WO2008128929A1 - Contact stylus measuring device with probe magazine for surface and contour measurements - Google Patents
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- WO2008128929A1 WO2008128929A1 PCT/EP2008/054559 EP2008054559W WO2008128929A1 WO 2008128929 A1 WO2008128929 A1 WO 2008128929A1 EP 2008054559 W EP2008054559 W EP 2008054559W WO 2008128929 A1 WO2008128929 A1 WO 2008128929A1
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- G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
- G01B21/00—Measuring arrangements or details thereof, where the measuring technique is not covered by the other groups of this subclass, unspecified or not relevant
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- G01B21/04—Measuring arrangements or details thereof, where the measuring technique is not covered by the other groups of this subclass, unspecified or not relevant for measuring length, width, or thickness by measuring coordinates of points
- G01B21/047—Accessories, e.g. for positioning, for tool-setting, for measuring probes
Definitions
- Stylus measuring device with stylus magazine for surface and contour measurement
- the invention relates to a stylus measuring device for performing stylus measuring operations.
- a surface measuring device which detects surface shapes according to the Tastroughbacter.
- the measuring device has a housing in which a feed device is arranged. This serves to move a Tastarmcken in a horizontal direction.
- the Tastarmó is pivotally mounted about a transverse thereto horizontal axis.
- On the Tastarmong a sensing arm can be coupled, which is held by magnets on the Tastarmong.
- a probe tip is arranged, which is dragged over the workpiece surface. The resulting deflections of the
- Tastarms are registered by a measuring system and converted into measured values.
- the sensing arm is removable as needed and replaceable by other sensing arms.
- This document also discloses the measuring head of a three-dimensional form measuring probe, which has a replaceable stylus.
- Such measuring heads are moved for the point-by-point scanning of object surfaces in space in a 3-dimensinal manner. It is known in practice to provide stands on corresponding measuring machines, on which different stylus pins can be deposited and picked up at different locations arranged one above the other.
- a probe magazine for a coordinate measuring machine is known.
- the probe magazine can be pivoted into and out of the measuring volume of the coordinate measuring device by a parallelogram guide.
- the probe magazine has a holder designed in the manner of a rake, on which various buttons of the coordinate measuring device can be suspended.
- the coordinate measuring machine can thus pick up buttons from the magazine or store them on the magazine when a button change is pending.
- a probe change is easily feasible because of the given in a 3D coordinate meter mobility of the probe in three spatial directions. Things are different in the case of stylus measuring instruments, which are used to capture the fine shape of an object. To make a measurement, e.g. for roughness or ripple measurement, only a 2-dimensional profile cut measurement is performed over shorter portions of the functional surfaces, e.g. is explained in DE 44 37 033 C2. To perform the measurement, the stylus instrument has a single given
- the stylus measuring device comprises a device for performing a stylus measurement.
- This includes at least one Tastarmhalter which is pivotally mounted about a pivot axis, and having a coupling device and at least two sensing arms, which are connectable to the coupling device. At least one of the two sensing arms is connected to perform a measurement with the coupling device.
- an advancing device is provided which serves to move the object to be subjected to the surface and / or contour measurement and the scanning arm relative to one another in such a way that the stylus tip of the scanning arm is guided along an intended scanning line over the surface of the object during the measured values be recorded.
- the said elements are considered as stylus device regardless of whether they are enclosed by a separate housing and thus form a stand-alone device or part of another device.
- the Tastrough-measuring device further includes a magazine that is assigned to the stylus device to connect as needed one of the probe arms to the coupling device or to separate from this.
- the magazine can thus be connected to the stylus unit or separated from it in a simple and fast way, different scanning arms.
- the magazine is an active magazine, which is such that it can replace styli without the interposition of a separate gripper. It may also be adapted to replace only the buttons, eg to change a roughness button against a probe arm or to replace the probe tip on a probe arm.
- It preferably contains a movable carrier with several feeler arms. By moving the carrier preferably parallel to the pivot axis of the bearing device of the scanning arm, and optionally by an example vertical additional movement and / or by an additional movement in Tastarmlnature, sensing arms can be selected and changed.
- the magazine is preferably designed so that it can accommodate different scanning arms, which are suitable for different Tastschnittmessauf synthetic. These are primarily different lengths of probe arms, styli with differently shaped stylus tips and Tast redesignn as well as stylus arms that realize different measurement principles.
- different scanning arms can be provided, which are adapted to scan the contour of the workpiece surface.
- probes for other types of scanning for example for roughness measurements, can be provided in the magazine.
- sensing arms can be provided, the probe tip has a fineness sufficient for roughness measurement.
- roughness scanners with drag skids can be provided which have a roughness probe tip with its own measuring system internally.
- optical buttons or even other measuring principles can be provided.
- the magazine preferably has a number of Tastarm memory locations, which are arranged in a row next to each other.
- the Tastarm memory locations are preferably arranged so that the terminals of the Tastarme lie on a straight horizontal line. But it is also possible to keep the probe arms in the magazine in non-parallel alignment and to arrange in a row that does not follow a straight line and / or is not arranged horizontally.
- the probe arms are preferably held substantially parallel to each other in the Tastarm memory locations. Preferably, they occupy a space that is above the active, i. is located on the coupling device connected Tastarms. On the one hand, the path from the magazine to the coupling device is short, so that a rapid Tastarm Touch is possible. On the other hand, the magazine disturbs very little here. In a further embodiment, the magazine and the stylus device can be moved vertically relative to each other, so that the magazine can be kept ready at a position that does not disturb the measurement. This is preferably above the workpiece or object.
- the magazine preferably holds the probe arms in the same orientation in which they are also to be connected to the coupling device.
- the Tastarm pizza is thereby effected by simple linear movements.
- the magazine preferably has at least one carrier with receiving locations for the probe arms, which is movable transversely to the Tastarmlteilsraum.
- a corresponding adjusting device is preferably provided in the magazine, so that this can be kept eg on a tripod otherwise at rest or eg only vertically adjustable.
- the magazine preferably has receiving locations designed as a gripper. Thus eliminates an additional gripper about the transport of the probe arms from the magazine to the coupling device and vice versa.
- the receiving locations of the magazine are preferably active devices, for example, comprise a holder which is movably mounted about an axis against a stop.
- the axis is preferably a vertical axis.
- coupling devices which are designed as magnetic clutches can be engaged and released in a simple and efficient manner by a movement of the magazine.
- the probe arm By a directed transversely to the probe arm longitudinal movement of the magazine, the probe arm can be levered away from his magnetically held seat and thus solved.
- the stylus measuring device also comprises a control device which controls the Tastarm crisp.
- a control device which controls the Tastarm crisp.
- it can take into account the specific characteristics of the respective active probe arm when processing the measurements provided by the measuring system.
- Such speci fi cations include, for example, probe arm length, probe tip length, probe body shape, type of scan (optical or mechanical, etc.), or the like.
- RFID devices are known as RFID chips. For example, they may be glued to the sensing arm at a suitable location or otherwise attached.
- the control device may comprise a transmitter device which is set up for communication with the RFID device. In this way, contactless each of the currently connected to the coupling device Tastarm can be identified.
- control device in such a way that it automatically takes into account the respective active probe arm in the evaluation of the measured value.
- FIG. 1 is a perspective view of a stylus measuring device
- FIG. 2 shows the stylus measuring device according to FIG. 1 with a stylus magazine with the hood removed in a naturalistic perspective view;
- FIG. 3 shows the stylus measuring device according to FIG. 2 in another naturalistic perspective view
- FIG. 5 shows a schematic illustration of a stylus device
- FIG. 6 a perspective view of a sensing arm and a coupling device
- FIG. 7 shows the probe arm according to FIG. 5 taken from a gripper part of a probe arm storage area of the probe arm magazine in a first perspective view
- Figure 8 shows the elements of Figure 6 in another perspective view
- FIG. 1 illustrates a stylus measuring device 1 which has a stylus device 2 and a stylus magazine 3. Both are each supported by a tripod 4, 5 extending vertically upward from a base 6, respectively.
- both the stylus device 2 and the Tastarmmagazin 3 at their columns or tripods 4, 5 are adjustable in the vertical direction.
- the stylus device 2 has a stylus holder 7, to which a stylus arm 8 is connected.
- the sensing arm 8 extends approximately horizontally away from the Tastarmhalter 7 and carries at its free end a Tastspitze 9. This protrudes from the end of the sensing arm 8 down and serves to descend a workpiece surface.
- the Tastarmhalter 7 is, as Figure 5 shows schematically, pivotally mounted.
- a corresponding bearing device 10 defines a horizontal, in Figure 5 perpendicular to the plane standing pivot axis, which extends transversely to the sensing arm 8.
- a force generator 11 is connected to the Tastarm 8 a certain desired torque can be issued so that the probe tip 7 presses with a defined force against the surface of the object to be measured.
- the force generator 11 may be a spring or an electromagnetic device, as indicated by a coil in FIG.
- a measuring system 12 is provided which precisely detects the deflection of the scanning arm 8.
- the bearing device 10, the force generator 11 and the measuring system 12 are preferably arranged on a common carrier 13, which is preferably approximately horizontally movable on a rail 14 and together with this forms a linear guide device 15.
- This is associated with a not further illustrated adjusting drive, which is adapted to the carrier 13 with a ge desired speed along the rail 14 to move, while the measuring system 12 detects the deflection of the sensing arm 8.
