WO2005113984A1

WO2005113984A1 - スクリューロータ及びスクリュー式流体機械

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Publication number: WO2005113984A1
Application number: PCT/JP2005/009415
Authority: WO
Inventors: Tsuyoshi Nachi
Original assignee: Nabtesco Corporation
Priority date: 2004-05-24
Filing date: 2005-05-24
Publication date: 2005-12-01
Also published as: JPWO2005113984A1; TW200607926A; CN1961153A; US20080193317A1; KR20070027558A; EP1750011A1

Description

明細書

スクリューロータ及びスクリュー式流体機械

技術分野

[0001] 本発明は、スクリュー式圧縮機またはスクリュー式真空ポンプ、スクリュー式膨張機などのスクリュー式流体機械のスクリューロータ、特に、その歯形曲線に関するものである背景技術

[0002] 従来、スクリュー式流体機械 (以下、スクリュー式ドライ真空ポンプを例にして説明する。）としては、例えば一対のスクリューロータをノヽウジング内に軸受を介して固定し、該スクリューロータの一方をモータで駆動して、該一方のスクリューロータに固定されたタイミングギアと該一方のスクリューロータに固定されたタイミングギアに嚙合う他方のスクリューロータのタイミングギアとによって両スクリューロータが干渉しな、ように回転させて両スクリューロータの回転軸端部側のハウジングに形成される吸気ロカ排出ガスを吸気し、両スクリューロータの他端部側のハウジングに形成される吐出口まで排出ガスを移送し吐出するスクリュー式ドライ真空ポンプがある。該スクリュー式ドラィ真空ポンプの両スクリューロータとしては、様々な糸且み合わせがあるが、本発明においては軸直角断面形状が同一形状のもので説明する。該スクリュー式ドライ真空ポンプのスクリューロータの歯形曲線は、例えば、引用文献 1のスクリューロータ歯形曲線にみられるように、両スクリューロータ及び該両スクリューロータを収納するハウジングとで形成される空間を密閉して移送室を形成すると共に、シール効果の向上を図った歯形が採用されていた。

[0003] 引用文献 1に示すスクリューロータの歯形の回転軸直角断面形状は、スクリュー口ータの回転中心を中心とする円弧の外周部、スクリューロータの回転中心を中心とする円弧の歯底部及び外周部と歯底部とを連結する 2つの曲線部とから形成されて!ヽる。その一方の曲線部は

、相手側スクリューロータの外周上の一点 Aで創成されるトロコイド曲線で決定されていた。そして、他方の曲線部は、サイン曲線や 2つのインボリユート曲線で決定されていた。

特許文献 1：特開平 8 - 277790号公報

発明の開示

発明が解決しょうとする課題

[0004] し力しながら、従来のスクリュー式ドライ真空ポンプに用いられるスクリューロータの歯形では、サインカーブや 2つのインボリユート曲線のような特定の関数で表せるような曲線のみで設計されて!、るが、これらの曲線を用いた歯型ではスクリューロータ間の干渉が生じる嚙合、位相があり、すべての嚙合、位相にお、てスキマを 0またはある均一なスキマにすることはできない。つまり、ロータの回転角度によって隙間が変化するため、該隙間が大きくなる部分が生じ、該大きな隙間から移送中の排出ガスが多量に漏れてしまうという問題が発生する。従って、排気チャンバ側に逆流する排出ガス量が多ぐ排気速度を向上させることが困難となる。

そこで、本発明は上記した従来技術の問題点に鑑みて提案されたもので、スクリュ一式流体機械の移送中の排出ガスが漏れて吸気側に逆流する量を極力抑えることができる。つまり、運転時の排気室内の移送室の隙間が常に略一定に保たれる様なスクリュー式流体機械の提供を目的としてヽる。

