WO2006061317A1 - Vacuum system comprising a rotary pump with an intermediate inlet - Google Patents

Abstract

The invention relates to a vacuum system (10) comprising a first container (12) with a first working vacuum pressure and a second container (14) with a second working pressure that is greater than the first working pressure. In conventional vacuum systems (10) at least two vacuum pumps are used to generate the two different working pressures. The aim of the invention is to reduce the effort required to generate the two different pressures in the vacuum system (10). To achieve this, a rotary vacuum pump (16) has an intermediate gas inlet (22), which is positioned between the main inlet (20) and the outlet (18) of a rotary pump (16). Two different working pressures can thus be generated using the rotary pump.

Description

VAKUUM-ANLAGE MIT EINER SCHRAUBENPUMPE MIT ZWISCHENEINLASS VACUUM SYSTEM WITH A SCREW PUMP WITH INTERMEDIATE

Die Erfindung bezieht sich auf eine Vakuum-Anlage mit einem ersten Behälter mit einem ersten Vakuum-Arbeitsdruck und einem zweiten Behälter mit einem zweiten Arbeitsdruck, der über dem ersten Arbeitsdruck liegt.The invention relates to a vacuum system with a first container having a first vacuum working pressure and a second container having a second working pressure which is above the first working pressure.

In der Praxis sind häufig Vakuum-Anlagen anzutreffen, die für ihren Betrieb verschiedene Gasdrücke benötigen. Beispielsweise kann in einer Reinigungsanlage zur Reinigung von Werkstücken aus Metall, Kunststoff oder Glas zu Trocknungszwecken der Gasdruck in einem ersten Behälter wenige mbar betragen, während in einem zweiten Behälter der Arbeitsdruck oberhalb des Arbeitsdruckes in dem ersten Behälter liegt. Zur Erzeugung der zwei verschiedenen Arbeitsdrücke werden zwei getrennte Vakuumpumpen verwendet, von denen zur Erzeugung des niedrigeren Arbeitsdruckes in dem ersten Behälter häufig eine Vakuum-Schraubenpumpe Verwendung findet.In practice, vacuum systems are frequently encountered which require different gas pressures for their operation. For example, in a cleaning system for cleaning workpieces made of metal, plastic or glass for drying purposes, the gas pressure in a first container may be a few mbar, while in a second container the working pressure above the Working pressure is in the first container. To generate the two different working pressures, two separate vacuum pumps are used, of which a vacuum screw pump is often used to produce the lower working pressure in the first tank.

Aufgabe der Erfindung ist es demgegenüber, eine Vakuum-Anlage zu schaffen, bei der die Erzeugung der verschiedenen Arbeitsdrücke mit weniger Aufwand realisiert ist.The object of the invention is in contrast to provide a vacuum system in which the generation of the various working pressures is realized with less effort.

Diese Aufgabe wird erfindungsgemäß mit den Merkmalen des Anspruches 1 gelöst.This object is achieved with the features of claim 1.

