WO2013128032A1 - Method for controlling a multi-actuator drive - Google Patents

Abstract

The invention relates to a method for controlling a linear or rotational multi-actuator drive having a rotor driven relative to a stationary component, the positioning distance of the rotor being greater than the strokes of the involved driving actuators, which are in permanent friction contact with the rotor either directly or by means of a force-transmitting mechanism. The relative motion between the stationary component and the moving component of the drive is produced by means of the actuators, wherein control signals that build up a mechanical stress between the friction surfaces are used therefor. The control cams for the various actuators preferably have the same cycle time but have a different course.

Description

Verfahren zur Ansteuerung eines Mehraktorantriebs  Method for controlling a multi-actuator drive

Beschreibung description

Die Erfindung betrifft ein Verfahren zum Ansteuern eines linearen oder rotatorischen Mehraktorantriebs mit einem relativ zu einer stationären The invention relates to a method for driving a linear or rotary multi-axis actuator with a relative to a stationary

Komponente angetriebenen Läufer, dessen Positionierstrecke größer ist als die Hübe der beteiligten, antreibenden Aktoren, die direkt oder über eine kraftübertragene Mechanik im permanenten Reibkontakt mit dem Läufer stehen, gemäß Patentanspruch 1. Component driven rotor whose positioning distance is greater than the strokes of participating, driving actuators, which are in direct frictional contact with the rotor directly or via a force-transmitting mechanism, according to claim 1.

Aus dem Stand der Technik sind Mehraktorantriebe bekannt, die trotz der kurzen Hübe der einzelnen Aktoren große. Verstellwege des Läufers Multi-actuator drives are known from the prior art, despite the short strokes of the individual actuators large. Adjustment of the runner

ermöglichen. Diese lassen sich in verschiedene Varianten unterteilen . enable. These can be divided into different variants.

Vorläufer der Mehraktorantriebe sind die Trägheitsantriebe, hier konkret die Stick-Slip-Antriebe, bekannt aus D.W. Pohl :„Dynamic piezoelectric translation devices", in Review of Scientific Instruments, vol . 58 (1), Januar 1987, Seiten 54 bis 57. Es ist zunächst ein piezoelektrischer Aktor vorgesehen, der mit einem sägezahnähnlichen periodischen Signal beaufschlagt wird und eine Beschleunigung relativ zu einem reibschlüssig mit dem Aktor verbundenen beweglich gelagerten Läufer bewirkt. Bei einer niedrigen Beschleunigung des piezoelektrischen Aktors folgt der Läufer aufgrund des Reibschlusses dem Aktor. Bei einer hohen Beschleunigung des piezoelektrischen Aktors hingegen rutscht der Läufer relativ zum Aktor durch, sobald die Trägheitskraft des Läufers größer als die Reibungskraft zwischen Läufer und Aktor wird . Wenn mehrere Schritte durchgeführt werden, können auch makroskopische Forerunner of the multi-actuator drives are the inertial drives, specifically the stick-slip drives, known from D.W. Pohl: "Dynamic Piezoelectric Translational Devices", in Review of Scientific Instruments, vol. 58 (1), January 1987, pages 54 to 57. First, a piezoelectric actuator is provided, which is acted upon by a sawtooth-like periodic signal and an acceleration relative At a low acceleration of the piezoelectric actuator, the rotor follows the actuator due to the frictional engagement with a high acceleration of the piezoelectric actuator, however, the rotor slips relative to the actuator as soon as the inertial force of the rotor larger As the friction force between runner and actuator becomes more complex, macroscopic ones can be done

Bewegungen realisiert werden. Trägheitsantriebe stellen eine mechanisch einfache Möglichkeit dar, über größere Distanzen mit einer hohen Bewegungsauflösung zu positionieren. Trägheitsantriebe haben jedoch den Nachteil, dass es während der Gleitphase immer wieder zum. Abbremsen, Stillstand oder sogar einer Rückwärtsbewegung der beweglichen Komponente kommt. Dieses Verhalten koppelt Vibrationen ein, was bei Präzisionspositionieraufgaben störend ist. Movements are realized. Inertia drives are a mechanically simple way, over long distances with a high Position movement resolution. However inertial drives have the disadvantage that during the sliding phase again and again. Braking, stoppage or even a backward movement of the movable component comes. This behavior couples vibrations, which is annoying in precision positioning tasks.

Die Darstellungen gemäß Fig. 1 lassen das Prinzip von Trägheitsantrieben erkennen, bei denen ein Aktor D auf einer Seite an einer nicht beweglichen Masse befestigt ist. Der Körper E steht mit dem Aktor D in Reibkontakt. Wenn der Aktor D durch das Anlegen einer sich langsam ändernden Spannung gering beschleunigt wird,- so erfolgt ein Mitbewegen des Körpers E. Bei einer hohen Beschleunigung des Aktors D ist die Trägheitskraft des Körpers E größer als die Haftreibung, so dass es zu einer relativen Bewegung zwischen dem Körper E und dem Aktor D kommt. The representations according to FIG. 1 reveal the principle of inertial drives in which an actuator D is fastened on one side to a non-movable mass. The body E is in frictional contact with the actuator D. When the actuator D is slightly accelerated by the application of a slowly changing voltage, the body E moves along. With a high acceleration of the actuator D, the inertial force of the body E is greater than the static friction, resulting in a relative movement between the body E and the actuator D comes.

Die ersten Mehraktorantriebe waren einem solchen Trägheitsantrieb ähnlich und unterscheiden sich zunächst dadurch, dass zwei oder mehr Aktoren zum Einsatz kommen. The first multi-actuator drives were similar to such an inertial drive and initially differ in that two or more actuators are used.

Fig.2a zeigt einen prinzipiellen Aufbau eines linearen Mehraktorantriebs und Fig. 2b den prinzipiellen Aufbau eines rotatorischen Mehraktorantriebs. 2a shows a basic structure of a linear multi-actuator drive and Fig. 2b shows the basic structure of a rotary multi-actuator drive.

Derartige Antriebe bestehen aus mindestens zwei bzw. beliebig vielen Aktoren Ii, 1₂, ... l_n/ die über ein entsprechendes Ansteuersignal individuell oder in Gruppen zu einem begrenzten Hub angeregt werden können. Im Fall des Einsatzes von Piezoaktoren liegt der Hub typischerweise im Bereich von bis zu einigen pm. Die Aktoren weisen jeweils eine Reibstelle 2 auf, die mit einem Läufer 3 in Reibkontakt steht. Weiterhin sind die Aktoren fest mit einem Such drives consist of at least two or any number of actuators Ii, 1 ₂ , ... l _{n /} which can be excited via a corresponding drive signal individually or in groups to a limited stroke. In the case of the use of piezo actuators, the stroke is typically in the range of up to a few pm. The actuators each have a friction point 2, which is in frictional contact with a rotor 3. Furthermore, the actuators are fixed with one

Träger 4 verbunden. Die Reibstelle muss nicht notwendigerweise nur aus einer Platte bestehen, so wie dargestellt, sondern es können auch mechanisch komplexe Konstruktionen sein, die mehrere Funktionen übernehmen. So ist es z.B. möglich, dass dieses Bauteil genutzt wird, um auch den Aktor mechanisch vorzuspannen, was z.B. für Piezokeramiken üblich ist. Carrier 4 connected. The friction point need not necessarily consist of only one plate, as shown, but it can also be mechanically complex constructions that perform several functions. So it is e.g. possible that this component is used to mechanically bias the actuator as well, e.g. is usual for piezoceramics.

Selbstverständlich kann der Aufbau von Mehraktorantrieben auch umgedreht werden, so dass der Läufer zur stationären Komponente wird und der Träger zur beweglichen Komponente. Es handelt sich dabei weiterhin um das gleiche Antriebsprinzip. Die Fig. 3 zeigt einen üblichen Spannungsverlauf über der Zeit zur Ansteuerung von mehreren Aktoren, die zeitversetzt über einen Sägezahn, also ähnlich einem klassischen Trägheitsantrieb, angesteuert werden, und die daraus für den Läufer resultierende typische Bewegung . Of course, the construction of multi-actuator drives can also be reversed, so that the rotor becomes the stationary component and the carrier to the moving component. It continues to be the same drive principle. FIG. 3 shows a typical voltage curve over time for controlling a plurality of actuators which are actuated by a sawtooth, ie similar to a conventional inertial drive, with a time offset, and the typical movement resulting therefrom for the rotor.

Für konkrete Realisierungen sei auf die Veröffentlichung von Jean Marc For concrete realizations let's look at the publication of Jean Marc

Berguet:„Actionneurs„Stick and Slip" pour Micro-Manipulators"; EPFL, 1998,- verwiesen . Dort wird für nach EP 0750 356 AI basierenden Mehraktorantrieben mit zwei, drei und vier Aktoren je Antrieb dargelegt, dass die für die  Berguet: "Actionneurs" Stick and Slip "pour Micro-Manipulators"; EPFL, 1998, - referenced. There is shown for EP 0750 356 AI based multi-actuator drives with two, three and four actuators per drive that the for the

Trägheitsantriebe typischen Geschwindigkeitsschwankungen und Vibrationen bei einem Mehraktorantrieb geringer ausfallen . Inertia drives typical speed fluctuations and vibrations in a multi-actuator drive fail.

Es kommt bei solchen Antrieben bei einem Übergang eines Aktors in die Gleitphase prinzipbedingt zu einer unerwünschten Rückwärtsbewegung, einem Stopp oder einem Abbremsen des Läufers. In der Fig. 3 ist der Fall der leichten Rückwärtsbewegung visualisiert. It comes in such drives in a transition of an actuator in the sliding phase inherently to an undesirable backward movement, a stop or a deceleration of the rotor. In Fig. 3 the case of the slight backward movement is visualized.

Eine Sonderform eines Mehraktorantriebs ist in der WO 93/19494 dargelegt. Dort werden die einzelnen Reibflächen nach und nach durch ein schnelles Verformen der Piezokeramiken zum Durchrutschen gebracht. Im Anschluss daran werden alle Reibflächen durch Anlegen einer identischen A special form of multi-actuator drive is set forth in WO 93/19494. There, the individual friction surfaces are gradually brought to slippage by a rapid deformation of the piezoceramics. Following this, all friction surfaces are created by applying an identical

Spannungsrampe gemeinsam in eine Richtung ausgelenkt. Bei diesem Voltage ramp deflected together in one direction. In this

gemeinsamen Auslenken rutscht der Läufer nicht relativ zu den Reibflächen durch, sondern wird mitbewegt. Nachteilig ist es jedoch, dass. der Läufer aufgrund der dauernd wechselnden Beschleunigungen starken. Vibrationen ausgesetzt ist. joint deflection of the rotor does not slip relative to the friction surfaces, but is moved along. The disadvantage, however, is that the runner strengthens due to the constantly changing accelerations. Is exposed to vibration.

Gemäß der DE 10 2009 013 849 AI wird ein auf Piezoröhrchen basierender Antrieb mit mehreren Reibflächen zeitversetzt angesteuert, um eine Bewegung zu erzielen . Die Ansteuersignale sind so gewählt, dass mehrere Aktoren einen Läufer vorantreiben, um dann die Aktoren nach und nach zurückzuziehen, so dass der Läufer während des Zurückziehens durch die Mehrzahl der nicht bewegten Reibflächen in einer Position gehalten wird, d . h . stillsteht. Bei diesem Antrieb kommt es immer wieder zu Phasen der Bewegung und des Stillstands für den Läufer, so dass weiterhin Vibrationen auftreten und eine gleichmäßige Bewegung nicht möglich ist. Eine weitere Klasse von Mehraktorantrieben sind sogenannte„Inchworm- antriebe". Dabei handelt es sich um Antriebe, bei denen ein zu bewegender Läufer durch Aktoren im Wechsel geklemmt wird und der Abstand der Klemmen durch einen weiteren Aktor variiert wird. Durch ein geeignetes, zyklisches Ansteuern der Aktoren kann ein Läufer auch über große Distanzen bewegt werden. Diese Klasse von Aktoren verursacht prinzipiell störende Vibrationen, da hochfrequente, orthogonal zur Bewegungsrichtung wirkende Bewegungen durch die Klemmvorgänge eingekoppelt werden. According to DE 10 2009 013 849 AI, a drive based on piezo tubes with a plurality of friction surfaces is controlled in a time-shifted manner in order to achieve a movement. The drive signals are selected so that a plurality of actuators propel a rotor to then gradually withdraw the actuators, so that the rotor is held in a position during the retraction by the plurality of non-moving friction surfaces, d. H . stationary. In this drive, it always comes back to phases of movement and standstill for the rotor, so that continue to vibration and a uniform movement is not possible. Another class of multi-actuator drives are so-called "inchworm drives", which are drives in which a rotor to be moved is clamped alternately by actuators and the distance between the terminals is varied by means of a further actuator In the case of actuators, a runner can also be moved over long distances This class of actuators basically causes disturbing vibrations since high-frequency movements that are orthogonal to the direction of movement are coupled in by the clamping processes.