- the probe arm 8 is releasably held on the Tastarmhalter 7. This purpose is served by a coupling device 16, as can be seen in FIG.
- the coupling device comprises a support piece 17 with a central, preferably conical recess 18. Around the recess 18 are e.g. at 120 ° - angular intervals steel pin pairs 19 are inserted, the reference surfaces for connecting the probe arm 8 form. At the bottom of the recess 18, a permanent magnet 20 is preferably arranged.
- the sensing arm has a wall portion 21, from which a conical projection 22 rises in the lateral direction.
- This is e.g. provided with a ferromagnetic insert 23, wherein the sensing arm 8 otherwise consists of non-magnetic material.
- suitable body such as balls 24 are inserted into the wall portion 21 for aligning the sensing arm.
- the balls 24 fit between the steel pin pairs 19. It should be noted that instead of the balls and steel pins, other means may be provided to ensure a precise alignment of the sensing arm 8 to the Tastarmhalter 7.
- the scanning arm 8 as is apparent in particular from Figure 9, on the other side of the wall portion 21 a mushroom-shaped receiving head 25, which may be stored stationary or rotatable. It has a disc-shaped end and a shaft whose diameter is smaller than that of the shaft. Below the receiving head 25, a receiving pin 26 is provided whose diameter is slightly smaller than the diameter of the shaft.
- the Tastarmmagazin 3 associated with the Tastsammlung-measuring device 1 is apparent from Figures 2 and 3 in more detail. It serves to hold a plurality of feeler arms 8a, 8b, 8c, 8d, 8e, 8f, 8g, etc. in passive position ready to be connected to the coupling means 16 of the Tastroughs réelles 2, if necessary.
- the Tastarmmagazin 3 has for receiving the various sensing arms 8 to 8g on a transversely movable to the Tastarm 8 carrier 27, which is associated with a guide means, such as a linear guide 28. This is illustrated schematically for clarity in FIG.
- the linear guide 28 is associated with an actuator 29, which causes a targeted and controlled adjustment of the carrier 27 in the Y direction.
- the carrier 27 On the carrier 27, the number of scanning arms to be picked up corresponding to a larger number of Tastarm memory locations 30 a, 30 b, 30 c, etc. are arranged. These are essentially identical to one another. To illustrate their structure, reference is made to FIG. 4 in conjunction with FIGS. 7 to 9:
- Each Tastarm storage space 30 has a Tastarmgreifer 31, which is essentially formed by a flat, extending in the longitudinal direction sheet metal strip whose flat sides are vertically oriented. It is provided at one end with an upwardly open, for example, V-shaped cutout 32. At its other end, it has a holding portion 33 bent at right angles, with which the gripper 31 is fastened to a slide 34.
- the slider 34 is slidably mounted on the carrier 27 in the X direction.
- Figures 2 and 3 show that each sensing arm location 30 (30a, 30b, 30c, etc.) has a gripper 31 (31a, 31b, 31c, etc.) and a slider 34 (34a, 34b, 34c, etc.).
- the slides 34 are provided at their ends with a groove 35 ( Figure 4). All grooves 35 are aligned. They are associated with a selection finger 36, which can be moved at least in the Y direction in order to engage with one of the slides 30. men.
- the selector finger 36 is associated with an actuator 37 to move the respectively coupled slider 34 in the X direction. Alternatively, each slider may have its own drive.
- a Z-setting device is provided to at least the gripper 31, if necessary, but also to move the entire Tastarmmagazin 3 in the Z direction.
- the gripper 31 is additionally mounted pivotably about a vertical axis 38.
- it can have a resiliently formed section 39 which acts like a spring hinge and is formed by a cutout in the vicinity of the holding section 33.
- the gripper 31 abuts, for example, on the slider 34, but it can be urged in the opposite direction resiliently away from this and thereby pivots about the vertical axis 38.
- the stylus device 2 and the Tastarmmagazin subject to a control device, which is not further illustrated and is formed for example by a microcomputer or a PC. In particular, it operates all actuators in order to move the scanning arm magazine 3 in the X, Y and Z directions in a controlled manner. In addition, it can control the measurement performed by the stylus instrument 2 and, if appropriate, convert signals emitted by the measuring system 12 into measured values.
- the sensing arms 8 (8a, 8b, 8c, etc.) may each be provided with an RFID chip 41 ( Figure 6) which communicates with a corresponding transmitter means in or on the stylus instrument 2 or in or on the control means.
- the RFID chip can uniquely identify the probe arm 8, so that the control device can check in each case which probe arm is active. This can be done, for example, by arranging the transmitter device for communication with the RFID chip 41 in the immediate vicinity of the coupling device 16.
- the stylus measuring device 1 described so far operates as follows:
- the probe arm 8 is attached to the stylus instrument 2. Measurements can be made in a conventional manner by lowering the stylus instrument 2 so far that the stylus tip 9 touches a workpiece surface. By activating the feed device, which moves the carrier 13 along the rail 14, the probe tip 9 is dragged over the object or workpiece surface. Occurring deflections of the scanning arm 8 are detected by the measuring system 12 and registered by the control device or further processed. During the measurement, the force generator 11 can generate a defined contact force.
- the probe arm 8 is to be released from the Tastarmhalter 7.
- the Tastarmmagazin 3 is positioned in the Z direction so that all Tastarm storage locations 30 are slightly below the coupling means 16.
- the carrier 27 is then moved to a position in which the corresponding empty gripper 31 is located on the sensing arm 8.
- the gripper 31 reaches the position illustrated in FIG. 9, in which the cutout 32 stands directly under the receiving head 25 and the locating pin 26.
- a relative movement between the stylus device 2 and the Tastarmmagazin 3 in the Z direction is effected.
- the gripper engages with the sensing arm 8, as shown in FIG.
- the cutout 32 receives the receiving head and the receiving pin 26. Due to the flat design of the wall section 21 and of the gripper 31 and because the receiving head 25 engages behind the edges of the cutout 32, a bending in the lateral direction is provided. rigid connection between the flexible gripper 31 and the sensing arm 8 made.
- the carrier 27 is now adjusted somewhat in the Y direction transverse to the probe arm 8.
- the flexible gripper 31 pivots about its pivot axis 38, wherein this pivoting movement is also communicated to the sensing arm 8.
- the sensing arm 8 is now held exclusively by the gripper 31.
- the slider 34 is retracted to its rest position. It can now be moved by changing the carrier 27 in the Y direction of the probe arm to be loaded, for example, the sensing arm 8b, in change position.
- the sensing arm 8b is held in the gripper 31b.
- the sensing arm 8b in changing position of the selection finger 36 engages in the slider 34b. He is now moved in the X direction. Thus, the probe arm is with its wall portion immediately in front of the coupling means 16. By short movements of the carrier 27 in the Y direction, the insert 31 is so far approximated to the permanent magnet 20, that this attracts and the scanning arm 8 holds.
- the gripper 31b is now moved to the rest position by first being lowered briefly in the Z direction, in order to release the scanning arm 8b. Thereafter, its slider 34 is retracted in the Z direction.
- the Tastarmmagazin 3 can remain in the position now occupied or driven away in the Z direction upwards to impede the subsequent measurement as little as possible.
- Tastrough-measuring device which is particularly adapted for surface and contour measurement of objects. It includes a stylus device and a Tastarmmagazin that is set up independently To set up Tastarme to the appropriate interface of Tastrough réelles and remove it.
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Abstract
The invention relates to a contact stylus measuring device, which is equipped particularly for the measurement of surfaces and contours of objects, comprising a contact stylus instrument and a magazine, which is equipped to automatically apply and remove sensing arms to and from the relevant contact points of the contact stylus instrument.
Description
Tastschnitt-Messeinrichtung mit Tastermagazin zur Oberflächen- und KonturmessungStylus measuring device with stylus magazine for surface and contour measurement
Die Erfindung betrifft eine Tastschnitt-Messeinrichtung zur Durchführung von Tastschnitt-Messvorgängen.The invention relates to a stylus measuring device for performing stylus measuring operations.
Aus der DE 196 17 023 Cl ist ein Oberflächenmessgerät bekannt, das Oberflächenformen nach dem Tastschnittverfahren erfasst. Das Messgerät weist ein Gehäuse auf, in dem eine Vorschubeinrichtung angeordnet ist. Diese dient dazu, einen Tastarmträger in einer Horizontalrichtung zu bewegen. Der Tastarmträger ist um eine quer dazu stehende Horizontalachse schwenkbar gelagert. An dem Tastarmträger kann ein Tastarm angekoppelt werden, der durch Magnete an dem Tastarmträger gehalten ist. An dem freien Ende des Tastarms ist eine Tastspitze angeordnet, die über die Werkstückoberfläche geschleppt wird. Die sich dadurch ergebenden Auslenkungen des
From DE 196 17 023 Cl a surface measuring device is known which detects surface shapes according to the Tastschnittverfahren. The measuring device has a housing in which a feed device is arranged. This serves to move a Tastarmträger in a horizontal direction. The Tastarmträger is pivotally mounted about a transverse thereto horizontal axis. On the Tastarmträger a sensing arm can be coupled, which is held by magnets on the Tastarmträger. At the free end of the probe arm a probe tip is arranged, which is dragged over the workpiece surface. The resulting deflections of the
Tastarms werden von einem Messsystem registriert und in Messwerte umgesetzt.Tastarms are registered by a measuring system and converted into measured values.