Bei der erfindungsgemäßen Vakuum-Anlage weist die Vakuum-Schraubenpumpe, die mit ihrem Haupteinlass den Vakuum-Arbeitsdruck des ersten Behälters generiert und mit diesem verbunden ist, einen Gaszwischeneinlass auf, der mit dem zweiten Behälter zur Erzeugung des zweiten Arbeitsdruckes verbunden ist, und der zwischen dem Haupteinlass und dem Gas-Auslass angeordnet ist. Der Zwischeneinlass bei einer Schraubenpumpe kann auf einfache Weise durch eine Öffnung in dem die Schraubenrotoren radial umgebenden Gehäuse realisiert werden. Durch die entsprechende Wahl der axialen Position des Zwischeneinlasses wird auf einfache Weise der in dem angeschlossenen zweiten Behälter realisierbare Arbeitsdruck eingestellt. Wird ein relativ niedriger und nahe bei dem ersten Arbeitsdruck liegender zweiter Arbeitsdruck benötigt, liegt der Zwischeneinlass axial relativ nahe dem Gas-Haupteinlass der Schraubenpumpe; wird ein relativ hoher Druck oder gar ein Überdruck benötigt, liegt der Zwischeneinlass axial relativ nahe dem Gas-Auslass der Schraubenpumpe. Auf diese Weise kann mit einfachen Mitteln eine zweite Pumpe zum Erzeugen des zweiten Arbeitsdruckes für den zweiten Behälter der Vakuum- Anlage eingespart werden. Durch die einfache Möglichkeit eines Abgriffes eines zweiten Arbeitsdruckes, der zwischen dem ersten Arbeitsdruck und dem Auslassdruck bzw. geringfügig darüber liegt, ist die Schraubenpumpe in besonderer Weise geeignet dafür, in einer Vakuum-Anlage zwei verschiedene Arbeitsdrücke zur Verfügung zu stellen.In the vacuum system according to the invention, the vacuum screw pump, which is generated with its main inlet, the vacuum working pressure of the first container and connected thereto, a gas intermediate inlet, which is connected to the second container for generating the second working pressure, and between the main inlet and the gas outlet is arranged. The intermediate inlet in a screw pump can be realized in a simple manner through an opening in the housing radially surrounding the screw rotors. By appropriate choice of the axial position of the intermediate inlet of the realizable in the connected second container working pressure is adjusted in a simple manner. If a relatively low second working pressure close to the first working pressure is required, the intermediate inlet is axially relatively close to the gas main inlet of the screw pump; if a relatively high pressure or even an overpressure is required, the intermediate inlet is axially relatively close to the gas outlet of the screw pump. In this way can be saved by simple means a second pump for generating the second working pressure for the second container of the vacuum system. Due to the simple possibility of tapping a second working pressure, which is between the first working pressure and the outlet pressure or slightly higher, the screw pump is in especially suitable for providing two different working pressures in a vacuum system.

Vorzugsweise ist die axiale Länge der Zwischeneinlass-Öffnung der Schraubenpumpe kleiner als die axiale Länge des die Öffnung passierenden Zahnkopfes des betreffenden Schraubenrotors. Hierdurch wird sichergestellt, dass zwischen zwei benachbarten Arbeitskammern durch die Zwischeneinlass- Öffnung keine Verbindung hergestellt werden kann, wenn sich der betreffende Zahnkopf genau in der axialen Mitte der Zwischeneinlass-Öffnung befindet.Preferably, the axial length of the intermediate inlet opening of the screw pump is smaller than the axial length of the opening passing tooth tip of the screw rotor in question. This ensures that no connection can be established between two adjacent working chambers through the intermediate inlet opening when the respective tooth head is located exactly in the axial center of the intermediate inlet opening.

Gemäß einer bevorzugten Ausgestaltung ist die Zwischeneinlass-Öffnung der Schraubenpumpe mindestens um den Betrag der jeweiligen Schraubensteigung entfernt von einer Haupteinlass-Öffnung und einer Auslass-Öffnung. Hierdurch wird sichergestellt, dass die Drücke am Haupteinlass und am Zwischeneinlass weitgehend unabhängig voneinander sind. Bei jeder Rotationsposition der Schraubenrotoren besteht keine direkte Verbindung zwischen dem Haupteinlass und dem Zwischeneinlass. Auf diese Weise wird eine Kurzschluss-StrÖmung zwischen dem Haupteiniass und dem Zwischeneinlass verhindert. Das Gleiche gilt analog für den Zwischeneinlass und den Auslass der Schraubenpumpe.According to a preferred embodiment, the intermediate inlet opening of the screw pump is at least by the amount of the respective pitch of the screw away from a main inlet opening and an outlet opening. This ensures that the pressures at the main inlet and at the intermediate inlet are largely independent of each other. At each rotational position of the screw rotors there is no direct connection between the main inlet and the intermediate inlet. In this way a short circuit current between the main aisle and the intermediate inlet is prevented. The same applies analogously to the intermediate inlet and the outlet of the screw pump.