Bei allen bekannten Mehraktorantrieben kommt es zu unerwünschten In all known multi-actuator drives, it comes to unwanted

Vibrationen und Abweichungen der Istposition des Läufers von der Vibrations and deviations of the actual position of the runner from the

Sollposition. Target position.

Aufgabe der vorliegenden Erfindung ist es, ein verbessertes Verfahren zum Ansteuern eines Mehraktorantriebs zu schaffen, welches das Problem der störenden Vibrationen und der Abweichungen der Ist- von der Sollposition löst oder zumindest deutlich verbesserte Eigenschaften aufweist. Object of the present invention is to provide an improved method for driving a multi-actuator, which solves the problem of disturbing vibrations and the deviations of the actual position from the desired position or at least has significantly improved properties.

Die Lösung der Aufgabe der Erfindung erfolgt gemäß der Lehre nach The solution of the object of the invention is carried out according to the teaching

Patentanspruch 1, wobei die Unteransprüche mindestens zweckmäßige Claim 1, wherein the dependent claims at least expedient

Ausgestaltungen und Weiterbildungen darstellen . Represent refinements and developments.

Es hat sich in Versuchen in überraschender Weise herausgestellt, dass es möglich ist, unter Ausnutzung der Elastizitäten in der Mechanik und Aktorik, an einen Mehraktorantrieb Ansteuerkurven bzw. Ansteuersignale anzulegen, die den Läufer bewegen, ohne dass es zu hochfrequenten Vibrationen kommt, und ohne dass die Bewegung des Läufers eine große Abweichung von einer Sollbewegung - beispielsweise einer konstanten Bewegung - aufweist. Je nach angestrebter Qualität ist es möglich, die Signale so zu wählen, dass sich eine Bewegung mit einem monotonen oder sogar streng monotonen Verhalten ergibt. It has been found in experiments in a surprising manner that it is possible, by taking advantage of the elasticities in mechanics and actuators, to create a multi-actuator drive control curves or control signals that move the rotor without causing high-frequency vibrations, and without the movement of the rotor has a large deviation from a desired movement - for example, a constant movement - has. Depending on the desired quality, it is possible to select the signals in such a way that a movement results with a monotonous or even strictly monotonous behavior.

Eine solches Bewegungsverhalten lässt sich durch die erfindungsgemäße Ansteuerung realisieren . Dabei wird für die in der Haftphase befindlichen Aktoren die zwischen den mehreren Reibkontakten vorhandene Elastizität von Antrieb und Mechanik verwendet,, um zwischen diesen Reibflächen eine mechanische Spannung aufzubauen . Eine solche mechanische Spannung wirkt sowohl auf die Aktoren als auch auf den anzutreibenden Läufer. Such a movement behavior can be realized by the control according to the invention. In this case, for the present in the adhesion phase, the existing between the plurality of friction contacts elasticity of drive and mechanics is used to build up a mechanical stress between these friction surfaces. Such a mechanical stress acts both on the actuators and on the rotor to be driven.

Geeignete mechanische Spannungen können aufgebaut werden, indem durch die individuelle Ansteuerung mindestens eines in der Haftphase befindlichen Aktors lokale Relativbewegungen in Bezug zu mindestens einem weiteren in der Haftphase befindlichen Aktor realisiert wird . Z.B. indem ein Aktor mit einer anderen Geschwindigkeit oder mit einer individuellen Steuerkurve angesteuert wird. Suitable mechanical stresses can be established by local relative movements in relation to at least one further actuator located in the adhesion phase being realized by the individual actuation of at least one actuator located in the adhesion phase. For example, by controlling an actuator at a different speed or with an individual control cam.

Vorzugsweise sind mehrere Aktoren am Aufbau der mechanischen Spannungen beteiligt.  Preferably, several actuators are involved in the construction of the mechanical stresses.

Aufgrund der Elastizität in den Aktoren und der Mechanik bleiben die Due to the elasticity in the actuators and the mechanics remain the

mechanischen Spannungen erhalten, bis die Bewegungen der Aktoren der aufgebauten mechanischen Spannung entgegenwirken oder ein Aktor oder mehrere Aktoren ins Durchrutschen geraten, wobei im letzteren Fall die mechanischen Spannungen üblicherweise nicht vollständig abgebaut werden . Solche mechanischen Spannungen können die Aktoren und die beteiligte Mechanik je nach Vorzeichen der Wirkung strecken oder stauchen . Diese mechanischen Spannungen wirken jeweils über den Läufer auf die mit dem Läufer in Reibkontakt stehenden Aktoren. obtained mechanical stresses until the movements of the actuators counteract the built-mechanical tension or an actuator or actuators fall into slipping, in the latter case, the mechanical stresses are usually not completely degraded. Such mechanical stresses can stretch or compress the actuators and the involved mechanics depending on the sign of the effect. These mechanical stresses each act on the rotor on the standing in frictional contact with the rotor actuators.

Diese gegenseitige Beeinflussung hat zur Folge, dass der Läufer bewegt wird, wenn sich die Relativbewegungen der Aktoren nicht genau gegenseitig aufheben . Das heißt, der Läufer wird lokal bewegt, ohne dass es zum This mutual influence has the consequence that the rotor is moved when the relative movements of the actuators do not cancel each other exactly. That is, the runner is moved locally, without having to

Durchrutschen der beteiligten Reibflächen kommt. Slipping of the involved friction surfaces comes.

Sind hingegen die vorzeichenbehafteten Signaländerungen der an die Aktoren angelegten Amplituden in der Summe gleich Null, können tendenziell  If, on the other hand, the signed signal changes of the amplitudes applied to the actuators are equal to zero in the sum, they can tend to be

mechanische Spannungen aufgebaut werden, ohne dass der Läufer bewegt wird. mechanical stresses are built without the runner is moved.

Die mechanischen Spannungen zwischen den Reibflächen haben einen großen Einfluss auf das Bewegungsverhalten des Mehraktorantriebs. Durch die mechanischen Spannungen zwischen den Reibflächen kann z.B. eingestellt werden, ob sich einzelne Aktoren dicht vor dem Durchrutschen befinden oder sicher in der Haftphase sind. The mechanical stresses between the friction surfaces have a great influence on the movement behavior of the multi-actuator drive. The mechanical stresses between the friction surfaces can be adjusted, for example, whether individual actuators are close to slipping or are safe in the adhesion phase.

Ebenfalls lässt sich beispielsweise einstellen, wie stark eine resultierende Bewegung des Läufers aufgrund einer Signaländerung der Steueramplitude eines Aktors ausfällt.  It is also possible to set, for example, how much a resulting movement of the rotor fails due to a signal change in the control amplitude of an actuator.

Aufgrund des großen Einflusses auf die Bewegung des Läufers, kann die mechanische Spannung zwischen den Reibflächen als zusätzlicher Steuerparameter eingesetzt werden. Due to the great influence on the movement of the rotor, the mechanical stress between the friction surfaces can be used as an additional control parameter.

Es ergibt sich eine unbegrenzte Schar an geeigneten Ansteuerkurven, die sich dadurch auszeichnen, dass zwischen den in der Haftphase befindlichen  The result is an unlimited array of suitable control curves, which are characterized in that between those in the detention phase

Reibflächen mechanische Spannungen auf- und abgebaut werden. Durch Variation der Verläufe der Ansteuerkurven kann auf die resultierende  Friction surfaces mechanical stresses are built up and dismantled. By varying the characteristics of the drive curves can on the resulting

Bewegung des Läufers Einfluss genommen werden. Idealerweise werden dabei Kurvenformen gewählt, die eine Bewegung des Läufers erzeugen, die bereits nahe einer Sollbewegung liegt. Movement of the runner's influence. Ideally, curve shapes are selected that produce a movement of the rotor that is already close to a desired movement.

Mit derartigen Ansteuerungen lässt sich der Läufer vibrationsarm und nahe einer vorgegebenen Sollbewegung bewegen. Dem Stand der Technik nach ist es zuvor noch nicht gelungen, mit einem realisierten Mehraktorantrieb eine vibrationsarme Bewegung des Läufers zu erzielen.  With such controls, the rotor can be moved with little vibration and close to a predetermined desired movement. According to the prior art, it has not yet been possible to achieve a low-vibration movement of the rotor with a realized multi-actuator drive.

Die Zusammenhänge der mechanischen Spannung und die Wirkung auf die Bewegung des Läufers wird zur Verdeutlichung an einem stark vereinfachten Beispiel diskutiert. The relationships of the mechanical stress and the effect on the movement of the rotor will be discussed for clarity in a much simplified example.

Hierzu zeigt Fig.4 das elastisches Verhalten der Mechanik und Aktorik eines Mehraktorantriebs mit drei Aktoren, wenn an einem der drei Aktoren ein Dreiecksignal ohne nennenswerte Beschleunigung angelegt wird. Als  4 shows the elastic behavior of the mechanics and actuators of a multi-actuator drive with three actuators, if a triangular signal without significant acceleration is applied to one of the three actuators. When

Vorrichtung wird auf den skizzenhaften Mehraktorantrieb aus der Fig.2a zurückgegriffen. Device is resorted to the sketchy multi-axis actuator of Fig.2a.

An den Aktor Ii (siehe Fig.2a) wird ein sich änderndes Steuersignal Ul in Form eines Dreiecks angelegt, während die anderen zwei Aktoren nicht mit einem veränderlichen Steuersignal angesteuert werden. (U2 liegt am Aktor 1₂ an, U3 am Aktor 1₃). In der Phase A ändert sich keines der Steuersignale. In der Phase G steigt das Steuersignal Ul an und in der Phase H fällt das To the actuator Ii (see Fig.2a) a changing control signal Ul is applied in the form of a triangle, while the other two actuators are not driven with a variable control signal. (U2 is applied to the actuator 1 ₂ , U3 to the actuator 1 ₃ ). In phase A, none of the control signals changes. In the phase G, the control signal Ul increases and in the phase H falls

Steuersignal Ul wieder ab, bis es den Ausgangswert erreicht. In der Phase F ändert sich keines der Steuersignale. Durch das Anlegen eines sich ändernden Ansteuersignais Ul kommt es zwischen den Reibflächen der Aktoren zu einer mechanischen Spannung. Diese mechanische Spannung wirkt sich auf den ganzen Antrieb und alle beteiligten Aktoren und die Mechanik des Antriebs aus. So überträgt sich die Kraft des Aktors Ii über die Reibkontakte und den Läufer auf^'die anderen Aktoren, so dass diese verformt werden. Control signal Ul again until it reaches the output value. In phase F, none of the control signals changes. The application of a changing drive signal U1 causes a mechanical stress between the friction surfaces of the actuators. This mechanical stress affects the entire drive and all involved actuators and the mechanics of the drive. Thus, the force of the actuator Ii transmits over the friction contacts and the rotor on ^' the other actuators, so that they are deformed.

Im Detail: In detail:

Die Kurven xl, x2 und x3 zeigen die sich verändernden Positionen der  The curves xl, x2 and x3 show the changing positions of the

Reibflächen der Aktoren li,l₂ und 1₃ in Bezug auf den Träger 4. Friction surfaces of the actuators li, l ₂ and 1 ₃ with respect to the carrier. 4

Die Kurven Fl, F2 und F3 zeigen die auf die Aktoren li,l₂ und 1₃ wirkendenThe curves Fl, F2 and F3 show that acting on the actuators li, l ₂ and 1 ₃

Kräfte. Forces.

Die Kurve xL zeigt die Position des Läufers an.  The curve xL indicates the position of the runner.

In der Phase G steigt das an den Aktor Ii angelegte Steuersignal an. In einem ersten Teil, der Phase B, bleibt die Reibfläche des Aktors Ii in der Haftreibung, da die Kraft nicht ausreicht, dass die Reibfläche 1 von der Haft- in die Gleitphase übergeht. Als Folge dessen überträgt sich die aufbauende Kraft auf alle drei Aktoren, so dass sich die Reibflächen synchron bewegen, und somit auch der Läufer in dieser Phase synchron mitbewegt wird. Der Läufer bewegt sich also, obwohl nur einer der Aktoren angesteuert wird und ohne, dass einer der Aktoren durchrutscht. Wie anhand der Kraftkurven (Fl, F2 und F3) zu erkennen ist,^' wirkt auf den Aktor Ii eine stauchende Kraft, während sich die^' Gegenkraft auf die Aktoren 1₂ und 1₃ aufteilt und diese entsprechend streckt. In phase G, the control signal applied to the actuator Ii increases. In a first part, the phase B, the friction surface of the actuator Ii remains in the static friction, since the force is insufficient that the friction surface 1 passes from the adhesive to the sliding phase. As a result, the building force is transmitted to all three actuators, so that the friction surfaces move synchronously, and thus the rotor is synchronously moved in this phase. The rotor thus moves, although only one of the actuators is driven and without one of the actuators slipping. As can be seen from the force curves (Fl, F2 and F3), ^' acts on the actuator Ii a compressive force, while the ^' opposing force on the actuators 1 ₂ and 1 ₃ divides and this stretches accordingly.

