に当接されて適宜の接着剤により接着されて固定（固着）されている。 The disk fixing portion 162 is formed in an annular shape, and on the surface 162A (hereinafter also referred to as the upper surface 162A), the surface 110B (the other surface, also referred to as the lower surface 110B below) of the disk 110 is vertically located. It is abutted in the direction and bonded and fixed (fixed) with an appropriate adhesive.

　ボルト締結部１６３は、ディスク固着部１６２の略中央部（内側）において上方に突出した凸状に形成されており、ディスク１１０とハブ１６０とが同一軸心となるように、後述するディスク１１０の貫通孔１１１に嵌め合わされている。このボルト締結部１６３の略中央部（内側）には、ボルト１４が貫通する貫通孔１６１が設けられている。ボルト１４は、後述する被検出体１７０の貫通孔１７１、後述するディスク１１０の貫通孔１１１、及び貫通孔１６１を上下方向に貫通して、シャフトＳＨに設けられたボルト穴１３に螺合する。このとき、ボルト締結部１６３の表面１６３Ａ（以下では上面１６３Ａともいう。）には、ボルト１４の座面１４Ａが接触する。これにより、ハブ１６０がシャフトＳＨの上端部に直接固定されると共に、該ハブ１６０のディスク固着部１６２に固定されたディスク１１０がシャフトＳＨに連結される。すなわち、エンコーダ１００は、ディスク１１０がハブ１６０を介してシャフトＳＨに直接的に連結される、いわゆる「ビルトインタイプ」のエンコーダである。 The bolt fastening portion 163 is formed in a convex shape protruding upward at a substantially central portion (inner side) of the disc fixing portion 162, and the disc 110 and the hub 160, which will be described later, are arranged so as to have the same axial center. It fits into the through hole 111. A through-hole 161 through which the bolt 14 passes is provided in a substantially central portion (inner side) of the bolt fastening portion 163. The bolt 14 passes through a through-hole 171 of the detection object 170 described later, a through-hole 111 of the disk 110 described later, and a through-hole 161 in the vertical direction, and is screwed into a bolt hole 13 provided in the shaft SH. At this time, the seat surface 14A of the bolt 14 is in contact with the surface 163A (hereinafter also referred to as the upper surface 163A) of the bolt fastening portion 163. Thereby, the hub 160 is directly fixed to the upper end portion of the shaft SH, and the disk 110 fixed to the disk fixing portion 162 of the hub 160 is connected to the shaft SH. That is, the encoder 100 is a so-called “built-in type” encoder in which the disk 110 is directly connected to the shaft SH via the hub 160.

　ディスク固着部１６２とボルト締結部１６３との間には、これらの上面１６２Ａ，１６３Ａの上下方向の高低差により段差部１６４が形成されている。段差部１６４は、ディスク１１０とハブ１６０との芯出しのための位置調整の際に、ディスク１１０の内周面１１０Ｃに突き当たってディスク１１０の移動を規制するストッパとして機能する。この段差部１６４は、ボルト１４のヘッド部１４Ｂが後述する磁気検出部１２０の磁気抵抗素子１２１や磁界検出素子１２２等の各素子と干渉しない程度の高さ寸法Ｌ１（上下方向寸法）を有する。この例では、この段差部１６４の高さ寸法Ｌ１は、ディスク１１０の厚み寸法（上下方向寸法）Ｌ２の略半分となっている。 A stepped portion 164 is formed between the disk fixing portion 162 and the bolt fastening portion 163 due to the height difference between the

upper surfaces

162A and 163A in the vertical direction. The stepped portion 164 functions as a stopper that abuts against the inner peripheral surface 110 C of the disk 110 and regulates the movement of the disk 110 when adjusting the position for centering the disk 110 and the hub 160. The stepped portion 164 has a height dimension L1 (vertical dimension) such that the head portion 14B of the bolt 14 does not interfere with each element such as a magnetoresistive element 121 and a magnetic field detecting element 122 of the magnetic detecting section 120 described later. In this example, the height dimension L1 of the stepped portion 164 is substantially half of the thickness dimension (vertical dimension) L2 of the disk 110.

　ディスク１１０は、ディスク中心Ｏを中心とした円板状に形成されており、その略中央部（内側）には、ボルト１４が貫通すると共に上記ボルト締結部１６３が嵌め合わされる貫通孔１１１が設けられている。このディスク１１０は、上述したように貫通孔１１１にボルト締結部１６３が嵌め合わされた状態で下面１１０Ｂが上記ディスク固着部１６２の上面１６２Ａに固定されており、シャフトＳＨと同一軸心となるように、シャフトＳＨに連結されている。従って、ディスク１１０は、モータＭの回転、すなわちシャフトＳＨの回転により回転する。本実施形態では、モータＭの回転を測定する被測定対象として、ディスク１１０を例に挙げて説明するが、例えばシャフトＳＨの端面等の他の部材を被測定対象として使用することも可能である。 The disk 110 is formed in a disk shape centered on the disk center O, and a through hole 111 through which the bolt 14 penetrates and the bolt fastening part 163 is fitted is provided at a substantially central part (inner side). It has been. As described above, the lower surface 110B of the disk 110 is fixed to the upper surface 162A of the disk fixing portion 162 in a state where the bolt fastening portion 163 is fitted in the through-hole 111, and is aligned with the shaft SH. , Connected to the shaft SH. Accordingly, the disk 110 is rotated by the rotation of the motor M, that is, the rotation of the shaft SH. In the present embodiment, the disk 110 is described as an example of the measurement target for measuring the rotation of the motor M, but other members such as an end surface of the shaft SH can also be used as the measurement target. .

ディスク１１０の表面１１０Ａ（一方側の表面。以下では上面１１０Ａともいう。）には、スリットアレイＳＡが形成されている。スリットアレイＳＡは、ディスク１１０の上面１１０Ａにおいてディスク中心Ｏを中心とした円環状に配置されたトラックとして形成されている。スリットアレイＳＡは、トラックの全周にわたって、円周方向に沿って並べられた複数の反射スリット（スリットの一例。図示省略）を有する。１つ１つの反射スリットは、後述する光学モジュール１３０の光源１３１から照射された光を反射する。すなわち、エンコーダ１００は、光源１３１からの光が反射スリットで反射されて、後述する受光素子で受光される、いわゆる「反射型」エンコーダである。複数の反射スリットは、円周方向でアブソリュートパターンを有するように、ディスク１１０の全周に配置されている。 A slit array SA is formed on the surface 110A of the disk 110 (the surface on one side, hereinafter also referred to as the upper surface 110A). The slit array SA is formed as a track arranged in an annular shape around the disc center O on the upper surface 110 A of the disc 110. The slit array SA has a plurality of reflective slits (an example of a slit, not shown) arranged along the circumferential direction over the entire circumference of the track. Each reflection slit reflects light emitted from a light source 131 of the optical module 130 described later. That is, the encoder 100 is a so-called “reflective” encoder in which light from the light source 131 is reflected by a reflection slit and received by a light receiving element described later. The plurality of reflection slits are arranged on the entire circumference of the disk 110 so as to have an absolute pattern in the circumferential direction.

　アブソリュートパターンとは、後述する光学モジュール１３０の受光アレイが対向する角度内における反射スリットの位置や割合等が、ディスク１１０の１回転内で一義に定まるようなパターンである。すなわち、モータＭがある位置ｘとなっている場合に、対向した後述する受光アレイの複数の受光素子それぞれの検出又は未検出による組み合わせ（検出によるオン／オフのビットパターン）が、その位置ｘの絶対値（絶対位置、アブソリュートポジション）を一義に表すことになる。なお、アブソリュートパターンの生成方法は、モータＭの絶対位置を、後述する受光アレイの受光素子数のビットにより、一次元的に表すようなパターンを生成できるものであれば、様々なアルゴリズムが使用可能である。 The absolute pattern is a pattern in which the position and ratio of reflection slits within an angle at which a light receiving array of the optical module 130 (to be described later) faces are uniquely determined within one rotation of the disk 110. That is, when the motor M is at a certain position x, a combination (detection on / off bit pattern by detection) of each of a plurality of light receiving elements of a light receiving array, which will be described later, facing each other is the position x. Absolute values (absolute position, absolute position) are uniquely expressed. The absolute pattern generation method can use various algorithms as long as the absolute position of the motor M can be generated in a one-dimensional manner by using the number of light receiving elements of the light receiving array described later. It is.

　また、本実施形態では、ディスク１１０は、ガラスにより形成されている。ガラスは、金属（例えばステンレス鋼等）に比べて熱伝導率が小さい。従って、ディスク１１０をガラス製とすることにより、モータＭのシャフトＳＨで発生した熱がハブ１６０から該ディスク１１０に固定された被検出体１７０に伝わるのを抑制することが可能である。そして、スリットアレイの反射スリットは、ガラス製のディスク１１０の上面１１０Ａに、光を反射する部材が塗布されることにより、形成可能である。但し、反射スリットの形成方法は、この例に限定されるものではない。 In this embodiment, the disk 110 is made of glass. Glass has a lower thermal conductivity than metal (for example, stainless steel). Therefore, when the disk 110 is made of glass, it is possible to suppress the heat generated by the shaft SH of the motor M from being transmitted from the hub 160 to the detected object 170 fixed to the disk 110. The reflective slit of the slit array can be formed by applying a light reflecting member to the upper surface 110A of the glass disk 110. However, the method of forming the reflective slit is not limited to this example.

　更に、ディスク１１０の上面１１０Ａには、被検出体１７０の表面１７０Ｂ（以下では下面１７０Ｂともいう。）が上下方向に当接されて適宜の接着剤により接着されて固定（固着）されている。 Further, a surface 170B (hereinafter also referred to as a lower surface 170B) of the detection object 170 is vertically contacted and fixed (fixed) to the upper surface 110A of the disk 110 by an appropriate adhesive.

また、回転体Ｒは、溝１９０を有する。溝１９０は、ディスク１１０の内周側端部に、ディスク１１０の上面１１０Ａから下方に凹むように円周方向に沿って形成されている。換言すれば、溝１９０は、上記段差部１６４とディスク１１０の内周面１１０Ｃとの隙間により形成されている。この溝１９０は、ディスク１１０とハブ１６０との芯出しのための位置調整の際の調整代として利用される。更に、溝１９０は、被検出体１７０とディスク１１０との接着に使用される接着剤の溜まり溝としても利用可能である。 Further, the rotating body R has a groove 190. The groove 190 is formed along the circumferential direction so as to be recessed downward from the upper surface 110 A of the disk 110 at the inner peripheral side end of the disk 110. In other words, the groove 190 is formed by a gap between the stepped portion 164 and the inner peripheral surface 110 C of the disk 110. The groove 190 is used as an adjustment allowance for position adjustment for centering the disk 110 and the hub 160. Further, the groove 190 can also be used as a reservoir groove for an adhesive used for bonding the detected object 170 and the disk 110.

　すなわち、上述のようにディスク１１０には被検出体１７０が上下方向に当接されて適宜の接着剤により接着されて固定されるが、このとき、ディスク１１０と被検出体１７０との隙間から、これらの接着に使用された接着剤がはみ出す場合がある。なお、ディスク１１０と被検出体１７０とを接着する接着剤としては、特に限定されるものではないが、例えば嫌気性接着剤が使用可能である。嫌気性接着剤は、空気に触れている時には液状だが、空気を遮断する等により硬化・接着する。従って、ディスク１１０と被検出体１７０とを接着する接着剤として嫌気性接着剤を使用する場合には、被検出体１７０とディスク１１０との隙間から、接着剤がはみ出す可能性が高い。図３中では、はみ出した接着剤を符号ＡＤで示している。本実施形態では、上述のように被検出体１７０の内周面１７０Ｃがディスク１１０の内周面１１０Ｃよりも内側に出っ張る構造となっており、はみ出した接着剤ＡＤの一部を、表面張力の作用によってディスク１１０の内周面１１０Ｃに沿って下側に向けて流れるように誘導することが可能である。また、本実施形態では、上述のようにディスク１１０の内周側端部に溝１９０が形成されており、ディスク１１０の内周面１１０Ｃに沿って下側に向けて流れた接着剤ＡＤを、溝１９０内に流入させて溜めておくことが可能である。 That is, as described above, the detected object 170 is brought into contact with the disk 110 in the vertical direction and bonded and fixed with an appropriate adhesive. At this time, from the gap between the disk 110 and the detected object 170, The adhesive used for these adhesions may protrude. The adhesive that bonds the disk 110 and the detection object 170 is not particularly limited, and for example, an anaerobic adhesive can be used. Anaerobic adhesive is liquid when in contact with air, but hardens and adheres by blocking air. Therefore, when an anaerobic adhesive is used as an adhesive for bonding the disk 110 and the detected object 170, the adhesive is likely to protrude from the gap between the detected object 170 and the disk 110. In FIG. 3, the protruding adhesive is indicated by the symbol AD. In the present embodiment, as described above, the inner peripheral surface 170C of the detection object 170 protrudes inward from the inner peripheral surface 110C of the disk 110, and a part of the protruding adhesive AD is subjected to surface tension. By the action, it can be guided to flow downward along the inner peripheral surface 110C of the disk 110. Further, in the present embodiment, as described above, the groove 190 is formed at the inner circumferential end of the disk 110, and the adhesive AD that has flowed downward along the inner circumferential surface 110C of the disk 110, It is possible to flow into the groove 190 and store it.

　　（２－２．被検出体）
　図２～図５に示すように、被検出体１７０は、ディスク１１０と同一軸心となるように、下面１７０Ｂがディスク１１０の上面１１０Ａに固定されることにより、ディスク１１０に保持されており、ディスク１１０と共に回転する。この被検出体１７０は、円環状に形成されており、３６０度の回転角度範囲全域に亘って設けられている。被検出体１７０の略中央部（内側）には、ボルト１４が貫通する貫通孔１７１が設けられている。 (2-2. Object to be detected)
As shown in FIGS. 2 to 5, the detected object 170 is held by the disk 110 by fixing the lower surface 170B to the upper surface 110A of the disk 110 so as to be coaxial with the disk 110. It rotates with the disk 110. The detection object 170 is formed in an annular shape and is provided over the entire rotation angle range of 360 degrees. A through-hole 171 through which the bolt 14 passes is provided in a substantially central portion (inner side) of the detection object 170.

　また、被検出体１７０は、基板１６の下面に固定された後述する磁気検出部１２０の磁気抵抗素子１２１及び磁界検出素子１２２が磁界を精度よく検出できる程度の高さ寸法（上下方向寸法）を有する。また、被検出体１７０の外周面１７０Ｄと、基板１６の下面に固定された光学モジュール１３０におけるシャフトＳＨの径方向内側の表面１３０Ａとの間には、ギャップＧが形成されており、被検出体１７０と光学モジュール１３０との設置位置が半径方向に重ならないようになっている。これにより、被検出体１７０と後述する光学モジュール１３０の光源１３１や受光素子等の各素子とが上下方向において互いに干渉しないようになっている。また、本実施形態では、上記ディスク１１０の貫通孔１１１の内径寸法Ｌ３は、貫通孔１７１の内径寸法Ｌ４よりも大きく形成されている。より具体的には、貫通孔１１１の公差と貫通孔１７１の公差とを各々考慮しても、内径寸法Ｌ３が内径寸法Ｌ４よりも必ず大きくなるように形成されている。このため、被検出体１７０の内周面１７０Ｃが上記ディスク１１０の内周面１１０Ｃよりも内側に出っ張る構造となっている。 Further, the detected body 170 has a height dimension (vertical dimension) such that a magnetoresistive element 121 and a magnetic field detection element 122 of the magnetic detection unit 120, which will be described later, fixed to the lower surface of the substrate 16 can accurately detect the magnetic field. Have. Further, a gap G is formed between the outer peripheral surface 170D of the detection object 170 and the surface 130A on the radial inner side of the shaft SH in the optical module 130 fixed to the lower surface of the substrate 16, and the detection object The installation positions of 170 and the optical module 130 do not overlap in the radial direction. Thus, the detected object 170 and each element such as a light source 131 and a light receiving element of the optical module 130 described later do not interfere with each other in the vertical direction. In the present embodiment, the inner diameter L3 of the through hole 111 of the disk 110 is formed larger than the inner diameter L4 of the through hole 171. More specifically, even if the tolerance of the through hole 111 and the tolerance of the through hole 171 are considered, the inner diameter dimension L3 is necessarily larger than the inner diameter dimension L4. For this reason, the inner peripheral surface 170C of the detection object 170 protrudes inward from the inner peripheral surface 110C of the disk 110.

　また、被検出体１７０は、円環状の磁石素材の一部が着磁されることにより製造されたものであり、着磁部１７２と、未着磁部１７３とを有する。着磁部１７２は、着磁されて磁石として製造された磁石素材部分であり、磁気（磁界）を発生する。この着磁部１７２が、磁石の一例に相当する。未着磁部１７３は、着磁部１７２以外の部分、つまり着磁されなかった磁石素材部分であり、磁気（磁界）を発生しない。なお、被検出体１７０の貫通孔１７１は、着磁部１７２や未着磁部１７３の貫通孔とも言える。 The detected object 170 is manufactured by magnetizing a part of an annular magnet material, and has a magnetized portion 172 and a non-magnetized portion 173. The magnetized portion 172 is a magnet material portion that is magnetized and manufactured as a magnet, and generates magnetism (magnetic field). The magnetized portion 172 corresponds to an example of a magnet. The unmagnetized portion 173 is a portion other than the magnetized portion 172, that is, a magnet material portion that has not been magnetized, and does not generate magnetism (magnetic field). Note that the through-hole 171 of the detected object 170 can be said to be a through-hole of the magnetized portion 172 and the non-magnetized portion 173.

　本実施形態では、被検出体１７０のうち、略１８０度の回転角度（所定の回転角度の一例）範囲が着磁されて着磁部１７２となり、残りの略１８０度の回転角度範囲が未着磁部１７３となっている。すなわち、着磁部１７２は、被検出体１７０のうち中心角が略１８０度である円弧状の部分である。未着磁部１７３は、被検出体１７０のうち着磁部１７２以外の部分、つまり、着磁部１７２の回転方向における反対側に位置する、該着磁部１７２と略同形状の部分である。従って、被検出体１７０における磁気発生有無の境目である境界は、３６０度の回転角度中でほぼ対照な２つの位置Ｂ１，Ｂ２となっている。被検出体１７０は、位置Ｂ１，Ｂ２のうち一方（この例では位置Ｂ１）が、ディスク１１０の絶対位置検出のための原点位置（０度位置ともいう。）Ｐと略一致するように、配置されている。 In the present embodiment, a rotation angle range of approximately 180 degrees (an example of a predetermined rotation angle) in the detected object 170 is magnetized to become the magnetized portion 172, and the remaining rotation angle range of approximately 180 degrees is not yet adhered. It is a magnetic part 173. That is, the magnetized portion 172 is an arc-shaped portion having a center angle of approximately 180 degrees in the detected object 170. The non-magnetized portion 173 is a portion of the detected object 170 other than the magnetized portion 172, that is, a portion having the same shape as the magnetized portion 172 located on the opposite side in the rotation direction of the magnetized portion 172. . Therefore, the boundary which is the boundary of the presence or absence of magnetism in the detected object 170 is two substantially contrasting positions B1 and B2 within the rotation angle of 360 degrees. The detected object 170 is arranged so that one of the positions B1 and B2 (position B1 in this example) substantially coincides with the origin position (also referred to as 0 degree position) P for detecting the absolute position of the disk 110. Has been.

