WO2006094525A1 - Receiving device for an optical component - Google Patents

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WO2006094525A1
WO2006094525A1 PCT/EP2005/002491 EP2005002491W WO2006094525A1 WO 2006094525 A1 WO2006094525 A1 WO 2006094525A1 EP 2005002491 W EP2005002491 W EP 2005002491W WO 2006094525 A1 WO2006094525 A1 WO 2006094525A1
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WO
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housing
recording device
eccentric ring
optical component
eccentric
Prior art date
Application number
PCT/EP2005/002491
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French (fr)
Inventor
Detlef STÖHR
Original Assignee
Hentze-Lissotschenko Patentverwaltungs Gmbh & Co. Kg
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Publication date
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    • G—PHYSICS
    • G02—OPTICS
    • G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
    • G02B7/00—Mountings, adjusting means, or light-tight connections, for optical elements
    • G02B7/02—Mountings, adjusting means, or light-tight connections, for optical elements for lenses
    • G02B7/023—Mountings, adjusting means, or light-tight connections, for optical elements for lenses permitting adjustment
    • G—PHYSICS
    • G02—OPTICS
    • G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
    • G02B7/00—Mountings, adjusting means, or light-tight connections, for optical elements
    • G02B7/02—Mountings, adjusting means, or light-tight connections, for optical elements for lenses
    • G02B7/026—Mountings, adjusting means, or light-tight connections, for optical elements for lenses using retaining rings or springs

Definitions

  • the present invention relates to a receiving device for an optical component according to the preamble of claim 1.
  • Optical components in particular substrates or other optical functional elements are arranged by means of adjusting components such as a linear table or combinations of linear tables and possibly a goniometer on a test table.
  • adjusting components such as a linear table or combinations of linear tables and possibly a goniometer on a test table.
  • the beam height is set, which should preferably run centrally through the recorded optical component. If the size of the optical component changes, this always results in changes to the receiving device and replacement of the goniometer.
  • the largest currently available radius for a goniometer is about 100 mm.
  • the x or y coordinate must be readjusted during the rotation of the optical component.
  • this object is achieved by a receiving device with the characterizing features of claim 1.
  • a receiving device with the characterizing features of claim 1. Characterized in that the means for positioning the optical component in an x-direction and the means for positioning in a y-direction in an arrangement of a first eccentric ring and a second eccentric ring are summarized, a compact design of the receiving device can be ensured. The possibility for a compact design already results from the fact that the eccentric rings can combine the two positioning directions (x or y direction) in a device for positioning.
  • the receiving device comprises an at least partially cylindrical housing, wherein the first eccentric ring is rotatably received within the housing and the second eccentric ring rotatably in the first eccentric ring.
  • the cylindrical shape of the housing can be optimally adapted to a rotatable mounting of the eccentric rings.
  • the eccentric rings have a circular outer surface and a circular inner bore, wherein the centers of the circular outer surface and the circular inner bore at a distance from each other.
  • a suitable selection of the center distance is suitable for setting a maximum displaceability in the respective Cartesian spatial directions.
  • each position can be achieved, which is located at twice the distance of the eccentricity of the eccentric rings. It can be adjusted by low eccentricities very low, but highly accurate shifts in the x and y-direction. Accordingly, correspondingly large displacements can be achieved by means of large distances between the centers.
  • the desired amount of displacement can be influenced by selecting the respective diameter outer surface and inner bore.
  • the second eccentric ring is equipped with a second substrate receptacle for receiving the optical component.
  • the second substrate receptacle can be equipped, for example, to receive predeterminable optical components, wherein the substrate receptacle can be equipped, for example, with further adjustment means, in particular for adjusting the rotational angle position.
  • the eccentric rings are equipped with associated actuating rods, wherein the actuating rods are guided by recesses, wherein the recesses extend in the circumferential direction of the housing.
  • the recesses are provided in sections in the circumferential direction of the cylindrical housing. Accordingly, the recess ends can be used as stops, whereby a maximum deflection of the respective eccentric rings can be adjusted.
  • first eccentric ring and the second eccentric ring are mounted axially displaceable within the housing.
  • the z-positioning can likewise be carried out within the housing by displacement of the entire x, y adjustment device comprising the first, the second eccentric ring and the second substrate mount.
  • a particularly advantageous z-positioning possibility can be realized that the first eccentric ring and the second eccentric ring between a collar and a both fixed to the housing and spring-buffered fixing ring are arranged, wherein the axial position of the adjusting ring is adjustable by knurled screws.
  • a fine tuning of the z-positioning can be done for example by appropriate selection of the threads of the thumbscrews.
  • the spring pressure contributes to the self-locking of the system, so that a very accurate positioning can be made possible.
  • the fixing ring can be screwed into the housing via a thread on the housing side.
  • thumbscrews have a thread M70x1, 5.
  • a z-offset of 20 ⁇ m can be achieved per 5 ° degree of rotation angle change.
  • An advantageous further adjustment of the present receiving device according to the invention results from the fact that the angular position of the second substrate holder can be adjusted via an actuating rod, wherein the actuating rod is guided in a housing-side recess. Accordingly, it is also possible here to exert influence from outside on the rotational angle position of the second substrate receptacle and thus of the recorded optical component.
  • the receiving device is equipped with a housing-fixed first substrate holder.
  • a further optical component can be recorded, wherein the position of a second optical component, which is accommodated in the second substrate receptacle, can be adjusted relative to an optical component recorded in the first substrate receptacle.