Zu Beginn der Phase C geht der Reibkontakt 1 in die Gleitphase über. Somit muss der Aktor Ii bei seiner weiteren Auslenkung nicht mehr gegen die Steifigkeit der Aktoren 1₂ und 1₃ arbeiten, so dass sich die Position des At the beginning of phase C, the frictional contact 1 moves into the sliding phase. Thus, the actuator Ii must no longer work against the rigidity of the actuators 1 ₂ and 1 ₃ in its further deflection, so that the position of the

Reibköpers nun mit einer veränderten, größeren Steigung entwickeln kann, obwohl das Ansteuersignal Ul weiterhin mit gleicher Steigung anliegt. Reibköpers can now develop with a changed, larger pitch, although the drive signal Ul continues to bear with the same slope.

Aufgrund des Übergangs in die Gleitreibung bleiben die auf die Aktoren wirkenden Kräfte in überraschender Weise nahezu konstant. Das heißt, dass sich die Reibflächen 2 und 3 nicht wesentlich relativ zum Träger bewegen. Dieser Effekt ist sehr vorteilhaft, da nun keine Vibrationen aufgrund des Übergangs von Haftphase zu Gleitphase eingekoppelt werden. Ab Beginn der Phase H, wird das am Aktor Ii anliegende Signal wieder zurückgenommen. Due to the transition into the sliding friction acting on the actuators forces remain in a surprising manner almost constant. That is, the friction surfaces 2 and 3 do not move substantially relative to the carrier. This effect is very advantageous because no vibrations due to the transition from adhesive phase to sliding phase are coupled. From the beginning of phase H, the signal applied to the actuator Ii is withdrawn.

Dabei befinden sich wieder alle Reibflächen der Aktoren in der Haftphase, so dass sich in Folge dessen die Positionen der Reibflächen, und damit auch der Läufer synchron relativ zum Träger bewegen. In Folge dessen bauen sich während der Phase D die auf die Aktoren wirkenden Kräfte ab. D.h. die auf den Aktor Ii stauchend wirkende Kraft baut sich ab, während die auf die Aktoren 1₂ und 1₃ streckend wirkenden Kräfte sich ebenfalls_, abbauen. Zum Übergang von der Phase D auf E, sind die Kräfte vollständig abgebaut. Dass heißt, auf die Aktoren wirken keine Kräfte mehr und die Positionen der AktorenAgain, all the friction surfaces of the actuators are in the adhesion phase, so that in consequence the positions of the friction surfaces, and thus the rotor move synchronously relative to the carrier. As a result, the forces acting on the actuators break down during phase D. That is, the compressively acting on the actuator Ii force reduces, while the actuators on the 1 ₂ and 1 ₃ stretching forces also _degrade. For the transition from the phase D to E, the forces are completely degraded. This means that no more forces and the positions of the actuators act on the actuators

1₂ und 1₃, als auch die Position des Läufers befinden sich wieder in der 1 ₂ and 1 ₃ , as well as the position of the runner are back in the

Ausgangslage wie während der Phase A. Das ist nicht der Fall für die Position des Reibkörpers des Aktors Ii. Schließlich ist die Reibfläche des Aktors Ii in der Phase B durchgerutscht, und in Folge dessen hat sich die Position der. Reibfläche des Aktors Ii im Verhältnis zu den Reibflächen der Aktoren 1₂ undStarting position as during phase A. This is not the case for the position of the friction body of the actuator Ii. Finally, the friction surface of the actuator Ii has slipped through in the phase B, and as a result, has the position of the. Friction surface of the actuator Ii in relation to the friction surfaces of the actuators 1 ₂ and

1₃ entlang des Läufers verschoben. In der Phase E wird das Ansteuersignal Ul weiter reduziert, bis es wieder den Ausgangspegel erreicht hat. In Folge ■dessen zieht sich der Aktor Ii weiter zusammen. Da jedoch beim Phasenübergang von D zu E keine Kräfte zwischen den Reibflächen mehr gewirkt haben, bauen sich nun wieder Kräfte zwischen den Reibflächen auf, die auf die Aktoren wirken. Das heißt, auf den Aktor Ii wirkt mit weiter abnehmender Ansteuerspannung Ul eine streckende Kraft, während auf den anderen Aktoren eine sich auf beide Aktoren aufteilende, stauchende Kraft wirkt. Da sich der Aktor Ii weiterhin in der Haftreibung befindet, bewegen sich alle Reibflächen und der Läufer weiterhin synchron relativ zum Träger. Also wird der Läufer über seine ursprüngliche Lage hinaus bewegt. Am Ende des an den Aktor Ii angelegten Signals ergibt sich also eine Nettoverschiebung des Läufers. 1 _{3 moved} along the runner. In phase E, the drive signal Ul is further reduced until it has reached the output level again. As a result, the actuator Ii continues to contract. However, since no forces between the friction surfaces have acted more in the phase transition from D to E, now again build forces between the friction surfaces, which act on the actuators. That is, acts on the actuator Ii with further decreasing drive voltage Ul an extending force, while acting on the other actuators on both actuators dividing, upsetting force. Since the actuator Ii is still in the static friction, all the friction surfaces and the rotor continue to move synchronously relative to the carrier. So the runner is moved beyond his original position. At the end of the signal applied to the actuator Ii thus results in a net shift of the rotor.

Es konnte anhand des oben genannten Beispiels gezeigt werden, dass es nach dem Durchlauf dieses Zyklus zu einer verbleibenden Bewegung des Läufers kommt. Es wurde ebenfalls, wenn auch vereinfacht, dargelegt, wie die mechanischen Spannungen zwischen den Reibflächen auf den Läufer wirken. It could be shown from the above example that after the passage of this cycle, there is a residual movement of the rotor. It has also been shown, albeit in a simplified way, how the mechanical stresses between the friction surfaces act on the rotor.

Im Falle von drei oder mehr Aktoren, die alle mit Steuerkurven beaufschlagt werden, sind die Zusammenhänge sehr viel komplizierter. Die Zusammenhänge lassen sich zwar technisch-mathematisch nachvollziehen, es ist in der Praxis jedoch vorteilhaft, wenn geeignete Kurven experimentell und möglichst mittels Optimierungsalgorithmen ermittelt werden. In the case of three or more actuators, all of which are cams, the relationships are much more complicated. The connections can indeed be understood technically-mathematically, it is in practice however, advantageous if suitable curves are determined experimentally and if possible by means of optimization algorithms.

Vorzugsweise werden Ansteuerkurven bzw. Ansteuersignale an die Aktoren angelegt, die erfindungsgemäße mechanische Spannungen zwischen den Reibflächen auf- und abbauen aber eine gleiche Zykluszeit haben. Preferably, control curves or control signals are applied to the actuators, the inventive mechanical stresses between the friction surfaces and dismantle but have a same cycle time.

Das ermöglicht es beispielsweise mit immer wiederholenden Signalkurven den Läufer über weite Strecken zu bewegen.  This makes it possible, for example, to move the runner over long distances with repetitive signal curves.

Vorteilhaft ist es, wenn die Abweichung der resultierenden Bewegung des Läufers innerhalb eines Zyklus von einer bekannten Sollbewegung gering ist. Besonders vorteilhaft ist es, wenn die Sollbewegung innerhalb eines Zyklus einer monotonen, idealerweise einer streng monotonen Bewegung entspricht. It is advantageous if the deviation of the resulting movement of the rotor within a cycle of a known desired movement is low. It is particularly advantageous if the desired movement within a cycle corresponds to a monotonous, ideally a strictly monotonous movement.

Eine streng monotone Bewegung des Läufers innerhalb eines Zyklus erlaubt es, die Geschwindigkeit des Mehraktorantriebs über die Zyklusfrequenz, mit der die Steuersignale durchlaufen werden, zu steuern oder sogar zu regeln. Bei der Sollbewegung handelt es sich vorzugsweise um eine konstante A strictly monotonic motion of the rotor within a cycle allows the speed of the multi-actuator to be controlled or even controlled over the cycle frequency at which the control signals are passed. The desired movement is preferably a constant one

Geschwindigkeit bei einer vorgegebenen Zyklusfrequenz. Ein solcher linearer Zusammenhang ermöglicht eine besonders einfache Positionier- oder Speed at a given cycle frequency. Such a linear relationship allows a particularly simple positioning or

Geschwindigkeitsregelung für den Läufer, indem die Zyklusfrequenz variiert wird. Speed control for the runner by varying the cycle frequency.

Es sind selbstverständlich auch andere Kurvenformen für die Sollbewegung möglich. Vorteilhaft ist es, wenn diese ein monotones Verhalten zeigen. There are of course other waveforms for the desired movement possible. It is advantageous if they show a monotonous behavior.

Sind keine perfekten Kurvenformen ermittelt, verbleiben kleine Abweichungen der resultierenden Bewegung von der Sollbewegung übrig. Üblicherweise sind diese noch vorhandenen Abweichungen langsam und nicht hochfrequent. If no perfect waveforms are detected, small deviations of the resulting motion from the desired motion remain. Usually, these remaining deviations are slow and not high frequency.

Diese verbleibende, langsam veränderliche Störbewegung bietet eine sehr gute Voraussetzung für eine Implementierung einer auf die Aktoren aufaddierten Ausgleichsbewegung. Die Ausgleichsbewegung kompensiert eine verbleibende Abweichung der Läuferbewegung zu einer Sollbewegung. This remaining, slowly changing jamming motion provides a very good condition for implementing a compensatory motion added to the actuators. The compensation movement compensates a remaining deviation of the rotor movement to a desired movement.

Vorzugsweise wird die Ausgleichsbewegung durch alle Aktoren gleichermaßen ausgeführt, so dass zwischen den Reibflächen der Aktoren keine weiteren mechanischen Spannungen aufgebaut werden. Handelt es sich bei den Aktoren um vorzugsweise gleiche Bautypen, kann eine solche für alle Aktoren gleichermaßen ausgeführte Ausgleichsbewegung realisiert werden, in dem den Steuerkurven der Aktoren ein für alle Aktoren gleichermaßen veränderliches Steuersignal aufaddiert wird. Preferably, the compensating movement is performed equally by all the actuators, so that no further mechanical stresses are built up between the friction surfaces of the actuators. Is it the actors? preferably identical construction types, such a compensation movement executed equally for all actuators can be realized, in which the control curves of the actuators a control signal that is equally variable for all actuators is added.

Es ist alternativ möglich, lediglich einen Teil der Aktoren mit dem aufzuaddierenden Steuersignal zu beaufschlagen, beispielsweise, wenn eine weitere mechanische Spannung zwischen den Aktoren aufgebaut werden soll. It is alternatively possible to act on only a portion of the actuators with the aufaddierenden control signal, for example, if a further mechanical stress between the actuators to be built.

Es ist möglich, die Ansteuersignale so zu wählen, dass lokale Bewegungen des Läufers, die aufgrund der zwischen den Reibflächen aufgebauten mechanischen Spannungen durchgeführt werden, den Abweichungen von einer Sollbewegung entgegenwirken, jedoch lässt sich eine Ausgleichsbewegung über eine auf die Aktoren aufaddierte Steueramplitude bzw. Amplituden- kurvenform sehr viel einfacher realisieren, da die Zusammenhänge sehr viel einfacher sind. Je nach eingesetztem Aktortyp können die Zusammenhänge sogar einfach linear sein. It is possible to select the control signals so that local movements of the rotor, which are carried out due to the mechanical stresses built up between the friction surfaces, counteract the deviations from a desired movement, however, a compensating movement can be achieved via a control amplitude or amplitudes added to the actuators - realize curve shape much easier, because the connections are much easier. Depending on the type of actuator used, the relationships can even be simply linear.

Das Antriebspaket des Mehraktorantriebs, bestehend aus den Aktoren Ii, 1₂, ... l_n, und den Reibkontakten inklusive der Mechanik, kann mit einem weiteren Aktor in Reihe geschaltet sein, so dass dieser zusätzliche Aktor in der Lage ist, das gesamte Antriebspaket, und damit auch dem Läufer, gezielt vor- oder zurückzubewegen, wenn der in Reihe befindliche Aktor durch ein entsprechendes Ansteuersignal angesteuert wird. Ein solcher, in Reihe befindlicher Aktor kann zu einer Ausgleichsbewegung angeregt werden, indem geeignete Steuersignale angelegt werden. Dass kann z.B. dann von Vorteil sein, wenn neben einer möglichst störfreien Bewegung eines Antriebs auch der zur The drive package of the multi-actuator, consisting of the actuators Ii, 1 ₂ , ... l _n , and the Reibkontakten including the mechanics may be connected in series with another actuator, so that this additional actuator is capable of the entire drive package , and thus also the rotor, to selectively move back or forth when the actuator in series is controlled by a corresponding drive signal. Such an in-line actuator can be made to compensate for movement by applying appropriate control signals. This can be of advantage, for example, if, in addition to the smoothest possible movement of a drive, you can also use the

Verfügung stehende Signalbereich der Ansteuerung des Antriebspaketes voll ausgenutzt werden soll, um eine hohe Kraft zu erzielen. Available signal range of the control of the drive package should be fully exploited to achieve a high power.

