WO2006087877A1

WO2006087877A1 - 複合導電性シートおよびその製造方法、異方導電性コネクター、アダプター装置並びに回路装置の電気的検査装置

Info

Publication number: WO2006087877A1
Application number: PCT/JP2006/300170
Authority: WO
Inventors: Kiyoshi Kimura; Fujio Hara; Ken-Ichi Koyama; Sugiro Shimoda
Original assignee: Jsr Corporation
Priority date: 2005-02-16
Filing date: 2006-01-11
Publication date: 2006-08-24
Also published as: CN101120484A; US7705618B2; CN100539305C; US20090039905A1; KR101240761B1; EP1850419A4; EP1850419A1; EP1850419B1; TW200640080A; TWI406449B; KR20070102716A

Abstract

　絶縁性シートの厚み方向に移動可能な剛性導体を有し、剛性導体が絶縁性シートから脱落することがなくて単独でも取り扱い易い複合導電性シートおよびその製造方法、この複合導電性シートを具えた異方導電性コネクター、アダプター装置並びに回路装置の電気的検査装置が開示されている。　本発明の複合導電性シートは、それぞれ厚み方向に伸びる複数の貫通孔が形成された絶縁性シートと、この絶縁性シートの貫通孔の各々に、当該絶縁性シートの両面の各々から突出するよう配置された剛性導体とを有してなり、前記剛性導体の各々は、前記絶縁性シートの貫通孔に挿通された胴部の両端に、当該絶縁性シートの貫通孔の径より大きい径を有する端子部が形成されてなり、当該絶縁性シートに対してその厚み方向に移動可能とされていることを特徴とする。

Description

明細書

複合導電性シートおよびその製造方法、異方導電性コネクター、アダプタ一装置並びに回路装置の電気的検査装置

技術分野

[0001] 本発明は、例えばプリント回路基板などの回路装置の電気的検査に好適に用いることができる複合導電性シートおよびその製造方法、異方導電性コネクター、これを具えたアダプター装置、並びにこのアダプター装置を具えた回路装置の電気的検査装置に関するものである。背景技術

[0002] 一般に、 BGAや CSP等のパッケージ LSI、 MCM、その他の集積回路装置などの電子部品を構成するための或ヽは搭載するための回路基板につ、ては、電子部品を組み立てる以前に或ヽは電子部品を搭載する以前に、当該回路基板の配線バターンが所期の性能を有することを確認するためにその電気的特性を検査することが必要である。

従来、回路基板の電気的検査を実行する方法としては、縦横に並ぶ格子点位置に従って複数の検査電極が配置されてなる検査電極装置と、この検査電極装置の検查電極に検査対象である回路基板の被検査電極を電気的に接続するアダプターとを組み合わせて用いる方法などが知られて、る。この方法にぉ、て用いられるァダプターは、ピッチ変換ボードと称されるプリント配線板よりなるものである。

このアダプタ一としては、一面に検査対象である回路基板の被検査電極に対応するパターンに従って配置された複数の接続用電極を有し、他面に検査電極装置の検查電極と同一のピッチの格子点位置に配置された複数の端子電極を有するもの、一面に検査対象である回路基板の被検査電極に対応するパターンに従って配置された、電流供給用接続用電極および電圧測定用接続用電極よりなる複数の接続用電極対を有し、他面に検査電極装置の検査電極と同一のピッチの格子点位置に配置された複数の端子電極を有するものなどが知られており、前者のアダプタ一は、例えば回路基板における各回路のオープン 'ショート試験などに用いられ、後者のァダプターは、回路基板における各回路の電気抵抗測定試験に用いられている。

而して、回路基板の電気的検査においては、一般に、検査対象である回路基板とアダプターとの安定な電気的接続を達成するために、検査対象である回路基板とァダブターとの間に、コネクタ一として異方導電性エラストマ一シートを介在させることが行われている。

[0003] この異方導電性エラストマ一シートは、厚さ方向にのみ導電性を示すもの、あるヽは加圧されたときに厚さ方向にのみ導電性を示す多数の加圧導電性導電部を有するものである。

このような異方導電性エラストマ一シートとしては、従来、種々の構造のものが知られており、例えば特許文献 1には、弾性高分子物質中に磁性を示す導電性粒子が厚み方向に並ぶよう配向して連鎖を形成した状態でかつ当該導電性粒子による連鎖が面方向に分散した状態で含有されてなる異方導電性エラストマ一シート (以下、これを「分散型異方導電性シート」という。）が開示され、特許文献 2には、弾性高分子物質中に磁性を示す導電性粒子を不均一に分散させることにより、厚み方向に伸びる多数の導電路形成部と、これらを相互に絶縁する絶縁部とが形成されてなる異方導電性エラストマ一シート (以下、これを「偏在型異方導電性シート」という。）が開示され、特許文献 3には、導電路形成部の表面と絶縁部との間に段差が形成された偏在型異方導電性シートが開示されている。

これらの異方導電性エラストマ一シートは、例えば硬化されて弾性高分子物質となる液状の高分子物質形成材料中に磁性を示す導電性粒子が含有されてなる成形材料層に対して、その厚み方向に磁場を作用させながら或、は磁場を作用させた後に硬化処理を行うことにより得られるものである。この異方導電性エラストマ一シートにおいては、弾性高分子物質よりなる基材中に導電性粒子が厚み方向に並ぶよう配向して連鎖が形成された状態で含有されており、厚み方向に加圧されることによって導電性粒子の連鎖による導電路が形成される。

[0004] そして、分散型異方導電性シートおよび偏在型異方導電性シートを比較すると、分散型異方導電性シートは、特殊で高価な金型を用いずに小さいコストで製造することが可能なものである点、接続すべき電極のパターンに関わらず使用することができ、汎用性を有するものである点で、偏在型異方導電性シートに比較して有利である。一方、偏在型異方導電性シートは、隣接する導電路形成部間にこれらを相互に絶縁する絶縁部が形成されているため、隣接する電極間の離間距離が小さい接続対象体につ 1、ても、隣接する電極間に必要な絶縁性が確保された状態で当該電極の各々に対する電気的な接続を達成することができる性能、すなわち分解能が高いものである点で、分散型異方導電性シートに比較して有利である。

而して、分散型異方導電性シートにおいて、分解能を向上させるためには、当該分散型異方導電性シートの厚みを小さくすることが肝要である。

然るに、厚みの小さい異方導電性エラストマ一シートにおいては、接続すべき電極の各々における高さレベルのバラツキを吸収して当該電極の各々に対する電気的な接続を達成することができる性能、すなわち凹凸吸収能が低い、という問題がある。具体的には、異方導電性エラストマ一シートの凹凸吸収能は、当該異方導電性エラストマーシートの厚みの 20%程度であり、例えば厚みが 100 μ mの異方導電性エラストマーシートにおいては、電極の高さレベルのバラツキが 20 μ m程度の接続対象体に対しても安定な電気的接続を達成することができるが、厚みが 50 mの異方導電性エラストマ一シートにおいては、電極の高さレベルのバラツキが 10 μ mを超える接続対象体に対しては、安定な電気的接続を達成することが困難となる。

このような問題を解決するため、絶縁性シートに形成されたテーパ状の貫通孔内に、当該貫通孔に適合するテーパ状の可動導体が絶縁性シートに対して厚み方向に移動可能に設けられた複合導電性シートと、この複合導電性シートの一面および他面の各々に配置された 2つの異方導電性エラストマ一シートとよりなる異方導電性コネクターが提案されている (例えば特許文献 4等参照。 )₀

このような複合導電性シートを有する異方導電性コネクターによれば、複合導電性シートにおける可動電極が厚み方向に移動可能とされて、るため、厚み方向に加圧されたときには、複合導電性シートの一面および他面の各々に配置された 2つの異方導電性エラストマ一シートが互いに連動して圧縮変形するため、両者の有する凹凸吸収能の合計が異方導電性コネクターの凹凸吸収能として発現され、従って、高い凹凸吸収能を得ることができる。また、所要の凹凸吸収能を得るために必要な厚みは、 2つの異方導電性エラストマ一シートの合計の厚みによって確保すればよぐ個々の異方導電性エラストマーシートとしては、厚みが小さいものを用いることができるので、高い分解能を得ることができる。

[0006] し力しながら、上記の異方導電性コネクターにおいては、実用上、以下のような問題がある。

上記の異方導電性コネクターにおいて、複合導電性シートの可動導体は、絶縁性シートおよび異方導電性エラストマ一シートの両方に支持されており、複合導電性シ一トと異方導電性エラストマ一シートとを分離した場合には、可動導体が絶縁性シートから脱落するおそれがあるため、複合導電性シートを単独で取り扱うことは実際上極めて困難である。従って、異方導電性コネクターにおける複合導電性シートおよび異方導電性エラストマ一シートのいずれか一方に故障が生じたときには、当該複合導電性シートまたは当該異方導電性エラストマ一シートのみを新たなものに交換することができず、異方導電性コネクター全体を新たなものに交換しなければならない。また、複合導電性シートの可動導体は、絶縁性シートに形成されたテーパ状の貫通孔内にメツキ処理によって金属を堆積させて金属体を形成し、この金属体を機械的に押圧することにより、貫通孔の内面に接着していた金属体を分離させることによつて得られる。然るに、多数の可動導体を有する異方導電性コネクターを製造する場合には、絶縁性シートに形成された全ての金属体を当該絶縁性シートの内面力確実に分離させることが困難であるため、一部の可動導体の機能に不具合が生じる。

[0007] 特許文献 1 :特開昭 51— 93393号公報

特許文献 2：特開昭 53— 147772号公報

特許文献 3：特開昭 61 - 250906号公報

特許文献 4：特開 2001— 351702号公報

発明の開示

[0008] 本発明は、以上のような事情に基づいてなされたものであって、その第 1の目的は、絶縁性シートの厚み方向に移動可能な剛性導体を有し、当該剛性導体が絶縁性シートから脱落することがなくて単独でも取り扱、易、複合導電性シートを提供することにある。

本発明の第 2の目的は、上記の複合導電性シートを製造する方法であって、移動可能な剛性導体を確実に形成することができる複合導電性シートの製造方法を提供することにある。

本発明の第 3の目的は、隣接する電極間の離間距離が小さぐ電極の高さレベルにバラツキがある接続対象体についても、隣接する電極間に必要な絶縁性が確保された状態で当該電極の各々に対する電気的な接続を確実に達成することができる異方導電性コネクターを提供することにある。

本発明の第 4の目的は、検査対象である回路装置が、隣接する被検査電極の間の離間距離が小さぐ被検査電極の高さレベルにバラツキがあるものであっても、隣接する被検査電極間に必要な絶縁性が確保された状態で当該被検査電極の各々に対する電気的な接続を確実に達成することができるアダプター装置を提供することにある。

本発明の第 5の目的は、検査対象である回路装置が、隣接する被検査電極の間の離間距離が小さぐ被検査電極の高さレベルにバラツキがあるものであっても、当該回路装置について所要の電気的検査を確実に実行することができる回路装置の電気的検査装置を提供することにある。

[0009] 本発明の複合導電性シートは、それぞれ厚み方向に伸びる複数の貫通孔が形成された絶縁性シートと、この絶縁性シートの貫通孔の各々に、当該絶縁性シートの両面の各々力突出するよう配置された剛性導体とを有してなり、