  • the receiving device For attachment of the receiving device, for example on a test table can be provided that the receiving device is equipped with retaining lugs for stationary mounting. Further features and advantages of the present invention will become apparent from the following description of preferred embodiments with reference to the accompanying drawings. Show in it
  • Fig. 1 is a sectional view (A-A) on a receiving device according to the invention
  • Fig. 2 is a plan view of an inventive
  • FIG. 3 shows a further sectional view (B-B) of a receiving device according to the invention
  • FIG. 4 shows a side view of a receiving device according to the invention
  • FIG. 5 is a plan view of a receiving device according to the invention.
  • Fig. 6 is a perspective view of a receiving device according to the invention.
  • a receiving device essentially comprises a cylindrical housing 1, in which a first substrate holder 2, a second substrate holder 3, an adjusting ring 4, a first eccentric ring 6, a second eccentric ring 7 and a fixing ring 12 are arranged.
  • the first substrate holder 2 is arranged on a first side of the cylindrical housing 1, designed annular and has a cylindrical bore for receiving an optical component (not shown).
  • the first substrate holder 2 is firmly connected to the housing 1.
  • the first substrate holder 2 retaining lugs 1 1, which cover the end face of the cylindrical housing 1 at least in sections and can serve as connection elements for a table mount, for example.
  • a fixing ring 12 is provided, which can be screwed via a thread 14 into the cylindrical housing 1.
  • the adjusting ring 4 and the first eccentric ring 6, the second eccentric ring 7 and the second substrate holder 3 are arranged between the first substrate holder 2 and the fixing ring 12.
  • the individual elements can be assigned the following functions.
  • the fixing ring 12 is spring-buffered and thus allows a suitable displacement of the adjusting ring 4, the first eccentric ring 6, the second eccentric 7 and the second substrate holder 3 in the z-direction.
  • the displacement of the aforementioned elements is triggered by the adjusting ring 4, which in turn can move the first eccentric 6, the second eccentric 7 and the second substrate holder 3 in the z direction against the spring force of the fixing ring 12.
  • knurled screws 5 are provided, which are screwed into threads of the adjusting ring 4 and are guided in the housing-fixed first substrate holder 2.
  • the thread of the thumbscrews 5 is a thread M 70x1, 5, so that by a rotation to T / EP2005 / 00249!
  • the receiving device has a first eccentric ring 6 and a second eccentric ring 7.
  • the eccentric rings 6, 7 have an annular shape, wherein the eccentric rings 6, 7 have a circular outer surface and a circular inner bore whose centers are at a distance from each other. If the outer surface of the second eccentric ring 7 is rotatably mounted in the inner bore of the first eccentric ring 6, then its x or y position changes by rotation of the eccentric rings 6, 7 relative to one another , This shift is utilized for the x, y positioning of the second substrate holder 3.
  • the first eccentric ring 6 is rotatable, received in the cylindrical housing 1, wherein the second eccentric ring 7 is rotatably received in the first eccentric ring 6.
  • the movement in the x or y direction is accordingly carried out by the second eccentric ring 7 and transmitted to the second substrate receptacle 3.
  • an associated first actuating rod 9 and an associated second actuating rod 10 are provided, which are guided in guides 13 on the housing side.
  • the guides 13 are designed as semicircular recesses and therefore simultaneously form an end stop for the rotation of the eccentric rings 6, 7. 005/002491
  • the second substrate holder is equipped with a third actuating rod 8, which is also accommodated in an associated guide 13, wherein the angular position of the second substrate holder 3 can be adjusted by displacement of the third actuating rod 8.
  • a very advantageous receiving device for an optical component which is characterized by a compact design and allows a very precise positioning of the second substrate holder 3 and thus the optical component in both x, y, z-direction and rotational angle position.
  • the z-position can be adjusted by turning the knurled screws 5.
  • the x and y position can be adjusted by turning the two eccentric rings 6, 7.
  • a maximum deflection in one direction results if both eccentric rings 6, 7 are adjusted in one direction, in particular if the first and second actuating rods 9, 10 are in the same position Side abut the respective stops of the recesses 13. If the second eccentric ring 7 is rotated in the opposite direction, for example, the deflections cancel each other out and an x or y deflection is not achieved.
  • any position is reached, which is located at twice the distance of the eccentricity of the eccentric rings 6, 7.
  • the orientation (rotational position) of the optical component can be adjusted by rotation of the second substrate holder 3 via the third actuating rod 8.

Abstract

Disclosed is a receiving device for an optical component, comprising at least one mechanism for positioning the optical component in an x direction of the Cartesian coordinate system and a mechanism for positioning the optical component in a y direction of the Cartesian coordinate system. Said mechanism for positioning the optical component in an x direction and said mechanism for positioning the same in a y direction are combined in an assembly encompassing a first eccentric ring (6) and a second eccentric ring (7).

Description

"Aufnahmeeinrichtung für eine optische Komponente" "Recording device for an optical component"
Die vorliegende Erfindung betrifft eine Aufnahmeeinrichtung für eine optische Komponente gemäß dem Oberbegriff des Anspruchs 1.The present invention relates to a receiving device for an optical component according to the preamble of claim 1.