Es ist von Vorteil, wenn die Bewegung des Läufers über mindestens einen Zyklus mit einem Sensor erfasst wird, um die Abweichung der gemessenen Bewegung von einer Sollbewegung als Optimierungskriterium für die It is advantageous if the movement of the rotor over at least one cycle is detected by a sensor in order to determine the deviation of the measured movement from a desired movement as an optimization criterion for the sensor

Anpassung der Ansteuerkurven zu verwenden. Ein vorteilhaftes Ziel ist dabei die Abweichung so gering wie möglich werden zu lassen. Adaptation of the drive curves to use. An advantageous goal is to make the deviation as small as possible.

Z.B. bei einer Bewegung mit einer konstanten Geschwindigkeit als Sollbewegung ist eine Abweichung von der konstanten Geschwindigkeit minimal zu halten . Besonders vorteilhaft ist es, wenn dabei berücksichtigt wird, dass hohe Schrittweiten je Zyklus positiv sind, so dass bei der Optimierung nicht nur in Richtung konstanter Bewegung optimiert, sondern auch das Kriterium einer möglichst weiten Schrittweite je Zyklus berücksichtigt wird. For example, in a movement with a constant speed as a target movement, a deviation from the constant speed is minimal too hold . It is particularly advantageous if it is taken into account that high step sizes per cycle are positive, so that not only optimized in the direction of constant movement in the optimization, but also the criterion of the widest possible step size per cycle is taken into account.

Die Signalfo.rmen werden idealerweise zyklisch an die Aktoren des Mehraktorantriebs angelegt. Daher ist es vorteilhaft, wenn Signale je Aktor so gewählt werden, dass die Signalhöhe zu Beginn eines Zyklus auf gleicher Höhe liegen wie zum Ende eines Zyklus. Wenn die Werte je Steuerkanal zu Beginn und zum Ende auf gleicher Höhe liegen, können die Signale zyklisch an die Aktoren angelegt werden, ohne dass es zu störenden Bewegungen oder gar Sprüngen bei einer Zykluswiederholung kommt. Sprünge sind in der Regel zu vermeiden, da Sprünge zu schwer kompensierbaren Störbewegungen führen . The signal frames are ideally applied cyclically to the actuators of the multi-actuator drive. Therefore, it is advantageous if signals per actuator are selected so that the signal level at the beginning of a cycle are at the same level as at the end of a cycle. If the values for each control channel are at the same level at the beginning and at the end, the signals can be cyclically applied to the actuators without disturbing movements or even jumps in the case of a cycle repetition. Jumps are to be avoided as a rule, since jumps lead to difficult compensable disturbing movements.

Eine Möglichkeit, um eine gleiche Signalhöhe je Kanal zu erzeugen ist, die ermittelten Signalkurven zu drehen, indem eine Subtraktion einer Geraden von den jeweiligen Steuerkurven erfolgt, die durch den Anfangswert und den Endwert der jeweiligen Signalkurve geht. Anhand der Fig . 8 kann ein solcher Vorgang nachvollzogen werden . One way to generate the same signal level per channel is to rotate the detected signal curves by subtracting a straight line from the respective cams that goes through the initial value and the end value of the respective signal curve. With reference to FIG. 8, such an operation can be understood.

Sollen die Ausgleichsbewegungen nur von den Aktoren des Mehraktor- antriebspaketes durchgeführt werden, so ist es sinnvoll, einen gewissen If the compensation movements are to be performed only by the actuators of the multi-tractor drive package, then it makes sense to have a certain amount

Bereich der zur Verfügung stehenden Signalhöhe der Ansteuersignale für die aufzuaddierende Ausgleichsbewegung zu reservieren . Reserve area of the available signal height of the drive signals for the compensating movement to be added.

Je besser die ermittelten Kurvenformen einer Zielkurve, wie z. B. der The better the determined waveforms of a target curve, such. B. the

vorzugsweise zu wählenden Geraden angepasst sind, desto geringer kann der für die Ausgleichsbewegung zu reservierende Bereich der Signalhöhe ausfallen. Daher sollten die Kurvenformen der angelegten Signalkurven so gewählt werden, dass eine Zielkurve während eines Zyklus bereits mit nur geringen Abweichungen nachgebildet wird . are adapted to be selected preferably straight lines, the lower can be omitted for the compensation movement to be reserved area of the signal level. Therefore, the waveforms of the applied signal curves should be chosen so that a target curve is already replicated during a cycle with only minor deviations.

Wird hingegen ein Aktor für die Ausgleichsbewegung herangezogen, der mit dem Antriebspaket in Reihe liegt, dann kann der volle zur Verfügung stehende Amplitudenbereich für die zyklische Ansteuerung des Aktorpaketes verwendet werden . Es hat sich herausgestellt, dass einmal ermittelte Kurvenformen je Zyklus zu immer wiederkehrenden Bewegungen des Läufers führen. If, however, an actuator is used for the compensation movement, which is in series with the drive package, then the full available amplitude range can be used for the cyclical activation of the actuator package. It has been found that once determined waveforms per cycle lead to recurrent movements of the rotor.

Das gilt sowohl für die erfindungsgemäße Ansteuerung, bei der die  This applies both to the control according to the invention, in which the

mechanischen Spannungen zwischen den Reibkörpern auf- und abgebaut werden, als auch für die Kombination dieser Ansteuerung mit der aufaddierten mechanical stresses between the friction bodies and dismantled, as well as for the combination of this control with the added up

Ausgleichsbewegung. Compensating movement.

Dies kann genutzt werden, um Pösitionieraufgaben durchzuführen, ohne dass ein Positionssensor eingesetzt werden muss. Idealerweise werden die ermittelten Steuersignale von der Steuerung gespeichert und dann den  This can be used to perform demolition tasks without the need for a position sensor. Ideally, the determined control signals are stored by the controller and then the

Anforderungen entsprechend zyklisch abgerufen. Z.B. Je schneller ein Läufer bewegt werden soll, desto schneller werden die zyklischen Steuersignale an die Aktoren angelegt. Requests are cyclically retrieved. For example, The faster a rotor is to be moved, the faster the cyclic control signals are applied to the actuators.

Es ist möglich, dass im Rahmen einer Kalibrierung ermittelte Signalkurveh hochfrequente Abweichungen von einer Sollbewegung kompensieren, so dass verbleibende, niederfrequente Abweichungen durch einen über einen It is possible that the signal curve determined as part of a calibration compensates for high-frequency deviations from a desired movement, so that remaining, low-frequency deviations can be compensated by one over one

Positionssensor geschlossenen Regelkreis kompensiert werden. Als Regelgröße können beispielsweise die Zyklusdauer der Ansteuerkurven oder die Position sensor closed loop can be compensated. As a controlled variable, for example, the cycle duration of the drive curves or the

Ausgleichsbewegungen herangezogen werden. Auch ist eine Kombination von Zyklusdauer und Ausgleichsbewegung möglich. Compensatory movements are used. Also, a combination of cycle time and compensation movement is possible.

Die Steuerkurven, die an die Aktoren angelegt werden, können je nach The cams that are applied to the actuators may vary depending on

Anforderung unterschiedlich viele Stützpunkte aufweisen. Je exakter die Bewegung ausfallen soll, desto mehr Stützpunkte sind in der Regel notwendig. Neben abgespeicherten Stützpunkten sind auch andere Varianten möglich, um Steuerkurven abzuspeichern und dann ablaufen zu lassen. So ist es z.B. Requirement have different numbers of vertices. The more precise the movement should be, the more bases are usually necessary. In addition to stored bases also other variants are possible to save cams and then run. So it is e.g.

möglich Steuerkurven mit recht groben Stützpunkten zu speichern und dann zwischen den Punkten zu interpolieren. Ebenfalls können die Steuerkurven mathematisch beschrieben werden, so dass die notwendigen Stützpunkte jeweils, vorzugsweise in der Laufzeit, berechnet werden. It is possible to store cams with fairly coarse support points and then to interpolate between the points. The control curves can also be described mathematically, so that the necessary interpolation points are calculated in each case, preferably in the runtime.

Besonders vorteilhaft ist es, wenn die Bewegung des Läufers des Mehraktorantriebs von einem Positionssensor gemessen wird und die Messdaten herangezogen werden, um eine Positionsabweichungen des Läufers It is particularly advantageous if the movement of the rotor of the multi-actuator drive is measured by a position sensor and the measurement data are used to detect a positional deviation of the rotor

auszuregeln. auszuregeln.

Es ist möglich, über die Zyklusdauer der angelegten Steuersignale die  It is possible over the cycle duration of the applied control signals the

Positionierung des Läufers zu regeln. Z.B. je schneller der Läufer bewegt werden soll, desto zügiger werden die zyklisch angelegten Steuerkurven, z.B. auch inklusive der aufaddierten Signale für die Ausgleichsbewegung, durchlaufen. Hat der Läufer hingehen eine Sollposition erreicht, wird die Frequenz, mit der die Zyklen angelegt werden, auf Null reduziert. Positioning of the runner to regulate. For example, the faster the runner moves the cyclically applied control curves, eg also including the added signals for the compensation movement, are passed through more quickly. When the runner has reached a target position, the frequency with which the cycles are applied is reduced to zero.

Es bietet sich an, typische bekannte Regelstrategien zu verwenden.  It makes sense to use typical known control strategies.

Neben der Zyklusfrequenz kann auch die Ausgleichsbewegung als Regelparameter genutzt werden. Es ist auch möglich, beide Parameter in In addition to the cycle frequency, the compensation movement can also be used as a control parameter. It is also possible to set both parameters in

Kombination in der Regelung zu verwenden, wobei sich hier ein kaskadierter Regelkreis besonders gut eignet.  Combination in the scheme to use, where a cascaded control loop is particularly well suited.

Für kleine Abweichungen, die über einen Positionssensor festgestellt werden, lässt sich vorteilhaft die Ausgleichsbewegung zur Kompensation verwenden . Das kann in einigen Fällen von Vorteil sein . Z. B. wenn der Läufer in Position gehalten wird und lediglich ein langsames Vor- und Zurückbewegen auf kleiner Strecke ausgeglichen werden soll . Das ist dann leichter mit einer Ausgleichsbewegung zu realisieren als über das Anlegen der zyklischen Signale. For small deviations that are detected via a position sensor, it is advantageous to use the compensation movement for compensation. This can be beneficial in some cases. For example, if the runner is held in position and only a slow back and forth on a small distance to be compensated. This is easier to implement with a compensation movement than by applying the cyclic signals.

Statt die Frequenz der zyklisch anzulegenden Signalformen oder die Instead of the frequency of the cyclic signal forms or the

Ausgleichsbewegung als Regelparameter zu verwenden, ist es auch möglich, die Form der Steuersignale selber zu variieren. Es hat sich jedoch herausgestellt, dass es in der Laufzeit einfacher und zielgerichteter ist, die Frequenz der Zyklen . und die Ausgleichsbewegung zu nutzen. To use compensation movement as a control parameter, it is also possible to vary the shape of the control signals themselves. However, it has been found that it is simpler and more targeted in the runtime, the frequency of the cycles. and to use the compensation movement.

Jedoch kann es sinnvoll sein die Signalformen zu variieren, wenn sich die Reaktion der Läuferbewegung auf die Steuersignale ändert, z.B. aufgrund Temperaturänderungen oder Verschleiß. However, it may be useful to vary the waveforms as the response of the rotor motion to the control signals changes, e.g. due to temperature changes or wear.

Es ist auch möglich, die drei genannten Regelparameter„Zykluszeit", „aufaddierte Ausgleichsbewegung" und„Kurvenform der Steuersignale" in Kombination und in unterschiedlicher Gewichtung zu nutzen. Das kann z.B. nötig werden, wenn weite Geschwindigkeitsbereiche des Mehraktorantriebs durchfahren werden, so dass z. B. Masseträgheiten und Resonanzeffekte eine Rolle spielen und berücksichtigt werden müssen. It is also possible to use the three mentioned control parameters "cycle time", "accumulated compensatory movement" and "waveform of the control signals" in combination and in different weightings, which may be necessary, for example, if wide speed ranges of the multi-actuator drive are traversed. B. inertia and resonance effects play a role and must be taken into account.

