WO2013172597A1 - 클린룸 제습 공조 장치 - Google Patents

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WO2013172597A1
WO2013172597A1 PCT/KR2013/004125 KR2013004125W WO2013172597A1 WO 2013172597 A1 WO2013172597 A1 WO 2013172597A1 KR 2013004125 W KR2013004125 W KR 2013004125W WO 2013172597 A1 WO2013172597 A1 WO 2013172597A1
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WO
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air
clean room
dehumidification
room chamber
dry
Prior art date
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PCT/KR2013/004125
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English (en)
French (fr)
Inventor
전수환
Original Assignee
(주)대동엔지니어링
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    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F24—HEATING; RANGES; VENTILATING
    • F24F—AIR-CONDITIONING; AIR-HUMIDIFICATION; VENTILATION; USE OF AIR CURRENTS FOR SCREENING
    • F24F3/00—Air-conditioning systems in which conditioned primary air is supplied from one or more central stations to distributing units in the rooms or spaces where it may receive secondary treatment; Apparatus specially designed for such systems
    • F24F3/12—Air-conditioning systems in which conditioned primary air is supplied from one or more central stations to distributing units in the rooms or spaces where it may receive secondary treatment; Apparatus specially designed for such systems characterised by the treatment of the air otherwise than by heating and cooling
    • F24F3/14—Air-conditioning systems in which conditioned primary air is supplied from one or more central stations to distributing units in the rooms or spaces where it may receive secondary treatment; Apparatus specially designed for such systems characterised by the treatment of the air otherwise than by heating and cooling by humidification; by dehumidification
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F24—HEATING; RANGES; VENTILATING
    • F24F—AIR-CONDITIONING; AIR-HUMIDIFICATION; VENTILATION; USE OF AIR CURRENTS FOR SCREENING
    • F24F13/00—Details common to, or for air-conditioning, air-humidification, ventilation or use of air currents for screening
    • F24F13/24—Means for preventing or suppressing noise
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F24—HEATING; RANGES; VENTILATING
    • F24F—AIR-CONDITIONING; AIR-HUMIDIFICATION; VENTILATION; USE OF AIR CURRENTS FOR SCREENING
    • F24F3/00—Air-conditioning systems in which conditioned primary air is supplied from one or more central stations to distributing units in the rooms or spaces where it may receive secondary treatment; Apparatus specially designed for such systems
    • F24F3/12—Air-conditioning systems in which conditioned primary air is supplied from one or more central stations to distributing units in the rooms or spaces where it may receive secondary treatment; Apparatus specially designed for such systems characterised by the treatment of the air otherwise than by heating and cooling
    • F24F3/16—Air-conditioning systems in which conditioned primary air is supplied from one or more central stations to distributing units in the rooms or spaces where it may receive secondary treatment; Apparatus specially designed for such systems characterised by the treatment of the air otherwise than by heating and cooling by purification, e.g. by filtering; by sterilisation; by ozonisation
    • F24F3/163—Clean air work stations, i.e. selected areas within a space which filtered air is passed

Definitions

  • the present invention relates to a clean room dehumidification air conditioning apparatus. More specifically, by dehumidifying the interior space of the clean room chamber by supplying dry air to the clean room chamber through a separate compressor, when the humidity of the outside air is high, such as in summer, by preventing the inflow of outside air.
  • semiconductor devices In general, semiconductor devices, flat panel displays, microelectronic devices, and the like are manufactured in a clean room because high cleanliness is required for their manufacture.
  • the clean room is configured to maintain a certain level of temperature, humidity, and particles (micro particles such as dust, etc.) at a predetermined level to prevent product defects from occurring during the manufacturing stage.
  • a separate air conditioner is installed to maintain such a clean environment in the inner space. Temperature and humidity are controlled in the inner space through air circulation through the air conditioner, and particles are prevented from entering.
  • products such as advanced electronic components and chips are extremely sensitive to humidity, so dehumidification of the interior space of the clean room becomes more important so that these products are not damaged by moisture.
  • FIG. 1 is a conceptual diagram conceptually showing a configuration of a general clean room dehumidification air conditioning apparatus according to the prior art.
  • the clean room dehumidification air conditioning apparatus includes a clean room chamber 100 that is hermetically formed to form a clean space therein, and an air conditioner 200 that circulates air to the interior space of the clean room chamber 100.
  • One side of the clean room chamber 100 is equipped with an air damper 110 to maintain a positive pressure for the interior space, the interior space is a temperature and humidity sensor 300 that can measure the temperature and humidity inside the clean room chamber 100 Is fitted.
  • the air conditioner 200 is disposed inside the clean room chamber 100, and an air inlet 202 and an air outlet 201 are formed at one side and the other side thereof, and a blower fan (not shown) to circulate the air therethrough. ) Is mounted.
  • the air conditioner 200 performs a dehumidification function in the process of circulating the air, for this purpose, a dehumidification unit 210 is provided therein, and air introduced through the air inlet 202 passes through the dehumidification unit 210. And it is configured to be discharged through the air outlet 201 in a dehumidified dry state.
  • the dehumidification unit 210 is generally used a refrigerator to perform a dehumidification function using a cooling method.
  • the air conditioner 200 itself has a configuration in which external air is introduced and circulated for supplying oxygen to the interior space of the clean room chamber 100.
  • the clean room dehumidification and air conditioning apparatus introduces external air into the interior space of the clean room chamber 100, and thus, when there is a lot of moisture in the external air, such as in summer, the clean room chamber 100 may be introduced by the external air.
  • the humidity of the internal space is increased, and accordingly, high-tech products such as semiconductor parts and bio products are damaged by moisture.
  • the air conditioner may be operated in such a way that the air damper 110 is specifically blocked only in summer to completely block the inflow of external air.
  • the oxygen supply is blocked in the space inside the clean room chamber 100.
  • the present invention has been made to solve the problems of the prior art, the object of the present invention is to perform a dehumidifying function for the interior space of the clean room chamber by supplying dry air to the clean room chamber through a separate compressor, By preventing the inflow of air, even when the humidity of the outside air is high, such as in summer, it is possible to maintain the dry condition of the interior of the clean room chamber well, and by supplying dry air through the compressor, oxygen to the interior of the clean room chamber It is to provide a clean room dehumidification and air conditioning system that can prevent shortages and prevent product defects and at the same time prevent worker health risks.
  • Another object of the present invention is to use a conventional air conditioner as it is, clean room dehumidification method can be selectively applied according to the external environment cooling dehumidification method through the dehumidification unit of the air conditioner or the dry air of the compressor according to the external environment can be more efficient It is to provide an air conditioning apparatus.
  • Another object of the present invention is to circulate the dry air of the compressor in the clean room chamber internal space using a separate injector, there is no need to operate the air conditioner additionally provides a clean room dehumidification air conditioning apparatus that can provide improved energy efficiency To provide.