Optische Komponenten, insbesondere Substrate oder andere optische Funktionselemente, werden mittels Einstellkomponenten wie beispielsweise einem Lineartisch bzw. Kombinationen von Lineartischen und ggf. einem Goniometer auf einem Versuchstisch angeordnet. Durch eine derartig ausgestaltete Aufnahmeeinrichtung lässt sich die Position der optischen Komponente sowohl in x, y und z -Richtung als auch hinsichtlich ihrer Winkellage einstellen.Optical components, in particular substrates or other optical functional elements are arranged by means of adjusting components such as a linear table or combinations of linear tables and possibly a goniometer on a test table. By means of such a receiving device configured, the position of the optical component in both the x, y and z-direction as well as in terms of their angular position can be adjusted.
Eine derartige Aufnahmeeinrichtung ist jedoch mit zahlreichen Nachteilen behaftet. Durch das Goniometer ist beispielsweise die Strahlhöhe festgelegt, die durch die aufgenommene optische Komponente vorzugsweise mittig verlaufen sollte. Ändert sich die Größe der optischen Komponente hat dies stets Änderungen an der Aufnahmeeinrichtung und den Austausch des Goniometers zur Folge. Der größte derzeit verfügbare Radius für ein Goniometer ist etwa 100 mm.However, such a receiving device is associated with numerous disadvantages. By the goniometer, for example, the beam height is set, which should preferably run centrally through the recorded optical component. If the size of the optical component changes, this always results in changes to the receiving device and replacement of the goniometer. The largest currently available radius for a goniometer is about 100 mm.
Für den Fall, dass der Radius des Goniometers nicht auf die Größe der optischen Komponente abgestimmt ist, muss bei der Verdrehung der optischen Komponente die x bzw. y Koordinate nachgestellt werden.In the event that the radius of the goniometer is not matched to the size of the optical component, the x or y coordinate must be readjusted during the rotation of the optical component.
Hieraus ergibt sich unter Anderem der Nachteil, dass die erforderlichen Einstellkomponenten zur Realisierung der Verstellmöglichkeiten (beispielsweise x, y, z, Schwenkwinkel, Drehwinkel) aufeinander gestapelt werden müssen. Die Strahlhöhe ist somit relativ hoch über dem Tisch und damit entsprechend instabil.This results in, among other things, the disadvantage that the required adjustment components for realizing the adjustment possibilities (for example x, y, z, swivel angle, Rotation angle) must be stacked on each other. The beam height is thus relatively high above the table and thus correspondingly unstable.
Hier setzt die vorliegende Erfindung an und macht es sich zur Aufgabe eine Aufnahmeeinrichtung für mindestens eine optische Komponente bereitzustellen, die jedoch eine kompakte Bauform und eine geringe Strahlhöhe ermöglicht.This is where the present invention is based and makes it its task to provide a receiving device for at least one optical component, which however allows a compact design and a low beam height.
Erfindungsgemäß wird diese Aufgabe durch eine Aufnahmevorrichtung mit den kennzeichnenden Merkmalen des Anspruchs 1 gelöst. Dadurch, dass die Einrichtung zur Positionierung der optischen Komponente in einer x- Richtung und die Einrichtung zur Positionierung in einer y- Richtung in einer Anordnung aus einem ersten Excenterring und einem zweiten Excenterring zusammengefasst sind, kann eine kompakte Bauweise der Aufnahmeeinrichtung gewährleistet werden. Die Möglichkeit für eine kompakte Bauweise ergibt sich bereits daraus, dass die Excenterringe die beiden Positionierrichtungen (x bzw. y-Richtung) in einer Einrichtung zur Positionierung vereinen können.According to the invention this object is achieved by a receiving device with the characterizing features of claim 1. Characterized in that the means for positioning the optical component in an x-direction and the means for positioning in a y-direction in an arrangement of a first eccentric ring and a second eccentric ring are summarized, a compact design of the receiving device can be ensured. The possibility for a compact design already results from the fact that the eccentric rings can combine the two positioning directions (x or y direction) in a device for positioning.
In einer vorteilhaften Ausgestaltung der vorliegenden Erfindung kann vorgesehen sein, dass die Aufnahmeeinrichtung ein zumindest abschnittsweise zylinderförmiges Gehäuse umfasst, wobei der erste Excenterring drehbar innerhalb des Gehäuses und der zweite Excenterring drehbar in dem ersten Excenterring aufgenommen ist. Eine derartige Anordnung trägt weiterhin zu einer kompakten Bauweise bei, da die Zylinderform des Gehäuses optimal an eine drehbare Aufnahme der Excenterringe angepasst werden kann. Auch bietet es sich zur kompakten Bauweise der Aufnahmeeinrichtung vorteilhafterweise an, die Excenterringe drehbar ineinander zu verschachteln. In einer weiteren vorteilhaften Ausgestaltung der vorliegenden Erfindung kann vorgesehen sein, dass die Excenterringe eine kreisförmige Außenfläche und eine kreisförmige Innenbohrung aufweisen, wobei die Mittelpunkte der kreisförmigen Außenfläche und der kreisförmigen Innenbohrung einen Abstand voneinander aufweisen. Eine geeignete Auswahl des Mittelpunktabstandes eignet sich um eine maximale Verschiebbarkeit in den jeweiligen kartesischen Raumrichtungen festzulegen. Insbesondere kann durch zwei ineinander verdrehbare Excenterringe jede Position erreicht werden, die sich im zweifachen Abstand der Exzentrizität der Excenterringe befindet. Es können durch geringe Excentrizitäten sehr geringe, jedoch hochgenaue Verschiebungen in x bzw. y-Richtung eingestellt werden. Dementsprechend können durch große Abstände der Mittelpunkte entsprechend große Verschiebungen erzielt werden. Auch kann das angestrebte Ausmaß der Verschiebung durch Auswahl der jeweiligen Durchmesser Außenfläche und Innenbohrung beeinflusst werden.In an advantageous embodiment of the present invention can be provided that the receiving device comprises an at least partially cylindrical housing, wherein the first eccentric ring is rotatably received within the housing and the second eccentric ring rotatably in the first eccentric ring. Such an arrangement further contributes to a compact design, since the cylindrical shape of the housing can be optimally adapted to a rotatable mounting of the eccentric rings. Also, it is advantageous for the compact design of the receiving device, to nest the eccentric rings rotatable into each other. In a further advantageous embodiment of the present invention can be provided that the eccentric rings have a circular outer surface and a circular inner bore, wherein the centers of the circular outer surface and the circular inner bore at a distance from each other. A suitable selection of the center distance is suitable for setting a maximum displaceability in the respective Cartesian spatial directions. In particular, by two mutually rotatable eccentric rings each position can be achieved, which is located at twice the distance of the eccentricity of the eccentric rings. It can be adjusted by low eccentricities very low, but highly accurate shifts in the x and y-direction. Accordingly, correspondingly large displacements can be achieved by means of large distances between the centers. Also, the desired amount of displacement can be influenced by selecting the respective diameter outer surface and inner bore.
