WO2008123053A1 - ポジ型感光性樹脂組成物 - Google Patents

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Daichi Miyazaki
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Abstract

　　【課題】熱処理後の耐薬品性に優れ、かつ低テーパー角のパターンを形成することができるポジ型感光性樹脂組成物を提供すること。 　　　【解決手段】（ａ）一般式（１）で表される構造単位を有するポリアミド酸および／またはポリアミド酸エステル、（ｂ）キノンジアジド化合物、（ｃ）多官能のアクリレート系化合物を含有するポジ型感光性樹脂組成物。 【化１】 （一般式（１）中、Ｒ１は炭素数２以上の３～８価の有機基、Ｒ２は炭素数２以上の２～８価の有機基を示す。Ｒ３およびＲ４は同じでも異なってもよく、水素原子または炭素数１～２０の炭化水素基を示す。ｐおよびｑは０～４の整数、ｒは１または２、ｓは０～２の整数を示す。ただし、ｐ＋ｑ＞０である。）
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