前記剛性導体の各々は、前記絶縁性シートの貫通孔に揷通された胴部の両端に、当該絶縁性シートの貫通孔の径より大きい径を有する端子部が形成されてなり、当該絶縁性シートに対してその厚み方向に移動可能とされて、ることを特徴とする。

[0010] 本発明の複合導電性シートにおいては、絶縁性シートの厚み方向における剛性導体の移動可能距離が 3〜 150 μ mであることが好ましい。

[0011] 本発明の複合導電性シートの製造方法は、上記の複合導電性シートを製造する方法であって、

それぞれ厚み方向に伸びる複数の貫通孔が形成された絶縁性シートと、この絶縁性シートの少なくとも一面に積層された、それぞれ絶縁性シートの貫通孔に連通する複数の開口を有する易エッチング性の金属層と、前記絶縁性シートの貫通孔の内壁面および前記金属層の開口縁を覆うよう形成された易エッチング性の金属薄層とを有してなる複合積層材料を製造し、この複合積層材料に対してフォトメツキ処理を施すこと〖こより、当該複合積層材料における絶縁性シートの貫通孔に剛性導体を形成し、その後、エッチング処理によって複合積層材料における金属層および金属薄層を除去する工程を有することを特徴とする。

[0012] 本発明の異方導電性コネクタ一は、上記の複合導電性シートと、この複合導電性シートの一面に配置された第 1の異方導電性エラストマ一シートと、前記複合導電性シートの他面に配置された第 2の異方導電性エラストマ一シートとを具えてなることを特徴とする。

[0013] 本発明の異方導電性コネクターにおいては、第 1の異方導電性エラストマ一シートおよび第 2の異方導電性エラストマ一シートの各々は、弾性高分子物質中に、磁性を示す導電性粒子が、厚み方向に並ぶよう配向して連鎖が形成された状態で、かつ、当該導電性粒子による連鎖が面方向に分散した状態で含有されてなることが好ましい。

このような異方導電性コネクターにおいては、第 1の異方導電性エラストマ一シートおよび第 2の異方導電性エラストマ一シートの各々の厚みが 20〜： LOO μ mであることが好ましい。

また、導電性粒子の数平均粒子径が 3〜20 μ mであることが好ましい。

[0014] 本発明のアダプター装置は、表面に検査すべき回路装置における被検査電極に対応するパターンに従って複数の接続用電極が形成された接続用電極領域を有するアダプター本体と、

このアダプター本体の接続用電極領域上に配置された、当該アダプター本体における接続用電極に対応するパターンに従って形成された複数の剛性導体を有する、上記の異方導電性コネクターと

を具えてなることを特徴とする。

[0015] また、本発明のアダプター装置は、表面に検査すべき回路装置における被検査電極に対応するパターンに従ってそれぞれ電流供給用および電圧測定用の 2つの接続用電極からなる複数の接続用電極対が形成された接続用電極領域を有するァダプター本体と、

を具えてなることを特徴とする。

[0016] 本発明の回路装置の電気的検査装置は、上記のアダプター装置を具えてなることを特徴とする。

[0017] 本発明の複合導電性シートは、絶縁性シートの貫通孔に、その厚み方向に移動可能な剛性導体を有し、当該剛性導体は、その胴部の両端に絶縁性シートの貫通孔の径より大きい径を有する端子部が形成されているため、当該端子部がストッパーとして機能する結果、剛性導体が絶縁性シートから脱落することがなぐ当該複合導電性シート単独でも取り扱、易、ものである。

[0018] 本発明の複合導電性シートの製造方法によれば、絶縁性シートの表面および貫通孔の内壁面にそれぞれ易エッチンク性の金属層および金属薄層を形成したうえで、当該絶縁性シートの貫通孔に剛性導体を形成し、その後、エッチング処理によって金属層および金属薄層を除去するため、絶縁性シートと剛性導体との間に所要のギヤップが確実に形成され、その結果、移動可能な剛性導体を確実に形成することができる。

[0019] 本発明の異方導電性コネクターによれば、複合導電性シートにおける剛性導体の各々は、絶縁性シートに対してその厚み方向に移動可能とされているため、接続すべき電極によって厚み方向に加圧されたときには、複合導電性シートの一面に配置された第 1の異方導電性エラストマ一シートおよび当該複合導電性シートの他面に配置された第 2の異方導電性エラストマ一シートは、剛性導体が絶縁性シートの厚み方向に移動することによって互、に連動して圧縮変形するため、両者の有する凹凸吸収能の合計が異方導電性コネクターの凹凸吸収能として発現され、従って、高い凹凸吸収能を得ることができる。また、所要の凹凸吸収能を得るために必要な厚みは、第 1の異方導電性エラストマ一シートおよび第 2の異方導電性エラストマ一シートの合計の厚みによって確保すればよぐ個々の異方導電性エラストマ一シートとしては、厚みが小さいものを用いることができるので、高い分解能を得ることができる。

従って、隣接する電極間の離間距離が小さぐ電極の高さレベルにバラツキがある接続対象体についても、隣接する電極間に必要な絶縁性が確保された状態で当該電極の各々に対する電気的な接続を確実に達成することができる。

[0020] 本発明のァダフター装置によれば、上記の異方導電性コネクターを具えてなるため、検査対象である回路装置が、隣接する被検査電極の間の離間距離が小さぐ被検查電極の高さレベルにバラツキがあるものであっても、隣接する被検査電極間に必要な絶縁性が確保された状態で当該被検査電極の各々に対する電気的な接続を確実に達成することができる。

[0021] 本発明の回路装置の電気的検査装置によれば、上記のアダプター装置を具えてなるため、検査対象である回路装置が、隣接する被検査電極の間の離間距離が小さぐ被検査電極の高さレベルにバラツキがあるものであっても、当該回路装置について所要の電気的検査を確実に実行することができる。

図面の簡単な説明

[0022] [図 1]本発明の複合導電性シートの一例における構成を示す説明用断面図である。

[図 2]図 1に示す複合導電性シートの要部を拡大して示す説明用断面図である。

[図 3]複合導電性シートを製造するための積層材料の構成を示す説明用断面図である。

[図 4]積層材料における金属層に開口が形成された状態を示す説明用断面図である

[図 5]積層材料における絶縁性シートに貫通孔が形成された状態を示す説明用断面図である。

[図 6]複合積層材料の構成を示す説明用断面図である。

[図 7]複合積層材料にレジスト膜が形成された状態を示す説明用断面図である。

[図 8]複合積層材料における絶縁性シートの貫通孔に剛性導体が形成された状態を示す説明用断面図である。

圆 9]複合積層材料カゝらレジスト膜が除去された状態を示す説明用断面図である。圆 10]本発明の異方導電性コネクターの一例における構成を示す説明用断面図である。

圆 11]図 10に示す異方導電性コネクターの要部を拡大して示す説明用断面図である。

圆 12]第 1の異方導電性エラストマ一シートを製造するための一面側成形部材、他面側成形部材およびスぺーサーを示す説明用断面図である。

圆 13]他面側成形部材の表面に導電性エラストマ一用材料が塗布された状態を示す説明用断面図である。

圆 14]一面側成形部材と他面側成形部材との間に導電性エラストマ一用材料層が形成された状態を示す説明用断面図である。

圆 15]図 14に示す導電性エラストマ一用材料層を拡大して示す説明用断面図である。

圆 16]図 14に示す導電性エラストマ一用材料層に対して厚み方向に磁場を作用させた状態を示す説明用断面図である。

圆 17]本発明に係るアダプター装置の第 1の例における構成を示す説明用断面図である。

圆 18]図 17に示すアダプター装置におけるアダプター本体の構成を示す説明用断面図である。

圆 19]本発明に係るアダプター装置の第 2の例における構成を示す説明用断面図である。

圆 20]図 19に示すアダプター装置におけるアダプター本体の構成を示す説明用断面図である。

圆 21]本発明に係る回路装置の電気的検査装置の第 1の例における構成を示す説明図である。

圆 22]本発明に係る回路装置の電気的検査装置の第 2の例における構成を示す説明図である。 [図 23]本発明に係る回路装置の電気的検査装置の第 3の例における構成を示す説明図である。

[図 24]図 23に示す回路装置の電気的検査装置における上部側検査ヘッドの要部を拡大して示す説明用断面図である。

[図 25]絶縁性基板の構成を示す説明用断面図である。

[図 26]絶縁性基板の貫通孔の各々に電線が挿入された状態を示す説明用断面図である。

[図 27]絶縁性基板の貫通孔の内壁面と電線の外周面との間に固定部材が形成された状態を示す説明用断面図である。

[図 28]電線の先端部が研磨された状態を示す説明用断面図である。

[図 29]電線の先端面に検査電極が形成された状態を示す説明用断面図である。

[図 30]図 23に示す回路装置の電気的検査装置における下部側検査ヘッドの要部を拡大して示す説明用断面図である。

符号の説明

la 上部側アダプター装置

lb 下部側アダプター装置

2 ホルダー

3 位置決めピン

5 回路装置

6, 7 被検査電極

10 複合導電性シート

10A 複合積層材料

10B 積層材料

11 絶縁性シート

11H 貫通孔

12 剛性導体

12a 胴部 A 金属層

B 金属薄層

K 開口

レジスト膜

H パターン孔

異方導電性コネクター

第 1の異方導電性エラストマ一シートA 導電性エラストマ一用材料層B 導電性エラストマ一用材料

第 2の異方導電性エラストマ一シートアダプター本体

， 21b, 21c 接続用電極

a 接続用電極対

端子電極

内部配線部

接続用電極領域

一面側成形部材

他面側成形部材

スぺーサー

K 開口

加圧ロール

支持ロール

加圧ロール装置

a 上部側検査ヘッド

b 下部側検査ヘッド

a, 51b 検査電極装置

a, 52b 検查電極

a, 53b 電線 54a, 54b 支柱

55a, 55b 異方導電性エラストマーシー

56a 上部側支持板

56b 下部側支持板

57a, 57b コネ、クタ一

60a 上部側検査ヘッド

60b 下部側検査ヘッド

61a, 61b 検査電極装置

62a, 62b 絶縁性基板

63a, 63b 貫通孔

64a, 64b 線

65a, 65b 固定部材

66a, 66b 検査電極

70a, 70b 異方導電性コネクター

71a, 71b 第 1の異方導電性エラストマ

72a, 72b 導電路形成部

73a, 73b 絶縁部

75a, 75b 第 2の異方導電性エラストマ

76a, 76b 導電路形成部

77a, 77b 絶縁部

発明を実施するための最良の形態

以下、本発明の実施の形態について詳細に説明する。

〈複合導電性シート〉

図 1は、本発明の複合導電性シートの一例における構成を示す説明用断面図であり、図 2は、図 1に示す複合導電性シートの剛性導体を拡大して示す説明用断面図である。この複合導電性シート 10は、それぞれ厚み方向に伸びる複数の貫通孔 11 Hが接続すべき電極のパターンに対応するパターンに従って形成された絶縁性シート 11と、この絶縁性シート 11の各貫通孔 11Hに当該絶縁性シート 11の両面の各々力突出するよう配置された複数の剛性導体 12とにより構成されている。剛性導体 12の各々は、絶縁性シート 11の貫通孔 11Hに挿通された円柱状の胴部 12aと、この胴部 12aの両端の各々に一体に連結されて形成された、絶縁性シート 1 1の表面に露出する端子部 12bとにより構成されている。剛性導体 12における胴部 1 2aの長さ Lは、絶縁性シート 11の厚み dより大きぐまた、当該胴部 12aの径 r2は、絶縁性シート 11の貫通孔 11Hの径 rlより小さいものとされており、これにより、当該剛性導体 12は、絶縁性シート 11の厚み方向に移動可能とされている。また、剛性導体 12における端子部 12bの径 r3は、絶縁性シート 11の貫通孔 11Hの径 rlより大きいものとされている。

