WO2014026818A1 - Observation device for a vacuum device - Google Patents

Abstract

The invention relates to an observation device (10) for a vacuum device (117), for example a coating device, in which a window element (17) can be easily exchanged by moving a moveable element (14) without essentially interfering with the vacuum in the vacuum device (117).

Description

Beobachtungseinrichtung für eine Vakuumvorrichtung  Observation device for a vacuum device

Die vorliegende Anmeldung betrifft Beobachtungseinrichtungen für Vakuumvorrichtungen, mit einer entsprechenden Beobachtungseinrichtung ausgestattete Vakuumvorrichtungen und Verfahren zum Betreiben derartiger Beobachtungseinrichtungen. The present application relates to observation devices for vacuum devices, vacuum devices equipped with a corresponding observation device and methods for operating such observation devices.

Bei vielen Prozessen werden Werkstücke in einem Vakuum, d.h. bei einem Druck kleiner als dem Umgebungsdruck, behandelt. Diesbezügliche Vorrichtungen werden im Rahmen dieser Anmeldung allgemein als Vakuumvorrichtungen bezeichnet. Ein Beispiel für derartige Vakuumvorrichtungen sind Beschichtungsvorrichtungen, bei welchen Werkstücke in einem Vaku- um beispielsweise der Größenordnung 10^"6 bis 10^"7 hPa beschichtet werden, beispielsweise indem entsprechende Beschichtungsmaterialien verdampft werden und sich auf dem Werkstück niederschlagen. Derartige Beschichtungsvorrichtungen können relativ große Ausmaße mit mehreren Beschichtungsstationen annehmen, zwischen denen die Werkstücke transportiert werden, beispielsweise um mehrere Beschichtungsschritte sequentiell durchführen zu können. In many processes, workpieces are treated in a vacuum, ie at a pressure less than the ambient pressure. Such devices are generally referred to in this application as vacuum devices. An example of such vacuum apparatuses are coating devices in which workpieces in a vacuum for example, of the order of 10 ^"6 to ^{10" 7} hPa be coated, for example by appropriate coating materials are vaporized and deposited on the workpiece. Such coating devices can assume relatively large dimensions with several coating stations, between which the workpieces are transported, for example in order to be able to carry out a plurality of coating steps sequentially.

Dabei ist es wünschenswert, Prozesse in derartigen Vakuumvorrichtungen beobachten zu können, beispielsweise visuell oder über Messungen, beispielsweise optische Messungen. Hierfür sind teilweise Fenster erforderlich, durch welche visuelle Inspektionen ausgeführt werden können oder über welche optische Messungen beispielsweise durch Analysieren von durch das Fenster austretendem Licht (gegebenenfalls in Verbindung mit einer Anregungslichtquelle) durchgeführt werden können. Derartige Fenster, im Folgenden als Beobachtungsfenster bezeichnet, weisen dabei häufig zudem eine abdichtende Funktion auf, d.h. bei einem einfachen Entfernen des Fensters würde ein Loch zurück bleiben, durch welches Um- gebungsluft in die Vakuumvorrichtung strömen und somit das Vakuum zerstören kann. Dies kann dabei auch zur Zerstörung von Pumpen wie Turbopumpen führen. It is desirable to be able to observe processes in such vacuum devices, for example visually or via measurements, for example optical measurements. For this purpose, windows are partially required, through which visual inspections can be carried out or via which optical measurements can be carried out, for example by analyzing light emerging through the window (optionally in conjunction with an excitation light source). Such windows, hereinafter referred to as observation windows, often also have a sealing function, i. simply removing the window would leave behind a hole through which ambient air can flow into the vacuum device and thus destroy the vacuum. This can also lead to the destruction of pumps such as turbopumps.

Auf der anderen Seite schlägt sich beispielsweise bei Beschichtungsanlagen verdampftes Material auch auf solchen Beobachtungsfenstern nieder, so dass diese mit der Zeit intransparent werden und getauscht werden müssen. Wie oben beschrieben, würde jedoch ein einfaches Tauschen, d.h. Herausnehmen des Beobachtungsfensters und Ersetzen durch ein neues, dazu führen, dass das Vakuum zerstört wird. Für ein derartiges Tauschen müsste die Vakuumvorrichtung daher kontrolliert belüftet und zeitweise stillgelegt werden, was relativ aufwändig und zeitraubend ist und daher im Sinne der Produktivität nicht wünschenswert ist. On the other hand, evaporated material, for example, also deposits on such observation windows in coating systems, so that they become intransparent with time and must be replaced. However, as described above, simply swapping, ie, removing the viewing window and replacing it with a new one, would cause the vacuum to be destroyed. For such an exchange would have Therefore, the vacuum device controlled ventilated and temporarily shut down, which is relatively complex and time consuming and therefore in terms of productivity is not desirable.

