WO2009052819A3 - Système optique adaptable - Google Patents

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WO2009052819A3 PCT/DE2008/001776 DE2008001776W WO2009052819A3 WO 2009052819 A3 WO2009052819 A3 WO 2009052819A3 DE 2008001776 W DE2008001776 W DE 2008001776W WO 2009052819 A3 WO2009052819 A3 WO 2009052819A3
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Stefan Franz
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Abstract

L'invention concerne un système optique adaptable et a pour but d'obtenir un système actif, peu sensible aux perturbations, au moyen duquel il est possible de faire varier différemment des propriétés de reproduction thermiquement dépendantes, afin de pouvoir compenser des oscillations de température dans un large éventail de température. Le système optique adaptable renferme, dans au moins une forme d'exécution, au moins un composant optique constitué par un matériau à indice de réfraction et/ou à coefficient de dilatation thermiquement dépendant, et des moyens d'introduire un gradient de température dans le système optique, sous forme de différence de température entre des composants optiques ou dans au moins un composant optique. L'invention est caractérisée en ce que, du fait des gradients de température introduits, on peut faire varier la réfringence ou l'état de correction du système optique, en effectuant une redistribution de la quantité de chaleur, directement dans un composant optique et/ou un échange de la quantité de chaleur entre des composants optiques. Une variante particulièrement avantageuse sur le plan énergétique consiste à combiner des éléments de refroidissement et des éléments chauffants.
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Families Citing this family (15)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE102011005840A1 (de) * 2011-03-21 2012-09-27 Carl Zeiss Smt Gmbh Steuerbare Mehrfachspiegelanordnung, optisches System mit einer steuerbaren Mehrfachspiegelanordnung sowie Verfahren zum Betreiben einer steuerbaren Mehrfachspiegelanordnung
DE102011084117A1 (de) 2011-10-07 2013-04-11 Carl Zeiss Smt Gmbh Reflektives optisches Element für den EUV-Wellenlängenbereich, Verfahren zur Erzeugung und zur Korrektur eines solchen Elements, Projektionsobjektiv für die Mikrolithographie mit einem solchen Element und Projektionsbelichtungsanlage für die Mikrolithographie mit einem solchen Projektionsobjektiv
US9606419B2 (en) 2014-03-21 2017-03-28 Fundació Institut De Ciències Fotòniques Adaptive photothermal lens
US10274648B2 (en) 2014-05-28 2019-04-30 Fundació Institut De Ciències Fotòniques Adaptive thermal micro lens
DE102015116962A1 (de) * 2015-10-06 2017-04-06 Connaught Electronics Ltd. Kamera mit einer Linse und einer Heizeinheit zum Heizen der Linse, und Kraftfahrzeug
GB201703356D0 (en) * 2017-03-02 2017-04-19 Cambridge Mechatronics Ltd SMA actuator for zoom camera OIS
CN107272188B (zh) * 2017-07-31 2020-03-10 信利光电股份有限公司 一种变焦镜头及电子设备
DE102017217121A1 (de) * 2017-09-26 2019-03-28 Robert Bosch Gmbh Anordnung eines optischen Systems und Temperierungsverfahren
CN107948513A (zh) * 2017-11-30 2018-04-20 信利光电股份有限公司 一种变焦摄像模组及其变焦方法
DE102018211596A1 (de) 2018-07-12 2020-01-16 Carl Zeiss Smt Gmbh Verfahren zur Herstellung eines reflektierenden optischen Elementes einer Projektionsbelichtungsanlage und reflektierendes optisches Element für eine Projektionsbelichtungsanlage, Projektionsobjektiv und Projektionsbelichtungsanlage
TW202022411A (zh) * 2018-10-09 2020-06-16 美商康寧公司 液態透鏡
DE102019132003A1 (de) * 2019-04-12 2020-10-15 Jenoptik Optical Systems Gmbh Optische Einheit und Verfahren zum Betreiben einer optischen Einheit
DE102020203750A1 (de) 2020-03-24 2021-09-30 Carl Zeiss Smt Gmbh Vorrichtung zur Erfassung einer Temperatur, Anlage zur Herstellung eines optischen Elementes und Verfahren zur Herstellung eines optischen Elementes
DE102022200976A1 (de) 2022-01-31 2023-01-05 Carl Zeiss Smt Gmbh Kalibrierkörper und Verfahren zur Kalibrierung
DE102022210037A1 (de) 2022-09-23 2024-03-28 Carl Zeiss Smt Gmbh Anordnung zum Tempern mindestens eines Teilbereichs eines optischen Elementes

Citations (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4872743A (en) * 1983-04-18 1989-10-10 Canon Kabushiki Kaisha Varifocal optical element
EP0678768A2 (fr) * 1994-04-22 1995-10-25 Canon Kabushiki Kaisha Appareil de pose par projection et procédé pour la fabrication d'un microdispositif
EP0965871A1 (fr) * 1998-06-20 1999-12-22 Carl Zeiss Procédé pour la correction des défauts optiques asymètriques en rotation
EP1376192A2 (fr) * 2002-06-20 2004-01-02 Nikon Corporation Optique adaptive utilisant plusieurs actionneurs pour deformer de manière continue un miroir déformable
JP2005140999A (ja) * 2003-11-06 2005-06-02 Nikon Corp 光学系、光学系の調整方法、露光装置、および露光方法
DE102005062401A1 (de) * 2005-12-23 2007-06-28 Carl Zeiss Smt Ag Vorrichtung zur Variation der Abbildungseigenschaften eines Spiegels

Family Cites Families (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4505535A (en) 1982-02-06 1985-03-19 Barr & Stroud Limited Infrared objective lens systems
JPS6197608A (ja) 1984-10-17 1986-05-16 Canon Inc レンズ保持部
GB9809739D0 (en) 1998-05-08 1998-07-08 Pilkington Perkin Elmer Ltd Afocal telescope
DE19956353C1 (de) * 1999-11-24 2001-08-09 Zeiss Carl Optische Anordnung
JP2005062632A (ja) 2003-08-19 2005-03-10 Konica Minolta Opto Inc レンズ装置
DE102006059091B4 (de) * 2005-12-16 2011-03-31 Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V. Mikrooptisches reflektierendes Bauelement und dessen Verwendung

Patent Citations (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4872743A (en) * 1983-04-18 1989-10-10 Canon Kabushiki Kaisha Varifocal optical element
EP0678768A2 (fr) * 1994-04-22 1995-10-25 Canon Kabushiki Kaisha Appareil de pose par projection et procédé pour la fabrication d'un microdispositif
EP0965871A1 (fr) * 1998-06-20 1999-12-22 Carl Zeiss Procédé pour la correction des défauts optiques asymètriques en rotation
EP1376192A2 (fr) * 2002-06-20 2004-01-02 Nikon Corporation Optique adaptive utilisant plusieurs actionneurs pour deformer de manière continue un miroir déformable
JP2005140999A (ja) * 2003-11-06 2005-06-02 Nikon Corp 光学系、光学系の調整方法、露光装置、および露光方法
DE102005062401A1 (de) * 2005-12-23 2007-06-28 Carl Zeiss Smt Ag Vorrichtung zur Variation der Abbildungseigenschaften eines Spiegels

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