[0025] 絶縁性シート 11を構成する材料としては、液晶ポリマー、ポリイミド榭脂、ポリエステル榭脂、ポリアラミド榭脂、ポリアミド榭脂等の榭脂材料、ガラス繊維補強型エポキシ榭脂、ガラス繊維補強型ポリエステル榭脂、ガラス繊維補強型ポリイミド榭脂等の繊維補強型榭脂材料、エポキシ榭脂等にアルミナ、ボロンナイトライド等の無機材料をフイラ一として含有した複合榭脂材料などを用いることができる。

また、複合導電性シート 10を高温環境下で使用する場合には、絶縁性シート 11として、線熱膨張係数が 3 X ιο—⁵Ζκ以下のものを用いることが好ましぐより好ましくは 1 X 10— ⁶〜2 X 10" VK,特に好ましくは 1 X 10— ⁶〜6 X 10— ⁶Ζκである。このような絶縁性シート 11を用いることにより、当該絶縁性シート 11の熱膨張による剛性導体 12 の位置ずれを抑制することができる。

また、絶縁性シート 11の厚み dは、 10〜200 mであることが好ましぐより好ましくは 15〜： LOO /z mである。

また、絶縁性シート 11の貫通孔 11Hの径 rlは、 20〜300 mであることが好ましく、より好ましくは 30〜 150 μ mである。

[0026] 剛性導体 12を構成する材料としては、剛性を有する金属材料を好適に用いることができ、特に、後述する製造方法において絶縁性シートに形成される金属薄層よりもエッチングされにく、ものを用いることが好まし、。このような金属材料の具体例としては、ニッケル、コバルト、金、アルミニウムなどの単体金属またはこれらの合金などを挙げることができる。剛性導体 12における胴部 12aの径 r2は、 18 m以上であることが好ましぐより好ましくは 25 m以上である。この径 r2が過小である場合には、当該剛性導体 12に必要な強度が得られないことがある。また、絶縁性シート 11の貫通孔 11Hの径 rlと剛性導体 12における胴部 12aの径 r2との差 (rl— r2)は、 1 μ m以上であることが好ましぐより好ましくは 2 m以上である。この差が過小である場合には、絶縁性シート 1 1の厚み方向に対して剛性導体 12を移動させることが困難となることがある。

剛性導体 12における端子部 12bの径 r3は、接続すべき電極例えば被検査電極の径の 70〜150%であることが好ましい。また、剛性導体 12における端子部 12bの径 r 3と絶縁性シート 11の貫通孔 11Hの径 rlとの差 (r3— rl)は、 5 μ m以上であることが好ましぐより好ましくは 10 m以上である。この差が過小である場合には、剛性導体 12が絶縁性シート 11から脱落する恐れがある。

剛性導体 12における端子部 12bの厚みは、 5〜50 /ζ πιであることが好ましぐより好ましくは 8〜40 μ mである。

絶縁性シート 11の厚み方向における剛性導体 12の移動可能距離、すなわち剛性導体 12における胴部 12aの長さ Lと絶縁性シート 11の厚み dとの差 (L—d)は、 3〜1 50 mであることが好ましぐより好ましくは 5〜： LOO /z m さらに好ましくは 10〜50 mである。剛性導体 12の移動可能距離が過小である場合には、後述する異方導電性コネクターにおいて、十分な凹凸吸収能を得ることが困難となることがある。一方、剛性導体 12の移動可能距離が過大である場合には、絶縁性シート 11の貫通孔 11 H力露出する剛性導体 12の胴部 12aの長さが大きくなり、検査に使用したときに、剛性導体 12の胴部 12aが座屈または損傷するおそれがある。

[0027] このような複合導電性シート 10は、絶縁性シート 11の貫通孔 11Hに、その厚み方向に移動可能な剛性導体 12を有し、当該剛性導体 12は、その胴部 12aの両端に絶縁性シート 11の貫通孔 11Hの径より大きヽ径を有する端子部 12bが形成されて、るため、当該端子部 12bがストッパーとして機能する結果、剛性導体 12が絶縁性シート 11から脱落することがなぐ当該複合導電性シート 10単独でも取り扱い易いものである。

[0028] 上記の複合導電性シート 10は、例えば以下のようにして製造することができる。先ず、図 3に示すように、絶縁性シート 11の一面に易エッチング性の金属層 13Aが一体的に積層されてなる積層材料 10Bを用意し、この積層材料 10Bにおける金属層 13Aに対してエッチング処理を施してその一部を除去することにより、図 4に示すように、金属層 13Aに接続すべき電極のパターンに対応するパターンに従って複数の開口 13Kを形成する。次いで、図 5に示すように、積層材料 10Bにおける絶縁性シート 11に、それぞれ金属層 13 Aの開口 13Kに連通して厚み方向に伸びる貫通孔 11 Hを形成する。そして、図 6に示すように、絶縁性シート 11の貫通孔 11Hの内壁面および金属層 13Aの開口縁を覆うよう、易エッチング性の筒状の金属薄層 13Bを形成する。このようにして、それぞれ厚み方向に伸びる複数の貫通孔 11Hが形成された絶縁性シート 11と、この絶縁性シート 11の一面に積層された、それぞれ絶縁性シート 11の貫通孔 11Hに連通する複数の開口 13Kを有する易エッチング性の金属層 13 Aと、絶縁性シート 11の貫通孔 11Hの内壁面および金属層 13Aの開口縁を覆うよう形成された易エッチング性の金属薄層 13Bとを有してなる複合積層材料 10Aが製造される。

以上において、絶縁性シート 11の貫通孔 11Hを形成する方法としては、レーザー加工法、ドリルカ卩工法、エッチングカ卩工法などを利用することができる。

金属層 13Aおよび金属薄層 13Bを構成する易エッチング性の金属材料としては、銅などを用いることができる。

また、金属層 13Aの厚みは、目的とする剛性導体 12の移動可能距離などを考慮して設定され、具体的には、 3〜75 μ mであることが好ましぐより好ましくは 5〜50 μ m 、さらに好ましくは 8〜25 μ mである。

また、金属薄層 13Bの厚みは、絶縁性シート 11の貫通孔 11Hの径と形成すべき剛性導体 12における胴部 12aの径とを考慮して設定される。

また、金属薄層 13Bを形成する方法としては、無電解メツキ法などを利用することができる。

そして、この複合積層材料 10Aに対してフォトメツキ処理を施すことにより、絶縁性シート 11の貫通孔 11Hの各々に剛性導体 12を形成する。具体的に説明すると、図 7に示すように、絶縁性シート 11の一面に形成された金属層 13Aの表面および絶縁性シート 11の他面の各々に、形成すべき剛性導体 12における端子部 12bのパターンに対応するパターンに従ってそれぞれ絶縁性シート 11の貫通孔 11Hに連通する複数のパターン孔 14Hが形成されたレジスト膜 14を形成する。次いで、金属層 13A を共通電極として電解メツキ処理を施して当該金属層 13Aにおける露出した部分に金属を堆積させると共に、金属薄層 13Bの表面に金属を堆積させて絶縁性シート 11 の貫通孔 11H内およびレジスト膜 14のパターン孔 14H内に金属を充填することにより、図 8に示すように、絶縁性シート 11の厚み方向に伸びる剛性導体 12を形成する。このようにして剛性導体 12を形成した後、金属層 13Aの表面からレジスト膜 14を除去することにより、図 9に示すように、金属層 13Aを露出させる。そして、エッチング処理を施して金属層 13Aおよび金属薄層 13Bを除去することにより、図 1に示す複合導電性シート 10が得られる。

[0030] このような製造方法によれば、絶縁性シート 11の一面および貫通孔 11Hの内壁面にそれぞれ易エッチンク性の金属層 13Aおよび金属薄層 13Bを形成したうえで、当該絶縁性シート 11の貫通孔 11Hに剛性導体 12を形成し、その後、エッチング処理によって金属層 13Aおよび金属薄層 13Bを除去するため、絶縁性シート 11と剛性導体 12との間に所要のギャップが確実に形成され、その結果、移動可能な剛性導体 1 2を確実に形成することができる。

[0031] 〈異方導電性コネクター〉

図 10は、本発明の異方導電性コネクターの一例における構成を示す説明用断面図であり、図 11は図 10に示す異方導電性コネクターの要部を拡大して示す説明用断面図である。この異方導電性コネクター 15は、図 1に示す構成の複合導電性シート 10と、この複合導電性シート 10の一面（図 10において上面）に配置された第 1の異方導電性エラストマ一シート 16と、複合導電性シート 10の他面に配置された第 2の異方導電性エラストマ一シート 17とにより構成されている。

[0032] この例における第 1の異方導電性エラストマ一シート 16および第 2の異方導電性ェラストマーシート 17は、いずれも絶縁性の弾性高分子物質中に、磁性を示す導電性粒子 Pが、厚み方向に並ぶよう配向して連鎖が形成された状態で、かつ、当該導電性粒子 Pによる連鎖が面方向に分散した状態で含有されてなるものである。第 1の異方導電性エラストマ一シート 16および第 2の異方導電性エラストマ一シート 17を形成する弾性高分子物質としては、架橋構造を有する高分子物質が好ましい。このような弾性高分子物質を得るために用いることのできる硬化性の高分子物質形成材料としては、種々のものを用いることができ、その具体例としては、ポリブタジエンゴム、天然ゴム、ポリイソプレンゴム、スチレン一ブタジエン共重合体ゴム、アタリ口-トリルブタジエン共重合体ゴムなどの共役ジェン系ゴムおよびこれらの水素添加物、スチレン一ブタジエン一ジェンブロック共重合体ゴム、スチレン一イソプレンブロック共重合体などのブロック共重合体ゴムおよびこれらの水素添加物、クロ口プレン、ウレタンゴム、ポリエステル系ゴム、ェピクロルヒドリンゴム、シリコーンゴム、エチレン一プロピレン共重合体ゴム、エチレンプロピレンジェン共重合体ゴムなどが挙げられる。これらの中では、耐久性、成形加工性および電気特性の観点から、シリコーンゴムを用いることが好ましい。

シリコーンゴムとしては、液状シリコーンゴムを架橋または縮合したものが好ま、。液状シリコーンゴムは、その粘度が歪速度 10— ^ecで 10⁵ポアズ以下のものが好ましく、縮合型のもの、付加型のもの、ビュル基ゃヒドロキシル基を含有するものなどのいずれであってもよい。具体的には、ジメチルシリコーン生ゴム、メチルビ-ルシリコーン生ゴム、メチルフエ-ルビ-ルシリコーン生ゴムなどを挙げることができる。

また、シリコーンゴムは、その分子量 Mw (標準ポリスチレン換算重量平均分子量をいう。以下同じ。）が 10, 000-40, 000のものであることが好ましい。また、得られる異方導電性エラストマ一シートに良好な耐熱性が得られることから、分子量分布指数 (標準ポリスチレン換算重量平均分子量 Mwと標準ポリスチレン換算数平均分子量 Mnとの比 MwZMnの値をいう。以下同じ。）が 2以下のものが好ましい。