Es ist daher eine Aufgabe der vorliegenden Erfindung, eine Beobachtungseinrichtung für eine Vakuumvorrichtung und ein entsprechendes Verfahren bereitzustellen, womit ein Wechsel eines Beobachtungsfensters im laufenden Betrieb einer Vakuumvorrichtung möglich ist, ohne die Vakuumvorrichtung belüften zu müssen. Zudem ist es bei einer derartigen Vorrichtung wünschenswert, dass ein Risiko einer Fehlbedienung, insbesondere eines versehentlichen Belüftens der Vakuumvorrichtung, minimiert ist. It is therefore an object of the present invention to provide an observation device for a vacuum device and a corresponding method, whereby a change of an observation window during operation of a vacuum device is possible without having to ventilate the vacuum device. In addition, it is desirable in such a device that a risk of incorrect operation, in particular accidental ventilation of the vacuum device is minimized.

Diesbezüglich wird eine Beobachtungseinrichtung nach Anspruch 1 sowie ein Verfahren zum Betreiben einer derartigen Beobachtungseinrichtung nach Anspruch 13 bereitgestellt. Die Unteransprüche definieren weitere Ausführungsbeispiele sowie eine mit einer derartigen Beobachtungseinrichtung ausgestattete Vakuumvorrichtung. In this regard, an observation device according to claim 1 and a method for operating such an observation device according to claim 13 are provided. The dependent claims define further embodiments as well as a vacuum device equipped with such an observation device.

Gemäß einem Ausführungsbeispiel wird eine Beobachtungseinrichtung für eine Vakuumvorrichtung bereitgestellt, umfassend: ein Beobachtungsrohr, und ein quer zu dem Beobachtungsrohr angeordnetes bewegliches Element mit einer Aufnahme für ein Fensterelement, wobei das bewegliche Element zwischen einer ersten Position, in der die Aufnahme in dem Beobachtungsrohr angeordnet ist, und einer zweiten Position, in der die Aufnahme außerhalb des Beobachtungsrohrs angeordnet ist, beweglich ist. According to one embodiment, there is provided an observation device for a vacuum apparatus, comprising: an observation tube, and a movable member disposed transversely of the observation tube with a window member receptacle, the movable member being disposed between a first position in which the receptacle is disposed in the observation tube , and a second position in which the receptacle is arranged outside the observation tube, is movable.

Bei einer derartigen Beobachtungseinrichtung kann ein Fensterelement einfach gewechselt werden, indem die Aufnahme mit dem darin befindlichen zu wechselndem Fensterelement von der ersten Position in die zweite Position gebracht wird. Die Beobachtungseinrichtung kann eine Abdichtung zwischen dem Beobachtungsrohr und dem beweglichen Element umfassen, wobei die Aufnahme in der zweiten Position außerhalb eines von der Abdichtung abgedichteten Bereichs liegt. Durch eine derartige Abdichtung kann eine Dichtigkeit der Beobachtungseinrichtung verbessert werden. Die Beobachtungseinrichtung kann eine weitere Aufnahme für ein Fensterelement umfassen. Dabei ist, wenn das bewegliche Element in der ersten Position ist, die weitere Aufnahme außerhalb des Beobachtungsrohrs angeordnet, und, wenn das bewegliche Element in der zweiten Position ist, die weitere Aufnahme in dem Beobachtungsrohr angeordnet. Bei einem derartigen Ausführungsbeispiel kann eine Zeit, in welcher bei einem Fensterwechsel keine Beobachtung durch das Beobachtungsrohr möglich ist, reduziert werden, indem lediglich zwischen der ersten Position und der zweiten Position gewechselt wird und somit ein neues Fensterelement in das Beobachtungsrohr gebracht wird. In such an observation device, a window element can be easily changed by bringing the receptacle with the window element to be changed from the first position to the second position. The observer may include a seal between the viewing tube and the moveable member, wherein the receptacle in the second position is outside a sealed portion of the seal. By such a seal, a tightness of the observation device can be improved. The observation device may comprise a further receptacle for a window element. In this case, when the movable element is in the first position, the further receptacle is arranged outside the observation tube, and, when the movable element in the second position, the further recording is arranged in the observation tube. In such an embodiment, a time in which no observation by the observation tube is possible at a window change can be reduced by merely switching between the first position and the second position and thus bringing a new window element into the observation tube.