  • the clean room chamber is equipped with an air damper on one side to maintain a positive pressure in the inner space;
  • An air conditioner which blows air into the inner space of the clean room chamber and is provided with a dehumidification unit to dehumidify the blown air;
  • a plurality of silencers connected through the air conditioner and a circulation pipe to circulate the air by discharging the air blown from the air conditioner in a noise reduction method;
  • a compressor connected to the air conditioner through a separate supply pipe to supply dry air to the air conditioner and blow dry air into the space inside the clean room chamber;
  • a supply pipe open / close valve mounted to open and close the supply pipe;
  • a control unit controlling an operation state of the air damper, the air conditioner, and the supply pipe opening / closing valve so that the internal space of the clean room chamber is selectively dehumidified in the first dehumidification mode or the second dehumidification mode according to a user's selection operation through an operation unit.
  • the supply pipe opening / closing valve is closed in the first dehumidification mode and the dehumidification unit is operated to maintain an internal space of the clean room chamber through the dehumidification unit in a dry state, and in the second dehumidification mode, the air Clean room dehumidification air conditioning, characterized in that the damper is blocked, the operation of the dehumidification unit is stopped and the supply pipe opening and closing valve is opened to maintain the internal space of the clean room chamber by the dry air supplied from the compressor.
  • a separate cooler and a dryer may be installed in the supply pipe to cool and dry the drying air supplied from the compressor.
  • a separate injector is communicatively mounted on the circulation pipe, and the injector is connected to the supply pipe through a separate connection pipe so as to receive dry air from the compressor and to discharge the circulation pipe.
  • a connecting pipe opening / closing valve capable of opening and closing the connecting pipe is mounted, and an inlet case having a suction hole formed to suck the air in the clean room chamber is connected to the injector through a separate suction pipe, and the injector Air in the clean room chamber is introduced into the injector through the suction case and the suction pipe and discharged together with the dry air by the pressure drop phenomenon generated during the discharge of the dry air, and the suction pipe has moisture from the air sucked in.
  • connection pipe The on / off valve is controlled by the controller to be opened in the second dehumidification mode according to a user's operation through the operation unit, and when the connection pipe open / close valve is opened, the air conditioner is operated by the controller to stop operation. Can be controlled.
  • the injector is a discharge flow path is formed in one direction so that the drying air is discharged
  • the injector block is formed in the inlet of the discharge flow path connected to the suction pipe is connected to the suction passage;
  • An inlet port coupled to one end of an outlet flow path of the injector block;
  • a discharge port coupled to the other end of the discharge passage of the injector block, wherein the discharge passage may have a neck portion having a smaller diameter at a point communicating with the suction passage.
  • the present invention by performing a dehumidification function for the interior space of the clean room chamber by supplying dry air to the clean room chamber through a separate compressor, by preventing the inflow of outside air, high humidity of the outside air, such as summer In this case, it is possible to maintain a good dry condition of the space inside the clean room chamber, and supply of dry air through the compressor also prevents oxygen shortage in the space inside the clean room chamber, thereby preventing product defects and Has the effect of preventing health risks.
  • the existing air conditioner as it is, it is possible to selectively apply the cooling dehumidification method through the dehumidification unit of the air conditioner or the dehumidification method using the dry air of the compressor according to the external environment can be used more efficiently.
  • FIG. 1 is a conceptual diagram conceptually showing the configuration of a general clean room dehumidification air conditioning apparatus according to the prior art
  • FIG. 2 is a conceptual diagram conceptually showing a configuration of a clean room dehumidification air conditioning apparatus according to an embodiment of the present invention
  • FIG. 3 is a conceptual diagram conceptually showing a configuration of a clean room dehumidification air conditioning apparatus according to another embodiment of the present invention.
  • FIG. 4 is a conceptual diagram conceptually illustrating an operation structure of the injector and the suction case illustrated in FIG. 3.
  • FIG. 2 is a conceptual diagram conceptually showing a configuration of a clean room dehumidification air conditioning apparatus according to an embodiment of the present invention.
  • Clean room dehumidification air conditioning apparatus is an air conditioning apparatus for performing a dehumidification function by supplying dry air to the internal space of the clean room chamber 100 to block the outside air inflow, clean room chamber ( 100, an air conditioner 200, a silencer 400, a compressor 500, a supply pipe open / close valve 530, and a control unit 600.
  • the clean room chamber 100 is formed in a sealed form to form a clean space therein, and an air damper 110 is mounted at one side to form a positive pressure in the inner space.
  • the interior of the clean room chamber 100 may be equipped with a temperature and humidity sensor 300 that can measure the temperature and humidity of the interior space.
  • the air conditioner 200 may be installed inside or outside the clean room chamber 100, blows air into the interior space of the clean room chamber 100, and dehumidifies to dehumidify the air during the blowing process.
  • Unit 210 is provided.
  • An air inlet 202 and an air outlet 201 are formed in the air conditioner 200, and a blower fan (not shown) may be provided therein. Accordingly, the air in the clean room chamber 100 may be sucked through the air inlet 202, dehumidified through the dehumidification unit 210, and then dry air may be supplied to the clean room chamber 100 through the air outlet 201.
  • Air circulation and dehumidification can be performed by discharging to the inner space.
  • the dehumidifying unit 210 may be applied to a refrigerator using a general cooling method as described in the prior art.
  • the air conditioner 200 receives dry air from the compressor 500 to be described later in addition to the function of circulating the air inside the clean room chamber 100, and discharges the dry air to the interior space of the clean room chamber 100.
  • the function also performs.
  • the silencer 400 is configured to discharge air blown out from the air conditioner 200 in a noise reduction manner, and is connected to the air outlet 201 of the air conditioner 200 through a separate circulation pipe P1.
  • a plurality of silencers 400 may be provided, and each of the silencers 400 may communicate with each of the plurality of silencers 400 in a branched form. Since the silencer 400 is a known configuration as a device for discharging air in a noise reduction method, a detailed description thereof will be omitted.
  • the compressor 500 is configured to supply external air in a compressed and dried state, and is connected to the air conditioner 200 through a separate supply pipe P2 to supply dry air to the air conditioner 200.
  • the dry air supplied from the compressor 500 to the air conditioner 200 is discharged through the air outlet 201 of the air conditioner 200 as described above, and passes through the circulation pipe P1 and the silencer 400 to clean the chamber 100. ) It is circulated and discharged into the inner space.
  • a separate cooler 510 and a dryer 520 may be mounted in the supply pipe P2 so as to cool and dry the drying air supplied from the compressor 500.
  • the compressor 500 is equipped with a separate filter may be configured to remove foreign substances when the inflow of external air.
  • the supply pipe opening and closing valve 530 is mounted on the supply pipe (P2) to open and close the supply pipe (P2), may be configured to be opened and closed by a manual operation of the user, the control unit according to an embodiment of the present invention It can be applied in the form of a solenoid valve or the like to automatically open and close operation by the control of (600).
  • the controller 600 controls the air damper 110 and the air conditioner 200 to selectively dehumidify the internal space of the clean room chamber 100 in the first dehumidification mode or the second dehumidification mode according to a user's selection operation through the operation unit 610. ), The operation of the components such as the supply pipe opening and closing valve 530 is controlled.