課題を解決するための手段

[0005] 請求項 1の発明によれば、歯形の軸直角断面形状が、歯底部を構成する円弧と、外周部を構成する円弧と、外周部と歯底部とを連結する 2曲線とで構成されるスクリュ一ロータにおいて、前記外周部と歯底部とを連結する 2曲線のうち一方の曲線を、嚙合い相手側スクリューロータの外周上の点で創成されるトロコイド曲線とし、他方の曲線を、ピッチ円から外周部とピッチ円から歯底部に 2等分し、該 2等分した一方を所定の予め決められた曲線で形成し、他方を他のスクリューロータの 2等分した一方の所定の予め決められた曲線によって嚙合い時に創生された曲線で形成した曲線として歯形の軸直角断面形状を構成したことを特徴とする。

[0006] 前記外周部と歯底部とを連結する 2曲線のうち他方の曲線は、スクリューロータの回転軸直角断面において外周部と歯底部間を半径方向で等間隔に偶数分割し、該偶数分割した半数部を所定の予め決められた曲線で形成し、他方を相手側スクリューロータの当該所定の予め決められた曲線によって創生された曲線によっても歯型形状を形成することができる。

[0007] 請求項 2の発明によれば、歯形の軸直角断面形状が、歯底部を構成する円弧と、外周部を構成する円弧と、外周部と歯底部とを連結する 2歯型曲線とで構成されるスクリューロータにおいて、前記外周部と歯底部とを連結する 2歯型曲線のうち一方の歯型曲線を、他のスクリューロータの嚙合部分と干渉することが無ぐかつ他の空間と隔てられた移送室が形成できる歯型曲線とし、他方の歯型曲線を、ピッチ円から外周部とピッチ円から歯底部に 2等分し、該 2等分した一方を所定の予め決められた曲線で形成し、他方を他のスクリューロータの 2等分した一方の所定の予め決められた曲線によって嚙合い時に創生された曲線で形成した歯型曲線として歯形の軸直角断面形状を構成したことを特徴とする。

[0008] 前記外周部と歯底部とを連結する 2歯型曲線のうち一方の歯型曲線としては、特にスクリュー式真空ポンプとして用いる場合、嚙合い相手側スクリューロータの外周上の点で創成されるトロコイド曲線を選択するのが最適であるが、これに限定されるものではない。他方の歯型曲線は、スクリューロータの回転軸直角断面において外周部と歯底部間を半径方向で等間隔に偶数分割し、該偶数分割した半数部を所定の予め決められた曲線で形成し、他方を相手側スクリューロータの当該所定の予め決められた曲線によって創生された曲線によっても歯型形状を形成することができる。

[0009] 請求項 3の発明によれば、前記 2等分した一方の所定の予め決められた曲線部を円弧と直線で形成したことを特徴とする。前記 2等分した一方を構成する円弧と直線は歯底部もしくは外周部と滑らかに連結され、さらに前記 2等分した他方の歯とも滑らかに連結されるような配置及び配列を選択することができれば円弧と直線の組合数に制限は無い。また、円弧と直線だけに制限されるものではない。

[0010] 請求項 4の発明によれば、前記所定の予め決められた曲線部としてサインカーブで形成したことを特徴とする。該サインカーブは前記 2等分した一方を歯底部もしくは外周部と滑らかに連結され、さらに前記 2等分した他方の歯とも滑らかに連結されるような配置及び配列を選択することができればサインカーブ数に制限は無い。また、サインカーブだけに制限されるものではない。しかし歯形の製造上、 1つの曲線のみで 2 等分した一方の歯形を形成するほうが簡易化できる。

[0011] 請求項 5の発明によれば、吸気口及び排気口を有するポンプノ、ウジングと、互いに嚙み合ながら回転するようそれぞれ前記ポンプハウジング内に回転自在に収納された一対のスクリューロータを備え、前記ポンプハウジングと各スクリューロータとの間に両スクリューロータの嚙合部分で互、に仕切られ両スクリューロータの回転により吸気口側から排気口側に移送される複数の移送室を形成したスクリュー式流体機械において、スクリューロータの歯形の軸直角断面形状を、歯底部を構成する円弧と、外周部を構成する円弧と、外周部と歯底部とを連結する 2曲線とで構成し、該外周部と歯底部とを連結する 2曲線のうち一方の曲線を、相手側スクリューロータの外周上の点で創成されるトロコイド曲線とし、他方の曲線を、ピッチ円によりピッチ円力外周部とピッチ円力歯底部に 2等分し、一方を所定の予め決められた曲線で形成し、他方を相手側スクリューロータの 2等分した一方の所定の予め決められた曲線によって嚙合い時に創生された曲線により形成した曲線として歯型形状を構成したことを特徴とする。