Das Beobachtungsrohr kann mit einer Optik gekoppelt sein, beispielsweise um aus einer Vakuumvorrichtung durch das Beobachtungsrohr austretendes Licht in einen Lichtleiter wie eine Glasfaser oder in einer Messeinrichtung zu fokussieren. The observation tube may be coupled to an optical system, for example to focus light emerging from a vacuum device through the observation tube into a light guide such as a glass fiber or in a measuring device.

An dem Beobachtungsrohr kann ein quer verlaufendes Rohransatzstück ausgebildet sein, durch welches das weitere Element verläuft. Es können Abdeckkappen zum Aufsetzen auf das Rohransatzstück bereitgestellt sein, um so beispielsweise eine Dichtigkeit in einem Fall, in welchem das bewegliche Element nicht bewegt werden muss, weiter zu verbessern. On the observation tube may be formed a transverse tube approach piece, through which the further element extends. There may be provided cover caps for fitting to the pipe fitting so as to further improve, for example, a seal in a case where the movable member does not have to be moved.

Des Weiteren wird eine Vakuumvorrichtung, beispielsweise eine Beschichtungsvorrichtung, mit einer derartigen Beobachtungseinrichtung bereitgestellt. Furthermore, a vacuum device, for example a coating device, is provided with such an observation device.

Bei erfindungsgemäßen Verfahren wird mittels der Beobachtungseinrichtung ein Fenster- element, insbesondere ein verschmutztes Fensterelement, gewechselt, wie oben bereits beschrieben. In the method according to the invention, a window element, in particular a soiled window element, is exchanged by means of the observation device, as already described above.

Die Erfindung wird nachfolgend unter Bezugnahme auf die beigefügte Zeichnung anhand von Ausführungsbeispielen näher erläutert. Es zeigen: The invention will be explained in more detail with reference to the accompanying drawings with reference to embodiments. Show it:

Fig. 1 eine Perspektivansicht einer Beobachtungseinrichtung gemäß einem Ausführungsbeispiel der Erfindung, 1 is a perspective view of an observation device according to an embodiment of the invention,

Fig. 2 eine weitere Perspektivansicht des Ausführungsbeispiels der Fig. 1 , 2 is another perspective view of the embodiment of FIG. 1,

Fig. 3 eine schematische Querschnittsansicht des Ausführungsbeispiels der Figuren 1 und 2, und Fig. 3 is a schematic cross-sectional view of the embodiment of Figures 1 and 2, and

Fig. 4 ein Flussdiagramm zur Veranschaulichung eines Ausführungsbeispiels eines erfin- dungsgemäßen Verfahrens. Im Folgenden werden Ausführungsbeispiele der vorliegenden Erfindung unter Bezugnahme auf die beigefügte Zeichnung näher erläutert. Diese Ausführungsbeispiele sind lediglich als beispielhafte Möglichkeiten zur Implementierung der Erfindung anzusehen und sind nicht als einschränkend auszulegen. 4 shows a flowchart for illustrating an embodiment of a method according to the invention. In the following, embodiments of the present invention will be explained in more detail with reference to the accompanying drawings. These embodiments are to be considered as merely exemplary ways of implementing the invention and are not to be construed as limiting.

Merkmale verschiedener Ausführungsbeispiele können miteinander kombiniert werden, sofern nichts anderes angegeben ist. Auf der anderen Seite ist eine Beschreibung eines Ausführungsbeispiels mit einer Vielzahl von Merkmalen nicht dahingehend auszulegen, dass alle diese Merkmale zur Ausführung der Erfindung notwendig sind, da andere Ausführungsbei- spiele weniger Merkmale und/oder alternative Merkmale aufweisen können. Features of various embodiments may be combined with each other unless otherwise specified. On the other hand, a description of an embodiment having a plurality of features is not to be construed as requiring all of these features for practicing the invention, as other embodiments may have fewer features and / or alternative features.

In den Figuren 1 -3 ist ein Ausführungsbeispiel einer erfindungsgemäßen Beobachtungseinrichtung 10 dargestellt. Dabei zeigen Figuren 1 und 2 jeweils Perspektivansichten der Beobachtungseinrichtung, während Fig. 3 eine Querschnittsansicht zeigt. An embodiment of an observation device 10 according to the invention is shown in FIGS. 1 and 2 respectively show perspective views of the observation device, while Fig. 3 shows a cross-sectional view.