  • the first dehumidification mode is an operating state in which a general dehumidification function by the dehumidification unit 210 of the air conditioner 200 is performed as described in the related art
  • the second dehumidification mode is a dehumidification function through supplying dry air of the compressor 500. This means the operating state being performed.
  • the control unit 600 when the user selects the first dehumidification mode or the second dehumidification mode through the operation unit 610, the control unit 600 receives such an operation signal.
  • the dehumidification function is selectively performed in the first dehumidification mode or the second dehumidification mode by controlling the operating states of the components.
  • the supply pipe open / close valve 530 is controlled to be closed, and the dehumidification unit 210 of the air conditioner 200 is controlled to operate, whereby the dry air of the compressor 500 is transferred to the air conditioner 200.
  • air in the interior space of the clean room chamber 100 is circulated through the air conditioner 200 in a general dehumidifying manner, and a dehumidifying function is performed by the dehumidifying unit 210 in the circulating process.
  • the air damper 110 is kept unblocked.
  • the air damper 110 is controlled to be blocked to prevent the inflow of external air, and to control the operation of the dehumidification unit 210 to be stopped, and to operate the opening and closing valve 530 of the supply pipe. Controlled. Accordingly, dry air is supplied from the compressor 500 to the air conditioner 200, and is circulated and discharged from the air conditioner 200 through the circulation pipe P1 to the interior space of the clean room chamber 100 through the silencer 400. The dehumidifying function for the interior space of the clean room chamber 100 is performed through the circulation of the dry air. Therefore, the dehumidification unit 210 that performs the dehumidification function in the air circulation process is preferably controlled to be stopped because its operation does not need to be maintained.
  • the air damper 110 is blocked and no external air is introduced, even when the humidity of the outside air is high, such as in summer, the interior space of the clean room chamber 100 is kept well in a low humidity state. do.
  • the inflow of the outside air through the air damper 110 is blocked, since the outside air is supplied into the clean room chamber 100 in the dry air state through the compressor 500, unlike the prior art clean room chamber 100 ) Do not cause oxygen shortage in the internal space.
  • the clean room dehumidification and air conditioning apparatus may be applied to the clean room chamber 100 in the first dehumidification mode in which the outside air may be introduced in a general case where the humidity of the outside air is low, such as in spring.
  • the dehumidification function and the dehumidification function for the clean room chamber 100 in the second dehumidification mode in which the inflow of the humid outdoor air is blocked in case of rain or high humidity of the outside air such as in summer. Can be operated.
  • FIG. 3 is a conceptual diagram conceptually showing a configuration of a clean room dehumidification air conditioning apparatus according to still another embodiment of the present invention
  • FIG. 4 is a conceptual diagram conceptually illustrating an operation structure of the injector and the suction case illustrated in FIG. 3. .
  • Clean room dehumidification air conditioning apparatus is equipped with a separate injector 700 that receives the dry air from the compressor 500 and ejected to the circulation pipe (P1) as shown in FIG. It may be configured in the form.
  • One end of the injector 700 is connected to the circulation pipe (P1), the other end is connected to the supply pipe (P2) of the compressor 500 or the compressor 500 through a separate connection pipe (P3), connection pipe (P3) ) May be equipped with a separate connecting pipe opening and closing valve 750 that can open and close the connecting pipe (P3).
  • the connecting pipe opening and closing valve 750 is configured to be controlled by the control unit 600. Therefore, when the connection pipe open / close valve 750 is opened, dry air flows from the compressor 500 into the injector 700 through the connection pipe P3 and is discharged into the circulation pipe P1, thereby circulating the circulation pipe P1. Through the silencer 400 is discharged to the interior space of the clean room chamber 100.
  • the injector 700 is connected to a suction case 800 in which a suction hole 810 is formed to suck air in the clean room chamber 100 through a separate suction pipe P4, and the injector 700 is connected to the injector 700.
  • the air inside the clean room chamber 100 is introduced into the injector 700 through the suction case 800 and the suction pipe P4 by the pressure drop phenomenon generated during the discharge of the dry air, and discharged together with the dry air. do.
  • the clean room dehumidification air conditioning apparatus operates in a circulation method of dry air using a separate injector 700 in addition to the circulation method of dry air through the air conditioner 200 in the second dehumidification mode.
  • a separate injector 700 in addition to the circulation method of dry air through the air conditioner 200 in the second dehumidification mode. Can be.
  • the control unit 600 receives such an operation signal so that the connection pipe open / close valve 750 is opened.
  • the dry air of the compressor 500 flows into the injector 700 through the connection pipe P3, and then passes through the circulation pipe P1 and the silencer 400 to the interior space of the clean room chamber 100.
  • the air inside the clean room chamber 100 is again introduced into the injector 700 through the suction case 800 and the suction pipe P4 and discharged together with the dry air, so that the dry air is clean room chamber 100. ) Will continue to cycle inside.
  • the dry air of the compressor 500 may be continuously supplied to the air conditioner 200 through the supply pipe P2, in which case the air conditioner ( Since it is not necessary to perform the air circulation function by the 200, it is preferable that the air conditioner 200 is controlled to be stopped when the connecting pipe open / close valve 750 is opened.
  • the supply pipe open / close valve 530 may also be controlled to be closed.
  • a separate circulation pipe opening and closing valve 220 is mounted on the circulation pipe P1 connected to the air outlet 201 of the air conditioner 200, and the circulation pipe opening and closing valve 220 is controlled in such a manner as to be closed. It may be configured.
  • the injector 700 is dry air in the inner flow path as shown in Figure 4 so that the internal air can be more smoothly sucked from the suction case 800 during the dry air injection process
  • a neck portion 713 may be formed to induce a throttling action.
  • the injector 700 has an injector block 710 having a discharge flow path 711 and a suction flow path 712 formed therein, and an inflow coupled to one end of the discharge flow path 711 of the injector block 710. And a port 720 and a discharge port 730 coupled to the other end of the discharge flow path 711 of the injector block 710.
  • the discharge flow path 711 formed in the injector block 710 is formed long in one direction so that the dry air supplied from the compressor 500 is introduced and discharged, and the inflow port 720 and both ends of the discharge flow path 711 are respectively formed.
  • the discharge port 730 is coupled.
  • the suction passage 712 is formed to be connected to the discharge passage 711 in a direction perpendicular to the stop of the discharge passage 711, the suction pipe (P4) is connected to the end of the suction passage 712.
  • a neck portion 713 is formed in the stop portion of the discharge flow path 711 so that the inner diameter of the flow path becomes small at a point in communication with the suction flow path 712. That is, the discharge passage 711 has a neck portion 713 having a smaller diameter from both ends to the point communicating with the suction passage 712, which is communicated with the suction passage 712 by the neck portion 713. At this point, the diameter of the discharge passage 711 is minimized, thereby causing a throttling action on the dry air, and the air inside the clean room chamber 100 from the suction pipe P4 due to the pressure drop phenomenon due to the throttling action. The suctioned inside air is discharged together with the dry air through the discharge passage 711.
  • the injector 700 can more smoothly inhale a larger amount of internal air by the neck portion 713 in the discharge passage 711 to clean room chamber 100
  • the dehumidification effect on the inner space can be performed more effectively and quickly.