In einigen Fällen müssen die an den Aktoren anliegenden Signalkurven angepasst werden> wenn die Zyklusfrequenz verändert wird. Dass ist z.B. dann der Fall, wenn sich die Übertragung der elektrisch an die Aktoren angelegten Signale und die resultierende Aktorbewegung bis hin zur resultierenden Läuferbewegung aufgrund der Frequenzveränderung deutlich verschiebt. Da die auftretenden Änderungen in der Regel kontinuierlich und nicht sprunghaft auftreten, ist eine solche Anpassung gut zu realisieren. Für Antriebe, die einen großen Geschwindigkeitsbereich durchfahren müssen, kann eine solche In some cases, the signal curves applied to the actuators must be adjusted> when the cycle frequency is changed. That's for example the case when the transmission of the signals applied electrically to the actuators and the resulting actuator movement to the resulting rotor movement due to the frequency change significantly shifts. Since the changes that occur usually occur continuously and not abruptly, such an adaptation is easy to implement. For drives that have to pass through a large speed range, such

Anpassung sehr vorteilhaft sein. Adaptation be very beneficial.

Für die neuartige Ansteuerung muss ein spezielles Vorgehen für die For the novel control must be a special approach for the

Richtungsumkehr des beweglichen Läufers gewählt werden, da es bei diesem Verfahren in der Regel nicht möglich ist, die zyklisch an den Aktoren  Direction reversal of the movable rotor can be selected, as it is usually not possible with this method, the cyclic on the actuators

anliegenden Signale„lediglich" rückwärts ablaufen zu lassen, um so die applied signals "only" run backwards, so the

Richtung umzukehren. To reverse direction.

Für eine erfindungsgemäße Richtungsumkehr des Läufers werden die an den Aktoren anliegenden Ansteuersignale um eine konstante Signalamplitude, gespiegelt. Idealerweise liegt die Höhe der Signalamplitude, um die gespiegelt wird, im mittleren Bereich der zur Verfügung stehenden Signalhöhe;  For a direction reversal of the rotor according to the invention, the control signals applied to the actuators are mirrored by a constant signal amplitude. Ideally, the height of the signal amplitude to be mirrored is in the middle range of the available signal level;

Um bei der Richtungsumkehr einen Sprung zu vermeiden sollen die To avoid a jump in the direction reversal, the

gespiegelten Werte vorzugsweise nicht sprunghaft angelegt werden, da das zu einem Sprung in der Bewegung des Läufers führen kann. Statt dessen sind, die gespiegelten Signale vorzugsweise durch eine erfindungsgemäße, zeitliche, gleichmäßige Anpassung der Signale zum jeweils gespiegelten Signalwert zu erreichen, wobei idealerweise die Summe der vorzeichenbehafteten mirrored values preferably should not be applied abruptly, as this can lead to a jump in the movement of the runner. Instead, the mirrored signals are preferably to be achieved by an inventive, temporal, uniform adaptation of the signals to the respective mirrored signal value, ideally the sum of the signed ones

Signaländerungen gleich oder nahezu Null wird und damit die resultierenden Bewegungen der beweglichen Komponente nahezu Null ist. Signal changes is equal to or near zero and thus the resulting movements of the movable component is almost zero.

Werden punktsymmetrische Kurvenformeri zur Ansteuerung der Aktoren verwendet, können die^'Signale alternativ zeitlich gespiegelt werden. Are point-symmetrical Kurvenformeri for controlling the actuators used, the ^'signals can alternatively be flipped in time.

Jedoch sollte eine zeitliche Spiegelung nur genutzt werden, wenn entweder die Anforderungen an die Genauigkeit während der Richtungsumkehr nicht hoch sind oder ein großer Signalbereich für die erfindungsgemäßen Ausgleichsbewegungen zur Verfügung steht. Das liegt darin begründet, dass sich in der Praxis nur selten punktsymmetrische Ansteuerkurven ergeben, bei denen die Abweichung der Bewegung des Läufers von einer Sollkurve während des Ablaufs eines Steuerzyklus gering sind. Werden punktsymmetrische Kurven gewählt, so werden in der Regel die Abweichungen von der Zielbewegung entsprechend groß sein, so dass eine große Ausgleichsbewegung erforderlich wird, wenn die Abweichungen je Zyklus gering gehalten werden müssen, um hohen Genauigkeitsanforderungen zu entsprechen . However, a temporal reflection should only be used if either the requirements for the accuracy during the direction reversal are not high or a large signal range is available for the compensatory movements according to the invention. This is due to the fact that in practice seldom point-symmetrical control curves result, in which the deviation of the movement of the rotor from a setpoint curve during the course of a control cycle is small. If point-symmetric curves are selected, the deviations from the target movement will usually be correspondingly large, so that a large compensation movement is required when the deviations per cycle need to be kept low to meet high accuracy requirements.

Alternativ kann zur Richtungsumkehr auf zwei unterschiedliche Sätze von Ansteuerkurven zurückgegriffen werden. Während ein Satz den Läufer vorantreibt, wenn die entsprechenden Signale an die Aktoren angelegt werden, wird der Läufer durch das Anlegen des zweiten Satzes in die entgegengesetzte Richtung bewegt. Um von einem Satz an Steuerkurven auf den zweiten Satz an Steuerkurven zu wechseln, sind die Signalwechsel vorzugsweise durch eine erfindungsgemäße, zeitliche, allmähliche Anpassung der Signale zum jeweils neuen Wert zu erreichen, wobei idealerweise die Su mme der vorzeichenbehafteten Signaländerungen gleich oder nahezu Null wird und damit die resultierenden Bewegungen der beweglichen Komponente während des Alternatively, two different sets of drive curves can be used for direction reversal. While one set advances the runner when the corresponding signals are applied to the actuators, the runner is moved in the opposite direction by the application of the second set. To change from a set of cams on the second set of cams, the signal changes are preferably achieved by an inventive, temporal, gradual adaptation of the signals to each new value, ideally the Su mme of the signed signal changes is equal to or near zero and so that the resulting movements of the moving component during the

Wechsels nahezu Null ist. Change is almost zero.

Grundsätzlich kann während eines Richtungswechsels auch eine Ausgleichsbewegung durchgeführt werden . Wird beispielsweise beim Richtungswechsel die oben beschriebene, zeitliche, gleichmäßige Anpassung der Signale In principle, a compensation movement can also be carried out during a change of direction. For example, when changing direction, the above-described, temporal, uniform adaptation of the signals

durchgeführt, kann während dessen eine überlagerte Ausgleichsbewegung angelegt werden, um schon während des Wechsels der Signale den Läufer in die gewünschte Richtung voranzutreiben, so dass nicht abgewartet werden muss, bis der Wechsel der Signale vollzogen, sondern, eine sofortige carried out, during which a superimposed compensation movement can be applied to advance even during the change of signals the runner in the desired direction, so that it does not have to wait until the change of signals completed, but an immediate

Bewegungsrichtungsumkehr möglich ist. Movement direction reversal is possible.

In einer weiteren Variante der Richtungsumkehr kann während der In a further variant of the direction reversal can during the

erfindungsgemäßen, zeitlichen Anpassung der Signale bereits eine Bewegung auf den Läufer beaufschlagt werden, indem die Relativbewegung der Aktoren des Mehraktorantriebs zueinander so gewählt wird, dass der Läufer in die gewünschte Richtung vorangetrieben wird. According to the invention, temporal adaptation of the signals already a movement are applied to the rotor by the relative movement of the actuators of the multi-actuator is selected to each other so that the rotor is driven in the desired direction.

Die verschiedenen Varianten der Richtungsumkehr können miteinander in Kombination genutzt werden . The different variants of direction reversal can be used together in combination.

Ungewollte Bewegungen sind auch zu Beginn einer Bewegung bzw. bei dem Einschalten oder initialen Ansteuern der Aktoren des Mehraktorantriebs zu vermeiden . Ein vorzugsweise zu verwendender Ansatz ist es, die Signale für die Aktoren des Mehraktorantriebs, ausgehend von den Startamplituden allmählich auf die Zielwerte zubringen. Idealerweise ist dabei die Summe der vorzeichenbehafteten Signaländerungen gleich Null und damit die Unwanted movements are also to be avoided at the beginning of a movement or when switching on or initial control of the actuators of the multi-actuator drive. A preferred approach is to use the signals for the actuators of the multi-actuator drive, starting from the starting amplitudes gradually to the target values. Ideally, the sum of the signed signal changes is zero and thus the

resultierenden Bewegungen der beweglichen Komponente nahezu Null.  resulting movements of the movable component almost zero.

Ansonsten können für den Einschaltvorgang die. gleichen Ansätze wie bei der Richtungsumkehr gewählt werden.  Otherwise, for the switch-on the. same approaches are chosen as in the direction reversal.

Um zu verhindern, dass ein Mehraktorantrieb, um eine Position zu halten, einen permanenten Richtungswechsel vollzieht, ist es vorteilhaft, wenn vorrangig eine Ausgleichsbewegung genutzt wird, um lokale Abweichungen auszugleichen. In order to prevent a multi-actuator drive, in order to hold a position, to make a permanent change of direction, it is advantageous if a compensation movement is used primarily to compensate for local deviations.

Eine besonders einfache Ansteuerung ergibt sich für einen Mehraktorantrieb, wenn die Aktoren paarweise invertiert eingebaut werden. Das bringt A particularly simple control results for a multi-actuator drive, if the actuators are installed in pairs inverted. That brings

symmetrische Vorteile. Z.B. sind die gegeneinander wirkenden Aktoren für das Einschaltverhalten eines derartigen Mehraktorantriebs von Vorteil, da sich die Bewegungen der Aktoren gegenseitig aufheben. symmetrical advantages. For example, are the counteracting actuators for the switch-on of such a multi-actuator drive advantageous because the movements of the actuators cancel each other.

Sind Aktoren gegengerichtet eingebaut, so ist das selbstverständlich durch die Ansteuersignale zu berücksichtigen.  If actuators are installed in the opposite direction, this is of course to be taken into account by the control signals.

Soll z.B. eine auf alle Aktoren aufaddierte Ausgleichsbewegung durchgeführt werden, so müssen solche Signale an die Aktoren angelegt werden, dass bei der Bewegung der Aktoren für die Ausgleichsbewegung keine weitere  Should e.g. If a compensation movement added to all actuators is carried out, then such signals must be applied to the actuators that no further movement is required in the movement of the actuators for the compensation movement

mechanische Spannung zwischen den Reibflächen aufgebaut wird. mechanical stress is built up between the friction surfaces.

Z.B. im Falle eines gegengerichteten Einbaus der Aktoren bietet sich bei einem linearen Verhalten der Aktoren ein invertiertes Steuersignal an. For example, In the case of a counter-mounted installation of the actuators, an inverted control signal is suitable for a linear behavior of the actuators.

Unterschiedliche Ansteuerverfahren bewirken stark unterschiedliche Verhalten der Mehraktorantriebe. Einige Verfahren haben ihre Stärken z.B. bei der erzielbaren Kraft, andere wiederum bei der erzielbaren Positionierauflösung. Daher ist es vorteilhaft, wenn bei der Ansteuerung eines Mehraktorantriebs je nach Situation zwischen der erfindungsgemäßen und alternativen Different control methods cause very different behavior of the multi-actuator drives. Some methods have their strengths e.g. at the achievable force, others in turn at the achievable positioning resolution. Therefore, it is advantageous if in the control of a multi-actuator drive depending on the situation between the inventive and alternative

Ansteuerstrategien gewechselt werden kann. Driving strategies can be changed.

Die Erfindung soll nachstehend anhand eines Ausführungsbeispiels sowie unter Zuhilfenahme von Figuren näher erläutert werden. The invention will be explained below with reference to an embodiment and with the aid of figures.

Hierbei zeigen: Fig. 1 Prinzipskizze eines bekannten Trägheitsantriebs mit entsprechender, typischer Sägezahnsteuerung; Hereby show: Fig. 1 schematic diagram of a known inertial drive with corresponding, typical sawtooth control;

Fig. 2a vereinfachte Darstellung eines linearen Mehraktorantriebs Fig. 2a simplified representation of a linear multi-actuator drive

Fig 2b vereinfachte Darstellung eines rotatorischen Mehraktorantriebs; 2b shows a simplified representation of a rotary multi-actuator drive;

Fig.3 eine typische Bewegung eines Läufers eines Mehraktorantriebs bei einer Ansteuerung über versetzte sägezahnförmige Signale gemäß Stand der Technik; FIG. 3 shows a typical movement of a rotor of a multi-actuator drive when actuated by offset sawtooth-shaped signals according to the prior art; FIG.

Fig. 4 Grafik zum elastischen Verhalten der Mechanik und Aktorik eines Mehraktorantriebs; 4 shows a diagram of the elastic behavior of the mechanics and actuators of a multi-actuator drive;

Fig. 5 gemessene Bewegung eines über Dreiecksignale ohne nennenswerte Beschleunigung angesteuerten Mehraktorantriebs; FIG. 5 shows measured movement of a multi-axis drive driven by triangular signals without appreciable acceleration; FIG.

Fig. 6 gemessene Bewegung eines über modifizierte Signale ohne nennenswerte Beschleunigung angesteuerten Mehraktorantriebs; FIG. 6 shows measured movement of a multi-axis drive driven via modified signals without appreciable acceleration; FIG.