第 1の異方導電性エラストマ一シート 16および第 2の異方導電性エラストマ一シート 17に含有される導電性粒子 Pとしては、後述する方法により当該粒子を容易に厚み方向に並ぶよう配向させることができることから、磁性を示す導電性粒子が用いられる。このような導電性粒子の具体例としては、鉄、コバルト、ニッケルなどの磁性を有する金属の粒子若しくはこれらの合金の粒子またはこれらの金属を含有する粒子、またはこれらの粒子を芯粒子とし、当該芯粒子の表面に金、銀、パラジウム、ロジウムなどの導電性の良好な金属のメツキを施したもの、あるいは非磁性金属粒子若しくはガラスビーズなどの無機物質粒子またはポリマー粒子を芯粒子とし、当該芯粒子の表面に、ニッケル、コバルトなどの導電性磁性金属のメツキを施したものなどが挙げられるこれらの中では、ニッケル粒子を芯粒子とし、その表面に導電性の良好な金のメッキを施したものを用いることが好まし、。

芯粒子の表面に導電性金属を被覆する手段としては、特に限定されるものではないが、例えばィ匕学メツキまたは電解メツキ法、スパッタリング法、蒸着法などが用いられている。

[0034] 導電性粒子 Pとして、芯粒子の表面に導電性金属が被覆されてなるものを用いる場合には、良好な導電性が得られることから、粒子表面における導電性金属の被覆率（芯粒子の表面積に対する導電性金属の被覆面積の割合)が 40%以上であることが好ましぐさらに好ましくは 45%以上、特に好ましくは 47〜95%である。

また、導電性金属の被覆量は、芯粒子の 0. 5〜50質量％であることが好ましぐより好ましくは 2〜30質量％、さらに好ましくは 3〜25質量％、特に好ましくは 4〜20質量％である。被覆される導電性金属が金である場合には、その被覆量は、芯粒子の 0. 5〜30質量％であることが好ましぐより好ましくは 2〜20質量％、さらに好ましくは 3〜15質量％でぁる。

[0035] また、導電性粒子 Pの数平均粒子径は、 3〜20 μ mであることが好ましぐより好ましくは 5〜 15 mである。この数平均粒子径が過小である場合には、後述する製造方法において、導電性粒子 Pを厚み方向に配向させることが困難となることがある。一方、この数平均粒子径が過大である場合には、分解能の高い異方導電性エラストマーシートを得ることが困難となることがある。

また、導電性粒子 Pの粒子径分布 (DwZDn)は、 1〜： LOであることが好ましぐより好ましくは 1. 01〜7、さらに好ましくは 1. 05〜5、特に好ましくは 1. 1〜4である。また、導電性粒子 Pの形状は、特に限定されるものではないが、高分子物質形成材料中に容易に分散させることができる点で、球状のもの、星形状のものあるいはこれらが凝集した 2次粒子であることが好ま、。また、導電性粒子 Pとして、その表面がシランカップリング剤などのカップリング剤や潤滑剤で処理されたものを適宜用いることができる。カップリング剤や潤滑剤で粒子表面を処理することにより、得られる異方導電性エラストマ一シートの耐久性が向上する。

[0036] このような導電性粒子 Pは、異方導電性エラストマ一シート中に体積分率で 10〜40

%、特に 15〜35%となる割合で含有されていることが好ましい。この割合が過小である場合には、厚み方向に十分に高、導電性を有する異方導電性エラストマ一シートが得られないことがある。一方、この割合が過大である場合には、得られる異方導電性エラストーシートは脆弱なものとなりやすぐ異方導電性エラストマ一シートとして必要な弾性が得られな、ことがある。

[0037] また、第 1の異方導電性エラストマ一シート 16および第 2の異方導電性エラストマ一シート 17の各々の厚みは、 20〜 100 mであることが好ましぐより好ましくは 25〜7 O /z mである。この厚みが過小である場合には、十分な凹凸吸収能が得られないことがある。一方、この厚みが過大である場合には、高い分解能が得られないことがある

[0038] 第 1の異方導電性エラストマ一シート 16は、以下のようにして製造することができる先ず、図 12に示すように、それぞれシート状の一面側成形部材 30および他面側成形部材 31と、目的とする第 1の異方導電性エラストマ一シート 16の平面形状に適合する形状の開口 32Kを有すると共に当該第 1の異方導電性エラストマ一シート 16の厚みに対応する厚みを有する枠状のスぺーサー 32とを用意すると共に、硬化されて弾性高分子物質となる液状の高分子物質形成材料中に導電性粒子が含有されてなる導電性エラストマ一用材料を調製する。

そして、図 13に示すように、他面側成形部材 31の成形面（図 13において上面）上にスぺーサー 32を配置し、他面側成形部材 31の成形面上におけるスぺーサー 32 の開口 32K内に、調製した導電性エラストマ一用材料 16Bを塗布し、その後、この導電性エラストマ一用材料 16B上に一面側成形部材 30をその成形面（図 13において下面）が導電性エラストマ一用材料 16Bに接するよう配置する。以上において、一面側成形部材 30および他面側成形部材 31としては、ポリイミド榭脂、ポリエステル榭脂、アクリル榭脂などよりなる榭脂シートを用いることができる。また、一面側成形部材 30および他面側成形部材 31を構成する榭脂シートの厚みは、 50〜500 μ mであること力 S好ましく、より好ましくは 75〜300 μ mである。この厚みが 50 m未満である場合には、成形部材として必要な強度が得られないことがある。一方、この厚みが 500 /z mを超える場合には、後述する導電性エラストマ一用材料層に所要の強度の磁場を作用させることが困難となることがある。

[0039] 次いで、図 14に示すように、加圧ロール 33および支持ロール 34よりなる加圧ロール装置 35を用い、一面側成形部材 30および他面側成形部材 31によって導電性ェラストマー用材料 16Bを挟圧することにより、当該一面側成形部材 30と当該他面側成形部材 31との間に、所要の厚みの導電性エラストマ一用材料層 16Aを形成する。この導電性エラストマ一用材料層 16Aにおいては、図 15に拡大して示すように、導電性粒子 Pが均一に分散した状態で含有されている。

その後、一面側成形部材 30の裏面および他面側成形部材 31の裏面に、例えば一対の電磁石を配置し、当該電磁石を作動させることにより、導電性エラストマ一用材料層 16 Aの厚み方向に平行磁場を作用させる。その結果、導電性エラストマ一用材料層 16Aにお、ては、当該導電性エラストマ一用材料層 16A中に分散されて!、る導電性粒子 Pが、図 16に示すように、面方向に分散された状態を維持しながら厚み方向に並ぶよう配向し、これにより、それぞれ厚み方向に伸びる複数の導電性粒子 Pによる連鎖が、面方向に分散した状態で形成される。

そして、この状態において、導電性エラストマ一用材料層 16Aを硬化処理することにより、弾性高分子物質中に、導電性粒子 Pが厚み方向に並ぶよう配向した状態で、かつ、当該導電性粒子 Pによる連鎖が面方向に分散された状態で含有されてなる第 1の異方導電性エラストマ一シート 16が製造される。

[0040] 以上にお、て、導電性エラストマ一用材料層 16Aの硬化処理は、平行磁場を作用させたままの状態で行うこともできるが、平行磁場の作用を停止させた後に行うこともできる。

導電性エラストマ一用材料層 16Aに作用される平行磁場の強度は、平均で 0. 02 〜2. 5テスラとなる大きさが好ましい。

導電性エラストマ一用材料層 16Aの硬化処理は、使用される材料によって適宜選定される力通常、加熱処理によって行われる。具体的な加熱温度および加熱時間は、導電性エラストマ一用材料層 16Aを構成する高分子物質用材料などの種類、導電性粒子 Pの移動に要する時間などを考慮して適宜選定される。

[0041] また、第 2の異方導電性エラストマ一シート 17は、第 1の異方導電性エラストマーシート 16と同様の方法によって製造することができる。

[0042] このような異方導電性コネクター 15によれば、複合導電性シート 10における剛性導体 12の各々は、絶縁性シート 11に対してその厚み方向に移動可能とされているため、接続すべき電極によって厚み方向に加圧されたときには、複合導電性シート 10の一面に配置された第 1の異方導電性エラストマ一シート 16および当該複合導電性シート 10の他面に配置された第 2の異方導電性エラストマ一シート 17は、剛性導体 12 が移動することによって互、に連動して圧縮変形するため、両者の有する凹凸吸収能の合計が異方導電性コネクター 15の凹凸吸収能として発現され、従って、高い凹凸吸収能を得ることができる。

また、所要の凹凸吸収能を得るために必要な厚みは、第 1の異方導電性エラストマ一シート 16および第 2の異方導電性エラストマ一シート 17の合計の厚みによって確保すればよぐ個々の異方導電性エラストマ一シートとしては、厚みが小さいものを用 V、ることができるので、高、分解能を得ることができる。

[0043] 〈アダプター装置〉

図 17は、本発明に係るアダプター装置の第 1の例における構成を示す説明用断面図であり、図 18は、図 17に示すアダプター装置におけるアダプター本体を示す説明用断面図である。このアダプター装置は、例えばプリント回路基板などの回路装置にっ、て、例えばオープン 'ショート試験を行うために用いられる回路装置検査用のものであって、多層配線板よりなるアダプター本体 20を有する。アダプター本体 20の表面（図 17および図 18において上面）には、検査対象である回路装置の被検査電極のパターンに対応する特定のパターンに従って複数の接続用電極 21が配置された接続用電極領域 25が形成されている。

アダプター本体 20の裏面には、例えばピッチが 0. 8mm、 0. 75mm, 1. 5mm、 1 . 8mm, 2. 54mmの格子点位置に従って複数の端子電極 22が配置され、端子電極 22の各々は、内部配線部 23によって接続用電極 21に電気的に接続されている。このアダプター本体 20の表面には、その接続用電極領域 25上に、基本的に図 10 に示す構成の異方導電性コネクター 15が、その第 2の異方導電性エラストマーシート 17がアダプター本体 20に接するよう配置され、当該アダプター本体 20に適宜の手段（図示省略）によって固定されている。

この異方導電性コネクター 15において、複合導電性シート 10には、アダプタ一本体 20における接続用電極 21に係る特定のパターンと同一のパターンに従って複数の剛性導体 12が配置されており、当該異方導電性コネクター 15は、複合導電性シート 10における剛性導体 12の各々がアダプター本体 20の接続用電極 21の直上位置に位置するよう配置されて！ヽる。

[0044] このようなアダプター装置によれば、図 10に示す構成の異方導電性コネクター 15 を有するため、検査対象である回路装置が、隣接する被検査電極の間の離間距離力、さぐ被検査電極の高さレベルにバラツキがあるものであっても、隣接する被検查電極間に必要な絶縁性が確保された状態で当該被検査電極の各々に対する電気的な接続を確実に達成することができる。

[0045] 図 19は、本発明に係るアダプター装置の第 2の例における構成を示す説明用断面図であり、図 20は、図 19に示すアダプター装置におけるアダプター本体を示す説明用断面図である。このアダプター装置は、例えばプリント回路基板などの回路装置にっ、て、各配線パターンの電気抵抗測定試験を行うために用いられる回路装置検査用のものであって、多層配線板よりなるアダプター本体 20を有する。