　従って、本実施形態では、着磁部１７２に対応する略１８０度の回転角度範囲では該着磁部１７２から磁界が発生されるが、未着磁部１７３に対応する残りの略１８０度の回転角度範囲では磁界が発生されない。 Therefore, in this embodiment, a magnetic field is generated from the magnetized portion 172 in the rotation angle range of approximately 180 degrees corresponding to the magnetized portion 172, but the remaining approximately 180 degrees of rotation corresponding to the unmagnetized portion 173. No magnetic field is generated in the angular range.

　ここで、図６Ａ及び図６Ｂを参照しつつ、本実施形態に係る着磁部１７２を製造する方法について説明する。図６Ａ及び図６Ｂは、本実施形態に係る着磁部を製造する方法の一例について説明するための説明図である。図６Ａは、着磁装置の側面図である。図６Ｂは、図６Ａ中のＶＩＢ－ＶＩＢ断面に相当する断面図である。 Here, a method of manufacturing the magnetized portion 172 according to the present embodiment will be described with reference to FIGS. 6A and 6B. 6A and 6B are explanatory views for explaining an example of a method for producing a magnetized portion according to the present embodiment. FIG. 6A is a side view of the magnetizing apparatus. 6B is a cross-sectional view corresponding to a VIB-VIB cross section in FIG. 6A.

図６Ａ及び図６Ｂに示すように、着磁装置２００は、円板上の着磁ヨーク２２０と、バックヨーク２１０とを有する。着磁ヨーク２２０は、被検出体１７０が載置される載置面２２０Ａを有しており、その載置面２２０Ａには、溝２２１が形成されている。溝２２１には、着磁コイル２３０が収容されている。着磁コイル２３０に電流が流れると、着磁ヨーク２２０は電磁石となり、着磁ヨーク２２０において着磁コイル２３０が巻装された領域、つまり断面視で円弧状の内周側領域２２０Ｂ及び外周側領域２２０Ｃから磁界（磁力線）が発生する。この例では、着磁コイル２３０には矢印Ｃ方向に電流が流れるようになっており、内周側領域２２０Ｂは、磁力線が入る側であるＳ極となり、外周側領域２２０Ｃは、磁力線が出る側であるＮ極となるように構成されている。 6A and 6B, the magnetizing apparatus 200 includes a magnetizing yoke 220 and a back yoke 210 on a circular plate. The magnetizing yoke 220 has a mounting surface 220A on which the detection object 170 is mounted, and a groove 221 is formed on the mounting surface 220A. A magnetizing coil 230 is accommodated in the groove 221. When a current flows through the magnetizing coil 230, the magnetizing yoke 220 becomes an electromagnet, and the magnetized yoke 220 is wound around the magnetized coil 230, that is, the arc-shaped inner peripheral region 220 B and outer peripheral region. A magnetic field (lines of magnetic force) is generated from 220C. In this example, a current flows in the magnetizing coil 230 in the direction of arrow C, the inner peripheral side region 220B is an S pole on the side where the magnetic lines of force enter, and the outer peripheral side region 220C is on the side where the magnetic lines of force exit. It is comprised so that it may become N pole which is.

このような着磁装置２００により、被検出体１７０を着磁ヨーク２２０とバックヨーク２１０との間で着磁することにより、着磁部１７２を製造することが可能である。すなわち、着磁ヨーク２２０の載置面２２０Ａに被検出体１７０を載せ、その上にバックヨーク２１０を重ねて、着磁コイル２３０に矢印Ｃ方向に電流を流す。すると、着磁ヨーク２２０の磁極パターンが被検出体１７０に転写されるように着磁される。すなわち、被検出体１７０では、着磁ヨーク２２０の内周側領域２２０Ｂに当接する、着磁ヨーク２２０側の表面が、磁極線が出る側となるためＮ極となり、その反対側の、バックヨーク２１０側の表面が、逆に磁極線が入る側となるためＳ極となる。また、被検出体１７０では、着磁ヨーク２２０の外周側領域２２０Ｃに当接する、着磁ヨーク２２０側の表面が、磁極線が入る側となるためＳ極となり、その反対側の、バックヨーク２１０側の表面が、逆に磁極線が出る側となるためＮ極となる。このように着磁素材１７０ａが着磁されることにより、被検出体１７０において着磁部１７２が製造される。なお、ここで説明した着磁装置２００や着磁部１７２を製造する方法等は一例であり、着磁装置や着磁部１７２を製造する方法等は、この例に限定されるものではない。このようにして製造された着磁部１７２では、着磁ヨーク２２０側の表面の磁束密度が、バックヨーク２１０側の表面の磁束密度よりも大きくなる。 The magnetized portion 172 can be manufactured by magnetizing the object 170 to be detected between the magnetized yoke 220 and the back yoke 210 with such a magnetizing apparatus 200. That is, the detection object 170 is placed on the mounting surface 220 A of the magnetizing yoke 220, the back yoke 210 is overlaid thereon, and a current is passed through the magnetizing coil 230 in the direction of arrow C. Then, the magnetic pole pattern of the magnetized yoke 220 is magnetized so as to be transferred to the detected body 170. That is, in the detected body 170, the surface on the side of the magnetized yoke 220 that contacts the inner peripheral side region 220B of the magnetized yoke 220 is the N pole because the magnetic pole line is on the side, and the back yoke on the opposite side On the contrary, the surface on the 210 side is the side on which the magnetic pole line enters, so that it becomes the S pole. Further, in the detected object 170, the surface on the magnetizing yoke 220 side that contacts the outer peripheral side region 220C of the magnetizing yoke 220 becomes the S pole because the magnetic pole line enters, and the back yoke 210 on the opposite side thereof. Since the surface on the side is the side from which the magnetic pole line comes out, it becomes the N pole. By magnetizing the magnetized material 170a in this way, the magnetized portion 172 is manufactured in the detection object 170. The method for manufacturing the magnetizing device 200 and the magnetized portion 172 described here is an example, and the method for manufacturing the magnetizing device and the magnetized portion 172 is not limited to this example. In the magnetized portion 172 manufactured in this way, the magnetic flux density on the surface on the magnetized yoke 220 side is larger than the magnetic flux density on the surface on the back yoke 210 side.

　そして、上記のように着磁された被検出体１７０は、着磁ヨーク２２０側の表面が上側（磁気検出部１２０側）となり、バックヨーク２１０側の表面が下側（ディスク１１０側）となるように、適宜の固定装置（図示せず）によりディスク１１０の上面１１０Ａに固定される。すなわち、被検出体１７０では、その表面１７０Ａ（以下では上面１７０Ａともいう。）は着磁ヨーク２２０側の表面に対応し、その下面１７０Ｂはバックヨーク２１０側の表面に対応する。従って、図５に示すように、被検出体１７０の着磁部１７２の上面（以下では、被検出体１７０の上面１７０Ａと同じ符号で示す。）には、内周側の領域がＮ極となり、外周側の領域がＳ極となる磁極パターンが形成されており、上面１７０Ａにおける磁束（磁力線）の向きは、内周側と外周側とで反転している。図５中等では、着磁部１７２における磁束の向きが反転する境目である境界線を符号Ｂ３で示している。また、被検出体１７０の着磁部１７２は、その上面１７０Ａの磁束密度が、その下面（以下では、被検出体１７０の下面１７０Ｂと同じ符号で示す。）の磁束密度よりも大きくなるように構成されている。 In the detected object 170 magnetized as described above, the surface on the magnetizing yoke 220 side is the upper side (magnetic detection unit 120 side), and the surface on the back yoke 210 side is the lower side (disk 110 side). As described above, the disk 110 is fixed to the upper surface 110A by an appropriate fixing device (not shown). That is, in the detection object 170, the surface 170A (hereinafter also referred to as the upper surface 170A) corresponds to the surface on the magnetizing yoke 220 side, and the lower surface 170B corresponds to the surface on the back yoke 210 side. Therefore, as shown in FIG. 5, the inner peripheral region is an N pole on the upper surface of the magnetized portion 172 of the detected object 170 (hereinafter, indicated by the same reference numeral as the upper surface 170A of the detected object 170). A magnetic pole pattern in which the region on the outer peripheral side is an S pole is formed, and the direction of magnetic flux (lines of magnetic force) on the upper surface 170A is reversed between the inner peripheral side and the outer peripheral side. In FIG. 5 and the like, a boundary line that is a boundary where the direction of the magnetic flux in the magnetized portion 172 is reversed is indicated by a symbol B3. Further, the magnetized portion 172 of the detected body 170 has a magnetic flux density on its upper surface 170A that is larger than a magnetic flux density on its lower surface (hereinafter, indicated by the same reference numeral as the lower surface 170B of the detected body 170). It is configured.

　　（２－３．光学モジュール）
　図２及び図４に示すように、光学モジュール１３０は、この例では基板状に形成されており、ディスク１１０のスリットアレイＳＡの一部に対向可能なように、基板１６の下面においてディスク１１０と平行に固定されている。従って、ディスク１１０の回転に伴い、光学モジュール１３０は、スリットアレイＳＡに対して円周方向で相対移動することができる。この光学モジュール１３０のディスク１１０と対向する側の面、つまり下面には、光源１３１（発光素子の一例）と受光アレイＰＡとが設けられている。 (2-3. Optical module)
As shown in FIGS. 2 and 4, the optical module 130 is formed in a substrate shape in this example, and the optical module 130 and the disk 110 are formed on the lower surface of the substrate 16 so as to face a part of the slit array SA of the disk 110. It is fixed in parallel. Accordingly, the optical module 130 can move relative to the slit array SA in the circumferential direction as the disk 110 rotates. A light source 131 (an example of a light emitting element) and a light receiving array PA are provided on the surface of the optical module 130 facing the disk 110, that is, the lower surface.

　光源１３１は、対向する位置を通過するスリットアレイＳＡの一部分に光を照射する。この光源１３１としては、照射領域に光を照射可能な光源であれば特に限定されるものではないが、例えば、ＬＥＤ（Ｌｉｇｈｔ　Ｅｍｉｔｔｉｎｇ　Ｄｉｏｄｅ）が使用可能である。そして、この光源１３１は、特に光学レンズ等が配置されない点光源として形成されており、発光部から拡散光を照射する。なお、点光源という場合、厳密な点である必要はなく、設計上や動作原理上、略点状の位置から拡散光が発せられるものとみなせる光源であれば、有限な面から光が発せられてもよいことは言うまでもない。このように点光源を使用することにより、光源１３１は、光軸からのズレによる光量変化や光路長の差による減衰などの影響は多少はあるにせよ、対向した位置を通過するスリットアレイＳＡの一部分に拡散光を照射できるため、この部分にほぼ均等に光を照射することが可能である。また、光学素子による集光・拡散を行わないため、光学素子による誤差等が生じにくく、スリットアレイＳＡへの照射光の直進性を高める事が可能である。 The light source 131 irradiates light to a part of the slit array SA that passes through the facing position. The light source 131 is not particularly limited as long as it is a light source capable of irradiating light to the irradiation region. For example, an LED (Light Emitting Diode) can be used. The light source 131 is formed as a point light source in which an optical lens or the like is not particularly disposed, and irradiates diffused light from the light emitting unit. In the case of a point light source, it is not necessary to be an exact point, and light can be emitted from a finite surface as long as it can be considered that diffuse light is emitted from a substantially point-like position in terms of design and operation principle. Needless to say. By using the point light source in this way, the light source 131 has the effect of the slit array SA that passes through the facing position, although there are some influences such as a change in light amount due to deviation from the optical axis and attenuation due to a difference in optical path length. Since a part can be irradiated with diffused light, it is possible to irradiate the part almost uniformly with light. In addition, since condensing and diffusing by the optical element are not performed, errors due to the optical element are not easily generated, and it is possible to improve the straightness of the irradiation light to the slit array SA.

　受光アレイＰＡは、光源１３１の周囲に配置されており、対向するスリットアレイＳＡ（反射スリット）からの反射光を受光する。そのために、受光アレイＰＡは、複数の受光素子（図示省略）を有する。１つ１つの受光素子としては、例えばＰＤ（Ｐｈｏｔｏｄｉｏｄｅ（フォトダイオード））を使用することができる。但し、受光素子としては、ＰＤに限られるものではなく、光源１３１から発せられた光を受光して電気信号に変換可能なものであれば、特に限定されるものではない。受光素子で生成された電気信号は、位置データ生成部１４０に出力される。 The light receiving array PA is disposed around the light source 131 and receives the reflected light from the opposing slit array SA (reflection slit). For this purpose, the light receiving array PA has a plurality of light receiving elements (not shown). As each light receiving element, for example, PD (Photodiode) can be used. However, the light receiving element is not limited to the PD, and is not particularly limited as long as it can receive light emitted from the light source 131 and convert it into an electric signal. The electrical signal generated by the light receiving element is output to the position data generation unit 140.

　　（２－４．磁気検出部）
　図２、図４、及び図５に示すように、磁気検出部１２０は、被検出体１７０の着磁部１７２が発生する磁気（磁界）を検出するものであり、磁気抵抗素子１２１と、磁界検出素子１２２とを有する。 (2-4. Magnetic detector)
As shown in FIGS. 2, 4, and 5, the magnetic detection unit 120 detects the magnetism (magnetic field) generated by the magnetized unit 172 of the detection target 170. And a detection element 122.

　磁気抵抗素子１２１及び磁界検出素子１２２は、被検出体１７０の上面１７０Ａの一部に対向可能なように、シャフトＳＨと共に回転する被検出体１７０、ディスク１１０、及びハブ１６０に対して軸受を介さずに、基板１６の下面においてディスク１１０と平行に固定されている。なお、磁気抵抗素子１２１及び磁界検出素子１２２は、光学モジュール１３０と同じ基板１６に実装されているが、光学モジュール１３０とは別の基板に実装されてもよい。本実施形態では、磁気抵抗素子１２１及び磁界検出素子１２２は、被検出体１７０の回転方向に互いに略９０度ずれて配置されている。 The magnetoresistive element 121 and the magnetic field detection element 122 are interposed through bearings with respect to the detected object 170 rotating with the shaft SH, the disk 110, and the hub 160 so as to be able to face a part of the upper surface 170A of the detected object 170. Instead, the lower surface of the substrate 16 is fixed in parallel with the disk 110. The magnetoresistive element 121 and the magnetic field detection element 122 are mounted on the same substrate 16 as the optical module 130, but may be mounted on a different substrate from the optical module 130. In the present embodiment, the magnetoresistive element 121 and the magnetic field detection element 122 are arranged so as to be shifted from each other by approximately 90 degrees in the rotation direction of the detection target 170.

　磁気抵抗素子１２１は、ディスク１１０の原点位置Ｐにおいて着磁部１７２の上面１７０Ａにおける上記位置Ｂ３の一部に対向可能なように配置されている。上述の通り、着磁部１７２は略１８０度の回転角度範囲で存在するので、この磁気抵抗素子１２１は、着磁部１７２に対応する略１８０度の回転角度範囲では該着磁部１７２が発生する磁界、具体的には水平方向（回転軸心ＡＸに対して垂直な方向）の磁界を検出し、未着磁部１７３に対応する残りの略１８０度の回転角度範囲では磁界を検出しない（磁界検出量が所定のしきい値よりも小さくなる）。これにより、磁気抵抗素子１２１は、ディスク１１０が１回転すると１周期変化する磁界を検出して、ディスク１１０の１回転毎に１周期となる信号を出力する。この磁気抵抗素子１２１は、磁界検出素子１２２と比較して消費電力が小さく、上述のように水平方向の磁界を検出するので、シャフトＳＨを通じて伝わるモータＭのブレーキ（図示せず）等からの漏れ磁束の影響を受けにくい。しかし、磁気抵抗素子１２１は、磁界検出素子１２２と比較して設定スペースが大きく、コストが高い。 The magnetoresistive element 121 is disposed so as to be able to face a part of the position B3 on the upper surface 170A of the magnetized portion 172 at the origin position P of the disk 110. As described above, since the magnetized portion 172 exists in a rotation angle range of approximately 180 degrees, the magnetoresistive element 121 generates the magnetized portion 172 in a rotation angle range of approximately 180 degrees corresponding to the magnetized portion 172. , Specifically, a horizontal magnetic field (direction perpendicular to the rotational axis AX) is detected, and no magnetic field is detected in the remaining rotation angle range of approximately 180 degrees corresponding to the unmagnetized portion 173 ( The magnetic field detection amount is smaller than a predetermined threshold value). Thus, the magnetoresistive element 121 detects a magnetic field that changes for one period when the disk 110 rotates once, and outputs a signal that becomes one period for each rotation of the disk 110. The magnetoresistive element 121 consumes less power than the magnetic field detecting element 122 and detects a horizontal magnetic field as described above, and therefore leaks from a brake (not shown) of the motor M transmitted through the shaft SH. Less susceptible to magnetic flux. However, the magnetoresistive element 121 has a larger setting space and higher cost than the magnetic field detecting element 122.

　ここで、一般には、磁気抵抗素子を用いてＮＳの一対の磁極が回転軸心ＡＸに対して垂直は方向に形成された磁石が発生する磁界を検出する場合、磁界の方向を検出するためにバイアス磁石を設ける必要がある。バイアス磁石を使用せずに磁気抵抗素子を用いようとすると、磁気抵抗素子は、磁界の方向を検出できないことから、ディスク１１０の１回転毎に２周期の検出信号が出力されることになり、後述する位置データ生成部１４０のカウンタ１４３に２倍の信号処理能力が必要になってしまうという問題が生じる。しかし、本実施形態では、上述のように、略１８０度の回転角度範囲で磁界を発生させ、残りの略１８０度の回転角度範囲では磁界が発生されず、磁気抵抗素子１２１は、略１８０度の回転角度範囲においてのみ磁界を検出し、残りの略１８０度の回転角度範囲では磁界を検出しないので、ディスク１１０の１回転毎に１周期となる信号を出力することが可能である。すなわち、バイアス磁石を使用しなくてもディスク１１０の１回転毎に１周期となる信号を得ることが可能である。 Here, in general, when detecting a magnetic field generated by a magnet in which a pair of magnetic poles of NS is formed in a direction perpendicular to the rotation axis AX using a magnetoresistive element, in order to detect the direction of the magnetic field It is necessary to provide a bias magnet. If an attempt is made to use a magnetoresistive element without using a bias magnet, since the magnetoresistive element cannot detect the direction of the magnetic field, a detection signal of two cycles is output for each rotation of the disk 110. A problem arises in that a counter 143 of the position data generation unit 140, which will be described later, requires double signal processing capability. However, in the present embodiment, as described above, a magnetic field is generated in the rotation angle range of approximately 180 degrees, and no magnetic field is generated in the remaining rotation angle range of approximately 180 degrees, and the magnetoresistive element 121 is approximately 180 degrees. Since the magnetic field is detected only in the rotation angle range of the above and the magnetic field is not detected in the remaining rotation angle range of about 180 degrees, it is possible to output a signal having one cycle for each rotation of the disk 110. That is, it is possible to obtain a signal having one cycle for each rotation of the disk 110 without using a bias magnet.