Vorzugsweise ist die Zwischeneinlass-Öffnung der Schraubenpumpe im Schnittbereich der beiden Schraubenrotore vorgesehen. Auf diese Weise sind beide Schraubenrotore bzw. die von ihnen jeweils gebildeten Arbeitskammern an der Erzeugung des zweiten Arbeitsdruckes beteiligt. Hierdurch wird ein relativ hohes Saugvolumen am Zwischeneinlass realisiert. Alternativ kann die Zwischeneinlass-Öffnung auch außerhalb des Schnittbereiches der beiden Schraubenrotore angeordnet sein, so dass nur ein einziger Schraubenrotor mit der Erzeugung des zweiten Arbeitsdruckes befasst ist.Preferably, the intermediate inlet opening of the screw pump is provided in the intersection of the two screw rotors. In this way, both screw rotors or the work chambers each formed by them are involved in the generation of the second working pressure. As a result, a relatively high suction volume is realized at the intermediate inlet. Alternatively, the intermediate inlet opening may also be arranged outside the cutting region of the two screw rotors, so that only a single screw rotor is involved in generating the second working pressure.

Vorzugsweise ist der zweite Arbeitsdruck des zweiten Behälters der Vakuum- Anlage ein Vakuum-Arbeitsdruck, d.h. liegt auch der zweite Arbeitsdruck unter atmosphärischem Druck. Alternativ kann der zweite Arbeitsdruck jedoch auch oberhalb des atmosphärischen Druckes liegen, so dass beispielsweise Druckluft für den zweiten Behälter zur Verfügung gestellt wird.Preferably, the second working pressure of the second container of the vacuum system is a vacuum working pressure, ie is also the second working pressure below atmospheric pressure. Alternatively, however, the second working pressure can also be above the atmospheric pressure, so that, for example, compressed air is made available for the second container.

Gemäß einer bevorzugten Ausgestaltung weist die Schraubenpumpe einen weiteren Gas-Zwischeneinlass zur Erzeugung eines dritten Arbeitsdruckes auf. Alternativ oder ergänzend kann ein weiterer Gas-Zwischeneinlass vorgesehen sein, der als Gasbaliast-Einlass dient. Der Gasballast-Eϊnlass dient zur Zuführung eines Hilfsfluides in die Arbeitsräume, beispielsweise zur Pumpenkühlung, zur Reinigung und/oder zur Vermeidung von Kondensation von Bestandteilen des Hauptfluides.According to a preferred embodiment, the screw pump has a further intermediate gas inlet for generating a third working pressure. Alternatively or additionally, a further intermediate gas inlet may be provided which serves as a gas-bubble inlet. The gas ballast inlet is used to supply an auxiliary fluid into the working spaces, for example for pump cooling, for cleaning and / or for preventing condensation of constituents of the main fluid.

Vorzugsweise weisen die Zähne der Schrauben rotoren jeweils eine sich zum Auslass hin verringernde Steigung auf. Die Schraubenrotoren weisen eine innere Verdichtung auf, d.h. das Volumen des in axialer Richtung wandernden Arbeitsraumes verkleinert sich vom Haupteinlass zum Auslass hin kontinuierlich oder diskontinuierlich. Eine Schraubenpumpe mit innerer Verdichtung stellt über ihre axiale Länge einen relativ großen Bereich an Arbeitsdrücken an dem Zwischeneinlass bereit, und ist daher in besonderer Weise geeignet für das Vorsehen eines Zwischeneiniasses zum Abgriff eines zweiten Arbeitsdruckes.Preferably, the teeth of the screw rotors each have a decreasing towards the outlet slope. The screw rotors have internal compression, i. the volume of the working space traveling in the axial direction decreases continuously or discontinuously from the main inlet to the outlet. An internal compression screw pump provides a relatively large range of working pressures at the intermediate inlet over its axial length, and is therefore particularly suitable for providing an intermediate inlet for tapping a second working pressure.