Fig. 7 Mehraktorantrieb mit einem zum Antriebspaket in Serie befindlichen weiteren Aktor B; FIG. 7 shows a multi-actuator drive with a further actuator B in series with the drive package; FIG.

Fig . 8 Störbewegungen aufgrund von Sprüngen zwischen zyklisch angelegten Steuersignalen im Vergleich zu korrigierten Steuersignalen, die zyklisch angelegt werden können, ohne dass es zu Sprüngen kommt; Fig. 8 jamming movements due to jumps between cyclically applied control signals compared to corrected control signals that can be cyclically applied without causing any jumps;

Fig. 9a Spiegelung einer punktsymmetrischen Steuerkurve für eine Fig. 9a reflection of a point-symmetrical control curve for a

Richtungsumkehr; Reversal;

Fig . 9b Spiegelung einer nicht punktsymmetrischen Steuerkurve um einen Amplitudenwert um eine Richtungsumkehr zu erzeugen im Vergleich zu einer zeitlichen Spiegelung, die nicht zu einer Richtungsumkehr führt; Fig. 9b mirroring a non-point symmetric control curve to produce an amplitude value around a direction reversal compared to a temporal reflection that does not lead to a reversal of direction;

Fig . 9c Spiegelung einer weiteren nicht punktsymmetrischen Steuerkurve um einen Amplitudenwert um eine Richtungsumkehr zu erzeugen im Vergleich zu einer zeitlichen Spiegelung, die nicht zu einer Richtungsumkehr führt; Fig. 10a sprunghafte Spiegelung von beispielhaften Signalkurven zur Fig. 9c mirroring another non-point-symmetric control curve to produce an amplitude value around a reversal of direction as compared to a temporal reflection that does not lead to a reversal of direction; Fig. 10a sudden reflection of exemplary signal curves for

Richtungsumkehr und  Direction reversal and

Fig. 10b zeitlich allmählich umgesetzten Spiegelung von beispielhaften Fig. 10b temporally gradually converted mirroring exemplary

Signalkurven zur Richtungsumkehr.  Signal curves for direction reversal.

Fig. 1 zeigt eine Prinzipskizze eines Trägheitsantriebs mit entsprechender, typischer Sägezahnansteuerung. In solchen Antrieben ist ein Aktor (D) vorgesehen, der mit einem sägezahnähnlichen, periodischen Signal Fig. 1 shows a schematic diagram of an inertial drive with corresponding, typical Sägezahnansteuerung. In such drives, an actuator (D) is provided with a sawtooth-like, periodic signal

beaufschlagt wird und eine Beschleunigung auf den relativ zu einem  is applied and an acceleration on the relative to a

reibschlüssig mit dem Aktor verbundenen beweglichen gelagerten Läufer (E) aufbringt.  frictionally engaged with the actuator mounted movably mounted rotor (E).

Fig.2a zeigt einen beispielhaften linearen Mehraktorantrieb. Derartige 2a shows an exemplary linear multi-actuator drive. such

Antriebe bestehen aus mindestens zwei bzw. beliebig vielen Aktoren l_lr 1₂, ... l_n, die über ein entsprechendes Ansteuersignal individuell oder in Gruppen zu einem begrenzten Hub angeregt werden können. In der Fig.2a sind drei Aktoren Ii bis 1₃ dargestellt. Die Aktoren weisen jeweils eine Reibstelle 2i bis 2₃ auf, die mit einem Läufer 3 in Reibkontakt steht. Weiterhin sind die Aktoren mit einem Träger 4 verbunden. Der Läufer kann bei einer geeigneten Drives consist of at least two or any number of actuators l _lr 1 ₂ , ... l _n , which can be excited via a corresponding control signal individually or in groups to a limited stroke. In Fig.2a three actuators Ii to 1 ₃ are shown. The actuators each have a friction point 2i to 2 ₃ , which is in frictional contact with a rotor 3. Furthermore, the actuators are connected to a carrier 4. The runner can be at a suitable

Ansteuerung der Aktoren relativ zum Träger entlang des Doppelpfeils makroskopisch bewegt werden. Actuation of the actuators are moved macroscopically relative to the carrier along the double arrow.

Fig.2b zeigt einen beispielhaften rotatorischen Mehraktorantrieb. Derartige Antriebe bestehen aus mindestens zwei bzw. beliebig vielen Aktoren Ii, 1₂, ... l_n, die über ein entsprechendes Ansteuersignal individuell oder in Gruppen zu einem begrenzten Hub angeregt werden können. In der Fig.2b sind drei Aktoren Ii bis 1₃ dargestellt. Die Aktoren weisen jeweils eine Reibstelle 2i bis 2₃ auf, die mit einem Läufer 3 in Reibkontakt steht. Weiterhin sind die Aktoren mit einem Träger 4 verbunden. Der Läufer kann bei geeigneter Ansteuerung der Aktoren rotiert werden. FIG. 2b shows an exemplary rotary multi-actuator drive. Such drives consist of at least two or any number of actuators Ii, 1 ₂ , ... l _n , which can be excited via a corresponding drive signal individually or in groups to a limited stroke. In Fig.2b three actuators Ii to 1 ₃ are shown. The actuators each have a friction point 2i to 2 ₃ , which is in frictional contact with a rotor 3. Furthermore, the actuators are connected to a carrier 4. The rotor can be rotated with suitable control of the actuators.

Fig.3 zeigt eine gemäß dem Stand der Technik typische, resultierende Fig. 3 shows a typical according to the prior art, resulting

Bewegung eines Läufers bei einer sägezahnförmigen Ansteuerung der Aktoren eines Mehraktorantriebs. Kennzeichnend ist die störende, periodische ückbewegung des Läufers, ausgelöst jeweils durch die Rückbewegung eines Aktors. Movement of a rotor in a sawtooth-shaped control of the actuators of a multi-actuator drive. Characteristic is the disturbing, periodic Return movement of the rotor, triggered in each case by the return movement of an actuator.

Fig.4 zeigt exemplarisch das elastische Verhalten der Mechanik und Aktorik eines Mehraktorantriebs mit drei Aktoren, wenn an einen der drei Aktoren ein Dreiecksignal angelegt wird. Es handelt sich um eine vereinfachte, nicht maßstabsgerechte Darstellung. Für die Bezeichnung der Komponenten wird auf den beschrifteten, skizzenhaften Mehraktorantrieb aus der Fig. 2a verwiesen. 4 shows an example of the elastic behavior of the mechanics and actuators of a multi-actuator drive with three actuators when a triangular signal is applied to one of the three actuators. It is a simplified, not to scale representation. For the designation of the components, reference is made to the labeled, sketchy multi-actuator drive of FIG. 2a.

Es wird ein Steuersignal Ul in Form eines Dreiecks an den Aktor Ii angelegt. Die anderen zwei Aktoren werden mit einem konstanten Steuersignal angesteuert (U2 liegt am Aktor 1₂ an, U3 am Aktor 1₃). A control signal U1 is applied in the form of a triangle to the actuator Ii. The other two actuators are controlled by a constant control signal (U2 is applied to the actuator 1 ₂ , U3 to the actuator 1 ₃ ).

In der Grafik sind verschiedene Phasen dargestellt. Die verschiedenen Phasen werden im Folgenden beschrieben.  The diagram shows different phases. The different phases are described below.

In der Phase A sind alle Steuersignale konstant. In der Phase G steigt das Steuersignal Ul an und in der Phase H fällt das Steuersignal Ul wieder ab, bis es zum Anfang der Phase F den Ausgangswert erreicht. In der Phase F ändert sich keines der Steuersignale. In phase A, all control signals are constant. In the phase G, the control signal Ul increases and in the phase H, the control signal Ul falls again until it reaches the beginning of the phase F, the output value. In phase F, none of the control signals changes.

Da das sich ändernden Ansteuersignais Ul nur an einen der Aktoren angelegt wird, kommt es zwischen den Reibflächen der Aktoren zu einer mechanische Spannung, die sich auf den ganzen Antrieb und alle beteiligten Aktoren und die Mechanik des Antriebs auswirkt. So. überträgt sich die Kraft des Aktors Ii über die Reibkontakte und den Läufer auf die anderen Aktoren und deren Mechanik, so dass diese verformt werden. Dieser Zusammenhang wird im Folgenden, ebenfalls anhand der Fig. 4 genauer beschrieben:  Since the changing control signal Ul is applied only to one of the actuators, it comes between the friction surfaces of the actuators to a mechanical tension that affects the entire drive and all actors involved and the mechanics of the drive. Thus, the force of the actuator Ii transmits over the friction contacts and the rotor on the other actuators and their mechanics, so that they are deformed. This relationship is described in more detail below, likewise with reference to FIG. 4:

Dabei zeigen die Kurven xl, x2 und x3 die Positionen der Reibflächen der Aktoren li,l₂ und 1₃ in Bezug auf den Träger 4. Die Kurven Fl, F2 und F3 hingegen zeigen die auf die Aktoren li,l₂ und 1₃ wirkenden Kräfte. Die The curves xl, x2 and x3 show the positions of the friction surfaces of the actuators li, l ₂ and 1 ₃ with respect to the carrier 4. The curves Fl, F2 and F3, however, show the effect on the actuators li, l ₂ and 1 ₃ forces. The

Position des Läufers wird durch die Kurve xL gezeigt. Position of the runner is shown by the curve xL.

In der Phase G steigt das an den Aktor Ii angelegte Steuersignal. Dabei bleibt im ersten Teil, der Phase B, die Reibfläche des Aktors Ii in der Haftreibung,, da die Kraft nicht ausreicht um die Reibfläche 1 aus der Haftphase zu lösen. Daher wirkt die sich aufbauende Kraft auf alle drei Aktoren, so dass sich die Reibflächen synchron bewegen, und somit auch der Läufer in dieser Phase synchron mitbewegt wird. Die Kraftkurven (Fl, F2 und F3) zeigen, dass auf den Aktor Ii eine stauchende Kraft wirkt, während sich die Gegenkraft auf die Aktoren 1₂ und 1₃ aufteilt und diese entsprechend streckt. In phase G, the control signal applied to the actuator Ii increases. In the first part, the phase B, the friction surface of the actuator Ii remains in the static friction, since the force is insufficient to release the friction surface 1 from the adhesion phase. Therefore, the build-up force acts on all three actuators, so that the friction surfaces move synchronously, and thus the rotor is synchronously moved in this phase. The force curves (Fl, F2 and F3) show that on the actuator Ii acts a compressive force, while the opposing force on the actuators 1 ₂ and 1 ₃ divides and this stretches accordingly.

Mit der Phase C geht der Reibkontakt 1 in die Gleitphase über. In Folge dessen muss der Aktor Ii bei seiner weiteren Auslenkung nicht mehr gegen die  With the phase C, the frictional contact 1 goes into the sliding phase. As a result, the actuator Ii in its further deflection no longer against the

Steifigkeit der Aktoren 1₂ und 1₃ arbeiten, so dass sich die Position des Stiffness of the actuators 1 ₂ and 1 ₃ work, so that the position of the

Reibköpers mit einer veränderten, größeren Steigung entwickeln kann, obwohl das Ansteuersignal Ul weiterhin mit gleicher Steigung anliegt. Beim Übergang in die Gleitreibung des Reibkontakts 1 bleiben die auf die Aktoren wirkenden Kräfte nahezu konstant, so dass sich die Reibflächen 2 und 3 nicht wesentlich relativ zum Träger bewegen.  Reibköpers with a modified, larger pitch can develop, although the drive signal Ul continues to bear with the same slope. When passing into the sliding friction of the friction contact 1, the forces acting on the actuators forces remain almost constant, so that the friction surfaces 2 and 3 do not move substantially relative to the carrier.

Mit der Phase H, wird das am Aktor Ii anliegende Signal wieder reduziert. Dabei befinden sich zunächst wieder alle Reibflächen der Aktoren in der Haftphase, so dass sich in Folge dessen die Positionen der Reibflächen und damit auch der Läufer synchron relativ zum Träger bewegen. Daher bauen sich während der Phase D die auf die Aktoren wirkenden Kräfte ab. Im Detail: Die auf den Aktor Ii stauchend wirkende Kraft baut sich ab, während die auf die Aktoren 1₂ und 1₃ streckend wirkenden Kräfte ebenfalls abgebaut werden. Zum Beginn der Phase E sind die Kräfte vollständig abgebaut, so dass auf die Aktoren keine Kräfte mehr wirken. Die Positionen der Aktoren 1₂ und 1₃, als auch die Position des Läufers befinden sich wieder in der Ausgangslage (wie zur Phase A). Die Position des Reibkörpers des Aktors Ii jedoch befindet sich nicht in der Ausgangslage. Das liegt daran, dass die Reibfläche des Aktors Ii in der Phase B durchgerutscht ist. In Folge dessen hat sich die Position der Reibfläche des Aktors Ii im Verhältnis zu den Reibflächen der Aktoren 1₂ und 1₃ verschoben. With the phase H, the signal applied to the actuator Ii is reduced again. In this case, all of the friction surfaces of the actuators are initially in the adhesion phase, so that, as a result, the positions of the friction surfaces and thus also the rotor move synchronously relative to the carrier. Therefore, during phase D, the forces acting on the actuators break down. In detail: The force acting on the actuator Ii force decreases, while the forces acting on the actuators 1 ₂ and 1 ₃ forces are also reduced. At the beginning of phase E, the forces are completely dissipated, so that act on the actuators no more forces. The positions of the actuators 1 ₂ and 1 ₃ , as well as the position of the rotor are back in the starting position (as for phase A). However, the position of the friction body of the actuator Ii is not in the starting position. This is because the friction surface of the actuator Ii has slipped through in the phase B. As a result, the position of the friction surface of the actuator Ii has shifted in relation to the friction surfaces of the actuators 1 ₂ and 1 ₃ .