[0012] 前記外周部と歯底部とを連結する 2曲線のうち他方の曲線は、スクリューロータの回転軸直角断面において外周部と歯底部間を半径方向で等間隔に偶数分割し、該偶数分割した半数部を所定の予め決められた曲線で形成し、他方を相手側スクリューロータの当該所定の予め決められた曲線によって創生された曲線によっても歯型形状を形成することができる。

[0013] 請求項 6の発明によれば、吸気口及び排気口を有するポンプノ、ウジングと、互いに嚙み合ながら回転するようそれぞれ前記ポンプハウジング内に回転自在に収納された一対のスクリューロータを備え、前記ポンプハウジングと各スクリューロータとの間に両スクリューロータの嚙合部分で互、に仕切られ両スクリューロータの回転により吸気口側から排気口側に移送される複数の移送室を形成したスクリュー式流体機械において、スクリューロータの歯形の軸直角断面形状を、歯底部を構成する円弧と、外周部を構成する円弧と、外周部と歯底部とを連結する 2歯型曲線とで構成し、該外周部と歯底部とを連結する 2曲線のうち一方の歯型曲線を、相手側スクリューロータの嚙合部分と干渉することが無ぐかつ前記各移送室が隣り合う別の移送室と隔てることができる歯型曲線とし、他方の歯型曲線を、ピッチ円によりピッチ円力外周部とピッチ円力歯底部に 2等分し、一方を所定の予め決められた曲線で形成し、他方を相手側スクリューロータの 2等分した一方の所定の予め決められた曲線によって嚙合い時に創生された曲線により形成した歯型曲線として歯型形状を構成したことを特徴とする。

[0014] 前記外周部と歯底部とを連結する 2歯型曲線のうち一方の歯型曲線としては、特にスクリュー式真空ポンプとして用いる場合、嚙合い相手側スクリューロータの外周上の点で創成されるトロコイド曲線を選択するのが最適であるが、これに限定されるものではない。他方の歯型曲線は、スクリューロータの回転軸直角断面において外周部と歯底部間を半径方向で等間隔に偶数分割し、該偶数分割した半数部を所定の予め決められた曲線で形成し、他方を相手側スクリューロータの当該所定の予め決められた曲線によって創生された曲線によっても歯型形状を形成することができる。

[0015] 請求項 7の発明によれば、前記 2等分した一方の所定の予め決められた曲線部を円弧と直線で形成したことを特徴とする。前記 2等分した一方を構成する円弧と直線は歯底部もしくは外周部と滑らかに連結され、さらに前記 2等分した他方の歯とも滑らかに連結されるような配置及び配列を選択することができれば円弧と直線の組合数に制限は無い。また、円弧と直線だけに制限されるものではない。

[0016] 請求項 8の発明によれば、前記所定の予め決められた曲線部としてサインカーブで形成したことを特徴とする。該サインカーブは前記 2等分した一方を歯底部もしくは外周部と滑らかに連結され、さらに前記 2等分した他方の歯とも滑らかに連結されるような配置及び配列を選択することができればサインカーブ数に制限は無い。また、サインカーブだけに制限されるものではない。しかし歯形の製造上、 1つの曲線のみで 2 等分した一方の歯形を形成するほうが簡易化できる。

発明の効果

[0017] 請求項 1の発明によれば、スクリューロータを嚙合わせて回転させたときに、回転角度に関わらず常にスクリューロータ間の隙間が一定になるようなスクリューロータの歯型を容易に形成できる。 [0018] 請求項 2の発明によれば、スクリューロータを嚙合わせて回転させたときに、回転角度に関わらず常にスクリューロータ間の隙間が一定になるようなスクリューロータの歯型を容易に形成できる。