アダプター本体 20の表面（図 19および図 20において上面）には、それぞれ同一の被検査電極に電気的に接続される互ヽに離間して配置された電流供給用の接続用電極 (以下、「電流供給用電極」ともいう。） 21bおよび電圧測定用の接続用電極 (以下、「電圧測定用電極」ともいう。） 21cよりなる複数の接続用電極対 21aが配置された接続用電極領域 25が形成されている。これらの接続用電極対 21aは、検査対象である回路装置の被検査電極のパターンに対応するパターンに従って配置されているアダプター本体 20の裏面には、例えばピッチが 0. 8mm、 0. 75mm, 1. 5mm、 1 . 8mm、 2. 54mmの格子点位置に従って複数の端子電極 22が配置されている。そして、電流供給用電極 21bおよび電圧測定用電極 21cの各々は、内部配線部 2 3によって端子電極 22に電気的に接続されて!ヽる。

このアダプター本体 20の表面には、その接続用電極領域 25上に、基本的に図 10 に示す構成の異方導電性コネクター 15が、その第 2の異方導電性エラストマーシート 17がアダプター本体 20に接するよう配置され、当該アダプター本体 20に適宜の手段（図示省略）によって固定されている。

この異方導電性コネクター 15において、複合導電性シート 10には、アダプタ一本体 20における接続用電極 21b, 21cに係る特定のパターンと同一のパターンに従つて複数の剛性導体 12が配置されており、当該異方導電性コネクター 15は、複合導電性シート 10における剛性導体 12の各々がアダプター本体 20の接続用電極 21b, 21 cの直上位置に位置するよう配置されて、る。

[0046] 上記のアダプター装置によれば、図 10に示す構成の異方導電性コネクター 15を有するため、検査対象である回路装置が、隣接する被検査電極の間の離間距離が小さぐ被検査電極の高さレベルにバラツキがあるものであっても、隣接する被検査電極間に必要な絶縁性が確保された状態で当該被検査電極の各々に対する電気的な接続を確実に達成することができる。

[0047] 〈回路装置の電気的検査装置〉

図 21は、本発明に係る回路装置の電気的検査装置の第 1の例における構成を示す説明図である。この電気的検査装置は、両面に被検査電極 6, 7が形成されたプリント回路基板などの回路装置 5について、例えばオープン 'ショート試験を行うものであって、回路装置 5を検査実行領域 Eに保持するためのホルダー 2を有し、このホルダー 2には、回路装置 5を検査実行領域 Eにおける適正な位置に配置するための位置決めピン 3が設けられている。検査実行領域 Eの上方には、図 17に示すような構成の上部側アダプター装置 laおよび上部側検査ヘッド 50aが下力この順で配置され、更に、上部側検査ヘッド 50aの上方には、上部側支持板 56aが配置されており、上部側検査ヘッド 50aは、支柱 54aによって上部側支持板 56aに固定されている。一方、検査実行領域 Eの下方には、図 17に示すような構成の下部側アダプター装置 lb および下部側検査ヘッド 50bが上力この順で配置され、更に、下部側検査ヘッド 5 Obの下方には、下部側支持板 56bが配置されており、下部側検査ヘッド 50bは、支柱 54bによって下部側支持板 56bに固定されている。

上部側検査ヘッド 50aは、板状の検査電極装置 5 laと、この検査電極装置 5 laの下面に固定されて配置された弾性を有する異方導電性エラストマ一シート 55aとにより構成されている。検査電極装置 51aは、その下面に上部側アダプター装置 laの端子電極 22と同一のピッチの格子点位置に配列された複数のピン状の検査電極 52a を有し、これらの検査電極 52aの各々は、電線 53aによって、上部側支持板 56aに設けられたコネクター 57aに電気的に接続され、更に、このコネクター 57aを介してテスターの検査回路（図示省略）に電気的に接続されている。

下部側検査ヘッド 50bは、板状の検査電極装置 5 lbと、この検査電極装置 51bの上面に固定されて配置された弾性を有する異方導電性エラストマ一シート 55bとにより構成されている。検査電極装置 5 lbは、その上面に下部側アダプター装置 lbの端子電極 22と同一のピッチの格子点位置に配列された複数のピン状の検査電極 52b を有し、これらの検査電極 52bの各々は、電線 53bによって、下部側支持板 56bに設けられたコネクター 57bに電気的に接続され、更に、このコネクター 57bを介してテスターの検査回路（図示省略）に電気的に接続されている。

[0048] 上部側検査ヘッド 50aおよび下部側検査ヘッド 50bにおける異方導電性エラストマ一シート 55a, 55bは、いずれもその厚み方向にのみ導電路を形成する導電路形成部が形成されてなるものである。このような異方導電性エラストマ一シート 55a, 55bとしては、各導電路形成部が少なくとも一面において厚み方向に突出するよう形成されて!、るものが、高、電気的な接触安定性を発揮する点で好ま、。

[0049] このような回路装置の電気的検査装置においては、検査対象である回路装置 5がホルダー 2によって検査実行領域 Eに保持され、この状態で、上部側支持板 56aおよび下部側支持板 56bの各々が回路装置 5に接近する方向に移動することにより、当該回路装置 5が上部側アダプター装置 laおよび下部側アダプター装置 lbによって挟圧される。

この状態においては、回路装置 5の上面における被検査電極 6は、上部側アダプタ一装置 1 aにおける接続用電極 21に、当該異方導電性コネクター 10を介して電気的に接続され、この上部側アダプター装置 laの端子電極 22は、異方導電性エラストマ一シート 55aを介して検査電極装置 5 laの検査電極 52aに電気的に接続されている。一方、回路装置 5の下面における被検査電極 7は、下部側アダプター装置 lbにおける接続用電極 21に、当該異方導電性コネクター 10を介して電気的に接続され、この下部側アダプター装置 lbの端子電極 22は、異方導電性エラストマ一シート 55bを介して検査電極装置 5 lbの検査電極 52bに電気的に接続されて!、る。

[0050] このようにして、回路装置 5の上面および下面の両方の被検査電極 6, 7の各々が、上部側検査ヘッド 50aにおける検査電極装置 51aの検査電極 52aおよび下部側検查ヘッド 50bにおける検査電極装置 51bの検査電極 52bの各々に電気的に接続されること〖こより、テスターの検査回路に電気的に接続された状態が達成され、この状態で所要の電気的検査が行われる。

[0051] 上記の回路装置の電気的検査装置によれば、図 17に示すような構成の上部側ァダブター装置 laおよび下部側アダプター装置 lbを有するため、検査対象である回路装置 5が、隣接する被検査電極 6, 7の間の離間距離が小さぐ被検査電極 6, 7の高さレベルにバラツキがあるものであっても、当該回路装置 5について所要の電気的検査を確実に実行することができる。

[0052] 図 22は、本発明に係る回路装置の電気的検査装置の第 2の例における構成を示す説明図である。この電気的検査装置は、両面に被検査電極 6, 7が形成されたプリント回路基板などの回路装置 5について、各配線パターンの電気抵抗測定試験を行うためのものであって、回路装置 5を検査実行領域 Eに保持するためのホルダー 2を有し、このホルダー 2には、回路装置 5を検査実行領域 Eにおける適正な位置に配置するための位置決めピン 3が設けられている。検査実行領域 Eの上方には、図 19に示すような構成の上部側アダプター装置 la および上部側検査ヘッド 50aが下力この順で配置され、更に、上部側検査ヘッド 5 Oaの上方には、上部側支持板 56aが配置されており、上部側検査ヘッド 50aは、支柱 54aによって上部側支持板 56aに固定されている。一方、検査実行領域 Eの下方には、図 19に示すような構成の下部側アダプター装置 lbおよび下部側検査ヘッド 5 Obが上力もこの順で配置され、更に、下部側検査ヘッド 50bの下方には、下部側支持板 56bが配置されており、下部側検査ヘッド 50bは、支柱 54bによって下部側支持板 56bに固定されている。

上部側検査ヘッド 50aおよび下部側検査ヘッド 50bにおける異方導電性エラストマ一シート 55a, 55bは、第 1の例の電気的検査装置と基本的に同様の構成である。このような回路装置の電気的検査装置においては、検査対象である回路装置 5がホルダー 2によって検査実行領域 Eに保持され、この状態で、上部側支持板 56aおよび下部側支持板 56bの各々が回路装置 5に接近する方向に移動することにより、当該回路装置 5が上部側アダプター装置 laおよび下部側アダプター装置 lbによって挟圧される。

この状態においては、回路装置 5の上面における被検査電極 6は、上部側アダプタ一装置 laの接続用電極対 21aにおける電流供給用電極 21bおよび電圧測定用電極 21cの両方に、異方導電性コネクター 15を介して電気的に接続され、この上部側アダプター装置 laの端子電極 22は、異方導電性エラストマ一シート 55aを介して検查電極装置 51aの検査電極 52aに電気的に接続されている。一方、回路装置 5の下面における被検査電極 7は、下部側アダプター装置 lbの接続用電極対 21aにおける電流供給用電極 21bおよび電圧測定用電極 21cの両方に、異方導電性コネクタ一 15を介して電気的に接続され、この下部側アダプター装置 lbの端子電極 22は、異方導電性エラストマ一シート 55bを介して検査電極装置 5 lbの検査電極 52bに電気的に接続されている。

[0054] このようにして、回路装置 5の上面および下面の両方の被検査電極 6, 7の各々が、上部側検査ヘッド 50aにおける検査電極装置 51aの検査電極 52aおよび下部側検查ヘッド 50bにおける検査電極装置 51bの検査電極 52bの各々に電気的に接続されること〖こより、テスターの検査回路に電気的に接続された状態が達成され、この状態で所要の電気的検査が行われる。具体的には、上部側アダプター装置 laにおける電流供給用電極 21bと下部側アダプター装置 lbにおける電流供給用電極 21bとの間に一定の値の電流が供給されると共に、上部側のアダプター装置 laにおける複数の電圧測定用電極 21cの中から 1つを指定し、当該指定された 1つの電圧測定用電極 21cと、当該電圧測定用電極 21cに電気的に接続された上面側の被検査電極 5に対応する下面側の被検査電極 6に電気的に接続された、下部側アダプター装置 lbにおける電圧測定用電極 21cとの間の電圧が測定され、得られた電圧値に基づいて、当該指定された 1つの電圧測定用電極 21cに電気的に接続された上面側の被検査電極 5とこれに対応する他面側の被検査電極 6との間に形成された配線バターンの電気抵抗値が取得される。そして、指定する電圧測定用電極 21cを順次変更することにより、全ての配線パターンの電気抵抗の測定が行われる。

[0055] 上記の回路装置の電気的検査装置によれば、図 19に示すような構成の上部側ァダブター装置 laおよび下部側アダプター装置 lbを有するため、検査対象である回路装置 5が、隣接する被検査電極 6, 7の間の離間距離が小さぐ被検査電極 6, 7の高さレベルにバラツキがあるものであっても、当該回路装置 5について所要の電気的検査を確実に実行することができる。

[0056] 図 23は、本発明に係る回路装置の電気的検査装置の第 3の例における構成を示す説明図である。この電気的検査装置は、両面に被検査電極 6, 7が形成されたプリント回路基板などの回路装置 5について、例えばオープン 'ショート試験を行うものであって、回路装置 5を検査実行領域 Eに保持するためのホルダー 2を有し、このホルダー 2には、回路装置 5を検査実行領域 Eにおける適正な位置に配置するための位置決めピン 3が設けられている。検査実行領域 Eの上方には、図 17に示すような構成の上部側アダプター装置 laおよび上部側検査ヘッド 60aが下力この順で配置され、更に、上部側検査ヘッド 60aの上方には、上部側支持板 56aが配置されており、上部側検査ヘッド 60aは、支柱 54aによって上部側支持板 56aに固定されている。一方、検査実行領域 Eの下方には、図 17に示すような構成の下部側アダプター装置 lb および下部側検査ヘッド 60bが上力この順で配置され、更に、下部側検査ヘッド 6 Obの下方には、下部側支持板 56bが配置されており、下部側検査ヘッド 60bは、支柱 54bによって下部側支持板 56bに固定されている。