Die Beobachtungseinrichtung 10 der Figuren 1 -3 weist ein Beobachtungsrohr 1 1 auf, welches über einen Flansch 12 an einer Vakuumvorrichtung, beispielsweise einer Beschich- tungsvorrichtung (in Fig. 3 als 1 17 angedeutet) angeflanscht werden kann. Wie in Fig. 3 mit einem gestrichelten Pfeil 1 18 angedeutet, kann über das Beobachtungsrohr 1 1 Licht aus der Vakuumvorrichtung 1 17 ausgekoppelt werden. Umgekehrt kann mit einer derartigen Beobachtungseinrichtung jedoch ebenso Licht in eine Vakuumvorrichtung eingekoppelt werden. The observation device 10 of FIGS. 1-3 has an observation tube 11, which can be flange-mounted via a flange 12 to a vacuum device, for example a coating device (indicated as 17 in FIG. 3). As indicated in Fig. 3 with a dashed arrow 1 18, 1 1 light from the vacuum device 1 17 can be coupled via the observation tube. Conversely, with such a monitoring device, however, also light can be coupled into a vacuum device.

Bei dem dargestellten Ausführungsbeispiel weist das Beobachtungsrohr 1 1 einen kreisförmigen Querschnitt auf, es sind jedoch auch andere Querschnittsformen möglich, beispielswei- se ein rechteckförmiger Querschnitt. In the illustrated embodiment, the observation tube 1 1 has a circular cross-section, but other cross-sectional shapes are possible, for example a rectangular cross-section.

Bei dem dargestellten Ausführungsbeispiel ist an einem dem Flansch 12 gegenüber liegenden Ende des Beobachtungsrohrs 1 1 eine Optik 18 bereitgestellt, um aus der Vakuumvorrichtung über das Beobachtungsrohr 1 1 ausgekoppeltes Licht in einen an einem Kopplungs- stück 19 angebrachten Lichtleiter 1 10, beispielsweise eine Glasfaser, einzukoppeln. Das Licht kann dann weiter untersucht werden, beispielsweise mittels eines Spektrometers. Bei anderen Ausführungsbeispielen ist kein Lichtleiter vorgesehen, und es kann beispielsweise eine Analysevorrichtung zum Analysieren des ausgekoppelten Lichts direkt an dem Beobachtungsrohr 1 1 angebracht sein. Bei wieder anderen Ausführungsbeispielen kann eine derartige Analysevorrichtung komplett weggelassen sein, und das Beobachtungsrohr kann zur visuellen Betrachtung des Inneren der Vakuumvorrichtung 1 17 verwendet werden. Bei dem dargestellten Ausführungsbeispiel weist das Beobachtungsrohr 1 1 Rohransatzstücke 13A, 13B auf, durch welches quer zu dem Beobachtungsrohr 1 1 ein bewegliches Element 14 verläuft, welches in Richtung eines Pfeils 1 14 (Fig. 3) bewegbar ist. Bei dem dargestellten Ausführungsbeispiel weist das bewegliche Element 14 eine zylindrische Form auf, es sind jedoch auch andere Querschnitte, beispielsweise ein quadratischer oder rechteckiger Querschnitt oder ein anderer zumindest abschnittsweise konstanter Querschnitt möglich. Das bewegliche Element 14 weist eine erste Aufnahme 15 in Form einer durchgehenden Bohrung und eine zweite Aufnahme 16 in Form einer durchgehenden Bohrung auf. Bei der Darstellung der Figuren 1 -3 ist in der zweiten Aufnahme 16 ein Fensterelement in Form ei- nes Beobachtungsfensters 17 aufgenommen. In der Darstellung der Figuren 1 -3 ist die erste Aufnahme 15 hingegen leer. Eine Position des beweglichen Elementes 14 kann durch Schrauben 1 12A und 1 12B oder durch andere Elemente fixiert werden, um ein unbeabsichtigtes Bewegen des beweglichen Elementes 14 zu verhindern. Bei dem dargestellten Ausführungsbeispiel sind wie aus Fig. 3 ersichtlich ringförmige Dichtelemente 1 15A, 1 15B bereitgestellt, beispielsweise Kunststoffdichtungen, welche zwischen den Rohransatzstücken 13A, 13B und dem beweglichen Element 14 abdichten. Bei anderen Ausführungsbeispielen kann das bewegliche Element 14 passgenau in den Rohransatzstücken 13A, 13B verlaufen, so dass durch die Passform eine Dichtung erreicht wird. Wie ins- besondere aus Fig. 3 ersichtlich, ist der Innenraum der Vakuumvorrichtung 1 17 durch das Beobachtungsfenster 17 und die Dichtelemente 1 15A, 1 15B abgedichtet. Dabei kann das Beobachtungsfenster durch Fixiermittel wie z.B. eine Schraube oder einen Stift in der Aufnahme 16 fixiert sein und/oder mittels einer geeigneten Dichtung, z.B. einer Gummidichtung, zu dem beweglichen Element 14 abgedichtet sein. In the illustrated embodiment, an optics 18 is provided at one of the flange 12 opposite end of the observation tube 1 1, to the vacuum device via the observation tube 1 1 coupled out light in an attached to a coupling piece 19 optical fiber 1 10, for example, a glass fiber, couple. The light can then be further examined, for example by means of a spectrometer. In other embodiments, no optical fiber is provided and, for example, an analyzing device for analyzing the coupled-out light may be mounted directly on the observation tube 11. In still other embodiments, such an analysis device may be completely omitted, and the observation tube may be used to visually inspect the interior of the vacuum device 117. In the illustrated embodiment, the observation tube 1 1 pipe extensions 13A, 13B, through which transverse to the observation tube 1 1, a movable element 14 extends, which in the direction of an arrow 1 14 (FIG. 3) is movable. In the illustrated embodiment, the movable member 14 has a cylindrical shape, but there are other cross sections, for example, a square or rectangular cross-section or another at least partially constant cross-section possible. The movable element 14 has a first receptacle 15 in the form of a through hole and a second receptacle 16 in the form of a through hole. In the illustration of FIGS. 1-3, a window element in the form of an observation window 17 is accommodated in the second receptacle 16. In the illustration of Figures 1 -3, the first receptacle 15, however, is empty. A position of the movable member 14 may be fixed by screws 12A and 112B or other members to prevent inadvertent movement of the movable member 14. In the illustrated embodiment, as shown in Fig. 3 are provided annular sealing elements 1 15A, 1 15B, for example, plastic seals, which seal between the Rohransatzstücken 13 A, 13 B and the movable member 14. In other embodiments, the movable member 14 may fit snugly within the tube lugs 13A, 13B so that the seal achieves a seal. As can be seen in particular from FIG. 3, the interior of the vacuum device 1 17 is sealed by the observation window 17 and the sealing elements 15A, 15B. In this case, the observation window can be fixed in the receptacle 16 by fixing means, such as a screw or a pin, and / or can be sealed to the movable element 14 by means of a suitable seal, for example a rubber seal.