Der Tastarm ist bedarfsweise abnehmbar und durch andere Tastarme ersetzbar.The sensing arm is removable as needed and replaceable by other sensing arms.
Diese Druckschrift offenbart auch den Messkopf eines dreidimensionalen Formmesstasters, der einen auswechselbaren Taststift aufweist. Solche Messköpfe werden zum punktweisen Abtasten von Objektoberflächen im Raum 3-dimensinal bewegt. Es ist aus der Praxis bekannt, an entsprechenden Messmaschinen Ständer vorzusehen, an denen an verschiedenen übereinander angeordneten Stellen verschieden Taststifte abgelegt und aufgenommen werden können.This document also discloses the measuring head of a three-dimensional form measuring probe, which has a replaceable stylus. Such measuring heads are moved for the point-by-point scanning of object surfaces in space in a 3-dimensinal manner. It is known in practice to provide stands on corresponding measuring machines, on which different stylus pins can be deposited and picked up at different locations arranged one above the other.
Aus der DE 10 2005 036 928 B3 ist ein Tastermagazin für ein Koordinatenmessgerät bekannt. Das Tastermagazin kann durch eine Parallelogrammführung in das Messvolumen des Koor- dinatenmessgeräts hinein und aus diesem heraus geschwenkt werden. Das Tastermagazin weist einen nach Art eines Rechens ausgebildeten Halter auf, an dem verschiedene Taster des Ko- ordinatenmessgeräts aufgehängt werden können. Das Koordinatenmessgerät kann somit Taster aus dem Magazin aufnehmen oder an dem Magazin ablegen, wenn ein Tasterwechsel ansteht.From DE 10 2005 036 928 B3 a probe magazine for a coordinate measuring machine is known. The probe magazine can be pivoted into and out of the measuring volume of the coordinate measuring device by a parallelogram guide. The probe magazine has a holder designed in the manner of a rake, on which various buttons of the coordinate measuring device can be suspended. The coordinate measuring machine can thus pick up buttons from the magazine or store them on the magazine when a button change is pending.
Ein Tasterwechsel ist wegen der bei einem 3D-Koordina- tenmessgerät naturgemäß gegebenen Beweglichkeit des Tastkopfs in drei Raumrichtungen problemlos durchführbar. Anders liegen die Dinge bei Tastschnitt-Messgeräten, die zur Erfassung der Feingestalt eines Objekts dienen. Zur Durchführung einer Messung, z.B. zur Rauheits- oder Welligkeitsmessung wird nur eine 2-dimensionale Profilschnittmessung über kürzere Teilbereiche der Funktionsflächen durchgeführt, wie dies z.B. in der DE 44 37 033 C2 erläutert ist. Zur Durchführung der Messung weist das Tastschnittgerät eine einzige gegebene Vor-A probe change is easily feasible because of the given in a 3D coordinate meter mobility of the probe in three spatial directions. Things are different in the case of stylus measuring instruments, which are used to capture the fine shape of an object. To make a measurement, e.g. for roughness or ripple measurement, only a 2-dimensional profile cut measurement is performed over shorter portions of the functional surfaces, e.g. is explained in DE 44 37 033 C2. To perform the measurement, the stylus instrument has a single given
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schubrichtung auf, in der es die Tastspitze des schwenkbaren etwa horizontalen Tastarms über ein kurzes Stück (z.B. 5,6 mm) der Objektoberfläche schleppt. Eine 3D-Beweglichkeit des Tastarms ist nicht gegeben.- 2 - thrust direction in which it tows the tip of the swiveling approximately horizontal probe arm over a short distance (eg 5.6 mm) of the object surface. A 3D-mobility of the probe arm is not given.
Davon ausgehend ist es Aufgabe der Erfindung, eine Tastschnitt-Messeinrichtung mit vereinfachtem Tastarmwechsel zu schaffen .On this basis, it is an object of the invention to provide a Tastschnitt-measuring device with simplified Tastarmwechsel.
Diese Aufgabe wird mit der Tastschnitt-Messeinrichtung nach Anspruch 1 gelöst:This object is achieved with the stylus measuring device according to claim 1:
Die erfindungsgemäße Tastschnittmesseinrichtung umfasst eine Einrichtung zur Durchführung einer Tastschnitt-Messung. Zu dieser gehören mindestens ein Tastarmhalter, der um eine Schwenkachse schwenkbar gelagert ist, und eine Kupplungseinrichtung aufweist sowie mindestens zwei Tastarme, die an die Kupplungseinrichtung anschließbar sind. Wenigstens einer der beiden Tastarme ist zur Durchführung einer Messung mit der Kupplungseinrichtung verbunden. Des Weiteren ist eine Vorschubeinrichtung vorgesehen, die dazu dient, das der Oberflächen- und/oder Konturmessung zu unterziehende Objekt und den Tastarm so relativ zueinander zu bewegen, dass die Tastspitze des Tastarms entlang einer vorgesehenen Abtastlinie über die Oberfläche des Objekts geführt wird während die Messwerte aufgenommen werden. Die genannten Elemente werden als Tastschnittgerät angesehen und zwar unabhängig davon, ob sie von einem eigenständigen Gehäuse umschlossen sind und somit ein eigenständiges Gerät bilden oder Teil eines anderen Geräts sind.The stylus measuring device according to the invention comprises a device for performing a stylus measurement. This includes at least one Tastarmhalter which is pivotally mounted about a pivot axis, and having a coupling device and at least two sensing arms, which are connectable to the coupling device. At least one of the two sensing arms is connected to perform a measurement with the coupling device. Furthermore, an advancing device is provided which serves to move the object to be subjected to the surface and / or contour measurement and the scanning arm relative to one another in such a way that the stylus tip of the scanning arm is guided along an intended scanning line over the surface of the object during the measured values be recorded. The said elements are considered as stylus device regardless of whether they are enclosed by a separate housing and thus form a stand-alone device or part of another device.
Zu der erfindungsgemäßen Tastschnitt-Messeinrichtung gehört des Weiteren ein Magazin , das dem Tastschnittgerät zugeordnet ist, um bedarfsweise einen der Tastarme an die Kupplungseinrichtung anzuschließen oder von dieser zu trennen.
Mit dem Magazin können somit auf einfache schnelle Weise unterschiedliche Tastarme an das Tastschnittgerät angeschlossen oder von diesem getrennt werden. Vorzugsweise ist das Magazin ein aktives Magazin, das so beschaffen ist, dass es ohne Zwischenschaltung eines gesonderten Greifers Tastarme auswechseln kann. Es Kann auch dazu eingerichtet sein, nur die Taster auszuwechseln, z.B. einen Rauheitstaster gegen einen Tastarm zu wechseln oder an einem Tastarm die Tastspitze auszuwechseln. Es enthält vorzugsweise einen verfahrbaren Träger mit mehreren Tastarmen. Durch Verfahren des Trägers vorzugsweise parallel zu der Schwenkachse der Lagereinrichtung des Tastarms, und gegebenenfalls durch eine z.B. vertikale Zusatzbewegung und/oder durch eine Zusatzbewegung in Tastarmlängsrichtung, können Tastarme ausgewählt und gewechselt werden .To the Tastschnitt-measuring device according to the invention further includes a magazine that is assigned to the stylus device to connect as needed one of the probe arms to the coupling device or to separate from this. The magazine can thus be connected to the stylus unit or separated from it in a simple and fast way, different scanning arms. Preferably, the magazine is an active magazine, which is such that it can replace styli without the interposition of a separate gripper. It may also be adapted to replace only the buttons, eg to change a roughness button against a probe arm or to replace the probe tip on a probe arm. It preferably contains a movable carrier with several feeler arms. By moving the carrier preferably parallel to the pivot axis of the bearing device of the scanning arm, and optionally by an example vertical additional movement and / or by an additional movement in Tastarmlängsrichtung, sensing arms can be selected and changed.
Das Magazin ist vorzugsweise so ausgebildet, dass es unterschiedliche Tastarme aufnehmen kann, die für unterschiedliche Tastschnittmessaufgaben geeignet sind. Dies sind in erster Linie verschieden lange Tastarme, Tastarme mit unterschiedlich geformten Tastspitzen und Tastkörpern sowie auch Tastarme, die unterschiedliche Messprinzipien verwirklichen. Beispielsweise können verschiedene Tastarme vorgesehen werden, die dazu eingerichtet sind, die Kontur der Werkstückoberfläche abzutasten. Des Weiteren können in dem Magazin Taster für andere Abtastarten, beispielsweise für Rauheitsmessungen vorgesehen werden. Z.B. können Tastarme vorgesehen werden, deren Tastspitze eine zur Rauheitsmessung ausreichende Feinheit hat. Des Weiteren können Rauheitstaster mit Schleppkufe vorgesehen werden, die intern eine Rauheitstastspitze mit eigenem Messsystem aufweisen. Des Weiteren können optische Taster oder noch andere Messprinzipien verwirklichende Taster vorgesehen werden.