[0019] 請求項 3の発明によれば、ピッチ円により 2等分した一方の歯型の歯底部又は外周部への接合部分に円弧を用いることにより、容易に滑らかに接合部が接続されたスクリューロータの歯型を形成することができる。

[0020] 請求項 4の発明によれば、最小 1つの曲線により容易に所定の予め決められたピッチ円により 2等分した一方の曲線を構成し、歯底部又は外周部の接合部分に容易に滑らかに接合部が接続されたスクリューロータの歯型を形成することができる。

[0021] 請求項 5の発明によれば、スクリューロータを嚙合わせて回転させたときに、回転角度によって常にスクリューロータ間の隙間が一定になるようなスクリューロータの歯型を持つスクリュー式流体機械を容易に構成することができる。

[0022] 請求項 6の発明によれば、スクリューロータを嚙合わせて回転させたときに、回転角度によって常にスクリューロータ間の隙間が一定になるようなスクリューロータの歯型を持つスクリュー式流体機械を容易に構成することができる。

[0023] 請求項 7の発明によれば、ピッチ円により 2等分した一方の歯型の歯底部又は外周部への接合部分に円弧を用いることにより、容易に滑らかに接合部が接続されたスクリューロータの歯型を持つスクリュー式流体機械を構成することができる。

[0024] 請求項 8の発明によれば、最小 1つの曲線により容易に所定の予め決められたピッチ円により 2等分した一方の曲線を構成し、歯底部又は外周部の接合部分に容易に滑らかに接合部が接続されたスクリューロータの歯型を持つスクリュー式流体機械を構成することができる。

発明を実施するための最良の形態

[0025] 以下に、本発明の実施形態を説明する。

実施例 1

[0026] 図 1は、本件発明のスクリューロータを用いたスクリュー式ドライ真空ポンプ 100の実施例である。

[0027] スクリュー式ドライ真空ポンプ 100は図 1に示すように、ケーシング 110の中に 2本の平行なシャフト 101, 102力それぞれ軸受 111、 112、 113及び 114で支持され、これには互いに嚙合うスクリュー溝を有するスクリューロータ 103, 104が固着されている。一方のシャフト 101はモータ 105によって回転駆動され、この回転はシャフト 101 に固定されたタイミングギア 106により該タイミングギア 106に嚙合って他方のシャフト 102に固定されているタイミングギア 115に伝達される。つまり、スクリューロータ 103 及び 104はタイミングギア 106及び 115により同期して回転する。ケーシング 110は、図示していない排気チャンバ内の排出ガスを排気室内に取り込むための吸気口 107 及び排気室内で吸気口 107側カゝら移送されてきた排出ガスを排出するための排出口 108を備えている。以上の構成によりスクリューロータ 103及び 104を同期して反転させることにより、スクリューロータ 103、 104及びケーシング 110で形成した排気室内の移送室に閉じ込めた排出ガスをスクリューロータ 103及び 104の回転により軸方向に移動して排気する。

[0028] 該スクリュー形ドライ真空ポンプの作用は、吸気口 107から排気室内へ気体を吸入する吸込過程と、排気室内部で気体を移送する移送過程と、排出口 108から気体を吐出する吐出過程とからなつている。

[0029] ここで吸気口 107は図 1の様にハウジング上端面に配置してもよいが、ハウジングの側面に、軸直角方向から見て、スクリューロータと重なるような位置に吸気口を配置してもよい。排気口については、端部において、排気側フランジ 109上面とスクリューロータ排気側端面の隙間を両スクリューロータ間ゃ両スクリューロータ側面とハウジング間の隙間と同様に狭くすると、排気口の位置や大きさを変えることにより移送室と排出側外気との接続タイミングを調節することが可能となり、排出ガスの排出圧力を変えることができる。また、上記ハウジングの側端部に排出口が空いている場合は、排気通路及び排気口を大きくすることができ、真空ポンプの場合、メンテナンス性が向上する。