Es kann weiterhin vorteilhafterweise vorgesehen sein, dass der zweite Excenterring mit einer zweiten Substrataufnahme zur Aufnahme der optischen Komponente ausgestattet ist. Die zweite Substrataufnahme kann beispielsweise zur Aufnahme von vorbestimmbaren optischen Komponenten ausgestattet sein, wobei die Substrataufnahme beispielsweise mit weiteren Einstellmitteln, insbesondere zur Einstellung der Drehwinkellage ausgestattet sein kann.It can also be advantageously provided that the second eccentric ring is equipped with a second substrate receptacle for receiving the optical component. The second substrate receptacle can be equipped, for example, to receive predeterminable optical components, wherein the substrate receptacle can be equipped, for example, with further adjustment means, in particular for adjusting the rotational angle position.
Es kann weiterhin vorteilhafterweise vorgesehen sein, dass die Excenterringe mit zugeordneten Betätigungsstangen ausgestattet sind, wobei die Betätigungsstangen durch Aussparungen geführt werden, wobei die Aussparungen in Umfangrichtung des Gehäuses verlaufen. Hierdurch ergibt sich eine vorteilhafte Handhabung der -A-It can also be advantageously provided that the eccentric rings are equipped with associated actuating rods, wherein the actuating rods are guided by recesses, wherein the recesses extend in the circumferential direction of the housing. This results in an advantageous handling of -A-
Aufnahmeeinrichtung, insbesondere können die Excenterringe sehr genau eingestellt werden.Recording device, in particular, the eccentric rings can be adjusted very accurately.
In einer weiteren vorteilhaften Ausgestaltung der vorliegenden Erfindung kann vorgesehen sein, dass die Aussparungen abschnittsweise in Umfangrichtung des zylinderförmigen Gehäuses vorgesehen sind. Dementsprechend können die Aussparungsenden als Anschläge benutzt werden, wodurch sich eine maximale Auslenkung der jeweiligen Excenterringe einstellen lässt.In a further advantageous embodiment of the present invention can be provided that the recesses are provided in sections in the circumferential direction of the cylindrical housing. Accordingly, the recess ends can be used as stops, whereby a maximum deflection of the respective eccentric rings can be adjusted.
In einer weiteren vorteilhaften Weiterbildung kann vorgesehen sein, dass der erste Excenterring und der zweite Excenterring axial verschiebbar innerhalb des Gehäuses gelagert sind. Hierdurch lässt sich gleichermaßen eine z-Positionierung auf kleinstem Bauraum realisieren, insbesondere da die z-Positionierung ebenfalls innerhalb des Gehäuses durch Verschiebung der gesamten x, y- Verstelleinrichtung, bestehend aus dem ersten, dem zweiten Excenterring und der zweiten Substrataufnahme vorgenommen werden kann.In a further advantageous development it can be provided that the first eccentric ring and the second eccentric ring are mounted axially displaceable within the housing. As a result, it is equally possible to realize a z-positioning in the smallest possible space, in particular since the z-positioning can likewise be carried out within the housing by displacement of the entire x, y adjustment device comprising the first, the second eccentric ring and the second substrate mount.
Eine besonders vorteilhafte z-Positioniermöglichkeit lässt sich dadurch realisieren, dass der erste Excenterring und der zweite Excenterring zwischen einem Stellring und einem sowohl gehäusefestem als auch federgepufferten Fixierring angeordnet sind, wobei die axiale Position des Stellrings über Rändelschrauben einstellbar ist. Eine feine Abstimmung der z-Positionierung lässt sich beispielsweise durch entsprechende Auswahl der Gewinde der Rändelschrauben vornehmen. Auch trägt der Federdruck zur Selbsthemmung des Systems bei, so dass eine sehr genaue Positionierung ermöglicht werden kann. P2005/002491A particularly advantageous z-positioning possibility can be realized that the first eccentric ring and the second eccentric ring between a collar and a both fixed to the housing and spring-buffered fixing ring are arranged, wherein the axial position of the adjusting ring is adjustable by knurled screws. A fine tuning of the z-positioning can be done for example by appropriate selection of the threads of the thumbscrews. Also, the spring pressure contributes to the self-locking of the system, so that a very accurate positioning can be made possible. P2005 / 002491
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In diesem Zusammenhang bietet es sich zu Wartungszwecken vorteilhafterweise an, dass der Fixierring über ein gehäuseseitiges Gewinde in das Gehäuse einschraubbar ist.In this context, it is advantageous for maintenance purposes that the fixing ring can be screwed into the housing via a thread on the housing side.