　磁気抵抗素子１２１は、水平方向の磁界を検出可能な構成であれば、特に限定されるものではない。磁気抵抗素子１２１としては、例えば、ＭＲ（磁気抵抗効果：Ｍａｇｎｅｔｒｏ　Ｒｅｓｉｓｔｉｖｅ　ｅｆｆｅｃｔ）素子やＧＭＲ（巨大磁気抵抗効果：Ｇｉａｎｔ　Ｍａｇｎｅｔｒｏ　Ｒｅｓｉｓｔｉｖｅ　ｅｆｆｅｃｔ）素子、ＴＭＲ（トンネル磁気抵抗効果：Ｔｕｎｎｅｌ　Ｍａｇｎｅｔｏ　Ｒｅｓｉｓｔａｎｃｅ　ｅｆｆｅｃｔ）素子等を使用可能である。 The magnetoresistive element 121 is not particularly limited as long as it can detect a horizontal magnetic field. Examples of the magnetoresistive element 121 include an MR (magnetoresistive effect) element, a GMR (giant magnetoresistive effect) element, a TMR (tunnel magnetoresistive effect: Tunnel MagnetoResistive element), and the like. It can be used.

　磁界検出素子１２２は、着磁部１７２の上面１７０Ａにおける内周側の領域（Ｎ極の極性を持つ領域）の一部に対向可能なように配置されている。なお、磁界検出素子１２２は、着磁部１７２の上面１７０Ａにおける外周側の領域（Ｓ極の極性を持つ領域）の一部に対向可能なように配置されてもよい。上述の通り、着磁部１７２は略１８０度の回転角度範囲で存在するので、この磁界検出素子１２２は、着磁部１７２に対応する略１８０度の回転角度範囲では該着磁部１７２が発生する磁界、具体的には垂直方向（回転軸心ＡＸに対して平行な方向）の磁界を検出し、未着磁部１７３に対応する残りの略１８０度の回転角度範囲では磁界を検出しない（磁界検出量が所定のしきい値よりも小さくなる）。これにより、磁界検出素子１２２は、ディスク１１０が１回転すると１周期変化する磁界を検出して、ディスク１１０の１回転毎に１周期となる信号を出力する。この磁界検出素子１２２は、磁気抵抗素子１２１と比較して必要な設置スペースが小さく、コストが安い。しかし、磁界検出素子１２２は、磁気抵抗素子１２１と比較して消費電力が大きく、上述のように垂直方向の磁界を検出するので、上記漏れ磁束の影響を受け易い。 The magnetic field detection element 122 is disposed so as to be able to face a part of the inner peripheral side region (region having the polarity of N pole) on the upper surface 170A of the magnetized portion 172. The magnetic field detection element 122 may be arranged so as to be able to face a part of the outer peripheral side region (region having the polarity of the S pole) on the upper surface 170A of the magnetized portion 172. As described above, since the magnetized portion 172 exists in a rotation angle range of approximately 180 degrees, the magnetic field detecting element 122 generates the magnetized portion 172 in a rotation angle range of approximately 180 degrees corresponding to the magnetized portion 172. Magnetic field to be detected, specifically, a magnetic field in a vertical direction (a direction parallel to the rotation axis AX) is detected, and a magnetic field is not detected in the remaining rotation angle range of about 180 degrees corresponding to the unmagnetized portion 173 ( The magnetic field detection amount is smaller than a predetermined threshold value). As a result, the magnetic field detection element 122 detects a magnetic field that changes for one period when the disk 110 rotates once, and outputs a signal having one period for each rotation of the disk 110. The magnetic field detecting element 122 requires a smaller installation space and is less expensive than the magnetoresistive element 121. However, since the magnetic field detection element 122 consumes more power than the magnetoresistive element 121 and detects the magnetic field in the vertical direction as described above, it is easily affected by the leakage magnetic flux.

　磁界検出素子１２２は、垂直方向の磁界を検出可能な構成であれば、特に限定されるものではない。磁界検出素子１２２としては、例えばホール素子等を使用可能である。 The magnetic field detection element 122 is not particularly limited as long as it is configured to detect a vertical magnetic field. As the magnetic field detection element 122, for example, a Hall element or the like can be used.

　磁気抵抗素子１２１及び磁界検出素子１２２から出力された信号は、位置データ生成部１４０により取得され、ディスク１１０が基準位置から何回転したかを表す多回転量の検出に用いられる。このような多回転量の検出は、例えば電源ＯＦＦによるバックアップ電源供給時の位置検出に用いられる場合に特に有効である。 The signals output from the magnetoresistive element 121 and the magnetic field detection element 122 are acquired by the position data generation unit 140, and are used to detect the multi-rotation amount indicating how many times the disk 110 has rotated from the reference position. Such multi-rotation amount detection is particularly effective when used for position detection when supplying backup power by turning off the power, for example.

　　（２－５．位置データ生成部）
　次に、図７を参照しつつ、本実施形態に係る位置データ生成部１４０の構成について説明する。図７は、本実施形態に係る位置データ生成部の構成の一例について説明するための説明図である。 (2-5. Position data generator)
Next, the configuration of the position data generation unit 140 according to the present embodiment will be described with reference to FIG. FIG. 7 is an explanatory diagram for describing an example of the configuration of the position data generation unit according to the present embodiment.

　図７に示すように、位置データ生成部１４０は、Ａ相パルス生成部１４１（第１検出信号生成部の一例）と、Ｂ相パルス生成部１４２（第２検出信号生成部の一例）と、カウンタ１４３（多回転検出部の一例）と、パルス発生回路１４４と、給電制御部１４５と、絶対位置信号生成部１４６とを有する。 As illustrated in FIG. 7, the position data generation unit 140 includes an A-phase pulse generation unit 141 (an example of a first detection signal generation unit), a B-phase pulse generation unit 142 (an example of a second detection signal generation unit), It has a counter 143 (an example of a multi-rotation detection unit), a pulse generation circuit 144, a power supply control unit 145, and an absolute position signal generation unit 146.

　Ａ相パルス生成部１４１は、磁気抵抗素子１２１からの信号を検出し、この信号を矩形波状の信号に変換して、Ａ相パルス信号ａ（第１検出信号の一例）を生成する。前述のように着磁部１７２は略１８０度の回転角度範囲で存在するので、Ａ相パルス信号ａは、デューティ比５０％、ディスク１１０の１回転毎に１パルスの信号となる。 The A-phase pulse generator 141 detects a signal from the magnetoresistive element 121, converts this signal into a rectangular wave signal, and generates an A-phase pulse signal a (an example of a first detection signal). As described above, since the magnetized portion 172 exists in a rotation angle range of approximately 180 degrees, the A-phase pulse signal a becomes a pulse signal for each rotation of the disk 110 with a duty ratio of 50%.

　Ｂ相パルス生成部１４２は、磁界検出素子１２２からの信号を検出し、この信号を矩形波状の信号に変換して、Ｂ相パルス信号ｂ（第２検出信号の一例）を生成する。前述のように、着磁部１７２は略１８０度の回転角度範囲で存在するので、Ｂ相パルス信号ｂはデューティ比５０％、ディスクの１回転毎に１パルスの信号となる。また、前述のように磁界検出素子１２２の位置は磁気抵抗素子１２１の位置から略９０度ずれているので、Ｂ相パルス信号ｂは、上記Ａ相パルス信号ａと略９０度の位相差（所定の位相差の一例）を有する信号となる。 The B-phase pulse generation unit 142 detects a signal from the magnetic field detection element 122, converts this signal into a rectangular wave signal, and generates a B-phase pulse signal b (an example of a second detection signal). As described above, since the magnetized portion 172 exists in a rotation angle range of about 180 degrees, the B-phase pulse signal b becomes a pulse signal for every rotation of the disk with a duty ratio of 50%. Further, as described above, since the position of the magnetic field detecting element 122 is shifted by approximately 90 degrees from the position of the magnetoresistive element 121, the B-phase pulse signal b has a phase difference of about 90 degrees (predetermined from the A-phase pulse signal a). Of the phase difference).

　カウンタ１４３は、Ａ相パルス信号ａ及びＢ相パルス信号ｂに基づいてディスク１１０の多回転量をカウントし、多回転信号ｃとして出力する。具体的なカウント方法は後述する。 The counter 143 counts the multi-rotation amount of the disk 110 based on the A-phase pulse signal a and the B-phase pulse signal b, and outputs it as a multi-rotation signal c. A specific counting method will be described later.

　パルス発生回路１４４は、電源切替部１８０により外部電源からバックアップ電源に切り替えられ、バックアップ電源による電源供給が行われている際に、Ａ相パルス信号ａのレベルが変化した場合、そのエッジを起点に所定のパルス幅の電源制御パルス信号ｄを生成し、給電制御部１４５に出力する。給電制御部１４５は、パルス発生回路１４４からの電源制御パルス信号ｄに基づいてＯＮ／ＯＦＦし、磁界検出素子１２２及びＢ相パルス生成部１４２に対してバックアップ電源をパルス的に供給する。これにより、磁界検出素子１２２及びＢ相パルス生成部１４２は、Ａ相パルス信号ａのエッジを起点に上記パルス幅に対応する所定の時間だけ駆動し、その後駆動を終了する。所定の時間は、カウンタ１４３がＢ相パルス信号ｂのレベルを検出できるだけの時間幅であればよい。 When the level of the A-phase pulse signal a changes when the power supply switching unit 180 switches the external power supply to the backup power supply and the power supply by the backup power supply is performed, the pulse generation circuit 144 starts from that edge. A power supply control pulse signal d having a predetermined pulse width is generated and output to the power supply control unit 145. The power supply control unit 145 is turned on / off based on the power supply control pulse signal d from the pulse generation circuit 144, and supplies backup power to the magnetic field detection element 122 and the B-phase pulse generation unit 142 in a pulsed manner. As a result, the magnetic field detection element 122 and the B-phase pulse generator 142 are driven for a predetermined time corresponding to the pulse width starting from the edge of the A-phase pulse signal a, and then the driving is terminated. The predetermined time may be a time width that allows the counter 143 to detect the level of the B-phase pulse signal b.

　絶対位置信号生成部１４６は、受光アレイＰＡの出力に基づいてディスク１１０の１回転内の絶対位置を表す絶対位置信号ｆを生成する。具体的には、受光アレイＰＡが有する複数の受光素子では、１つ１つの受光又は非受光がビットとして扱われ、複数ビットの絶対位置を表す。従って、複数の受光素子それぞれが出力する受光信号は、絶対位置信号生成部１４６において相互に独立して取り扱われて、シリアルなビットパターンに暗号化（コード化）されていた絶対位置が、これらの出力信号の組み合わせから復号され、絶対位置信号ｆが生成される。この絶対位置信号ｆと、上記カウンタ１４３から出力される多回転信号ｃとが合成されて、位置データ生成部１４０は位置データを出力する。 The absolute position signal generation unit 146 generates an absolute position signal f representing the absolute position within one rotation of the disk 110 based on the output of the light receiving array PA. Specifically, in the plurality of light receiving elements included in the light receiving array PA, each light reception or non-light reception is handled as a bit, and represents the absolute position of the plurality of bits. Therefore, the light reception signals output from each of the plurality of light receiving elements are handled independently from each other in the absolute position signal generation unit 146, and the absolute position encrypted (encoded) into a serial bit pattern is determined by these absolute positions. The absolute position signal f is generated by decoding from the combination of output signals. The absolute position signal f and the multi-rotation signal c output from the counter 143 are combined, and the position data generator 140 outputs position data.

　電源切替部１８０は、この例では、図示しない検出回路からの電源切替信号ｅに基づいて切り替わるスイッチング素子として構成される。電源切替部１８０が外部電源側である場合には、外部電源が、磁気抵抗素子１２１、磁界検出素子１２２、光源１３１、Ａ相パルス生成部１４１、Ｂ相パルス生成部１４２、カウンタ１４３、パルス発生回路１４４、及び絶対位置信号生成部１４６に供給される。一方、電源オフや停電等により外部電源の供給が遮断された場合には、電源切替部１８０は、電源切替信号ｅに基づいてバックアップ電源側に切り替わる。これにより、光源１３１及び絶対位置信号生成部１４６への電源供給は遮断されるが、磁気抵抗素子１２１、Ａ相パルス生成部１４１、カウンタ１４３、及びパルス発生回路１４４へはバックアップ電源が供給される。さらに、給電制御部１４５を介してパルス的な電源が、磁界検出素子１２２及びＢ相パルス生成部１４２へ供給される。 In this example, the power source switching unit 180 is configured as a switching element that switches based on a power source switching signal e from a detection circuit (not shown). When the power supply switching unit 180 is on the external power supply side, the external power supply includes the magnetoresistive element 121, the magnetic field detection element 122, the light source 131, the A phase pulse generation unit 141, the B phase pulse generation unit 142, the counter 143, and the pulse generation. The signal is supplied to the circuit 144 and the absolute position signal generation unit 146. On the other hand, when the supply of external power is interrupted due to power off or power failure, the power switching unit 180 switches to the backup power source based on the power switching signal e. As a result, power supply to the light source 131 and the absolute position signal generation unit 146 is cut off, but backup power is supplied to the magnetoresistive element 121, the A-phase pulse generation unit 141, the counter 143, and the pulse generation circuit 144. . Further, pulsed power is supplied to the magnetic field detection element 122 and the B-phase pulse generation unit 142 via the power supply control unit 145.

　なお、上記パルス発生回路１４４、給電制御部１４５、及び電源切替部１８０が、電源制御部の一例に相当する。 Note that the pulse generation circuit 144, the power supply control unit 145, and the power supply switching unit 180 correspond to an example of a power supply control unit.

　　（２－６．エンコーダの動作）
　次に、本実施形態に係るエンコーダ１００の動作の一例について説明する。 (2-6. Encoder operation)
Next, an example of the operation of the encoder 100 according to this embodiment will be described.

　まず、外部電源が供給されている場合の動作について説明する。図７に示すように、ディスク１１０が回転すると、被検出体１７０は、ディスク１１０と共に回転する。磁気抵抗素子１２１は、被検出体１７０の着磁部１７２が発生する磁界を検出し、検出信号をＡ相パルス生成部１４１に出力する。一方、外部電源供給時には給電制御部１４５は常時ＯＮとなり、磁界検出素子１２２及びＢ相パルス生成部１４２に対して外部電源が常時供給される。磁界検出素子１２２は、被検出体１７０の着磁部１７２が発生する磁界を検出し、検出信号をＢ相パルス生成部１４２に出力する。Ａ相パルス生成部１４１及びＢ相パルス生成部１４２は、入力された信号を増幅すると共にそれぞれ矩形波信号に変換し、生成された９０度の位相差を有するＡ相パルス信号ａ及びＢ相パルス信号ｂをカウンタ１４３に出力する。 First, the operation when external power is supplied will be described. As shown in FIG. 7, when the disk 110 rotates, the detection object 170 rotates together with the disk 110. The magnetoresistive element 121 detects a magnetic field generated by the magnetized portion 172 of the detection target 170 and outputs a detection signal to the A-phase pulse generator 141. On the other hand, when the external power is supplied, the power supply control unit 145 is always ON, and external power is always supplied to the magnetic field detection element 122 and the B-phase pulse generation unit 142. The magnetic field detection element 122 detects a magnetic field generated by the magnetized portion 172 of the detection target 170 and outputs a detection signal to the B-phase pulse generation unit 142. The A-phase pulse generation unit 141 and the B-phase pulse generation unit 142 amplify the input signals and convert them into rectangular wave signals, respectively, and generate the generated A-phase pulse signal a and B-phase pulse having a phase difference of 90 degrees. The signal b is output to the counter 143.

　図８Ａ及び図８Ｂに、このときのＡ相パルス信号ａ及びＢ相パルス信号ｂの波形の一例を示す。図８Ａは正転時の波形、図８Ｂは逆転時の波形である。なお、この例では、Ａ相パルス信号ａ及びＢ相パルス信号ｂは、磁界が検出された場合に「Ｈ」レベルとなり、磁界が検出されなかった場合（磁界検出量が所定のしきい値よりも小さい場合）に「Ｌ」となるものとし、ディスク１１０の回転方向は、図７に示すように時計回り方向を正転、反時計回り方向を逆転とする。 8A and 8B show examples of waveforms of the A-phase pulse signal a and the B-phase pulse signal b at this time. FIG. 8A shows a waveform during forward rotation, and FIG. 8B shows a waveform during reverse rotation. In this example, the A-phase pulse signal a and the B-phase pulse signal b are at the “H” level when a magnetic field is detected, and when the magnetic field is not detected (the detected amount of the magnetic field is less than a predetermined threshold value). The rotation direction of the disk 110 is forward rotation in the clockwise direction and reverse rotation in the counterclockwise direction as shown in FIG.

　正転時は、図８Ａに示すように、ディスク１１０の原点位置Ｐが磁気抵抗素子１２１の位置を通過する際に、Ａ相パルス信号ａが立ち上がりエッジとなると共にＢ相パルス信号ｂが「Ｌ」レベルとなる。この場合、カウンタ１４３は多回転量データに１を加えて多回転量をカウントアップする。一方、Ｂ相パルス信号ｂが「Ｈ」レベルとなるＡ相パルス信号ａの立ち下がりエッジでは、ディスク１１０の原点位置Ｐではないのでカウントは行われない。 During forward rotation, as shown in FIG. 8A, when the origin position P of the disk 110 passes the position of the magnetoresistive element 121, the A-phase pulse signal a becomes a rising edge and the B-phase pulse signal b becomes “L”. Level. In this case, the counter 143 increments the multi-rotation amount by adding 1 to the multi-rotation amount data. On the other hand, at the falling edge of the A-phase pulse signal a at which the B-phase pulse signal b is at the “H” level, since it is not the origin position P of the disk 110, counting is not performed.