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Abstract

본 발명은 클린룸 제습 공조 장치에 관한 것으로, 별도의 컴프레셔를 통해 클린룸 챔버에 건조 공기를 공급하는 방식으로 클린룸 챔버 내부 공간에 대한 제습 기능을 수행함으로써, 외부 공기의 유입을 방지하여 여름철과 같이 외부 공기의 습도가 높은 경우에도 클린룸 챔버 내부 공간의 건조 상태를 양호하게 유지시킬 수 있으며, 컴프레셔를 통한 건조 공기의 공급을 통해 클린룸 챔버 내부 공간에 대한 산소 부족 현상 또한 방지할 수 있어 제품 불량을 방지함과 동시에 작업자의 건강 위험을 방지할 수 있고, 기존의 공조기를 그대로 활용함으로써, 공조기의 제습 유닛을 통한 냉각 제습 방식 또는 컴프레셔의 건조 공기를 이용한 제습 방식을 외부 환경에 따라 선택적으로 적용할 수 있어 더욱 효율적일 수 있는 클린룸 제습 공조 장치를 제공한다.

Description

클린룸 제습 공조 장치
본 발명은 클린룸 제습 공조 장치에 관한 것이다. 보다 상세하게는 별도의 컴프레셔를 통해 클린룸 챔버에 건조 공기를 공급하는 방식으로 클린룸 챔버 내부 공간에 대한 제습 기능을 수행함으로써, 외부 공기의 유입을 방지하여 여름철과 같이 외부 공기의 습도가 높은 경우에도 클린룸 챔버 내부 공간의 건조 상태를 양호하게 유지시킬 수 있으며, 컴프레셔를 통한 건조 공기의 공급을 통해 클린룸 챔버 내부 공간에 대한 산소 부족 현상 또한 방지할 수 있어 제품 불량을 방지함과 동시에 작업자의 건강 위험을 방지할 수 있고, 기존의 공조기를 그대로 활용함으로써, 공조기의 제습 유닛을 통한 냉각 제습 방식 또는 컴프레셔의 건조 공기를 이용한 제습 방식을 외부 환경에 따라 선택적으로 적용할 수 있어 더욱 효율적일 수 있는 클린룸 제습 공조 장치에 관한 것이다.
일반적으로, 반도체 소자, 평판 디스플레이 패널 및 미세 전자 소자 등은 그 제조에 있어서 높은 청정도가 요구되기 때문에 클린룸에서 그 제조가 이루워진다. 클린룸은 온도, 습도 및 파티클(먼지 등 마이크로 단위의 미세 입자 등) 등을 일정 수준으로 유지하여 제조 단계에서 제품 불량이 발생되는 것을 방지할 수 있도록 구성된다.
클린룸에는 내부 공간에 이와 같은 청정 환경을 유지할 수 있도록 별도의 공조 장치가 설치되는데, 공조 장치를 통한 공기 순환을 통해 내부 공간에서 온도 및 습도 등이 조절되고, 파티클의 유입이 방지된다. 특히, 최근에는 첨단 전자 부품이나 칩과 같은 제품들은 습도에 상당히 민감하므로, 습기에 의해 이러한 제품들이 손상되지 않도록 클린룸 내부 공간에 대한 제습 기능이 더욱 중요시되고 있다.
도 1은 종래 기술에 따른 일반적인 클린룸 제습 공조 장치의 구성을 개념적으로 도시한 개념도이다.
클린룸 제습 공조 장치는 내부에 청정 공간이 형성되도록 밀폐 형성되는 클린룸 챔버(100)와, 클린룸 챔버(100) 내부 공간에 대한 공기를 순환시키는 공조기(200)를 포함하여 구성된다. 클린룸 챔버(100)의 일측에는 내부 공간에 대한 양압 유지를 위해 에어 댐퍼(110)가 장착되며, 내부 공간에는 클린룸 챔버(100) 내부의 온도 및 습도를 측정할 수 있는 온습도 센서(300)가 장착된다.
공조기(200)는 클린룸 챔버(100) 내부에 배치되는데, 일측과 타측에 공기 유입구(202) 및 공기 유출구(201)가 형성되고, 이를 통해 공기를 순환시킬 수 있도록 내부에 송풍팬(미도시) 등이 장착된다. 이러한 공조기(200)는 공기를 순환시키는 과정에서 제습 기능을 수행하게 되는데, 이를 위해 내부에 제습 유닛(210)이 구비되고, 공기 유입구(202)를 통해 유입된 공기가 제습 유닛(210)을 통과하며 제습 건조된 상태로 공기 유출구(201)를 통해 배출되도록 구성된다. 이때, 제습 유닛(210)은 일반적으로 냉각 방식을 이용하여 제습 기능을 수행하는 냉동기가 사용된다.
이와 같이 구성되는 클린룸 제습 공조 장치는 클린룸 챔버(100) 내부 공간에 양압이 형성되므로, 기본적으로는 외부 공기가 유입되지 않지만, 작업자의 출입 등 특정 상황에 따른 압력 변화로 인해 외부 공기가 에어 댐퍼(110) 등을 통해 유입될 수 밖에 없는 구조를 갖는다. 또한, 클린룸 챔버(100) 내부 공간에 대한 산소 공급을 위해 공조기(200) 자체에서 외부 공기를 유입하여 순환시키는 구성을 갖기도 한다.
이와 같이 종래 기술에 따른 클린룸 제습 공조 장치는 클린룸 챔버(100) 내부 공간으로 외부 공기가 유입되기 때문에, 여름철과 같이 외부 공기에 습기가 많은 경우에는 외부 공기의 유입에 의해 클린룸 챔버(100) 내부 공간의 습도가 올라가게 되고, 이에 따라 반도체 부품이나 바이오 제품과 같은 첨단 제품들이 습기에 의해 손상되는 등의 문제가 있었다.
이러한 문제를 해결하기 위해 여름철에만 특별히 에어 댐퍼(110)를 차단하여 외부 공기의 유입을 완전 차단하는 방식으로 공조 장치를 가동하기도 하는데, 이 경우에는 클린룸 챔버(100) 내부 공간에 산소 공급이 차단되어 산소 부족으로 인해 작업자의 건강이 위협받거나 작업 능률이 저하되게 되는 등의 문제가 있었다.
본 발명은 종래 기술의 문제점을 해결하기 위해 발명한 것으로서, 본 발명의 목적은 별도의 컴프레셔를 통해 클린룸 챔버에 건조 공기를 공급하는 방식으로 클린룸 챔버 내부 공간에 대한 제습 기능을 수행함으로써, 외부 공기의 유입을 방지하여 여름철과 같이 외부 공기의 습도가 높은 경우에도 클린룸 챔버 내부 공간의 건조 상태를 양호하게 유지시킬 수 있으며, 컴프레셔를 통한 건조 공기의 공급을 통해 클린룸 챔버 내부 공간에 대한 산소 부족 현상 또한 방지할 수 있어 제품 불량을 방지함과 동시에 작업자의 건강 위험을 방지할 수 있는 클린룸 제습 공조 장치를 제공하는 것이다.