In diesem Zusammenhang bietet es sich weiterhin an, dass die Rändelschrauben ein Gewinde M70x1 ,5 aufweisen. Hierdurch lassen sich pro 5° Grad Drehwinkeländerung ein z-Versatz von 20 μm erreichen.In this context, it also makes sense that the thumbscrews have a thread M70x1, 5. As a result, a z-offset of 20 μm can be achieved per 5 ° degree of rotation angle change.
Eine vorteilhafte weitere Einstellmöglichkeit der vorliegenden erfindungsgemäßen Aufnahmeeinrichtung ergibt sich dadurch, dass die Winkelstellung der zweiten Substrataufnahme über eine Betätigungsstange eingestellt werden kann, wobei die Betätigungsstange in einer gehäuseseitigen Aussparung geführt ist. Dementsprechend kann auch hier von außen auf die Drehwinkellage der zweiten Substrataufnahme und damit der aufgenommenen optischen Komponente Einfluss genommen werden.An advantageous further adjustment of the present receiving device according to the invention results from the fact that the angular position of the second substrate holder can be adjusted via an actuating rod, wherein the actuating rod is guided in a housing-side recess. Accordingly, it is also possible here to exert influence from outside on the rotational angle position of the second substrate receptacle and thus of the recorded optical component.
Es kann darüber hinaus vorteilhafterweise vorgesehen sein, dass die Aufnahmeeinrichtung mit einer gehäusefesten ersten Substrataufnahme ausgestattet ist. Hier kann beispielsweise eine weitere optische Komponente aufgenommen werden, wobei die Lage einer zweiten optischen Komponente, welche in der zweiten Substrataufnahme aufgenommen ist, relativ zu einer in der erstens Substrataufnahme aufgenommenen optischen Komponente eingestellt werden kann.In addition, it can advantageously be provided that the receiving device is equipped with a housing-fixed first substrate holder. Here, for example, a further optical component can be recorded, wherein the position of a second optical component, which is accommodated in the second substrate receptacle, can be adjusted relative to an optical component recorded in the first substrate receptacle.
Zur Befestigung der Aufnahmeeinrichtung, beispielsweise auf einem Versuchstisch kann vorgesehen sein, dass die Aufnahmeeinrichtung mit Haltefahnen zur ortsfesten Montage ausgestattet ist. Weitere Merkmale und Vorteile der vorliegenden Erfindung werden deutlich anhand der nachfolgenden Beschreibung bevorzugter Ausführungsbeispiele unter Bezugnahme auf die beiliegenden Abbildungen. Darin zeigenFor attachment of the receiving device, for example on a test table can be provided that the receiving device is equipped with retaining lugs for stationary mounting. Further features and advantages of the present invention will become apparent from the following description of preferred embodiments with reference to the accompanying drawings. Show in it
Fig. 1 eine Schnittansicht (A-A) auf eine erfindungsgemäße Aufnahmeeinrichtung;Fig. 1 is a sectional view (A-A) on a receiving device according to the invention;
Fig. 2 eine Draufsicht auf eine auf eine erfindungsgemäßeFig. 2 is a plan view of an inventive
Aufnahmeeinrichtung mit einem angedeuteten möglichen Versatz von ΔX = 0,47 mm und ΔY = 0,22 mm;Receiving device with an indicated possible offset of ΔX = 0.47 mm and ΔY = 0.22 mm;
Fig. 3 eine weitere Schnittansicht (B-B) auf eine erfindungsgemäße Aufnahmeeinrichtung;3 shows a further sectional view (B-B) of a receiving device according to the invention;
Fig. 4 eine seitliche Ansicht auf eine erfindungsgemäße Aufnahmeeinrichtung;4 shows a side view of a receiving device according to the invention;
Fig. 5 eine Draufsicht auf eine erfindungsgemäße Aufnahmeeinrichtung;5 is a plan view of a receiving device according to the invention;
Fig. 6 eine perspektivische Ansicht auf eine erfindungsgemäße Aufnahmeeinrichtung.Fig. 6 is a perspective view of a receiving device according to the invention.
Zunächst wird auf Fig. 1 Bezug genommen.First, reference is made to FIG. 1.