上部側検査ヘッド 60aは、板状の検査電極装置 6 laと、この検査電極装置 6 laの下面に固定されて配置された異方導電性コネクター 70aとにより構成されている。一方、下部側検査ヘッド 60bは、板状の検査電極装置 6 lbと、この検査電極装置 6 lbの上面に固定されて配置された弾性を有する異方導電性コネクター 70bとにより構成されている。

[0057] 上部側検査ヘッド 60aにおける検査電極装置 61aは、図 24に拡大して示すように、上部側アダプター装置におけるアダプター本体 20の端子電極 22と同一のピッチの格子点位置に従って、それぞれ厚み方向に伸びる複数の貫通孔 63aが形成された平板状の絶縁性基板 62aを有する。この絶縁性基板 62aの貫通孔 63aの各々には、電線 64aが、その先端面が絶縁性基板 62aの表面と同一レベルとなるよう挿入されて配置され、絶縁性基板 62aの貫通孔 63aの各々の内壁面と電線 64aの各々の外周面との間には、電線 64aを固定する例えば液状封止材が硬化されてなる固定部材 6 5aが形成されている。そして、電線 64aの各々の先端面には、円形の膜状の検査電極 66aが形成されており、これらの検査電極 66aの各々は、電線 64aによって、上部側支持板 56aに設けられたコネクター 57aに電気的に接続され、更に、このコネクタ一 57aを介してテスターの検査回路（図示省略）に電気的に接続されている。

[0058] 絶縁性基板 62aを構成する材料としては、固有抵抗が例えば 1 X 1Ο¹⁰ Ω ' cm以上の絶縁性材料を用いることが好ましぐその具体例としては、例えばポリイミド榭脂、ポリエステル榭脂、ポリアミド榭脂、フエノール榭脂、ポリアセタール榭脂、ポリプチレンテレフタレート樹脂、ポチエチレンテレフタレート榭脂、シンジォタクチック'ポリスチレン榭脂、ポリフエ-レンサルファイド榭脂、ポリエーテルェチルケトン榭脂、フッ素榭脂、ポリエーテル-トリル榭脂、ポリエーテルサルホン榭脂、ポリアリレート榭脂、ポリアミドイミド榭脂等の機械的強度の高い榭脂材料、ガラス繊維補強型エポキシ榭脂、ガラス繊維補強型ポリエステル榭脂、ガラス繊維補強型ポリイミド榭脂、ガラス繊維補強フエノール榭脂、ガラス繊維補強型フッ素榭脂等のガラス繊維型複合榭脂材料、カーボン繊維補強型エポキシ榭脂、カーボン繊維補強型ポリエステル榭脂、カーボン繊維補強型ポリイミド榭脂、カーボン繊維補強型フエノール榭脂、カーボン繊維補強型フッ素榭脂等のカーボン繊維型複合榭脂、エポキシ榭脂、フエノール榭脂等にシリカ、アルミナ、ボロンナイトライド等の無機材料を充填した複合榭脂材料、エポキシ榭脂、フエノール榭脂等にメッシュを含有した複合榭脂材料などを挙げることができる。また、これらの材料力もなる板材を複数積層して構成された複合板材等も用いることができる。

絶縁性基板 62aの厚みは、その貫通孔 63aを例えばドリルカ卩ェによって容易に形成することができる点で、例えば 5mm以下であることが好ましぐより好ましくは 2〜5 mmである。

絶縁性基板 62aの貫通孔 63aの開口径は、当該貫通孔 63aのピッチ、電線 64aの径を考慮して適宜設定されるが、例えば電線 64aの径が 200 mである場合には、貫通孔 63aの径は 0. 25〜0. 35mmである。

[0059] 電線 64aとしては、例えばエナメル線や-クロム線などの従来より好適に用いられているものを用いることができる。電線 64aの径は例えば 50〜400 μ mである。固定部材 65aを形成するための液状封止材としては、絶縁性基板 62aに対して十分に高い接着性が得られるものが用いられ、その具体例としては、例えばエポキシ榭脂系封止材、ポリイミド榭脂系封止材、ポリアミド榭脂系封止材等を挙げることができる。

検査電極 66aを構成する材料としては、銅、ニッケル、金またはこれらの合金などを用いることができ、検査電極 66aとしては、これらの金属の積層体によって形成されていてもよい。

検査電極 66aの径は、電極 64aの径および上部側アダプター装置におけるァダプター本体 20の端子電極 22の径に応じて適宜設定される。また、検査電極 66aの厚みは、例えは 0. 1〜20 /ζ πιである。

[0060] このような構成の検査電極装置 6 laは、例えば以下のようにして製造することができる。

先ず、平板状の絶縁性基板形成材を用意し、この絶縁性基板形成材に例えばドリル加工を施すことにより、図 25に示すように、上部側アダプター laにおけるアダプタ一本体 20の端子電極 22と同一のピッチの格子点位置に、それぞれ厚み方向に伸びる複数の貫通孔 63aが形成された絶縁性基板 62aを作製する。

その後、図 26に示すように、絶縁性基板 62aの貫通孔 63aの各々に、電線 64aをその先端部が絶縁性基板 62aの表面力突出するよう挿入し、この状態で、絶縁性基板 62aの貫通孔 63a内に液状封止材を注入して硬化させることにより、図 27に示すように、絶縁性基板 62aの貫通孔 63aの内壁面と電線 64aの外周面との間に固定部材 65aを形成する。

次いで、図 28に示すように、電線 64aの各々の先端面を絶縁性基板 62aの表面と同一レベルとなるまで研磨する。

そして、電線 64aの各々の先端面に電解メツキ処理を施すことにより、図 29に示すように、膜状の検査電極 66aを形成し、以て、検査電極装置 6 laが得られる。

[0061] 上部側検査ヘッド 60aにおける異方導電性コネクター 70aは、剛性導体 12の配置ノターンおよび各部材の寸法を除いて基本的に図 1に示す複合導電性シート 10と同様の構成の複合導電性シート 10と、この複合導電性シート 10の一面に配置された第 1の異方導電性エラストマ一シート 71aと、複合導電性シート 10の他面に配置された第 2の異方導電性エラストマ一シート 75aとにより構成されている。

第 1の異方導電性エラストマ一シート 71aおよび第 2の異方導電性エラストマーシート 75aの各々は、上部側アダプター装置 laの端子電極 22と同一のピッチの格子点位置に従って配置された、それぞれ厚み方向に伸びる複数の導電路形成部 72a, 76a と、これらを相互に絶縁する絶縁部 73a, 77aとにより構成されている。導電路形成部 72a, 76aの各々は、絶縁性の弾性高分子物質中に磁性を示す導電性粒子 Pが厚み方向に並ぶよう配向して連鎖が形成された状態で含有されてなるものである。これに対し、絶縁部 73a, 77aは弾性高分子物質よりなり、導電性粒子が全く或いは殆ど含有されていないものである。また、図示の例では、第 1の異方導電性エラストマーシート 71aおよび第 2の異方導電性エラストマ一シート 75aの各々における導電路形成部 72a, 76aは一面において厚み方向に突出するよう形成され、一方、第 1の異方導電性エラストマ一シート 71aおよび第 2の異方導電性エラストマ一シート 75aの各々の他面と平坦面とされており、第 1の異方導電性エラストマ一シート 71aおよび第 2の異方導電性エラストマ一シート 75aの各々は、平坦面である他面が複合導電性シート 1 0に接するよう配置されている。このような異方導電性エラストマ一シートは、従来公知の方法によって製造することができる。

下部側検査ヘッド 60bにおける検査電極装置 61bは、図 30に拡大して示すように、下部側アダプター装置 lbの端子電極 22と同一のピッチの格子点位置に従って、それぞれ厚み方向に伸びる複数の複数の貫通孔 63bが形成された平板状の絶縁性基板 62bを有する。この絶縁性基板 62bの貫通孔 63bの各々には、電線 64b力その先端面が絶縁性基板 62bの表面と同一レベルとなるよう挿入されて配置され、絶縁性基板 62bの貫通孔 63bの各々の内壁面と電線 64bの各々の外周面との間には、電線 64bを固定する例えば液状封止材が硬化されてなる固定部材 65bが形成されている。そして、電線 64bの各々の先端面には、円形の膜状の検査電極 66bが形成されており、これらの検査電極 66bの各々は、電線 64bによって、下部側支持板 56b に設けられたコネクター 57bに電気的に接続され、更に、このコネクター 57bを介してテスターの検査回路（図示省略）に電気的に接続されている。検査電極装置 61b〖こおけるその他の具体的な構成は、上部側検査ヘッド 60aにおける検査電極装置 6 la と同様である。

[0063] 下部側検査ヘッド 60bにおける異方導電性コネクター 70bは、剛性導体 12の配置ノターンおよび各部材の寸法を除いて基本的に図 1に示す複合導電性シート 10と同様の構成の複合導電性シート 10と、この複合導電性シート 10の一面に配置された第 1の異方導電性エラストマ一シート 71bと、複合導電性シート 10の他面に配置された第 2の異方導電性エラストマ一シート 75bとにより構成されている。

第 1の異方導電性エラストマ一シート 71bおよび第 2の異方導電性エラストマーシート 75bの各々は、下部側アダプター装置 lbの端子電極 22と同一のピッチの格子点位置に従って配置された、それぞれ厚み方向に伸びる複数の導電路形成部 72b, 7 6bと、これらを相互に絶縁する絶縁部 73b, 77bとにより構成されている。導電路形成部 72b, 76bの各々は、絶縁性の弾性高分子物質中に磁性を示す導電性粒子 P が厚み方向に並ぶよう配向して連鎖が形成された状態で含有されてなるものである。これに対し、絶縁部 73b, 77bは弾性高分子物質よりなり、導電性粒子が全く或いは殆ど含有されていないものである。また、図示の例では、第 1の異方導電性エラストマ一シート 71bおよび第 2の異方導電性エラストマ一シート 75bの各々における導電路形成部 72b, 76bは一面において厚み方向に突出するよう形成され、一方、第 1の異方導電性エラストマ一シート 71bおよび第 2の異方導電性エラストマ一シート 75bの各々の他面と平坦面とされており、第 1の異方導電性エラストマ一シート 71bおよび第 2の異方導電性エラストマ一シート 75bの各々は、平坦面である他面が複合導電性シート 10に接するよう配置されている。このような異方導電性エラストマ一シートは、従来公知の方法によって製造することができる。

[0064] このような回路装置の電気的検査装置においては、検査対象である回路装置 5がホルダー 2によって検査実行領域 Eに保持され、この状態で、上部側支持板 56aおよび下部側支持板 56bの各々が回路装置 5に接近する方向に移動することにより、当該回路装置 5が上部側アダプター装置 laおよび下部側アダプター装置 lbによって挟圧される。