Im Folgenden wird eine erfindungsgemäße Vakuum-Anlage anhand der Zeichnungen näher erläutert,In the following, a vacuum system according to the invention is explained in more detail with reference to the drawings,

Es zeigen:Show it:

Figur 1 eine erfindungsgemäße Vakuum-Anlage mit einer Vakuum-1 shows a vacuum system according to the invention with a vacuum

Schraubenpumpe in schematischer Darstellung,Screw pump in a schematic representation,

Figur 2 die Vakuum-Schraubenpumpe der Figur 1 im Längsschnitt, Figur 3 einen Querschnitt der Vakuum-Schraubenpumpe der Figuren 1 und2 shows the vacuum screw pump of Figure 1 in longitudinal section, 3 shows a cross section of the vacuum screw pump of Figures 1 and

2,2,

Figur 4 einen Querschnitt einer zweiten Ausführungsform einer Vakuum-4 shows a cross-section of a second embodiment of a vacuum

Schraubenpumpe,Screw pump,

Figur 5 eine vergrößerte Darstellung eines Längsschnittes der Vakuum-FIG. 5 is an enlarged view of a longitudinal section of the vacuum

Schraubenpumpe der Figuren 1 bis 3 im Bereich des Zwischeneinlasses.Screw pump of Figures 1 to 3 in the region of the intermediate inlet.

In Figur 1 ist eine erfindungsgemäße Vakuum-Anlage 10 dargestellt, die im Wesentlichen aus einem ersten Behälter 12, einem zweiten Behälter 14 und einer Vakuum-Schraubenpumpe 16 besteht. Die Schraubenpumpe 16 weist einen Gas- Auslass 18, einen Gas-Haupteinlass 20, sowie einen Gas-Zwischeneinlass 22 auf. Der Gas-Auslass 18 öffnet zur Atmosphäre. Der Haupteinlass 20 ist über eine Leitung 24 verbunden mit dem ersten Behälter 12. Der Zwischeneinlass 22 ist über eine Leitung 26 verbunden mit dem zweiten Behälter 14. Im Verlauf der Leitung 26 zwischen Einlass 22 und dem zweiten Behälter 14 ist ein Sperrventil 28 vorgesehen. Zwischen den beiden Behältern 12, 14 ist ebenfalls eine Leitung 30 vorgesehen, die durch ein Sperrventil 32 sperrbar ist.1 shows a vacuum system 10 according to the invention, which essentially consists of a first container 12, a second container 14 and a vacuum screw pump 16. The screw pump 16 has a gas outlet 18, a gas main inlet 20, and a gas intermediate inlet 22. The gas outlet 18 opens to the atmosphere. The main inlet 20 is connected via a line 24 to the first container 12. The intermediate inlet 22 is connected via a line 26 to the second container 14. In the course of the line 26 between the inlet 22 and the second container 14, a check valve 28 is provided. Between the two containers 12, 14, a line 30 is also provided, which can be blocked by a check valve 32.

Die Vakuum-Anlage 10 ist im vorliegenden Fall eine Reinigungsanlage zur Reinigung von Werkstücken, beispielsweise aus Metall, Kunststoff oder Glas. In der Vakuum-Anlage 10 wird zum Trocknen der Arbeitsdruck Pl in dem Behälter 12 auf wenige mbar abgesenkt. In dem zweiten Behälter 14 muss der Arbeitsdruck P2 auf einem Niveau gehalten werden, das zwischen dem Arbeitsdruck Pl in dem ersten Behälter 12 und dem Atmosphärendruck liegt.The vacuum system 10 is in this case a cleaning system for cleaning workpieces, such as metal, plastic or glass. In the vacuum system 10, the working pressure Pl in the container 12 is lowered to a few mbar for drying. In the second tank 14, the working pressure P2 must be maintained at a level that is between the working pressure P1 in the first tank 12 and the atmospheric pressure.