[0030] また、半導体製造装置のような不純物の混入を嫌う装置に、スクリュー式ドライ真空ポンプを用いた場合、軸受 111、 112、 113及び 114やタイミングギア 106及び 115 を潤滑するための潤滑油等が排気室内に漏れこまないように軸シール 116、 117、 1 18及び 119がシャフトとハウジング間の排気室側に設けられている。 [0031] 前記排気室内には、一対のスクリューロータ及びノヽウジングにより密閉された移送室力スクリューロータの条数及び卷数に応じて複数室形成され、前記吸気口 107から吸入された排出ガスを該移送室内に閉じ込め、スクリューロータの回転に応じて排出ガスを排出口 108へ移送し、該排出口 108から排出ガスを吐出する。

[0032] 運転時の、スクリュー式ドライ真空ポンプの排気性能は、排気室内に形成された移送室の密閉度により大きく変わってくる。つまり、排出ガスは高圧側から低圧側へ流れるため、密閉度が悪いと吸気口 107から排出口 108へ排出ガスが移送される間に該移送室内に閉じ込められている排出ガスが吸気口 107側に漏れ出してしまい、排気性能が悪くなる。

[0033] 該移送室の密閉は両スクリューロータの外周部とハウジング間、一方のスクリュー口一タの歯底部と他方のスクリューロータの外周部間及び各スクリューロータの外周部と歯底部を結ぶ 2曲線間でシール線を形成している。

[0034] ここで、前記スクリューロータの回転軸直角断面形状について、図 2を用いて説明する。図 2において AB間は歯底部、 CD間は外周部、 BC間及び AD間は外周部と歯底部を結ぶ 2曲線を示す。 BC間はトロコイド曲線で形成され、 AD間は、外周円弧と歯底円弧の中間の直径を持つスクリューロータの回転軸 Oを中心とするピッチ円 20 1を境界として歯底側 203を円弧と直線を組み合わせた曲線で形成し、外周側 205 を創生曲線により形成している。

[0035] 上記シール線上で隙間が大き!/、部分があると、当該隙間から移送室の排出ガスが漏れてしまい排気効率が悪くなる。該シール線に沿った隙間は、両スクリューロータの外周部 CD間とハウジング間、一方のスクリューロータの歯底部と他方のスクリューロータの外周部間及びスクリューロータの外周部と歯底部を結ぶトロコイド曲線部間は常に一定の隙間を保持して運転することができる歯形を形成できる。しかし、外周部と歯底部を結ぶ AD間の嚙合部は従来の設計では、運転時の両スクリューロータの回転角度により隙間が変化していた。そのため最も隙間が小さくなる部分を基準にして該最も小さい隙間を前記他の一定の隙間部分と隙間を同じにした場合、他方の曲線部に大きな隙間となる部分が生じ、当該部分から移送室内の排出ガスが漏れて吸気口側に逆流し排気効率を悪ィ匕させていた力本件実施例のように、当該部分を、ピッチ円 201を境界として歯底側 203を円弧と直線を組み合わせた曲線で形成し、外周側 205を創生曲線により形成しているので、当該創生曲線部に自由度があり、運転時に当該嚙合部の隙間が常に他の部分の隙間と同じに保持できる歯形を形成することができ、極めて良好なシール性能を持つスクリュー式ドライ真空ポンプを構成することができる。

[0036] 次に図 3〜図 10を用いて本実施例のスクリュー歯型の形成過程を説明する。

[0037] まず、図 3において AB間の歯底部をスクリューロータの回転軸 Oを中心とする円弧、 CD間の外周部をスクリューロータの回転軸 Oを中心とする円弧、 BC間をトロコイド曲線で形成し、 AD間の歯形を形成する前のスクリューロータの回転軸直角断面形状を示す。

[0038] 次に図 4において、外周円弧と歯底円弧の中間の直径を持つスクリューロータの回転軸 Oを中心とするピッチ円 201を境界として歯底側 203に歯底円弧と外接し、外周円弧と歯底円弧の差に等しい直径を持つ円 301を配置する。