본 발명의 다른 목적은 기존의 공조기를 그대로 활용함으로써, 공조기의 제습 유닛을 통한 냉각 제습 방식 또는 컴프레셔의 건조 공기를 이용한 제습 방식을 외부 환경에 따라 선택적으로 적용할 수 있어 더욱 효율적일 수 있는 클린룸 제습 공조 장치를 제공하는 것이다.
본 발명의 또 다른 목적은 별도의 인젝터를 이용하여 컴프레셔의 건조 공기를 클린룸 챔버 내부 공간에 순환시킴으로써, 공조기를 부가적으로 가동하지 않아도 되므로 향상된 에너지 효율을 제공할 수 있는 클린룸 제습 공조 장치를 제공하는 것이다.
본 발명의 상기 목적과 여러 가지 장점은 이 기술분야에 숙련된 사람들에 의해 본 발명의 바람직한 실시예로부터 더욱 명확하게 될 것이다.
본 발명은, 내부 공간에 양압이 유지되도록 일측에 에어 댐퍼가 장착되는 클린룸 챔버; 상기 클린룸 챔버의 내부 공간으로 공기를 송풍하며, 송풍되는 공기를 제습할 수 있도록 제습 유닛이 구비되는 공조기; 상기 공조기로부터 송풍되는 공기를 소음 저감 방식으로 배출하여 공기를 순환시키도록 상기 공조기와 순환 배관을 통해 연결되는 다수개의 소음기; 상기 공조기에 건조 공기를 공급하여 상기 클린룸 챔버 내부 공간에 건조 공기가 송풍되도록 별도의 공급 배관을 통해 상기 공조기와 연결되는 컴프레셔; 상기 공급 배관을 개폐하도록 장착되는 공급 배관 개폐 밸브; 및 조작부를 통한 사용자의 선택 조작에 따라 상기 클린룸 챔버의 내부 공간이 제 1 제습 모드 또는 제 2 제습 모드로 선택적으로 제습되도록 상기 에어 댐퍼, 공조기 및 공급 배관 개폐 밸브의 동작 상태를 제어하는 제어부를 포함하고, 상기 제 1 제습 모드에서는 상기 공급 배관 개폐 밸브가 폐쇄되고 상기 제습 유닛이 작동되어 상기 클린룸 챔버의 내부 공간이 상기 제습 유닛을 통해 건조 상태로 유지되고, 상기 제 2 제습 모드에서는 상기 에어 댐퍼가 차단되고 상기 제습 유닛의 작동이 중단되며 상기 공급 배관 개폐 밸브가 개방되어 상기 클린룸 챔버의 내부 공간이 상기 컴프레셔로부터 공급되는 건조 공기에 의해 건조 상태로 유지되는 것을 특징으로 하는 클린룸 제습 공조 장치를 제공한다.
이때, 상기 공급 배관에는 상기 컴프레셔로부터 공급되는 건조 공기를 냉각 및 건조시킬 수 있도록 별도의 쿨러 및 드라이어가 각각 장착될 수 있다.
또한, 상기 순환 배관에는 별도의 인젝터가 연통 장착되고, 상기 인젝터는 상기 컴프레셔로부터 건조 공기를 공급받아 상기 순환 배관으로 배출할 수 있도록 별도의 연결 배관을 통해 상기 공급 배관과 연결되고, 상기 연결 배관에는 상기 연결 배관을 개폐할 수 있는 연결 배관 개폐 밸브가 장착되며, 상기 인젝터에는 상기 클린룸 챔버 내부 공기를 흡입할 수 있도록 흡입홀이 형성되는 흡입 케이스가 별도의 흡입 배관을 통해 연결되고, 상기 인젝터가 건조 공기를 배출하는 과정에서 발생하는 압력 강하 현상에 의해 상기 클린룸 챔버 내부 공기가 상기 흡입 케이스 및 흡입 배관을 통해 상기 인젝터로 유입되어 건조 공기와 함께 배출되며, 상기 흡입 배관에는 흡입되는 공기로부터 수분을 제거할 수 있도록 유수 분리 필터가 장착되고, 상기 연결 배관 개폐 밸브는 상기 조작부를 통한 사용자의 조작에 따라 상기 제 2 제습 모드에서 개방되도록 상기 제어부에 의해 동작 제어되고, 상기 연결 배관 개폐 밸브가 개방 작동하는 경우, 상기 공조기는 작동 중단되도록 상기 제어부에 의해 동작 제어될 수 있다.
이때, 상기 인젝터는 건조 공기가 배출되도록 내부에 일측 방향으로 배출 유로가 형성되고, 상기 배출 유로의 중단에는 상기 흡입 배관과 연결되는 흡입 유로가 상기 배출 유로와 연통되게 형성되는 인젝터 블록; 상기 인젝터 블록의 배출 유로의 일단에 결합되는 유입 포트; 및 상기 인젝터 블록의 배출 유로의 타단에 결합되는 배출 포트를 포함하고, 상기 배출 유로는 상기 흡입 유로와 연통되는 지점에서 직경이 작아지는 네크부가 형성될 수 있다.
본 발명에 의하면, 별도의 컴프레셔를 통해 클린룸 챔버에 건조 공기를 공급하는 방식으로 클린룸 챔버 내부 공간에 대한 제습 기능을 수행함으로써, 외부 공기의 유입을 방지하여 여름철과 같이 외부 공기의 습도가 높은 경우에도 클린룸 챔버 내부 공간의 건조 상태를 양호하게 유지시킬 수 있으며, 컴프레셔를 통한 건조 공기의 공급을 통해 클린룸 챔버 내부 공간에 대한 산소 부족 현상 또한 방지할 수 있어 제품 불량을 방지함과 동시에 작업자의 건강 위험을 방지할 수 있는 효과가 있다.
또한, 기존의 공조기를 그대로 활용함으로써, 공조기의 제습 유닛을 통한 냉각 제습 방식 또는 컴프레셔의 건조 공기를 이용한 제습 방식을 외부 환경에 따라 선택적으로 적용할 수 있어 더욱 효율적으로 사용될 수 있는 효과가 있다.
또한, 별도의 인젝터를 이용하여 컴프레셔의 건조 공기를 클린룸 챔버 내부 공간에 순환시킴으로써, 공조기를 부가적으로 가동하지 않아도 되므로 향상된 에너지 효율을 제공할 수 있는 효과가 있다.
도 1은 종래 기술에 따른 일반적인 클린룸 제습 공조 장치의 구성을 개념적으로 도시한 개념도,
도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 클린룸 제습 공조 장치의 구성을 개념적으로 도시한 개념도,
도 3은 본 발명의 또 다른 일 실시예에 따른 클린룸 제습 공조 장치의 구성을 개념적으로 도시한 개념도,
도 4는 도 3에 도시된 인젝터 및 흡입 케이스의 작동 구조를 개념적으로 도시한 개념도이다.