　逆転時は、図８Ｂに示すように、ディスク１１０の原点位置Ｐが磁気抵抗素子１２１の位置を通過する際に、Ａ相パルス信号ａが立ち下がりエッジとなると共にＢ相パルス信号ｂが「Ｌ」レベルとなる。この場合、カウンタ１４３は多回転量データから１を減じて多回転量をカウントダウンする。一方、Ｂ相パルス信号ｂが「Ｈ」レベルとなるＡ相パルス信号ａの立ち上がりエッジでは、ディスク１１０の原点位置Ｐではないのでカウントは行われない。カウンタ１４３は、このようにしてカウントした多回転量データを多回転信号ｃとして出力する。 At the time of reverse rotation, as shown in FIG. 8B, when the origin position P of the disk 110 passes the position of the magnetoresistive element 121, the A-phase pulse signal a becomes a falling edge and the B-phase pulse signal b becomes “L”. Level. In this case, the counter 143 subtracts 1 from the multi-rotation amount data and counts down the multi-rotation amount. On the other hand, at the rising edge of the A-phase pulse signal a at which the B-phase pulse signal b becomes “H” level, the count is not performed because it is not the origin position P of the disk 110. The counter 143 outputs the multi-rotation amount data counted in this way as a multi-rotation signal c.

　なお、上記カウントの仕方は本実施形態の構成態様の場合における一例であり、これに限定されるものではない。例えば、被検出体１７０を上記位置Ｂ１が原点位置Ｐと１８０度ずれた位置に配置するような場合には、正転、逆転の対応関係が上述と反対となり、図８Ｂが正転時の波形、図８Ａが逆転時の波形となる。このように、カウンタ１４３による多回転量のカウントの仕方は、構成態様に応じて適宜変更されるものである。 The above counting method is an example in the case of the configuration aspect of the present embodiment, and is not limited to this. For example, when the detected object 170 is arranged at a position where the position B1 is shifted from the origin position P by 180 degrees, the correspondence relationship between the forward rotation and the reverse rotation is opposite to the above, and FIG. FIG. 8A shows the waveform during reverse rotation. Thus, the way of counting the multi-rotation amount by the counter 143 is appropriately changed according to the configuration.

　他方、図７に示すように、受光アレイＰＡは、光源１３１から照射されスリットアレイＳＡで反射された光を受光し、受光信号を絶対位置信号生成部１４６に出力する。絶対位置信号生成部１４６は、入力された信号に基づいてディスク１１０の１回転内の絶対位置を表す絶対位置信号ｆを生成する。このように、エンコーダ１００に外部電源が供給されている場合には、磁気抵抗素子１２１、磁界検出素子１２２、光源１３１、位置データ生成部１４０の全ての回路に電源が供給され、上記カウンタ１４３から出力される多回転信号ｃと、絶対位置信号生成部１４６から出力される絶対位置信号ｆとが合成されて、位置データ生成部１４０は位置データを連続的に出力する。 On the other hand, as shown in FIG. 7, the light receiving array PA receives the light emitted from the light source 131 and reflected by the slit array SA, and outputs the received light signal to the absolute position signal generation unit 146. The absolute position signal generation unit 146 generates an absolute position signal f representing the absolute position within one rotation of the disk 110 based on the input signal. As described above, when external power is supplied to the encoder 100, power is supplied to all the circuits of the magnetoresistive element 121, the magnetic field detection element 122, the light source 131, and the position data generation unit 140, and the counter 143 The output multi-rotation signal c and the absolute position signal f output from the absolute position signal generation unit 146 are combined, and the position data generation unit 140 continuously outputs the position data.

　次に、外部電源が遮断されバックアップ電源から電源が供給されている場合の動作について説明する。図７に示すように、電源オフや停電等により外部電源が所定の電圧以下になった場合には、図示しない検出回路からの電源切替信号ｅにより、電源切替部１８０がバックアップ電源側に切り替わる。バックアップ電源に切り替わると、光源１３１及び絶対位置信号生成部１４６には電源が供給されず、磁気抵抗素子１２１、Ａ相パルス生成部１４１、カウンタ１４３、及びパルス発生回路１４４にバックアップ電源が供給される。さらに、パルス発生回路１４４は、Ａ相パルス信号ａのエッジを検出すると、そのエッジを起点に生成された所定のパルス幅の電源制御パルス信号ｄを生成し、給電制御部１４５を介してパルス的な電源を磁界検出素子１２２及びＢ相パルス生成部１４２へ供給する。 Next, the operation when the external power supply is shut off and power is supplied from the backup power supply will be described. As shown in FIG. 7, when the external power source becomes a predetermined voltage or less due to power off or a power failure, the power source switching unit 180 is switched to the backup power source side by a power source switching signal e from a detection circuit (not shown). When the backup power source is switched, the power source is not supplied to the light source 131 and the absolute position signal generation unit 146, and the backup power source is supplied to the magnetoresistive element 121, the A-phase pulse generation unit 141, the counter 143, and the pulse generation circuit 144. . Further, when detecting the edge of the A-phase pulse signal a, the pulse generation circuit 144 generates a power supply control pulse signal d having a predetermined pulse width generated from the edge as a starting point, and outputs a pulse-like signal via the power supply control unit 145. Power is supplied to the magnetic field detection element 122 and the B-phase pulse generator 142.

　図９Ａ及び図９Ｂに、このときのＡ相パルス信号ａ、Ｂ相パルス信号ｂ、及び電源制御パルス信号ｄの波形の一例を示す。図９Ａは正転時の波形、図９Ｂは逆転時の波形である。電源制御パルス信号ｄが「Ｈ」レベルであるＴｏｎ期間は、バックアップ電源が磁界検出素子１２２及びＢ相パルス生成部１４２に供給されている期間で、電源制御パルス信号ｄが「Ｌ」レベルであるＴｏｆｆ期間は、バックアップ電源が磁界検出素子１２２及びＢ相パルス生成部１４２に供給されていない期間である。従って、Ｂ相パルス信号ｂは、図９Ａ及び図９Ｂ中実線で示したＴｏｎ期間のみＢ相パルス生成部１４２によって生成される。 9A and 9B show examples of waveforms of the A-phase pulse signal a, the B-phase pulse signal b, and the power control pulse signal d at this time. FIG. 9A shows a waveform during forward rotation, and FIG. 9B shows a waveform during reverse rotation. The Ton period in which the power control pulse signal d is at “H” level is a period in which backup power is supplied to the magnetic field detection element 122 and the B-phase pulse generator 142, and the power control pulse signal d is at “L” level. The Toff period is a period in which the backup power is not supplied to the magnetic field detection element 122 and the B-phase pulse generation unit 142. Therefore, the B-phase pulse signal b is generated by the B-phase pulse generator 142 only during the Ton period indicated by the solid line in FIGS. 9A and 9B.

　カウンタ１４３は、Ａ相パルス信号ａのエッジを検出すると、Ｔｏｎ期間にＢ相パルス信号ｂのレベルを検出し、多回転量をカウントする。カウントの仕方は上述した外部電源供給時と同様である。すなわち、正転時は、図９Ａに示すように、Ａ相パルス信号ａが立ち上がりエッジのときにＢ相パルス信号ｂが「Ｌ」レベルの場合、カウンタ１４３は多回転量データに１を加えて多回転量をカウントアップする。一方、逆転時は、図９Ｂに示すように、Ａ相パルス信号ａが立ち下がりエッジのときにＢ相パルス信号ｂが「Ｌ」レベルの場合、カウンタ１４３は多回転量データから１を減じて多回転量をカウントダウンする。なお、Ｔｏｎ期間は、バックアップ電源の消費電力の節減のため、カウンタ１４３がＢ相パルス信号ｂ（図９Ａ及び図９Ｂ中実線で示す部分）のレベルを検出可能な範囲で最短の時間幅に設定される。 When the counter 143 detects the edge of the A-phase pulse signal a, it detects the level of the B-phase pulse signal b during the Ton period and counts the amount of multi-rotation. The counting method is the same as that at the time of external power supply described above. That is, at the time of forward rotation, as shown in FIG. 9A, when the A-phase pulse signal a is at the rising edge and the B-phase pulse signal b is at “L” level, the counter 143 adds 1 to the multi-rotation amount data. Counts up the multi-rotation amount. On the other hand, at the time of reverse rotation, as shown in FIG. 9B, if the B-phase pulse signal b is “L” level when the A-phase pulse signal a is at the falling edge, the counter 143 subtracts 1 from the multi-rotation amount data. Count down the multi-rotation amount. In the Ton period, the counter 143 is set to the shortest time width within a range in which the level of the B-phase pulse signal b (the portion indicated by the solid line in FIGS. 9A and 9B) can be detected in order to reduce the power consumption of the backup power supply. Is done.

　他方、図７に示すように、光源１３１及び絶対位置信号生成部１４６にはバックアップ電源が供給されないので、絶対位置信号ｆは生成されない。従って、位置データ生成部１４０は、上記カウンタ１４３から出力される多回転信号ｃを位置データとして出力する。なお、バックアップ電源供給時には多回転量データを図示しないメモリ等に記憶させておき、バックアップ電源から外部電源に切り替えられた際に、位置データ生成部１４０が当該メモリから多回転量データを読み出し、絶対位置信号ｆと合成して位置データを出力するようにしてもよい。 On the other hand, as shown in FIG. 7, since backup power is not supplied to the light source 131 and the absolute position signal generator 146, the absolute position signal f is not generated. Therefore, the position data generation unit 140 outputs the multi-rotation signal c output from the counter 143 as position data. When the backup power is supplied, the multi-rotation amount data is stored in a memory (not shown) or the like, and when the backup power source is switched to the external power source, the position data generation unit 140 reads the multi-rotation amount data from the memory and The position data may be output by combining with the position signal f.

　　（２－７．エンコーダの製造方法）
　次に、本実施形態に係るエンコーダ１００の製造方法の一例について説明する。ここでは、主に被検出体１７０の着磁及び被検出体１７０、ディスク１１０、及びハブ１６０の固定等について説明する。 (2-7. Manufacturing method of encoder)
Next, an example of a method for manufacturing the encoder 100 according to the present embodiment will be described. Here, the magnetization of the detection target 170 and the fixing of the detection target 170, the disk 110, and the hub 160 will be mainly described.

　エンコーダ１００の製造方法では、着磁装置２００により、前述のようにして、被検出体１７０を着磁ヨーク２２０とバックヨーク２１０との間で着磁して、着磁部１７２を製造する。そして、固定部材により、着磁ヨーク２２０側の表面が上側となり、バックヨーク２１０側の表面が下側となるように、着磁された被検出体１７０をディスク１１０の表面１１０Ａに対し固定する。このとき、ディスク１１０と被検出体１７０との芯出しのために位置調整が行われる。また、固定部材により、ディスク１１０の貫通孔１１１にハブ１６０のボルト締結部１６３を嵌め合わせつつ、ディスク１１０の表面１１０Ｂに対し、ハブ１６０のディスク固着部１６２の表面１６２Ａを固定する。このとき、ディスク１１０とハブ１６０との芯出しのために位置調整が行われる。以上により、被検出体１７０、ディスク１１０、及びハブ１６０を一体的に組み上げる。なお、固定装置により被検出体１７０、ディスク１１０、及びハブ１６０を一体的に組み上げた後に、着磁装置により被検出体１７０を着磁してもよい。 In the manufacturing method of the encoder 100, the magnetized device 200 magnetizes the detected object 170 between the magnetized yoke 220 and the back yoke 210 as described above, and the magnetized portion 172 is manufactured. Then, the magnetized detection object 170 is fixed to the surface 110A of the disk 110 by the fixing member so that the surface on the magnetizing yoke 220 side is on the upper side and the surface on the back yoke 210 side is on the lower side. At this time, position adjustment is performed for centering the disk 110 and the detected object 170. Further, the fixing member fixes the surface 162A of the disk fixing part 162 of the hub 160 to the surface 110B of the disk 110 while fitting the bolt fastening part 163 of the hub 160 into the through hole 111 of the disk 110. At this time, position adjustment is performed for centering the disk 110 and the hub 160. As described above, the detection object 170, the disk 110, and the hub 160 are assembled together. Note that the detected body 170 may be magnetized by the magnetizing device after the detected body 170, the disk 110, and the hub 160 are integrally assembled by the fixing device.

　そして、一体的に組み上げられた被検出体１７０、ディスク１１０、及びハブ１６０における貫通孔１６１にシャフトＳＨを挿通し、ボルト１４を貫通孔１７１，１１１，１６１に挿通してシャフトＳＨのボルト穴１３に螺合させる。これにより、一体的に組み上げられた被検出体１７０、ディスク１１０、及びハブ１６０をシャフトＳＨに固定する。なお、これらの処理と同時に又は前後して、各構成を固定又は回転可能に支持する処理、磁気検出部１２０や光学モジュール１３０等の位置調整をする処理、磁気検出部１２０や光学モジュール１３０等と位置データ生成部１４０とを連結する処理等が行われて、エンコーダ１００が完成する。但し、これらの処理についてのここでの詳しい説明は省略する。 Then, the shaft SH is inserted into the through-hole 161 in the detection target 170, the disk 110, and the hub 160 that are assembled together, and the bolt 14 is inserted into the through-

holes

171, 111, 161, and the bolt hole 13 of the shaft SH. Screwed on. As a result, the detection object 170, the disk 110, and the hub 160 assembled together are fixed to the shaft SH. At the same time or before and after these processes, a process for supporting each component in a fixed or rotatable manner, a process for adjusting the position of the magnetic detection unit 120, the optical module 130, etc., and the magnetic detection unit 120, the optical module 130, etc. Processing such as coupling with the position data generation unit 140 is performed, and the encoder 100 is completed. However, detailed description of these processes is omitted here.

＜３．本実施形態による効果の例＞
　以上、一実施形態に係るエンコーダ１００等について説明した。次に、このエンコーダ１００等による効果の例について説明する。 <3. Examples of effects according to this embodiment>
The encoder 100 according to the embodiment has been described above. Next, an example of the effect of the encoder 100 will be described.

　　（３－１．ディスクの内径が被検出体の内径よりも大きいこと等による効果の例）
　本実施形態に係るエンコーダ１００では、被検出体１７０が、ディスク１１０に上下方向に当接されて接着剤により固定されることにより、回転体Ｒに保持される。このとき、被検出体１７０とディスク１１０との隙間からはみ出した接着剤が、基板１６に実装された磁気抵抗素子１２１、磁界検出素子１２２、光学モジュール１３０（光源１３１や受光素子等）に付着したり、回転体ＲをシャフトＳＨに固定するためのボルト１４の座面１４Ａ等に付着すると、検出精度の低下や締結の不具合等を招くおそれがあり、エンコーダ１００の信頼性の低下につながる。 (3-1. Examples of effects due to the inner diameter of the disc being larger than the inner diameter of the object to be detected)
In the encoder 100 according to the present embodiment, the detected body 170 is held by the rotating body R by being brought into contact with the disk 110 in the vertical direction and fixed by an adhesive. At this time, the adhesive that protrudes from the gap between the detected object 170 and the disk 110 adheres to the magnetoresistive element 121, the magnetic field detecting element 122, and the optical module 130 (such as the light source 131 and the light receiving element) mounted on the substrate 16. If the rotating body R is attached to the seat surface 14A of the bolt 14 for fixing the rotating body R to the shaft SH, the detection accuracy may be lowered, the fastening failure may be caused, and the reliability of the encoder 100 is lowered.

　そこで本実施形態では、ディスク１１０の貫通孔１１１の内径寸法Ｌ３を被検出体１７０の貫通孔１７１の内径寸法Ｌ４よりも大きく形成する。このときの寸法差は、ディスク１１０の貫通孔１１１と被検出体１７０の貫通孔１７１の公差を各々考慮しても、ディスク１１０の貫通孔１１１の内径寸法Ｌ３が被検出体１７０の貫通孔１７１の内径寸法Ｌ４よりも必ず大きくなるような寸法差とする。すなわち、被検出体１７０の内周面１７０Ｃがディスク１１０の内周面１１０Ｃよりも内側に出っ張る構造とする。これにより、被検出体１７０とディスク１１０の隙間からはみ出した接着剤を、表面張力の作用によってディスク１１０の内周面１１０Ｃに沿って下側に向けて流れるように誘導することができる。その結果、接着剤が基板１６やボルト１４等に付着することを抑制できるので、エンコーダ１００の信頼性を向上することができる。 Therefore, in this embodiment, the inner diameter L3 of the through hole 111 of the disk 110 is formed larger than the inner diameter L4 of the through hole 171 of the detected body 170. Even if the tolerance of the through hole 111 of the disk 110 and the tolerance of the through hole 171 of the detected object 170 are taken into consideration, the inner diameter L3 of the through hole 111 of the disk 110 is equal to the through hole 171 of the detected object 170. The dimension difference is necessarily larger than the inner diameter dimension L4. That is, the inner peripheral surface 170C of the detection object 170 protrudes inward from the inner peripheral surface 110C of the disk 110. As a result, the adhesive protruding from the gap between the detected object 170 and the disk 110 can be guided to flow downward along the inner peripheral surface 110C of the disk 110 by the action of surface tension. As a result, the adhesive can be prevented from adhering to the substrate 16, the bolts 14, etc., and the reliability of the encoder 100 can be improved.

　また、被検出体１７０の外径寸法は、（特に本実施形態のようにエンコーダ１００が「反射型」のエンコーダである場合は）光学モジュール１３０との干渉を回避するために一定の制約を受ける。本実施形態では、被検出体１７０の貫通孔１７１の内径寸法Ｌ４をディスク１１０の貫通孔１１１の内径寸法Ｌ３よりも小さくすることで、外径寸法を大きくすることなく、被検出体１７０の着磁部１７２の体積を増大することができる。従って、磁気検出部１２０による検出精度を向上することができる。 Further, the outer diameter dimension of the detected object 170 is subject to certain restrictions in order to avoid interference with the optical module 130 (particularly when the encoder 100 is a “reflective” encoder as in the present embodiment). . In the present embodiment, the inner diameter L4 of the through hole 171 of the detected object 170 is made smaller than the inner diameter L3 of the through hole 111 of the disk 110, so that the outer diameter is not increased and the detected object 170 is attached. The volume of the magnetic part 172 can be increased. Therefore, the detection accuracy by the magnetic detection unit 120 can be improved.