In der Phase E wird das Ansteuersignal Ul allmählich auf den- Ausgangspegel reduziert. Als Reaktion auf das Ansteuersignal Ul zieht sich der Aktor Ii weiter zusammen. Da beim Phasenübergang von D zu E keine Kräfte zwischen den Reibflächen mehr gewirkt haben, bauen sich nun wieder mechanische Spannungen zwischen den Reibflächen auf, die auf die Aktoren wirken. D.h. Aktor Ii wird mit weiter abnehmender Ansteuerspannung Ul gestreckt, während auf den anderen Aktoren eine sich auf beide Aktoren aufteilende, stauchende Kraft wirkt. Solange sich die Aktoren weiterhin in der Haftreibung befinden, bewegen sich alle Reibflächen und der Läufer weiterhin synchron relativ zum Träger.  In the phase E, the drive signal Ul is gradually reduced to the output level. In response to the drive signal Ul, the actuator Ii continues to contract. Since no forces between the friction surfaces acted more during the phase transition from D to E, mechanical stresses now build up again between the friction surfaces acting on the actuators. That Actuator Ii is stretched with further decreasing drive voltage U L, while on the other actuators acts on both actuators dividing, upsetting force. As long as the actuators are still in the static friction, all the friction surfaces and the rotor continue to move synchronously relative to the carrier.

Somit wird der Läufer über seine ursprüngliche Lage hinaus bewegt, wie anhand der Kurve xL nachvollzogen werden kann. Fazit: Es ergibt sich eine bleibende Verschiebung des Läufers, nachdem ein Dreieckssignal an den Aktor Ii angelegt wurde. Thus, the runner is moved beyond its original position, as can be understood from the curve xL. Conclusion: It results in a permanent displacement of the rotor after a triangular signal has been applied to the actuator Ii.

Fig. 5 zeigt, anhand konkreter Messung für das in Fig. 4 beschriebene Fig. 5 shows, based on concrete measurement for that described in Fig. 4

Dreiecksignal, wie eine Bewegung des Läufers eines Mehraktorantriebs zu erzielen ist, ohne dass durch die Steuerkurven nennenswerte Beschleunigungen oder Vibrationen eingekoppelt werden. Die niederfrequenten  Triangular signal, how to achieve a movement of the rotor of a multi-tractor drive without significant acceleration or vibration being coupled in by the control cams. The low frequency

Abweichungen sind jedoch noch recht groß, so dass eine sehr große Deviations are still quite large, so that a very large

Ausgleichsbewegung notwendig wäre, um eine monotone Bewegung des Compensation movement would be necessary to a monotonous movement of the

Läufers zu erzielen. Daher sind vorzugsweise die Kurvenverläufe zu Runner to achieve. Therefore, the curves are preferably too

optimieren, mit dem Ziel, eine geringere Abweichung von einer Sollbewegung zu erzielen. optimize, with the aim of achieving a smaller deviation from a target movement.

Fig 6 zeigt anhand konkreter Messungen, dass durch die Variation der FIG. 6 shows, on the basis of concrete measurements, that the variation of the

Stützpunkte der verschiedenen Steuerkurven geringe Abweichungen von einer monotonen Bewegungskurve für den Läufer erzielbar sind. Support points of the various cams small deviations from a monotone motion curve can be achieved for the runner.

Bei der dargestellten, beispielhaften Ansteuerung, bei der mechanische In the illustrated, exemplary control, in the mechanical

Spannungen zwischen den Reibflächen auf- und abgebaut werden, ist die Abweichung von der Sollbewegung bereits sehr viel geringer als in Fig. 5. Tensions between the friction surfaces and dismantled, the deviation from the desired movement is already much lower than in Fig. 5th

Somit muss eine Ausgleichsbewegung deutlich geringer ausfallen. Es sei darauf hingewiesen, dass zu Visualisierungzwecken die Kurvenformen auf wenige Stützpunkte beschränkt wurden. Es können hohe Dichten an Stützpunkten für die Kurvenformen gewählt werden, so dass die Flexibilität größer wird und damit auch bessere Resultate für die zu erzielende Bewegung des Läufers innerhalb eines Zyklus für den Läufer möglich sind. Thus, a compensation movement must be significantly lower. It should be noted that for visualization purposes, the waveforms have been limited to a few vertices. It is possible to choose high densities of support points for the curve shapes, so that the flexibility becomes greater and thus better results for the movement of the rotor to be achieved within a cycle for the runner are possible.

Fig. 7 zeigt einen Mehraktorantrieb, bei dem sich das Antriebspaket in Reihe, mit einem weiteren Aktor B befindet. Der Aktor B ist in der Lage, das Fig. 7 shows a multi-actuator, in which the drive package is in series, with a further actuator B. The actuator B is able to do that

Antriebspaket über eine Verfahrstrecke, die dem Hub von Aktor B entspricht, relativ zum Träger C zu bewegen. Wenn der Aktor B das Antriebspaket in Richtung a+ oder a- verschiebt, folgt der Läufer der Bewegung, da dieser über die Reibkontakte des Antriebspaketes an die Bewegung gekoppelt ist. Immer wenn der Läufer in Richtung a+ hinterher eilt, schiebt der Aktor B das Drive package over a travel distance corresponding to the stroke of actuator B, to move relative to the carrier C. When the actuator B shifts the drive package in the direction of a + or a-, the rotor follows the movement, since it is coupled to the movement via the friction contacts of the drive package. Whenever the runner rushes in the direction of a +, the actuator B pushes it

An'triebspaket in Richtung a+, eilt der Läufer jedoch in Richtung a+ vor, so zieht der Aktor B das Aktorpaket etwas_. zurück in Richtung a-. Fig . 8 zeigt, dass Kurvenformen für die Steuersignale zu Sprüngen und An'triebspaket toward a +, but the runner leads in the direction of a +, so the actuator B pulls the actuator package something _. back towards a-. Fig. 8 shows that waveforms for the control signals jump and

Störbewegungen führen, wenn diese zyklisch an einen Mehraktorantrieb angelegt werden und die Startamplitude ungleich der End-Amplitude der Kurve ist.  Disturbing movements lead if they are applied cyclically to a multi-actuator and the start amplitude is not equal to the final amplitude of the curve.

Im Graph oben links ist als dunkle Linie eine beispielhafte Ansteuerkurve für einen der Aktoren des Mehraktorantriebs dargestellt.  In the graph top left is shown as a dark line an exemplary drive curve for one of the actuators of the multi-axis actuator.

Die helle Linie verbindet den Startpunkt mit dem Endpunkt der Ansteuerkurve. Wird die Steuerkurve zyklisch an den Aktor angelegt, so ergibt sich die oben rechts dargestellte Situation. D.h. bei jeder Zykluswiederholung kommt es zu einem Sprung von der End-Amplitude der Steuerkurve zur Startamplitude. Solche Sprünge sind möglichst zu vermeiden, da diese Störbewegungen und Vibrationen in das System bringen, die nur schwer zu kompensieren sind.  The bright line connects the starting point with the end point of the control curve. If the control curve is cyclically applied to the actuator, the situation shown on the top right results. That every cycle repetition causes a jump from the end amplitude of the control cam to the start amplitude. Such jumps should be avoided as far as possible, because they bring disturbing movements and vibrations into the system, which are difficult to compensate.

Die Kurvenformen der Ansteuerkurven können und sollten vorzugsweise so korrigiert werden, dass oben genannte Sprünge vermieden werden . The curve shapes of the drive curves can and should preferably be corrected so that the above-mentioned jumps are avoided.

Hierzu werden die ermittelten Signalkurven soweit gedreht, so dass der Anfang und das Ende der jeweiligen Steuerkurve durch den gleichen Amplitudenwert geht. Die Drehung erfolgt, wie in der mittleren Graphik dargestellt wird, indem von der Steuerkurve eine Gerade abgezogen wird, mit der Steigung der For this purpose, the determined signal curves are rotated so far, so that the beginning and the end of the respective control curve goes through the same amplitude value. The rotation takes place, as shown in the middle graph, by deducting a straight line from the control curve, with the slope of the

Geraden, die durch den Anfangswert und den Endwert der jeweiligen Straight lines, which are defined by the initial value and the end value of the respective

Signalkurve geht. Diese Gerade ist dargestellt durch die hellgraue Gerade in dem Graphen ganz oben links. Signal curve goes. This line is represented by the light gray line in the graph at the top left.

Wenn die so gekippte Ansteuerkurve, die in dem Graphen unten links, dargestellt ist, zyklisch an den Aktor angelegt wird, kommt es nicht mehr zu den unerwünschten Sprüngen bei jedem Zyklusdurchgang, so dass eine wesentliche Voraussetzung für einen vibrationsfreien Betrieb vorliegt.  If the thus tilted drive curve, which is shown in the graph at the bottom left, is applied cyclically to the actuator, there is no longer any unwanted jumps in each cycle, so that an essential prerequisite for vibration-free operation is present.

Fig. 9 a, b und c zeigen stark vereinfacht, wie für das erfindungsgemäße Verfahren vorzugsweise eine Richtungsumkehr zu implementieren ist. FIGS. 9 a, b and c show in a greatly simplified manner how preferably a direction reversal is to be implemented for the method according to the invention.

Nur für eine Sonderform von Steuerkurven ist es möglich, wie bisher für Trägheitsantriebe üblich, eine Richtungsumkehr zu implementieren, indem Steuerkurven rückwärts ablaufen. Ein„rückwärts Ablaufen" entspricht einer zeitlichen Spiegelung der Steuerkurven. Um eine Richtungsumkehr für alle Typen von Steuerkurven zu erhalten ist es sinnvoll die Steuerkurven um einen Amplitudenwert der Steuersignale zu spiegeln . Only for a special type of control cams, it is possible, as usual for inertial drives, to implement a reversal of direction by running cams backwards. A "backwards run" corresponds to a temporal mirroring of the control cams In order to obtain a reversal of direction for all types of control cams, it makes sense to mirror the control cams by an amplitude value of the control signals.

Fig. 9a zeigt mit dem Graphen oben links eine initiale punktsymmetrische Steuerkurve zur Ansteuerung eines einzelnen Aktors eines Mehraktorantriebs. Für punktsymmetrische Kurven ergeben sich gleiche Steuerkurven, unabhängig davon, ob eine zeitliche Spiegelung oder eine Spiegelung um einen 9a shows, with the graph at the top left, an initial point-symmetrical control curve for controlling a single actuator of a multi-actuator drive. For point-symmetric curves, the same cams are obtained, regardless of whether a temporal reflection or a reflection by one

Amplitudenwert gewählt wird.  Amplitude value is selected.

Im Falle einer für Mehraktorantriebe dem Stand der Technik entsprechenden zeitlichen Spiegelung ergibt sich die Kurve oben rechts. Wird die initiale Kurve jedoch um einen Amplitudenwert gespiegelt, dann ergibt sich die Kurve unten links.  In the case of a time mirroring corresponding to state-of-the-art multi-actuator drives, the curve at the top right results. However, if the initial curve is mirrored by an amplitude value, the curve at the bottom left results.

Die Kurven oben rechts und unten links haben einen gleichen Verlauf. Die steile und die flache Flanke zeigen jeweils für beide Kurven in die gleiche Richtung. Somit ist es für den Antrieb unerheblich, ob die Kurvenform für die Richtungsumkehr über eine zeitliche Spiegelung oder eine Spiegelung um einen Amplitudenwert erzielt wird. Das gilt aber nur für punktsymmetrische Kurven.  The curves at the top right and bottom left have a same course. The steep and the flat flank point in the same direction for both curves. Thus, it is irrelevant to the drive whether the curve shape for the direction reversal over a temporal mirroring or a reflection is achieved by an amplitude value. This only applies to point-symmetric curves.

Im Falle des erfindungsgemäßen Verfahren werden in fast allen Fällen nicht punktsymmetrische Ansteuerkurven verwendet.  In the case of the method according to the invention not point-symmetrical control curves are used in almost all cases.