この状態においては、回路装置 5の上面における被検査電極 6は、上部側アダプタ一装置 1 aにおける接続用電極 21に、当該異方導電性コネクター 15を介して電気的に接続され、この上部側アダプター装置 laの端子電極 22は、異方導電性コネクター 70aを介して検査電極装置 61aの検査電極 66aに電気的に接続されている。一方、回路装置 5の下面における被検査電極 7は、下部側アダプター装置 lbにおける接続用電極 21に、当該異方導電性コネクター 15を介して電気的に接続され、この下部側アダプター装置 lbの端子電極 22は、異方導電性コネクター 70bを介して検査電極装置 6 lbの検査電極 66bに電気的に接続されて!、る。

[0065] このようにして、回路装置 5の上面および下面の両方の被検査電極 6, 7の各々力上部側検査ヘッド 60aにおける検査電極装置 61aの検査電極 66aおよび下部側検查ヘッド 60bにおける検査電極装置 61bの検査電極 66bの各々に電気的に接続されること〖こより、テスターの検査回路に電気的に接続された状態が達成され、この状態で所要の電気的検査が行われる。

[0066] 上記の回路装置の電気的検査装置によれば、図 17に示すような構成の上部側ァダブター装置 laおよび下部側アダプター装置 lbを有するため、検査対象である回路装置 5が、隣接する被検査電極 6, 7の間の離間距離が小さぐ被検査電極 6, 7の高さレベルにバラツキがあるものであっても、当該回路装置 5について所要の電気的検査を確実に実行することができる。

[0067] 本発明においては、上記の実施の形態に限定されず、以下のような種々の変更を加えることが可能である。

複合導電性シート 10において、剛性導体 12を構成する材料としては、剛性を有する導体であれば金属材料に限定されるものではなぐ例えば、剛性榭脂中に金属などの導電性粉末が含有されてなるものなどを用いることができる。

複合導電性シート 10の製造方法において、積層材料および複合積層材料は、絶縁性シートの両面に金属層が形成されてなるものであってもよい。

異方導電性コネクター 15において、第 1の異方導電性エラストマ一シートおよび第 2の異方導電性エラストマ一シートの、ずれか一方または両方として、偏在型異方導電性エラストマ一シートを用いることができる。

また、電気的検査装置において、検査対象である回路装置は、プリント回路基板に限定されず、ノッケージ IC、 MCMなどの半導体集積回路装置であってもよい。実施例

[0068] 以下、本発明の具体的な実施例について説明する力本発明は以下の実施例に限定されるものではない。

[0069] 〈評価用回路装置の作製〉

下記の仕様の評価用回路装置を作製した。

すなわち、この評価用回路装置は、寸法が 200mm (縦） X 140mm (横） X O. 8m m (厚み)で、上面側被検査電極および下面側被検査電極はそれぞれ半田バンプにより構成されている。上面側被検査電極は、その総数が 2400個で、各々の直径が約 200 μ m、突出高さが約 50 μ m、最小ピッチが 400 μ mである。下面側被検査電極は、その総数が 2400個で、上面側被検査電極と同一のパターンで形成されており、各々の直径が約 150 μ m、突出高さが約 50 μ m、最小ピッチは 400 μ mである。また、上面側被検査電極と下面側被検査電極とは、内部配線によって互いに 1対 1の関係で電気的に接続されている。

[0070] 〈実施例 1〉

以下のようにして、上記の評価用回路装置の電気的検査を行うための上部側ァダプター装置および下部側アダプター装置を製造し、図 22に示す回路装置の検査装置を構成した。

[0071] 〔上部側アダプター装置〕

(1)複合導電性シートの製造：

厚みが 50 mの液晶ポリマーよりなる絶縁性シートの一面に厚みが 18 mの銅よりなる金属層が一体的に積層されてなる積層材料 (新日鐡ィ匕学製の「エスバネックス

LC 18— 50— 00NEJ )を用意し、この積層材料における金属層上にドライフィルムレジストをラミネートすることによりレジスト膜を形成した。

次ヽで、形成されたレジスト膜に対して露光処理および現像処理を施すことにより、当該レジスト膜に上記の評価用回路装置における上面側被検査電極に対応するパターンに従って直径力 S40 mの円形のパターン孔を形成し、更に、エッチング処理を行うことにより、金属層にレジスト膜のパターン孔と同一のパターンの開口を形成し、その後、レジスト膜を除去した。

その後、積層材料における絶縁性シートに対して、金属層に形成された開口を介して CO レーザー加工機を用いてレーザー加工を施すことにより、金属層の開口に連

2

通する貫通孔を形成した。

そして、絶縁性シートの貫通孔の内壁面に無電解銅メツキ処理を施し、更に、金属層を共通電極として電解銅メツキ処理を施すことにより、絶縁性シートの貫通孔の内壁面および金属層の開口縁を覆うよう、厚みが 5 mの銅よりなる筒状の金属薄層を形成し、以て、複合積層材料を製造した。ここで、金属薄層を形成した後の貫通孔の直径は約 30 μ mであった。

次いで、複合積層材料の両面 (絶縁性シートの一面に形成された金属層の表面および絶縁性シートの他面）の各々に、厚みが 25 μ mのドライフィルムレジストをラミネートして露光処理および現像処理を施すことにより、形成すべき剛性導体における端子部のパターンに対応するパターンに従って直径 50 mの円形のパターン孔が形成されたレジスト膜を形成した。その後、金属層を共通電極としてスルファミン酸-ッケルが溶解されたメツキ液を用いて電解メツキ処理を施すことにより、ニッケルよりなる剛性導体を形成した。

そして、剛性導体の端子部の表面を研磨することにより、当該剛性導体の端子部の表面を平坦ィ匕すると共に当該端子部の厚みをレジスト膜の厚みに一致させた。次いで、複合積層材料の両面カゝらレジスト膜を除去した後、当該複合積層材料に対して、塩ィ匕第二鉄が溶解されたエッチング液を用いて、 60°C、 3時間のエッチング処理を施すことにより、金属層および金属薄層を除去し、以て、複合導電性シートを製造した。

得られた複合導電性シートについて説明すると、絶縁性シートは、材質が液晶ポリマーで、縦横の寸法が 190mm X 130mm、厚み dが 50 μ m、貫通孔の直径 rlが 40 μ m、剛性導体は、総数が 2400で、胴部の径 r2が 30 μ m、端子部の径 r3が 50 μ m、胴部の長さ Lが 73 μ m、剛性導体の移動距離 (L— d)が 23 μ mある。

(2)異方導電性エラストマ一シートの製造：

付加型液状シリコーンゴム 100重量部に数平均粒子径が 12 mの導電性粒子 40 0重量部を添加して混合した後、減圧による脱泡処理を行うことにより、導電性エラストマ一用材料を調製した。

以上において、導電性粒子としては、ニッケル粒子を芯粒子とし、この芯粒子に無電解金メッキが施されてなるもの（平均被覆量:芯粒子の重量の 2重量％となる量)を用いた。

[0073] 他面側成形部材の成形面上に、 120mmX 120mmの矩形の開口を有する、厚み力 0 mの枠状のスぺーサーを配置した後、スぺーサ一の開口内に、調製した導電性エラストマ一用材料を塗布し、この導電性エラストマ一用材料上に一面側成形部材をその成形面が導電性エラストマ一用材料に接するよう配置した。

以上において、一面側成形部材および他面側成形部材としては、厚みが 0. lmm のポリエステル榭脂シートを用いた。

その後、加圧ロールおよび支持ロールよりなる加圧ロール装置を用い、一面側成形部材および他面側成形部材によって導電性エラストマ一用材料を挟圧することにより、当該一面側成形部材と当該他面側成形部材との間に厚みが 30 mの導電性エラストマー用材料層を形成した。

そして、一面側成形部材および他面側成形部材の各々の裏面に電磁石を配置し、導電性エラストマ一用材料層に対してその厚み方向に 0. 3Tの平行磁場を作用させながら、 120°C、 0. 5時間の条件で導電性エラストマ一用材料層の硬化処理を行うことにより、厚みが 30 mの矩形の異方導電性エラストマ一シートを製造した。

以上のようにして、分散型異方導電性シートを 2枚製造し、その一方を第 1の異方導電性エラストマ一シートとして複合導電性シートの一面に配置し、他方を第 2の異方導電性エラストマ一シートとして複合導電性シートの他面に配置することにより、上部側アダプター装置用の異方導電性コネクターを製造した。

[0074] (3)アダプター本体の製造：

図 19に示す構成に従、、下記の仕様のアダプター本体を製造した。

すなわち、このアダプター本体は、縦横の寸法が 200mm X 140mmで、基板材質がガラス繊維補強型エポキシ榭脂であり、当該アダプター本体の表面における接続用電極領域には、それぞれ寸法が 120 mX 60 mの矩形の電流供給用電極および電圧測定用電極が 60 mの離間距離（中心間距離が m)で配置されてなる 2400対の接続用電極対が上記の評価用回路装置の上面側被検査電極のパターンに対応するパターンに従って配置されている。また、アダプター本体の裏面には、それぞれ直径が 400 μ mの円形の 4800個の端子電極力 750 μ mのピッチの格子点位置に従って配置されており、電流供給用電極および電圧測定用電極の各々と端子電極の各々とは、内部配線によって互いに 1対 1の関係で電気的に接続されている。

そして、このアダプター本体の表面における接続用電極領域上に、上記の異方導電性コネクターを位置合わせして配置して固定することにより、上部側アダプター装置を製造した。

[0075] 〔下部側アダプター装置〕

上記の上部側アダプター装置と同様にして下部側アダプター装置を製造した。

[0076] 〔検査装置の作製〕

上記の上部側アダプター装置および下部側アダプター装置を用い、図 22に示す構成に従って、レール搬送型回路基板自動検査機 (日本電産リード社製，品名： ST ARREC V5)の検査部に適合する検査装置を作製した。

この検査装置の上部側検査ヘッドおよび下部側検査ヘッドにお!、て、それぞれの検査電極板装置には 4800本のピン状の検査電極が 750 μ mのピッチの格子点位置に従って配列されている。

また、上部側検査ヘッドおよび下部側検査ヘッドにおける異方導電性エラストマ一シートの各々は、それぞれ厚み方向に伸びる 4800個の導電路形成部が絶縁部によつて相互に絶縁されてなる偏在型異方導電性シートである。具体的に説明すると、導電路形成部の各々は、シリコーンゴム中に、金メッキ処理を施したニッケル粒子（平均粒子径が 35 m)が体積分率で 25%となる割合で含有されてなり、 0. 75mmのピッチの格子点位置に従って配置されている。また、導電路形成部の各々は、絶縁部の両面の各々力突出するよう形成されており、その直径が 0. 4mm、厚みが 0. 6mm であり、絶縁部の両面からの突出高さはそれぞれ 0. 05mmである。一方、絶縁部は、シリコーンゴムにより形成されており、その厚みは 0. 5mmである。〔評価〕