　また、本実施形態では特に、回転体Ｒが、ディスク１１０の内周側端部に形成された溝１９０を有する。これにより、被検出体１７０とディスク１１０の隙間からはみ出し、表面張力の作用によってディスク１１０の内周面１１０Ｃに沿って下側に向けて流れた接着剤を溝内に流入させ、接着剤溜まりとすることができる。その結果、接着剤が基板１６やボルト１４等に付着することをより一層抑制することができる。 In the present embodiment, in particular, the rotating body R has a groove 190 formed at the inner circumferential end of the disk 110. As a result, the adhesive that protrudes from the gap between the object to be detected 170 and the disk 110 and flows downward along the inner peripheral surface 110C of the disk 110 due to the action of surface tension is caused to flow into the groove, can do. As a result, it is possible to further suppress the adhesive from adhering to the substrate 16 and the bolts 14.

　また、本実施形態では特に、回転体Ｒがハブ１６０とディスク１１０とを有する。このように、回転体Ｒを一体化せずに別体であるハブ１６０とディスク１１０で構成することにより、ハブ１６０を金属、ディスク１１０をガラスといったように互いに別々の材質とすることができ、設計の自由度を向上できる。また、ハブ１６０に対しディスク１１０を固定する際に、ディスク１１０の回転中心を調整しつつ行うことができるので、高精度な位置合わせを容易に行うことができる。 In the present embodiment, in particular, the rotating body R includes the hub 160 and the disk 110. In this way, by configuring the hub 160 and the disk 110 as separate bodies without integrating the rotating body R, the hub 160 can be made of different materials such as metal and the disk 110 can be made of glass. The degree of freedom in design can be improved. Further, when the disk 110 is fixed to the hub 160, it can be performed while adjusting the rotation center of the disk 110, so that highly accurate alignment can be easily performed.

　また、本実施形態では特に、ディスク１１０の貫通孔１１１にハブ１６０のボルト締結部１６３を嵌め合わせつつ、ディスク１１０がハブ１６０のディスク固着部１６２に対し接着により固定される。このとき、ディスク１１０とハブ１６０との芯出しのために位置調整が行われるので、その調整代として、ハブ１６０の段差部１６４とディスク１１０の内周面１１０Ｃとの間には予め所定の隙間が形成されている。本実施形態では、この隙間を接着剤の溜まり溝としても機能する溝１９０として利用するので、新たにハブ１６０に溝を形成する必要がない。従って、製造工程を容易化し、コストを削減することができる。 In this embodiment, in particular, the disk 110 is fixed to the disk fixing part 162 of the hub 160 by bonding while the bolt fastening part 163 of the hub 160 is fitted in the through hole 111 of the disk 110. At this time, since position adjustment is performed for centering the disk 110 and the hub 160, a predetermined gap is previously provided between the stepped portion 164 of the hub 160 and the inner peripheral surface 110C of the disk 110 as an adjustment allowance. Is formed. In this embodiment, since this gap is used as the groove 190 that also functions as an adhesive accumulation groove, it is not necessary to newly form a groove in the hub 160. Therefore, the manufacturing process can be simplified and the cost can be reduced.

　また、本実施形態では特に、次のような効果を得ることができる。すなわち、ハブ１６０の段差部１６４は、ディスク１１０とハブ１６０との位置調整の際に、ディスク１１０の内周面１１０Ｃに突き当たってディスク１１０の移動を規制するストッパとして機能する反面、その高さを高くし過ぎるとボルト締結部１６３のディスク固着部１６２に対する突出量が大きくなり、ボルト１４のヘッド部１４Ｂが磁気検出部１２０等の素子と干渉するおそれがある。本実施形態では、段差部１６４の高さ寸法Ｌ１をディスク１１０の厚み寸法Ｌ２の略半分とすることで、上記ストッパとしての機能を十分に持たせつつ、ボルト１４と素子との干渉を回避することができる。 In addition, in the present embodiment, the following effects can be obtained. In other words, the stepped portion 164 of the hub 160 functions as a stopper that restricts the movement of the disk 110 by striking against the inner peripheral surface 110C of the disk 110 when adjusting the position of the disk 110 and the hub 160, but the height thereof is increased. If the height is too high, the protruding amount of the bolt fastening portion 163 with respect to the disk fixing portion 162 increases, and the head portion 14B of the bolt 14 may interfere with elements such as the magnetic detection portion 120. In the present embodiment, the height dimension L1 of the stepped portion 164 is approximately half the thickness dimension L2 of the disk 110, so that interference between the bolt 14 and the element is avoided while sufficiently providing the function as the stopper. be able to.

　また、本実施形態では特に、エンコーダ１００が、ディスク１１０に光を照射する光源１３１と、ディスク１１０に形成された反射スリットからの反射光を受光する受光素子とを備える、いわゆる「反射型」のエンコーダである。「反射型」のエンコーダは、いわゆる「透過型」のエンコーダに比べて、光源１３１及び受光素子とディスク１１０との隙間を大きくとることができる。これにより、製造誤差等に起因するディスク１１０の回転に伴う隙間の変動の影響を少なくできる。しかし、光源１３１及び受光素子と同一基板に設けられる磁気検出部１２０の磁気抵抗素子１２１や磁界検出素子１２２等の各素子と被検出体１７０との間隙も大きくなるので、磁界を正確に検出するために被検出体１７０の着磁部１７２の高さ方向（軸方向）寸法を大きくする必要がある。さらに、光源１３１と受光素子とを一つの光学モジュール１３０として一部品化することで、該光学モジュール１３０の厚みは他の素子と比較して大きくなる。その結果、被検出体１７０と光学モジュール１３０の設置位置が半径方向に重なる場合、互いに高さ方向において干渉するおそれが生じる。本実施形態では、上述のように、被検出体１７０の貫通孔１７１の内径寸法Ｌ４をディスク１１０の貫通孔１１１の内径寸法Ｌ３よりも小さく形成し、被検出体１７０をディスク１１０よりも内周側にはみ出させて設ける。これにより、被検出体１７０の着磁部１７２体積を減らすことなく被検出体１７０の外径寸法を小さくすることができるので、光学モジュール１３０との干渉を回避することができる。従って、多回転量を精度よく検出可能な「反射型」のエンコーダを実現することができる。 In this embodiment, in particular, the encoder 100 includes a light source 131 that irradiates the disk 110 with light and a light receiving element that receives the reflected light from the reflection slit formed on the disk 110. It is an encoder. The “reflective” encoder can have a larger gap between the light source 131 and the light receiving element and the disk 110 than the so-called “transmissive” encoder. Thereby, the influence of the fluctuation | variation of the clearance gap accompanying the rotation of the disk 110 resulting from a manufacturing error etc. can be decreased. However, since the gap between each element such as the magnetoresistive element 121 and the magnetic field detection element 122 of the magnetic detection unit 120 provided on the same substrate as the light source 131 and the light receiving element is increased, the magnetic field is accurately detected. Therefore, it is necessary to increase the height direction (axial direction) dimension of the magnetized portion 172 of the detection object 170. Further, by forming the light source 131 and the light receiving element as one component as one optical module 130, the thickness of the optical module 130 becomes larger than that of other elements. As a result, when the installation positions of the detection object 170 and the optical module 130 overlap in the radial direction, there is a possibility that they interfere with each other in the height direction. In the present embodiment, as described above, the inner diameter L4 of the through-hole 171 of the detected object 170 is formed smaller than the inner diameter L3 of the through-hole 111 of the disk 110, and the detected object 170 is inner peripheral than the disk 110. Provide to protrude to the side. As a result, the outer diameter of the detected body 170 can be reduced without reducing the volume of the magnetized portion 172 of the detected body 170, and interference with the optical module 130 can be avoided. Therefore, it is possible to realize a “reflective” encoder capable of accurately detecting a multi-rotation amount.

　なお、例えばこの（３－１）で説明したディスク１１０に係る内径寸法Ｌ３が被検出体１７０に係る内径寸法Ｌ４よりも大きいこと等による効果を得るためには、着磁部１７２は、本実施形態で説明した上面１７０Ａの磁束密度が下面１７０Ｂの磁束密度よりも大きくなるように構成される場合に限定されるものではない。例えば、着磁部１７２は、上面１７０Ａの磁束密度と下面１７０Ｂの磁束密度とが等しくなるように構成されてもよい。あるいは、着磁部１７２は、上面１７０Ａの磁束密度が下面１７０Ｂの磁束密度よりも小さくなるように構成されてもよい。 For example, in order to obtain an effect due to the fact that the inner diameter dimension L3 related to the disk 110 described in (3-1) is larger than the inner diameter dimension L4 related to the detected object 170, the magnetized portion 172 is formed in this embodiment. It is not limited to the case where the magnetic flux density of the upper surface 170A described in the embodiment is configured to be larger than the magnetic flux density of the lower surface 170B. For example, the magnetized portion 172 may be configured such that the magnetic flux density on the upper surface 170A is equal to the magnetic flux density on the lower surface 170B. Alternatively, the magnetized portion 172 may be configured such that the magnetic flux density on the upper surface 170A is smaller than the magnetic flux density on the lower surface 170B.

　また、例えばこの（３－１）で説明したディスク１１０に係る内径寸法Ｌ３が被検出体１７０に係る内径寸法Ｌ４よりも大きいこと等による効果を得るためには、被検出体１７０は、本実施形態で説明した、着磁部１７２の着磁ヨーク２２０側の表面が上側、バックヨーク２１０側の表面が下側となるように、ディスク１１０に固定される場合に限定されるものではない。例えば、被検出体１７０は、着磁ヨーク２２０側の表面が下側、バックヨーク２１０側の表面が上側となるように、ディスク１１０に固定されてもよい。 In addition, for example, in order to obtain an effect due to the fact that the inner diameter dimension L3 related to the disk 110 described in (3-1) is larger than the inner diameter dimension L4 related to the detected object 170, the detected object 170 is used in the present embodiment. It is not limited to the case where the magnetized portion 172 is fixed to the disk 110 as described in the embodiment so that the surface on the magnetizing yoke 220 side is the upper side and the surface on the back yoke 210 side is the lower side. For example, the detected body 170 may be fixed to the disk 110 such that the surface on the magnetizing yoke 220 side is on the lower side and the surface on the back yoke 210 side is on the upper side.

　また、例えばこの（３－１）で説明したディスク１１０に係る内径寸法Ｌ３が被検出体１７０に係る内径寸法Ｌ４よりも大きいこと等による効果を得るためには、ディスク１１０は、本実施形態で説明したガラスにより形成される場合に限定されるものではない。例えば、ディスク１１０は、ガラス以外の材質（例えば金属や樹脂等）により形成されてもよい。このとき、例えば、ディスク１１０として反射率の高い金属を使用する場合、反射スリットは、光を反射させない部分を、スパッタリング等により粗面としたり反射率の低い材質を塗布したりすることにより反射率を低下させて、形成されてもよい。但し、反射スリットの形成方法は、この例に限定されるものではない。 For example, in order to obtain an effect due to the fact that the inner diameter dimension L3 related to the disk 110 described in (3-1) is larger than the inner diameter dimension L4 related to the detected object 170, the disk 110 is used in this embodiment. The present invention is not limited to the case where the glass is formed. For example, the disk 110 may be formed of a material other than glass (for example, metal or resin). At this time, for example, when a metal having a high reflectance is used as the disk 110, the reflection slit is made by roughening a portion that does not reflect light by sputtering or applying a material having a low reflectance. May be formed. However, the method of forming the reflective slit is not limited to this example.

　また、例えばこの（３－１）で説明したディスク１１０に係る内径寸法Ｌ３が被検出体１７０に係る内径寸法Ｌ４よりも大きいこと等による効果を得るためには、被検出体１７０は、本実施形態で説明した略１８０度の回転角度範囲で着磁部１７２が磁界を発生させるように構成される場合に限定されるものではない。例えば、被検出体１７０は、１８０度よりも小さい回転角度範囲内で着磁部が磁界を発生させ、残りの回転角度範囲では磁界が発生されないように構成されてもよい。あるいは、被検出体１７０は、１８０度よりも大きい回転角度範囲内で着磁部が磁界を発生させ、残りの回転角度範囲では磁界が発生されないように構成されてもよい。 In addition, for example, in order to obtain an effect due to the fact that the inner diameter dimension L3 related to the disk 110 described in (3-1) is larger than the inner diameter dimension L4 related to the detected object 170, the detected object 170 is used in the present embodiment. The present invention is not limited to the case where the magnetized portion 172 is configured to generate a magnetic field in the rotation angle range of about 180 degrees described in the embodiment. For example, the detected object 170 may be configured such that the magnetized portion generates a magnetic field within a rotation angle range smaller than 180 degrees and no magnetic field is generated in the remaining rotation angle range. Alternatively, the detected object 170 may be configured such that the magnetized portion generates a magnetic field within a rotation angle range larger than 180 degrees and no magnetic field is generated in the remaining rotation angle range.

　また、例えばこの（３－１）で説明したディスク１１０に係る内径寸法Ｌ３が被検出体１７０に係る内径寸法Ｌ４よりも大きいこと等による効果を得るためには、磁気抵抗素子１２１及び磁界検出素子１２２は、本実施形態で説明した被検出体１７０の回転方向に互いに略９０度ずれて配置される場合に限定されるものではない。例えば、磁気抵抗素子１２１及び磁界検出素子１２２は、被検出体１７０の回転方向に互いに９０度よりも小さい角度ずれて配置されたり、該回転方向の位置が互いに一致するように配置されてもよい。あるいは、磁気抵抗素子１２１及び磁界検出素子１２２は、被検出体１７０の回転方向に互いに９０度よりも大きい角度ずれて配置されてもよい。 Further, for example, in order to obtain an effect due to the fact that the inner diameter dimension L3 related to the disk 110 described in (3-1) is larger than the inner diameter dimension L4 related to the detected object 170, the magnetoresistive element 121 and the magnetic field detection element The number 122 is not limited to the case where the objects to be detected 170 described in the present embodiment are arranged so as to be shifted from each other by approximately 90 degrees. For example, the magnetoresistive element 121 and the magnetic field detection element 122 may be arranged so as to be shifted from each other by an angle smaller than 90 degrees in the rotation direction of the detection target 170 or so that the positions in the rotation direction coincide with each other. . Alternatively, the magnetoresistive element 121 and the magnetic field detection element 122 may be arranged so as to be shifted from each other by an angle larger than 90 degrees in the rotation direction of the detection target 170.

　また、例えばこの（３－１）で説明したディスク１１０に係る内径寸法Ｌ３が被検出体１７０に係る内径寸法Ｌ４よりも大きいこと等による効果を得るためには、磁気検出部１２０は、本実施形態で説明した磁気抵抗素子１２１及び磁界検出素子１２２を１つずつ有する場合に限定されるものではない。例えば、磁気検出部１２０は、磁気抵抗素子を２つ以上有し、磁界検出素子を１つ有し又は有しなくてもよいし。あるいは、磁気検出部１２０は、磁界検出素子を２つ以上有し、磁気抵抗素子を１つ有し又は有しなくてもよい。 In addition, for example, in order to obtain an effect due to the fact that the inner diameter dimension L3 related to the disk 110 described in (3-1) is larger than the inner diameter dimension L4 related to the detection object 170, the magnetic detection unit 120 performs the present embodiment. The present invention is not limited to the case where one magnetoresistive element 121 and one magnetic field detecting element 122 described in the embodiment are provided. For example, the magnetic detection unit 120 may include two or more magnetoresistive elements and may or may not include one magnetic field detection element. Alternatively, the magnetic detection unit 120 may have two or more magnetic field detection elements and may or may not have one magnetoresistive element.

　　（３－２．着磁部の上面が下面よりも磁束密度が大きいこと等による効果の例）
　また、本実施形態では、被検出体１７０の着磁部１７２が、その上面１７０Ａの磁束密度がその下面１７０Ｂの磁束密度よりも大きくなるように構成される。これにより、モータＭ等のシャフトＳＨの発熱や外気温の上昇等により着磁部１７２全体が減磁した場合でも、磁気検出部１２０が多回転の検出に十分な磁束を得られなくなることを抑制できる。したがって、着磁部１７２の減磁による検出精度の低下を抑制することができる。また、特に本実施形態では、略１８０度の回転角度範囲で磁界を発生させ、残りの略１８０度の回転角度範囲では磁界が発生されないように構成される。従って、仮にこの構成に起因して被検出体１７０から発生される磁束の減少が生じた場合でも、被検出体１７０の着磁部１７２が、その上面１７０Ａの磁束密度がその下面１７０Ｂの磁束密度よりも大きくなるように構成されることで、上記磁束の減少を補うことができる。 (3-2. Examples of effects due to the fact that the upper surface of the magnetized part has a higher magnetic flux density than the lower surface)
In the present embodiment, the magnetized portion 172 of the detection object 170 is configured such that the magnetic flux density on the upper surface 170A is greater than the magnetic flux density on the lower surface 170B. As a result, even when the entire magnetized portion 172 is demagnetized due to heat generation of the shaft SH of the motor M or the like or an increase in the outside air temperature, the magnetic detection unit 120 can be prevented from obtaining a sufficient magnetic flux for multi-rotation detection. it can. Therefore, a decrease in detection accuracy due to demagnetization of the magnetized portion 172 can be suppressed. In particular, the present embodiment is configured such that a magnetic field is generated in a rotation angle range of approximately 180 degrees and no magnetic field is generated in the remaining rotation angle range of approximately 180 degrees. Therefore, even if the magnetic flux generated from the detected object 170 is reduced due to this configuration, the magnetized portion 172 of the detected object 170 has a magnetic flux density on the upper surface 170A of the lower surface 170B. By being configured to be larger than the above, it is possible to compensate for the decrease in the magnetic flux.

　また、本実施形態では特に、着磁装置２００において磁石素材である未着磁の被検出体１７０を着磁ヨーク２２０とバックヨーク２１０との間で着磁して着磁部１７２を製造する。このようにして製造された着磁部１７２は、着磁ヨーク２２０側の表面の磁束密度がバックヨーク２１０側の表面の磁束密度よりも大きくなる。そこで、着磁部１７２の着磁ヨーク２２０側の表面が上側、バックヨーク２１０側の表面が下側となるように、被検出体１７０をディスク１１０に固定する。これにより、上面１７０Ａの磁束密度が下面１７０Ｂの磁束密度よりも大きくなるように着磁部１７２を構成できる。したがって、着磁部１７２の減磁による検出精度の低下を抑制できる。 Also, in this embodiment, in particular, the magnetized portion 200 is manufactured by magnetizing the unmagnetized detection target 170 that is a magnet material between the magnetized yoke 220 and the back yoke 210 in the magnetizing apparatus 200. In the magnetized portion 172 manufactured in this way, the magnetic flux density on the surface on the magnetized yoke 220 side is larger than the magnetic flux density on the surface on the back yoke 210 side. Therefore, the detected body 170 is fixed to the disk 110 so that the surface of the magnetized portion 172 on the magnetized yoke 220 side is on the upper side and the surface on the back yoke 210 side is on the lower side. Accordingly, the magnetized portion 172 can be configured so that the magnetic flux density on the upper surface 170A is larger than the magnetic flux density on the lower surface 170B. Therefore, a decrease in detection accuracy due to demagnetization of the magnetized portion 172 can be suppressed.