Fig. 9b zeigt den Fall einer beispielhaften nicht punktsymmetrischen Fig. 9b shows the case of an exemplary non-point symmetrical

Steuerkurve. Oben links ist die initiale Steuerkurve dargestellt. Es ist deutlich zu erkennen, dass die zeitlich gespiegelte Steuerkurve (oben rechts) nicht mehr der Steuerkurve unten links (gespiegelt um einen Amplitudenwert) entspricht. Um eine Richtungsumkehr zu erzielen, ist es nicht mehr möglich, eine Kurvenform schlicht rückwärts abzulaufen, so wie es dem Fachmann bekannt ist, und so wie es vom Fachmann erwartet wird. Statt dessen sind die Steuerkurven des Mehraktorantriebs um einen Amplitudenwert zu spiegeln. Cam. The upper left corner shows the initial control curve. It can be clearly seen that the time-mirrored control curve (top right) no longer corresponds to the control curve at the bottom left (mirrored by an amplitude value). In order to reverse the direction, it is no longer possible to simply run a waveform backwards, as known to those skilled in the art, and as would be expected by those skilled in the art. Instead, the control cams of the multi-actuator are to be mirrored by an amplitude value.

Fig. 9c zeigt besonders deutlich, wie unterschiedlich die sich ergebenden Steuerkurven sind, wenn die initiale Kurvenform (oben links) einmal zeitlich gespiegelt wird (oben rechts) und alternativ um eine Signalamplitude Fig. 9c shows particularly clearly how different the resulting control curves are when the initial waveform (top left) is mirrored once (top right) and alternatively by a signal amplitude

gespiegelt wird (unten links). Für diese Beispielkurve würde für den Fall einer zeitlichen Spiegelung keine neue Kurvenform angelegt werden, da die sich ergebende Kurve wieder gleich der initialen Kurvenform ist. Nur die um eine Signalamplitude gespiegelte Kurve führt zu einer Steuerkurve, die eine für die Richtungsumkehr notwendige Signalkurvenformänderung aufweist. is mirrored (bottom left). For this example curve, no new waveform would be created for the case of temporal mirroring because the resulting curve is again equal to the initial waveform. Only the curve mirrored by a signal amplitude leads to a control curve which has a signal curve shape change necessary for the direction reversal.

Fig. 10a zeigt für beispielhafte Ansteuerkurven eines Mehraktorantriebs mit drei Aktoren eine Richtungsumkehr. Zum Zeitpunkt 3,25 werden die Signale um einen Amplitudenwert, in diesem Beispiel um 0,5 gespiegelt. Nach der Spiegelung fährt der Aktuator in die entgegengesetzte Richtung als zuvor. Nachteilig an einer solchen sprunghaften Richtungsumkehr ist, dass störende Beschleunigungen auf den Läufer eingebracht werden können. FIG. 10a shows a direction reversal for exemplary drive curves of a multi-actuator drive with three actuators. At time 3.25, the signals are mirrored by an amplitude value, in this example by 0.5. After Reflection moves the actuator in the opposite direction than before. The disadvantage of such a sudden direction reversal is that disturbing accelerations can be introduced to the rotor.

Fig. 10b zeigt demgegenüber einen Ansatz, bei dem der um die Amplitude gespiegelte Wert für jede Ansteuerkurve nicht sprunghaft, sondern allmählich erreicht wird, wobei idealerweise die Summe der vorzei.chenbehafteten Signaländerungen gleich oder nahezu Null wird und damit die resultierenden Bewegungen der beweglichen Komponente nahezu Null ist. Eine solche Signaländerung ist für eine präzise Richtungsumkehr sehr vorteilhaft. In contrast, Fig. 10b shows an approach in which the amplitude-mirrored value for each drive curve is not jumped but gradually reached, ideally the sum of the predicacious signal changes becomes equal to or near zero, and thus the resulting movements of the movable component are almost Is zero. Such a signal change is very advantageous for precise direction reversal.

Claims

Patentansprüche claims

1. Verfahren zum Ansteuern eines linearen oer rotatorischen Mehraktorantriebs mit einem relativ zu einer stationären Komponente angetriebenen Läufer, dessen Positionierstrecke größer ist als die Hübe der beteiligten, antreibenden Aktoren, die, entweder direkt oder über eine kraftübertragende Mechanik, im permanenten Reibkontakt mit dem Läufer stehen, auf der Basis von Ansteuerkurven und diesbezüglichen Ansteuersignalen, 1. A method for driving a linear oer rotary multi-axis actuator with a relative to a stationary component driven runner whose positioning distance is greater than the strokes of the participating, driving actuators, either directly or via a force-transmitting mechanism, are in permanent frictional contact with the rotor , on the basis of control curves and related control signals,

dadurch gekennzeichnet, dass characterized in that

zwischen den in Haftreibung befindlichen Reibkontakten unter Ausnutzung der Elastizität in den Aktoren und der Mechanik gezielt mechanische Spannungen aufgebaut wird, indem mindestens einer der in der Haftphase befindlichen Aktoren zu einer anderen Bewegung als die übrigen in der Haftphase befindlichen Aktoren veranlasst wird. mechanical stress is built up between the frictionally engaged frictional contacts taking advantage of the elasticity in the actuators and the mechanics by causing at least one of the actuators located in the adhesion phase to move differently from the other actuators in the adhesion phase.

2. Verfahren zur Ansteuerung eines Mehraktorantriebs nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass 2. A method for controlling a multi-actuator according to claim 1, characterized in that

die Ansteuerkurven eine gleiche Zykluszeit aufweisen und zum Bewegen des Läufers über große Strecken zyklisch an die Aktoren angelegt werden. the control curves have the same cycle time and are cyclically applied to the actuators for moving the rotor over long distances.

3. Verfahren zur Ansteuerung eines Mehraktorantriebs nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet, dass 3. A method for controlling a multi-actuator according to claim 2, characterized in that

die resultierende Läuferbewegung innerhalb eines Ansteuerzyklus eine monotone Bewegung und vorzugsweise eine streng monotone Bewegung darstellt. the resulting rotor movement within a drive cycle represents a monotonic motion, and preferably a strictly monotonic motion.

4.. Verfahren zur Ansteuerung eines Mehraktorantriebs nach Anspruch 2 oder 3, 4 .. A method for controlling a multi-actuator drive according to claim 2 or 3,

dadurch gekennzeichnet, dass characterized in that

eine verbleibende Abweichung der resultierenden Bewegung des Läufers zu einer Sollbewegung innerhalb eines Ansteuerzyklus durch eine aufaddierte Ausgleichsbewegung kompensiert wird, wobei diese Ausgleichsbewegung vorzugsweise auf alle beteiligten Aktoren gleichermaßen aufaddiert wird, so dass keine weitere mechanische Spannung zwischen den Reibflächen a remaining deviation of the resulting movement of the rotor is compensated for a desired movement within a drive cycle by an added compensating movement, said compensating movement is preferably added equally to all the actuators involved, so that no further mechanical stress between the friction surfaces

aufgebaut wird. is built.

5. Verfahren zur Ansteuerung eines Mehraktorantriebs nach einer der vorhergehenden Ansprüche, 5. A method for controlling a multi-actuator drive according to one of the preceding claims,

dadurch gekennzeichnet, dass  characterized in that

die Bewegung des Läufers aufgrund der an den Aktoren angelegten  the movement of the runner due to the applied to the actuators

Ansteuerkurven mindestens über einen Zyklus mit einem Sensor erfasst und eine festgestellte Abweichung der Bewegung des Läufers von einer Sollbewegung als Optimierungskriterium für die Anpassung der Ansteuerkurven verwendet wird.  Control curves detected at least over a cycle with a sensor and a detected deviation of the movement of the rotor is used by a desired movement as an optimization criterion for the adaptation of the control curves.

6. Verfahren zur Ansteuerung eines Mehraktorantriebs nach einem der vorhergehenden Ansprüche, 6. A method for controlling a multi-actuator drive according to one of the preceding claims,

dadurch gekennzeichnet,- dass die Signalhöhe der zyklisch an den Aktoren anliegenden Ansteuersignale je Ansteuerkanal am Anfang und am Ende eines Zyklus nahezu gleiche, bzw. vorzugsweise identische Werte aufweist, um so einen Sprung in der Bewegung der Aktoren bei einer Zykluswiederholung zu vermeiden .  characterized in that - the signal level of the cyclically applied to the actuators control signals per control channel at the beginning and at the end of a cycle has almost the same, or preferably identical values, so as to avoid a jump in the movement of the actuators in a cycle repetition.

7. Verfahren nach einem der vorangehenden Ansprüche, 7. The method according to any one of the preceding claims,

dadurch gekennzeichnet, characterized,

dass eine Positionssensorik die Abweichungen des Läufers von der Sollposition feststellt und wahlweise über die Zyklusdauer der zyklisch an den Aktoren anliegenden Ansteuerkurven oder einer Ausgleichsbewegung oder einer Kombination beider Parameter die Abweichung kompensiert. a position sensor detects the deviations of the rotor from the desired position and optionally compensates for the deviation over the cycle duration of the control curves applied cyclically to the actuators or a compensation movement or a combination of both parameters.

8. Verfahren nach einem der vorhergehenden Ansprüche, 8. The method according to any one of the preceding claims,

dadurch gekennzeichnet, dass characterized in that

für eine Bewegungsrichtungsumkehr des Läufers die Ansteuersignale um eine Signalamplitude gespiegelt werden, wobei die gespiegelten Signale for a movement direction reversal of the rotor, the drive signals are mirrored by a signal amplitude, wherein the mirrored signals

vorzugsweise nicht sprunghaft angelegt werden, sondern durch eine zeitliche, gleichmäßige Anpassung der Signale zum gespiegelten Signalwert, wobei vorzugsweise die Summe der vorzeichenbehafteten Signaländerungen gleich Null, ist und damit die resultierenden Bewegungen der beweglichen Preferably, not by leaps and bounds, but by a temporal, uniform adaptation of the signals to the mirrored signal value, wherein preferably the sum of the signed signal changes is equal to zero, and thus the resulting movements of the movable

Komponente nahezu Null werden . Component will be close to zero.

9. Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 7, 9. The method according to any one of claims 1 to 7,

dadurch gekennzeichnet, dass  characterized in that

für jede Bewegungsrichtung des Läufers ein eigener Satz an Ansteuerkurven vorliegt, und bei Bewegungsrichtungswechel von einem ersten Satz auf einen zweiten Satz gewechselt wird, wobei der Wechsel der Signale vorzugsweise nicht sprunghaft, sondern durch eine zeitliche, gleichmäßige Anpassung der Signale zum neuen Signalwert erfolgt, wobei vorzugsweise die Summe der vorzeichenbehafteten Signaländerungen gleich Null ist und damit die  for each direction of movement of the rotor, a separate set of control curves is present, and is changed in movement direction change from a first sentence to a second sentence, the change of signals preferably not abruptly, but by a temporal, uniform adaptation of the signals to the new signal value, wherein Preferably, the sum of the signed signal changes is zero and thus the

resultierenden Bewegungen der beweglichen Komponente nahezu Null werden .  resulting movements of the movable component are almost zero.

10. Verfahren nach einem der Ansprüche 8 oder 9, 10. The method according to any one of claims 8 or 9,

dadurch gekennzeichnet, dass characterized in that

während eines Richtungswechsels eine Ausgleichsbewegung in die gewünschte Bewegungsrichtung durchgeführt wird, so dass schon während des zeitlichen Wechsels der Richtung über die angelegten Kurvenformen ein gewünschte Bewegungsrichtung des Läufers zu erzielen ist. during a change of direction, a compensating movement is carried out in the desired direction of movement, so that a desired direction of movement of the rotor can be achieved even during the time change of direction over the applied curve shapes.

11. Verfahren nach einem der vorhergehenden Ansprüche, 11. The method according to any one of the preceding claims,

dadurch gekennzeichnet, dass characterized in that

währenden eines Einschaltvorganges, einer initialen Ansteuerung oder zu B g inn einer Bew^egung die an die Aktoren anliegenden Signöle allmählich auf einen Zielwert gebracht Werden, wobei die Summe der vorzeichenbehafteten Signaländerungen dabei vorzugsweise gleich Null und damit die resultierenden Bewegungen der beweglichen Komponente nahezu Null ist. ending of a switch-on operation, an initial activation or B g inn a Bew ^{e is} the voltage applied to the actuators Sign oils supply gradually brought to a target value, the sum of the signed signal changes there is preferably equal to zero and therefore the resultant movement of the movable component is almost zero ,

12. Verfahren nach einem der Ansprüche 4 bis 11, 12. The method according to any one of claims 4 to 11,

dadurch gekennzeichnet, dass characterized in that

die Ausgleichsbewegung durch ein Steuersignal erzeugt wird, welches an einen zum Mehrakttorantriebspaket in Reihe liegenden Aktor angelegt wird. the compensating movement is generated by a control signal applied to an actuator in series with the multi-actuator drive package.