Dazu weist das Magazin vorzugsweise eine Anzahl von Tastarm-Speicherplätzen auf, die in einer Reihe nebeneinander angeordnet sind. Die Tastarm-Speicherplätze sind dabei vorzugsweise so angeordnet, dass die Anschlüsse der Tastarme auf einer geraden horizontalen Linie liegen. Es ist aber auch möglich, die Tastarme in dem Magazin in nichtparalleler Ausrichtung zu halten und in einer Reihe anzuordnen, die keiner geraden Linie folgt und/oder die nicht horizontal angeordnet ist .The magazine is preferably designed so that it can accommodate different scanning arms, which are suitable for different Tastschnittmessaufgaben. These are primarily different lengths of probe arms, styli with differently shaped stylus tips and Tastkörpern as well as stylus arms that realize different measurement principles. For example, different scanning arms can be provided, which are adapted to scan the contour of the workpiece surface. Furthermore, probes for other types of scanning, for example for roughness measurements, can be provided in the magazine. For example, sensing arms can be provided, the probe tip has a fineness sufficient for roughness measurement. In addition, roughness scanners with drag skids can be provided which have a roughness probe tip with its own measuring system internally. Furthermore, optical buttons or even other measuring principles can be provided. For this purpose, the magazine preferably has a number of Tastarm memory locations, which are arranged in a row next to each other. The Tastarm memory locations are preferably arranged so that the terminals of the Tastarme lie on a straight horizontal line. But it is also possible to keep the probe arms in the magazine in non-parallel alignment and to arrange in a row that does not follow a straight line and / or is not arranged horizontally.
Die Tastarme sind in den Tastarm-Speicherplätzen vorzugsweise im Wesentlichen parallel zueinander gehalten. Vorzugsweise nehmen sie dabei einen Raum ein, der oberhalb des aktiven, d.h. an die Kupplungseinrichtung angeschlossenen Tastarms liegt. Einerseits ist der Weg vom Magazin zur Kupplungseinrichtung kurz, so dass ein schneller Tastarmwechsel möglich ist. Andererseits stört das Magazin hier sehr wenig. Bei einer weiter gebildeten Ausführungsform sind das Magazin und das Tastschnittgerät vertikal zueinander verfahrbar, so dass das Magazin an einer die Messung nicht störenden Stelle bereit gehalten werden kann. Dies ist vorzugsweise oberhalb des Werkstücks bzw. Objekts.The probe arms are preferably held substantially parallel to each other in the Tastarm memory locations. Preferably, they occupy a space that is above the active, i. is located on the coupling device connected Tastarms. On the one hand, the path from the magazine to the coupling device is short, so that a rapid Tastarmwechsel is possible. On the other hand, the magazine disturbs very little here. In a further embodiment, the magazine and the stylus device can be moved vertically relative to each other, so that the magazine can be kept ready at a position that does not disturb the measurement. This is preferably above the workpiece or object.
Das Magazin hält die Tastarme vorzugsweise in der gleichen Ausrichtung, in der sie auch an die Kupplungseinrichtung anzuschließen sind. Der Tastarmwechsel ist dadurch durch einfache Linearbewegungen zu bewirken.The magazine preferably holds the probe arms in the same orientation in which they are also to be connected to the coupling device. The Tastarmwechsel is thereby effected by simple linear movements.
Das Magazin weist vorzugsweise mindestens einen Träger mit Aufnahmeplätzen für die Tastarme auf, der quer zur Tastarmlängsrichtung verfahrbar ist. Eine entsprechende Verstelleinrichtung ist vorzugsweise im Magazin vorgesehen, so dass dieses z.B. an einem Stativ ansonsten in Ruhe oder z.B. nur vertikal verstellbar gehalten werden kann.
Das Magazin weist vorzugsweise als Greifer ausgebildete Aufnahmeplätze auf. Somit entfällt ein zusätzlicher Greifer etwa zum Transport der Tastarme von dem Magazin zu der Kupplungseinrichtung und umgekehrt. Vielmehr sind die Aufnahmeplätze des Magazins vorzugsweise aktive Einrichtungen, die beispielsweise einen Halter umfassen, der um eine Achse gegen einen Anschlag beweglich gelagert ist. Die Achse ist vorzugsweise eine Vertikalachse. Auf diese Weise können Kupplungseinrichtungen, die als Magnetkupplungen ausgebildet sind, auf einfache und effiziente Weise durch eine Bewegung des Magazins eingekuppelt oder auch gelöst werden. Durch eine quer zum Tastarm gerichtete Längsbewegung des Magazins kann der Tastarm von seinem magnetisch gehaltenen Sitz weg gehebelt und somit gelöst werden.The magazine preferably has at least one carrier with receiving locations for the probe arms, which is movable transversely to the Tastarmlängsrichtung. A corresponding adjusting device is preferably provided in the magazine, so that this can be kept eg on a tripod otherwise at rest or eg only vertically adjustable. The magazine preferably has receiving locations designed as a gripper. Thus eliminates an additional gripper about the transport of the probe arms from the magazine to the coupling device and vice versa. Rather, the receiving locations of the magazine are preferably active devices, for example, comprise a holder which is movably mounted about an axis against a stop. The axis is preferably a vertical axis. In this way, coupling devices which are designed as magnetic clutches can be engaged and released in a simple and efficient manner by a movement of the magazine. By a directed transversely to the probe arm longitudinal movement of the magazine, the probe arm can be levered away from his magnetically held seat and thus solved.
Vorzugsweise umfasst die Tastschnittmesseinrichtung außerdem eine Steuereinrichtung, die den Tastarmwechsel steuert. Außerdem kann sie die spezifischen Charakteristika des jeweils aktiven Tastarms bei der Verarbeitung der von dem Messsystem gelieferten Messwerte berücksichtigen. Solche Spe- zifika sind beispielsweise Tastarmlänge, Tastspitzenlänge, Tastkörperform, Art der Abtastung (optisch oder mechanisch usw.), oder dergleichen. Es ist auch möglich, zumindest einen, mehrere oder auch alle Tastarme mit einer RFID-Einrich- tung zu versehen (Hochfrequenzidentifikationseinrichtung) . Solche RFID-Einrichtungen sind als RFID-Chips bekannt. Sie können beispielsweise an einer geeigneten Stelle auf den Tastarm aufgeklebt oder sonst wie angebracht sein. Die Steuereinrichtung kann eine Transmittereinrichtung umfassen, die zur Kommunikation mit der RFID-Einrichtung eingerichtet ist. Auf diese Weise kann berührungslos der jeweils aktuell an die Kupplungseinrichtung angeschlossene Tastarm identifiziert werden. Es ist auch möglich, die Steuereinrichtung so auszubilden, dass sie auf diese Weise den jeweils aktiven Tastarm automatisch bei der Messwertauswertung berücksichtigt.
Weitere Einzelheiten vorteilhafter Ausführungsformen der Erfindung ergeben sich aus der Beschreibung, der Zeichnung oder Ansprüchen. Die Beschreibung beschränkt sich auf die Darstellung wesentlicher Aspekte der Erfindung und sonstiger Gegebenheiten. Die Zeichnung offenbart weitere Einzelheiten und ist zum Verständnis derselben in gewohnter Weise heranzuziehen .Preferably, the stylus measuring device also comprises a control device which controls the Tastarmwechsel. In addition, it can take into account the specific characteristics of the respective active probe arm when processing the measurements provided by the measuring system. Such speci fi cations include, for example, probe arm length, probe tip length, probe body shape, type of scan (optical or mechanical, etc.), or the like. It is also possible to provide at least one, several or even all of the scanning arms with an RFID device (high-frequency identification device). Such RFID devices are known as RFID chips. For example, they may be glued to the sensing arm at a suitable location or otherwise attached. The control device may comprise a transmitter device which is set up for communication with the RFID device. In this way, contactless each of the currently connected to the coupling device Tastarm can be identified. It is also possible to design the control device in such a way that it automatically takes into account the respective active probe arm in the evaluation of the measured value. Further details of advantageous embodiments of the invention will become apparent from the description, the drawings or claims. The description is limited to the presentation of essential aspects of the invention and other conditions. The drawing discloses further details and is to be used to understand the same in the usual way.
In der Zeichnung ist ein Ausführungsbeispiel der Erfindung veranschaulicht. Es zeigen:In the drawing, an embodiment of the invention is illustrated. Show it:
Figur 1 eine Tastschnitt-Messeinrichtung in perspektivischer Gesamtdarstellung,FIG. 1 is a perspective view of a stylus measuring device;
Figur 2 die Tastschnitt-Messeinrichtung nach Figur 1 mit einem Tastarmmagazin mit abgenommener Haube in einer naturalistischen Perspektivdarstellung,FIG. 2 shows the stylus measuring device according to FIG. 1 with a stylus magazine with the hood removed in a naturalistic perspective view;
Figur 3 die Tastschnitt-Messeinrichtung nach Figur 2 in einer anderen naturalistischen Perspektivdarstellung,FIG. 3 shows the stylus measuring device according to FIG. 2 in another naturalistic perspective view,
Figur 4 das Tastarmmagazin nach Figur 2 und 3 in einer funktionsorientierten Prinzipdarstellung,4 shows the Tastarmmagazin of Figure 2 and 3 in a function-oriented schematic diagram,
Figur 5 eine Prinzipdarstellung eines Tastschnittgeräts,FIG. 5 shows a schematic illustration of a stylus device,
Figur 6 einen Tastarm und eine Kupplungseinrichtung in Perspektivdarstellung,FIG. 6 a perspective view of a sensing arm and a coupling device;
Figur 7 den Tastarm nach Figur 5 aufgenommen von einem Greiferteil eines Tastarmspeicherplatzes des Tastarmmagazins in einer ersten Perspektivansicht,
Figur 8 die Elemente nach Figur 6 in einer anderen Perspektivansicht undFIG. 7 shows the probe arm according to FIG. 5 taken from a gripper part of a probe arm storage area of the probe arm magazine in a first perspective view, Figure 8 shows the elements of Figure 6 in another perspective view and
Figur 9 den Tastarm und den Greifer in Perspektivansicht .