In den Figuren 2 und 3 ist die Schraubenpumpe 16 der Figur 1 in Schnittdarstellungen detailliert dargestellt. Die Schraubenpumpe 16 weist zwei Schraubenrotoren 34, 36 auf, die in einem Gehäuse 38 gegensinnig zueinander drehbar gelagert sind. Jeder Rotor weist einen schraubenförmig angeordneten Zahn 40, 42 auf, dessen Steigung vom Haupteinlass 20 zum Auslass 18 hin stetig abnimmt, wie in Figur 2 erkennbar ist. Hierdurch verkleinert sich die bei drehenden Schraubenrotoren in axialer Richtung wandernde Arbeitskammer vom Haupteinlass 20 zum Auslass 18 hin stetig, wodurch eine sogenannte innere Verdichtung realisiert wird. Hierdurch ist es wiederum möglich, praktisch jeden beliebigen Arbeitsdruck, der zwischen dem Arbeitsdruck Pl am Haupteinlass 20 und dem Enddruck am Auslass 18 liegt, durch entsprechende axiale Positionierung des Zwischeneinlasses 22 abzugreifen. Im vorliegenden Fall wird der zweite Arbeitsdruck P2 ungefähr in der axialen Mitte der Rotoren 34, 36 abgegriffen, so dass in dem angeschlossenen zweiten Behälter 14 ein Arbeitsdruck P2 von ungefähr 100 mbar herrscht.In Figures 2 and 3, the screw pump 16 of Figure 1 is shown in detail in sectional views. The screw pump 16 has two screw rotors 34, 36 which in a housing 38 in opposite directions to each other are rotatably mounted. Each rotor has a helically arranged tooth 40, 42, the pitch of which steadily decreases from the main inlet 20 to the outlet 18, as can be seen in FIG. As a result, the working chamber which migrates in the axial direction when the screw rotors rotate decreases continuously from the main inlet 20 to the outlet 18, as a result of which a so-called internal compression is realized. As a result, it is again possible to tap practically any desired working pressure, which lies between the working pressure P1 at the main inlet 20 and the final pressure at the outlet 18, by corresponding axial positioning of the intermediate inlet 22. In the present case, the second working pressure P2 is tapped approximately in the axial center of the rotors 34, 36, so that in the connected second container 14 there is a working pressure P2 of about 100 mbar.

Wie in Figur 3 dargestellt, ist die Öffnung 44 des Zwischeneinlasses 22 im Schnittbereich der beiden Schraubenrotoren 34, 36 vorgesehen. Hierdurch öffnet sich die Öffnung 44 des Zwischeneinlasses 22 zu beiden von den beiden Schraubenrotoren 34, 36 gebildeten Arbeitskammern 46, 48.As shown in FIG. 3, the opening 44 of the intermediate inlet 22 is provided in the intersection of the two screw rotors 34, 36. As a result, the opening 44 of the intermediate inlet 22 opens to both working chambers 46, 48 formed by the two screw rotors 34, 36.

In der Figur 4 ist eine andere Ausführungsform einer Schraubenpumpe 16' dargestellt, bei der der Zwischeneinlass 22' nicht im Schnittbereich der beiden Schraubenrotoren 34, 36, sondern im Bereich des Gehäuses eines einzigen Rotors 36 der beiden Rotoren 34, 36 angeordnet ist. Auf diese Weise ist der Zwischeneinlass 22' nur zu den Arbeitskammern geöffnet, die von einem einzigen Rotor 36 gebildet werden. Hierdurch ist das Saugvolumen des Zwischeneinlasses 22' entsprechend verringert, d.h. annähernd halbiert, gegenüber dem Saugvolumen der in Figur 3 dargestellten Schraubenpumpe 16.FIG. 4 shows another embodiment of a screw pump 16 ', in which the intermediate inlet 22' is not arranged in the intersection of the two screw rotors 34, 36, but in the region of the housing of a single rotor 36 of the two rotors 34, 36. In this way, the intermediate inlet 22 'is open only to the working chambers, which are formed by a single rotor 36. As a result, the suction volume of the intermediate inlet 22 'is correspondingly reduced, i. almost halved, compared to the suction volume of the screw pump 16 shown in FIG.