Eine erfindungsgemäße Aufnahmeeinrichtung umfasst im Wesentlichen ein zylinderförmiges Gehäuse 1 , in dem eine erste Substrataufnahme 2, eine zweite Substrataufnahme 3, ein Stellring 4, ein erster Excenterring 6, ein zweiter Excenterring 7 sowie ein Fixierring 12 angeordnet sind. Die erste Substrataufnahme 2 ist auf einer ersten Seite des zylinderförmigen Gehäuses 1 angeordnet, ringförmig ausgestaltet und weist eine zylinderförmige Bohrung zur Aufnahme einer optischen Komponente (nicht dargestellt) auf. In der hier dargestellten bevorzugten Ausführungsform der vorliegenden Erfindung ist die erste Substrataufnahme 2 fest mit dem Gehäuse 1 verbunden. Darüber hinaus weist die erste Substrataufnahme 2 Haltefahnen 1 1 auf, welche die Stirnseite des zylinderförmigen Gehäuses 1 zumindest abschnittsweise überdecken und beispielsweise als Anschlusselemente für eine Tischhalterung dienen können.A receiving device according to the invention essentially comprises a cylindrical housing 1, in which a first substrate holder 2, a second substrate holder 3, an adjusting ring 4, a first eccentric ring 6, a second eccentric ring 7 and a fixing ring 12 are arranged. The first substrate holder 2 is arranged on a first side of the cylindrical housing 1, designed annular and has a cylindrical bore for receiving an optical component (not shown). In the preferred embodiment of the present invention shown here, the first substrate holder 2 is firmly connected to the housing 1. In addition, the first substrate holder 2 retaining lugs 1 1, which cover the end face of the cylindrical housing 1 at least in sections and can serve as connection elements for a table mount, for example.
Auf der gegenüberliegenden Seite der ersten Substrataufnahme 2 ist ein Fixierring 12 vorgesehen, der über ein Gewinde 14 in das zylinderförmige Gehäuse 1 eingeschraubt werden kann. In nachfolgender Abfolge ist der Stellring 4, sowie der erste Excenterring 6, der zweite Excenterring 7 und die zweite Substrataufnahme 3 zwischen der ersten Substrataufnahme 2 und dem Fixierring 12 angeordnet. Den einzelnen Elementen lassen sich nachfolgende Funktionen zuordnen.On the opposite side of the first substrate holder 2, a fixing ring 12 is provided, which can be screwed via a thread 14 into the cylindrical housing 1. In the following sequence, the adjusting ring 4 and the first eccentric ring 6, the second eccentric ring 7 and the second substrate holder 3 are arranged between the first substrate holder 2 and the fixing ring 12. The individual elements can be assigned the following functions.
Der Fixierring 12 ist federgepuffert und ermöglicht demnach eine angemessene Verschiebung des Stellrings 4, des ersten Excenterrings 6, des zweiten Excenterrings 7 und der zweiten Substrataufnahme 3 in z-Richtung. Die Verschiebung der zuvor genannten Elemente wird durch den Stellring 4 ausgelöst, der wiederum den ersten Excenterring 6, den zweiten Excenterring 7 und die zweiten Substrataufnahme 3 in z-Richtung gegen die Federkraft des Fixierrings 12 verrücken kann. Hierzu sind Rändelschrauben 5 vorgesehen, die in Gewinden des Stellrings 4 eingeschraubt sind und in der gehäusefesten ersten Substrataufnahme 2 geführt sind. Vorzugsweise handelt es sich bei dem Gewinde der Rändelschrauben 5 um ein Gewinde M 70x1 ,5, so dass sich durch eine Verdrehung um T/EP2005/00249!The fixing ring 12 is spring-buffered and thus allows a suitable displacement of the adjusting ring 4, the first eccentric ring 6, the second eccentric 7 and the second substrate holder 3 in the z-direction. The displacement of the aforementioned elements is triggered by the adjusting ring 4, which in turn can move the first eccentric 6, the second eccentric 7 and the second substrate holder 3 in the z direction against the spring force of the fixing ring 12. For this purpose, knurled screws 5 are provided, which are screwed into threads of the adjusting ring 4 and are guided in the housing-fixed first substrate holder 2. Preferably, the thread of the thumbscrews 5 is a thread M 70x1, 5, so that by a rotation to T / EP2005 / 00249!
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5° Grad eine Verschiebung des Stellringes 4 und damit der axial nachgeschalteten Komponenten, insbesondere der zweiten Substrataufnahme 3, um 20μm ergibt.5 ° degree, a displacement of the adjusting ring 4 and thus the axially downstream components, in particular the second substrate holder 3, by 20μm results.
Erfindungsgemäß weist die Aufnahmeeinrichtung einen ersten Excenterring 6 und einen zweiten Excenterring 7 auf. Die Excenterringe 6, 7 weisen eine ringförmige Gestalt auf, wobei die Excenterringe 6, 7 über eine kreisförmige Außenfläche und eine kreisförmige Innenbohrung verfügen, deren Mittelpunkte einen Abstand voneinander aufweisen. Dieser Abstand stellt die Excentrizität des jeweiligen Excenterringes 6 bzw. 7 dar. Wird die Außenfläche des zweiten Excenterringes 7 in der Innenbohrung des ersten Excenterringes 6 drehbar gelagert, so verändert sich deren x bzw. y-Position durch Drehung der Excenterringe 6, 7 relativ zueinander. Diese Verschiebung wird für die x, y-Positionierung der zweiten Substrataufnahme 3 ausgenutzt.According to the invention, the receiving device has a first eccentric ring 6 and a second eccentric ring 7. The eccentric rings 6, 7 have an annular shape, wherein the eccentric rings 6, 7 have a circular outer surface and a circular inner bore whose centers are at a distance from each other. If the outer surface of the second eccentric ring 7 is rotatably mounted in the inner bore of the first eccentric ring 6, then its x or y position changes by rotation of the eccentric rings 6, 7 relative to one another , This shift is utilized for the x, y positioning of the second substrate holder 3.