9 shows the probe arm and the gripper in perspective view.
In Figur 1 ist eine Tastschnitt-Messeinrichtung 1 veranschaulicht, die ein Tastschnittgerät 2 und ein Tastarmmagazin 3 aufweist. Beide sind jeweils von einem Stativ 4, 5 getragen, das sich von einer Basis 6 jeweils vertikal nach oben erstreckt. Vorzugsweise sind sowohl das Tastschnittgerät 2 als auch das Tastarmmagazin 3 an ihren Säulen bzw. Stativen 4, 5 in Vertikalrichtung verstellbar.FIG. 1 illustrates a stylus measuring device 1 which has a stylus device 2 and a stylus magazine 3. Both are each supported by a tripod 4, 5 extending vertically upward from a base 6, respectively. Preferably, both the stylus device 2 and the Tastarmmagazin 3 at their columns or tripods 4, 5 are adjustable in the vertical direction.
Das Tastschnittgerät 2 weist, wie Figur 2 veranschaulicht, einen Tastarmhalter 7 auf, an den ein Tastarm 8 angeschlossen ist. Der Tastarm 8 erstreckt sich ungefähr in Horizontalrichtung von dem Tastarmhalter 7 weg und trägt an seinem freien Ende eine Tastspitze 9. Diese ragt von dem Ende des Tastarms 8 nach unten und dient dazu, eine Werkstückoberfläche abzufahren.As shown in FIG. 2, the stylus device 2 has a stylus holder 7, to which a stylus arm 8 is connected. The sensing arm 8 extends approximately horizontally away from the Tastarmhalter 7 and carries at its free end a Tastspitze 9. This protrudes from the end of the sensing arm 8 down and serves to descend a workpiece surface.
Der Tastarmhalter 7 ist, wie Figur 5 schematisch darstellt, schwenkbar gelagert. Eine entsprechende Lagereinrichtung 10 legt eine horizontale, in Figur 5 senkrecht auf der Zeichenebene stehende Schwenkachse fest, die sich quer zu dem Tastarm 8 erstreckt. Mit dem Tastarmhalter 7 ist des Weiteren ein Kraftgenerator 11 verbunden, mit dem dem Tastarm 8 ein bestimmtes gewünschtes Drehmoment erteilt werden kann, so dass die Tastspitze 7 mit einer definierten Kraft gegen die Oberfläche des zu messenden Objekts drückt. Z.B. kann der Kraftgenerator 11 eine Feder oder eine elektromagnetische Einrichtung sein, wie es Figur 5 durch eine Spule andeutet. Außerdem ist ein Messsystem 12 vorgesehen, das die Auslenkung des Tastarms 8 präzise erfasst. Die Lagereinrichtung 10, der Kraftgenerator 11 und das Messsystem 12 sind vorzugsweise auf einem gemeinsamen Träger 13 angeordnet, der an einer Schiene 14 vorzugsweise etwa horizontal verfahrbar ist und mit dieser zusammen eine Linearführungseinrichtung 15 bildet. Dieser ist ein nicht weiter veranschaulichter Verstellantrieb zugeordnet, der dazu eingerichtet ist, den Träger 13 mit einer ge-
wünschten Geschwindigkeit entlang der Schiene 14 zu bewegen, während das Messsystem 12 die Auslenkung des Tastarms 8 er- fasst .The Tastarmhalter 7 is, as Figure 5 shows schematically, pivotally mounted. A corresponding bearing device 10 defines a horizontal, in Figure 5 perpendicular to the plane standing pivot axis, which extends transversely to the sensing arm 8. With the Tastarmhalter 7 further includes a force generator 11 is connected to the Tastarm 8 a certain desired torque can be issued so that the probe tip 7 presses with a defined force against the surface of the object to be measured. For example, the force generator 11 may be a spring or an electromagnetic device, as indicated by a coil in FIG. In addition, a measuring system 12 is provided which precisely detects the deflection of the scanning arm 8. The bearing device 10, the force generator 11 and the measuring system 12 are preferably arranged on a common carrier 13, which is preferably approximately horizontally movable on a rail 14 and together with this forms a linear guide device 15. This is associated with a not further illustrated adjusting drive, which is adapted to the carrier 13 with a ge desired speed along the rail 14 to move, while the measuring system 12 detects the deflection of the sensing arm 8.
Der Tastarm 8 ist an dem Tastarmhalter 7 lösbar gehalten. Dazu dient eine Kupplungseinrichtung 16, wie sie aus Figur 6 ersichtlich ist. Die Kupplungseinrichtung umfasst ein Trägerstück 17 mit einer zentralen, vorzugsweise konischen Ausnehmung 18. Um die Ausnehmung 18 herum sind z.B. in 120°- Winkelabständen Stahlstiftpaare 19 eingelassen, die Bezugsflächen zum Anschluss des Tastarms 8 bilden. An dem Boden der Ausnehmung 18 ist vorzugsweise ein Permanentmagnet 20 angeordnet .The probe arm 8 is releasably held on the Tastarmhalter 7. This purpose is served by a coupling device 16, as can be seen in FIG. The coupling device comprises a support piece 17 with a central, preferably conical recess 18. Around the recess 18 are e.g. at 120 ° - angular intervals steel pin pairs 19 are inserted, the reference surfaces for connecting the probe arm 8 form. At the bottom of the recess 18, a permanent magnet 20 is preferably arranged.
Der Tastarm weist einen Wandabschnitt 21 auf, von dem sich in Seitenrichtung ein kegelförmiger Fortsatz 22 erhebt. Dieser ist z.B. mit einer ferromagnetischen Einlage 23 versehen, wobei der Tastarm 8 ansonsten aus nicht magnetischem Material besteht. Um den Fortsatz 22 herum sind zur Ausrichtung des Tastarms 8 geeignete Körper, beispielsweise Kugeln 24 in den Wandabschnitt 21 eingelassen. Die Kugeln 24 passen zwischen die Stahlstiftpaare 19. Es wird darauf hingewiesen, dass anstelle der Kugeln und Stahlstifte auch andere Mittel vorgesehen sein können, um eine präzise Ausrichtung des Tastarms 8 an dem Tastarmhalter 7 sicherzustellen.The sensing arm has a wall portion 21, from which a conical projection 22 rises in the lateral direction. This is e.g. provided with a ferromagnetic insert 23, wherein the sensing arm 8 otherwise consists of non-magnetic material. To the extension 22 around 8 suitable body, such as balls 24 are inserted into the wall portion 21 for aligning the sensing arm. The balls 24 fit between the steel pin pairs 19. It should be noted that instead of the balls and steel pins, other means may be provided to ensure a precise alignment of the sensing arm 8 to the Tastarmhalter 7.
Weiter weist der Tastarm 8, wie insbesondere aus Figur 9 hervorgeht, an der anderen Seite des Wandabschnitts 21 einen pilzförmigen Aufnahmekopf 25 auf, der ruhend oder drehbar gelagert sein kann. Er weist ein scheibenförmiges Ende und einen Schaft auf, dessen Durchmesser geringer ist, als der des Schafts. Unterhalb des Aufnahmekopfs 25 ist ein Aufnahmezapfen 26 vorgesehen, dessen Durchmesser etwas geringer ist als der Durchmesser des Schafts.