Wie in Figur 2 erkennbar ist, ist die Zwischeneinlass-Öffnung 44 um ungefähr das Zweifache der Schraubensteϊgung entfernt von der Öffnung 21 des Haupteinlasses 20, sowie um mehr als den zweifachen Betrag der betreffenden Schraubensteigung entfernt von der Öffnung 19 des Auslasses 18. Hierdurch wird sichergestellt, dass in keiner Drehposition des Rotors 36 ein Kurzschluss zwischen dem Zwischeneinlass 22 und dem Haupteinlass 20 und/oder dem Auslass 18 auftreten kann.As can be seen in Figure 2, the intermediate inlet port 44 is about twice the Schraubensteϊgung away from the opening 21 of the main inlet 20, as well as more than twice the amount of the respective screw pitch away from the opening 19 of the outlet 18. This is ensures that in any rotational position of the rotor 36, a short circuit between the intermediate inlet 22 and the main inlet 20 and / or the outlet 18 may occur.

Wie in Figur 5 erkennbar ist, ist die Breite b des Zahnkopfes 50 des Schraubenzahnes 42 axial länger als die axiale Länge a der Zwischeneinlass- Öffnung 44. Auf diese Weise wird sichergestellt, dass zwischen zwei Arbeitskammern 46 keine offene Verbindung auftreten kann, wenn der betreffende Schraubenzahn 42 die Öffnung passiert. Durch die beschriebenen Naßnahmen wird sichergestellt, dass der Druck am Haupteinlass und am Sekundäreinlass weitgehend unabhängig voneinander sind. Dennoch wird das Betriebsverhalten der Schraubenpumpe 16 durch Anschtuss des Zwischeneiniasses 22 an den zweiten Behälter 14, d.h. durch ein Öffnen des Ventils 28, beeinflusst. Bei geöffnetem Zwischeneinlass 22 steigt der Druckverlauf zwischen Haupteinlass 20 und Auslass 18 geringfügig an, da die zusätzliche Gas-Masse in der Arbeitskammer 46 zu einem Anstieg der Gasdichte und damit zu einem Anstieg des Druckes führt. Bedingt durch den höheren Druck erhöhen sich die Rückströmverluste, wodurch auch der Druck in den Arbeitskammern 46 zwischen Haupteinlass 20 und Zwischeneinlass 22 ansteigt. Wenn sich die beschriebene Druckerhöhung bis zum Haupteinlass durchsetzt, wird durch den höheren Druck die Saugleistung verringert und der erste Vakuum-Arbeitsdruck Pl erhöht. Die druckerhöhende Wirkung des geöffneten Zwischeneinlasses hängt im Wesentlichen von der Qualität der Dichtung, d.h. von dem Maß der Dichtspalte zwischen den Schraubenrotoren zueinander und gegenüber dem Gehäuse 38, ab.As can be seen in Figure 5, the width b of the tooth head 50 of the screw tooth 42 is axially longer than the axial length a of the Zwischeneinlass- opening 44. In this way it is ensured that no open connection between two working chambers 46 can occur when the relevant Screw tooth 42 passes through the opening. The described measures ensure that the pressure at the main inlet and at the secondary inlet are largely independent of each other. Nevertheless, the performance of the screw pump 16 is increased by the injection of the intermediate inlet 22 to the second container 14, i. by opening the valve 28, influenced. When the intermediate inlet 22 is open, the pressure curve between the main inlet 20 and the outlet 18 increases slightly, since the additional gas mass in the working chamber 46 leads to an increase in the gas density and thus to an increase in the pressure. Due to the higher pressure, the backflow losses increase, as a result of which the pressure in the working chambers 46 between main inlet 20 and intermediate inlet 22 also increases. When the pressure increase described penetrates to the main inlet, the higher pressure reduces the suction power and increases the first vacuum working pressure P1. The pressure increasing effect of the opened intermediate inlet depends essentially on the quality of the seal, i. from the dimension of the sealing gaps between the screw rotors to each other and relative to the housing 38, from.