　また、本実施形態では特に、回転体Ｒがハブ１６０とディスク１１０を有している。ディスク１１０はガラス製であり、その表面１１０Ａには被検出体１７０が固定され、表面１１０Ｂにはハブ１６０が固定される。ハブ１６０は強度を要求されることからこの例では金属製であり、シャフトＳＨに連結される。このような構成により、ハブ１６０と被検出体１７０との間に、金属に比べて熱伝導率の小さなガラス製のディスク１１０を介在させることができる。その結果、モータＭ等のシャフトＳＨで発生した熱がハブ１６０から被検出体１７０の着磁部１７２に伝わるのを抑制できるので、着磁部１７２の減磁を低減し、検出精度の低下をさらに抑制することができる。 In the present embodiment, the rotating body R has the hub 160 and the disk 110 in particular. The disk 110 is made of glass, and the detection object 170 is fixed to the surface 110A, and the hub 160 is fixed to the surface 110B. Since the hub 160 is required to be strong, it is made of metal in this example, and is connected to the shaft SH. With such a configuration, the glass disk 110 having a lower thermal conductivity than that of the metal can be interposed between the hub 160 and the detection object 170. As a result, since heat generated in the shaft SH of the motor M or the like can be prevented from being transmitted from the hub 160 to the magnetized portion 172 of the detected object 170, demagnetization of the magnetized portion 172 is reduced, and detection accuracy is reduced. Further suppression can be achieved.

　また、本実施形態では特に、エンコーダ１００が、固定側である磁気検出部１２０が、回転側である被検出体１７０、ディスク１１０、及びハブ１６０に対して軸受を介さずに固定される、いわゆる「ビルトインタイプ」のエンコーダである。このタイプのエンコーダは、ディスク１１０がハブ１６０を介してシャフトＳＨに直接的に連結されるので、固定側が回転側に対して軸受を介して固定される、いわゆる「コンプリートタイプ」のエンコーダに比較して小型化が可能な反面、被検出体１７０の着磁部１７２がシャフトＳＨで発生した熱の影響を受けやすいという課題がある。そこで本実施形態では、「ビルトインタイプ」のエンコーダにおいて、ハブ１６０と被検出体１７０の着磁部１７２との間に熱伝導率の小さなガラス製のディスク１１０を介在させることで、被検出体１７０とシャフトＳＨが近接する「ビルトインタイプ」のエンコーダにおいても、ハブ１６０から被検出体１７０の着磁部１７２への伝熱を抑制することができる。したがって、多回転量を精度よく検出可能な「ビルトインタイプ」のエンコーダを実現することができる。 In the present embodiment, in particular, the encoder 100 is fixed so that the magnetic detection unit 120 on the fixed side is fixed to the detection target 170 on the rotation side, the disk 110, and the hub 160 without bearings. This is a “built-in type” encoder. In this type of encoder, the disk 110 is directly connected to the shaft SH via the hub 160, so that the fixed side is fixed to the rotating side via a bearing compared to a so-called “complete type” encoder. However, there is a problem that the magnetized portion 172 of the detection object 170 is easily affected by the heat generated in the shaft SH. Therefore, in the present embodiment, in the “built-in type” encoder, the glass disk 110 having a small thermal conductivity is interposed between the hub 160 and the magnetized portion 172 of the object 170 to be detected. Even in the “built-in type” encoder in which the shaft SH is close, heat transfer from the hub 160 to the magnetized portion 172 of the detection object 170 can be suppressed. Therefore, it is possible to realize a “built-in type” encoder capable of accurately detecting the amount of multiple rotations.

　また、本実施形態では特に、次のような効果を得ることができる。すなわち、着磁装置２００においては、下方に配置された着磁ヨーク２２０と上方に配置されたバックヨーク１１０との間に磁石素材である未着時の被検出体１７０を配置し、着磁を行う。通常、このようにして製造された着磁部１７２を備えた被検出体１７０は、上下方向の向きをそのままの状態としてディスク１１０の上面１１０Ａに固定される。上下方向の向きをそのままとするのは、仮に上下方向の向きを変更する場合、被検出体１７０を裏返す工程が新たに必要となり製造工程や製造装置が複雑化すると共に、作業者が被検出体１７０の裏表を判別する必要が生じ、作業手順も複雑化するからである。その結果、着磁ヨーク２１０側の表面よりも磁束密度の小さいバックヨーク２１０側の表面が上側に位置することとなるので、着磁部１７２が減磁した場合に磁気検出部１２０が多回転の検出に十分な磁束が得られなくなり、検出精度が低下する可能性がある。 In addition, in the present embodiment, the following effects can be obtained. That is, in the magnetizing apparatus 200, a non-magnetized object 170 to be detected, which is a magnet material, is disposed between the magnetizing yoke 220 disposed below and the back yoke 110 disposed above, and magnetizing is performed. Do. Usually, the detected object 170 including the magnetized portion 172 manufactured in this way is fixed to the upper surface 110A of the disk 110 with the vertical direction as it is. The reason why the vertical direction is left as it is is that if the vertical direction is changed, a process of turning over the detected object 170 is newly required, which complicates the manufacturing process and the manufacturing apparatus, and the operator detects the detected object. This is because it is necessary to discriminate the front and back sides of 170, and the work procedure is also complicated. As a result, the surface on the back yoke 210 side having a lower magnetic flux density than the surface on the magnetizing yoke 210 side is positioned on the upper side. Therefore, when the magnetized portion 172 is demagnetized, the magnetic detection unit 120 is rotated at multiple speeds. There is a possibility that a magnetic flux sufficient for detection cannot be obtained and the detection accuracy is lowered.

　ここで、本実施形態では、エンコーダ１００が、ディスク１００に光を照射する光源１３１と、ディスク１１０に形成された反射スリットからの反射光を受光する受光素子とを備える、いわゆる「反射型」のエンコーダである。「反射型」のエンコーダは、いわゆる「透過型」のエンコーダに比べて、光源１３１及び受光素子とディスク１１０との隙間を大きくとることができる。これにより、製造誤差等に起因するディスク１１０の回転に伴う隙間の変動の影響を少なくできるという利点がある。しかし、光源１３１及び受光素子と同一基板１６に設けられる磁気検出部１２０と被検出体１７０の着磁部１７２との間隙も大きくなるので、磁界を正確に検出するために被検出体１７０の高さ方向（軸方向）寸法を大きくする必要がある。その結果、被検出体１７０の上面１７０Ａと下面１７０Ｂとの磁束密度の差が拡大するので、特に「反射型」のエンコーダの場合には、着磁部１７２が減磁した場合に磁気検出部１２０が十分な磁界が得られなくなる可能性が高まり、検出精度の低下が顕在化するという問題がある。そこで本実施形態では、「反射型」のエンコーダにおいて、着磁後の被検出体１７０の上下方向の向きを変更し、着磁ヨーク２２０側の表面が上側、バックヨーク２１０側の表面が下側となるようにした上で、被検出体１７０をディスク１１０に固定する。これにより、被検出体１７０の高さ方向（軸方向）寸法が比較的大きい「反射型」のエンコーダにおいても、着磁部１７２の減磁による検出精度の低下を抑制することができる。したがって、多回転量を精度よく検出可能な「反射型」のエンコーダを実現することができる。 Here, in the present embodiment, the encoder 100 includes a light source 131 that irradiates the disk 100 with light and a light receiving element that receives the reflected light from the reflection slit formed on the disk 110. It is an encoder. The “reflective” encoder can have a larger gap between the light source 131 and the light receiving element and the disk 110 than the so-called “transmissive” encoder. As a result, there is an advantage that the influence of the fluctuation of the gap accompanying the rotation of the disk 110 due to a manufacturing error or the like can be reduced. However, since the gap between the magnetic detector 120 provided on the same substrate 16 as the light source 131 and the light receiving element and the magnetized portion 172 of the detected object 170 is also increased, the height of the detected object 170 is detected in order to accurately detect the magnetic field. It is necessary to increase the dimension in the vertical direction (axial direction). As a result, the difference in magnetic flux density between the upper surface 170A and the lower surface 170B of the detection object 170 increases, and particularly in the case of a “reflective” encoder, the magnetic detection unit 120 when the magnetized portion 172 is demagnetized. However, the possibility that a sufficient magnetic field cannot be obtained increases, and there is a problem that a decrease in detection accuracy becomes obvious. Therefore, in the present embodiment, in the “reflection type” encoder, the vertical direction of the detected object 170 after magnetization is changed so that the surface on the magnetized yoke 220 side is the upper side and the surface on the back yoke 210 side is the lower side. Then, the detected object 170 is fixed to the disk 110. As a result, even in a “reflection type” encoder in which the height direction (axial direction) dimension of the detection target 170 is relatively large, a decrease in detection accuracy due to demagnetization of the magnetized portion 172 can be suppressed. Therefore, it is possible to realize a “reflective” encoder capable of accurately detecting the amount of multiple rotations.

　なお、例えばこの（３－２）で説明した着磁部１７２の上面１７０Ａが下面１７０Ｂよりも磁束密度が大きいこと等による効果を得るためには、本実施形態で説明したディスク１１０の貫通孔１１１の内径寸法Ｌ３が被検出体１７０の貫通孔１７１の内径寸法Ｌ４よりも大きく形成される場合に限定されるものではない。例えば、ディスク１１０の貫通孔１１１の内径寸法Ｌ３と被検出体１７０の貫通孔１７１の内径寸法Ｌ４とが等しく形成されてもよい。あるいは、ディスク１１０の貫通孔１１１の内径寸法Ｌ３が被検出体１７０の貫通孔１７１の内径寸法Ｌ４よりも小さく形成されてもよい。 For example, in order to obtain an effect due to the fact that the upper surface 170A of the magnetized portion 172 described in (3-2) has a higher magnetic flux density than the lower surface 170B, etc., the through hole 111 of the disk 110 described in this embodiment is used. This is not limited to the case where the inner diameter dimension L3 is larger than the inner diameter dimension L4 of the through-hole 171 of the detected body 170. For example, the inner diameter dimension L3 of the through hole 111 of the disk 110 and the inner diameter dimension L4 of the through hole 171 of the detection object 170 may be formed to be equal. Alternatively, the inner diameter L3 of the through hole 111 of the disk 110 may be formed smaller than the inner diameter L4 of the through hole 171 of the detection target 170.

　また、例えばこの（３－２）で説明した着磁部１７２の上面１７０Ａが下面１７０Ｂよりも磁束密度が大きいこと等による効果を得るためには、回転体Ｒは、本実施形態で説明した別体であるハブ１６０とディスク１１０とを有する場合に限定されるものではない。例えば、回転体Ｒは、１つの部材で構成されてもよい。 Further, for example, in order to obtain an effect due to the fact that the upper surface 170A of the magnetized portion 172 described in (3-2) has a higher magnetic flux density than the lower surface 170B, the rotating body R is different from that described in the present embodiment. The present invention is not limited to the case where the body has the hub 160 and the disk 110. For example, the rotating body R may be composed of one member.

　また、例えばこの（３－２）で説明した着磁部１７２の上面１７０Ａが下面１７０Ｂよりも磁束密度が大きいこと等による効果を得るためには、本実施形態で説明した段差部１６４の高さ寸法Ｌ１がディスク１１０の厚み寸法Ｌ２の略半分に構成される場合に限定されるものではない。例えば、段差部１６４の高さ寸法Ｌ１がディスク１１０の厚み寸法Ｌ２の半分よりも小さく構成されてもよいし大きく構成されてもよい。 Further, for example, in order to obtain an effect due to the fact that the upper surface 170A of the magnetized portion 172 described in (3-2) has a higher magnetic flux density than the lower surface 170B, the height of the stepped portion 164 described in the present embodiment. The present invention is not limited to the case where the dimension L1 is configured to be approximately half the thickness dimension L2 of the disk 110. For example, the height L1 of the stepped portion 164 may be configured to be smaller or larger than half of the thickness L2 of the disk 110.

　また、例えばこの（３－２）で説明した着磁部１７２の上面１７０Ａが下面１７０Ｂよりも磁束密度が大きいこと等による効果を得るためには、被検出体１７０は、本実施形態で説明した略１８０度の回転角度範囲で着磁部１７２が磁界を発生させるように構成される場合に限定されるものではない。 For example, in order to obtain an effect due to the fact that the upper surface 170A of the magnetized portion 172 described in (3-2) has a higher magnetic flux density than the lower surface 170B, the detected object 170 has been described in this embodiment. The present invention is not limited to the case where the magnetized portion 172 is configured to generate a magnetic field within a rotation angle range of approximately 180 degrees.

　また、例えばこの（３－２）で説明した着磁部１７２の上面１７０Ａが下面１７０Ｂよりも磁束密度が大きいこと等による効果を得るためには、磁気抵抗素子１２１及び磁界検出素子１２２は、本実施形態で説明した被検出体１７０の回転方向に互いに略９０度ずれて配置される場合に限定されるものではない。 For example, in order to obtain an effect due to the fact that the upper surface 170A of the magnetized portion 172 described in (3-2) has a higher magnetic flux density than the lower surface 170B, the magnetoresistive element 121 and the magnetic field detecting element 122 are The present invention is not limited to the case where the detection target 170 described in the embodiment is arranged so as to be shifted from each other by approximately 90 degrees in the rotation direction.

　また、例えばこの（３－２）で説明した着磁部１７２の上面１７０Ａが下面１７０Ｂよりも磁束密度が大きいこと等による効果を得るためには、磁気検出部１２０は、本実施形態で説明した磁気抵抗素子１２１及び磁界検出素子１２２を１つずつ有する場合に限定されるものではない。 Further, for example, in order to obtain an effect due to the fact that the upper surface 170A of the magnetized portion 172 described in (3-2) has a higher magnetic flux density than the lower surface 170B, the magnetic detection unit 120 has been described in this embodiment. The present invention is not limited to the case of having one magnetoresistive element 121 and one magnetic field detecting element 122.

　　（３－３．１８０度の回転角度範囲で着磁部が磁界を発生すること等による効果の例）
　また、本実施形態のエンコーダ１００では、略１８０度の回転角度範囲において、着磁部１７２が磁界を発生させ、残りの略１８０度の回転角度範囲では磁界が発生されない。磁気検出部１２０は、着磁部１７２が磁界を発生する略１８０度の回転角度範囲では該磁界を検出し、残りの略１８０度の回転角度範囲では磁界を検出しないので、ディスク１１０の１回転毎に１周期となる信号を出力する。カウンタ１４３は、磁気抵抗素子１２１及び磁界検出素子１２２より得られる略９０度の位相差を有する２相信号をカウントすることによって、ディスク１１０の多回転量を検出する。このような構成は、３６０度の回転角度範囲全域に亘って設けた磁石素材である未着磁の被検出体１７０の略１８０度の回転角度範囲内を着磁することにより、実現することができる。これにより、未着磁の被検出体１７０の全域に亘って着磁を行う必要がなく、略１８０度の回転角度範囲内のみ着磁を行えばよいので、着磁工程が簡素化でき、生産性を向上することができる。また特に、略１８０度の回転角度範囲で磁界が発生される場合、磁界発生有無の境目である境界が、３６０度の回転角度中で対象な２つの位置Ｂ１，Ｂ２となる。これにより、０度位置及び１８０度位置の２回の検出結果から、カウントアップダウンの判定が可能となり、より正確な回転回数を算出できる（例えば、一方でカウントアップダウンさせ、他方でチェックする等）。また、仮に、略１８０度の回転角度範囲で磁界を発生させ、残りの略１８０度の回転角度範囲では磁界が発生されないように構成されることに起因して被検出体１７０から発生される磁束の減少が生じた場合でも、特に本実施形態では、被検出体１７０の着磁部１７２が、その上面１７０Ａの磁束密度がその下面１７０Ｂの磁束密度よりも大きくなるように構成されることで、上記磁束の減少を補うことができる。 (3-3. Examples of effects caused by the magnetized portion generating a magnetic field within a rotation angle range of 180 degrees)
In the encoder 100 of this embodiment, the magnetized portion 172 generates a magnetic field in the rotation angle range of approximately 180 degrees, and no magnetic field is generated in the remaining rotation angle range of approximately 180 degrees. The magnetic detection unit 120 detects the magnetic field in a rotation angle range of approximately 180 degrees where the magnetizing unit 172 generates a magnetic field, and does not detect the magnetic field in the remaining rotation angle range of approximately 180 degrees. A signal having one cycle is output every time. The counter 143 detects the multi-rotation amount of the disk 110 by counting a two-phase signal having a phase difference of about 90 degrees obtained from the magnetoresistive element 121 and the magnetic field detection element 122. Such a configuration can be realized by magnetizing within a rotation angle range of approximately 180 degrees of an unmagnetized detection object 170 that is a magnet material provided over the entire rotation angle range of 360 degrees. it can. As a result, it is not necessary to magnetize the entire area of the non-magnetized object 170 to be detected, and it is only necessary to perform the magnetization within a rotation angle range of approximately 180 degrees. Can be improved. In particular, when a magnetic field is generated in a rotation angle range of approximately 180 degrees, the boundary that is the boundary between the occurrence and non-occurrence of the magnetic field becomes two target positions B1 and B2 in the rotation angle of 360 degrees. As a result, the count-up / down determination can be made from the two detection results of the 0-degree position and the 180-degree position, and a more accurate number of rotations can be calculated (for example, counting up and down on one side, checking on the other side, etc.) ). Further, it is assumed that the magnetic field is generated in the rotation angle range of about 180 degrees, and the magnetic flux generated from the detection target 170 due to the configuration that the magnetic field is not generated in the remaining rotation angle range of about 180 degrees. Even in the present embodiment, particularly in the present embodiment, the magnetized portion 172 of the detection object 170 is configured such that the magnetic flux density on the upper surface 170A is larger than the magnetic flux density on the lower surface 170B. The decrease in the magnetic flux can be compensated.

　また、本実施形態では特に、着磁部１７２は、略１８０度の回転角度範囲で着磁された磁石素材である。これにより、例えば磁石素材である未着磁の被検出体１７２を円環状に形成し、３６０度の回転角度範囲全域に亘り被検出体１７２を設けておき、略１８０度の回転角度範囲にのみ着磁することによって、本実施形態の着磁部１７０を得ることができる。なお、残りの１８０度の範囲は未着磁の磁石素材となる。このようにすることで、略１８０度の回転角度範囲にのみ着磁を行えばよいので、被検出体１７２の全域に亘って着磁する場合に比べて着磁工程を簡素化でき、生産性を向上することができる。また、着磁範囲が狭いので、着磁装置２００を小型化することができる。 In the present embodiment, in particular, the magnetized portion 172 is a magnet material magnetized in a rotation angle range of approximately 180 degrees. As a result, for example, an unmagnetized detected object 172 made of a magnet material is formed in an annular shape, and the detected object 172 is provided over the entire rotation angle range of 360 degrees, and only in a rotation angle range of approximately 180 degrees. By magnetizing, the magnetized portion 170 of this embodiment can be obtained. The remaining 180 degrees range is an unmagnetized magnet material. By doing so, it is only necessary to perform magnetization in a rotation angle range of approximately 180 degrees, so that the magnetization process can be simplified and productivity can be improved as compared with the case where magnetization is performed over the entire area of the detected object 172. Can be improved. Moreover, since the magnetization range is narrow, the magnetizing apparatus 200 can be reduced in size.