Das zu der Tastschnitt-Messeinrichtung 1 gehörige Tastarmmagazin 3 geht aus den Figuren 2 und 3 näher hervor. Es dient dazu, mehrere Tastarme 8a, 8b, 8c, 8d, 8e, 8f, 8g usw. in Passivposition bereit zu halten, um sie gegebenenfalls mit der Kupplungseinrichtung 16 des Tastschnittsgeräts 2 zu verbinden. Das Tastarmmagazin 3 weist zur Aufnahme der verschiedenen Tastarme 8 bis 8g einen quer zu dem Tastarm 8 verfahrbaren Träger 27 auf, dem eine Führungseinrichtung, z.B. eine Linearführung 28 zugeordnet ist. Diese ist zum klareren Verständnis in Figur 4 schematisch veranschaulicht. Der Linearführung 28 ist ein Stellantrieb 29 zugeordnet, der eine gezielte und kontrollierte Verstellung des Trägers 27 in Y- Richtung bewirkt. An dem Träger 27 sind der Anzahl der aufzunehmenden Tastarme entsprechend eine größere Anzahl von Tastarm-Speicherplätzen 30a, 30b, 30c usw. angeordnet. Diese sind untereinander im Wesentlichen gleich ausgebildet. Zur Veranschaulichung ihres Aufbaus wird auf Figur 4 in Verbindung mit den Figuren 7 bis 9 verwiesen:Further, the scanning arm 8, as is apparent in particular from Figure 9, on the other side of the wall portion 21 a mushroom-shaped receiving head 25, which may be stored stationary or rotatable. It has a disc-shaped end and a shaft whose diameter is smaller than that of the shaft. Below the receiving head 25, a receiving pin 26 is provided whose diameter is slightly smaller than the diameter of the shaft. The Tastarmmagazin 3 associated with the Tastschnitt-measuring device 1 is apparent from Figures 2 and 3 in more detail. It serves to hold a plurality of feeler arms 8a, 8b, 8c, 8d, 8e, 8f, 8g, etc. in passive position ready to be connected to the coupling means 16 of the Tastschnittsgeräts 2, if necessary. The Tastarmmagazin 3 has for receiving the various sensing arms 8 to 8g on a transversely movable to the Tastarm 8 carrier 27, which is associated with a guide means, such as a linear guide 28. This is illustrated schematically for clarity in FIG. The linear guide 28 is associated with an actuator 29, which causes a targeted and controlled adjustment of the carrier 27 in the Y direction. On the carrier 27, the number of scanning arms to be picked up corresponding to a larger number of Tastarm memory locations 30 a, 30 b, 30 c, etc. are arranged. These are essentially identical to one another. To illustrate their structure, reference is made to FIG. 4 in conjunction with FIGS. 7 to 9:
Jeder Tastarm-Speicherplatz 30 weist einen Tastarmgreifer 31 auf, der im Wesentlichen durch einen flachen, sich in Längsrichtung erstreckenden Blechstreifen gebildet ist, dessen Flachseiten vertikal orientiert sind. Er ist an einem Ende mit einem nach oben offenen, beispielsweise v-förmigen Ausschnitt 32 versehen. An seinem anderen Ende weist er einen rechtwinklig abgebogenen Halteabschnitt 33 auf, mit dem der Greifer 31 an einem Schieber 34 befestigt ist. Der Schieber 34 ist an dem Träger 27 in X-Richtung verschiebbar gelagert. Die Figuren 2 und 3 zeigen, dass jeder Tastarm-Speicherplatz 30 (30a, 30b, 30c usw.) einen Greifer 31 (31a, 31b, 31c usw.) und einen Schieber 34 (34a, 34b, 34c usw.) aufweist. Die Schieber 34 sind an ihren Enden mit einer Nut 35 versehen (Figur 4) . Alle Nuten 35 fluchten miteinander. Ihnen ist ein Wählfinger 36 zugeordnet, der zumindest in Y-Richtung verfahrbar ist, um mit einem der Schieber 30 in Eingriff zu kom-
men. Dem Wählfinger 36 ist ein Stellantrieb 37 zugeordnet, um den jeweils angekoppelten Schieber 34 in X-Richtung zu bewegen. Alternativ kann auch jeder Schieber einen eigenen Antrieb aufweisen.Each Tastarm storage space 30 has a Tastarmgreifer 31, which is essentially formed by a flat, extending in the longitudinal direction sheet metal strip whose flat sides are vertically oriented. It is provided at one end with an upwardly open, for example, V-shaped cutout 32. At its other end, it has a holding portion 33 bent at right angles, with which the gripper 31 is fastened to a slide 34. The slider 34 is slidably mounted on the carrier 27 in the X direction. Figures 2 and 3 show that each sensing arm location 30 (30a, 30b, 30c, etc.) has a gripper 31 (31a, 31b, 31c, etc.) and a slider 34 (34a, 34b, 34c, etc.). The slides 34 are provided at their ends with a groove 35 (Figure 4). All grooves 35 are aligned. They are associated with a selection finger 36, which can be moved at least in the Y direction in order to engage with one of the slides 30. men. The selector finger 36 is associated with an actuator 37 to move the respectively coupled slider 34 in the X direction. Alternatively, each slider may have its own drive.
Außerdem ist eine Z-Stelleinrichtung vorgesehen, um zumindest den Greifer 31 gegebenenfalls aber auch das gesamte Tastarmmagazin 3 in Z-Richtung zu bewegen. Der Greifer 31 ist zusätzlich um eine Vertikalachse 38 schwenkbar gelagert. Dazu kann er einen federnd ausgebildeten Abschnitt 39 aufweisen, der wie ein Federscharnier wirkt und durch einen Ausschnitt in der Nähe des Halteabschnitts 33 gebildet wird. Damit liegt der Greifer 31 beispielsweise an dem Schieber 34 an, wobei er jedoch in Gegenrichtung federnd von diesem weg gedrängt werden kann und dabei um die Vertikalachse 38 schwenkt.In addition, a Z-setting device is provided to at least the gripper 31, if necessary, but also to move the entire Tastarmmagazin 3 in the Z direction. The gripper 31 is additionally mounted pivotably about a vertical axis 38. For this purpose, it can have a resiliently formed section 39 which acts like a spring hinge and is formed by a cutout in the vicinity of the holding section 33. Thus, the gripper 31 abuts, for example, on the slider 34, but it can be urged in the opposite direction resiliently away from this and thereby pivots about the vertical axis 38.
Das Tastschnittgerät 2 und das Tastarmmagazin unterstehen einer Steuereinrichtung, die nicht weiter veranschaulicht ist und beispielsweise durch einen Mikrocomputer oder einen PC gebildet wird. Sie bedient insbesondere alle Stellantriebe, um das Tastarmmagazin 3 in X-, Y- und Z-Richtung kontrolliert zu verfahren. Außerdem kann sie die Messung, die das Tastschnittgerät 2 vornimmt steuern und gegebenenfalls von dem Messsystem 12 abgegebene Signale in Messwerte umrechnen. Die Tastarme 8 (8a, 8b, 8c usw.) können jeweils mit einem RFID-Chip 41 (Figur 6) versehen sein, der mit einer entsprechenden Transmittereinrichtung in oder an dem Tastschnittgerät 2 oder in oder an der Steuereinrichtung kommuniziert. Der RFID-Chip kann den Tastarm 8 eindeutig identifizieren, so dass die Steuereinrichtung jeweils prüfen kann, welcher Tastarm aktiv ist. Dies kann beispielsweise dadurch geschehen, dass die Transmittereinrichtung zur Kommunikation mit dem RFID-Chip 41 in unmittelbarer Nähe der Kupplungseinrichtung 16 angeordnet ist.
Die insoweit beschriebene Tastschnitt-Messeinrichtung 1 arbeitet wie folgt:The stylus device 2 and the Tastarmmagazin subject to a control device, which is not further illustrated and is formed for example by a microcomputer or a PC. In particular, it operates all actuators in order to move the scanning arm magazine 3 in the X, Y and Z directions in a controlled manner. In addition, it can control the measurement performed by the stylus instrument 2 and, if appropriate, convert signals emitted by the measuring system 12 into measured values. The sensing arms 8 (8a, 8b, 8c, etc.) may each be provided with an RFID chip 41 (Figure 6) which communicates with a corresponding transmitter means in or on the stylus instrument 2 or in or on the control means. The RFID chip can uniquely identify the probe arm 8, so that the control device can check in each case which probe arm is active. This can be done, for example, by arranging the transmitter device for communication with the RFID chip 41 in the immediate vicinity of the coupling device 16. The stylus measuring device 1 described so far operates as follows:
Es wird zunächst davon ausgegangen, dass, wie Figur 2 veranschaulicht, der Tastarm 8 an dem Tastschnittgerät 2 befestigt ist. Es können auf herkömmliche Weise Messungen durchgeführt werden, indem das Tastschnittgerät 2 so weit abgesenkt wird, dass die Tastspitze 9 eine Werkstückoberfläche berührt. Durch Aktivierung der Vorschubeinrichtung, die den Träger 13 entlang der Schiene 14 bewegt, wird die Tastspitze 9 über die Objekt- bzw. Werkstückoberfläche geschleppt. Auftretende Auslenkungen des Tastarms 8 werden von dem Messsystem 12 erfasst und von der Steuereinrichtung registriert bzw. weiter verarbeitet. Während der Messung kann der Kraftgenerator 11 eine definierte Antastkraft erzeugen.It is first assumed that, as Figure 2 illustrates, the probe arm 8 is attached to the stylus instrument 2. Measurements can be made in a conventional manner by lowering the stylus instrument 2 so far that the stylus tip 9 touches a workpiece surface. By activating the feed device, which moves the carrier 13 along the rail 14, the probe tip 9 is dragged over the object or workpiece surface. Occurring deflections of the scanning arm 8 are detected by the measuring system 12 and registered by the control device or further processed. During the measurement, the force generator 11 can generate a defined contact force.
Es wird nun zur weiteren Erläuterung davon ausgegangen, dass der Tastarm 8 von dem Tastarmhalter 7 zu lösen ist. Dazu wird das Tastarmmagazin 3 in Z-Richtung so positioniert, dass alle Tastarm-Speicherplätze 30 etwas unterhalb der Kupplungseinrichtung 16 stehen. Der Träger 27 wird dann in eine Position gefahren, in dem der entsprechende leere Greifer 31 an dem Tastarm 8 steht. Durch Bewegung des Schiebers 34 in X- Richtung gelangt der Greifer 31 in die in Figur 9 veranschaulichte Position, in der der Ausschnitt 32 unmittelbar unter dem Aufnahmekopf 25 und dem Aufnahmezapfen 26 steht. Um den Greifer 31 nun an den Tastarm 8 anzukoppeln, wird eine Relativbewegung zwischen dem Tastschnittgerät 2 und dem Tastarmmagazin 3 in Z-Richtung bewirkt. Der Greifer gelangt mit dem Tastarm 8 in Eingriff, wie es Figur 7 zeigt. Der Ausschnitt 32 nimmt den Aufnahmekopf und den Aufnahmezapfen 26 auf. Durch die flache Ausbildung des Wandabschnitts 21 und des Greifers 31 und weil der Aufnahmekopf 25 die Ränder des Ausschnitts 32 hintergreift, ist eine in Seitenrichtung biege-
steife Verbindung zwischen dem flexiblen Greifer 31 und dem Tastarm 8 hergestellt.It will now be assumed for further explanation that the probe arm 8 is to be released from the Tastarmhalter 7. For this purpose, the Tastarmmagazin 3 is positioned in the Z direction so that all Tastarm storage locations 30 are slightly below the coupling means 16. The carrier 27 is then moved to a position in which the corresponding empty gripper 31 is located on the sensing arm 8. By moving the slider 34 in the X direction, the gripper 31 reaches the position illustrated in FIG. 9, in which the cutout 32 stands directly under the receiving head 25 and the locating pin 26. In order to couple the gripper 31 to the scanning arm 8, a relative movement between the stylus device 2 and the Tastarmmagazin 3 in the Z direction is effected. The gripper engages with the sensing arm 8, as shown in FIG. The cutout 32 receives the receiving head and the receiving pin 26. Due to the flat design of the wall section 21 and of the gripper 31 and because the receiving head 25 engages behind the edges of the cutout 32, a bending in the lateral direction is provided. rigid connection between the flexible gripper 31 and the sensing arm 8 made.