Steigt hingegen der erste Vakuum-Arbeitsdruck Pl am Haupteinlass 20 an, steigt aufgrund der inneren Verdichtung in den Arbeitskammern 46 auch der Druck am Zwischeneinlass 22 an. Dies kann im Extremfall dazu führen, dass der mittlere Druck am Zwischeneinlass 22 oberhalb des in dem zweiten Behälter 14 herrschenden Druckes liegt, so dass sich die Strömungsrichtung in Richtung zweiten Behälter 14 umkehren würde. Um einen Austritt des Gases aus dem Zwischeneiniass 22 zu verhindern, kann in der Leitung 26 zu dem zweiten Behälter 14 ein Rückschlagventil angeordnet sein. Durch die innere Verdichtung in der Schraubenpumpe 16 kann der Druck innerhalb der Schraubenpumpe auch auf einen Wert oberhalb des Druckes am Auslass 18 steigen. Bei entsprechender Anordnung des Zwischeneinlasses 22 kann für den zweiten Behälter 14 Druckgas zur Verfügung gestellt werden. Diese Anordnung kann für eine Anlage genutzt werden, bei der beispielsweise für Handhabungszwecke sowohl Luft abgesaugt, als auch Luft mit leichtem Überdruck zur Verfügung gestellt werden soll. If, on the other hand, the first vacuum working pressure P1 at the main inlet 20 increases, the pressure at the intermediate inlet 22 also rises due to the internal compression in the working chambers 46. In the extreme case, this can lead to the mean pressure at the intermediate inlet 22 being above the pressure prevailing in the second container 14, so that the flow direction in the direction second container 14 would reverse. In order to prevent leakage of the gas from the Zwischeneiniass 22 may be arranged in the conduit 26 to the second container 14, a check valve. Due to the internal compression in the screw pump 16, the pressure within the screw pump can also rise to a value above the pressure at the outlet 18. With a corresponding arrangement of the intermediate inlet 22, pressurized gas can be made available for the second container 14. This arrangement can be used for a system in which, for example, for handling purposes, both air sucked off, and air is to be provided with a slight overpressure available.

Claims

Patentansprüche claims

1. Vakuum-Anlage (10) mit1. Vacuum system (10) with

einem ersten Behälter (12) mit einem ersten Vakuum-Arbeitsdruck Pl und einem zweiten Behälter (14) mit einem zweiten Arbeitsdruck P2, der über dem ersten Arbeitsdruck Pl liegt, unda first container (12) having a first vacuum working pressure Pl and a second container (14) having a second working pressure P2 which is above the first working pressure Pl, and

einer Vakuum-Schraubenpumpe (16) mit einem Gas-Haupteinlass (20) und einem Gas-Auslass (18), wobei der Haupteinlass (20) mit dem ersten Behälter (12) zur Erzeugung des ersten Arbeitsdruckes verbunden ist,a vacuum screw pump (16) having a main gas inlet (20) and a gas outlet (18), the main inlet (20) being connected to the first container (12) for producing the first working pressure,

d a d u r c h g e k e n n z e i c h n e t ,characterized ,

dass die Vakuum-Schraubenpumpe (16) einen Gas-Zwischeneinlass (22) aufweist, der mit dem zweiten Behälter (14) zur Erzeugung des zweiten Arbeitsdruckes verbunden ist und der zwischen dem Haupteinlass (20) und dem Auslass (18) angeordnet ist.in that the vacuum screw pump (16) has a gas intermediate inlet (22) which is connected to the second container (14) for generating the second working pressure and which is arranged between the main inlet (20) and the outlet (18).

