WO2008126409A1 - 加速度センサおよびその製造方法 - Google Patents

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Ichirou Satou
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Panasonic Corporation
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    • G01P15/00—Measuring acceleration; Measuring deceleration; Measuring shock, i.e. sudden change of acceleration
    • G01P15/02—Measuring acceleration; Measuring deceleration; Measuring shock, i.e. sudden change of acceleration by making use of inertia forces using solid seismic masses
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    • G01P15/125—Measuring acceleration; Measuring deceleration; Measuring shock, i.e. sudden change of acceleration by making use of inertia forces using solid seismic masses with conversion into electric or magnetic values by capacitive pick-up

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Abstract

　本発明の加速度センサは、錘部を有する主基板と、突起部を介して主基板と合わさり主基板の錘部とギャップを介して対向する対向基板とを有している。錘部と対向基板との錘部と対向する面とには、ギャップを介して対向する対向電極をそれぞれ有し、加えられた加速度に従って対向電極のギャップの大きさが変化することにより対向電極間の静電容量が変化することを検出し加速度を測定する。一方の基板の対向電極から引き出した信号線は、接続パッドにて他方の基板に電気的に接続される。その先は、外部配線に接続される。外部配線接続が検出素子の主基板側または対向基板側のいずれかに一方に統一されるので、接続が容易となる。したがって、接続不良等の発生も低減し、信頼性の向上が図れる。
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