[0039] これに図 5に示す様に、スクリューロータの中心軸 Oに対して該円 301の歯底円弧との接点とを結ぶ直線と外周部の端点 Dを結ぶ直線のなす角 2 Θの半分となる直線 Lとピッチ円との交点 Pを通り、前記円 301と歯底側で接する直線部 403を形成し、図 6に示す様に、前記円 301の歯底と直線部 403と接する部分及びピッチ円 201から円 301と接するまでの直線部 403により歯底側 203の歯形を形成する。

[0040] 次に図 7に示す様に、スクリューロータ 701に対し、他方の同形状のスクリューロータ 703を、ピッチ円 201の直径だけ離れた位置に 180° 位相をずらして配置する。

[0041] 次に図 8に示す様に、一方のスクリューロータ 701を固定し、他方のスクリューロータ 703を運転状態の両スクリューロータの位置関係に合わせて一方のスクリューロータ 701の周りを、嚙合位相をずらしながら回転させる。

[0042] この時に図 9に示す様に、各位相において一方のスクリューロータ 701の外周側歯部 901が他方のスクリューロータの歯底側歯と干渉しないように、他方のスクリュー口一タの歯底側歯 903の最も外側の線を Pから Dの間で結んだ創生曲線で、外周側歯型を形成する。

[0043] 以上により、スクリューロータ 805は図 10に示すような回転軸直角断面形状の歯形を持ち、どの位相でもスキマがほぼ Ommの完全歯型ができる。しかし、オイルフリーで運転した場合、両スクリューロータ間の摩擦や排出ガスの圧縮等によりスクリュー歯面直角方向に熱膨張するため、一定のスキマ（0. 05〜0. 3mm)を設ける必要がある。この場合には、上記スキマがほぼ Ommの完全歯型を基準に各スクリューロータのスクリュー歯面直角方向に一定量（0. 025〜0. 15mm)を修正すれば、すべて嚙合い位相で、均一なスキマを得ることができる。

[0044] 従来の歯型だと、干渉する最も隙間が小さくなる部分を、熱膨張等力も決まる隙間設計最小値に合わせることになるため、隙間が大きくなる位相が発生してしまうが、本実施例のスクリューロータを持つスクリュー式ドライ真空ポンプならば、位相によって隙間は一定値であり、排気効率や熱膨張等を加味した最適な設計を行うことができる。これにより隙間による漏れを最小限に抑えることができ、排気効率を高め、消費電力低減を図ることが可能となる。

図面の簡単な説明

[0045] [図 1]本発明のスクリュー式ドライ真空ポンプを示す。

[図 2]本発明のスクリューロータの回転軸直角断面形状を示す。

[図 3]本発明のスクリューロータの回転軸直角断面形状を形成する第一過程を示す。

[図 4]本発明のスクリューロータの回転軸直角断面形状を形成する第二過程を示す。

[図 5]本発明のスクリューロータの回転軸直角断面形状を形成する第三過程を示す。

[図 6]本発明のスクリューロータの回転軸直角断面形状を形成する第四過程を示す。

[図 7]本発明のスクリューロータの回転軸直角断面形状を形成する第五過程を示す。

[図 8]本発明のスクリューロータの回転軸直角断面形状を形成する第六過程を示す。

[図 9]本発明のスクリューロータの回転軸直角断面形状を形成する第七過程を示す。

[図 10]本発明のスクリューロータの回転軸直角断面形状を形成する第八過程を示す符号の説明

[0046] 100 スクリュー式ドライ真空ポンプ

110 ケーシング

101, 102 シャフト m、 112、 113、 114 軸受

103, 104 スクリューロータ

106、 115 タイミングギア

107 吸気口

108 排出口

109 排気側フランジ

116、 117、 118、 119 軸シーノレ

201 ピッチ円

Claims

請求の範囲

[1] 歯形の軸直角断面形状が、歯底部を構成する円弧と、外周部を構成する円弧と、外周部と歯底部とを連結する 2曲線とで構成されるスクリューロータにおいて、前記外周部と歯底部とを連結する 2曲線のうち一方の曲線を、嚙合い相手側スクリューロータの外周上の点で創成されるトロコイド曲線とし、他方の曲線を、ピッチ円から外周部とピッチ円から歯底部に 2等分し、該 2等分した一方を所定の予め決められた曲線で形成し、他方を他のスクリューロータの 2等分した一方の所定の予め決められた曲線によって嚙合い時に創生された曲線で形成した曲線として歯形の軸直角断面形状を構成したことを特徴とするスクリューロータ。