In der hier vorgeschlagenen bevorzugten Ausführungsform der Aufnahmeeinrichtung ist der erste Excenterring 6 drehbar, in dem zylinderförmigen Gehäuse 1 aufgenommen, wobei der zweite Excenterring 7 drehbar in dem ersten Excenterring 6 aufgenommen ist. Die Bewegung in x bzw. y-Richtung wird demnach von dem zweiten Excenterring 7 ausgeführt und auf die zweite Substrataufnahme 3 übertragen.In the preferred embodiment of the receiving device proposed here, the first eccentric ring 6 is rotatable, received in the cylindrical housing 1, wherein the second eccentric ring 7 is rotatably received in the first eccentric ring 6. The movement in the x or y direction is accordingly carried out by the second eccentric ring 7 and transmitted to the second substrate receptacle 3.
Zur Betätigung der Excenterringe 6, 7 ist eine zugeordnete erste Betätigungsstange 9 und eine zugeordnete zweite Betätigungsstange 10 vorgesehen, die in gehäuseseitigen Führungen 13 geführt werden. Die Führungen 13 sind als halbkreisförmige Aussparungen ausgeführt und bilden demnach gleichzeitig einen Endanschlag für die Drehung der Excenterringe 6, 7 aus. 005/002491For actuating the eccentric rings 6, 7, an associated first actuating rod 9 and an associated second actuating rod 10 are provided, which are guided in guides 13 on the housing side. The guides 13 are designed as semicircular recesses and therefore simultaneously form an end stop for the rotation of the eccentric rings 6, 7. 005/002491
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Darüber hinaus ist die zweite Substrataufnahme mit einer dritten Betätigungsstange 8 ausgestattet, die ebenfalls in einer zugeordneten Führung 13 aufgenommen ist, wobei die Winkelstellung der zweiten Substrataufnahme 3 durch Verschiebung der dritten Betätigungsstange 8 eingestellt werden kann.In addition, the second substrate holder is equipped with a third actuating rod 8, which is also accommodated in an associated guide 13, wherein the angular position of the second substrate holder 3 can be adjusted by displacement of the third actuating rod 8.
Insgesamt ergibt sich eine überaus vorteilhafte Aufnahmeeinrichtung für eine optische Komponente, die sich durch eine kompakte Bauweise auszeichnet und eine sehr präzise Positionierung der zweiten Substrataufnahme 3 und damit der optischen Komponente sowohl in x, y, z-Richtung als auch Drehwinkellage ermöglicht.Overall, a very advantageous receiving device for an optical component, which is characterized by a compact design and allows a very precise positioning of the second substrate holder 3 and thus the optical component in both x, y, z-direction and rotational angle position.
Insbesondere kann die z-Position durch Verdrehung der Rändelschrauben 5 eingestellt werden. Darüber hinaus kann die x und y-Position durch Verdrehen der beiden Excenterringe 6, 7 eingestellt werden. In der hier vorgeschlagenen Ausführungsform ist vorgesehen, dass sich eine maximale Auslenkung in einer Richtung (beispielsweise x oder y) dann ergibt, wenn beide Excenterringe 6, 7 in eine Richtung eingestellt werden, insbesondere wenn die erste und zweite Betätigungsstange 9, 10 auf der gleichen Seite an den jeweiligen Anschlägen der Aussparungen 13 anliegen. Wird der zweite Excenterring 7 beispielsweise in die entgegengesetzte Richtung gedreht, so heben sich die Auslenkungen auf und eine x bzw. y- Auslenkung kommt nicht zustande. Grundsätzlich ist jedoch jede Position erreichbar, die sich im zweifachen Abstand der Exzentrizität der Excenterringe 6, 7 befindet. Darüber hinaus kann die Orientierung (Drehlage) der optischen Komponente durch Drehung der zweiten Substrataufnahme 3 über die dritte Betätigungsstange 8 eingestellt werden. In particular, the z-position can be adjusted by turning the knurled screws 5. In addition, the x and y position can be adjusted by turning the two eccentric rings 6, 7. In the embodiment proposed here, it is provided that a maximum deflection in one direction (for example x or y) results if both eccentric rings 6, 7 are adjusted in one direction, in particular if the first and second actuating rods 9, 10 are in the same position Side abut the respective stops of the recesses 13. If the second eccentric ring 7 is rotated in the opposite direction, for example, the deflections cancel each other out and an x or y deflection is not achieved. In principle, however, any position is reached, which is located at twice the distance of the eccentricity of the eccentric rings 6, 7. In addition, the orientation (rotational position) of the optical component can be adjusted by rotation of the second substrate holder 3 via the third actuating rod 8.

Claims

91-10-Patentansprüche: 91-10-claims:
1. Aufnahmeeinrichtung für eine optische Komponente, umfassend mindestens1. receiving device for an optical component, comprising at least
eine Einrichtung zur Positionierung der optischen Komponente in einer x- Richtung des kartesischen Koordinatensystems;means for positioning the optical component in an x direction of the Cartesian coordinate system;
eine Einrichtung zur Positionierung der optischen Komponente in einer y- Richtung des kartesischen Koordinatensystems,means for positioning the optical component in a y direction of the Cartesian coordinate system,
dadurch gekennzeichnet, dasscharacterized in that
die Einrichtung zur Positionierung der optischen Komponente in einer x- Richtung und die Einrichtung zur Positionierung in einer y- Richtung in einer Anordnung aus einem ersten Excenterring (6) und einem zweiten Excenterring (7) zusammengefasst ist.the device for positioning the optical component in an x-direction and the device for positioning in a y-direction in an arrangement of a first eccentric ring (6) and a second eccentric ring (7) is summarized.