2. Vakuum-Anlage nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass die axiale Länge (a) der Zwischeneinlass-Öffnung (44) der Schraubenpumpe (16) kleiner ist als die axiale Länge (b) des die Öffnung (44) passierenden Zahnkopfes (50) des betreffenden Schraubenrotors (34, 36).2. Vacuum system according to claim 1, characterized in that the axial length (a) of the intermediate inlet opening (44) of the screw pump (16) is smaller than the axial length (b) of the opening (44) passing tooth head (50 ) of the respective screw rotor (34, 36).

3. Vakuum-Anlage nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, dass die Zwischeneinlass-Öffnung (44) der Schraubenpumpe (16) mindestens um den Betrag der jeweiligen Schraubensteigung entfernt ist von der Haupteinlass-Öffnung (21) und der Auslass-Öffnung (19). 3. A vacuum system according to claim 1 or 2, characterized in that the intermediate inlet opening (44) of the screw pump (16) is at least by the amount of the respective pitch of the screw away from the main inlet opening (21) and the outlet opening ( 19).

4. Vakuum-Anlage nach einem der Ansprüche 1 bis 3, dadurch gekennzeichnet, dass die Zwischeneinlass-Öffnung (44) der Schraubenpumpe (16) im Schnittbereich der beiden Schraubenrotoren (34, 36) angeordnet ist.4. Vacuum system according to one of claims 1 to 3, characterized in that the intermediate inlet opening (44) of the screw pump (16) in the intersection region of the two screw rotors (34, 36) is arranged.

5. Vakuum-Anlage nach einem der Ansprüche 1 bis 4, dadurch gekennzeichnet, dass der zweite Arbeitsdruck P2 ein Vakuum-Arbeitsdruck ist.5. Vacuum system according to one of claims 1 to 4, characterized in that the second working pressure P2 is a vacuum working pressure.

6. Vakuum-Anlage nach einem der Ansprüche 1 bis 5, dadurch gekennzeichnet, dass die Schraubenpumpe (16) mindestens einen zweiten Gas-Zwischeneinlass aufweist,6. Vacuum system according to one of claims 1 to 5, characterized in that the screw pump (16) has at least one second intermediate gas inlet,

7. Vakuum-Anlage nach einem der Ansprüche 1 bis 6, dadurch gekennzeichnet, dass die Schraubenpumpe einen weiteren Gas- Zwischeneiπlass aufweist, der ein Gasballast-Eϊnlass ist.7. Vacuum system according to one of claims 1 to 6, characterized in that the screw pump has a further gas Zwischeneiπlass, which is a gas ballast Eϊnlass.

8. Vakuum-Anlage nach einem der Ansprüche 1 bis 7, dadurch gekennzeichnet, dass die Schraubenzähne (40, 42) der Schraubenrotoren (34, 36) der Schraubenpumpe (16) eine sich zum Auslass (18) hin verringernde Steigung aufweisen.8. Vacuum system according to one of claims 1 to 7, characterized in that the screw teeth (40, 42) of the screw rotors (34, 36) of the screw pump (16) have a to the outlet (18) towards decreasing slope.

9. Vakuum-Schraubenpumpe (16) mit den Merkmalen nach einem der Ansprüche 1 bis 8 für eine Vakuum-Anlage (10) gemäß Anspruch 1. 9. Vacuum screw pump (16) with the features according to one of claims 1 to 8 for a vacuum system (10) according to claim 1.