Ist das Beobachtungsfenster 17 verschmutzt und muss ausgewechselt werden, wird bei den Ausführungsbeispielen der Figuren 1 -3 ein neues Beobachtungsfenster in die leere Aufnahme 15 eingesetzt. Dann wird das bewegliche Element 14 derart bewegt, dass ich die Aufnahme 15 und somit das neue Beobachtungsfenster in dem Beobachtungsrohr 1 1 befindet, d.h. in der Position, in der sich in den Figuren 1 -3 die zweite Aufnahme 16 befindet. Die zweite Aufnahme 16 befindet sich dann außerhalb des von den Dichtelementen 1 15A, 1 15B abgedichteten Bereichs, und somit kann dann das (verschmutzte) Beobachtungsfenster 17 entnommen werden und beispielsweise Messungen direkt mit dem neuen Beobachtungsfenster fortgesetzt werden, ohne das Vakuum in der Vakuumvorrichtung 1 17 wesentlich zu beeinträchtigen. Das bewegliche Element 14 kann manuell bewegt werden, es kann aber auch ein entsprechender Antrieb, z.B. ein Elektromotor, zum Bewegen des beweglichen Elements 14 bereitgestellt sein. Zur Zentrierung des beweglichen Elements 14 kann eine entsprechende Zentriereinrichtung, z.B. in den Rohransatzstücken 13A, 13B, bereitgestellt sein. Somit kann durch die dargestellte Beobachtungseinrichtung ein einfacher Wechsel eines Beobachtungsfensters im laufenden Betrieb der Vakuumvorrichtung vorgenommen werden. If the observation window 17 is dirty and has to be replaced, a new observation window is inserted into the empty receptacle 15 in the exemplary embodiments of FIGS. Then, the movable member 14 is moved so that I the recording 15 and thus the new observation window in the observation tube 1 1 is located, ie in the position in which the second receptacle 16 is in Figures 1 -3. The second receptacle 16 is then located outside the area sealed by the sealing elements 15A, 15B, and thus the (polluted) observation window 17 can be removed and, for example, measurements can be continued directly with the new observation window without the vacuum in the vacuum device 1 17 to significantly affect. The movable element 14 can be moved manually, but it can also be a corresponding drive, for example an electric motor, be provided for moving the movable member 14. For centering the movable member 14 may have a corresponding centering device, for example in the pipe extension pieces 13A, 13B, be provided. Thus, a simple change of an observation window during operation of the vacuum device can be made by the observation device shown.