이하, 본 발명의 바람직한 실시예를 첨부된 도면들을 참조하여 상세히 설명한다. 우선 각 도면의 구성 요소들에 참조 부호를 부가함에 있어서, 동일한 구성 요소들에 대해서는 비록 다른 도면 상에 표시되더라도 가능한 한 동일한 부호를 가지도록 하고 있음에 유의해야 한다. 또한, 본 발명을 설명함에 있어, 관련된 공지 구성 또는 기능에 대한 구체적인 설명이 본 발명의 요지를 흐릴 수 있다고 판단되는 경우에는 그 상세한 설명은 생략한다.
도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 클린룸 제습 공조 장치의 구성을 개념적으로 도시한 개념도이다.
본 발명의 일 실시예에 따른 클린룸 제습 공조 장치는 클린룸 챔버(100)의 내부 공간으로 외부 공기 유입을 차단한 상태로 건조 공기를 공급하여 제습 기능을 수행하는 공조 장치로서, 클린룸 챔버(100)와, 공조기(200)와, 소음기(400)와, 컴프레셔(500)와, 공급 배관 개폐 밸브(530)와, 제어부(600)를 포함하여 구성된다.
클린룸 챔버(100)는 내부에 청정 공간이 형성되도록 밀폐된 형태로 형성되며, 일측에는 내부 공간에 양압이 형성되도록 에어 댐퍼(110)가 장착된다. 이러한 클린룸 챔버(100)의 내부에는 내부 공간의 온도 및 습도를 측정할 수 있는 온습도 센서(300)가 장착될 수 있다.
공조기(200)는 클린룸 챔버(100)의 내부에 설치되거나 또는 외부에 설치될 수 있으며, 클린룸 챔버(100)의 내부 공간으로 공기를 송풍하며, 송풍하는 과정에서 공기를 제습할 수 있도록 제습 유닛(210)이 구비된다. 이러한 공조기(200)에는 공기 유입구(202) 및 공기 유출구(201)가 형성되고, 내부에는 송풍팬(미도시)이 구비될 수 있다. 따라서, 공기 유입구(202)를 통해 클린룸 챔버(100) 내부 공간의 공기를 흡입하고, 제습 유닛(210)을 통해 제습한 후, 다시 공기 유출구(201)를 통해 건조 공기를 클린룸 챔버(100) 내부 공간으로 배출시키는 방식으로 공기 순환 및 제습 기능을 수행할 수 있다. 이때, 제습 유닛(210)은 종래 기술에서 설명한 바와 같이 일반적인 냉방 방식을 이용하는 냉동기가 적용될 수 있다.
한편, 공조기(200)는 이와 같이 클린룸 챔버(100) 내부 공기를 순환시키는 기능 이외에도 후술하는 컴프레셔(500)로부터 건조 공기를 공급받아 건조 공기를 클린룸 챔버(100) 내부 공간으로 배출시켜 순환시키는 기능 또한 아울러 수행한다.
소음기(400)는 공조기(200)로부터 송풍 배출되는 공기를 소음 저감 방식으로 배출시키는 구성으로, 공조기(200)의 공기 유출구(201)와 별도의 순환 배관(P1)을 통해 연결된다. 이때, 소음기(400)는 다수개 구비될 수 있으며, 순환 배관(P1)이 분기된 형태로 다수개의 소음기(400)에 각각 연통 결합된다. 이러한 소음기(400)는 소음 저감 방식으로 공기를 배출하는 장치로 공지된 구성이므로, 상세한 설명은 생략한다.
컴프레셔(500)는 외부 공기를 압축 건조시킨 상태로 공급하는 구성으로, 별도의 공급 배관(P2)을 통해 공조기(200)와 연결되어 공조기(200)에 건조 공기를 공급한다. 컴프레셔(500)로부터 공조기(200)로 공급되는 건조 공기는 전술한 바와 같이 공조기(200)의 공기 유출구(201)를 통해 배출되어 순환 배관(P1) 및 소음기(400)를 거쳐 클린룸 챔버(100) 내부 공간으로 순환 배출된다. 이때, 공급 배관(P2)에는 컴프레셔(500)로부터 공급되는 건조 공기를 냉각 및 건조시킬 수 있도록 별도의 쿨러(510) 및 드라이어(520)가 각각 장착될 수 있다. 한편, 도시되지는 않았으나, 컴프레셔(500)에는 별도의 필터가 장착되어 외부 공기의 유입시 이물질을 제거할 수 있도록 구성될 수 있다.
공급 배관 개폐 밸브(530)는 공급 배관(P2)을 개폐할 수 있도록 공급 배관(P2) 상에 장착되며, 사용자의 수동 조작에 의해 개폐되도록 구성될 수도 있으나, 본 발명의 일 실시예에 따라 제어부(600)의 제어에 의해 자동으로 개폐 작동되도록 솔레노이드 밸브 등의 형태로 적용될 수 있다.
제어부(600)는 조작부(610)를 통한 사용자의 선택 조작에 따라 클린룸 챔버(100)의 내부 공간이 제 1 제습 모드 또는 제 2 제습 모드로 선택적으로 제습되도록 에어 댐퍼(110), 공조기(200), 공급 배관 개폐 밸브(530) 등의 구성 요소들의 작동을 제어한다. 제 1 제습 모드는 종래 기술에서 설명한 바와 같이 공조기(200)의 제습 유닛(210)에 의한 일반적인 제습 기능이 수행되는 작동 상태이고, 제 2 제습 모드는 컴프레셔(500)의 건조 공기 공급을 통한 제습 기능이 수행되는 작동 상태를 의미한다.
즉, 본 발명의 일 실시예에 따른 클린룸 제습 공조 장치는 사용자가 조작부(610)를 통해 제 1 제습 모드 또는 제 2 제습 모드를 선택하게 되면, 제어부(600)가 이러한 조작 신호를 인가받아 해당 구성 요소들의 작동 상태를 제어하여 제 1 제습 모드 또는 제 2 제습 모드로 제습 기능이 선택적으로 수행되도록 구성된다.
제 1 제습 모드에서는 공급 배관 개폐 밸브(530)가 폐쇄되도록 동작 제어되고, 공조기(200)의 제습 유닛(210)이 작동하도록 제어되며, 이에 따라 컴프레셔(500)의 건조 공기는 공조기(200)로 유입되지 않고, 일반적인 제습 방식대로 클린룸 챔버(100) 내부 공간의 공기가 공조기(200)를 통해 순환되며, 순환되는 과정에서 제습 유닛(210)에 의해 제습 기능이 수행된다. 이러한 제 1 제습 모드에서는 에어 댐퍼(110)가 차단되지 않은 상태로 유지된다.
제 2 제습 모드에서는 에어 댐퍼(110)가 차단되도록 동작 제어되어 외부 공기의 유입이 방지되도록 하고, 제습 유닛(210)의 작동이 중단되도록 동작 제어되며, 공급 배관 개폐 밸브(530)가 개방되도록 동작 제어된다. 이에 따라 컴프레셔(500)로부터 건조 공기가 공조기(200)로 공급되며, 공조기(200)로부터 순환 배관(P1)을 거쳐 소음기(400)를 통해 클린룸 챔버(100) 내부 공간으로 순환 배출된다. 이러한 건조 공기의 순환 과정을 통해 클린룸 챔버(100) 내부 공간에 대한 제습 기능이 수행된다. 따라서, 공기의 순환 과정에서 제습 기능을 수행하는 제습 유닛(210)은 그 작동이 유지될 필요가 없으므로, 중단되도록 제어되는 것이 바람직하다.