　また、本実施形態では特に、着磁部１７２が発生する磁界を検出する磁気検出部１２０の１つに磁気抵抗素子１２１を用いる。磁気抵抗素子１２１は、磁界検出素子１２２に比べて消費電力が小さいので、バックアップ電源の寿命を長くでき、また水平方向の磁界を検出するので、シャフトＳＨを通して伝わるブレーキ等からの漏れ磁束の影響を受けにくいという利点がある。 In this embodiment, in particular, the magnetoresistive element 121 is used as one of the magnetic detectors 120 that detect the magnetic field generated by the magnetized portion 172. Since the magnetoresistive element 121 consumes less power than the magnetic field detecting element 122, the life of the backup power supply can be extended, and the horizontal magnetic field is detected, so that the influence of leakage magnetic flux from the brake or the like transmitted through the shaft SH is affected. There is an advantage that it is difficult to receive.

　ここで、一般には、磁気抵抗素子を用いて、ＮＳの一対の磁極が回転軸心ＡＸに対して垂直な方向に形成された通常の着磁部が発生する磁界を検出する場合、磁界の方向を検出するためにバイアス磁石を設ける必要がある。このバイアス磁石は磁気抵抗素子に形成された磁石取付用の凹部に取り付けられるが、バイアス磁石及び凹部は非常に小型であるので作業性が悪く、またバイアス磁石が高価であるので部品コストが高くなるという問題がある。このため、バイアス磁石を使用せずに磁気抵抗素子を用いようとすると、磁気抵抗素子は磁界の方向を検出できないことから、ディスク１１０の１回転毎に２周期の検出信号が出力されることになり、カウンタ１４３に２倍の信号処理能力が必要となってしまう。 Here, in general, when a magnetic field generated by a normal magnetized portion in which a pair of NS magnetic poles is formed in a direction perpendicular to the rotation axis AX is detected using a magnetoresistive element, the direction of the magnetic field In order to detect this, it is necessary to provide a bias magnet. The bias magnet is attached to a magnet mounting recess formed in the magnetoresistive element. However, the bias magnet and the recess are very small, so that the workability is poor, and the bias magnet is expensive, resulting in a high part cost. There is a problem. For this reason, if an attempt is made to use a magnetoresistive element without using a bias magnet, the magnetoresistive element cannot detect the direction of the magnetic field, so that a detection signal of two cycles is output for each rotation of the disk 110. Thus, the counter 143 requires twice as much signal processing capability.

　本実施形態では、略１８０度の回転角度範囲において、着磁部１７２が磁界を発生させ、残りの略１８０度の回転角度範囲では磁界が発生されない。そして、磁気抵抗素子１２１は、略１８０度の回転角度範囲においてのみ磁界を検出し、残りの略１８０度の回転角度範囲では磁界を検出しないことにより、ディスク１１０の１回転毎に１周期となる信号を出力する。これにより、バイアス磁石を使用しなくてもディスク１１０の１回転毎に１周期の信号を得ることができる。したがって、作業性の悪いバイアス磁石取付作業を不要とすることができ、また、バイアス磁石が不要な分、部品コストを削減することができる。 In this embodiment, the magnetized portion 172 generates a magnetic field in the rotation angle range of approximately 180 degrees, and no magnetic field is generated in the remaining rotation angle range of approximately 180 degrees. The magnetoresistive element 121 detects a magnetic field only in a rotation angle range of approximately 180 degrees and does not detect a magnetic field in the remaining rotation angle range of approximately 180 degrees, so that one cycle is made for each rotation of the disk 110. Output a signal. As a result, a signal of one cycle can be obtained for each rotation of the disk 110 without using a bias magnet. Accordingly, it is possible to eliminate the work of attaching the bias magnet having poor workability, and it is possible to reduce the cost of parts because the bias magnet is unnecessary.

　また、本実施形態では特に、次のような効果を得ることができる。すなわち、磁気抵抗素子１２１は、磁界検出素子１２２と比較して消費電力が小さく、ブレーキ等からの漏れ磁束の影響を受けにくいという利点があるが、必要な設置スペースが大きく、コストが高いという欠点がある。一方、磁界検出素子１２２は、磁気抵抗素子１２１と比較して必要な設置スペースが小さく、コストが安いという利点があるが、消費電力が大きく、漏れ磁束の影響を受け易いという欠点がある。したがって、本実施形態では磁気検出部１２０を磁気抵抗素子１２１と磁界検出素子１２２の両方で構成することにより、互いの欠点を相殺させた磁気検出部１２０を実現することができる。 In addition, in the present embodiment, the following effects can be obtained. That is, the magnetoresistive element 121 has advantages that it consumes less power than the magnetic field detection element 122 and is less susceptible to leakage magnetic flux from a brake or the like, but has a disadvantage that a large installation space is required and the cost is high. There is. On the other hand, the magnetic field detection element 122 has the advantages that the required installation space is small and the cost is lower than that of the magnetoresistive element 121, but has the disadvantage that the power consumption is large and it is easily affected by the leakage magnetic flux. Therefore, in the present embodiment, by configuring the magnetic detection unit 120 with both the magnetoresistive element 121 and the magnetic field detection element 122, it is possible to realize the magnetic detection unit 120 in which the mutual defects are offset.

　また、本実施形態では特に、バックアップ電源供給時には、磁気抵抗素子１２１及びＡ相パルス生成部１４１に電源を供給する。これにより、Ａ相パルス生成部１４１は、磁気抵抗素子１２１の出力に基づいてＡ相パルス信号ａを生成する。そして、パルス発生回路１４４は、Ａ相パルス信号ａのレベル変化を検出した場合には、それを起点に所定の時間幅で磁界検出素子１２２及びＢ相パルス生成部１４２へ電源を供給する。これにより、Ｂ相パルス生成部１４２がＡ相パルス信号ａと９０度の位相差を有するＢ相パルス信号ｂを生成する。そして、カウンタ１４３がＡ相パルス信号ａ及びＢ相パルス信号ｂに基づいてディスク１１０の多回転量を検出する。このように電源供給を制御することで、消費電力の大きい磁界検出素子１２２への電力供給時間を大幅に短縮し、省電力化することができる。したがって、バックアップ電源の寿命を長くすることができる。 In this embodiment, in particular, power is supplied to the magnetoresistive element 121 and the A-phase pulse generator 141 when supplying backup power. As a result, the A-phase pulse generator 141 generates the A-phase pulse signal a based on the output of the magnetoresistive element 121. When the level change of the A-phase pulse signal a is detected, the pulse generation circuit 144 supplies power to the magnetic field detection element 122 and the B-phase pulse generation unit 142 with a predetermined time width from the detected change. As a result, the B-phase pulse generator 142 generates a B-phase pulse signal b having a phase difference of 90 degrees from the A-phase pulse signal a. The counter 143 detects the multi-rotation amount of the disk 110 based on the A-phase pulse signal a and the B-phase pulse signal b. By controlling the power supply in this way, the power supply time to the magnetic field detecting element 122 with high power consumption can be greatly shortened, and power can be saved. Therefore, the life of the backup power supply can be extended.

　なお、例えばこの（３－３）で説明した略１８０度の回転角度範囲で着磁部１７２が磁界を発生すること等による効果を得るためには、着磁部１７２は、本実施形態で説明した上面１７０Ａの磁束密度が下面１７０Ｂの磁束密度よりも大きくなるように構成される場合に限定されるものではない。 For example, in order to obtain the effect of the magnetized portion 172 generating a magnetic field in the rotation angle range of about 180 degrees described in (3-3), the magnetized portion 172 is described in the present embodiment. However, the present invention is not limited to the case where the magnetic flux density of the upper surface 170A is configured to be larger than the magnetic flux density of the lower surface 170B.

　また、例えばこの（３－３）で説明した略１８０度の回転角度範囲で着磁部１７２が磁界を発生すること等による効果を得るためには、本実施形態で説明した、被検出体１７０は、着磁部１７２の着磁ヨーク２２０側の表面が上側、バックヨーク２１０側の表面が下側となるように、ディスク１１０に固定される場合に限定されるものではない。 Further, for example, in order to obtain the effect of the magnetized portion 172 generating a magnetic field in the rotation angle range of about 180 degrees described in (3-3), the detected object 170 described in this embodiment is used. Is not limited to the case where the magnetized portion 172 is fixed to the disk 110 such that the surface on the magnetized yoke 220 side is the upper side and the surface on the back yoke 210 side is the lower side.

　また、例えばこの（３－３）で説明した略１８０度の回転角度範囲で着磁部１７２が磁界を発生すること等による効果を得るためには、ディスク１１０は、本実施形態で説明したガラスにより形成される場合に限定されるものではない。 Further, for example, in order to obtain the effect of the magnetized portion 172 generating a magnetic field in the rotation angle range of about 180 degrees described in (3-3), the disk 110 is made of the glass described in the present embodiment. It is not limited to the case where it forms by.

　また、例えばこの（３－３）で説明した略１８０度の回転角度範囲で着磁部１７２が磁界を発生すること等による効果を得るためには、本実施形態で説明したディスク１１０の貫通孔１１１の内径寸法Ｌ３が被検出体１７０の貫通孔１７１の内径寸法Ｌ４よりも大きく形成される場合に限定されるものではない。 Further, for example, in order to obtain the effect of the magnetized portion 172 generating a magnetic field in the rotation angle range of about 180 degrees described in (3-3), the through hole of the disk 110 described in the present embodiment is used. It is not limited to the case where the inner diameter dimension L3 of 111 is formed larger than the inner diameter dimension L4 of the through hole 171 of the detection object 170.

　また、例えばこの（３－３）で説明した略１８０度の回転角度範囲で着磁部１７２が磁界を発生すること等による効果を得るためには、回転体Ｒは、本実施形態で説明した別体であるハブ１６０とディスク１１０とを有する場合に限定されるものではない。 Further, for example, in order to obtain an effect of the magnetized portion 172 generating a magnetic field in the rotation angle range of about 180 degrees described in (3-3), the rotating body R is described in the present embodiment. However, the present invention is not limited to the case where the hub 160 and the disk 110 are provided separately.

　また、例えばこの（３－３）で説明した略１８０度の回転角度範囲で着磁部１７２が磁界を発生すること等による効果を得るためには、本実施形態で説明した段差部１６４の高さ寸法Ｌ１がディスク１１０の厚み寸法Ｌ２の略半分に構成される場合に限定されるものではない。 For example, in order to obtain the effect of the magnetized portion 172 generating a magnetic field in the rotation angle range of about 180 degrees described in (3-3), the height of the stepped portion 164 described in the present embodiment is high. The present invention is not limited to the case where the length L1 is configured to be approximately half the thickness L2 of the disk 110.

　なお、以上説明したエンコーダ１００等による効果等は、あくまで一例であって、さらなる効果等をエンコーダ１００等が奏することは言うまでもない。 It should be noted that the effects and the like by the encoder 100 and the like described above are merely examples, and it goes without saying that the encoder 100 and the like exert further effects and the like.

＜４．変形例等＞
　以上、添付図面を参照しながら一実施形態について詳細に説明した。しかしながら、技術的思想の範囲は、ここで説明した実施の形態に限定されないことは言うまでもない。実施形態の属する技術の分野における通常の知識を有する者であれば、特許請求の範囲に記載された技術的思想の範囲内において、様々な変更や修正、組み合わせなどを行うことに想到できることは明らかである。従って、これらの変更や修正、組み合わせなどの後の技術も、当然に技術的思想の範囲に属するものである。以下、そのような変形例を順を追って説明する。なお、以下の説明において上記実施形態と同様の部分には同符号を付し、適宜説明を省略する。 <4. Modified example>
The embodiment has been described in detail with reference to the accompanying drawings. However, it goes without saying that the scope of the technical idea is not limited to the embodiment described here. It is obvious that a person having ordinary knowledge in the technical field to which the embodiments belong can make various changes, modifications, combinations, and the like within the scope of the technical idea described in the claims. It is. Accordingly, the subsequent techniques such as changes, modifications, and combinations naturally belong to the scope of the technical idea. Hereinafter, such modifications will be described in order. In the following description, the same reference numerals are given to the same parts as those in the above embodiment, and the description will be omitted as appropriate.

　　（４－１．磁石と非磁性体とで被検出体を構成する場合）
　上記実施形態では、被検出体１７０を、略１８０度の回転角度範囲で着磁された部分（着磁部１７２）と、残りの略１８０度の回転角度範囲で着磁されなかった部分（未着磁部１７３）とを含む円環状の磁石素材で構成した。しかしながら、上記実施形態で説明した効果等を得るためには、この例に限定されるものではない。例えば、被検出体を、中心角が略１８０度である円弧状の磁石と、該磁石の回転方向における反対側に配置され、該磁石と略同形状である非磁性体とで構成してもよい。 (4-1. When the object to be detected is composed of a magnet and a non-magnetic material)
In the above-described embodiment, the detected object 170 is magnetized in a portion (magnetized portion 172) that is magnetized in a rotation angle range of approximately 180 degrees and a portion that is not magnetized in the remaining rotation angle range of approximately 180 degrees (not yet). And a magnet material including a magnetized portion 173). However, the present invention is not limited to this example in order to obtain the effects described in the above embodiment. For example, the object to be detected may be configured by an arc-shaped magnet having a central angle of approximately 180 degrees and a non-magnetic material that is disposed on the opposite side in the rotation direction of the magnet and has the same shape as the magnet. Good.

　図１０を参照しつつ、本変形例に係る被検出体の構成について説明する。図１０は、本変形例に係る被検出体及び磁気検出部の構成の一例を表す平面図である。 Referring to FIG. 10, the configuration of the detection target according to the present modification will be described. FIG. 10 is a plan view illustrating an example of the configuration of the detection target and the magnetic detection unit according to this modification.

　図１０に示すように、本変形例に係る被検出体１７０’は、前述の被検出体１７０と略同形状、つまり円環状に形成されており、３６０度の回転角度範囲全域に亘って設けられている。被検出体１７０’の略中央部（内側）には、貫通孔１７１が設けられている。 As shown in FIG. 10, the detected object 170 ′ according to this modification is formed in substantially the same shape as the detected object 170, that is, in an annular shape, and is provided over the entire rotation angle range of 360 degrees. It has been. A through hole 171 is provided in a substantially central portion (inner side) of the detection object 170 ′.

　また、被検出体１７０’は、中心角が略１８０度である円弧状の磁石素材の全域（略１８０度の回転角度範囲）が着磁されることにより製造された磁石１７２’と、磁石１７２’の回転方向における反対側に配置され、磁石１７２’と略同形状である非磁性体１７３’と有する。 In addition, the detected object 170 ′ includes a magnet 172 ′ manufactured by magnetizing an entire area of the arc-shaped magnet material having a center angle of approximately 180 degrees (a rotation angle range of approximately 180 degrees), and a magnet 172. It is arranged on the opposite side in the rotation direction of 'and has a non-magnetic material 173' having substantially the same shape as the magnet 172 '.

磁石１７２’は、磁界を発生する。なお、磁石１７２’の磁極パターンは、前述の被検出体１７０の着磁部１７２と同様となっている。図１０中では、磁石１７２’における磁束の向きが反転する境目である境界線を符号Ｂ３で示している。非磁性体１７３’は、磁界を発生しない。なお、被検出体１７０’の貫通孔１７１は、磁石１７２’や非磁性体１７３’の貫通孔とも言える。従って、被検出体１７０’における磁気発生有無の境目である境界は、３６０度の回転角度中でほぼ対照な２つの位置Ｂ１，Ｂ２となっている。被検出体１７０’は、位置Ｂ１，Ｂ２のうち一方（この例では位置Ｂ１）が、前述の原点位置Ｐと略一致するように、配置されている。 The magnet 172 'generates a magnetic field. The magnetic pole pattern of the magnet 172 'is the same as the magnetized portion 172 of the detection object 170 described above. In FIG. 10, a boundary line which is a boundary where the direction of the magnetic flux in the magnet 172 'is reversed is indicated by a symbol B3. The non-magnetic material 173 'does not generate a magnetic field. Note that the through hole 171 of the detection object 170 ′ can be said to be a through hole of the magnet 172 ′ or the nonmagnetic material 173 ′. Therefore, the boundary which is the boundary of the presence or absence of magnetism in the detected object 170 'is two positions B1 and B2 which are substantially contrasted at a rotation angle of 360 degrees. The detected body 170 ′ is arranged so that one of the positions B 1 and B 2 (in this example, the position B 1) substantially coincides with the origin position P described above.

　従って、本変形例では、磁石１７２’に対応する略１８０度の回転角度範囲では該磁石１７２’から磁界が発生されるが、非磁性体１７３’に対応する残りの略１８０度の回転角度範囲では磁界が発生されない。 Therefore, in this modification, a magnetic field is generated from the magnet 172 ′ in the rotation angle range of approximately 180 degrees corresponding to the magnet 172 ′, but the remaining rotation angle range of approximately 180 degrees corresponding to the non-magnetic material 173 ′. Then, no magnetic field is generated.

　そして、磁気抵抗素子１２１は、磁石１７２’に対応する略１８０度の回転角度範囲では該磁石１７２’が発生する磁界を検出し、非磁性体１７３’に対応する残りの略１８０度の回転角度範囲では磁界を検出しない。これにより、磁気抵抗素子１２１は、ディスク１１０が１回転すると１周期変化する磁界を検出して、ディスク１１０の１回転毎に１周期となる信号を出力する。一方、磁界検出素子１２２は、磁石１７２’に対応する略１８０度の回転角度範囲では該磁石１７２’が発生する磁界を検出し、非磁性体１７３’に対応する残りの略１８０度の回転角度範囲では磁界を検出しない。これにより、磁界検出素子１２２は、ディスク１１０が１回転すると１周期変化する磁界を検出して、ディスク１１０の１回転毎に１周期となる信号を出力する。 Then, the magnetoresistive element 121 detects the magnetic field generated by the magnet 172 ′ in the rotation angle range of approximately 180 degrees corresponding to the magnet 172 ′, and the remaining rotation angle of approximately 180 degrees corresponding to the nonmagnetic material 173 ′. No magnetic field is detected in the range. Thus, the magnetoresistive element 121 detects a magnetic field that changes for one period when the disk 110 rotates once, and outputs a signal that becomes one period for each rotation of the disk 110. On the other hand, the magnetic field detection element 122 detects the magnetic field generated by the magnet 172 ′ in the rotation angle range of approximately 180 degrees corresponding to the magnet 172 ′, and the remaining rotation angle of approximately 180 degrees corresponding to the nonmagnetic material 173 ′. No magnetic field is detected in the range. As a result, the magnetic field detection element 122 detects a magnetic field that changes for one period when the disk 110 rotates once, and outputs a signal having one period for each rotation of the disk 110.