Optional können bei Beobachtungseinrichtungen gemäß Ausführungsbeispielen der Erfindung Kappen 1 1 1A, 1 1 1 B auf die Rohransatzstücke 13A, 13B gesteckt werden und beispielsweise über Dichtungen 1 16A, 1 16B, beispielsweise O-Ringe oder andere Kunststoffdichtungen, gegenüber diesen abgedichtet werden. Dies kann die Dichtheit der gesamten Beobachtungseinrichtung erhöhen. Zum Fensterwechsel werden dann die Kappen 1 1 1A, 1 1 1 B abgenommen. Dies kann zwar während der Zeit des Wechsels des Beobachtungsfensters die Dichtheit etwas verringern, durch die Dichtelemente 1 15A, 1 15B ist jedoch dennoch noch eine hinreichende Dichtheit gegeben. Nach dem Wechsel der Fenster können die Kappen 1 1 1A, 1 1 1 B wieder aufgesteckt werden. In den Kappen 1 1 1A, 1 1 1 B können Schrauben 1 13A bzw. 1 13B vorgesehen sein, welche beispielsweise als Abstandhalter zu dem beweglichen Element 14 und/oder zum Fixieren der Kappen 1 1 1A, 1 1 1 B dienen können. Optionally, in observation devices according to embodiments of the invention caps 1 1 1A, 1 1 1 B are plugged onto the pipe extensions 13A, 13B and sealed, for example, about seals 1 16A, 1 16B, for example, O-rings or other plastic seals. This can increase the tightness of the entire observation device. To change the window then the caps 1 1 1A, 1 1 1 B are removed. Although this can reduce the tightness somewhat during the time of the change of the observation window, the sealing elements 15A, 15B nevertheless still provide a sufficient tightness. After changing the windows, the caps 1 1 1A, 1 1 1 B can be plugged again. In the caps 1 1 1A, 1 1 1 B screws 1 13A and 1 13B may be provided, which may serve as a spacer to the movable member 14 and / or for fixing the caps 1 1 1A, 1 1 1 B, for example.

Während das bewegliche Element 14 bei dem dargestellten Ausführungsbeispiel zwei Aufnahmen 15, 16 aufweist, kann bei anderen Ausführungsbeispielen auch nur eine einzige Aufnahme vorgesehen sein. In diesem Fall dauert jedoch ein Wechsel des Beobachtungsfensters etwas länger, da die (dann einzige) Aufnahme erst aus dem Beobachtungsrohr heraus bewegt werden muss, dann das Beobachtungsfenster ausgetauscht werden muss und dann die Aufnahme wieder in das Beobachtungsrohr bewegt werden muss. Auf der anderen Seite können auch mehr als zwei Aufnahmen vorgesehen sein. While the movable member 14 in the illustrated embodiment has two receptacles 15, 16, may be provided in other embodiments, only a single shot. In this case, however, a change of the observation window takes a little longer, since the (then only) recording must first be moved out of the observation tube, then the observation window must be replaced and then the recording must be moved back into the observation tube. On the other hand, more than two shots can be provided.

In Figur 4 ist ein Verfahren zum Wechseln eines Beobachtungsfensters beispielsweise für das Ausführungsbeispiel der Figuren 1 -3 nochmals zusammenfassend dargestellt. In Schritt 20 wird ein neues Beobachtungsfenster in eine inaktive Aufnahme, d.h. eine nicht in einem Beobachtungsstrahlengang, beispielsweise dem Beobachtungsrohr 1 1 der Figur 1 , befindli- che Aufnahme eingesetzt. Bei der Darstellung der Figuren 1 -3 ist z.B. die erste Aufnahme 15 die inaktive Aufnahme. In FIG. 4, a method for changing an observation window, for example for the exemplary embodiment of FIGS. In step 20, a new observation window is turned into an inactive shot, i. a recording not in an observation beam path, for example the observation tube 1 1 of FIG. 1, is used. In the illustration of Figures 1-3, e.g. the first shot 15 the inactive shot.

In Schritt 21 wird dann das bewegliche Element derart bewegt, dass das in Schritt 20 eingesetzte Fenster in den Strahlengang, beispielsweise in das Beobachtungsrohr 1 1 der Fig. 3, bewegt wird. In Schritt 22 wird dann das verschmutzte Fenster entnommen. Das Verfahren der Fig. 4 kann Modifikation der Beobachtungseinrichtung angepasst werden. Ist beispielsweise wie oben erläutert nur eine Aufnahme vorhanden, wird zum Wechseln des Fensters das bewegliche Element zunächst bewegt, um diese Aufnahme in eine inaktive Position außerhalb des Strahlengangs zu bringen, dann wird das verschmutzte Fenster ge- gen ein neues Fenster ausgetauscht (oder das verschmutzte Fenster ggf. gereinigt), und dann wird das bewegliche Element bewegt, um das neue oder gereinigte Fenster wieder in den Strahlengang zu bringen. In step 21, the movable element is then moved in such a way that the window used in step 20 is moved into the beam path, for example into the observation tube 1 1 of FIG. 3. In step 22, the dirty window is then removed. The method of Fig. 4 may be adapted to modification of the observer. If, for example, as explained above, only one receptacle is present, to change the window, the movable element is first moved to bring this receptacle to an inactive position outside the beam path, then the soiled window is replaced with a new window (or the soiled window) Window cleaned if necessary), and then the movable element is moved to bring the new or cleaned window back into the beam path.