Zur Lösung des Tastarms 8 wird nun der Träger 27 etwas in Y-Richtung quer zu dem Tastarm 8 verstellt. Dadurch schwenkt der flexible Greifer 31 um seine Schwenkachse 38, wobei sich diese Schwenkbewegung auch dem Tastarm 8 mitteilt. So wird der Magnetschluss zwischen der Einlage 23 und dem Permanentmagneten 20 gelöst. Der Tastarm 8 ist nun ausschließlich von dem Greifer 31 gehalten. Durch Aktivierung der entsprechenden X-Stelleinrichtung 37 wird der Schieber 34 in seine Ruheposition zurückgezogen. Es kann nun durch Verstellung des Trägers 27 in Y-Richtung der einzuwechselnde Tastarm, beispielsweise der Tastarm 8b, in Wechselposition gefahren werden. Der Tastarm 8b ist in dem Greifer 31b gehalten .To solve the probe arm 8, the carrier 27 is now adjusted somewhat in the Y direction transverse to the probe arm 8. As a result, the flexible gripper 31 pivots about its pivot axis 38, wherein this pivoting movement is also communicated to the sensing arm 8. Thus, the magnetic closure between the insert 23 and the permanent magnet 20 is released. The sensing arm 8 is now held exclusively by the gripper 31. By activating the corresponding X-setting device 37, the slider 34 is retracted to its rest position. It can now be moved by changing the carrier 27 in the Y direction of the probe arm to be loaded, for example, the sensing arm 8b, in change position. The sensing arm 8b is held in the gripper 31b.
Ist der Tastarm 8b in Wechselposition greift der Wählfinger 36 in den Schieber 34b. Er wird nun in X-Richtung verschoben. Damit steht der Tastarm mit seinem Wandabschnitt unmittelbar vor der Kupplungseinrichtung 16. Durch kurze Bewegungen des Trägers 27 in Y-Richtung wird die Einlage 31 so weit an den Permanentmagnet 20 angenähert, dass dieser anzieht und den Tastarm 8 hält. Es wird nun noch der Greifer 31b in Ruheposition gefahren, indem er zunächst kurz in Z- Richtung abgesenkt wird, um den Tastarm 8b freizugeben. Danach wird sein Schieber 34 in Z-Richtung zurückgezogen. Das Tastarmmagazin 3 kann in der nun eingenommenen Stellung verbleiben oder in Z-Richtung nach oben weg gefahren werden, um die nachfolgende Messung möglichst wenig zu behindern.If the sensing arm 8b in changing position of the selection finger 36 engages in the slider 34b. He is now moved in the X direction. Thus, the probe arm is with its wall portion immediately in front of the coupling means 16. By short movements of the carrier 27 in the Y direction, the insert 31 is so far approximated to the permanent magnet 20, that this attracts and the scanning arm 8 holds. The gripper 31b is now moved to the rest position by first being lowered briefly in the Z direction, in order to release the scanning arm 8b. Thereafter, its slider 34 is retracted in the Z direction. The Tastarmmagazin 3 can remain in the position now occupied or driven away in the Z direction upwards to impede the subsequent measurement as little as possible.
Es wird eine Tastschnitt-Messeinrichtung vorgeschlagen, die insbesondere zur Oberflächen- und Konturmessung von Objekten eingerichtet ist. Sie umfasst ein Tastschnittgerät und ein Tastarmmagazin, das dazu eingerichtet ist, eigenständig
Tastarme an die entsprechende Schnittstelle des Tastschnittgeräts anzusetzen und von diesem abzunehmen.
It is proposed a Tastschnitt-measuring device, which is particularly adapted for surface and contour measurement of objects. It includes a stylus device and a Tastarmmagazin that is set up independently To set up Tastarme to the appropriate interface of Tastschnittgeräts and remove it.
Bezugszeichenreference numeral
1 Tastschnitt-Messeinrichtung1 stylus measuring device
2 Tastschnittgerät2 stylus device
3 Tastarmmagazin3 Tastarmmagazin
4, 5 Stativ4, 5 tripod
6 Basis6 base
7 Tastarmhalter7 probe holder
8 Tastarm8 Tastarm
9 Tastspitze9 probe tip
10 Lagereinrichtung10 storage facility
11 Kraftgenerator11 power generator
12 Messsystem12 measuring system
13 Träger13 carriers
14 Schiene14 rail
15 Linearführungseinrichtung15 linear guide device
16 Kupplungseinrichtung16 coupling device
17 Trägerstück17 carrier piece
18 Ausnehmung18 recess
19 Stahlstiftpaare19 steel pin pairs
20 Permanentmagnet20 permanent magnet
21 Wandabschnitt21 wall section
22 Fortsatz22 extension
23 Einlage23 deposit
24 Kugeln24 balls
25 Aufnähmeköpf25 Aufnähmeköpf
26 Aufnähmezapfen26 pick-up pins
27 Träger27 carriers
28 Linearführung28 linear guide
29 Stellantrieb29 actuator
30 Tastarm-Speicherplatz30 Tastarm storage space
31 Greifer31 grippers
32 Ausschnitt32 section
33 Halteabschnitt33 holding section
34 Schieber
Nut34 slides groove
Wählfinger x-StelleinrichtungDial finger x-setting device
Schwenkachseswivel axis
Abschnittsection
Ausschnittneckline
RFID-Chip
RFID chip
Claims
1. Tastschnitt-Messeinrichtung (1), insbesondere zur Kontur- und/oder Rauheitsmessung von Objekten,1. stylus measuring device (1), in particular for contour and / or roughness measurement of objects,
mit einem Tastschnittgerät (2) mit einem Tastarmhalter (7), der um eine Schwenkachse schwenkbar gelagert ist und eine Kupplungseinrichtung (16) aufweist,with a stylus device (2) with a Tastarmhalter (7) which is pivotally mounted about a pivot axis and having a coupling device (16),
mit mindestens zwei Tastarmen (8, 8a), die an die Kupplungseinrichtung (16) anschließbar sind, undwith at least two feeler arms (8, 8a) which can be connected to the coupling device (16), and
mit einem Magazin (3), das dem Tastschnittgerät (2) zugeordnet ist, um bedarfsweise einen der Tastarme (8, 8a) oder einen Taster an die Kupplungseinrichtung (16) anzuschließen oder von dieser zu trennen.with a magazine (3) which is associated with the stylus device (2), if necessary, to connect one of the probe arms (8, 8a) or a button to the coupling device (16) or to separate from this.
2. Tastschnitt-Messeinrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass das Magazin (3) eine Anzahl von Tastarm-Speicherplätzen (30, 30a) aufweist, die in einer Reihe nebeneinander angeordnet sind.2. stylus measuring device according to claim 1, characterized in that the magazine (3) has a number of Tastarm memory locations (30, 30a) which are arranged in a row next to each other.
3. Tastschnitt-Messeinrichtung nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet, dass die Tastarm-Speicherplätze (30, 30a) so ausgebildet sind, dass die Tastarme (8, 8a) in den Tastarm-Speicherplätzen (30, 30a) parallel zueinander gehalten sind.3. stylus measuring device according to claim 2, characterized in that the Tastarm-memory locations (30, 30a) are formed so that the probe arms (8, 8a) in the Tastarm-memory locations (30, 30a) are held parallel to each other.
4. Tastschnitt-Messeinrichtung nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet, dass die Tastarm-Speicherplätze (30, 30a) auf einem Kreisbogen angeordnet sind.4. stylus measuring device according to claim 2, characterized in that the Tastarm-memory locations (30, 30a) are arranged on a circular arc.
5. Tastschnitt-Messeinrichtung nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet, dass die Tastarme (8, 8a) in den Tastarm-Speicherplätzen (30, 30a) mit spitzen Winkeln zueinander gehalten sind.5. stylus measuring device according to claim 2, characterized in that the sensing arms (8, 8a) in the Tastarm-memory locations (30, 30a) are held at acute angles to each other.
6. Tastschnitt-Messeinrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass die Ausrichtung der Tastarme (8, 8a) in dem Magazin (3) mit der Ausrichtung des Tastarms (8, 8a) übereinstimmt, die der an die6. Tastschnitt-measuring device according to claim 1, characterized in that the alignment of the probe arms (8, 8a) in the magazine (3) with the orientation of the sensing arm (8, 8a) matches, which the to the
Kupplungseinrichtung (16) des Tastschnittgeräts (2) angeschlossen ist.Coupling device (16) of the Tastschnittgeräts (2) is connected.