　以上説明した本変形例によれば、上記実施形態と同様の効果を得ることができる。また、本変形例では、磁石１７２’は、中心角が略１８０度である円弧状に形成されている。これにより、３６０度の回転角度範囲全域に亘り磁石を設ける場合に比べて、磁石の大きさが半分になるので、接着工程を簡素化でき、生産性を向上できる。また、磁石量を半減できるので、コストを削減できる。 According to this modification described above, the same effect as the above embodiment can be obtained. In the present modification, the magnet 172 'is formed in an arc shape having a central angle of approximately 180 degrees. Thereby, compared with the case where a magnet is provided over the entire rotation angle range of 360 degrees, the size of the magnet is halved, so that the bonding process can be simplified and productivity can be improved. Moreover, since the amount of magnets can be halved, the cost can be reduced.

　また、本変形例では、磁石１７２’の回転方向における反対側に該磁石１７２’と略同形状である非磁性体１７３’を設ける。この非磁性体１７３’を磁石１７２’と同等の重量とすることで、磁石１７２’の回転方向におけるアンバランスをなくすことが可能となり、ディスク１１０の多回転量や絶対位置の検出精度が低下するのを防止できる。 In this modification, a nonmagnetic material 173 ′ having substantially the same shape as the magnet 172 ′ is provided on the opposite side in the rotation direction of the magnet 172 ′. By setting the non-magnetic material 173 ′ to the same weight as the magnet 172 ′, it is possible to eliminate imbalance in the rotation direction of the magnet 172 ′, and the detection accuracy of the multi-rotation amount and absolute position of the disk 110 is reduced. Can be prevented.

　　（４－２．中心角が略１８０度である円弧状の磁石を被検出体とする場合）
　上記（４－１）の変形例では、被検出体１７０’を、中心角が略１８０度である円弧状の磁石１７２’と、磁石ＭＧの回転方向における反対側に配置され、磁石１７２’と略同形状である非磁性体１７３’とで構成した。しかしながら、上記実施形態や各変形例で説明した効果等を得るためには、この例に限定されるものではない。例えば、被検出体を、中心角が略１８０度である円弧状の磁石のみから構成してもよい。 (4-2. When an arc-shaped magnet having a central angle of about 180 degrees is used as the detection object)
In the modified example of (4-1) above, the detected object 170 ′ is arranged on the opposite side in the rotation direction of the magnet MG with the arc-shaped magnet 172 ′ having a central angle of approximately 180 degrees, and the magnet 172 ′. The non-magnetic material 173 ′ has substantially the same shape. However, the present invention is not limited to this example in order to obtain the effects and the like described in the above embodiments and modifications. For example, the object to be detected may be composed of only an arc-shaped magnet having a central angle of approximately 180 degrees.

　　（４－３．その他）
　上記実施形態では、被検出体１７０がディスク１１０に直接固定されていた。しかしながら、上記実施形態や各変形例で説明した効果等を得るためには、この例に限定されるものではなく、被検出体１７０がディスク１１０に間接的に連結されていてもよい。 (4-3. Others)
In the above embodiment, the detection object 170 is directly fixed to the disk 110. However, the present invention is not limited to this example in order to obtain the effects described in the above embodiments and modifications, and the detected object 170 may be indirectly connected to the disk 110.

　また、上記実施形態及び（４－１）の変形例では、被検出体１７０又は被検出体１７０’が円環状に形成され、その略半分の円弧状の領域が着磁部１７２又は磁石１７２’、残りの円弧状の領域が未着磁部１７３又は非磁性体１７３’とされていた。しかしながら、上記実施形態や各変形例で説明した効果等を得るためには、この例に限定されるものではない。例えば、被検出体を円板状に形成し、その略半分の半円状の領域を着磁部又は磁石、残りの半円状の領域を未着磁部又は非磁性体としてもよい。また、上記（４－２）の変形例では、被検出体が円弧状の磁石で形成されていた。しかしながら、上記実施形態や各変形例で説明した効果等を得るためには、この例に限定されるものではなく、被検出体を半円状の磁石で形成してもよい。 Further, in the above embodiment and the modification of (4-1), the detected object 170 or the detected object 170 ′ is formed in an annular shape, and an approximately half arc-shaped region is the magnetized portion 172 or the magnet 172 ′. The remaining arc-shaped region is the non-magnetized portion 173 or the non-magnetic material 173 ′. However, the present invention is not limited to this example in order to obtain the effects and the like described in the above embodiments and modifications. For example, the object to be detected may be formed in a disc shape, and a substantially half of the semicircular region may be a magnetized portion or a magnet, and the remaining semicircular region may be an unmagnetized portion or a nonmagnetic material. In the modified example of (4-2), the detected object is formed of an arc-shaped magnet. However, the present invention is not limited to this example in order to obtain the effects described in the above-described embodiments and modifications, and the detection target may be formed of a semicircular magnet.

　また、上記実施形態では、磁気抵抗素子１２１が、略１８０度の回転角度範囲で着磁部１７２が発生する磁界を検出し、残りの略１８０度の回転角度範囲では磁界を検出しないことにより、ディスク１１０の１回転毎に１周期となる信号を出力し、この信号等に基づいてディスク１１０の多回転量を検出していた。しかしながら、上記実施形態や各変形例で説明した効果等を得るためには、この例に限定されるものではない。例えば、バイアス磁石を設け、このバイアス磁石により着磁部１７２が発生する磁界の方向を検出することにより、ディスク１１０の１回転毎に２周期となる信号を出力し、この信号等に基づいてディスク１１０の多回転量を検出してもよい。 In the above embodiment, the magnetoresistive element 121 detects the magnetic field generated by the magnetized portion 172 in the rotation angle range of approximately 180 degrees, and does not detect the magnetic field in the remaining rotation angle range of approximately 180 degrees. A signal having one cycle is output for each rotation of the disk 110, and the multi-rotation amount of the disk 110 is detected based on this signal or the like. However, the present invention is not limited to this example in order to obtain the effects and the like described in the above embodiments and modifications. For example, by providing a bias magnet and detecting the direction of the magnetic field generated by the magnetized portion 172 by this bias magnet, a signal having two cycles is output for each rotation of the disk 110, and the disk is based on this signal or the like. 110 may be detected.

　また、上記実施形態では、エンコーダ１００が、受光アレイＰＡがディスク１１０に対し光源１３１と同じ側に配置された、いわゆる「反射型」のエンコーダである場合を例にとって説明したが、上記実施形態や各変形例で説明した効果等を得るためには、この例に限定されるものではない。すなわち、エンコーダとして、受光アレイＰＡがディスク１１０に対し光源１３１と反対側に配置された、いわゆる「透過型」のエンコーダを用いてもよい。この場合、ディスク１１０において、スリットアレイＳＡを透過孔として形成する、あるいは、スリット以外の部分をスパッタリング等により粗面としたり透過率の低い材質を塗布したりすることで形成してもよい。 In the above embodiment, the encoder 100 is described as an example of a so-called “reflective” encoder in which the light receiving array PA is disposed on the same side as the light source 131 with respect to the disk 110. In order to acquire the effect etc. which were demonstrated in each modification, it is not limited to this example. That is, a so-called “transmission type” encoder in which the light receiving array PA is disposed on the opposite side of the light source 131 with respect to the disk 110 may be used as the encoder. In this case, in the disk 110, the slit array SA may be formed as a transmission hole, or a portion other than the slit may be roughened by sputtering or the like, or a material having low transmittance may be applied.

　また、上記実施形態では、エンコーダ１００が、シャフトＳＨに回転ディスク１１０が直接的に連結される、いわゆる「ビルトインタイプ」のエンコーダ１００である場合を例にとって説明したが、上記実施形態や各変形例で説明した効果等を得るためには、この例に限定されるものではない。すなわち、エンコーダとして、ディスク１１０がエンコーダ専用のシャフトに連結され、そのシャフトがモータＭ等に連結可能に形成される、いわゆる「コンプリートタイプ」のエンコーダを用いてもよい。この場合、ハブは、シャフトＳＨに間接的に連結されることとなる。 Further, in the above embodiment, the case where the encoder 100 is the so-called “built-in type” encoder 100 in which the rotating disk 110 is directly connected to the shaft SH has been described as an example. In order to obtain the effects described in the above, the present invention is not limited to this example. That is, a so-called “complete type” encoder in which the disk 110 is connected to a shaft dedicated to the encoder and the shaft can be connected to the motor M or the like may be used as the encoder. In this case, the hub is indirectly connected to the shaft SH.

　また、上記実施形態では設けなかったが、ディスク１１０に円周方向でインクリメンタルパターンを有する複数の反射スリットを設けてもよい。インクリメンタルパターンは、所定のピッチで規則的に繰り返されるパターンである。このインクリメンタルパターンは、複数の受光素子による検出の有無それぞれをビットとして絶対位置を表すアブソリュートパターンと異なり、少なくとも１以上の受光素子による検出信号の和により、１ピッチ毎又は１ピッチ内のモータＭの位置を表す。従って、インクリメンタルパターンは、モータＭの絶対位置を表すものではないが、アプソリュートパターンに比べると非常に高精度に位置を表すことが可能である。 Further, although not provided in the above embodiment, a plurality of reflective slits having an incremental pattern in the circumferential direction may be provided on the disk 110. The incremental pattern is a pattern that is regularly repeated at a predetermined pitch. This incremental pattern is different from an absolute pattern that represents an absolute position using each of the presence / absence of detection by a plurality of light receiving elements as a bit, and differs depending on the sum of detection signals by at least one or more light receiving elements. Represents the position. Therefore, the incremental pattern does not represent the absolute position of the motor M, but can represent the position with very high accuracy compared to the absolute pattern.

　また、図１、図２、及び図７中に示す矢印は、信号の流れの一例を示すものであり、信号の流れ方向を限定するものではない。 In addition, the arrows shown in FIGS. 1, 2, and 7 show an example of the signal flow, and do not limit the signal flow direction.

　また、以上既に述べた以外にも、上記実施形態や各変形例による手法を適宜組み合わせて利用してもよい。 In addition to those already described above, the methods according to the above-described embodiment and each modification may be used in appropriate combination.

　その他、一々例示はしないが、上記実施形態や各変形例は、その趣旨を逸脱しない範囲内において、種々の変更が加えられて実施されるものである。 In addition, although not illustrated one by one, the above-described embodiment and each modification are implemented with various modifications within a range not departing from the gist thereof.

　１４　　　　　　ボルト
　１４Ａ　　　　　座面
　１００　　　　　エンコーダ
　１１０　　　　　ディスク
　１１０Ａ　　　　上面
　１１０Ｂ　　　　下面
　１１０Ｃ　　　　内周面
　１１１　　　　　貫通孔
　１２０　　　　　磁気検出部
　１２１　　　　　磁気抵抗素子
　１２２　　　　　磁界検出素子
　１３１　　　　　光源
　１４１　　　　　Ａ相パルス生成部
　１４２　　　　　Ｂ相パルス生成部
　１４３　　　　　カウンタ
　１４４　　　　　パルス発生回路
　１６０　　　　　ハブ
　１６１　　　　　貫通孔
　１６２　　　　　ディスク固着部
　１６３　　　　　ボルト締結部
　１６４　　　　　段差部
　１７０　　　　　被検出体
　１７０’　　　　被検出体
　１７０Ａ　　　　上面
　１７０Ｂ　　　　下面
　１７１　　　　　貫通孔
　１７２　　　　　着磁部
　１７２’　　　　磁石
　１７３’　　　　非磁性体
　１９０　　　　　溝
　２００　　　　　着磁装置
　２１０　　　　　バックヨーク
　２２０　　　　　着磁ヨーク
　ＡＸ　　　　　　回転軸心
　ＣＴ　　　　　　制御装置
　Ｌ１　　　　　　高さ寸法
　Ｌ２　　　　　　厚み寸法
　Ｌ３　　　　　　内径寸法
　Ｌ４　　　　　　内径寸法
　Ｒ　　　　　　　回転体
　Ｓ　　　　　　　サーボシステム
　ＳＨ　　　　　　シャフト
　ＳＭ　　　　　　サーボモータ
　ａ　　　　　　　Ａ相パルス信号
　ｂ　　　　　　　Ｂ相パルス信号 14 bolt 14A seating surface 100 encoder 110 disk 110A upper surface 110B lower surface 110C inner peripheral surface 111 through hole 120 magnetic detection unit 121 magnetoresistive element 122 magnetic field detection element 131 light source 141 A phase pulse generation unit 142 B phase pulse generation unit 143 counter 144 pulse Generating circuit 160 Hub 161 Through hole 162 Disk fixing part 163 Bolt fastening part 164 Stepped part 170 Detected object 170 'Detected object

170A Upper surface

170B Lower surface 171 Through hole 172 Magnetized part 172' Magnet 173 'Non-magnetic material 190 Groove 200 Magnetic device 210 Back yoke 220 Magnetized yoke AX Rotation axis CT Controller L1 Height dimension L2 Thickness dimension L Inner diameter L4 inner diameter R rotator S servo system SH shaft SM servomotor a A-phase pulse signal b B-phase pulse signal

Claims

　回転体と、
　前記回転体に保持された磁石と、
　前記磁石の前記回転体とは反対側に対向して配置され、前記磁石が発生する磁気を検出する磁気検出部と、を備え、
　前記磁石は、
　前記磁気検出部側の表面の磁束密度が前記回転体側の表面の磁束密度よりも大きくなるように構成される、エンコーダ。 A rotating body,
A magnet held by the rotating body;
A magnetism detecting unit that is disposed opposite to the rotating body of the magnet and that detects magnetism generated by the magnet,
The magnet
An encoder configured such that a magnetic flux density on a surface on the magnetic detection unit side is larger than a magnetic flux density on a surface on the rotating body side.
　前記磁石は、
　磁石素材を着磁ヨークとバックヨークとの間で着磁することにより製造され、前記着磁ヨーク側の表面が前記磁気検出部側、前記バックヨーク側の表面が前記回転体側となるように、前記回転体に固定される、請求項１に記載のエンコーダ。 The magnet
Manufactured by magnetizing a magnet material between a magnetized yoke and a back yoke, so that the surface on the magnetized yoke side is on the magnetic detector side, and the surface on the back yoke side is on the rotor side, The encoder according to claim 1, wherein the encoder is fixed to the rotating body.
　前記回転体は、
　検出対象に直接又は間接に連結されたハブと、
　一方側の表面に前記磁石が固定され、他方側の表面に前記ハブが固定されたガラス製のディスクと、を有する、請求項１又は２に記載のエンコーダ。 The rotating body is
A hub connected directly or indirectly to the object to be detected;
The encoder according to claim 1, further comprising: a glass disk in which the magnet is fixed to a surface on one side and the hub is fixed to a surface on the other side.
　前記磁気検出部は、
　回転される前記磁石、前記ディスク、及び前記ハブに対して軸受を介さずに固定される、請求項３に記載のエンコーダ。 The magnetic detection unit
The encoder according to claim 3, wherein the encoder is fixed to the rotating magnet, the disk, and the hub without a bearing.
　前記ディスクに光を照射する発光素子と、
　前記ディスクに形成されたスリットからの反射光を受光する受光素子と、をさらに備える、請求項３又は４に記載のエンコーダ。 A light emitting element for irradiating the disc with light;
The encoder according to claim 3, further comprising: a light receiving element that receives reflected light from a slit formed in the disk.
　回転体と、前記回転体に保持された磁石と、前記磁石の前記回転体とは反対側に対向して配置され、前記磁石が発生する磁気を検出する磁気検出部と、を備えたエンコーダの製造方法であって、
　着磁装置により、磁石素材を着磁ヨークとバックヨークとの間で着磁して前記磁石を製造することと、
　固定装置により、前記着磁ヨーク側の表面が前記磁気検出部側、前記バックヨーク側の表面が前記回転体側となるように、前記磁石を前記回転体に固定することと、を有する、エンコーダの製造方法。 An encoder comprising: a rotating body; a magnet held by the rotating body; and a magnetism detecting unit that is disposed opposite to the rotating body on the opposite side of the magnet and detects magnetism generated by the magnet. A manufacturing method comprising:
Magnetizing a magnet material between a magnetized yoke and a back yoke by a magnetizing device;
Fixing the magnet to the rotating body by a fixing device such that the surface on the magnetizing yoke side is on the magnetic detection unit side and the surface on the back yoke side is on the rotating body side. Production method.
　回転可能なガラス製のディスクと、
　前記ディスクの一方側の表面に固定された磁石と、
　前記ディスクの他方側の表面に固定されると共に、検出対象に連結されたハブと、
　前記磁石に対向して配置され、前記磁石が発生する磁気を検出する磁気検出部と、を備え、
　前記磁気検出部は、
　回転される前記ディスク、前記磁石、及び前記ハブに対して軸受を介さずに固定される、エンコーダ。 A rotatable glass disc,
A magnet fixed to the surface of one side of the disk;
A hub fixed to the surface of the other side of the disk and connected to a detection target;
A magnetism detection unit disposed opposite to the magnet and detecting magnetism generated by the magnet,
The magnetic detection unit
An encoder fixed to the rotating disk, the magnet, and the hub without a bearing.
　シャフトを回転させ、前記シャフトの位置を検出するエンコーダを備えたモータと、
　前記エンコーダの検出結果に基づいて前記モータの駆動制御を行うモータ制御装置と、を備え、
　前記エンコーダは、
　回転体と、
　前記回転体に保持された磁石と、
　前記磁石の前記回転体とは反対側に対向して配置され、前記磁石が発生する磁気を検出する磁気検出部と、を備え、
　前記磁石は、
　前記磁気検出部側の表面の磁束密度が前記回転体側の表面の磁束密度よりも大きくなるように構成される、サーボシステム。 A motor having an encoder for rotating the shaft and detecting the position of the shaft;
A motor control device that performs drive control of the motor based on a detection result of the encoder,
The encoder is
A rotating body,
A magnet held by the rotating body;
A magnetism detecting unit that is disposed opposite to the rotating body of the magnet and that detects magnetism generated by the magnet,
The magnet
A servo system configured such that a magnetic flux density on a surface on the magnetic detection unit side is larger than a magnetic flux density on a surface on the rotating body side.