Sind bei einer entsprechenden Beobachtungseinrichtung Kappen wie die Kappen 1 1 1A, 1 1 1 B der Figuren 1 -3 bereitgestellt, werden diese Kappen zu Beginn der Durchführung des Verfahrens abgenommen und zum Ende der Durchführung der Verfahrens wieder aufgesetzt. If caps are provided in a corresponding observation device such as the caps 1 1 1A, 1 1 1 B of Figures 1 -3, these caps are removed at the beginning of the implementation of the method and put back to the end of the implementation of the method.

Wie aus den obigen Erläuterungen ersichtlich, sind eine Vielzahl von Variationen und Ab- Wandlungen möglich. Daher ist der Bereich der Erfindung nicht auf die dargestellten Ausführungsbeispiele begrenzt anzusehen. As apparent from the above explanations, a variety of variations and modifications are possible. Therefore, the scope of the invention is not to be considered limited to the illustrated embodiments.

Claims

P AT E N TA N S P R Ü C H E P AT E N TA N S P R O C H E

Beobachtungseinrichtung (10) für eine Vakuumvorrichtung (1 17), umfassend: Observation device (10) for a vacuum device (1 17), comprising:

ein Beobachtungsrohr (1 1 ), und an observation tube (11), and

ein quer zu dem Beobachtungsrohr (1 1 ) angeordnetes bewegliches Element (14) mit einer Aufnahme (15) für ein Fensterelement (17), a transverse to the observation tube (1 1) arranged movable element (14) having a receptacle (15) for a window element (17),

wobei das bewegliche Element (14) zwischen einer ersten Position, in welcher die Aufnahme (15) in dem Beobachtungsrohr (1 1 ) angeordnet ist, und einer zweiten Position, in welcher die Aufnahme (15) außerhalb des Beobachtungsrohrs angeordnet ist, bewegbar ist. wherein the movable member (14) between a first position in which the receptacle (15) in the observation tube (1 1) is arranged, and a second position in which the receptacle (15) is arranged outside the observation tube is movable.

Beobachtungseinrichtung (10) nach Anspruch 1 , weiter umfassend mindestens ein Dichtelement (1 15A, 1 15B), welches zwischen dem Beobachtungsrohr (1 1 ) und dem beweglichen Element (14) abdichtet, wobei die Aufnahme (15) in der ersten Position innerhalb eines von dem Dichtelement abgedichteten Bereichs ist und wobei die Aufnahme (15) in der zweiten Position außerhalb eines von mindestens einem Dichtelement (1 15A, 1 15B) abgedichteten Bereichs ist. The observation device (10) of claim 1, further comprising at least one sealing element (15A, 15B) sealing between the observation tube (11) and the movable element (14), the receptacle (15) being in the first position within a wherein the receptacle (15) in the second position is outside of a sealed by at least one sealing element (1 15A, 1 15B) area.

Beobachtungseinrichtung (10) nach Anspruch 1 oder 2, wobei das Beobachtungsrohr (1 1 ) mindestens ein Rohransatzstück (13A, 13B) zum Aufnehmen des beweglichen Elements (14) umfasst. Observation device (10) according to claim 1 or 2, wherein the observation tube (1 1) comprises at least one tube attachment piece (13A, 13B) for receiving the movable element (14).

Beobachtungseinrichtung (10) nach Anspruch 3, weiter umfassend mindestens eine Kappe (1 1 1 A, 1 1 1 B) zum Abdecken des Rohransatzstücks (13A, 13B). Observation device (10) according to claim 3, further comprising at least one cap (1 1 1 A, 1 1 1 B) for covering the pipe extension piece (13A, 13B).

Beobachtungseinrichtung (10) nach Anspruch 4, weiter umfassend eine Dichtung (1 16A, 1 16B) zwischen der mindestens einen abnehmbaren Kappe (1 1 1A, 1 1 1 B) und dem mindestens einem Rohransatzstück (13A, 13B). The observer (10) of claim 4, further comprising a seal (16A, 16B) between the at least one removable cap (11A 1A, 11B) and the at least one tube fitting (13A, 13B).