이러한 제 2 제습 모드에서는 에어 댐퍼(110)가 차단되어 외부 공기가 유입되지 않기 때문에, 여름철과 같이 외부 공기의 습도가 높은 경우에도 클린룸 챔버(100) 내부 공간은 습도가 낮은 상태로 양호하게 유지된다. 또한, 에어 댐퍼(110)를 통한 외부 공기의 유입이 차단되더라도 컴프레셔(500)를 통해 외부 공기가 건조 공기 상태로 클린룸 챔버(100) 내부로 공급되기 때문에, 종래 기술과 달리 클린룸 챔버(100) 내부 공간에서의 산소 부족 현상이 발생되지 않도록 한다.
따라서, 본 발명의 일 실시예에 따른 클린룸 제습 공조 장치는 봄철과 같이 외부 공기의 습도가 낮은 일반적인 경우에는 외부 공기가 유입될 수 있는 방식의 제 1 제습 모드로 클린룸 챔버(100)에 대한 제습 기능을 수행하고, 비가 오거나 여름철과 같이 외부 공기의 습도가 높은 경우에는 습도 높은 외부 공기의 유입이 차단되는 제 2 제습 모드로 클린룸 챔버(100)에 대한 제습 기능을 수행하도록 선택적인 방식으로 작용될 수 있다.
특히, 이와 같은 선택적인 방식으로 작용됨으로써, 기존의 방식대로 설치된 제습 공조 장치를 제거할 필요없이 기존 공조 장치에 컴프레셔(500) 등을 추가로 새롭게 연결하는 방식으로 용이하게 구성될 수 있다.
도 3은 본 발명의 또 다른 일 실시예에 따른 클린룸 제습 공조 장치의 구성을 개념적으로 도시한 개념도이고, 도 4는 도 3에 도시된 인젝터 및 흡입 케이스의 작동 구조를 개념적으로 도시한 개념도이다.
본 발명의 또 다른 일 실시예에 따른 클린룸 제습 공조 장치는 도 3에 도시된 바와 같이 컴프레셔(500)로부터 건조 공기를 공급받아 순환 배관(P1)으로 분사 배출하는 별도의 인젝터(700)가 장착되는 형태로 구성될 수 있다.
인젝터(700)는 일단이 순환 배관(P1)에 연결되고, 타단이 별도의 연결 배관(P3)을 통해 컴프레셔(500) 또는 컴프레셔(500)의 공급 배관(P2)과 연결되며, 연결 배관(P3)에는 연결 배관(P3)을 개폐할 수 있는 별도의 연결 배관 개폐 밸브(750)가 장착될 수 있다. 이때, 연결 배관 개폐 밸브(750)는 제어부(600)에 의해 동작 제어되도록 구성된다. 따라서, 연결 배관 개폐 밸브(750)가 개방되면, 컴프레셔(500)로부터 건조 공기가 연결 배관(P3)을 통해 인젝터(700)로 유입되어 순환 배관(P1)으로 배출되며, 순환 배관(P1)을 거쳐 소음기(400)를 통해 클린룸 챔버(100) 내부 공간으로 배출된다.
이러한 인젝터(700)에는 클린룸 챔버(100) 내부 공기를 흡입할 수 있도록 흡입홀(810)이 형성되는 흡입 케이스(800)가 별도의 흡입 배관(P4)을 통해 연결되고, 인젝터(700)가 건조 공기를 배출하는 과정에서 발생하는 압력 강하 현상에 의해 클린룸 챔버(100) 내부 공기가 흡입 케이스(800) 및 흡입 배관(P4)을 통해 인젝터(700)로 유입되어 건조 공기와 함께 배출되도록 구성된다.
이러한 구성에 따라 본 발명의 일 실시예에 따른 클린룸 제습 공조 장치는 제 2 제습 모드에서 공조기(200)를 통한 건조 공기의 순환 방식 이외에 별도의 인젝터(700)를 이용하는 건조 공기의 순환 방식으로 작동될 수 있다.
즉, 제 2 제습 모드에서 사용자가 조작부(610)를 통해 인젝터(700)를 이용하는 공기 순환 방식을 선택하게 되면, 제어부(600)는 이러한 조작 신호를 인가받아 연결 배관 개폐 밸브(750)가 개방되도록 제어하고, 이에 따라 컴프레셔(500)의 건조 공기는 연결 배관(P3)을 통해 인젝터(700)로 유입된 후, 순환 배관(P1) 및 소음기(400)를 거쳐 클린룸 챔버(100) 내부 공간으로 배출되고, 이와 동시에 흡입 케이스(800) 및 흡입 배관(P4)을 통해 클린룸 챔버(100) 내부 공기가 다시 인젝터(700)로 유입되어 건조 공기와 함께 배출되므로, 건조 공기가 클린룸 챔버(100) 내부에서 계속 순환하게 된다.
이때, 제 2 제습 모드에서 공급 배관 개폐 밸브(530) 또한 개방된 상태이므로, 컴프레셔(500)의 건조 공기는 공급 배관(P2)을 통해 공조기(200)로도 계속 공급될 수 있는데, 이 경우 공조기(200)에 의한 공기 순환 기능을 수행할 필요가 없으므로, 연결 배관 개폐 밸브(750)가 개방된 경우 공조기(200)는 작동 중단되도록 제어되는 것이 바람직하다. 물론, 이 경우 공급 배관 개폐 밸브(530) 또한 폐쇄 작동하도록 제어될 수 있을 것이다. 또한, 공조기(200)의 공기 유출구(201)에 연결되는 순환 배관(P1) 상에 별도의 순환 배관 개폐 밸브(220)를 장착하고, 순환 배관 개폐 밸브(220)가 폐쇄 작동되도록 제어하는 방식으로 구성될 수도 있다.
이러한 구성에 따라 제 2 제습 모드에서 공조기(200)의 가동 없이도 인젝터(700)를 이용하여 원활하게 건조 공기를 클린룸 챔버(100) 내부 공간에 순환 공급할 수 있으며, 이에 따라 더욱 에너지 효율을 향상시킬 수 있다.
한편, 인젝터(700)의 구성에 대해 살펴보면, 인젝터(700)는 건조 공기 분사 과정에서 흡입 케이스(800)로부터 내부 공기가 더욱 원활하게 흡입될 수 있도록 도 4에 도시된 바와 같이 내부 유로에 건조 공기에 대한 교축 작용을 유도하는 네크부(713)가 형성될 수 있다.