7. Tastschnitt-Messeinrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass das Magazin (3) quer zu dem an die Kupplungseinrichtung (16) angeschlossenen Tastarm7. stylus measuring device according to claim 1, characterized in that the magazine (3) transversely to the connected to the coupling device (16) sensing arm
(8, 8a) verfahrbar ist.(8, 8a) is movable.
8. Tastschnitt-Messeinrichtung nach Anspruch 7, dadurch gekennzeichnet, dass die Verfahrrichtung horizontal, geneigt oder vertikal ausgerichtet ist.8. stylus measuring device according to claim 7, characterized in that the travel direction is horizontal, inclined or vertically aligned.
9. Tastschnitt-Messeinrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass das Magazin (3) schwenkbar gelagert ist, wobei die Schwenkachse in Vertikalrichtung (z) oder in Horizontalrichtung (x) oder eine dazwischen liegende Richtung orientiert ist.9. stylus measuring device according to claim 1, characterized in that the magazine (3) is pivotally mounted, wherein the pivot axis in the vertical direction (z) or in the horizontal direction (x) or an intermediate direction is oriented.
10. Tastschnitt-Messeinrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass das Magazin (3) einen Träger (27) mit Aufnahmeplätzen (30, 30a) für die Tastarme (8, 8a) aufweist, der quer zu dem an die Kupplungseinrichtung (16) angeschlossenen Tastarm (8, 8a) verfahrbar ist.10. stylus measuring device according to claim 1, characterized in that the magazine (3) has a carrier (27) with receiving positions (30, 30a) for the probe arms (8, 8a), which is transverse to the to the coupling device (16). connected scanning arm (8, 8a) is movable.
11. Tastschnitt-Messeinrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass das Magazin (3) als Greifer (31) ausgebildete Aufnahmeplätze (30, 30a) aufweist, die dazu eingerichtet sind, die Verbindung zwischen einem Tastarm (8, 8a) und der Kupplungseinrichtung (16) herzustellen oder zu lösen, sowie einen Tastarm (8, 8a) aus dem Magazin (3) zu der Kupplungseinrichtung (16) sowie von der Kupplungseinrichtung (16) zu dem Magazin (3) zu überführen .11. Tastschnitt-measuring device according to claim 1, characterized in that the magazine (3) as a gripper (31) formed receiving seats (30, 30a), in addition are arranged to establish or release the connection between a sensing arm (8, 8a) and the coupling device (16), and a sensing arm (8, 8a) from the magazine (3) to the coupling device (16) and of the coupling device (16 ) to the magazine (3).
12. Tastschnitt-Messeinrichtung nach Anspruch 11, dadurch gekennzeichnet, dass der Greifer (31) ein Halter ist, der um eine Achse (38) beweglich gelagert ist.12. stylus measuring device according to claim 11, characterized in that the gripper (31) is a holder which is movably mounted about an axis (38).
13. Tastschnitt-Messeinrichtung nach Anspruch 12, dadurch gekennzeichnet, dass die Achse (38) eine Vertikalachse13. stylus measuring device according to claim 12, characterized in that the axis (38) has a vertical axis
(38) ist.(38) is.
14. Tastschnitt-Messeinrichtung nach Anspruch 12, dadurch gekennzeichnet, dass der Halter (31) gegen einen Anschlag federnd vorgespannt ist.14. stylus measuring device according to claim 12, characterized in that the holder (31) is resiliently biased against a stop.
15. Tastschnitt-Messeinrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass die Kupplungseinrichtung (16) eine Magnetkupplung ist.15. Tastschnitt-measuring device according to claim 1, characterized in that the coupling device (16) is a magnetic coupling.
16. Tastschnitt-Messeinrichtung nach Anspruch 15, dadurch gekennzeichnet, dass die Kupplungseinrichtung (16) und der Tastarm (8, 8a) Magnetelemente (20, 23) aufweisen, die eine Kraftwirkungsrichtung in Richtung quer zu dem Tastarm (8, 8a) festlegen.16. Tastschnitt-measuring device according to claim 15, characterized in that the coupling device (16) and the sensing arm (8, 8a) magnetic elements (20, 23) which define a force direction of action in the direction transverse to the sensing arm (8, 8a).
17. Tastschnitt-Messeinrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass die Kupplungseinrichtung (16) und der Tastarm (8, 8a) Magnetelemente (20, 23) aufweisen, die eine Kraftwirkungsrichtung in Richtung der Schwenkachse des Tastarms (8, 8a) festlegen. 17. Tastschnitt-measuring device according to claim 1, characterized in that the coupling device (16) and the sensing arm (8, 8a) magnetic elements (20, 23) which define a direction of force action in the direction of the pivot axis of the sensing arm (8, 8a).
18. Tastschnitt-Messeinrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass das Magazin (3) oberhalb eines Tastarms (8, 8a) gehalten ist, der an die Kupplungseinrichtung (16) angeschlossen ist.18. stylus measuring device according to claim 1, characterized in that the magazine (3) above a sensing arm (8, 8 a) is held, which is connected to the coupling device (16).
19. Tastschnitt-Messeinrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass der Tastarmhalter (7) um eine Horizontalachse schwenkbar gelagert ist und dass dem Tastarmhalter (7) ein Messsystem (12) zugeordnet ist, das zur Erfassung der Schwenklage des Tastarmhalters (7) dient .19. stylus measuring device according to claim 1, characterized in that the Tastarmhalter (7) is pivotally mounted about a horizontal axis and that the Tastarmhalter (7) is associated with a measuring system (12) which serves to detect the pivotal position of the Tastarmhalters (7) ,
20. Tastschnitt-Messeinrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass dem Tastarmhalter (7) eine Vorschubeinrichtung zugeordnet ist, die dazu dient, den Tastarmhalter (7) und mit ihm den über die Kupplungseinrichtung (16) angeschlossenen Tastarm (8, 8a) kontrolliert in einer Vorschubrichtung zur Ausführung einer Tastschnittmessung zu bewegen.20. Tastschnitt-measuring device according to claim 1, characterized in that the Tastarmhalter (7) is associated with a feed device which serves the Tastarmhalter (7) and with him via the coupling means (16) connected sensing arm (8, 8a) controls to move in a feed direction for performing a Tastschnittmessung.
21. Tastschnitt-Messeinrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass der Tastarmhalter (7) von an einem Vorschubgerät (3) vorgesehen ist, das mit dem Magazin21. Tastschnitt-measuring device according to claim 1, characterized in that the Tastarmhalter (7) is provided by at a feed device (3) with the magazine
(3) auf einem gemeinsamen Träger (6) gelagert ist.(3) is mounted on a common carrier (6).
22. Tastschnitt-Messeinrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass das Magazin (3) und das Tastschnittgerät (2) in Bezug aufeinander zum automatischen Tastarmwechsel höhenverstellbar angeordnet sind. 22. Tastschnitt-measuring device according to claim 1, characterized in that the magazine (3) and the Tastschnittgerät (2) are arranged vertically adjustable with respect to each other for automatic Tastarmwechsel.
23. Tastschnitt-Messeinrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass eine Steuereinrichtung vorgesehen ist, die den Tastarmwechsel steuert.23. Tastschnitt-measuring device according to claim 1, characterized in that a control device is provided which controls the Tastarmwechsel.
24. Tastschnitt-Messeinrichtung nach Anspruch 22, dadurch gekennzeichnet, dass die Steuereinrichtung die von dem Messsystem (12) gelieferten Messsignale in Berücksichtigung von Information über den aktivierten Tastarm (8, 8a) verarbeitet.24. Tastschnitt-measuring device according to claim 22, characterized in that the control device processes the measurement signals supplied by the measuring system (12) in consideration of information about the activated sensing arm (8, 8a).
25. Tastschnitt-Messeinrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass zumindest einer der Tastarme (8, 8a) mit einer RFID-Einrichtung (41) versehen ist.25. stylus measuring device according to claim 1, characterized in that at least one of the sensing arms (8, 8a) is provided with an RFID device (41).
26. Tastschnitt-Messeinrichtung nach Anspruch 23 und 25, dadurch gekennzeichnet, dass an der Steuereinrichtung eine Transmittereinrichtung vorgesehen ist, die zur Kommunikation mit der RFID-Einrichtung (41) eingerichtet ist .26. Tastschnitt-measuring device according to claim 23 and 25, characterized in that on the control device, a transmitter device is provided which is adapted for communication with the RFID device (41).
27. Tastschnitt-Messeinrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass der Tastarm (8) eine Tastspitze (9) aufweist, die mit einer Kraft von weniger als ImN gegen die Objektoberfläche gedrückt wird.27. Tastschnitt-measuring device according to claim 1, characterized in that the sensing arm (8) has a probe tip (9) which is pressed with a force of less than ImN against the object surface.
28. Tastschnitt-Messeinrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass der Tastarm als Tastspitze einen optischen Sensor, einen kapazitiven Sensor, einen Atomkraftsensor, einen elektrischen Sensor oder ähnliches trägt. 28. Tastschnitt-measuring device according to claim 1, characterized in that the probe arm as a probe tip carries an optical sensor, a capacitive sensor, an atomic force sensor, an electrical sensor or the like.
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