Beobachtungseinrichtung (10) nach einem der Ansprüche 1 bis 5, wobei das bewegliche Element (14) eine weitere Aufnahme (16) für ein Fensterelement (17) aufweist, wobei die weitere Aufnahme derart angeordnet ist, dass sie in der ersten Position des beweglichen Elements außerhalb des Beobachtungsrohrs (1 1 ) angeordnet ist und in der zweiten Position des beweglichen Elements (14) in dem Beobachtungsrohr (1 1 ) angeordnet ist. Observation device (10) according to one of claims 1 to 5, wherein the movable element (14) has a further receptacle (16) for a window element (17), wherein the further receptacle is arranged such that it is in the first position of the movable element is arranged outside of the observation tube (1 1) and in the second position of the movable element (14) in the observation tube (1 1) is arranged.

7. Beobachtungseinrichtung (10) nach einem der Ansprüche 1 bis 6, wobei die Aufnahme (15) eine Bohrung durch das bewegliche Element (14) umfasst. 7. observation device (10) according to any one of claims 1 to 6, wherein the receptacle (15) comprises a bore through the movable member (14).

8. Beobachtungseinrichtung (10) nach einem der Ansprüche 1 bis 7, wobei das bewegliche Element (14) außerhalb der Aufnahme (15) einen zumindest abschnittsweise konstanten8. Observation device (10) according to one of claims 1 to 7, wherein the movable element (14) outside the receptacle (15) has an at least partially constant

Querschnitt aufweist. Cross section has.

9. Beobachtungseinrichtung (10) nach einem der Ansprüche 1 bis 8, wobei das Beobachtungsrohr einen Flansch (12) zum Befestigen der Beobachtungseinrichtung (10) an der Vakuumvorrichtung (1 17) aufweist. 9. observation device (10) according to any one of claims 1 to 8, wherein the observation tube has a flange (12) for fixing the observation device (10) on the vacuum device (1 17).

10. Beobachtungseinrichtung (10) nach einem der Ansprüche 1 bis 9, weiterhin umfassend eine an einem Ende des Beobachtungsrohrs (1 1 ) angebrachte Optik (18) zum Einkop- peln von durch das Beobachtungsrohr gehendem Licht in einen Lichtleiter (1 10). 10. Observation device (10) according to any one of claims 1 to 9, further comprising a at one end of the observation tube (1 1) mounted optics (18) for coupling peln going through the observation tube light in a light guide (1 10).

1 1 . Vakuumvorrichtung (1 17) mit einer an der Vakuumvorrichtung (1 17) angebrachten Beobachtungseinrichtung (10) nach einem der Ansprüche 1 -10. 1 1. Vacuum device (1 17) with an observation device (10) attached to the vacuum device (1 17) according to one of Claims 1 to 10.

12. Vakuumvorrichtung (1 17) nach Anspruch 1 1 , wobei die Vakuumvorrichtung (1 17) eine Beschichtungsvorrichtung umfasst. 12. Vacuum device (1 17) according to claim 1 1, wherein the vacuum device (1 17) comprises a coating device.

13. Verfahren zum Betreiben einer Beobachtungseinrichtung nach einem der Ansprüche 1 - 10, umfassend: 13. A method of operating an observation device according to any one of claims 1-10, comprising:

Einsetzen eines Fensterelements (17) in die Aufnahme (15), während sich das bewegli- che Element (14) in der zweiten Position befindet, und  Inserting a window element (17) into the receptacle (15) while the movable element (14) is in the second position, and

Bewegen des beweglichen Elements in die erste Position.  Moving the movable element to the first position.

14. Verfahren nach Anspruch 13, weiter umfassend, vor dem Einsetzen des Fensterelementes in die Aufnahme, Bewegen des beweglichen Elements von der ersten Position in die zweite Position, und Herausnehmen eines in der Aufnahme befindlichen Fensterelements (17). 14. The method of claim 13, further comprising, prior to inserting the window member into the receptacle, moving the moveable member from the first position to the second position, and removing a window member (17) located in the receptacle.

15. Verfahren nach Anspruch 13, wobei die Beobachtungseinrichtung nach Anspruch 6 ausgestaltet ist, weiter umfassend: 15. The method of claim 13, wherein the observation device is configured according to claim 6, further comprising:

Herausnehmen eines Fensterelementes aus der weiteren Aufnahme, nachdem das bewegliche Element (14) in die erste Position bewegt wurde.  Removing a window member from the further recording, after the movable member (14) has been moved to the first position.