[2] 歯形の軸直角断面形状が、歯底部を構成する円弧と、外周部を構成する円弧と、外周部と歯底部とを連結する 2歯型曲線とで構成されるスクリューロータにおいて、前記外周部と歯底部とを連結する 2歯型曲線のうち一方の歯型曲線を、他のスクリューロータの嚙合部分と干渉することが無ぐかつ他の空間と隔てられた移送室が形成できる歯型曲線とし、他方の歯型曲線を、ピッチ円から外周部とピッチ円から歯底部に 2等分し、該 2等分した一方を所定の予め決められた曲線で形成し、他方を他のスクリューロータの 2等分した一方の所定の予め決められた曲線によって嚙合い時に創生された曲線で形成した歯型曲線として歯形の軸直角断面形状を構成したことを特徴とするスクリューロータ。

[3] 前記 2等分した一方の所定の予め決められた曲線部を円弧と直線で形成したことを特徴とする請求項 1または 2に記載のスクリューロータ。

[4] 前記所定の予め決められた曲線部としてサインカーブで形成したことを特徴とする請求項 1または 2に記載のスクリューロータ。

[5] 吸気口及び排気口を有するポンプハウジングと、互いに嚙み合ながら回転するようそれぞれ前記ポンプハウジング内に回転自在に収納された一対のスクリューロータを備え、前記ポンプノヽゥジングと各スクリューロータとの間に両スクリューロータの嚙合部分で互いに仕切られ両スクリューロータの回転により吸気口側から排気口側に移送される複数の移送室を形成したスクリュー式流体機械にぉ、て、スクリューロータの歯形の軸直角断面形状を、歯底部を構成する円弧と、外周部を構成する円弧と、外周部と歯底部とを連結する 2曲線とで構成し、該外周部と歯底部とを連結する 2曲線のうち一方の曲線を、相手側スクリューロータの外周上の点で創成されるトロコイド曲線とし、他方の曲線を、ピッチ円によりピッチ円力外周部とピッチ円力歯底部に 2 等分し、一方を所定の予め決められた曲線で形成し、他方を相手側スクリューロータの 2等分した一方の所定の予め決められた曲線によって嚙合い時に創生された曲線により形成した曲線として歯型形状を構成したことを特徴とするスクリュー式流体機械

[6] 吸気口及び排気口を有するポンプハウジングと、互いに嚙み合ながら回転するようそれぞれ前記ポンプハウジング内に回転自在に収納された一対のスクリューロータを備え、前記ポンプノヽゥジングと各スクリューロータとの間に両スクリューロータの嚙合部分で互いに仕切られ両スクリューロータの回転により吸気口側から排気口側に移送される複数の移送室を形成したスクリュー式流体機械にぉ、て、スクリューロータの歯形の軸直角断面形状を、歯底部を構成する円弧と、外周部を構成する円弧と、外周部と歯底部とを連結する 2歯型曲線とで構成し、該外周部と歯底部とを連結する² 曲線のうち一方の歯型曲線を、相手側スクリューロータの嚙合部分と干渉することが無ぐかつ前記各移送室が隣り合う別の移送室と隔てることができる歯型曲線とし、他方の歯型曲線を、ピッチ円によりピッチ円力も外周部とピッチ円から歯底部に 2等分し、一方を所定の予め決められた曲線で形成し、他方を相手側スクリューロータの 2等分した一方の所定の予め決められた曲線によって嚙合い時に創生された曲線により形成した歯型曲線として歯型形状を構成したことを特徴とするスクリュー式流体機械

[7] 前記 2等分した一方の所定の予め決められた曲線部を円弧と直線で形成したことを特徴とする請求項 5または 6に記載のスクリュー式流体機械。

[8] 前記所定の予め決められた曲線部としてサインカーブで形成したことを特徴とする請求項 5または 6に記載のスクリュー式流体機械。