2. Aufnahmeeinrichtung nach Anspruch 1 , dadurch gekennzeichnet, dass die Aufnahmeeinrichtung ein zumindest abschnittsweise zylinderförmiges Gehäuse (1 ) umfasst, wobei der erste Excenterring (6) drehbar innerhalb des Gehäuses (1 ) und der zweite Excenterring (7) drehbar in dem ersten Excenterring (6) aufgenommen ist.2. Recording device according to claim 1, characterized in that the receiving device comprises an at least partially cylindrical housing (1), wherein the first eccentric ring (6) rotatably within the housing (1) and the second eccentric ring (7) rotatably in the first eccentric ring ( 6) is recorded.
3. Aufnahmeeinrichtung nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass die Excenterringe (6, 7) eine kreisförmige Außenfläche und eine kreisförmige Innenbohrung aufweisen, wobei die Mittelpunkte der T/EP2005/00249!3. Recording device according to one of the preceding claims, characterized in that the eccentric rings (6, 7) have a circular outer surface and a circular inner bore, wherein the centers of the T / EP2005 / 00249!
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kreisförmigen Außenfläche und der kreisförmigen Innenbohrung einen Abstand voneinander aufweisen.circular outer surface and the circular inner bore at a distance from each other.
4. Aufnahmeeinrichtung nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass der zweite Excenterring (7) mit einer zweiten Substrataufnahme (3) zur Aufnahme der optischen Komponente verbunden ist.4. Recording device according to one of the preceding claims, characterized in that the second eccentric ring (7) is connected to a second substrate receptacle (3) for receiving the optical component.
5. Aufnahmeeinrichtung nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass die Excenterringe (6, 7) mit zugeordneten Betätigungsstangen (9, 10) ausgestattet sind, wobei die Betätigungsstangen (9, 10) durch Aussparungen (13) geführt werden, wobei die Aussparungen (13) in Umfangrichtung des Gehäuses (1) verlaufen.5. Recording device according to one of the preceding claims, characterized in that the eccentric rings (6, 7) with associated actuating rods (9, 10) are equipped, wherein the actuating rods (9, 10) through recesses (13) are guided, wherein the recesses (13) extend in the circumferential direction of the housing (1).
6. Aufnahmeeinrichtung nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass die Aussparungen (13) abschnittsweise in Umfangrichtung des zylinderförmigen Gehäuses (1 ) vorgesehen sind.6. Recording device according to one of the preceding claims, characterized in that the recesses (13) are provided in sections in the circumferential direction of the cylindrical housing (1).
7. Aufnahmeeinrichtung nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass der erste Excenterring (6) und der zweite Excenterring (7) axial verschiebbar innerhalb des Gehäuses (1 ) gelagert sind.7. Recording device according to one of the preceding claims, characterized in that the first eccentric ring (6) and the second eccentric ring (7) are mounted axially displaceable within the housing (1).
8. Aufnahmeeinrichtung nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass der erste Excenterring (6) und der zweite Excenterring (7) zwischen einem Stellring (4) und einem gehäusefestem und federgepufferten Fixierring (12) angeordnet sind, wobei die axiale Position des Stellrings (4) über Rändelschrauben (5) pinstellbar ist. EP2005/0024918. Recording device according to one of the preceding claims, characterized in that the first eccentric ring (6) and the second eccentric ring (7) between a collar (4) and a housing-fixed and spring-buffered fixing ring (12) are arranged, wherein the axial position of the adjusting ring (4) via knurled screws (5) p is adjustable. EP2005 / 002491
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9. Aufnahmeeinrichtung nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass der Fixierring (12) über ein gehäuseseitiges Gewinde (14) in das Gehäuse einschraubbar ist.9. Recording device according to one of the preceding claims, characterized in that the fixing ring (12) via a housing-side thread (14) can be screwed into the housing.
10. Aufnahmeeinrichtung nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass die Rändelschrauben (5) ein Gewinde M70x1 ,5 aufweisen.10. Recording device according to one of the preceding claims, characterized in that the knurled screws (5) have a thread M70x1, 5.
11. Aufnahmeeinrichtung nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass die Winkelstellung der zweiten Substrataufnahme (3) über eine Betätigungsstange (8) eingestellt werden kann, wobei die Betätigungsstange (8) in einer gehäuseseitigen Aussparung (13) geführt ist.11. Recording device according to one of the preceding claims, characterized in that the angular position of the second substrate holder (3) via an actuating rod (8) can be adjusted, wherein the actuating rod (8) in a housing-side recess (13) is guided.
12. Aufnahmeeinrichtung nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass die Aufnahmeeinrichtung mit einer ersten gehäusefesten Substrataufnahme (2) ausgestattet ist.12. Recording device according to one of the preceding claims, characterized in that the receiving device is equipped with a first housing-fixed substrate holder (2).
13. Aufnahmeeinrichtung nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass die Aufnahmeeinrichtung mit Haltefahnen (1 1 ) zur ortsfesten Montage ausgestattet ist. 13. Recording device according to one of the preceding claims, characterized in that the receiving device is equipped with retaining lugs (1 1) for stationary mounting.
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