(1)接続安定性試験：

上記の検査装置をレール搬送型回路基板自動検査機 rSTARREC V5Jの検査部に装着し、当該検査装置の検査領域に評価用回路装置を位置合わせして配置した。次いで、所定のプレス荷重で、評価用回路装置に対して加圧操作を行い、この状態で、当該評価用回路装置について、上部側アダプター装置における電流供給用電極と下部側アダプター装置における電流供給用電極との間において 1mAの電流を印加しながら、上部側アダプター装置における電圧測定用電極と下部側ァダプター装置における電圧測定用電極との間の電圧を測定して電気抵抗値を測定した。そして、測定された電気抵抗値が 10 Ω以上となった検査点（以下、「NG検査点」とヽう。）の数を測定した。この NG検査点数を測定する操作を合計で 10回行った後、延ベ検査点数（2400 X 10 = 24000)における NG検査点の割合（以下、「NG検査点割合」という。）を算出した。そして、このような NG検査点割合を求める工程を、プレス荷重を 100〜210kgfの範囲で段階的に変更して行うことにより、 NG検査点が 0. 01 %以下となる最小のプレス荷重 (以下、「接続可能荷重」という。）を求めた。実際の回路基板の検査においては、 NG検査点割合が 0. 01%以下であることが必要とされており、 NG検査点割合が 0. 01%を超える場合には、良品の被検査回路基板を不良品と判定するおそれがあるため、回路基板について信頼性の高い電気的検査を行うことが困難である。

上記の NG検査点割合を求める工程にぉ、ては、 NG検査点数を測定する操作が 1回終了する毎に、評価用回路装置に対する加圧を解除して無加圧状態とし、その後、次の NG検査点数を測定する操作を行った。その結果を下記表 1に示す。

以上において、接続可能荷重が小さい値であることは、異方導電性コネクタ一における凹凸吸収能が高いことを意味する。そして、凹凸吸収能の高い異方導電性コネクタ一を用いることにより、回路装置に対する安定な電気的接続が小さい荷重で達成されるので、当該異方導電性コネクターおよびその他の検査装置における構成部材並びに被検査回路基板の各々に、加圧による劣化が生じることが抑制される。その結果、検査装置における各構成部材の使用寿命が長くなり、また、検査装置の構成部材として、比較的に耐久性の低いものを使用することが可能となることから、検査装置全体の製造コストの低減ィ匕を図ることができるので、好ま U、。

[0078] (2)耐久性試験：

上記の検査装置をレール搬送型回路基板自動検査機 rSTARREC V5Jの検査部に装着し、当該検査装置の検査領域に評価用回路装置を位置合わせして配置した。次いで、 130kgfおよび 150kgfのプレス荷重で、評価用回路装置に対して加圧操作を行い、この状態で、当該評価用回路装置について、上部側アダプター装置における電流供給用電極と下部側アダプター装置における電流供給用電極との間にぉヽて 1mAの電流を印加しながら、上部側アダプター装置における電圧測定用電極と下部側アダプター装置における電圧測定用電極との間の電圧を測定して電気抵抗値を測定することにより、 NG検査点の数を測定し、 NG検査点割合を算出した。そして、この NG検査点割合を求める工程を 1サイクルとして、合計で 30000サイクル行った。この試験においては、 NG検査点割合を求める工程が 1回終了する毎に、評価用回路装置に対する加圧を解除して無加圧状態とし、その後、 NG検査点割合を求める工程を行った。結果を下記表 2に示す。

[0079] 〔絶縁性試験〕

上記の検査装置をレール搬送型回路基板自動検査機 rSTARREC V5Jの検査部に装着し、当該検査装置の検査領域に、縦横の寸法がそれぞれ 100mmで厚みが 0. 8mmの表面に絶縁性コーティング処理を施したガラス繊維補強型エポキシ榭脂よりなる基板を配置した。次いで、所定のプレス荷重で基板に対して加圧操作を行い、上部側アダプター装置の接続用電極対の各々における電流供給用電極と電圧測定用電極との間の電気抵抗値を測定した。そして、測定された電気抵抗値が 10k Ω以上となった接続用電極対 (以下、「絶縁良好電極対」という。）の数を測定した。この絶縁良好電極対の数を測定する操作を合計で 10回行った後、延べ電極対数 (24 00 X 10 = 24000)における絶縁良好電極対の割合 (以下、「絶縁良好電極対割合」という。）を算出した。実際の回路基板の検査においては、絶縁良好電極対割合が 9 9%以上であることが必要とされており、絶縁良好電極対割合が 99%未満である場合には、電流供給用電極に供給される電流が電圧測定用電極にリークして不良品の被検査回路基板を良品と判定するおそれがあるため、回路基板について信頼性の高い電気的検査を行うことが困難である。そして、このような絶縁良好電極対割合を求める工程を、プレス荷重を 100〜210kgfの範囲で段階的に変更して行った。結果を表 3に示す。

〈比較例 1〉

次いで、他面側成形部材の成形面上に、 120mm X I 20mmの矩形の開口を有する、厚みが 60 mの枠状のスぺーサーを配置した後、スぺーサ一の開口内に、調製した導電性エラストマ一用材料を塗布し、この導電性エラストマ一用材料上に一面側成形部材をその成形面が導電性エラストマ一用材料に接するよう配置した。

その後、加圧ロールおよび支持ロールよりなる加圧ロール装置を用い、一面側成形部材および他面側成形部材によって導電性エラストマ一用材料を挟圧することにより、当該一面側成形部材と当該他面側成形部材との間に厚みが 100 μ mの導電性ェラストマー用材料層を形成した。

次いで、一面側成形部材および他面側成形部材の各々の裏面に電磁石を配置し、導電性エラストマ一用材料層に対してその厚み方向に 0. 3Tの平行磁場を作用させながら、 120°C、 0. 5時間の条件で導電性エラストマ一用材料層の硬化処理を行うことにより、厚みが 60 mの矩形の異方導電性エラストマ一シートを製造した。そして、異方導電性コネクターの代わりに上記の異方導電性エラストマ一シートを用いたこと以外は、実施例 1と同様にして上部側アダプター装置および下部側ァダプター装置を製造して検査装置を作製し、この検査装置について、接続安定性試験、耐久性試験および絶縁性試験を行った。結果を表 1〜表 3に示す。

[0081] 〈比較例 2〉

他面側成形部材の成形面上に、 120mmX 120mmの矩形の開口を有する、厚み力 0 mの枠状のスぺーサーを配置した後、スぺーサ一の開口内に、調製した導電性エラストマ一用材料を塗布し、この導電性エラストマ一用材料上に一面側成形部材をその成形面が導電性エラストマ一用材料に接するよう配置した。

その後、加圧ロールおよび支持ロールよりなる加圧ロール装置を用い、一面側成形部材および他面側成形部材によって導電性エラストマ一用材料を挟圧することにより、当該一面側成形部材と当該他面側成形部材との間に厚みが 50 mの導電性エラストマー用材料層を形成した。

そして、一面側成形部材および他面側成形部材の各々の裏面に電磁石を配置し、導電性エラストマ一用材料層に対してその厚み方向に 0. 3Tの平行磁場を作用させながら、 120°C、 0. 5時間の条件で導電性エラストマ一用材料層の硬化処理を行うことにより、厚みが 40 mの矩形の異方導電性エラストマ一シートを製造した。

そして、異方導電性コネクターの代わりに上記の異方導電性エラストマ一シートを用いたこと以外は、実施例 1と同様にして上部側アダプター装置および下部側ァダプター装置を製造して検査装置を作製し、この検査装置について、接続安定性試験、耐久性試験および絶縁性試験を行った。但し、耐久性試験については、 150kgfおよび 180kgfのプレス荷重で行った。結果を表 1〜表 3に示す。

[0082] [表 1] N G検査点割合（％)

接続可能荷重プレス荷重 ( k g n

1 0 0 1 1 0 1 3 0 1 5 0 1 8 0 2 1 0

( k g f )

実施例 1 0 . 3 0 0 0 0 0 1 1 0 比較例 1 4 . 5 0 . 5 0 0 0 0 1 3 0 比較例 2 8 . 3 3 . 1 0 . 8 0 0 0 1 5 0

[0083] [表 2]

[0084] [表 3]

表 1〜表 3の結果から明らかなように、実施例 1に係る異方導電性コネクターによれば、厚みが 100 mの異方導電性エラストマ一シート (比較例 1)と同等の高い凹凸吸収能が得られると共に、厚みが 50 mの異方導電性エラストマ一シート（比較例 2 )と同等の高い分解能が得られ、更に、小さい荷重で安定な電気的接続が得られることから、検査装置に使用したときに、長い使用寿命が得られることが確認された。

Claims

請求の範囲

[1] それぞれ厚み方向に伸びる複数の貫通孔が形成された絶縁性シートと、この絶縁性シートの貫通孔の各々に、当該絶縁性シートの両面の各々力突出するよう配置された剛性導体とを有してなり、

前記剛性導体の各々は、前記絶縁性シートの貫通孔に揷通された胴部の両端に、当該絶縁性シートの貫通孔の径より大きい径を有する端子部が形成されてなり、当該絶縁性シートに対してその厚み方向に移動可能とされていることを特徴とする複合導電性シート。

[2] 絶縁性シートの厚み方向における剛性導体の移動可能距離が 3〜150 mであることを特徴とする請求項 1に記載の複合導電性シート。

[3] 請求項 1または請求項 2に記載の複合導電性シートを製造する方法であって、それぞれ厚み方向に伸びる複数の貫通孔が形成された絶縁性シートと、この絶縁性シートの少なくとも一面に積層された、それぞれ絶縁性シートの貫通孔に連通する複数の開口を有する易エッチング性の金属層と、前記絶縁性シートの貫通孔の内壁面および前記金属層の開口縁を覆うよう形成された易エッチング性の金属薄層とを有してなる複合積層材料を製造し、この複合積層材料に対してフォトメツキ処理を施すこと〖こより、当該複合積層材料における絶縁性シートの貫通孔に剛性導体を形成し、その後、エッチング処理によって複合積層材料における金属層および金属薄層を除去する工程を有することを特徴とする複合導電性シートの製造方法。

[4] 請求項 1または請求項 2に記載の複合導電性シートと、この複合導電性シートの一面に配置された第 1の異方導電性エラストマ一シートと、前記複合導電性シートの他面に配置された第 2の異方導電性エラストマ一シートとを具えてなることを特徴とする異方導電性コネクター。

[5] 第 1の異方導電性エラストマ一シートおよび第 2の異方導電性エラストマ一シートの各々は、弾性高分子物質中に、磁性を示す導電性粒子が、厚み方向に並ぶよう配向して連鎖が形成された状態で、かつ、当該導電性粒子による連鎖が面方向に分散した状態で含有されてなることを特徴とする請求項 4に記載の異方導電性コネクター

[6] 第 1の異方導電性エラストマ一シートおよび第 2の異方導電性エラストマ一シートの各々の厚みが 20〜： LOO mであることを特徴とする請求項 5に記載の異方導電性コネクター。

[7] 導電性粒子の数平均粒子径が 3〜20 μ mであることを特徴とする請求項 5または請求項 6に記載の異方導電性コネクター。

[8] 表面に検査すべき回路装置における被検査電極に対応するパターンに従って複数の接続用電極が形成された接続用電極領域を有するアダプター本体と、

このアダプター本体の接続用電極領域上に配置された、当該アダプター本体における接続用電極に対応するパターンに従って配置された複数の剛性導体を有する、請求項 4乃至請求項 7のいずれかに記載の異方導電性コネクターと

を具えてなることを特徴とするアダプター装置。

[9] 表面に検査すべき回路装置における被検査電極に対応するパターンに従ってそれぞれ電流供給用および電圧測定用の 2つの接続用電極からなる複数の接続用電極対が形成された接続用電極領域を有するアダプター本体と、

を具えてなることを特徴とするアダプター装置。

[10] 請求項 8または請求項 9に記載のアダプター装置を具えてなることを特徴とする回路装置の電気的検査装置。