좀 더 자세히 살펴보면, 인젝터(700)는 내부에 배출 유로(711) 및 흡입 유로(712)가 형성되는 인젝터 블록(710)과, 인젝터 블록(710)의 배출 유로(711)의 일단에 결합되는 유입 포트(720)와, 인젝터 블록(710)의 배출 유로(711)의 타단에 결합되는 배출 포트(730)를 포함하여 구성된다.
인젝터 블록(710)에 형성되는 배출 유로(711)는 컴프레셔(500)로부터 공급되는 건조 공기가 유입 및 배출되도록 일측 방향으로 길게 형성되며, 배출 유로(711)의 양단에 각각 유입 포트(720)와 배출 포트(730)가 결합된다. 흡입 유로(712)는 배출 유로(711)의 중단에 배출 유로(711)와 직각 방향을 이루며 연결되도록 형성되며, 흡입 유로(712)의 끝단에는 흡입 배관(P4)이 연결된다.
이때, 배출 유로(711)의 중단부에는 흡입 유로(712)와 연통되는 지점에서 유로의 내부 직경이 작아지는 네크부(713)가 형성된다. 즉, 배출 유로(711)는 양단부로부터 흡입 유로(712)와 연통되는 지점으로 갈수록 직경이 작아지는 네크부(713)가 형성되며, 이러한 네크부(713)에 의해 흡입 유로(712)와 연통되는 지점에서 배출 유로(711)의 직경은 최소가 되며, 이를 통해 건조 공기에 대한 교축 작용이 발생하고, 교축 작용에 따른 압력 강하 현상에 의해 흡입 배관(P4)으로부터 클린룸 챔버(100) 내부 공기가 흡입되며, 흡입된 내부 공기는 배출 유로(711)를 통해 건조 공기와 함께 배출된다.
따라서, 본 발명의 일 실시예에 따른 인젝터(700)는 이러한 배출 유로(711)에서의 네크부(713)에 의해 더욱 많은 양의 내부 공기를 더욱 원활하게 흡입할 수 있어 클린룸 챔버(100) 내부 공간에 대한 제습 작용을 더욱 효과적으로 신속하게 수행할 수 있다.
이상의 설명은 본 발명의 기술 사상을 예시적으로 설명한 것에 불과한 것으로서, 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 본 발명의 본질적인 특성에서 벗어나지 않는 범위에서 다양한 수정 및 변형이 가능할 것이다. 따라서, 본 발명에 개시된 실시예들은 본 발명의 기술 사상을 한정하기 위한 것이 아니라 설명하기 위한 것이고, 이러한 실시예에 의하여 본 발명의 기술 사상의 범위가 한정되는 것은 아니다. 본 발명의 보호 범위는 아래의 청구범위에 의하여 해석되어야 하며, 그와 동등한 범위 내에 있는 모든 기술 사상은 본 발명의 권리 범위에 포함되는 것으로 해석되어야 할 것이다.

Claims (1)

  1. 내부 공간에 양압이 유지되도록 일측에 에어 댐퍼가 장착되는 클린룸 챔버;
    공기 유입구와 공기 유출구가 형성되고 내부에 송풍팬이 구비되어 상기 공기 유입구를 통해 상기 클린룸 챔버 내부 공간의 공기를 흡입하여 다시 상기 공기 유출구를 통해 상기 클린룸 챔버 내부 공간으로 공기를 송풍하며, 송풍되는 공기를 제습할 수 있도록 제습 유닛이 구비되는 공조기;
    상기 공조기로부터 송풍되는 공기를 소음 저감 방식으로 배출하여 공기를 순환시키도록 상기 공조기의 상기 공기 유출구와 순환 배관을 통해 연결되는 다수개의 소음기;
    상기 공조기에 건조 공기를 공급하여 상기 클린룸 챔버 내부 공간에 건조 공기가 송풍되도록 별도의 공급 배관을 통해 상기 공조기와 연결되는 컴프레셔;
    상기 공급 배관을 개폐하도록 장착되는 공급 배관 개폐 밸브; 및
    조작부를 통한 사용자의 선택 조작에 따라 상기 클린룸 챔버의 내부 공간이 제 1 제습 모드 또는 제 2 제습 모드로 선택적으로 제습되도록 상기 에어 댐퍼, 공조기 및 공급 배관 개폐 밸브의 동작 상태를 제어하는 제어부
    를 포함하고, 상기 제 1 제습 모드에서는 상기 공급 배관 개폐 밸브가 폐쇄되고 상기 제습 유닛이 작동되어 상기 클린룸 챔버의 내부 공간이 상기 제습 유닛을 통해 건조 상태로 유지되고, 상기 제 2 제습 모드에서는 상기 에어 댐퍼가 차단되고 상기 제습 유닛의 작동이 중단되며 상기 공급 배관 개폐 밸브가 개방되어 상기 클린룸 챔버의 내부 공간이 상기 컴프레셔로부터 공급되는 건조 공기에 의해 건조 상태로 유지되며,
    상기 공급 배관에는 상기 컴프레셔로부터 공급되는 건조 공기를 냉각 및 건조시킬 수 있도록 별도의 쿨러 및 드라이어가 각각 장착되며,
    상기 순환 배관에는 별도의 인젝터가 연통 장착되고,
    상기 인젝터는 상기 컴프레셔로부터 건조 공기를 공급받아 상기 순환 배관으로 배출할 수 있도록 별도의 연결 배관을 통해 상기 공급 배관과 연결되고, 상기 연결 배관에는 상기 연결 배관을 개폐할 수 있는 연결 배관 개폐 밸브가 장착되며,
    상기 인젝터에는 상기 클린룸 챔버 내부 공기를 흡입할 수 있도록 흡입홀이 형성되는 흡입 케이스가 별도의 흡입 배관을 통해 연결되고, 상기 인젝터가 건조 공기를 배출하는 과정에서 발생하는 압력 강하 현상에 의해 상기 클린룸 챔버 내부 공기가 상기 흡입 케이스 및 흡입 배관을 통해 상기 인젝터로 유입되어 건조 공기와 함께 배출되며, 상기 흡입 배관에는 흡입되는 공기로부터 수분을 제거할 수 있도록 유수 분리 필터가 장착되고,
    상기 연결 배관 개폐 밸브는 상기 조작부를 통한 사용자의 조작에 따라 상기 제 2 제습 모드에서 개방되도록 상기 제어부에 의해 동작 제어되고, 상기 연결 배관 개폐 밸브가 개방 작동하는 경우, 상기 공조기는 작동 중단되도록 상기 제어부에 의해 동작 제어되며,
    상기 인젝터는
    건조 공기가 배출되도록 내부에 일측 방향으로 배출 유로가 형성되고, 상기 배출 유로의 중단에는 상기 흡입 배관과 연결되는 흡입 유로가 상기 배출 유로와 연통되게 형성되는 인젝터 블록;
    상기 인젝터 블록의 배출 유로의 일단에 결합되는 유입 포트; 및
    상기 인젝터 블록의 배출 유로의 타단에 결합되는 배출 포트
    를 포함하고, 상기 배출 유로는 상기 흡입 유로와 연통되는 지점에서 직경이 작아지는 네크부가 형성되는 것을 특징으로 하는 클린룸 제습 공조 장치.
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